CN101551144B - 无尘室*** - Google Patents

Abstract

本发明公开一种无尘室***，具有一作业空间、一回风室、一收集室及一过滤室。其中，回风室可配置于作业空间的一侧，而该侧可为作业空间的一边界，并与作业空间形成连通的状态，而作业空间具有一第一气体压力，回风室也具有一第二气体压力，且第一气体压力大于第二气体压力。当配置于作业空间中的一移动机台于作业空间中往复来回移动时，将使作业空间中的气体产生流动，使气体碰撞于作业空间的边界，而使无尘室***内的气体自作业空间向回风室流动。

Description

无尘室***

技术领域

本发明涉及一种无尘室***，特别是涉及一种具有可降低特定回风死角或积尘点进行吸取动作的***。 

背景技术

目前，半导体装置及液晶显示器(LCD)必须在极精密的处理条件下制造。而需在极清洁的环境中处理。一般无尘室中，技术人员需穿戴特殊的防尘服工作以减少异物(例如，灰尘)的产生。且为使其内部能维持一定的洁净度，会在无尘室的上方位置设置多数个风扇滤网机组(FFU，Fan Filter Unit)，以由该等风扇滤网机组输入具一定洁净度的气体进入于无尘室内部，该无尘室的上部维持在一稍高于该无尘室底部处的压力，以使空气(清洁空气)在该无尘室中向下流动。格栅(具有孔的面板)提供该无尘室的地板以便经由该地板排放空气，用于，将该无尘室内空气所携带的污染物引导至该无尘室的地板并经由该格栅排放至FFU，以维持仓储内部的洁净度。 

由上述可知，无尘室的设计主要是采用气流(Air Flow)的理念形成一封闭型式的环境，利用FFU产生洁净气体将原本环境内部的脏空气带走，再由滤网过滤脏空气内的微粒子(Particle)，进而达到符合无尘等级的环境。产品在生产过程时须保持非常高的洁净等级，否则对产品良率将造成极大的影响。然而，因无尘室环境较大，且在加装有移动机台后，其往复运动将形成空气扰流或乱流而形成积尘死角，或进而造成扬尘的现象。请参阅图1，其为现有技术的无尘室***的俯视示意图。无尘室***6包含有一作业空间60、一仓储空间70、一收集室(图未示)及一过滤室(图未示)，以通过气流理念形成一封闭的循环环境。该作业空间60及该仓储空间70分别具有可往复来回作动一移动机台600及一移载机700，移动机台600可搭载一机械手臂(图未示)。移动机台600及移载机700在作动时将会带动附近的气体产生流动，因此容易在作业空间60及仓储空间70的边界形成积尘死角，或甚者，气流碰撞物体或壁面，更可能造成扬尘的现象。此现象将使无尘室的 环境的微粒子浓度提高，以致于容易造成无尘室内的物品容易附着于悬浮的微粒子，而无法达到本来符合生产环境等级。 

有鉴于现有技术的各项问题，为了能够兼顾解决之，本发明人基于多年研究开发与诸多实务经验，提出一种无尘室***，以作为改善上述缺点的实现方式与依据。 

发明内容

有鉴于上述现有技术的问题，本发明的其中一目的在于提供一种无尘室***，以降低无尘室内微粒子所造成的影响。 

缘是，本发明提出一种无尘室***，具有一作业空间、一回风室、一收集室及一过滤室。回风室可配置于作业空间的一侧，而该侧可为作业空间的一边界，并与作业空间形成连通的状态。收集室可位于作业空间及回风室的底部，并吸取作业空间及回风室的气体。过滤室可位于作业空间的顶部，且与收集室连通，并将收集室所吸取的气体经由过滤后，再将气体供应至作业空间。其中，无尘室***包含有一移动机台，其可配置于作业空间中，且移动机台可在作业空间中往复来回移动，并在移动时使作业空间中的气体产生流动，使气体碰撞于作业空间的边界，而作业空间具有一第一气体压力。回风室具有一第二气体压力。其中第一气体压力大于第二气体压力，而使无尘室***内的气体自作业空间向回风室流动。 

本发明再提出一种无尘室***，具有一仓储空间、一回风室、一收集室及一过滤室。回风室可配置于仓储空间的一侧，而该侧可为仓储空间的一边界，并与仓储空间形成连通的状态。收集室可位于仓储空间及回风室的底部，并吸取仓储空间及回风室的气体。过滤室可位于仓储空间的顶部，且与收集室连通，并将收集室所吸取的气体经由过滤后，再将气体供应至仓储空间。其中，无尘室***包含有一移载机，其可配置于仓储空间中，且移载机可在仓储空间中往复来回移动，并在移动时使仓储空间中的气体产生流动，使气体碰撞于仓储空间的边界，而仓储空间具有一第三气体压力。回风室具有一第二气体压力。其中第三气体压力大于第二气体压力，而使无尘室***内的气体自仓储空间向回风室流动。 

承上所述，依本发明的无尘室***，其可具有一或多个下述优点： 

(1)此***可降低无尘室内微粒子所造成的影响，用以提升良率。 

(2)此***可利用压差原理，使压力高的气体流向压力低的地方，而无需增设任何电源，因此无耗费额外电力的问题。 

为使熟悉该项技术人士了解本发明的目的、特征及功效，兹通过下述具体实施例，并配合所附的附图，详加说明如后。 

附图说明

图1为现有技术的无尘室***的俯视示意图； 

图2为本发明的无尘室***的实施例的俯视示意图； 

图3为本发明的图2的A-A剖视示意图； 

图4为本发明的图2的B-B剖视示意图； 

图5为本发明的无尘室***的回风道的剖视示意图；及 

图6为本发明的无尘室***的另一实施例的俯视示意图。 

主要元件符号说明 

1：无尘室***； 

10：作业空间； 

100：移动机台； 

110：轨道； 

20：回风室； 

200：止逆流机构； 

210：回风道； 

212：滤网结构； 

214：集尘槽； 

30：仓储空间； 

300：移载机； 

40：收集室； 

50：过滤室； 

500：风扇组； 

6：无尘室***； 

60：作业空间； 

600：移动机台； 

70：仓储空间；以及 

700：移载机。 

具体实施方式

请参阅图2、图3及图4，图2为本发明的无尘室***的实施例的俯视示意图、图3为本发明的图2的A-A剖视示意图、图4为本发明的图2的B-B剖视示意图。图中，无尘室***1通过气流理念形成一封闭的循环环境，其包含有作业空间10、两回风室20、仓储空间30、收集室40及过滤室50。以下将详细描述本发明的实施例。 

请参阅图2、图3及图4。作业空间10位于仓储空间30的一侧，并可相互连通，而作业空间10的相对两侧各可配置回风室20，且与作业空间10形成连通的状态。再者，回风室20可延伸有回风道210至仓储空间30，并使回风室20与仓储空间30形成连通的状态。其中，作业空间10具有第一气体压力，而回风室20具有第二气体压力，且第一气体压力大于第二气体压力。因而使无尘室***1内的气体可自作业空间10向两侧的回风室20流动。为防止有气体从回风室20逆流回作业空间10的现象产生，在作业空间10与回风室20的连通处可配置有止逆流机构200。再者，仓储空间30内具有第三气体压力，而第三气体压力也大于第二气体压力，而使无尘室***1内的气体自仓储空间30向回风室20流动。再者，第三气体压力大于第一气体压力，使无尘室***1内的气体自仓储空间30也向作业空间10流动。 

请参阅图3及图4。收集室40主要设置于作业空间10、回风室20及仓储空间30的底部，并与作业空间10、回风室20及仓储空间30形成连通的状态，以吸取作业空间10、回风室20及仓储空间30的气体。 

请参阅图3及图4。过滤室50主要设置于作业空间10及仓储空间30的顶部，并与作业空间10及仓储空间30形成连通的状态，且更进一步与收集室40形成连通的状态(图未示)。其中，过滤室50可包括有风扇组500，以吸取收集室40的气体往过滤室50流动。且气体经由过滤后，再将气体供应至作业空间10及仓储空间30。 

请参阅图2及图3。作业空间10可配置有一移动机台100，移动机台可搭载一机械手臂(图未示)，以抓取物品往仓储空间30放置，或由仓储空间30抓取原物料，以便于作业空间10进行加工处理。而移动机台100在作业空间10中可搭配组装于一轨道110上，使该移动机台100形成具有移动路 径，并在移动路径上往复来回移动。 

作业空间10中的移动机台100在轨道110上往复来回作动时，作业空间10中的气体将会产生扰流或乱流而有流动。当移动机台100移动至轨道110的其一末端而停止作动时，或在轨道110上的任一处停止作动时，气体并无法随移动机台100立即停止流动，而将会带动在作业空间10中的微粒子(图未示)。根据本发明此实施例，微粒子将直接被吸入回风室20，以降低或避免积尘或扬尘的现象产生，进而提升作业空间中的洁净度。且可通过止逆流机构200而防止有气体从回风室20逆流回作业空间10的现象产生，以避免污染作业空间10的可能。 

再者，仓储空间30具有可移动的一移载机300，其也可能会有积尘的死角或扬尘的现象产生。回风室20则可延伸回风道210，回风道210的末端可连通于仓储空间30，并可进一步选择连通于具有积尘死角或扬尘处。如此，回风道210即可利用仓储空间30的第三气体压力大于回风室20的第二气体压力，使仓储空间30的气体经由回风道210往回风室20流动。由此回风道210则可吸取扬尘或积尘死角处的微粒子。 

请参阅图5，为本发明的无尘室***的回风道的剖视示意图。其中，回风道210更可配置有一滤网结构212及一集尘槽214，而集尘槽214可位于滤网结构212的一侧，且该侧可面对于仓储空间30。当仓储空间30的气体往回风室20流动时，气体中的微粒子可先通过滤网结构212过滤，使体积过大的微粒子无法通过滤网结构212，而集尘槽214可收集由滤网结构212掉落的微粒子，待集尘槽214收集到一定程度的微粒子后再做清除的动作。 

请参阅图6，为本发明的无尘室***的另一实施例的俯视示意图。本实施例与前一实施例的元件相同将不再加以赘述，主要将描述与前一实施例的不同处。回风室20主要设置于仓储空间30的一侧，并形成连通的状态，而仓储空间30可能有积尘死角或因移载机300移动所造成的扬尘现象，回风室20可设于位于仓储空间有积尘死角或扬尘之处，并通过回风室20的第二气体压力与仓储空间30的第三气体压力差，使仓储空间30内的气体往回风室20流动，以吸取气体中的微粒子。 

再者，回风室20则可延伸回风道210，回风道210的末端可连通于作业空间10，并可进一步选择连通于具有积尘死角或扬尘处。如此，回风道210即可利用作业空间10的第一气体压力大于回风室20的第二气体压力，使作 业空间10的气体经由回风道210往回风室20流动，于是回风道210则可吸取位于扬尘或积尘死角处的微粒子。 

以上所述仅为举例性，而非为限制性者。任何未脱离本发明的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于所附的权利要求中。 

Claims (17)

1.一种无尘室***，具有一作业空间，该无尘室***包含：

移动机台，其配置于该作业空间中，且该移动机台可在该作业空间中往复来回移动，并在移动时使该作业空间中的气体产生流动，使气体碰撞于该作业空间的一边界，而该作业空间具有一第一气体压力；

回风室，其配置于该作业空间的一侧，并与该作业空间形成连通的状态，且该侧为该作业空间的该边界，该回风室具有一第二气体压力；

收集室，该收集室位于该作业空间及该回风室的底部，并吸取该作业空间及该回风室的气体；以及

过滤室，该过滤室位于该作业空间的顶部，且与该收集室连通，并将该收集室所吸取的气体经由过滤后，再将气体供应至该作业空间；

其中该第一气体压力大于该第二气体压力，而使该无尘室***内的气体自该作业空间向该回风室流动。

2.如权利要求1所述的无尘室***，还包括有一止逆流机构，配置于该作业空间与该回风室连通处。

3.如权利要求2所述的无尘室***，还包含有一仓储空间，该作业空间位于该仓储空间的一侧，而该收集室位于该作业空间、该回风室及该仓储空间的底部且该过滤室位于该作业空间及该仓储空间的顶部，其中该收集室吸取该作业空间、该回风室及该仓储空间的气体，且该过滤室将该收集室所吸取的气体经由过滤后，将气体供应至该作业空间及该仓储空间。

4.如权利要求3所述的无尘室***，其中该回风室延伸有一回风道至该仓储空间，该仓储空间内具有一第三气体压力，且该第三气体压力大于该第二气体压力，而使该无尘室***内的气体自该仓储空间向该回风室流动。

5.如权利要求4所述的无尘室***，其中该回风道配置有一滤网结构。

6.如权利要求5所述的无尘室***，其中该回风道于该滤网结构的一侧配置有一集尘槽，且该侧面对于该仓储空间。

7.如权利要求1所述的无尘室***，其中该移动机台在该作业空间中具有一移动路径，并在该移动路径上往复来回移动。

8.如权利要求7所述的无尘室***，其中该移动路径由一轨道所形成。

9.如权利要求1所述的无尘室***，其中该边界为一壁面。

10.一种无尘室***，具有一仓储空间，该无尘室***包含：

移载机，其配置于该仓储空间中，且该移载机可在该仓储空间中往复来回移动，并在移动时使该仓储空间中的气体产生流动，使气体碰撞于该仓储空间的一边界，而该仓储空间具有一第三气体压力；

回风室，其配置于该仓储空间的一侧，并与该仓储空间形成连通的状态，且该侧为该仓储空间的该边界，该回风室具有一第二气体压力；

收集室，该收集室位于该仓储空间及该回风室的底部，并吸取该仓储空间及该回风室的气体；以及

过滤室，该过滤室位于该仓储空间的顶部，且与该收集室连通，并将该收集室所吸取的气体经由过滤后，再将气体供应至该仓储空间；

其中该第三气体压力大于该第二气体压力，而使该无尘室***内的气体自该仓储空间向该回风室流动。

11.如权利要求10所述的无尘室***，还包括有一止逆流机构，配置于该仓储空间与该回风室连通处。

12.如权利要求11所述的无尘室***，还包含有一作业空间，该作业空间位于该仓储空间的一侧，而该收集室位于该仓储空间、该回风室及该作业空间的底部且该过滤室位于该仓储空间及该作业空间的顶部，其中该收集室吸取该仓储空间、该回风室及该作业空间的气体，且该过滤室将该收集室所吸取的气体经由过滤后，将气体供应至该仓储空间及该作业空间。

13.如权利要求12所述的无尘室***，其中该回风室延伸有一回风道至该作业空间，该作业空间内具有一第一气体压力，且该第一气体压力大于该第二气体压力，而使该无尘室***内的气体自该作业空间向该回风室流动。

14.如权利要求13所述的无尘室***，其中该回风道配置有一滤网结构。

15.如权利要求14所述的无尘室***，其中该回风道于该滤网结构的一侧配置有一集尘槽，且该侧面对于该作业空间。

16.如权利要求10所述的无尘室***，其中该移载机在该仓储空间中具有一移动路径，并在该移动路径上往复来回移动。

17.如权利要求10所述的无尘室***，其中该边界为一壁面。

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