CN102874597A - 一种自动化物料处理*** - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种自动化物料处理***，包括自动化物料处理***和至少1个程序加工区，所述自动化物料处理***包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓；所述自动化物料处理***从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板；所述自动化物料处理***的四周围设有隔板，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构。本发明构成了独立的洁净微环境结构，因而即使当加工设备中有腐蚀性气体溢出并跑到外部的大型洁净空间内之后，也不会进入自动化物料处理***形成的洁净微环境之中，从而避免了这些气体对产品质量的影响。

Description

一种自动化物料处理***

技术领域

本发明涉及一种自动化物料处理***，可用于平面显示器制造领域中。

背景技术

自动化物料处理***（AMHS，Automatic Material Handling System），又称天车***。这种搬送***的应用范围较广，例如机场的货物运输、自动化工厂的物料运输等；当AMHS应用于平面显示器制造领域时，由于平面显示器的制造依赖于不同的处理设备的多重工艺步骤，这需要利用自动化物料处理***（AMHS）在处理设备之间传送产品。

现有的自动化物料处理***（AMHS）参见附图1所示，主要包括自动化物料处理***和多个程序加工区1（Process Bays）；其中，程序加工区内设有各种加工设备15；自动化物料处理***包括加工区间自动输送轨道回路2和多个储存仓3（Stocker），所述储存仓之间的传递是藉由加工区间自动输送轨道回路内的悬挂式搬运***16所完成。

现有的加工区间自动输送轨道回路一般近似矩形或圆角矩形，参见附图1所示，悬挂式搬运***运转于加工区间自动输送轨道回路中；所述各个储存仓分别位于程序加工区的一侧，每个储存仓包含一些垂直堆叠的储存箱，用以承载平面卡匣。

图2为图1的A-A剖视图，由图可见，现有的加工区间自动输送轨道回路从上到下包括三层空间：架构空间4（TRUSS）、洁净空间5（FAB）和循环空间6（SUBFAB）；架构空间和洁净空间之间设有天花板7，天花板上设有风机滤器单元9（FFU，Fan Filter Units），现有的天花板上设有通气孔，以使FFU提供的过滤后的空气进入洁净空间；洁净空间和循环空间之间设有高架地板17，高架地板上设有透气孔，以便气体通过循环。

现有的自动化物料处理***（AMHS）一般是整体设置于一大型洁净空间内（如大型生产车间内），以实现物料的运输及处理。然而，现有的自动化物料处理***中的所使用的洁净空气和多个程序加工区所使用的洁净空气都是和厂房的大型洁净空间的洁净空气直接连通并混合，在实际应用中发现，由于程序加工区内设有很多加工设备，这些设备在生产过程中会产生各种废气或腐蚀性气体（如氯气、氯化氢等），一旦这些腐蚀性气体溢出后，这些气体会跑到外部的大型洁净空间内，从而直接和自动化物料处理***中的产品接触，尤其是和储放于储存仓（Stocker）的产品直接接触，这便大大影响了产品的质量；而此种情况一旦发生后则很难去除。

另一方面，为了维持洁净空间内的洁净度和恒温，需要形成一定风量的空气循环，这就对循环空间（SUBFAB）以及设于其内的干盘管提出了要求，由于储存仓（Stocker）的循环风量必须与大型洁净空间的循环风量一起处理，循环风量较大，因此现有的循环空间的高度都比较高，建造成本较高。

又另一方面，考虑少数加工设备对微振动的需求，往往为了这些设备而全面整厂建造华夫板(Waffle Slab)，增加建厂时间及成本。

发明内容

本发明的发明目的是提供一种自动化物料处理***。

为达到上述发明目的，本发明采用的技术方案是：一种自动化物料处理***，包括自动化物料处理***和至少1个程序加工区，所述自动化物料处理***包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓；所述自动化物料处理***从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间和循环空间之间设有高架地板；所述自动化物料处理***的四周围设有隔板，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构。

上文中，所述自动化物料处理***包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓，而储存仓与加工区设备之间还可以分别设有传递***，该传递***可以包含Robot、Cassette station、Load/Unload等。

所述加工区间自动输送轨道回路一般近似矩形或圆角矩形，悬挂式搬运***运转于加工区间自动输送轨道回路中，所述悬挂式搬运***可以是OHS。

所述自动化物料处理***的四周围设有隔板，并补入新风形成一个相对于大型洁净空间为正压的洁净微环境，因而当加工设备中有腐蚀性气体溢出并跑到外部的大型洁净空间内之后，也不会进入自动化物料处理***，从而避免了这些气体对产品质量的影响。

将所述自动化物料处理***所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构，即隔板的底部只达到高架地板上，而未深入下方的循环空间；隔板的顶部部分深入架构空间之中。

上述技术方案中，在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成一回风通道，所述回风通道正对的天花板上设有通孔；

所述通孔的正上方设有新风输送***，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外部洁净空间的气压。

进一步的技术方案，所述挡板与高架地板之间的距离为2~4 m。

与之相应的另一种技术方案，一种自动化物料处理***，包括自动化物料处理***和至少1个程序加工区，所述自动化物料处理***包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓；所述自动化物料处理***从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间和循环空间之间设有高架地板；所述自动化物料处理***的四周围设有隔板，使其所在的洁净空间、循环空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构；

位于循环空间内的隔板侧面设有气体调节风门。

上文中，将所述自动化物料处理***所在的洁净空间、循环空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构，即隔板的底部深入下方的循环空间，与上方的洁净空间一起做成洁净微环境结构；同时在位于循环空间内的隔板侧面设置气体调节风门，提供压力调节。该气体调节风门优选可以调节气体流量大小。

上述技术方案中，在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成一回风通道，所述回风通道正对的天花板上设有通孔；

所述通孔的正上方设有新风输送***，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外部洁净空间的气压。

进一步的技术方案，所述挡板与高架地板之间的距离为2~4 m。

由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

1、本发明设计得到了一种新的自动化物料处理***，其在自动化物料处理***的四周围设置隔板，构成了独立的洁净微环境结构，因而即使当加工设备中有腐蚀性气体溢出并跑到外部的大型洁净空间内之后，也不会进入自动化物料处理***形成的洁净微环境之中，从而避免了这些气体对产品质量的影响。

2、本发明在加工区间自动输送轨道回路的轨道内侧面上设置了竖直的挡板，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成一回风通道，从而充分利用了加工区间自动输送轨道回路中间区域的空间，且形成的回风通道可以在洁净微环境结构中形成微循环，不仅充分利用了其内的洁净空气，降低了消耗，同时不需要利用外部大型洁净空间的循环空间，实现了降低循环空间（SUBFAB）高度的可能性，进而降低建厂成本。

3、本发明在回风通道正对的天花板上设置通孔，在通孔的正上方设置新风输送***，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外部洁净空间的气压，这不仅进一步防止了腐蚀性气体进入自动化物料处理***形成的洁净微环境之中，还可以利用新风和由回风通道出来的洁净空气进行预混，实现温度的预调整。

4、由于本发明可以降低循环空间（SUBFAB）的高度，因此，针对微振动敏感加工设备，可以直接使用防振基座，不需要整厂全面建造华夫板(Waffle Slab)，缩短建厂时间及降低建厂成本。

5、本发明的结构简单，易于制备，适于推广应用。

附图说明

图1是背景技术中自动化物料处理***（AMHS）的俯视图；

图2为图1的A-A剖视图；

图3是本发明实施例一的俯视图；

图4是图3的B-B剖视图；

图5是图4的气流示意图；

图6是本发明实施例二的局部剖视图；

图7是图6的气流示意图。

其中：1、程序加工区；2、加工区间自动输送轨道回路；3、储存仓；4、架构空间；5、洁净空间；6、循环空间；7、天花板；8、隔板；9、风机滤器单元；10、挡板；11、回风通道；12、通孔；13、新风输送***；14、气体调节风门；15、加工设备；16、悬挂式搬运***；17、高架地板。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：

实施例一

参见图3~5所示，一种自动化物料处理***，包括自动化物料处理***和6个程序加工区1，程序加工区内设有各种加工设备15，所述自动化物料处理***包括加工区间自动输送轨道回路2和6个储存仓；所述自动化物料处理***从上到下包括架构空间4、洁净空间和循环空间6，架构空间和洁净空间之间设有天花板7；洁净空间和循环空间之间设有高架地板17，高架地板上设有透气孔，以便气体循环；所述自动化物料处理***的四周围设有隔板8，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构。

在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元9，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板10，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成一回风通道11，所述回风通道正对的天花板上设有通孔12；

所述通孔的正上方设有新风输送***13，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外部洁净空间的气压。所述挡板与高架地板之间的距离为3 m。

实施例二

参见图6~7所示，一种自动化物料处理***，包括自动化物料处理***和6个程序加工区，所述自动化物料处理***包括加工区间自动输送轨道回路和6个储存仓；所述自动化物料处理***从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板；6所述自动化物料处理***的四周围设有隔板，使其所在的洁净空间、循环空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构；

位于循环空间内的隔板侧面设有气体调节风门14。

在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成一回风通道，所述回风通道正对的天花板上设有通孔；

所述通孔的正上方设有新风输送***，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外部洁净空间的气压。所述挡板与高架地板之间的距离为3 m。

Claims (6)

1.一种自动化物料处理***，包括自动化物料处理***和至少1个程序加工区(1)，所述自动化物料处理***包括加工区间自动输送轨道回路(2)和至少1个储存仓(3)；所述自动化物料处理***从上到下包括架构空间(4)、洁净空间(5)和循环空间(6)，架构空间和洁净空间之间设有天花板(7)，洁净空间和循环空间之间设有高架地板；其特征在于：所述自动化物料处理***的四周围设有隔板(8)，使其所在的洁净空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构。

2.根据权利要求1所述的自动化物料处理***，其特征在于：在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元(9)，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板(10)，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成一回风通道(11)，所述回风通道正对的天花板上设有通孔(12)；

所述通孔的正上方设有新风输送***(13)，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外部洁净空间的气压。

3.根据权利要求2所述的自动化物料处理***，其特征在于：所述挡板与高架地板之间的距离为2~4 m。

4.一种自动化物料处理***，包括自动化物料处理***和至少1个程序加工区，所述自动化物料处理***包括加工区间自动输送轨道回路和至少1个储存仓；所述自动化物料处理***从上到下包括架构空间、洁净空间和循环空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间和循环空间之间设有高架地板；其特征在于：所述自动化物料处理***的四周围设有隔板，使其所在的洁净空间、循环空间和至少一部分架构空间构成独立的洁净微环境结构；

位于循环空间内的隔板侧面设有气体调节风门(14)。

5.根据权利要求4所述的自动化物料处理***，其特征在于：在所述加工区间自动输送轨道回路中，其轨道的正上方的天花板上设有风机滤器单元，轨道的内侧面上设有竖直设置的挡板，挡板围设于整个加工区间自动输送轨道回路上，构成一回风通道，所述回风通道正对的天花板上设有通孔；

所述通孔的正上方设有新风输送***，并使所述独立的洁净微环境结构中的气压大于其外部洁净空间的气压。

6.根据权利要求5所述的自动化物料处理***，其特征在于：所述挡板与高架地板之间的距离为2~4 m。

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