CN101484859A - 压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法 - Google Patents

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Abstract

在以往的压力式流量控制装置中，因其机构上流量输出信号的存在而不能判断节流机构下游侧阀的开动作，所以是不良状况。因此，在能够根据压力式流量控制装置的动作时的流量输出信号的变动状态简单地判断节流机构下游侧阀的开放的压力式流量控制装置中，将其节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。

Description

压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法
技术领域
本发明涉及通过压力式流量控制装置的流量输出信号的监视器检测设在压力式流量控制装置的节流机构的下游侧的阀的开放动作的异常的方法，主要在半导体制造装置及食品相关、化学相关设备等的使用压力式流量控制装置的流体供给设备中使用。
背景技术
在半导体制造设备及化学相关设备等的气体供给设备中，近年来代替热量式流量控制装置而较多地采用压力式流量控制装置。这是因为，压力式流量控制装置的构造较简单、能够实现制造成本的降低及设备的小型化，而且在控制精度及响应性等的方面也优于或不差于热量式流量控制装置。
在气体供给设备等中，一般定期地点检构成气体供给设备的各设备、特别是阀类的动作状态等，这些点检作业在从气体供给设备稳定供给气体的方面是不可或缺的事项。
作为向上述那样的要求的应对，本申请人以前开发了图9所示那样的使用压力式流量控制装置的气体供给中的阀的异常检测方法，将其作为特愿2005-253996号公开。
即，上述特愿2005-253996号的技术使得能够不将各阀V1、V2、V3从配管路径拆下而检查图9那样的气体供给设备的阀V1、V2、V3的动作状态及阀座泄漏的有无(以下称作检查)，发挥良好的实用性效用。另外，在图9中，Go是吹扫用的气体，Gp是过程气体，FCS是压力式流量控制装置，1a、1b、1c是配管路径，E是过程腔室。
此外，在该图9所示的气体供给设备中，例如在判断阀V1、V2、V3的动作状态(开、闭状态)的正常、异常的情况下，通过图10所示那样的顺序进行检查。
即，首先在步骤S0中开始异常检查。接着，在步骤S1中进行V1闭、V2开→闭(切换)、V3闭的操作，将N2填充到FCS的下游侧配管1b中。接着，在步骤S2中，检查FCS的压力显示P1，判断P1的增减ΔP1是否为0。
在ΔP1不是0的情况下，在P1上升的情况下，判断V1或V2的任一个或两者为异常(阀座泄漏或动作不良)，此外，在P1减少的情况下，判断为V3异常(阀座泄漏或动作不良)(步骤S3)。
接着，在步骤S4中，使V1开、V2闭，使过程气体(实际气体)Gp向FCS流入，在步骤S5中检查FCS的压力显示P1。如果有P1的上升，则判断为V1的动作正常(步骤S7)，如果没有P1的上升，则判断为V1的动作异常(步骤S6)，确认V1的动作状况。然后，在步骤S8中，使V1闭、V2开，检查FCS的压力显示P1(步骤S9)。如果P1不上升，则判断为V2的动作异常(步骤10)，确认V2的动作状况。
此外，如果P1上升，则判断为V2的动作正常(步骤S11)。
接着，在步骤S12中，判断上述步骤S2中的阀类的异常是否对应于阀V3的动作异常。即，在步骤S2的判断是No(阀V1、V2、V3中的任一个为动作异常)、并且阀V1及V2的动作为正常，则判断为阀V3动作异常(步骤S13)，此外，在步骤S2中的判断是yes的情况下，判断为各阀V1、V2、V3的动作是正常的(步骤S14)。
如果确认上述各阀V1、V2、V3的动作的正常，则接着进入到步骤S15，进行阀座泄漏的检查。此外，在该阀动作状态的正常、异常判断中，当然以a.在各阀V1、V2、V3、FCS及配管类1a、1b、1c等中没有阀座泄漏以外的外部泄漏(例如从接头或阀盖等的泄漏)、b.各阀的驱动部正常地动作、c.FCS正常地动作、d.V1、V2不同时开放等为前提。
但是压力式流量控制装置FCS如图11所示，为基于所谓节流孔或声速喷嘴等节流机构8的上游侧气体压力P1及气体温度T1运算在节流机构8中流通的气体流量的结构(特开平8-338546号等)。因此，即使在例如节流机构8的下游侧的阀V3处于闭锁状态而在节流机构8中流通的气体流量是零，如果在管路3上作用有气体压力P1，则通过流量运算电路13的流量运算器20运算气体流量Qf，将其作为流量输出信号Qo向外部输出。即，即使因阀V3的开放不良而气体不流通，也向外部输出流量输出信号Qo。
另外，在图11中，2是控制阀，12是流量输出电路，14是流量设定电路，16是运算控制电路，21是比较电路，Qy是控制信号(Qy＝Qe-Qf)。
结果，例如在气体供给设备的动作中进行了FCS的下游侧的阀V3的开闭动作时，不能根据FCS的流量输出信号Qo直接确认在该阀V3的开放动作中是否有异常。
这是因为，如上所述，即使在节流机构8中流通的气体流是零(阀V3为闭锁状态)，如果在节流机构上游侧有压力P1则也向外部输出流量输出信号Qo，所以即使在阀V3中发生异常，它没有被开放而被闭锁，在流量输出信号Qo上阀V3也总是开放。
专利文献1：特开平8-338546号公报
专利文献2：特开平2000-66732号公报
发明内容
本申请发明为了解决压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的异常检测中的上述那样的问题，即根据压力式流量控制装置的构造、如果在节流机构上游侧存在压力P1，则即使没有在节流机构中流通的气体流也向外部输出流量输出信号Qo、所以不能利用压力式流量控制装置的节流机构上游侧压力P1(或流量输出信号Qo)正确地判断节流机构下游侧阀的开放动作的异常的问题，提供一种能够不将压力式流量控制装置切换为气体供给设备的异常检测模式、而基于节流机构下游侧阀的开或闭时的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动、能够迅速且可靠地判断节流机构下游侧的阀的开动作的异常的压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法。
技术方案1的发明的基本结构是，在使用下述结构的压力式流量控制装置的气体供给设备中，所述压力式流量控制装置通过使用节流机构的上游侧的流体压力P1运算在节流机构中流通的流体流量Qf、将该流体流量运算值Qf与流量设定值Qe的差作为流量控制信号Qy开闭控制节流机构上游侧的控制阀2，来调节上述流体压力P1以使上述流量控制信号Qy成为零，并且将上述流体流量运算值Qf作为流量输出信号Qo输出，将压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的上述流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。
技术方案2的发明是在技术方案1的发明中，在向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe的变动时，将比稳定流量设定值Qe″大的流量设定值Qe′或比稳定流量设定值Qe″小的流量设定值Qe′作为流量设定值Qe输入。
技术方案3的发明的基本结构是，在使用下述结构的压力式流量控制装置的气体供给设备中，所述压力式流量控制装置通过使用节流机构的上游侧的流体压力P1运算在节流机构中流通的流体流量Qf、将该流体流量运算值Qf与流量设定值Qe的差作为流量控制信号Qy开闭控制节流机构上游侧的控制阀2，来调节上述流体压力P1以使上述流量控制信号Qy成为零，并且将上述流体流量运算值Qf作为流量输出信号Qo输出，将压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀闭锁并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe为零，检测使该流量设定值Qe为零后的变动中的上述流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。
技术方案4的发明是在技术方案3的发明中，与节流机构下游侧阀的闭锁同时或延迟一定时间Δt而使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe为零。
技术方案5的发明的基本结构是，在使用下述结构的压力式流量控制装置的气体供给设备中，所述压力式流量控制装置通过使用节流机构的上游侧的流体压力P1运算在节流机构中流通的流体流量Qf、将该流体流量运算值Qf与流量设定值Qe的差作为流量控制信号Qy开闭控制节流机构上游侧的控制阀2，来调节上述流体压力P1以使上述流量控制信号Qy成为零，并且将上述流体流量运算值Qf作为流量输出信号Qo输出，将压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀开放并向压力式流量控制装置输入流量设定信号Qe，检测将上述节流机构下游侧阀开放后的上述流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。
技术方案6的发明是在技术方案5的发明中，从节流机构下游侧阀的开放指令的发送后延迟规定时间Δt而向压力式流量控制装置输入流量设定信号Qe，检测上述流量输出信号Qo的下降率的大小。
技术方案7的发明是在技术方案1～6中任一项的发明中，使节流机构为节流孔或声速喷嘴。
在本申请发明中，构成为，与压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的开或闭动作同时、或从节流机构下游侧阀的开或闭动作延迟一定时间Δt，投入或切断压力式流量控制装置的流量设定值Qe而进行变动，根据节流机构下游侧阀的开或闭动作与流量设定值Qe的投入或切断之间的流量输出信号Qo的变动状态，判断节流机构下游侧阀的开动作的异常、正常。
结果，不另外设置或附加特别的检查装置、或将压力式流量控制装置切换为气体供给设备的异常检查模式，仅通过监视压力式流量控制装置的流量输出信号Qo，就能够在气体供给设备的动作中容易且简单地判断压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的开动作的正常、异常，能够容易地克服压力式流量控制装置的“流量输出信号Qo的存在不直接与节流机构下游侧阀的开动作联系”的问题。
附图说明
图1是表示在本发明中使用的压力式流量控制装置FCS的基本结构的一例的图。
图2是有关本发明的第1实施例的压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法的实施说明图。
图3是表示向第1实施例的压力式流量控制装置FCS的流量设定输入信号Qe及向节流机构下游侧阀V2的阀开放电流IV2、和来自FCS的流量输出信号Qo的定时关系的图，图3(a)表示试验时的流量设定信号Qe′比稳定流量设定信号Qe″大的情况，图3(b)表示试验时的流量设定信号Qe′比稳定流量设定信号Qe″小的情况。
图4是有关本发明的第2实施例的压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法的实施说明图。
图5是表示向第2实施例的FCS的流量设定输入信号Qe、向驱动节流机构下游侧阀V2的电磁阀EV的电磁电流IV2、和来自FCS的流量输出信号Qo的定时关系的图，图5(a)表示使上述节流机构下游侧阀V2的闭锁与FCS的闭锁大致同时的情况，图5(b)表示从节流机构下游侧阀的闭锁延迟时间Δt＝0.2sec而使向FCS的流量设定输入Qe为零(FCS闭锁)的情况。
图6是表示图5(b)所示的多步骤(multistep)方法的FCS流量输出信号Qo的下降率、与节流机构下游侧阀V2的动作延迟时间ΔtV的关系的说明图。
图7是实施例3(根据通过多步骤对压力式流量控制装置FCS进行调机时的FCS流量输出信号Qo的变化率进行异常判断的情况)的与图6相同内容的说明图。
图8是表示实施例3中的FCS流量输出信号Qo的变化状况的图，图8(a)是流量设定输入Qe＝100％(5V)、图8(b)是Qe＝50％、图8(c)是Qe＝5％时的状态(节流机构下游侧阀V2为1台的情况及排列4台的情况)。
图9是表示使用以往的压力式流量控制装置的气体供给设备的一例的图。
图10是以使用有关在先申请的压力式流量控制装置的气体供给设备为对象的阀异常检测方法的流程图。
图11是以往的压力式流量控制装置的基本结构图。
附图标记说明
Qe 流量设定值(流量设定信号)
Qe″稳定流量设定值
Qe′变动时的流量设定值
Qc 流量运算值
Qf 切换流量运算值
Qo 流量输出信号
Qy 流量控制信号
P1 节流机构上游侧气体压力
k 流量变换率
IV2阀V2的动作用电流
ΔV 节流机构下游侧阀V2不开放时的流量输出信号的偏差
Qo′节流机构下游侧阀V2不开放时的流量输出
Qo 节流机构下游侧阀V2正常动作时的流量输出
EV 电磁阀
U 阀动作压力供给线
Pe 真空泵
VR 流量阀
Pb 非稳定波型磁控管真空计
PG 过程气体
N2 阀动作用气体
C 腔室
V1、V2空气驱动阀
PLC 可编程控制器
PL 数据记录器
S 气体供给源(N2)
Qe″稳定流量
Qe′与稳定流量不同的设定流量
1 气体供给口
2 控制阀
3 节流机构上游侧管路
4 阀驱动部
5 节流机构下游侧管路
6 压力检测器
7 温度检测器
8 节流机构
9 气体流出口
10 放大器
11 放大器
12 流量输出电路
13 流量运算电路
14 流量设定电路
15 流量变换电路
16 运算控制电路
17 A/D变换器
18A/D 变换器
19 温度修正电路
20 运算电路
21 比较电路
22 放大器
具体实施方式
以下，基于附图说明本发明的实施方式。
图1是表示在本发明中使用的压力式流量控制装置的基本结构的图，此外，图2是有关本发明的第1实施例的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法的实施说明图。
参照图1，压力式流量控制装置FCS通过气体供给口1、控制阀2、阀驱动部4、压力检测部6、节流机构8、气体流出口9、流量输出电路12、流量运算电路13、流量设定电路14、运算控制电路16等形成其主要部分，此外，在图1中，3是节流机构上游侧配管，5是节流机构下游侧配管，7是温度检测器，15是流量变换机构，10、11、22是放大器，17、18是A/D变换器，19是温度修正电路，20是流量运算器，21是比较电路，Qc是流量运算信号，Qf是切换运算流量信号，Qe是流量设定信号，Qo是流量输出信号，Qy是流量控制信号，P1是节流机构上游侧气体压力，k是流量变换率。
此外，在图1及图2等所示的实施方式中，作为节流机构8而使用所谓节流孔，但当然也可以使用声速喷嘴或隔膜阀来代替节流孔。
上述图1所示的压力式流量控制装置FCS是主要在节流机构上游侧气体压力P1与节流机构下游侧压力P2的比P2/P1等于流体的临界值或比其低的情况下(所谓气体的流动处于临界状态下时)使用的装置，在节流机构8中流通的气体流量Qc由Qc＝KP1(其中，K是比例常数)给出。另外，在压力式流量控制装置FCS中，也有主要在作为临界状态和非临界状态的两者的流动状态的气体的流量控制中使用、将流过节流机构的气体的流量Qc作为Qc＝KP2 m(P1-P2)n(K是比例常数，m和n是常数，P2是节流机构下游侧气体压力)运算的形式，但基本结构与图1的压力式流量控制装置FCS相同，所以这里省略其说明。
此外，在该压力式流量控制装置FCS中，控制流量的设定值作为流量设定信号Qe而用电压值给出。例如，如果将上游侧压力P1的压力控制范围0～3(kgf/cm2abs)用电压范围0～5V表示，则Qe＝5V(满刻度值)表示3(kgf/cm2abs)的压力P1下的流量Qc。
如果更具体地说明，则现在如果在流量变换电路15的变换率k被设定为1时输入了流量设定信号Qe＝5V，则切换运算流量信号Qf(Qf＝kQc)成为5V，开闭操作控制阀2直到上游侧压力P1成为3(kgf/cm2abs)，对应于P1＝3(kgf/cm2abs)的流量Qc＝KP1的气体通过节流机构8而流通。
实施例1
图2是表示在有关本申请发明的第1实施例的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法的实施中使用的试验单元的说明图。即，该试验单元如图2所示那样构成为，在压力式流量控制装置FCS的上游侧及下游侧分别连结气体供给阀V1及节流机构下游侧阀V2，并且在其上配置可编程控制器PLC及数据记录器DL，从可编程控制器PLC按照规定的程序向阀V1、V2、及压力式流量控制装置FCS的流量设定电路14供给流量设定信号Qe，并且将向阀V2的阀开放信号IV2、向FCS的流量设定信号Qe及来自FCS的流量输出信号Qo分别记录到数据记录器DL中。
另外，在图2中，S是气体源，C是腔室。
即，为了检测压力式流量控制装置FCS的节流机构下游侧阀V2的异常(不能从闭变为开)，构成上述图2那样的试验***，向FCS作为流量设定信号Qe，输入如图3所示那样暂时设定为与稳定流量值Qe″不同的流量值Qe′之后、回到稳定流量值Qe″那样的流量设定信号Qe。另外，图3(a)是使与稳定流量值Qe″不同的流量设定值Qe′比稳定流量值Qe″大的情况，此外，图3(b)是表示使不同的流量设定值Qe′比稳定流量值Qe″小的情况的图。
如果将如图3所示的流量设定信号Qe向FCS输入、并且与此同时向节流机构下游侧阀V2供给闭动作电流IV2(励磁电流)，则来自压力式流量控制装置FCS的流量输出Qo进行在图3(a)、图3(b)的最下方记载那样的变化。
即，在节流机构下游侧阀V2不开放的情况下的流量输出Qo′与阀V2正常地开放的情况下的流量输出Qo″之间，在流量输出Qo中发生偏差ΔV，所以通过监视来自压力式流量控制装置FCS的流量输出信号Qo，能够判断节流机构下游侧阀V2是否被正常地开放。
具体而言，在用来结束使用腔室C的过程处理工序的准备阶段或用来开始过程处理工序的准备阶段中，经由可编程控制器PLC分别向压力式流量控制装置FCS供给流量设定信号Qe，此外，向节流机构下游侧阀V2供给阀开放电流IV2，并且观察此时的来自FCS的流量输出信号Qo的变化状态，如果上述偏差ΔV为设定值以上，则判断下游侧阀V2被正常地开放，反之，如果上述偏差ΔV是规定值以下，则判断阀V2没有被正常地开放而是开放异常。
实施例2
实施例2是在过程处理的结束时检测节流机构下游侧阀V2的动作异常的例子。图4是在实施例2中使用的试验***的说明图，在图4中，EV是操作用电磁阀，V1是FCS上游侧阀，Pe是真空泵，Pb是非稳定波型磁控管，VR是流量阀，N2是操作用气体，PG是过程气体。
节流机构下游侧阀V2的动作异常的检测对于如图5(a)所示那样同时进行压力式流量控制装置FCS的流量设定信号Qe的截断及节流机构下游侧阀V2的闭锁的情况(以下称作通常步骤)、和如图5(b)所示那样在节流机构下游侧阀V2的闭锁和FCS的流量设定信号Qe的截断之间设置时间Δt的延迟的情况(以下称作多步骤)的两种，都通过在处理过程的停止时使向FCS的流量设定信号Qe为零(FCS截断)后、监视之后的FCS流量输出信号Qo的变化来进行。
如图5(a)及图5(b)所示，在来自压力式流量控制装置FCS的流量输出信号Qo在节流机构下游侧阀V2的闭锁及FCS闭锁(FCS的控制阀2的闭锁)之后也不下降、而保持相同的流量输出信号Qo′的状态的情况下，在节流机构下游侧阀V2中有开放异常。这是因为，尽管节流机构下游侧阀V2被闭锁但FCS的流量输出Qo不变为零而以流量输出Qo′输出，是因为在节流机构8与节流机构下游侧阀V2之间残留气体压力、并且处于该残留压力完全不减小的状态(即阀V2的阀体不能向开放方向动作的状态)。
在现实的阀异常的判断中，在考虑电磁阀EV与节流机构下游侧阀V2之间的阀动作压力供给线U的内容积、及节流机构下游侧阀V2的闭锁用电流信号的输入与现实的阀V2的闭锁动作之间的延迟时间等的基础上，决定FCS的流量输出信号Qo的下降率的域值，在该流量输出信号Qo的下降率比规定的下降率小的情况下，判断在节流机构下游侧阀V2的开放动作中有异常。
图6是表示节流机构下游侧阀V2的闭锁用动作信号输入与实际动作时间的差ΔtV、和FCS流量输出Qo(节流机构上游侧压力P1)及节流机构下游侧压力P2的关系的图，图6(a)是表示ΔtV较大时、图6(b)是表示ΔtV较小时的图。
由图6(a)、图6(b)也可知，在上述ΔtV较小的情况下(图6(b))，FCS的流量输出Qo(节流机构上游侧压力P1)的变化量变小，所以根据上述流量输出信号Qo的下降率的阀V2的异常判断变得困难。
此外，当然，上述ΔtV的大小根据阀V2及电磁阀EV、阀动作压力供给线U的容积等，进而节流机构下游侧压力P2的变化根据压力式流量控制装置FCS的使用流量范围及腔室C侧的压力等的条件而分别较大地不同。
实施例3
实施例3是通过监视压力式流量控制装置FCS的上升时的FCS流量输出信号来检测节流机构下游侧阀V2的异常(开放不动作)的例子，主要在过程***的调机准备阶段中检测节流机构下游侧阀V2的动作异常的情况下使用。
在该实施例3中使用的试验装置与上述图4所示的试验装置相同，在第3实施例中，具体而言，是监视在压力式流量控制装置FCS的1次侧的阀V1及节流机构下游侧阀V2被开放后到向FCS输入流量设定信号Qe的时间Δt内(延迟时间Δt＝0.2sec)发生的FCS流量输出信号Qo的下降量、以该下降量为基准判断节流机构下游侧阀V2的开放动作的异常。
图7是表示实施例3中的FCS流量输出信号Qo、延迟时间Δt＝0.2sec、和节流机构下游侧阀V2的开放延迟时间ΔtV等的关系的图。在过程的启动准备的阶段中，使FCS的上游侧阀V1及节流机构下游侧阀V2成为开之后，以延迟时间Δt＝0.2sec延迟而使FCS动作(流量设定信号Qe in)时，在节流机构下游侧阀V2正常地进行开放动作的情况下，FCS流量输出信号Qo在延迟时间Δt中下降，反之，在节流机构下游侧阀V2没有正常地进行开放动作的情况下，成为没有延迟时间Δt中的FCS流量输出信号Qo的变化的状态。
另外，上述FCS流量输出信号Qo的变化的程度(下降率)根据节流机构下游侧阀V2的开放延迟时间ΔtV的大小而较大地变化与上述实施例2的情况完全相同。因而，向节流机构下游侧阀V2的动作压力供给线U的长度及电磁阀EV的种类、压力式流量控制装置FCS的流量设定范围等较大地影响着上述FCS流量输出信号Qo的延迟时间Δt中的下降率。
图8是表示调查在使压力式流量控制装置FCS的流量设定信号Qe及节流机构下游侧阀V2的数量变化的情况下的流量输出信号Qo的下降状态的结果的图。作为压力式流量控制装置FCS而使用额定流量1SLM的标准类型的装置，此外，分别在阀V1中使用Cv值为0.1的阀、在阀V2中使用Cv值为0.2的阀。进而，进行调节，以使得在阀V1、V2的动作压力供给线U为内径2.5mφ、长度1m、流量控制阀VR及真空泵Pe为N2＝2SLM供给时、节流机构下游侧压力P2为120Torr。
由图8也可知，FCS的设定流量信号Qe为Qe＝100％时的FCS流量输出信号Qo的平均压力下降率是89.9％(阀V2台数＝1)～79.4％(阀台数V2＝4)，Qe＝50％时的平均下降率是85.4(V2＝1台)～79.7(V2＝4台)，Qe＝5％时的平均下降率是86.3(V2＝1台)～70.6(V2＝4台)，在哪种情况下，都能够检测到阀的异常(开放不动作)。
另外，压力下降率是作为(B-A)/A×100％运算的值，这里，B是过程结束后的FCS的流量输出信号Qo，A是多步骤时的0.2sec后的FCS流量输出信号Qo′的值(参照图8(a))。
工业实用性
本发明只要是使用压力式流量控制装置FCS的气体供给设备，在怎样的设备中都能够使用，能够根据使压力式流量控制装置FCS的流量设定输入Qe变化时的流量输出信号Qo的变化状态可靠地检测压力式流量控制装置FCS的节流机构下游侧阀的开放动作。

Claims (7)

1、一种压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法，在使用下述结构的压力式流量控制装置的气体供给设备中，所述压力式流量控制装置通过使用节流机构的上游侧的流体压力P1运算在节流机构中流通的流体流量Qf、将该流体流量运算值Qf与流量设定值Qe的差作为流量控制信号Qy开闭控制节流机构上游侧的控制阀2，来调节上述流体压力P1以使上述流量控制信号Qy成为零，并且将上述流体流量运算值Qf作为流量输出信号Qo输出，其特征在于，将压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动，检测该流量设定值Qe的变动中的上述流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。
2、如权利要求1所述的压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法，其特征在于，在向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe的变动时，将比稳定流量设定值Qe″大的流量设定值Qe′或比稳定流量设定值Qe″小的流量设定值Qe′作为流量设定值Qe输入。
3、一种压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法，在使用下述结构的压力式流量控制装置的气体供给设备中，所述压力式流量控制装置通过使用节流机构的上游侧的流体压力P1运算在节流机构中流通的流体流量Qf、将该流体流量运算值Qf与流量设定值Qe的差作为流量控制信号Qy开闭控制节流机构上游侧的控制阀2，来调节上述流体压力P1以使上述流量控制信号Qy成为零，并且将上述流体流量运算值Qf作为流量输出信号Qo输出，其特征在于，将压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀闭锁并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe为零，检测使该流量设定值Qe为零后的变动中的上述流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。
4、如权利要求3所述的压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法，其特征在于，与节流机构下游侧阀的闭锁同时或延迟一定时间Δt而使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe为零。
5、一种压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法，在使用下述结构的压力式流量控制装置的气体供给设备中，所述压力式流量控制装置通过使用节流机构的上游侧的流体压力P1运算在节流机构中流通的流体流量Qf、将该流体流量运算值Qf与流量设定值Qe的差作为流量控制信号Qy开闭控制节流机构上游侧的控制阀2，来调节上述流体压力P1以使上述流量控制信号Qy成为零，并且将上述流体流量运算值Qf作为流量输出信号Qo输出，其特征在于，将压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀开放并向压力式流量控制装置输入流量设定信号Qe，检测将上述节流机构下游侧阀开放后的上述流量输出信号Qo的变动的大小ΔV，在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下，判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的，此外，在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下，判断开放动作是异常的。
6、如权利要求5所述的压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法，其特征在于，从节流机构下游侧阀的开放指令的发送后延迟规定时间Δt而向压力式流量控制装置输入流量设定信号Qe，检测上述流量输出信号Qo的下降率的大小。
7、如权利要求1、2、3、4、5或6所述的压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法，其特征在于，使节流机构为声速喷嘴或节流孔。
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