CN101319333A - 一种钛/铝复合板及其制备方法 - Google Patents
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- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 106
- 239000010936 titanium Substances 0.000 title claims abstract description 106
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 106
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 81
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 81
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000004880 explosion Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 34
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 11
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N alumane;titanium Chemical compound [AlH3].[Ti] UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 6
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 claims description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 4
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical group [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 3
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000005098 hot rolling Methods 0.000 claims description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims description 2
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 abstract 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 229910000978 Pb alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 4
- 238000005363 electrowinning Methods 0.000 description 3
- 229910000989 Alclad Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005097 cold rolling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002142 lead-calcium alloy Substances 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 230000003245 working effect Effects 0.000 description 1
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- Metal Rolling (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Abstract
一种钛/铝层状复合板及其制备方法，其特征是，包括采用焊接、熔铸、***复合、轧制、和热压工艺中一种或一种以上制备钛将铝完全包覆或部分包覆的钛/铝复合板，且具有导电性好、耐蚀性好、成本低等优点，可替代目前用于电解中的钛惰性阳极板，降低惰性阳极的槽电压0.1～0.8V，该层状复合阳极改变了在单质金属或多元合金为基板，再涂覆涂料的传统结构设计，使得惰性阳极板中的内阻降低，均匀化了电流分布，减少了发热量，延长了阳极板的使用寿命，并提高电解产品的生产效率和节约能耗。
Description
技术领域
本发明属于电解提取技术领域。特别涉及用于电解提取过程中惰性阳极的一种钛/铝复合板及其制备方法。
技术背景
传统的电解提取工艺一般采用铅合金为惰性阳极，如铅钙合金、铅银合金等铅合金，但由于铅合金的电阻较大，导致槽电压增加、发热严重，而且由于采用铅合金为惰性阳极，导致电解产品中的铅含量增加。
目前研究较多的是钛惰性阳极，以金属钛为基体，在表面涂敷铱、钌等贵金属或其氧化物，同样存在电阻大、寿命短、成本高等不足，限制了推广应用。
目前国内外的研究重点主要是在合金体系和镀层方面进行大量研究，以提高其导电性。其中北京有色金属研究总院通过焊接、轧制和热压等工艺制备出了钛/铜复合板。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足，而提出一种钛/铝复合板及其制备方法。
本发明的特征在是，所说的钛/铝复合板是在钛层内部包覆铝层，所说的钛层也可复合在铝的单面或双面；所说的钛层也可以是任何一种钛基合金层。
本发明还提出了一种钛/铝复合板的制备方法，其特征在于，所说的的制备方法包括采用焊接、熔铸、***复合、轧制和热压工艺中的一种或一种以上制备出钛将铝完全包覆或部分包覆的钛/铝复合板；
所说的采用焊接工艺制备钛/铝复合板的步骤为：首先将钛板表面进行除油、清洗和喷砂，处理干净，并将钛板进行焊接，制成钛盒，将铝熔化并浇入盒中，待冷却后进行轧制成钛/铝复合板，所说的焊接方法为氩焊接或电子束焊接。；
所说的采用轧制工艺制备钛/铝复合板的步骤为：将铝芯表面进行除油、清洗干净、喷砂处理，或在铝板表面进行表面改性处理，将圆形、方形或长方形的不同形状的铝芯和形状相近的钛套一起进行热轧，温度为400~550℃，然后再冷轧制得钛/铝复合板；
所说的采用热压工艺制备钛/铝复合板的步骤为：将铝板表面进行除油、清洁干净、喷砂处理，用两块相同的钛板将铝板包住，然后放在略大于钛板尺寸1mm的石墨膜具中，抽真空至1×10-6Pa，在热压机上加热加压，工艺条件为温度500~600℃、压力1~30MPa、保温保压20~60分钟，制成钛/铝复合板；
所说的采用***复合工艺制备钛/铝复合板的步骤为：将铝板表面进行除油、清洁干净、喷砂处理，在铝板上下表面各贴覆一层同样的钛板，采用***复合法等方法制成上下表层为钛合金板，夹层为铝板的钛铝复合板；
所说的钛板或钛套还可以采用任何一种钛基合金板。
和现有技术相比，本发明的有益效果是在于采用焊接、轧制、热浸镀等工艺制备出具有导电性高的惰性阳极板基体，保证惰性阳极板上电流分布均匀，槽电压下降0.1~0.8V、减少发热量，延长了惰性阳极板的使用寿命，并提高电解产品的纯度。
附图说明
下面用实施例并结合附图对本发明作进一步描述。
图1a是未经轧制的钛包铝结构正视图。
图1b是未经轧制的钛包铝结构顶视图。
图2是本发明钛/铝复合板的结构示意图。
图3是双面复合的钛/铝复合板结构的横截面剖视图。
图4是单面复合的钛/铝复合板结构的横截面剖视图。
具体实施方式
实施例1
如图1所示，图中1为未经轧制的钛盒，2为浇铸在钛盒中的铝芯。将100×100×2mm的钛板表面进行除油、清洗干净、喷砂等处理，并用氩弧焊工艺将钛板进行焊接成一个钛盒子，然后将铝熔化后浇入盒中，冷却后成钛/铝复合板，然后再轧制成厚度为5mm的钛/铝复合板。
实施例2
如图2所示，图中3为钛板，4为铝板。在300×400×10mm铝板表面进行除油、清洗干净、喷砂等处理，再用2mm厚的钛板将铝板包住，并用氩弧焊工艺将钛板进行焊接，制成钛/铝复合板，然后在550℃温度下轧制成5mm厚的钛/铝复合板。
实施例3
如图3所示，图中3为钛板，4为铝板。将400×400×10mm铝板表明进行除油、清洗干净、喷砂等处理，用两块相同的4mm钛板将铝板夹住，然后放在略大于钛板尺寸1mm的石墨膜具中，抽真空至1×10-6Pa，在热压机上加热加压，工艺条件分别为600℃、15MPa、保温保压50分钟，轧制成5mm厚的钛/铝复合板。将该板作为基体作为惰性阳极，同纯钛相比，在电流密度为1000A/m2，槽电压下降0.4V。
实施例4
和实施例2的情况基本相同，只是热轧温度为500℃。
实施例5
和实施例2的情况基本相同，只是热轧温度为400℃。
实施例6
和实施例3的情况基本相同，只是热压温度为500℃，压力为5MPa，保温时间为60分钟。
实施例7
和实施例3的情况基本相同，只是热压温度为500℃，压力为30MPa，保温时间为30分钟。
实施例8
和实施例3的情况基本相同，只是所用的钛板为一种钛基合金板，其成分为10钒-2铁-3铝钛基合金。
实施例9
如图4所示，图中3为钛板，4为铝板。将400×400×10mm铝板表明进行除油、清洗干净、喷砂等处理，用相同的10mm钛板和铝板接触，然后放在略大于总尺寸1mm的石墨膜具中，抽真空至1×10-6Pa，在热压机上加热加压，工艺条件分别为600℃、15MPa、保温保压50分钟，轧制成7mm厚的钛/铝复合板。
实施例10
和实施例9的情况基本相同，只是热压温度为500℃，压力为10MPa，保温时间为30分钟。
实施例11
和实施例9的情况基本相同，只是热压温度为600℃，压力为30MPa，保温时间为60分钟。
实施例12
和实施例9的情况基本相同，只是所用的钛板为一种钛基合金板，其成分为10钒-2铁-3铝钛基合金。
实施例13
如图3所示，图中3为钛板，4为铝板。将400×400×5mm铝板表明进行除油、清洗干净、喷砂等处理，在铝板上下表面各贴覆一层尺寸比铝板略大的5mm钛板，然后采用***复合法制成上下表层为钛板，夹层为铝板的钛铝复合板，再通过焊接方法将钛板固定在钛铝复合板侧面上，使得铝板的周面被钛板全部覆盖。
实施例14
和实施例13的情况基本相同，只是所用的钛板为一种钛基合金板，其成分为10钒-2铁-3铝钛基合金。
实施例15
如图4所示，图中3为钛板，4为铝板。将400×400×10mm铝板表明进行除油、清洗干净、喷砂等处理，将两块相同的10mm钛板和铝板贴覆在一起，然后采用***复合法制成一层为铅一层为钛的复合板。
实施例16
和实施例13的情况基本相同，只是所用的钛板为一种钛基合金板，其成分为10钒-2铁-3铝钛基合金。
Claims (10)
1、一种钛/铝复合板，其特征在于，所说的钛/铝复合板是在钛层内部包覆铝层。
2、根据权利要求1的钛/铝复合板，其特征在于，所说的钛层复合在铝的单面或双面。
3、根据权利要求1或2的钛/铝复合板，其特征在于，所说的钛层也可以是任何一种钛基合金层。
4、权利要求1～3的钛/铝复合板的制备方法，其特征在于，所说的制备方法包括采用焊接、熔铸、***复合、轧制热压工艺中的一种或一种以上制备出钛将铝完全包覆或部分包覆的钛/铝复合板。
5、根据权利要求4的制备方法，其特征在于，所说的采用焊接工艺制备钛/铝复合板的步骤为：首先将钛板表面进行除油、清洗和喷砂，处理干净，并将钛板进行焊接，制成钛盒，将铝熔化并浇入盒中，待冷却后进行轧制成钛/铝复合板。
6、根据权利要求4的制备方法，其特征在于，所说的采用轧制工艺制备钛/铝复合板的步骤为，将铝芯表面进行除油、清洗干净、喷砂处理，或在铝板表面进行表面改性处理，将圆形、方形或长方形的不同形状的铝芯和形状相近的钛套一起进行热轧，温度为400~550℃，然后再冷轧到所需要的厚度的钛/铝复合板。
7、根据权利要求4的制备方法，其特征在于，所说的采用热压工艺制备钛/铝复合板的步骤为：将铝板表面进行除油、清洁干净、喷砂处理，用两块相同的钛板将铝板包住，然后放在略大于钛板尺寸1mm的石墨膜具中，抽真空至1×10-6Pa，在热压机上加热加压，工艺条件为温度500~600℃、压力1~30MPa、保温保压20~60分钟，制成钛/铝复合板。
8、根据权利要求4或5的制备方法，其特征在于，所说的焊接方法为氩焊接或电子束焊接。
9、根据权利要求4的制备方法。其特征在于，所说的采用***复合工艺制备钛/铝复合板的步骤为：将铝板表面进行除油、清洁干净、喷砂处理，在铝板上下表面各贴覆一层同样的钛板，采用***复合法方法制成上下表层为钛合金板，夹层为铝板的钛铝复合板。
10、根据权利要求4～9中的任一种制备方法，其特征在于，所说的钛板或钛套还可以采用任何一种钛基合金板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2008100586741A CN101319333A (zh) | 2008-07-14 | 2008-07-14 | 一种钛/铝复合板及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2008100586741A CN101319333A (zh) | 2008-07-14 | 2008-07-14 | 一种钛/铝复合板及其制备方法 |
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|---|---|
| CN101319333A true CN101319333A (zh) | 2008-12-10 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNA2008100586741A Pending CN101319333A (zh) | 2008-07-14 | 2008-07-14 | 一种钛/铝复合板及其制备方法 |
Country Status (1)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20081210 |