JP6652820B2 - 接触式変位センサ用コントローラ及びそれを用いた変位ゲージ - Google Patents
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Description
トランス方式は、低測定力、高分解能で微小変位を高精度に測定することに適し、スケール方式は、幅広い測定範囲において正確に測定することに適している。
接触式変位センサとしてコイルを用いたトランス方式は、コイルに電流を通すことで生じる磁界でのコイルの動きを、検出可能な電気信号に変換するものであり、LVDT(線形電圧差動変圧器)方式とHBT(ハーフブリッジトランスデューサ)方式とが広く使用されている。
2 差動トランス検出器(トランス方式検出器)
3 コントローラ
4 平衡接続トランシーバ
5 カウンタIC
6 差動トランス検出回路
7 ADコンバータ
8 直流電源
9 励磁信号源
10 カップリングコンデンサ
11 差動トランス断線検出回路
12-1、12-2、12-3、12-4、12-5、12-6 端子
13 送信部
14 エンコーダ
15 一次コイル
16、17 二次コイル
18 検出側カップリングコンデンサ
19-1、19-2、20-1、20-2 コイル
21 スケール
22 固定支点
23 サイズ変更支点
24、25 接触子
30-1、30-2、30-3、30-4、30-5、30-6、30-7、30-8 端子
Claims (10)
- コイルを用いたトランス方式検出器と、スケールを用いたスケール方式検出器とが接続可能とされ、前記トランス方式検出器及びスケール方式検出器によって検出された信号をデジタル変換された測定値として処理する接触式変位センサ用コントローラにおいて、
前記スケール方式検出器へ電源を供給する直流電源と、
前記トランス方式検出器へ交流信号を供給する励磁信号源と、
差動入力線路によって前記スケール方式検出器の出力を受信する平衡接続トランシーバと、
前記平衡接続トランシーバで受信した出力信号に基づいたパルスを計数するカウンタICと、
前記トランス方式検出器の出力が入力され、変位の変化量に応じたアナログ信号を出力する差動トランス検出回路と、
前記アナログ信号をデジタル変換するADコンバータと、
前記励磁信号源を前記差動入力線路の両方に接続するカップリングコンデンサと、
前記カップリングコンデンサが接続された前記差動入力線路に接続され、前記トランス方式検出器へ前記交流信号を供給するように前記トランス方式検出器を接続可能とした端子と、
を備えたことを特徴とする接触式変位センサ用コントローラ。 - 請求項1に記載の接触式変位センサ用コントローラにおいて、
2相の信号を出力するスケール方式検出器が接続可能とされ、2組の差動入力線路によって接続されるトランシーバを有した前記平衡接続トランシーバと、
前記2組の差動入力線路のうち一方の組に接続された二つのカップリングコンデンサと、
を備えたことを特徴とする接触式変位センサ用コントローラ。 - 請求項2に記載の接触式変位センサ用コントローラにおいて、前記平衡接続トランシーバで受信した出力信号の位相差に基づいて逓倍したパルスを計数するカウンタICを備えたことを特徴とする接触式変位センサ用コントローラ。
- 請求項1から3のいずれか1項に記載の接触式変位センサ用コントローラにおいて、
前記直流電源が接続された第1端子と、
前記励磁信号源及び前記差動入力線路が接続された第2及び第3端子と、
前記差動入力線路及び差動トランス検出回路の入力が接続された第4及び第5端子と、
前記スケール方式検出器及び前記トランス方式検出器の接地線が接続される第6端子と、
を備えたことを特徴とする接触式変位センサ用コントローラ。 - 請求項1から4いずれか1項に記載の接触式変位センサ用コントローラにおいて、前記平衡接続トランシーバ及び前記差動トランス検出回路の入力側に接続され、前記トランス方式検出器の断線を検出する差動トランス断線検出回路を備えたことを特徴とする接触式変位センサ用コントローラ。
- 請求項5に記載の接触式変位センサ用コントローラにおいて、前記スケール方式検出器と前記トランス方式検出器のどちらが接続されているかを判別することを特徴とする接触式変位センサ用コントローラ。
- 請求項5に記載の接触式変位センサ用コントローラにおいて、前記差動トランス断線検出回路の出力に応じて、前記励磁信号源の出力を停止することを特徴とする接触式変位センサ用コントローラ。
- コイルを用いたトランス方式検出器と、スケールを用いたスケール方式検出器とが接続可能とされ、前記トランス方式検出器及びスケール方式検出器によって検出された信号をデジタル変換された測定値として処理する接触式変位センサ用コントローラを用いた変位ゲージにおいて、
前記接触式変位センサ用コントローラへ接続された前記トランス方式検出器及び前記スケール方式検出器と、
前記スケール方式検出器へ電源を供給する直流電源と、
前記トランス方式検出器へ交流信号を供給する励磁信号源と、
差動入力線路によって前記スケール方式の検出器出力を受信する平衡接続トランシーバと、
前記平衡接続トランシーバで受信した出力信号に基づいたパルスを計数するカウンタICと、
前記トランス方式検出器の出力が入力され、変位の変化量に応じたアナログ信号を出力する差動トランス検出回路と、
前記アナログ信号をデジタル変換するADコンバータと、
前記励磁信号源を前記差動入力線路の両方に接続するカップリングコンデンサと、
前記カップリングコンデンサが接続された前記差動入力線路に接続されて前記交流信号が供給される前記トランス方式検出器と、
を備えたことを特徴とする変位ゲージ。 - 請求項8に記載の変位ゲージにおいて、
2相の信号を出力するスケール方式検出器が接続可能とされ、2組の差動入力線路によって接続されるトランシーバを有した前記平衡接続トランシーバと、
前記2組の差動入力線路のそれぞれに接続された四つのカップリングコンデンサと、
を備えたことを特徴とする変位ゲージ。 - 請求項8又は9に記載の変位ゲージにおいて、
前記直流電源が接続された第1端子と、
前記スケール方式検出器の接地線が接続される第2端子と、
前記励磁信号源及び前記差動入力線路が接続された第3ないし第6端子と、
前記差動トランス検出回路の入力が接続された第7及び第8端子と、
を備えたことを特徴とする変位ゲージ。
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