CN101254587B - 磨轮安装方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种磨轮安装方法，当在轮座上安装磨轮时不会损伤磨具和磨削装置内部。在该磨轮安装方法中，保持部件(5)以覆盖磨具部(332)的状态容纳磨轮(33)的自由端面(331)，在磨轮(33)的自由端面(331)容纳在上述保持部件(5)中的状态下，在使露出的框架部(330)的固定端面(334)与轮座(32)接触的同时，通过固定单元将两者固定起来，由此，不直接接触磨具部(332)就能够安装磨轮(33)。
Description
技术领域
本发明涉及把具有磨具部的磨轮安装到轮座上的磨轮安装方法。
背景技术
关于形成有多个LSI(large scale integration：大规模集成电路)、IC(Integrated Circuit：集成电路)等器件的晶片，通过将其背面磨削而形成为预定的厚度，并利用切割装置等加工装置分割为一个个器件，从而用于移动电话、个人电脑等电子设备。在磨削装置中，利用圆环状的磨轮来进行磨削，在该磨轮的外周上呈环状配设有2～3mm宽的尺寸的磨具，并且该磨轮具有与被磨削物相同尺寸的外径。这里，磨轮的安装这样进行：从盒子中取出磨轮，操作在用手托着磨具的刀尖部位的同时将其安装到轮座上(例如参照专利文献1、2)。
专利文献1：日本特开2001-158492号公报
专利文献2：日本特开2006-055963号公报
但是由于以直接接触磨具的方式直接对磨轮进行安装作业，所以在安装作业时可能会损伤磨具，降低磨削性能。而且在把持磨轮将其拿至轮座时，磨具还可能会与卡盘工作台等磨削装置内部的部件碰撞，从而使内部的部件受损。
发明内容
本发明就是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种在将磨轮安装到轮座上时不会损伤磨具和磨削装置内部的磨轮安装方法。
为解决上述课题，达成目的，本发明的磨轮安装方法是将磨轮可旋转地安装到轮座上的磨轮安装方法，其中上述磨轮在圆环状的框架部的自由端面上呈环状地配设有磨具部，并且该磨轮具有固定端面，上述磨轮安装方法的特征在于，保持部件以覆盖上述磨具部的状态容纳上述磨轮的上述自由端面，在上述磨轮的上述自由端面容纳在上述保持部件中的状态下，在使露出的上述框架部的上述固定端面与上述轮座接触的同时，通过固定单元将上述轮座与上述磨轮固定起来。
另外，本发明的磨轮安装方法在上述发明的基础上，其特征在于，上述保持部件具有限制所容纳的上述磨轮的转动的转动限制部。
根据本发明的磨轮安装方法，保持部件以覆盖磨具部的状态容纳磨轮的自由端面，在磨轮的自由端面容纳在上述保持部件中的状态下，在使露出的框架部的固定端面与轮座接触的同时，通过固定单元将上述轮座与上述磨轮固定起来，因此，不直接接触磨具部就能够安装磨轮，所以，获得了能够防止使磨具部和磨削装置内部受损的效果。
并且，根据本发明的磨轮安装方法，由于使用具有转动限制部的保持部件，该转动限制部限制所容纳的磨轮的转动，所以在安装磨轮时，在使保持部件转动的情况下，容纳在保持部件中的磨轮也通过转动限制部而一体地转动，获得了能够提高安装性的效果。
附图说明
图1是表示应用本发明实施方式的磨轮安装方法的磨削装置的结构例的立体图。
图2是表示轮座和磨轮的一个例子的立体图。
图3是将磨轮翻过来进行表示的立体图。
图4是表示卡合凸起与被卡合长孔的卡合状态的概要剖面图。
图5是表示磨轮临时固定在轮座上的状态的概要剖面图。
图6是表示磨轮固定在轮座上的状态的俯视图。
图7是表示容纳了磨轮的保持部件等的概要剖视图。
图8是表示保持部件的立体图。
图9是表示本实施方式的磨轮安装工序中的第一阶段的概要剖视图。
图10是表示本实施方式的磨轮安装工序中第二阶段的概要剖视图。
图11是表示本实施方式的磨轮安装工序中第三阶段的概要剖视图。
图12是表示转动限制部的变形例的立体图。
图13是表示保持部件的变形例的立体图。
图14是表示容纳了磨轮的状态下的保持部件的立体图。
标号说明
5、7：保持部件；32：轮座；33：磨轮；34：固定单元；52、54、72：转动限制部；330：框架部；331：自由端面；332：磨具部；334：固定端面。
具体实施方式
下面参照附图详细说明作为用于实施本发明的最佳方式的磨轮安装方法的实施方式。
首先参照图1～图6来说明磨削装置的概要和磨轮安装的基本操作。图1是表示应用本实施方式的磨轮安装方法的磨削装置的结构例的立体图。图1所示的磨削装置1是对晶片等被加工物W的表面进行磨削从而精加工成期望厚度的装置，其具有：可旋转并且可在水平方向上移动的卡盘工作台2；对保持在卡盘工作台2上的被加工物W实施磨削加工的磨削单元3；和在垂直方向上驱动磨削单元3的磨削单元驱动部4。
磨削单元驱动部4由以下部件构成：沿垂直方向配设在壁部40上的一对导轨41；平行于导轨41地配设的滚珠丝杠42；与滚珠丝杠42的一端连接的脉冲电动机43；和可滑动地与导轨41卡合、并且内部的螺母螺合在滚珠丝杠42上的支撑部44，磨削单元驱动部4为这样的结构：通过脉冲电动机43的驱动，滚珠丝杠42进行转动，伴随于此，支撑部44被导轨41引导着升降，支撑在支撑部44上的磨削单元3也进行升降。
磨削单元3具有：具有垂直方向的轴心的主轴30；驱动主轴30旋转的驱动源31；形成在主轴30的下端、被驱动源31驱动旋转的轮座32；以及固定在轮座32上的磨轮33。
如图2所示，在构成磨削单元3的轮座32上具有多个(三个)螺栓***长孔320，用于固定磨轮33的螺栓等固定单元34贯穿该螺栓***长 孔320。而且，从磨轮32的端部朝下方突出地形成有至少三个卡合凸起321(图2中仅表示出一个)。
另一方面，磨轮33是对被加工物W实施磨削加工的部件，其相对于轮座32而可以自由装卸。如图2和图3所示，该磨轮33由圆环状的框架部330和磨具部332构成，该磨具部332配合在形成于框架部330的自由端面331上的未图示的环状槽中，且被配设为环状。在框架部330上在同一圆周上以相等的间隔形成有多个磨削水供给孔333，关于该磨削水供给孔333，其位置比磨具部332靠内周侧，并在上下方向上贯穿框架部330，该磨削水供给孔333用于将从轮座32侧供给的磨削水提供给磨具部332的内周面侧。
圆环状的框架部330的上表面侧构成了安装在轮座32上的固定端面334。在固定端面334上形成有与螺栓***长孔320相同数量的内螺纹孔335，贯穿了轮座32的螺栓***长孔320的固定单元34螺合在内螺纹孔335中。而且在相邻的内螺纹孔335之间形成有被卡合长孔336，形成于轮座32上的卡合凸起321卡合在该被卡合长孔336中。被卡合长孔336具有：间隙配合部336a，其具有大于卡合凸起321的直径的宽度，以便能够具有裕量地***卡合凸起321；以及固定部336b，其具有与卡合凸起321的直径相同的宽度，用于紧固卡合凸起321。
如图4所示，卡合凸起321以其前端部朝向轮座32的外周侧的方式倾斜地形成，形成在框架部330上的被卡合长孔336对应于卡合凸起321的倾斜而倾斜地形成。通过把卡合凸起321***到间隙配合部336a中，并使轮座32与磨轮33绕轴心相对转动，如图5所示，卡合凸起321被紧固在被卡合长孔336的固定部336b中，磨轮33被临时固定在轮座32上，轮座32的被安装面322与磨轮33的固定端面334紧密贴合。
接着，如图6所示，所有的卡合凸起321都被紧固在对应的各个被卡合长孔336的固定部336b中，由此，轮座32的旋转中心与磨轮33的旋转中心一致。然后，通过利用固定单元34来进行固定，维持轮座32的旋转中心与磨轮33的旋转中心一致的状态。由于形成在轮座32上的螺栓***长孔320形成为长孔，所以能够对应于形成在框架部330上的 内螺纹孔335的位置来紧固固定单元34。另外，在图示的例子中，将三个卡合凸起321以形成正三角形的方式配置，所以通过三点支撑，磨轮33被更为稳定地固定。
此处，在本实施方式中，在把上述那样的磨轮33安装到轮座32上时，使用了保持部件。首先，图7是表示本实施方式中所用保持部件5等的概要剖视图。该保持部件5构成轮盒，其与可自由装卸的盖部件6成对，用于保管磨轮33。保持部件5中，其容纳凹部51与框架部330的形状、大小大致一致地形成为环状，该容纳凹部51以非接触地覆盖环状的磨具部332的状态，容纳磨轮33的框架部330的自由端面331。容纳凹部51的深度设定成：在容纳了自由端面331侧的状态下，固定端面334侧能够露出。盖部件6形成为凹状，以容纳并覆盖所露出的固定端面334侧。这些保持部件5和盖部件6由ABS(Acrylonitrile Butadiene Styrene：丙烯腈-丁二烯-苯乙烯)、聚乙烯等树脂或铝等金属那样较软的部件形成。
并且，保持部件5在与磨轮33的内表面侧抵接的部分上具有转动限制部52，该转动限制部52限制所容纳的磨轮33绕轴心的转动。例如如图8所示，转动限制部52由等间隔地配设在比保持部件5的容纳凹部51靠内周侧的位置上的四处的吸盘等、具有弹性且摩擦系数大的部件构成。并且在保持部件5的外表面侧中央部具有用于由作业人员把持保持部件5的把手53。
下面参照图9～图11来说明使用保持部件5的磨轮33的安装方法。尚未使用的磨轮33如图7所示以容纳在由保持部件5和盖部件6构成的轮盒内的状态被保管。在将磨轮33安装到磨削装置1的轮座32上时，将图7所示状态下的轮盒翻过来，取下盖部件6，使磨轮33的固定端面334露出。
在如此将磨轮33的自由端面331侧容纳在保持部件5中的状态下，把持把手53部分，如图9所示，使露出的固定端面334上升使其与轮座32接触。此时，以卡合凸起321***在被卡合长孔336的间隙配合部336a中的方式进行对位，并使磨轮33随保持部件5上升。然后，使容纳有磨轮33的保持部件5相对于轮座32绕轴心略微地相对转动，由此，如在 图5中说明过的那样，使卡合凸起321紧固在被卡合长孔336的固定部336b中，如图10所示，将容纳有磨轮33的保持部件5临时固定在轮座32上，使轮座32的被安装面322与固定端面334紧密贴合。这里，在安装磨轮33时，在使保持部件5转动的情况下，容纳在保持部件5中的磨轮33也通过转动限制部53而一体地转动，从而能够确保与直接安装磨轮33的情况同等的安装性。
在临时固定之后，通过固定单元34固定轮座32与磨轮33，固定之后，如图11所示，使曾容纳磨轮33的保持部件5下降使其离开磨轮33，由此，将磨轮33安装到轮座32上的作业结束。
这样，根据本实施方式的磨轮安装方法，保持部件5以覆盖磨具部332的状态容纳磨轮33的自由端面331，在将磨轮33的自由端面331容纳在保持部件5中的状态下，在使露出的框架部330的固定端面334与轮座32接触的同时，通过固定单元34把两者固定起来，因而不直接接触磨具部332即可安装磨轮33，因此能够防止磨具部332和磨削装置内部的卡盘工作台2等受损。另外，由于可以通过较软的部件来形成保持部件5，所以即使容纳了磨轮33的保持部件5与卡盘工作台2等接触，与磨具部332直接接触的情况相比，也能够减轻损伤的程度。而且，虽然保持部件5是直径超过300mm的大小的部件(作为实际所使用的轮直径，直径从152mm到300mm)，但只要能够把持把手53部分进行安装作业即可，作业人员容易拿住，能够提高作业效率。
并且，在本实施方式中使用吸盘来构成转动限制部53，但不限于吸盘，也能采取各种结构。例如，如图12所示，也可以在保持部件5上设置能与磨轮33的磨削水供给孔333自由卡合和松脱地配合的多根销来作为转动限制部54。
还有，在本实施方式中，利用了用于保管磨轮33的轮盒来作为保持部件，但也可以使用专门用于安装磨轮的工具。图13是表示使用了工具的保持部件7的结构例的立体图。保持部件7形成有容纳凹部71，该容纳凹部71以非接触地覆盖环状的磨具部332的状态容纳磨轮33的框架部330的自由端面331。容纳凹部71的深度设定成：在容纳了自由端面 331侧的状态下，固定端面334侧能够露出。保持部件7是由ABS、聚乙烯等树脂或铝等金属那样较软的部件形成的。
而且，保持部件7在与磨轮33的外周面抵接的内壁部分上具有转动限制部72，该转动限制部72限制所容纳的磨轮33绕轴心的转动。例如如图13所示，转动限制部72由等间隔地配设在内壁上的四处的橡胶等、具有弹性且摩擦系数大的部件构成。另外，还可以代替橡胶，通过使保持部件7的内壁部分的一部分向内侧突出而成的凸起或爪部等，来构成转动限制部72。另外，在保持部件7的外表面侧中央部，具有用于由作业人员把持保持部件7的未图示的把手。
在使用这种保持部件7的情况下，在安装磨轮33时，例如如专利文献1等所示那样，在容纳在轮盒内的、自由端面331侧朝上的磨轮33上，以容纳凹部71朝下的方式罩上保持部件7，由此使磨轮33的自由端面331侧容纳在容纳凹部71中。此时，由于框架部330的侧面压接在内壁部分的转动限制部72上，磨轮33被轻轻地固定。于是，通过把持把手将罩在磨轮33上的保持部件7翻过来，如图14所示，磨轮33成为固定端面334相对于保持部件7而在上方露出的容纳状态。由此，之后与保持部件5的情况一样，能够把磨轮33安装到轮座32上。即使在进行该安装时，当使保持部件7绕轴心略微转动时，磨轮33也会受到转动限制部72的限制而一体地转动，不会损害安装作业性。
而且，本实施方式作为如下的结构例的应用例进行了说明：在轮座32上具有临时固定用的螺栓***长孔320，在临时固定磨轮33之后进行固定，但即使在不具有螺栓***长孔320和卡合凸起321和被卡合长孔336、将磨轮33不是临时固定而直接螺纹固定在轮座32上的情况下，也能够同样适用，在该情况下，如果使用保持部件5、7来安装磨轮33，作业也变得容易。
Claims (2)
1.一种磨轮安装方法，其是将磨轮可旋转地安装到轮座上的磨轮安装方法，其中上述磨轮在圆环状的框架部的自由端面上呈环状地配设有磨具部，并且该磨轮具有固定端面，其特征在于，
保持部件以覆盖上述磨具部的状态容纳上述磨轮的上述自由端面，在上述磨轮的上述自由端面容纳在上述保持部件中的状态下，在使露出的上述框架部的上述固定端面与上述轮座接触的同时，通过固定单元将上述轮座与上述磨轮固定起来。
2.根据权利要求1所述的磨轮安装方法，其特征在于，
上述保持部件具有限制所容纳的上述磨轮的转动的转动限制部。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |