CN101239698B - 具有改进的止动结构的z轴微机电装置 - Google Patents

具有改进的止动结构的z轴微机电装置 Download PDF

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Abstract

在微机电装置(1)中，移动块(2)通过弹性悬挂元件(5)悬挂在衬底(3)上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件(5)旋转，覆盖结构(10)设置在移动块(2)上方并且具有朝向移动块(2)的内表面(10a)，以及止动结构(12，14)布置在所述覆盖结构(10)的内表面(10a)处并且向移动块(2)延伸，从而停止移动块(10)沿着衬底(3)的横截轴(z)远离衬底(3)的移动。相对于移动块(2)布置止动结构(12，14)从而减少相互的静电作用的影响，特别是使移动块(2)关于弹性悬挂元件(5)的合成扭矩最小化。

Description

具有改进的止动结构的Z轴微机电装置
技术领域
本发明涉及一种具有改进的止动结构的z轴微机电装置。现有技术中已知的微机电装置(MEMS型)，例如惯性传感器、加速计、陀螺仪等等，它们的操作基于由半导体材料制成的悬挂结构的存在，该悬挂结构通过弹性悬挂元件在一个或多个锚固点而固定到衬底，并且可以根据悬挂元件的构造而沿着一个或多个轴移动。当存在外部激励时，悬挂结构形成了一个或多个经受相对于衬底的位移的移动块。
背景技术
具体地，z轴MEMS装置是已知的，包括：移动块，该移动块能够围绕由相应悬挂元件限定的支承轴旋转出其主要扩展的xy平面，从而引起沿着垂直于xy平面的z轴的合成移动。移动块是不平衡的，由于它包含相对于悬挂元件设置在相对侧面上并且关于支承轴具有不同扭矩的第一部分和第二部分。一个沿着垂直于移动块平面方向的应力(例如，加速度)导致其沿着支承轴的旋转(或倾斜)，旋转的量和方向与应力的量有关。
在已知的方法中，由于外部事件例如碰撞或震动，微机电装置的移动块可能经受不需要的、沿与xy平面正交的z轴移动出其主要扩展xy平面的相当大量的位移。在最坏的情况下，这个位移可以导致与移动块相关联的悬挂元件的断裂，或者该移动块和/或微机电装置的其它元件的损坏。
由于这个原因，在由平面制造工艺制成的MEMS装置中提供止动结构(通常所说的“止动件”)；设计止动件以限制移动块和相应的悬挂元件的移动，因此防止不需要的损坏。
止动结构通常制成覆盖并包裹微机电装置的封装体或盖的向下的凸块。具体地，指向移动块的凸块从封装体的内表面朝向移动块的顶面延伸。封装体的这些凸起部分减少了移动块沿z轴的移动范围；具体地，移动块在损坏发生之前抵靠凸块而停止。
然而封装体在凸起部分接近移动块，所以如果移动块和封装体处在不同的电位，则会产生具有不可忽视的量的静电相互作用。这个相互作用可以导致移动块的不需要的移动，并且通常导致微机电装置故障：详细地，在传感器装置的情况下，可能发生存在外部电场时的零电位(例如，加速计0g电平)移动，或发生输出信号不成比例。由于所述封装体，这种情况的发生是相当频繁的，从而与封装体耦合的凸块通常处于浮动的电位，因此与移动块不在相同的电位，或者凸块处于固定的电位同时根据装置的操作条件向移动块供应不同的电位。
为了克服这些缺点已经提出其他类型的止动结构。例如，由本申请人在2006年7月26日提出的专利申请号为WO-PCTIT0600576的专利申请中公开了一种止动结构，包括固定耦合至移动块并且设置成抵靠止动块的止动元件，其在xy平面内朝向移动块，以限制该寄生移动(spuriousmovement)的方式响应于沿着z轴的寄生移动。详细地，止动元件设置在止动块的与寄生移动方向相对的一侧，并且沿着z轴延伸出移动块占据的空间和进入止动块占据的空间。
发明内容
本发明的目的是提供一种具有止动结构的微机电装置，该止动结构将对现有技术构成改进并且能够克服上述问题和缺点，特别地能够减少由于震动的断裂风险，并且同时不会显著影响装置的正确操作。
根据本发明的微机电装置包括：
移动块，通过弹性悬挂元件悬挂在衬底上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件旋转；
覆盖结构，布置在所述移动块上方，并且具有朝向所述移动块的内表面；以及
止动结构，布置在所述覆盖结构的所述内表面处并且向所述移动块延伸，所述止动结构设计成停止所述移动块沿着所述衬底的横截轴远离所述衬底的移动，
其特征在于，相对于所述移动块布置所述止动结构，从而减少相互作用的影响。
附图说明
为了更好的理解本发明，现在仅通过不受限制的实施例方式并且参照附图描述其优选的实施例，其中：
图1a示出了根据本发明一个实施例的微机电装置和相应止动结构的平面示意图；
图1b示出了图1的装置沿图1a的I-I线的横截面示意图；
图2a-6a分别示出了与图1a相似的微机电装置的不同实施例的平面示意图；
图2b-6b示出了图2a-6a的装置沿图2a-6a的II-II-VI-VI线的横截面示意图；
图7示出了根据本发明另一方面的微机电装置的平面示意图；以及
图8示出了包含根据本发明的微机电装置的电子设备的简化框图。
具体实施方式
在下文中将要阐明，本发明的一个方面设想形成移动块的止动结构作为相应封装体的一个或多个向下的凸块，并且以这样的方式相对于移动块布置凸块，从而使合成的相互静电作用的影响最小化。
详细地并参照图1a-1b进行描述，根据本发明的第一实施例制造的微机电装置1包括悬挂在衬底3上方的移动块2，该衬底3由半导体材料制成，特别是由硅制成；移动块2由导电材料例如多晶硅制成。移动块2主要在xy平面中延伸，并且在移动块2内部横向贯穿其厚度提供窗口4；例如，窗口4具有基本为矩形的形状，在xy平面的第一方向x上具有主要的扩展(长度)，并且在xy平面的与第一方向x正交的第二方向y上具有较小的扩展(宽度)。移动块2通过具有扭转和弹性特性的悬挂元件5连接至刚性固定至衬底3的锚具(anchorage)6。锚具6通过设置在衬底和该锚具之间的粘着区域7连接至衬底3。悬挂元件5和锚具6都布置在窗口4中，并且悬挂元件5具有拉长的形状并在锚具6的相对侧面上向移动块2延伸，与第一方向x对准，为移动块限定了倾斜(或旋转)轴8。使用已知技术从相同的导电结构层例如多晶硅获得移动块2、悬挂元件5和锚具6。
移动块2具有不平衡的并且由于块的中心没有位于倾斜轴上而相对于倾斜轴8不对称的构造。此外，移动块2被窗口4化分成较大部分2a，较小部分2b以及连接位于窗口4沿第一方向x的相对侧面上的较小和较大部分的连接部分2c。具体地，较大部分2a具有较大的宽度并且设置在悬挂元件5的沿第二方向y与较小部分2b相对的侧面上。在较大和较小部分2a，2b的下面分别提供电极9a，9b(仅在图1a-1b中示出)。电极9a，9b设置在衬底3的上方并且由例如多晶硅制成，并且当施加适当偏压时，与移动块上的覆盖部分一起形成各自的检测电容器。
在使用过程中，假定移动块2相对于倾斜轴8不平衡，沿z轴的应力(例如，加速度)导致移动块2相对于锚具6和衬底3的旋转。实际上，由于较大部分2a和较小部分2b产生不同的力矩(所述力矩以已知方式对应于力和相对于旋转轴的力臂之间的乘积)，所述应力导致移动块2关于倾斜轴8的合成扭矩。因此，较大部分2a和较小部分2b中的一个接近，同时另一个远离各自的电极9a，9b，从而产生检测电容器的电容不平衡。基于该不平衡，通过已知工艺方便地集成在衬底3中的适当的检测电子设备(这里没有示出)可以确定沿z轴施加的应力的量。
如图1b所示，微机电装置1还包括盖(或封装体)10(在图1a中为了解释清楚而没有示出)，覆盖在衬底3和移动块2的上面，并且具有内表面10a，该内表面10a通常与其面对的移动块2的表面分离开第一间距d1。该第一间距d1具有较高的值，例如等于160μm，这样在移动块2和盖10具有不同电位的情况下，使与移动块的静电相互作用基本可以忽略。由半导体材料或其他材料(例如玻璃)制成的盖10以已知的方式连接至衬底3，例如通过键合技术，从而封装所述装置。
微机电装置1还包括配置有至少第一止动元件12的止动结构，所述止动结构设计成限制移动块2以及相关联的悬挂元件5沿z轴的不需要的移动，因此减少例如发生震动事件时的断裂的风险。第一止动元件12形成为盖10的向下的凸起部分，并且从内表面10a向移动块2延伸。例如，第一止动元件12和盖10从材料的单个晶片开始制造，第一止动元件12由化学蚀刻限定，例如通过湿TMAH蚀刻限定。第一止动元件12具有相当大的厚度，例如等于150μm，从而通过具有较小值例如等于10μm的第二间距d2与移动块2分隔开。因此在第一止动元件12与移动块2处于不同电位的情况下，第一止动元件12与移动块2之间会产生相当大的静电相互作用。
然而根据本发明的一个方面，由于静电相互作用，止动结构相对于移动块2以使得该移动块关于倾斜轴8的扭矩最小化的方式布置。
详细地，在所述第一实施例中，第一止动元件12设置在倾斜轴8附近；具体地，该第一止动元件12布置在倾斜轴8上并以该倾斜轴为中心。第一止动元件12具有拉长的形状，完全覆盖窗口4(沿第二方向y具有较大的扩展)，并且沿平行于倾斜轴8的第一方向x延伸，贯穿并通过移动块2，因此横越连接部分2c。在移动块和止动元件之间可能存在的静电相互作用力相对于倾斜轴8具有小力臂，并且在任何情况下都会在设置在倾斜轴8的相对侧面上的移动块部分上产生基本相等并相反的扭矩，因此施加在移动块2上的合成扭矩基本为零(假定忽略封装体10的影响，给定了与移动块的距离的情况下)。
如图2a-2b所示，在本发明的第二实施例中，止动结构包括具有基本相同形状和尺寸的第一止动元件12和第二止动元件14，在窗口4的相对侧面上沿第二方向y延伸贯穿移动块2的宽度，并且沿第一方向x与移动块2的相对侧面重叠。具体地，再次形成为盖10的向下凸起部分(以与前述完全相似的方式)的第一和第二止动元件12，14，在各自的相对侧面具有与在下面的移动块2重叠的小范围，并且主要在移动块的外部沿宽度方向延伸。在本实施例中，假定重叠的范围小时，移动块2和盖10(以及第一和第二止动元件12，14)之间由于它们的电位差而产生的静电相互作用最小。然而，在移动块2上产生了微小的合成扭矩：实际上，因为较大部分2a与较小部分2b相比沿第二方向y与止动元件重叠的量更大(而各自沿第一方向x的重叠量相同)，所以移动块2的较大部分2a与较小部分2b相比围绕倾斜轴8产生较大扭矩。
为了克服上面的条件并且获得移动块2的基本为零的合成扭矩，本发明的第三实施例(图3a-3b)设想以与前述相似的方式布置的第一和第二止动元件12，14具有使在移动块2的较大和较小部分2a，2b上产生的扭矩平衡的构造。具体地，在这种情况下，止动元件12，14的形状成形为，使止动元件12，14与较小部分2b相比具有比较大部分2a更大的重叠范围(以这样的方式平衡与较大部分2a之间的静电相互作用力的较大力臂的影响)。详细地，第一和第二止动元件12，14在与上述较小部分2b的重叠范围中具有第一宽度L1(沿第一方向x)，并且在与上述较大部分2a的重叠范围中具有小于第一宽度L1的第二宽度L2。第一和第二宽度L1，L2的尺寸使得相对于移动块2的较大和较小部分2a，2b的倾斜轴8的扭矩量平衡，从而在移动块上产生零合成扭矩(再一次忽略封装体10的静电相互作用的贡献)。
在本发明的第四实施例中，如图4a-4b所示，第一和第二止动元件12，14再次布置在窗口4沿第一方向x的相对侧面上，特别地布置在相应的并且以倾斜轴8为中心的位置。止动元件12，14因此仅与移动块2的连接部分2c重叠，并且主要在移动块外部沿长度方向延伸。如第一实施例所述，止动元件位于倾斜轴8的布置能够使移动块2上的合成扭矩最小化。
此外，图4a，4b描述的止动元件的构造相对于图1a，1b中描述的构造(设想设置在倾斜轴8上的移动块整个长度上的单个连续止动元件)可以有利地改进，对在衬底3和盖10之间制造过程中(例如，在焊接步骤中)可能发生的未对准更加不敏感。特别是，沿第二方向y发生的未对准可以导致移动块2的不需要的扭矩；它们的消极影响通过减少移动块和止动元件之间的重叠范围(因此减少静电相互作用)而减少(如图4a，4b所示)。
现在参照图5a-5b，本发明的第五实施例设想第一和第二止动元件12，14设置在窗口4和倾斜轴8的相对侧面上，与倾斜轴的距离相等，并且具有基本相等的形状和尺寸(在这种情况下，远小于移动块2的尺寸)。此外，在所述实施例中，止动元件沿第二方向y相对于移动块2在中心位置对准(具体地，对准锚具6)，并且布置在窗口4附近。同样在本实施例中，因为存在较大和较小部分2a，2b的力矩的基本精确的平衡(止动元件与移动块实际上具有相同的重叠范围并且位于与倾斜轴距离相同的位置上)，所以移动块2上的合成扭矩基本为零。
在本发明的第六实施例中(图6a-6b)，第一和第二止动元件12，14再次设置在窗口4的相对侧面上，并且沿第一方向x延伸并贯穿移动块2的长度，与移动块2相对于倾斜轴8的侧面重叠。为了平衡移动块2的较大和较小部分2a，2b的扭矩，并且具体地为了平衡相应的相互作用力的不同力臂，放置在较小部分2b上方的第一相互作用元件12与在下面的较小部分的重叠范围大于第二止动元件14与在下面的较大部分2a的重叠范围。具体地，第一止动元件12的重叠量(沿第二方向y)大于第二止动元件14的相应的重叠量(而各自沿第一方向x的重叠量相同)。
根据本发明的再一方面(见图7)，微机电装置1包括：彼此相同并且沿第二方向y对准的第一和第二移动块2，2′，旋转第二移动块2′使其相对于第一移动块2颠倒(相应的较小部分2b，2b′因此设置在近距离并且沿第二方向y彼此面对)；和彼此相同并且分别与第一和第二移动块相关联的第一和第二止动结构12，12′。移动块和相应的止动结构以与第一实施例(图1a-1b)所述的完全相同的方式制成，并且具体地，移动块悬挂在上方并且锚固至上述衬底3。因此，每一个止动结构相对于相应的移动块以这样的方式设置，即，使得上述移动块的扭矩由于相互的静电作用而最小化。
此外，分别面向第一和第二移动块2，2′的较大部分2a，2a′的电极9a，9a′通过连接线16a而电连接在一起，同样地，分别面向上述移动块的较小部分2b，2b′的电极9b，9b′通过各自的连接线16b而电连接在一起(如图7所示)。此外，第一和第二移动块2，2′电连接在一起。这样，由移动块的较大和较小部分与各自的电极形成的检测电容器并联，并且相应的电容不平衡产生累积。
所述构造是特别有利的，这是由于所述构造在检测沿z轴施加的应力时(假设由两个移动块形成的检测电容器的电容贡献相加)具有双倍的灵敏度，并且对盖10和衬底3之间的未对准，具体地指那些沿第二方向y的未对准还特别地不敏感。实际上，这种未对准例如会导致和第一移动块2相关联的第一止动元件12与该移动块的较小部分2b的更大重叠，以及会引起相应检测电容器的不平衡的关于倾斜轴8的相应扭矩。然而同时，这个未对准导致和第二移动块2′相关联的第一止动元件12′与该移动块的较大部分2a′的更大重叠，以及会引起相应检测电容器的相反不平衡的关于倾斜轴8的相应扭矩。基本上，由未对准引起的移动块的旋转会产生检测电容器的相等并相反的电容不平衡，从而施加至相应接口电子设备的合成电量(由电容不平衡的总量确定)不会经受明显的变化。由此所述装置的操作不会受到这些未对准的危害。
在已知的方式中，这种构造还能够拒绝关于倾斜轴8施加在微机电装置1上的角加速度的影响，该角加速度可能产生沿z轴的应力的误检测。
根据本发明的微机电装置和相应止动结构的优点已经在上文中清楚地描述。
在任何情况下，需要强调的是，这里提出的解决方法能够有效地停止移动块2和相关联的xy平面外的悬挂元件5的移动，因此保护装置不发生可能的断裂，并且同时减少或者甚至能够消除与为这个目的提供的止动元件之间的静电相互作用影响，而不会影响装置的电性能。
因此可能获得完美比例并且对于封装体的静电放电问题不敏感的z轴微机电装置。提出的止动结构改进了机械鲁棒性，并因此防止移动块冲击过程中的任何断裂风险。
图7中描述的实施例对于消除由制造过程中发生的盖和衬底之间的未对准产生的影响是特别有利的，具体地在所有情况下，由于该未对准，使得止动元件12，14与移动块2具有变化的重叠范围，因此在移动块上产生了合成扭矩。具体地，可以将具有明显改进的这种构造有利地应用至本发明的第四、第五和第六实施例。
所述装置在用于电子设备20(图8)中时是特别有利的，该电子设备20是便携式的，例如蜂窝式便携无线电话、个人数字助理、掌上型电脑或便携式计算机、数字音频播放器、遥控装置、摄影机或照相机等等，包括：微机电装置1(前述的类型)；偏压电路22，设计成为微机电装置1提供偏压电量(以已知的方式，因此在这里不详细描述)；接口电路24，设计成与微机电装置1连接，用于读取一个或多个与其相关的电量(以已知的方式，因此在这里不详细描述)；以及微处理器控制单元25，连接至接口电路24并设计成监控电子设备20的一般操作。
最后，显然地，如所附的权利要求书所限定的，对这里描述和说明的方案可以进行改进和变化，而不会因此背离本发明的保护范围。
具体地，可以采用不同形状和布置的止动元件，只要它们能够减少由相互的静电作用产生的移动块2的合成扭矩。移动块2可以具有不同的构造：例如，悬挂元件5可以分别向移动块2外部的锚具延伸；在这种情况下不提供横穿移动块中央的窗口4，并且移动块2只包含一个设置在较大和较小部分2a，2b之间中央位置的连接部分2c。微机电装置还可以包括更多数量的移动块，给每一个移动块提供相应的止动结构。
在通过干法刻蚀获得止动元件12，14的情况下，止动元件12，14可以具有基本直的壁，而不是倾斜的壁(如之前的图中所示)。此外，止动元件可以制成与盖10独立的元件，并且以任何已知的方式耦合至盖10。
最后，显然地，本发明可以有利地应用于所有z轴微机电装置(具有“倾斜的”和不平衡移动的移动块)，并且具体地可应用于诸如加速计、扩音器和陀螺仪的传感器装置。

Claims (22)

1.一种微机电装置(1)，包括：
移动块(2)，通过弹性悬挂元件(5)悬挂在衬底(3)上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件(5)旋转；
覆盖结构(10)，布置在所述移动块(2)上方，并且具有朝向所述移动块的内表面(10a)；以及
止动结构(12，14)，布置在所述覆盖结构(10)的所述内表面(10a)处并且向所述移动块(2)延伸，所述止动结构设计成停止所述移动块(2)沿着所述衬底的横截轴(z)远离所述衬底(3)的移动，
其特征在于，相对于所述移动块(2)布置所述止动结构(12，14)，从而减少由相互作用引起的所述移动块(2)关于所述弹性悬挂元件(5)的合成扭矩；所述相互作用是静电类型，并且是由所述移动块和所述止动结构的不同电位引起的。
2.根据权利要求1所述的装置，其中布置所述止动结构(12，14)，从而使所述合成扭矩最小化。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述弹性悬挂元件(5)对准并限定所述移动块(2)的旋转轴(8)，并且所述止动结构(12，14)设置在所述旋转轴(8)附近。
4.根据权利要求3所述的装置，其中所述止动结构(12，14)布置在所述旋转轴(8)上，并以所述旋转轴(8)为中心。
5.根据权利要求3所述的装置，其中所述止动结构包括第一止动元件(12)，延伸贯穿平行于所述旋转轴(8)的所述移动块(2)的长度。
6.根据权利要求3所述的装置，其中所述移动块(2)内部具有窗口(4)，所述弹性悬挂元件(5)设置在该窗口中，并且所述止动结构包括设置在所述窗口(4)的相对侧面上的第一止动元件(12)和第二止动元件(14)，并且沿所述旋转轴(8)与所述移动块的相对侧面重叠。
7.根据权利要求1所述的装置，其中所述移动块(2)相对于由所述弹性悬挂元件(5)限定的旋转轴(8)是不平衡的，并且包括设置在所述旋转轴(8)相对侧面上的较大部分(2a)和具有小于所述较大部分(2a)的尺寸的较小部分(2b)；设计与所述止动结构(12，14)的相互作用以产生所述较大部分(2a)的第一扭矩和所述较小部分(2b)的第二扭矩，所述第一和第二扭矩相对于所述旋转轴(8)是相反的，并且配置所述止动结构(12，14)从而平衡所述第一和第二扭矩。
8.根据权利要求7所述的装置，其中所述止动结构(12，14)包括与所述移动块(2)的所述较大部分(2a)重叠的第一部分和与所述移动块(2)的较小部分(2b)重叠的第二部分，所述第一和第二部分相对于所述旋转轴(8)设置在相反的侧面上；所述止动结构(12，14)的所述第一和第二部分设置在与所述旋转轴(8)距离相同的位置并且与所述移动块(2)具有相等的重叠范围；或者设置在与所述旋转轴(8)距离不同的位置上并且与所述移动块(2)具有不同的重叠范围，所述不同的重叠范围是各自与所述旋转轴(8)的距离的函数。
9.根据权利要求7所述的装置，其中所述止动结构包括彼此相等的第一止动元件(12)和第二止动元件(14)，这些止动元件设置在所述旋转轴(8)的相对侧面上并且与所述旋转轴(8)的距离相同。
10.根据权利要求7所述的装置，其中所述止动结构包括第一止动元件(12)和第二止动元件(14)，相对于所述旋转轴(8)与所述移动块(2)的相对侧面的整个范围重叠；所述第一止动元件(12)与所述移动块(2)的所述较小部分(2b)重叠，并且在所述旋转轴(8)的横向上具有的重叠量大于所述第二止动元件(14)与所述较大部分(2a)的相应重叠量。
11.根据权利要求7所述的装置，其中所述止动结构包括第一止动元件(12)和第二止动元件(14)，这些止动元件沿所述旋转轴(8)的横向延伸并且与所述移动块(2)的相对侧面的整个范围重叠。
12.根据权利要求11所述的装置，其中所述第一和第二止动元件(12，14)在所述移动块(2)的所述较小部分(2b)具有第一宽度(L1)，并且在所述移动块(2)的所述较大部分(2a)具有第二宽度(L2)，所述第一宽度(L1)大于所述第二宽度(L2)。
13.根据权利要求1所述的装置，其中所述移动块(2)主要在平面(xy)内延伸并且布置成围绕所述弹性悬挂元件(5)旋转出所述平面；设计所述止动结构(12，14)以限制所述移动块在所述平面(xy)的横向上的移动。
14.根据权利要求1所述的装置，其中所述止动结构(12，14)和所述覆盖结构(10)在相同的材料晶片中形成，并且所述止动结构是所述覆盖结构的朝向所述移动块的向下凸起部分。
15.根据权利要求1所述的装置，还包括悬挂在所述衬底(3)上方的另一个移动块(2′)，以及相应的另一个止动结构(12′)，以与各自移动块(2，2′)相应的方式布置所述止动结构(12，12′)从而减少相互作用的影响，并且旋转所述另一个移动块(2′)使其在所述弹性悬挂元件(5、5′)的扩展方向的横向(y)上相对于所述移动块(2)颠倒；其中分别面向所述移动块(2)和另一个移动块(2′)的相应部分的第一电极(9a，9a′)彼此电连接。
16.根据权利要求15所述的装置，其中所述移动块(2，2′)相对于各自的弹性悬挂元件(5，5′)是不平衡的，并且包括各自的较大部分(2a，2a′)和各自的较小部分(2b，2b′)，其中各自的较小部分具有小于所述各自的较大部分的尺寸，这些所述部分设置在各自的弹性悬挂元件(5，5′)的相对侧面上；面向所述移动块的各自的较大部分(2a，2a′)的所述第一电极(9a，9a′)，和另外提供的面向所述移动块的各自的较小部分(2b，2b′)的第二电极(9b，9b′)彼此电连接。
17.根据权利要求1所述的装置，其中布置所述止动结构(12，14)，从而使所述合成扭矩基本为零。
18.一种电子设备(20)，其特征在于，包括根据权利要求1所述的微机电装置(1)。
19.根据权利要求18所述的电子设备，其特征在于，所述微机电装置(1)为加速计、陀螺仪、扩音器中的一种。
20.一种制造微机电装置(1)的方法，包括：
形成移动块(2)，其通过弹性悬挂元件(5)悬挂在衬底(3)上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件(5)旋转；
在所述移动块(2)上方耦合具有朝向所述移动块(2)的内表面(10a)的覆盖结构(10)；以及
在所述覆盖结构(10)的所述内表面(10a)处形成止动结构(12，14)，并且向所述移动块(2)延伸，从而停止所述移动块(2)沿着所述衬底的横截轴(z)远离所述衬底(3)的移动，
其特征在于，形成止动结构(12，14)包括相对于所述移动块(2)布置所述止动结构，从而减少由相互作用引起的所述移动块(2)关于所述弹性悬挂元件(5)的合成扭矩，所述相互作用是静电类型，并且是由所述移动块(2)和所述止动结构(12，14)的不同电位引起的。
21.根据权利要求20所述的方法，其中相对于所述移动块(2)布置所述止动结构包括使所述合成扭矩最小化。
22.根据权利要求20所述的方法，其中相对于所述移动块(2)布置所述止动结构包括使所述合成扭矩基本为零。
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