JP6205582B2 - センサ - Google Patents
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Description
図1は実施の形態1における加速度センサ100の模式図である。図1(a)は加速度センサ100の上面図、図1(b)は図1(a)の加速度センサ100をX軸正方向からYZ平面に投影した図である。ここで、梁部104が支持部102から延出する方向をY軸方向、梁部104が支持部102から延出する方向に垂直な方向をX軸方向、錘部103の厚み方向であり、X軸とY軸に垂直な方向をZ軸方向、として表記する。なお、以降の全ての図面において、X軸、Y軸、Z軸を決める方法は同じであるものとする。
本発明の実施の形態の特徴部分について、実施の形態1との相違点を中心に説明する。
本発明の実施の形態の特徴部分について、実施の形態1との相違点を中心に説明する。
本発明の実施の形態の特徴部分について、実施の形態1との相違点を中心に説明する。
12、101 基板
13、102 支持部
14、103、401 錘部
15、104 梁部
16、105、106 突起部
202、203、225、226、232、233 突起部
301、321 突起部
402、403 突起部
107、108 検出部
201 上蓋
Claims (4)
- 第1の基板と、
前記第1の基板に接続された支持部と、
前記第1の基板と対向する錘部と、
一端が前記支持部に接続され、他端が前記錘部に接続された梁部と、
前記第1の基板に設けられた、第1、第2の突起部と、
前記錘部に対向する第2の基板と、
前記第2の基板に設けられた、第3、第4の突起部と、を備え、
前記第1の突起部と前記第2の突起部との間隔は、前記第3の突起部と前記第4の突起部との間隔よりも小さく、
前記錘部の上面から見た上面視において、前記第1の突起部および前記第2の突起部が前記錘部から露出せず、前記第3の突起部の一部および前記第4の突起部の一部が前記錘部から露出するセンサ。 - 前記第1の突起部と前記第2の突起部との間隔は、前記梁部の幅よりも大きく、かつ、前記錘部の幅よりも小さい請求項1に記載のセンサ。
- 前記第3の突起部と前記第4の突起部との間隔は、前記梁部の幅よりも大きく、かつ、前記錘部の幅よりも小さい請求項1に記載のセンサ。
- 前記錘部は、前記梁部の延出する方向に対して傾きを有する第1の端部を有し、
前記第1の突起部は、前記梁部の延出する方向と同じ方向に延びる第2の端部を有し、
前記第1の端部と前記第2の端部とが、前記錘部の上面からの上面視において交差する請求項1に記載のセンサ。
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US14/785,605 US20160084870A1 (en) | 2013-04-26 | 2014-04-17 | Sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014030314A JP6205582B2 (ja) | 2014-02-20 | 2014-02-20 | センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015155816A JP2015155816A (ja) | 2015-08-27 |
JP6205582B2 true JP6205582B2 (ja) | 2017-10-04 |
Family
ID=54775209
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2014030314A Active JP6205582B2 (ja) | 2013-04-26 | 2014-02-20 | センサ |
Country Status (1)
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JP2000338126A (ja) * | 1999-05-26 | 2000-12-08 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体加速度センサ |
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2014
- 2014-02-20 JP JP2014030314A patent/JP6205582B2/ja active Active
Also Published As
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