CN101181711A - 自动立式石英管清洗机及其清洗工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了属于清洗技术领域的一种自动立式石英管清洗机及其清洗工艺。由卧式零件清洗柜和立式石英清洗柜连成一体构成。在各柜内分别设置喷水、喷酸和喷气装置,柜的下部安装有储液罐和加热罐,在两罐之间固定有酸液回收罐和循环泵。本发明具有零件清洗和精洗工序连贯,工件可以在一个柜内或两个柜内完成酸洗、冲净,脱水和吹干等各道工序,亦可先经过初洗,再经精洗,提高清洗的洁净度,保证良好质量。酸液和水可以循环利用,节约成本的特点。

Description

自动立式石英管清洗机及其清洗工艺
技术领域
本发明属于清洗技术领域,特别涉及一种自动立式石英管(钟罩)清洗机及其清洗工艺。
背景技术
现有的玻璃、石英、陶瓷等较大的筒、管的清洗,大都是放在卧式酸洗槽泡洗,然后用大量水冲洗,再酒精脱水或热氮烘干。往往会有残留的酸液仍留在石英管内壁,不容易冲净,影响清洗质量。经过的工序多,来回搬运、易碎,不安全。
发明内容
本发明的目的是提供一种自动立式石英管清洗机及其清洗工艺,其特征在于,所述立式石英管清洗机由卧式零件清洗柜和立式石英清洗柜连成一体构成。在卧式零件清洗柜1的工作台面13上嵌入酸洗槽5和水洗槽6,台面13上还设置有液体喷枪3和气体喷枪4,液体喷枪3用于喷水或喷酸;气体喷枪4用于喷气,台面13下面放置储液罐9和加热罐12,在两罐之间固定有酸液回收罐10,下接循环泵11,在零件清洗柜1的后壁上有排风口2,顶上安装有日光灯24和排风管23;初洗柜1的前面固定控制面板22,柜顶竖放一声、光报警器21。在与零件清洗柜1相连的立式石英清洗柜20内,下部安装电机14,电机14上有转盘15,中部内壁上固定工件支架18,工件由工件支架18支撑在转盘15上,转盘15两边相对安装喷淋管16,柜顶内面吊置一个管式喷嘴19。
所述储液罐9内侧壁上固定有下液位报警8和上液位报警7。
所述加热罐内有气体管道和液体管道通过。
所述排风口为百页窗式或长方口式。
所述循环泵11通过塑料管与喷枪、喷淋管和管式喷嘴连通。
所述立式清洗柜20内的石英管(钟罩)内外壁可喷酸、喷DIW、喷热氮并且喷嘴的角度可调。
所述酸洗槽5和水洗槽6均设带有虑网的排液口和排渣口。
所述自动立式石英管清洗机的清洗工艺,其清洗工艺流程如下:
1)首先将清洗另件放入清洗机立式石英清洗柜20内的电机14上的转盘15上固定在立式活动的工件支架18上;
2)检查水、电、气是否正常,然后启动操作按钮,使活动气缸自动压紧清洗另件;
3)关闭立式石英清洗柜20的活动门;
4)启动电机14开关,转盘15转动以7转/MIN的速度转动;
5)按下面步骤顺序:对零件进行内外壁自动喷酸,进入酸洗程序,自动卸酸、开水阀,高压水喷射内外壁、同时排水阀打开排水,并由安装在排水口的现式电阻率检测仪随时监控水质、水质合格报警、热氮气吹干、合格报警、完成整个清洗工序,操作人员将清洗另件罩取出,包装、存放。
本发明的有益效果是零件清洗和石英管(钟罩)立式精髓清洗工序连贯,工件可以在一个柜内完成酸洗、冲净,脱水和吹干等各道工序,亦可先经过初洗,再经精洗,提高清洗的洁净度,保证良好质量。酸液和水可以循环利用,节约成本。
附图说明
图1为立式石英管精洗机结构示意图。
具体实施方式
本发明提供一种自动立式石英管(钟罩)清洗机及其清洗工艺。所述自动立式石英管清洗机由卧式清洗柜和立式石英清洗柜连成一体构成。在卧式零件清洗柜1的工作台面13上嵌入酸洗槽5和水洗槽6台面13上还设量有液体,喷枪3和气体喷枪4,液体喷枪3用于喷水或喷酸,用具有一定压力的水或酸对石英管内外壁进行喷冲,附着在管内外壁上污物被压力水冲,很容易脱落,再经过脱水,气体喷枪4用40~80℃的热氮气对管内外存在的残留酸、水液膜喷吹、烘干,缩短烘干时间,台面13下面放置储液罐9和加热罐12,储液罐9内侧壁上固定有下液位警8和液位报警7。加热罐12内有气体管道和液体管道通过,为设备提供热水、热酸和热气;在两罐之间固定有酸液回收罐10,用过的废酸,废水经过回收罐10的处理,由下接循环泵11返回至储液罐9,予以重复利用,在零件清洗柜1的后壁上有百页窗式或长方口式的排风口2,将酸气抽入排风管23排出,保障工人的安全。加热罐12内有气体管道和液体管道通过,为设备提供热水、热酸和热气;在两罐之间固定有酸液回收罐10,用过的废酸,废水经过回收罐10的处理,由下接循环泵11返回至储液罐9,予以重复利用,在零件清洗柜1的顶上安装有日光灯24和排风管23,前面固定控制面板22,柜顶上竖放一声,光报警器21。与零件清洗柜1相连的立式石英清洗柜20内,下部安装电机14,电机14上有转盘15,中部内壁上固定工件支架18,工件由工件支架18支撑在转盘15上,转盘15两边相对安装喷淋管16,柜顶内面吊置一个管式喷嘴19。上述循环泵11通过塑料管与喷枪、喷淋管和管式喷嘴连通,在立式石英清洗柜20内,对石英管清洗进行自动清洗,其清洗工艺流程如下:
1)首先将清洗另件放入清洗机立式石英清洗柜20内的电机14上的转盘15上固定在立式活动的工件支架18上;
2)检查水、电、气是否正常,然后启动操作按钮,使活动气缸自动压紧清洗另件;
3)关闭立式石英清洗柜20的活动门;
4)启动电机14开关,转盘15转动以7转/MIN的速度转动;
5)按下面步骤顺序:对零件进行内外壁自动喷酸(按通用工艺配制的酸洗液),进入酸洗程序,自动卸酸、由循环泵11返回至储液罐9处理后,予以重复利用。开水阀,高压水喷射内外壁、同时排水阀打开排水,并由安装在排水口的电阻率检测仪随时监控水质、水质超标报警、用70℃的热氮气吹干、合格报警、完成整个清洗工序,操作人员将清洗另件罩取出,包装、存放。
本发明具有工序连贯,在一个柜内完成各道工序,提高清洗的洁净度,保证良好质量。酸液和水可以循环利用,节约成本的特点。

Claims (10)

1.一种自动立式石英管清洗机,其特征在于,所述自动立式石英管清洗机由控制电源、连成一体的卧式零件清洗柜和立式石英清洗柜构成;在卧式零件清洗柜(1)的工作台面(13)上嵌入酸洗槽(5)和水洗槽(6),台面(13)上还设置有液体喷枪(3)和气体喷枪(4),液体喷枪(3)用于喷水或喷酸;气体喷枪(4)用于喷气;台面(13)下面放置储液罐(9)和加热罐(12),在两罐之间固定有酸液回收罐(10),下接循环泵(11),在零件清洗柜(1)的后壁上有排风口(2),顶上安装有日光灯(24)和排风管(23);零件清洗柜(1)的前面固定控制面板(22),柜顶竖放一声、光报警器((21);在与零件清洗柜(1)相连的立式石英清洗柜(20)内,下部安装电机(14),电机(14)上有转盘(15),中部内壁上固定工件支架(18),工件由工件支架(18)支撑在转盘(15)上,转盘(15)两边相对安装喷淋管(16),柜顶内面吊置一个管式喷嘴(19)。
2.根据权利要求1所述自动立式石英管清洗机,其特征在于,所述储液罐(9)内侧壁上固定有下液位报警(8)和上液位报警(7)。
3.根据权利要求1所述自动立式石英管清洗机,其特征在于,所述加热罐内有气体管道和液体管道通过。
4.根据权利要求1所述自动立式石英管清洗机,其特征在于,所述排风口为百页窗式或长方口式。
5.根据权利要求1所述自动立式石英管清洗机,其特征在于,所述循环泵通过塑料管与喷枪、喷淋管和管式喷嘴连通。
6.根据权利要求1所述自动立式石英管清洗机,其特征,气体喷枪用气体为氮气。
7.根据权利要求1所述自动立式石英管清洗机,其特征在于,所述立式石英清洗柜(20)内的石英管内外壁喷淋的喷淋管和管式喷嘴的角度可调。
8.根据权利要求1所述自动立式石英管清洗机,其特征在于,所述酸洗槽(5)和水洗槽(6)均设带有虑网的排液口和排渣口。
9.一种权利要求1所述自动立式石英管清洗机的清洗工艺,其特征在于,其清洗工艺流程如下:
1)首先将清洗另件放入清洗机立式石英清洗柜(20)内的电机(14)上的转盘(15)上固定在立式活动的工件支架(18)上;
2)检查水、电、气是否正常,然后启动操作按钮,使活动气缸自动压紧清洗另件;
3)关闭立式石英清洗柜(20)的活动门;
4)启动电机(14)开关,转盘(15)转动以7转/MIN的速度转动;
5)按下面步骤顺序:对零件进行内外壁自动喷酸,进入酸洗程序,自动卸酸、开水阀,高压水喷射内外壁、同时排水阀打开排水,并由安装在排水口的现式电导率检测仪随时监控水质、水质超标报警、热氮气吹干、合格报警、完成整个清洗工序,操作人员将清洗另件罩取出,包装、存放。
10.一种权利要求1所述自动立式石英管清洗机的清洗工艺,其特征在于,所述热氮气为40~80℃。
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Assignee: Suzhou CSE Semiconductor Equipment Technology Co., Ltd.

Assignor: Xu Zhulin

Contract record no.: 2010320000696

Denomination of invention: Automatic vertical quartz tube cleaning machine and cleaning technique thereof

Granted publication date: 20091021

License type: Exclusive License

Open date: 20080521

Record date: 20100526

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Effective date of registration: 20120914

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Patentee after: Jiangsu Hua can Photoelectric Technology Co. Ltd.

Address before: 100053, Beijing Xuanwu District reservoir Camp No. nine

Patentee before: Xu Zhulin

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Granted publication date: 20091021

Termination date: 20151113

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