CN100551554C - 用于面板处理***的吸取单元组件 - Google Patents

Abstract

一种用于面板处理***的吸取单元组件，包括：压力流体生成单元；流体供给单元，该流体供给单元具有与所述压力流体生成单元相通的供给通道，并具有排出室；将由供给通道供给的压力流体引导至排出室的导向单元；以及吸取单元，该吸取单元具有与所述导向通道相通且通过压力流体的流动而形成负压的吸取通道。

Description

用于面板处理***的吸取单元组件

技术领域

本发明涉及一种用于面板处理***的吸取单元组件，特别是指一种能够有效清除平面显示板等面板上的清洁剂或其它液体异物的吸取单元组件。

背景技术

一般来讲，如平板显示器、半导体晶片、液晶显示器和光掩模玻璃等面板都是经过一系列诸如沉积、蚀刻、剥离、清洁以及冲洗等工序进行处理的。

清洁工序的作用是清除在各种工序中所使用的化学制剂或其它物品。也就是说，通过在预定压力下向面板表面喷射清洁剂来清除附着在面板表面的任何化学制剂和异物。

然而，有些残留异物，如清洁剂，可能在清洁过的面板上仍然存在。

那些残留异物可能包含处理面板所使用的剩余的处理剂。因此，如果不在清洁工序之后及时清除那些剩余的处理剂，就可能导致面板存在瑕疵或者因化学反应而造成的面板处理质量降低。

为了清除那些继续存在于清洁过的面板之上的残留异物，采用了一种使用真空的压力吸取单元。这种吸取单元可以安装在邻近清洁工序中所使用的清洁槽中的清洁部分的位置，或者设置在位于清洁工序与烘干工序之间的独立区域。

通常的吸取单元都被设计成包含多个吸嘴，这些吸嘴都被连接至一个主吸取通道。当这些吸嘴中有吸力产生时，面板上的残留异物就会被这些吸嘴吸除。

然而，由于多个吸嘴都被连接至同一个吸取通道，而且所有吸嘴的吸力都由一个驱动设备通过该吸取通道产生，以致无法获得充足的吸力。

而且，各吸嘴的吸力根据各自连接至该主吸取通道位置的不同而各不相同。也就是说，那些在近位置连接至主吸取通道的吸嘴的吸力要大于那些在远位置连接至主吸取通道的吸嘴的吸力。因而导致吸取操作无法在面板的整个表面均匀进行，降低了面板的处理质量。

尤其当面板尺寸被扩大时，这一问题就有可能变得更为严重。由于当面板尺寸被扩大后，吸取单元的主体部分也要进行扩大，并且吸取通道的长度也要增加，因此，吸力变化就变得更加严重，最终降低工作效率和工作兼容性。

由于这些吸嘴的通道通常都被制成环状，因此当去除残留异物时，形成了由该环状连接的吸嘴所限定的吸取区域。环状吸嘴结构无法在限定出的吸嘴间的区域提供均匀的吸取作用，以致清除效率降低。

发明内容

因此，本发明致力于解决上述问题。

本发明的一个目的在于提供一种能够通过在诸如气体的压力流体的单方向上产生吸力，以有效清除面板表面异物的吸取单元组件。

本发明的另一个目的在于提供一种能够在面板整个表面施加均匀吸力，从而提高异物清除效率和面板处理质量的吸取单元组件。

为了实现以上目的，本发明提供了一种用于面板处理***的吸取单元组件，该组件包括：朝向面板表面设置且具有多个用于吸取附着在面板上的异物、且并排设置的吸取通道的吸取单元；以及朝向吸取单元设置且具有多个与所述各吸取通道相应的用于引导压力流体流动，从而在吸取通道中形成吸收异物的吸力的导向通道的导向单元；其中所述多个吸取通道和导向通道的组合在与面板移动的方向相交叉的方向上，限定出矩形吸取区域。

根据本发明的另一方面，提供了一种用于面板处理***的吸取单元组件，该组件包括：压力流体生成单元、具有与所述压力流体生成单元相通的供给通道以及排出室的流体供给单元、具有多个导向通道的并用于将所述供给通道供给的压力流体引导至排出室的导向单元，以及具有与所述导向通道相通且通过压力流体流动而形成负压的吸取通道的吸取单元。

附图说明

所提供附图用于进一步理解本发明，并作为本申请的一部分说明本发明实施例，同时与文字描述一起用于解释本发明的主要原理。其中：

图1为根据本发明一个优选实施例的吸取单元组件的透视图；

图2为根据本发明一个实施例的吸取单元组件的局部放大分解透视图；

图3为根据本发明一个实施例的吸取单元组件内部结构的侧向截面图；

图4为用于说明图3所示的吸取单元组件中形成的吸取通道布置的截面图；

图5示出了图4所示吸取通道通过吸取而形成于面板上的吸取区域的平面图；

图6为用于说明根据本发明一个实施例的吸取单元组件的吸取操作的局部剖视图；和

图7为根据本发明另一个实施例的吸取单元组件的透视图。

具体实施方式

下面将结合附图详细说明本发明的优选实施例，其中，在各个附图中所使用的相同标号都尽可能表示相同或相近部件。

首先参照图1至图3，本发明的吸取单元组件包括：具有多个用于吸取存在于面板G上的残留液体W的吸取通道H1的吸取单元2，以及对应于吸取通道H1设置且用于引导压力流体A形成吸取残留液体的低压环境的导向单元4。

在本实施例中，如图1所示，该吸取单元组件的安装对应于由通常的面板传送装置M所限定的面板传送部分。

该吸取单元2用于在向吸取通道H1施加负压以降低通道压力时，吸取存在于面板G上的残留液体W，且该吸取通道H1与沿导向单元4所引导方向流动的压力流体A所流经的通道相通。

该吸取单元2可以设置为在横穿面板G的方向形成吸取区域，该面板G随图1所示面板传送部分移动。

该吸取单元2可以由诸如不锈钢基(SUS-based)金属、工程塑料、合成树脂以及其它类似材料制成。

形成于吸取单元2上的吸取通道H1可以制成各种结构，以吸取附着在面板上的残留液体W。在本实施例中，如图3所示，每个吸取通道H1都包含水平通道部分6b和与该水平通道部分相通的垂直通道部分6a。该垂直通道部分6b与形成于导向单元4上的导向通道H2相对应，该垂直通道部分6a用于直接吸取残留液体W。

如图2和图4所示，该吸取通道H1在吸取单元2的纵向上生成，且各通道彼此间隔。如图5所示，各吸取通道H1之间的间隔距离限定在一定范围之内，从而在该范围内在横穿面板G的方向上形成矩形吸取区域，并且实现在面板G整个表面区域的均匀吸取操作。

如图4所示，该吸取单元2具有一个公共通道部分8，各垂直通道部分6a在各自的吸取端通过该公共通道部分8彼此相通。

通过该公共通道部分8，吸力可以被均匀施加，甚至在各吸取通道H1之间限定的区域上也是如此，当残留液体W被通过各吸取通道H1所施加的吸力吸收时，残留液体W就能够从面板G整个表面被均匀去除。

导向单元4用于引导压力流体A的流动，从而引导通过吸取单元2的吸取通道H1去除残留液体W的吸取操作。也就是说，如图2所示，导向单元4包含多个将空间分割成若干部分的薄板10。分割出的部分通过引导压力流体A的导向通道H2彼此相连(参见图3)。

压力流体A可以由没有任何杂质的纯净气体或用于清洁面板G的清洁干空气制成。压力流体A通过气体供给单元12供给，气体供给单元12位于图2中相对导向单元4来说吸取单元2的对侧。

气体供给单元12被制成与导向单元4相适应的矩形盒状，且在其内部有一个供压力流体A流动的供给通道H3。供给通道H3连接至外部供给管P1，以接收来自外部供给管P1的压力流体A。从外部供给管道P1接收到的压力流体A通过该供给通道H3被均匀供给至导向通道12。

如图2所示，导向单元4具有限定引导压力流体A的导向通道H2的通道凹槽14。如图2所示，由于通道凹槽14朝向各吸取通道H1而形成，因而可以进行有效的吸取操作。

通道凹槽14通过使压力流体A沿着连接被薄板10所分割出的各部分的方向流动而产生吸力。在本实施例中，如图2所示，位于最上层薄板10供压力流体A流过的通道凹槽14被制成环状，而在位于该最上层薄板10以下的其它薄板10上的通道凹槽14被设置为具有一个侧开口，从而限定与吸取单元2的吸取通道H1所对应的引导部分。

通道凹槽14可以通过例如蚀刻工序制成。因此，薄板10可由适合蚀刻工序的金属材料制成。

如图2所示，通道凹槽14被制成拥有一个凹陷的中部。通道凹槽14的这一形状增加了图中压力流体A向右侧流动的流速。所以，当压力流体流经导向通道H2时，吸取单元2的吸力就会进一步增强。

导向单元4的薄板10可以固定在流体供给单元12与吸取单元2之间，同时配合在导向销16上(参见图3)。

由图2和图3可见，在最下层薄板10上形成的通道凹槽14比在其它薄板10上形成的通道凹槽14短。这样，如图3所示，形成于最下层薄板10上的通道凹槽14就无需面对吸取单元2的垂直通道部分6a，但是位于水平通道部分6b上，因此可以防止压力流体A流向垂直通道部分6a。

如图4所示，吸取通道H1被制成与面板G横向对应。压力流体A沿着导向单元4(导向通道H2)所引导的方向流动，且吸取通道被设计为均匀接受吸力。

因此，如图1所示，当面板G通过该清洁部分以清除附着的残留液体W时，如图5所示，由于形成了与覆盖整个面板宽度的矩形区域相对应的均匀吸取区域，因此残留液体W的清除效率得以显著提高。

本发明还进一步提供了将通过吸取单元2的吸取通道H1所吸取的残留液体W通过导向通道H2和吸取通道H1的排出端有效排出的方法。

例如，如图3所示，吸取单元2和流体供给单元12分别具有延伸部2a和12a。通过延伸部2a和12a限定出排出室18，且该排出室18具有可以由盖20所覆盖的开口，盖20可以选择性地开启或关闭。

如图3和图6所示，气体和液体排出管P2和P3安装在排出室18中，从而将压力流体A和从面板G上所吸取的液体W分隔开。也就是说，压力流体A要么被重新利用，要么在通过气体排出管P2循环的过程中通过净化过滤器排放到空气中。吸取的液体W通过液体排出管P3被收集至液体储存器中。

下面描述上述本发明吸取单元组件的工作原理。

当面板G经过清洁部分清洁之后，如图1所示，该面板G被传送至用于去除附着在面板上的残留液体W的吸取部分。也就是说，残留液体W是在面板G通过吸取部分时被清除的。

具体来讲，当压力流体A被通过流体供给管P1供应至流体供给单元12，压力流体A将经由图3所示的供给通道H3沿着导向单元4的导向通道H2流动。

这样，当压力流体A通过导向通道H2时，就会在吸取单元2的吸取通道H1的水平通道部分6b中形成低压环境，该吸取通道H1通过压力流体A在一个方向的流动与导向通道H2相通。

由于该低压环境，使得用于吸取面板G表面残留液体W的吸力在如图3和图6所示的方向作用于连接至水平通道部分6b的垂直通道部分6a。因而，残留液体W通过吸取通道H1被吸收，并与导向通道H2侧的压力流体A一并进入排出室18。残留液体W和压力流体A被排出室18中的气体和液体排出管P2和P3分离，然后被排出。

如上所述，随着压力流体A流过导向单元4的导向通道H2，吸取单元2中就会产生吸力，从而有效清除附着在面板G上的残留液体W。

特别地，如图5所示，由于导向单元4具有朝向吸取单元2的吸取通道H1的导向通道H2，并且该导向通道H2同时被连接至形成于流体供给单元12上的同一流体供给通道H3，因而形成了对于面板G表面的均匀吸取区域，增强了吸力，从而显著提高了对残留液体W的清除效率。

在上述实施例中，吸取单元2被制成一个单独的单元，并且形成于吸取单元2上的吸取通道H1部分从整体上彼此相通。然而，本发明并不局限于此。

例如，吸取单元2可以设计为具有和导向单元4相同的通道结构。也就是说，吸取残留液体W的通道部分可以通过若干薄板分别制成。这样，就使得吸取单元2更易于制造，而且还能改善抗物理冲击的能力。特别是由于通过分离的薄板可以将吸取通道H1制成各种形状，从而使得工作兼容性、生产效率以及维护效率得以提高。

另外，虽然仅在对应于面板的清洁部分提供了一个吸取单元组件，以清除附着在面板上的残留液体W，但本发明并不局限于此。

例如，如图7所示，可以在面板G的传送部分安装两个吸取单元组件。另外，可以根据残留液体的清除环境安装两个以上吸取单元组件。而且还可以将该单元同时安装在面板的相对表面，从而清除附着在面板G的相对表面的残留液体。

根据本发明，由于流经导向单元通道的压力流体在对应于面板表面的吸取单元中产生的均匀吸力，因此使得任何附着在清洁过的面板上的诸如清洁剂或废液等残留液体都能被有效清除。

而且，由于吸取通道吸收附着在面板上残留液体的吸力由导向单元的导向通道所产生，因此不管面板尺寸有多大，都会形成均匀的吸取区域。

特别地，本发明吸取单元组件能够更为有效地清除附着在大尺寸面板上的残留液体。

显然，熟悉本领域的技术人员可以对本发明进行各种改进或变更。因此，本发明囊括了属于本发明权利要求或其等同替换范围之内的任何改进或变更。

Claims (12)

1、一种用于面板处理***的吸取单元组件，包括：

朝向面板表面设置的吸取单元，该吸取单元具有多个吸取附着在面板上的异物、且并排设置的吸取通道；和

朝向吸取单元设置的导向单元，该导向单元具有多个与所述各吸取通道相应的导向通道，导向通道用于引导压力流体流动以在吸取通道中形成吸收异物的吸力；

所述多个吸取通道和导向通道的组合在与面板移动的方向相交叉的方向上，限定出矩形吸取区域。

2、根据权利要求1所述的吸取单元组件，其中，该导向通道限定一个或一个以上导向部分。

3、根据权利要求1所述的吸取单元组件，其中，吸取通道和导向通道被设置为具有一个使吸取通道的排出端和导向通道的排出侧彼此相通的单独部分。

4、根据权利要求1所述的吸取单元组件，其中，吸取通道分别与各自对应的导向通道相通。

5、根据权利要求1所述的吸取单元组件，其中，吸取单元具有一个使各吸取通道的吸取端彼此相通的公共通道。

6、一种用于面板处理***的吸取单元组件，包括：

压力流体生成单元；

流体供给单元，具有与压力流体生成单元相通的供给通道，并具有排出室；

导向单元，其具有多个导向通道，并用于将供给通道供给的压力流体引导至排出室；和

吸取单元，具有与导向通道相通且通过压力流体的流动而形成负压的吸取通道。

7、根据权利要求6所述的吸取单元组件，其中，导向单元由多个薄板形成，每个薄板都有通道凹槽。

8、根据权利要求7所述的吸取单元组件，其中，形成于最下层薄板上的通道凹槽的长度小于位于该最下层薄板之上的其它薄板上所形成的通道凹槽的长度。

9、根据权利要求6所述的吸取单元组件，其中，导向单元具有带有狭窄中部的通道凹槽。

10、根据权利要求6所述的吸取单元组件，其中，吸取单元的吸取通道包括水平通道和垂直通道。

11、根据权利要求10所述的吸取单元组件，其中，水平通道与形成于最下层薄板上的通道凹槽相通。

12、根据权利要求6所述的吸取单元组件，其中，排出室具有用于将压力流体和所吸取的液体彼此分离的单元。

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