CN100492021C - 用于探针装置的定位件 - Google Patents

Abstract

一种用于探针装置的定位件，是可较为方便地组装及定位探针装置的各探针，不会损坏探针结构；定位件具有多数呈贯穿状的第一开口，且于各第一开口的周围设有至少一第二开口，各第二开口是自各第一开口的壁面向外延伸。

Description

用于探针装置的定位件

技术领域

本发明是与探针装置有关，特别是指一种用于探针装置的定位件。

背景技术

如图11所示，一般用于测试半导体芯片的探针装置80，包含一上基座81、一下基座82，以及多数探针90，如图12所示，各探针90的头部92截面概呈圆形，身部94的截面可为椭圆形或方形；为了方便组装探针装置80的各组成构件，通常会先将各探针90的头部92定位于一定位件84，定位件84是以挠性片体制成，且具有多数呈贯穿状的开孔85，开孔85的形状相似于探针90头部92的截面形状，各探针90的头部92穿设于定位件84的开孔85，使开孔85可拘束探针90，并且再容置于上基座81的导引孔86，使各探针90的身部94延伸至下基座82。

然而，在组装上述探针装置80的时候，由于是先将定位件84设于下基座82，再使各探针90穿过定位件84的各开孔85，各探针90必须以呈椭圆形的身部94穿过各开孔85，并且强制改变开孔85的外形，才能让各探针90的头部92设于开孔85内，因此，探针90容易会因为与开孔85的壁面相互干涉接触而产生结构破损，甚至是断裂的状况；而且，在组装各探针90的时候，各探针90必须施力才能穿过各开孔85，使得整体探针装置80的组装较为费时、效率较差。

发明内容

因此，本发明的主要目的在于提供一种探针装置的定位件，其是可较为方便地组装及定位该探针装置的各探针，不会损坏探针与定位件的结构，而且增加维修的便利性。

为达成前揭目的，本发明所提供一种用于探针装置的定位件，其特征在于，该定位件具有多数呈贯穿状的开口，且于各该开口的周围设有至少一裂缝，该等裂缝是自各该开口的壁面向外延伸。

其中各该开口是概呈圆形。

其中各该开口是概呈三角形。

其中各该开口是概呈多角形。

其中该定位件是为聚亚醯胺材质所制成的薄片。

其中各该开口及各该裂缝皆以激光加工方式制成。

其中该等裂缝是呈对称状地自各该开口延伸。

本发明一种用于探针装置的定位件，其特征在于，该定位件具有多数呈贯穿状的第一开口，且于各该第一开口的周围设有至少一第二开口，各该第二开口是自各该第一开口的壁面向外延伸。

其中各该第一开口是概呈圆形。

其中各该第一开口是概呈三角形。

其中各该第一开口是概呈多角形。

其中各该第二开口是概呈长条形。

其中各该第二开口是概呈三角形。

其中该定位件是为聚亚醯胺材质所制成的薄片。

其中各该第一开口及各该第二开口皆以激光加工方式制成。

其中该等第二开口是呈对称状地自各该第一开口延伸。

本发明一种用于探针装置的定位件，其特征在于，该定位件具有概呈圆形的一第一开口与一第二开口，该第一开口与该第二开口是相互重叠且相互连通，且整体宽度约略大于一探针的截面。

由此，本发明即可较为方便地组装及定位该探针装置的各探针，不会损坏探针与定位件的结构，防止定位件因开口变形而无法准确定位探针，而且增加维修的便利性。

附图说明

以下，配合附图列举若干较佳实施例，用以对本发明的详细结构与功效做进一步说明，其中：

图1是本发明第一较佳实施例的立体图；

图2是本发明第一较佳实施例的局部视图，主要显示其中一第一开口的状态；

图3是本发明第一较佳实施例的应用示意图；

图4是本发明第二较佳实施例的局部视图；

图5是本发明第三较佳实施例的局部视图；

图6是本发明第四较佳实施例的局部视图；

图7是本发明第四较佳实施例的应用示意图；

图8是本发明第五较佳实施例的局部视图；

图9是本发明第六较佳实施例的局部视图；

图10是本发明第七较佳实施例的局部视图；

图11是为现有探针装置的示意图；以及

图12是为现有探针的立体图。

具体实施方式

请参阅图1所示，是为本发明第一较佳实施例所提供用于探针装置的定位件10，定位件10为聚亚醯胺(Polyimide)材质所制成的薄片，定位件10具有多数呈贯穿状的第一开口12，如图2及图3所示，各第一开口12概呈圆形，且可容置如图12所示探针90的头部92；各第一开口12的周围设有二第二开口14，各第二开口14概呈长条形，二第二开口14呈对称状地自各第一开口12的壁面向外延伸，二第二开口14的整体宽度约略大于探针90的身部94截面，第一开口12及第二开口14可利用激光加工，或是冲压等机械加工方式直接成形于定位件10。

如图3所示，当各探针90组装于定位件10的各第一开口12的时候，由二第二开口14可供探针90呈椭圆形的身部94穿过，而当探针90的身部94穿过二第二开口14后，探针90的头部92可容置于第一开口12，并由第一开口12的壁面定位及拘束探针90，使得探针90在组装于定位件10的过程中，探针90本身不会与定位件10相互接触干涉，减少探针90结构受到破坏，同时不需施力即可使探针90的身部94直接穿过定位件10，因而使得各探针90的组装较为方便及快速；另外，当探针90必须进行更换及维修工作的时候，亦只需直接将探针90的头部92与身部94沿着第一开口12及第二开口14抽出定位件10，就可以将探针90分离于定位件10。

由此，本发明即可利用定位件的第一开口及第二开口，达到较为方便地组装及定位探针装置的各探针，不会损坏探针结构，而且增加维修的便利性的目的。

上述定位件是可成形出其它不同形式的开口，可以同样达成本发明的发明目的；如图4所示，是为本发明第二较佳实施例所提供定位件的其中一第一开口20，其特点在于：第一开口20周围的各第二开口22是概呈三角形，二第二开口22的整体宽度亦约略大于探针90的身部94截面，可供探针90直接穿设于第一开口20与第二开口22。

如图5所示，是为本发明第三较佳实施例所提供定位件的其中一第一开口30，特点在于：第一开口30是呈四角形，第一开口30亦可为多角形，只要第一开口30的面积可定位及容置探针90的头部92即可。

如图6所示，是为本发明第四较佳实施例所提供定位件的其中一开口40，特点在于：开口40的周围设有二裂缝42，二裂缝42是呈对称状地自各开口40的壁面向外延伸；如图7所示，当探针90的身部94穿过二裂缝42时，身部94由各裂缝42造成定位件变形，亦可使探针90直接穿经定位件；而如图8所示，是为本发明第五较佳实施例所提供定位件的其中一开口50，特点则在于：开口50周围设有四裂缝52，以使探针90穿过开口50时，可更为容易地使各裂缝52变形，方便探针90装设于定位件。

如图9所示，是为本发明第六较佳实施例所提供定位件的其中一开口60，其结构形式与第四较佳实施例大致相同，开口60周围设有二裂缝62，特点在于：开口60是呈三角形。

而如图10所示，是为本发明第七较佳实施例所提供定位件的第一及第二开口71、72，第一开口71与第二开口72皆概呈圆形，第一开口71与第二开口72是相互重叠且相互连通，该二开口71、72的整体宽度约略大于探针90的身部94截面，亦可用以供穿设探针90。

Claims (17)

1.一种用于探针装置的定位件，其特征在于，该定位件具有多个呈贯穿状的开口，该开口的壁面定位及拘束一探针，且于各该开口的周围设有至少一裂缝，所述裂缝自各该开口的壁面向外延伸。

2.依据权利要求1所述用于探针装置的定位件，其特征在于，其中各该开口概呈圆形。

3.依据权利要求1所述用于探针装置的定位件，其特征在于，其中各该开口概呈三角形。

4.依据权利要求1所述用于探针装置的定位件，其特征在于，其中各该开口概呈多角形。

5.依据权利要求1所述用于探针装置的定位件，其特征在于，该定位件为聚亚醯胺材质所制成的薄片。

6.依据权利要求1所述用于探针装置的定位件，其特征在于，各该开口及各该裂缝皆以激光加工方式制成。

7.依据权利要求1所述用于探针装置的定位件，其特征在于，所述裂缝呈对称状地自各该开口延伸。

8.一种用于探针装置的定位件，其特征在于，该定位件具有多个呈贯穿状的第一开口，第一开口的壁面定位及拘束一探针，且于各该第一开口的周围设有至少一第二开口，各该第二开口自各该第一开口的壁面向外延伸。

9.依据权利要求8所述用于探针装置的定位件，其特征在于，其中各该第一开口概呈圆形。

10.依据权利要求8所述用于探针装置的定位件，其特征在于，其中各该第一开口概呈三角形。

11.依据权利要求8所述用于探针装置的定位件，其特征在于，其中各该第一开口概呈多角形。

12.依据权利要求8所述用于探针装置的定位件，其特征在于，其中各该第二开口概呈长条形。

13.依据权利要求8所述用于探针装置的定位件，其特征在于，其中各该第二开口概呈三角形。

14.依据权利要求8所述用于探针装置的定位件，其特征在于，该定位件为聚亚醯胺材质所制成的薄片。

15.依据权利要求8所述用于探针装置的定位件，其特征在于，各该第一开口及各该第二开口皆以激光加工方式制成。

16.依据权利要求8所述用于探针装置的定位件，其特征在于，所述第二开口呈对称状地自各该第一开口延伸。

17.一种用于探针装置的定位件，其特征在于，该定位件具有概呈圆形的一第一开口与一第二开口，第一开口的壁面定位及拘束一探针，该第一开口与该第二开口相互重叠且相互连通，且整体宽度大于该探针的截面。

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