CN100401109C - 钛酸锶钡反射膜片及制备方法 - Google Patents
钛酸锶钡反射膜片及制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN100401109C CN100401109C CNB2005100244806A CN200510024480A CN100401109C CN 100401109 C CN100401109 C CN 100401109C CN B2005100244806 A CNB2005100244806 A CN B2005100244806A CN 200510024480 A CN200510024480 A CN 200510024480A CN 100401109 C CN100401109 C CN 100401109C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- strontium
- barium
- acetate
- titanate
- silicon chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
本发明公开了一种钛酸锶钡反射膜片及制备方法，反射膜片包括：硅基片，在硅基片上依次有相互牢固结合的导电金属氧化物镍酸镧缓冲层，二种不同锶组份的膜层交替排列形成的周期性钛酸锶钡膜堆。钛酸锶钡反射膜片采用溶胶-凝胶法生长，溶剂为冰醋酸，稳定剂为己酰丙酮，防裂剂为聚乙烯吡咯烷酮。溶质为醋酸钡、醋酸锶、正丁醇钛。本发明的优点是：所用设备简单，操作方便，能大面积制备多层反射膜系。同时，可通过选择工艺参数，溶液浓度等手段，操控峰值反射率的中心波长。
Description
技术领域
本发明涉及一种由多层介质膜组成的反射膜片。具体地说，是一种由钛酸锶钡(BST，或分子式：Ba1-xSrxTiO3，0＜x＜1)多层介质膜组成的反射膜片及制备方法。
背景技术
应用于光学***中的反射镜通常是由高反射率的金属膜或干涉型多层介质膜系构成。尽管金属膜拥有较高的反射率，却没法对工作带宽进行选择，同时在特定的频带由吸收引起的光能损失也非常大。为克服这些限制，人们发展了电介质多层高反射复合膜。这种反射复合膜一般由两种材料按折射率高低交替排列而成，每层膜的光学厚度均为中心波长的四分之一。构建复合膜系常见的材料有：ZnS/Na3AlF6(CaF2，MgF6)、TiO2/SiO2、GaAs/Al2O3(GaAlAs)等。由于BST材料具有优异的电光、压电、声光和非线性光学效应等一系列独特性能，加上BST在多数光子器件所工作的可见光和红外光谱区是透明的，其折射率可随工艺条件、掺杂情况和组分的变化而变化的特性，以及BST薄膜的制备成本低，加工技术同现有的半导体工艺相兼容等优点。特别地，相对铅基铁电材料而言，BST是一种无毒材料，它对环境没有任何危害作用，可以预计，它将是未来最重要的光电子材料之一。尽管BST化合物自从问世以来，就受到了科技界的大量关注，人们用它相继成功地开发出了各种传感器、红外探测器、存储器、换能器、及各种微波元器件等，然而在对BST材料进行大量研究的过去几十年里，人们一直没有认识到特定结构的BST多层膜，在特定波段具有非常高的反射率的性质。最近，我们首次发现并从实验上证实了BST膜堆的这一重要特性。同时我们还发现可通过调整膜层结构参数和组分等手段操控膜系的工作频带范围，使一维膜堆具有不同的光子带隙；另外BST膜堆还具有耐磨损，抗热冲击，抗辐照及湿气，化学稳定性好等优点。因此，我们意识到BST膜堆的这种特性可用于选择性反射镜、干涉滤光片、光学谐振腔、光波导器件等。
发明内容
本发明的目的是提供一种可用于选择性高反射率的反射镜、干涉滤光片、光学谐振腔、光波导器件的BST反射膜片及制备方法。
本发明的构思如下：
由于不同组分的BST材料其折射率有差异，因此当两种不同组分的BST材料沿膜层生长方向交替排列时，就形成折射率按高/低/高/低/...分布的一维光子晶体结构。通过调整层膜的结构参数、组分，使BST多层膜系具有不同的光子禁带，从而获得不同工作频段的高反射率介质膜。结构示意图见附图部分。
本发明的BST反射膜片包括：硅(Si)基片1，在硅基片上依次有相互牢固结合的导电金属氧化物镍酸镧(LaNiO3)缓冲层2，二种不同组份的BST膜层交替排列形成多个周期的BST膜堆3，其结构如下：
Si/LaNiO3/(Ba1-xSrxTiO3/Ba1-ySryTiO3)n，
式中x、y分别代表Sr的不同组分，并满足0＜x＜1，0＜y＜1，x≠y的条件；n为所需的周期数。
本发明的BST反射膜片采用溶胶-凝胶法生长，其过程如下：
溶液的配制：
溶剂为冰醋酸，稳定剂为己酰丙酮，防裂剂为聚乙烯吡咯烷酮，它们的摩尔比为30±5∶1±0.5∶0.05±0.04。
溶质为醋酸锶、醋酸钡、正丁醇钛，它们的摩尔比分别为x∶1-x∶1，y∶1-y∶1，其中0＜x＜1，0＜y＜1，x≠y，式中x、y分别代表醋酸锶的不同组分；
先将醋酸锶、醋酸钡、聚乙烯吡咯烷酮溶于温度为40-50℃的冰醋酸中，待溶液自然冷却后依次将己酰丙酮、正丁醇钛加入上述溶液中持续搅拌，最后加入适量去离子水，得到清澈透明的浓度为0.2-0.8M/L的前驱体溶液。该溶液在较长时间内不会变质。
BST反射膜片的制备：
利用溶胶-凝胶镀膜工艺，先在硅基片上沉积180-220纳米厚的镍酸镧缓冲层。然后以甩胶速率为每分钟2000-4000转的转速，将配制好的x组分和y组分的BST前驱体溶液先后滴到旋转中的镍酸镧缓冲层上，BST前驱体溶液也可以在匀胶机停止旋转时滴到镍酸镧缓冲层上，每一组分的旋涂时间为20-30秒。然后把旋涂好的片子放入快速退火炉中，分别在180℃-240℃、350℃-400℃和650℃-750℃的温度下热处理3-8分钟，5-10分钟和10-30分钟。重复上述过程，直至达到所需的层数。
采用导电金属氧化物LaNiO3作为缓冲层，是由于钛酸锶钡同硅的晶格常数不相匹配，很难直接在硅衬底上生长出有一定择优取向无裂纹的优质膜，同时LaNiO3缓冲层还可作为光电子器件的一个底电极。
本发明的优点是：所用设备简单，操作方便，能大面积制备多层膜系。同时，可通过选择工艺参数，溶液浓度等手段，操控峰值反射率的中心波长。
附图说明
图1为BST反射膜片的结构示意图。
图2为Ba0.9Sr0.1TiO3/Ba0.8Sr0.2TiO3多层膜堆的反射光谱。
图3为Ba0.9Sr0.1TiO3/Ba0.7Sr0.3TiO3多层膜堆的反射光谱。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明：
实施例1
钡锶比为10/90溶液的配制：
将2.3220g醋酸钡、0.2168g醋酸锶、0.05g聚乙烯吡咯烷酮溶于20ml温度为40℃的冰醋酸中，待其自然冷却后加入1ml己酰丙酮，再将3.05ml正丁醇钛加入其中持续搅拌，待溶液自然冷却后加入2ml去离子水，得到清澈透明，钡锶比为10/90，摩尔浓度为0.4M/L的BST前驱体溶液。
实施例2
钡锶比为20/80溶液的配制：
将2.0640g醋酸钡、0.4338g醋酸锶、0.05g聚乙烯吡咯烷酮溶于20ml温度为40℃的冰醋酸中，待其自然冷却后加入1ml己酰丙酮，再将3.05ml正丁醇钛加入其中持续搅拌。待溶液自然冷却后加入2ml去离子水，得到清澈透明，钡锶比为20/80，摩尔浓度为0.4M/L的BST前驱体溶液。
实施例3
钡锶比为30/70溶液的配制：
将1.8060g醋酸钡、0.6506g醋酸锶、0.05g聚乙烯吡咯烷酮溶于20ml温度为45℃的冰醋酸中，待其自然冷却后加入1ml己酰丙酮，再将3.05ml正丁醇钛加入其中持续搅拌。待溶液自然冷却后加入2ml去离子水，得到清澈透明，钡锶比为30/70，摩尔浓度为0.4M/L的BST前驱体溶液。
实施例4
含13个周期单元Ba0.9Sr0.1TiO3/Ba0.8Sr0.2TiO3的多层膜堆的制备：
先将Ba0.9Sr0.1TiO3前驱体溶液滴到硅基片的LaNiO3缓冲层上，甩胶速率为3000转/分，时间30秒，形成凝胶膜，再用相同条件沉积Ba0.8Sr0.2TiO3凝胶膜，随后进行热处理，即分别在200℃、350℃和750℃的温度下热处理3分钟，6分钟和15分钟。重复该步骤13次，得到构型为Si/LaNiO3/(Ba0.9Sr0.1TiO3/Ba0.8Sr0.2TiO3)13的多层膜堆。在多层膜中，每个周期BST的总厚度约100nm，其中Ba0.9Sr0.1TiO3的厚度约51nm，Ba0.8Sr0.2TiO3的厚度约49nm。峰值反射率约91％，对应的波长为440nm，光子禁带宽度约48nm。
实施例5
含18个周期单元Ba0.9Sr0.1TiO3/Ba0.7Sr0.3TiO3的多层膜堆的制备：
先将Ba0.9Sr0.1TiO3前驱体溶液滴到硅基片的LaNiO3缓冲层上，甩胶速率为2500转/分，时间30秒，形成凝胶膜，再用相同条件沉积Ba0.7Sr0.3TiO3凝胶膜，随后进行热处理，即分别在200℃、380℃和750℃的温度下热处理3分钟，8分钟和20分钟。重复该步骤18次，得到构型为Si/LaNiO3/(Ba0.9Sr0.1TiO3/Ba0.7Sr0.3TiO3)18的多层膜堆。在多层膜中，每个周期BST的总厚度约147nm，其中Ba0.9Sr0.1TiO3的厚度约75nm，Ba0.7Sr0.3TiO3的厚度约72nm。峰值反射率约96％，对应的波长为650nm，光子禁带宽度约52nm。
见附图2、3，在反射谱的测量中，用金属铝膜的反射率作为校验标准。我们看到所有膜堆在特定的光谱带都有很高的反射率，并且反射率的值随膜层数增加而增大，是典型的一维光子晶体结构。实施例中所用的镍酸镧溶液均按照专利文件CN1362749A表达的方法配制。
Claims (2)
1.一种钛酸锶钡反射膜片，包括：硅基片(1)，在硅基片上依次有相互牢固结合的导电金属氧化物镍酸镧缓冲层(2)，二种不同组份的钛酸锶钡膜层交替排列形成多个周期的钛酸锶钡膜堆(3)，其结构如下：
Si/LaNiO3/(Ba1-xSrxTiO3/Ba1-ySryTiO3)n，
式中x、y分别代表Sr的不同组分，并满足0＜x＜1，0＜y＜1，x≠y的条件；n为所需的周期数。
2.一种制备如权利要求1所述的钛酸锶钡反射膜片的方法，其特征在于具体步骤如下：
A.溶液的配制：
溶剂为冰醋酸，稳定剂为己酰丙酮，防裂剂为聚乙烯吡咯烷酮，它们的摩尔比为30±5∶1±0.5∶0.05±0.04；
溶质为醋酸锶、醋酸钡、正丁醇钛，它们的摩尔比分别为x∶1-x∶1，y∶1-y∶1，其中0＜x＜1，0＜y＜1，x≠y，式中x、y分别代表醋酸锶的不同组分；
先将醋酸锶、醋酸钡、聚乙烯吡咯烷酮溶于温度为40-50℃的冰醋酸中，待溶液自然冷却后依次将己酰丙酮、正丁醇钛加入上述溶液中持续搅拌，最后加入适量去离子水，得到清澈透明的浓度为0.2-0.8M/L的前驱体溶液；
B.钛酸锶钡反射膜片的制备：
利用溶胶-凝胶镀膜工艺，先在硅基片上沉积180-220纳米厚的镍酸镧缓冲层，然后以甩胶速率为每分钟2000-4000转的转速，将配制好的x组分和y组分的钛酸锶钡前驱体溶液先后滴到旋转中的镍酸镧缓冲层上，钛酸锶钡前驱体溶液也可以在匀胶机停止旋转时滴到镍酸镧缓冲层上，每一组分的旋涂时间为20-30秒，然后把旋涂好的片子放入快速退火炉中，分别在180℃-240℃、350℃-400℃和650℃-750℃的温度下热处理3-8分钟，5-10分钟和10-30分钟，重复上述过程，直至达到所需的层数。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2005100244806A CN100401109C (zh) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 钛酸锶钡反射膜片及制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNB2005100244806A CN100401109C (zh) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 钛酸锶钡反射膜片及制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1667434A CN1667434A (zh) | 2005-09-14 |
| CN100401109C true CN100401109C (zh) | 2008-07-09 |
Family
ID=35038630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB2005100244806A Expired - Fee Related CN100401109C (zh) | 2005-03-18 | 2005-03-18 | 钛酸锶钡反射膜片及制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN100401109C (zh) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100385263C (zh) * | 2006-05-26 | 2008-04-30 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 钛酸锶钡布拉格反射镜的制备方法 |
| CN101074491B (zh) * | 2007-03-29 | 2011-05-04 | 上海大学 | 在金属钛基片衬底上生长钛酸锶钡薄膜的方法 |
| CN100461560C (zh) * | 2007-03-29 | 2009-02-11 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 钛酸锶钡法布里-珀罗光学微腔及制备方法 |
| CN101382604B (zh) * | 2008-10-22 | 2010-06-02 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 单一组分钛酸锶钡光学微腔及构筑方法 |
| CN102645695B (zh) * | 2012-05-21 | 2014-11-05 | 河南科技大学 | 滤波范围430～630nm的无掺杂层光子晶体光学滤波器及其制作方法 |
| CN104425213B (zh) * | 2013-08-26 | 2017-09-26 | 香港理工大学 | 一种在砷化镓基片上制备钛酸锶钡介电薄膜的化学方法 |
| CN112130391B (zh) * | 2020-08-24 | 2021-11-05 | 北京理工大学 | 基于电场操控下实时精准变色的多层膜 |
| CN113471353B (zh) * | 2021-06-24 | 2022-07-12 | 深圳市方晶科技有限公司 | 一种提高led出光率的玻璃封装方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5287213A (en) * | 1990-07-26 | 1994-02-15 | Fujian Institute Of Research On The Structure Of Matter, Chinese Academy Of Sciences | Barium strontium titanate photorefractive device and method for making the same |
| CN1267653A (zh) * | 2000-04-06 | 2000-09-27 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 钛酸锶钡薄膜材料的制备方法 |
| US6507634B1 (en) * | 2001-09-19 | 2003-01-14 | Therma-Wave, Inc. | System and method for X-ray reflectometry measurement of low density films |
-
2005
- 2005-03-18 CN CNB2005100244806A patent/CN100401109C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5287213A (en) * | 1990-07-26 | 1994-02-15 | Fujian Institute Of Research On The Structure Of Matter, Chinese Academy Of Sciences | Barium strontium titanate photorefractive device and method for making the same |
| CN1267653A (zh) * | 2000-04-06 | 2000-09-27 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 钛酸锶钡薄膜材料的制备方法 |
| US6507634B1 (en) * | 2001-09-19 | 2003-01-14 | Therma-Wave, Inc. | System and method for X-ray reflectometry measurement of low density films |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1667434A (zh) | 2005-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100401109C (zh) | 钛酸锶钡反射膜片及制备方法 | |
| JP2740653B2 (ja) | 光学干渉フィルター | |
| US4963390A (en) | Metallo-organic solution deposition (MOSD) of transparent, crystalline ferroelectric films | |
| Uhlmann et al. | Sol-gel synthesis of optical thin films and coatings | |
| JPH06119812A (ja) | 多層強誘電体薄膜 | |
| TWI447441B (zh) | 紅外光阻隔多層膜結構 | |
| US5834803A (en) | Oriented ferroelectric thin film element and process for preparing the same | |
| CN103757618A (zh) | 一种适用于不同基底的减反射膜的制备方法 | |
| JP6006297B2 (ja) | １つが多孔質である無機層の積重体で被覆され覆われた透明基材 | |
| US8329299B2 (en) | Sol-gel coating methods and thin film coated substrates therefrom | |
| WO2016193124A1 (en) | Nanostructured perovskite | |
| CN100385263C (zh) | 钛酸锶钡布拉格反射镜的制备方法 | |
| CN100424524C (zh) | 锆钛酸铅反射膜片及制备方法 | |
| CN100424525C (zh) | 锆钛酸铅介质反射膜系及制备方法 | |
| US5525434A (en) | Oriented multi-layer thin film of ferrodielectric substance and method of producing the same | |
| Kundu et al. | Sol-gel preparation of wavelength-selective reflecting coatings in the system ZrO2 SiO2 | |
| CN114089455B (zh) | 一种近紫外区分布式布拉格反射镜的制备方法 | |
| CN100461560C (zh) | 钛酸锶钡法布里-珀罗光学微腔及制备方法 | |
| JP3865442B2 (ja) | 多層酸化物薄膜素子及びその製造方法 | |
| CN112786744A (zh) | 一种平面结构二维全无机钙钛矿白光led器件的制备方法 | |
| CN1544963A (zh) | 锆钛酸铅铁电膜非对称平板光波导 | |
| WO2015191748A1 (en) | New high index oxide films and methods for making same | |
| CN101382604B (zh) | 单一组分钛酸锶钡光学微腔及构筑方法 | |
| US7261918B2 (en) | Methods of forming lanthanum-modified lead zirconium titanate (PLZT) layers | |
| CN212485360U (zh) | 一种窄带多光谱钙钛矿光电探测器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Beijing Wuhua Tianbao Glass Co., Ltd. Assignor: Shanghai Inst. of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences Contract record no.: 2010110000153 Denomination of invention: Strontium-barium titanate reflective membrane and process for preparing same Granted publication date: 20080709 License type: Exclusive License Open date: 20050914 Record date: 20100914 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20080709 Termination date: 20150318 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |