CH471639A - Steuereinrichtung für eine Käfigläppmaschine - Google Patents

Description

  Steuereinrichtung     für    eine     Käfigläppmaschine       Die Erfindung betrifft eine Steuereinrichtung für  eine     Käfigläppmaschine,    bei der ein     Druckmittelsystem     eine von zwei     Läppscheiben        be-    und     entlastbar    gegen  die erste fest angeordnete     Läppscheibe        vertikal    steuert.  Die Anordnung ist besonders für     Käfigläppmaschinen     zum     Läppen    von spröden     Läppgut,    z.

   B.     Siliziumschei-          ben    für die Halbleitertechnik, geeignet.  



  Im     Hinblick    auf die spezifischen mechanischen  Eigenschaften solchen Materials, welches in der Halb  leitertechnik verwendet wird, sind Massnahmen not  wendig, die ein Brechen des Materials während des       Läppvorganges        vermeiden.     



  Es ist eine Einrichtung zur Einleitung des     Läppvor-          ganges    bei     Läppmaschinen    bekannt, bei der die Absen  kung     einer        Läppscheibe    auf das     Läppgut    durch Kolben  kraft erfolgt. Bei dieser     Einrichtung    wird die     Läpp-          scheibe    durch die     Bedienperson    manuell     schnell    abge  senkt.

   Kurz vor dem Aufsetzen auf das     Läppgut    wer  den durch     einen    Kontakt     Ventile    einer     hydraulischen     Anlage geschlossen bzw. geöffnet,     wodurch    die Bewe  gung mittels einen an der     Läppscheibe    befestigten Kol  ben eines     Hydraulikzylinders    so verlangsamt wird,     dass     die     Läppscheibe    mit     ihrem    Eigengewicht auf das     Läpp-          gut    aufsetzt.

   Dieser     Aufsetzdruck    ist jedoch für zu     läp-          pendes    Gut für die Halbleitertechnik zu     hoch    und     führt     zu Bruch- oder     Rissbildung    desselben. Weiterhin     muss     bei dieser     Einrichtung    der Arbeitsdruck vorher einge  stellt werden.

   Bei     einer        Druckerhöhung    wird das     Läpp-          gut    dabei     stossartig    belastet, was wiederum zum     Bruch     des     Läppgutes        führen    kann.     Ausserdem    ist     zur        Durch-          führung    des     Läppvorganges    trotz der Verwendung     einer     solchen     Einrichtung    eine     Bedienperson    notwendig.  



  Es ist Zweck der     Erfindung,    die beim     Läppen    von  Materialien für die Halbleitertechnik entstehenden  Verluste durch Bruch oder Rissbildung auf ein Mini  mum herabzusetzen     ohne    dabei jedoch manuelle Hilfe  beim     Steuern    des     Bearbeitungsdruckes    in     Anspruch     nehmen zu müssen; dazu wird eine Steuereinrichtung  geschaffen, deren     Druckmittelsystem    die Vertikal be  wegbare     Läppscheibe    selbsttätig steuert.

      Erfindungsgemäss wird die Aufgabe dadurch ge  löst, dass eine     antreibbare    Kurvenscheibe über einen  doppelarmigen Hebel mit dem Kolben eines.     Druckmit-          telsystems    in Verbindung steht, der über ein Rohrlei  tungssystem mit einem Verdrängungszylinder und  einem zwischen der Tischplatte der     Käfigläppmaschine     und der vertikal bewegbaren     Läppscheibe    angeordne  ten Druckkissen verbunden ist. Zur Verhütung von  Bruchschäden bei dem zu bearbeitenden     Läppgut    kann  die Kurvenscheibe so ausgebildet sein, dass der Druck  im Druckkissen von     Null    bis zu einem     Maximum     kontinuierlich steuerbar ist.

   Die     Kuvenscheibe    ist vor  zugsweise mit einem Programmgeber gekoppelt, der  den Antrieb für die Kurvenscheibe betätigt.  



  Eine mit der erfindungsgemässen Steuereinrichtung  ausgestattete     Läppmaschine    ist gut geeignet, Bruch  oder     Rissbildungen    beim     Läppen    von sprödem Gut,  wie es beispielsweise für die Halbleitertechnik verwen  det wird, zu verhindern.  



  Der Erfindungsgegenstand wird nachstehend an  hand der     einzigen    Figur der Zeichnung an     einem    Aus  führungsbeispiel erläutert.  



  Auf der Maschinentischplatte 1     einer        Käfigfäppma-          schine    ist ein ringförmig ausgebildetes Druckkissen 3  befestigt. Auf dem in der Höhe verstellbaren Druckkis  sen 3 ist eine     Läppscheibe    2 angeordnet. Eine weitere       Läppscheibe    4 ist fest mit     einem    Gestell 11 verbun  den. Die     Schleifflächen    der     Läppscheibe    2 und 4 ste  hen sich unmittelbar gegenüber.

   Zwischen den     Schleif-          flächen    der     Läppscheiben        sind        Läppkäfigscheiben    12  mit zum Aufnehmen des     Läppgutes    vorgesehenen Käfi  gen angeordnet. Die     Läppkäfigscheiben    12 werden von  einem in der Zeichnung nicht dargestellten Getriebe  um sich selbst und kreisförmig bewegt. Durch     Beauf-          schlagung    des Druckkissens 3 mit     einem    Druckmittel  ist die mit dem Druckkissen 3 verbundene     Läppscheibe     2 vertikal bewegbar.

   Durch Zuführung des Druckmit  tels zum Druckkissen 3 ist ferner der Bearbeitungs  druck auf das     Läppgut    steuerbar.      Der     Steuerungsvorgang        wird    von     einem    Programm  geber 14 eingeleitet. Dieser schaltet einen elektrischen  Antrieb 13 ein, welcher mit einer Kurvenscheibe 10  verbunden ist. Auf der Oberfläche der Kurvenscheibe  10 liegt das Ende eines doppelarmigen Hebels 9 auf,  das andere Ende des Hebels 9 ist an     einem    Kolben 8  eines     Druckmittelzylinders    6 befestigt.

   Die Bewegung  der Kurvenscheibe 10     wird    auf diese Weise auf den  Kolben 8 des     Druckmittelzylinders    6 übertragen, so  dass der Druck im Drucksystem     beeinflussbar    ist. Der  Bearbeitungsdruck kann durch besondere Ausbildung  der Kurvenscheibe 10 von Null bis auf einen Maximal  wert gesteigert und nach Beendigung des     Läppvorgan-          ges    wieder auf Null reduziert werden.     Ein    Rohrlei  tungssystem 5 verbindet den     Druckmittelzylinder    6 mit  einem     Verdrängerzylinder    7 und dem Druckkissen 3.

    Durch die kontinuierliche Bewegung des Kolbens 8 im       Druckmittelzylinder    6 wird dementsprechend auch das       Druckkissen    3 mit dem Druckmittel     beaufschlagt.    Das  Druckkissen 3 nimmt das     Druckmittel    auf und dehnt  sich dabei in der Höhe aus, so dass die am Druckkis  sen 3 befestigte     Läppscheibe    2 das auf ihr in     Läppkä-          figscheiben    12     befindliche        Läppgut    gegen die     Läpp-          scheibe    2 presst.

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH Steuereinrichtung für eine Käfigläppmaschine, bei der ein Druckmittelsystem eine von zwei Läppscheiben be- und entlastbar gegen die erste fest angeordnete Läppscheibe vertikal steuert, dadurch gekennzeichnet, dass eine antreibbare Kurvenscheibe über einen dop pelarmigen Hebel mit dem Kolben eines Druckmittel zylinders in Verbindung steht,

   der über ein Rohrlei tungssystem mit einem Verdrängerzylinder und einem zwischen der Tischplatte der Käfigläppmaschine und der vertikal bewegbaren Läppscheibe angeordneten Druckkissen verbunden ist. UNTERANSPRÜCHE 1. Steuereinrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Kurvenscheibe so ausgebildet ist, dass der Druck im Druckkissen von Null bis zu einem Maximum kontinuierlich steuerbar ist. 2. Steuereinrichtung nach Patentanspruch und Un teranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kur venscheibe mit einem Programmgeber gekoppelt ist.