CH471639A - Steuereinrichtung für eine Käfigläppmaschine - Google Patents
Steuereinrichtung für eine KäfigläppmaschineInfo
- Publication number
- CH471639A CH471639A CH517768A CH517768A CH471639A CH 471639 A CH471639 A CH 471639A CH 517768 A CH517768 A CH 517768A CH 517768 A CH517768 A CH 517768A CH 471639 A CH471639 A CH 471639A
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- lapping
- pressure
- cage
- control device
- cam
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
Steuereinrichtung für eine Käfigläppmaschine Die Erfindung betrifft eine Steuereinrichtung für eine Käfigläppmaschine, bei der ein Druckmittelsystem eine von zwei Läppscheiben be- und entlastbar gegen die erste fest angeordnete Läppscheibe vertikal steuert. Die Anordnung ist besonders für Käfigläppmaschinen zum Läppen von spröden Läppgut, z. B. Siliziumschei- ben für die Halbleitertechnik, geeignet. Im Hinblick auf die spezifischen mechanischen Eigenschaften solchen Materials, welches in der Halb leitertechnik verwendet wird, sind Massnahmen not wendig, die ein Brechen des Materials während des Läppvorganges vermeiden. Es ist eine Einrichtung zur Einleitung des Läppvor- ganges bei Läppmaschinen bekannt, bei der die Absen kung einer Läppscheibe auf das Läppgut durch Kolben kraft erfolgt. Bei dieser Einrichtung wird die Läpp- scheibe durch die Bedienperson manuell schnell abge senkt. Kurz vor dem Aufsetzen auf das Läppgut wer den durch einen Kontakt Ventile einer hydraulischen Anlage geschlossen bzw. geöffnet, wodurch die Bewe gung mittels einen an der Läppscheibe befestigten Kol ben eines Hydraulikzylinders so verlangsamt wird, dass die Läppscheibe mit ihrem Eigengewicht auf das Läpp- gut aufsetzt. Dieser Aufsetzdruck ist jedoch für zu läp- pendes Gut für die Halbleitertechnik zu hoch und führt zu Bruch- oder Rissbildung desselben. Weiterhin muss bei dieser Einrichtung der Arbeitsdruck vorher einge stellt werden. Bei einer Druckerhöhung wird das Läpp- gut dabei stossartig belastet, was wiederum zum Bruch des Läppgutes führen kann. Ausserdem ist zur Durch- führung des Läppvorganges trotz der Verwendung einer solchen Einrichtung eine Bedienperson notwendig. Es ist Zweck der Erfindung, die beim Läppen von Materialien für die Halbleitertechnik entstehenden Verluste durch Bruch oder Rissbildung auf ein Mini mum herabzusetzen ohne dabei jedoch manuelle Hilfe beim Steuern des Bearbeitungsdruckes in Anspruch nehmen zu müssen; dazu wird eine Steuereinrichtung geschaffen, deren Druckmittelsystem die Vertikal be wegbare Läppscheibe selbsttätig steuert. Erfindungsgemäss wird die Aufgabe dadurch ge löst, dass eine antreibbare Kurvenscheibe über einen doppelarmigen Hebel mit dem Kolben eines. Druckmit- telsystems in Verbindung steht, der über ein Rohrlei tungssystem mit einem Verdrängungszylinder und einem zwischen der Tischplatte der Käfigläppmaschine und der vertikal bewegbaren Läppscheibe angeordne ten Druckkissen verbunden ist. Zur Verhütung von Bruchschäden bei dem zu bearbeitenden Läppgut kann die Kurvenscheibe so ausgebildet sein, dass der Druck im Druckkissen von Null bis zu einem Maximum kontinuierlich steuerbar ist. Die Kuvenscheibe ist vor zugsweise mit einem Programmgeber gekoppelt, der den Antrieb für die Kurvenscheibe betätigt. Eine mit der erfindungsgemässen Steuereinrichtung ausgestattete Läppmaschine ist gut geeignet, Bruch oder Rissbildungen beim Läppen von sprödem Gut, wie es beispielsweise für die Halbleitertechnik verwen det wird, zu verhindern. Der Erfindungsgegenstand wird nachstehend an hand der einzigen Figur der Zeichnung an einem Aus führungsbeispiel erläutert. Auf der Maschinentischplatte 1 einer Käfigfäppma- schine ist ein ringförmig ausgebildetes Druckkissen 3 befestigt. Auf dem in der Höhe verstellbaren Druckkis sen 3 ist eine Läppscheibe 2 angeordnet. Eine weitere Läppscheibe 4 ist fest mit einem Gestell 11 verbun den. Die Schleifflächen der Läppscheibe 2 und 4 ste hen sich unmittelbar gegenüber. Zwischen den Schleif- flächen der Läppscheiben sind Läppkäfigscheiben 12 mit zum Aufnehmen des Läppgutes vorgesehenen Käfi gen angeordnet. Die Läppkäfigscheiben 12 werden von einem in der Zeichnung nicht dargestellten Getriebe um sich selbst und kreisförmig bewegt. Durch Beauf- schlagung des Druckkissens 3 mit einem Druckmittel ist die mit dem Druckkissen 3 verbundene Läppscheibe 2 vertikal bewegbar. Durch Zuführung des Druckmit tels zum Druckkissen 3 ist ferner der Bearbeitungs druck auf das Läppgut steuerbar. Der Steuerungsvorgang wird von einem Programm geber 14 eingeleitet. Dieser schaltet einen elektrischen Antrieb 13 ein, welcher mit einer Kurvenscheibe 10 verbunden ist. Auf der Oberfläche der Kurvenscheibe 10 liegt das Ende eines doppelarmigen Hebels 9 auf, das andere Ende des Hebels 9 ist an einem Kolben 8 eines Druckmittelzylinders 6 befestigt. Die Bewegung der Kurvenscheibe 10 wird auf diese Weise auf den Kolben 8 des Druckmittelzylinders 6 übertragen, so dass der Druck im Drucksystem beeinflussbar ist. Der Bearbeitungsdruck kann durch besondere Ausbildung der Kurvenscheibe 10 von Null bis auf einen Maximal wert gesteigert und nach Beendigung des Läppvorgan- ges wieder auf Null reduziert werden. Ein Rohrlei tungssystem 5 verbindet den Druckmittelzylinder 6 mit einem Verdrängerzylinder 7 und dem Druckkissen 3. Durch die kontinuierliche Bewegung des Kolbens 8 im Druckmittelzylinder 6 wird dementsprechend auch das Druckkissen 3 mit dem Druckmittel beaufschlagt. Das Druckkissen 3 nimmt das Druckmittel auf und dehnt sich dabei in der Höhe aus, so dass die am Druckkis sen 3 befestigte Läppscheibe 2 das auf ihr in Läppkä- figscheiben 12 befindliche Läppgut gegen die Läpp- scheibe 2 presst.
Claims (1)
- PATENTANSPRUCH Steuereinrichtung für eine Käfigläppmaschine, bei der ein Druckmittelsystem eine von zwei Läppscheiben be- und entlastbar gegen die erste fest angeordnete Läppscheibe vertikal steuert, dadurch gekennzeichnet, dass eine antreibbare Kurvenscheibe über einen dop pelarmigen Hebel mit dem Kolben eines Druckmittel zylinders in Verbindung steht,der über ein Rohrlei tungssystem mit einem Verdrängerzylinder und einem zwischen der Tischplatte der Käfigläppmaschine und der vertikal bewegbaren Läppscheibe angeordneten Druckkissen verbunden ist. UNTERANSPRÜCHE 1. Steuereinrichtung nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Kurvenscheibe so ausgebildet ist, dass der Druck im Druckkissen von Null bis zu einem Maximum kontinuierlich steuerbar ist. 2. Steuereinrichtung nach Patentanspruch und Un teranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kur venscheibe mit einem Programmgeber gekoppelt ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD12435267 | 1967-04-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH471639A true CH471639A (de) | 1969-04-30 |
Family
ID=5479314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH517768A CH471639A (de) | 1967-04-29 | 1968-04-08 | Steuereinrichtung für eine Käfigläppmaschine |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH471639A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0034659B1 (de) * | 1979-12-18 | 1983-08-10 | Peter Wolters, Maschinenfabrik | Steuereinrichtung für den Bearbeitungsdruck an Läpp-, Hon- und Schleifmaschinen |
-
1968
- 1968-04-08 CH CH517768A patent/CH471639A/de not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0034659B1 (de) * | 1979-12-18 | 1983-08-10 | Peter Wolters, Maschinenfabrik | Steuereinrichtung für den Bearbeitungsdruck an Läpp-, Hon- und Schleifmaschinen |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102005026100B4 (de) | Ziehkissenvorrichtung | |
DE3311390A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum ermitteln des auf ein bandsaegeblatt einwirkenden schneidwiderstandes | |
US2553092A (en) | Apparatus for stretch-bending work in different directions under a predetermined tension | |
CH471639A (de) | Steuereinrichtung für eine Käfigläppmaschine | |
DE1652230A1 (de) | Anordnung zur Steuerung einer Kaefiglaeppmaschine | |
DE894233C (de) | Vorrichtung zum Andruecken und Abheben der Buegelmulde bei Haushaltsbuegelmaschinen u. dgl. | |
EP0051121B1 (de) | Drückmaschine | |
DE714673C (de) | Reibscheibenspindelpresse | |
DE854749C (de) | Hochleistungs-Friktions-Spindelpresse | |
DE2953560C2 (de) | Vorrichtung zum ueberfuehren des rotors einer oe-spinnmaschine in eine ruhestellung. | |
DE750281C (de) | Vorrichtung zum Verdichten und Verformen von Bremsbelaegen | |
DE957617C (de) | Hebe- und Senkeinrichtung für Konsolfräsmaschinen | |
CH204937A (de) | Maschine zum Schleifen von Wälzkörpern mit gekrümmter Erzeugender. | |
DE1625112C3 (de) | Vorrichtung zum Stillsetzen einer von einem Kupplungsmotor angetriebenen Nahmaschine in bestimmter Nadelstellung | |
EP0272661A1 (de) | Spitzenlose Rundschleifmaschine | |
DE177170C (de) | ||
DE1785609C3 (de) | Vorrichtung zum Kräuseln von Garn | |
DE873532C (de) | Vorrichtung zum Erzielen eines schrittweise erfolgenden Vorschubs einstellbarer Groesse, insbesondere bei Kaltpilgermaschinen | |
DE902812C (de) | Antrieb von Spannwerkzeugen | |
DE581042C (de) | Brikettverladevorrichtung | |
AT276141B (de) | Vorrichtung zum Andrücken von Schleifwerkzeugen zum Flächenschleifen, insbesondere von Fahrzeugaufbauten | |
DE695043C (de) | Tragbare Flaechenschleif- und Poliereinrichtung mit einem kraftangetriebenen hin undher beweglichen Arbeitsschuh | |
DE2218883C3 (de) | Druckschuh für Langbandschleifmaschinen | |
DE641584C (de) | Vorrichtung zum Schleifen der Kanten von Ofenkacheln | |
DE1053757B (de) | Seilwinde mit Seilfuehrungsrollen und axial verschiebbarer Seiltrommel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PL | Patent ceased |