ATE69876T1 - Optische messanordnung des abstands zwischen einer oberflaeche und einer bezugsebene. - Google Patents

Optische messanordnung des abstands zwischen einer oberflaeche und einer bezugsebene.

Info

Publication number
ATE69876T1
ATE69876T1 AT87200991T AT87200991T ATE69876T1 AT E69876 T1 ATE69876 T1 AT E69876T1 AT 87200991 T AT87200991 T AT 87200991T AT 87200991 T AT87200991 T AT 87200991T AT E69876 T1 ATE69876 T1 AT E69876T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
radiation
distance
detection system
reference plane
optical
Prior art date
Application number
AT87200991T
Other languages
English (en)
Inventor
Boef Arie Jeffrey Den
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Application granted granted Critical
Publication of ATE69876T1 publication Critical patent/ATE69876T1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0608—Height gauges

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
AT87200991T 1986-06-04 1987-05-26 Optische messanordnung des abstands zwischen einer oberflaeche und einer bezugsebene. ATE69876T1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8601433 1986-06-04
EP87200991A EP0248479B1 (de) 1986-06-04 1987-05-26 Optische Messanordnung des Abstands zwischen einer Oberfläche und einer Bezugsebene

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE69876T1 true ATE69876T1 (de) 1991-12-15

Family

ID=19848116

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT87200991T ATE69876T1 (de) 1986-06-04 1987-05-26 Optische messanordnung des abstands zwischen einer oberflaeche und einer bezugsebene.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4874246A (de)
EP (1) EP0248479B1 (de)
JP (1) JP2529691B2 (de)
KR (1) KR880000771A (de)
AT (1) ATE69876T1 (de)
DE (1) DE3774765D1 (de)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0654231B2 (ja) * 1986-12-18 1994-07-20 株式会社ミツトヨ 非接触変位計
JPH0652171B2 (ja) * 1987-02-10 1994-07-06 株式会社オカダ 光学式非接触位置測定装置
EP0322356A3 (de) * 1987-12-19 1991-06-12 Baumer Electric Ag Verfahren und Vorrichtung zur optischen Distanzmessung
US5011960A (en) * 1988-05-20 1991-04-30 Fujitsu Limited Wiring pattern detection method and apparatus
EP0370770A1 (de) * 1988-11-22 1990-05-30 Hewlett-Packard Company Abstandsmessystem
US5113082A (en) * 1990-09-11 1992-05-12 Moshe Golberstein Electro-optical instrument with self-contained photometer
JPH04290914A (ja) * 1991-03-20 1992-10-15 Hitachi Zosen Corp 光学式変位センサおよび光学式変位測定方法
FR2680414B1 (fr) * 1991-08-14 1995-05-24 Sofie Ensemble d'observation et de mesures interferometriques simultanees par laser, en particulier sur des structures a couches minces.
US5270795A (en) * 1992-08-11 1993-12-14 National Research Council Of Canada/Conseil National De Rechereches Du Canada Validation of optical ranging of a target surface in a cluttered environment
DE4339710C2 (de) * 1993-11-22 1997-02-13 Univ Schiller Jena Optoelektronische Abstandsmeßeinrichtung
EP0920791B1 (de) * 1996-11-26 2006-05-24 Assembléon N.V. Methode zum anordnen von bauteilen auf einem träger mit kalibrierungsverfahren und vorrichtung dafür
DE19714202A1 (de) * 1997-04-07 1998-10-15 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen
US5978089A (en) * 1997-04-15 1999-11-02 Nextel Ltd. Non-contact method for measuring the shape of an object
DE10142206A1 (de) * 2001-08-25 2003-03-13 Fraunhofer Ges Forschung Messanordnung und Verfahren zur Bestimmung der Tiefe von in Substratoberflächen ausgebildeten Bohrungen oder nutenförmigen Einschnitten
DE10211070A1 (de) * 2002-03-13 2003-09-25 Gurny Broesch Andrea Vorrichtung zum Vermessen eines Messobjekts
JP4121803B2 (ja) * 2002-08-08 2008-07-23 株式会社トプコン 光波距離測定装置
DE102004002253B4 (de) * 2004-01-07 2009-06-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung des Abstandes zwischen einer Referenzebene und einer Substratoberfläche
JP2014523536A (ja) * 2011-07-19 2014-09-11 ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション 光コヒーレンストモグラフィーにおいて偏波モード分散補償を提供するためのシステム、方法、装置およびコンピュータアクセス可能な媒体
CN107003118B (zh) * 2014-12-02 2019-09-24 三菱电机株式会社 位移传感器、位移检测装置及位移检测方法
JP7181790B2 (ja) * 2018-12-28 2022-12-01 株式会社キーエンス レーザ加工装置
DE102020134317A1 (de) 2020-12-18 2022-06-23 Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Vorrichtung und Verfahren zur Fokuslagen-Bestimmung
DE102020134109B3 (de) 2020-12-18 2022-05-25 Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung Vorrichtung und Verfahren zur Fokuslagen-Bestimmung

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3606541A (en) * 1968-09-28 1971-09-20 Mitsubishi Electric Corp Contact-less probe system
FR2229042A1 (en) * 1973-05-11 1974-12-06 Onera (Off Nat Aerospatiale) Electro optical system for determining small displacements - facilitates vibration studies on bodies or models
DE2355185C2 (de) * 1973-11-05 1975-05-22 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Anordnung zur Dickenmessung von Gegenständen unter Verwendung von Laserstrahlen
US4110607A (en) * 1975-12-22 1978-08-29 Victor Company Of Japan, Ltd. System for detecting height fluctuations of a surface on a recording medium in an optical recording or reproducing apparatus
NL7803969A (nl) * 1978-04-14 1979-10-16 Philips Nv Opto-elektronisch fokusfout-detektiestelsel.
EP0071667A1 (de) * 1981-08-11 1983-02-16 Karl-Erik Morander Vorrichtung zur Bestimmung des reellen oder virtuellen Abstands einer Lichtquelle von einer Messebene
US4705941A (en) * 1983-06-30 1987-11-10 Kabushiki Kaisha Toshiba Apparatus for detecting a focusing state of an optical system
DE3331552A1 (de) * 1983-09-01 1985-03-28 Henning Dr.-Ing. 7440 Nürtingen Wolf Optisches einweg-entfernungsmessverfahren
JPS60100114A (ja) * 1983-11-05 1985-06-04 Canon Inc 合焦検出装置
EP0162973A1 (de) * 1984-05-30 1985-12-04 Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Abstandsmessvorrichtung
GB8422535D0 (en) * 1984-09-06 1984-10-10 Renishaw Plc Position-sensing apparatus
US4677302A (en) * 1985-03-29 1987-06-30 Siemens Corporate Research & Support, Inc. Optical system for inspecting printed circuit boards wherein a ramp filter is disposed between reflected beam and photodetector
US4645347A (en) * 1985-04-30 1987-02-24 Canadian Patents And Development Limited-Societe Canadienne Des Brevets Et D'exploitation Limitee Three dimensional imaging device
JPH0652170B2 (ja) * 1986-02-25 1994-07-06 株式会社オカダ 光結像式非接触位置測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR880000771A (ko) 1988-03-29
US4874246A (en) 1989-10-17
EP0248479B1 (de) 1991-11-27
DE3774765D1 (de) 1992-01-09
JP2529691B2 (ja) 1996-08-28
EP0248479A1 (de) 1987-12-09
JPS6325507A (ja) 1988-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE69876T1 (de) Optische messanordnung des abstands zwischen einer oberflaeche und einer bezugsebene.
ATE91554T1 (de) Anzeigevorrichtung.
DE59609787D1 (de) Vorrichtung zur messung der dicke transparenter gegenstände
SE8103773L (sv) Optisk digitizer/legesmetare
DE69314829T2 (de) Krümmungsmessung einer Oberfläche
ATE96902T1 (de) Optischer lagegeber.
EP0452665A2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Dicke undurchsichtiger oder durchsichtiger Schichten irgendeines Typs, unter Benutzung eines Lasers
FI933818A0 (fi) Foerfarande och anordning foer mycket noggrann avstaondsmaetning av ytor
ATE107785T1 (de) Passiv-infrarot-bewegungsmelder.
SE9202043L (sv) Optisk vinkelmätare
EP0130337A3 (de) Optische Messvorrichtung
ATE54489T1 (de) Anordnung fuer das optische messen von oberflaechenprofilen.
JPS57197422A (en) Detector for rotating angle
DE59105415D1 (de) Winkelmesseinrichtung.
CA2062550A1 (en) Optical distance measuring apparatus
EP0381633A3 (de) System für das automatische Kompensieren der Transversaloscillation der Scan-Ebene in einem Laserscanner für Profilmessung mittels einer Spezialeinrichtung
JPS57199909A (en) Distance measuring device
JPS57534A (en) Radiation thermometer utilizing mirror surface like reflection
JPS56130603A (en) Noncontacting displacement meter
SU1693369A1 (ru) Устройство дл определени нулевого положени объекта
SU1272103A1 (ru) Устройство дл измерени толщины пленок
DE69118480D1 (de) Vorrichtung zum Messen der Rauhigkeit eines sich bewegenden Metallerzeugnisses
SU942500A2 (ru) Пондеромоторный измеритель энергии ОКГ
SU1196686A1 (ru) Система компенсации угловых смещений объекта дл двухлучевых интерференционных измерителей перемещений
SU1587327A1 (ru) Интерферометр