AT137611B - Einrichtung zum Abbilden von Gegenständen. - Google Patents

Description

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  Einrichtung zum Abbilden von Gegenständen. 



   Da Elektronenstrahlen im feldfreien Raum   ähnlich   den Lichtstrahlen geradlinig verlaufen, erhält man auf einem Leuchtschirm ein vergrössertes Schattenbild, wenn man einen für die Strahlen   undurch-     dringlichen   Gegenstand in ein divergentes Strahlenbündel bringt. 



   Bei Kathodenstrahloszillographen wendet man häufig elektromagnetische Felder an, die den Strahl konzentrisch umgeben und eine Striktion des Strahles bewirken sollen. Diese Felder wirken auf den Strahl   ähnlich   ein wie eine optische Linse auf einen Lichtstrahl ; sie können das Strahlenbündel konvergent oder divergent machen. Infolgedessen erhält man bei Anwendung derartiger Striktionsfelder auf dem Leuchtschirm unter Umständen ebenfalls ein vergrössertes oder auch ein verkleinertes Leuchtbild des Kathodenstrahles. 



   Diese Vergrösserung von Schattenbildern ist bisher nur als technisch weniger wichtige Nebenerscheinung der Elektronenstrahlen betrachtet worden. Die Verkleinerung hat man bisher nur dazu ausgenutzt, einen scharfen Leuchtfleck (Brennpunkt) zu erhalten. 



   Nach der Erfindung wird die den Linsen der Optik ähnliche Wirkung von Kraftfelder, die einen   Elektrodenstrahl   konzentrisch umgeben und radial beeinflussen, dazu ausgenutzt,   Gegenstände   entsprechend dem Zweck der optischen Lupen und Mikroskope zu vergrössern. Dazu wird der zu vergrössernde Gegenstand einem Elektronenstrahl bzw. einem Strahlenbündel ausgesetzt und das Bündel entweder vor oder hinter dem Gegenstand durch   linsenähnlich   wirkende Felder konvergent oder divergent gemacht. 



   An sich ist es bereits bekannt, die Laufbahn der Elektronen eines Kathodenstrahls durch magnetische Spulen oder elektrostatische Blenden zu beeinflussen. Dies geschah aber vorwiegend zu dem Zwecke, eine Konzentration des Elektronenstrahls, insbesondere zur Erzielung scharfer Linien beim   Kathodenstrahloszillographen,   zu erzielen. Demgegenüber sollen bei der Erfindung die Spulen oder Blenden zur Erzeugung einer ruhenden Abbildung eines bestimmten Gegenstandes in der Art, wie dies in der Optik mit Hilfe von Linsen geschieht, benutzt werden. 



   Auf der Zeichnung ist in den Fig. 1-5 das Prinzip der Erfindung erläutert. In den Fig. 6-11 sind verschiedene Ausführungsbeispiele dargestellt. 



   Fig. 1 zeigt eine magnetische Striktionsspule, deren Breite klein ist   gegenüber   der   Bahnlänge   des Kathodenstrahlbündels. Die Strahlen werden durch das magnetische Feld zu der mit der Spulenachse zusammenfallenden Strahlenachse gedrängt, so dass die Strahlen in einem Brennfleck oder in einer Brennlinie, bei homogenen Strahlen in einem Brennpunkt zusammenlaufen. 



   Die gleiche Wirkung kann man aber auch erfindungsgemäss durch statisch aufgeladene Blenden erzielen, die im wesentlichen symmetrisch um die Strahlriel. tung verlaufen. In Fig. 2 ist eine derartige Blende dargestellt. Das elektrostatische Feld ist durch seine Kraftlinien wiedergegeben. Die Aufladung der Blende a ist negativ angenommen. Wenn die Elektronen eines   Kathodenstrahlbündels durch   die Blende strömen, so werden sie von ihr abgestossen. Sie werden daher aus ihrer ursprünglichen Bahn, die parallel verlaufend angenommen ist, nach innen abgelenkt und zu einem konvergenten Bündel mit 

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 dem Brennpunkt o vereinigt, den sie'divergent wieder verlassen.

   Da die radiale Komponente der Feld- stärke der Blende in ihrer Achse Null ist und nach aussen zunächst linear zunimmt, so werden die Elektronenstrahlen um so stärker abgelenkt, je weiter sie von der Strahlen-und Blendenachse entfernt sind. 



  Hiedurch wird bewirkt, dass sich sämtliche Strahlen an der gleichen Brennstelle vereinigen. Um diese   Proportionalität   der radialen Feldstärke vom   Aehsenabstand   mit ausreichender Genauigkeit zu verwirklichen, ist es zweckmässig, die Blendenöffnung erheblich grösser als die ursprüngliche Strahlenstärke zu machen oder dem Feld durch eine bestimmte Elektrodenform die geeignete Gestalt zu geben. 



   Wenn man die Spannung der Blende nicht negativ, sondern positiv wählt, so werden die Elektronenstrahlen zur Blende hingezogen. Man erhält dann, wie Fig. 3 zeigt, aus einem parallel verlaufen-   den Strahlenbündel   ein divergentes Bündel. Während also die negative Blende wie eine Kovexlinse der Optik wirkt, arbeitet die positive Blende wie eine Konkavlinse. Durch Zusammenstellen derartiger
Blenden kann man alle in der Optik bekannten Vorrichtungen, die auf konvergenten oder divergenten
Strahlenbündeln beruhen, für Elektronenstrahlen nachbilden. Es ist beispielsweise möglich, auf diese Weise ein Mikroskop oder Fernrohr aufzubauen, das direkte oder reflektierte Elektronenstrahlen auf- nimmt. 



   Auf diese Weise ausgebildete Lupen, Mikroskope und Fernrohre   ermöglichen Beobachtungen,   die der   optischen Untersuchung nicht zugänglich   sind, sie lassen ferner eine in der Grössenordnung beträchtlich stärkere Vergrösserung zu als die optischen. Instrumente, deren   Auflösungsvermögen   durch die Wellenlänge des Lichts   eingeschränkt   ist. Diese Einschränkung fehlt bei Lupen, die mit Elektronenstrahlen arbeiten, da deren Wellenlänge um mehrere Grössenordnungen kleiner ist. 



   Da die Ablenkung der Elektronenstrahlen von ihrer Geschwindigkeit abhängt, so erhält man nur dann einen scharfen Brennpunkt, wenn man mit homogenen Kathodenstrahlen arbeitet. Es empfiehlt sich daher, das Strahlenbündel homogen zu machen, bevor man den zu vergrössernden Gegenstand dem
Strahl aussetzt. Die Homogenität des Strahls kann man auf bekannte Weise erzielen, z. B. indem man den Strahl durch mehrere auf gleichem Potential befindliche Geschwindigkeitsblenden schickt. Erfindungsgemäss lässt sich jedoch auch für das Erzielen der Homogenität die Linsenwirkung radial wirkender magnetischer oder elektrostatischer Felder ausnutzen. 



   Ein Ausführungsbeispiel dieser Art ist in Fig. 4 dargestellt. Von der Kathode k geht ein divergentes und inhomogenes Strahlenbündel aus. Dieses Bündel wird durch eine elektrostatische Blende   Si   aufgefangen und nahezu parallel gerichtet. Die geladene Blende az konzentriert das   Strahlenbündel.   



  An der Brennstelle   01'die   den Strahlen des Bündels mit gewünschter Geschwindigkeit entspricht, ist eine Lochblende c angeordnet. Die Blende c kann aufgeladen oder auf Nullpotential gehalten sein. Da das Strahlenbündel auch Strahlen änderer Geschwindigkeit enthält, würde sich beim Fehlen der Blende c kein scharfer Brennpunkt o ausbilden ; vielmehr würden die einzelnen zu den Strahlen verschiedener Geschwindigkeit gehörenden Brennpunkte längs einer grösseren Strecke der   Strahlenachse   verteilt sein. 



  Durch die enge Lochblende c werden jedoch sämtliche Strahlen abgefangen, deren Brennpunkt an einer andern Stelle als bei o liegt. Infolgedessen tritt durch die Blende c ein divergentes Bündel, das nur oder vorwiegend Strahlen einer bestimmten Geschwindigkeit enthält. 



   Das die Blende c verlassende divergente, homogene Strahlenbündel wird durch eine weitere Blende   o ; g   parallel gerichtet. Hinter der Blende    <    wird der zu vergrössernde Gegenstand d in den Strahlengang gebracht und durch eine vierte geladene Blende a4 gemäss Fig. 2 vergrössert. 



   Des besseren Verständnisses halber ist bei dem in Fig. 4 dargestellten Beispiel für jede Beeinflussung des Strahles je eine besondere Blende verwendet. Man kann jedoch auch die Zahl der Blenden verringern oder gegebenenfalls vergrössern. Ferner kann man hinter der Blende a4 weitere Blenden anordnen, die zusammen mit der als Lupe wirkenden Blende a4 eine Vergrösserung ergeben, wie sie mit einem Mikroskop oder einem Fernrohr erreicht wird. Ein Beispiel dieser Art ist in Fig. 5 dargestellt. Der homogene, parallel gerichtete Elektronenstrahl fällt durch den zu beobachtende Körper d. Er geht 
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 des vergrösserten Strahlenquerschnittes ein und vergrössert diesen wiederum usw. Auf diese Weise   erhält   man eine kaskadenartige Vergrösserung.

   Nimmt man an, dass alle Blenden den gleichen Vergrösserungsfaktor haben, so ist die durch n-Blenden erzielte Vergrösserung gleich der n-ten Potenz des Vergrösserungsfaktors. Durch derartige Kaskadenanordnungen lassen sich starke Vergrösserungen erzielen, ohne dass das Feld der einzelnen Blenden eine unbequeme hohe Feldstärke haben muss. 



   Ähnliche Ergebnisse lassen sich auch mit Konvergenzblenden oder mit Anordnungen erzielen, die sowohl Konvergenz-oder Divergenzblenden enthalten. 



   Der zu vergrössernde Gegenstand d kann z. B. aus einer zu beobachtende dünnen Schicht bestehen, die den Elektrodenstrahl mehr oder weniger geschwächt hindurchlässt. 



   Anordnungen nach der Erfindung sind auch für Fälle anwendbar, in denen der zu beobachtende Gegenstand selbst die Quelle von Elektronenstrahlen ist, die Strahlen also direkt erzeugt oder reflektiert. 



  Ferner kann auch der zu untersuchende Gegenstand die Quelle von Sekundärstrahlen darstellen. In allen dipsen Fällen ist es möglich, mit Hilfe von geladenen Blenden Bilder zu erzielen, die den reellen 

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 oder virtuellen Bildern der Optik entsprechen. Es lassen sich auch Mikroskope im Sinne der Erfindung ausführen, die auf derartigen Abbildungen beruhen. 



   Die Prinzipien der Optik lassen sich also weitgehend auf Einrichtungen anwenden, die eine Vergrösserung eines zu beobachtende Gegenstandes mit Hilfe von Elektronenstrahlen bewirken. Das gilt sowohl für die in den Beispielen beschriebenen elektrostatisch wirkenden Anordnungen als auch für solche mit magnetischen Konvergenz-oder Divergenzfeldern. 



   Unter Umständen empfiehlt es sich, das Vakuum an den verschiedenen Stellen des Strahlengangs verschieden zu machen. Ferner kann es vorteilhaft sein, dem Elektronenstrahl an den verschiedenen Stellen des Strahlengangs eine verschiedene Geschwindigkeit zu geben zur Erzielung einer möglichst grossen   Intensität   des erzeugten Bildes und einer weitgehenden Unabhängigkeit von störenden Einflüssen. Z. B. empfiehlt es sich, Strahlen hoher Geschwindigkeit zu benutzen. Das erschwert aber anderseits in manchen Fällen die Anwendung der Einrichtung zum Untersuchen lebender Substanzen. In solchen Fällen können langsame Elektronen und ein geringeres Vakuum vorteilhafter sein, um Zerstörungen des zu untersuchenden Objektes zu vermeiden und gute Kontraste zu erzielen. 



   Fig. 6 zeigt ein   Ausführnngsbeispiel   der Erfindung, bei dem diese Schwierigkeiten vermieden werden können. 1 ist das Gehäuse der Einrichtung, 2 die darin untergebrachte Kathode, 3 das zu vergrössernde Objekt und 4 der Leuchtschirm. Mit 5 ist eine Sammelspule bezeichnet, die den von der Kathode 2 ausgehenden Elektronenstrahl parallel richtet oder konvergent macht. Die zwischen der Kathode und der Blende 6 liegende Anodenspannung ist bei dem dargestellten Beispiel hoch angenommen, um eine   möglichst   grosse Anzahl von Elektronen zu erzeugen. Die Elektronen haben infolgedessen eine ziemlich grosse Geschwindigkeit.

   Um zu verhindern, dass die Strahlen mit dieser Geschwindigkeit auf das zu vergrössernde Objekt 3 auftreffen und es zerstören und um bessere Kontraste zu erzielen, ist eine weitere Blende 7 vorgesehen, die gegenüber der Blende 6 und dem Elektronenstrahl negativ aufgeladen ist. Zwischen den Blenden 6 und 7 besteht infolgedessen ein in Längsrichtung des Strahles wirkendes elektrostatisches Feld, das die Strahlgeschwindigkeit verzögert. Der Strahl hat daher bei seinem Durchtritt durch das Objekt 3 eine verhältnismässig geringe Geschwindigkeit. 



   Hinter dem Objekt sitzen zwei weitere Blenden 8 und 9, von denen die Blende 8 negativ und die Blende 9 positiv geladen ist. Beide Blenden erzeugen zwischen sich ein Längsfeld, das den Strahl wieder beschleunigt. Hinter der Blende 9 sind die zum Vergrössern notwendigen Blenden oder Spulen   10   und 11 angeordnet, die zum   Vergrössern   des erzeugten Abbildes dienen. 



   Das Vakuum kann in den verschiedenen Abschnitten der Einrichtung versel ieden sein. Im Raum 12, der die Kathode 2 aufnimmt und durch die Blende 6 gegen den übrigen Teil des Entladunggefässes begrenzt ist, wird z. B. ein für die Erzeugung des Elektronenstrahles günstiges hohes Vakuum aufrechterhalten. In dem zwischen den Blenden 6 und 7 liegenden Verzögerungsraum 13 herrscht ein mittleres Vakuum. In dem Raum 14 zwischen den Blenden 7 und   8,   worin sich das abzubildende Objekt 3 befindet, wird ein   möglichst   niedriges Vakuum angewandt, im Beschleunigungsraum 15 zwischen den Blenden 8 und 9 ein mittleres Vakuum und in den zwischen der Blende 9 und dem Leuchtschirm 4 befindlichen Raum 16 zur Aufnahme des Abbildung-und Vergrösserungssatzes ein hohes Vakuum.

   Das Vakuum in den einzelnen Raumabschnitte kann dabei durch dauerndes Auspumpen hergestellt und konstant gehalten werden. 



   Fig. 7 zeigt eine Anordnung, bei der sich das zu untersuchende Objekt in Luft normalen Druckes befindet und durch ein Fenster (Lenard-Fenster) beobachtet wird. Der zu untersuchende Gegenstand wird durch eine Glühkathode oder mit Hilfe einer radioaktiven Substanz od. dgl. bestrahlt. Das Vakuumrohr 21 mit dem Leuchtschirm 22 ist durch ein Lenard-Fenster 23 zum Objekt 24 hin abgeschlossen. 



  Mit 25 und 26 sind Magnetspulen bezeichnet, die auf den Elektronenstrahl einwirken. Mit 27 ist die Elektronenquelle bezeichnet. Das von ihr ausgehende Strahlenbündel kann durch eine Striktionsspule 28 od. dgl. konvergent gemacht oder parallel gerichtet werden. 



   Bei Anwendung eines elektrisch erzeugten Kathodenstrahls kann man den Strahl ebenfalls durch ein Fenster aus dem Erzeugungsraum auf das zu vergrössernde Objekt übertreten lassen. Eine derartige Anordnung ist durch Fig. 8 wiedergegeben. In dem Vakuumrohr 29 ist eine Glühkathode 30 angeordnet. Der von dort ausgehende Strahl wird durch eine elektrostatische Blende 31 od. dgl. konvergent gemacht. Er fällt durch das Fenster 32 auf das Objekt 24. Die Beeinflussung des im Gehäuse 21 befindlichen Strahlenganges erfolgt bei diesem Beispiel durch elektrostatische Blenden 33 und 34. 



   Den Abstand zwischen dem Objekt und den Ein-oder Austrittsfenstern wird man so gering wie möglich halten, um die Absorption der Kathodenstrahlen in der Luft möglichst zu vermeiden. Man kann auch zur Verminderung der Absorption diese Teile des Raumes in einem Gefäss mit so niedrigem Vakuum anordnen, wie es das Objekt eben noch verträgt. Eine derartige Anordnung ist in Fig. 9 dargestellt. 



   Der zwischen den   Vakuumgebäusen   29 und 21 liegende Objektraum ist von einem Gehäuse 35 umgeben, in welchem ein niedriges Vakuum erzeugt wird. 



   Wenn das Strahlenbündel für die Abbildung des Objekts sehr eng ist, kann man unter Umständen auch ohne das Lenardsche Fenster auskommen, indem man die Elektronen lediglich durch ein feines
Loch in den Vakuumlaum ein-oder austreten   lässt.   Man ordnet dann nach Fig. 10 unmittelbar hinter 

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 dem Loch 36 eine kräftige Saugvorrichtung an, um die durch das Loch in das Vakuum ziehende Luft in einer oder mehreren Stufen zu beseitigen. In Fig. 10 sind zwei Stufen mit je einem Saugrohr 37 und 38 angegeben. 



   Das Objekt, das man durch Elektronenstrahlen vergrössert abbilden will, wird man beim Arbeiten mit durchfallenden Elektronen möglichst dünn ausführen. Damit es die nötige Konsistenz und Haltbarkeit besitzt, ordnet man es zweckmässig zwischen zwei Folien an, deren Dicke nur sehr geringe Bruchteile eines Millimeters beträgt und deren Mateiialdichte möglichst gering sein muss, um die Elektronenstrahlen nicht   Übermässig   zu bremsen. Zweckmässig verwendet man feinste   Plättchen   aus Metall, wie Gold, Silber oder Aluminium. 



   Wie bereits erwähnt, kann man mit Hilfe von Einrichtungen nach der Erfindung Feinheiten sichtbar machen, die weit jenseits des durch die Wellenlänge des Lichts bedingten optischen Auflösungs-   vermögen   liegen. Wegen der Unvollkommenheit der Linsenwirkung der magnetischen und elektrischen Felder ist es jedoch häufig schwierig, die Vergrösserung über einen gewissen Betrag zu steigern, der bei niedrigen Zehnerpotenzen liegt. In diesem Fall kann man die Vergrösserung in zwei Stufen vornehmen, indem man ausser dem Elektronenmikroskop noch ein optisches Mikroskop anwendet. In Fig. 11 ist eine derartige Anordnung dargestellt. Das Elektronenmikroskop ist mit 40 und das optische Mikroskop mit 41 bezeichnet.

   Das auf dem   Lichtschirm   des Elektronenmikroskops erzeugte Bild besitzt eine Vergrösserung, wie sie durch Elektronenstrahlen bequem erreichbar ist, z. B. eine Vergrösserung, die in der Grössenanordnung des   100fachen   liegt. 



   Um auf dem Leuchtschirm ein klares Bila zu erzielen, muss das Korn des Leuchtschirms möglichst fein sein. Vorteilhaft verwendet man eine geschliffene homogene Platte aus Einkristall, die beim Auftreffen des Strahlenbündels dessen Bild verzerrungsfrei darstellt. 



   Der elektrische und der optische Teil der Einrichtung kann zu einem einzigen Gerät zusammengebaut sein. 



   PATENT-ANSPRÜCHE :
1. Einrichtung zum Abbilden von Gegenständen durch Elektronenstrahlen, dadurch gekennzeichnet, dass vom abzubildenden, insbesondere zu vergrössernden Gegenstand direkt oder indirekt ausgehende oder ihn durchdringende Strahlen durch ein oder mehrere elektrostatische oder magnetische Felder koveigent, divergent oder parallel gerichtet und zur Erzeugung eines ruhenden (d. h. seinen Standort während der Beobachtung nicht wechselnden) Abbildes gebracht werden und dieses Bild selbst einer Beobachtung oder Messung oder Vergrösserung unterzogen wird.

Claims (1)

1. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Kathodenstrahl vor oder nach dem Auftreffen auf den zu vergrössernden Gegenstand z. B. durch magnetische oder elektrostatische Felder homogen gemacht wird.

   3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahl vor seinem Auftreffen auf den zu vergrössernden Gegenstand parallel gerichtet wird.

   4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere das Strahlenbündel radial beeinflussende Felder zu einer die Vergrösserung nach Art eines Mikroskops oder Fernrohres steigernden Wirkung zusammengesetzt sind.

   5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Divergenz oder Konvergenz erzeugende Felder hintereinander so angeordnet sind, dass sie eine kaskadenartig Steigerung der Vergrösserung ergeben.

   6. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der abzubildende Gegenstand selbst (z. B. als glühender Körper) Elektronenstrahlen aussendet.

   7. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im Verlauf des Strahlengangs reelle oder virtuelle Bilder im Sinne der bei optischen Mikroskopen oder Fernrohren entstehenden erzeugt weiden.

   8. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Stärke des Vakuums an verschiedenen Stellen des Strahlengangs verschieden ist (Fig. 6).

   9. Einrichtung nach Anspruch 8, bei der die Geschwindigkeit des Strahls an verschiedenen Stellen des Strahlengangs unter dem Einfluss elektrostatischer in Längsrichtung des Strahls wirkender Felder verschieden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Vakuum an den Stellen niedriger Elektronengeschwindigkeit niedriger ist als an den Stellen höherer Elektronengeschwindigkeit.

   10. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Vakuum in der Umgebung des zu vergrössernden Gegenstandes niedriger ist als im übrigen Teil des Strahlenganges.

   11. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass in der Umgebung des zu vergrössernden Gegenstandes ein niedriges Vakuum, an den Verzögerungs-oder Beschleunigungsstrec. ken des Vakuums und ausserhalb dieser Stellen ein höheres Vakuum angewandt ist.

   12. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Vakuum an den verschiedenen Raumabschnitte des Strahlenganges durch dauerndes Auspumpen aufrechterhalten wird.

   13. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektronenstrahl durch in seiner Längsrichtung wirkende elektrostatische Felder beeinflusst ist derait, dass er in den verschiedenen <Desc/Clms Page number 5> Abschnitten des Strahlenganges eine andere an der jeweiligen Stelle erwünschte Geschwindigkeit hat (Fig. 6).

   14. Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der abzubildende Gegenstand einem Elektronenstrahl geringer Geschwindigkeit ausgesetzt und die Geschwindigkeit im weiteren Verlauf des Strahlenganges durch in Richtung des Strahles wirkende elektrostatische Beschleunigungsfelder gesteigert wird.

   15. Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet,'dass der Elektronenstrahl vor seinem Durchtritt durch den abzubildenden Gegenstand durch ein in Längsrichtung des Strahls wirkendes Verzögerungsfeld verlangsamt wird.

   16. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Vakuumraum, der den die Vergrösserung bewirkenden Teil des Strahlenganges aufnimmt, gegen das ausserhalb liegende Objekt hin durch ein vom Elektronenstrahl durchdringbares Fenster (Lenard-Fenster) abgeschlossen ist.

   17. Elektronenmikroskop nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass sich der zu vergrössernde Gegenstand in Luft normalen Druckes befindet.

   18. Elektronenmikroskop nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass ein die Elektronenquelle, insbesondere eine Glühkathode enthaltender Vakuumraum durch ein Lenard-Fenster od. dgl. abgeschlossen ist, durch das die Elektronenstrahlen auf den zu vergrössernden Gegenstand fallen.

   19. Elektronenmikroskop nach Anspruch 16 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass das Fenster aus einer freien Öffnung besteht, hinter der die durch die Öffnung in das Vakuum strömende Luft in einer oder mehreren Stufen abgesaugt wird.

   20. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vergrösserung in zwei Stufen erfolgt, u. zw. ausser durch Elektronenstrahlen auch durch ein optisches Mikroskop.

   21. Einrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die durch Elektronenstrahlen erzielte lineare Vergrösserung in der Grössenordnung des 100fachen liegt und dass die weitere Vergrösserung des durch die Elektronenstrahlen erzeugten reellen Bildes optisch erzielt wird.

   22. Einrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass der Leuchtschirm, auf dem das optische weiter zu vergrössernde Bild entsteht, aus einem homogenen, geschliffenen Einkristall besteht. EMI5.1