DE758245C - Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe - Google Patents

Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe

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Publication number
DE758245C
DE758245C DES129937D DES0129937D DE758245C DE 758245 C DE758245 C DE 758245C DE S129937 D DES129937 D DE S129937D DE S0129937 D DES0129937 D DE S0129937D DE 758245 C DE758245 C DE 758245C
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DE
Germany
Prior art keywords
crystal structure
vol
examining
cathode rays
diffraction rings
Prior art date
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Expired
Application number
DES129937D
Other languages
English (en)
Inventor
Theodor Dr Zimmer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Reiniger Werke AG
Original Assignee
Siemens Reiniger Werke AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Reiniger Werke AG filed Critical Siemens Reiniger Werke AG
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Application granted granted Critical
Publication of DE758245C publication Critical patent/DE758245C/de
Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/295Electron or ion diffraction tubes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

  • Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe Eine monochromatische Elektronenstrahlung hat entspicechend der de Broglieschen Beziehung eine .bestimmte Wellenlänge und ergibt bei Streuung durch Materie Interferenzerscheinungen, die Ähnlichkeit haben mit denjenigen Erscheinungen, die bei Röntgenstrahlen auftreten. Es ist bekannt, die Interferenz von Elektronenstrahlen zur Untersuchung von Oberflächen zu benutzen. Die bekannten Einrichtungen zur Untersuchung mit Elektronenstrahlen haben den Nachteil, daß der zu untersuchende Körper und das Strahl-.erzeugungssystem in den gleichen Vakuumraum hereingebracht werden müssen. Es ist daher erforderlich, beim Wechseln des Prüfkörpers jedesmal die gesamte Einrichtung mit der Außenluft in Verbindung zu bringen und jedesmal einen langwierigen Pump- und Entgasungsprozeß vorzunehmen.
  • Es sind auch Elektronenmikroskope, also nach den Gesetzen der geometrischen Optik wirkende Einrichtungen, bekannt, bei denen der zu untersuchende Gegenstand von der Elektronenstrahlung durchstrahlt werden muß, die also grundsätzlich verschieden von der vorliegenden Einrichtung sind. Bei einer
    dieser bekannten Einrichtungen ist es erfor-
    derlich. daß der Prüfkörper in einem sehr
    niedrigen Vakuum oder in Luft untersucht
    wird, wogegen derLeuchtschirm sich in einem
    Behälter mit hohem Vakuum befinden muß.
    Den Prüfkörper und den Leuchtschirm mit
    Ausnahme des Strahlerzeugungssystems bei
    einem Elektronenmikroskop in einem gemein-
    samen, für sich evakuierbaren Behälter unter-
    zubringen, wäre wegen der Spannung führen-
    den Blenden, Striktionsspulen u. dgl. und
    wegen der großen Abmessungen und Ge-
    wichte, die ein solcher Behälter hat, sehr um-
    ständlich und schwierig. Das Auspumpen die-
    ses Behälters nach jedem Wechsel des Prüf-
    körpers wäre sehr zeitraubend.
    Die vorliegende Einrichtung zur Unter-
    suchung der Kristallstruktur mit Kathoden-
    strahlen zur Aufnahme der Beugungsringe
    besteht dagegen erfindungsgemäß aus einer
    vakuumdicht abgeschlossenen Elektronen-
    röhre mit Lenardfenster und einem an diese
    angesetzten, für sich evakuierbaren, zum Ein-
    bringen und zur Aufnahme des Prüfkörpers
    und der Filme oder Leuchtschirme geeignet
    gemachten Behälter. Die Anforderungen an
    den Grad der Luftleere- in diesem Behälter
    sind gering und werden beispielsweise von
    einer einfachen Wasserstrahlpumpe erfüllt.
    Das Auswechseln des Prüfkörpers kann sehr
    schnell erfolgen. da das erforderliche Vakuum
    rasch herzustellen ist, während das Vakuum
    der Entladungsröhre selbst von dem Aus-
    wechseln des Prüfkörpers nicht beeinfiußt
    wird.
    Die neue Anordnung bringt hier besondere
    technische Vorteile und Erleichterungen
    beim Arbeiten mit einer solchen Einrichtung
    gegenüber den bekannten Anordnungen. Un-
    tersuchungskörper und Film können auf sehr
    einfache Weise ausgetauscht werden, und der
    gemeinsame Behälter kann sehr rasch (mit
    einer Wasserstrahlpumpe) wieder evakuiert
    werden. Besondere und kostspielige Pump-
    einrichtungen für die Kathodenstrahlröhre
    sind nicht erforderlich, da eine abgeschmol-zene Röhre verwendet und fest angeordnet
    werden kann.
    In den Abbildungen sind zwei Ausfüh-
    rungsbeispiele der Erfindung dargestellt.
    Die Abb. i zeigt eine Einrichtung zur
    Untersuchung mit Kathodenstrahlen, bei der
    ein parallel ausgeblendetes Elektronenbündel
    Verwendung findet. Die Kathodenstrahl-
    röhre i ist mit einer Glühkathode 2 und einer
    rohrförmigen Anode 3 ausgerüstet. Das
    Anodenrohr 3 weist an dem der Kathode zu-
    gewandten Ende eine Öffnung ,4 für den Ein-
    tritt der Kathodenstrahlen auf. Am andern
    Ende ist das Anodenrohr mit einem dicken
    Blech 5 verschlossen, in dem sich ein kleines
    Lenardfenster 6 für den Austritt des Katho-
    denstrahlenbündels befindet. Die Kathoden-
    strahlröhre ist völlig vakuumdicht nach
    außen abgeschlossen. An das Anodenrohr der
    Vakuumröhre ist ein evakuierbarer Behälter 8
    mit dem rohrförmigen Ansatz 7 angesetzt.
    Der rohrförmige Ansatz 7 wird über das
    Ende des Anodenrohres herübergeschoben
    und mit Hilfe der Flanschdichtung 9 vakuum-
    dicht mit dem Anodenrohr verbunden. An der
    Verbindungsstelle des Ansatzes 7 mit dem
    Behälter 8 befindet sich eine Elektronenblende
    io, die zusammen mit der Blende 5 ein par-
    alleles Elektronenbündel ausblendet. Dieses
    Elektronenbündel enthält im wesentlichen
    Elektronen von einheitlicher Geschwindigkeit;
    denn diejenigen Elektronen, die in der Folie
    des Lernardfensters 6 einen Geschwindigkeits-
    verlust erfahren, werden abgelenkt und
    treffen, wie durch die Pfeile i i angedeutet
    ist, auf die Metallteile der Blende io auf. Das
    ausgeblendete Elektronenbündel. trifft auf den
    Untersuchungskörper 12, der an der Halte-
    vorrichtung 13 befestigt ist, auf und wird hier
    nach rückwärts (Pfeile 1q.) oder bei dem
    Durchstrahlungsverfa:hren nach vorwärts
    (Pfeile 15) gestreut. Auf den Filmen 16 bzw.
    17 entstehen Beugungsbilder, die Rück-
    schlüsse auf die Struktur des Prüfkörpers 12
    gestatten. In vielen Fällen entstehen auch an
    den Seitenwänden des Behälters 8 Inter-
    ferenzfiguren, die in gleicher Weise nach-
    gewiesen werden können. Selbstverständlich
    können statt der Filme Leuchtschirme An-
    wendung linden, die direkt beobachtet werden
    können, wenn die Wandungen des Behälters 8
    ganz oder teilweise aus durchsichtigem Stoff
    (Glas) bestehen. Um die Filme und den
    -Prüfkörper auswechseln zu können., ist der
    Boden i8 der Kammer 8 abnehmbar gestaltet
    und mit einer Flanschdichtung i9 versehen.
    Die Kammer 8 ist durch den Pumpansatz 2o
    mit einer Wasserstrahlpumpe verbunden und
    kann in kürzester Zeit auf den erforderlichen
    Druck ausgepumpt werden.
    Die Abh. 2 zeigt eine Einrichtung zur Un-
    tersuchung mit Kathodenstrahlen, bei der ein
    Elektronenbündel auf einen Prüfkörper 21
    gerichtet wird. Besteht dieser Prüfkörper aus
    einem oder mehreren Kristallen, so sendet er,
    wie K o s s e 1 zuerst gezeigt hat; in bestimmten,
    von der Kristallstruktur abhängigen Rich-
    tungen Röntgenstrahlen aus. Die Elektronen-
    röhre 22 ist mit einer Glühkathode 23 und
    einer rohrförmigen Anode 24 ausgestattet.
    Das Anodenrohr ist durch das den ganzen
    Rohrquerschnitt einnehmende Lenardfenster
    25 abgeschlossen. Wie in dem Ausführungs-
    beispiel i dargestellt, ist mittels einer
    Flanschdichtung 26 der rohrförmige Ansatz
    27 des Behälters 28 an das Anodenende der
    Vakuumröhre angesetzt. Durch die Magnetspule 2g wird das Elektronenbündel auf den Spalt 30 fokussiert und mit Hilfe der Magnetspule 31 auf den Prüfkörper 21 gerichtet. Die vom Präparat ausgehenden Röntgenstrahlen 32 fallen auf den Film oder den Leuchtschirm 33, der zum Schutze gegen Streuelektronen mit einer Aluminiumfolie 34 bedeckt ist.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe, gekennzeichnet durch eine vakuumdicht abgeschlossene Elektronenröhre mit Lenardfenster und einem an diese angesetzten, für sich evakuierbaren, zum Einbringen und zur Aufnahme des -Prüfkörpers und der Filme oder Leuchtschirme geeignet gemachten Behälter. ZurAbgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen worden: Deutsche Patentschrift Nr. 338 286; österreichische Patentschrift Nr. 137 611; französische Patentschrift Nr. 737 716; britische Patentschrift Nr. 299.735; Stark, Johannes, »Die Elektrizität in Gasen«, Leipzig igo2, S. 336/337; Sitzungsberichte der Akademie d!er Wissenschaften, Berlin 1&g3, Bd. I, S. 3 bis 7; Marx, Erich, »Handbuch derRadiologie«, Leipzig igig, Bd. 5, S. 627 bis 632; Proceedings of the Royal Society, Bd. i 17, London, 1928, S. 602.
DES129937D 1937-12-08 1937-12-08 Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe Expired DE758245C (de)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0003659A2 (de) * 1978-02-03 1979-08-22 Hitachi, Ltd. Vorrichtung und Verfahren zur Materialanalyse durch einen Strahl geladener Teilchen

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DE338286C (de) *
GB299735A (en) * 1927-05-30 1928-10-30 Hermann Plauson Process and apparatus for producing rapidly moving electrons and for subjecting matter thereto
FR737716A (fr) * 1931-05-31 1932-12-15 Siemens Ag Dispositif pour obtenir des images d'objets
AT137611B (de) * 1931-05-30 1934-05-25 Siemens Ag Einrichtung zum Abbilden von Gegenständen.

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