DE758245C - Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe - Google Patents
Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der BeugungsringeInfo
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- DE758245C DE758245C DES129937D DES0129937D DE758245C DE 758245 C DE758245 C DE 758245C DE S129937 D DES129937 D DE S129937D DE S0129937 D DES0129937 D DE S0129937D DE 758245 C DE758245 C DE 758245C
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
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Description
- Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe Eine monochromatische Elektronenstrahlung hat entspicechend der de Broglieschen Beziehung eine .bestimmte Wellenlänge und ergibt bei Streuung durch Materie Interferenzerscheinungen, die Ähnlichkeit haben mit denjenigen Erscheinungen, die bei Röntgenstrahlen auftreten. Es ist bekannt, die Interferenz von Elektronenstrahlen zur Untersuchung von Oberflächen zu benutzen. Die bekannten Einrichtungen zur Untersuchung mit Elektronenstrahlen haben den Nachteil, daß der zu untersuchende Körper und das Strahl-.erzeugungssystem in den gleichen Vakuumraum hereingebracht werden müssen. Es ist daher erforderlich, beim Wechseln des Prüfkörpers jedesmal die gesamte Einrichtung mit der Außenluft in Verbindung zu bringen und jedesmal einen langwierigen Pump- und Entgasungsprozeß vorzunehmen.
- Es sind auch Elektronenmikroskope, also nach den Gesetzen der geometrischen Optik wirkende Einrichtungen, bekannt, bei denen der zu untersuchende Gegenstand von der Elektronenstrahlung durchstrahlt werden muß, die also grundsätzlich verschieden von der vorliegenden Einrichtung sind. Bei einer
dieser bekannten Einrichtungen ist es erfor- derlich. daß der Prüfkörper in einem sehr niedrigen Vakuum oder in Luft untersucht wird, wogegen derLeuchtschirm sich in einem Behälter mit hohem Vakuum befinden muß. Den Prüfkörper und den Leuchtschirm mit Ausnahme des Strahlerzeugungssystems bei einem Elektronenmikroskop in einem gemein- samen, für sich evakuierbaren Behälter unter- zubringen, wäre wegen der Spannung führen- den Blenden, Striktionsspulen u. dgl. und wegen der großen Abmessungen und Ge- wichte, die ein solcher Behälter hat, sehr um- ständlich und schwierig. Das Auspumpen die- ses Behälters nach jedem Wechsel des Prüf- körpers wäre sehr zeitraubend. Die vorliegende Einrichtung zur Unter- suchung der Kristallstruktur mit Kathoden- strahlen zur Aufnahme der Beugungsringe besteht dagegen erfindungsgemäß aus einer vakuumdicht abgeschlossenen Elektronen- röhre mit Lenardfenster und einem an diese angesetzten, für sich evakuierbaren, zum Ein- bringen und zur Aufnahme des Prüfkörpers und der Filme oder Leuchtschirme geeignet gemachten Behälter. Die Anforderungen an den Grad der Luftleere- in diesem Behälter sind gering und werden beispielsweise von einer einfachen Wasserstrahlpumpe erfüllt. Das Auswechseln des Prüfkörpers kann sehr schnell erfolgen. da das erforderliche Vakuum rasch herzustellen ist, während das Vakuum der Entladungsröhre selbst von dem Aus- wechseln des Prüfkörpers nicht beeinfiußt wird. Die neue Anordnung bringt hier besondere technische Vorteile und Erleichterungen beim Arbeiten mit einer solchen Einrichtung gegenüber den bekannten Anordnungen. Un- tersuchungskörper und Film können auf sehr einfache Weise ausgetauscht werden, und der gemeinsame Behälter kann sehr rasch (mit einer Wasserstrahlpumpe) wieder evakuiert werden. Besondere und kostspielige Pump- einrichtungen für die Kathodenstrahlröhre sind nicht erforderlich, da eine abgeschmol-zene Röhre verwendet und fest angeordnet werden kann. In den Abbildungen sind zwei Ausfüh- rungsbeispiele der Erfindung dargestellt. Die Abb. i zeigt eine Einrichtung zur Untersuchung mit Kathodenstrahlen, bei der ein parallel ausgeblendetes Elektronenbündel Verwendung findet. Die Kathodenstrahl- röhre i ist mit einer Glühkathode 2 und einer rohrförmigen Anode 3 ausgerüstet. Das Anodenrohr 3 weist an dem der Kathode zu- gewandten Ende eine Öffnung ,4 für den Ein- tritt der Kathodenstrahlen auf. Am andern Ende ist das Anodenrohr mit einem dicken Blech 5 verschlossen, in dem sich ein kleines Lenardfenster 6 für den Austritt des Katho- denstrahlenbündels befindet. Die Kathoden- strahlröhre ist völlig vakuumdicht nach außen abgeschlossen. An das Anodenrohr der Vakuumröhre ist ein evakuierbarer Behälter 8 mit dem rohrförmigen Ansatz 7 angesetzt. Der rohrförmige Ansatz 7 wird über das Ende des Anodenrohres herübergeschoben und mit Hilfe der Flanschdichtung 9 vakuum- dicht mit dem Anodenrohr verbunden. An der Verbindungsstelle des Ansatzes 7 mit dem Behälter 8 befindet sich eine Elektronenblende io, die zusammen mit der Blende 5 ein par- alleles Elektronenbündel ausblendet. Dieses Elektronenbündel enthält im wesentlichen Elektronen von einheitlicher Geschwindigkeit; denn diejenigen Elektronen, die in der Folie des Lernardfensters 6 einen Geschwindigkeits- verlust erfahren, werden abgelenkt und treffen, wie durch die Pfeile i i angedeutet ist, auf die Metallteile der Blende io auf. Das ausgeblendete Elektronenbündel. trifft auf den Untersuchungskörper 12, der an der Halte- vorrichtung 13 befestigt ist, auf und wird hier nach rückwärts (Pfeile 1q.) oder bei dem Durchstrahlungsverfa:hren nach vorwärts (Pfeile 15) gestreut. Auf den Filmen 16 bzw. 17 entstehen Beugungsbilder, die Rück- schlüsse auf die Struktur des Prüfkörpers 12 gestatten. In vielen Fällen entstehen auch an den Seitenwänden des Behälters 8 Inter- ferenzfiguren, die in gleicher Weise nach- gewiesen werden können. Selbstverständlich können statt der Filme Leuchtschirme An- wendung linden, die direkt beobachtet werden können, wenn die Wandungen des Behälters 8 ganz oder teilweise aus durchsichtigem Stoff (Glas) bestehen. Um die Filme und den -Prüfkörper auswechseln zu können., ist der Boden i8 der Kammer 8 abnehmbar gestaltet und mit einer Flanschdichtung i9 versehen. Die Kammer 8 ist durch den Pumpansatz 2o mit einer Wasserstrahlpumpe verbunden und kann in kürzester Zeit auf den erforderlichen Druck ausgepumpt werden. Die Abh. 2 zeigt eine Einrichtung zur Un- tersuchung mit Kathodenstrahlen, bei der ein Elektronenbündel auf einen Prüfkörper 21 gerichtet wird. Besteht dieser Prüfkörper aus einem oder mehreren Kristallen, so sendet er, wie K o s s e 1 zuerst gezeigt hat; in bestimmten, von der Kristallstruktur abhängigen Rich- tungen Röntgenstrahlen aus. Die Elektronen- röhre 22 ist mit einer Glühkathode 23 und einer rohrförmigen Anode 24 ausgestattet. Das Anodenrohr ist durch das den ganzen Rohrquerschnitt einnehmende Lenardfenster 25 abgeschlossen. Wie in dem Ausführungs- beispiel i dargestellt, ist mittels einer Flanschdichtung 26 der rohrförmige Ansatz 27 des Behälters 28 an das Anodenende der
Claims (1)
- PATENTANSPRUCH: Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe, gekennzeichnet durch eine vakuumdicht abgeschlossene Elektronenröhre mit Lenardfenster und einem an diese angesetzten, für sich evakuierbaren, zum Einbringen und zur Aufnahme des -Prüfkörpers und der Filme oder Leuchtschirme geeignet gemachten Behälter. ZurAbgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen worden: Deutsche Patentschrift Nr. 338 286; österreichische Patentschrift Nr. 137 611; französische Patentschrift Nr. 737 716; britische Patentschrift Nr. 299.735; Stark, Johannes, »Die Elektrizität in Gasen«, Leipzig igo2, S. 336/337; Sitzungsberichte der Akademie d!er Wissenschaften, Berlin 1&g3, Bd. I, S. 3 bis 7; Marx, Erich, »Handbuch derRadiologie«, Leipzig igig, Bd. 5, S. 627 bis 632; Proceedings of the Royal Society, Bd. i 17, London, 1928, S. 602.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES129937D DE758245C (de) | 1937-12-08 | 1937-12-08 | Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DES129937D DE758245C (de) | 1937-12-08 | 1937-12-08 | Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE758245C true DE758245C (de) | 1953-01-26 |
Family
ID=7538290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DES129937D Expired DE758245C (de) | 1937-12-08 | 1937-12-08 | Einrichtung zur Untersuchung der Kristallstruktur mit Kathodenstrahlen zur Aufnahme der Beugungsringe |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE758245C (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0003659A2 (de) * | 1978-02-03 | 1979-08-22 | Hitachi, Ltd. | Vorrichtung und Verfahren zur Materialanalyse durch einen Strahl geladener Teilchen |
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DE338286C (de) * | ||||
GB299735A (en) * | 1927-05-30 | 1928-10-30 | Hermann Plauson | Process and apparatus for producing rapidly moving electrons and for subjecting matter thereto |
FR737716A (fr) * | 1931-05-31 | 1932-12-15 | Siemens Ag | Dispositif pour obtenir des images d'objets |
AT137611B (de) * | 1931-05-30 | 1934-05-25 | Siemens Ag | Einrichtung zum Abbilden von Gegenständen. |
-
1937
- 1937-12-08 DE DES129937D patent/DE758245C/de not_active Expired
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EP0003659A3 (de) * | 1978-02-03 | 1979-09-05 | Hitachi, Ltd. | Vorrichtung und Verfahren zur Materialanalyse durch einen Strahl geladener Teilchen |
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