WO2024143130A1 - 光学フィルタ - Google Patents

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degrees
optical filter
dielectric multilayer
incident angle
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崇 長田
貴尋 坂上
和彦 塩野
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Agc株式会社
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    • GPHYSICS
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    • G02B5/28Interference filters

Definitions

  • the optical filter described in Patent Document 1 blocks a wide range of near-infrared light solely through the absorption characteristics of the dye, which reduces the transmittance in the visible light range, leaving room for improvement.
  • reflected light may be reflected again by a lens surface and enter the sensor, or light reflected by a dielectric multilayer film surface may be reflected again and enter the sensor, resulting in a phenomenon known as stray light, where light is generated outside the intended optical path.
  • the use of such filters may cause flare or ghosting in the solid-state imaging element, or may result in reduced image quality.
  • optical filters that are less susceptible to stray light.
  • the present invention aims to provide an optical filter that has excellent transmittance in the visible light region, excellent shielding properties in a wide range of near-infrared light including around 1200 nm, small changes in spectral characteristics even at high angles of incidence, suppresses stray light, and has small reflectance characteristics in the ultraviolet light region.
  • the present invention provides an optical filter etc. having the following configuration.
  • An optical filter comprising a dielectric multilayer film 1, a substrate having a near-infrared absorbing glass and a resin film, and a dielectric multilayer film 2 in this order, the resin film contains a near-infrared absorbing dye, an ultraviolet absorbing dye, and a resin,
  • the optical filter satisfies all of the following spectral characteristics (i-1) to (i-9).
  • the absolute value of the difference between the average transmittance T 440-600 (0 deg) AVE at a wavelength of 440 to 600 nm and an incident angle of 0 degrees and the average transmittance T 440-600 (60 deg) AVE at a wavelength of 440 to 600 nm and an incident angle of 60 degrees is 12% or less.
  • the average transmittance T 440-600 (0 deg) AVE is 78% or more.
  • the wavelength IR_T 50 (0 deg ) at which the transmittance is 50% at an incident angle of 0 degrees is in the wavelength range of 590 to 640 nm.
  • the average transmittance T 700-800 (0 deg) AVE at a wavelength of 700 to 800 nm and an incident angle of 0 degrees is 1% or less.
  • the average reflectance R1 at a wavelength of 370 to 420 nm and an incident angle of 5 degrees 370-420 5 deg) AVE is 35% or less
  • the wavelength IR1_R 50 (5 deg) at which the reflectance becomes 50% at an incident angle of 5 degrees is in the wavelength range of 790 to 860 nm
  • the present invention provides an optical filter that has excellent transmittance in the visible light region, excellent shielding in a wide range of near-infrared light including around 1200 nm, small changes in spectral characteristics even at high angles of incidence, suppresses stray light, and has small reflectance characteristics in the ultraviolet light region.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an example of an optical filter according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram showing the spectral transmittance curve (0° transmittance, 60° transmittance) of the optical filter of Example 1.
  • FIG. 3 is a diagram showing the spectral reflectance curves (5° reflectance, 60° reflectance, dielectric multilayer film 1 side) of the optical filter of Example 1.
  • FIG. 4 is a diagram showing the spectral reflectance curves (5° reflectance, 60° reflectance, dielectric multilayer film 2 side) of the optical filter of Example 1.
  • FIG. 5 is a diagram showing the spectral transmittance curves (0° transmittance, 60° transmittance) of the optical filter of Example 2.
  • FIG. 2 is a diagram showing the spectral transmittance curve (0° transmittance, 60° transmittance) of the optical filter of Example 1.
  • FIG. 3 is a diagram showing the spectral reflectance curves (5° reflectance, 60° reflectance, dielectric multilayer
  • FIG. 6 is a diagram showing the spectral transmittance curves (0° transmittance, 60° transmittance) of the optical filter of Example 3.
  • FIG. 7 is a diagram showing the spectral reflectance curves (5° reflectance, 60° reflectance, dielectric multilayer film 1 side) of the optical filter of Example 3.
  • FIG. 8 is a diagram showing the spectral transmittance curves (0° transmittance, 60° transmittance) of the optical filter of Example 4.
  • FIG. 9 is a diagram showing the spectral transmittance curves (0° transmittance, 60° transmittance) of the optical filter of Example 5.
  • the near-infrared absorbing dye may be abbreviated as "NIR dye” and the ultraviolet absorbing dye may be abbreviated as "UV dye”.
  • NIR dye near-infrared absorbing dye
  • UV dye ultraviolet absorbing dye
  • the compound represented by formula (I) is referred to as compound (I).
  • the dye consisting of compound (I) is also referred to as dye (I), and the same applies to other dyes.
  • the group represented by formula (I) is also referred to as group (I), and the same applies to groups represented by other formulas.
  • internal transmittance is the transmittance obtained by subtracting the effect of interface reflection from the measured transmittance, as expressed by the formula ⁇ measured transmittance (incident angle 0 degrees) / (100 - reflectance (incident angle 5 degrees)) ⁇ x 100.
  • a transmittance of 90% or more in a specific wavelength range means that the transmittance is not below 90% in the entire wavelength range, i.e., the minimum transmittance is 90% or more in the wavelength range.
  • a transmittance of 1% or less in a specific wavelength range means that the transmittance is not more than 1% in the entire wavelength range, i.e., the maximum transmittance is 1% or less in the wavelength range.
  • the average transmittance and average internal transmittance in a specific wavelength range are the arithmetic mean of the transmittance and internal transmittance per 1 nm in the wavelength range.
  • the reflectance when the dielectric multilayer film side is the incident direction refers to the optical characteristics of the light reflected when measurement light is incident toward the surface of the dielectric multilayer film provided on the optical filter.
  • the spectral characteristics can be measured using an ultraviolet-visible spectrophotometer. In this specification, any numerical range expressed by "to” includes the upper and lower limits.
  • the optical filter according to this embodiment includes, in this order, a dielectric multilayer film 1, a substrate having a near-infrared absorbing glass and a resin film, and a dielectric multilayer film 2.
  • the resin film contains a near-infrared absorbing dye, an ultraviolet absorbing dye, and a resin.
  • the light blocking property of the optical filter is ensured by the absorption characteristics of the near-infrared absorbing glass, the near-infrared absorbing dye, and the ultraviolet absorbing dye, and the reflection characteristics of the dielectric multilayer film. Since the absorption characteristics are relatively little affected by the incident angle of light, an optical filter can be obtained whose spectral characteristics change little even at high incident angles.
  • Figure 1 is a cross-sectional view showing an example of an optical filter according to one embodiment.
  • the optical filter 1B shown in FIG. 1 is an example that includes a dielectric multilayer film 21, a substrate 40 having a near-infrared absorbing glass 10 and a resin film 30, and a dielectric multilayer film 22.
  • the optical filter according to this embodiment satisfies all of the following spectral characteristics (i-1) to (i-9).
  • i-1 The absolute value of the difference between the average transmittance T 440-600 (0 deg) AVE at a wavelength of 440 to 600 nm and an incident angle of 0 degrees and the average transmittance T 440-600 (60 deg) AVE at a wavelength of 440 to 600 nm and an incident angle of 60 degrees is 12% or less.
  • the average transmittance T 440-600 (0 deg) AVE is 78% or more.
  • i-3) The wavelength IR_T 50 (0 deg ) at which the transmittance is 50% at an incident angle of 0 degrees is in the wavelength range of 590 to 640 nm.
  • the optical filter according to this embodiment which satisfies all of the spectral characteristics (i-1) to (i-9), has high visible light transmittance as shown by the characteristic (i-2), and high near-infrared light blocking properties in a wide range from 750 to 1200 nm as shown by the characteristics (i-4) and (i-5).
  • the spectral characteristic (i-6) in which the reflection characteristics of the dielectric multilayer film are substantially reflected, the reflection characteristics in the ultraviolet region are suppressed to a small value, while the ultraviolet absorbing pigment ensures light blocking in the ultraviolet region.
  • the near-infrared region has a certain degree of reflection characteristics, but by blocking the near-infrared region with the near-infrared absorbing pigment, the change in the spectral characteristics is small even at a high angle of incidence, as shown in the characteristic (i-1). Furthermore, as shown in the spectral characteristic (i-9), the reflection characteristics of the other dielectric multilayer film are suppressed to a small value over a wide range, so stray light is less likely to occur.
  • Satisfying the spectral characteristics (i-1) and (i-2) means that the visible light transmittance does not decrease even at a high incidence angle, and the visible light transmittance is excellent.
  • the absolute value of the difference in the spectral characteristic (i-1) is preferably 11% or less, more preferably 10% or less.
  • the average transmittance T 440-600 (0 deg) AVE is preferably 79% or more, and more preferably 79.5% or more.
  • the spectral characteristics (i-1) and (i-2) can be achieved, for example, by using a dielectric multilayer film having a low reflectance in the visible light region, by using a near-infrared absorbing dye and an ultraviolet absorbing dye having a high transmittance in the visible light region, and by using glass described later as the near-infrared absorbing glass.
  • the spectral characteristic (i-3) means that the color reproducibility of captured images, particularly red, is excellent.
  • the wavelength IR_T 50 (0 deg) is preferably in the range of 590 to 630 nm, more preferably in the range of 595 to 620 nm.
  • the spectral characteristic (i-3) can be achieved, for example, by using a glass described later as the near-infrared absorbing glass.
  • the spectroscopic characteristic (i-4) means that the near-infrared light shielding property is excellent.
  • the average transmittance T 700-800 (0 deg) AVE is preferably 0.5% or less, more preferably 0.09% or less, and further preferably 0.08% or less.
  • the spectral characteristic (i-4) can be achieved, for example, by using two or more near-infrared absorbing dyes and using a glass described below as the near-infrared absorbing glass.
  • Satisfying the spectral characteristic (i-5) means that the film has excellent light-shielding properties in the near-infrared light region up to a wide range around 1200 nm.
  • the average transmittance T 800-1200 (0 deg) AVE is preferably 4.6% or less, and more preferably 4.2% or less.
  • the spectral characteristic (i-5) can be achieved, for example, by using a glass described later as a near-infrared absorbing glass.
  • Spectral characteristics (i-6) to (i-9) essentially reflect the reflection characteristics of the dielectric multilayer film.
  • one of the dielectric multilayer films has low reflectance in the ultraviolet region of wavelengths from 370 to 420 nm, and high reflectance in the near-infrared region of wavelengths from 800 to 1000 nm.
  • the average reflectance R1 370-420 (5 deg) AVE is preferably 60% or less, more preferably 58% or less.
  • the wavelength IR1_R 50 (5 deg) is preferably in the range of 790 to 850 nm, and more preferably in the range of 795 to 840 nm.
  • the average reflectance R1 800-1000 (5 deg) AVE is preferably 80% or more, and more preferably 85% or more.
  • the other dielectric multilayer film has low reflection characteristics over a wide range of visible light and near-infrared light with wavelengths of 400 to 800 nm, and functions as an anti-reflection film. This makes it possible to provide an optical filter with high color reproducibility for captured images.
  • the average reflectance R2 400-800 (5 deg) AVE is preferably 1.5% or less, and more preferably 1.0% or less.
  • the optical filter according to this embodiment preferably satisfies all of the following spectral characteristics (i-10) to (i-11).
  • i-10) The wavelength UV_T 50 (0 deg) at which the transmittance is 50% at an incident angle of 0 degrees is in the wavelength range of 400 to 420 nm.
  • i-11) The average transmittance T 370-400 (0 deg) AVE at a wavelength of 370 to 400 nm and an incident angle of 0 degrees is 10% or less.
  • Satisfying the spectral characteristic (i-10) means that the color reproducibility of captured images, particularly blue colors, is excellent.
  • the wavelength UV_T 50 (0 deg) is more preferably in the range of 405 to 420 nm, and further preferably in the range of 410 to 420 nm.
  • Satisfying the spectral characteristic (i-11) means that the film has excellent shielding properties in the ultraviolet region.
  • the average transmittance T 370-400 (0 deg) AVE is more preferably 8% or less, and further preferably 6% or less.
  • the spectral characteristics (i-10) and (i-11) can be achieved, for example, by using two or more types of ultraviolet absorbing dyes.
  • the optical filter according to this embodiment preferably satisfies the following spectral characteristic (i-12).
  • i-12 When the dielectric multilayer film 1 side is the incident direction, the absolute value of the difference between the wavelength IR_R 50 (5 deg) at which the reflectance is 50% at an incident angle of 5 degrees in the wavelength range of 750 to 900 nm, and the wavelength IR_T 50 (5 deg) at which the transmittance is 50% at an incident angle of 5 degrees in the wavelength range of 500 to 700 nm, is 145 nm or more. Satisfying the spectral characteristic (i-12) means that the light-shielding region of the reflection characteristic and the light-shielding region of the absorption characteristic are separated from each other.
  • the optical filter according to this embodiment preferably satisfies the following spectral characteristic (i-13): Also, it preferably satisfies the following spectral characteristic (i-14).
  • the amount of absorption loss XY at wavelengths X to Y nm is defined as follows.
  • (Absorption loss amount X ⁇ Y ) [%] 100 ⁇ (Transmittance at an incident angle of 5 degrees) ⁇ (Reflectance at an incident angle of 5 degrees)
  • the average absorption loss amount 370-400 at wavelengths of 370-400 nm is 9% or more.
  • the average absorption loss amount 700-800 at wavelengths of 700-800 nm is 70% or more.
  • the average value of the absorption loss amount 370-400 is more preferably 30% or more, and further preferably 50% or more.
  • the average value of the absorption loss amount 700-800 is more preferably 75% or more, further preferably 80% or more, and particularly preferably 90% or more.
  • the optical filter according to this embodiment preferably satisfies the following spectral characteristic (i-18).
  • spectral characteristic (i-18) When the dielectric multilayer film 1 side is the incident direction, when the reflectance R1 n (5 deg) (n: any integer) of each wavelength is read at an incident angle of 5 degrees and intervals of 1 nm from a wavelength of 840 nm to a wavelength of 960 nm, there are 75 or more n's at which the reflectance R1 n (5 deg) is 93% or more. Satisfying the spectral characteristic (i-18) means that the near-infrared light region of wavelengths 840 to 960 nm is blocked by the reflection characteristics.
  • the number n at which the reflectance R1n (5 deg) is 93% or more is more preferably 80 or more, further preferably 85 or more, and particularly preferably 90 or more.
  • the spectral characteristic (i-18) can be achieved, for example, by using a dielectric multilayer film having a high reflectance in the wavelength range of 800 to 1000 nm.
  • the near infrared absorbing glass in the optical filter according to this embodiment preferably satisfies all of the following spectral characteristics (ii-1) to (ii-2), and more preferably satisfies the following spectral characteristic (ii-3).
  • the near-infrared absorbing glass in the optical filter according to this embodiment is preferably, for example, a phosphate glass, a fluorophosphate glass, a silicophosphate glass, a sulfophosphate glass, or the like, which contains a near-infrared absorbing component such as iron or copper, in order to easily satisfy the above-mentioned spectral characteristics.
  • the near-infrared absorbing glass in the optical filter according to this embodiment preferably has a thickness of 0.5 mm or less, more preferably 0.4 mm or less. From the viewpoint of maintaining element strength, the thickness is preferably 0.1 mm or more, more preferably 0.15 mm or more.
  • the dielectric multilayer film is, for example, a dielectric multilayer film formed by laminating dielectric films having different refractive indices. More specifically, examples of the dielectric multilayer film include a low refractive index dielectric film (low refractive index film), a medium refractive index dielectric film (medium refractive index film), and a high refractive index dielectric film (high refractive index film), and the dielectric multilayer film is formed by laminating two or more of these.
  • the high refractive index film preferably has a refractive index of 1.6 or more at a wavelength of 500 nm, more preferably 1.8 to 2.5, and particularly preferably 2.2 to 2.5.
  • Examples of materials for the high refractive index film include Ta 2 O 5 , TiO 2 , TiO, and Nb 2 O 5.
  • Other commercially available products include OS50 (Ti 3 O 5 ), OS10 (Ti 4 O 7 ), OA500 (a mixture of Ta 2 O 5 and ZrO 2 ), and OA600 (a mixture of Ta 2 O 5 and TiO 2 ), all manufactured by Canon Optron.
  • TiO 2 is preferred from the viewpoints of film forming properties, reproducibility in refractive index, and stability.
  • the medium refractive index film preferably has a refractive index of 1.6 or more and less than 2.2 at a wavelength of 500 nm.
  • materials for the medium refractive index film include ZrO 2 , Nb 2 O 5 , Al 2 O 3 , and HfO 2 , as well as OM-4, OM-6 (a mixture of Al 2 O 3 and ZrO 2 ) and OA-100 sold by Canon Optron, and H4 and M2 (alumina lanthania) sold by Merck.
  • Al 2 O 3 -based compounds and mixtures of Al 2 O 3 and ZrO 2 are preferred from the standpoint of film-forming properties, reproducibility in refractive index, and stability.
  • the low refractive index film preferably has a refractive index of less than 1.6 at a wavelength of 500 nm, more preferably 1.38 to 1.5.
  • materials for the low refractive index film include SiO 2 , SiO x N y, and MgF 2.
  • Other commercially available products include S4F and S5F (a mixture of SiO 2 and Al 2 O 3 ) manufactured by Canon Optron. Of these, SiO 2 is preferred from the standpoint of reproducibility, stability, and economy in film formation.
  • optical filter according to any one of [1] to [10], wherein the resin film contains two or more near-infrared absorbing dyes having a maximum absorption wavelength in the region of 700 to 800 nm in the resin.
  • An imaging device comprising the optical filter according to any one of [1] to [11].
  • the average transmittance T 700-800 (0 deg) AVE is 1% or less and the average transmittance T 800-1200 (0 deg) AVE is 5% or less, and the filters have excellent near-infrared light shielding properties over a wide range.
  • one dielectric multilayer film has a low UV reflectance and a high reflectance in the near-infrared light region of 800 to 1000 nm, while the other dielectric multilayer film has a low reflectance over the visible light region of 400 to 800 nm and the near-infrared light region.
  • Optical filter 10 Near infrared absorbing glass 21, 22... Dielectric multilayer film 30...resin film 40...substrate

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Abstract

本発明は、誘電体多層膜1と、近赤外線吸収ガラスおよび樹脂膜を有する基材と、誘電体多層膜2とをこの順に備えた光学フィルタであって、前記樹脂膜は、近赤外線吸収色素、紫外線吸収色素および樹脂を含有し、前記光学フィルタが特定の分光特性(i-1)~(i-9)をすべて満たす光学フィルタに関する。

Description

光学フィルタ
 本発明は、可視光を透過し、近赤外光を遮断する光学フィルタに関する。
 固体撮像素子を用いた撮像装置には、色調を良好に再現し鮮明な画像を得るため、可視域の光(以下「可視光」ともいう)を透過し、近赤外波長領域の光(以下「近赤外光」ともいう)を遮断する光学フィルタが用いられる。
 このような光学フィルタとしては、例えば、透明基板の片面または両面に、屈折率が異なる誘電体薄膜を交互に積層(誘電体多層膜)し、光の干渉を利用して遮蔽したい光を反射する反射型のフィルタや、特定の波長領域の光を吸収するガラスや色素を用いて遮蔽したい光を吸収する吸収型のフィルタや、反射型と吸収型を組み合わせたフィルタ等、様々な方式が挙げられる。
 特許文献1には、近赤外線領域の光を吸収する色素を含む光学フィルタが記載されている。
 特許文献2には、近赤外線領域の光を吸収するガラスと、誘電体多層膜からなる反射層とを備えた光学フィルタが記載されている。
国際公開第2019/168090号 国際公開第2019/151348号
 特許文献1に記載の光学フィルタは、色素の吸収特性のみによって近赤外領域を広範囲に遮光することで、可視光領域の透過率が低下してしまう点で改善の余地がある。
 また特許文献2に記載される光学フィルタのように、誘電体多層膜の反射を利用した光学フィルタは、光の入射角度により誘電体多層膜の光学膜厚が変化するために、入射角による分光透過率曲線、分光反射率曲線の変化が懸念される。たとえば高入射角度で可視光領域の光の取り込み量が変化すると、画像再現性が低下する問題が生じる。特に、近年のカメラモジュール低背化に伴い高入射角条件での使用が想定されるため、入射角の影響を受けにくい光学フィルタが求められている。
 さらに、反射光がレンズ面で再反射して入射したり、センサー面で反射した光が誘電体多層膜面で再反射して入射することにより、本来想定される光路外に光が発生する現象、いわゆる迷光が生じることがある。このようなフィルタを使用すると、固体撮像素子においてフレアやゴーストが生じたり、画質低下が生じるおそれがある。特に、近年のカメラモジュールの高画質化に伴い、迷光が生じにくい光学フィルタが求められている。
 特に、青色のフレアやゴーストの発生を抑制する観点から、光学フィルタ自体で紫外光を吸収するよう光の入射面側の紫外光領域の反射特性が抑制された光学フィルタが求められている。
 本発明は、可視光領域の透過性に優れ、1200nm付近も含む広範囲の近赤外光領域の遮蔽性に優れ、高入射角でも分光特性の変化が小さく、迷光が抑制され、紫外光領域の反射特性が小さい光学フィルタの提供を目的とする。
 本発明は、以下の構成を有する光学フィルタ等を提供する。
〔1〕誘電体多層膜1と、近赤外線吸収ガラスおよび樹脂膜を有する基材と、誘電体多層膜2とをこの順に備えた光学フィルタであって、
 前記樹脂膜は、近赤外線吸収色素、紫外線吸収色素および樹脂を含有し、
 前記光学フィルタが下記分光特性(i-1)~(i-9)をすべて満たす光学フィルタ。
(i-1)波長440~600nm、入射角0度での平均透過率T440-600(0deg)AVEと、波長440~600nm、入射角60度での平均透過率T440-600(60deg)AVEとの差の絶対値が12%以下
(i-2)前記平均透過率T440-600(0deg)AVEが78%以上
(i-3)入射角0度で透過率が50%になる波長IR_T50(0deg)が590~640nmの波長領域にある
(i-4)波長700~800nm、入射角0度での平均透過率T700-800(0deg)AVEが1%以下
(i-5)波長800~1200nm、入射角0度での平均透過率T800-1200(0deg)AVEが5%以下
(i-6)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長370~420nm、入射角5度での平均反射率R1370-420(5deg)AVEが35%以下
(i-7)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、入射角5度で反射率が50%になる波長IR1_R50(5deg)が790~860nmの波長領域にある
(i-8)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長800~1000nm、入射角5度での平均反射率R1800-1000(5deg)AVEが75%以上
(i-9)前記誘電体多層膜2側を入射方向としたとき、波長400~800nm、入射角5度での平均反射率R2400-800(5deg)AVEが2%以下
 本発明によれば、可視光領域の透過性に優れ、1200nm付近も含む広範囲の近赤外光領域の遮蔽性に優れ、高入射角でも分光特性の変化が小さく、迷光が抑制され、紫外光領域の反射特性が小さい光学フィルタを提供できる。
図1は一実施形態の光学フィルタの一例を概略的に示す断面図である。 図2は例1の光学フィルタの分光透過率曲線(0°透過率、60°透過率)を示す図である。 図3は例1の光学フィルタの分光反射率曲線(5°反射率、60°反射率、誘電体多層膜1側)を示す図である。 図4は例1の光学フィルタの分光反射率曲線(5°反射率、60°反射率、誘電体多層膜2側)を示す図である。 図5は例2の光学フィルタの分光透過率曲線(0°透過率、60°透過率)を示す図である。 図6は例3の光学フィルタの分光透過率曲線(0°透過率、60°透過率)を示す図である。 図7は例3の光学フィルタの分光反射率曲線(5°反射率、60°反射率、誘電体多層膜1側)を示す図である。 図8は例4の光学フィルタの分光透過率曲線(0°透過率、60°透過率)を示す図である。 図9は例5の光学フィルタの分光透過率曲線(0°透過率、60°透過率)を示す図である。
 以下、本発明の実施の形態について説明する。
 本明細書において、近赤外線吸収色素を「NIR色素」、紫外線吸収色素を「UV色素」と略記することもある。
 本明細書において、式(I)で示される化合物を化合物(I)という。他の式で表される化合物も同様である。化合物(I)からなる色素を色素(I)ともいい、他の色素についても同様である。また、式(I)で表される基を基(I)とも記し、他の式で表される基も同様である。
 本明細書において、内部透過率とは、{実測透過率(入射角0度)/(100-反射率(入射角5度))}×100の式で示される、実測透過率から界面反射の影響を引いて得られる透過率である。
 本明細書において、特定の波長域について、透過率が例えば90%以上とは、その全波長領域において透過率が90%を下回らない、すなわちその波長領域において最小透過率が90%以上であることをいう。同様に、特定の波長域について、透過率が例えば1%以下とは、その全波長領域において透過率が1%を超えない、すなわちその波長領域において最大透過率が1%以下であることをいう。内部透過率においても同様である。特定の波長域における平均透過率および平均内部透過率は、該波長域の1nm毎の透過率および内部透過率の相加平均である。誘電体多層膜側を入射方向としたときの反射率とは、光学フィルタに設けられた誘電体多層膜の表面に向けて測定光を入射させ、反射した光の光学特性をいうものである。
 分光特性は、紫外可視分光光度計を用いて測定できる。
 本明細書において、数値範囲を表す「~」では、上下限を含む。
<光学フィルタ>
 本実施形態に係る光学フィルタは、誘電体多層膜1と、近赤外線吸収ガラスおよび樹脂膜を有する基材と、誘電体多層膜2とをこの順に備える。前記樹脂膜は、近赤外線吸収色素、紫外線吸収色素および樹脂を含有する。
 本発明において、後述するように光学フィルタの遮光性は近赤外線吸収ガラスと近赤外線吸収色素と紫外線吸収色素の吸収特性と、誘電体多層膜の反射特性とにより担保されることが好ましい。吸収特性は光の入射角による影響が比較的軽微であるため、高入射角でも分光特性の変化が小さい光学フィルタが得られる。
 図面を用いて本実施形態に係る光学フィルタの構成例について説明する。図1は、一実施形態の光学フィルタの一例を概略的に示す断面図である。
 図1に示す光学フィルタ1Bは、誘電体多層膜21と、近赤外線吸収ガラス10および樹脂膜30を有する基材40と、誘電体多層膜22とを備えた例である。
 本実施形態に係る光学フィルタは、下記分光特性(i-1)~(i-9)をすべて満たす。
(i-1)波長440~600nm、入射角0度での平均透過率T440-600(0deg)AVEと、波長440~600nm、入射角60度での平均透過率T440-600(60deg)AVEとの差の絶対値が12%以下
(i-2)前記平均透過率T440-600(0deg)AVEが78%以上
(i-3)入射角0度で透過率が50%になる波長IR_T50(0deg)が590~640nmの波長領域にある
(i-4)波長700~800nm、入射角0度での平均透過率T700-800(0deg)AVEが1%以下
(i-5)波長800~1200nm、入射角0度での平均透過率T800-1200(0deg)AVEが5%以下
(i-6)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長370~420nm、入射角5度での平均反射率R1370-420(5deg)AVEが65%以下
(i-7)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、入射角5度で反射率が50%になる波長IR1_R50(5deg)が790~860nmの波長領域にある
(i-8)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長800~1000nm、入射角5度での平均反射率R1800-1000(5deg)AVEが75%以上
(i-9)前記誘電体多層膜2側を入射方向としたとき、波長400~800nm、入射角5度での平均反射率R2400-800(5deg)AVEが2%以下
 分光特性(i-1)~(i-9)を全て満たす本実施形態に係る光学フィルタは、特性(i-2)に示すように可視光の高い透過性と、特性(i-4)、(i-5)に示すように750~1200nmの広範囲に高い近赤外光遮蔽性を有する。
 誘電体多層膜の反射特性が実質的に反映された分光特性(i-6)に示すように紫外光領域の反射特性は小さく抑えつつ、紫外線吸収色素により紫外光領域の遮光性を担保している。分光特性(i-8)に示すように近赤外光領域はある程度反射特性を有するが、近赤外線吸収色素によっても近赤外領域を遮光することにより、特性(i-1)に示すように高入射角でも分光特性の変化が小さい。さらに分光特性(i-9)に示すように他方の誘電体多層膜側の反射特性が広範囲で小さく抑えられているため、迷光が発生しにくい。
 分光特性(i-1)および(i-2)を満たすことは、高入射角でも可視光透過率が低下せず可視光透過性に優れることを意味する。
 分光特性(i-1)における差の絶対値は好ましくは11%以下、より好ましくは10%以下である。
 平均透過率T440-600(0deg)AVEは好ましくは79%以上、より好ましくは79.5%以上である。
 分光特性(i-1)および(i-2)は、たとえば、可視光領域の反射率が低い誘電体多層膜を用いること、可視光領域の透過率が高い近赤外線吸収色素および紫外線吸収色素を用いること、近赤外線吸収ガラスとして後述するガラスを用いることにより達成できる。
 分光特性(i-3)を満たすことは特に赤色の撮像画像の色再現性に優れることを意味する。
 波長IR_T50(0deg)は好ましくは590~630nm、より好ましくは595~620nmにある。
 分光特性(i-3)は、例えば、近赤外線吸収ガラスとして後述するガラスを用いることにより達成できる。
 分光特性(i-4)を満たすことは、近赤外光遮蔽性に優れることを意味する。
 平均透過率T700-800(0deg)AVEは好ましくは0.5%以下、より好ましくは0.09%以下、さらに好ましくは0.08%以下である。
 分光特性(i-4)は、たとえば、近赤外線吸収色素を2種以上用い、近赤外線吸収ガラスとして後述するガラスを用いることにより達成できる。
 分光特性(i-5)を満たすことは、1200nm付近の広範囲まで近赤外光領域の遮光性に優れることを意味する。
 平均透過率T800-1200(0deg)AVEは好ましくは4.6%以下、より好ましくは4.2%以下である。
 分光特性(i-5)は、たとえば、近赤外線吸収ガラスとして後述するガラスを用いることにより達成できる。
 分光特性(i-6)~(i-9)は、誘電体多層膜の反射特性が実質的に反映されている。
 分光特性(i-6)~(i-8)に示すように、一方の誘電体多層膜は波長370~420nmの紫外領域の反射特性が小さく、波長800~1000nmの近赤外領域の反射特性が大きい。
 平均反射率R1370-420(5deg)AVEは好ましくは60%以下、より好ましくは58%以下である。
 波長IR1_R50(5deg)は好ましくは790~850nmの領域にあり、より好ましくは795~840nmの領域にある。
 平均反射率R1800-1000(5deg)AVEは好ましくは80%以上、より好ましくは85%以上である。
 分光特性(i-9)に示すように、他方の誘電体多層膜は波長400~800nmの可視光および近赤外光の広範囲において反射特性が小さく、反射防止膜として機能している。これにより撮像画像の色再現性が高い光学フィルタを提供できる。
 平均反射率R2400-800(5deg)AVEは好ましくは1.5%以下、より好ましくは1.0%以下である。
 本実施形態に係る光学フィルタは、下記分光特性(i-10)~(i-11)をすべて満たすことが好ましい。
(i-10)入射角0度で透過率が50%になる波長UV_T50(0deg)が波長400~420nmの波長領域にある
(i-11)波長370~400nm、入射角0度での平均透過率T370-400(0deg)AVEが10%以下
 分光特性(i-10)を満たすことは、特に青色の撮像画像の色再現性に優れることを意味する。
 波長UV_T50(0deg)はより好ましくは405~420nmの領域にあり、さらに好ましくは410~420nmの領域にある。
 分光特性(i-11)を満たすことは、紫外光領域の遮蔽性に優れることを意味する。
 平均透過率T370-400(0deg)AVEはより好ましくは8%以下、さらに好ましくは6%以下である。
 分光特性(i-10)および(i-11)は、たとえば、紫外線吸収色素を2種以上用いることにより達成できる。
 本実施形態に係る光学フィルタは、下記分光特性(i-12)を満たすことが好ましい。
(i-12)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長750~900nmの領域において入射角5度で反射率が50%になる波長IR_R50(5deg)と、波長500~700nmの領域において入射角5度で透過率が50%になる波長IR_T50(5deg)との差の絶対値が145nm以上
 分光特性(i-12)を満たすことは、反射特性の遮光領域と、吸収特性の遮光領域とが離れていることを意味する。
 分光特性(i-12)における差の絶対値はより好ましくは155nm以上、さらに好ましくは165nm以上である。
 分光特性(i-12)は、たとえば、後述する誘電体多層膜21を用いることにより達成できる。
 本実施形態に係る光学フィルタは、下記分光特性(i-13)を満たすことが好ましい。また下記分光特性(i-14)を満たすことが好ましい。
 前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長X~Ynmにおける吸収損失量X-Yを以下に定義する。
(吸収損失量X-Y)[%]=100-(入射角5度における透過率)-(入射角5度における反射率)
(i-13)波長370-400nmにおける吸収損失量370-400の平均値が9%以上
(i-14)波長700-800nmにおける吸収損失量700-800の平均値が70%以上
 吸収損失量が大きいほど、かかる波長領域の光が吸収されていることを意味する。
 分光特性(i-13)~(i-14)を満たすことは、紫外光領域と近赤外光領域は吸収特性により遮光されていることを意味する。
 吸収損失量370-400の平均値はより好ましくは30%以上、さらに好ましくは50%以上である。
 吸収損失量700-800の平均値はより好ましくは75%以上、さらに好ましくは80%以上、特に好ましくは90%以上である。
 分光特性(i-13)~(i-14)は、たとえば、波長350~420nmの領域に最大吸収波長を有する紫外線吸収色素と、波長700~800nmに最大吸収波長を有する近赤外線吸収色素を用いることにより達成できる。
 本実施形態に係る光学フィルタは、下記分光特性(i-15)~(i-17)をすべて満たすことが好ましい。
(i-15)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長430~650nm、入射角5度での平均反射率R1430-650(5deg)AVEが2%以下
(i-16)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長430~650nm、入射角60度での平均反射率R1430-650(60deg)AVEが9%以下
(i-17)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長840~960nm、入射角5度での平均反射率R1840-960(5deg)AVEが85%以上
 分光特性(i-15)~(i-17)を満たすことは、誘電体多層膜1が、高入射角であっても可視光領域の反射特性が小さく、波長840~960nmの近赤外光領域の反射特性を有することを実質的に意味する。
 平均反射率R1430-650(5deg)AVEはより好ましくは1.5%以下、さらに好ましくは1%以下である。
 平均反射率R1430-650(60deg)AVEはより好ましくは8.5%以下、さらに好ましくは8%以下である。
 平均反射率R1840-960(5deg)AVEはより好ましくは90%以上、さらに好ましくは95%以上である。
 上記特性を有するように誘電体多層膜1を設計することで上記分光特性が達成できる。
 本実施形態に係る光学フィルタは、下記分光特性(i-18)を満たすことが好ましい。
(i-18)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長840nmから波長960nmに向かって、入射角5度、1nmの間隔で各波長の反射率R1n(5deg)(n:任意の整数)を読み取った際に、前記反射率R1n(5deg)が93%以上となるnが75個以上ある
 分光特性(i-18)を満たすことは、波長840~960nmの近赤外光領域は反射特性により遮光されていることを意味する。
 反射率R1n(5deg)が93%以上となるnはより好ましくは80個以上、さらに好ましくは85個以上、特に好ましくは90個以上である。
 分光特性(i-18)は、たとえば波長800~1000nmの反射率が大きい誘電体多層膜を用いることにより達成できる。
<近赤外線吸収ガラス>
 本実施形態に係る光学フィルタにおける近赤外線吸収ガラスは、下記分光特性(ii-1)~(ii-2)をすべて満たすことが好ましい。また下記分光特性(ii-3)を満たすことが好ましい。
(ii-1)波長400~600nm、入射角0度での平均透過率T400-600(0deg)AVEが75%以上
(ii-2)波長800~1200nm、入射角0度での平均透過率T800-1200(0deg)AVEが25%以下
(ii-3)波長1200nm、入射角0度での透過率T1200(0deg)が25%以下
 分光特性(ii-1)~(ii-3)に示すように、近赤外線吸収ガラスは、可視光の透過性に優れ、800~1200nmの広範囲におよぶ近赤外光を吸収する。これにより、誘電体多層膜の近赤外光の反射特性を強めなくとも当該領域を十分に遮蔽でき、高入射角であっても分光特性変化が小さい光学フィルタが得られる。
 本実施形態に係る光学フィルタにおける近赤外線吸収ガラスは、上記分光特性を満たしやすい観点から、たとえば、鉄や銅等の近赤外線吸収成分を含むリン酸ガラス、フツリン酸ガラス、ケイリン酸ガラス、硫リン酸ガラス等であることが好ましい。
 本実施形態に係る光学フィルタにおける近赤外線吸収ガラスは、厚みが好ましくは0.5mm以下、より好ましくは0.4mm以下である。また素子強度維持の観点から厚みは0.1mm以上が好ましく、より好ましくは0.15mm以上である。
<誘電体多層膜>
 本実施形態に係る光学フィルタは、誘電体多層膜1および誘電体多層膜2を備える。誘電体多層膜の少なくとも一つは、近赤外光の一部を反射する反射膜(以下「NIR反射膜」とも記載する。)として設計されることが好ましい。他の誘電体多層膜は、近赤外域以外の反射域を有する反射膜や、または反射防止膜として設計されてもよい。
 NIR反射膜は、例えば、可視光を透過し、吸収層の透過領域の近赤外光を透過し、それ以外の近赤外光を主に反射する波長選択性を有することが好ましい。
 上記光学フィルタの分光特性(i-8)に示したように、誘電体多層膜の少なくとも一方は波長800~1000nmの近赤外光領域に反射特性を有する反射膜であって、かかる特性により遮光されることが好ましい。
 かかる特定波長領域の反射特性と、近赤外線吸収色素と近赤外線吸収ガラスの吸収特性と組み合わせることで、波長800~1200nmの近赤外光領域を広範囲に遮光できる。
 一方、上記光学フィルタの分光特性(i-9)に示したように、当該反射膜としての誘電体多層膜は可視光領域の反射特性変化が小さいことが好ましい。これにより可視光領域の分光特性が入射角によって変化しにくく、リップルが低減された光学フィルタが得られる。
 以上より、少なくとも一つの誘電体多層膜は、可視光は反射せず、光の入射角が0度および60度で近赤外光(波長800~1000nm)を反射する反射層として設計されることが好ましい。また誘電体多層膜1が反射層であることが好ましい。
 他の誘電体多層膜は、上記光学フィルタの分光特性(i-9)に示したように、可視光領域および近赤外光領域のいずれも反射特性が小さい、反射防止層として設計されることが好ましい。また誘電体多層膜2が反射防止層であることが好ましい。
 誘電体多層膜は、例えば、屈折率の異なる誘電体膜を積層した誘電体多層膜から構成される。より具体的には、低屈折率の誘電体膜(低屈折率膜)、中屈折率の誘電体膜(中屈折率膜)、高屈折率の誘電体膜(高屈折率膜)が挙げられ、これらのうち2以上を積層した誘電体多層膜から構成される。
 高屈折率膜は、好ましくは、波長500nmにおける屈折率が1.6以上であり、より好ましくは1.8~2.5であり、特に好ましくは2.2~2.5である。高屈折率膜の材料としては、例えばTa、TiO、TiO、Nbが挙げられる。その他市販品としてキヤノンオプトロン社製、OS50(Ti)、OS10(Ti)、OA500(TaとZrOの混合物)、OA600(TaとTiOの混合物)などが挙げられる。これらのうち、成膜性、屈折率等における再現性、安定性等の点から、TiOが好ましい。
 中屈折率膜は、好ましくは、波長500nmにおける屈折率が1.6以上2.2未満である。中屈折率膜の材料としては、例えばZrO、Nb、Al、HfOや、キヤノンオプトロン社が販売しているOM-4、OM-6(AlとZrOとの混合物)、OA-100、Merck社が販売しているH4、M2(アルミナランタニア)等が挙げられる。これらのうち、成膜性、屈折率等における再現性、安定性等の点から、Al系の化合物やAlとZrOとの混合物が好ましい。
 低屈折率膜は、好ましくは、波長500nmにおける屈折率が1.6未満であり、より好ましくは1.38~1.5である。低屈折率膜の材料としては、例えばSiO、SiOy、MgF等が挙げられる。その他市販品としてキヤノンオプトロン社製、S4F、S5F(SiOとAlの混合物)が挙げられる。これらのうち、成膜性における再現性、安定性、経済性等の点から、SiOが好ましい。
 誘電体多層膜は、〔屈折率が相対的に高い誘電体膜のQWOTの総和T(H)〕/〔屈折率が相対的に低い誘電体膜のQWOTの総和T(L)〕が、好ましくは1.6以上である。これにより、波長800~1100nmの近赤外光を反射し、可視光は反射を抑えた上記分光特性を満たす誘電体多層膜が得られやすく、また、少なくとも光の入射側に積層される誘電体多層膜はかかる比率関係を満たすことが好ましい。
 なお、ここでQWOT(Quater Wave Optical Thickness)とは、波長のλ/4の光学膜厚であり、下記式により物理膜厚から算出される。
 QWOT=物理膜厚/中心波長(500nm)×4×波長500nmにおける屈折率
 誘電体多層膜が、低屈折率膜と高屈折率膜との積層体である場合、QWOTの総和T(H)は高屈折率膜のQWOTの総和であり、QWOTの総和T(L)は低屈折率膜のQWOTの総和である。
 また、誘電体多層膜が、低屈折率膜と中屈折率膜との積層体である場合、QWOTの総和T(H)は中屈折率膜のQWOTの総和であり、QWOTの総和T(L)は低屈折率膜のQWOTの総和である。
 誘電体多層膜が、中屈折率膜と高屈折率膜との積層体である場合、QWOTの総和T(H)は高屈折率膜のQWOTの総和であり、QWOTの総和T(L)は中屈折率膜のQWOTの総和である。
 また、誘電体多層膜は、下記に定義するH層とM層とが交互にそれぞれ10層以上積層された多層膜であることが好ましい。
層:屈折率が1.8以上2.5以下、QWOTが1.1以上3.5以下である単層
層:2つのH層間に存在し、QWOTの総和が1.2以上1.8以下である単層または複数の層
 上記特定の積層構造は、屈折率と光学膜厚の大きい単層(H層)と、光学膜厚の総和が所定範囲内の層(M層)とが交互に10以上積層された構造である。かかる構造により、波長800~1200nmの近赤外光を反射し、可視光の反射率が低い誘電体多層膜が得られやすい。
 なおM層は所定の光学膜厚を満たせば、単層であっても複数の層であってもよいが、より滑らかな分光特性が得られる観点から、複数の層から構成されることが好ましく、また単層の膜厚の最小は5nm以上が好ましく、10nm以上がより好ましい。またM層を構成する誘電体膜の屈折率は、H層の屈折率と同一であるか、またはH層の屈折率よりも低いことが好ましい。
 上記特定の積層構造を有するのは、少なくとも反射層として設計される誘電体多層膜であることが好ましい。
 反射層として設計される誘電体多層膜が上記積層構造を有する場合、H層とM層のうち近赤外線吸収ガラスに最も近い層はH層であることが好ましい。近赤外線吸収ガラスに最も近いH層は近赤外線吸収ガラスに直接積層されていてもよいし、近赤外線吸収ガラスに最も近いH層と近赤外線吸収ガラスとの間に、H層にもM層にも該当しない他の層が存在してもよい。
 反射層として設計される誘電体多層膜としては、誘電体多層膜の合計積層数が、好ましくは10層以上、より好ましくは20層以上、さらに好ましくは30層以上である。ただし、合計積層数が多くなると、反り等が発生したり、膜厚が増加したりするため、合計積層数は110層以下が好ましく、80層以下がより好ましく、60層以下がより一層好ましい。
 また、反射層として設計される誘電体多層膜の膜厚(物理膜厚)は、全体として1~6μmが好ましい。
 光学フィルタを撮像装置に実装する際にセンサ側となる誘電体多層膜は、通常、反射防止層として設計されることが好ましい。反射防止層として設計される誘電体多層膜の合計積層数は、好ましくは40層以下、より好ましくは30層以下、さらに好ましくは20層以下であり、また好ましくは6層以上である。
 また、反射防止層として設計される誘電体多層膜の膜厚(物理膜厚)は、全体として0.2~1.0μmが好ましい。
 誘電体多層膜の形成には、例えば、CVD法、スパッタリング法、真空蒸着法等の真空成膜プロセスや、スプレー法、ディップ法等の湿式成膜プロセス等を使用できる。
 光学フィルタを撮像装置に実装する際は、通常、ガラス面に積層された誘電体多層膜をレンズ側に、樹脂膜面に積層された誘電体多層膜をセンサ側となるようにする。
<樹脂膜>
 本実施形態に係る光学フィルタにおける樹脂膜は、樹脂と、近赤外線吸収色素と、紫外線吸収色素とを含む。ここで、樹脂とは、樹脂膜を構成する樹脂を指す。
 近赤外線吸収色素としては、樹脂中で700~800nmに最大吸収波長を有する色素が好ましい。特に、700~800nmに最大吸収波長を有し、吸収の立ち上がりが急峻かつ、可視光領域に吸収損失の小さい色素が好ましい。これにより赤色帯域(600~700nm)の透過率を高く保ちつつ、入射角度依存性が小さい光学フィルタが得られる。
 近赤外線吸収色素としては、たとえば、シアニン色素、フタロシアニン色素、スクアリリウム色素、ナフタロシアニン色素、およびジイモニウム色素からなる群より選ばれる少なくとも一種が挙げられ、単独もしくは複数を混合して用いることができる。中でも、700~800nmの領域を急峻に吸収でき、本発明の効果が発揮されやすい観点から、スクアリリウム色素、シアニン色素が好ましい。また、近赤外線吸収色素は2種以上用いることが好ましい。これにより、可視光透過性を高く維持しやすい。
 樹脂膜における近赤外線吸収色素の含有量は、樹脂100質量部に対し好ましくは0.1~30質量部、より好ましくは0.1~20質量部である。なお、2種以上の化合物を組み合わせる場合、上記含有量は各化合物の総和である。
 紫外線吸収色素としては、樹脂中で350~420nmに最大吸収波長を有する色素が好ましい。特に、350~420nmに最大吸収波長を有し、吸収の立ち上がりが急峻な色素が好ましい。これにより紫外光領域を効率的にカットしつつ、可視色領域の吸収損失の小さい光学フィルタが得られる。
 紫外線吸収色素としては、オキサゾール色素、メロシアニン色素、シアニン色素、ナフタルイミド色素、オキサジアゾール色素、オキサジン色素、オキサゾリジン色素、ナフタル酸色素、スチリル色素、アントラセン色素、環状カルボニル色素、トリアゾール色素等が挙げられる。この中でも、メロシアニン色素が特に好ましい。また、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。また、紫外線吸収色素は2種以上用いることが好ましい。これにより、可視光透過性を高く維持しやすい。
 樹脂膜における紫外線吸収色素の含有量は、樹脂100質量部に対し好ましくは0.5~20質量部、より好ましくは1~10質量部である。なお、2種以上の化合物を組み合わせる場合、上記含有量は各化合物の総和である。
 樹脂としては、透明樹脂であれば制限されず、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリサルホン樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリパラフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルフォスフィンオキシド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリウレタン樹脂、およびポリスチレン樹脂等から選ばれる1種以上の透明樹脂が用いられる。これらの樹脂は1種を単独で使用してもよく、2種以上を混合して使用してもよい。
 樹脂膜の分光特性やガラス転移点(Tg)、密着性の観点から、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂から選ばれる1種以上の樹脂が好ましい。
 複数の色素を用いる場合、これらは同一の樹脂膜に含まれてもよく、また、それぞれ別の樹脂膜に含まれてもよい。
 樹脂膜は、色素と、樹脂または樹脂の原料成分と、必要に応じて配合される各成分とを、溶媒に溶解または分散させて塗工液を調製し、これを支持体に塗工し乾燥させ、さらに必要に応じて硬化させて形成できる。この際の支持体は、本フィルタに用いられる近赤外線吸収ガラスでもよいし、樹脂膜を形成する際にのみ使用する剥離性の支持体でもよい。また、溶媒は、安定に分散できる分散媒または溶解できる溶媒であればよい。
 また、塗工液は、微小な泡によるボイド、異物等の付着による凹み、乾燥工程でのはじき等の改善のため界面活性剤を含んでもよい。さらに、塗工液の塗工には、例えば、浸漬コーティング法、キャストコーティング法、またはスピンコート法等を使用できる。上記塗工液を支持体上に塗工後、乾燥させることにより樹脂膜が形成される。また、塗工液が透明樹脂の原料成分を含有する場合、さらに熱硬化、光硬化等の硬化処理を行う。
 また、樹脂膜は、押出成形によりフィルム状に製造可能でもある。得られたフィルム状樹脂膜をリン酸ガラスに積層し熱圧着等により一体化させることにより基材を製造できる。
 樹脂膜は、光学フィルタの中に1層有してもよく、2層以上有してもよい。2層以上有する場合、各層は同じ構成であっても異なってもよい。また樹脂膜を2層以上有する場合は、近赤外線吸収ガラスの同一主面側に全て積層されてもよく、異なる主面側にそれぞれ積層されていてもよい。
 樹脂膜の厚さは、塗工後の基板内の面内膜厚分布、外観品質の観点から10μm以下、好ましくは5μm以下であり、また、適切な色素濃度で所望の分光特性を発現する観点から好ましくは0.5μm以上である。なお、光学フィルタが樹脂膜を2層以上有する場合は、各樹脂膜の総厚が上記範囲内であることが好ましい。
 本実施形態の光学フィルタは、他の構成要素として、例えば、特定の波長域の光の透過と吸収を制御する無機微粒子等による吸収を与える構成要素(層)などを備えてもよい。無機微粒子の具体例としては、ITO(Indium Tin Oxides)、ATO(Antimony-doped Tin Oxides)、タングステン酸セシウム、ホウ化ランタン等が挙げられる。ITO微粒子、タングステン酸セシウム微粒子は、可視光の透過率が高く、かつ1200nmを超える赤外波長領域の広範囲に光吸収性を有するため、かかる赤外光の遮蔽性を必要とする場合に使用できる。
 本実施形態の光学フィルタは、例えば、デジタルスチルカメラ等の撮像装置に使用した場合に、色再現性に優れる撮像装置を提供できる。かかる撮像装置は、固体撮像素子と、撮像レンズと、本実施形態の光学フィルタとを備える。本実施形態の光学フィルタは、例えば、撮像レンズと固体撮像素子との間に配置されたり、撮像装置の固体撮像素子、撮像レンズ等に粘着剤層を介して直接貼着されたりして使用できる。
 以上に記載した通り、本明細書には下記の光学フィルタ等が開示されている。
〔1〕誘電体多層膜1と、近赤外線吸収ガラスおよび樹脂膜を有する基材と、誘電体多層膜2とをこの順に備えた光学フィルタであって、
 前記樹脂膜は、近赤外線吸収色素、紫外線吸収色素および樹脂を含有し、
 前記光学フィルタが下記分光特性(i-1)~(i-9)をすべて満たす光学フィルタ。
(i-1)波長440~600nm、入射角0度での平均透過率T440-600(0deg)AVEと、波長440~600nm、入射角60度での平均透過率T440-600(60deg)AVEとの差の絶対値が12%以下
(i-2)前記平均透過率T440-600(0deg)AVEが78%以上
(i-3)入射角0度で透過率が50%になる波長IR_T50(0deg)が590~640nmの波長領域にある
(i-4)波長700~800nm、入射角0度での平均透過率T700-800(0deg)AVEが1%以下
(i-5)波長800~1200nm、入射角0度での平均透過率T800-1200(0deg)AVEが5%以下
(i-6)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長370~420nm、入射角5度での平均反射率R1370-420(5deg)AVEが65%以下
(i-7)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、入射角5度で反射率が50%になる波長IR1_R50(5deg)が790~860nmの波長領域にある
(i-8)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長800~1000nm、入射角5度での平均反射率R1800-1000(5deg)AVEが75%以上
(i-9)前記誘電体多層膜2側を入射方向としたとき、波長400~800nm、入射角5度での平均反射率R2400-800(5deg)AVEが2%以下
〔2〕前記光学フィルタが下記分光特性(i-10)~(i-11)をすべて満たす、〔1〕に記載の光学フィルタ。
(i-10)入射角0度で透過率が50%になる波長UV_T50(0deg)が波長400~420nmの領域にある
(i-11)波長370~400nm、入射角0度での平均透過率T370-400(0deg)AVEが10%以下
〔3〕前記光学フィルタが下記分光特性(i-12)を満たす、〔1〕または〔2〕に記載の光学フィルタ。
(i-12)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長750~900nmの領域において入射角5度で反射率が50%になる波長IR_R50(5deg)と、波長500~700nmの領域において入射角5度で透過率が50%になる波長IR_T50(5deg)との差の絶対値が145nm以上
〔4〕前記光学フィルタが下記分光特性(i-13)を満たす、〔1〕~〔3〕のいずれか1つに記載の光学フィルタ。
 前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長X~Ynmにおける吸収損失量X-Yを以下に定義する。
(吸収損失量X-Y)[%]=100-(入射角5度における透過率)-(入射角5度における反射率)
(i-13)波長370~400nmにおける吸収損失量370-400の平均値が9%以上
〔5〕前記光学フィルタが下記分光特性(i-14)を満たす、〔1〕~〔4〕のいずれか1つに記載の光学フィルタ。
 前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長X~Ynmにおける吸収損失量X-Yを以下に定義する。
(吸収損失量X-Y)[%]=100-(入射角5度における透過率)-(入射角5度における反射率)
(i-14)波長700-800nmにおける吸収損失量700-800の平均値が70%以上
〔6〕前記光学フィルタが下記分光特性(i-15)~(i-17)をすべて満たす、〔1〕~〔5〕のいずれか1つに記載の光学フィルタ。
(i-15)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長430~650nm、入射角5度での平均反射率R1430-650(5deg)AVEが2%以下
(i-16)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長430~650nm、入射角60度での平均反射率R1430-650(60deg)AVEが9%以下
(i-17)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長840~960nm、入射角5度での平均反射率R1840-960(5deg)AVEが85%以上
〔7〕前記光学フィルタが下記分光特性(i-18)を満たす、〔1〕~〔6〕のいずれか1つに記載の光学フィルタ。
(i-18)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長840nmから波長960nmに向かって、入射角5度、1nmの間隔で各波長の反射率R1n(5deg)(n:任意の整数)を読み取った際に、前記反射率R1n(5deg)が93%以上となるnが75個以上ある
〔8〕前記近赤外線吸収ガラスが下記分光特性(ii-1)~(ii-2)をすべて満たす、〔1〕~〔7〕のいずれか1つに記載の光学フィルタ。
(ii-1)波長400~600nm、入射角0度での平均透過率T400-600(0deg)AVEが75%以上
(ii-2)波長800~1200nm、入射角0度での平均透過率T800-1200(0deg)AVEが25%以下
〔9〕前記近赤外線吸収ガラスが下記分光特性(ii-3)を満たす、〔1〕~〔8〕のいずれか1つに記載の光学フィルタ。
(ii-3)波長1200nm、入射角0度での透過率T1200(0deg)が25%以下
〔10〕前記樹脂膜は、前記樹脂中において350~420nmの領域に最大吸収波長を有する紫外線吸収色素を2種以上含有する、〔1〕~〔9〕のいずれか1つに記載の光学フィルタ。
〔11〕前記樹脂膜は、前記樹脂中において700~800nmの領域に最大吸収波長を有する近赤外線吸収色素を2種以上含有する、〔1〕~〔10〕のいずれか1つに記載の光学フィルタ。
〔12〕〔1〕~〔11〕のいずれか1つに記載の光学フィルタを備えた撮像装置。
 次に、本発明を実施例によりさらに具体的に説明する。
 各分光特性の測定には、紫外可視分光光度計((株)日立ハイテクノロジーズ社製、UH-4150型)を用いた。
 なお、入射角度が特に明記されていない場合の分光特性は入射角0度(光学フィルタ主面に対し垂直方向)で測定した値である。
 各例で用いた色素は下記のとおりである。
化合物1(シアニン化合物):Dyes and Pigments、73、344-352(2007)に記載の方法に基づき合成した。
化合物2(スクアリリウム化合物):国際公開第2017/135359号に基づき合成した。
化合物3(メロシアニン化合物):独国特許公報第10109243号明細書に基づき合成した。
化合物4(スクアリリウム化合物):日本国特開2017-110209号公報に基づき合成した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
 各色素のポリイミド樹脂中における最大吸収波長を後述する表2に示す。
<ガラスの分光特性>
 実施例および比較例に用いるガラスとして、以下に示すガラスを準備した。
ガラス1、ガラス2:フツリン酸ガラス(AGCテクノグラス社製、NF-50GX)
ガラス3:アルカリガラス(SCHOTT社製、D263)
ガラス4:フツリン酸ガラス(質量%表示で、P5+:34.9%、Al3+:7.9%、Na:7.3%、K:13.7%、Ca2+:4.8%、Sr2+:7.2%、Ba2+:15.5%、Cu2+:8.7%を含有し、ガラス中に含まれるFの以外の成分元素を100質量%としたときに、Fを外割で14.2質量%含有)
 なお、上記ガラスのうち近赤外線吸収ガラスはガラス1、ガラス2およびガラス4である。
 各ガラスの分光特性を下記表1に示す。
 また、各近赤外線吸収ガラスの分光特性を表1に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 上記に示すように、ガラス1は、可視光領域の透過率が高く、近赤外領域の遮光性に優れていることが分かる。
<例1:光学フィルタ>
 ガラス1のガラス基板の一方の主面に、下記に示す方法で樹脂膜を形成し、ガラス基板と樹脂膜とを有する基材を製造した。まず、ポリイミド樹脂(三菱ガス化学株式会社製「C3G30G」(商品名)、屈折率1.59)をγ-ブチロラクトン(GBL):シクロヘキサノン=1:1(質量比)に溶解して、樹脂濃度8.5質量%のポリイミド樹脂溶液を調製した。上記の各色素をそれぞれ樹脂100質量部に対して、下記表2に記載の濃度で樹脂溶液に添加し、50℃、2時間撹拌・溶解することで塗工液を得た。得られた塗工液をガラス基板にスピンコート法により塗布し、およそ膜厚が3μmになるように樹脂膜1を形成した。
 ガラス基板の他方の主面に、TiOとSiOとを下記表3に示す構成で蒸着により積層して、誘電体多層膜1を形成した。また、樹脂膜の表面に、TiOとSiOとを下記表4に示す構成で蒸着により積層して、誘電体多層膜2形成した。
 このようにして、誘電体多層膜1(表3)/ガラス1/樹脂膜1/誘電体多層膜2(表4)の構成を備えた光学フィルタを作製した。
<例2~例6:光学フィルタ>
 ガラス、樹脂膜、誘電体多層膜1、誘電体多層膜2を、下記に示す構成に変更したこと以外は例1と同様にして、光学フィルタを作製した。各誘電体多層膜の構成は、表3~表8に示す。
例2:誘電体多層膜1(表3)/ガラス2/樹脂膜1/誘電体多層膜2(表6)
例3:誘電体多層膜1(表4)/ガラス2/樹脂膜1/誘電体多層膜2(表6)
例4:誘電体多層膜1(表3)/ガラス3/樹脂膜1/誘電体多層膜2(表6)
例5:誘電体多層膜1(表5)/ガラス2/樹脂膜1/誘電体多層膜2(表7)
例6:誘電体多層膜1(表8)/ガラス4/樹脂膜2/誘電体多層膜2(表6)
 各光学フィルタについて、紫外可視分光光度計を用いて300~1200nmの波長範囲における入射角0度および60度での分光透過率曲線、入射角5度での分光反射率曲線を測定した。
 結果を下記表9に示す。
 また、例1の光学フィルタの分光透過率曲線を図2に示し、誘電体多層膜1側の分光反射率曲線を図3に示し、誘電体多層膜2側の分光反射率曲線を図4に示す。例2の光学フィルタの分光透過率曲線を図5に示す。例3の光学フィルタの分光透過率曲線を図6に示し、誘電体多層膜1側の分光反射率曲線を図7に示す。例4の光学フィルタの分光透過率曲線を図8に示す。例5の光学フィルタの分光透過率曲線を図9に示す。
 なお、例1~例2および例6は実施例であり、例3~例5は比較例である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
 
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
 上記結果より、例1~例2および例6の光学フィルタは、平均透過率T440-600(0deg)AVEと平均透過率T440-600(60deg)AVEとの差の絶対値が12%以下であり、60度の高入射角であっても可視光透過率の変化が小さく、また平均透過率T440-600(0deg)AVEが78%以上であり高い可視光透過率を維持している。また入射角0度で透過率が50%になる波長IR_T50(0deg)が590~640nmにある。さらに平均透過率T700-800(0deg)AVEが1%以下かつ平均透過率T800-1200(0deg)AVEが5%以下であり、広範囲において近赤外光の遮蔽性に優れる。また例1~例2および例6の光学フィルタは、反射率の結果から、一方の誘電体多層膜はUV反射率が低く、800~1000nmの近赤外光領域の反射率は高く、他方の誘電体多層膜は400~800nmの可視光領域および近赤外光領域にわたり反射率が低い。
 一方、例3の光学フィルタは、平均透過率T440-600(0deg)AVEと平均透過率T440-600(60deg)AVEとの差の絶対値が10%を超えており、高入射角において可視光透過率の変化が大きい。これは誘電体多層膜1の分光特性が入射角度による変化が大きいことによる。
 例4の光学フィルタは、波長IR_T50(0deg)が590~640nmの波長領域を逸脱し、平均透過率T700-800(0deg)AVEが1%を超え、平均透過率T800-1200(0deg)AVEが5%を超えており、近赤外光の遮蔽性が低い。これはガラス基板が近赤外光を吸収する特性を備えないことによる。
 例5の光学フィルタは、誘電体多層膜1側の平均反射率R370-420(5deg)AVEが35%を超えており、紫外光反射率が大きい。これは誘電体多層膜1の紫外光反射率が大きいことによる。
 本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。本出願は2022年12月27日出願の日本特許出願(特願2022-210261)に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
 本実施形態の光学フィルタは、高入射角でも分光特性の変化が小さく、可視光領域の透過性に優れ、近赤外光領域の遮蔽性、特に1200nmも含む広範囲の遮蔽性に優れた分光特性を有する。近年、高性能化が進む、例えば、輸送機用のカメラやセンサ等の撮像装置の用途に有用である。
1B…光学フィルタ 
10…近赤外線吸収ガラス
21、22…誘電体多層膜 
30…樹脂膜
40…基材

Claims (12)

  1.  誘電体多層膜1と、近赤外線吸収ガラスおよび樹脂膜を有する基材と、誘電体多層膜2とをこの順に備えた光学フィルタであって、
     前記樹脂膜は、近赤外線吸収色素、紫外線吸収色素および樹脂を含有し、
     前記光学フィルタが下記分光特性(i-1)~(i-9)をすべて満たす光学フィルタ。
    (i-1)波長440~600nm、入射角0度での平均透過率T440-600(0deg)AVEと、波長440~600nm、入射角60度での平均透過率T440-600(60deg)AVEとの差の絶対値が12%以下
    (i-2)前記平均透過率T440-600(0deg)AVEが78%以上
    (i-3)入射角0度で透過率が50%になる波長IR_T50(0deg)が590~640nmの波長領域にある
    (i-4)波長700~800nm、入射角0度での平均透過率T700-800(0deg)AVEが1%以下
    (i-5)波長800~1200nm、入射角0度での平均透過率T800-1200(0deg)AVEが5%以下
    (i-6)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長370~420nm、入射角5度での平均反射率R1370-420(5deg)AVEが65%以下
    (i-7)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、入射角5度で反射率が50%になる波長IR1_R50(5deg)が790~860nmの波長領域にある
    (i-8)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長800~1000nm、入射角5度での平均反射率R1800-1000(5deg)AVEが75%以上
    (i-9)前記誘電体多層膜2側を入射方向としたとき、波長400~800nm、入射角5度での平均反射率R2400-800(5deg)AVEが2%以下
  2.  前記光学フィルタが下記分光特性(i-10)~(i-11)をすべて満たす、請求項1に記載の光学フィルタ。
    (i-10)入射角0度で透過率が50%になる波長UV_T50(0deg)が波長400~420nmの領域にある
    (i-11)波長370~400nm、入射角0度での平均透過率T370-400(0deg)AVEが10%以下
  3.  前記光学フィルタが下記分光特性(i-12)を満たす、請求項1に記載の光学フィルタ。
    (i-12)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長750~900nmの領域において入射角5度で反射率が50%になる波長IR_R50(5deg)と、波長500~700nmの領域において入射角5度で透過率が50%になる波長IR_T50(5deg)との差の絶対値が145nm以上
  4.  前記光学フィルタが下記分光特性(i-13)を満たす、請求項1に記載の光学フィルタ。
     前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長X~Ynmにおける吸収損失量X-Yを以下に定義する。
    (吸収損失量X-Y)[%]=100-(入射角5度における透過率)-(入射角5度における反射率)
    (i-13)波長370~400nmにおける吸収損失量370-400の平均値が9%以上
  5.  前記光学フィルタが下記分光特性(i-14)を満たす、請求項1に記載の光学フィルタ。
     前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長X~Ynmにおける吸収損失量X-Yを以下に定義する。
    (吸収損失量X-Y)[%]=100-(入射角5度における透過率)-(入射角5度における反射率)
    (i-14)波長700-800nmにおける吸収損失量700-800の平均値が70%以上
  6.  前記光学フィルタが下記分光特性(i-15)~(i-17)をすべて満たす、請求項1に記載の光学フィルタ。
    (i-15)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長430~650nm、入射角5度での平均反射率R1430-650(5deg)AVEが2%以下
    (i-16)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長430~650nm、入射角60度での平均反射率R1430-650(60deg)AVEが9%以下
    (i-17)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長840~960nm、入射角5度での平均反射率R1840-960(5deg)AVEが85%以上
  7.  前記光学フィルタが下記分光特性(i-18)を満たす、請求項1に記載の光学フィルタ。
    (i-18)前記誘電体多層膜1側を入射方向としたとき、波長840nmから波長960nmに向かって、入射角5度、1nmの間隔で各波長の反射率R1n(5deg)(n:任意の整数)を読み取った際に、前記反射率R1n(5deg)が93%以上となるnが75個以上ある
  8.  前記近赤外線吸収ガラスが下記分光特性(ii-1)~(ii-2)をすべて満たす、請求項1に記載の光学フィルタ。
    (ii-1)波長400~600nm、入射角0度での平均透過率T400-600(0deg)AVEが75%以上
    (ii-2)波長800~1200nm、入射角0度での平均透過率T800-1200(0deg)AVEが25%以下
  9.  前記近赤外線吸収ガラスが下記分光特性(ii-3)を満たす、請求項1に記載の光学フィルタ。
    (ii-3)波長1200nm、入射角0度での透過率T1200(0deg)が25%以下
  10.  前記樹脂膜は、前記樹脂中において350~420nmの領域に最大吸収波長を有する紫外線吸収色素を2種以上含有する、請求項1に記載の光学フィルタ。
  11.  前記樹脂膜は、前記樹脂中において700~800nmの領域に最大吸収波長を有する近赤外線吸収色素を2種以上含有する、請求項1に記載の光学フィルタ。
  12.  請求項1~11のいずれか1項に記載の光学フィルタを備えた撮像装置。
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WO2019111965A1 (ja) * 2017-12-07 2019-06-13 日本板硝子株式会社 光学フィルタ及び撮像装置
WO2019189039A1 (ja) * 2018-03-30 2019-10-03 Agc株式会社 光学フィルタ
JP2021015269A (ja) * 2019-07-11 2021-02-12 Hoya株式会社 近赤外線カットフィルタ及びそれを備える撮像装置

Patent Citations (3)

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