WO2024117180A1

WO2024117180A1 - 感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物を硬化させた絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁性硬化膜、並びに、タッチパネル

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Publication number: WO2024117180A1
Application number: PCT/JP2023/042737
Authority: WO
Inventors: 千香子小坂; 裕貴大浦; 菜生長谷川
Original assignee: 大阪有機化学工業株式会社
Priority date: 2022-11-30
Filing date: 2023-11-29
Publication date: 2024-06-06

Abstract

酸基を有する構成単位（ａ１）、酸素含有環を有する構成単位（ａ２）、及び、所定の化学式（ａ３）で表される構成単位（ａ３）を含むアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、ウレタン構造、及びカルボキシ基の少なくともいずれかを有し、かつ、２以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）と、を含む、感光性樹脂組成物。

Description

感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物を硬化させた絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁性硬化膜、並びに、タッチパネル

　本発明は、感光性樹脂組成物、及び、当該組成物を硬化させた絶縁性硬化膜に関し、例えば、タッチパネルなどに用いられる絶縁性硬化膜用途（例えば、絶縁膜用途、保護膜用途、平坦膜用途など）に有用な感光性樹脂組成物、並びに、当該組成物を硬化させたタッチパネル用絶縁性硬化膜及び当該硬化膜を備えたタッチパネルに関する。

　近年、電子機器の高機能化や多様化や小型軽量化が進むに伴い、液晶等の表示素子の前面に透明タッチパネルを装着し、この透明タッチパネルを通して表示素子に表示された文字や記号、絵柄などの視認、選択を行い、機器の各機能の切り替えを行うものが増えている。

　タッチパネルの検出方式には、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、光学方式などがあり、近年では、抵抗膜方式及び静電容量方式が普及している。例えば、抵抗膜方式は、上部電極フィルムと下部電極ガラスとの２面構成からなり、上部電極フィルムの上からペン先などで圧力をかけることで、スイッチが押され反応する方式である。また、静電容量方式は、表面の保護ガラスとセンサーガラスとからなり、表面のガラスに指が触れることで静電結合が起こり、奥のガラスとの静電容量に差が生じ、その差から触れた箇所を割りだす方式である。

　静電容量式タッチパネルは、例えば、ＩＴＯ膜付きガラスを基板に用い、接触した位置の誤認識を防ぐため、積層構造中に絶縁膜や保護膜を設けている。このような保護膜としては、高硬度な無機系のＳｉＯ_２、ＳｉＮｘや透明樹脂等で形成された保護膜や、有機系の保護膜が用いられている。また、タッチパネルは液晶表示装置と組み合わされる際の設置部位に応じて、アウトセル構造、オンセル構造、インセル構造に区別することができ、近年では視認性に優れるオンセル構造やインセル構造が主流になりつつある。これらオンセル構造及びインセル構造では、タッチパネルが液晶パネル内に組み込まれている。さらに、タッチパネルの構造としては、絶縁膜の一面にＸ電極が、他面にＹ電極が配置された２面型と、同一平面上にＸ電極及びＹ電極が形成されている１面型とが知られている。

　このようなタッチパネルに適用可能な技術としては、例えば、特定のアルカリ可溶性樹脂と光反応性単量体とを用い、耐薬品性、現像性、及び、耐しわ性に優れる硬化膜に関する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）

国際公開ＷＯ２０２０／２５１００４号公報

　上述のように、タッチパネルや液晶表示装置等に用いられている絶縁膜を形成するために感光性樹脂組成物が多く用いられている。このような絶縁膜は、パターニングが施されることがあり、また、電極間を導通する等の目的で微細な貫通孔（いわゆるスルーホール）が形成されることがある。そして、スルーホールの形成後、絶縁膜上に存在する異物を除去することを目的として、アルコールを含侵させた不織布などにより絶縁膜の表面を拭きあげる工程が行われることがあるが、この際に絶縁膜表面に傷が生じやすいことがわかってきた。

　そのため、本発明は、上記課題を解決すべく、耐擦傷性に優れる感光性樹脂組成物、当該組成物を硬化させた絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁性硬化膜、並びに、当該硬化膜を備えたタッチパネルを提供することを目的とする。

　本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した。その結果、特定の構造を有する共重合体と特定の構造を有するモノマーとを特定の比率で含む組成物を用いることで、上述の課題を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
＜１＞
　酸基を有する構成単位（ａ１）、酸素含有環を有する構成単位（ａ２）、及び、下記式（ａ３）で表される構成単位（ａ３）を含むアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
　ウレタン構造、及びカルボキシ基の少なくともいずれかを有し、かつ、２以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）と、を含む、
　感光性樹脂組成物。

（式（ａ３）中、Ｒ^１は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ^４は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及び、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）
＜２＞
　２つの重合性官能基、及び、前記２つの重合性官能基の間に含まれる環構造を有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）をさらに含む、
　前記＜１＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜３＞
　光重合開始剤をさらに含む、
　前記＜１＞又は＜２＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜４＞
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の重量平均分子量が３０００以上２００００以下である、
　前記＜１＞～前記＜３＞のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物。
＜５＞
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が５５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である、
　前記＜１＞～前記＜４＞のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物。
＜６＞
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）のガラス転移温度が１４０℃以下である、
　前記＜１＞～前記＜５＞のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物。
＜７＞
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）における、前記構成単位（ａ１）、前記構成単位（ａ２）及び前記構成単位（ａ３）の含有率（モル％）が、（ａ１）／（ａ２）／（ａ３）＝１０～３５／１５～５０／２０～７０である、
　前記＜１＞～前記＜６＞のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物。
＜８＞
　前記（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）が、下記式（ｂ１）で示される化合物、及び下記式（ｂ２）で示される化合物の少なくとも１種以上を含む、
　前記＜１＞～前記＜７＞のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物。

（式（ｂ１）中、Ｒ^５は、それぞれ独立に水素原子、又は、メチル基を示し；Ａは、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数３～２０の脂肪族炭化水素基を示し；Ｂは、ヘテロ原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数１～１０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及びこれらの組み合わせから選ばれる１種を示し；ｍは、２～８を示す。）

（式（ｂ２）中、Ｒ^５は、それぞれ独立に水素原子、又は、メチル基を示し；Ａ’は、それぞれ独立に酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基を示し；Ｂ’は、ヘテロ原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数１～１０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及びこれらの組み合わせから選ばれる１種を示し；ｍ_１及びｍ_２は、それぞれ独立に１～８を示し；ｎは、０または１を示す。）
＜９＞
　前記（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）が、下記式（ｃ１）で示される化合物を含む、
　前記＜２＞～前記＜８＞のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物。

（式（ｃ１）中、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立して、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｙ^１及びＹ^２は、各々独立して、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい、直鎖若しくは分岐鎖の、炭素数１～２６の脂肪族炭化水素基を示し；Ｘ^１１は、環状骨格を有する炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基又は芳香族基を示し；Ｗ^１及びＷ^２は、各々独立して、Ｏ，Ｎ又はＳを示す。）
＜１０＞
　絶縁膜形成用途に用いられる前記＜１＞～前記＜９＞のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物。
＜１１＞
　前記＜１＞～前記＜９＞のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物を硬化させた絶縁性硬化膜。
＜１２＞
　前記＜１＞～前記＜９＞のいずれか一つに記載の感光性樹脂組成物を硬化させたタッチパネル用絶縁性硬化膜。
＜１３＞
　前記＜１２＞に記載のタッチパネル用絶縁性硬化膜を備えたタッチパネル。

　本発明によれば、耐擦傷性に優れる感光性樹脂組成物、当該組成物を硬化させた絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁性硬化膜、並びに、当該硬化膜を備えたタッチパネルを提供することができる。

本実施形態のタッチパネルの一態様の構成を示す平面図である。図１におけるＡＡ断面図である。スルーホールの断面形状を示す模式図である。

　以下、本発明を実施するための形態（以下、「本実施形態」という。）について詳細に説明する。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。

１．感光性樹脂組成物
　本実施形態の感光性樹脂組成物は、酸基を有する構成単位（ａ１）、酸素含有環を有する構成単位（ａ２）、及び、下記式（ａ３）で表される構成単位（ａ３）を含むアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
　ウレタン構造、及びカルボキシ基の少なくともいずれかを有し、かつ、２以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）と、を含む。

（式（ａ３）中、Ｒ^１は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ^４は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及び、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）

　本実施形態の感光性樹脂組成物は耐擦傷性に優れる。その理由については、特に限定されないが、次のように考えられる。アルコールを含侵させた不織布などにより絶縁膜の表面を拭きあげる工程においては、不織布と絶縁膜表面との摩擦によって、絶縁膜を構成する樹脂の共有結合が切れることにより、絶縁膜表面に傷が発生すると考えられる。それに対して、本実施形態の感光性樹脂組成物は、その構成要素たるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）が酸基を有する構成単位を含み、かつ、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）がウレタン構造、及びカルボキシ基の少なくともいずれかを有することにより、モノマー間、ポリマー間、或いはモノマーとポリマー間に水素結合が生じることで絶縁膜の強度が上がり、耐擦傷性が向上するものと考えられる。さらに、水素結合は共有結合と比較して結合力が弱いものの、可逆的な結合・解離が可能であるから、摩擦力が加わった際に、絶縁膜の応力緩和により摩擦力を逃がした後に再度水素結合を形成することができるため、絶縁膜表面に傷がつきにくいものと考えられる。

　また、本実施形態の感光性樹脂組成物は、ネガ型の感光性樹脂組成物として用いた場合であっても、微細なパターンを形成可能であり、特にはスルーホール形成性にも優れる。その理由については、特に限定されないが、次のように考えられる。本実施形態の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）とを含むため、スルーホールを形成する際における、非潜像部（非露光部）の現像性に優れる。また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）及び（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）のそれぞれが構造中に架橋性基を有することから、架橋反応により強固に結合し、潜像部（露光部）においては現像液に対する耐性が高く、これらがスルーホール形成性に優れる一因であると推測される。同様の理由により、現像後のポストベーク時の熱においてスルーホール壁面が溶融して形状が変化すること（いわゆる熱ダレ）が抑制され、ホール断面形状を露光方向から逆台形状に保つことができるものと推測される。

　さらに、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）及び（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）等が架橋反応により強固に結合している等により、本実施形態の感光性樹脂組成物は、耐薬品性にも優れる。

　以下、本実施形態の感光性樹脂組成物について詳説する。

１．１．アルカリ可溶性樹脂（Ａ）
　本実施形態のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、酸基を有する構成単位（ａ１）、酸素含有環を有する構成単位（ａ２）、及び、下記式（ａ３）で表される構成単位（ａ３）を含む。以下、各構成単位について詳説する。

１．１．１．構成単位（ａ１）
　構成単位（ａ１）は、酸基を有する構成単位である。前記酸基とは、プロトン供与体となり得る基であり、特に限定されないが、例えば、カルボキシル基、酸無水物基、スルホン基、及びリン酸基等が挙げられる。構成単位（ａ１）は、酸基を含む構成単位であれば、特に限定されないが、不飽和カルボン酸に対応する単位であることが好ましく、下記式（ａ１－１）で表される単位であることがより好ましい。

（構成単位（ａ１－１）中、Ｒ^１は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｘ^１は、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい炭素数１～１５の直鎖若しくは環状の脂肪族炭化水素基を示す。）

　構成単位（ａ１－１）中、Ｒ^１は、水素原子、又は、メチル基を示し、得られる硬化物の耐熱性（硬化物の形状が熱で変化しにくいことをいう。以下、単に「耐熱性」という）の点からメチル基が好ましい。
　また、Ｘ^１は、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい炭素数１～１５の直鎖若しくは環状の脂肪族炭化水素基（二価の結合基）を示す。耐熱性の観点から、酸素原子を含んでいてもよい脂肪族炭化水素基の炭素数としては１～９が好ましい。これら脂肪族炭化水素基は、構造中に－Ｏ－構造（酸素原子を含む構造：例えば、エーテル基（－Ｏ－）、エステル基（－ＣＯ－Ｏ－）、酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－））を有していてもよい。直鎖の脂肪族炭化水素基としては、炭素数１～１５のアルキレン基、複数のエステル基や酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－）を含んでいてもよい炭素数３～１５の脂肪族炭化水素基等が挙げられる。また、環状の脂肪族炭化水素基としては、炭素数３～１５のシクロアルキレン基、複数のエステル基や酸無水物基を含んでいてもよい炭素数３～１５のシクロアルキレン基等が挙げられる。また、Ｘ^１は、直鎖部分と環状部分との両方を含む脂肪族炭化水素基であってもよい。複数のエステル基や酸無水物基を有するＸ^１の例としては、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ_２－ＣＨ_２－Ｏ－ＣＯ－ＣＨ_２－ＣＨ_２－、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ_２－ＣＨ_２－Ｏ－ＣＯ－シクロへキシル－などが挙げられる。

　構成単位（ａ１－１）としては、特に限定されないが、例えば、メタクリル酸（以下「ＭＡＡ」と称することがある）、アクリル酸、クロトン酸（ｔｒａｎｓ）、マレイン酸（ｃｉｓ）、フマル酸（ｔｒａｎｓ）、シトラコン酸（ｃｉｓ）、メサコン酸（ｔｒａｎｓ）、イタコン酸、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸、ヘキサヒドロフタル酸－２－メタクリロイルオキシエチルなどが挙げられる。構成単位（ａ１－１）の好ましい構造としては、以下の各化合物に対応する構成単位が例示される。

１．１．２．構成単位（ａ２）
　構成単位（ａ２）は、酸素含有環を有する構成単位であり、下記式（ａ２－１）で表される構成単位であることが好ましい。なお、酸素含有環を有する構成単位とは、環状エーテル構造を有する構成単位と同義である。
　下記構成単位（ａ２－１）中、Ｒ^１は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ^３は、環状エーテル構造を有し、且つ、環状エーテル構造に含まれる酸素原子以外の酸素原子を含んでいてもよい、炭素数３～１５の脂肪族炭化水素基を示す。

　構成単位（ａ２－１）中、Ｒ^１は、水素原子、又は、メチル基を示し、耐熱性の点からメチル基が好ましい。
　また、Ｒ^３は、環状エーテル構造を有し、且つ、環状エーテル構造に含まれる酸素原子以外の酸素原子を含んでいてよい炭素数３～１５の脂肪族炭化水素基を示す。
　ここで、環状エーテル構造を有する脂肪族炭化水素基の炭素数は、現像性の観点から、３～７が好ましい。これら脂肪族炭化水素基は、環状エーテル構造以外の構造中に－Ｏ－構造（酸素原子を含む構造：例えば、エーテル基（－Ｏ－）、エステル基（－ＣＯ－Ｏ－）、酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－））を有していてもよい。環状エーテル構造を有する脂肪族炭化水素基は、アルキレン基（例えば、メチレン基）の末端に環状エーテル構造が結合した基などが挙げられる。構成単位（ａ２）の好ましい構造としては、特に限定されないが、例えば、以下の各化合物に対応する構成単位が挙げられる。

１．１．３．構成単位（ａ３）
　構成単位（ａ３）は、下記式（ａ３）で表される。
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が構成単位（ａ３）を有することにより、本実施形態の感光性樹脂組成物は、現像液に対する耐性に優れる。

（式中、Ｒ^１は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ^４は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及び、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）

　構成単位（ａ３）中、Ｒ^１は、水素原子、又は、メチル基を示し、耐熱性の点からメチル基が好ましい。
　また、Ｒ^４は、直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、或いは前記脂肪族炭化水素と芳香族基との組み合わせである。ここで、前記脂肪族炭化水素基の炭素数は、現像液に対する耐性と、現像性との観点から、１～１０が好ましい。これら脂肪族炭化水素基は、構造中にヒドロキシ基（－ＯＨ基）あるいは、－Ｏ－構造（酸素原子を含む構造：例えば、エーテル基（－Ｏ－）、エステル基（－ＣＯ－Ｏ－）、酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－））を有していてもよい。前記直鎖、分岐鎖又は環状の脂肪族炭化水素基としては、炭素数１～２０の直鎖、分岐鎖又は環状のアルキル基、が挙げられ、現像液に対する耐性の点からメチル基、ノルマルプロピル基、ノルマルブチル基、ノルマルヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、イソボルニル基、トリシクロデカニル基、アダマンチル基が好ましい。また、前記芳香族基としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が挙げられ、硬化物の透明性の点からフェニル基が好ましい。また、炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基と芳香族基との組み合わせとしては、アルコキシフェニル基、アルキルフェニル基、アルコキシナフチル基、アルキルナフチル基、アルコキシアントラセニル基、アルキルアントラセニル基等が挙げられ、硬化物の透明性の点からアルコキシフェニル基、アルキルフェニル基が好ましい。構成単位（ａ３）の好ましい構造としては以下の各化合物に対応する構成単位が例示される。

１．１．４．その他の構成単位
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、上述の構成単位（ａ１）～（ａ３）のいずれにも該当しない他の構成単位を含むものであってもよい。他の構成単位としては、特に限定されないが、例えば、１，３－ビス（メタクリロイルオキシ）－２－プロパノール、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、Ｎ－シクロへキシルマレイミド等が挙げられる。
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）における、他の構成単位の含有率（モル％）は、現像液に対する耐性と、現像性の観点から、０～３５モル％が好ましく、０～２０モル％がさらに好ましい。

１．１．５．構成比
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ）における、構成単位（ａ１）、構成単位（ａ２）及び構成単位（ａ３）の含有率（モル％）は、現像液に対する耐性と、現像性の観点から、（ａ１）／（ａ２）／（ａ３）＝１０～３５／１５～５０／２０～７０であることが好ましく、１０～３０／１５～４５／３０～７０がさらに好ましく、１５～３０／２０～４５／３０～６０が特に好ましい。

１．１．６．酸価
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の酸価は、好ましくは５５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、好ましくは６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、より好ましくは６５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、さらに好ましくは７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が５５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下の範囲内にあると、現像不良の発生を抑制でき、且つ、現像液（例えば、水酸化カリウム）に対する耐性が高く、過現像を抑制できる傾向にある。アルカリ可溶性樹脂の酸価としては理論固形分酸価値を用いることができ、下記のようにして算出することができる。
　理論固形分酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）＝［５６．１（水酸化カリウムの分子量）×（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）における酸基含有構成単位の全量［ｇ］）×１０００］／［（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の固形分の全量［ｇ］）×（酸基含有構成単位の分子量）］

１．１．７．分子量
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の重量平均分子量は、特に限定されないが、現像性の観点から３，０００以上２０，０００以下であることが好ましく、４，０００以上２０，０００以下がより好ましく、５，０００以上１５，０００以下がさらに好ましく、５，５００以上１３，０００以下が特に好ましい。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の分子量測定は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（東ソー（株）製、品番：ＨＬＣ－８１２０、カラム：Ｇ－５０００ＨＸＬ及びＧ－３０００ＨＸＬの２連結、検出器：ＲＩ、移動相：テトラヒドロフラン）で行なうことができ、その値はポリスチレン換算した値である。

１．１．８．ガラス転移温度（Ｔｇ）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ）のガラス転移温度（以下、単に「Ｔｇ」ともいう。）は、特に限定されないが、耐擦傷性の観点から、１４０℃以下であることが好ましく、４０℃以上１４０℃以下であることがより好ましく、６０℃以上１４０℃以下であることがさらに好ましく、７０℃以上１３０℃以下であることがよりさらに好ましく、８０℃以上１２０℃以下であることが特に好ましい。

　本実施形態におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）のガラス転移温度は、アルカリ可溶性樹脂を構成する各構成単位のホモポリマーのＴｇと各構成単位の割合から、以下の、ＦОＸの式により算出される理論値である。
　ＦＯＸの式：１／Ｔｇ＝ｗ１／Ｔｇ１＋ｗ２／Ｔｇ２＋・・・＋ｗｎ／Ｔｇｎ
（Ｔｇ：アルカリ可溶性樹脂（Ａ）のガラス転移温度（Ｋ）、Ｔｇ１、Ｔｇ２、・・・Ｔｇｎ：各構成単位のホモポリマーのガラス転移温度（Ｋ）、ｗ１、ｗ２、・・・ｗｎ：各構成単位の重量分率）
　なお、上記ＦＯＸの式より求められる理論ガラス転移温度は示差走査熱量測定（ＤＳＣ）や動的粘弾性などにより求められる実測ガラス転移温度とよく一致する。そのため、理論値を計算することが難しい事情がある場合は、当該ガラス転移温度は、ＪＩＳ．　Ｋ　６２４０：２０１１に準拠して示差走査熱量計（ＤＳＣ）で測定することができる。
　また、モノマーのＴｇはホモポリマーのＴｇを示し、モノマーのＴｇについては、公知の文献値（例えば、「ＰｏｌｙｍｅｒＨａｎｄｂｏｏｋ」（第４版，Ｊｏｈｎ　　Ｗｉｌｅｙ　　＆　　Ｓｏｎｓ，　　Ｉｎｃ．，　　１９９９年）に記載の値）を使用できる場合にはその値を使用し、それ以外の場合には、例えばモノマーを塊状重合してホモポリマーとし、そのホモポリマーのＴｇを測定した値をそのモノマーのＴｇとする。

１．１．９．エポキシ当量
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）のエポキシ当量は、現像液に対する耐性と、現像性の両立の観点から、２００～１，０００であることが好ましく、２００～８００であることがさらに好ましく、２５０～６００であることが特に好ましい。当該エポキシ当量は、例えば、ＪＩＳ　Ｋ７２３６：２００１に従って求めることができる。

　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の具体例としては、例えば、以下の各ポリマーが挙げられる。なお、各ポリマーの構成単位に併記した数値は、各ポリマーにおける各構成単位のモル比である。

１．１．１０．含有量
　本実施形態の感光性樹脂組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量は、特に限定されないが、組成物中の全固形分に対して、３５～８０質量％が好ましく、４０～７０質量％がさらに好ましく、４５～６５質量％が特に好ましい。本明細書を通じて「全固形分」とは、樹脂組成物における溶媒以外の全成分を意味する。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量が３５質量％以上であることにより、現像液に対する溶解性が向上する傾向にあり、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量が８０質量％以下であることにより、熱ダレを抑制することができる傾向にある。

１．２．他のポリマー
　本実施形態の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）以外の他のポリマーを含んでいてもよい。本実施形態の感光性樹脂組成物中における他のポリマーの含有量は、特に限定されないが、硬化膜の耐薬品性等を大きく阻害せず、他のポリマーを含むことによる効果を得るとの観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００質量部に対して、０～３０質量部が好ましく、０～２０質量部がさらに好ましい。

１．３．（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）
　（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）は、ウレタン構造、及びカルボキシ基の少なくともいずれかを有し、かつ、２以上の（メタ）アクリロイル基を有する。

　（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）としては、ウレタン構造、及びカルボキシ基の少なくともいずれかを有し、かつ、２以上の（メタ）アクリロイル基を有するものであれば、特に限定されないが、下記式（ｂ１）、及び下記式（ｂ２）で示される化合物が挙げられる。（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）は、耐擦傷性の観点から、下記式（ｂ１）、及び下記式（ｂ２）で示される化合物の少なくとも１種以上を含むことが好ましく、下記式（ｂ１）を含むことがより好ましい。まず、下記式（ｂ１）で示される化合物について以下、詳説する。

　その中でも、Ａは、（メタ）アクリロイル基が結合した１又は２以上のペンタエリスリトール骨格を有することが好ましい。ペンタエリスリトール骨格を有するとは、ペンタエリスリトールの炭素骨格と共通の骨格を有することを意味し、より具体的には、１又は２以上のＣ（ＣＨ_２－）_４で示される構造を有することを意味する。２以上のＣ（ＣＨ_２－）_４で示される構造としては、特に限定されないが、例えば、ジペンタエリスリトール骨格及びトリペンタエリスリトール骨格が挙げられる。（メタ）アクリロイル基が結合したペンタエリスリトール骨格を有することにより、モノマー（Ｂ）に含まれる（メタ）アクリロイル基の量が多くなるため、光硬化の際の光感度に優れ、得られる硬化物が耐擦傷性に優れる傾向にある。

　ｍは２～８であり、３以上であることがより好ましい。ｍが２～８であることにより、モノマー（Ｂ）に含まれる（メタ）アクリロイル基の量が多くなるため、光硬化の際の光感度に優れ、得られる硬化物が耐擦傷性に優れる傾向にある。

　Ｂは、好ましくは直鎖、又は分岐鎖のヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数２～１０の脂肪族炭化水素基であり、より好ましくは直鎖、又は分岐鎖の炭素数２～６の脂肪族炭化水素基であり、さらに好ましくは直鎖、又は分岐鎖の炭素数２～４の脂肪族炭化水素基である。炭素数が１０以下であることにより、水素結合が生じやすく、耐擦傷性に優れる傾向にある。

　下記式（ｂ１）で示される具体的な化合物としては、特に限定されないが、例えば、以下の各化合物が挙げられる。

　次に、下記式（ｂ２）で示される化合物について以下、詳説する。

（式（ｂ２）中、Ｒ^５は、それぞれ独立に水素原子、又は、メチル基を示し；Ａ’は、それぞれ独立に酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基を示し；Ｂ’は、ヘテロ原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数１～１０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及びこれらの組み合わせから選ばれる１種を示し；ｍ_１及びｍ_２は、それぞれ独立に１～８を示し；ｎは、０または１を示す。）

　Ａ’は、好ましくは（メタ）アクリロイル基が結合したペンタエリスリトール骨格を有する。（メタ）アクリロイル基が結合したペンタエリスリトール骨格を有することにより、モノマー（Ｂ）に含まれる（メタ）アクリロイル基の量が多くなるため光硬化の際の光感度に優れ、得られる硬化物が耐擦傷性に優れる傾向にある。

　ｍ_１及びｍ_２はそれぞれ独立して、２以上であることが好ましく、３以上であることがより好ましく、５以上であることがさらに好ましい。ｍ_１及びｍ_２が２以上であることにより、モノマー（Ｂ）に含まれる（メタ）アクリロイル基の量が多くなるため、光硬化の際の光感度に優れ、得られる硬化物が耐擦傷性に優れる傾向にある。また、ｍ_１とｍ_２との合計（ｍ_１＋ｍ_２）は、特に限定されるものではないが、現像性と光硬化性を両立させる観点から、２～１４であることが好ましく、４～１２であることが好ましい。

　Ｂ’は、好ましくは直鎖、又は分岐鎖の炭素数１～１０の脂肪族炭化水素基であり、より好ましくは直鎖、又は分岐鎖の炭素数２～９の脂肪族炭化水素基であり、さらに好ましくは直鎖、又は分岐鎖の炭素数３～８の脂肪族炭化水素基である。炭素数が１０以下であることにより、水素結合が生じやすく、耐擦傷性に優れる傾向にある。
　下記式（ｂ２）で示される具体的な化合物としては、特に限定されないが、例えば、以下の各化合物が挙げられる。

　本実施形態の（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の固形分酸価は、好ましくは１～１３０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５～１２５ｍｇＫＯＨ／ｇであり、さらに好ましくは１０～１２０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、特に好ましくは２０～１２０ｍｇＫＯＨ／ｇである。（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の固形分酸価が上記範囲であることにより、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）との水素結合が良好になる傾向にあり、耐擦傷性に優れる傾向にある。なお、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の固形分酸価は、上述したアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の理論固形分酸価と同様にして算出することができる。

　本実施形態の（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の含有量は、組成物中の全固形分に対して、特に限定されないが、耐擦傷性の観点から、組成物中の全固形分に対して、１～５０質量％が好ましく、２～３０質量％がさらに好ましく、４～２０質量％が特に好ましい。

　また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量に対する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の比（Ｂ／Ａ）は、特に限定されないが、耐擦傷性の観点から、好ましくは０．０１～１．０であり、より好ましくは０．０２５～０．８であり、さらに好ましくは０．０５～０．６であり、よりさらに好ましくは０．０６～０．４である。

　上記式（ｂ１）で示される化合物の含有量は、特に限定されないが、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の総量に対して、好ましくは１０質量％以上であり、より好ましくは２０質量％以上であり、さらに好ましくは２５質量％以上である。上記式（ｂ１）で示される化合物の含有量が１０質量％以上であることにより、耐擦傷性に優れる傾向にある。

　上記式（ｂ２）で示される化合物の含有量は、特に限定されないが、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の総量に対して、好ましくは２５質量％以上であり、より好ましくは３０質量％以上であり、さらに好ましくは４０質量％以上である。上記式（ｂ２）で示される化合物の含有量が２５質量％以上であることにより、耐擦傷性に優れる傾向にある。

　上記式（ｂ１）、（ｂ２）で示される化合物の合計含有量は、特に限定されないが、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の総量に対して、好ましくは１５質量％以上であり、より好ましくは２５質量％以上であり、さらに好ましくは３０質量％以上である。上記式（ｂ１）、（ｂ２）で示される化合物の合計含有量が１５質量％以上であることにより、耐擦傷性に優れる傾向にある。

１．４．（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）
　（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）は、２つの重合性官能基、及び、前記２つの重合性官能基の間に含まれる環構造を有する化合物であり、少なくとも１つの（メタ）アクリロイル基を有する。本実施形態の感光性樹脂組成物は、（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）を用いることで、スルーホール形成性をさらに向上させることができる。

　ここで、“環構造”とは少なくとも一つの環状骨格を有する構造をいい、環状骨格のみで構成される構造と、環状骨格と環状骨格に結合した直鎖状の構造等の他の構造とから構成される構造とのいずれも含む。また、“２つの重合性官能基の間に含まれる環構造”とは、２つの重合性官能基が環構造を介して結合していることを意味し、重合性官能基は、環状骨格に直接結合してもよく、環状骨格に間接的に結合してもよい。（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）の環構造は、現像液に対する耐性の観点から、酸素原子を含んでいてよい炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基、酸素原子を含んでいてよい炭素数６～２６の芳香族炭化水素、及び、これらの組み合わせ（例えば、脂肪族炭化水素と芳香族炭化水素との組み合わせの他、異なる脂肪族炭化水素同士の組み合わせ、異なる芳香族炭化水素化合物等）、を含む群から選択されるいずれか一つとすることができる。環状骨格の具体例としては、例えば、フルオレン骨格、シクロヘキサン骨格、ビスフェノールＡ骨格、ジシクロペンタン骨格、及び、これらの組み合わせなどが挙げられる。

　“重合性官能基”は、（メタ）アクリロイル基自体、（メタ）アクリロイル基を１つ含む基、又は、（メタ）アクリロイル基以外の重合性基を１つ含む官能基である。（メタ）アクリロイル基以外の重合性官能基としては、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリルアミド基等が挙げられる。以下、“（メタ）アクリロイル基を含む基”と称した場合、（メタ）アクリロイル基自体又は（メタ）アクリロイル基を１つ含む基を意味する。（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）は、２つの重合性官能基が各々（メタ）アクリロイル基を含む基であることが好ましく、２つの重合性官能基の少なくとも一方がアクリロイル基であることが好ましい。（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）中、重合性官能基の数は２つである。重合性官能基の数が２を超えるとスルーホール形成性が低下することがある。また、２つの重合性官能基の種類は同一でもよいし互いに異なっていてもよい。

　（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）としては、下記式（ｃ１）で示される化合物を用いることができる。

（式（ｃ１）中、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立して、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｙ^１及びＹ^２は、各々独立して、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい、直鎖若しくは分岐鎖の炭素数１～２６の脂肪族炭化水素基を示し；Ｘ^１１は、環状骨格を有する炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基又は芳香族基を示し；Ｗ_１及びＷ_２は、各々独立して、Ｏ，Ｎ又はＳを示す。）

　式（ｃ１）中、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立して、水素原子又はメチル基を示し、露光の際に組成物が良好な硬化性を示す観点から、水素原子が好ましい。
　Ｙ^１及びＹ^２は、各々独立して、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい、直鎖若しくは分岐鎖の炭素数１～２６の脂肪族炭化水素基（二価の結合基）を示す。硬化性の観点から、脂肪族炭化水素基の炭素数としては１～２０が好ましく、１～１２がさらに好ましい。直鎖若しくは分岐鎖の脂肪族炭化水素基としては、炭素数１～２６のアルキレン基が挙げられ、メチレン基、エチレン基、１－メチルエチレン基、１－メチルプロレン基、２－メチルプロレン基、１，１－ジメチルエチレン基等が挙げられる。また、酸素原子を含むＹ^１及びＹ^２としては、例えば、－Ｏ（Ｃ_２Ｈ_４Ｏ）_ｍ－で示される基（ｍは１～１３）などが挙げられる。Ｙ^１及びＹ^２としては、例えば、メチレン基が好ましい。

　Ｘ^１１は、環状骨格を有する炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基又は芳香族基（二価の結合基）を示す。現像液への耐性の観点から、Ｘ^１１の炭素数としては、６～２６が好ましい。
　前記環状骨格を有する炭素数６～２６の脂肪族炭化水素としては、シクロヘキサン環、シクロデカン環、トリシクロデカン環、アダマンタン環、ノルボルナン環又はデカリン環からなる２価の結合基が挙げられ、前記芳香族基としては、ベンゼン環、ナフタレン環からなる２価の結合基等が挙げられる。Ｘ^１１としては、上述のフルオレン骨格、シクロヘキサン骨格、ビスフェノールＡ骨格、ジシクロペンタン骨格、及び、これらの組み合わせ、から選ばれる少なくとも１種を含む２価の結合基が好ましい。

　（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）としては、特に限定されないが、例えば、以下の各化合物を挙げることができる。

　本実施形態の感光性樹脂組成物中における（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）の含有量は、特に限定されないが、耐擦傷性の観点から、組成物中の全固形分に対して、５～５０質量％が好ましく、１０～３０質量％がさらに好ましく、１０～２０質量％が特に好ましい。

　本実施形態の感光性樹脂組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量に対する（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）の含有量の比（（Ｃ）／（Ａ））は、特に限定されないが、スルーホール形成性の観点から、好ましくは０．０１～１．０であり、より好ましくは０．０５～０．８であり、さらに好ましくは０．１～０．６であり、よりさらに好ましくは０．２～０．４である。

　また、本実施形態の感光性樹脂組成物は、（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）以外の光反応性単量体を含んでいてもよい。他の光反応性単量体としては、特に限定されないが、例えば、エチレン性不飽和基を分子内に３つ以上有する化合物が挙げられる。このような化合物の例としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が挙げられる。

（二重結合当量）
　（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）の二重結合当量は、反応性と現像性との観点から、１２０～１０００であることが好ましく、１２０～８００であることがさらに好ましく、１２０～６００であることが特に好ましい。当該二重結合当量は、（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）の分子量）／（（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）が有するエチレン性不飽和基の数）に従って求めることができる。

（ＬｏｇＰ）
　（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）のＬｏｇＰは、現像液に対する耐性と、現像性の観点から、１～８であることが好ましく、１．５～７であることがより好ましく、２～６であることがさらに好ましく、２．５～６であることが特に好ましく、３～５であることが最も好ましい。
　当該ＬｏｇＰは、ＯＥＣＤ　ＧＵＩＤＥＬＩＮＥＳ　ＦＯＲ　ＴＨＥ　ＴＥＳＴＩＮＧ　ＣＨＥＭＩＣＡＬＳ　Ｐａｒｔｉｔｉｏｎ　Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ　（ｎ－ｏｃｔａｎｏｌ／ｗａｔｅｒ），　Ｈｉｇｈ　Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ　Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ　（ＨＰＬＣ）　Ｍｅｔｈｏｄ　１１７（Ａｄｏｐｔｅｄ　１３　Ａｐｒｉｌ　２００４）に従い、逆相カラム（Ｃ１８）を用いてＨＰＬＣ（高性能液体クロマトグラフィー）にて測定を行い、決定することができる。ＬｏｇＰ既知の標準物質はベンジルアルコール、アニソール、トルエン、ブチルベンゼンを用いる。

　ＬｏｇＰの測定条件の例は以下のとおりである。
・装置：Ａｇｉｌｅｎｔ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製の１２００Ｓｅｒｉｅｓ　ＨＰＬＣ
・カラム：　ＤｉＫＭＡ社製　Ｉｎｓｐｉｒｅ　Ｃ１８　５μｍ　１５０×４．６ｍｍ　（粒径５μｍ、内径４．６ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）
・移動相：アセトニトリルと０．５ｗｔ％リン酸水溶液の混合液｛混合比率５５：４５（体積比）｝
・オーブン温度：４０℃
・流速：１ｍＬ／ｍｉｎ
・ＵＶ検出波長：２１０ｎｍ

１．５．光重合開始剤
　本実施形態の感光性樹脂組成物は、好ましくは光重合開始剤を含む。光重合開始剤は、各種の活性光線、例えば紫外線等により活性化され、重合を開始する化合物である。光重合開始剤としては、特に限定されないが、例えば、ラジカル光重合開始剤、カチオン光重合開始剤、アニオン光重合開始剤が挙げられる。光重合開始剤は、特に限定されないが、例えば、紫外線から可視光線によってエチレン性不飽和基を重合させるラジカルを発生させる光重合開始剤を好適に用いることができる。

　光重合開始剤としては、特に限定されないが、例えば、アセトフェノン、２，２’－ジエトキシアセトフェノン、ｐ－ジメチルアセトフェノン、ｐ－ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタン－１－オン、２－ジメチルアミノ－２－（４－メチルベンジル）－１－（４－モルフォリン－４－イル－フェニル）－ブタン－１－オン、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン等のα－アミノケトン系光重合開始剤や、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］オクタン－１，２－ジオン＝２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）、エタノン－１－〔９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル〕－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、１－〔９－エチル－６－ベンゾイル－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－オクタン－１－オンオキシム－Ｏ－アセテート、１－〔９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－エタン－１－オンオキシム－Ｏ－ベンゾエート、１－〔９－ｎ－ブチル－６－（２－エチルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－エタン－１－オンオキシム－Ｏ－ベンゾエート、エタノン－１－［９－エチル－６－（２－メチル－４－テトラヒドロフラニルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル］－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、エタノン－１－〔９－エチル－６－（２－メチル－４－テトラヒドロピラニルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、エタノン－１－〔９－エチル－６－（２－メチル－５－テトラヒドロフラニルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、エタノン－１－〔９－エチル－６－｛２－メチル－４－（２，２－ジメチル－１，３－ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－１－（Ｏ－アセチルオキシム）等のオキシムエステル系光重合開始剤や、ベンゾフェノン、２－クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ’－ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類；ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、２－クロロチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２－メチルチオキサンソン、２－イソプロピルチオキサンソン等の硫黄化合物、２－エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２－ベンズアントラキノン、２，３－ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類；２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシフェニル）－６－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシナフチル）－６－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（ピペロニル）－６－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシスチリル）－６－トリアジン等のトリアジン類；アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物、２－メルカプトベンゾイミダゾール、２－メルカプトベンゾオキサゾール、２－メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物等が挙げられる。現像液に対する耐性と現像性との両立の観点から、光重合開始剤としては、オキシムエステル系光重合開始剤が好ましい。これらの光重合開始剤は、その１種を単独で用いてもよいが、２種以上を併用することもできる。

　本実施形態の感光性樹脂組成物中における光重合開始剤の含有量は、組成物中の全固形分に対して、特に限定されないが、露光の際に組成物が良好な硬化性を示す観点から、好ましくは０．１～１０であり、より好ましくは１．０～８．０であり、さらに好ましくは３．０～５．０である。

　また、（メタ）アクリル系モノマーの合計量に対する光重合開始剤の含有量の比（光重合開始剤／（メタ）アクリル系モノマー）は、特に限定されないが、露光の際に組成物が良好な硬化性を示す観点から、好ましくは０．０１～１．０であり、より好ましくは０．０５～０．８であり、さらに好ましくは０．１～０．４であり、よりさらに好ましくは０．１～０．２である。なお、上記（メタ）アクリル系モノマーの合計量とは、（メタ）アクリル系モノマー（Ａ）、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）、及びその他の（メタ）アクリル系モノマーの含有量の合計を意味する。

１．６．溶剤
　本実施形態において、溶剤は、所望の目的に応じて公知のものを適宜選定して用いることができる。
　前記溶剤としては、特に限定されないが、例えば、シクロヘキサノン（アノン）、シクロペンタノン、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、アセチルアセトン、メタノール、エタノール、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、ジグライム、シクロヘキサノン、エチルベンゼン、キシレン、酢酸イソアミル、酢酸ｎ－アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル（ＥＤＭ）、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコール、トリエチリングリコールモノメチルエーテル、トリエチリングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、液体ポリエチレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、乳酸エステル、メチルメトキシプロピオネート、エチルエトキシプロピオネートなどが挙げられる。

　前記溶剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を併用してもよい。また、本実施形態の感光性樹脂組成物中における溶剤の含有量は特に限定されないが、保存安定性と塗工性との観点から、全固形分濃度（（全固形分（質量部）／（全固形分（質量部）＋溶媒（質量部）））×１００）が、好ましくは１～６０質量％、より好ましくは５～５０質量％、さらに好ましくは１０～４０質量％、特に好ましくは１０～３０質量％となるように、溶媒を用いることが好ましい。全固形分濃度を上述の範囲内とすることにより、感光性樹脂組成物の粘度を適度なものとすることができ、基材などに塗布して膜を形成する際の塗工性が特に向上する。

１．７．重合防止剤
　本実施形態の感光性樹脂組成物は、（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）等が重合することを抑制する観点から、重合防止剤を含むことができる。また、重合防止剤として、公知の紫外線吸収剤を用いてもよい。

　重合防止剤としては、例えば、４－メトキシフェノール、２，２’－メチレンビス（４－エチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノ－ｐ－クレゾール、２，４－ジメチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール、４－ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、４，４’－チオ－ビス（３－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、４，４’－ブチリデン－ビス（３－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）などのフェノール系化合物；４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシル、４－アセトアミノ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシル、４－ベンゾイルオキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシル、４－オキソ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシル、２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシルなどのＮ－オキシラジカル系化合物；メトキノン（ＭＥＨＱ）、ハイドロキノン、２，５－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルハイドロキノン、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルハイドロキノン、ベンゾキノンなどのキノン系化合物；塩化第一銅；ジメチルジチオカルバミン酸銅などのジアルキルジチオカルバミン酸銅；フェノチアジン、Ｎ，Ｎ’－ジフェニル－ｐ－フェニレンジアミン、フェニル－β－ナフチルアミン，Ｎ，Ｎ’－ジ－β－ナフチル－ｐ－フェニレンジアミン、Ｎ－フェニル－Ｎ’－イソプロピル－ｐ－フェニレンジアミンなどのアミノ化合物；１，４－ジヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン、１－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン、４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジンなどのヒドロキシアミン系化合物などが挙げられる。重合防止剤としては、例えば、前記メトキノンを好適に用いることができる。重合防止剤としては、これらは、単独で用いてもよく２種以上を併用してもよい。

　本実施形態の感光性樹脂組成物中重合防止剤の含有量は、特に限定されないが、スルーホール形成性の観点から、全固形分に対し、０．０１～０．５質量％が好ましく、０．０３～０．３質量％が好ましく、０．０５～０．１５質量％がさらに好ましい。

１．８．シランカップリング剤
　本実施形態の感光性樹脂組成物は、基材と塗膜との密着性を高める観点から、シランカップリング剤を用いてもよい。

　シランカップリング剤の種類は特に限定されないが、公知のシランカップリング剤を用いることができ、特に限定されないが、例えば、以下の各化合物を用いることできる。

　本実施形態の感光性樹脂組成物中のシランカップリング剤の含有量は、特に限定されないが、基板との密着性や絶縁性向上の観点から、全固形分に対し、０．１～１０質量％であることが好ましく、０．５～８質量部であることがより好ましく、１．０～８質量部であることがさらに好ましい。

１．９．その他の成分
　本実施形態の感光性樹脂組成物は、その他必要に応じて無機微粒子、密着促進添加剤、界面活性剤、貯蔵安定剤、レベリング剤、光安定剤、酸化防止剤などの各種添加剤を使用することもできる。これら添加剤の例としては、特に限定されないが、例えば、特開２０１２－２１５８３３号に記載のものが挙げられる。

１．１０．感光性樹脂組成物の製法
　本実施形態の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、及び（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）を含み、その他、溶剤、重合防止剤、シランカップリング剤、などを加え、攪拌・混合して調製することができる。

２．絶縁性硬化膜
　本実施形態の感光性樹脂組成物の用途は特に限定されないが、絶縁膜形成用途に用いることができ、例えば、絶縁性硬化膜、特にタッチパネル用絶縁性硬化膜として用いることができる。タッチパネル用絶縁性硬化膜は、感光性樹脂組成物を、ガラス基材、ＩＴＯ、金属膜、有機膜等の基材上に、スピンコートなどの回転塗布、ダイコートなどの流延塗布、ロールコートによる塗布、ロール転写法による塗布など各種付与方法を用いて塗膜を形成し、当該塗膜を硬化させることで形成することができる。

　具体的には、感光性樹脂組成物をガラス基板などの基材上に塗布し、マスクを介して光を照射し、現像した後、必要に応じて加熱処理することによりパターン加工することで、本実施形態の硬化膜を形成することができる。

３．タッチパネル用絶縁性硬化膜
　絶縁性硬化膜は、絶縁膜用途、保護膜用途、平坦膜用途などのいずれの用途にも使用できる。本実施形態の感光性樹脂組成物を用いた絶縁性硬化膜は、特に、タッチパネル用保護膜や、タッチパネル用絶縁膜として好適に用いることができる。

　また、本実施形態の絶縁性硬化膜は、タッチパネルなどの装置内に維持される、所謂永久膜としての用途のみならず、ガラス基板上にＩＴＯ膜をパターニングする際に用いられるレジスト膜として用いてもよい。

３．１．スルーホール付硬化膜
　タッチパネルの絶縁性硬化膜等に用いられる硬化膜には電極間の通電等を目的として所望のサイズを有するスルーホールを設けることができる。スルーホールは、パターニングにより形成されるパターンの一態様である。上述のように本実施形態の感光性樹脂組成物はネガ型の組成物として用いた場合でもスルーホール形成性に優れており、ホール側面まで十分に開口され且つホール断面形状が露光方向から逆台形状のスルーホールを形成することができるため、スルーホール付硬化膜形成用組成物として好適に用いることができる。

　本実施形態の感光性樹脂組成物を用いたスルーホール付硬化膜の作製方法については特に限定されないが、例えば、公知のスルーホール形成方法及び硬化膜の作製方法を適宜選定することができる。本実施形態の感光性樹脂組成物を用いたスルーホール付硬化膜の作製方法の一例としては、基板上に本実施形態の感光性樹脂組成物を付与して塗膜を形成する工程（塗膜形成工程）と、前記塗膜を、スルーホール形成用マスクを介して露光する工程（露光工程）と、露光後の前記塗膜の非露光部を現像液で除去する工程（現像工程）と、非露光部が除去された前記塗膜を加熱（例えば、９０～２３０℃、１０～６０分）する工程（ポストベーク工程）と、を含む方法が挙げられる。塗膜形成工程と露光工程との間などには、塗膜を加熱（例えば、８０～１００℃、６０～１８０秒）する工程（プリベーク工程）を施してもよい。また、上述したように、ポストベーク工程後にアルコールを含侵させた不織布などにより絶縁膜の表面を拭きあげて異物を除去する工程（以下、「異物除去工程」ともいう。）を含んでもよい。この際、本実施形態の感光性樹脂組成物を用いることで、異物除去工程を実施しても、絶縁膜表面に傷が生じにくい。

　スルーホール付硬化膜の厚さは、目的に応じて適宜設定可能であるが、例えば、反応性の観点から、０．２μｍ～１０μｍとすることができ、さらに０．５μｍ～５μｍとすることができる。
　また、スルーホール付硬化膜に形成されるスルーホールの孔径は、目的に応じて適宜設定可能であるが、例えば、反応性と現像性の観点から、１００μｍ以下とすることができ、さらに５０μｍ以下とすることができる。なお、スルーホール付硬化膜に形成されるスルーホールの“孔径”は、図３に示すように、スルーホール底面から１０％の高さに相当する高さの孔径（図３における１０％Ｂｏｔｔｏｍ　ＣＤ；“Ｒ_１０”と称することもある。）と定義することができる。
　硬化膜の膜厚〔Ｔ〕と開口径〔Ｒ_１０〕（スルーホール底面から１０％の高さに相当する高さの孔径（図３における１０％　Ｂｏｔｔｏｍ　ＣＤ）との比〔Ｔ：Ｒ_１０〕は、１：５０以下であることが好ましく、１：１～３０であることが更に好ましい。

　また、スルーホール付硬化膜に形成されるスルーホールの開口サイズは、特に限定されないが、１０％Ｂｏｔｔｏｍ　ＣＤ値で１５μｍ以下とすることができ、１０μｍ未満とすることもできる。
　スルーホールの断面形状におけるテーパー角（図３に示す直線Ａと直線Ｂとの交点の角度α（テーパー角）は、絶縁膜上層に金属配線を形成する際に、絶縁膜上層からスルーホール底面にかけて金属配線が断線しないことが望ましく、９０°未満が好ましく、１５～７０°がさらに好ましい。

４．タッチパネル
　上述のように、本実施形態の感光性樹脂組成物及びこれを用いた絶縁性硬化膜は、タッチパネル用絶縁膜として好適に用いることができる。以下、本実施形態の絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁膜を総称して単に「本実施形態の硬化膜」と称することがある。

　本実施形態のタッチパネルは、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、光学方式のいずれであってもよいが、静電容量方式のタッチパネルであることが好ましい。
　静電容量式タッチパネルは、例えば、ＩＴＯ膜付きガラスを基板に用い、接触した位置の誤認識を防ぐため、積層構造中（例えば電極間）に絶縁膜や保護膜を設けている。本実施形態のタッチパネルが静電容量式タッチパネルの場合、本実施形態のタッチパネルは、本実施形態の硬化膜を、例えば、積層構造中の絶縁膜、保護膜、又はその両方に用いることができる。

　また、タッチパネルは、絶縁膜の一面にＸ電極が、他面にＹ電極が配置された２面型構造、及び、同一平面上にＸ電極とＹ電極とが形成されている１面型構造に分けることができる。本実施形態のタッチパネルは２面型又は１面型のいずれの構造であってもよいが、特に１面型構造のタッチパネルであることが好ましい。
　１面型のタッチパネル構造においては、Ｘ電極とＹ電極とが電気的に分離されている。この際、電極のパターンによって、例えば、アイランド型パターン、スルーホール型パターンなどに区別できる。例えば、アイランド型パターンの場合、また、１面のタッチパネル構造においては、分離された電極同士が、例えばジャンパ部といわれる部材にて電気的に接続されている。また、電極ジャンパ部にはＩＴＯ膜など透明電極が用いられているが、例えば、ジャンパ部が分離されたＹ電極同士を結合している場合、Ｘ電極との絶縁性を保つためにジャンパ部の下部に絶縁層が設けられる。また、通常、１面型に配置された各電極上には一様に絶縁膜（保護膜）が形成される。
　このため、本実施形態のタッチパネルが１面型のタッチパネル構造の場合、本実施形態のタッチパネルは、例えば、本実施形態の硬化膜を、電極上に形成される絶縁膜、ジャンパ部下部に形成される絶縁層、又は、その両方に用いることができる。

　さらに、タッチパネルは液晶表示装置に組み込まれる際に、その設置部位に応じて、アウトセル構造、オンセル構造、インセル構造に区別することができる。オンセル構造及びインセル構造では、タッチパネルが液晶パネル内に組み込まれており、アウトセル構造ではタッチパネルが液晶パネルの外側に組み込まれる。オンセル構造では、観察方向側の偏光板と液晶積層体（一対の基盤ガラスとこれに介在する液晶層とで構成される積層体）との間にタッチパネルが設置される。また、インセル構造では、液晶積層体の液晶層がタッチパネル機能を有する。本実施形態のタッチパネルは、いずれの構造にも適用可能だが、例えば、オンセル構造に用いられることが好ましい。

　以下、図を用いて本実施形態のタッチパネルの一態様について説明する。図１は、本実施形態のタッチパネルの一態様の構成を示す平面図である。図１に示すように本実施形態のタッチパネルが１面型タッチパネルの場合、ガラス基板１０上にＩＴＯ（酸化インジウムスズ）電極（Ｘ１～Ｘ３，Ｙ１～Ｙ３）が形成される。

　ガラス基板１０の素材としては、例えば、特に限定されないが、例えば、ソーダ石灰ガラス、低アルカリ硼珪酸ガラス、無アルカリアルミノ硼珪酸ガラスなどのガラス板を用いることができる。また、ガラス基板の代わりに、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）などからなるプラスチック板、プラスチックフィルムを用いてもよい。

　ＩＴＯ電極（Ｘ１～Ｘ３，Ｙ１～Ｙ３）は、透明電極である。本実施形態においては透明電極の材料としてＩＴＯを用いているが、基板表面に配設することができるものであれば特に限定されないが、例えば、ＩＴＯの他、ＺｎＯ（酸化亜鉛）などの無機導電材料、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルホン酸）、ポリアニリン、ポリピロールなどの有機導電材料も用いることができる。これら材料は１種のみで用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
　なお、図１及び２においては記載を省略しているが、各電極及びジャンパ部Ｘ１２において、その下層に、又は透明電極に変えて、金属配線としての機能を有する金属薄膜を用いてもよい。金属薄膜には、Ｍｏ（モリブデン）、Ａｌ（アルミニウム）、Ａｇ（銀）、Ｐｄ（パラジウム）などの金属材料を用いることができ、Ｍｏ及びＡｌのいずれか一方以上を用いることが好ましい。

　図１に示すように、ＩＴＯ電極Ｘ１～Ｘ３は、図１における矢印Ｐ方向に配列された電極であり、ＩＴＯ電極Ｘ１～Ｘ３は隣接する電極と分離されているが、Ｐ方向に隣接する電極とジャンパ部Ｘ１２を介して電気的に接続されている。ジャンパ部Ｘ１２はＩＴＯ等、透明電極と同様の材料で形成することができる。また、ジャンパ部Ｘ１２の厚み方向下部には、ＩＴＯ電極Ｙの接続部との間に、図２に示される絶縁膜１４が介在している。さらに、各ジャンパ部Ｘ１２の両端には、Ｐ方向に隣接する電極Ｘ２とＸ３を電気的に接続するためにスルーホール２０が設けられている。
　また、ＩＴＯ電極Ｙ１～Ｙ３は、図１における矢印Ｑ方向に配列された電極である。ＩＴＯ電極Ｙ１～Ｙ３は、Ｑ方向に隣接する電極とＩＴＯ膜で形成された接続部を介して連続的に結合されており、Ｑ方向に電気的に接続されている。なお、通常ＩＴＯ電極Ｙ１～Ｙ３は、各接続部と、電極成形時に一体として連続的に形成される。
　以下、Ｐ方向に電気的に接続された電極群を“Ｘ電極”、Ｑ方向に電気的に接続された電極群を“Ｙ電極”と称する。図１に示すように、１面型タッチパネルでは、Ｐ方向に沿ってＸ電極が配列され、Ｑ方向に沿ってＹ電極が配列されている。

　つぎに、図２を用いて、本実施形態におけるタッチパネルの断面構造について説明する。図２は、図１におけるＡＡ断面図である。図２に示すように、ＩＴＯ電極Ｘ２及びＸ３の間には、絶縁膜１４と、ＩＴＯ電極Ｙ１及びＹ２の接続部Ｙ１２と、が介在している。ＩＴＯ電極Ｘ２及びＸ３は、上述のようにジャンパ部Ｘ１２によって電気的に接続されている。また、ジャンパ部Ｘ１２の厚み方向下部においては、接続部Ｙ１２との間に、絶縁膜１４の一部が延在しており、ジャンパ部Ｘ１２と接続部Ｙ１２との絶縁性が保たれている。また、絶縁膜１４、並びに、ジャンパ部Ｘ１２の厚み方向上側には絶縁性保護層１６が設けられている。

　本実施形態において、絶縁膜１４又は絶縁性保護層１６の少なくともいずれか一方は、本実施形態の硬化膜が用いられる。しかし、いずれか他方を、従来、絶縁膜や保護膜に用いられていた公知の材料を用いて形成してもよいが、絶縁膜１４及び絶縁性保護層１６の両方が本実施形態の硬化膜であることが好ましい。

　上述のタッチパネルにおいて、本実施形態の硬化膜を形成する方法は、特に限定されないが、例えば、下層（例えば、絶縁膜１４に対する、ガラス基板１０及びＩＴＯ電極であり、又は、絶縁性保護層１６に対する、ＩＴＯ電極等）上にスプレーコートやスピンコート、スリットダイコート、ロールコート、バーコート等の塗布方法によって塗膜形成することができる。この際、塗膜の乾燥膜厚は、特に限定されないが、例えば、絶縁性保護層１６の場合は、０．５～２０μｍが好ましく、１．０～１０μｍがさらに好ましい。同様に、絶縁膜１４の場合には、乾燥膜厚が０．２～１０μｍが好ましく、０．５～５μｍがさらに好ましい。また、必要によって塗膜は、塗膜と接触または非接触状態で設けられた所定のパターンを有するマスクを通して露光を行うことができる。露光の際の光線の種類は特に限定されないが、例えば、可視光線、紫外線、遠赤外線、電子線、Ｘ線等が挙げられ、中でも紫外線が好ましい。光線の照度は特に限定されないが、３６５ｎｍにおいて５～１５０ｍＷ／ｃｍ^２であることが好ましく、５～３５ｍＷ／ｃｍ^２であることが特に好ましい。
　その後、必要に応じて炭酸ナトリウムや水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の水性アルカリ現像液、或いは水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）に浸漬するか、もしくはスプレーなどにより現像液を噴霧して非硬化部を除去し所望のパターンを形成する。さらに、感光性組成物の重合を促進して硬化させるため、それぞれ必要に応じて加熱（ポストベーキング）を施すことができる。なお、当該硬化膜の形成の際には、上述のスルーホールの形成方法を適用することができる。

　さらに、例えば、ジャンパ部Ｘ１２を形成する場合には、まず、ガラス基板１０上にパターニングされたＸ電極、Ｙ電極を形成し、その後、ガラス基板１０及び電極表面に感光性樹脂組成物を塗布し、絶縁膜１４、スルーホール２０を形成可能なマスクを用いて感光性樹脂組成物を露光・現像する。ついで、絶縁膜１４及びスルーホール２０上にＰＶＤ等によってジャンパ部Ｘ１２となる材料（ＩＴＯ等）を堆積させ導電層を形成する。その後、ジャンパ部Ｘ１２を形成する箇所（例えば図２における接続部Ｙ１２上の絶縁膜１４）の導電層表面にのみ保護層を設け、エッチング処理を施すことで、接続部Ｙ１２上の絶縁膜１４上にジャンパ部Ｘ１２が形成することができる。

　以下、本発明を実施例及び比較例を用いてより具体的に説明する。本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。

１．感光性樹脂組成物の調製
　下記表に示す配合にて各成分を混合し、感光性樹脂組成物を調製した。混合は室温で行い、重合反応が開始しないように紫外線を遮断しておこなった。

　なお、前記表１中、各成分に対する数値は組成物全体（但し溶媒を除く）に対する質量部を意味する。また、前記表１における各成分は下記表２～５に示すものを用いた。

　ここで、上記表２中の各樹脂、及び表３中の各モノマーについては以下の方法により合成した。

１．１．樹脂Ａ－１の合成
　撹拌装置、還流冷却管、窒素吹き込み管、温度計を備えた反応容器に、メタクリル酸メチル（Ｔｇ：１０５℃）５３質量部、グリシジルメタクリレート（Ｔｇ：４１℃）３３質量部、メタクリル酸（Ｔｇ：１８５℃）１４質量部、シクロヘキサノン３００質量部を仕込み、窒素を吹き込みながら溶解させた。６５℃まで加熱した後、２，２’－アゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）（ＡＤＶＮ）６質量部を加え、８時間　６５℃に保ち、重合させることで樹脂Ａ－１を得た。得られた樹脂Ａ－１について、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにて重量平均分子量を測定したところ、ポリスチレン換算で１１，０００であった。

１．２．樹脂Ａ－２～Ａ－４の合成
　樹脂Ａ－２～Ａ－４についても、モノマーの種類及び仕込み比を変更したこと以外は樹脂Ａ－１の合成と同様の条件を用いて合成を行った。得られたそれぞれの樹脂Ａ－２～Ａ－４についてゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにて重量平均分子量を測定したところ、ポリスチレン換算でそれぞれ、１２，０００、７，０００、及び６，０００であった。なお、用いたモノマーのＴｇは、ジシクロペンタニルメタクリレート：１７５℃、ヒドロキシエチルメタクリレート：５５℃、３，４－エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート：７２℃である。

１．３．モノマーＢ－１の合成
　攪拌機、冷却管、温度計を備えた１リットルの反応容器に、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ（日本化薬（株））５００．０ｇ、無水コハク酸２８．３ｇ、重合禁止剤として４－メトキシフェノール０．５ｇ、溶剤としてトルエン６６０．３ｇを混合した。次に空気を吹き込みながら撹拌し、７０℃で１２時間反応させた。次いで、空気を吹き込みながら、トルエンを減圧留去し、モノマーＢ－１を得た。
　無水コハク酸が全て副反応なく反応したと仮定して、また、無水コハク酸の仕込み量から換算して、モノマーＢ－１には、無水コハク酸変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレートが３０重量％含まれる。

１．４．モノマーＢ－２の合成
　ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ（日本化薬（株））５００．０ｇに代えてビスコート＃３００（大阪有機化学工業（株））５００．０ｇを用い、無水コハク酸の量を９５．６ｇ、４－メトキシフェノールの量を０．６ｇ、トルエンの量を７４４．５ｇにしたこと以外は、モノマーＢ－１の合成と同様の方法により、モノマーＢ－２を得た。
　無水コハク酸が全て副反応なく反応したと仮定して、また、無水コハク酸の仕込み量から換算して、モノマーＢ－２には、無水コハク酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレートが６４重量％含まれる。

１．５．モノマーＢ－３の合成
　攪拌機、冷却管、温度計を備えた１リットルの反応容器に、ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ（日本化薬（株））６６４．０ｇ、ヘキサメチレンジイソシアネート５１．０ｇを仕込み、６０℃で８時間反応させ、モノマーＢ－３を得た。なお、反応終了後、ＩＲ分析により反応生成物中にイソシアネート基が存在しないことを確認した。
　ヘキサメチレンジイソシアネートが全て副反応なく反応したと仮定して、また、ヘキサメチレンジイソシアネートの仕込み量から換算して、モノマーＢ－３には、ウレタン構造を有する変性アクリレートが５２重量％含まれる。

２．評価
　上述の調製により得られた実施例及び比較例の硬化性組成物について、以下の各評価を行った。

２．１．硬化膜の形成
　得られた感光性樹脂組成物を、スピンコート法により、ＩＴＯ膜を有した基板上に塗布し、９０℃のホットプレート上で１２０秒間プリベークして塗膜を形成した。ついで、ネガ用のコンタクトホールパターン（ホールピッチ２００μｍ／ホール径３０μｍ）を用い、超高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ^２照射した（３６５ｎｍにおける照度：１０ｍＷ／ｃｍ^２）。ついで、０．０５％水酸化カリウム水溶液を用いて６０秒間現像し、１３０℃で３０分間加熱することにより、膜厚２．０μｍの硬化膜付き基板を作製した。

２．２．耐擦傷性
　市販の往復摺動試験機を用いて硬化物の耐擦傷性を評価した。具体的には、得られた硬化膜付き基板を往復摺動試験機の移動テーブルに固定した。接触子には、曲率半径４ｍｍのテフロン球を用い、このテフロン球を覆うようにエタノールを含ませた不織布を固定した。そして、硬化膜付き基板に不織布が接触するように設置し、荷重７００ｇ、往復距離　８ｃｍ（始点から終点までの距離は４ｃｍ）、往復速度　８ｃｍ／ｓ、摺動回数４０回の条件で試験を行った。摩耗試験前後の硬化膜付き基板のＨａｚｅをヘーズメーター（ＨＭ－１５０、村上色彩技術研究所）を用いて測定し、ΔＨａｚｅ（「摩耗試験後のＨａｚｅ」－「摩耗試験前のＨａｚｅ」）を以て以下の評価基準により評価した。上記評価基準のうち、Ｂ判定以上を合格とした。なお、試験規格はＪＩＳ　Ｋ　７１３６を採用した。評価結果を表１に示す。
［評価基準］
　Ａ：ΔＨａｚｅが、１％以下であった。
　Ｂ：ΔＨａｚｅが、１％超２％以下であった。
　Ｃ：ΔＨａｚｅが、２％超４％以下であった。
　Ｄ：ΔＨａｚｅが、４％超であった。

２．３．スルーホール形成性
　上記にて得られた、実施例１～１０、並びに比較例１及び２の硬化性樹脂組成物を、スピンコート法により、ガラス基板上に塗布し、９０℃のホットプレート上で１２０秒間プリベークして塗膜を形成し、露光ギャップ１７０μｍ、超高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ^２照射した（３６５ｎｍにおける照度：１０ｍＷ／ｃｍ^２）。その後、０．３％炭酸ナトリウム水溶液を用いて６０秒間現像し、１３０℃で３０分間加熱することにより、膜厚２．０μｍの硬化膜付き基板を作製した。

　得られた硬化膜付き基板の断面をレーザー顕微鏡（ＬＡＳＥＲＴＥＣ社製；製品名：ＯＰＴＥＬＩＣＳＨＹＢＲＩＤ）で観察した後、硬化膜付き基板に対し、マスクの開口径が３０μｍの時のスルーホールの孔径（Ｒ_１０；１０％Ｂｏｔｔｏｍ　ＣＤ値）を測長し、以下の評価基準により評価した。なお、スルーホールが開口しているか否かについては、スルーホールが下地まで貫通していたものを開口しているものとし、ホール底部に膜が確認されたものを未開口であるものとした。評価結果を表６に示す。
［評価基準］
　Ａ：１０％ＣＤの値が、２０μｍ以上であった。
　Ｂ：１０％ＣＤの値が、１５μｍ以上２０μｍ未満であった。
　Ｃ：１０％ＣＤの値が、１５μｍ未満であった。
　Ｄ：スルーホールが開口しなかった。

２．４．耐薬品性
　実施例１～１０、並びに比較例１及び２の硬化性樹脂組成物に対して、上記スルーホール形成性試験と同様の操作を行い、硬化膜付き基盤を得た。その後、得られた硬化膜付き基板を、３．６質量％シュウ酸水溶液に４１℃で約１２０秒間浸漬した。浸漬後、基板を水洗し、さらにアミン溶液（モノエタノールアミン／ジメチルスルホキシド＝７０／３０（質量％））に、６０℃で約６０秒間浸漬した。浸漬後、硬化膜付き基板を水洗、乾燥し、その後、カッターナイフを使用して硬化膜表面をクロスカットした（１ｍｍ×１ｍｍ×１００マス）。続けて、カット面にセロハンテープを貼り付けた後に、そのセロハンテープを剥がす操作を行った。そして、基板の硬化膜表面を実体顕微鏡で観察して硬化膜が剥がれずに残っているマス目の数を数えて、その数に対して以下の評価基準により耐薬品性を評価した。評価結果を表６に示す。
［評価基準］
　Ａ：硬化膜が剥がれずに残っているマス目が９０以上であった。
　Ｂ：硬化膜が剥がれずに残っているマス目が６５以上９０未満であった。
　Ｃ：硬化膜が剥がれずに残っているマス目が３５以上６５未満であった。
　Ｄ：硬化膜が剥がれずに残っているマス目が３５未満であった。

３．結果
　得られた結果から、実施例１～１２は、本実施形態における（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）を用いなかった比較例１及び２と比較して耐擦傷性に優れることがわかった。
　また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）としてガラス転移温度が１２０℃以下のものを用いた実施例１～５、及び７～１２は、ガラス転移温度が１２０℃超であるアルカリ可溶性樹脂Ａ－４を用いた実施例６と比較して、耐擦傷性に優れることがわかった。このことは、ポストベーク工程においてアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の流動性が低くなり、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）との分子同士の距離が近づきにくくなることで、水素結合が形成しにくくなるためと考えられる。
　さらに、カルボキシル基を含む（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）を用いた実施例１～４、及び６～１２は、ウレタン骨格を含む（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）を用いた実施例５と比較して、スルーホール形成性に優れることがわかった。

１０：ガラス基板、１４：絶縁膜、１６：絶縁性保護層、Ｘ１～Ｘ３，Ｙ１～Ｙ３：ＩＴＯ電極、Ｘ１２：ジャンパ部、Ｙ１２：接続部、２０：スルーホール

　２０２２年１１月３０日に出願された日本国特許出願２０２２－１９１３０１号の開示は、その全体が参照により本明細書に取り込まれる。
　また、明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。

Claims

　酸基を有する構成単位（ａ１）、酸素含有環を有する構成単位（ａ２）、及び、下記式（ａ３）で表される構成単位（ａ３）を含むアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、
　ウレタン構造、及びカルボキシ基の少なくともいずれかを有し、かつ、２以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）と、を含む、
　感光性樹脂組成物。

（式（ａ３）中、Ｒ^１は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ^４は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及び、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）
　２つの重合性官能基、及び、前記２つの重合性官能基の間に含まれる環構造を有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）をさらに含む、
　請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　光重合開始剤をさらに含む、
　請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の重量平均分子量が３０００以上２００００以下である、
　請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価が５５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上１３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である、
　請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）のガラス転移温度が１４０℃以下である、
　請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）における、前記構成単位（ａ１）、前記構成単位（ａ２）及び前記構成単位（ａ３）の含有率（モル％）が、（ａ１）／（ａ２）／（ａ３）＝１０～３５／１５～５０／２０～７０である、
　請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　前記（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）が、下記式（ｂ１）で示される化合物、及び下記式（ｂ２）で示される化合物の少なくとも１種以上を含む、
　請求項１に記載の感光性樹脂組成物。

（式（ｂ１）中、Ｒ^５は、それぞれ独立に水素原子、又は、メチル基を示し；Ａは、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数３～２０の脂肪族炭化水素基を示し；Ｂは、ヘテロ原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数１～１０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及びこれらの組み合わせから選ばれる１種を示し；ｍは、２～８を示す。）

（式（ｂ２）中、Ｒ^５は、それぞれ独立に水素原子、又は、メチル基を示し；Ａ’は、それぞれ独立に酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基を示し；Ｂ’は、ヘテロ原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖の炭素数１～１０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及びこれらの組み合わせから選ばれる１種を示し；ｍ_１及びｍ_２は、それぞれ独立に１～８を示し；ｎは、０または１を示す。）
　前記（メタ）アクリル系モノマー（Ｃ）が、下記式（ｃ１）で示される化合物を含む、
　請求項２に記載の感光性樹脂組成物。

（式（ｃ１）中、Ｒ^１１及びＲ^１２は、各々独立して、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｙ^１及びＹ^２は、各々独立して、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい、直鎖若しくは分岐鎖の、炭素数１～２６の脂肪族炭化水素基を示し；Ｘ^１１は、環状骨格を有する炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基又は芳香族基を示し；Ｗ^１及びＷ^２は、各々独立して、Ｏ，Ｎ又はＳを示す。）
　絶縁膜形成用途に用いられる請求項１～９のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
　請求項１～９のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させた絶縁性硬化膜。
　請求項１～９のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させたタッチパネル用絶縁性硬化膜。
　請求項１２に記載のタッチパネル用絶縁性硬化膜を備えたタッチパネル。