WO2024067712A1

WO2024067712A1 - 线切割机及其晶托夹紧检测方法

Info

Publication number: WO2024067712A1
Application number: PCT/CN2023/122095
Authority: WO
Inventors: 宫云庆; 张艾贞; 孙承政; 王金丽; 于云飞; 马伟明
Original assignee: 青岛高测科技股份有限公司
Priority date: 2022-09-30
Filing date: 2023-09-27
Publication date: 2024-04-04

Abstract

本发明涉及高硬脆材料切割技术领域，具体涉及一种线切割机及其晶托夹紧检测方法。本申请旨在解决如何检测晶托是否夹紧的问题。为此目的，本申请的线切割机，包括进给机构，所述进给机构包括进给主体、晶托和晶托夹紧装置，晶托夹紧装置包括：安装座，安装座上开设有第一检测通道，第一检测通道的第一端能够与气源连通，第一检测通道的第二端对应于晶托夹紧时的第一夹紧面设置。通过在安装座中设置第一检测通道，可以利用第一检测通道与气源连通来检测晶托是否夹紧，实现晶托的夹紧检测，使得后续工序的顺利实施。

Description

线切割机及其晶托夹紧检测方法

技术领域

本发明涉及高硬脆材料切割技术领域，具体涉及一种线切割机及其晶托夹紧检测方法。

背景技术

对于高硬脆材料的切割，线切割机以其出片率、切割效率、生产成本、环保等方面的绝对优势，成为市场上的主流产品。线切割机工作时，通过缠绕在主辊组件上的切割线组成的线网对待切割件进行切割。举例而言，线切割机的运行时，待切割件在竖直方向做进给运动，线网在高速旋转过程中把待切割件切割成多个切片。

待切割件通常先固定在晶托上，再将固定有待切割件的晶托安装在进给机构上实现待切割件在进给方向上的固定。一种具体示例中，待切割件通过粘接的方式与晶托固定，晶托通过进给机构上设置的可移动支座夹紧，晶托的夹紧程度直接影响到线切割机的切割精度和切割质量。为此，如何检测晶托是否夹紧对于接下来的切割工序至关重要。

相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。

发明内容

为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决如何检测晶托是否夹紧的问题，本申请第一方面，提供了一种线切割机，包括进给机构，所述进给机构包括进给主体、晶托和晶托夹紧装置，所述晶托夹紧装置包括：安装座，所述安装座上开设有第一检测通道，所述第一检测通道的第一端能够与气源连通，所述第一检测通道的第二端对应于晶托夹紧时的第一夹紧面设置。

上述技术方案，通过在安装座中设置第一检测通道，可以利用第一检测通道与气源连通来检测晶托是否夹紧，实现晶托的夹紧检测，使得后续工序的顺利实施，提高线切割机的切割精度和切割质量。

本申请第二方面，还提供了一种线切割机的晶托夹紧检测方法，所述晶托夹紧检测方法包括：获取第一检测通道的实时气压值；判断所述实时气压值与预设气压阈值的大小；根据判断结果，确定晶托的夹紧状态。

通过获取实时气压值，并判断实时气压值与预设气压阈值的大小，本申请的晶托夹紧检测方法可以对晶托是否夹紧进行有效检测，使得后续工序的顺利实施，提高线切割机的切割精度和切割质量。

附图说明

图1为本申请实施例1的晶托夹紧装置的装配图；图2为本申请实施例1的晶托夹紧装置的局部剖视图；图3为本申请实施例2的晶托夹紧装置的装配图；图4为本申请实施例2的晶托夹紧装置的剖视图；图5为图4在A处的局部放大图；图6是本申请实施例3的喷淋机构的结构图；图7是本申请实施例3的喷淋机构的部分剖面；图8是本申请实施例3的喷淋机构喷出的切割液喷洒在待切割材料的效果图；图9是本申请实施例3的溢流喷淋装置的结构图；图10是本申请实施例3的溢流喷淋装置的剖面图；图11是本申请实施例3的直流喷淋装置的结构图；图12是本申请实施例3的直流喷淋装置的剖面图；图13是本申请实施例3的花洒喷淋装置的结构图；图14是本申请实施例3的花洒喷淋装置的剖面图；图15是本发明实施例4的碎片盒的结构图；图16是本发明实施例4的碎片盒的剖视图；图17是图16中A的放大图；图18是本发明实施例5的线切割机的进给机构的部分结构图；图19是本发明实施例5的线切割机的进给机构的局部平面图；图20是本发明实施例5的切割机的局部剖面图；图21是本发明实施例5的碎片盒的结构图；图22是现有技术中辊轴组件的剖面图；图23是本发明实施例6的辊轴组件的结构图；图24 是本发明实施例6的辊轴组件的局部剖面图；图25是本发明实施例6辊轴组件的辊轴的剖面图；图26是本发明实施例6辊轴组件的内套的结构图；图27是本发明实施例6辊轴组件的第一轴承箱的局部剖面图；图28是本发明实施例6辊轴组件的辊轴的部分放大图；图29是本发明实施例6辊轴组件在第二轴承箱和旋转接头组件处的局部剖面图；图30是本发明实施例6辊轴组件的旋转接头组件的结构图；图31是本发明实施例6辊轴组件的旋转接头组件的剖面图；图32为本申请实施例7的线切割机的总装图；图33为本申请实施例7的线切割机俯视图；图34为本申请实施例7的线切割机的底座的结构图；图35为本申请实施例7的线切割机的储液部的结构图；图36为本申请实施例8的供液组件的第一种实施方式的结构图，其示出了供液缸的第一种实施方式的结构；图37为图42中A-A处的剖视图；图38为本申请实施例8的供液缸的第二种实施方式的结构图；图39为本申请实施例8的供液缸的第二种实施方式的剖视图；图40为本申请实施例8的线切割机的总装图；图41为本申请实施例8的线切割机的俯视图；图42为本申请实施例9的晶托夹紧检测方法的流程图。

具体实施方式

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系，这仅仅是为了便于描述，而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，还需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面参照图1和图2，对本申请的线切割机装置进行描述。

先参照图1，本申请的线切割机包括进给机构，进给机构包括进给主体、晶托和晶托夹紧装置，晶托夹紧装置包括安装座1和移动件2。安装座1包括本体11、第一支座12和第二支座13，移动件2设置在第二支座13所在的一侧并可在第二支座13的导向下沿第二支座13水平移动。晶托3的上部为倒梯形，第一支座12和移动件2上分别设置斜面，通过移动件2水平移动靠近晶托3，使得移动件2和第一支座12上的斜面共同作用将晶托3夹紧。夹紧后，晶托3的顶面紧密抵接在本体11的底面，晶托3的两个侧面紧密抵接在第一支座12和移动件2的斜面上。

需要说明的是，虽然上述实施方式中并未介绍移动件2的具体移动方式，但这并非代表本申请无法实施。相反，本领域技术人员可以采用现有技术中任意方式来实现移动件2的移动。例如，可以采用紧固螺栓顶紧移动件2的方式带动移动件2移动，也可以采用例如液压缸、气缸等来带动移动件2移动。当然，晶托夹紧装置的具体形式也不仅限于上述所介绍的，本领域技术人员可以调整其具体设置方式，以便本申请能够适用于更加具体的应用场景。例如，本领域技术人员可以调整安装座1的具体构成、移动件2的具体结构等，只要能够实现通过移动件2的移动夹紧晶托3即可。当然，在一些实施方式中，晶托夹紧装置也可以不设置移动件2，而是在安装座1的底部形成滑槽，晶托3通过滑槽安装到晶托夹紧装置。

接下来参照图2，为了解决如何检测晶托3是否夹紧的问题，本申请的晶托夹紧装置的安装座1上开设有第一检测通道111，第一检测通道111的第一端能够与气源连通，第一检测通道111的第二端对应于晶托3夹紧时的第一夹紧面设置。在检测时，将气源与第一检测通道111的一端连通，并向第一检测通道111通气，通过例如判断第一检测通道111第二端是否漏气，或者第一检测通道111内的气压是否足够等方式，来判断晶托3的第一夹紧面是否被夹紧。上述技术方案，通过在安装座1中设置第一检测通道111，可以利用第一检测通道111与气源连通来检测晶托3的第一夹紧面是否夹紧，实现晶托3的夹紧检测，使得后续工序的顺利实施，提高线切割机的切割精度和切割质量。

下面进一步参照图1和图2，对本申请的晶托夹紧装置的具体实施方式进行介绍。如图1所示，一种优选实施方式中，晶托夹紧装置包括安装座1，安装座1包括本体11、第一支座12、第二支座13和移动件2。本体11为三层板体结构，包括上层板、中层板和下层板，第一支座12固定连接在中层板的下侧，第二支座13固定连接在下层板的下侧，连接件在第一支座12与下层板之间水平移动。参照图2，安装座1上开设有第一检测通道111和第二检测通道112。上层板开设有多个凹槽，第一检测通道111开设在凹槽中的下层板上，第一检测通道111的第一端位于凹槽内，第二端对应于晶托3夹紧时的顶面设置。具体地，第一检测通道111为第一通孔，第一通孔为圆孔，其轴线垂直于下层板的顶面开设，也即垂直于晶托3夹紧时的顶面。第一通孔的顶部连接有气管6，气管6的第一端与第一通孔密封连接，气管6的第二端与气源连通。其中，第一通孔的顶部还开设有沉槽114，气管6的第一端密封连接于沉槽114内，如气管6的下端密封螺接于内螺纹沉槽114中，或者气管6的第一端密封插设在沉槽114中等。通过将第一检测通道111第二端对应于晶托3夹紧时的顶面设置，可以实现对晶托3顶面是否夹紧的检测。第一检测通道111设置为第一通孔，加工工艺简单，且能够有效检测晶托3顶面的夹紧状态。第一通孔的轴线垂直于晶托3夹紧时的顶面，容易加工，检测精度高。通过在第一通孔的上端设置气管6，方便第一检测通道111与气源的连接。通过设置沉槽114，方便气管6的密封固定，密封效果佳。

继续参照图2，一种优选技术方案中，第二检测通道112开设在第一支座12的外侧面，第二检测通道112能够与气源连通，且第二检测通道112的一端对应于晶托3夹紧时的第二夹紧面设置。具体地，第二检测通道112为第二通孔，第二通孔为圆孔，其轴线垂直于第二支座13的侧面开设，第二检测通道112的一端(图2示出的左端)对应于晶托3夹紧时的侧面设置，另一端(图2示出的右端)通过堵头5密封。

进一步地，安装座1还开设有过渡通道113，过渡通道113将第一检测通道111与第二检测通道112连通。具体地，过渡通道113包括第一过渡孔1131和第二过渡孔1132，第一过渡孔1131的一端与第一检测通道111连通，第一过渡孔1131与第二检测通道112连通，第二过渡孔1132的两端分别与第一过渡孔1131和第二检测通道112连通。优选地，第一过渡孔1131为开设于下层板侧面的第三通孔，第三通孔为圆孔，其轴线垂直于下层板的外侧面，第三通孔的第一端(图2中示出的左端)与第一检测通道111连通，第三通孔的第二端(图2示出的右端)通过堵头5封堵。第二过渡孔1132为圆孔，其与第一通孔平行设置，且分为上下两部分，上部分开设于下层板，下部分开设于第一支座12，第一支座12与下层板固定连接好后，上部分与下部分组成完整的第二过渡孔1132，第二过渡孔1132的两端分别与第一过渡孔1131和第二通孔的中部连通。此外，第一支座12上围绕第二过渡孔1132开设有环形槽，环形槽内设置有密封圈7。如此，通过第一过渡孔1131和第二过渡孔1132，实现第一检测通道111与第二检测通道112的连通。通过设置第二检测通道112，可以对晶托3的两个主要夹紧面(顶面和侧面)同时进行夹紧检测，提高晶托3夹紧的检测精度。通过将第二检测通道112的一端对应于晶托3夹紧时的侧面设置，可以实现对晶托3侧面是否夹紧的检测。通过将第二检测通道112与第一检测通道111连通，可以通过一个气源同时实现对多个侧面的检测，节约检测成本。通过设置过渡通道113，方便第一检测通道111和第二检测通道112的合理布局，降低加工难度。第二检测通道112设置为第二通孔，加工工艺简单，且能够有效检测晶托3侧面的夹紧状态。通过将第一过渡孔1131设置为第三通孔，方便第三通孔的加工。通过将第一过渡孔1131和第二通孔各分别设置在下层板和第一支座12上，方便第二过渡孔1132的加工。通过在本体11或第一支座12上设置环形槽，环形槽内设置密封圈7，可以提高第二过渡孔1132的两部分之间的密封性，提高检测精度。

参见图1和图2，本申请中，安装座1上开设有多个第一检测通道111和多个第二检测通道112，多个第一检测通道111和多个第二检测通道112均沿安装座1的长度方向(即图1示出的待切割件4的轴线方向)排列。具体地，本申请中设置有两个第一检测通道111和两个第二检测通道112，两个第一检测通道111和两个第二检测通道112沿安装座1的长度方向排列，且设置于安装座1靠近两端的位置。其中，对应设置的第一检测通道111与第二检测通道112之间均通过过渡通道113连通。通过开设多个第一检测通道111和第二检测通道112，可以对晶托3不同位置的第一夹紧面和第二夹紧面的夹紧程度进行检测，提高检测精度。

需要说明的是，上述优选的实施方式仅仅用于阐述本申请的原理，并非旨在于限制本申请的保护范围。在不偏离本申请原理的前提下，本领域技术人员可以对上述设置方式进行调整，以便本申请能够适用于更加具体的应用场景。例如，在一种可替换的实施方式中，虽然上述优选实施方式是结合安装座1上同时设置两个第一检测通道111和两个第二检测通道112进行介绍的，但是这并非旨在于限制本申请的保护范围，在能够实现对晶托3夹紧程度检测的前提下，本领域技术人员可以对检测通道的设置数量、位置等进行调整。举例而言，安装座1上可以只设置第一检测通道111来检测晶托3顶部的夹紧程度，省略第二检测通道112的设置。再如，第一检测通道111也可以为检测晶托3侧面夹紧程度的通道，相应地第二检测通道112为检测晶托3顶面夹紧程度的通道。再如，在同时设置第一检测通道111和第二检测通道112的前提下，第一检测通道111的数量和第二检测通道112的数量本领域技术人员可以调整，只要满足二者各至少有一个即可，当然二者的设置数量可以相同，也可以不同。

下面参照图3至图5，继续对本申请的晶托夹紧装置进行描述。如图3和图4所示，晶托夹紧装置包括安装座1、移动件2、第一推动部3和第二推动部4。移动件2可移动地设置于安装座1，第一推动部3与移动件2连接，用于带动移动件2沿第一方向移动，第二推动部4与移动件2连接，用于带动移动件2沿第一方向的反方向移动。在安装固定有待切割件6的晶托5时，将晶托5移动至待安装位置，通过第一推动部3和第二推动部4中的一个动作，使得移动件2朝向夹紧晶托5的位置移动，实现对晶托5的夹紧。在拆卸晶托5时，通过第一推动部3和第二推动部4中的另一个动作，使得移动件2朝向松开晶托5的位置移动，实现晶托5的松开。

参照图3，一种优选技术方案中，安装座1包括本体11、第一支座12和第二支座13。本体11为多层板体，本申请中由上至下分为三层板体，上层板体用于与进给机构连接，第一支座12固定连接于中层板体，第二支座13固定连接于下层板体。其中，第一支座12为截面呈L型的第二板体，第二板体的竖直段与中层板体固定连接。第二支座13与第一支座12对应设置，其截面呈多边形，该第二支座13的顶面与下层板体的底面固定连接。设置好后，第一支座12与第二支座13围设形成容纳晶托5的空间。继续参照图3，移动件2为截面呈L型的第一板体，第一板体的水平段的自由端形成有斜面，第二支座13朝向第一支座12的一侧形成有斜面，移动件2通过其L型第一板体的水平段可滑动地设置于第一支座12的L型第二板体的水平段，L型第一板体的竖直段位于第一支座12与下层板体之间。当移动件2朝向第二支座13移动时，移动件2上的斜面与第二支座13上设置的斜面同时与倒梯形晶托5的两个斜面相抵接，实现晶托5夹紧于移动件2与第二支座13之间。上述设置方式，通过设置第一支座12，可以对移动件2进行导向，提高移动件2的移动精度。通过第二支座13固定设置，使得装置仅通过移动件2的单独移动就可以实现对晶托5的夹紧，从而降低结构复杂度的同时，提高晶托5安装时的定位精度。

参照图4和图5，第一推动部3和第二推动部4均与移动件2的第一板体的竖直段连接。第一推动部3包括弹性件31、第一连接件32和第一螺栓33。弹性件31的第一端与移动件2间接的连接，弹性件31的第二端与第一连接件32连接，弹性件31压缩时存储弹性势能，弹性势能释放时能够带动移动件2沿第一方向移动，本实施方式中，第一方向为夹紧晶托5的方向。具体地，安装座1的下层板体与移动件2相对的侧面形成有第一安装孔111，第一连接件32可滑动地设置于第一安装孔111。晶托夹紧装置还包括盖板14，盖板14上设置有沉头孔(未示出)，安装座1设置有第二螺纹孔(未示出)，第二螺栓15穿过沉头孔螺接于第二螺纹孔，实现盖板14与安装座1的固定连接，连接好后，盖板14盖设第一安装孔111。盖板14上设置有第一过孔(未示出)，第一连接件32的第一端穿过第一过孔与移动件2连接，弹性件31的第一端抵接于第一连接件32的第二端，弹性件31的第二端抵接于盖板14的第一侧。优选地，第一连接件32为T型杆，弹性件31为碟簧，碟簧设置有多个且穿设于T型杆上，T型杆的帽端周侧可滑动地抵接在第一安装孔111的内壁，多个碟簧中位于一端(图5中最左端的碟簧)的碟簧抵接于T型杆的帽端内侧，位于另一端的碟簧(图5中最右端的碟簧)抵接于盖板14的第一侧(图5中盖板14的左侧)。T型杆的杆端沿轴向开设有第一螺纹孔，移动件2上开设有连接孔，第一螺栓33从盖板14的第二侧(图5中盖板14的右侧)穿过连接孔并螺接于第一螺纹孔，实现T型杆的杆端与移动件2的连接。此外，第一支座12上对应第一螺栓33的位置还设置有调节孔121，调节孔121为沉头孔。

继续参见图4和图5，第二推动部4包括缸体41和滑动连接于缸体41内的推杆42，推杆42伸出缸体41的一端与移动件2连接，从而带动移动件2沿第一方向的反方向移动，本实施方式中，第一方向的反方向即松开晶托5的方向。具体地，安装座1的下层板体与移动件2相对的侧面还形成有第二安装孔112，缸体41固定安装在第二安装孔112内，盖板14连接好后盖设第二安装孔112。盖板14上设置有第二过孔(未示出)，缸体41的一端(图5中缸体41的左端)抵接在第二安装孔112的底部，另一端(图5中缸体41的右端)则抵接于盖板14的第二过孔处，推杆42伸出缸体41的一端(图5中推杆42的右端)则穿过第二过孔与移动件2抵接。进一步地，安装座1内还设置有动力通道113，缸体41抵接在第二安装孔112底部的一端开设有进口411，动力通道113的一端与动力源连通，另一端与进口411连通。优选地，动力通道113包括主通道1131和副通道1132，主通道1131与动力源连通，副通道1132一端与主通道1131连通，动力通道113的另一端与进口411连通。其中，主通道1131为安装座1的下层板体上沿安装座1的长度方向(即图3所示的待切割件6的轴向)开设的通孔，通孔的两端通过堵头7密封。安装座1的下层板体上还开设有输送孔(图中未示出)，输送孔的一端与通孔连通，输送孔的另一端与动力源连通。其中，输送孔上连接有油管8，油管8的一端与输送孔密封连接，另一端与动力源连通。优选地，动力源为液压泵，液压泵与油管8连通，并通过压缩和抽吸液压油的方式来驱动推杆42的伸缩。

参见图4，优选地，本申请中第一推动部3和第二推动部4均设置有多个，多个第一推动部3和多个第二推动部4彼此交叉排列。图4中，第一推动部3设置有三个，第二推动部4设置有四个，每两个第二推动部4之间设置有一个第一推动部3。相应地，安装座1内设置有一个主通道1131和四个副通道1132，每个副通道1132与一个第二推动部4的进口411连通。参见图3，输送孔在本申请中设置有两个，两个输送孔沿安装座1长度方向排布并设置在靠近安装座1两端的位置。每个输送孔通过一个油管8与液压泵连通。

下面结合图4和图5，对本申请的动作原理进行介绍。在晶托5处于夹紧状态下，当需要松开晶托5时，控制液压泵工作，压缩液压油，利用油压来推动四个推杆42伸出，推杆42推动移动件2沿水平方向移动并远离晶托5，实现松开晶托5。此时，三个T型杆在移动件2的移动作用下同步沿水平方向滑动，第一螺栓33移动至调节孔121中，碟簧被T型杆的帽端挤压而储存弹性势能。在晶托5处于未夹紧状态下，当需要夹紧晶托5时，控制液压泵抽吸液压油，此时碟簧储存的弹性势能释放，三个T型杆在碟簧的弹力下向第一安装孔111的孔底滑动，移动件2在T型杆的带动下沿水平方向同步移动并逐渐靠近晶托5，最终实现夹紧晶托5。此时，四个推杆42在移动件2的推动下缩回缸体41内。当需要调节移动件2的夹紧力时，利用工具穿过调节孔121来调节第一螺栓33的松紧程度，来调节碟簧的预紧力。

上述优选实施方式，通过第一推动部3和第二推动部4均与第一板体的竖直段连接，可以直接带动移动件2移动，提高移动稳定性。第一推动部3采用弹性件31，可以利用弹性件31的弹性势能释放来带动移动件2沿第一方向移动，结构简单，且效果好。弹性件31采用碟簧，可以利用碟簧负荷大，行程短的特点，提高晶托5夹紧效果和夹紧稳定性。通过将弹性件31抵接在第一连接件32与盖板14之间，可以利用第一弹性件31的弹性势能释放实现晶托5的夹紧，无需额外引入动力机构，设置方式简单实用。通过设置第一连接件32可滑动地连接在安装座1上设置的第一安装孔111中，可以对移动件2的移动进行导向，提高移动稳定性和夹紧配合精度。通过采用第一螺栓33从盖板14的第二侧穿过连接孔与T型杆螺接，方便T型杆与移动件2之间的安装。

通过第二推动部4设置推杆42，可利用推杆42相对于缸体41的伸缩来推动移动件2移动，实现移动件2沿第一方向的反方向的移动。通过将缸体41设置在第二安装孔112内，可以节约第二推动部4的布局空间，并提高推杆42的运行稳定性。并且，通过将缸体41设置在第二安装孔112内，可以利用推杆42对移动件2的推动实现晶托5的松开，提高了对晶托的松开效果。通过设置盖板14，将缸体41抵接在盖板14上，可以提高缸体41的连接稳定性。通过在安装座1内设置动力通道113，可以利用动力通道113将动力源引导至缸体41内，从而通过动力源推动推杆42，使得推杆42可以持续输出稳定的推动力。并且，结合第一推动部3，可以实现晶托5夹紧和松开过程的自动控制，省时省力。在安装座1内设置动力通道113，还可以简化机构设置，避免结构复杂影响晶托5的装配。通过在安装座1上开设通孔，方便主通道1131的加工。通过在输送孔上设置油管8，方便主通道1131与动力源的连接。通过设置多个彼此交叉排列的第一推动部3和第二推动部4，可以提高对移动件2的移动稳定性，提高了移动件2的夹紧效果。

本申请还提供了一种进给机构，进给机构包括进给主体、晶托5和上述技术方案中任一项的晶托夹紧装置，晶托夹紧装置安装于进给主体，晶托5安装于晶托夹紧装置。通过在进给机构上设置上述晶托夹紧装置，可以利用第一推动部3和第二推动部4实现晶托5的夹紧和松开，提高晶托5安装便利性的同时，还可以提高了对晶托5的夹紧，提高切割质量和切割精度。一种实施方式中，晶托夹紧装置设置在进给机构的滑板箱底部，通过螺钉等与滑板箱的底部固定连接。当然，晶托夹紧装置还可以设置在进给机构的任意位置，这种位置的调整并未偏离本申请的原理。通过在进给机构上设置上述晶托夹紧装置，可以实现对晶托3夹紧程度的检测，使得后续工序的顺利实施，提高线切割机的切割精度和切割质量。

下面参照图6-8，对本申请的喷淋机构进行介绍。喷淋机构包括滑板箱1、喷淋装置2和输送部。滑板箱1包括本体11和底板12，本体11呈类似长方体框架，本体11底部形成有框板111，底板12的顶面开设有条形槽，底板12与框板111的底面密封连接，由此底板12、条形槽、与框板111之间围设形成流道13。本申请中，底板12的顶面开设两个条形槽，两个条形槽形成两个流道13，相应的框板111上设置有2个切割液进口，底板12上设置有四个切割液出口121，每个流道13同时与1个切割液进口和两个切割液出口121连通，使得输送部输送的切割液先进入到流道13内，稳定切割液的流量，从而利于喷淋装置2喷出的切割液能够覆盖硅棒上半部分。

接着参照图6和图8，滑板箱1底部左右两侧分别设置两个喷淋装置2，两个喷淋装置2位于待切割材料6两侧，且沿待切割的长度方向延伸，两个喷淋装置2能够将喷洒切割液相对地喷射在待切割材料6上半部，待切割材料6上半部的切割液能够沿着待切割材料6由上至下流动，将待切割材料6进行包裹，从而能够使得线切割过程中切割液在待切割材料6的不同位置的带液量充足，提高切割材料的切割质量。

参见图9和图10，对溢流喷淋装置进行介绍。参照图9，溢流喷淋装置22包括溢流盒222，溢流盒222上设置有进口21和溢流口2221，溢流盒222内部设置有溢流槽2222，进口21与输送部的第一端连通。溢流盒2221顶部设置有两个进口21和一个安装板2223，进口21为快装卡箍接头，其截面为圆形，并且通过卡箍能够将进口21与底板12上的切割液出口121连接。安装板2223位于两个进口21之间，切割液由进口21进入溢流盒222内，安装板2223的设计能够将喷淋装置安装在滑板箱1上，对待切割材料6进行冷却。接着参照图10，溢流盒222的侧面中间位置设置有溢流口2221，溢流口2221沿溢流盒222的长度方向开设在溢流盒222的侧壁上，溢流口2221下方的溢流盒2221内部形成溢流槽2222，当切割液由进口21进入到溢流盒222内后，先集聚在溢流槽2222内，当溢流槽2222内的切割液的液位超过溢流口2221时，切割液从溢流口2221流出。

接着对调流板223的具体实施方式进行介绍。调流板223改变溢流口2221大小包括以下两种，一种是调节板沿直线方向改变溢流口2221的大小，另一种是调流板223以转动的方式改变溢流口2221的大小。在一种可能的实施方式中，调流板223上设置有第一连接结构，溢流盒222上设置有第二连接结构，第一连接结构通过紧固件与第二连接结构连接，使得调流板223能够沿线条方向改变位置，进而改变溢流口2221大小，使得喷淋装置能够根据材料的尺寸改变切割液的流量，用于满足不同尺寸的待切割材料6的冷却需求，使得喷淋装置的适用范围更广泛。具体地，参照图9和图10，溢流盒222的外侧设置有调流板223，调流板223靠近溢流口2221设置，调流板223上纵向设置有腰孔2235，调流盒的侧面设置有圆孔(图中未示出)，圆孔设置在溢流口2221上方，腰孔2235与圆孔之间通过螺栓2236、螺母2237连接。在调整溢流口2221大小前，旋松螺栓2236，根据腰孔2235的方向调整调流板223的位置，进而改变溢流口2221的大小，再旋紧螺栓2236将调流板223与溢流盒222固定，从而实现调流板223沿竖直方向调节溢流口2221的大小。继续参照图9和图10，导流板224设置在调流板223下方的溢流盒222上，导流板224两侧分别设置有挡板2234，两个挡板2234与导流板224形成供切割液流通的通道，导流板224从溢流口2221的下边缘沿远离溢流盒222的方向延伸并向下倾斜，使得溢流口2221流出的切割液能够沿着通道流动至待切割材料6上，提高待切割材料6的冷却效果，提高切割材料的切割质量和切割效率。进一步参照图10，调流板223包括竖直段2231、倾斜段2232和挡流段2233，腰孔2235设置在竖直段2231，倾斜段2232沿竖直段2231的底部向远离溢流盒222的方向倾斜延伸向下，挡流沿倾斜段2232的底部向靠近导流板224的方向延伸。其中，竖直段2231用于改变溢流口2221的大小，倾斜段2232与导流板224之间能够形成用于切割液流通的通道，挡流段2233能够对流出的切割液进行阻挡稳流，使得通道内切割液流动更加平稳。

在另一种可替换的实施方式中，调流板223上设置有第三连接结构，溢流盒222上设置有第四连接结构，第三连接结构通过紧固件与第四连接结构连接，使得调流板223能够相对于溢流盒222枢转，使得调流板223能够以转动的方式改变溢流口2221的大小，满足不同尺寸的待切割材料6的冷却需求，使得喷淋装置的适用范围更广。具体地，第三连接结构为水平设置的螺纹轴，第四连接结构为豁口，螺纹轴至少一部分插设在豁口内，其余部分螺纹轴伸出豁口后通过螺母2237紧固，使得调流板223能够以螺纹轴为中心上下转动，从而改变溢流口2221的大小，进而改变切割液的流量。

再参照图9和图10，喷淋装置还包括两端封闭的喷淋管225，喷淋管225呈圆筒状，喷淋管225至少部分设置在溢流盒222内，且位于溢流槽2222的上方，两端伸出溢流盒222，溢流盒222内喷淋管225顶部设置有进液口2251，底部设置有喷淋孔2252，进液口2251与进口21连通，喷淋孔2252与溢流槽2222连通。切割液先通过喷淋管225再流入到溢流槽2222内，能够稳定切割液的流量，使得切割液能够持续对待切割材料6进行冷却，提高待切割材料6的冷却效果。

接着参见图11和图12，对直喷喷淋装置进行介绍。直喷喷淋装置23包括喷淋管231和导流板233，喷淋管231两端密封，喷淋管231上设置有进口21和喷淋孔2311，进口21与输送部的第一端连通，导流板233设置在喷淋管231的下方，且向远离喷淋管231的一侧延伸，从而引导喷淋孔2311喷出的切割液流出。具体地，喷淋管231呈圆筒状，喷淋管231的顶部设置有两个进口21和一个安装板2312，底部设置有多个喷淋孔2311，进口21为快装卡箍接头，其截面为圆形，并且通过卡箍能够将进口21与底板12上的切割液出口121连接。安装板2312位于两个进口21之间，能够将喷淋装置安装在线切割机上，对待切割材料6进行冷却。接着参照图12，喷淋管231的两端均设置有密封构件236，密封构件236***到喷淋管231并与喷淋管231通过螺栓2323连接在一起；密封构件236的内侧设置有凸台2361，两个凸台2361上连接有孔板237，当切割液由进口21进入到喷淋管231内后，先由孔板237进行分流、导流，再通过喷淋孔2311流出，使得进入到喷淋管231内的切割液流量均匀、稳定，能够提高待切割材料6的冷却效果。接着参照图11和图12，导流板233设置在喷淋管231的下方，且向远离喷淋管2311的一侧延伸向下，导流板233两侧分别设置有挡板，两个挡板与导流板233形成供切割液流通的通道，导流板233与喷淋管231通过设置在导流板233长度方向两侧的支撑板(图中未示出)连接，使得喷淋孔2311喷出的切割液能够沿着通道流动至待切割材料6上，提高待切割材料6的冷却效果，从而提高切割材料的切割质量和切割效率。

下面对调流板232的具体实施方式进行介绍。调流板232改变溢流口2221大小包括以下两种，一种是调节板沿直线方向改变溢流口2221的大小，另一种是调流板232以转动的方式改变溢流口2221的大小。

在一种可能的实施方式中，调流板232上设置有第一连接结构，第一连接结构通过紧固件连接于第一待安装位置上设置的第二连接结构上，使得调流板232能够沿直线方向调节，使得调流板232能够沿直线方向改变位置，进而改变流通口2321大小，使得喷淋装置能够根据材料的尺寸改变切割液的流量，用于满足不同尺寸的待切割材料6的冷却需求，使得喷淋装置的适用范围更广泛。具体地，参照图11和图12，两个挡流板234之间设置有固定板235，固定板235与导流板233之间存在空隙，该空隙作为流通口2321，导流板233设置在固定板235的外侧，调流板232上纵向设置有腰孔2322，固定板235上设置有圆孔(图中未示出)，腰孔2322与圆孔之间通过螺栓2323、螺母(图中未示出)连接。在调整流通口2321大小前，旋松螺栓2323，根据腰孔2322的方向调整调流板232的位置，进而改变流通口2321的大小，再旋紧螺栓2323将调流板232与固定板235固定，从而实现调流板232沿竖直方向调节流通口2321的大小。

在另一种可替换的实施方式中，调流板232上设置有第三连接结构，第三连接结构通过紧固件连接于固定板235上设置的第四连接结构连接上，使得调流板232能够相对于导流板233枢转，使得调流板232能够以转动的方式改变流通口2321的大小，满足不同尺寸的待切割材料6的冷却需求，使得喷淋装置的适用范围更广。具体地，第三连接结构为水平设置的螺纹轴，第四连接结构为豁口，螺纹轴至少一部分插设在豁口内，其余部分螺纹轴伸出豁口后通过螺母紧固，使得调流板232能够以螺纹轴为中心上下转动，从而改变流通口2321的大小，进而改变切割液的流量。

再接着参见图13和图14，对花洒喷淋装置进行介绍。花洒喷淋装置24包括喷淋管241，喷淋管241两端密封，喷淋管241上设置有进口21和喷淋孔2411，进口21与输送部的第一端连通，进口21设置在喷淋孔2411上方。具体地，喷淋管241呈圆筒状，喷淋管241的顶部设置有两个进口21和一个安装板2412，底部设置有多个喷淋孔2411，喷淋孔2411沿喷淋管241的轴向排布，进口21为快装卡箍接头，其截面为圆形，并且通过卡箍能够将进口21与底板12上的切割液出口121连接。安装板2412位于两个进口21之间，能够将喷淋装置安装在线切割机上，对待切割材料6进行冷却。接着参照图13和图14，喷淋管241的两端均设置有密封件244，密封件244***到喷淋管241并与喷淋管241 通过螺栓2442连接在一起，对喷淋管241进行密封。两个密封件244的内侧均设置有凸台2441，孔板245的两端分别与一凸台2441连接，使得孔板245固定于喷淋管241内，使得进入到喷淋管241内的切割液，先由孔板245进行分流、导流，再通过喷淋孔2411流出，使得进入到喷淋管241内的切割液流量均匀、稳定，能够提高待切割材料6的冷却效果。接着参照图14，喷淋管241底部设置有多个底部开口的柱状连接套243，连接套243与喷淋孔2411一一对应且将喷淋孔2411围设在其内，喷嘴242连接于连接套243内。

接着参照图7，喷淋装置2顶部设置有两个进口21，分别与底板12的切割液出口121对应连通，且通过快装卡箍接头连接，流道13内的切割液由切割液出口121、进口21进入到喷淋装置2内，使得喷淋装置2喷出的切割液能够喷洒在待切割材料6上。接着参照图6和图7，滑板箱1上设置有两个管道3，两个管道3分别与框板111上的切割液进口连通，两个管道3与切割液源接通之前彼此交汇并因此形成三通管道3，三通管道3的主管端用于接通切割液源，两个管道3起到分流的作用，能够将进入到主管端的切割液由两个管道3分流，分别通过切割液进口进入到流道13内。返回接着参照图6，两个管道3分别通过固定件5固定在滑板箱1上，固定件5为固定板，其一端与本体11固定连接，另一端用于固定管道3，如通过U型螺栓固定，从而提高了管道3的安装可靠性。两个管道3上分别设置阀门4，可实现对切割液流量的调节。其中，阀门4可以为球阀、蝶阀、截止阀等。

下面参照图15-17对本申请的碎片盒进行介绍。参照图15和图16，碎片盒包括盒体1、限流板2和调节板4。金属材质的盒体1呈类长方体，盒体1的顶部设置有开口11，侧壁四角均开设有出液口12，盒体1沿其长度方向延伸的侧壁的上部向外弯折形成有外扩段，使得开口11呈V型；盒体1沿宽度方向延伸的两侧壁上分别设置支撑架7，支撑架7远离盒体1的外侧壁上固定有固定块8，通过固定块8可将碎片盒安装在线切割机上。其中，盒体1的材质可以为合金、不锈钢、铁、铝等。

接着参照图15和图16，盒体1上沿其长度方向延伸的两侧壁的内侧分别设置有限流板2，限流板2对应外扩段设置且部分高于外扩段，且限流板2的两端分别通过连接件3固定在盒体1两端，使得待切割材料9在进给过程中由限流板2代替盒体1直接与上层线网接触，避免了盒体1与金刚线10直接接触容易造成金刚线10发生断线的问题。限流板2在本申请中优选地为树脂板或塑料板。连接件3为L形板，L形板的第一板段与盒体1连接，L形板的第二板段与限流板2连接，从而将限流板2安装在盒体1上。需要说明的是，本申请对L形板的第一板段与盒体1的连接方式以及L形板的第二板段与限流板2的连接方式不作限制，只要能够将限流板2固定在盒体1上即可。

继续结合图16和图17，调节板4上设置有第一连接结构，第一连接结构可移动地连接于待安装位置上设置的第二连接结构上，使得调节板4能够沿直线方向调节出液口12大小。具体地，参见图16和图17，盒体1沿其长度方向延伸的侧壁的内侧水平设置有固定板5，固定板5位于在出液口12上方，固定板5上开设有连接孔；调节板4设置在盒体1内，且呈L型，其包括竖直段41和水平段42，竖直段41部分高出固定板5的顶面，且竖直段41的内侧与固定板5远离出液口12的一端抵接，水平段42沿竖直段41的底部向出液口12的方向延伸，水平段42开设有连接孔，螺栓6穿过依次穿过水平段42的连接孔以及固定板5上的连接孔与螺母连接，螺栓6的螺帽抵靠在调节板4的底面，螺母抵靠在固定板5的顶面，通过调整该螺母在螺栓6上的位置，可以改变调节板4与固定板5之间的距离，进而可改变出液口12的大小。此外，固定板5与调节板4之间的螺栓6上还螺接有另外两个螺母，两个螺母相互抵靠，下方的螺母抵靠在调节板4的顶面，使得该螺母与螺栓6的螺帽能够固定调节板4，避免调节板4晃动。

下面结合图18-21，对本申请的碎片盒的另一实施方式进行描述。如图18-21所示，碎片盒包括具有顶部开口101的盒体1和引流板2，盒体1上设置有出液口102，引流板2设置在开口101处，且沿盒体1的长度方向设置并与盒体1枢转连接。进给机构包括底部夹紧装置13，底部夹紧装置13的底部开设有倒梯形滑道，呈倒梯形的晶托15安装到底部夹紧装置13上的倒梯形滑道内。晶托15底部安装有顶板14和待切割材料10，顶板14位于待切割材料10一侧且安装在晶托15的一侧，顶板14的底面为凹圆弧底面，其与待切割材料10同轴心设置，且外径大于待切割材料10的外径，使得顶板14能够在进给机构下降时向引流板2施加向下的作用力，引流板2能够相对于碎片盒向下枢转，使得引流板2与待切割材料10之间形成储液空间12，能够增加进入到待切割材料10内的切割液的量，提高待切割材料10的冷却效果。需要说明的是，本申请中长度方向指的是待切割材料10的轴线方向，且该轴线方向大致垂直于金刚线11。

下面参照图20和图21，盒体1呈类长方体，盒体1的顶部设置有开口101，侧壁四角均开设有出液口102，盒体1沿其长度方向延伸的侧壁的上部向外弯折形成有外扩段，使得开口101呈V型；盒体1沿宽度方向延伸的两侧壁上分别设置支撑架8，支撑架8远离盒体1的外侧壁上固定有固定块9，通过固定块9可将碎片盒安装在线切割机上。开口101处设置有两个引流板2，两个引流板2均沿盒体1的长度方向对应外扩段设置，两个引流板2均枢接于盒体1沿其宽度方向延伸的两侧壁的顶边处，使得两个引流板2能够相对转动。引流板2包括第一板段201和第二板段202，第一板段201与盒体1枢转连接，第二板段202沿所述第一板段201向盒体1的宽度方向延伸，第二板段202的一端沿其长度方向向外延伸形成第一外延段203，第二板段202的另一端沿其长度方向向外延伸形成第二外延段204，使得第一板段201、第二板段202、第一外延段203以及第二外延段204形成的引流板2呈T形，且引流板2为一体成型结构。通过这样的设置方式，使得引流板2的第一板段201能够枢转连接在盒体1上，第一外延段203能够在引流板2向上枢转时与限位杆4配合限制引流板2向上枢转，第二外延段204能够在进给机构下降时与其上的顶板14抵接，顶板14通过向第二外延段204施加向下的力，使得引流板2能够向下枢转，同时不影响引流板2的第二板段202承接切割液，与待切割材料10形成储液空间12。

参照图21，盒体1沿其宽度方向延伸的侧壁上设置有两个限位杆4，两个限位杆4分别与引流板2相对应，且分别设置在与第一外延段203相对应的一侧，引流板2在向上枢转时，限位杆4能够抵靠在第一外延段203，限制引流板2向上枢转，同时还不影响待切割材料10的切割。接着参照图21，引流板2通过导向杆3与盒体1枢转连接，导向杆3呈柱状，导向杆3的外周侧面的中间部分开设有连接槽，引流板2连接在连接槽内，使得引流板2能够在导向杆3的作用下枢转。再参照图21，导向杆3的两端均通过第一限位块5与盒体1枢转连接，第一限位块5呈类长方体，第一限位块5螺接在盒体1沿其宽度方向延伸的侧壁上，第一限位块5上开设有连接孔，导向杆3的自由端能够***到连接孔中，以使导向杆3可枢转地设置于第一限位块5上。导向杆3上远离第一限位块5的部分套设固定有第二限位块6，第二限位块6的外周侧壁呈类圆柱状，第二限位块6靠近连接槽设置，第一限位块5与第二限位块6之间的导向杆3上套设有扭簧7，扭簧7的两端分别连接在第一限位块5和第二限位块6上，使得引流板2在向下枢转时扭簧7能够扭转蓄力，当施加在引流板2的力消失时，扭簧7释放其储存的力，使得引流板2能够向上枢转。

本申请还提供了一种切割液***，该切割液***为上述实施方式中的喷淋机构和碎片盒。

下面参照图22至图31，对辊轴组件进行说明。如图22所示，现有的辊轴组件包括辊轴1、拉杆2、第一轴承箱3和第二轴承箱4，辊轴1一端与第一轴承箱3的第一旋转轴31传动连接，另一端与第二轴承箱4的第二旋转轴41传动连接。第一旋转轴31远离辊轴1的一端伸出第一轴承箱3，与电机8通过联轴器7连接。辊轴1上开设有第一孔道121，第一孔道121内插设有拉杆2，第一旋转轴31靠近辊轴1的一端开设有第一轴孔32，拉杆2一端螺接于第一轴孔32内。第二旋转轴41开设有第二轴孔，拉杆2远离第一轴承箱3的一端依次伸出第一孔道121、第二轴孔，伸出第二轴孔的拉杆2通过螺母561轴向锁紧。这样的结构设置，使得线切割机在工作过程中，电机8通过联轴器7驱动第一旋转轴31高速转动，由于第一旋转轴31与辊轴1传动连接，辊轴1与第二旋转轴41传动连接，因此辊轴1以及第二旋转轴41同步转动，从而带动缠绕在辊轴1上的金刚线6高速转动，实现对待切割材料的切割。但是由于辊轴组件不具备冷却的功能，线切割机在切割过程中，辊轴1温度逐渐增加，使得辊轴1的热变形随之加大，而辊轴1的热变形增加则会导致线切割机的切割精度下降，切割材料的质量降低，甚至还会导致辊轴1上缠绕的金刚线6出现断线的问题。

如图23-图25所示，本申请的辊轴组件包括辊轴1和拉杆2，辊轴1上设置有第一孔道121和第二孔道13；拉杆2至少部分插设在第一孔道121内，拉杆2内设置有第一通道21，拉杆2上分别设置有与第一通道21连通的进液口22和出液口23；进液口22与切割液供给装置的出口连通，出液口23与第二孔道13的第一端连通，第二孔道13的第二端与切割液供给装置的进口连通。通过在辊轴1上的第一孔道121内插设拉杆2，拉杆2内设置第一通道21及与第一通道21连通的进液口22和出液口23，使得切割液供给装置中的切割液能够通过进液口22流入到第一通道21内，再通过出液口23流入到第二孔道13，第二孔道13内的切割液再回流到切割液供给装置中，以此循环能够对辊轴1冷却，降低切割过程中辊轴1的温度，从而降低辊轴1在高速切割时产生的热变形，提高线切割机的切割精度以及切割材料的切割质量，还能够避免金刚线6出现断线的问题。

参照图23和图24，在一种较为优选的实施方式中，辊轴组件包括辊轴1、拉杆2、第一轴承箱3、第二轴承箱4和旋转接头组件5。辊轴1一端与第一轴承箱3的第一旋转轴31传动连接，另一端与第二轴承箱4的第二旋转轴41传动连接，旋转接头组件5的第三旋转轴51与第二轴承箱4的第二旋转轴41传动连接。辊轴1包括第一外套11及插设在第一外套11内的内套12，内套12上开设有第一孔道121，第一孔道121沿辊轴1的轴线设置，内套12的外壁与第一外套11的内壁之间形成第二孔道13，第一旋转轴31靠近辊轴1的一端开设有第一轴孔32和第三孔道33，第一轴孔32与第三孔道33连通，拉杆2一端螺接于第一轴孔32内，螺接于第一轴孔32的拉杆2一端开设有与第一通道21连通的出液口23。第二旋转轴41和第三旋转轴51上分别开设有第二轴孔和第三轴孔，拉杆2远离第一轴承箱3的一端依次伸出第一孔道121、第二轴孔和第三轴孔，伸出第三轴孔的拉杆2通过螺母561轴向锁紧，并在该端开设有进液口22。拉杆2的外壁与第二轴孔的内壁之间存在间隙，作为第三通道42，拉杆2的外壁与第三轴孔的内壁之间存在间隙533，第三旋转轴51的外周侧沿径向开设有与该间隙连通的通孔531。辊轴组件高速转动过程中，切割液供给装置内的切割液通过拉杆2的进液口22流入到拉杆2内第一通道21，在通过出液口23依次流经第一轴孔32、第三孔道33、第二孔道13、第三通道42、拉杆2的外壁与第三轴孔的内壁之间的间隙533，并通过通孔531回流到切割液供给装置中，形成完整的冷却循环路径，对辊轴组件进行冷却。

具体地，参照图24-26，辊轴1呈长轴状，其包括内套12和第一外套11，第一外套11上开设有轴孔，轴孔的两端均呈内长外短的喇叭状，中间部分呈圆柱状。内套12完全插设在轴孔中间部分，且内套13的长度小于处于中间部分的轴孔的长度，内套12上开设有第一孔道121，第一孔道121沿内套12的轴线设置，内套12的外壁上设置有螺旋槽131，从而使第一外套11与内套12之间形成的第二孔道13为螺旋流道。参照图24，处于中间部分的轴孔两端内壁开设有环槽，环槽内镶嵌有第一堵头15，内套13处于两个第一堵头15之间，且内套13的外端面抵接于第一堵头15的内端面，两个第一堵头15上还开设有通孔，通孔沿第一堵头15的轴线设置，通孔插设在拉杆2上。两个第一堵头15的外端面均设置有端部密封圈，第一堵头15与环槽的内壁之间设置有轴向密封圈，端部密封圈以及轴向密封圈两者能够防止切割液从辊轴1与第一轴承箱3、第二轴承箱4的旋转轴的配合面处泄漏。

参照图24，拉杆2呈长直条状，其部分插设在第一孔道121内，且两端均伸出第一孔道121。拉杆2内设置有第一通道21，第一通道21呈直线型；拉杆2一端伸入到第一轴承箱3内，另一端伸出第二轴承箱4伸入到旋转接头组件5内。伸入到第一轴承箱3内的拉杆2一端开设有出液口23，伸入到旋转接头组件5内的拉杆2一端开设有进液口22，进液口22与出液口23均与第一通道21连通，使得切割液供给装置能够通过进液口22流入到第一通道21内，再通过出液口23流出，从出液口23流出的切割液能够回流到第二孔道13内，延长了切割液在辊轴1内的时间，能够提高切割过程中辊轴1的冷却效果。

参照图22、图24和图27，第一轴承箱3呈类圆筒状，第一轴承箱3包括第一旋转轴31、多个第一轴承36，第一轴承套37和第一法兰35，第一旋转轴31上套设有多个第一轴承36，多个第一轴承36上套设有第一轴承套37，第一轴承套37靠近辊轴1的端面设置有第一法兰35，第一法兰35与第一轴承套37通过螺栓连接。第一旋转轴31的两端分别伸出第一轴承套37，第一旋转轴31的一端伸出第一轴承套37的部分的轴面呈锥面，能够***到第一外套11的轴孔中，与轴孔具有喇叭状的端部锥面配合连接，从而将第一轴承箱3与辊轴1传动连接在一起。第一旋转轴31的另一端伸出第一轴承箱3的部分能够通过联轴器7与电机8连接，从而可在电机8的驱动下实现辊轴1高速转动。电机8工作过程中，第一轴承箱3上的第一旋转轴31在联轴器7的作用下转动，由于第一旋转轴31与辊轴1锥面配合连接，使得辊轴1能够在第一旋转轴31的作用下同步转动。参见图24和图27，辊轴组件高速转动过程中，第一旋转轴31同步高速转动，为了降低第一旋转轴31高速转动过程中产生的温度，第一旋转轴31靠近辊轴1的一端开设有第一轴孔32和多个第三孔道33，第一轴孔32沿第一旋转轴31的轴线设置，多个第三孔道33以圆周分布形式开设，第一旋转轴31的外周侧沿径向开设多个径向孔道34，径向孔道34与第三孔道33一一对应设置，径向孔道34将第一轴孔32的第二端与第三孔道33的第一端连通，使得第一轴孔32内的切割液在径向孔道34的引导下流入到第三孔道33内，从而能够对第一旋转轴31进行冷却，降低第一旋转轴31高速转动过程中产生的温度。此外，为了避免辊轴组件内的切割液通过径向孔道34流到辊轴组件外，造成切割液的浪费，径向孔道34位于第一旋转轴31外周侧的一端被封堵，从而使得切割液只能够在辊轴组件内流动。其中，拉杆2一端螺纹连接于第一轴孔32内，使得第一通道21内的切割液能够通过出液口23流入到第一轴孔32内，第一轴孔32内的切割液再通过径向孔道34流入第三孔道33，第三孔道33内的切割液再流入到第二孔道13，从而达到对辊轴1、第一旋转轴31冷却的目的。第一旋转轴31靠近辊轴1的一端面设置有多个定位柱，第一外套11两端分别设置有多个定位孔，定位孔与定位柱一一对应且配合，以便于第一轴承箱3能够快速准确地安装到辊轴1上。另外，第一旋转轴31与轴孔的喇叭状的端部锥面配合时，第一旋转轴31的端部能够抵压在第一堵头15外端面的端部密封圈，能够防止切割液从辊轴1与第一旋转轴的配合面处泄漏。

参照图23、图24和图29，第二轴承箱4呈类圆筒状，第二轴承箱4包括第二轴承套45、多个第二轴承44、第二旋转轴41和第二法兰43，第二旋转轴41上套设有多个第二轴承44，多个第二轴承44上套设有第二轴承套45，第二轴承套45两端均设置有第二法兰43，第二法兰43与第二轴承套45通过螺栓连接，第二轴承套45内插设有第二旋转轴41，第二旋转轴41靠近辊轴1的一端伸出第二轴承套45且轴面呈锥面，能够***到轴孔的喇叭状的端部，与轴孔具有喇叭状的端部锥面配合连接，从而将第二轴承箱4与辊轴1传动连接在一起，使得辊轴1转动时第二旋转轴41同步转动。辊轴组件高速转动过程中，第二旋转轴41同步高速转动，为了降低第二旋转轴41高度转动过程中产生的温度，第二旋转轴41靠近辊轴1的一端开设有第二轴孔，拉杆2部分***到第二轴孔内，拉杆2外壁与第二轴孔的内壁之间存在间隙，作为第三通道42，第三通道42与第二孔道13的第二端连通，使得第二孔道13内的切割液能够流入到第三通道42内，从而能够对第二旋转轴41进行冷却，降低第二旋转轴41高速转动过程中产生的温度。第二旋转轴41靠近辊轴1的一端设置有多个定位柱，定位柱能够与第一外套11相应位置的定位孔对应且配合，以便于第二轴承箱4能够快速准确地安装到辊轴1上，同时第二旋转轴41也能够快速地与轴孔的喇叭状的端部锥面配合。另外，第二旋转轴41与轴孔的喇叭状的端部锥面配合时，第二旋转轴41的端部能够抵压在第一堵头15外端面的端部密封圈，能够防止切割液从辊轴1与第二旋转轴41的配合面处泄漏。

接着参照图23、图24、图29-31，对旋转接头组件5进行介绍。旋转接头组件5包括第三旋转轴51、第二外套52、分隔部件54和端盖55。第二外套52上具有内腔，第三旋转轴51设置在内腔中，分隔部件54套设在第三旋转轴51上且与第二外套52的内壁抵接，将第二外套52的内腔分隔出第一内腔532。第三旋转轴51上开设有与第一内腔532连通的通孔531，端盖55密封扣设在第二外套52远离第二连接部的一端，从而端盖55、第二外套52和分隔部件54围设形成与第一内腔532彼此不连通的第二内腔57。参照图29-31，第三旋转轴51上套设有压盘511、旋转轴支座512、两个第三轴承513、机械密封59、分隔部件54，其中，压盘511、旋转轴支座512、两个第三轴承513、机械密封59、分隔部件54由第二轴承箱4至旋转接头组件5的方向依次设置。压盘511固定在第三旋转轴51靠近第二轴承箱4的一端，第三旋转轴51部分伸出压盘511***到第二旋转轴41的第二轴孔内，压盘511与第二旋转轴41的端部通过螺栓固定连接，使得第三旋转轴51能够在第二旋转轴41的传动作用下同步转动。旋转轴支座512与第三旋转轴51一体成型且靠近压盘511的一端抵接于压盘511，并且旋转轴支座512与压盘511之间通过O型圈密封，用于防止切割液流入到第二轴承箱4中造成破坏。两个第三轴承513中一轴承靠近压盘511设置，另一轴承远离压盘511设置，远离压盘511的第三轴承513完全设置在第二外套52的内腔中，靠近压盘511的轴承部分设置在第二外套52的内腔中，部分伸出内腔，伸出内腔的第三轴承513上套设有轴承压盖514，轴承压盖514与第二外套52通过螺栓固定连接。靠近压盘511的第三轴承513与旋转轴支座512之间存在间隙，该间隙内、第二旋转轴41上套设有唇形密封圈515，防止机械密封59失效后切割液流入至第二轴承箱4内，对其造成破坏。其中，唇形密封圈515的唇口朝向第三轴承513，唇形密封圈515上套设有唇形密封圈压盖516，唇形密封圈压盖516固定在轴承压盖514与旋转轴支座512之间。第三旋转轴51还套设有止挡件，止挡件固定在第三旋转轴51上，其一端面与第三轴承513远离第二轴承箱4一端面抵接，从而使得两个第三轴承513固定在止挡件与唇形密封圈515之间。另外，第三旋转轴51上套设有机械密封59，机械密封59能够避免回流的切割液进入的第三轴承513位置对第三轴承513造成损坏，其中机械密封59靠近第三轴承51设置，机械密封59靠近第三轴承51的部分与内腔内壁抵接且通过密封圈密封，机械密封59其余部分的外壁与内腔内壁之间存在间隙。

分隔部件54包括套设在第三旋转轴51上的转套541和挡圈542，转套541与内腔内壁抵接，转套541远离第二轴承箱4一端固定有挡圈542，挡圈542与内腔内壁固定连接，从而对转套541起到限位的作用，转套541靠近机械密封59设置，且与机械密封59之间存在间隙，使得转套541和挡圈541将第二外套52内腔分隔出第一内腔532。分隔部件54的设置能够防止回流到旋转接头组件5中的切割液与新进入的切割液混合，影响辊轴组件的冷却效果。第二外套52上开设有注液口521和回液口522，注液口521和回液口522分别设置接头523，注液口521与切割液供给装置的出口通过接头523连通，回液口522与切割液供给装置的进口通过接头523连通，回液口522与第一内腔532连通，注液口521与第二内腔57连通。另外，第二外套52远离第二轴承箱4的一端密封扣设有端盖55，端盖55、第二外套52和分隔部件54围设形成与第一内腔532彼此不连通的第二内腔57，从而防止回流到旋转接头组件5中的切割液与新进入的切割液混合，影响辊轴组件的冷却效果。其中，端盖55与第二外套52之间固定有O型密封圈，用于防止切割液泄漏。第三旋转轴51上外周侧沿径向开设有通孔531，通孔531开设在第三旋转轴51上机械密封59与转套541之间的部分，该通孔531与第一内腔532连通。第三旋转轴51上还开设有第三轴孔，拉杆2部分***到第三轴孔内，拉杆2的外壁与第三轴孔的内壁之间存在间隙533。其中，第一内腔532与第三旋转轴51上的通孔531以及拉杆2的外壁与第三旋转轴51的内壁之间的间隙533形成第四通道53，第四通道53的第一端与第三通道42的第二端连通，使得第三通道42内的切割液能够流入到第四通道53，再通过第四通道53、回液口522回流至切割液供给装置中。另外，第三旋转轴51上远离通孔531的部分与拉杆2之间通过O型圈密封连接，从而可避免切割液通过第四通道53流入到旋转接头组件5、的内部，对旋转接头组件5中的其他部件造成破坏，同时还能够防止回流的切割液与新进入的切割液混合。

返回参照图29-31，拉杆2一端穿过第三轴孔伸入到第二内腔57内，使得进液口22能够通过第二内腔57与注液口521连通，使得切割液供给装置内的切割液能够通过注液口521、第二内腔57、进液口22流至第一通道21内对辊轴组件进行冷却。第三旋转轴51上还套设有压块56，压块56套设于拉杆2远离第一连接部的部分且抵压在第三旋转轴51，螺母561螺接于拉杆2远离第二轴承箱4的部分并压紧在压块56上，使得第二轴承箱4、辊轴1、第一轴承箱3轴向锁紧，提高旋转接头组件5、第一轴承箱3、辊轴1、第二轴承箱4的连接牢固度。第二外套52上安装有第三法兰517，该第三法兰517与第二轴承箱4上的第二法兰43通过螺栓固定连接，从而将旋转接头组件5与第二轴承箱4连接在一起。第三法兰517与第二外套52的连接处设置有O型圈，用于防止空气中的粉尘侵入到第二轴承箱4中造成破坏。另外，第三法兰517远离第二轴承箱4的一端设置有拉拔杆58，拉拔杆58沿着第三法兰517向远离第二轴承箱4的方向延伸，拉拔杆58上套设有固定座581，固定座581一端与第二外套52固定连接，以防止第二外套52随第三旋转轴51转动。另外，拉拔杆58的设置还能够辅助拆卸第二轴承箱4。辊轴组件在正常工作状态下会有微量的切割液从旋转密封中泄漏，为了将泄露的切割液排出，第二外套52上还开设有与内腔连通的排液孔，排液孔上设置有排液阀518，此时打开排液阀518泄露的切割液能够通过排液孔排出。如果旋转密封的密封作用失效，为了防止切割液流入到第二轴承箱4中，第三法兰517上开设有排液口，排液口设置有第二堵头5171，此时拔出第二堵头5171使得旋转接头组件5内的切割液能够通过排液口流出。

结合图22-31，辊轴组件在高速转动过程中冷却原理如下：切割液由切割液供给装置的出口排出，通过注液口521流入到旋转接头组件5中的第二内腔57，再通过拉杆2上的进液口22流入到拉杆2内第一通道21中，第一通道21内的切割液流入到第一轴承箱3的第一轴孔32中，再通过径向孔道34、第三孔道33流入到第二孔道13，第二孔道13中的切割液依次通过拉杆2与第二轴承箱4的间隙流入到拉杆2与旋转接头组件5的间隙533中，由于该间隙533通过通孔531与第一内腔532连通，使得切割液能够通过通孔531依次经过第一内腔532、回液口522，回流到切割液供给装置中，依此循环实现辊轴组件在高速转动过程中的冷却。

本申请还提供了一种切割总成，所述切割总成包括上述技术方案的辊轴组件。

下面参照图32至图35，对本申请的线切割机进行介绍。线切割机包括底座1、切割总成2、液路总成3、绕线区总成4、电控柜5以及储液部6。切割总成2、液路总成3和绕线区总成4固定安装在底座1上，电控柜5安装在绕线区总成4的顶部上侧。其中，切割总成2设置于底座1的顶面且位于顶面沿其长度方向的第一端(图32中底座1的右下端)，液路总成3设置于底座1的顶面且位于顶面沿其长度方向的第二端(图32中底座1的左上端)，绕线区总成4设置于底座1的顶面且位于切割总成2与液路总成3之间。安装好后，液路总成3的一部分由底座1沿其长度方向的第二端伸出，使得液路总成3伸出底座1第二端的部分与整机安装面之间形成容纳空间，储液部6部分位于该容纳空间内。具体地，参见图34，底座1为整体铸造而成的矩形框架结构，该框架结构包括第一边框11、第二边框12、第三边框13、第四边框14，以及两个内框15。其中，第一边框11、第二边框12、第三边框13与第四边框14依次首尾连接，两个内框15与第二边框12和第四边框14平行设置，并且每个内框15的两端分别与第一边框11的内侧面和第三边框13的内侧面连接。实际设计时，可以有意将底座1的长度设计为小于切割总成2、液路总成3和绕线区总成4在底座长度方向尺寸之和，以使得安装后液路总成3下方形成容纳空间。成型好后，第一边框11和第三边框13的延伸方向为底座1的长度方向，第二边框12和第四边框14的延伸方向为底座1的宽度方向。此外，底座1的底面还设置有多个调整垫铁16，本申请中，调整垫铁16设置有六个，且第一边框11和第三边框13的底面各设置三个。通过将底座1设置为框架结构，且框架结构包括首尾连接的第一边框11、第二边框12、第三边框13和第四边框14，使得底座1的受力更均衡。具体地，现有技术中，由于储液部6设置在切割总成2的下方，为方便储液部6移动至切割总成2的下方，底座1通常在切割总成2所在的一端设置为U型敞开式结构，该设置方式使得底座1的两端受力不均衡，设计过程中需要考虑对U型敞开式结构进行结构加强。而本申请的底座1呈封闭式框架结构，该框架结构各部分受力更均衡，整机运行平稳性更好。通过在底座1的底面设置多个调整垫铁16，一方面，可以利用调整垫铁16调节整机的水平度，另一方面，还可以在运输过程中，通过调节调整垫铁16的高度使得整机处于最低状态，方便运输。

返回参照图32，切割总成2包括切割区框架21以及固定在切割区框架21上的进给组件7、主辊组件23、切割液回流组件22等。切割区框架21通过螺接的方式固定连接在底座1的顶面沿其长度方向的第一端(图32中的右下端)，并且切割区框架21的整体宽度与底座1宽度大致相等。主辊组件23安装在切割区框架21内部，用于缠绕金刚线。切割液回流组件22安装在切割区框架21的底部，用于对切割液进行回收。其中，切割液回流组件22大致成漏斗结构，漏斗中部形成有切割液回流口(图中未示出)，切割液回流口与储液部6连通。继续参照图32，液路总成3包括液路框架31以及固定在液路框架31上的液路组件，液路框架31螺接固定在底座1顶面沿其长度方向的第二端(图32中的左上端)，并且液路框架31的整体宽度与底座1宽度大致相等。液路组件包括切割液进液口(未示出)，液路组件主要用于对通过该切割液进液口进入液路组件切割液进行冷却、温控和过滤，然后将处理好的切割液输送给切割总成2，用以对棒料和金刚线进行润滑冷却。仍参见图32，绕线区总成4固定安装在底座1顶面且位于切割总成2与液路总成3之间，用于向主辊组件提供金刚线，并提供线网切割必须的切割张力。其具体结构本申请中不过多赘述。

参见图32和图33，电控柜5固定安装在绕线区总成4的顶部上侧。本申请中，电控柜5设置有两个，两个电控柜5沿底座1的宽度方向并排布置，且布置好后，两个电控柜5的整体高度小于其长度和宽度。通过将电控柜5的整体高度设置为小于其长度和宽度，能够进一步降低整机的高度，降低运输难度。

参见图33和图35，一种优选实施方式中，储液部6包括回液缸61和供液缸62，其中，供液缸62的部分缸***于液路总成3伸出底座1的部分的下方，回液缸61设置在供液缸62旁且暴露于环境中。具体地，回液缸61包括第二缸体611(即回液缸61的缸体)，第二缸体611上设置有第二进液口6111和第二出液口6112，第二进液口6111与上述切割液回流口连通。第二缸体611顶部还设置有回液泵612和第二液位组件614，回液泵612的进口与第二缸体611连通，回液泵612的出口与第二出液口6112连通。第二液位组件614能够检测第二缸体611内的切割液的高度，其具体设置方式本申请不作限制。第二缸体611的外侧壁下部沿周向设置有多个第二移动脚轮613，本申请中第二移动脚轮613设置有四个，四个第二移动脚轮613两两设置在彼此相对的两个外侧壁下部。供液缸62包括第一缸体621(即供液缸62的缸体)，第一缸体621的长度和宽度均大于第一缸体621的高度，且第一缸体621的体积大于第二缸体611的体积。第一缸体621上设置有第一进液口6211和第一出液口，第二出液口6112与第一进液口6211连通，第一出液口与液路总成3的切割液进液口连通。第一缸体621的顶部设置有供液泵622、搅拌组件625和第一液位组件624，供液泵622的进口与第一缸体621连通，供液泵622的出口与第一出液口连通。第一液位组件624能够检测第一缸体621内的切割液的高度，其具体设置方式本申请不作限制。搅拌组件625包括搅拌电机、减速器以及搅拌叶片，搅拌电机和减速器设置在第一缸体621的顶部，搅拌叶片伸入第一缸体621内部，电机运行时，搅拌叶片转动从而对第一缸体621内的切割液进行搅拌。第一缸体621的外侧壁下部沿周向设置有多个第一移动脚轮623，本申请中第一移动脚轮623设置有四个，四个第一移动脚轮623中，两个第一移动脚轮623并排设置在前端(图35中左上端)的外侧壁下部，另外两个第一移动脚轮623分别设置在于彼此相对的两个外侧壁(图35中左下和右上外侧壁)下部。储液部6工作时，回液缸61接收切割液回流组件22回收的切割液，根据第二液位组件614的反馈信号，在第二缸体611内的液位达到预设液位时，回液泵612运行将切割液输送至供液缸62内。供液缸62的搅拌组件625将切割液搅拌均匀后，供液泵622将切割液输送至液路总成3的液路组件，经液路组件对切割液冷却、温控和过滤后，将切割液输送至切割总成2的各喷淋***，以对棒料和金刚线进行润滑、冷却，冷却后的切割液继续通过切割液回流组件22回收至回液缸61，形成切割液的循环流动。

通过将液路总成3远离切割总成2的一端伸出底座1，可以维持整机布局不改动，同时实现对储液部6位置的调整，且调整后方便储液部6的移动和维保。通过将供液缸62的部分缸体设置在液路总成3的下方，使得设备整体布局更加合理，减小整机占地面积。通过储液部6设置为供液缸62与回液缸61的组合，可以利用回液缸61对回收的切割液进行沉降和过滤，提高切割液的使用效果。通过将供液缸62的缸体体积设置为大于回液缸61的缸体体积，且将供液缸62部分缸体设置在液路总成3伸出底座1的部分的下方，能够最大限度的缩小线切割机的占地面积，使得线切割机的结构紧凑。通过将供液缸62的缸体体积设置为大于回液缸61的缸体体积，可以减小回液缸61的占地面积，从而缩小线切割机的整体占地面积。通过将供液缸62的缸体长度和宽度均设置为大于供液缸62的高度，可以在保持缸体容量不变的前提下，降低缸体高度，从而提高整机设计的宽容度，为进一步降低整机高度和运输难度带来可能。通过在供液缸62的缸体上设置供液泵622，能够为切割液的循环提供动力，同时降低液路总成3的结构复杂度。通过在回液缸61的缸体上设置回液泵612，可以为切割液的回收提供动力，同时降低切割总成2的结构复杂度。通过在供液缸62的缸体上设置多个第二移动脚轮613，提高了供液缸62的移动便利性。通过在回液缸61的缸体上设置多个第一移动脚轮623，提高了回液缸61的移动便利性。

下面参照图36和图37，对本申请的供液缸进行介绍。如图36和图37所示，供液缸1包括第一缸体11、加热部12、温度传感器13、供液泵14、搅拌组件15、第一液位组件16和第一移动脚轮17。第一缸体11大致呈圆角长方体，其长度和宽度均大于第一缸体11的高度，第一缸体11上设置有第一进液口111和第一出液口(图中未示出)，第一进液口111与线切割机的切割总成4上设置的切割液回流口连通，第一出液口与线切割机的液路总成5中的切割液进液口连通。其中，第一进液口111为管体，其可以通过连接管与切割液回流口连通。加热部12包括彼此连接的接线端121和加热体122，接线端121连接于第一缸体11的外壁上，优选地本申请中接线端121连接于第一缸体11的顶壁上。加热体122包括直线段1221和盘设段1222，直线段1221与接线端121连接，盘设段1222与直线段1221连接并且盘设段1222水平盘设在第一缸体11的底部。加热部12在本申请中优选地采用电加热器，其具体形式不作限制，可以为电磁加热器、红外线加热器、电阻加热器、陶瓷加热器等。通过将接线端121连接在第一缸体11外壁上，加热体122伸入第一缸体11内部，能够提高加热部的连接稳定性，同时减少漏电风险。通过供液缸1设置加热不12，能够提高切割过程中的冷却效果，避免棒料外冷内热产生热变形，提高切割质量。通过将接线端121连接在第一缸体11顶壁上，可以减小对其他方向的空间侵占。通过将加热体122设置为直线段1221和盘设段1222，且盘设段1222盘设在第一缸体11 的底部，不仅可以提高加热面积，实现高效加热，还能够提高切割液的加热均匀性。通过采用电加热器，使得线切割机的改造成本低、且改造后加热效率高、加热效果好。

温度传感器13用于检测所述第一缸体11内的切割液温度，其具体包括彼此连接的接线端131和测量端132，连线端131连接于第一缸体11的外壁上，测量端132伸入至第一缸体11的内部，优选地本申请中连线端131连接于第一缸体11的顶壁上。温度传感器13在本申请中可以是接触式传感器，如热敏电阻式温度传感器13、热电偶式温度传感器13等，当然也可以是非接触式传感器，如红外、温度传感器13等。通过设置温度传感器13，可以实现对第一缸体11内切割液温度进行采集和控制，为实现温度自动化控制带来可能。通过将连线端131连接在第一缸体11外壁上，测量端132伸入第一缸体11内部，能够提高温度传感器13的连接稳定性。通过将连线端131连接在第一缸体11外壁上，测量端132伸入第一缸体11内部，能够提高温度传感器的连接稳定性。通过将连线端131连接在第一缸体11顶壁上，可以减小对其他方向的空间侵占。

供液泵14、搅拌组件15和第一液位组件16均设置于第一缸体11的顶部。其中，供液泵14的驱动电机安装在第一缸体11的顶部，泵头伸入至第一缸体11内，泵头的进口与第一缸体11连通，泵头的出口与第一出液口连通。搅拌组件15包括搅拌电机、减速器以及搅拌叶片，搅拌电机和减速器设置在第一缸体11的顶部，搅拌叶片伸入第一缸体11内部，搅拌电机运行时，搅拌叶片转动从而对第一缸体11内的切割液进行搅拌。第一液位组件16的具体结构形式本申请不作限制，任何能够检测第一缸体11内的切割液的高度的液位检测装置均可以适用于本申请，例如，第一液位组件16可以是磁浮子式液位计、投入式液位计或超声波式液位计等。第一移动脚轮17本申请中设置有四个，四个第一移动脚轮17沿周向依次设置在三个彼此相邻的外侧壁下部。通过设置供液泵14，能够为切割液的循环提供动力，同时降低液路总成5的结构复杂度。通过设置搅拌组件15，能够利用搅拌组件15对切割液进行搅拌，使得第一缸体11内的切割液温度更加均匀，使得切割液温度始终处于适宜区间，提高切割液的温度稳定性。通过设置第一液位组件16，可以对第一缸体11内的切割液高度进行测量，实现切割液的自动供给控制。通过在供液缸1的缸体上设置多个第一移动脚轮17，提高了供液缸1的移动便利性。

下面参照图38和图39，对本申请的供液缸的一种可替换方式进行介绍。如图38和图39所示，在一种可替换实施方式中，供液缸1包括第一缸体11、加热部12、温度传感器13、供液泵14、第一移动脚轮17和隔板18。其中，加热部12、温度传感器、供液泵14和第一移动脚轮17的设置方式与上述优选实施方式的供液缸1相似，在此不再赘述。下面主要就两种实施方式之间的不同点进行阐述。第一缸体11大致呈圆角长方体，其长度和宽度均大于第一缸体11的高度，第一缸体11上设置有第一进液口111和第一出液口112，第一进液口111与线切割机的切割总成4上设置的切割液回流口连通，第一出液口112与线切割机的液路总成5中的切割液进液口连通。其中，第一进液口111为设置于第一缸体11上的开口，该开口可以直接对应设置在切割液回流口下方，承接回流的切割液。第一缸体11内还设置有隔板18，隔板18将第一缸体11分隔成为彼此连通的第一内缸(图39中隔板左侧缸体)和第二内缸(图39中隔板右侧缸体)，第一进液口111与第一内缸连通，第一出液口112与第二内缸连通，加热部12设置在第一缸体11与第二内缸对应的顶壁上，从而用于对第二内缸的切割液加热。优选地，隔板18固定设置于第一缸体11的底壁上且由底壁向上延伸。通过设置隔板18，能够对回流的切割液进行截流和阻挡，减小内部切割液的波动，保持切割液的流动稳定性。通过隔板18设置在第一缸体11底壁，能够对回流切割液中的杂质进行截流和沉降，提高切割液纯度。

下面返回参照图36和图37，本申请还提供了一种供液组件，供液组件包括回液缸2和上述任一实施方式中介绍的供液缸1。下面主要对回液缸2进行介绍。一种具体实施方式中，回液缸2包括第二缸体21、回液泵22、第二液位组件23和第二移动脚轮24。第二缸体21上设置有第二进液口211和第二出液口212，第二进液口211与上述切割液回流口连通，第二出液口212与供液缸1的第一进液口111连通。回液泵22和第二液位组件23设置在第二缸体21的顶壁，回液泵22的驱动电机安装在第二缸体21的顶部，泵头伸入至第二缸体21内，泵头的进口与第二缸体21连通，泵头的出口与第二出液口212连通。第二液位组件23能够检测第二缸体21内的切割液的高度，其具体设置方式可以参见上述第一液位组件16，此处不再赘述。第二移动脚轮24在本申请中设置有四个，四个第二移动脚轮24两两设置在第二缸体21的彼此相对的两个外侧壁下部。本申请的供液组件，除具有上述供液缸1的优点外，通过设置供液缸1与回液缸2的组合，可以利用回液缸2对回收的切割液进行沉降和过滤，提高切割液的使用效果。回液缸2上设置回液泵22，能够为切割液的回收提供动力，同时降低切割总成4的结构复杂度。通过设置第二液位组件23，可以对第二缸体21内的切割液高度进行测量，实现切割液的自动供给控制。通过在第二缸体21上设置多个第二移动脚轮24，提高了回液缸2的移动便利性。

下面参照图40和图41，对本申请的线切割机进行介绍。线切割机包括底座3、切割总成4、液路总成5、绕线区总成6、电控柜7以及上述的供液组件。切割总成4、液路总成5和绕线区总成6固定安装在底座3上，电控柜7安装在绕线区总成6的顶部上侧。安装好后，液路总成5的一部分由底座3沿其长度方向的第二端(图40的左上端)伸出，使得液路总成5伸出底座3第二端的部分与整机安装面之间形成容纳空间，供液缸1部分位于该容纳空间内。具体地，切割总成4包括切割区框架41以及固定在切割区框架41上的进给组件(未示出)、主辊组件(未示出)、切割液回流组件42等。切割区框架41通过螺接的方式固定连接在底座3的顶面沿其长度方向的第一端(图40中的右下端)，并且切割区框架41的整体宽度与底座3宽度大致相等。主辊组件安装在切割区框架41内部，用于缠绕金刚线。切割液回流组件42安装在切割区框架41的底部，用于对切割液进行回收。其中，切割液回流组件42大致成漏斗结构，漏斗中部形成有切割液回流口，切割液回流口通过管路与切回液缸2的第二进液口211连通。液路总成5包括液路框架51以及固定在液路框架51上的液路组件(未图示)，液路框架51螺接固定在底座3顶面沿其长度方向的第二端(图37中的左上端)，并且液路框架51的整体宽度与底座3宽度大致相等。液路组件包括切割液进液口，液路组件主要用于对通过该切割液进液口进入液路组件切割液进行温控和过滤，然后将处理好的切割液输送给切割总成4，用以对棒料和金刚线进行润滑冷却。绕线区总成6固定安装在底座3顶面且位于切割总成4与液路总成5之间，用于向主辊组件提供金刚线，并提供线网切割必须的切割张力。电控柜7固定安装在绕线区总成6的顶部上侧。本申请中，电控柜7设置有两个，两个电控柜7并排布置。

线切割机工作时，回液缸2接收切割液回流组件42回收的切割液，根据第二液位组件23的反馈信号，在第二缸体21内的液位达到预设液位时，回液泵22运行将切割液输送至供液缸1内。供液缸1内的加热部12对切割液进行加热，温度传感器13检测切割液温度，当达到预定温度后，加热部12停止加热。搅拌组件15将切割液搅拌均匀后，供液泵14将切割液输送至液路组件，经液路组件对切割液温控和过滤后，将切割液输送至切割总成4，用以对棒料和金刚线进行润滑冷却，其中加热后的切割液对棒料冷却时，减小棒料内外温差。冷却后的切割液继续通过切割液回流组件42回收至回液缸2，实现切割液循环流动。

本申请还提供了一种线切割机，线切割机包括上述实施方式的进给机构、切割液***、切割总成。

参见图42，对应于上述晶托夹紧装置，本申请还提供了一种晶托夹紧检测方法，晶托夹紧检测方法包括：S101、获取第一检测通道的实时气压值。举例而言，打开气源对第一检测通道通气，在通气一定时间后，通过压力检测部来检测第一检测通道内的实时气压值。S103、判断实时气压值与预设气压阈值的大小。举例而言，预设气压阈值为提前设置的，其可以通过试验、理论计算或者经验值确定，该预设气压阈值代表晶托夹紧程度满足加工要求的临界值。在获取到实时气压值后，将实时气压值与预设气压阈值进行比较。 S105、根据判断结果，确定晶托的夹紧状态。举例而言，在实时气压值大于等于预设气压阈值时，确定晶托处于夹紧状态；否则，在实时气压值小于预设气压阈值时，确定晶托处于未夹紧状态。通过获取实时气压值，并判断实时气压值与预设气压阈值的大小，本申请的晶托夹紧检测方法可以对晶托是否夹紧进行有效检测，使得后续工序的顺利实施，提高线切割机的切割精度和切割质量。

在上述晶托夹紧检测方法的优选技术方案中，根据判断结果，确定晶托的夹紧状态进一步包括：如果实时气压值大于等于预设气压阈值，则确定晶托处于夹紧状态；如果实时气压值小于预设气压阈值，则确定晶托处于未夹紧状态。具体地，如果实时气压值大于等于预设气压阈值，则证明第一检测通道和第二检测通道没有气体泄漏，或只有微小泄漏，此时认为晶托的顶面和侧面均已夹紧。反之，如果实时气压值小于预设气压阈值，则证明第一检测通道和第二检测通道至少存在一处气体泄漏，此时认为晶托的顶面和侧面至少有一处没有夹紧。

在上述晶托夹紧检测方法的优选技术方案中，晶托夹紧检测方法还包括：在晶托处于未夹紧状态时，发出报警信息；在晶托处于夹紧状态时，发出已夹紧信息或不执行任何操作。举例而言，在实时气压值小于预设气压阈值时，晶托处于未夹紧状态，此时如果继续进行后续的工序，则容易影响切割精度和切割质量，因此需要及时发出报警信息来提示工作人员晶托处于未夹紧状态。本申请中，报警信息可以为声/光信息、也可以为文字信息。例如，控制设备发出警报音、同时控制报警灯闪烁、同时控制操作屏幕弹窗文字信息等。反之，在实时气压值大于等于预设气压阈值时，晶托处于夹紧状态，此时可以继续后续工序的操作，可以提示工作人员晶托已经加紧，也可以不发出任何提示，实现无感检测。在需要提示工作人员时，可以发出声/光信息、也可以发出文字信息。例如，控制设备发出“晶托已夹紧”的语音信息、控制设备上的绿灯亮起、控制操作屏幕弹窗显示晶托已夹紧文字等。通过在晶托处于未夹紧状态时发出报警信息，可以及时提示工作人员对晶托夹紧程度进行调整，使得后续工序顺利实施。

需要说明的是，上述实施例中虽然将各个步骤按照上述先后次序的方式进行了描述，但是本领域技术人员可以理解，为了实现本实施例的效果，不同的步骤之间不必按照这样的次序执行，其可以同时(并行)执行或以颠倒的次序执行，这些简单的变化都在本申请的保护范围之内。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在本申请的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

至此，已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案，但是，本领域技术人员容易理解的是，本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下，本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换，这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims

一种线切割机，包括进给机构，其特征在于，所述进给机构包括进给主体、晶托和晶托夹紧装置，所述晶托夹紧装置包括：安装座，所述安装座上开设有第一检测通道，所述第一检测通道的第一端能够与气源连通，所述第一检测通道的第二端对应于晶托夹紧时的第一夹紧面设置。
根据权利要求1所述的线切割机，其特征在于，所述安装座上还设有第二检测通道，所述第二检测通道能够与气源连通，且所述第二检测通道的一端对应于晶托夹紧时的第二夹紧面设置。
根据权利要求2所述的线切割机，其特征在于，所述第一检测通道的第二端对应于晶托夹紧时的顶面设置；并且/或者所述第二检测通道的一端对应于晶托夹紧时的侧面设置；并且/或者所述第二检测通道与所述第一检测通道连通。
根据权利要求1所述的线切割机，其特征在于，所述晶托夹紧装置包括：安装座；移动件，所述移动件可移动地设置于所述安装座；第一推动部，所述第一推动部与所述移动件连接，用于带动所述移动件沿第一方向移动；第二推动部，所述第二推动部与所述移动件连接，用于带动所述移动件沿所述第一方向的反方向移动。
根据权利要求4所述的线切割机，其特征在于，所述第一推动部包括弹性件，所述弹性件的第一端与所述移动件直接或间接的连接，所述弹性件压缩时存储弹性势能，所述弹性势能释放时能够带动所述移动件沿所述第一方向移动；并且/或者所述第二推动部包括缸体和滑动连接于所述缸体内的推杆，所述推杆伸出所述缸体的一端与所述移动件连接，从而带动所述移动件沿所述第一方向的反方向移动。
根据权利要求1所述的线切割机，其特征在于，还包括切割液***，所述切割液***包括喷淋机构，所述喷淋机构包括：滑板箱，所述滑板箱的底部能够安装待切割材料；喷淋装置，所述喷淋装置设置于所述滑板箱，并且所述喷淋装置用于向所述待切割材料供给切割液；输送部，所述输送部设置于所述滑板箱上，并且所述输送部的第一端与所述喷淋装置的进口连通，所述输送部的第二端与切割液源接通。
根据权利要求6所述的线切割机，其特征在于，所述喷淋装置包括：溢流盒，所述溢流盒上设置有第一进液口和溢流口，所述溢流盒内部设置有溢流槽；调流板，所述调流板安装在所述溢流盒上，用于调节所述溢流口的大小。
根据权利要求6所述的线切割机，其特征在于，所述喷淋装置包括：喷淋管，所述喷淋管两端密封，所述喷淋管上设置有进液口和喷淋孔；导流板，所述导流板设置在所述喷淋管的下方，且向远离所述喷淋管的一侧延伸，从而引导所述喷淋孔喷出的切割液流出；调流板，所述调流板设置在所述导流板的上方，用于调整所述调流板与所述导流板之间的流通口的大小。
根据权利要求6所述的线切割机，其特征在于，所述喷淋装置包括喷淋管，所述喷淋管两端密封，所述喷淋管上设置有进液口和喷淋孔，所述进液口设置在所述喷淋孔上方，所述喷淋管内部设置有沿所述喷淋管的轴向延伸的孔板，所述孔板位于所述进液口与所述喷淋孔之间。
根据权利要求6所述的线切割机，其特征在于，所述切割液***还包括碎片盒，所述碎片盒包括：具有顶部开口的盒体；限流板，所述限流板沿所述盒体的长度方向设置，并且所述限流板至少部分高于所述盒体沿其长度方向延伸的侧壁的顶边，所述限流板为非金属板。
根据权利要求6所述的线切割机，其特征在于，所述切割液***还包括碎片盒，所述碎片盒包括：具有顶部开口的盒体；引流板，所述引流板设置在所述开口处，且沿所述盒体的长度方向设置并与所述盒体枢转连接。
根据权利要求11所述的线切割机，其特征在于，所述进给机构上设置有顶板，所述顶板用于在所述进给机构下降时顶开所述引流板。
根据权利要求1所述的线切割机，其特征在于，还包括切割总成，所述切割总成包括辊轴组件，所述辊轴组件包括：辊轴，所述辊轴上设置有第一孔道和第二孔道；拉杆，所述拉杆至少部分插设在所述第一孔道内，所述拉杆内设置有第一通道，所述拉杆上分别设置有与所述第一通道连通的进液口和出液口；所述进液口与切割液供给装置的出口连通，所述出液口与所述第二孔道的第一端连通，所述第二孔道的第二端与所述切割液供给装置的进口连通。
根据权利要求13所述的线切割机，其特征在于，所述辊轴包括第一外套及插设在所述第一外套内的内套，所述内套上开设有所述第一孔道，所述第一孔道沿所述辊轴的轴线设置，所述第一外套与所述内套之间形成所述第二孔道。
根据权利要求1所述的线切割机，其特征在于，所述线切割机包括：底座；所述底座上设置有切割总成和液路总成；用于存储切割液的储液部，所述储液部至少部分位于所述液路总成的下方。
根据权利要求15所述的线切割机，其特征在于，所述储液部包括供液缸，所述供液缸包括存放切割液的第一缸体，所述第一缸体上设置有第一进液口和第一出液口，所述第一进液口与设置在所述线切割机的切割总成上的切割液回流口连通，所述第一出液口与所述线切割机的液路总成中的切割液进液口连通，所述供液缸还包括用于对所述第一缸体内的切割液加热的加热部。
根据权利要求16所述的线切割机，其特征在于，所述储液部还包括回液缸，所述回液缸包括第二缸体，所述第二缸体上设置有第二进液口和第二出液口，所述第二进液口与所述切割液回流口连通，所述第二出液口与所述第一进液口连通。
一种线切割机的晶托夹紧检测方法，其特征在于，所述晶托夹紧检测方法包括：

获取第一检测通道的实时气压值；

判断所述实时气压值与预设气压阈值的大小；

根据判断结果，确定晶托的夹紧状态。
根据权利要求18所述的晶托夹紧检测方法，其特征在于，所述根据判断结果，确定晶托的夹紧状态进一步包括：

如果所述实时气压值大于等于所述预设气压阈值，则确定所述晶托处于夹紧状态；

如果所述实时气压值小于所述预设气压阈值，则确定所述晶托处于未夹紧状态。