WO2023247156A1 - Modularer vibronischer multisensor - Google Patents

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WO2023247156A1
WO2023247156A1 PCT/EP2023/064772 EP2023064772W WO2023247156A1 WO 2023247156 A1 WO2023247156 A1 WO 2023247156A1 EP 2023064772 W EP2023064772 W EP 2023064772W WO 2023247156 A1 WO2023247156 A1 WO 2023247156A1
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sensor
modular
medium
vibronic
base body
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PCT/EP2023/064772
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Mohammad Sadegh Ebrahimi
Sergey Lopatin
Harald Bauer
Laura MIGNANELLI
Tobias Brengartner
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Endress+Hauser SE+Co. KG
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Publication date
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    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296Acoustic waves
    • GPHYSICS
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N11/00Investigating flow properties of materials, e.g. viscosity, plasticity; Analysing materials by determining flow properties
    • G01N11/10Investigating flow properties of materials, e.g. viscosity, plasticity; Analysing materials by determining flow properties by moving a body within the material
    • G01N11/16Investigating flow properties of materials, e.g. viscosity, plasticity; Analysing materials by determining flow properties by moving a body within the material by measuring damping effect upon oscillatory body
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    • G01N9/002Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis
    • G01N2009/006Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis vibrating tube, tuning fork

Definitions

  • the invention relates to a modular vibronic sensor for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium.
  • the present invention further relates to a measuring cell comprising a sensor according to the invention, a portable measuring device for analyzing a medium with a measuring cell according to the invention and a method for operating a sensor according to the invention.
  • the medium is located, for example, in a container, for example in a container or in a pipeline, or in the measuring cell.
  • Vibronic sensors are often used in process and/or automation technology.
  • they have at least one mechanically oscillatable unit, such as a tuning fork, a single rod or a membrane.
  • a drive/receiver unit often in the form of an electromechanical converter unit, which in turn can be, for example, a piezoelectric drive or an electromagnetic drive.
  • the drive/receiver unit stimulates the mechanically oscillatable unit to mechanical oscillations by means of an electrical excitation signal. Conversely, the drive/receiver unit can receive the mechanical vibrations of the mechanically oscillatable unit and convert them into an electrical reception signal.
  • the drive/receiver unit is accordingly either a separate drive unit and a separate receiver unit or a combined drive/receiver unit.
  • the drive/receiver unit is part of a feedback electrical oscillating circuit, by means of which the mechanically oscillatable unit is excited to produce mechanical oscillations.
  • the oscillating circuit condition according to which the Amplification factor >1 and all phases occurring in the resonant circuit result in a multiple of 360° must be fulfilled.
  • a certain phase shift between the excitation signal and the received signal must be guaranteed. Therefore, a predeterminable value for the phase shift, i.e. a setpoint for the phase shift between the excitation signal and the received signal, is often set.
  • Both the excitation signal and the received signal are characterized by their frequency w, amplitude A and/or phase ⁇ t>. Accordingly, changes in these variables are usually used to determine the respective process variable.
  • the process variable can be, for example, a fill level, a predetermined fill level, or the density or viscosity of the medium, as well as the flow.
  • a vibronic level switch for liquids for example, a distinction is made as to whether the oscillatable unit is covered by the liquid or vibrates freely. These two states, the free state and the covered state, are distinguished, for example, based on different resonance frequencies, i.e. based on a frequency shift.
  • the density and/or viscosity can only be determined with such a measuring device if the oscillatable unit is completely covered by the medium.
  • various options have also become known from the prior art, such as those in the documents DE10050299A1, DE102007043811A1, DE10057974A1, DE102006033819A1, DE102015102834A1 or DE1020161127 43A1 disclosed.
  • a vibronic sensor With a vibronic sensor, several process variables can be determined and used to characterize the respective process. In many cases, however, further information about the process, in particular knowledge of other physical and/or chemical process variables and/or parameters, is required for comprehensive process monitoring and/or control. This can be achieved, for example, by integrating additional field devices into the respective process. The measured values provided by the various measuring devices can then be appropriately processed further in a unit that is higher-level to the devices.
  • various vibronic multi-sensors have become known with which other process variables can be determined.
  • such sensors have been disclosed in which, in addition to the vibronic measuring principle, the ultrasonic measuring principle is used, such as the sensors from DE102018127526A1, DE102019116150A1, DE102019116151A1, DE102019116152, DE102019110821A1, DE102020105 214A1, DE102020116278A1, or the previously unpublished German patent application with the File number 102021122534.5.
  • the present invention is based on the object of further increasing the functionality of a vibronic sensor.
  • the sensor according to the invention is a modular, vibronic sensor for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium with a sensor unit.
  • the sensor unit comprises a, in particular electrically insulating, first tubular base body, a first piezoelectric element and a second piezoelectric element.
  • the first and second piezoelectric elements are arranged opposite one another in the region of a lateral surface of the base body.
  • the base body and the two piezoelectric elements together form a mechanically oscillatable unit with a drive/receiver unit.
  • the sensor unit is excited to mechanical vibrations using a suitable excitation signal.
  • the mechanical vibrations are influenced by the properties of the medium, so that a statement about the at least one process variable can be generated based on at least one reception signal received by the sensor unit, which represents the vibrations of the sensor unit is.
  • the piezoelectric elements can also serve to generate a transmission signal, which is received in the form of a response signal. If the transmission signal passes through the medium at least temporarily and in sections on its path, it is also influenced by the physical and/or chemical properties of the medium and can accordingly be used to determine a process variable of the medium.
  • the vibronic measuring principle and the ultrasonic measuring principle.
  • this also allows the simultaneous determination and/or monitoring of several, in particular different, process variables.
  • the received signal and the response signal can advantageously be evaluated independently of one another and the number of process variables that can be determined can be significantly increased, which results in a higher functionality of the respective sensor or in an expanded area of application.
  • the modular sensor concept according to the invention enables particularly easy adaptability to different geometries.
  • the dimensions of the oscillating elements and the base body can be selected adaptively. In principle, differently designed oscillating elements can be used with the same base body.
  • the freedom of design not only affects the dimensioning and Choice of geometry, but also the materials used. This particularly advantageously allows miniaturization of corresponding vibronic sensors.
  • a sensor according to the invention can be produced particularly easily and inexpensively. For example, no production of a separate drive/receiver unit is necessary. Rather, the production of oscillating elements and the drive/receiver unit takes place together in one step.
  • the base body can have a partial area for accommodating electronics, so that a simplification of the sensor structure can also be achieved in this context.
  • the piezoelectric elements are attached to the tubular base body from the outside or from the inside, or are arranged within a wall of the tubular body.
  • the tubular body is closed in a first and/or second end region.
  • a gaseous or other medium can be arranged in an internal volume of the tubular body.
  • the piezoelectric elements and/or an outer wall of the base body is/are at least partially provided with a coating.
  • at least one area of the sensor unit that comes into contact with the media is provided with the coating.
  • coating materials can be used. For example, it can be an insulating coating. But it can also be a water-absorbing coating.
  • the senor according to the invention comprises a filter element which is designed and/or arranged in such a way that it at least partially surrounds the tubular base body.
  • the filter element is preferably attached to the base body.
  • the filter element comprises, for example, a, preferably porous, membrane or a selective membrane.
  • the Filter element can be fastened in particular in the area of at least the first base body.
  • a measuring cell for analyzing a medium comprising a modular vibronic sensor according to the invention.
  • a measuring cell is in principle understood to mean a closed volume with a, for example, universal connection for connecting a sensor.
  • the modular vibronic sensor according to the invention can be introduced into the measuring cell, for example, by means of the first base body.
  • the base body can be provided with a connecting element that is complementary to the connecting element of the measuring cell.
  • the object on which the invention is based is also achieved by a portable measuring device for analyzing a medium, comprising a measuring cell according to the invention, electronics and a device for sampling.
  • the electronics can, for example, have a display unit.
  • the portable measuring device is used, for example, to determine and/or monitor a process variable of a medium such as, but not exclusively, the density, viscosity or speed of sound of a medium or a concentration of a substance contained in the medium.
  • the object on which the invention is based is achieved by a method for operating a modular vibronic sensor according to the invention for determining and/or monitoring at least a first process variable of a medium, the sensor unit being excited to mechanical vibrations by means of an excitation signal, the mechanical vibrations of the sensor unit are received and converted into a received signal, and the at least one first process variable is determined based on the received signal.
  • the process variable is, for example, the fill level, the density or the viscosity of the medium.
  • the sensor unit includes the first and second oscillating elements.
  • the excitation signal is, for example, an electrical signal with at least one predeterminable frequency, in particular a sinusoidal or a rectangular signal.
  • the sensor unit is stimulated to resonate at least temporarily.
  • the mechanical vibrations are influenced by the medium surrounding the vibrating rods, so that conclusions can be drawn about various properties of the medium based on a received signal representing the vibrations.
  • the transmission signal is preferably an ultrasonic signal, in particular a pulsed one, in particular at least one ultrasonic pulse.
  • the second measurement method used in the context of the present invention is therefore an ultrasound-based measurement.
  • the transmission signal emitted at least partially passes through the medium and its properties are influenced by it. Accordingly, conclusions about different media can also be drawn based on the response signal received.
  • At least a second process variable of the medium is determined or monitored.
  • a transmission signal is sent out and a response signal is received, with the at least one second process variable being determined based on the response signal.
  • the second process variable is, for example, the speed of sound of the medium.
  • the first oscillating element is acted upon by the transmission signal, with the response signal being received by the second oscillating element.
  • the at least one first and second process variable are determined alternately.
  • the sensor unit it is also possible for the sensor unit to be acted upon simultaneously by means of the excitation signal and by means of the transmission signal, with the excitation signal and the transmission signal being superimposed on one another.
  • the process variables that can be determined according to the invention are, for example, given by a predeterminable fill level, the density, the viscosity, the speed of sound or a variable derived from at least one of these variables.
  • the concentration(s) of one or two different substances in the medium can also be determined. Particularly preferably, the density and/or viscosity of the medium is determined based on the received signal and the speed of sound within the medium is determined based on the response signal.
  • other process variables and/or parameters that are accessible by means of the two measurements carried out can also be determined and used to characterize the respective medium.
  • a sensor according to the invention, a measuring cell, a portable measuring device and the method can be used, for example, to monitor a fermentation process.
  • sugar is converted into ethanol.
  • it is therefore necessary to determine both the concentration of sugar and ethanol.
  • the senor according to the invention can also advantageously be used as a single-use sensor.
  • the sensor can be specifically adapted to the respective task. Use in a laboratory is also advantageously possible, in particular for determining the respective process variable based on a comparatively small volume of liquid or a small sample quantity.
  • Another advantageous use relates to the validation of sensors, due to the simple and inexpensive manufacturability of the sensor according to the invention.
  • an advantageous use relates to the use of a sensor according to the invention as a gas sensor for determining and/or monitoring a gaseous medium.
  • a resonance frequency of a sensor according to the invention can be individually adapted to the respective application. It should be noted that the configurations described in connection with the sensor according to the invention can also be applied mutatis mutandis to the measuring cell according to the invention, the portable measuring device according to the invention and the method according to the invention and vice versa.
  • FIG. 2 shows a first embodiment of a modular vibronic sensor
  • Fig. 3 shows a measuring cell according to the invention
  • Fig. 4 shows a portable measuring device.
  • a vibronic sensor 1 with a sensor unit 2 is shown in FIG.
  • the sensor has a mechanically oscillatable unit 4 in the form of a tuning fork, which is partially immersed in a medium M which is located in a container 3.
  • the oscillatable unit 4 is excited to mechanical vibrations by means of the excitation/reception unit 5, and can be, for example, by a piezoelectric stack or bimorph drive.
  • Other vibronic sensors have, for example, electromagnetic drive/receiver units 5. It is possible to use a single drive/receiver unit 5, which serves to excite the mechanical vibrations and to detect them. However, it is also conceivable to implement a drive unit and a receiving unit. Also shown in FIG.
  • FIG. 2 A first exemplary embodiment of a modular vibronic sensor 1 according to the invention is sketched in FIG. 2.
  • the sensor 1 has a sensor unit 2 comprising a, in particular electrically insulating, first tubular base body 7 and a first 8a and a second 8b piezoelectric element.
  • the two piezoelectric elements 8a, 8b are arranged opposite one another in the area of a lateral surface m of the base body 7.
  • the piezoelectric elements 8a, 8b are applied to the lateral surface m in the inner region of the tubular base body 7.
  • the piezoelectric elements 8a, 8b can also be applied to the lateral surface m directed outwards.
  • the piezoelectric elements 8a, 8b can therefore be arranged on the tubular body 7 from the outside or from the inside. They can also be at least partially incorporated into the lateral surface m.
  • the base body 7 can also be open in its two end regions Ei and E2, as in the case of FIG. 2. Likewise, the base body 7 can also be closed in one or both end regions Ei and E2. Furthermore, in the case of FIG. 2, a cross-sectional area of the base body 7 is designed to be square. However, numerous other shapes can also be selected for the cross-sectional area and are also covered by the present invention.
  • FIG. 3 shows a measuring cell 10 according to the invention with a sensor 1 according to the invention similar to that from FIG. 2.
  • the two piezoelectric elements 8a, 8b are electrically contacted via the connecting lines 9a, 9b.
  • Electronics 6 are arranged in the second end region E2 within the base body 7.
  • the measuring device 11 comprises a housing 12 with an optional handle 12a and a device for sampling 13, a measuring cell 10 according to the invention with a, here sensor 1 according to the invention, not shown, and electronics 14 with an optional display unit.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen modularen vibronischen Sensor (1) zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums (M) mit einer Sensoreinheit (2), welche Sensoreinheit (2), einen, insbesondere elektrisch isolierenden, ersten rohrförmigen Grundkörper (7), ein erstes piezoelektrisches Element (8a), und ein zweites piezoelektrisches Element (8b) umfasst, wobei das erste (8a) und zweite (8b) piezoelektrische Element einander gegenüber liegend im Bereich einer Mantelfläche (m) des Grundkörpers (7) angeordnet sind. Die Erfindung betrifft ferner eine Messzelle (10) mit einem erfindungsgemäßen Sensor (1), ein tragbares Messgerät (11) umfassend eine erfindungsgemäße Messzelle (10) und ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen, modularen, vibronischen Sensors (1).

Description

Modularer vibronischer Multisensor
Die Erfindung betrifft einen modularen vibronischen Sensor zur Bestimmung und/oder Überwachung von zumindest einer Prozessgröße eines Mediums. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung eine Messzelle umfassend einen erfindungsgemäßen Sensor, ein tragbares Messgerät zur Analyse eines Mediums mit einer erfindungsgemäßen Messzelle und ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen Sensors.
Das Medium befindet sich beispielsweise in einem Behältnis, beispielsweise in einem Behälter oder in einer Rohrleitung, oder in der Messzelle.
Vibronische Sensoren finden vielfach Anwendung in der Prozess- und/oder Automatisierungstechnik. Im Falle von Füllstandsmessgeräten weisen sie zumindest eine mechanisch schwingfähige Einheit, wie beispielsweise eine Schwinggabel, einen Einstab oder eine Membran auf. Diese wird im Betrieb mittels einer Antriebs- /Empfangseinheit, häufig in Form einer elektromechanischen Wandlereinheit, zu mechanischen Schwingungen angeregt, welche wiederum beispielsweise ein piezoelektrischer Antrieb oder ein elektromagnetischer Antrieb sein kann.
Entsprechende Feldgeräte werden von der Anmelderin in großer Vielfalt hergestellt und beispielsweise unter der Bezeichnung LIQUIPHANT oder SOLIPHANT vertrieben. Die zugrundeliegenden Messprinzipien sind im Prinzip aus einer Vielzahl von Veröffentlichungen bekannt. Die Antriebs-/Empfangseinheit regt die mechanisch schwingfähige Einheit mittels eines elektrischen Anregesignals zu mechanischen Schwingungen an. Umgekehrt kann die Antriebs-/Empfangseinheit die mechanischen Schwingungen der mechanisch schwingfähigen Einheit empfangen und in ein elektrisches Empfangssignal umwandeln. Bei der Antriebs-/Empfangseinheit handelt es sich entsprechend entweder um eine separate Antriebseinheit und eine separate Empfangseinheit oder um eine kombinierte Antriebs-/Empfangseinheit.
Dabei ist die Antriebs-/Empfangseinheit in vielen Fällen Teil eines rückgekoppelten elektrischen Schwingkreises, mittels welchem die Anregung der mechanisch schwingfähigen Einheit zu mechanischen Schwingungen erfolgt. Beispielsweise muss für eine resonante Schwingung die Schwingkreisbedingung, gemäß welcher der Verstärkungsfaktor >1 ist und alle im Schwingkreis auftretenden Phasen ein Vielfaches von 360° ergeben, erfüllt sein. Zur Anregung und Erfüllung der Schwingkreisbedingung muss eine bestimmte Phasenverschiebung zwischen dem Anregesignal und dem Empfangssignal gewährleistet sein. Deshalb wird häufig ein vorgebbarer Wert für die Phasenverschiebung, also ein Sollwert für die Phasenverschiebung zwischen dem Anregesignal und dem Empfangssignal eingestellt. Hierfür sind aus dem Stand der Technik unterschiedlichste Lösungen, sowohl analoge als auch digitale Verfahren, bekannt geworden, wie beispielsweise in den Dokumenten DE102006034105A1 , DE102007013557A1 , DE102005015547A1 , DE102009026685A1 , DE102009028022A1 , DE102010030982A1 oder DE102010030982A1 beschrieben.
Sowohl das Anregesignal als auch das Empfangssignal sind charakterisiert durch ihre Frequenz w, Amplitude A und/oder Phase <t>. Entsprechend werden Änderungen in diesen Größen üblicherweise zur Bestimmung der jeweiligen Prozessgröße herangezogen. Bei der Prozessgröße kann es sich beispielsweise um einen Füllstand, einen vorgegebenen Füllstand, oder auch um die Dichte oder die Viskosität des Mediums, sowie um den Durchfluss handeln. Bei einem vibronischen Grenzstandschalters für Flüssigkeiten wird beispielsweise unterschieden, ob die schwingfähige Einheit von der Flüssigkeit bedeckt ist oder frei schwingt. Diese beiden Zustände, der Freizustand und der Bedecktzustand, werden dabei beispielsweise anhand unterschiedlicher Resonanzfrequenzen, also anhand einer Frequenzverschiebung, unterschieden.
Die Dichte und/oder Viskosität wiederum lassen sich mit einem derartigen Messgerät nur ermitteln, wenn die schwingfähige Einheit vollständig vom Medium bedeckt ist. Im Zusammenhang mit der Bestimmung der Dichte und/oder Viskosität sind ebenfalls unterschiedliche Möglichkeiten aus dem Stand der Technik bekannt geworden, wie beispielswiese die in den Dokumenten DE10050299A1 , DE102007043811A1 , DE10057974A1 , DE102006033819A1 , DE102015102834A1 oder DE102016112743A1 offenbarten. Mit einem vibronischen Sensor lassen sich entsprechend mehrere Prozessgrößen bestimmen und für eine Charakterisierung des jeweiligen Prozesses heranziehen. In vielen Fällen werden für eine umfassende Prozessüberwachung und/oder -Kontrolle allerdings weitere Informationen über den Prozess, insbesondere Kenntnis über weitere physikalische und/oder chemische Prozessgrößen und/oder -parameter benötigt. Dies kann beispielsweise durch die Integration weiterer Feldgeräte in den jeweiligen Prozess erreicht werden. Dann können die von den verschiedenen Messgeräten zur Verfügung gestellten Messwerte in einer den Geräten übergeordneten Einheit geeignet weiterverarbeitet werden.
Zudem sind verschiedene vibronische Multisensoren bekannte geworden, mit welchen sich weitere Prozessgrößen ermitteln lassen. Beispielsweise sind solche Sensoren offenbart worden, bei welchem neben dem vibronischen Messprinzip das Ultraschall- Messprinzip zum Einsatz kommt, wie beispielsweise die Sensoren aus DE102018127526A1 , DE102019116150A1 , DE102019116151A1 , DE102019116152, DE102019110821A1 , DE102020105214A1 , DE102020116278A1 , oder auch der bisher unveröffentlichten, deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 102021122534.5.
Ausgehend vom genannten Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Funktionalität eines vibronischen Sensors weiter zu vergrößern.
Diese Aufgabe wird gelöst durch den modularen, vibronischen Sensor nach Anspruch 1 , durch die Messzelle nach Anspruch 6, das tragbare Messgerät nach Anspruch 7, das Verfahren nach Anspruch 8, sowie durch die Verwendung eines erfindungsgemäßen Sensors nach Anspruch 11 .
Bei dem erfindungsgemäßen Sensor handelt es sich um einen modularen, vibronischen Sensor zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums mit einer Sensoreinheit. Die Sensoreinheit umfasst einen, insbesondere elektrisch isolierenden, ersten rohrförmigen Grundkörper, ein erstes piezoelektrisches Element und ein zweites piezoelektrisches Element umfasst. Erfindungsgemäß sind das erste und zweite piezoelektrische Element einander gegenüber liegend im Bereich einer Mantelfläche des Grundkörpers angeordnet. Der Grundkörper und die beiden piezoelektrischen Elemente bilden gemeinsam eine mechanisch schwingfähige Einheit mit Antriebs-/Empfangseinheit. Die Sensoreinheit wird mittels geeigneten Anregesignals zu mechanischen Schwingungen angeregt. Die mechanischen Schwingungen werden im Falle, dass die Sensoreinheit zumindest teilweise von Medium bedeckt sind, von den Eigenschaften des Mediums beeinflusst, so dass anhand zumindest eines von der Sensoreinheit empfangenen Empfangssignals, welches die Schwingungen der Sensoreinheit repräsentiert, eine Aussage über die zumindest eine Prozessgröße generierbar ist.
Die piezoelektrischen Elemente können aber auch der Erzeugung eines Sendesignals, welches in Form eines Antwortsignals empfangen wird, dienen. Wenn das Sendesignal auf seinem Weg zumindest zeitweise und abschnittsweise das Medium durchläuft, wird es ebenfalls durch die physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften des Mediums beeinflusst und kann entsprechend zur Bestimmung einer Prozessgröße des Mediums herangezogen werden.
Somit ist es auch möglich, zumindest zwei Messprinzipien in einer einzigen Vorrichtung zu realisieren, nämlich das vibronische Messprinzip und das Ultraschall-Messprinzip. Dies erlaubt insbesondere auch die simultane Bestimmung und/oder Überwachung mehrerer, insbesondere auch verschiedener, Prozessgrößen. Dabei können das Empfangssignal und das Antwortsignal vorteilhaft unabhängig voneinander ausgewertet und die Anzahl ermittelbarer Prozessgrößen deutlich erhöht werden, was zu einer höheren Funktionalität des jeweiligen Sensors bzw. in einem erweiterten Anwendungsbereich resultiert.
Das erfindungsgemäße, modulare Sensorkonzept ermöglicht dabei eine besonders einfache Anpassbarkeit auf verschiedene Geometrien. Die Dimensionierung der Schwingelemente und des Grundkörpers können adaptiv gewählt werden. Im Prinzip können unterschiedlich ausgestaltete Schwingelemente mit demselben Grundkörper verwendet werden. Die Gestaltungsfreiheit betrifft nicht nur die Dimensionierung und Geometriewahl, sondern auch die jeweils verwendeten Materialien. Dies erlaubt besonders vorteilhaft eine Miniaturisierung entsprechender vibronischer Sensoren.
Darüber hinaus ist ein erfindungsgemäßer Sensor besonders einfach und kostengünstig herstellbar. Beispielsweise ist keine Fertigung einer separaten Antriebs- /Empfangseinheit notwendig. Die Herstellung von Schwingelementen und Antriebs- /Empfangseinheit erfolgt vielmehr gemeinsam in einem Schritt. Zudem kann der Grundkörper in einem Teilbereich zur Aufnahme einer Elektronik aufweisen, so dass auch in diesem Zusammenhang eine Vereinfachung des Sensoraufbaus erreichbar ist.
In einer Ausgestaltung sind die piezoelektrischen Elemente von außen oder von innen an dem rohrförmigen Grundkörper befestigt, oder innerhalb einer Wandung des rohrförmigen Körpers angeordnet.
In einer weiteren Ausgestaltung ist der rohrförmige Körper in einem ersten und/oder zweiten Endbereich verschlossen. In diesem Falle kann in einem Innenvolumen des rohrförmigen Körpers ein gasförmiges oder auch ein anderes Medium angeordnet sein.
Es ist von Vorteil, wenn die piezoelektrischen Elemente und/oder eine Außenwandung des Grundkörpers zumindest teilweise mit einer Beschichtung versehen ist/sind. Vorteilhaft ist zumindest ein medienberührender Bereich der Sensoreinheit mit der Beschichtung versehen. Dabei können unterschiedlichste Beschichtungsmaterialien verwendet werden. Beispielsweise kann es sich um eine isolierende Beschichtung handeln. Es kann sich aber ebenso um eine wasseraufnehmende Beschichtung handeln.
In einer weiteren Ausgestaltung umfasst der erfindungsgemäße Sensor ein Filterelement, welches derart ausgestaltet und/oder angeordnet ist, dass es den rohrförmigen Grundkörper zumindest teilweise umgibt. Vorzugsweise ist das Filterelement an dem Grundkörper befestigt. Das Filterelement umfasst beispielsweise eine, vorzugsweise poröse, Membran oder eine selektive Membran. Das Filterelement ist insbesondere im Bereich zumindest des ersten Grundkörpers befestig bar.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird ferner gelöst durch eine Messzelle zur Analyse eines Mediums umfassend einen erfindungsgemäßen modularen vibronischen Sensor. Unter einer Messzelle wird erfindungsgemäß im Prinzip ein abgeschlossenes Volumen mit einem, beispielsweise universellen Anschluss zum Anschließen eines Sensors verstanden. Der erfindungsgemäße modulare vibronische Sensor ist beispielsweise vermittels des ersten Grundkörpers in die Messzelle einbringbar. Dazu kann der Grundkörper mit einem zu dem Anschlusselement der Messzelle komplementär ausgestalten Anschlusselement versehen ist.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird außerdem gelöst durch ein tragbares Messgerät zur Analyse eines Mediums, umfassend eine erfindungsgemäße Messzelle, eine Elektronik und eine Vorrichtung zur Probennahme. Die Elektronik kann beispielsweise über eine Anzeigeeinheit verfügen. Das tragbare Messgerät dient beispielsweise zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums wie beispielsweise, aber nicht ausschließlich, der Dichte, Viskosität oder Schallgeschwindigkeit eines Mediums oder um eine Konzentration einer Substanz, welche in dem Medium enthalten ist.
Ferner wird die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen modularen vibronischen Sensors zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer ersten Prozessgröße eines Mediums, wobei die Sensoreinheit mittels eines Anregesignals zu mechanischen Schwingungen angeregt wird, wobei die mechanischen Schwingungen der Sensoreinheit empfangen und in ein Empfangssignal umgewandelt werden, und wobei anhand des Empfangssignals die zumindest eine erste Prozessgröße ermittelt wird. Bei der Prozessgröße handelt es sich beispielsweise um den Füllstand, die Dichte oder die Viskosität des Mediums. Die Sensoreinheit umfasst das erste und zweite Schwingelement. Bei dem Anregesignal handelt es sich beispielsweise um ein elektrisches Signal mit zumindest einer vorgebbaren Frequenz, insbesondere um ein sinusförmiges oder um ein rechteckförmiges Signal. Vorzugsweise wird die Sensoreinheit zumindest zeitweise zu Resonanzschwingungen angeregt. Die mechanischen Schwingungen werden durch das die Schwingstäbe umgebende Medium beeinflusst, so dass anhand eines die Schwingungen repräsentierenden Empfangssignals Rückschlüsse auf verschiedene Eigenschaften des Mediums möglich sind.
Bei dem Sendesignal handelt es sich bevorzugt um ein, insbesondere gepulstes, Ultraschallsignal, insbesondere um zumindest einen Ultraschallpuls. Als zweites angewendetes Messverfahren wird demnach im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine Ultraschall-basierte Messung durchgeführt. Das jeweils ausgesendete Sendesignal durchläuft zumindest teilweise das Medium und wird von diesem in seinen Eigenschaften beeinflusst. Entsprechend können anhand des jeweils empfangenen Antwortsignals ebenfalls Rückschlüsse auf verschiedene Medien gezogen werden.
In noch einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zumindest eine zweite Prozessgröße des Mediums bestimmt oder überwacht. Dazu wird ein Sendesignal ausgesendet, ein Antwortsignal empfangen, wobei anhand des Antwortsignals die zumindest eine zweite Prozessgröße bestimmt wird. Bei der zweiten Prozessgröße handelt es sich beispielsweise um die Schallgeschwindigkeit des Mediums.
In diesem Zusammenhang ist es von Vorteil, wenn das erste Schwingelement mit dem Sendesignal beaufschlagt wird, wobei das Antwortsignal von dem zweiten Schwingelement empfangen wird.
Es ist ferner von Vorteil, wenn die zumindest eine erste und zweite Prozessgröße abwechselnd bestimmt werden. Es ist aber ebenfalls möglich, dass die Sensoreinheit gleichzeitig mittels des Anregesignals und mittels des Sendesignals beaufschlagt wird, wobei das Anregesignal und das Sendesignal einander überlagert werden. Die erfindungsgemäß ermittelbaren Prozessgrößen sind beispielsweise gegeben durch einen vorgebbaren Füllstand, die Dichte, die Viskosität, die Schallgeschwindigkeit oder eine aus zumindest einer dieser Größen abgeleitete Größe. Auch die Konzentration/Konzentrationen von einer oder zwei unterschiedlichen Substanzen in dem Medium kann/können ermittelt werden. Besonders bevorzugt wird anhand des Empfangssignals die Dichte und/oder Viskosität des Mediums und anhand des Antwortsignals die Schallgeschwindigkeit innerhalb des Mediums bestimmt. Es versteht sich jedoch von selbst, dass neben den hier explizit genannten Prozessgrößen auch weitere Prozessgrößen und/oder -parameter, welche mittels der beiden durchgeführten Messungen zugänglich sind, ebenfalls bestimmt und für eine Charakterisierung des jeweiligen Mediums herangezogen werden können.
Ein erfindungsgemäßer Sensor, eine Messzelle, ein tragbares Messgerät sowie das Verfahren können beispielsweise verwendet werden zur Überwachung eines Gärprozesses. Bei einer Gärung wird Zucker in Ethanol umgewandelt. Um eine qualitative Überwachung gewährleisten zu können, ist es deshalb erforderlich, sowohl die Konzentration von Zucker als auch von Ethanol zu bestimmen.
Zudem kann der erfindungsgemäße Sensor vorteilhaft auch als Single-Use Sensor verwendet werden. Dabei kann der Sensor jeweils spezifisch an die jeweilige Aufgabe angepasst werden. Möglich ist vorteilhaft ferner auch eine Verwendung in einem Labor, insbesondere zur Ermittlung der jeweiligen Prozessgröße anhand eines vergleichsweise geringen Flüssigkeitsvolumens bzw. einer kleinen Probenmenge. Eine weitere vorteilhafte Verwendung betrifft die Validierung von Sensoren, und zwar aufgrund der einfachen und kostengünstigen Hersteilbarkeit des erfindungsgemäßen Sensors. Schließlich betrifft eine vorteilhafte Verwendung die Verwendung eines erfindungsgemäßen Sensors als Gassensor zur Bestimmung und/oder Überwachung eines gasförmigen Mediums. Insbesondere kann eine Resonanzfrequenz eines erfindungsgemäßen Sensors jeweils individuell an die jeweilige Applikation angepasst werden. Es sei darauf verwiesen, dass die im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Sensor beschriebenen Ausgestaltungen sich mutatis mutandis auch auf die erfindungsgemäße Messzelle, das erfindungsgemäße tragbare Messgerät und das erfindungsgemäße Verfahren anwenden lassen und umgekehrt.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 : eine schematische Skizze eines vibronischen Sensors gemäß Stand der Technik,
Fig. 2 eine erste Ausgestaltung eines modularen vibronischen Sensors;
Fig. 3 eine erfindungsgemäße Messzelle, und
Fig. 4 ein tragbares Messgerät.
In den Figuren sind gleiche Elemente jeweils mit demselben Bezugszeichen versehen.
In Fig. 1 ist ein vibronischer Sensor 1 mit einer Sensoreinheit 2 gezeigt. Der Sensor verfügt über eine mechanisch schwingfähige Einheit 4 in Form einer Schwinggabel, welche teilweise in ein Medium M eintaucht, welches sich in einem Behälter 3 befindet. Die schwingfähige Einheit 4 wird mittels der Anrege-/Empfangseinheit 5 zu mechanischen Schwingungen angeregt, und kann beispielsweise durch einen piezoelektrischen Stapel- oder Bimorphantrieb sein. Andere vibronische Sensoren verfügen beispielsweise über elektromagnetische Antriebs-/Empfangseinheiten 5. Es ist sowohl möglich, eine einzige Antriebs-/Empfangseinheit 5 zu verwenden, welche zur Anregung der mechanischen Schwingungen sowie zu deren Detektion dient. Ebenso ist es aber denkbar, je eine Antriebseinheit und eine Empfangseinheit zu realisieren. Dargestellt ist in Fig. 1 ferner eine Elektronikeinheit 6, mittels welcher die Signalerfassung, -auswertung und/oder -speisung erfolgt. Eine erste beispielhafte Ausgestaltung eines erfindungsgemäßen, modularen vibronischen Sensors 1 ist in Fig. 2 skizziert. Der Sensor 1 verfügt über eine Sensoreinheit 2 umfassend einen, insbesondere elektrisch isolierenden, ersten rohrförmigen Grundkörper 7 sowie ein erstes 8a und ein zweites 8b piezoelektrisches Element. Die beiden piezoelektrischen Elemente 8a, 8b sind einander gegenüber liegend im Bereich einer Mantelfläche m des Grundkörpers 7 angeordnet.
Für die in Fig. 2 dargestellte Ausgestaltung sind die piezoelektrischen Elemente 8a, 8b auf die Mantelfläche m im inneren Bereich des rohrförmigen Grundkörpers 7 aufgebracht. In anderen Ausgestaltungen können die piezoelektrischen Elemente 8a, 8b auch nach außen gerichtet auf die Mantelfläche m aufgebracht sein. Die piezoelektrischen Elemente 8a, 8b können also von außen oder von innen an dem rohrförmigen Körper 7 angeordnet sein. Sie können auch in die Mantelfläche m zumindest teilweise eingebracht sein.
Der Grundkörper 7 kann zudem in seinen beiden Endbereichen Ei und E2 geöffnet sein, wie im Falle von Fig. 2. Ebenso kann der Grundkörper 7 in einem oder beiden Endbereichen Ei und E2 auch verschlossen sein. Darüber hinaus ist im Falle der Fig. 2 eine Querschnittsfläche des Grundkörpers 7 quadratisch ausgestaltet. Es können aber auch zahlreiche andere Formen für die Querschnittsfläche gewählt werden und fallen ebenfalls unter die vorliegende Erfindung.
In Fig. 3 ist eine erfindungsgemäße Messzelle 10 mit einem erfindungsgemäßen Sensor 1 ähnlich wie der aus Fig. 2, gezeigt. Die beiden piezoelektrischen Elemente 8a, 8b sind über die Anschlussleitungen 9a, 9b elektrisch kontaktiert. Eine Elektronik 6 ist im zweiten Endbereich E2 innerhalb des Grundkörpers 7 angeordnet. Eine solche Ausführung eines erfindungsgemäßen Sensors 1 ist besonders kompakt und die notwendigen Herstellungsschritte werden weiter reduziert.
Ein erfindungsgemäßes, tragbares Messgerät 11 ist schließlich in Fig. 4 skizziert. Das Messgerät 11 umfasst ein Gehäuse 12 mit einem optionalen Griff 12a und einer Vorrichtung zur Probennahme 13, eine erfindungsgemäße Messzelle 10 mit einem, hier nicht gezeigten, erfindungsgemäßen Sensor 1 , und eine Elektronik 14 mit einer optionalen Anzeigeeinheit.
Bezugszeichenliste
1 Vibromischer Sensor
2 Sensoreinheit
3 Behälter
4 Schwingfähige Einheit
5 Antriebs-/Empfangseinheit
6 Elektronik
7 Grundkörper
8a, 8b piezoelektrische Elemente
9a, 9b Anschlussleitungen
10 Messzelle
11 tragbares Messgerät
12 Gehäuse mit Griff 12a
13 Vorrichtung zur Probennahme
14 Elektronik mit Anzeigeeinheit
M Medium m Mantelfläche

Claims

Patentansprüche
1 . Modularer vibronischer Sensor (1 ) zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums (M) mit einer Sensoreinheit (2), welche Sensoreinheit (2) einen, insbesondere elektrisch isolierenden, ersten rohrförmigen Grundkörper (7), ein erstes piezoelektrisches Element (8a), und ein zweites piezoelektrisches Element (8b) umfasst, wobei das erste (8a) und zweite (8b) piezoelektrische Element einander gegenüber liegend im Bereich einer Mantelfläche (m) des Grundkörpers (7) angeordnet sind.
2. Modularer vibronischer Sensor (1 ) nach Anspruch 1 , wobei die piezoelektrischen Elemente (8a, 8b) von außen oder von innen an dem rohrförmigen Grundkörper (7) befestigt, oder innerhalb einer Wandung des rohrförmigen Körpers (7) angeordnet sind.
3. Modularer vibronischer Sensor (1 ) nach Anspruch 1 oder 2, wobei der rohrförmige Körper (7) in einem ersten (Ei) und/oder zweiten Endbereich (E2) verschlossen ist.
4. Modularer vibronischer Sensor (1 ) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, wobei die piezoelektrischen Elemente (8a, 8b) und/oder eine Außenwandung des Grundkörpers (7) zumindest teilweise mit einer Beschichtung versehen ist/sind.
5. Modularer vibronischer Sensor (1 ) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, umfassend ein Filterelement, welches derart ausgestaltet und/oder angeordnet ist, dass es den rohrförmigen Grundkörper (7) zumindest teilweise umgibt, wobei das Filterelement insbesondere an dem Grundkörper (7) befestigbar ist. Messzelle (10) zur Analyse eines Mediums (M), umfassend einen modularen vibronischen Sensor (1) nach zumindest einem der Ansprüche 1-5. Tragbares Messgerät (11) zur Analyse eines Mediums (M), umfassend eine Messzelle (10) nach Anspruch 6, eine Elektronik (14) und eine Vorrichtung zur Probennahme (13). Verfahren zum Betreiben eines modularen vibronischen Sensors (1) nach zumindest einem der Ansprüche 1 -5 zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer ersten Prozessgröße eines Mediums (M), wobei die Sensoreinheit (2) mittels eines Anregesignals zu mechanischen Schwingungen angeregt wird, wobei die mechanischen Schwingungen der Sensoreinheit (2) empfangen und in ein erstes Empfangssignal umgewandelt werden, und wobei anhand des ersten Empfangssignals die zumindest eine Prozessgröße ermittelt wird. Verfahren nach Anspruch 8 zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer zweiten Prozessgröße eines Mediums (M), wobei ein Sendesignal ausgesendet wird, wobei ein Antwortsignal empfangen wird, und wobei anhand des Antwortsignals die zumindest eine zweite Prozessgröße bestimmt wird. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 8 oder 9, wobei die zumindest eine erste und zweite Prozessgröße abwechselnd bestimmt werden. Verwendung eines modularen vibronischen Sensors (1) nach zumindest einem der Ansprüche 1 -5 als Single-Use Sensor, als Laborgerät, zur
Validierung von Sensoren, als Gassensor zur Bestimmung und/oder Überwachung eines gasförmigen Mediums (M).
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Citations (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4034883C2 (de) * 1990-11-02 1994-05-05 Fibronix Sensoren Gmbh Vorrichtung zur Messung der Dichte einer Flüssigkeit
DE10050299A1 (de) 2000-10-10 2002-04-11 Endress Hauser Gmbh Co Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung der Viskosität eines Mediums in einem Behälter
DE10057974A1 (de) 2000-11-22 2002-05-23 Endress Hauser Gmbh Co Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung des Füllstands eines Mediums in einem Behälter bzw. zur Ermittlung der Dichte eines Mediums in einem Behälter
DE102005015547A1 (de) 2005-04-04 2006-10-05 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102006034105A1 (de) 2006-07-20 2008-01-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102006033819A1 (de) 2006-07-19 2008-01-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102007013557A1 (de) 2006-08-02 2008-02-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102007043811A1 (de) 2007-09-13 2009-03-19 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Bestimmung und/oder Überwachung der Viskosität und entsprechende Vorrichtung
DE102009026685A1 (de) 2009-06-03 2010-12-09 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Bestimmung oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstandes, einer Phasengrenze oder der Dichte eines Mediums
DE102009028022A1 (de) 2009-07-27 2011-02-03 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer pysikalischen Prozessgröße eines Mediums
DE102010030982A1 (de) 2010-07-06 2012-01-12 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Regelung der Phase in einem Schwingkreis
DE102012100728A1 (de) * 2012-01-30 2013-08-01 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße
ES2445593T3 (es) * 2009-11-30 2014-03-04 Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives Dispositivo de control del estado de avance de la cristalización de un baño de material fundido en un procedimiento de solidificación dirigida usando ultrasonidos
DE102015102834A1 (de) 2015-02-27 2016-09-01 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vibronischer Sensor
DE102016112743A1 (de) 2016-07-12 2018-01-18 Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg Vibronischer Sensor
DE102018127526A1 (de) 2018-11-05 2020-05-07 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102019110821A1 (de) 2019-04-26 2020-10-29 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102019116150A1 (de) 2019-06-13 2020-12-17 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102019116152A1 (de) 2019-06-13 2020-12-17 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102019116151A1 (de) 2019-06-13 2020-12-17 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102020105214A1 (de) 2020-02-27 2021-09-02 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102020116278A1 (de) 2020-06-19 2021-12-23 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10138360A1 (de) 2001-08-04 2003-02-27 Daimler Chrysler Ag Füllstandsmesssystem
DE102005062001A1 (de) 2005-12-22 2007-06-28 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung mindestens einer Messgröße eines Mediums
DE102009026692B4 (de) 2009-06-03 2023-11-02 Endress+Hauser SE+Co. KG Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung des Grenzfüllstands, der Dichte und/oder der Viskosität eines Mediums in einer Rohrleitung
EP2464951B1 (de) 2009-08-14 2019-05-29 Endress+Hauser SE+Co. KG Multivariabler sensor zur bestimmung und/oder überwachung des füllstands und der dichte und/oder der viskosität einer flüssigkeit im behälter
KR101103677B1 (ko) 2010-11-11 2012-01-11 박기주 부분방전 검출 기능을 갖는 유입 변압기 및 부분방전 검출방법
US9052230B2 (en) 2011-05-13 2015-06-09 Chevron U.S.A. Inc Industrial process monitoring and imaging
AT516421B1 (de) 2014-10-31 2016-07-15 Anton Paar Gmbh Verfahren und Messgerät zur Dichtemessung von fluiden Medien

Patent Citations (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4034883C2 (de) * 1990-11-02 1994-05-05 Fibronix Sensoren Gmbh Vorrichtung zur Messung der Dichte einer Flüssigkeit
DE10050299A1 (de) 2000-10-10 2002-04-11 Endress Hauser Gmbh Co Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung der Viskosität eines Mediums in einem Behälter
DE10057974A1 (de) 2000-11-22 2002-05-23 Endress Hauser Gmbh Co Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung und/oder Überwachung des Füllstands eines Mediums in einem Behälter bzw. zur Ermittlung der Dichte eines Mediums in einem Behälter
DE102005015547A1 (de) 2005-04-04 2006-10-05 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102006033819A1 (de) 2006-07-19 2008-01-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102006034105A1 (de) 2006-07-20 2008-01-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102007013557A1 (de) 2006-08-02 2008-02-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums
DE102007043811A1 (de) 2007-09-13 2009-03-19 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Bestimmung und/oder Überwachung der Viskosität und entsprechende Vorrichtung
DE102009026685A1 (de) 2009-06-03 2010-12-09 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Bestimmung oder Überwachung eines vorbestimmten Füllstandes, einer Phasengrenze oder der Dichte eines Mediums
DE102009028022A1 (de) 2009-07-27 2011-02-03 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer pysikalischen Prozessgröße eines Mediums
ES2445593T3 (es) * 2009-11-30 2014-03-04 Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives Dispositivo de control del estado de avance de la cristalización de un baño de material fundido en un procedimiento de solidificación dirigida usando ultrasonidos
DE102010030982A1 (de) 2010-07-06 2012-01-12 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zur Regelung der Phase in einem Schwingkreis
DE102012100728A1 (de) * 2012-01-30 2013-08-01 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße
DE102015102834A1 (de) 2015-02-27 2016-09-01 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Vibronischer Sensor
DE102016112743A1 (de) 2016-07-12 2018-01-18 Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg Vibronischer Sensor
DE102018127526A1 (de) 2018-11-05 2020-05-07 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102019110821A1 (de) 2019-04-26 2020-10-29 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102019116150A1 (de) 2019-06-13 2020-12-17 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
WO2020249317A1 (de) * 2019-06-13 2020-12-17 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer multisensor
DE102019116152A1 (de) 2019-06-13 2020-12-17 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102019116151A1 (de) 2019-06-13 2020-12-17 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102020105214A1 (de) 2020-02-27 2021-09-02 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor
DE102020116278A1 (de) 2020-06-19 2021-12-23 Endress+Hauser SE+Co. KG Vibronischer Multisensor

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