WO2023247153A1 - Modularer vibronischer multisensor - Google Patents

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WO2023247153A1
WO2023247153A1 PCT/EP2023/064688 EP2023064688W WO2023247153A1 WO 2023247153 A1 WO2023247153 A1 WO 2023247153A1 EP 2023064688 W EP2023064688 W EP 2023064688W WO 2023247153 A1 WO2023247153 A1 WO 2023247153A1
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WO
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oscillating
sensor
modular
vibronic
medium
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Application number
PCT/EP2023/064688
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English (en)
French (fr)
Inventor
Mohammad Sadegh Ebrahimi
Sergey Lopatin
Harald Bauer
Laura MIGNANELLI
Tobias Brengartner
Original Assignee
Endress+Hauser SE+Co. KG
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01N11/00—Investigating flow properties of materials, e.g. viscosity, plasticity; Analysing materials by determining flow properties
    • G01N11/10—Investigating flow properties of materials, e.g. viscosity, plasticity; Analysing materials by determining flow properties by moving a body within the material
    • G01N11/16—Investigating flow properties of materials, e.g. viscosity, plasticity; Analysing materials by determining flow properties by moving a body within the material by measuring damping effect upon oscillatory body
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N9/00—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity
    • G01N9/002—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis
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    • G01N9/002—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis
    • G01N2009/006—Investigating density or specific gravity of materials; Analysing materials by determining density or specific gravity using variation of the resonant frequency of an element vibrating in contact with the material submitted to analysis vibrating tube, tuning fork

Definitions

  • the invention relates to a modular vibronic sensor for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium.
  • the present invention further relates to a measuring cell comprising a sensor according to the invention, a portable measuring device for analyzing a medium with a measuring cell according to the invention and a method for operating a sensor according to the invention.
  • the medium is located, for example, in a container, for example in a container or in a pipeline, or in the measuring cell.
  • Vibronic sensors are often used in process and/or automation technology.
  • level measuring devices they have at least one mechanically oscillatable unit, such as a tuning fork, a single rod or a membrane.
  • a drive/receiving unit often in the form of an electromechanical converter unit, which in turn can be, for example, a piezoelectric drive or an electromagnetic drive.
  • the applicant produces a wide variety of corresponding field devices and sells them, for example, under the names LIQUIPHANT or SOLIPHANT.
  • the underlying measurement principles are in principle known from a large number of publications.
  • the drive/receiving unit stimulates the mechanically oscillatable unit to mechanical oscillations by means of an electrical excitation signal.
  • the drive/Z receiving unit can receive the mechanical vibrations of the mechanically oscillatable unit and convert them into an electrical reception signal.
  • the drive/receiver unit is accordingly either a separate drive unit and a separate receiver unit or a combined drive/receiver unit.
  • the drive/receiver unit is part of a feedback electrical oscillating circuit, by means of which the mechanically oscillatable unit is excited to produce mechanical oscillations.
  • the resonant circuit condition according to which the amplification factor is >1 and all phases occurring in the resonant circuit result in a multiple of 360°, must be fulfilled.
  • a certain phase shift between the excitation signal and the received signal must be guaranteed. Therefore, a predeterminable value for the phase shift, i.e. a setpoint for the phase shift between the excitation signal and the received signal, is often set.
  • Both the excitation signal and the received signal are characterized by their frequency w, amplitude A and/or phase ⁇ t>. Accordingly, changes in these variables are usually used to determine the respective process variable.
  • the process variable can be, for example, a fill level, a predetermined fill level, or the density or viscosity of the medium, as well as the flow.
  • a vibronic level switch for liquids for example, a distinction is made as to whether the oscillatable unit is covered by the liquid or vibrates freely. These two states, the free state and the covered state, are distinguished, for example, based on different resonance frequencies, i.e. based on a frequency shift.
  • the density and/or viscosity can only be determined with such a measuring device if the oscillatable unit is completely covered by the medium.
  • various options have also become known from the prior art, such as those in the documents DE10050299A1, DE102007043811A1, DE10057974A1, DE102006033819A1, DE102015102834A1 or DE1020161127 43A1 disclosed.
  • various vibronic multisensors have become known with which other process variables can be determined.
  • such sensors have been disclosed in which the ultrasonic measuring principle is used in addition to the vibronic measuring principle, such as the sensors from DE102018127526A1, DE102019116150A1, DE102019116151A1, DE102019116152, DE102019110821A1, DE102020105 214A1, DE102020116278A1, or the previously unpublished German patent application with the File number 102021122534.5.
  • the present invention is based on the object of further increasing the functionality of a vibronic sensor.
  • the sensor according to the invention is a modular, vibronic sensor for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium with a sensor unit.
  • the sensor unit comprises a, in particular electrically insulating, first base body and a first oscillating element, which has a first piezoelectric element and a first oscillating rod, and a second oscillating element, which has a second piezoelectric element and a second oscillating rod.
  • the first and second oscillating elements are each fastened in a first end region on or in the first base body.
  • the piezoelectric element in the first end region is attached to the oscillating rod by means of a connecting surface, in particular glued to the oscillating rod.
  • the two oscillating elements form a mechanically oscillatable unit, for example in the form of a tuning fork.
  • the two piezoelectric elements each form a drive/receiving unit for generating mechanical vibrations of the vibrating rods using a suitable excitation signal.
  • the mechanical vibrations are influenced by the properties of the medium, so that a statement about the at least one process variable can be generated based on at least one reception signal received by the vibrating rods, which represents the vibrations of the vibrating rods is.
  • the piezoelectric elements can also serve to generate a transmission signal, which is received in the form of a response signal. If the transmission signal passes through the medium at least temporarily and in sections on its path, it is also influenced by the physical and/or chemical properties of the medium and can accordingly be used to determine a process variable of the medium.
  • the vibronic measuring principle and the ultrasonic measuring principle.
  • This also allows, in particular, the simultaneous determination and/or monitoring of several, in particular different process variables.
  • the received signal and the response signal can advantageously be evaluated independently of one another and the number of process variables that can be determined can be significantly increased, which results in a higher functionality of the respective sensor or in an expanded area of application.
  • the modular sensor concept according to the invention enables particularly easy adaptability to different geometries.
  • the dimensions of the oscillating elements and the base body can be selected adaptively. In principle, differently designed oscillating elements can be used with the same base body.
  • the freedom of design not only affects the dimensions and choice of geometry, but also the materials used. This particularly advantageously allows miniaturization of corresponding vibronic sensors.
  • a sensor according to the invention can be produced particularly easily and inexpensively. For example, it is not necessary to manufacture a separate drive/receiver unit. Rather, the production of oscillating rods and the drive/receiving unit takes place together in one step.
  • the base body can have a partial area for accommodating electronics, so that a simplification of the sensor structure can also be achieved in this context.
  • the piezoelectric elements are at least partially arranged within the base body.
  • the vibrating rods are each an elongated, flat body, in particular a body with a substantially rectangular cross-sectional area. But other shapes for the cross-sectional area are also conceivable and fall within the scope of the present invention. Corners can also be rounded in some designs.
  • the oscillating rods can, for example, consist of a metal, a ceramic, plastic, a composite material or paper.
  • the two oscillating elements are arranged along an imaginary line through a center of a cross-sectional area of the base body and at the same distance from the center and are aligned parallel to one another.
  • the two oscillating rods are advantageously aligned parallel to one another, preferably with regard to the cross-sectional area of the oscillating rods. In this way, mechanical vibration decoupling is achieved.
  • the two oscillating elements are arranged relative to one another in such a way that the two piezoelectric elements, each attached to an oscillating rod, are positioned facing or away from each other.
  • each piezoelectric element and each oscillating rod of each oscillating element in particular in the first end region, is individually electrically contacted.
  • the piezoelectric elements and oscillating rods are each contacted in the area of a contact surface, which contact surface is arranged opposite the respective connection surface.
  • the piezoelectric elements are electrically contacted in the first end region, i.e. in the region in which the oscillating elements are attached to or in the base body.
  • the oscillating elements are at least partially provided with a coating.
  • the oscillating elements are advantageously provided with the coating at least in an area in contact with the media.
  • a wide variety of coating materials can be used. For example, it can be an insulating coating. But it can also be a water-absorbing coating.
  • the two oscillating rods are connected to one another in a second end region.
  • the connection can be made using an arcuate connecting element.
  • the two oscillating rods are formed from a U-shaped body. Then a first end region of the body forms the first oscillating rod and a second end region of the body forms the second oscillating rod. This further simplifies the manufacture of a sensor.
  • the senor according to the invention comprises a filter element which is designed and/or arranged in such a way that it at least partially surrounds the two oscillating elements.
  • the filter element comprises, for example, a, preferably porous, membrane or a selective membrane.
  • the filter element can be fastened in particular in the area of at least the first base body.
  • a measuring cell for analyzing a medium comprising a modular vibronic sensor according to the invention.
  • a measuring cell is in principle understood to be a closed volume with a, for example, universal connection for connecting a sensor.
  • the modular vibronic sensor according to the invention can be introduced into the measuring cell, for example, by means of the first base body.
  • the base body can be provided with a connecting element that is complementary to the connecting element of the measuring cell.
  • the object on which the invention is based is also achieved by a portable measuring device for analyzing a medium, comprising a measuring cell according to the invention, electronics and a device for sampling.
  • the electronics can, for example, have a display unit.
  • the portable measuring device is used, for example, to determine and/or monitor a process variable of a medium such as, but not exclusively, the density, viscosity or speed of sound of a medium or a concentration of a substance contained in the medium.
  • the object on which the invention is based is achieved by a method for operating a modular vibronic sensor according to the invention for determining and/or monitoring at least a first process variable of a medium, the sensor unit being excited to mechanical vibrations by means of an excitation signal, the mechanical vibrations of the sensor unit are received and converted into a received signal, and the at least one first process variable is determined based on the received signal.
  • the process variable is, for example, the fill level, the density or the viscosity of the medium.
  • the sensor unit includes the first and second oscillating elements.
  • the excitation signal is, for example, an electrical signal with at least one predeterminable frequency, in particular a sinusoidal or a rectangular signal.
  • the sensor unit is stimulated to resonate at least temporarily.
  • the mechanical vibrations are influenced by the medium surrounding the vibrating rods, so that conclusions can be drawn about various properties of the medium based on a received signal representing the vibrations.
  • the transmission signal is preferably an ultrasonic signal, in particular a pulsed one, in particular at least one ultrasonic pulse.
  • the second measurement method used in the context of the present invention is therefore an ultrasound-based measurement.
  • the transmission signal emitted at least partially passes through the medium and its properties are influenced by it. Accordingly, conclusions about different media can also be drawn based on the response signal received.
  • at least a second process variable of the medium is determined or monitored. For this purpose, a transmission signal is sent out and a response signal is received, with the at least one second process variable being determined based on the response signal.
  • the second process variable is, for example, the speed of sound of the medium.
  • the first oscillating element is acted upon by the transmission signal, with the response signal being received by the second oscillating element.
  • the at least one first and second process variable are determined alternately.
  • the sensor unit it is also possible for the sensor unit to be acted upon simultaneously by means of the excitation signal and by means of the transmission signal, with the excitation signal and the transmission signal being superimposed on one another.
  • the process variables that can be determined according to the invention are, for example, given by a predeterminable fill level, the density, the viscosity, the speed of sound or a variable derived from at least one of these variables.
  • the concentration(s) of one or two different substances in the medium can also be determined.
  • the density and/or viscosity of the medium is determined based on the received signal and the speed of sound within the medium is determined based on the response signal.
  • other process variables and/or parameters that are accessible by means of the two measurements carried out can also be determined and used to characterize the respective medium.
  • a sensor according to the invention, a measuring cell, a portable measuring device and the method can be used, for example, to monitor a fermentation process.
  • sugar is converted into ethanol.
  • it is therefore necessary to determine both the concentration of sugar and ethanol.
  • the senor according to the invention can also advantageously be used as a single-use sensor.
  • the sensor can be specifically adapted to the respective task.
  • Use in a laboratory is also advantageously possible, in particular for determining the respective process variable based on a comparatively small volume of liquid or a small sample quantity.
  • Another advantageous use relates to the validation of sensors, due to the simple and inexpensive manufacturability of the sensor according to the invention.
  • an advantageous use involves the use of a Sensor according to the invention as a gas sensor for determining and / or monitoring a gaseous medium.
  • a resonance frequency of a sensor according to the invention can be individually adapted to the respective application.
  • FIG. 3 shows a second possible embodiment of a modular vibronic sensor
  • Fig .6 a portable measuring device.
  • a vibronic sensor 1 with a sensor unit 2 is shown in FIG.
  • the sensor has a mechanically oscillatable unit 4 in the form of a tuning fork, which is partially immersed in a medium M which is located in a container 3.
  • the oscillatable unit 4 is excited to mechanical vibrations by means of the excitation/reception unit 5, and can be, for example, by a piezoelectric stack or bimorph drive.
  • Other vibronic sensors have, for example, electromagnetic drive receiving units 5. It is possible to use a single drive receiving unit 5, which is used to excite the mechanical vibrations and to detect them. However, it is also conceivable to implement a drive unit and a receiving unit.
  • an electronics unit 6 by means of which the signal is detected, evaluated and/or fed.
  • FIG. 2 A first exemplary embodiment of a modular vibronic sensor 1 according to the invention is sketched in FIG. 2.
  • the sensor 1 has a sensor unit 2 comprising a, in particular insulating, base body 7, a first oscillating element 8, which has at least a first piezoelectric element 10a and a first oscillating rod 9a, and a second oscillating element 11, which has at least a second piezoelectric element 10b and has a second oscillating rod 9b.
  • the two oscillating elements 8, 11 are fastened in a first end region Ei in the base body 7 and the piezoelectric elements 10a, 10b are each fastened to the respective oscillating rod 9a, 9b by means of a connecting surface V.
  • the geometric shape of the vibrating rods 9a, 9b each preferably has an elongated cross-sectional area. It can be modeled on conventional vibrating rods of a vibronic sensor.
  • the piezoelectric elements 10a, 10b are arranged completely within the base body 7. However, this is by no means mandatory for the present invention.
  • the two oscillating elements 8, 11 are also arranged relative to one another in such a way that the two piezoelectric elements 10a, 10b, each attached to an oscillating rod 9a, 9b, are positioned facing each other.
  • the piezoelectric elements 10a, 10b can also be positioned facing away from each other.
  • the two piezoelectric elements 10a, 10b of each oscillating element 8, 11 are also individually contacted by means of the connecting lines 12a, 12b, here in the first end region Ei.
  • the electrical contacting takes place in the area of a contact surface K, which contact surface K is arranged opposite the respective connection surface V and is contacted.
  • the two oscillating rods 9a, 9b are connected to one another in a second end region E2.
  • the vibrating rods 8, 11 are formed from a U-shaped body 13, as illustrated in Fig. 3b. This has the advantage that in a first manufacturing step the first 10a and second 10b piezoelectric element is fastened in the two end regions a, b of the body 13. In a second production area, the body is bent and fastened in or on the base body 7.
  • FIG. 1 A preferred arrangement of the two oscillating elements 8, 11 relative to one another and to the base body 7 is shown in FIG.
  • the two oscillating elements 8, 11 are arranged along an imaginary line I through a center point m of a cross-sectional area of the base body 7 and at the same distance from the center point m and aligned parallel to one another.
  • the cross-sectional area has a round shape.
  • such a design of the cross-sectional area of the base body 7 is not absolutely necessary.
  • FIG. 5 shows a measuring cell 14 according to the invention with a sensor 1 according to the invention similar to that from FIG. 2.
  • the base body 7 in the sensor variant from FIG. 5 is also used to accommodate the electronics 6.
  • Such an embodiment of a sensor 1 according to the invention is particularly compact and the necessary manufacturing steps are further reduced.
  • a portable measuring device 15 according to the invention is finally sketched in FIG.
  • the measuring device 15 comprises a housing 16 with an optional handle 16a and a device for sampling 17, a measuring cell 14 according to the invention with a sensor 1 according to the invention, not shown here, and electronics 18 with an optional display unit.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen modularen vibronischen Sensor (1) zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums (M) mit einer Sensoreinheit (2), welche Sensoreinheit (2) einen, insbesondere elektrisch isolierenden, Grundkörper (7), ein erstes Schwingelement (8), welches zumindest ein erstes piezoelektrisches Element (10a) und einen ersten Schwingstab (9a) aufweist, und ein zweites Schwingelement (11), welches zumindest ein zweites piezoelektrisches Element (10b) und einen zweiten Schwingstab (9b) aufweist, umfasst. Erfindungsgemäß sind das erste (8) und zweite (11) Schwingelement jeweils in einem ersten Endbereich (E1) an oder in dem Grundkörper (7) befestigt, wobei für jedes Schwingelement (8, 11) das piezoelektrische Element (10a, 10b) in dem ersten Endbereich (E1) vermittels einer Verbindungs-Fläche (V) an dem Schwingstab (9a, 9b) befestigt ist. Die Erfindung betrifft zudem eine Messzelle (13) mit einem erfindungsgemäßen Sensor (1), ein tragbares Messgerät (14) mit einer erfindungsgemäßen Messzelle (14) und ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen Sensors (1).

Description

Modularer vibronischer Multisensor
Die Erfindung betrifft einen modularen vibronischen Sensor zur Bestimmung und/oder Überwachung von zumindest einer Prozessgröße eines Mediums. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung eine Messzelle umfassend einen erfindungsgemäßen Sensor, ein tragbares Messgerät zur Analyse eines Mediums mit einer erfindungsgemäßen Messzelle und ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen Sensors.
Das Medium befindet sich beispielsweise in einem Behältnis, beispielsweise in einem Behälter oder in einer Rohrleitung, oder in der Messzelle.
Vibronische Sensoren finden vielfach Anwendung in der Prozess- und/oder Automatisierungstechnik. Im Falle von Füllstandsmessgeräten weisen sie zumindest eine mechanisch schwingfähige Einheit, wie beispielsweise eine Schwinggabel, einen Einstab oder eine Membran auf. Diese wird im Betrieb mittels einer Antriebs-ZEmpfangseinheit, häufig in Form einer elektromechanischen Wandlereinheit, zu mechanischen Schwingungen angeregt, welche wiederum beispielsweise ein piezoelektrischer Antrieb oder ein elektromagnetischer Antrieb sein kann. Entsprechende Feldgeräte werden von der Anmelderin in großer Vielfalt hergestellt und beispielsweise unter der Bezeichnung LIQUIPHANT oder SOLIPHANT vertrieben. Die zugrundeliegenden Messprinzipien sind im Prinzip aus einer Vielzahl von Veröffentlichungen bekannt. Die Antriebs-ZEmpfangseinheit regt die mechanisch schwingfähige Einheit mittels eines elektrischen Anregesignals zu mechanischen Schwingungen an. Umgekehrt kann die Antriebs- ZEmpfangseinheit die mechanischen Schwingungen der mechanisch schwingfähigen Einheit empfangen und in ein elektrisches Empfangssignal umwandeln. Bei der Antriebs-ZEmpfangseinheit handelt es sich entsprechend entweder um eine separate Antriebseinheit und eine separate Empfangseinheit oder um eine kombinierte Antriebs-ZEmpfangseinheit.
Dabei ist die Antriebs-ZEmpfangseinheit in vielen Fällen Teil eines rückgekoppelten elektrischen Schwingkreises, mittels welchem die Anregung der mechanisch schwingfähigen Einheit zu mechanischen Schwingungen erfolgt. Beispielsweise muss für eine resonante Schwingung die Schwingkreisbedingung, gemäß welcher der Verstärkungsfaktor >1 ist und alle im Schwingkreis auftretenden Phasen ein Vielfaches von 360° ergeben, erfüllt sein. Zur Anregung und Erfüllung der Schwingkreisbedingung muss eine bestimmte Phasenverschiebung zwischen dem Anregesignal und dem Empfangssignal gewährleistet sein. Deshalb wird häufig ein vorgebbarer Wert für die Phasenverschiebung, also ein Sollwert für die Phasenverschiebung zwischen dem Anregesignal und dem Empfangssignal eingestellt. Hierfür sind aus dem Stand der Technik unterschiedlichste Lösungen, sowohl analoge als auch digitale Verfahren, bekannt geworden, wie beispielsweise in den Dokumenten DE102006034105A1 , DE102007013557A1 , DE102005015547A1 , DE102009026685A1 , DE102009028022A1 , DE102010030982A1 oder DE102010030982A1 beschrieben.
Sowohl das Anregesignal als auch das Empfangssignal sind charakterisiert durch ihre Frequenz w, Amplitude A und/oder Phase <t>. Entsprechend werden Änderungen in diesen Größen üblicherweise zur Bestimmung der jeweiligen Prozessgröße herangezogen. Bei der Prozessgröße kann es sich beispielsweise um einen Füllstand, einen vorgegebenen Füllstand, oder auch um die Dichte oder die Viskosität des Mediums, sowie um den Durchfluss handeln. Bei einem vibronischen Grenzstandschalters für Flüssigkeiten wird beispielsweise unterschieden, ob die schwingfähige Einheit von der Flüssigkeit bedeckt ist oder frei schwingt. Diese beiden Zustände, der Freizustand und der Bedecktzustand, werden dabei beispielsweise anhand unterschiedlicher Resonanzfrequenzen, also anhand einer Frequenzverschiebung, unterschieden.
Die Dichte und/oder Viskosität wiederum lassen sich mit einem derartigen Messgerät nur ermitteln, wenn die schwingfähige Einheit vollständig vom Medium bedeckt ist. Im Zusammenhang mit der Bestimmung der Dichte und/oder Viskosität sind ebenfalls unterschiedliche Möglichkeiten aus dem Stand der Technik bekannt geworden, wie beispielswiese die in den Dokumenten DE10050299A1 , DE102007043811A1 , DE10057974A1 , DE102006033819A1 , DE102015102834A1 oder DE102016112743A1 offenbarten.
Mit einem vibronischen Sensor lassen sich entsprechend mehrere Prozessgrößen bestimmen und für eine Charakterisierung des jeweiligen Prozesses heranziehen. In vielen Fällen werden für eine umfassende Prozessüberwachung und/oder -kontrolle allerdings weitere Informationen über den Prozess, insbesondere Kenntnis über weitere physikalische und/oder chemische Prozessgrößen und/oder -parameter benötigt. Dies kann beispielsweise durch die Integration weiterer Feldgeräte in den jeweiligen Prozess erreicht werden. Dann können die von den verschiedenen Messgeräten zur Verfügung gestellten Messwerte in einer den Geräten übergeordneten Einheit geeignet weiterverarbeitet werden.
Zudem sind verschiedene vibronische Multisensoren bekannte geworden, mit welchen sich weitere Prozessgrößen ermitteln lassen. Beispielsweise sind solche Sensoren offenbart worden, bei welchem neben dem vibronischen Messprinzip das Ultraschall-Messprinzip zum Einsatz kommt, wie beispielsweise die Sensoren aus DE102018127526A1 , DE102019116150A1 , DE102019116151A1 , DE102019116152, DE102019110821A1 , DE102020105214A1 , DE102020116278A1 , oder auch der bisher unveröffentlichten, deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 102021122534.5. Ausgehend vom genannten Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, die Funktionalität eines vibronischen Sensors weiter zu vergrößern.
Diese Aufgabe wird gelöst durch den modularen, vibronischen Sensor nach Anspruch 1 , durch die Messzelle nach Anspruch 11 , das tragbare Messgerät nach Anspruch 12, das Verfahren nach Anspruch 13, sowie durch die Verwendung eines erfindungsgemäßen Sensors nach Anspruch 17.
Bei dem erfindungsgemäßen Sensor handelt es sich um einen modularen, vibronischen Sensor zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums mit einer Sensoreinheit. Die Sensoreinheit umfasst einen, insbesondere elektrisch isolierenden, ersten Grundkörper sowie ein erstes Schwingelement, welches ein erstes piezoelektrisches Element und einen ersten Schwingstab aufweist, und ein zweites Schwingelement, welches ein zweites piezoelektrisches Element und einen zweiten Schwingstab aufweist.
Erfindungsgemäß sind das erste und zweite Schwingelement jeweils in einem ersten Endbereich an oder in dem ersten Grundkörper befestigt. Zudem ist für jedes Schwingelement das piezoelektrische Element in dem ersten Endbereich vermittels einer Verbindungs-Fläche an dem Schwingstab befestigt, insbesondere an den Schwingstab geklebt.
Die beiden Schwingelemente bilden eine mechanisch schwingfähige Einheit, beispielsweise in der Form einer Schwinggabel. Die beiden piezoelektrischen Elemente bilden jeweils eine Antriebs- ZEmpfangseinheit zur Erzeugung von mechanischen Schwingungen der Schwingstäbe mittels eines geeigneten Anregesignals. Die mechanischen Schwingungen werden im Falle, dass die Schwingstäbe zumindest teilweise von Medium bedeckt sind, von den Eigenschaften des Mediums beeinflusst, so dass anhand zumindest eines von den Schwingstäben empfangenen Empfangssignals, welches die Schwingungen der Schwingstäbe repräsentiert, eine Aussage über die zumindest eine Prozessgröße generierbar ist.
Die piezoelektrischen Elemente können aber auch der Erzeugung eines Sendesignals, welches in Form eines Antwortsignals empfangen wird, dienen. Wenn das Sendesignal auf seinem Weg zumindest zeitweise und abschnittsweise das Medium durchläuft, wird es ebenfalls durch die physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften des Mediums beeinflusst und kann entsprechend zur Bestimmung einer Prozessgröße des Mediums herangezogen werden.
Somit ist es auch möglich, zumindest zwei Messprinzipien in einer einzigen Vorrichtung zu realisieren, nämlich das vibronische Messprinzip und das Ultraschall-Messprinzip. Dies erlaubt insbesondere auch die simultane Bestimmung und/oder Überwachung mehrerer, insbesondere auch verschiedener, Prozessgrößen. Dabei können das Empfangssignal und das Antwortsignal vorteilhaft unabhängig voneinander ausgewertet und die Anzahl ermittelbarer Prozessgrößen deutlich erhöht werden, was zu einer höheren Funktionalität des jeweiligen Sensors bzw. in einem erweiterten Anwendungsbereich resultiert.
Das erfindungsgemäße, modulare Sensorkonzept ermöglicht dabei eine besonders einfache Anpassbarkeit auf verschiedene Geometrien. Die Dimensionierung der Schwingelemente und des Grundkörpers können adaptiv gewählt werden. Im Prinzip können unterschiedlich ausgestaltete Schwingelemente mit demselben Grundkörper verwendet werden. Die Gestaltungsfreiheit betrifft nicht nur die Dimensionierung und Geometriewahl, sondern auch die jeweils verwendeten Materialien. Dies erlaubt besonders vorteilhaft eine Miniaturisierung entsprechender vibronischer Sensoren.
Darüber hinaus ist ein erfindungsgemäßer Sensor besonders einfach und kostengünstig herstellbar. Beispielsweise ist keine Fertigung einer separaten Antriebs-ZEmpfangseinheit notwendig. Die Herstellung von Schwingstäben und Antriebs-ZEmpfangseinheit erfolgt vielmehr gemeinsam in einem Schritt. Zudem kann der Grundkörper in einem Teilbereich zur Aufnahme einer Elektronik aufweisen, so dass auch in diesem Zusammenhang eine Vereinfachung des Sensoraufbaus erreichbar ist.
In einer Ausgestaltung sind die piezoelektrischen Elemente zumindest teilweise innerhalb des Grundkörpers angeordnet.
In einer weiteren Ausgestaltung handelt es sich bei den Schwingstäben jeweils um einen länglichen, flachen Körper, insbesondere um einen Körper mit im Wesentlichen rechteckiger Querschnittsfläche. Aber auch andere Formen für die Querschnittsfläche sind denkbar und fallen unter die vorliegende Erfindung. Ecken können in manchen Ausgestaltungen zudem abgerundet sein. Die Schwingstäbe können beispielsweise aus einem Metall, einer Keramik, aus Kunststoff, einem Verbundmaterial oder Papier bestehen.
Es ist ferner von Vorteil, wenn die beiden Schwingelemente entlang einer gedachten Linie durch einen Mittelpunkt einer Querschnittsfläche des Grundkörpers und im gleichen Abstand zu dem Mittelpunkt angeordnet und parallel zueinander ausgerichtet sind. Vorteilhaft sind die beiden Schwingstäbe parallel zueinander ausgerichtet, vorzugsweise mit Hinblick auf die Querschnittsfläche der Schwingstäbe. Auf diese Weise wird eine mechanische Schwingungsentkopplung erreicht. Es ist weiterhin von Vorteil, wenn die beiden Schwingelemente derart relativ zueinander angeordnet sind, dass die beiden jeweils an einem Schwingstab befestigten piezoelektrischen Elemente einander zugewandt oder einander abgewandt positioniert sind.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist jedes piezoelektrische Element und jeder Schwingstab eines jeden Schwingelements, insbesondere im ersten Endbereich, einzeln elektrisch kontaktiert. Insbesondere sind die piezoelektrischen Elemente und Schwingstäbe jeweils im Bereich einer Kontakt-Fläche, welche Kontakt-Fläche jeweils gegenüber derjeweiligen Verbindungs-Fläche angeordnet ist, kontaktiert.
Es ist von Vorteil, wenn die piezoelektrischen Elemente im ersten Endbereich elektrisch kontaktiert sind, also in dem Bereich, in dem die Schwingelemente an oder in dem Grundkörper befestigt sind.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung sind die Schwingelemente zumindest teilweise mit einer Beschichtung versehen. Vorteilhaft sind die Schwingelemente zumindest in einem medienberührenden Bereich mit der Beschichtung versehen. Dabei können unterschiedlichste Beschichtungsmaterialien verwendet werden. Beispielsweise kann es sich um eine isolierende Beschichtung handeln. Es kann sich aber ebenso um eine wasseraufnehmende Beschichtung handeln.
In noch einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Sensors sind die beiden Schwingstäbe in einem zweiten Endbereich miteinander verbunden. Beispielsweise kann die Verbindung mittels eines bogenförmigen Verbindungselements vorgenommen werden.
In dieser Hinsicht ist es von Vorteil, wenn die beiden Schwingstäbe aus einem U-förmigen Körper gebildet sind. Dann bildet ein erster Endbereich des Körpers den ersten Schwingstab und ein zweiter Endbereich des Körpers den zweiten Schwingstab. Dies vereinfacht die Herstellung eines Sensors weiter.
In einer weiteren Ausgestaltung umfasst der erfindungsgemäße Sensor ein Filterelement, welches derart ausgestaltet und/oder angeordnet ist, dass es die beiden Schwingelemente zumindest teilweise umgibt. Das Filterelement umfasst beispielsweise eine, vorzugsweise poröse, Membran oder eine selektive Membran. Das Filterelement ist insbesondere im Bereich zumindest des ersten Grundkörpers befestigbar.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird ferner gelöst durch eine Messzelle zur Analyse eines Mediums umfassend einen erfindungsgemäßen modularen vibronischen Sensor. Unter einer Messzelle wird erfindungsgemäß im Prinzip ein abgeschlossenes Volumen mit einem, beispielsweise universellen Anschluss zum Anschließen eines Sensors verstanden. Der erfindungsgemäße modulare vibronische Sensor ist beispielsweise vermittels des ersten Grundkörpers in die Messzelle einbringbar. Dazu kann der Grundkörper mit einem zu dem Anschlusselement der Messzelle komplementär ausgestalten Anschlusselement versehen ist.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird außerdem gelöst durch ein tragbares Messgerät zur Analyse eines Mediums, umfassend eine erfindungsgemäße Messzelle, eine Elektronik und eine Vorrichtung zur Probennahme. Die Elektronik kann beispielsweise über eine Anzeigeeinheit verfügen. Das tragbare Messgerät dient beispielsweise zur Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße eines Mediums wie beispielsweise, aber nicht ausschließlich, der Dichte, Viskosität oder Schallgeschwindigkeit eines Mediums oder um eine Konzentration einer Substanz, welche in dem Medium enthalten ist.
Ferner wird die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zum Betreiben eines erfindungsgemäßen modularen vibronischen Sensors zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer ersten Prozessgröße eines Mediums, wobei die Sensoreinheit mittels eines Anregesignals zu mechanischen Schwingungen angeregt wird, wobei die mechanischen Schwingungen der Sensoreinheit empfangen und in ein Empfangssignal umgewandelt werden, und wobei anhand des Empfangssignals die zumindest eine erste Prozessgröße ermittelt wird. Bei der Prozessgröße handelt es sich beispielsweise um den Füllstand, die Dichte oder die Viskosität des Mediums. Die Sensoreinheit umfasst das erste und zweite Schwingelement.
Bei dem Anregesignal handelt es sich beispielsweise um ein elektrisches Signal mit zumindest einer vorgebbaren Frequenz, insbesondere um ein sinusförmiges oder um ein rechteckförmiges Signal. Vorzugsweise wird die Sensoreinheit zumindest zeitweise zu Resonanzschwingungen angeregt. Die mechanischen Schwingungen werden durch das die Schwingstäbe umgebende Medium beeinflusst, so dass anhand eines die Schwingungen repräsentierenden Empfangssignals Rückschlüsse auf verschiedene Eigenschaften des Mediums möglich sind.
Bei dem Sendesignal handelt es sich bevorzugt um ein, insbesondere gepulstes, Ultraschallsignal, insbesondere um zumindest einen Ultraschallpuls. Als zweites angewendetes Messverfahren wird demnach im Rahmen der vorliegenden Erfindung eine Ultraschall-basierte Messung durchgeführt. Das jeweils ausgesendete Sendesignal durchläuft zumindest teilweise das Medium und wird von diesem in seinen Eigenschaften beeinflusst. Entsprechend können anhand des jeweils empfangenen Antwortsignals ebenfalls Rückschlüsse auf verschiedene Medien gezogen werden. In noch einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zumindest eine zweite Prozessgröße des Mediums bestimmt oder überwacht. Dazu wird ein Sendesignal ausgesendet, ein Antwortsignal empfangen, wobei anhand des Antwortsignals die zumindest eine zweite Prozessgröße bestimmt wird. Bei der zweiten Prozessgröße handelt es sich beispielsweise um die Schallgeschwindigkeit des Mediums.
In diesem Zusammenhang ist es von Vorteil, wenn das erste Schwingelement mit dem Sendesignal beaufschlagt wird, wobei das Antwortsignal von dem zweiten Schwingelement empfangen wird.
Es ist ferner von Vorteil, wenn die zumindest eine erste und zweite Prozessgröße abwechselnd bestimmt werden. Es ist aber ebenfalls möglich, dass die Sensoreinheit gleichzeitig mittels des Anregesignals und mittels des Sendesignals beaufschlagt wird, wobei das Anregesignal und das Sendesignal einander überlagert werden.
Die erfindungsgemäß ermittelbaren Prozessgrößen sind beispielsweise gegeben durch einen vorgebbaren Füllstand, die Dichte, die Viskosität, die Schallgeschwindigkeit oder eine aus zumindest einer dieser Größen abgeleitete Größe. Auch die Konzentration/Konzentrationen von einer oder zwei unterschiedlichen Substanzen in dem Medium kann/können ermittelt werden. Besonders bevorzugt wird anhand des Empfangssignals die Dichte und/oder Viskosität des Mediums und anhand des Antwortsignals die Schallgeschwindigkeit innerhalb des Mediums bestimmt. Es versteht sich jedoch von selbst, dass neben den hier explizit genannten Prozessgrößen auch weitere Prozessgrößen und/oder -parameter, welche mittels der beiden durchgeführten Messungen zugänglich sind, ebenfalls bestimmt und für eine Charakterisierung des jeweiligen Mediums herangezogen werden können.
Ein erfindungsgemäßer Sensor, eine Messzelle, ein tragbares Messgerät sowie das Verfahren können beispielsweise verwendet werden zur Überwachung eines Gärprozesses. Bei einer Gärung wird Zucker in Ethanol umgewandelt. Um eine qualitative Überwachung gewährleisten zu können, ist es deshalb erforderlich, sowohl die Konzentration von Zucker als auch von Ethanol zu bestimmen.
Zudem kann der erfindungsgemäße Sensor vorteilhaft auch als Single-Use Sensor verwendet werden. Dabei kann der Sensor jeweils spezifisch an die jeweilige Aufgabe angepasst werden. Möglich ist vorteilhaft ferner auch eine Verwendung in einem Labor, insbesondere zur Ermittlung der jeweiligen Prozessgröße anhand eines vergleichsweise geringen Flüssigkeitsvolumens bzw. einer kleinen Probenmenge. Eine weitere vorteilhafte Verwendung betrifft die Validierung von Sensoren, und zwar aufgrund der einfachen und kostengünstigen Hersteilbarkeit des erfindungsgemäßen Sensors. Schließlich betrifft eine vorteilhafte Verwendung die Verwendung eines erfindungsgemäßen Sensors als Gassensor zur Bestimmung und/oder Überwachung eines gasförmigen Mediums. Insbesondere kann eine Resonanzfrequenz eines erfindungsgemäßen Sensors jeweils individuell an die jeweilige Applikation angepasst werden.
Es sei darauf verwiesen, dass die im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Sensor beschriebenen Ausgestaltungen sich mutatis mutandis auch auf die erfindungsgemäße Messzelle, das erfindungsgemäße tragbare Messgerät und das erfindungsgemäße Verfahren anwenden lassen und umgekehrt.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 : eine schematische Skizze eines vibronischen Sensors gemäß Stand der Technik,
Fig. 2 eine erste mögliche Ausgestaltung eines modularen vibronischen Sensors;
Fig. 3 eine zweite mögliche Ausgestaltung eines modularen vibronischen Sensor;
Fig. 4 eine schematische Darstellung einer bevorzugten Anordnung der Schwingstäbe auf dem Grundkörper,
Fig. 5 eine erfindungsgemäße Messzelle, und
Fig .6 ein tragbares Messgerät.
In den Figuren sind gleiche Elemente jeweils mit demselben Bezugszeichen versehen.
In Fig. 1 ist ein vibronischer Sensor 1 mit einer Sensoreinheit 2 gezeigt. Der Sensor verfügt über eine mechanisch schwingfähige Einheit 4 in Form einer Schwinggabel, welche teilweise in ein Medium M eintaucht, welches sich in einem Behälter 3 befindet. Die schwingfähige Einheit 4 wird mittels der Anrege-ZEmpfangseinheit 5 zu mechanischen Schwingungen angeregt, und kann beispielsweise durch einen piezoelektrischen Stapel- oder Bimorphantrieb sein. Andere vibronische Sensoren verfügen beispielsweise über elektromagnetische Antriebs-ZEmpfangseinheiten 5. Es ist sowohl möglich, eine einzige Antriebs-ZEmpfangseinheit 5 zu verwenden, welche zur Anregung der mechanischen Schwingungen sowie zu deren Detektion dient. Ebenso ist es aber denkbar, je eine Antriebseinheit und eine Empfangseinheit zu realisieren. Dargestellt ist in Fig. 1 ferner eine Elektronikeinheit 6, mittels welcher die Signalerfassung, -auswertung und/oder -speisung erfolgt. Eine erste beispielhafte Ausgestaltung eines erfindungsgemäßen, modularen vibronischen Sensors 1 ist in Fig. 2 skizziert. Der Sensor 1 verfügt über eine Sensoreinheit 2 umfassend einen, insbesondere isolierenden, Grundkörper 7, ein erstes Schwingelement 8, welches zumindest ein erstes piezoelektrisches Element 10a und einen ersten Schwingstab 9a aufweist, und ein zweites Schwingelement 11 , welches zumindest ein zweites piezoelektrisches Element 10b und einen zweiten Schwingstab 9b aufweist.
Die beiden Schwingelemente 8, 11 sind in einem ersten Endbereich Ei in dem Grundkörper 7 befestigt und die piezoelektrischen Elemente 10a, 10b sind jeweils vermittels einer Verbindungs- Fläche V an dem jeweiligen Schwingstab 9a, 9b befestigt. Die geometrische Form der Schwingstäbe 9a, 9b weist jeweils vorzugsweise eine längliche Querschnittsfläche auf. Sie kann herkömmlichen Schwingstäben eines vibronischen Sensors nachgebildet sein. In der vorliegend gezeigten Ausgestaltungen sind die piezoelektrischen Elemente 10a, 10b vollständig innerhalb des Grundkörpers 7 angeordnet. Die ist allerdings keineswegs zwingend für die vorliegende Erfindung.
Die beiden Schwingelemente 8,11 sind ferner derart relativ zueinander angeordnet, dass die beiden jeweils an einem Schwingstab 9a, 9b befestigten piezoelektrischen Elemente 10a, 10b einander zugewandt positioniert sind. In anderen Ausgestaltungen können die piezoelektrischen Elemente 10a, 10b auch einander abgewandt positioniert sein.
Die beiden piezoelektrischen Elemente 10a, 10b eines jeden Schwingelements 8, 11 sind darüber hinaus einzeln vermittels der Anschlussleitungen 12a, 12b kontaktiert, hier im ersten Endbereich Ei. Die elektrische Kontaktierung erfolgt dabei jeweils im Bereich einer Kontakt-Fläche K, welche Kontakt-Fläche K jeweils gegenüber der jeweiligen Verbindungs-Fläche V angeordnet ist, kontaktiert sind.
Bei der in Fig. 3a dargestellten Ausgestaltung sind die beiden Schwingstäbe 9a, 9b in einem zweiten Endbereich E2 miteinander verbunden. Die Schwingstäbe 8, 11 sind aus einem U-förmigen Körper 13 gebildet, wie in Fig. 3b illustriert. Dies hat den Vorteil, dass in einem ersten Herstellungsschritt das erste 10a und zweite 10b piezoelektrischen Element in den beiden Endbereichen a,b des Körpers 13 befestigt. In einem zweiten Herstellungsbereich wird der Körper gebogen und in oder an dem Grundkörper 7 befestigt.
Eine bevorzugte Anordnung der beiden Schwingelemente 8, 11 relativ zueinander und zum Grundkörper 7 ist in Fig. 4 dargestellt. Die beiden Schwingelemente 8,11 sind entlang einer gedachten Linie I durch einen Mittelpunkt m einer Querschnittsfläche des Grundkörpers 7 und im gleichen Abstand zu dem Mittelpunkt m angeordnet und parallel zueinander ausgerichtet. Im vorliegenden Fall weist die Querschnittsfläche eine runde Form auf. Eine solche Ausgestaltung der Querschnittsfläche des Grundkörpers 7 ist aber nicht zwingend notwendig.
In Fig. 5 ist eine erfindungsgemäße Messzelle 14 mit einem erfindungsgemäßen Sensor 1 ähnlich wie der aus Fig. 2, gezeigt. In dem Grundkörper 7 bei der Sensorvariante aus Fig. 5 ist der Grundkörper 7 zudem zur Aufnahme der Elektronik 6. Eine solche Ausführung eines erfindungsgemäßen Sensors 1 ist besonders kompakt und die notwendigen Herstellungsschritte werden weiter reduziert. Ein erfindungsgemäßes, tragbares Messgerät 15 ist schließlich in Fig. 6 skizziert. Das Messgerät 15 umfasst ein Gehäuse 16 mit einem optionalen Griff 16a und einer Vorrichtung zur Probennahme 17, eine erfindungsgemäße Messzelle 14 mit einem, hier nicht gezeigten, erfindungsgemäßen Sensor 1 , und eine Elektronik 18 mit einer optionalen Anzeigeeinheit.
Bezugszeichenliste
1 Vibronischer Sensor
2 Sensoreinheit
3 Behälter
4 Schwingfähige Einheit
5 Antriebs-ZEmpfangseinheit
6 Elektronik
7 Grundkörper
8 erstes Schwingelement
9a, 9b piezoelektrische Elemente
10a, 10b piezoelektrische Elemente
11 zweites Schwingelement
12a, 12b Anschlussleitungen
13 U-förmiger Körper
14 Messzelle
15 tragbares Messgerät
16 Gehäuse mit Griff 16a
17 Vorrichtung zur Probennahme
18 Anzeigeeinheit und Elektronik
M Medium
V Verbindungs-Fläche
K Kontakt-Fläche m Mittelpunkt
I gedachte Linie

Claims

Patentansprüche Modularer vibronischer Sensor (1) zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums (M) mit einer Sensoreinheit (2), welche Sensoreinheit (2) einen, insbesondere elektrisch isolierenden, Grundkörper (7), ein erstes Schwingelement (8), welches zumindest ein erstes piezoelektrisches Element (10a) und einen ersten Schwingstab (9a) aufweist, und ein zweites Schwingelement (11), welches zumindest ein zweites piezoelektrisches Element (10b) und einen zweiten Schwingstab (9b) aufweist, umfasst, wobei das erste (8) und zweite (11) Schwingelement jeweils in einem ersten Endbereich (Ei) an oder in dem Grundkörper (7) befestigt sind, und wobei für jedes Schwingelement (8, 11) das piezoelektrische Element (10a, 10b) in dem ersten Endbereich (Ei) vermittels einer Verbindungs-Fläche (V) an dem Schwingstab (9a, 9b) befestigt ist. Modularer vibronischer Sensor (1) nach Anspruch 1 , wobei die piezoelektrischen Elemente (10a, 10b) zumindest teilweise innerhalb des Grundkörpers (7) angeordnet sind. Modularer vibronischer Sensor (1) nach Anspruch 1 oder 2, wobei es sich bei den Schwingstäben (9a, 9b) jeweils um einen länglichen, flachen Körper handelt, insbesondere um Körper mit im Wesentlichen rechteckiger Querschnittsfläche. Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, wobei die beiden Schwingelemente (8, 11) entlang einer gedachten Linie (I) durch einen Mittelpunkt (m) einer Querschnittsfläche des Grundkörpers (7) im gleichen Abstand zu dem Mittelpunkt (m) angeordnet und parallel zueinander ausgerichtet sind. Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, wobei die beiden Schwingelemente (8, 11) derart relativ zueinander angeordnet sind, dass die beiden jeweils an einem Schwingstab (9a, 9b) befestigten piezoelektrischen Elemente (10a, 10b) einander zugewandt oder einander abgewandt positioniert sind. Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, wobei jedes piezoelektrische Element (10a, 10b) eines jeden Schwingelements (8, 11), insbesondere im ersten Endbereich (Ei), einzeln elektrisch kontaktiert ist, insbesondere wobei die piezoelektrischen Elemente (10a, 10b) jeweils im Bereich einer Kontakt-Fläche (K), welche Kontakt-Fläche (K) jeweils gegenüber derjeweiligen Verbindungs-Fläche (V) angeordnet ist, kontaktiert sind.
7. Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Schwingelemente (8, 11) mit einer Beschichtung versehen sind.
8. Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, wobei die beiden Schwingstäbe (8, 11) in einem zweiten Endbereich (E2) miteinander verbunden sind.
9. Modularer vibronischer Sensor (1) nach Anspruch 8, wobei die beiden Schwingstäbe (8, 11) aus einem U-förmigen Körper (13) gebildet sind, wobei ein erster Endbereich (a) des Körpers (13) den ersten Schwingstab (9a) bildet, und wobei ein zweiter Endbereich (b) des Körpers (13) den zweiten Schwingstab (9b) bildet.
10. Modularer vibronischer Sensor (1) nach zumindest einem der vorherigen Ansprüche, umfassend ein Filterelement, welches derart ausgestaltet und/oder angeordnet ist, dass es die beiden Schwingelemente (8, 11) umgibt, wobei das Filterelement insbesondere im Bereich zumindest des ersten Grundkörpers (7) befestigbar ist.
11. Messzelle (14) zur Analyse eines Mediums (M), umfassend einen modularen vibronischen Sensor (1) nach zumindest einem der Ansprüche 1-10.
12. Tragbares Messgerät (15) zur Analyse eines Mediums (M), umfassend eine Messzelle (14) nach Anspruch 11 , eine Elektronik (18) und eine Vorrichtung zur Probennahme (17).
13. Verfahren zum Betreiben eines modularen vibronischen Sensors (1) nach zumindest einem der Ansprüche 1-10 zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer ersten Prozessgröße eines Mediums (M), wobei die Sensoreinheit (2), insbesondere das erste (10a) und zweite (10b) piezoelektrische Element, mittels zumindest eines Anregesignals zu mechanischen Schwingungen angeregt wird, wobei die mechanischen Schwingungen der Sensoreinheit (2), insbesondere vermittels des ersten (9a) und zweiten Schwingstabs (9b), empfangen und in ein Empfangssignal umgewandelt werden, und wobei anhand des ersten Empfangssignals die zumindest eine Prozessgröße ermittelt wird. Verfahren zum Betreiben eines modularen vibronischen Sensors nach zumindest einem der Ansprüche 1-10 zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer zweiten Prozessgröße eines Mediums (M), wobei ein Sendesignal ausgesendet wird, wobei ein Antwortsignal empfangen wird, und wobei anhand des Antwortsignals die zumindest eine zweite Prozessgröße bestimmt wird. Verfahren nach Anspruch 14, wobei das erste Schwingelement (8) mit dem Sendesignal beaufschlagt wird, und wobei das Antwortsignal von dem zweiten Schwingelement (11) empfangen wird. Verfahren nach zumindest einem der Ansprüche 13-15, wobei die zumindest eine erste und zweite Prozessgröße abwechselnd bestimmt werden. Verwendung eines modularen vibronischen Sensors (1) nach zumindest einem der Ansprüche 1-10 als Single-Use Sensor, als Laborgerät, zur Validierung von Sensoren, als Gassensor zur Bestimmung und/oder Überwachung eines gasförmigen Mediums (M).
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