WO2023112896A1 - 光学素子駆動装置 - Google Patents

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WO2023112896A1
WO2023112896A1 PCT/JP2022/045698 JP2022045698W WO2023112896A1 WO 2023112896 A1 WO2023112896 A1 WO 2023112896A1 JP 2022045698 W JP2022045698 W JP 2022045698W WO 2023112896 A1 WO2023112896 A1 WO 2023112896A1
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magnet
magnetic
balls
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潤 安藤
清行 伊藤
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アルプスアルパイン株式会社
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    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
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    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B30/00—Camera modules comprising integrated lens units and imaging units, specially adapted for being embedded in other devices, e.g. mobile phones or vehicles
    • G—PHYSICS
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    • G03B5/00—Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
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    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
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    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50—Constructional details
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    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50—Constructional details
    • H04N23/55—Optical parts specially adapted for electronic image sensors; Mounting thereof
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    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/57—Mechanical or electrical details of cameras or camera modules specially adapted for being embedded in other devices

Definitions

  • the present disclosure relates to an optical element driving device.
  • Patent Document 1 a unit that uses magnets and coils to move a lens attached to a slide member with respect to a holder.
  • This unit has a spring that presses the slide member against the holder with a ball arranged in a first groove formed in the holder so as to extend in a first direction perpendicular to the optical axis of the lens.
  • a second groove is formed in the slide member so as to extend in a second direction perpendicular to the optical axis of the lens.
  • a ball is also arranged in the second groove.
  • the first magnet and the first coil move the slide member along the first groove
  • the second magnet and the second coil move the slide member along the second groove.
  • each of the first magnet, the second magnet, the first coil, and the second coil is arranged outside the slide member (outside the circle centered on the optical axis of the lens in the radial direction). there is Therefore, this unit may increase the size of the circle centered on the optical axis of the lens in the radial direction.
  • An optical element driving device includes a stationary member including a support member, an optical element holding member having a through hole penetrating in the vertical direction in which an optical element can be arranged, and the support member in the vertical direction. an intermediate member provided between the optical element holding member and movable in a first direction perpendicular to the vertical direction with respect to the support member; and at least three intermediate members disposed between the support member and the intermediate member at least three upper balls arranged between the intermediate member and the optical element holding member; and first driving means for moving the intermediate member in the first direction with respect to the support member.
  • the first driving means includes a first driving magnet provided on the intermediate member and the first driving magnet in the vertical direction. and a first coil provided on the support member so as to face the driving magnet, and the second driving means vertically extends with the second driving magnet provided on the optical element holding member. and a second coil provided on the support member so as to face the second driving magnet.
  • the overall size of the optical element driving device described above can be further reduced.
  • FIG. 1 is a perspective view of an example of an optical element driving device
  • FIG. FIG. 2 is an exploded perspective view of the optical element driving device of FIG. 1
  • 2 is an exploded perspective view of a lower member that constitutes the optical element driving device of FIG. 1.
  • FIG. 2 is a bottom view of an optical element holding member that constitutes the optical element driving device of FIG. 1;
  • FIG. 2 is a bottom view of an intermediate member that constitutes the optical element driving device of FIG. 1;
  • FIG. FIG. 2 is an exploded perspective view of a fixed-side member that constitutes the optical element driving device of FIG. 1; 2 is a trihedral view of a magnetic system that constitutes the optical element driving device of FIG. 1.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the ball containing structure; 2 is a top view of a driving magnet, an attracting magnet, a lower ball, and an upper ball that constitute the optical element driving device of FIG. 1;
  • FIG. FIG. 10 is a perspective view of another example of the optical element driving device;
  • FIG. 11 is an exploded perspective view of the optical element driving device of FIG. 10;
  • FIG. 11 is an exploded perspective view of a lower member that constitutes the optical element driving device of FIG. 10;
  • FIG. 11 is a bottom view of an optical element holding member that constitutes the optical element driving device of FIG. 10;
  • FIG. 11 is a bottom view of an intermediate member that constitutes the optical element driving device of FIG.
  • FIG. 10 11 is a trihedral view of a magnetic system that constitutes the optical element driving device of FIG. 10;
  • FIG. 11 is a top view of a driving magnet, an attracting magnet, a lower ball, and an upper ball that constitute the optical element driving device of FIG. 10;
  • FIG. FIG. 11 is a perspective view of still another example of the optical element driving device;
  • FIG. 18 is an exploded perspective view of the optical element driving device of FIG. 17;
  • FIG. 18 is an exploded perspective view of a lower member that constitutes the optical element driving device of FIG. 17;
  • FIG. 18 is a bottom view of an optical element holding member that constitutes the optical element driving device of FIG. 17;
  • FIG. 18 is a bottom view of an intermediate member that constitutes the optical element driving device of FIG. 17;
  • 18 is a trihedral view of a magnetic system that constitutes the optical element driving device of FIG. 17;
  • FIG. 18 is a trihedral view of a magnetic system that constitutes the optical
  • FIG. 1 is a perspective view of the optical element driving device 100.
  • FIG. FIG. 2 is an exploded perspective view of the optical element driving device 100 composed of the case 4 and the lower member LB, showing a state where the case 4 is separated from the lower member LB.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the lower member LB, showing a state where the movable member MB is separated from the fixed member FB.
  • FIG. 4 is a bottom view of the optical element holding member 2 constituting the optical element driving device 100.
  • FIG. FIG. 5 is a bottom view of the intermediate member 3 constituting the optical element driving device 100.
  • FIG. FIG. 6 is an exploded perspective view of the fixed member FB.
  • a dot pattern is given to the optical element holding member 2 for clarity.
  • the intermediate member 3 is marked with a dot pattern for clarity.
  • X1 represents one direction of the X-axis forming the three-dimensional orthogonal coordinate system
  • X2 represents the other direction of the X-axis
  • Y1 represents one direction of the Y-axis forming the three-dimensional orthogonal coordinate system
  • Y2 represents the other direction of the Y-axis
  • Z1 represents one direction of the Z-axis forming the three-dimensional orthogonal coordinate system
  • Z2 represents the other direction of the Z-axis.
  • the X1 side of the optical element driving device 100 corresponds to the front side (front side) of the optical element driving device 100
  • the X2 side of the optical element driving device 100 corresponds to the rear side (back side) of the optical element driving device 100.
  • the Y1 side of the optical element driving device 100 corresponds to the left side of the optical element driving device 100
  • the Y2 side of the optical element driving device 100 corresponds to the right side of the optical element driving device 100
  • the Z1 side of the optical element driving device 100 corresponds to the upper side of the optical element driving device 100
  • the Z2 side of the optical element driving device 100 corresponds to the lower side of the optical element driving device 100.
  • the optical element driving device 100 is a device for moving the optical element OE as shown in FIG. 2 on a virtual plane parallel to the XY plane.
  • the optical element OE is shown to have a substantially rectangular parallelepiped shape, but it may have other shapes such as a cylindrical shape.
  • illustration of the optical element OE is omitted for clarity.
  • the optical element OE is a lens body, mirror, prism, diffraction grating, light emitting element, light receiving element, imaging element, optical filter, or the like.
  • the lens body is a cylindrical lens barrel with at least one lens.
  • the optical element OE is a lens body. Therefore, hereinafter, the upper side of the optical element driving device 100 may be referred to as the "subject side", and the lower side of the optical element driving device 100 may be referred to as the "imaging device side".
  • the optical element driving device 100 includes a case 4 and a lower member LB which are part of the fixed side member FB.
  • the case 4 is a cover member that covers the lower member LB.
  • the case 4 is produced by punching, drawing, and the like, on a plate material formed of non-magnetic metal such as austenitic stainless steel. Since the case 4 is made of non-magnetic metal, the case 4 does not magnetically affect the driving means DM (described later) that uses electromagnetic force.
  • the case 4 has a lidded rectangular cylindrical outer shape that defines the storage portion 4S.
  • the case 4 includes a substantially rectangular cylindrical outer wall portion 4A, and a substantially rectangular annular flat plate-shaped top plate portion provided so as to be continuous with the upper end (the end on the Z1 side) of the outer peripheral wall portion 4A. 4B and.
  • a substantially rectangular through hole 4K is formed in the center of the top plate portion 4B.
  • the outer peripheral wall portion 4A includes a first side plate portion 4A1 to a fourth side plate portion 4A4.
  • the first side plate portion 4A1 and the third side plate portion 4A3 face each other, and the second side plate portion 4A2 and the fourth side plate portion 4A4 face each other.
  • the second side plate portion 4A2 and the fourth side plate portion 4A4 extend perpendicularly to the first side plate portion 4A1 and the third side plate portion 4A3. Further, as shown in FIG. 1, the case 4 is joined to the base member 18 with an adhesive to form a housing HS together with the base member 18. As shown in FIG.
  • the lower member LB includes, as shown in FIG. 3, a metal member 7, a magnetic member 13, a base member 18, a lower ball 11, and a movable member MB, which are part of the fixed member FB. .
  • the lower ball 11 is configured to movably support the movable member MB in the direction parallel to the X-axis with respect to the fixed member FB.
  • the lower balls 11 are spherical rolling elements made of a hard material such as resin, ceramic, or metal, and include first lower balls 11A to third lower balls 11C.
  • the lower ball 11 includes a recess 18S (see FIG. 3) as a lower upward recess formed in the base member 18 and a recess 3S (see the upper diagram in FIG. 5) as a lower downward recess formed in the intermediate member 3. ) are placed between Specifically, the first lower ball 11A is arranged between the first recess 18S1 (see FIG.
  • the second lower ball 11B is arranged between the second recess 18S2 (see FIG. 3) and the second recess 3S2 (see the upper diagram in FIG. 5).
  • the third lower ball 11C is arranged between the third recess 18S3 (see FIG. 3) and the third recess 3S3 (see the upper diagram in FIG. 5).
  • the coil 9 is a member fixed to the base member 18 .
  • the coils 9 are wound type coils and include a first coil 9A and a second coil 9B.
  • the coil 9 may be of the laminated type or of the film type.
  • each of the first coil 9A and the second coil 9B may be configured by a combination of a plurality of coils.
  • the magnetic member 13 is one of the members constituting the magnetic attracting means MA (described later), and is separated from the second driving magnet 5B and the attracting magnet 8, which are separate members constituting the magnetic attracting means MA. It is arranged so as to be magnetically attracted to the second driving magnet 5B and the attracting magnet 8, respectively.
  • the magnetic member 13 includes a first magnetic member 13A, a second magnetic member 13B, and a third magnetic member 13C that are adhesively fixed to the upper surface of the base member 18 .
  • the driving means DM includes a first driving means DM1 for moving the optical element OE along the X-axis direction and a second driving means DM2 for moving the optical element OE along the Y-axis direction.
  • the first driving means DM1 includes a first coil 9A provided on the base member 18, and a first driving magnet 5A spaced apart so as to face the first coil 9A in the Z-axis direction.
  • the second driving means DM2 includes a second coil 9B provided on the base member 18 and a second driving magnet 5B spaced apart so as to face the second coil 9B in the Z-axis direction.
  • the optical element driving device 100 having a substantially rectangular parallelepiped shape is mounted on, for example, a main substrate (not shown).
  • the coil 9 is connected to a current supply source through the metal member 7 and the main substrate.
  • the driving means DM When the coil 9 is energized, the driving means DM generates an electromagnetic force along a direction parallel to the XY plane.
  • the optical element driving device 100 utilizes the electromagnetic force generated by the driving means DM along the direction parallel to the XY plane to move the optical element OE along the direction parallel to the XY plane.
  • a shift function (camera shake correction function) can be realized by moving the lens body as .
  • the movable side member MB includes an optical element holding member 2, an intermediate member 3, a driving magnet 5, a detecting magnet 6, an attracting magnet 8, and an upper ball 12, as shown in FIG. .
  • the driving magnet 5 includes a first driving magnet 5A and a second driving magnet 5B.
  • each of the first driving magnet 5A and the second driving magnet 5B is a rectangular parallelepiped permanent magnet magnetized to two poles, the inner side being magnetized to the S pole, and the outer side being the N pole. is magnetized.
  • FIG. 3 shows the portion magnetized to the N pole by a dot pattern. The same applies to the detection magnet 6 and the attraction magnet 8 .
  • the first driving magnet 5A is arranged apart from the first coil 9A so as to face the first coil 9A in the Z-axis direction.
  • the second driving magnet 5B is arranged apart from the second coil 9B so as to face the second coil 9B in the Z-axis direction.
  • Each of the first driving magnet 5A and the second driving magnet 5B may be magnetized with an N pole on the inner side and an S pole on the outer side.
  • each of the first driving magnet 5A and the second driving magnet 5B may be composed of a combination of a plurality of permanent magnets.
  • the second driving magnet 5B is one of the members constituting the magnetic attraction means MA.
  • the second driving magnet 5B is fixed to the optical element holding member 2 so that a magnetic attractive force acts between the second driving magnet 5B and the magnetic member 13 .
  • the second driving magnet 5B is arranged apart from the third magnetic member 13C so as to face the third magnetic member 13C in the Z-axis direction.
  • the third magnetic member 13C is arranged below the second coil 9B (Z2 side).
  • the detection magnet 6 is a member for detecting displacement of the optical element OE.
  • the detection magnet 6 includes a first detection magnet 6A for detecting displacement of the optical element OE in the X-axis direction and a second detection magnet 6A for detecting displacement of the optical element OE in the Y-axis direction. and a magnet 6B.
  • each of the first detection magnet 6A and the second detection magnet 6B is a rectangular parallelepiped permanent magnet magnetized to two poles.
  • the first detection magnet 6A is magnetized with two poles in the X-axis direction
  • the second detection magnet 6B is magnetized with two poles in the Y-axis direction.
  • the first detection magnet 6A and the second detection magnet 6B are fixed to the optical element holding member 2. As shown in FIG.
  • the first detection magnet 6A is arranged apart from the first magnetic sensor 10A so as to face the first magnetic sensor 10A in the Z-axis direction.
  • the second detection magnet 6B is arranged apart from the second magnetic sensor 10B so as to face the second magnetic sensor 10B in the Z-axis direction.
  • Each of the first detection magnet 6A and the second detection magnet 6B may be composed of a plurality of permanent magnets.
  • the attraction magnet 8 is one of the members that constitute the magnetic attraction means MA.
  • the attraction magnet 8 is fixed to the optical element holding member 2 so that a magnetic attraction force acts between the attraction magnet 8 and the magnetic member 13 .
  • the attracting magnet 8 includes a first attracting magnet 8A that is arranged away from the first magnetic member 13A so as to face the first magnetic member 13A in the Z-axis direction, and and a second attracting magnet 8B that is spaced apart from the second magnetic member 13B so as to face the second magnetic member 13B.
  • the upper ball 12 is configured to movably support the optical element holding member 2 in the direction parallel to the Y-axis with respect to the intermediate member 3 .
  • the upper balls 12 are spherical rolling elements made of a hard material such as resin, ceramic, or metal, and include first upper balls 12A to third upper balls 12C.
  • the upper ball 12 includes a concave portion 3T (see FIG. 3) as an upper upward concave portion formed in the intermediate member 3 and a concave portion 2S (see the upper diagram in FIG. 4) as an upper downward concave portion formed in the optical element holding member 2. is placed between Specifically, the first upper ball 12A is arranged between the first recess 3T1 (see FIG.
  • the second upper ball 12B is arranged between the second recess 3T2 (see FIG. 3) and the second recess 2S2 (see the upper diagram in FIG. 5).
  • the third upper ball 12C is arranged between the third recess 3T3 (see FIG. 3) and the third recess 2S3 (see the upper diagram in FIG. 5).
  • the optical element holding member 2 is configured to hold the optical element OE and the second driving magnet 5B.
  • the optical element holding member 2 is formed by injection molding synthetic resin such as liquid crystal polymer (LCP).
  • the optical element holding member 2 includes a through hole 2K formed so as to extend parallel to the Z axis, as shown in FIG.
  • the optical element OE is fixed with an adhesive to the inner peripheral surface of the through hole 2K.
  • FIG. 4 is a bottom view of the optical element holding member 2.
  • FIG. Specifically, the upper diagram of FIG. 4 is a bottom view of the optical element holding member 2 when the second driving magnet 5B, the detecting magnet 6, the attracting magnet 8, and the upper ball 12 are not arranged.
  • 4 is a bottom view of the optical element holding member 2 when the second driving magnet 5B, the detecting magnet 6, the attracting magnet 8, and the upper ball 12 are arranged.
  • the optical element holding member 2 is a substantially rectangular annular frame.
  • the four side portions 2E forming the frame include a first side portion 2E1 to a fourth side portion 2E4.
  • a recess 2P recessed in the Z1 direction is provided on the end surface of the optical element holding member 2 on the lower side (Z2 side) on the imaging element side, as shown in the upper diagram of FIG.
  • a detection magnet 6 is accommodated in the concave portion 2P as shown in the lower diagram of FIG.
  • the detection magnet 6 is fixed to the optical element holding member 2 with an adhesive.
  • the recess 2P includes a first recess 2P1 that accommodates the first detection magnet 6A and a second recess 2P2 that accommodates the second detection magnet 6B.
  • the first recess 2P1 is provided at a first corner 2C1, which is one of the four corners 2C of the optical element holding member 2, and the second recess 2P2 is provided at the four corners 2C of the optical element holding member 2. It is provided at the second corner 2C2, which is another one of the corners.
  • a recess 2Q recessed in the Z1 direction is provided on the end surface of the optical element holding member 2 on the lower side (Z2 side).
  • the recess 2Q accommodates an attracting magnet 8.
  • the attracting magnet 8 is fixed to the optical element holding member 2 with an adhesive.
  • the recessed portion 2Q includes a first recessed portion 2Q1 in which the first attracting magnet 8A is accommodated, and a second recessed portion 2Q2 in which the second attracting magnet 8B is accommodated.
  • the first concave portion 2Q1 is provided at a fourth corner portion 2C4, which is one of the four corner portions 2C of the optical element holding member 2, and the second concave portion 2Q2 is provided at the four corner portions 2C of the optical element holding member 2. It is provided at the third corner 2C3, which is another one of them.
  • a recess 2R recessed in the Z1 direction is provided on the end face on the lower side (Z2 side) of the first side portion 2E1.
  • the recess 2R accommodates the second driving magnet 5B.
  • the second driving magnet 5B is fixed to the optical element holding member 2 with an adhesive. Note that the recess 2R may open not only downward but also laterally (outward in the radial direction).
  • a concave portion 2S as an upper downward concave portion concaved in the Z1 direction is provided on the end surface of the optical element holding member 2 on the lower side (Z2 side).
  • the concave portion 2S accommodates the upper portion of the upper ball 12, as shown in the lower diagram of FIG.
  • the recess 2S includes a first recess 2S1 that accommodates the upper portion of the first upper ball 12A, a second recess 2S2 that accommodates the upper portion of the second upper ball 12B, and a third upper ball 12C. and a third recess 2S3 in which the upper part is accommodated.
  • the first recessed portion 2S1 is provided on the lower (Z2 side) end surface of the third side portion 2E3
  • the second recessed portion 2S2 is provided on the lower (Z2 side) end surface of the second side portion 2E2
  • the third recessed portion 2S3 is provided on the end face on the lower side (Z2 side) of the fourth side portion 2E4.
  • the lower portions of the first upper ball 12A to the third upper ball 12C are accommodated in recesses 3T (see FIG. 3) formed in the upper surface of the intermediate member 3 as upper upward recesses.
  • At least one of the recess 2P, the recess 2R, and the recess 2Q may be a through hole extending parallel to the Z-axis.
  • the intermediate member 3 is configured to hold the first driving magnet 5A.
  • the intermediate member 3 is formed by injection molding synthetic resin such as liquid crystal polymer (LCP).
  • LCP liquid crystal polymer
  • the intermediate member 3 includes a through hole 3K formed so as to extend parallel to the Z-axis, as shown in FIG.
  • the through hole 3K corresponds to the through hole 2K of the optical element holding member 2.
  • the optical element OE is held by the optical element holding member 2 so as not to come into contact with the inner peripheral surface of the through hole 3K even when the optical element holding member 2 moves with respect to the intermediate member 3 .
  • FIG. 5 is a bottom view of the intermediate member 3.
  • the upper diagram of FIG. 5 is a bottom view of the intermediate member 3 when the first driving magnet 5A and the lower ball 11 are not arranged
  • the lower diagram of FIG. 5 is the first driving magnet.
  • 5A is a bottom view of the intermediate member 3 when 5A and the lower ball 11 are arranged.
  • the intermediate member 3 is a substantially rectangular annular frame.
  • the four side portions 3E forming the frame include a first side portion 3E1 to a fourth side portion 3E4.
  • a recess 3R recessed in the Z1 direction is provided on the end surface of the intermediate member 3 on the lower side (Z2 side) on the imaging device side, as shown in the upper diagram of FIG. As shown in the lower diagram of FIG. 5, the recess 3R accommodates the first driving magnet 5A.
  • the first driving magnet 5A is fixed to the intermediate member 3 with an adhesive. Note that the recess 3R may open not only downward but also laterally (outward in the radial direction).
  • a concave portion 3S is provided on the lower side (Z2 side) of the intermediate member 3 as a downward concave portion that is concave in the Z1 direction.
  • the concave portion 3S accommodates the upper portion of the lower ball 11, as shown in the lower diagram of FIG.
  • the recessed portion 3S includes a first recessed portion 3S1 that accommodates the upper portion of the first lower ball 11A, a second recessed portion 3S2 that accommodates the upper portion of the second lower ball 11B, and a third lower portion. and a third recess 3S3 in which the upper portion of the ball 11C is accommodated.
  • the first recessed portion 3S1 is provided on the lower (Z2 side) end surface of the second side portion 3E2
  • the second recessed portion 3S2 is provided on the lower (Z2 side) end surface of the first side portion 3E1
  • the third recessed portion 3S3 is provided on the end face on the lower side (Z2 side) of the third side portion 3E3.
  • the lower portions of the first lower ball 11A to the third lower ball 11C are accommodated in recesses 18S (see FIG. 3) formed in the upper surface of the base member 18 as lower upward recesses.
  • the recess 3R may be a through hole extending parallel to the Z-axis.
  • the base member 18 is formed by injection molding using synthetic resin such as liquid crystal polymer.
  • the base member 18 has a substantially rectangular profile when viewed from above, and has a through hole 18K in the center.
  • the coil 9, the magnetic sensor 10, and the magnetic member 13 are fixed with an adhesive to the upper surface of the base member 18, which is the object-side surface (Z1-side surface).
  • the through holes 18K correspond to the through holes 2K of the optical element holding member 2 and the through holes 3K of the intermediate member 3, respectively.
  • a concave portion 18 ⁇ /b>B for accommodating the magnetic sensor 10 is formed on the upper surface of the base member 18 .
  • the recess 18B includes a first recess 18B1 that houses the first magnetic sensor 10A and a second recess 18B2 that houses the second magnetic sensor 10B. Further, a concave portion 18U for accommodating the magnetic member 13 is formed on the upper surface of the base member 18. As shown in FIG. The recess 18U includes a first recess 18U1 that houses the first magnetic member 13A, a second recess 18U2 that houses the second magnetic member 13B, and a third recess 18U3 that houses the third magnetic member 13C. Further, a convex portion 18P to which the coil 9 is fixed is formed on the upper surface of the base member 18. As shown in FIG. The convex portion 18P includes a first convex portion 18P1 to which the first coil 9A is fixed and a second convex portion 18P2 to which the second coil 9B is fixed.
  • the magnetic sensor 10 is configured to detect the position of the optical element OE.
  • a plurality of magnetic sensors 10 are provided so as to detect the displacement in the X-axis direction and the displacement in the Y-axis direction of the optical element holding member 2 to which the optical element OE is fixed.
  • the magnetic sensor 10 includes a first magnetic sensor 10A and a second magnetic sensor 10B.
  • the magnetic sensor 10 is housed in the recess 18B with each of its four terminals connected to the metal member 7 .
  • the first magnetic sensor 10A is housed in the first recess 18B1
  • the second magnetic sensor 10B is housed in the second recess 18B2.
  • the magnetic sensor 10 is configured by a Hall element, and by measuring the output voltage of the Hall element that changes according to the magnitude of the magnetic field from the detection magnet 6 received by the Hall element, It is configured to be able to detect the position of the movable side member MB including the magnet 6 .
  • the magnetic sensor 10 is a giant magneto-resistive effect (GMR) element, a semiconductor magneto-resistive (SMR) element, an anisotropic magneto-resistive (AMR) element, or a tunnel magneto-resistive (AMR) element. It may be configured to detect the position of the optical element OE using a magnetoresistive element such as a Tunnel Magneto Resistive (TMR) element.
  • TMR Tunnel Magneto Resistive
  • the upper surface of the base member 18 is formed with a concave portion 18S as a lower upward concave portion that accommodates the lower ball 11 .
  • the base member 18 has three recesses 18S (first recess 18S1 to third recess 18S1) for accommodating the three lower balls 11 (first lower ball 11A to third lower ball 11C). 18S3) are formed.
  • the metal member 7 is a member that is embedded in the base member 18, and is configured so as to enable electrical connection between the coil 9 and the magnetic sensor 10 and the outside.
  • the metal member 7 is made of non-magnetic metal.
  • 6 is a perspective view of the metal member 7 and the base member 18. FIG. Specifically, FIG. 6 shows the relationship between the metal member 7 not embedded in the base member 18 and the coil 9 and magnetic sensor 10 fixed to the base member 18 .
  • the metal member 7 and each of the coil 9 and the magnetic sensor 10 are joined together by solder, a conductive adhesive, or the like.
  • a dot pattern is attached to the joint portion of the metal member 7 for clarity.
  • the metal member 7 includes a first metal member 7A to a twelfth metal member 7L, part of which is embedded in the base member 18 by insert molding.
  • one end of the first coil 9A is joined to the second metal member 7B, and the other end of the first coil 9A is joined to the third metal member 7C.
  • the first terminal of the first magnetic sensor 10A is joined to the fourth metal member 7D
  • the second terminal of the first magnetic sensor 10A is joined to the fifth metal member 7E
  • the third terminal of the first magnetic sensor 10A is It is joined to the sixth metal member 7F
  • the fourth terminal of the first magnetic sensor 10A is joined to the seventh metal member 7G.
  • One end of the second coil 9B is joined to the eighth metal member 7H, and the other end of the second coil 9B is joined to the ninth metal member 7I.
  • the first terminal of the second magnetic sensor 10B is joined to the tenth metal member 7J
  • the second terminal of the second magnetic sensor 10B is joined to the eleventh metal member 7K
  • the third terminal of the second magnetic sensor 10B is The fourth terminal of the second magnetic sensor 10B is joined to the first metal member 7A.
  • FIGS. 3 and 7 are trihedral views (a front view, a top view, and a right side view) of the magnetic system mounted on the optical element driving device 100 of FIG.
  • a magnetic system is a system that uses magnetic force, and includes drive means DM, magnetic attraction means MA, and position detection means PD.
  • the driving means DM is means for moving the optical element OE on the XY plane.
  • the drive means DM includes a first drive means DM1 for moving the optical element OE along the X-axis direction and a second drive means DM2 for moving the optical element OE along the Y-axis direction.
  • the first driving means DM1 includes a first driving coil 9A provided on the base member 18 and a first driving coil 9A arranged so as to face the first coil 9A in the Z-axis direction. and a magnet 5A. As shown in FIG. 7, the first driving magnet 5A and the first coil 9A are arranged to face each other with a small gap therebetween.
  • the second driving means DM2 includes a second driving coil 9B provided on the base member 18 and a second driving coil 9B disposed apart from the second coil 9B in the Z-axis direction so as to face the second coil 9B. and a magnet 5B. As shown in FIG. 7, the second driving magnet 5B and the second coil 9B are arranged to face each other with a small gap therebetween.
  • the intermediate member 3 (the first driving magnet 5A) is guided by the lower ball guide structure including the lower balls 11, which will be described later, and the base member. 18 backward (X2 direction).
  • the intermediate member 3 (first driving magnet 5A) moves forward (toward the base member 18) while being guided by the lower ball guide structure. X1 direction).
  • the Lorentz force acts on the charged particles moving in the conductive wire forming the first coil 9A fixed to the base member 18, and the reaction force moves the first driving magnet 5A backward or forward. is.
  • the optical element holding member 2 (the second driving magnet 5B) is guided by an upper ball guide structure including the upper ball 12, which will be described later. , to the right (Y2 direction) with respect to the intermediate member 3 and the base member 18 .
  • the optical element holding member 2 (the second driving magnet 5B) moves toward the intermediate member 3 and the base member 18 while being guided by the upper ball guide structure. to the left (Y1 direction).
  • the Lorentz force acts on the charged particles moving in the conductive wire forming the second coil 9B fixed to the base member 18, and the reaction force moves the second driving magnet 5B rightward or leftward. This is because
  • the position detection means PD is means for detecting the position of the optical element OE fixed to the optical element holding member 2 on a virtual plane parallel to the XY plane.
  • the position detection means PD includes a first position detection means PD1 for detecting the position of the optical element OE in the X-axis direction and a second position detection means PD1 for detecting the position of the optical element OE in the Y-axis direction. means PD2.
  • the first position detection means PD1 includes a first detection magnet 6A and a first magnetic sensor 10A which are arranged with a space therebetween in the vertical direction.
  • the second position detection means PD2 includes a second detection magnet 6B and a second magnetic sensor 10B which are spaced apart from each other in the vertical direction.
  • the magnetic attraction means MA is means for generating a force that attracts two members together in the vertical direction (Z-axis direction).
  • the magnetic attraction means MA is configured to generate a force that attracts the optical element holding member 2 and the base member 18 to each other.
  • the magnetic attracting means MA includes a second driving magnet 5B, an attracting magnet 8, and a magnetic member 13.
  • the magnetic attraction means MA includes a first magnetic attraction means MA1, a second magnetic attraction means MA2, and a third magnetic attraction means MA3, as shown in FIG.
  • the first magnetic attraction means MA1 is configured to exert a magnetic attraction force between the first attraction magnet 8A and the first magnetic member 13A which are arranged with a space therebetween in the vertical direction.
  • the second magnetic attraction means MA2 is configured to exert a magnetic attraction force between the second attraction magnet 8B and the second magnetic member 13B which are spaced apart from each other in the vertical direction.
  • the third magnetic attraction means MA3 is configured to exert a magnetic attraction force between the second driving magnet 5B and the third magnetic member 13C, which are spaced apart from each other in the vertical direction.
  • the magnetic attraction means MA can attract the optical element holding member 2 and the base member 18 to each other. Specifically, the recess 2S formed in the lower surface of the optical element holding member 2 is pressed against the upper portion of the upper ball 12 whose lower portion is accommodated in the recess 3T formed in the upper surface of the intermediate member 3. . Also, the recess 3S formed in the lower surface of the intermediate member 3 is pressed against the upper portion of the lower ball 11 whose lower portion is accommodated in the recess 18S formed in the upper surface of the base member 18. As shown in FIG. Therefore, the magnetic attraction means MA can stably maintain the contact state between the optical element holding member 2 and the upper portion of the upper ball 12 and between the lower portion of the upper ball 12 and the intermediate member 3 . Further, the magnetic attraction means MA can stably maintain the contact between the intermediate member 3 and the upper portion of the lower ball 11 and the contact between the lower portion of the lower ball 11 and the base member 18 .
  • each of the first upper ball 12A to the third upper ball 12C constituting the upper ball 12 is placed between the optical element holding member 2 and the intermediate member 3 in a rollable state in the Y-axis direction. is sandwiched. Therefore, the optical element holding member 2 can be translated along the Y-axis without rotating (tilting) about the X-axis and without rotating (tilting) about the Y-axis.
  • each of the first lower ball 11A to the third lower ball 11C constituting the lower ball 11 is sandwiched between the intermediate member 3 and the base member 18 in a rollable state in the X-axis direction. It is Therefore, the intermediate member 3 can be translated along the X-axis without rotating (tilting) about the X-axis and without rotating (tilting) about the Y-axis.
  • the distance between the centers of the attracting magnets 8B is the same. However, those distances are smaller than the distance between the center of the third magnetic member 13C and the center of the second driving magnet 5B in the Z-axis direction. This is because the magnetic force of the second driving magnet 5B is greater than the respective magnetic forces of the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B. That is, by adjusting the respective distances, the magnetic attraction forces generated by the first magnetic attraction means MA1, the second magnetic attraction means MA2, and the third magnetic attraction means MA3 are made to be approximately the same. is.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the ball containing structure.
  • the upper left diagram of FIG. 8 shows cross sections of the intermediate member 3, the third lower ball 11C, and the base member 18 on an imaginary plane parallel to the YZ plane including the dashed line L1 in the lower diagram of FIG.
  • the upper right diagram of FIG. 8 shows cross sections of the intermediate member 3, the second lower ball 11B, and the base member 18 on an imaginary plane parallel to the YZ plane including the dashed line L2 in the lower diagram of FIG.
  • FIG. 8 shows cross sections of the optical element holding member 2, the intermediate member 3, and the third upper ball 12C on a virtual plane parallel to the XZ plane including the dashed line L3 in the lower diagram of FIG.
  • the lower right diagram of FIG. 8 shows cross sections of the optical element holding member 2, the intermediate member 3, and the second upper ball 12B on a virtual plane parallel to the XZ plane including the dashed line L4 in the lower diagram of FIG.
  • the ball housing structure is a structure that houses the ball.
  • the ball housing structure is composed of a pair of wide grooves that do not restrict the moving direction of the ball and two pairs of narrow grooves that restrict the moving direction of the ball.
  • the ball housing structure includes a lower ball housing structure that houses the lower ball 11 and an upper ball housing structure that houses the upper ball 12 .
  • the lower ball housing structure is composed of a pair of wide grooves that do not restrict the moving direction of the lower ball 11 and two pairs of narrow grooves that restrict the moving direction of the lower ball 11 .
  • the upper ball housing structure is composed of a pair of wide grooves that do not restrict the moving direction of the upper ball 12 and two pairs of narrow grooves that restrict the moving direction of the upper ball 12 .
  • the ball guide structure is a structure that guides the moving direction of the ball.
  • the ball guide structure includes a lower ball guide structure that guides movement of the lower ball 11 along the X-axis direction and an upper ball guide structure that guides movement of the upper ball 12 along the Y-axis direction. including.
  • the lower ball guide structure is composed of two pairs of narrow grooves that restrict the movement direction of the lower balls 11
  • the upper ball guide structure is composed of two pairs of narrow grooves that restrict the movement direction of the upper balls 12. It is composed of narrow grooves.
  • the pair of wide grooves in the lower ball housing structure are, as shown in the upper left view of FIG. It is a combination with the downward third concave portion 3S3.
  • both widths are formed to be larger than the diameter D3 of the third lower ball 11C.
  • the width D1 of the bottom surface of the third recess 3S3 in the Y-axis direction and the width D2 of the bottom surface of the third recess 18S3 in the Y-axis direction are both larger than the diameter D3 of the third lower ball 11C. is formed as
  • a pair of the two pairs of narrow grooves in the lower ball housing structure are, as shown in the upper right view of FIG. It is a combination with the second concave portion 3S2 formed on the lower surface of the lower side downward.
  • Another pair (not shown) of the two pairs of narrow grooves in the lower ball housing structure are formed in the lower upward first concave portion 18S1 formed in the upper surface of the base member 18 and the lower surface of the intermediate member 3. It is a combination with the first concave portion 3S1 formed on the lower side downward.
  • the first lower ball 11A contacts the first recess 3S1 at two points of contact and It is sandwiched between the first recess 18S1 and the first recess 3S1 so as to contact the first recess 18S1 at the contact.
  • the width of the opening (open end) of the second recess 18S2 in the axial direction is formed to be larger than the diameter D13 of the second lower ball 11B.
  • both the width D11 of the bottom surface of the second recess 3S2 in the Y-axis direction and the width D12 of the bottom surface of the second recess 18S2 in the Y-axis direction are smaller than the diameter D13 of the second lower ball 11B.
  • both the second recess 3S2 and the second recess 18S2 are configured such that the distance between the two side surfaces facing each other in the Y-axis direction increases toward the open end (opening). The same is true for another pair (not shown) of the two pairs of narrow grooves in the lower ball receiving structure.
  • the two pairs of narrow grooves in the lower ball housing structure i.e., the lower ball guide structure, allow the lower ball 11 to move along the X-axis direction while being restricted from moving along the Y-axis direction. be guided to do so.
  • the pair of wide grooves in the upper ball housing structure as shown in the lower left view of FIG. It is a combination with the upper downward third concave portion 2S3.
  • both the width D21 of the bottom surface of the third recess 2S3 in the X-axis direction and the width D22 of the bottom surface of the third recess 3T3 in the X-axis direction are set to be larger than the diameter D23 of the third upper ball 12C.
  • the first upper ball 12A is in contact with the first recess 2S1 at two points of contact and It is sandwiched between the first recess 2S1 and the first recess 3T1 so as to be in contact with the first recess 3T1.
  • the width of the opening (open end) of the second concave portion 3T2 in all directions is formed to be larger than the diameter D33 of the second upper ball 12B.
  • the width D31 of the bottom surface of the second recess 2S2 in the X-axis direction and the width D32 of the bottom surface of the second recess 3T2 in the X-axis direction are both smaller than the diameter D33 of the second upper ball 12B.
  • both the second recess 2S2 and the second recess 3T2 are configured such that the distance between the two side surfaces facing each other in the X-axis direction increases toward the open end (opening). The same is true for another pair (not shown) of the two pairs of narrow grooves in the upper ball receiving structure.
  • the two pairs of narrow grooves in the upper ball housing structure i.e., the upper ball guide structure, allow the upper ball 12 to move along the Y-axis direction while being restricted from moving along the X-axis direction. be guided.
  • FIG. 9 is a top view of the driving magnet 5, the attracting magnet 8, the lower ball 11, and the upper ball 12 that constitute the optical element driving device 100.
  • FIG. 9 is a top view of the driving magnet 5, the attracting magnet 8, the lower ball 11, and the upper ball 12 that constitute the optical element driving device 100.
  • a first triangle TR1 indicated by a dashed line is formed by connecting the center of the second driving magnet 5B and the centers of the two attracting magnets 8 (the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B). is a triangle.
  • the center of each member is, for example, the center of gravity of each member. The same applies to the following description.
  • a second triangle TR2 indicated by a dashed line is a triangle formed by connecting the respective centers of the three upper balls 12 (the first upper ball 12A, the second upper ball 12B, and the third upper ball 12C).
  • the second triangle TR2 is oriented substantially opposite to the first triangle TR1.
  • the first upper ball 12A is arranged between the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B.
  • the second upper ball 12B is positioned outside the first triangle TR1 and arranged to face the first side TR1F of the first triangle TR1.
  • the third upper ball 12C is positioned outside the first triangle TR1 and arranged to face the second side TR1S of the first triangle TR1.
  • a third triangle TR3 indicated by a dashed line is a triangle formed by connecting the respective centers of the three lower balls 11 (the first lower ball 11A, the second lower ball 11B, and the third lower ball 11C). be.
  • the third lower ball 11C is arranged between the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B.
  • the first lower ball 11A is positioned outside the first triangle TR1 and is arranged to face the first side TR1F.
  • the second lower ball 11B is positioned outside the first triangle TR1 and is arranged to face the second side TR1S.
  • the point CG1 is the center of gravity of the first triangle TR1
  • the point CG2 is the center of gravity of the second triangle TR2
  • the point CG3 is the center of gravity of the third triangle TR3.
  • the points CG1, CG2, and CG3 are all located within the area where the first triangle TR1, the second triangle TR2, and the third triangle TR3 overlap.
  • a cross pattern is given to the overlapping region of the first triangle TR1, the second triangle TR2 and the third triangle TR3.
  • the intermediate member 3 can rotate on the base member 18 via the three lower balls 11 around the three axes of the X, Y, and Z axes, and can rotate in the Y direction. And it is supported in a well-balanced manner so that it does not move in parallel in the Z-axis direction and can move in parallel in the X-axis direction.
  • the optical element holding member 2 is arranged on the intermediate member 3 via the three upper balls 12 without rotating around the three axes of the X, Y, and Z axes, and rotating in the X and Z directions. It is supported in a well-balanced manner so that it can move in parallel in the Y-axis direction without moving in parallel in the Y-axis direction.
  • FIG. 10 is a perspective view of the optical element driving device 100A and corresponds to FIG.
  • FIG. 11 is an exploded perspective view of the optical element driving device 100A composed of the case 4 and the lower member LB, and shows a state in which the case 4 is separated from the lower member LB, corresponding to FIG. .
  • FIG. 12 is an exploded perspective view of the lower member LB, showing a state in which the movable side member MB is separated from the fixed side member FB, and corresponds to FIG.
  • FIG. 13 is a bottom view of the optical element holding member 2 that constitutes the optical element driving device 100A, and corresponds to FIG.
  • FIG. 14 is a bottom view of the intermediate member 3 forming the optical element driving device 100A, and corresponds to FIG.
  • FIG. 15 is a trihedral view (front view, top view, and right side view) of the magnetic system mounted on the optical element driving device 100A, and corresponds to FIG.
  • FIG. 16 is a top view of the driving magnet 5, the attracting magnet 8, the lower ball 11, and the upper ball 12 that constitute the optical element driving device 100A, and corresponds to FIG.
  • the optical element driving device 100A differs from the optical element driving device 100 in which the attracting magnet 8 is fixed to the optical element holding member 2 in that the attracting magnet 8 is fixed to the intermediate member 3 .
  • the optical element driving device 100A As shown in FIG.
  • the second attracting magnet 8B is housed in the second recess 3Q2, which is another one of the recesses 3Q formed in the lower surface of the second side portion 3E2 of the intermediate member 3.
  • the first attracting magnet 8A is accommodated in the first concave portion 2Q1 formed at the fourth corner 2C4 of the optical element holding member 2
  • the second attracting magnet 8A A magnet 8B is accommodated in a second recess 2Q2 formed in the third corner 2C3 of the optical element holding member 2.
  • the optical element driving device 100A has six magnetic attraction means MA (first magnetic attraction means MA1 to sixth magnetic attraction means MA6). It differs from the optical element driving device 100 having three magnetic attraction means MA3). Therefore, in the optical element driving device 100A, the magnetic members 13 include first magnetic members 13A to third magnetic members 13A fixed to the base member 18, and fourth magnetic members 13D to 13D fixed to the optical element holding member 2. and a sixth magnetic member 13F.
  • the first magnetic attraction means MA1 provides magnetic attraction between the first attraction magnet 8A and the first magnetic member 13A, which are arranged with a space therebetween in the vertical direction. It is configured to exert a suction force.
  • the second magnetic attraction means MA2 is configured to exert a magnetic attraction force between the second attraction magnet 8B and the second magnetic member 13B which are spaced apart from each other in the vertical direction.
  • the third magnetic attraction means MA3 is configured to exert a magnetic attraction force between the first driving magnet 5A and the third magnetic member 13C, which are arranged with a space therebetween in the vertical direction.
  • the fourth magnetic attracting means MA4 consists of a first attracting magnet 8A spaced apart from each other in the vertical direction and a fourth magnetic member 13D provided on the lower surface of the optical element holding member 2 (see the lower diagram in FIG. 13). It is configured to exert a magnetic attraction force between.
  • the fourth magnetic member 13D is accommodated in a first concave portion 2U1 (see the upper diagram of FIG. 13), which is one of the concave portions 2U formed in the lower surface of the second side portion 2E2 of the optical element holding member 2.
  • the fifth magnetic attracting means MA5 consists of a second attracting magnet 8B spaced apart from each other in the vertical direction and a fifth magnetic member 13E provided on the lower surface of the optical element holding member 2 (see the lower diagram in FIG. 13). It is configured to exert a magnetic attraction force between.
  • the fifth magnetic member 13E is accommodated in a second concave portion 2U2 (see the upper diagram in FIG. 13), which is another one of the concave portions 2U formed in the lower surface of the second side portion 2E2 of the optical element holding member 2. .
  • the sixth magnetic attraction means MA6 consists of a first driving magnet 5A which is spaced apart from each other in the vertical direction and a sixth magnetic member 13F provided on the upper surface of the optical element holding member 2. It is configured to exert a magnetic attraction force between.
  • the sixth magnetic member 13F is accommodated in a third recess 2U3 (see FIG. 12), which is another one of the recesses 2U formed in the upper surface of the fourth side portion 2E4 of the optical element holding member 2.
  • the first attracting magnet 8A in the initial state is arranged so as to overlap the fourth magnetic member 13D in the vertical direction (Z-axis direction) as shown in FIG. It is arranged so as not to overlap with the first magnetic member 13A.
  • the second attracting magnet 8B in the initial state is arranged so as to overlap the fifth magnetic member 13E in the vertical direction (Z-axis direction), as shown in FIG. are arranged so that they do not overlap.
  • the initial state of the optical element driving device 100A means the state of the optical element driving device 100A when the coil 9 is not supplied with current.
  • the first magnetic member 13A is arranged on the Y1 side (left side) of the first attracting magnet 8A by a predetermined distance
  • the second magnetic member 13B is arranged in the Y-axis direction. , is arranged on the Y2 side (right side) of the second attracting magnet 8B by the same predetermined distance.
  • This arrangement is such that the first attracting magnet 8A in the initial state overlaps the first magnetic member 13A in the vertical direction (Z-axis direction), and the second attracting magnet 8B in the initial state overlaps the vertical direction (Z-axis direction).
  • the intermediate member 3 can be prevented from tilting about the first lower ball 11A more reliably than when the intermediate member 3 is arranged so as to overlap the second magnetic member 13B in the axial direction. This arrangement is because a force that attracts the intermediate member 3 and the base member 18 to each other can be applied at a position relatively far from the first lower ball 11A.
  • the first attracting magnet 8A in the initial state is arranged so as to overlap the first magnetic member 13A in the vertical direction (Z-axis direction), and the second attracting magnet 8B in the initial state is arranged in the vertical direction (Z-axis direction). axial direction) so as to overlap the second magnetic member 13B.
  • the sixth magnetic member 13F is attached to the upper surface of the optical element holding member 2, unlike the fourth magnetic member 13D and the fifth magnetic member 13E which are fixed to the lower surface of the optical element holding member 2. Fixed. That is, in the optical element driving device 100A, the distance between the center of the fourth magnetic member 13D and the center of the first attracting magnet 8A in the Z-axis direction, and the distance between the center of the fifth magnetic member 13E and the center of the first attraction magnet 8A in the Z-axis direction. The distances between the centers of the two attracting magnets 8B are the same, but the distances are greater than the distance between the center of the sixth magnetic member 13F and the center of the first driving magnet 5A in the Z-axis direction. small.
  • the magnetic force of the first driving magnet 5A is greater than the magnetic force of each of the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B. That is, by adjusting the respective distances, the magnetic attraction forces generated by the fourth magnetic attraction means MA4, the fifth magnetic attraction means MA5, and the sixth magnetic attraction means MA6 are made approximately the same. is.
  • a first triangle TR11 indicated by a dashed line is formed by connecting the center of the first driving magnet 5A and the centers of the two attracting magnets 8 (the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B). is a triangle.
  • a second triangle TR12 indicated by a dashed line is a triangle formed by connecting the respective centers of the three upper balls 12 (the first upper ball 12A, the second upper ball 12B, and the third upper ball 12C).
  • the first upper ball 12A is located outside the first triangle TR11 and arranged to face the first side TR11F, which is one side of the first triangle TR11.
  • the third upper ball 12C is positioned outside the first triangle TR11 and arranged to face the second side TR11S, which is the other side of the first triangle TR11.
  • the second upper ball 12B is positioned on an extension line of a virtual line TR11T connecting the center of the first attracting magnet 8A and the center of the second attracting magnet 8B. It is located laterally (to the right).
  • a third triangle TR13 indicated by a dashed line is a triangle formed by connecting the respective centers of the three lower balls 11 (the first lower ball 11A, the second lower ball 11B, and the third lower ball 11C). be.
  • the third triangle TR13 is oriented substantially opposite to the first triangle TR11.
  • the first lower ball 11A is arranged between the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B.
  • the third lower ball 11C is positioned outside the first triangle TR11 and is arranged to face the first side TR11F.
  • the second lower ball 11B is positioned outside the first triangle TR11 and is arranged to face the second side TR11S.
  • the point CG11 is the center of gravity of the first triangle TR11
  • the point CG12 is the center of gravity of the second triangle TR12
  • the point CG13 is the center of gravity of the third triangle TR13.
  • the point CG11, the point CG12, and the point CG13 are all located within the area where the second triangle TR12 and the third triangle TR13 overlap.
  • a cross pattern is given to the overlapping region of the second triangle TR12 and the third triangle TR13.
  • the intermediate member 3 can rotate on the base member 18 via the three lower balls 11 around the three axes of the X, Y, and Z axes, and can rotate in the Y direction. And it is supported in a well-balanced manner so that it does not move in parallel in the Z-axis direction and can move in parallel in the X-axis direction.
  • the optical element holding member 2 is arranged on the intermediate member 3 via the three upper balls 12 without rotating around the three axes of the X, Y, and Z axes, and rotating in the X and Z directions. It is supported in a well-balanced manner so that it can move in parallel in the Y-axis direction without moving in parallel in the Y-axis direction.
  • FIG. 17 is a perspective view of the optical element driving device 100B and corresponds to FIG.
  • FIG. 18 is an exploded perspective view of the optical element driving device 100B composed of the case 4 and the lower member LB, and shows a state where the case 4 is separated from the lower member LB, corresponding to FIG. .
  • FIG. 19 is an exploded perspective view of the lower member LB, showing a state in which the movable member MB is separated from the fixed member FB, and corresponds to FIG.
  • FIG. 20 is a bottom view of the optical element holding member 2 constituting the optical element driving device 100B, and corresponds to FIG. FIG.
  • FIG. 21 is a bottom view of the intermediate member 3 forming the optical element driving device 100B, and corresponds to FIG.
  • FIG. 22 is a trihedral view (front view, top view, and right side view) of the magnetic system mounted on the optical element driving device 100B, and corresponds to FIG.
  • the optical element driving device 100B is different from the optical element driving device 100 in that the metal member 7, the attracting magnet 8, and the magnetic member 13 are omitted, and instead the magnetic member 14, the insulating substrate 15, and the magnetic member 16 are included. different.
  • the magnetic member 14 and the magnetic member 16 are members constituting the magnetic attraction means MA, and are separated from the drive magnet 5 and the detection magnet 6, which are separate members constituting the magnetic attraction means MA. It is arranged so as to be magnetically attracted to each of the drive magnet 5 and the detection magnet 6 .
  • the magnetic member 14 includes a first magnetic member 14A, a second magnetic member 14B, a third magnetic member 14C, and a fourth magnetic member 14D that are adhesively fixed to the upper surface of the optical element holding member 2 .
  • the second magnetic member 14B and the fourth magnetic member 14D do not constitute the magnetic attraction means MA.
  • the magnetic member 16 is embedded in the base member 18 by insert molding so that the upper surface is exposed.
  • the magnetic member 16 is provided with a dot pattern for clarity.
  • the insulating substrate 15 is a substrate on which a conductive pattern is formed.
  • the insulating substrate 15 may be any of a flexible printed circuit board, a rigid printed circuit board, and a flexible rigid printed circuit board.
  • the coil 9 and the magnetic sensor 10 are mounted on the insulating substrate 15 .
  • the first detection magnet 6A is provided in the intermediate member 3 and the second detection magnet 6B is provided in the optical element holding member 2. It is different from the optical element driving device 100 in which the second detection magnet 6B is provided on the optical element holding member 2 .
  • the second detection magnet 6B is accommodated in the concave portion 2P formed in the lower surface of the first side portion 2E1 of the optical element holding member 2.
  • the first detection magnet 6A is accommodated in a recess 3P formed in the lower surface of the second side portion 3E2 of the intermediate member 3.
  • the first detection magnet 6A is accommodated in the first concave portion 2P1 formed in the first corner portion 2C1 of the optical element holding member 2
  • a magnet 6B is housed in a second recess 2P2 formed in the second corner 2C2 of the optical element holding member 2.
  • FIG. 20 the second detection magnet 6B is accommodated in the concave portion 2P formed in the lower surface of the first side portion 2E1 of the optical element holding member 2.
  • the first detection magnet 6A is accommodated in a recess 3P formed in the lower surface of the second side portion 3E2 of the intermediate member 3.
  • the first detection magnet 6A is accommodated in the first concave portion 2P1 formed in the first corner portion 2C1
  • the optical element driving device 100B has six magnetic attraction means MA (first magnetic attraction means MA1 to sixth magnetic attraction means MA6). It differs from the optical element driving device 100 having three magnetic attraction means MA3).
  • the first magnetic attraction means MA1 generates a magnetic attraction force between the first driving magnet 5A and the magnetic member 16, which are spaced apart from each other in the vertical direction. is configured to act.
  • the second magnetic attraction means MA2 is configured to exert a magnetic attraction force between the second detection magnet 6B and the magnetic member 16 which are spaced apart from each other in the vertical direction.
  • the third magnetic attraction means MA3 is configured to exert a magnetic attraction force between the first detection magnet 6A and the magnetic member 16 which are spaced apart from each other in the vertical direction.
  • the fourth magnetic attraction means MA4 is configured to exert a magnetic attraction force between the second driving magnet 5B and the magnetic member 16 which are spaced apart from each other in the vertical direction.
  • the fifth magnetic attraction means MA5 magnetically attracts the first driving magnet 5A and the first magnetic member 14A provided on the upper surface of the optical element holding member 2, which are arranged with a space therebetween in the vertical direction. configured to exert force.
  • the sixth magnetic attraction means MA6 magnetically attracts between the first detection magnet 6A and the third magnetic member 14C provided on the upper surface of the optical element holding member 2, which are arranged with a space therebetween in the vertical direction. configured to exert force.
  • the optical element driving device 100B includes four lower balls 11 (first lower ball 11A to fourth lower ball 11D) and four upper balls 12 (first upper ball 12A to fourth upper ball 12D). , and differs from the optical element driving device 100 including three lower balls 11 and three upper balls 12 .
  • the lower portions of the first lower ball 11A to the fourth lower ball 11D are formed in the upper surface of the base member 18, respectively. 18S4, and the upper parts of the first lower ball 11A to the fourth lower ball 11D are respectively formed in the lower surface of the intermediate member 3 by the first recess 3S1 to the fourth recess 3S4 (see the upper diagram of FIG. 21). ) are housed in
  • the lower portions of the first upper ball 12A to the fourth upper ball 12D are accommodated in the first recess 3T1 to the fourth recess 3T4 formed in the upper surface of the intermediate member 3, respectively.
  • the upper parts of the first upper ball 12A to the fourth upper ball 12D are accommodated in the first recess 2S1 to the fourth recess 2S4 (see the upper diagram of FIG. 20) formed in the lower surface of the optical element holding member 2, respectively.
  • the intermediate member 3 is configured to have a U shape in plan view, as shown in FIG. Specifically, the intermediate member 3 has three side portions 3E (a first side portion 3E1, a second side portion 3E2, and a fourth side portion 3E4), and the side portion on the Y1 side is notched to form a space. It is configured to be SP.
  • FIG. 21 shows the space SP with a dashed line for clarity.
  • the optical element driving device 100 has a fixed side member FB including a support member (base member 18) and an optical element OE, as shown in FIGS.
  • An optical element holding member 2 having a possible through hole 2K penetrating in the vertical direction, and a support member (base member 18) provided between the optical element holding member 2 and the support member (base member 18) in the vertical direction (Z-axis direction).
  • An intermediate member 3 movable in a first direction (X-axis direction) perpendicular to the vertical direction (Z-axis direction) with respect to the base member 18), and disposed between the support member (base member 18) and the intermediate member 3 at least three lower balls 11 arranged between the intermediate member 3 and the optical element holding member 2; at least three upper balls 12 arranged between the intermediate member 3 and the optical element holding member 2;
  • a first driving means DM1 for moving in one direction (X-axis direction), and an optical element holding member 2 perpendicular to the vertical direction (Z-axis direction) with respect to the intermediate member 3 and perpendicular to the first direction (X-axis direction).
  • a second drive means DM2 for moving in a second direction (Y-axis direction).
  • the optical element holding member 2 is configured to be movable along a plane (XY plane) perpendicular to the vertical direction (Z-axis direction) with respect to the supporting member (base member 18).
  • the first driving means DM1 includes a supporting member (base member 18) that faces the first driving magnet 5A provided in the intermediate member 3 and the first driving magnet 5A in the vertical direction (Z-axis direction).
  • the second driving means DM2 has a second driving magnet 5B provided in the optical element holding member 2 and a second driving magnet 5B provided in the optical element holding member 2 in the vertical direction (Z-axis direction). 5B and a second coil 9B provided on the supporting member (base member 18) so as to face.
  • the support member may be the case 4 . In this case, the upper ball is read as the lower ball, and the lower ball is read as the upper ball.
  • the first driving magnet 5A is provided on the intermediate member 3. Therefore, even if the optical element holding member 2 moves in the second direction (Y-axis direction), the relative positional relationship between the first driving magnet 5A and the first coil 9A does not change. Therefore, this configuration can suppress a decrease in driving efficiency of the first driving means DM1.
  • the intermediate member 3 moves in the first direction (X-axis direction)
  • the relative positional relationship between the second driving magnet 5B and the second coil 9B changes.
  • the optical element holding member 2 were to move in the second direction (Y-axis direction)
  • the effect of the change on the second driving means DM2 would be When the relative positional relationship changes, the change has less influence on the first driving means DM1.
  • the first driving means DM1 moves both the intermediate member 3 and the optical element holding member 2, whereas the second driving means DM2 moves only the optical element holding member 2. be. Further, in this configuration, the driving magnet 5 and the coil 9 face each other in the vertical direction (Z-axis direction). Therefore, this configuration can suppress the size of the optical element driving device 100 in plan view.
  • the intermediate member 3 may have a concave portion 3R as a first accommodating portion with the support member (base member 18) side (lower side) opened.
  • the first driving magnet 5A is arranged in the recess 3R and fixed to the intermediate member 3, as shown in the lower diagram of FIG.
  • the optical element holding member 2 may have a concave portion 2R as a second accommodating portion with the support member (base member 18) side (lower side) opened. good.
  • the second driving magnet 5B is arranged in the concave portion 2R and fixed to the optical element holding member 2, as shown in the lower diagram of FIG.
  • each of the recesses 2R and 3R which are open downward, may be open laterally (outward in the radial direction) in addition to downward.
  • This configuration brings about the effect that the holding of each of the first driving magnet 5A and the second driving magnet 5B is ensured.
  • first driving magnet 5A and the second driving magnet 5B may be arranged at least partially in the same position in the vertical direction (Z-axis direction). That is, the first driving magnet 5A and the second driving magnet 5B are arranged so as to overlap each other by a distance DX in the vertical direction (Z-axis direction), as shown in the front view and right side view of FIG. good too.
  • the first coil 9A and the second coil 9B can also be arranged at least partially at the same position in the vertical direction (Z-axis direction). That is, the first coil 9A and the second coil 9B may also be arranged so as to overlap each other by a predetermined distance in the vertical direction (Z-axis direction), as shown in the front view and right side view of FIG.
  • This configuration has the effect of reducing the dimension of the optical element driving device 100 in the vertical direction.
  • the optical element driving device 100 includes a magnetic attraction means MA that generates a force that attracts the optical element holding member 2 and the support member (base member 18) in the vertical direction (Z-axis direction).
  • the magnetic attraction means MA is provided on the second driving magnet 5B provided on the optical element holding member 2, the attraction magnet 8 provided on the optical element holding member 2, and the supporting member (base member 18). It may have a magnetic member 13 attached to it.
  • the magnetic member 13 may be provided on the supporting member (base member 18) so that the magnetic member 13 and the second driving magnet 5B and the attracting magnet 8 are attracted to each other.
  • the lower ball 11 can be sandwiched between the intermediate member 3 and the base member 18 by magnetic force without using an urging member such as a leaf spring or coil spring, and the upper ball 12 can be held by the optical element holding member by magnetic force. 2 and the intermediate member 3 can be sandwiched.
  • the optical element driving device 100 may have three upper balls 12 as shown in FIG.
  • one of the three upper balls 12 (first upper ball 12A) is positioned between two attraction magnets 8 (first attraction magnet 8A and second attraction magnet 8B). may be placed.
  • Another one of the three upper balls 12 (the second upper ball 12B) is located between the center of the second driving magnet 5B and the two attracting magnets 5B in a plan view along the vertical direction (Z-axis direction).
  • first triangle TR1 formed by connecting the respective centers of the magnets 8 (the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B), and is located outside the center of the second driving magnet 5B and two It may be arranged so as to face the first side TR1F of the first triangle TR1 connecting the center of one of the attracting magnets 8 (the second attracting magnet 8B). Further, the remaining one (third upper ball 12C) of the three upper balls 12 is positioned outside the first triangle TR1 in a plan view along the vertical direction (X-axis direction), and is positioned outside the second triangle TR1. It may be arranged so as to face the second side TR1S of the first triangle TR1 connecting the center of the driving magnet 5B and the center of the other of the two attracting magnets 8 (the first attracting magnet 8A).
  • the upper ball 12 is stably held between the optical element holding member 2 and the intermediate member 3 by three magnets (the second driving magnet 5B, the first attracting magnet 8A, and the second attracting magnet 8B). produce the effect of being able to
  • the first triangle TR1 and the second triangle TR2 formed by connecting the centers of the three upper balls 12 are substantially opposite. This is because
  • the optical element driving device 100 may also have three lower balls 11 as shown in FIG.
  • one of the three lower balls 11 third lower ball 11C
  • two attracting magnets 8 first attracting magnet 8A and second attracting magnet 8B
  • the remaining one of the three lower balls 11 (the second lower ball 11B) is located outside the first triangle TR1 and faces the second side TR1S in a plan view along the vertical direction. may be arranged to
  • This configuration allows the lower ball 11 to be stably held between the intermediate member 3 and the base member 18 by three magnets (the second driving magnet 5B, the first attracting magnet 8A, and the second attracting magnet 8B). effect.
  • the three magnets are separated from each other by the three lower balls 11 (the first lower ball 11A, the second lower ball 11B, and the third lower ball 11C) arranged separately from each other. This is because it is sandwiched between the intermediate member 3 and the base member .
  • the optical element driving device 100 may also include three lower balls 11 and three upper balls 12, as shown in FIG.
  • the optical element driving device 100 is formed by connecting the center of the second driving magnet 5B and the centers of the two attracting magnets 8 (the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B).
  • the center of gravity (point CG3) of the third triangle TR3 formed by connecting It may be configured to be positioned within (a cross-patterned region).
  • the lower ball 11 and the upper ball 12 are connected to the optical element holding member 2 and the base member 18 by three magnets (the second driving magnet 5B, the first attracting magnet 8A, and the second attracting magnet 8B). It brings about an effect that it can be more stably clamped between.
  • the three lower balls 11 and the three upper balls 12 are arranged at different positions in a plan view in the vertical direction (Z-axis direction). It may be configured to be
  • This configuration has the effect of reducing the dimension of the optical element driving device 100 in the vertical direction (Z-axis direction) because the lower ball 11 and the upper ball 12 do not overlap in the vertical direction (Z-axis direction).
  • the optical element holding member 2 may be formed in a frame shape having a first side portion 2E1, a second side portion 2E2, a third side portion 2E3, and a fourth side portion 2E4. good.
  • the third side portion 2E3 is arranged to face the first side portion 2E1 across the through hole 2K, and the first side portion 2E1 has a second side portion extending in the first direction (X-axis direction).
  • a driving magnet 5B may be arranged.
  • One end (fourth corner 2C4) of the third side 2E3 is provided with one of the two attracting magnets 8 (first attracting magnet 8A).
  • the other of the two attracting magnets 8 may be arranged at the triangular portion 2C3).
  • a first detection magnet 6A is arranged at one end (first corner 2C1) of the first side 2E1, and a second detection magnet 6A is arranged at the other end (second corner 2C2) of the first side 2E1.
  • a magnet 6B may be arranged.
  • the first magnetic sensor 10A is provided on the support member (base member 18) so as to face the first detection magnet 6A in the vertical direction (Z-axis direction).
  • the second magnetic sensor 10B may be provided on the support member (base member 18) so as to face the second detection magnet 6B.
  • This configuration allows a plurality of magnets (second drive magnet 5B, first detection magnet 6A, second detection magnet 6B, first attraction magnet 8A, and second attraction magnet 8B) to be arranged in good balance. effect.
  • the optical element driving device 100 may include a magnetic attraction means MA that generates a force that attracts the intermediate member 3 and the optical element holding member 2 with the upper ball 12 interposed therebetween.
  • the magnetic attraction means MA may include an attraction magnet 8 provided on the optical element holding member 2 .
  • the optical element driving device 100A may include magnetic attraction means MA for generating a force that attracts the intermediate member 3 and the optical element holding member 2 with the upper ball 12 therebetween.
  • the magnetic attraction means MA may include an attraction magnet 8 provided on the intermediate member 3 .
  • This configuration provides an effect that the upper ball 12 can be sandwiched between the optical element holding member 2 and the intermediate member 3 by magnetic force without using an urging member such as a leaf spring or coil spring.
  • the optical element holding member 2 includes a first side portion 2E1 and a second side portion 2E1 facing each other across the through hole 2K, as shown in FIG. 4 or FIG.
  • the width dimension W3 of the third side portion 2E3 in the direction (Y-axis direction) orthogonal to the direction (X-axis direction) in which the third side portion 2E3 extends is the width dimension W1 of the first side portion 2E1, It may be smaller than both the width dimension W2 of the second side portion 2E2 and the width dimension W4 of the fourth side portion 2E4. 5 or 14, the intermediate member 3 extends along the first side 2E1, the second side 2E2, and the fourth side 2E4 of the optical element holding member 2 in the vertical direction (Z-axis direction). You may have the 1st side part 3E1, the 2nd side part 3E2, and the 4th side part 3E4 which each oppose.
  • the attracting magnets 8 may be provided on the second side portion 2E2 and the fourth side portion 2E4 of the optical element holding member 2, as shown in FIG. In the optical element driving device 100, the attracting magnet 8 may be provided on either one of the second side portion 2E2 and the fourth side portion 2E4 of the optical element holding member 2.
  • FIG. For example, when the first direction in which the intermediate member 3 moves is defined as the Y-axis direction and the second direction in which the optical element holding member 2 moves is defined as the X-axis direction, the first driving magnet 5A is positioned in the intermediate direction.
  • the second driving magnet 5B may be arranged on the fourth side portion 2E4 of the optical element holding member 2.
  • the attracting magnet 8 is provided on the second side portion 2E2 of the optical element holding member 2.
  • the optical element driving device 100 may be configured such that a magnetic attraction force is generated between the attraction magnet 8 and a magnetic member provided on the intermediate member 3 or the base member 18 .
  • the attracting magnet 8 may be provided on the second side portion 3E2 of the intermediate member 3, as shown in FIG.
  • the attracting magnets 8 may be provided on the second side portion 3E2 and the fourth side portion 3E4 of the intermediate member 3.
  • the first direction in which the intermediate member 3 moves is defined as the Y-axis direction
  • the first driving magnet 5A is arranged on the first side portion 3E1 of the intermediate member 3
  • the second direction in which the optical element holding member 2 moves is
  • the second driving magnet 5B may be arranged on the fourth side portion 2E4 of the optical element holding member 2 by defining the X-axis direction.
  • the attraction magnets 8 may be provided on the second side portion 3E2 and the fourth side portion 3E4 of the intermediate member 3, respectively.
  • the attracting magnet 8 may be provided on at least one of the second side portion 2E2 and the fourth side portion 2E4 of the optical element holding member 2.
  • FIG. it is preferable that the second driving magnet 5B also constitutes the magnetic attraction means.
  • the optical element OE driven by the optical element driving devices 100 and 100A and the Y2 side (right side) of the optical element driving devices 100 and 100A ) can reduce the distance to another device arranged adjacent to the device.
  • the upper balls 12 are arranged on the first side portion 2E1, the second side portion 2E2, and the fourth side portion 2E4 of the optical element holding member 2.
  • the second driving magnet 5B is provided on a side portion (first side portion 2E1) of the optical element holding member 2 different from the third side portion 2E3.
  • the members (fourth magnetic member 13D to sixth magnetic member 13F) constituting the magnetic attracting means MA have side portions different from the third side portion 2E3 of the optical element holding member 2 (the second side portion 2E2 and the fourth side portion 2E4).
  • the width dimension W3 of the third side portion 2E3 of the optical element holding member 2 can be further reduced.
  • the effect is that the distance between another device arranged adjacent to (on the right) can be made even smaller.
  • the second side portion 3E2 of the intermediate member 3 is provided with two attracting magnets 8 (a first attracting magnet 8A and a second attracting magnet 8A) separated from each other.
  • the magnet 8B) may be fixed, and the first driving magnet 5A may be fixed to the fourth side portion 3E4 of the intermediate member 3.
  • the magnetic attracting means MA includes two attracting magnets 8 (a first attracting magnet 8A and a second attracting magnet 8B), a first driving magnet 5A, and a magnetic member 13 ( The first magnetic member 13A to the sixth magnetic member 13F) may be included.
  • the magnetic member 13 (fourth magnetic member 13D to sixth magnetic member 13F) has two attracting magnets 8 (first attracting magnet 8A and second attracting magnet 8B) in the vertical direction (Z-axis direction) and It may be fixed to the optical element holding member 2 so that an attractive force acts between each of the first driving magnets 5A and the magnetic members 13 (fourth magnetic members 13D to sixth magnetic members 13F).
  • the three magnetic members 13 (fourth magnetic member 13D to sixth magnetic member 13F) may be composed of one or two magnetic members.
  • the fourth magnetic member 13D and the fifth magnetic member 13E may be integrated as one magnetic member.
  • This configuration provides an effect that the upper ball 12 can be more stably held between the optical element holding member 2 and the intermediate member 3 by magnetic forces generated at three locations.
  • the optical element driving device 100A As shown in FIG. 14, two attracting magnets 8 (a first attracting magnet 8A and a second attracting magnet 8B) are fixed to the intermediate member 3 in a separated state. Moreover, the first driving magnet 5A may be fixed at a position separated from the two attracting magnets 8 (the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B).
  • the magnetic attraction means MA (fourth magnetic attraction means MA4 to sixth magnetic attraction means MA6) includes two attraction magnets 8 (first attraction magnet 8A and second attraction magnet 8A). 8B), the first driving magnet 5A, and the magnetic member 13 (fourth magnetic member 13D to sixth magnetic member 13F).
  • the magnetic member 13 (fourth magnetic member 13D to sixth magnetic member 13F) has two attracting magnets 8 (first attracting magnet 8A and second attracting magnet 8B) in the vertical direction (Z-axis direction) and It may be fixed to the optical element holding member 2 so that an attractive force acts between each of the first driving magnets 5A and the magnetic members 13 (fourth magnetic members 13D to sixth magnetic members 13F).
  • the optical element driving device 100A includes another magnetic attraction means MA (first magnetic attraction means MA1 to second magnetic attraction means MA1) that generates a force that attracts the intermediate member 3 and the support member (base member 18) to each other with the lower ball 11 interposed therebetween.
  • 3 magnetic attraction means MA3 may be provided.
  • another magnetic attraction means MA (first magnetic attraction means MA1 to third magnetic attraction means MA3) includes, as shown in FIG. 8B), the first driving magnet 5A, and another magnetic member 13 (first magnetic member 13A to third magnetic member 13C). Further, another magnetic member 13 (first magnetic member 13A to third magnetic member 13C) has two attracting magnets 8 (first attracting magnet 8A and second attracting magnet 8B) in the vertical direction (Z-axis direction). ) and the first driving magnet 5A and another magnetic member 13 (first magnetic member 13A to third magnetic member 13C), fixed to the support member (base member 18) so that an attractive force acts between each of them. may have been
  • the lower ball 11 is connected to the intermediate member 3 by another magnetic attraction means MA (first magnetic attraction means MA1 to third magnetic attraction means MA3) without using a biasing member such as a leaf spring or a coil spring. It brings about an effect that it can be sandwiched with the base member 18 . Further, in this configuration, the intermediate member 3 and the base member 18 are lowered by the magnetic force generated by each of the three magnets (the first driving magnet 5A, the first attracting magnet 8A, and the second attracting magnet 8B). This provides an effect that the side ball 11 can be stably held and the upper ball 12 can be stably held between the optical element holding member 2 and the intermediate member 3 .
  • first magnetic attraction means MA1 to third magnetic attraction means MA3 without using a biasing member such as a leaf spring or a coil spring.
  • each of the three magnets (the first driving magnet 5A, the first attracting magnet 8A, and the second attracting magnet 8B) is connected to the magnetic attraction means MA (fourth magnetic attraction means MA4 to sixth It is shared by the magnetic attraction means MA6) and another magnetic attraction means MA (first magnetic attraction means MA1 to third magnetic attraction means MA3). Therefore, this configuration brings about the effect of being able to reduce the number of parts.
  • the optical element driving device 100A may also include three lower balls 11 (first lower ball 11A to third lower ball 11C), as shown in FIG.
  • one of the three lower balls 11 (first lower ball 11A) is arranged between two attracting magnets 8 (first attracting magnet 8A and second attracting magnet 8B).
  • the remaining one (second lower ball 11B) of the three lower balls 11 extends in the second direction (Y-axis direction) in a plan view along the vertical direction (Z-axis direction). It may be arranged so as to face the other end (the end on the Y2 side) of the first driving magnet 5A.
  • This configuration allows the lower ball 11 to be stably held between the intermediate member 3 and the base member 18 by three magnets (the first driving magnet 5A, the first attracting magnet 8A, and the second attracting magnet 8B). effect.
  • the optical element driving device 100A may also include three upper balls 12, as shown in FIG.
  • one of the three upper balls 12 (the second upper ball 12B) has two attracting magnets 8 (the first attracting magnet 8A and It may be located on an extension line of the imaginary line TR11T connecting the centers of the second attracting magnets 8B), and may be arranged to the side (right side) of the attracting magnets 8 (second attracting magnets 8B).
  • Another one of the three upper balls 12 (the first upper ball 12A) is located between the center of the first driving magnet 5A and the two attracting magnets in a plan view along the vertical direction (the Z-axis direction).
  • first triangle TR11 Positioned outside a first triangle TR11 formed by connecting the respective centers of the magnets 8 (the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B), and the center of the first driving magnet 5A. and the center of one of the two attracting magnets 8 (the first attracting magnet 8A).
  • the remaining one (third upper ball 12C) of the three upper balls 12 is positioned outside the first triangle TR11 in plan view along the vertical direction (Z-axis direction), and is positioned outside the first triangle TR11.
  • a second side TR11S Arranged so as to face a second side TR11S, which is the other side of the first triangle TR11 connecting the center of the driving magnet 5A and the center of the other of the two attracting magnets 8 (the second attracting magnet 8B). may have been
  • the upper ball 12 is stably held between the optical element holding member 2 and the intermediate member 3 by three magnets (the first driving magnet 5A, the first attracting magnet 8A, and the second attracting magnet 8B). produce the effect of being able to
  • the three upper balls 12 (the first upper ball 12A, the second upper ball 12B, and the third upper ball 12C) distributed and spaced from each other are arranged to form an optical element by means of the three magnets distributed and spaced from each other. This is because it is sandwiched between the holding member 2 and the intermediate member 3 .
  • the optical element driving device 100A may also include three lower balls 11 and three upper balls 12, as shown in FIG.
  • the optical element driving device 100A is formed by connecting the center of the first driving magnet 5A and the centers of the two attracting magnets 8 (the first attracting magnet 8A and the second attracting magnet 8B). center of gravity of the first triangle TR11 (point CG11), the center of gravity of the second triangle TR12 formed by connecting the centers of the three upper balls 12 (point CG12), and the center of each of the three lower balls 11
  • the lower balls 11 and the upper balls 12 that are appropriately distributed can support the intermediate member 3 in a well-balanced manner so that it can move in parallel on the base member 18 in the X-axis direction.
  • the optical element driving device 100 may also include three lower balls 11 and three upper balls 12, as shown in FIG.
  • the base member 18 as a support member may have three recesses 18S as upward recesses on the lower side, which are open at the top in which the lower balls 11 are arranged.
  • the intermediate member 3 has three concave portions 3S (see the upper diagram of FIG. 5) which are open at the bottom where the lower balls 11 are arranged, and an open upper portion where the upper balls 12 are arranged. It may have recesses 3T as three upper upward recesses.
  • the optical element holding member 2 may have recesses 2S (see the upper diagram of FIG. 4) as three upper downward recesses that are open at the bottom in which the upper balls 12 are arranged.
  • One of the three recesses 18S (first recess 18S1) and one of the three recesses 3S (first recess 3S1) correspond to one of the three lower balls 11 (first lower ball). They may be arranged so as to face each other with the ball 11A) interposed therebetween.
  • second recess 18S2 and another one of the three recesses 3S are different from the three lower balls 11. (second lower ball 11B).
  • one of the three recessed portions 18S (first recessed portion 18S1), one of the three recessed portions 3S (first recessed portion 3S1), and another one of the three recessed portions 18S (second recessed portion 18S2) ) and another one (second recess 3S2) of the three recesses 3S are arranged downward so that the intermediate member 3 can move in the first direction (X-axis direction) with respect to the base member 18.
  • a lower ball guide structure for guiding the balls 11 may be configured.
  • each of the third recess 3S3 and the third recess 18S3 has a size (width D1 and width D2) in plan view that is equal to that of the lower ball 11 (third lower ball 11C). may be configured to be larger than the diameter D3.
  • This configuration brings about the effect that the intermediate member 3 can be linearly moved in the first direction (X-axis direction) with respect to the base member 18 .
  • One of the three recesses 3T (first recess 3T1) and one of the three recesses 2S (first recess 2S1) correspond to one of the three upper balls 12 (first upper ball). They may be arranged so as to face each other with the ball 12A) interposed therebetween.
  • Another one of the three recesses 3T (the second recess 3T2) and another one of the three recesses 2S (the second recess 2S2) correspond to another one of the three upper balls 12. They may be arranged so as to face each other with one (second upper ball 12B) interposed therebetween.
  • one of the three recessed portions 3T (first recessed portion 3T1), one of the three recessed portions 2S (first recessed portion 2S1), and another one of the three recessed portions 3T (second recessed portion 3T2 ) and another one of the three recesses 2S (second recess 2S2) are arranged so that the optical element holding member 2 can move in the second direction (Y-axis direction) with respect to the intermediate member 3.
  • An upper ball guide structure that guides the upper ball 12 may be configured.
  • the remaining one (third recess 3T3) of the three recesses 3T and the remaining one (third recess 2S3) of the three recesses 2S are the remaining recesses of the three upper balls 12. They may be arranged so as to face each other with one (third upper ball 12C) interposed therebetween. As shown in the lower left diagram of FIG. 8, each of the third recessed portion 3T3 and the third recessed portion 2S3 has a size (width D21 and width D22) in plan view that corresponds to the diameter of the upper ball 12 (third upper ball 12C). It may be configured to be larger than D23.
  • This configuration brings about the effect that the optical element holding member 2 can be linearly moved in the second direction (Y-axis direction) with respect to the intermediate member 3 .
  • the optical element holding member 2 includes a first side portion 2E1 and a third side portion 2E3 facing each other with the through hole 2K interposed therebetween.
  • the intermediate member 3 faces the first side portion 2E1, the second side portion 2E2, and the fourth side portion 2E4 of the optical element holding member 2 in the vertical direction (Z-axis direction).
  • the optical element holding member 2 has a first side portion 3E1, a second side portion 3E2, and a fourth side portion 3E4, and a portion facing the third side portion 2E3 of the optical element holding member 2 is cut out to form a substantially U-shape. may have.
  • the second driving magnet 5B fixed to the optical element holding member 2 may be arranged in the notched portion (space SP) of the intermediate member 3 as shown in FIGS. 18 and 19 .
  • This configuration has the effect of suppressing the size of the optical element driving device 100B in plan view. Specifically, this configuration brings about an effect that the width dimension of the optical element driving device 100B in the Y-axis direction can be reduced.
  • the fixed side member FB may have a case 4 as a metal cover member forming a housing HS together with the base member 18, as shown in FIG.
  • the intermediate member 3 and the optical element holding member 2 may be housed inside the housing HS.
  • the optical element holding member 2 may be larger than the intermediate member 3 in plan view.
  • the outer peripheral surface of the optical element holding member 2 is provided with a first contact surface that can come into contact with the inner surface of the case 4 when the optical element holding member 2 moves in the first direction (X-axis direction).
  • the contact portion ST that constitutes the structure for limiting the movement range of the optical element holding member 2 includes a first contact portion ST1 and a second contact portion ST2.
  • the first contact portion ST1 includes a first right front contact portion ST11 and a first left front contact portion ST12 formed on the front side (X1 side) side surface of the optical element holding member 2, and the optical element holding member 2. It includes a first left rear contact portion ST13 and a first right rear contact portion ST14 formed on the side surface on the rear side (X2 side).
  • the second contact portion ST2 includes a second left front contact portion ST21 and a second left rear contact portion ST22 formed on the left (Y1 side) side surface of the optical element holding member 2, and the optical element holding member 2. a second right rear contact portion ST23 and a second right front contact portion ST24 formed on the right side (Y2 side) of the .
  • This configuration brings about the effect that the movement range of the optical element holding member 2 can be restricted with a simple configuration. That is, this configuration brings about an effect that a stopper mechanism for the optical element holding member 2 can be realized with a simple configuration. Moreover, this configuration brings about an effect that the dimensional accuracy of the stopper mechanism can be easily improved compared to the configuration in which a part of the plurality of contact portions ST is provided on the intermediate member 3 . This is because the dimensional accuracy of the stopper mechanism can be increased simply by increasing the dimensional accuracy of the optical element holding member 2 .
  • the first driving means DM1 is composed of one first driving magnet 5A and one first coil 9A. It may be composed of the first driving magnet 5A and the pair of first coils 9A. The same applies to the second driving means DM2.
  • the intermediate member 3 is a rectangular annular member having four sides (first side 3E1 to fourth side 3E4) as shown in FIG. Like the device 100B, it may be a substantially U-shaped member (see FIG. 21) that does not have one side (third side 3E3).
  • Magnetic sensor 10A First magnetic sensor 10B Second magnetic sensor 11 Lower ball 11A First lower ball 11B Second lower ball 11C Third lower Side ball 11D... 4th lower ball 12... Upper side ball 12A... 1st upper side ball 12B... 2nd upper side ball 12C... 3rd upper side ball 12D... 4th upper side ball 13 ... magnetic member 13A ... first magnetic member 13B ... second magnetic member 13C ... third magnetic member 13D ... fourth magnetic member 13E ... fifth magnetic member 13F ... third 6 Magnetic member 14... Magnetic member 14A... First magnetic member 14B... Second magnetic member 14C... Third magnetic member 14D... Fourth magnetic member 15...
  • Insulating substrate 16 ... ⁇ Magnetic member 18...Base member 18B...Concave part 18B1...First concave part 18B2...Second concave part 18K...Through hole 18P...Convex part 18P1...First convex part 18P2- ... second convex portion 18S ... concave portion 18S1 ... first concave portion 18S2 ... second concave portion 18S3 ... third concave portion 18S4 ... fourth concave portion 18U ... concave portion 18U1 ...
  • first Concave portion 18U2 Second concave portion 18U3 Third concave portion 100, 100A, 100B Optical element driving device CG1 to CG3, CG11 to CG13 Points CP1, CP2, CP11 to CP14, CP21, CP22, CP31 to CP34... Contacts DM... Drive means DM1... First drive means DM2... Second drive means FB... Fixed side member HS... Housing LB... Lower side member MA ... Magnetic attraction means MA1 ... First magnetic attraction means MA2 ... Second magnetic attraction means MA3 ... Third magnetic attraction means MA4 ... Fourth magnetic attraction means MA5 ...

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Abstract

光学素子駆動装置（１００）は、ベース部材（１８）と中間部材（３）との間に配置された三つの下側ボール（１１）と、中間部材（３）と光学素子保持部材（２）との間に配置された三つの上側ボール（１２）と、中間部材（３）をベース部材（１８）に対してＸ軸方向へ移動させる第１駆動手段（ＤＭ１）と、光学素子保持部材（２）を中間部材（３）に対してＹ軸方向へ移動させる第２駆動手段（ＤＭ２）とを備える。第１駆動手段（ＤＭ１）は、中間部材（３）に設けられた第１駆動用磁石（５Ａ）と、Ｚ軸方向において第１駆動用磁石（５Ａ）と対向するようにベース部材（１８）に設けられた第１コイル（９Ａ）とを有し、第２駆動手段（ＤＭ２）は、光学素子保持部材（２）に設けられた第２駆動用磁石（５Ｂ）と、Ｚ軸方向において第２駆動用磁石（５Ｂ）と対向するようにベース部材（１８）に設けられた第２コイル（９Ｂ）とを有する。

Description

光学素子駆動装置
　本開示は、光学素子駆動装置に関する。
　従来、磁石及びコイルを利用し、スライド部材に取り付けられたレンズをホルダに対して移動させるユニットが知られている（特許文献１参照）。このユニットは、レンズの光軸と直交する第１方向に延びるようにホルダに形成された第１溝に配置されるボールを挟んでスライド部材をホルダに押し付けるスプリングを有する。スライド部材には、レンズの光軸と直交する第２方向に延びるように第２溝が形成されている。また、第２溝にもボールが配置されている。そして、このユニットは、第１磁石と第１コイルとによってスライド部材を第１溝に沿って移動させ、且つ、第２磁石と第２コイルとによってスライド部材を第２溝に沿って移動させるように構成されている。
特開２０１１－１５８７１４号公報
　しかしながら、このユニットでは、第１磁石、第２磁石、第１コイル、及び第２コイルのそれぞれは、スライド部材の外側（レンズの光軸を中心とする円の径方向の外側）に配置されている。そのため、このユニットは、レンズの光軸を中心とする円の径方向におけるサイズが大きくなってしまうおそれがある。
　そこで、レンズ等の光学素子を駆動する装置を更に小型化させることが望ましい。
　本発明の実施形態に係る光学素子駆動装置は、支持部材を含む固定側部材と、光学素子を配置可能な上下方向に貫通する貫通孔を有する光学素子保持部材と、上下方向において前記支持部材と前記光学素子保持部材との間に設けられ、前記支持部材に対して上下方向に垂直な第１方向へ移動可能な中間部材と、前記支持部材と前記中間部材との間に配置された少なくとも三つの下側ボールと、前記中間部材と前記光学素子保持部材との間に配置された少なくとも三つの上側ボールと、前記中間部材を前記支持部材に対して前記第１方向へ移動させる第１駆動手段と、前記光学素子保持部材を前記中間部材に対して上下方向に垂直で且つ前記第１方向に垂直な第２方向へ移動させる第２駆動手段と、を備え、前記光学素子保持部材が、前記支持部材に対して上下方向に垂直な平面に沿って移動可能な光学素子駆動装置において、前記第１駆動手段は、前記中間部材に設けられた第１駆動用磁石と、上下方向において前記第１駆動用磁石と対向するように前記支持部材に設けられた第１コイルとを有し、前記第２駆動手段は、前記光学素子保持部材に設けられた第２駆動用磁石と、上下方向において前記第２駆動用磁石と対向するように前記支持部材に設けられた第２コイルとを有する。
　上述の光学素子駆動装置は、全体のサイズを更に小型化させることができる。
光学素子駆動装置の一例の斜視図である。 図１の光学素子駆動装置の分解斜視図である。 図１の光学素子駆動装置を構成する下側部材の分解斜視図である。 図１の光学素子駆動装置を構成する光学素子保持部材の下面図である。 図１の光学素子駆動装置を構成する中間部材の下面図である。 図１の光学素子駆動装置を構成する固定側部材の分解斜視図である。 図１の光学素子駆動装置を構成する磁気システムの三面図である。 ボール収容構造の断面図である。 図１の光学素子駆動装置を構成する駆動用磁石、吸引用磁石、下側ボール、及び上側ボールの上面図である。 光学素子駆動装置の別の一例の斜視図である。 図１０の光学素子駆動装置の分解斜視図である。 図１０の光学素子駆動装置を構成する下側部材の分解斜視図である。 図１０の光学素子駆動装置を構成する光学素子保持部材の下面図である。 図１０の光学素子駆動装置を構成する中間部材の下面図である。 図１０の光学素子駆動装置を構成する磁気システムの三面図である。 図１０の光学素子駆動装置を構成する駆動用磁石、吸引用磁石、下側ボール、及び上側ボールの上面図である。 光学素子駆動装置の更に別の一例の斜視図である。 図１７の光学素子駆動装置の分解斜視図である。 図１７の光学素子駆動装置を構成する下側部材の分解斜視図である。 図１７の光学素子駆動装置を構成する光学素子保持部材の下面図である。 図１７の光学素子駆動装置を構成する中間部材の下面図である。 図１７の光学素子駆動装置を構成する磁気システムの三面図である。
　以下、本発明の実施形態に係る光学素子駆動装置１００について図面を参照して説明する。図１は、光学素子駆動装置１００の斜視図である。図２は、ケース４と下側部材ＬＢとで構成される光学素子駆動装置１００の分解斜視図であり、ケース４が下側部材ＬＢから分離された状態を示す。図３は、下側部材ＬＢの分解斜視図であり、可動側部材ＭＢが固定側部材ＦＢから分離された状態を示す。図４は、光学素子駆動装置１００を構成している光学素子保持部材２の下面図である。図５は、光学素子駆動装置１００を構成している中間部材３の下面図である。図６は、固定側部材ＦＢの分解斜視図である。なお、図４では、明瞭化のため、光学素子保持部材２にドットパターンが付されている。同様に、図５では、明瞭化のため、中間部材３にドットパターンが付されている。
　図１～図６において、Ｘ１は、三次元直交座標系を構成するＸ軸の一方向を表し、Ｘ２は、Ｘ軸の他方向を表す。また、Ｙ１は、三次元直交座標系を構成するＹ軸の一方向を表し、Ｙ２は、Ｙ軸の他方向を表す。同様に、Ｚ１は、三次元直交座標系を構成するＺ軸の一方向を表し、Ｚ２は、Ｚ軸の他方向を表す。図１では、光学素子駆動装置１００のＸ１側は、光学素子駆動装置１００の前側（正面側）に相当し、光学素子駆動装置１００のＸ２側は、光学素子駆動装置１００の後側（背面側）に相当する。また、光学素子駆動装置１００のＹ１側は、光学素子駆動装置１００の左側に相当し、光学素子駆動装置１００のＹ２側は、光学素子駆動装置１００の右側に相当する。また、光学素子駆動装置１００のＺ１側は、光学素子駆動装置１００の上側に相当し、光学素子駆動装置１００のＺ２側は、光学素子駆動装置１００の下側に相当する。他の図における他の部材についても同様である。
　光学素子駆動装置１００は、ＸＹ平面に平行な仮想平面において図２に示すような光学素子ＯＥを移動させるための装置である。図２では、明瞭化のため、光学素子ＯＥは、略直方体形状を有するように表されているが、円柱形状等の他の形状を有していてもよい。また、図２以外の図では、明瞭化のため、光学素子ＯＥの図示は省略されている。光学素子ＯＥは、レンズ体、ミラー、プリズム、回折格子、発光素子、受光素子、撮像素子、又は光学フィルタ等である。レンズ体は、少なくとも１枚のレンズを備えた筒状のレンズバレルである。本実施形態では、光学素子ＯＥは、レンズ体である。そのため、以下では、光学素子駆動装置１００の上側は「被写体側」と称され、光学素子駆動装置１００の下側は「撮像素子側」と称される場合がある。
　光学素子駆動装置１００は、図１及び図２に示すように、固定側部材ＦＢの一部であるケース４及び下側部材ＬＢを含んで構成されている。
　ケース４は、下側部材ＬＢを覆うカバー部材である。本実施形態では、ケース４は、オーステナイト系ステンレス鋼等の非磁性金属で形成された板材に抜き加工及び絞り加工等を施して作製されている。非磁性金属で形成されているため、ケース４は、電磁力を利用する駆動手段ＤＭ（後述）等に磁気的な悪影響を及ぼすことはない。
　ケース４は、図２に示すように、収納部４Ｓを定める有蓋矩形筒状の外形を有する。具体的には、ケース４は、略矩形筒状の外周壁部４Ａと、外周壁部４Ａの上端（Ｚ１側の端）と連続するように設けられた略矩形環状且つ平板状の天板部４Ｂと、を有する。天板部４Ｂの中央には、略矩形の貫通孔４Ｋが形成されている。外周壁部４Ａは、第１側板部４Ａ１～第４側板部４Ａ４を含む。第１側板部４Ａ１と第３側板部４Ａ３とは互いに対向し、第２側板部４Ａ２と第４側板部４Ａ４とは互いに対向している。また、第２側板部４Ａ２及び第４側板部４Ａ４は、第１側板部４Ａ１及び第３側板部４Ａ３に対して垂直に延びる。また、ケース４は、図１に示すように、接着剤によってベース部材１８に接合されてベース部材１８とともに筐体ＨＳを構成する。
　下側部材ＬＢは、図３に示すように、固定側部材ＦＢの一部である金属部材７、磁性部材１３、及びベース部材１８と、下側ボール１１と、可動側部材ＭＢと、を含む。
　下側ボール１１は、固定側部材ＦＢに対して、Ｘ軸に平行な方向に可動側部材ＭＢを移動可能に支持するように構成されている。本実施形態では、下側ボール１１は、樹脂、セラミック、又は金属等の硬い材料で形成された球形の転動体であり、第１下側ボール１１Ａ～第３下側ボール１１Ｃを含む。下側ボール１１は、ベース部材１８に形成された下側上向き凹部としての凹部１８Ｓ（図３参照）と、中間部材３に形成された下側下向き凹部としての凹部３Ｓ（図５の上図参照）との間に配置されている。具体的には、第１下側ボール１１Ａは、第１凹部１８Ｓ１（図３参照）と第１凹部３Ｓ１（図５の上図参照）との間に配置されている。また、第２下側ボール１１Ｂは、第２凹部１８Ｓ２（図３参照）と第２凹部３Ｓ２（図５の上図参照）との間に配置されている。また、第３下側ボール１１Ｃは、第３凹部１８Ｓ３（図３参照）と第３凹部３Ｓ３（図５の上図参照）との間に配置されている。この構成により、可動側部材ＭＢは、下側ボール１１によって、Ｘ軸に平行な方向に移動可能に支持されている。
　コイル９は、ベース部材１８に固定される部材である。図３に示す例では、コイル９は、巻線タイプのコイルであり、第１コイル９Ａ及び第２コイル９Ｂを含む。コイル９は、積層タイプであってもよく、フィルムタイプであってもよい。また、第１コイル９Ａ及び第２コイル９Ｂのそれぞれは、複数のコイルの組み合わせで構成されていてもよい。
　磁性部材１３は、磁気吸引手段ＭＡ（後述）を構成する部材の一つであり、磁気吸引手段ＭＡを構成する別の部材である第２駆動用磁石５Ｂ及び吸引用磁石８のそれぞれから離れたところに第２駆動用磁石５Ｂ及び吸引用磁石８のそれぞれと磁気的に引き合うように配置される。図示例では、磁性部材１３は、ベース部材１８の上面に接着固定された第１磁性部材１３Ａ、第２磁性部材１３Ｂ、及び第３磁性部材１３Ｃを含む。
　駆動手段ＤＭは、Ｘ軸方向に沿って光学素子ＯＥを移動させる第１駆動手段ＤＭ１、及び、Ｙ軸方向に沿って光学素子ＯＥを移動させる第２駆動手段ＤＭ２を含む。
　第１駆動手段ＤＭ１は、ベース部材１８に設けられた第１コイル９Ａと、Ｚ軸方向において第１コイル９Ａと対向するように離間して配置される第１駆動用磁石５Ａと、を含む。
　第２駆動手段ＤＭ２は、ベース部材１８に設けられた第２コイル９Ｂと、Ｚ軸方向において第２コイル９Ｂと対向するように離間して配置される第２駆動用磁石５Ｂと、を含む。
　略直方体形状を有する光学素子駆動装置１００は、例えば、メイン基板（図示せず。）の上に取り付けられる。コイル９は、金属部材７、及びメイン基板を介して電流供給源に接続される。コイル９に電流が流れると、駆動手段ＤＭは、ＸＹ平面に平行な方向に沿った電磁力を発生させる。
　例えば、光学素子ＯＥがレンズ体である場合、光学素子駆動装置１００は、駆動手段ＤＭによるＸＹ平面に平行な方向に沿った電磁力を利用し、ＸＹ平面に平行な方向に沿って光学素子ＯＥとしてのレンズ体を移動させることでシフト機能（手振れ補正機能）を実現できる。
　可動側部材ＭＢは、図３に示すように、光学素子保持部材２と、中間部材３と、駆動用磁石５と、検出用磁石６と、吸引用磁石８と、上側ボール１２と、を含む。
　駆動用磁石５は、第１駆動用磁石５Ａ及び第２駆動用磁石５Ｂを含む。本実施形態では、第１駆動用磁石５Ａ及び第２駆動用磁石５Ｂのそれぞれは、二極に着磁された直方体形状の永久磁石であり、内側がＳ極に着磁され、外側がＮ極に着磁されている。図３は、Ｎ極に着磁された部分をドットパターンで示している。検出用磁石６及び吸引用磁石８についても同様である。
　第１駆動用磁石５Ａは、Ｚ軸方向において第１コイル９Ａと対向するように第１コイル９Ａから離間して配置されている。第２駆動用磁石５Ｂは、Ｚ軸方向において第２コイル９Ｂと対向するように第２コイル９Ｂから離間して配置されている。第１駆動用磁石５Ａ及び第２駆動用磁石５Ｂのそれぞれは、内側がＮ極に着磁され、外側がＳ極に着磁されていてもよい。或いは、第１駆動用磁石５Ａ及び第２駆動用磁石５Ｂのそれぞれは、複数の永久磁石の組み合わせで構成されていてもよい。
　また、第２駆動用磁石５Ｂは、磁気吸引手段ＭＡを構成する部材の一つである。図示例では、第２駆動用磁石５Ｂは、第２駆動用磁石５Ｂと磁性部材１３との間で磁気的な吸引力が作用するように、光学素子保持部材２に固定されている。具体的には、第２駆動用磁石５Ｂは、Ｚ軸方向において第３磁性部材１３Ｃと対向するように第３磁性部材１３Ｃから離間して配置されている。なお、第３磁性部材１３Ｃは、第２コイル９Ｂの下側（Ｚ２側）に配置されている。
　検出用磁石６は、光学素子ＯＥの変位を検出するための部材である。具体的には、検出用磁石６は、Ｘ軸方向における光学素子ＯＥの変位を検出するための第１検出用磁石６Ａと、Ｙ軸方向における光学素子ＯＥの変位を検出するための第２検出用磁石６Ｂとを含む。図示例では、第１検出用磁石６Ａ及び第２検出用磁石６Ｂのそれぞれは、二極に着磁された直方体形状の永久磁石である。第１検出用磁石６ＡはＸ軸方向に二極に着磁され、第２検出用磁石６ＢはＹ軸方向に二極に着磁されている。なお、第１検出用磁石６Ａ及び第２検出用磁石６Ｂは、光学素子保持部材２に固定されている。
　第１検出用磁石６Ａは、Ｚ軸方向において第１磁気センサ１０Ａと対向するように第１磁気センサ１０Ａから離間して配置されている。第２検出用磁石６Ｂは、Ｚ軸方向において第２磁気センサ１０Ｂと対向するように第２磁気センサ１０Ｂから離間して配置されている。第１検出用磁石６Ａ及び第２検出用磁石６Ｂのそれぞれは、複数の永久磁石で構成されていてもよい。
　吸引用磁石８は、磁気吸引手段ＭＡを構成する部材の一つである。図示例では、吸引用磁石８は、吸引用磁石８と磁性部材１３との間で磁気的な吸引力が作用するように、光学素子保持部材２に固定されている。具体的には、吸引用磁石８は、Ｚ軸方向において第１磁性部材１３Ａと対向するように第１磁性部材１３Ａから離間して配置される第１吸引用磁石８Ａと、Ｚ軸方向において第２磁性部材１３Ｂと対向するように第２磁性部材１３Ｂから離間して配置される第２吸引用磁石８Ｂとを含む。
　上側ボール１２は、中間部材３に対して、Ｙ軸に平行な方向に光学素子保持部材２を移動可能に支持するように構成されている。本実施形態では、上側ボール１２は、樹脂、セラミック、又は金属等の硬い材料で形成された球形の転動体であり、第１上側ボール１２Ａ～第３上側ボール１２Ｃを含む。上側ボール１２は、中間部材３に形成された上側上向き凹部としての凹部３Ｔ（図３参照）と、光学素子保持部材２に形成された上側下向き凹部としての凹部２Ｓ（図４の上図参照）との間に配置されている。具体的には、第１上側ボール１２Ａは、第１凹部３Ｔ１（図３参照）と第１凹部２Ｓ１（図５の上図参照）との間に配置されている。また、第２上側ボール１２Ｂは、第２凹部３Ｔ２（図３参照）と第２凹部２Ｓ２（図５の上図参照）との間に配置されている。また、第３上側ボール１２Ｃは、第３凹部３Ｔ３（図３参照）と第３凹部２Ｓ３（図５の上図参照）との間に配置されている。この構成により、光学素子保持部材２は、上側ボール１２によって、Ｙ軸に平行な方向に移動可能に支持されている。
　光学素子保持部材２は、光学素子ＯＥ及び第２駆動用磁石５Ｂを保持できるように構成されている。本実施形態では、光学素子保持部材２は、液晶ポリマー（ＬＣＰ）等の合成樹脂を射出成形することによって形成されている。また、光学素子保持部材２は、図３に示すように、Ｚ軸に平行に延びるように形成された貫通孔２Ｋを含む。光学素子ＯＥは、貫通孔２Ｋの内周面に接着剤で固定される。
　図４は、光学素子保持部材２の下面図である。具体的には、図４の上図は、第２駆動用磁石５Ｂ、検出用磁石６、吸引用磁石８、及び上側ボール１２が配置されていないときの光学素子保持部材２の下面図であり、図４の下図は、第２駆動用磁石５Ｂ、検出用磁石６、吸引用磁石８、及び上側ボール１２が配置されたときの光学素子保持部材２の下面図である。
　具体的には、光学素子保持部材２は、略矩形環状の枠体である。枠体を構成する四つの辺部２Ｅは、第１辺部２Ｅ１～第４辺部２Ｅ４を含む。
　光学素子保持部材２の撮像素子側である下側（Ｚ２側）の端面には、図４の上図に示すように、Ｚ１方向に凹んだ凹部２Ｐが設けられている。凹部２Ｐには、図４の下図に示すように、検出用磁石６が収容される。図示例では、検出用磁石６は、光学素子保持部材２に接着剤で固定されている。具体的には、凹部２Ｐは、第１検出用磁石６Ａが収容される第１凹部２Ｐ１と、第２検出用磁石６Ｂが収容される第２凹部２Ｐ２とを含む。第１凹部２Ｐ１は、光学素子保持部材２の四つの角部２Ｃのうちの一つである第１角部２Ｃ１に設けられ、第２凹部２Ｐ２は、光学素子保持部材２の四つの角部２Ｃのうちの別の一つである第２角部２Ｃ２に設けられている。
　また、光学素子保持部材２の下側（Ｚ２側）の端面には、図４の上図に示すように、Ｚ１方向に凹んだ凹部２Ｑが設けられている。凹部２Ｑには、図４の下図に示すように、吸引用磁石８が収容される。図示例では、吸引用磁石８は、光学素子保持部材２に接着剤で固定されている。具体的には、凹部２Ｑは、第１吸引用磁石８Ａが収容される第１凹部２Ｑ１と、第２吸引用磁石８Ｂが収容される第２凹部２Ｑ２とを含む。第１凹部２Ｑ１は、光学素子保持部材２の四つの角部２Ｃのうちの一つである第４角部２Ｃ４に設けられ、第２凹部２Ｑ２は、光学素子保持部材２の四つの角部２Ｃのうちの別の一つである第３角部２Ｃ３に設けられている。
　また、第１辺部２Ｅ１の下側（Ｚ２側）の端面には、図４の上図に示すように、Ｚ１方向に凹んだ凹部２Ｒが設けられている。凹部２Ｒには、図４の下図に示すように、第２駆動用磁石５Ｂが収容される。図示例では、第２駆動用磁石５Ｂは、光学素子保持部材２に接着剤で固定されている。なお、凹部２Ｒは、下方側ばかりでなく側方側（径方向外側）に開口していてもよい。
　また、光学素子保持部材２の下側（Ｚ２側）の端面には、図４の上図に示すように、Ｚ１方向に凹んだ上側下向き凹部としての凹部２Ｓが設けられている。凹部２Ｓには、図４の下図に示すように、上側ボール１２の上側部分が収容される。図示例では、凹部２Ｓは、第１上側ボール１２Ａの上側部分が収容される第１凹部２Ｓ１と、第２上側ボール１２Ｂの上側部分が収容される第２凹部２Ｓ２と、第３上側ボール１２Ｃの上側部分が収容される第３凹部２Ｓ３とを含む。第１凹部２Ｓ１は第３辺部２Ｅ３の下側（Ｚ２側）の端面に設けられ、第２凹部２Ｓ２は第２辺部２Ｅ２の下側（Ｚ２側）の端面に設けられ、第３凹部２Ｓ３は第４辺部２Ｅ４の下側（Ｚ２側）の端面に設けられている。
　なお、第１上側ボール１２Ａ～第３上側ボール１２Ｃのそれぞれの下側部分は、中間部材３の上面に形成された上側上向き凹部としての凹部３Ｔ（図３参照）に収容される。また、凹部２Ｐ、凹部２Ｒ、及び凹部２Ｑの少なくとも一つは、Ｚ軸に平行に延びる貫通孔であってもよい。
　中間部材３は、第１駆動用磁石５Ａを保持できるように構成されている。本実施形態では、中間部材３は、液晶ポリマー（ＬＣＰ）等の合成樹脂を射出成形することによって形成されている。また、中間部材３は、図３に示すように、Ｚ軸に平行に延びるように形成された貫通孔３Ｋを含む。貫通孔３Ｋは、光学素子保持部材２の貫通孔２Ｋに対応している。光学素子ＯＥは、中間部材３に対して光学素子保持部材２が移動した場合であっても貫通孔３Ｋの内周面に接触しないように光学素子保持部材２によって保持される。
　図５は、中間部材３の下面図である。具体的には、図５の上図は、第１駆動用磁石５Ａ及び下側ボール１１が配置されていないときの中間部材３の下面図であり、図５の下図は、第１駆動用磁石５Ａ及び下側ボール１１が配置されたときの中間部材３の下面図である。
　具体的には、中間部材３は、略矩形環状の枠体である。枠体を構成する四つの辺部３Ｅは、第１辺部３Ｅ１～第４辺部３Ｅ４を含む。
　中間部材３の撮像素子側である下側（Ｚ２側）の端面には、図５の上図に示すように、Ｚ１方向に凹んだ凹部３Ｒが設けられている。凹部３Ｒには、図５の下図に示すように、第１駆動用磁石５Ａが収容される。図示例では、第１駆動用磁石５Ａは、中間部材３に接着剤で固定されている。なお、凹部３Ｒは、下方側ばかりでなく側方側（径方向外側）に開口していてもよい。
　また、中間部材３の下側（Ｚ２側）の端面には、図５の上図に示すように、Ｚ１方向に凹んだ下側下向き凹部としての凹部３Ｓが設けられている。凹部３Ｓには、図５の下図に示すように、下側ボール１１の上側部分が収容される。図示例では、凹部３Ｓは、第１下側ボール１１Ａの上側部分が収容される第１凹部３Ｓ１と、第２下側ボール１１Ｂの上側部分が収容される第２凹部３Ｓ２と、第３下側ボール１１Ｃの上側部分が収容される第３凹部３Ｓ３とを含む。第１凹部３Ｓ１は第２辺部３Ｅ２の下側（Ｚ２側）の端面に設けられ、第２凹部３Ｓ２は第１辺部３Ｅ１の下側（Ｚ２側）の端面に設けられ、第３凹部３Ｓ３は第３辺部３Ｅ３の下側（Ｚ２側）の端面に設けられている。
　なお、第１下側ボール１１Ａ～第３下側ボール１１Ｃのそれぞれの下側部分は、ベース部材１８の上面に形成された下側上向き凹部としての凹部１８Ｓ（図３参照）に収容される。また、凹部３Ｒは、Ｚ軸に平行に延びる貫通孔であってもよい。
　ベース部材１８は、液晶ポリマー等の合成樹脂を用いた射出成形によって形成される。本実施形態では、ベース部材１８は、図６に示すように、上面視で略矩形状の輪郭を有し、中央に貫通孔１８Ｋを有する。ベース部材１８の被写体側の面（Ｚ１側の面）である上面には、接着剤によりコイル９、磁気センサ１０、及び磁性部材１３が固定される。貫通孔１８Ｋは、光学素子保持部材２の貫通孔２Ｋ及び中間部材３の貫通孔３Ｋのそれぞれに対応している。また、ベース部材１８の上面には、磁気センサ１０を収容する凹部１８Ｂが形成されている。凹部１８Ｂは、第１磁気センサ１０Ａを収容する第１凹部１８Ｂ１と、第２磁気センサ１０Ｂを収容する第２凹部１８Ｂ２とを含む。また、ベース部材１８の上面には、磁性部材１３を収容する凹部１８Ｕが形成されている。凹部１８Ｕは、第１磁性部材１３Ａを収容する第１凹部１８Ｕ１と、第２磁性部材１３Ｂを収容する第２凹部１８Ｕ２と、第３磁性部材１３Ｃを収容する第３凹部１８Ｕ３とを含む。また、ベース部材１８の上面には、コイル９が固定される凸部１８Ｐが形成されている。凸部１８Ｐは、第１コイル９Ａが固定される第１凸部１８Ｐ１と、第２コイル９Ｂが固定される第２凸部１８Ｐ２とを含む。
　磁気センサ１０は、光学素子ＯＥの位置を検出できるように構成されている。本実施形態では、磁気センサ１０は、光学素子ＯＥが固定された光学素子保持部材２のＸ軸方向における変位とＹ軸方向における変位とを検出できるように複数設けられている。図６に示す例では、磁気センサ１０は、第１磁気センサ１０Ａと第２磁気センサ１０Ｂとを含む。磁気センサ１０は、四つの端子のそれぞれが金属部材７に接続された状態で凹部１８Ｂ内に収容される。具体的には、第１磁気センサ１０Ａは第１凹部１８Ｂ１内に収容され、第２磁気センサ１０Ｂは第２凹部１８Ｂ２内に収容される。
　図６に示す例では、磁気センサ１０は、ホール素子で構成され、ホール素子が受ける検出用磁石６からの磁界の大きさに応じて変化するホール素子の出力電圧を測定することで、検出用磁石６を含む可動側部材ＭＢの位置を検出できるように構成されている。但し、磁気センサ１０は、巨大磁気抵抗効果（Giant Magneto Resistive effect: GMR）素子、半導体磁気抵抗（Semiconductor Magneto Resistive: SMR）素子、異方性磁気抵抗（Anisotropic Magneto Resistive: AMR）素子、又はトンネル磁気抵抗（Tunnel Magneto Resistive: TMR）素子等の磁気抵抗素子を利用して光学素子ＯＥの位置を検出するように構成されていてもよい。
　また、ベース部材１８の上面には、下側ボール１１を収容する下側上向き凹部としての凹部１８Ｓが形成されている。具体的には、ベース部材１８には、三つの下側ボール１１（第１下側ボール１１Ａ～第３下側ボール１１Ｃ）を収容するための三つの凹部１８Ｓ（第１凹部１８Ｓ１～第３凹部１８Ｓ３）が形成されている。
　金属部材７は、図６に示すように、ベース部材１８に埋設される部材であり、コイル９及び磁気センサ１０のそれぞれと外部との通電を実現できるように構成されている。本実施形態では、金属部材７は非磁性金属で形成されている。図６は、金属部材７及びベース部材１８の斜視図である。具体的には、図６は、ベース部材１８に埋め込まれていない状態の金属部材７と、ベース部材１８に固定されるコイル９及び磁気センサ１０との関係を示している。金属部材７とコイル９及び磁気センサ１０のそれぞれとは、半田又は導電性接着剤等によって互いに接合されている。なお、図６では、明瞭化のため、金属部材７の接合部分にはドットパターンが付されている。
　具体的には、金属部材７は、第１金属部材７Ａ～第１２金属部材７Ｌを含み、インサート成形によって一部がベース部材１８に埋設されている。
　図６に示す例では、第１コイル９Ａの一端は第２金属部材７Ｂに接合され、第１コイル９Ａの他端は第３金属部材７Ｃに接合されている。また、第１磁気センサ１０Ａの第１端子は第４金属部材７Ｄに接合され、第１磁気センサ１０Ａの第２端子は第５金属部材７Ｅに接合され、第１磁気センサ１０Ａの第３端子は第６金属部材７Ｆに接合され、第１磁気センサ１０Ａの第４端子は第７金属部材７Ｇに接合されている。また、第２コイル９Ｂの一端は第８金属部材７Ｈに接合され、第２コイル９Ｂの他端は第９金属部材７Ｉに接合されている。また、第２磁気センサ１０Ｂの第１端子は第１０金属部材７Ｊに接合され、第２磁気センサ１０Ｂの第２端子は第１１金属部材７Ｋに接合され、第２磁気センサ１０Ｂの第３端子は第１２金属部材７Ｌに接合され、第２磁気センサ１０Ｂの第４端子は第１金属部材７Ａに接合されている。
　次に、図３及び図７を参照し、磁気システムを構成している駆動用磁石５、検出用磁石６、吸引用磁石８、コイル９、磁気センサ１０、及び磁性部材１３の位置関係について説明する。図７は、図１の光学素子駆動装置１００に搭載される磁気システムの三面図（正面図、上面図、及び右側面図）である。
　磁気システムは、磁力を利用するシステムであり、駆動手段ＤＭ、磁気吸引手段ＭＡ、及び位置検出手段ＰＤを含む。
　駆動手段ＤＭは、ＸＹ平面において光学素子ＯＥを移動させるための手段である。図示例では、駆動手段ＤＭは、Ｘ軸方向に沿って光学素子ＯＥを移動させる第１駆動手段ＤＭ１、及び、Ｙ軸方向に沿って光学素子ＯＥを移動させる第２駆動手段ＤＭ２を含む。
　第１駆動手段ＤＭ１は、図３に示すように、ベース部材１８に設けられた第１コイル９Ａと、Ｚ軸方向において第１コイル９Ａと対向するように離間して配置される第１駆動用磁石５Ａと、を含む。第１駆動用磁石５Ａと第１コイル９Ａとは、図７に示すように、僅かな間隔を空けて対向するように配置されている。
　第２駆動手段ＤＭ２は、図３に示すように、ベース部材１８に設けられた第２コイル９Ｂと、Ｚ軸方向において第２コイル９Ｂと対向するように離間して配置される第２駆動用磁石５Ｂと、を含む。第２駆動用磁石５Ｂと第２コイル９Ｂとは、図７に示すように、僅かな間隔を空けて対向するように配置されている。
　破線矢印ＡＲ１で示すように第１コイル９Ａに電流が流れると、中間部材３（第１駆動用磁石５Ａ）は、下側ボール１１を含む後述の下側ボール案内構造によってガイドされながら、ベース部材１８に対して後方（Ｘ２方向）に移動する。また、破線矢印ＡＲ２で示すように第１コイル９Ａに電流が流れると、中間部材３（第１駆動用磁石５Ａ）は、下側ボール案内構造によってガイドされながら、ベース部材１８に対して前方（Ｘ１方向）に移動する。ベース部材１８に固定された第１コイル９Ａを構成している導電線内を移動する荷電粒子にローレンツ力が作用し、その反力によって第１駆動用磁石５Ａが後方又は前方に移動させられるためである。
　同様に、破線矢印ＡＲ３で示すように第２コイル９Ｂに電流が流れると、光学素子保持部材２（第２駆動用磁石５Ｂ）は、上側ボール１２を含む後述の上側ボール案内構造によってガイドされながら、中間部材３及びベース部材１８に対して右方（Ｙ２方向）に移動する。また、破線矢印ＡＲ４で示すように第２コイル９Ｂに電流が流れると、光学素子保持部材２（第２駆動用磁石５Ｂ）は、上側ボール案内構造によってガイドされながら、中間部材３及びベース部材１８に対して左方（Ｙ１方向）に移動する。ベース部材１８に固定された第２コイル９Ｂを構成している導電線内を移動する荷電粒子にローレンツ力が作用し、その反力によって第２駆動用磁石５Ｂが右方又は左方に移動させられるためである。
　位置検出手段ＰＤは、光学素子保持部材２に固定された光学素子ＯＥのＸＹ平面に平行な仮想平面における位置を検出するための手段である。図示例では、位置検出手段ＰＤは、光学素子ＯＥのＸ軸方向における位置を検出するための第１位置検出手段ＰＤ１と、光学素子ＯＥのＹ軸方向における位置を検出するための第２位置検出手段ＰＤ２を含む。
　第１位置検出手段ＰＤ１は、図３に示すように、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１検出用磁石６Ａと第１磁気センサ１０Ａとを含んで構成されている。また、第２位置検出手段ＰＤ２は、図３に示すように、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第２検出用磁石６Ｂと第２磁気センサ１０Ｂとを含んで構成されている。
　磁気吸引手段ＭＡは、上下方向（Ｚ軸方向）において二つの部材を互いに引き付ける力を発生させる手段である。図示例では、磁気吸引手段ＭＡは、光学素子保持部材２とベース部材１８とを互いに引き付ける力を発生させるように構成されている。具体的には、磁気吸引手段ＭＡは、第２駆動用磁石５Ｂと、吸引用磁石８と、磁性部材１３とを含んで構成されている。より具体的には、磁気吸引手段ＭＡは、図３に示すように、第１磁気吸引手段ＭＡ１、第２磁気吸引手段ＭＡ２、及び第３磁気吸引手段ＭＡ３を含む。
　第１磁気吸引手段ＭＡ１は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１吸引用磁石８Ａと第１磁性部材１３Ａとの間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第２磁気吸引手段ＭＡ２は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第２吸引用磁石８Ｂと第２磁性部材１３Ｂとの間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第３磁気吸引手段ＭＡ３は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第２駆動用磁石５Ｂと第３磁性部材１３Ｃとの間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。
　この構成により、磁気吸引手段ＭＡは、光学素子保持部材２とベース部材１８とを互いに引き付けることができる。具体的には、光学素子保持部材２の下面に形成された凹部２Ｓは、中間部材３の上面に形成された凹部３Ｔにその下側部分が収容されている上側ボール１２の上側部分に押し付けられる。また、中間部材３の下面に形成された凹部３Ｓは、ベース部材１８の上面に形成された凹部１８Ｓにその下側部分が収容されている下側ボール１１の上側部分に押し付けられる。そのため、磁気吸引手段ＭＡは、光学素子保持部材２と上側ボール１２の上側部分とが接触し且つ上側ボール１２の下側部分と中間部材３とが接触した状態を安定的に維持できる。また、磁気吸引手段ＭＡは、中間部材３と下側ボール１１の上側部分とが接触し且つ下側ボール１１の下側部分とベース部材１８とが接触した状態を安定的に維持できる。
　図示例では、上側ボール１２を構成している第１上側ボール１２Ａ～第３上側ボール１２Ｃのそれぞれは、Ｙ軸方向に転動可能な状態で光学素子保持部材２と中間部材３との間に挟持されている。そのため、光学素子保持部材２は、Ｘ軸回りに回転（傾斜）することなく、且つ、Ｙ軸回りに回転（傾斜）することなく、Ｙ軸に沿って平行移動できる。
　また、下側ボール１１を構成している第１下側ボール１１Ａ～第３下側ボール１１Ｃのそれぞれは、Ｘ軸方向に転動可能な状態で中間部材３とベース部材１８との間に挟持されている。そのため、中間部材３は、Ｘ軸回りに回転（傾斜）することなく、且つ、Ｙ軸回りに回転（傾斜）することなく、Ｘ軸に沿って平行移動できる。
　なお、光学素子駆動装置１００では、Ｚ軸方向における第１磁性部材１３Ａの中心と第１吸引用磁石８Ａの中心との間の距離、及び、Ｚ軸方向における第２磁性部材１３Ｂの中心と第２吸引用磁石８Ｂの中心との間の距離は同じである。但し、それらの距離は、Ｚ軸方向における第３磁性部材１３Ｃの中心と第２駆動用磁石５Ｂの中心との間の距離よりも小さい。第２駆動用磁石５Ｂの磁力が第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂのそれぞれの磁力よりも大きいためである。すなわち、それぞれの距離の大きさを調整することによって第１磁気吸引手段ＭＡ１、第２磁気吸引手段ＭＡ２、及び第３磁気吸引手段ＭＡ３のそれぞれが発生させる磁気的な吸引力を同程度にするためである。
　ここで、図８を参照し、ボール収容構造について説明する。図８は、ボール収容構造の断面図である。具体的には、図８の左上図は、図５の下図における破線Ｌ１を含むＹＺ平面に平行な仮想平面における中間部材３、第３下側ボール１１Ｃ、及びベース部材１８の断面を示す。図８の右上図は、図５の下図における破線Ｌ２を含むＹＺ平面に平行な仮想平面における中間部材３、第２下側ボール１１Ｂ、及びベース部材１８の断面を示す。図８の左下図は、図４の下図における破線Ｌ３を含むＸＺ平面に平行な仮想平面における光学素子保持部材２、中間部材３、及び第３上側ボール１２Ｃの断面を示す。図８の右下図は、図４の下図における破線Ｌ４を含むＸＺ平面に平行な仮想平面における光学素子保持部材２、中間部材３、及び第２上側ボール１２Ｂの断面を示す。
　ボール収容構造は、ボールを収容する構造である。具体的には、ボール収容構造は、ボールの移動方向を規制しない一対の幅広溝とボールの移動方向を規制する二対の幅狭溝とで構成されている。
　図示例では、ボール収容構造は、下側ボール１１を収容する下側ボール収容構造と、上側ボール１２を収容する上側ボール収容構造とを含む。具体的には、下側ボール収容構造は、下側ボール１１の移動方向を規制しない一対の幅広溝と下側ボール１１の移動方向を規制する二対の幅狭溝とで構成されている。また、上側ボール収容構造は、上側ボール１２の移動方向を規制しない一対の幅広溝と上側ボール１２の移動方向を規制する二対の幅狭溝とで構成されている。
　また、ボールの移動方向を規制する二対の幅狭溝は、ボール案内構造を構成している。ボール案内構造は、ボールの移動方向を案内する構造である。図示例では、ボール案内構造は、Ｘ軸方向に沿った下側ボール１１の移動を案内する下側ボール案内構造と、Ｙ軸方向に沿った上側ボール１２の移動を案内する上側ボール案内構造とを含む。
　具体的には、下側ボール案内構造は、下側ボール１１の移動方向を規制する二対の幅狭溝によって構成され、上側ボール案内構造は、上側ボール１２の移動方向を規制する二対の幅狭溝によって構成されている。
　下側ボール収容構造における一対の幅広溝は、図８の左上図に示すように、ベース部材１８の上面に形成された下側上向きの第３凹部１８Ｓ３と、中間部材３の下面に形成された下側下向きの第３凹部３Ｓ３との組み合わせである。
　また、下側ボール収容構造における一対の幅広溝では、図８の左上図に示すように、第３下側ボール１１Ｃは、一つの接点ＣＰ１で第３凹部３Ｓ３と接触し、且つ、一つの接点ＣＰ２で第３凹部１８Ｓ３と接触しながら、第３凹部１８Ｓ３と第３凹部３Ｓ３との間で挟持されている。
　すなわち、下側ボール収容構造における一対の幅広溝では、図８の左上図に示すように、Ｙ軸方向における第３凹部３Ｓ３の開口の幅、及び、Ｙ軸方向における第３凹部１８Ｓ３の開口の幅は何れも、第３下側ボール１１Ｃの径Ｄ３よりも大きくなるように形成されている。その上で、Ｙ軸方向における第３凹部３Ｓ３の底面の幅Ｄ１、及び、Ｙ軸方向における第３凹部１８Ｓ３の底面の幅Ｄ２は何れも、第３下側ボール１１Ｃの径Ｄ３よりも大きくなるように形成されている。
　下側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの一対は、図８の右上図に示すように、ベース部材１８の上面に形成された下側上向きの第２凹部１８Ｓ２と、中間部材３の下面に形成された下側下向きの第２凹部３Ｓ２との組み合わせである。また、下側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの別の一対（不図示）は、ベース部材１８の上面に形成された下側上向きの第１凹部１８Ｓ１と、中間部材３の下面に形成された下側下向きの第１凹部３Ｓ１との組み合わせである。
　また、下側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの一対では、図８の右上図に示すように、第２下側ボール１１Ｂは、二つの接点ＣＰ１１及び接点ＣＰ１２で第２凹部３Ｓ２と接触し、且つ、二つの接点ＣＰ１３及び接点ＣＰ１４で第２凹部１８Ｓ２と接触するように第２凹部１８Ｓ２と第２凹部３Ｓ２との間で挟持されている。また、下側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの別の一対（不図示）では、第１下側ボール１１Ａは、二つの接点で第１凹部３Ｓ１と接触し、且つ、二つの接点で第１凹部１８Ｓ１と接触するように第１凹部１８Ｓ１と第１凹部３Ｓ１との間で挟持されている。
　すなわち、下側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの一対では、図８の右上図に示すように、Ｙ軸方向における第２凹部３Ｓ２の開口（開放端）の幅、及び、Ｙ軸方向における第２凹部１８Ｓ２の開口（開放端）の幅は何れも、第２下側ボール１１Ｂの径Ｄ１３よりも大きくなるように形成されている。その上で、Ｙ軸方向における第２凹部３Ｓ２の底面の幅Ｄ１１、及び、Ｙ軸方向における第２凹部１８Ｓ２の底面の幅Ｄ１２は何れも、第２下側ボール１１Ｂの径Ｄ１３よりも小さくなるように形成されている。換言すれば、第２凹部３Ｓ２及び第２凹部１８Ｓ２は何れも、開放端（開口）に向かうにしたがい、Ｙ軸方向において対向する二つの側面間の距離が大きくなるように構成されている。下側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの別の一対（不図示）においても同様である。
　この下側ボール収容構造における二対の幅狭溝、すなわち、下側ボール案内構造により、下側ボール１１は、Ｙ軸方向に沿って移動しないように規制されながら、Ｘ軸方向に沿って移動するように案内される。
　上側ボール収容構造における一対の幅広溝は、図８の左下図に示すように、中間部材３の上面に形成された上側上向きの第３凹部３Ｔ３と、光学素子保持部材２の下面に形成された上側下向きの第３凹部２Ｓ３との組み合わせである。
　また、上側ボール収容構造における一対の幅広溝では、図８の左下図に示すように、第３上側ボール１２Ｃは、一つの接点ＣＰ２１で第３凹部２Ｓ３と接触し、且つ、一つの接点ＣＰ２２で第３凹部３Ｔ３と接触しながら、第３凹部２Ｓ３と第３凹部３Ｔ３との間で挟持されている。
　すなわち、上側ボール収容構造における一対の幅広溝では、図８の左下図に示すように、Ｘ軸方向における第３凹部２Ｓ３の開口の幅、及び、Ｘ軸方向における第３凹部３Ｔ３の開口の幅は何れも、第３上側ボール１２Ｃの径Ｄ２３よりも大きくなるように形成されている。その上で、Ｘ軸方向における第３凹部２Ｓ３の底面の幅Ｄ２１、及び、Ｘ軸方向における第３凹部３Ｔ３の底面の幅Ｄ２２は何れも、第３上側ボール１２Ｃの径Ｄ２３よりも大きくなるように形成されている。
　上側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの一対は、図８の右下図に示すように、中間部材３の上面に形成された上側上向きの第２凹部３Ｔ２と、光学素子保持部材２の下面に形成された上側下向きの第２凹部２Ｓ２との組み合わせである。また、上側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの別の一対（不図示）は、中間部材３の上面に形成された上側上向きの第１凹部３Ｔ１と、光学素子保持部材２の下面に形成された上側下向きの第１凹部２Ｓ１との組み合わせである。
　また、上側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの一対では、図８の右下図に示すように、第２上側ボール１２Ｂは、二つの接点ＣＰ３１及び接点ＣＰ３２で第２凹部２Ｓ２と接触し、且つ、二つの接点ＣＰ３３及び接点ＣＰ３４で第２凹部３Ｔ２と接触するように第２凹部３Ｔ２と第２凹部２Ｓ２との間で挟持されている。また、上側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの別の一対（不図示）では、第１上側ボール１２Ａは、二つの接点で第１凹部２Ｓ１と接触し、且つ、二つの接点で第１凹部３Ｔ１と接触するように第１凹部２Ｓ１と第１凹部３Ｔ１との間で挟持されている。
　すなわち、上側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの一対では、図８の右下図に示すように、Ｘ軸方向における第２凹部２Ｓ２の開口（開放端）の幅、及び、Ｘ軸方向における第２凹部３Ｔ２の開口（開放端）の幅は何れも、第２上側ボール１２Ｂの径Ｄ３３よりも大きくなるように形成されている。その上で、Ｘ軸方向における第２凹部２Ｓ２の底面の幅Ｄ３１、及び、Ｘ軸方向における第２凹部３Ｔ２の底面の幅Ｄ３２は何れも、第２上側ボール１２Ｂの径Ｄ３３よりも小さくなるように形成されている。換言すれば、第２凹部２Ｓ２及び第２凹部３Ｔ２は何れも、開放端（開口）に向かうにしたがい、Ｘ軸方向において対向する二つの側面間の距離が大きくなるように構成されている。上側ボール収容構造における二対の幅狭溝のうちの別の一対（不図示）においても同様である。
　この上側ボール収容構造における二対の幅狭溝、すなわち、上側ボール案内構造により、上側ボール１２は、Ｘ軸方向に沿って移動しないように規制されながら、Ｙ軸方向に沿って移動するように案内される。
　次に、図９を参照し、駆動用磁石５、吸引用磁石８、下側ボール１１、及び上側ボール１２の位置関係について説明する。図９は、光学素子駆動装置１００を構成する駆動用磁石５、吸引用磁石８、下側ボール１１、及び上側ボール１２の上面図である。
　破線で示す第１三角形ＴＲ１は、第２駆動用磁石５Ｂの中心と二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれの中心とを結んで形成された三角形である。各部材の中心は、例えば、各部材の重心である。以下の説明においても同様である。
　破線で示す第２三角形ＴＲ２は、三つの上側ボール１２（第１上側ボール１２Ａ、第２上側ボール１２Ｂ、及び第３上側ボール１２Ｃ）のそれぞれの中心を結んで形成された三角形である。なお、第２三角形ＴＲ２は、第１三角形ＴＲ１に対して略逆向きとなっている。
　図示例では、第１上側ボール１２Ａは、第１吸引用磁石８Ａと第２吸引用磁石８Ｂとの間に配置されている。第２上側ボール１２Ｂは、第１三角形ＴＲ１の外側に位置するとともに、第１三角形ＴＲ１の第１辺ＴＲ１Ｆと対向するように配置されている。第３上側ボール１２Ｃは、第１三角形ＴＲ１の外側に位置するとともに、第１三角形ＴＲ１の第２辺ＴＲ１Ｓと対向するように配置されている。
　破線で示す第３三角形ＴＲ３は、三つの下側ボール１１（第１下側ボール１１Ａ、第２下側ボール１１Ｂ、及び第３下側ボール１１Ｃ）のそれぞれの中心を結んで形成された三角形である。
　図示例では、第３下側ボール１１Ｃは、第１吸引用磁石８Ａと第２吸引用磁石８Ｂとの間に配置されている。第１下側ボール１１Ａは、第１三角形ＴＲ１の外側に位置するとともに第１辺ＴＲ１Ｆと対向するように配置されている。第２下側ボール１１Ｂは、第１三角形ＴＲ１の外側に位置するとともに第２辺ＴＲ１Ｓと対向するように配置されている。
　点ＣＧ１は第１三角形ＴＲ１の重心であり、点ＣＧ２は第２三角形ＴＲ２の重心であり、点ＣＧ３は第３三角形ＴＲ３の重心である。図示例では、点ＣＧ１、点ＣＧ２、及び点ＣＧ３は何れも、第１三角形ＴＲ１と第２三角形ＴＲ２と第３三角形ＴＲ３とが重なる領域内に位置している。図９では、明瞭化のため、第１三角形ＴＲ１と第２三角形ＴＲ２と第３三角形ＴＲ３とが重なる領域にはクロスパターンが付されている。
　このような配置により、中間部材３は、三つの下側ボール１１を介し、ベース部材１８上で、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の三軸周りに回転することなく、且つ、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に平行移動することなく、且つ、Ｘ軸方向に平行移動できるようにバランス良く支持される。また、光学素子保持部材２は、三つの上側ボール１２を介し、中間部材３上で、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の三軸周りに回転することなく、且つ、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に平行移動することなく、且つ、Ｙ軸方向に平行移動できるようにバランス良く支持される。
　次に、図１０～図１６を参照し、光学素子駆動装置１００の別の構成例である光学素子駆動装置１００Ａについて説明する。図１０は、光学素子駆動装置１００Ａの斜視図であり、図１に対応している。図１１は、ケース４と下側部材ＬＢとで構成される光学素子駆動装置１００Ａの分解斜視図であり、ケース４が下側部材ＬＢから分離された状態を示し、図２に対応している。図１２は、下側部材ＬＢの分解斜視図であり、可動側部材ＭＢが固定側部材ＦＢから分離された状態を示し、図３に対応している。図１３は、光学素子駆動装置１００Ａを構成している光学素子保持部材２の下面図であり、図４に対応している。図１４は、光学素子駆動装置１００Ａを構成している中間部材３の下面図であり、図５に対応している。図１５は、光学素子駆動装置１００Ａに搭載される磁気システムの三面図（正面図、上面図、及び右側面図）であり、図７に対応している。図１６は、光学素子駆動装置１００Ａを構成する駆動用磁石５、吸引用磁石８、下側ボール１１、及び上側ボール１２の上面図であり、図９に対応している。
　光学素子駆動装置１００Ａは、吸引用磁石８が中間部材３に固定されている点で、吸引用磁石８が光学素子保持部材２に固定されている光学素子駆動装置１００と異なる。
　具体的には、光学素子駆動装置１００Ａでは、図１４に示すように、第１吸引用磁石８Ａは、中間部材３の第２辺部３Ｅ２の下面に形成された凹部３Ｑの一つである第１凹部３Ｑ１に収容され、第２吸引用磁石８Ｂは、中間部材３の第２辺部３Ｅ２の下面に形成された凹部３Ｑの別の一つである第２凹部３Ｑ２に収容されている。なお、光学素子駆動装置１００では、図４に示すように、第１吸引用磁石８Ａが光学素子保持部材２の第４角部２Ｃ４に形成された第１凹部２Ｑ１に収容され、第２吸引用磁石８Ｂが光学素子保持部材２の第３角部２Ｃ３に形成された第２凹部２Ｑ２に収容されている。
　また、光学素子駆動装置１００Ａは、六つの磁気吸引手段ＭＡ（第１磁気吸引手段ＭＡ１～第６磁気吸引手段ＭＡ６）を有する点で、三つの磁気吸引手段ＭＡ（第１磁気吸引手段ＭＡ１～第３磁気吸引手段ＭＡ３）を有する光学素子駆動装置１００と異なる。このため、光学素子駆動装置１００Ａでは、磁性部材１３は、ベース部材１８に固定された第１磁性部材１３Ａ～第３磁性部材１３Ｃと、光学素子保持部材２に固定された第４磁性部材１３Ｄ～第６磁性部材１３Ｆとを含む。
　具体的には、図１２に示すように、第１磁気吸引手段ＭＡ１は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１吸引用磁石８Ａと第１磁性部材１３Ａとの間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第２磁気吸引手段ＭＡ２は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第２吸引用磁石８Ｂと第２磁性部材１３Ｂとの間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第３磁気吸引手段ＭＡ３は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１駆動用磁石５Ａと第３磁性部材１３Ｃとの間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。
　第４磁気吸引手段ＭＡ４は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１吸引用磁石８Ａと光学素子保持部材２の下面に設けられた第４磁性部材１３Ｄ（図１３の下図参照）との間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第４磁性部材１３Ｄは、光学素子保持部材２の第２辺部２Ｅ２の下面に形成された凹部２Ｕの一つである第１凹部２Ｕ１（図１３の上図参照）に収容されている。
　第５磁気吸引手段ＭＡ５は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第２吸引用磁石８Ｂと光学素子保持部材２の下面に設けられた第５磁性部材１３Ｅ（図１３の下図参照）との間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第５磁性部材１３Ｅは、光学素子保持部材２の第２辺部２Ｅ２の下面に形成された凹部２Ｕの別の一つである第２凹部２Ｕ２（図１３の上図参照）に収容されている。
　第６磁気吸引手段ＭＡ６は、図１２に示すように、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１駆動用磁石５Ａと光学素子保持部材２の上面に設けられた第６磁性部材１３Ｆとの間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第６磁性部材１３Ｆは、光学素子保持部材２の第４辺部２Ｅ４の上面に形成された凹部２Ｕの更に別の一つである第３凹部２Ｕ３（図１２参照）に収容されている。
　なお、光学素子駆動装置１００Ａでは、初期状態における第１吸引用磁石８Ａは、図１５に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）において第４磁性部材１３Ｄと重なるように配置されているが、第１磁性部材１３Ａとは重ならないように配置されている。同様に、初期状態における第２吸引用磁石８Ｂは、図１５に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）において第５磁性部材１３Ｅと重なるように配置されているが、第２磁性部材１３Ｂとは重ならないように配置されている。なお、光学素子駆動装置１００Ａの初期状態は、コイル９に電流が供給されていないときの光学素子駆動装置１００Ａの状態を意味する。
　具体的には、Ｙ軸方向において、第１磁性部材１３Ａは、第１吸引用磁石８Ａよりも所定距離だけＹ１側（左側）に配置されており、第２磁性部材１３Ｂは、Ｙ軸方向において、第２吸引用磁石８Ｂよりも同じ所定距離だけＹ２側（右側）に配置されている。
　この配置は、初期状態における第１吸引用磁石８Ａが上下方向（Ｚ軸方向）において第１磁性部材１３Ａと重なるように配置され、且つ、初期状態における第２吸引用磁石８Ｂが上下方向（Ｚ軸方向）において第２磁性部材１３Ｂと重なるように配置される場合に比べ、中間部材３が第１下側ボール１１Ａを中心として傾いてしまうのをより確実に防止できるという効果をもたらす。この配置は、第１下側ボール１１Ａから比較的遠い位置において、中間部材３とベース部材１８とを互いに引き付ける力を作用させることができるためである。但し、初期状態における第１吸引用磁石８Ａは、上下方向（Ｚ軸方向）において第１磁性部材１３Ａと重なるように配置され、且つ、初期状態における第２吸引用磁石８Ｂは、上下方向（Ｚ軸方向）において第２磁性部材１３Ｂと重なるように配置されていてもよい。
　また、光学素子駆動装置１００Ａでは、第６磁性部材１３Ｆは、光学素子保持部材２の下面に固定される第４磁性部材１３Ｄ及び第５磁性部材１３Ｅとは異なり、光学素子保持部材２の上面に固定されている。すなわち、光学素子駆動装置１００Ａでは、Ｚ軸方向における第４磁性部材１３Ｄの中心と第１吸引用磁石８Ａの中心との間の距離、及び、Ｚ軸方向における第５磁性部材１３Ｅの中心と第２吸引用磁石８Ｂの中心との間の距離は同じであるが、それらの距離は、Ｚ軸方向における第６磁性部材１３Ｆの中心と第１駆動用磁石５Ａの中心との間の距離よりも小さい。これは、第１駆動用磁石５Ａの磁力が第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂのそれぞれの磁力よりも大きいためである。すなわち、それぞれの距離の大きさを調整することによって第４磁気吸引手段ＭＡ４、第５磁気吸引手段ＭＡ５、及び第６磁気吸引手段ＭＡ６のそれぞれが発生させる磁気的な吸引力を同程度にするためである。
　次に、図１６を参照し、光学素子駆動装置１００Ａにおける駆動用磁石５、吸引用磁石８、下側ボール１１、及び上側ボール１２の位置関係について説明する。
　破線で示す第１三角形ＴＲ１１は、第１駆動用磁石５Ａの中心と二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれの中心とを結んで形成された三角形である。
　破線で示す第２三角形ＴＲ１２は、三つの上側ボール１２（第１上側ボール１２Ａ、第２上側ボール１２Ｂ、及び第３上側ボール１２Ｃ）のそれぞれの中心を結んで形成された三角形である。
　図示例では、第１上側ボール１２Ａは、第１三角形ＴＲ１１の外側に位置するとともに、第１三角形ＴＲ１１の一辺である第１辺ＴＲ１１Ｆと対向するように配置されている。第３上側ボール１２Ｃは、第１三角形ＴＲ１１の外側に位置するとともに、第１三角形ＴＲ１１の他の一辺である第２辺ＴＲ１１Ｓと対向するように配置されている。第２上側ボール１２Ｂは、第１吸引用磁石８Ａの中心と第２吸引用磁石８Ｂの中心とを結ぶ仮想線ＴＲ１１Ｔの延長線上に位置し、吸引用磁石８（第２吸引用磁石８Ｂ）の側方（右方）に配置されている。
　破線で示す第３三角形ＴＲ１３は、三つの下側ボール１１（第１下側ボール１１Ａ、第２下側ボール１１Ｂ、及び第３下側ボール１１Ｃ）のそれぞれの中心を結んで形成された三角形である。なお、第３三角形ＴＲ１３は、第１三角形ＴＲ１１に対して略逆向きとなっている。
　図示例では、第１下側ボール１１Ａは、第１吸引用磁石８Ａと第２吸引用磁石８Ｂとの間に配置されている。第３下側ボール１１Ｃは、第１三角形ＴＲ１１の外側に位置するとともに第１辺ＴＲ１１Ｆと対向するように配置されている。第２下側ボール１１Ｂは、第１三角形ＴＲ１１の外側に位置するとともに第２辺ＴＲ１１Ｓと対向するように配置されている。
　点ＣＧ１１は第１三角形ＴＲ１１の重心であり、点ＣＧ１２は第２三角形ＴＲ１２の重心であり、点ＣＧ１３は第３三角形ＴＲ１３の重心である。図示例では、点ＣＧ１１、点ＣＧ１２、及び点ＣＧ１３は何れも、第２三角形ＴＲ１２と第３三角形ＴＲ１３とが重なる領域内に位置している。図１６では、明瞭化のため、第２三角形ＴＲ１２と第３三角形ＴＲ１３とが重なる領域にはクロスパターンが付されている。
　このような配置により、中間部材３は、三つの下側ボール１１を介し、ベース部材１８上で、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の三軸周りに回転することなく、且つ、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に平行移動することなく、且つ、Ｘ軸方向に平行移動できるようにバランス良く支持される。また、光学素子保持部材２は、三つの上側ボール１２を介し、中間部材３上で、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の三軸周りに回転することなく、且つ、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に平行移動することなく、且つ、Ｙ軸方向に平行移動できるようにバランス良く支持される。
　次に、図１７～図２２を参照し、光学素子駆動装置１００の更に別の構成例である光学素子駆動装置１００Ｂについて説明する。図１７は、光学素子駆動装置１００Ｂの斜視図であり、図１に対応している。図１８は、ケース４と下側部材ＬＢとで構成される光学素子駆動装置１００Ｂの分解斜視図であり、ケース４が下側部材ＬＢから分離された状態を示し、図２に対応している。図１９は、下側部材ＬＢの分解斜視図であり、可動側部材ＭＢが固定側部材ＦＢから分離された状態を示し、図３に対応している。図２０は、光学素子駆動装置１００Ｂを構成している光学素子保持部材２の下面図であり、図４に対応している。図２１は、光学素子駆動装置１００Ｂを構成している中間部材３の下面図であり、図５に対応している。図２２は、光学素子駆動装置１００Ｂに搭載される磁気システムの三面図（正面図、上面図、及び右側面図）であり、図７に対応している。
　光学素子駆動装置１００Ｂは、金属部材７、吸引用磁石８、及び磁性部材１３が省略され、その代わりに磁性部材１４、絶縁基板１５、及び磁性部材１６を含む点で、光学素子駆動装置１００と異なる。
　具体的には、磁性部材１４及び磁性部材１６は、磁気吸引手段ＭＡを構成する部材であり、磁気吸引手段ＭＡを構成する別の部材である駆動用磁石５及び検出用磁石６のそれぞれから離れたところに駆動用磁石５及び検出用磁石６のそれぞれと磁気的に引き合うように配置される。図示例では、磁性部材１４は、光学素子保持部材２の上面に接着固定された第１磁性部材１４Ａ、第２磁性部材１４Ｂ、第３磁性部材１４Ｃ、及び第４磁性部材１４Ｄを含む。但し、第２磁性部材１４Ｂ及び第４磁性部材１４Ｄは、磁気吸引手段ＭＡを構成していない。磁性部材１６は、インサート成形によって上面が露出するようにベース部材１８に埋設されている。なお、図１９では、明瞭化のため、磁性部材１６にはドットパターンが付されている。
　絶縁基板１５は、導電パターンが形成された基板である。絶縁基板１５は、フレキシブルプリント基板、リジッドプリント基板、及びフレキシブルリジッドプリント基板の何れであってもよい。図示例では、絶縁基板１５には、コイル９及び磁気センサ１０が実装されている。
　また、光学素子駆動装置１００Ｂは、第１検出用磁石６Ａが中間部材３に設けられ且つ第２検出用磁石６Ｂが光学素子保持部材２に設けられている点で、第１検出用磁石６Ａ及び第２検出用磁石６Ｂが光学素子保持部材２に設けられている光学素子駆動装置１００と異なる。
　具体的には、光学素子駆動装置１００Ｂでは、図２０に示すように、第２検出用磁石６Ｂは、光学素子保持部材２の第１辺部２Ｅ１の下面に形成された凹部２Ｐに収容され、図２１に示すように、第１検出用磁石６Ａは、中間部材３の第２辺部３Ｅ２の下面に形成された凹部３Ｐに収容されている。なお、光学素子駆動装置１００では、図４に示すように、第１検出用磁石６Ａが光学素子保持部材２の第１角部２Ｃ１に形成された第１凹部２Ｐ１に収容され、第２検出用磁石６Ｂが光学素子保持部材２の第２角部２Ｃ２に形成された第２凹部２Ｐ２に収容されている。
　また、光学素子駆動装置１００Ｂは、六つの磁気吸引手段ＭＡ（第１磁気吸引手段ＭＡ１～第６磁気吸引手段ＭＡ６）を有する点で、三つの磁気吸引手段ＭＡ（第１磁気吸引手段ＭＡ１～第３磁気吸引手段ＭＡ３）を有する光学素子駆動装置１００と異なる。
　具体的には、図１９に示すように、第１磁気吸引手段ＭＡ１は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１駆動用磁石５Ａと磁性部材１６との間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第２磁気吸引手段ＭＡ２は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第２検出用磁石６Ｂと磁性部材１６との間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第３磁気吸引手段ＭＡ３は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１検出用磁石６Ａと磁性部材１６との間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第４磁気吸引手段ＭＡ４は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第２駆動用磁石５Ｂと磁性部材１６との間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第５磁気吸引手段ＭＡ５は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１駆動用磁石５Ａと光学素子保持部材２の上面に設けられた第１磁性部材１４Ａとの間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。第６磁気吸引手段ＭＡ６は、上下方向において互いに間隔を空けて配置される第１検出用磁石６Ａと光学素子保持部材２の上面に設けられた第３磁性部材１４Ｃとの間で磁気的な吸引力を作用させるように構成されている。
　また、光学素子駆動装置１００Ｂは、四つの下側ボール１１（第１下側ボール１１Ａ～第４下側ボール１１Ｄ）と四つの上側ボール１２（第１上側ボール１２Ａ～第４上側ボール１２Ｄ）とを含む点で、三つの下側ボール１１と三つの上側ボール１２とを含む光学素子駆動装置１００と異なる。
　具体的には、図１９に示すように、第１下側ボール１１Ａ～第４下側ボール１１Ｄの下側部分は、それぞれ、ベース部材１８の上面に形成された第１凹部１８Ｓ１～第４凹部１８Ｓ４に収容され、第１下側ボール１１Ａ～第４下側ボール１１Ｄの上側部分は、それぞれ、中間部材３の下面に形成された第１凹部３Ｓ１～第４凹部３Ｓ４（図２１の上図参照）に収容されている。
　また、図１９に示すように、第１上側ボール１２Ａ～第４上側ボール１２Ｄの下側部分は、それぞれ、中間部材３の上面に形成された第１凹部３Ｔ１～第４凹部３Ｔ４に収容され、第１上側ボール１２Ａ～第４上側ボール１２Ｄの上側部分は、それぞれ、光学素子保持部材２の下面に形成された第１凹部２Ｓ１～第４凹部２Ｓ４（図２０の上図参照）に収容されている。
　また、光学素子駆動装置１００Ｂでは、中間部材３は、図２１に示すように、平面視でＵ字形状を有するように構成されている。具体的には、中間部材３は、三つの辺部３Ｅ（第１辺部３Ｅ１、第２辺部３Ｅ２、及び第４辺部３Ｅ４）を有し、Ｙ１側の辺部が切り欠かれて空間ＳＰとなるように構成されている。図２１は、明瞭化のため、空間ＳＰを破線で示している。
　そして、空間ＳＰには、図１８及び図１９に示すように、光学素子保持部材２の第３辺部２Ｅ３に固定された第２駆動用磁石５Ｂが配置されている。
　上述のように、本発明の実施形態に係る光学素子駆動装置１００は、例えば図２及び図３に示すように、支持部材（ベース部材１８）を含む固定側部材ＦＢと、光学素子ＯＥを配置可能な上下方向に貫通する貫通孔２Ｋを有する光学素子保持部材２と、上下方向（Ｚ軸方向）において支持部材（ベース部材１８）と光学素子保持部材２との間に設けられ、支持部材（ベース部材１８）に対して上下方向（Ｚ軸方向）に垂直な第１方向（Ｘ軸方向）へ移動可能な中間部材３と、支持部材（ベース部材１８）と中間部材３との間に配置された少なくとも三つの下側ボール１１と、中間部材３と光学素子保持部材２との間に配置された少なくとも三つの上側ボール１２と、中間部材３を支持部材（ベース部材１８）に対して第１方向（Ｘ軸方向）へ移動させる第１駆動手段ＤＭ１と、光学素子保持部材２を中間部材３に対して上下方向（Ｚ軸方向）に垂直で且つ第１方向（Ｘ軸方向）に垂直な第２方向（Ｙ軸方向）へ移動させる第２駆動手段ＤＭ２と、を備えている。光学素子駆動装置１００において、光学素子保持部材２は、支持部材（ベース部材１８）に対して上下方向（Ｚ軸方向）に垂直な平面（ＸＹ平面）に沿って移動可能となるように構成されている。また、第１駆動手段ＤＭ１は、中間部材３に設けられた第１駆動用磁石５Ａと、上下方向（Ｚ軸方向）において第１駆動用磁石５Ａと対向するように支持部材（ベース部材１８）に設けられた第１コイル９Ａとを有し、第２駆動手段ＤＭ２は、光学素子保持部材２に設けられた第２駆動用磁石５Ｂと、上下方向（Ｚ軸方向）において第２駆動用磁石５Ｂと対向するように支持部材（ベース部材１８）に設けられた第２コイル９Ｂとを有するように構成されている。なお、支持部材は、ケース４であってもよい。この場合、上側ボールは下側ボールで読み替えられ、下側ボールは上側ボールで読み替えられる。
　この構成では、第１駆動用磁石５Ａは、中間部材３に設けられている。そのため、光学素子保持部材２が第２方向（Ｙ軸方向）に移動しても、第１駆動用磁石５Ａと第１コイル９Ａとの間の相対的な位置関係は変化しない。したがって、この構成は、第１駆動手段ＤＭ１の駆動効率が低下するのを抑制できる。なお、この構成では、中間部材３が第１方向（Ｘ軸方向）に移動した場合、第２駆動用磁石５Ｂと第２コイル９Ｂとの間の相対的な位置関係は変化する。しかしながら、その変化が第２駆動手段ＤＭ２に及ぼす影響は、仮に光学素子保持部材２が第２方向（Ｙ軸方向）に移動することによって第１駆動用磁石５Ａと第１コイル９Ａとの間の相対的な位置関係が変化した場合にその変化が第１駆動手段ＤＭ１に及ぼす影響に比べて小さい。第１駆動手段ＤＭ１は、中間部材３と光学素子保持部材２の両方を移動させるものであるのに対し、第２駆動手段ＤＭ２は、光学素子保持部材２のみを移動させる駆動手段であるためである。また、この構成では、駆動用磁石５とコイル９とが上下方向（Ｚ軸方向）において対向している。そのため、この構成は、平面視における光学素子駆動装置１００の大きさを抑制できる。
　また、中間部材３は、図５の上図に示すように、支持部材（ベース部材１８）の側（下側）を開放させた第１収容部としての凹部３Ｒを有していてもよい。この場合、第１駆動用磁石５Ａは、図５の下図に示すように、凹部３Ｒ内に配置されて中間部材３に固定される。また、光学素子保持部材２は、図４の上図に示すように、支持部材（ベース部材１８）の側（下側）を開放させた第２収容部としての凹部２Ｒを有していてもよい。この場合、第２駆動用磁石５Ｂは、図４の下図に示すように、凹部２Ｒ内に配置されて光学素子保持部材２に固定される。なお、下方側に開口している凹部２Ｒ及び凹部３Ｒのそれぞれは、下方側に加えて側方側（径方向外側）に開口していてもよい。
　この構成は、第１駆動用磁石５Ａ及び第２駆動用磁石５Ｂのそれぞれの保持が確実なものになるという効果をもたらす。
　また、第１駆動用磁石５Ａ及び第２駆動用磁石５Ｂは、上下方向（Ｚ軸方向）において、少なくとも部分的に同じ位置となるように配置されていてもよい。すなわち、第１駆動用磁石５Ａ及び第２駆動用磁石５Ｂは、図７の正面図及び右側面図に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）において、距離ＤＸだけ重なるように配置されていてもよい。この場合、第１コイル９Ａ及び第２コイル９Ｂも、上下方向（Ｚ軸方向）において、少なくとも部分的に同じ位置となるように配置され得る。すなわち、第１コイル９Ａ及び第２コイル９Ｂも、図７の正面図及び右側面図に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）において、所定距離だけ重なるように配置されていてもよい。
　この構成は、上下方向における光学素子駆動装置１００の寸法を小さくできるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００は、図３に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）において光学素子保持部材２と支持部材（ベース部材１８）とを互いに引き付ける力を発生させる磁気吸引手段ＭＡを備えていてもよい。この場合、磁気吸引手段ＭＡは、光学素子保持部材２に設けられた第２駆動用磁石５Ｂと、光学素子保持部材２に設けられた吸引用磁石８と、支持部材（ベース部材１８）に設けられた磁性部材１３とを有していてもよい。そして、磁性部材１３は、第２駆動用磁石５Ｂ及び吸引用磁石８のそれぞれと磁性部材１３との間で吸引力が作用するように支持部材（ベース部材１８）に設けられていてもよい。
　この構成は、板ばね又はコイルばね等の付勢部材を用いることなく、磁力によって下側ボール１１を中間部材３とベース部材１８とで挟持でき、且つ、磁力によって上側ボール１２を光学素子保持部材２と中間部材３とで挟持できるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００は、図９に示すように、三つの上側ボール１２を備えていてもよい。この場合、三つの上側ボール１２のうちの一つ（第１上側ボール１２Ａ）は、二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）の間に位置するように配置されてもよい。また、三つの上側ボール１２のうちの別の一つ（第２上側ボール１２Ｂ）は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った平面視において、第２駆動用磁石５Ｂの中心と二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれの中心とを結んで形成される第１三角形ＴＲ１の外側に位置するとともに、第２駆動用磁石５Ｂの中心と二つの吸引用磁石８のうちの一方（第２吸引用磁石８Ｂ）の中心とを結ぶ第１三角形ＴＲ１の第１辺ＴＲ１Ｆと対向するように配置されてもよい。また、三つの上側ボール１２のうちの残りの一つ（第３上側ボール１２Ｃ）は、上下方向（Ｘ軸方向）に沿った平面視において、第１三角形ＴＲ１の外側に位置するとともに、第２駆動用磁石５Ｂの中心と二つの吸引用磁石８のうちの他方（第１吸引用磁石８Ａ）の中心とを結ぶ第１三角形ＴＲ１の第２辺ＴＲ１Ｓと対向するように配置されてもよい。
　この構成は、三つの磁石（第２駆動用磁石５Ｂ、第１吸引用磁石８Ａ、及び第２吸引用磁石８Ｂ）によって上側ボール１２を光学素子保持部材２と中間部材３とで安定して挟持できるという効果をもたらす。第１三角形ＴＲ１と、三つの上側ボール１２（第１上側ボール１２Ａ、第２上側ボール１２Ｂ、及び第３上側ボール１２Ｃ）のそれぞれの中心を結んで形成された第２三角形ＴＲ２とが略逆向きとなるためである。
　また、光学素子駆動装置１００は、図９に示すように、三つの下側ボール１１を備えていてもよい。この場合、三つの下側ボール１１のうちの一つ（第３下側ボール１１Ｃ）は、二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）の間に位置するように配置されてもよい。また、三つの下側ボール１１のうちの別の一つ（第１下側ボール１１Ａ）は、上下方向に沿った平面視において、第１三角形ＴＲ１の外側に位置するとともに第１辺ＴＲ１Ｆと対向するように配置されてもよい。また、三つの下側ボール１１のうちの残りの一つ（第２下側ボール１１Ｂ）は、上下方向に沿った平面視において、第１三角形ＴＲ１の外側に位置するとともに第２辺ＴＲ１Ｓと対向するように配置されてもよい。
　この構成は、三つの磁石（第２駆動用磁石５Ｂ、第１吸引用磁石８Ａ、及び第２吸引用磁石８Ｂ）によって下側ボール１１を中間部材３とベース部材１８とで安定して挟持できるという効果をもたらす。互いに離間して分散配置された三つの下側ボール１１（第１下側ボール１１Ａ、第２下側ボール１１Ｂ、及び第３下側ボール１１Ｃ）が、互いに離間して分散配置された三つの磁石により、中間部材３とベース部材１８との間で挟持されるためである。
　また、光学素子駆動装置１００は、図９に示すように、三つの下側ボール１１と三つの上側ボール１２とを備えていてもよい。この場合、光学素子駆動装置１００は、第２駆動用磁石５Ｂの中心と二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれの中心とを結んで形成される第１三角形ＴＲ１の重心（点ＣＧ１）、三つの上側ボール１２のそれぞれの中心を結んで形成される第２三角形ＴＲ２の重心（点ＣＧ２）、及び、三つの下側ボール１１のそれぞれの中心を結んで形成される第３三角形ＴＲ３の重心（点ＣＧ３）が、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った平面視において、第１三角形ＴＲ１と第２三角形ＴＲ２と第３三角形ＴＲ３とが重なる領域（クロスパターンが付された領域）内に位置するように構成されていてもよい。
　この構成は、三つの磁石（第２駆動用磁石５Ｂ、第１吸引用磁石８Ａ、及び第２吸引用磁石８Ｂ）によって下側ボール１１及び上側ボール１２を光学素子保持部材２とベース部材１８との間でより安定して挟持できるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００は、図９に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）から見た平面視において、三つの下側ボール１１と三つの上側ボール１２のそれぞれが互いに異なる位置に配置されるように構成されていてもよい。
　この構成は、上下方向（Ｚ軸方向）において下側ボール１１と上側ボール１２とが重ならないため、上下方向（Ｚ軸方向）における光学素子駆動装置１００の寸法を小さくできるという効果をもたらす。
　また、光学素子保持部材２は、図４に示すように、第１辺部２Ｅ１、第２辺部２Ｅ２、第３辺部２Ｅ３、及び第４辺部２Ｅ４を有する枠形状に形成されていてもよい。この場合、第３辺部２Ｅ３は、貫通孔２Ｋを挟んで第１辺部２Ｅ１と対向するように配置され、第１辺部２Ｅ１には第１方向（Ｘ軸方向）に延在する第２駆動用磁石５Ｂが配置されていてもよい。また、第３辺部２Ｅ３の一端部（第４角部２Ｃ４）には二つの吸引用磁石８の一方（第１吸引用磁石８Ａ）が配置され、第３辺部２Ｅ３の他端部（第３角部２Ｃ３）には二つの吸引用磁石８の他方（第２吸引用磁石８Ｂ）が配置されていてもよい。また、第１辺部２Ｅ１の一端部（第１角部２Ｃ１）には第１検出用磁石６Ａが配置され、第１辺部２Ｅ１の他端部（第２角部２Ｃ２）には第２検出用磁石６Ｂが配置されていてもよい。また、図３に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）において第１検出用磁石６Ａに対向して第１磁気センサ１０Ａが支持部材（ベース部材１８）に設けられ、上下方向（Ｚ軸方向）において第２検出用磁石６Ｂに対向して第２磁気センサ１０Ｂが支持部材（ベース部材１８）に設けられていてもよい。
　この構成は、複数の磁石（第２駆動用磁石５Ｂ、第１検出用磁石６Ａ、第２検出用磁石６Ｂ、第１吸引用磁石８Ａ、及び第２吸引用磁石８Ｂ）をバランス良く配置できるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００は、図３に示すように、上側ボール１２を挟んで中間部材３と光学素子保持部材２とを互いに引き付ける力を発生させる磁気吸引手段ＭＡを備えていてもよい。この場合、磁気吸引手段ＭＡは、光学素子保持部材２に設けられた吸引用磁石８を含んでいてもよい。また、光学素子駆動装置１００Ａは、図１２に示すように、上側ボール１２を挟んで中間部材３と光学素子保持部材２とを互いに引き付ける力を発生させる磁気吸引手段ＭＡを備えていてもよい。この場合、磁気吸引手段ＭＡは、中間部材３に設けられた吸引用磁石８を含んでいてもよい。
　この構成は、板ばね又はコイルばね等の付勢部材を用いることなく、磁力によって上側ボール１２を光学素子保持部材２と中間部材３とで挟持できるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００及び光学素子駆動装置１００Ａのそれぞれにおいて、光学素子保持部材２は、図４又は図１３に示すように、貫通孔２Ｋを挟んで互いに対向する第１辺部２Ｅ１及び第３辺部２Ｅ３と、第１辺部２Ｅ１と第３辺部２Ｅ３とが対向する方向（Ｙ軸方向）と交差する方向（Ｘ軸方向）において貫通孔２Ｋを挟んで互いに対向する第２辺部２Ｅ２及び第４辺部２Ｅ４とを有する枠形状に形成されていてもよい。この場合、第３辺部２Ｅ３が延在する方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）における第３辺部２Ｅ３の幅寸法Ｗ３は、第１辺部２Ｅ１の幅寸法Ｗ１、第２辺部２Ｅ２の幅寸法Ｗ２、及び第４辺部２Ｅ４の幅寸法Ｗ４の何れよりも小さくてもよい。また、中間部材３は、図５又は図１４に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）において光学素子保持部材２の第１辺部２Ｅ１、第２辺部２Ｅ２、及び第４辺部２Ｅ４にそれぞれ対向する第１辺部３Ｅ１、第２辺部３Ｅ２、及び第４辺部３Ｅ４を有していてもよい。そして、光学素子駆動装置１００では、吸引用磁石８は、図４に示すように、光学素子保持部材２の第２辺部２Ｅ２及び第４辺部２Ｅ４に設けられていてもよい。なお、光学素子駆動装置１００では、吸引用磁石８は、光学素子保持部材２の第２辺部２Ｅ２と第４辺部２Ｅ４とのうちの何れか一方に設けられていてもよい。例えば、中間部材３が移動する第１方向をＹ軸方向と定め、且つ、光学素子保持部材２が移動する第２方向をＸ軸方向と定めた場合には、第１駆動用磁石５Ａを中間部材３の第１辺部３Ｅ１に配置し、第２駆動用磁石５Ｂを光学素子保持部材２の第４辺部２Ｅ４に配置してもよい。この場合には、吸引用磁石８は、光学素子保持部材２の第２辺部２Ｅ２に設けられる。また、光学素子駆動装置１００は、吸引用磁石８と中間部材３又はベース部材１８に設けられた磁性部材との間で磁気的な吸引力が発生するように構成されていてもよい。また、光学素子駆動装置１００Ａでは、吸引用磁石８は、図１４に示すように、中間部材３の第２辺部３Ｅ２に設けられていてもよい。また、光学素子駆動装置１００Ａにおいて、吸引用磁石８は、中間部材３の第２辺部３Ｅ２及び第４辺部３Ｅ４に設けられていてもよい。例えば、中間部材３が移動する第１方向をＹ軸方向と定めて第１駆動用磁石５Ａを中間部材３の第１辺部３Ｅ１に配置し、光学素子保持部材２が移動する第２方向をＸ軸方向と定めて第２駆動用磁石５Ｂを光学素子保持部材２の第４辺部２Ｅ４に配置してもよい。この場合には、吸引用磁石８は、中間部材３の第２辺部３Ｅ２及び第４辺部３Ｅ４のそれぞれに設けられてもよい。また、光学素子駆動装置１００Ａにおいても、吸引用磁石８を光学素子保持部材２の第２辺部２Ｅ２及び第４辺部２Ｅ４の少なくとも一方に設けてもよい。この場合には、第２駆動用磁石５Ｂも磁気吸引手段を構成することが好ましい。
　この構成は、光学素子保持部材２の第３辺部２Ｅ３の幅寸法が小さいため、光学素子駆動装置１００、１００Ａによって駆動される光学素子ＯＥと、光学素子駆動装置１００、１００ＡのＹ２側（右側）に隣接して配置される別の装置との間の距離を小さくできるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００Ａでは、図１３に示すように、上側ボール１２は、光学素子保持部材２の第１辺部２Ｅ１、第２辺部２Ｅ２、及び第４辺部２Ｅ４に配置されている。第２駆動用磁石５Ｂは、光学素子保持部材２の第３辺部２Ｅ３とは異なる辺部（第１辺部２Ｅ１）に設けられている。磁気吸引手段ＭＡを構成する部材（第４磁性部材１３Ｄ～第６磁性部材１３Ｆ）は、光学素子保持部材２の第３辺部２Ｅ３とは異なる辺部（第２辺部２Ｅ２及び第４辺部２Ｅ４）に設けられている。また、位置検出手段ＰＤを構成する部材である検出用磁石６も、光学素子保持部材２の第３辺部２Ｅ３とは異なる辺部（第１辺部２Ｅ１）に設けられている。すなわち、光学素子駆動装置１００Ａでは、光学素子保持部材２の第３辺部２Ｅ３には、少なくともＸ軸方向における貫通孔２Ｋの形成領域に対応する部分（図１３の下図における部分ＬＸ）において、上側ボール１２を含めて何も配置されていない。
　この構成は、光学素子保持部材２の第３辺部２Ｅ３の幅寸法Ｗ３を更に小さくすることができるため、光学素子駆動装置１００Ａによって駆動される光学素子ＯＥと、光学素子駆動装置１００ＡのＹ２側（右側）に隣接して配置される別の装置との間の距離を一層小さくできるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００Ａでは、図１４に示すように、中間部材３の第２辺部３Ｅ２には、離間した状態で二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）が固定されていてもよく、中間部材３の第４辺部３Ｅ４には、第１駆動用磁石５Ａが固定されていてもよい。この場合、磁気吸引手段ＭＡは、図１２に示すように、二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）、第１駆動用磁石５Ａ、及び磁性部材１３（第１磁性部材１３Ａ～第６磁性部材１３Ｆ）を含んで構成されていてもよい。そして、磁性部材１３（第４磁性部材１３Ｄ～第６磁性部材１３Ｆ）は、上下方向（Ｚ軸方向）において二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）及び第１駆動用磁石５Ａのそれぞれと磁性部材１３（第４磁性部材１３Ｄ～第６磁性部材１３Ｆ）との間に吸引力が作用するように、光学素子保持部材２に固定されていてもよい。なお、三つの磁性部材１３（第４磁性部材１３Ｄ～第６磁性部材１３Ｆ）は、一つ又は二つの磁性部材で構成されていてもよい。例えば、第４磁性部材１３Ｄ及び第５磁性部材１３Ｅは、一つの磁性部材として統合されていてもよい。
　この構成は、三箇所で発生する磁力によって上側ボール１２を光学素子保持部材２と中間部材３とでより安定的に挟持できるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００Ａでは、図１４に示すように、中間部材３には、離間した状態で二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）が固定されており、且つ、二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）と離間する位置において第１駆動用磁石５Ａが固定されていてもよい。この場合、磁気吸引手段ＭＡ（第４磁気吸引手段ＭＡ４～第６磁気吸引手段ＭＡ６）は、図１２に示すように、二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）、第１駆動用磁石５Ａ、及び磁性部材１３（第４磁性部材１３Ｄ～第６磁性部材１３Ｆ）を含んで構成されていてもよい。そして、磁性部材１３（第４磁性部材１３Ｄ～第６磁性部材１３Ｆ）は、上下方向（Ｚ軸方向）において二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）及び第１駆動用磁石５Ａのそれぞれと磁性部材１３（第４磁性部材１３Ｄ～第６磁性部材１３Ｆ）との間に吸引力が作用するように、光学素子保持部材２に固定されていてもよい。また、光学素子駆動装置１００Ａは、下側ボール１１を挟んで中間部材３と支持部材（ベース部材１８）とを互いに引き付ける力を発生させる別の磁気吸引手段ＭＡ（第１磁気吸引手段ＭＡ１～第３磁気吸引手段ＭＡ３）を備えていてもよい。この場合、別の磁気吸引手段ＭＡ（第１磁気吸引手段ＭＡ１～第３磁気吸引手段ＭＡ３）は、図１２に示すように、二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）、第１駆動用磁石５Ａ、及び別の磁性部材１３（第１磁性部材１３Ａ～第３磁性部材１３Ｃ）を含んで構成されていてもよい。そして、別の磁性部材１３（第１磁性部材１３Ａ～第３磁性部材１３Ｃ）は、上下方向（Ｚ軸方向）において二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）及び第１駆動用磁石５Ａのそれぞれと別の磁性部材１３（第１磁性部材１３Ａ～第３磁性部材１３Ｃ）との間に吸引力が作用するように、支持部材（ベース部材１８）に固定されていてもよい。
　この構成は、板ばね又はコイルばね等の付勢部材を用いることなく、別の磁気吸引手段ＭＡ（第１磁気吸引手段ＭＡ１～第３磁気吸引手段ＭＡ３）によって下側ボール１１を中間部材３とベース部材１８とで挟持できるという効果をもたらす。また、この構成は、三つの磁石（第１駆動用磁石５Ａ、第１吸引用磁石８Ａ、及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれが発生させる磁力により、中間部材３とベース部材１８とで下側ボール１１を安定的に挟持でき、且つ、光学素子保持部材２と中間部材３とで上側ボール１２を安定的に挟持できるという効果をもたらす。また、この構成では、三つの磁石（第１駆動用磁石５Ａ、第１吸引用磁石８Ａ、及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれが、磁気吸引手段ＭＡ（第４磁気吸引手段ＭＡ４～第６磁気吸引手段ＭＡ６）と、別の磁気吸引手段ＭＡ（第１磁気吸引手段ＭＡ１～第３磁気吸引手段ＭＡ３）とで共用されている。そのため、この構成は、部品点数を削減できるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００Ａは、図１６に示すように、三つの下側ボール１１（第１下側ボール１１Ａ～第３下側ボール１１Ｃ）を備えていてもよい。この場合、三つの下側ボール１１のうちの一つ（第１下側ボール１１Ａ）は、二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）の間に配置されていてもよい。また、三つの下側ボール１１のうちの別の一つ（第３下側ボール１１Ｃ）は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った平面視において、第２方向（Ｙ軸方向）へ延在する第１駆動用磁石５Ａの一端部（Ｙ１側の端部）に対向するように配置されていてもよい。また、三つの下側ボール１１のうちの残りの一つ（第２下側ボール１１Ｂ）は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った平面視において、第２方向（Ｙ軸方向）へ延在する第１駆動用磁石５Ａの他端部（Ｙ２側の端部）に対向するように配置されていてもよい。
　この構成は、三つの磁石（第１駆動用磁石５Ａ、第１吸引用磁石８Ａ、及び第２吸引用磁石８Ｂ）によって下側ボール１１を中間部材３とベース部材１８とで安定して挟持できるという効果をもたらす。三つの磁石（第１駆動用磁石５Ａ、第１吸引用磁石８Ａ、及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれの中心を結んで形成された第１三角形ＴＲ１１と、三つの下側ボール１１（第１下側ボール１１Ａ、第２下側ボール１１Ｂ、及び第３下側ボール１１Ｃ）のそれぞれの中心を結んで形成された第３三角形ＴＲ１３とが略逆向きとなるためである。
　また、光学素子駆動装置１００Ａは、図１６に示すように、三つの上側ボール１２を備えていてもよい。この場合、三つの上側ボール１２のうちの一つ（第２上側ボール１２Ｂ）は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った平面視において、二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれの中心を結ぶ仮想線ＴＲ１１Ｔの延長線上に位置し、吸引用磁石８（第２吸引用磁石８Ｂ）の側方（右方）に配置されていてもよい。また、三つの上側ボール１２のうちの別の一つ（第１上側ボール１２Ａ）は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った平面視において、第１駆動用磁石５Ａの中心と二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれの中心とを結んで形成される三角形である第１三角形ＴＲ１１の外側に位置するとともに、第１駆動用磁石５Ａの中心と二つの吸引用磁石８のうちの一方（第１吸引用磁石８Ａ）の中心とを結ぶ第１三角形ＴＲ１１の一辺である第１辺ＴＲ１１Ｆと対向するように配置されていてもよい。また、三つの上側ボール１２のうちの残りの一つ（第３上側ボール１２Ｃ）は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った平面視において、第１三角形ＴＲ１１の外側に位置するとともに、第１駆動用磁石５Ａの中心と二つの吸引用磁石８のうちの他方（第２吸引用磁石８Ｂ）の中心とを結ぶ第１三角形ＴＲ１１の他の一辺である第２辺ＴＲ１１Ｓと対向するように配置されていてもよい。
　この構成は、三つの磁石（第１駆動用磁石５Ａ、第１吸引用磁石８Ａ、及び第２吸引用磁石８Ｂ）によって上側ボール１２を光学素子保持部材２と中間部材３とで安定して挟持できるという効果をもたらす。互いに離間して分散配置された三つの上側ボール１２（第１上側ボール１２Ａ、第２上側ボール１２Ｂ、及び第３上側ボール１２Ｃ）が、互いに離間して分散配置された三つの磁石により、光学素子保持部材２と中間部材３との間で挟持されるためである。
　また、光学素子駆動装置１００Ａは、図１６に示すように、三つの下側ボール１１と三つの上側ボール１２とを備えていてもよい。この場合、光学素子駆動装置１００Ａは、第１駆動用磁石５Ａの中心と二つの吸引用磁石８（第１吸引用磁石８Ａ及び第２吸引用磁石８Ｂ）のそれぞれの中心とを結んで形成される第１三角形ＴＲ１１の重心（点ＣＧ１１）、三つの上側ボール１２のそれぞれの中心を結んで形成される第２三角形ＴＲ１２の重心（点ＣＧ１２）、及び、三つの下側ボール１１のそれぞれの中心を結んで形成される第３三角形ＴＲ１３の重心（点ＣＧ１３）は、上下方向（Ｚ軸方向）に沿った平面視において、第２三角形ＴＲ１２と第３三角形ＴＲ１３とが重なる領域（クロスパターンが付された領域）内に位置するように構成されていてもよい。
　この構成は、適切に分散配置された下側ボール１１及び上側ボール１２により、ベース部材１８上でＸ軸方向に平行移動できるように中間部材３をバランス良く支持でき、且つ、中間部材上でＹ軸方向に平行移動できるように光学素子保持部材２をバランス良く支持できるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００は、図３に示すように、三つの下側ボール１１と三つの上側ボール１２とを備えていてもよい。この場合、支持部材としてのベース部材１８は、下側ボール１１が配置される上方が開放された三つの下側上向き凹部としての凹部１８Ｓを有していてもよい。また、中間部材３は、下側ボール１１が配置される下方が開放された三つの下側下向き凹部としての凹部３Ｓ（図５の上図参照）と、上側ボール１２が配置される上方が開放された三つの上側上向き凹部としての凹部３Ｔとを有していてもよい。また、光学素子保持部材２は、上側ボール１２が配置される下方が開放された三つの上側下向き凹部としての凹部２Ｓ（図４の上図参照）を有していてもよい。
　三つの凹部１８Ｓのうちの一つ（第１凹部１８Ｓ１）と三つの凹部３Ｓのうちの一つ（第１凹部３Ｓ１）とは、三つの下側ボール１１のうちの一つ（第１下側ボール１１Ａ）を挟んで対向するように配置されていてもよい。
　また、三つの凹部１８Ｓのうちの別の一つ（第２凹部１８Ｓ２）と三つの凹部３Ｓのうちの別の一つ（第２凹部３Ｓ２）とは、三つの下側ボール１１のうちの別の一つ（第２下側ボール１１Ｂ）を挟んで対向するように配置されていてもよい。
　また、三つの凹部１８Ｓのうちの一つ（第１凹部１８Ｓ１）と三つの凹部３Ｓのうちの一つ（第１凹部３Ｓ１）と三つの凹部１８Ｓのうちの別の一つ（第２凹部１８Ｓ２）と三つの凹部３Ｓのうちの別の一つ（第２凹部３Ｓ２）とは、ベース部材１８に対して中間部材３が第１方向（Ｘ軸方向）へ移動可能となるように、下側ボール１１を案内する下側ボール案内構造を構成していてもよい。
　また、三つの凹部１８Ｓのうちの残りの一つ（第３凹部１８Ｓ３）と三つの凹部３Ｓのうちの残りの一つ（第３凹部３Ｓ３）とは、三つの下側ボール１１のうちの残りの一つ（第３下側ボール１１Ｃ）を挟んで対向するように配置されていてもよい。そして、第３凹部３Ｓ３及び第３凹部１８Ｓ３のそれぞれは、図８の左上図に示すように、平面視の大きさ（幅Ｄ１及び幅Ｄ２）が下側ボール１１（第３下側ボール１１Ｃ）の径Ｄ３よりも大きくなるように構成されていてもよい。
　この構成は、ベース部材１８に対して中間部材３を第１方向（Ｘ軸方向）に直線的に移動させることができるという効果をもたらす。
　また、三つの凹部３Ｔのうちの一つ（第１凹部３Ｔ１）と三つの凹部２Ｓのうちの一つ（第１凹部２Ｓ１）とは、三つの上側ボール１２のうちの一つ（第１上側ボール１２Ａ）を挟んで対向するように配置されていてもよい。
　また、三つの凹部３Ｔのうちの別の一つ（第２凹部３Ｔ２）と三つの凹部２Ｓのうちの別の一つ（第２凹部２Ｓ２）とは、三つの上側ボール１２のうちの別の一つ（第２上側ボール１２Ｂ）を挟んで対向するように配置されていてもよい。
　また、三つの凹部３Ｔのうちの一つ（第１凹部３Ｔ１）と三つの凹部２Ｓのうちの一つ（第１凹部２Ｓ１）と三つの凹部３Ｔのうちの別の一つ（第２凹部３Ｔ２）と三つの凹部２Ｓのうちの別の一つ（第２凹部２Ｓ２）とは、中間部材３に対して光学素子保持部材２が第２方向（Ｙ軸方向）へ移動可能となるように、上側ボール１２を案内する上側ボール案内構造を構成していてもよい。
　また、三つの凹部３Ｔのうちの残りの一つ（第３凹部３Ｔ３）と三つの凹部２Ｓのうちの残りの一つ（第３凹部２Ｓ３）とは、三つの上側ボール１２のうちの残りの一つ（第３上側ボール１２Ｃ）を挟んで対向するように配置されていてもよい。そして、第３凹部３Ｔ３及び第３凹部２Ｓ３のそれぞれは、図８の左下図に示すように、平面視の大きさ（幅Ｄ２１及び幅Ｄ２２）が上側ボール１２（第３上側ボール１２Ｃ）の径Ｄ２３よりも大きくなるように構成されていてもよい。
　この構成は、中間部材３に対して光学素子保持部材２を第２方向（Ｙ軸方向）に直線的に移動させることができるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００Ｂでは、光学素子保持部材２は、図２０に示すように、貫通孔２Ｋを挟んで互いに対向する第１辺部２Ｅ１及び第３辺部２Ｅ３と、第１辺部２Ｅ１と第３辺部２Ｅ３とが対向する方向（Ｙ軸方向）と交差する方向（Ｘ軸方向）において貫通孔２Ｋを挟んで互いに対向する第２辺部２Ｅ２及び第４辺部２Ｅ４とを有する枠形状に形成されていてもよい。また、中間部材３は、図２１に示すように、上下方向（Ｚ軸方向）において光学素子保持部材２の第１辺部２Ｅ１、第２辺部２Ｅ２、及び第４辺部２Ｅ４にそれぞれに対向する第１辺部３Ｅ１、第２辺部３Ｅ２、及び第４辺部３Ｅ４を有し、且つ、光学素子保持部材２の第３辺部２Ｅ３に対向する部分が切り欠かれた略Ｕ字形状を有していてもよい。そして、光学素子保持部材２に固定された第２駆動用磁石５Ｂは、図１８及び図１９に示すように、中間部材３の切り欠かれた部分（空間ＳＰ）に配置されていてもよい。
　この構成は、平面視における光学素子駆動装置１００Ｂの大きさを抑制できるという効果をもたらす。具体的には、この構成は、Ｙ軸方向における光学素子駆動装置１００Ｂの幅寸法を小さくできるという効果をもたらす。
　また、光学素子駆動装置１００では、固定側部材ＦＢは、図１に示すように、ベース部材１８とともに筐体ＨＳを構成する金属製のカバー部材としてのケース４を有していてもよい。この場合、中間部材３及び光学素子保持部材２は、筐体ＨＳ内に収容されていてもよい。また、光学素子保持部材２は、図３に示すように、平面視において中間部材３よりも大きくてもよい。また、光学素子保持部材２の外周面には、図３に示すように、光学素子保持部材２が第１方向（Ｘ軸方向）へ移動した際にケース４の内側面と当接可能な第１当接部ＳＴ１と、光学素子保持部材２が第２方向（Ｙ軸方向）へ移動した際にケース４の内側面と当接可能な第２当接部ＳＴ２とが設けられて光学素子保持部材２の移動範囲が制限されていてもよい。光学素子駆動装置１００Ａ及び光学素子駆動装置１００Ｂにおいても同様である。
　具体的には、光学素子保持部材２の移動範囲を制限するための構造を構成している当接部ＳＴは、図４に示すように、第１当接部ＳＴ１及び第２当接部ＳＴ２を含む。そして、第１当接部ＳＴ１は、光学素子保持部材２の前側（Ｘ１側）の側面に形成された第１右前当接部ＳＴ１１及び第１左前当接部ＳＴ１２と、光学素子保持部材２の後側（Ｘ２側）の側面に形成された第１左後当接部ＳＴ１３及び第１右後当接部ＳＴ１４とを含む。また、第２当接部ＳＴ２は、光学素子保持部材２の左側（Ｙ１側）の側面に形成された第２左前当接部ＳＴ２１及び第２左後当接部ＳＴ２２と、光学素子保持部材２の右側（Ｙ２側）の側面に形成された第２右後当接部ＳＴ２３及び第２右前当接部ＳＴ２４とを含む。
　この構成は、簡単な構成で光学素子保持部材２の移動範囲を規制できるという効果をもたらす。すなわち、この構成は、簡単な構成で光学素子保持部材２のストッパ機構を実現できるという効果をもたらす。また、この構成は、複数の当接部ＳＴの一部が中間部材３に設けられる構成に比べ、ストッパ機構に関する寸法精度を高め易いという効果をもたらす。光学素子保持部材２の寸法精度を高めるだけでストッパ機構に関する寸法精度を高めることができるためである。
　以上、本発明の好ましい実施形態について詳説した。しかしながら、本発明は、上述した実施形態に制限されることはない。上述した実施形態は、本発明の範囲を逸脱することなしに、種々の変形及び置換等が適用され得る。また、上述の実施形態を参照して説明された特徴のそれぞれは、技術的に矛盾しない限り、適宜に組み合わされてもよい。
　例えば、上述した実施形態では、第１駆動手段ＤＭ１は、一つの第１駆動用磁石５Ａと一つの第１コイル９Ａとによって構成されているが、Ｘ軸方向に離間して配置された一対の第１駆動用磁石５Ａと一対の第１コイル９Ａとによって構成されていてもよい。第２駆動手段ＤＭ２についても同様である。
　また、光学素子駆動装置１００Ａにおいて、中間部材３は、図１４に示すように四つの辺部（第１辺部３Ｅ１～第４辺部３Ｅ４）を有する矩形環状の部材であるが、光学素子駆動装置１００Ｂのように、一つの辺部（第３辺部３Ｅ３）を有さない略Ｕ字形状の部材（図２１参照）であってもよい。
　本願は、２０２１年１２月１５日に出願した日本国特許出願２０２１－２０３６８１号に基づく優先権を主張するものであり、この日本国特許出願の全内容を本願に参照により援用する。
　２・・・光学素子保持部材　２Ｃ・・・角部　２Ｃ１・・・第１角部　２Ｃ２・・・第２角部　２Ｃ３・・・第３角部　２Ｃ４・・・第４角部　２Ｅ・・・辺部　２Ｅ１・・・第１辺部　２Ｅ２・・・第２辺部　２Ｅ３・・・第３辺部　２Ｅ４・・・第４辺部　２Ｋ・・・貫通孔　２Ｐ・・・凹部　２Ｐ１・・・第１凹部　２Ｐ２・・・第２凹部　２Ｑ・・・凹部　２Ｑ１・・・第１凹部　２Ｑ２・・・第２凹部　２Ｒ・・・凹部　２Ｓ・・・凹部　２Ｓ１・・・第１凹部　２Ｓ２・・・第２凹部　２Ｓ３・・・第３凹部　２Ｓ４・・・第４凹部　２Ｕ・・・凹部　２Ｕ１・・・第１凹部　２Ｕ２・・・第２凹部　２Ｕ３・・・第３凹部　３・・・中間部材　３Ｅ・・・辺部　３Ｅ１・・・第１辺部　３Ｅ２・・・第２辺部　３Ｅ３・・・第３辺部　３Ｅ４・・・第４辺部　３Ｋ・・・貫通孔　３Ｐ・・・凹部　３Ｑ・・・凹部　３Ｑ１・・・第１凹部　３Ｑ２・・・第２凹部　３Ｒ・・・凹部　３Ｓ・・・凹部　３Ｓ１・・・第１凹部　３Ｓ２・・・第２凹部　３Ｓ３・・・第３凹部　３Ｓ４・・・第４凹部　３Ｔ・・・凹部　３Ｔ１・・・第１凹部　３Ｔ２・・・第２凹部　３Ｔ３・・・第３凹部　３Ｔ４・・・第４凹部　４・・・ケース　４Ａ・・・外周壁部　４Ａ１・・・第１側板部　４Ａ２・・・第２側板部　４Ａ３・・・第３側板部　４Ａ４・・・第４側板部　４Ｂ・・・天板部　４Ｋ・・・貫通孔　４Ｓ・・・収納部　５・・・駆動用磁石　５Ａ・・・第１駆動用磁石　５Ｂ・・・第２駆動用磁石　６・・・検出用磁石　６Ａ・・・第１検出用磁石　６Ｂ・・・第２検出用磁石　７・・・金属部材　７Ａ・・・第１金属部材　７Ｂ・・・第２金属部材　７Ｃ・・・第３金属部材　７Ｄ・・・第４金属部材　７Ｅ・・・第５金属部材　７Ｆ・・・第６金属部材　７Ｇ・・・第７金属部材　７Ｈ・・・第８金属部材　７Ｉ・・・第９金属部材　７Ｊ・・・第１０金属部材　７Ｋ・・・第１１金属部材　７Ｌ・・・第１２金属部材　８・・・吸引用磁石　８Ａ・・・第１吸引用磁石　８Ｂ・・・第２吸引用磁石　９・・・コイル　９Ａ・・・第１コイル　９Ｂ・・・第２コイル　１０・・・磁気センサ　１０Ａ・・・第１磁気センサ　１０Ｂ・・・第２磁気センサ　１１・・・下側ボール　１１Ａ・・・第１下側ボール　１１Ｂ・・・第２下側ボール　１１Ｃ・・・第３下側ボール　１１Ｄ・・・第４下側ボール　１２・・・上側ボール　１２Ａ・・・第１上側ボール　１２Ｂ・・・第２上側ボール　１２Ｃ・・・第３上側ボール　１２Ｄ・・・第４上側ボール　１３・・・磁性部材　１３Ａ・・・第１磁性部材　１３Ｂ・・・第２磁性部材　１３Ｃ・・・第３磁性部材　１３Ｄ・・・第４磁性部材　１３Ｅ・・・第５磁性部材　１３Ｆ・・・第６磁性部材　１４・・・磁性部材　１４Ａ・・・第１磁性部材　１４Ｂ・・・第２磁性部材　１４Ｃ・・・第３磁性部材　１４Ｄ・・・第４磁性部材　１５・・・絶縁基板　１６・・・磁性部材　１８・・・ベース部材　１８Ｂ・・・凹部　１８Ｂ１・・・第１凹部　１８Ｂ２・・・第２凹部　１８Ｋ・・・貫通孔　１８Ｐ・・・凸部　１８Ｐ１・・・第１凸部　１８Ｐ２・・・第２凸部　１８Ｓ・・・凹部　１８Ｓ１・・・第１凹部　１８Ｓ２・・・第２凹部　１８Ｓ３・・・第３凹部　１８Ｓ４・・・第４凹部　１８Ｕ・・・凹部　１８Ｕ１・・・第１凹部　１８Ｕ２・・・第２凹部　１８Ｕ３・・・第３凹部　１００、１００Ａ、１００Ｂ・・・光学素子駆動装置　ＣＧ１～ＣＧ３、ＣＧ１１～ＣＧ１３・・・点　ＣＰ１、ＣＰ２、ＣＰ１１～ＣＰ１４、ＣＰ２１、ＣＰ２２、ＣＰ３１～ＣＰ３４・・・接点　ＤＭ・・・駆動手段　ＤＭ１・・・第１駆動手段　ＤＭ２・・・第２駆動手段　ＦＢ・・・固定側部材　ＨＳ・・・筐体　ＬＢ・・・下側部材　ＭＡ・・・磁気吸引手段　ＭＡ１・・・第１磁気吸引手段　ＭＡ２・・・第２磁気吸引手段　ＭＡ３・・・第３磁気吸引手段　ＭＡ４・・・第４磁気吸引手段　ＭＡ５・・・第５磁気吸引手段　ＭＡ６・・・第６磁気吸引手段　ＭＢ・・・可動側部材　ＯＥ・・・光学素子　ＰＤ・・・位置検出手段　ＰＤ１・・・第１位置検出手段　ＰＤ２・・・第２位置検出手段　ＳＰ・・・空間　ＳＴ・・・当接部　ＳＴ１・・・第１当接部　ＳＴ１１・・・第１右前当接部　ＳＴ１２・・・第１左前当接部　ＳＴ１３・・・第１左後当接部　ＳＴ１４・・・第１右後当接部　ＳＴ２・・・第２当接部　ＳＴ２１・・・第２左前当接部　ＳＴ２２・・・第２左後当接部　ＳＴ２３・・・第２右後当接部　ＳＴ２４・・・第２右前当接部　ＴＲ１、ＴＲ１１・・・第１三角形　ＴＲ２、ＴＲ１２・・・第２三角形　ＴＲ３、ＴＲ１３・・・第３三角形　ＴＲ１Ｆ、ＴＲ１１Ｆ・・・第１辺　ＴＲ１Ｓ、ＴＲ１１Ｓ・・・第２辺　ＴＲ１１Ｔ・・・仮想線

Claims (17)

  1. 　支持部材を含む固定側部材と、
    　光学素子を配置可能な上下方向に貫通する貫通孔を有する光学素子保持部材と、
    　上下方向において前記支持部材と前記光学素子保持部材との間に設けられ、前記支持部材に対して上下方向に垂直な第１方向へ移動可能な中間部材と、
    　前記支持部材と前記中間部材との間に配置された少なくとも三つの下側ボールと、
    　前記中間部材と前記光学素子保持部材との間に配置された少なくとも三つの上側ボールと、
    　前記中間部材を前記支持部材に対して前記第１方向へ移動させる第１駆動手段と、
    　前記光学素子保持部材を前記中間部材に対して上下方向に垂直で且つ前記第１方向に垂直な第２方向へ移動させる第２駆動手段と、を備え、
    　前記光学素子保持部材が、前記支持部材に対して上下方向に垂直な平面に沿って移動可能な光学素子駆動装置において、
    　前記第１駆動手段は、前記中間部材に設けられた第１駆動用磁石と、上下方向において前記第１駆動用磁石と対向するように前記支持部材に設けられた第１コイルとを有し、
    　前記第２駆動手段は、前記光学素子保持部材に設けられた第２駆動用磁石と、上下方向において前記第２駆動用磁石と対向するように前記支持部材に設けられた第２コイルとを有する、
    　ことを特徴とする光学素子駆動装置。
  2. 　前記中間部材は、前記支持部材側を開放させた第１収容部を有し、
    　前記第１駆動用磁石は、前記第１収容部内に配置されて前記中間部材に固定されており、
    　前記光学素子保持部材は、前記支持部材側を開放させた第２収容部を有し、
    　前記第２駆動用磁石は、前記第２収容部内に配置されて前記光学素子保持部材に固定されており、
    　前記第１駆動用磁石及び前記第２駆動用磁石は、少なくとも一部が上下方向において同じ位置となるように配置されている、
    　請求項１に記載の光学素子駆動装置。
  3. 　上下方向において前記光学素子保持部材と前記支持部材とを互いに引き付ける力を発生させる磁気吸引手段を備え、
    　前記磁気吸引手段は、前記光学素子保持部材に設けられた前記第２駆動用磁石と、前記光学素子保持部材に設けられた吸引用磁石と、前記支持部材に設けられた磁性部材とを有し、
    　前記磁性部材は、前記第２駆動用磁石及び前記吸引用磁石のそれぞれと前記磁性部材との間で吸引力が作用するように前記支持部材に設けられている、
    　請求項１又は請求項２に記載の光学素子駆動装置。
  4. 　三つの前記上側ボールを備え、
    　三つの前記上側ボールのうちの一つは、二つの前記吸引用磁石の間に位置し、
    　三つの前記上側ボールのうちの別の一つは、上下方向に沿った平面視において、前記第２駆動用磁石の中心と二つの前記吸引用磁石のそれぞれの中心とを結んで形成される第１三角形の外側に位置するとともに、前記第２駆動用磁石の中心と二つの前記吸引用磁石のうちの一方の中心とを結ぶ前記第１三角形の第１辺と対向しており、
    　三つの前記上側ボールのうちの残りの一つは、上下方向に沿った平面視において、前記第１三角形の外側に位置するとともに、前記第２駆動用磁石の中心と二つの前記吸引用磁石のうちの他方の中心とを結ぶ前記第１三角形の第２辺と対向している、
    　請求項３に記載の光学素子駆動装置。
  5. 　三つの前記下側ボールを備え、
    　三つの前記下側ボールのうちの一つは、二つの前記吸引用磁石の間に位置し、
    　三つの前記下側ボールのうちの別の一つは、上下方向に沿った平面視において、前記第１三角形の外側に位置するとともに前記第１辺と対向しており、
    　三つの前記下側ボールのうちの残りの一つは、上下方向に沿った平面視において、前記第１三角形の外側に位置するとともに前記第２辺と対向している、
    　請求項４に記載の光学素子駆動装置。
  6. 　三つの前記下側ボールと三つの前記上側ボールとを備え、
    　前記第２駆動用磁石の中心と二つの前記吸引用磁石のそれぞれの中心とを結んで形成される第１三角形、三つの前記上側ボールのそれぞれの中心を結んで形成される第２三角形、及び、三つの前記下側ボールのそれぞれの中心を結んで形成される第３三角形のそれぞれの重心は、上下方向に沿った平面視において、前記第１三角形と前記第２三角形と前記第３三角形とが重なる領域内に位置している、
    　請求項３に記載の光学素子駆動装置。
  7. 　前記光学素子保持部材は、第１辺部、第２辺部、第３辺部、及び第４辺部を有する枠形状に形成されており、
    　前記第３辺部は、前記貫通孔を挟んで前記第１辺部と対向するように配置され、
    　前記第１辺部には前記第１方向に延在する前記第２駆動用磁石が配置され、
    　前記第３辺部の一端部には二つの前記吸引用磁石の一方が配置され、
    　前記第３辺部の他端部には二つの前記吸引用磁石の他方が配置され、
    　前記第１辺部の一端部には第１検出用磁石が配置され、
    　前記第１辺部の他端部には第２検出用磁石が配置され、
    　上下方向において前記第１検出用磁石に対向して第１磁気センサが前記支持部材に設けられ、
    　上下方向において前記第２検出用磁石に対向して第２磁気センサが前記支持部材に設けられている、
    　請求項３から請求項６の何れかに記載の光学素子駆動装置。
  8. 　前記上側ボールを挟んで前記中間部材と前記光学素子保持部材とを互いに引き付ける力を発生させる磁気吸引手段を備え、
    　前記磁気吸引手段は、前記中間部材又は前記光学素子保持部材に設けられた吸引用磁石を含む、
    　請求項１又は請求項２に記載の光学素子駆動装置。
  9. 　前記光学素子保持部材は、前記貫通孔を挟んで互いに対向する第１辺部及び第３辺部と、前記第１辺部と前記第３辺部とが対向する方向と交差する方向において前記貫通孔を挟んで互いに対向する第２辺部及び第４辺部とを有する枠形状に形成されており、
    　前記第３辺部が延在する方向と直交する方向における前記第３辺部の幅寸法は、前記第１辺部、前記第２辺部、及び前記第４辺部の何れの幅寸法よりも小さく、
    　前記中間部材は、上下方向において前記光学素子保持部材の前記第１辺部、前記第２辺部、及び前記第４辺部にそれぞれ対向する第１辺部、第２辺部、及び第４辺部を有し、
    　前記吸引用磁石は、前記中間部材における前記第２辺部及び前記第４辺部の少なくとも一方に設けられ、或いは、前記光学素子保持部材における前記第２辺部及び前記第４辺部の少なくとも一方に設けられている、
    　請求項８に記載の光学素子駆動装置。
  10. 　前記中間部材の前記第２辺部には、離間した状態で二つの前記吸引用磁石が固定されており、
    　前記中間部材の前記第４辺部には、前記第１駆動用磁石が固定されており、
    　前記磁気吸引手段は、二つの前記吸引用磁石、前記第１駆動用磁石、及び磁性部材を含んで構成されており、
    　前記磁性部材は、上下方向において二つの前記吸引用磁石及び前記第１駆動用磁石のそれぞれと前記磁性部材との間に吸引力が作用するように、前記光学素子保持部材に固定されている、
    　請求項９に記載の光学素子駆動装置。
  11. 　前記中間部材には、離間した状態で二つの前記吸引用磁石が固定されており、且つ、二つの前記吸引用磁石と離間する位置において前記第１駆動用磁石が固定されており、
    　前記磁気吸引手段は、二つの前記吸引用磁石、前記第１駆動用磁石、及び磁性部材を含んで構成されており、
    　前記磁性部材は、上下方向において二つの前記吸引用磁石及び前記第１駆動用磁石のそれぞれと前記磁性部材との間に吸引力が作用するように、前記光学素子保持部材に固定されており、
    　前記下側ボールを挟んで前記中間部材と前記支持部材とを互いに引き付ける力を発生させる別の磁気吸引手段を備え、
    　前記別の磁気吸引手段は、二つの前記吸引用磁石、前記第１駆動用磁石、及び別の磁性部材を含んで構成されており、
    　前記別の磁性部材は、上下方向において二つの前記吸引用磁石及び前記第１駆動用磁石のそれぞれと前記別の磁性部材との間に吸引力が作用するように、前記支持部材に固定されている、
    　請求項８に記載の光学素子駆動装置。
  12. 　三つの前記下側ボールを備え、
    　三つの前記下側ボールのうちの一つは、二つの前記吸引用磁石の間に配置され、
    　三つの前記下側ボールのうちの別の一つは、上下方向に沿った平面視において、前記第２方向へ延在する前記第１駆動用磁石の一端部に対向するように配置され、
    　三つの前記下側ボールのうちの残りの一つは、上下方向に沿った平面視において、前記第２方向へ延在する前記第１駆動用磁石の他端部に対向するように配置されている、
    　請求項１１に記載の光学素子駆動装置。
  13. 　三つの前記上側ボールを備え、
    　三つの前記上側ボールのうちの一つは、上下方向に沿った平面視において、二つの前記吸引用磁石のそれぞれの中心を結ぶ仮想線の延長線上に位置し、前記吸引用磁石の側方に配置され、
    　三つの前記上側ボールのうちの別の一つは、上下方向に沿った平面視において、前記第１駆動用磁石の中心と二つの前記吸引用磁石のそれぞれの中心とを結んで形成される三角形の外側に位置するとともに、前記第１駆動用磁石の中心と二つの前記吸引用磁石のうちの一方の中心とを結ぶ前記三角形の一辺と対向しており、
    　三つの前記上側ボールのうちの残りの一つは、上下方向に沿った平面視において、前記三角形の外側に位置するとともに、前記第１駆動用磁石の中心と二つの前記吸引用磁石のうちの他方の中心とを結ぶ前記三角形の他の一辺と対向している、
    　請求項１２に記載の光学素子駆動装置。
  14. 　三つの前記下側ボールと三つの前記上側ボールとを備え、
    　前記第１駆動用磁石の中心と二つの前記吸引用磁石のそれぞれの中心とを結んで形成される第１三角形、三つの前記上側ボールのそれぞれの中心を結んで形成される第２三角形、及び、三つの前記下側ボールのそれぞれの中心を結んで形成される第３三角形のそれぞれの重心は、上下方向に沿った平面視において、前記第２三角形と前記第３三角形とが重なる領域内に位置している、
    　請求項１１に記載の光学素子駆動装置。
  15. 　三つの前記下側ボールと三つの前記上側ボールとを備え、
    　前記支持部材は、前記下側ボールが配置される上方が開放された三つの下側上向き凹部を有し、
    　前記中間部材は、前記下側ボールが配置される下方が開放された三つの下側下向き凹部と、前記上側ボールが配置される上方が開放された三つの上側上向き凹部とを有し、
    　前記光学素子保持部材は、前記上側ボールが配置される下方が開放された三つの上側下向き凹部を有し、
    　三つの前記下側上向き凹部のうちの一つと三つの前記下側下向き凹部のうちの一つとは、三つの前記下側ボールのうちの一つを挟んで対向するように配置され、
    　三つの前記下側上向き凹部のうちの別の一つと三つの前記下側下向き凹部のうちの別の一つとは、三つの前記下側ボールのうちの別の一つを挟んで対向するように配置され、
    　三つの前記下側上向き凹部のうちの一つと三つの前記下側下向き凹部のうちの一つと三つの前記下側上向き凹部のうちの別の一つと三つの前記下側下向き凹部のうちの別の一つとは、前記支持部材に対して前記中間部材が前記第１方向へ移動可能となるように、前記下側ボールを案内する下側ボール案内構造を構成し、
    　三つの前記下側上向き凹部のうちの残りの一つと三つの前記下側下向き凹部のうちの残りの一つとは、三つの前記下側ボールのうちの残りの一つを挟んで対向するように配置され、平面視の大きさが前記下側ボールの径よりも大きく、
    　三つの前記上側上向き凹部のうちの一つと三つの前記上側下向き凹部のうちの一つとは、三つの前記上側ボールのうちの一つを挟んで対向するように配置され、
    　三つの前記上側上向き凹部のうちの別の一つと三つの前記上側下向き凹部のうちの別の一つとは、三つの前記上側ボールのうちの別の一つを挟んで対向するように配置され、
    　三つの前記上側上向き凹部のうちの一つと三つの前記上側下向き凹部のうちの一つと三つの前記上側上向き凹部のうちの別の一つと三つの前記上側下向き凹部のうちの別の一つとは、前記中間部材に対して前記光学素子保持部材が前記第２方向へ移動可能となるように、前記上側ボールを案内する上側ボール案内構造を構成し、
    　三つの前記上側上向き凹部のうちの残りの一つと三つの前記上側下向き凹部のうちの残りの一つとは、三つの前記上側ボールのうちの残りの一つを挟んで対向するように配置され、平面視の大きさが前記上側ボールの径よりも大きい、
    　請求項１又は請求項２に記載の光学素子駆動装置。
  16. 　前記光学素子保持部材は、前記貫通孔を挟んで互いに対向する第１辺部及び第３辺部と、前記第１辺部と前記第３辺部とが対向する方向と交差する方向において前記貫通孔を挟んで互いに対向する第２辺部及び第４辺部とを有する枠形状に形成されており、
    　前記中間部材は、上下方向において前記光学素子保持部材の前記第１辺部、前記第２辺部、及び前記第４辺部にそれぞれ対向する第１辺部、第２辺部、及び第４辺部を有し、且つ、前記光学素子保持部材の前記第３辺部に対向する部分が切り欠かれた形状を有し、
    　前記光学素子保持部材に固定された前記第２駆動用磁石は、前記中間部材の切り欠かれた部分に配置されている、
    　請求項１又は請求項２に記載の光学素子駆動装置。
  17. 　前記固定側部材は、前記支持部材とともに筐体を構成する金属製のカバー部材を有し、
    　前記中間部材及び前記光学素子保持部材は、前記筐体内に収容されており、
    　前記光学素子保持部材は、平面視において前記中間部材よりも大きく、
    　前記光学素子保持部材の外周面には、前記光学素子保持部材が前記第１方向へ移動した際に前記カバー部材の内側面と当接可能な第１当接部と、前記光学素子保持部材が前記第２方向へ移動した際に前記カバー部材の内側面と当接可能な第２当接部とが設けられて前記光学素子保持部材の移動範囲が制限されている、
    　請求項１又は請求項２に記載の光学素子駆動装置。
PCT/JP2022/045698 2021-12-15 2022-12-12 光学素子駆動装置 WO2023112896A1 (ja)

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