WO2022239333A1 - 給気モジュール - Google Patents

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WO2022239333A1
WO2022239333A1 PCT/JP2022/004757 JP2022004757W WO2022239333A1 WO 2022239333 A1 WO2022239333 A1 WO 2022239333A1 JP 2022004757 W JP2022004757 W JP 2022004757W WO 2022239333 A1 WO2022239333 A1 WO 2022239333A1
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WO
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hollow fiber
air supply
fiber membrane
supply module
polytetrafluoroethylene
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PCT/JP2022/004757
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文弘 林
隆昌 橋本
良昌 鈴木
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住友電工ファインポリマー株式会社
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Definitions

  • the present disclosure relates to air supply modules.
  • This application claims priority based on Japanese application No. 2021-80631 filed on May 11, 2021, and incorporates all the descriptions described in the above Japanese application.
  • the air supply module is used not only for filtration applications in solid-liquid separators, but also for air supply modules that remove gases such as oxygen dissolved in liquids, and air supply systems that supply gases to liquids.
  • gases such as oxygen dissolved in liquids
  • air supply systems that supply gases to liquids.
  • gas-dissolved water made by dissolving gas in pure water for cleaning applications in the field of electronic device manufacturing and home appliances
  • hydrogen water made by dissolving hydrogen gas in pure water and carbonated water made by dissolving carbon dioxide gas for beverages. It is known to manufacture air supply systems such as
  • An air supply module for air supply or degassing, or an air supply module including these, for example, includes a suction device for sucking gas from the air supply module and a gas supply device for supplying gas to the air supply module.
  • An air supply module for air supply and deaeration has been proposed (see Patent Document 1).
  • An air supply module is an air supply module capable of supplying gas to a liquid to be supplied to the inside of a hollow fiber membrane, and includes a housing containing a fluororesin as a main component, a polytetrafluoro A plurality of the hollow fiber membranes containing ethylene or modified polytetrafluoroethylene as a main component, and the hollow fiber membrane has a porosity K [%], an average thickness T1 [mm], and an average outer diameter D2 [mm]. satisfies the relationship of the following formula (1). K/(T1 ⁇ D2 ⁇ 100) ⁇ 2.0 (1)
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an air supply module of one embodiment of the present disclosure
  • FIG. FIG. 2 is a schematic perspective view showing a hollow fiber membrane according to one embodiment of the present disclosure
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the hollow fiber membrane of FIG. 2 taken along the line AA.
  • the present disclosure has been made based on such circumstances, and aims to provide an air supply module that can be made compact and has excellent air supply performance and chemical resistance.
  • the air supply module according to one aspect of the present disclosure can be made compact and has excellent air supply performance and chemical resistance.
  • An air supply module is an air supply module capable of supplying gas to a liquid to be supplied to the inside of a hollow fiber membrane, and includes a housing containing fluororesin as a main component and polytetrafluoroethylene. or a plurality of the hollow fiber membranes containing modified polytetrafluoroethylene as a main component, and the hollow fiber membrane has a porosity K [%], an average thickness T1 [mm], and an average outer diameter D2 [mm] , satisfies the relationship of the following formula (1). K/(T1 ⁇ D2 ⁇ 100) ⁇ 2.0 (1)
  • the air supply module includes a plurality of hollow fiber membranes whose porosity K [%], average thickness T1 [mm], and average outer diameter D2 [mm] satisfy the relationship of the above formula (1), High air supply performance and water pressure resistance can be achieved, and miniaturization can be achieved. In addition, it has excellent chemical resistance by providing a hollow fiber membrane mainly composed of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene and a housing mainly composed of fluororesin.
  • the “main component” refers to a component having the highest content ratio in terms of mass, for example, a component having a content ratio of 50% by mass or more, preferably 70% by mass or more, and more preferably 95% by mass or more.
  • porosity refers to the ratio of the total volume of pores to the total volume of the hollow fiber membrane, and can be obtained by measuring the density according to ASTM-D-792.
  • the dry mass and water mass of the sample are measured in units of 0.0001 g, and the volume of the sample is obtained from the difference between them.
  • the volume of the resin constituting the sample was calculated from the dry mass, assuming that the true specific gravity of polytetrafluoroethylene (PTFE) is 2.17 g/cm 3 .
  • the ratio of the void volume obtained by subtracting the resin volume from the sample volume to the sample volume is expressed as a percentage and taken as the porosity.
  • the porosity can be measured by the following procedure.
  • the length (L) of the hollow fiber membrane whose porosity is to be measured is measured in units of 1 mm.
  • the weight (W) of the hollow fiber membrane is measured with an electronic balance in units of 0.0001 g. Then, based on the above measured values, the porosity [%] is calculated by the following formula.
  • ⁇ indicates the true specific gravity of polytetrafluoroethylene, which is 2.17 [g/cm 3 ].
  • the "average thickness" of the hollow fiber membrane can be obtained by dividing (average outer diameter - average inner diameter) by 2.
  • average outer diameter refers to the average value of the outer diameters of arbitrary two points.
  • the cross section of the hollow fiber membrane is elliptical, the diameters of the minor axis and the major axis are measured at two points, and the average value is taken as the average outer diameter.
  • the cross section of the hollow fiber membrane is an irregular cross section other than a general circle or an ellipse, the edge information of the outer diameter of the cross section is extracted and approximated to a circle, and the obtained inner circumference is divided by the circumference ratio.
  • the value be the average outer diameter.
  • the above-mentioned "average inner diameter” refers to the average value of inner diameters at two arbitrary points.
  • the average outer diameter can be measured by the following procedure. First, the hollow fiber membrane is sliced in a plane perpendicular to the length direction and observed with an electron microscope so that the entire cross section is within the visual field. The outer diameter is measured at two positions (positions with a phase difference of about 90 degrees) that are substantially diagonal to the cross section, and the average value is defined as the average outer diameter (D2).
  • the heat of fusion of the hollow fiber membrane is preferably 30 J/g or more and 45 J/g or less.
  • the heat of fusion of the hollow fiber membrane is within the above range, it is possible to obtain a hollow fiber membrane having a high degree of crystallinity and a pore size and porosity within a better range.
  • the amount of heat of fusion of the hollow fiber membrane is measured using a differential scanning calorimeter, and is the amount of heat absorbed between 296°C and 343°C in the third step of measurement with the differential scanning calorimeter.
  • the heat of fusion of the hollow fiber membrane is a first step of heating from room temperature to 245°C at a rate of 50°C/min and then heating from 245°C to 365°C at a rate of 10°C/min; After cooling from 365 ° C. to 350 ° C. at a rate of -10 ° C./min and holding, after cooling from 350 ° C. to 330 ° C. at a rate of -10 ° C./min, from 330 ° C.
  • the hollow fiber membrane preferably has an average outer diameter D2 of 0.70 mm or less, an average inner diameter D1 of 0.32 mm or less, a water pressure resistance of 0.3 MPa or more, and a porosity K of 30% or more.
  • the average outer diameter, average inner diameter, water pressure resistance and porosity K of the hollow fiber membrane are within the above ranges, a bundle of hollow fiber membranes having a thin and fine diameter and high water pressure resistance and porosity is constituted. Therefore, the air supply performance can be improved while the size of the air supply module can be reduced.
  • the above “average inner diameter” refers to the average value of the inner diameter of any two points.
  • the average inner diameter can be measured by the following procedure. First, the hollow fiber membrane is sliced in a plane perpendicular to the length direction and observed with an electron microscope so that the entire cross section is within the visual field. The inner diameter is measured at two positions (positions with a phase difference of about 90 degrees) that are substantially diagonal to the cross section, and the average value is defined as the average inner diameter (D1).
  • the above-mentioned “water pressure resistance” means the pressure at which water begins to leak from the other side when water pressure is applied to one side of the membrane, and is also called water leakage pressure.
  • the water pressure resistance is measured according to JIS-L1092 (2009). Specifically, the lumen of the hollow fiber membrane was filled with water, and the water pressure into the lumen was continuously increased at a rate of 100 kPa/min. Water pressure.
  • the pure water after the air supply treatment can maintain a dissolved oxygen concentration of 8 ppm or more per minute.
  • the maximum flow rate per unit is preferably 0.035 mL/(cm 2 ⁇ min) or more with respect to the unit inner surface area of the hollow fiber membrane.
  • the air supply module maintains the dissolved oxygen concentration of 8 ppm or more in the pure water after the air supply treatment. While supplying air, a large flow rate can be flowed, and the air supply effect is more excellent.
  • the "inner surface area” means the inner surface area of the hollow fiber membrane.
  • the main component of the casing is preferably tetrafluoroethylene/perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, polytetrafluoroethylene, tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymer, or a combination thereof. Chemical resistance and mechanical strength can be improved by using these fluororesins as the main component of the housing.
  • An air supply module is an air supply module capable of supplying gas to a liquid to be supplied into hollow fiber membranes. It comprises a housing and a plurality of hollow fiber membranes.
  • the hollow fiber membrane wall can allow gas to permeate while suppressing liquid leakage.
  • the air supply module can be applied in any field of application. For example, cleaning water for semiconductors, electronic devices, medical applications, food and beverage manufacturing, industrial waste liquids, river water, lake water, pool water, public bath water, purification and neutralization, drinking water, industrial water, etc. It can be used in a variety of applications, such as processing applications, enrichment of specific gases by permeation of liquids with gases such as oxygen, ozone, carbon dioxide, nitrogen and hydrogen.
  • the air supply module is an integrated type in which the air supply module is fixed in various devices, etc., and a membrane member having a housing and a plurality of hollow fiber membranes are independent of each other, and the membrane member is inserted into the housing. It can be used in any type of replaceable cartridge type used as a
  • FIG. 1 shows an air supply module 3 for supplying air as an example of an air supply module according to an embodiment of the present disclosure.
  • the air supply module 3 includes a membrane member 2 having a plurality of hollow fiber membranes 1 aligned in one direction, and a tubular casing 11 that houses the membrane member 2 .
  • the air supply module 3 is of a type that permeates a gas through the hollow fiber membranes 1 and supplies the liquid to be supplied into the hollow fiber membranes 1 .
  • the membrane member 2 includes a first sealing portion 4 that holds one end of the plurality of hollow fiber membranes 1 and a second sealing portion 5 that holds the other end of the plurality of hollow fiber membranes 1. have In the first sealing portion 4 and the second sealing portion 5, a potting agent is filled between the hollow fiber membranes 1 and between the bundle of hollow fiber membranes and the inner surface of the housing.
  • the main component of the potting agent is resin, rubber or elastomer.
  • the potting agent is not particularly limited, but examples thereof include epoxy resins, urethane resins, ultraviolet curable resins, fluororesins, silicone resins, polyamide resins, and polyolefin resins such as polyethylene and polypropylene.
  • fluororesins and silicone resins have good performance as adhesives for hollow fiber membranes whose main component is polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene (modified PTFE) and housings whose main component is fluororesin. It is preferable from the viewpoint of having
  • the air supply module 3 is mounted on a cylindrical housing 11 and one end of the housing 11, and is provided with an engaging structure for engaging the gas supply port 9 and the first sealing portion 4.
  • the second sleeve 14 provided with an engagement structure for engaging the gas discharge port 19 and the second sealing portion 5 and the end portion of the housing 11 on the side of the second sleeve 14 are sealed so that the liquid supply port 7 is
  • a second cap 15 may be provided.
  • the air supply module 3 has a liquid supply port 7 to which raw water is supplied in the S1 direction on one end face, and a liquid that has passed through the plurality of hollow fiber membranes 1 on the other end face. It has a liquid discharge port 8 that discharges in the S2 direction.
  • a side surface of the housing 11 is provided with a gas supply port 9 through which gas is supplied in the direction P1 and a gas discharge port 19 through which gas is discharged in the direction P2.
  • the positions and orientations of the gas supply port 9 and the gas discharge port 19 are not particularly limited, and can be configured according to the state in which the air supply module 3 is installed.
  • the raw water supplied from the liquid supply port 7 into the hollow fiber membrane 1 is supplied into the housing 11 . Then, the liquid after the gas supply process is discharged from the liquid discharge port 8 provided on the side surface near the other end of the housing 11 .
  • the air supply module 3 has excellent chemical resistance by being provided with a housing mainly composed of fluororesin and a plurality of hollow fiber membranes mainly composed of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene. Therefore, the type of raw water is not particularly limited, and various liquids such as pure water, drinking water, chemical solutions, and waste water can be used depending on the purpose.
  • the gas supplied from the gas supply port 9 is sucked from the wall surface of the hollow fiber membrane 1 toward the gas discharge port 19, and is supplied to the liquid supplied into the hollow fiber membrane 1 at the gas discharge port 19. discharged from the tip.
  • Examples of the gas to be supplied include air, oxygen, carbon dioxide, hydrogen, ozone, nitrogen, hydrogen sulfide, and ammonia.
  • the main component of the housing 11 is fluorine resin. Since the housing 11 is mainly composed of fluororesin, it has excellent chemical resistance.
  • the fluorine resin is preferably a tetrafluoroethylene/perfluoroalkyl vinyl ether copolymer, polytetrafluoroethylene, a tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymer, or a combination thereof. Chemical resistance and mechanical strength can be improved by using these fluororesins as the main component of the housing 11 .
  • the air supply module 3 when pure water having a dissolved oxygen concentration of 0.6 ppm or less is supplied to the inside of the hollow fiber membrane and air is permeated at a pressure of 10 kPa, the pure water after the air supply process has dissolved oxygen.
  • the maximum flow rate per minute that can maintain the concentration of 8 ppm or more is preferably 0.035 mL/(cm 2 ⁇ min) or more with respect to the unit inner surface area of the hollow fiber membrane 1 .
  • the maximum flow rate per minute at which the pure water after the air supply process can maintain a dissolved oxygen concentration of 8 ppm or more is within the above range, so that high-concentration gas can be efficiently supplied to the liquid. It can supply air well, and the effect of supplying air is better.
  • the hollow fiber membrane 1 of FIGS. 2 and 3 is mainly composed of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene. Since polytetrafluoroethylene and modified polytetrafluoroethylene are fluororesins with excellent chemical resistance and solvent resistance, the selectivity of the types of liquid and gas supplied to the air supply module 3 is improved. In addition, since polytetrafluoroethylene and modified polytetrafluoroethylene are highly hydrophobic fluororesins, leakage of liquid from the hollow fiber membrane 1 can be suppressed and gas permeability can be improved.
  • Modified polytetrafluoroethylene is a small amount of hexafluoropropylene (HFP), alkyl vinyl ether (AVE), chlorotrifluoroethylene (CTFE), etc., preferably 1/50 (molar ratio) or less with respect to tetrafluoroethylene. It refers to polytetrafluoroethylene that has been processed.
  • the lower limit of the average outer diameter D2 of the hollow fiber membrane 1 is not particularly limited, it is preferably 0.1 mm, more preferably 0.2 mm.
  • the upper limit of the average outer diameter D2 of the hollow fiber membrane 1 is preferably 0.70 mm, more preferably 0.4 mm. If the average outer diameter D2 is less than the lower limit, the pressure loss may increase. Conversely, if the average outer diameter D2 exceeds the upper limit, the membrane area that can be accommodated in the housing 11 is reduced, or the pressure resistance is lowered, which may cause rupture due to internal pressure or buckling due to external pressure. .
  • the lower limit of the average inner diameter D1 of the hollow fiber membrane 1 is not particularly limited, it is preferably 0.05 mm, more preferably 0.1 mm.
  • the upper limit of the average inner diameter D1 of the hollow fiber membrane is preferably 0.32 mm, more preferably 0.2 mm. If the average inner diameter D1 is less than the lower limit, the pressure loss may increase. Conversely, if the average inner diameter D1 exceeds the upper limit, the pressure resistance will be low, and there is a risk of rupture due to internal pressure or buckling due to external pressure.
  • the lower limit of the average thickness T1 of the hollow fiber membrane 1 is preferably 0.01 mm, more preferably 0.02 mm.
  • the upper limit of the average thickness T1 of the hollow fiber membrane 1 is preferably 0.20 mm, more preferably 0.10 mm. If the average thickness T1 is less than the lower limit, the pressure resistance becomes low, and there is a risk of rupture due to internal pressure or buckling due to external pressure. Conversely, if the average thickness T1 exceeds the upper limit, the gas permeability may decrease.
  • the lower limit of the porosity K of the hollow fiber membrane 1 is preferably 30%, more preferably 40%.
  • the upper limit of the porosity K of the hollow fiber membrane 1 is not particularly limited, but is preferably 80%, more preferably 70%. If the porosity K of the hollow fiber membrane 1 is less than the above lower limit, the gas permeability may become low, and the air supply performance of the hollow fiber membrane 1 may deteriorate. If the porosity K of the hollow fiber membrane 1 exceeds the above upper limit, the mechanical strength of the hollow fiber membrane 1 is lowered, and there is a possibility that the durability may be lowered and the membrane may be broken due to internal pressure, such as rupture.
  • the porosity K [%], the average thickness T1 [mm], and the average outer diameter D2 [mm] of the hollow fiber membrane 1 satisfy the relationship of the following formula (1).
  • the air supply module has high air supply performance. And water pressure resistance can be realized, and miniaturization can be achieved. If K/(T1 ⁇ D2 ⁇ 100) is less than 2.0, the air supply performance or water pressure resistance of the air supply module may be lowered, and miniaturization may be difficult.
  • the lower limit of the average pore size of the hollow fiber membrane 1 is preferably 3.0 nm, more preferably 5.0 nm.
  • the upper limit of the average pore size of the hollow fiber membrane 1 is preferably 50.0 nm, more preferably 40.0 nm. If the average pore size is less than the lower limit, air supply performance may be insufficient. Conversely, if the average pore size exceeds the upper limit, the water pressure resistance is lowered, and liquid such as water containing impurities such as surfactants may leak out.
  • the average pore size is measured by the bubble point method (ASTM F316-86, JISK3832) using a pore size distribution analyzer or the like, according to the following procedure.
  • the relationship between the differential pressure applied to the membrane and the flow rate of air permeating the membrane is measured using a pore size distribution analyzer or the like when the membrane is dry and when the membrane is wet with a liquid.
  • the value of d (nm) represented by P is the average pore diameter.
  • the pore diameter of the hollow fiber membrane can also be measured by the bubble point method using a porometer that performs liquid-liquid phase substitution.
  • PTFE which is the main component of the hollow fiber membrane, is a hydrophobic resin
  • the pore diameter of the hollow fiber membrane can be determined using the Washburn equation using a pure water injection type porosimeter, which has the same principle as a mercury injection type porosimeter. can also be measured.
  • the water pressure resistance of the hollow fiber membranes 1 is preferably 0.3 MPa or more, more preferably 1.0 MPa or more. Since the water pressure resistance of the hollow fiber membranes 1 is within the above range, liquid can be supplied to the air supply module 3 at high pressure. By allowing the liquid to flow through the air supply module 3 at a high pressure, bubbling does not occur in the liquid even if the pressure of the air supply gas is increased, so it is possible to produce a dissolved gas liquid with a higher concentration.
  • the upper limit of the heat of fusion of the hollow fiber membrane 1 is preferably 45 J/g, more preferably 42 J/g.
  • the lower limit of the heat of fusion of the hollow fiber membrane 1 is preferably 30 J/g, more preferably 33 J/g. If the heat of fusion of the hollow fiber membrane 1 exceeds the upper limit, the pore size may increase. On the other hand, if the heat of fusion of the hollow fiber membrane 1 is less than the lower limit, the porosity may decrease.
  • the heat of fusion of the hollow fiber membrane 1 is within the above range, it is possible to obtain the hollow fiber membrane 1 having a high degree of crystallinity and a pore size and a porosity within a better range.
  • the amount of heat of fusion of the hollow fiber membrane 1 is the amount of heat of fusion from 296° C. to 343° C. in the third step after the first to third steps.
  • the hollow fiber membrane has a heat of fusion of 30.0 J/g or more and 45.0 J/g or less from 296° C. to 343° C. in the third step after the first step to the third step.
  • a porous hollow fiber membrane having minute pores can be obtained. Therefore, the hollow fiber membrane 1 is porous, has an average outer diameter of 0.70 mm or less, an average inner diameter of 0.32 mm or less, and has a high porosity K and high water pressure resistance, which could not be obtained with the conventional technology. .
  • the polytetrafluoroethylene for molding that has been generally used in the past has a heat of fusion of less than 30 J/g in the third step after passing through the first step to the third step. Therefore, it is considered that the heat of fusion of the hollow fiber membrane of this resin is less than 30 J/g. It is believed that such a resin is used as a result of considering moldability such as molding and paste extrusion molding and the strength of the molded product. For example, in paste extrusion, polytetrafluoroethylene having a heat of fusion of 20 J/g or less or about 25 J/g is used depending on the molding dimensions and the like, in order to achieve uniform qualities such as molding dimensions and mechanical strength.
  • the hollow fiber membrane 1 differs from conventional hollow fiber membranes in that the heat of fusion range from 296° C. to 343° C. in the third step is 30.0 J/g or more and 45.0 J/g or less. Due to this difference, the deformability is higher than that of conventional hollow fiber membranes, and the impact absorption and deformation adhesion are significantly superior. Furthermore, the stretching step can provide a porous hollow fiber membrane having a fine pore size and a high porosity.
  • the lower limit of the isopropanol bubble point of the hollow fiber membrane 1 is preferably 500 kPa, more preferably 1000 kPa.
  • the upper limit of the isopropanol bubble point of the hollow fiber membrane 1 is not particularly limited. If the isopropanol bubble point of the hollow fiber membranes 1 is less than the lower limit, the hollow fiber membranes 1 may have insufficient liquid retention.
  • "Isopropanol bubble point" is a value measured in accordance with ASTM-F316-86 using isopropanol, indicating the minimum pressure required to push liquid out of the pores, and an index corresponding to the average pore diameter. is.
  • the lower limit of the filling rate of the hollow fiber membranes 1 in the air supply module 3 is preferably 30%, more preferably 40%.
  • the upper limit of the filling rate of the hollow fiber membrane 1 is preferably 70%, more preferably 60%. If the filling rate of the hollow fiber membranes 1 is less than the lower limit, the air supply performance of the air supply module 3 may decrease. Conversely, if the filling rate of the hollow fiber membranes 1 exceeds the upper limit, the hollow fiber membranes 1 may collapse when the housing 11 is filled with the hollow fiber membranes 1, or it may be difficult to fill the housing. sexuality may occur.
  • the air supply module 3 has excellent air supply performance due to the filling rate of the hollow fiber membranes 1 having high porosity and bubble point being 30% or more and 70% or less.
  • the “filling rate of the hollow fiber membranes” refers to the packing density of the hollow fiber membranes 1 packed in the housing 11, and with respect to the length direction of the hollow fiber membranes 1 packed in the housing 11, It is the ratio (%) of the total cross-sectional area occupied by each hollow fiber membrane 1 obtained from the outer diameter of each filled hollow fiber membrane 1 to the lumen cross-sectional area of the housing 11 perpendicular to the vertical axis.
  • the hollow fiber membrane 1 may contain other fluororesins and additives within a range that does not impair the desired effects of the present disclosure.
  • the additives include inorganic fillers, metal powders, metal oxide powders, metal sulfide powders, etc. for improving wear resistance, preventing cold flow, and facilitating void formation.
  • the method for producing the hollow fiber membrane includes, for example, a molding step of molding particles of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene into a tubular shape, and a step of molding the tubular molded product to a temperature higher than the melting point of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene. It is preferable to have a sintering step of heating to , a step of cooling the molten resin, and a stretching step of stretching the nonporous tubular molded article to make it porous. In this way, the hollow fiber membrane is formed by stretching after molding, whereby a porous hollow fiber membrane can be formed while reducing the diameter of the pores of the hollow fiber membrane.
  • the hollow fiber membrane is made of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene having a heat of fusion from 296° C. to 343° C. in the third step of 30.0 J/g or more and 45.0 J/g or less. It is obtained by melting to eliminate inter-particle gaps and then slowly cooling. That is, a step of heating and melting the polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene above its melting point, and a step of cooling the melted resin, or / and holding at 313 ° C. or higher and lower than 321 ° C. for 10 minutes or more. including the step of
  • Polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene with a heat of fusion of 30.0 J / g or more and 45.0 J / g or less is, for example, polytetrafluoroethylene with a heat of fusion of less than 30.0 J / g, gamma rays, X rays , a method of irradiating with ionizing radiation such as ultraviolet rays or electron beams, a method of utilizing a decomposition reaction by heating, or the like.
  • the molding step powder of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene produced by emulsion polymerization or the like is molded into a tubular shape to obtain a tubular molded product.
  • the raw material polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene particles are powders composed of fine particles of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene.
  • Polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene disperser which is an emulsion in which fine particles of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene (polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene powder) are dispersed in a liquid (dispersion medium) John can also be used as a powder of raw polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene.
  • the powder of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene includes, for example, polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene which is a powder composed of fine particles of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene and is produced by emulsion polymerization.
  • polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene which is a powder composed of fine particles of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene and is produced by emulsion polymerization.
  • fluoroethylene fine powder and polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene molding powder produced by suspension polymerization are examples of fluoroethylene fine powder and polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene molding powder produced by suspension polymerization.
  • polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene powder is formed into a tubular shape to obtain a tubular molded product having a predetermined shape and size
  • a known method for forming a membrane from the powder for example, a raw material powder is used.
  • a method of blending an extrusion aid and extruding the paste into a tubular shape after mixing, or a method of molding using polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene dispersion, etc., and drying and removing the dispersion medium (casting method). is mentioned.
  • Polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene usually has a high melt viscosity, making it difficult to melt extrude and to prepare a solution thereof. Therefore, the above method is generally employed. be.
  • the tubular molded article is heated to the melting point of polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene or higher to obtain a nonporous tubular molded article.
  • Hollow fiber membranes produced by compressing polytetrafluoroethylene particles or modified polytetrafluoroethylene particles produced by emulsion polymerization or the like have pores and voids due to interstices between particles and extruding aids. By completely melting the fluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene powder, these pores and voids are eliminated or substantially continuous voids are minimized. As a result, a non-porous tubular molded article is produced.
  • a non-porous film-like molded product means a film having almost no pores penetrating through the film, and specifically, a film having a Gurley second of 5000 seconds or more is preferable.
  • a film having a Gurley second of 5000 seconds or more is preferable.
  • it is preferably heated at a temperature higher than the melting point of the raw material, or The heating temperature is preferably 450° C. or less in order to suppress the decomposition and modification of the resin.
  • This cooling causes crystals to form in the polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene, which can saturate the crystallinity of the polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene resin before the next stretching step. Therefore, the reproducibility of the pore size can be increased in the production of the porous membrane.
  • the lower the cooling rate or the longer the constant temperature treatment time the higher the degree of crystallinity and the heat of fusion.
  • the higher the cooling rate or the shorter the constant temperature treatment time the lower the crystallinity and the heat of fusion tends to be lower.
  • the heat of fusion of the hollow fiber membrane depends on the amount of crystals produced, and the amount of crystals produced is affected by the cooling rate. Therefore, in order to obtain the heat of fusion in the above range, cooling is performed by slow cooling (slow cooling) or/and cooling including holding at 310° C. or higher and lower than 325° C. for 10 minutes or longer. Slow cooling is preferably carried out at a cooling rate of -3.0°C/min or less, more preferably -2.0°C/min or less.
  • the step of holding at 310° C. or higher and lower than 325° C. for 10 minutes or more may be performed during cooling after the sintering step, or may be carried out by heating and holding in the above temperature range after cooling.
  • the heat of fusion of the polytetrafluoroethylene powder or granules adjusted to the above range may be used as it is.
  • a mixture of two or more polytetrafluoroethylene powders or granules, at least one of which has a heat of fusion within the above range may be used.
  • a porous hollow fiber membrane can be obtained by stretching the nonporous tubular molded product.
  • stretching may be performed only in the axial direction, or in both the axial direction and the circumferential direction (radial expansion direction).
  • the stretching ratio in the axial direction can be, for example, 3 times or more and 10 times or less, and the stretching ratio in the circumferential direction can be, for example, 2 times or more and 4 times or less.
  • the size and shape of the pores of the hollow fiber membrane can be adjusted by adjusting the drawing conditions such as drawing temperature and drawing rate.
  • first yield point the general yield point that first appears on the load-elongation curve
  • second 2 yield point the next inflection point that appears before breaking
  • a hollow fiber membrane having excellent air supply performance and chemical resistance can be manufactured.
  • the gas supply module is configured to perfuse liquid into the hollow fiber membranes and supply gas to the liquid.
  • the air supply module may be in the form of supplying gas to the liquid to be perfused.
  • the air supply module has the same air supply performance regardless of whether it is in the form of supplying liquid into the hollow fiber membranes or in the form of supplying gas into the hollow fiber membranes.
  • This sample is heated and cooled under the following conditions. After heating from room temperature to 245° C. at a rate of 50° C./min, it is heated from 245° C. to 365° C. at a rate of 10° C./min (first step). Next, after cooling from 365 ° C. to 350 ° C. at a rate of -10 ° C./min and holding, cooling from 350 ° C. to 330 ° C. at a rate of -10 ° C./min, and further at a rate of -1 ° C./min. Cool from 330° C. to 305° C. (second step). Next, after cooling from 305° C. to 245° C. at a rate of ⁇ 50° C./min, heating from 245° C. to 365° C. at a rate of 10° C./min (third step).
  • a heat flux differential scanning calorimeter DSC-60A manufactured by Shimadzu Corporation was used with a sampling time of 0.5 seconds/time to determine the amount of heat absorbed and the amount of heat generated.
  • the endothermic amount in the first step was obtained by integrating the section from 303°C to 353°C, the heat release amount in the second step from 318°C to 309°C, and the endothermic amount in the third step from 296°C to 343°C. value.
  • the amount of heat absorbed in this third step is defined as the amount of heat of fusion.
  • IPA isopropanol
  • PTFE fine powder shown below which is a raw material powder, was used as a raw material.
  • the PTFE fine powder used here is made of PTFE particles (primary particles) having a particle size of 0.15 ⁇ m to 0.35 ⁇ m produced by emulsion polymerization of tetrafluoroethylene (emulsion polymerization product). It is a powder granulated to several hundred ⁇ m to several thousand ⁇ m.
  • the raw material resins used in 2 are as follows.
  • Test no. 1 F208 manufactured by Daikin Industries, Ltd.: modified PTFE
  • Test no. 2 CD-123E manufactured by AGC was irradiated with 1.0 kGy of ⁇ -rays: homo-PTFE
  • Table 1 shows the heat of fusion of each raw material in the third step.
  • the obtained PTFE powder was molded into a tube under the following conditions.
  • a paste extrusion method or a ram extrusion method described in "Fluororesin Handbook (written by Takaomi Satokawa, Nikkan Kogyo Shimbun)" can be used as a method for molding into a tubular shape.
  • the paste extrusion method described above was used.
  • 23 parts by mass of a liquid lubricant (“Solvent Naphtha", manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) is mixed with PTFE powder, pressed into a cylindrical shape with a preforming machine, and then extruded into a coil shape with an extruder.
  • Test no. 1 used an extruder with a cylinder diameter of 40 mm, a mandrel diameter of 10 mm, a die diameter of 1.0 mm, a core pin diameter of 0.5 mm, and a reduction ratio of 2000.
  • Test no. 2 used an extruder with a cylinder diameter of 30 mm, a mandrel diameter of 10 mm, a die diameter of 0.8 mm, a core pin diameter of 0.4 mm, and a reduction ratio of 1667.
  • the resulting nonporous tubular molded article was stretched under the following conditions to obtain a porous tubular molded article. Stretching was performed at 170° C. with a chuck width of 10 mm, a stretching speed of 500 mm/min, and a tensile tester (Autograph AG500 with a constant temperature bath manufactured by Shimadzu Corporation). The average outer diameter and average inner diameter were obtained by measuring arbitrary two points, and the average thickness was obtained from the formula (average outer diameter - average inner diameter)/2 at arbitrary two points. Table 1 shows the axial draw ratio of the hollow fiber membrane of each test number, and Table 2 shows the average outer diameter D2, the average inner diameter D1 and the average thickness T1.
  • ⁇ Hollow fiber membrane Test No. 3 (comparative example)> A liquid lubricant (solvent naphtha manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) is mixed with the PTFE powder shown below, which is a raw material powder, and the mixture is pressed and then paste-extruded into a tubular shape to produce a tubular molded body. At that time, 19 parts by mass of a liquid lubricant was blended. The extrudate was heated to 200° C. to dry off the liquid lubricant to obtain an unsintered tube. After that, it was stretched in the longitudinal direction at 280.degree. Test no.
  • Table 1 shows the temperature of the die used in the extrusion molding in 3 and the axial draw ratio in the drawing step, and Table 2 shows the average outer diameter D2, the average inner diameter D1 and the average thickness T1.
  • Test no. As the raw material resin of No. 3, CD123E (homo PTFE) manufactured by AGC was used. Also, test no. Table 1 shows the amount of heat of fusion in the third step of the raw material resin of No. 3.
  • Table 1 shows the extrusion conditions for the hollow fiber membrane of No. 3.
  • Table 2 shows the porosity K, isopropanol bubble point and average pore diameter measurement results, 0.3 MPa water pressure resistance test results, and K/(T1 ⁇ D2 ⁇ 100) calculation results.
  • Air Supply Module Test No. 11 to Test No. 14 (Hollow fiber membrane Test No. 1 to Test No. 3)> Test no. 1 to test No. 3 (air supply module test No. 11 to test No. 14) were produced.
  • the filling rate of the hollow fiber membrane was set to 40%, and two types of sizes, large and small, were produced for the inner diameter and effective length of the body.
  • Four types of air supply modules with different numbers of enclosed hollow fiber membranes were produced.
  • these air supply modules used a housing containing a fluororesin as a main component.
  • Table 3 shows the housing volume of the air supply module, the number of enclosed hollow fiber membranes, and the filling rate. The volume of the housing was obtained by calculating the product of the internal cross-sectional area of the trunk and the effective length.
  • the main component is polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene
  • the hollow fiber membrane has a porosity K [%], an average thickness T1 [mm], and an average outer diameter D2 [mm] of K Test No. satisfying /(T1 ⁇ D2 ⁇ 100) ⁇ 2.0.
  • 11 to No. Thirteen air supply modules have been shown to provide high throughput modules.
  • No. 1 with a high value of K/(T1 ⁇ D2 ⁇ 100).
  • No. 2 hollow fiber membrane had very high throughput per internal surface area.
  • the 14 air supply modules had poor throughput per internal surface area.
  • test no. No. 14 air supply modules have the same internal volume. The maximum flow rate of pure water with a dissolved oxygen concentration of 8 ppm or higher was also very low compared to the 12 air supply modules.
  • the air supply module was shown to have excellent air supply performance and chemical resistance. Therefore, the air supply module can be suitably used as an air supply device for semiconductor manufacturing processes, wastewater treatment, beverage and food manufacturing processes, chemical liquid manufacturing processes, and the like.

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Abstract

本開示の一態様に係る給気モジュールは、中空糸膜の内部に供給される液体に気体を給気可能な給気モジュールであって、フッ素樹脂を主成分とする筐体と、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする複数本の上記中空糸膜とを備え、上記中空糸膜の気孔率Ｋ［％］、平均厚さＴ１［ｍｍ］及び平均外径Ｄ２［ｍｍ］が、下記式（１）の関係を満たす。　Ｋ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）≧２．０　・・・（１）

Description

給気モジュール
　本開示は、給気モジュールに関する。
　本出願は、２０２１年５月１１日出願の日本出願第２０２１－８０６３１号に基づく優先権を主張し、上記日本出願に記載された全ての記載内容を援用するものである。
　給気モジュールは、固液分離装置の濾過用途の他に、液体中に溶存している酸素等の気体を除去する給気モジュールや液体に気体の供給を行う給気装置にも用いられる。例えば、電子デバイス製造の分野での洗浄用途や家電用途として純水にガスを溶解させたガス溶解水、飲料用途として純水に水素ガスを溶解させた水素水や炭酸ガスを溶解させた炭酸水等を製造する給気装置が知られている。
　給気若しくは脱気用の給気モジュール、又はこれらを備えた給気モジュールとしては、例えば、給気モジュールからガスを吸引する吸引装置及び、給気モジュールにガスを供給するガス供給装置と並設される給気及び脱気用給気モジュールが提案されている（特許文献１参照）。
特開２０１６－２１７６４９
　本開示の一態様に係る給気モジュールは、中空糸膜の内部に供給される液体に気体を給気可能な給気モジュールであって、フッ素樹脂を主成分とする筐体と、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする複数本の上記中空糸膜とを備え、上記中空糸膜の気孔率Ｋ［％］、平均厚さＴ１［ｍｍ］及び平均外径Ｄ２［ｍｍ］が、下記式（１）の関係を満たす。
　Ｋ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）≧２．０　・・・（１）
図１は、本開示の一実施形態の給気モジュールを示す模式的断面図である。 図２は、本開示の一実施形態に係る中空糸膜を示す模式的斜視図である。 図３は、図２の中空糸膜のＡ－Ａ線断面図である。
［本開示が解決しようとする課題］
　近年、給気モジュールは、半導体、食品、医薬、廃水処理等、多様な用途に採用されており、コンパクト化、かつ給気性能及び耐薬品性の向上が求められている。
　本開示は、このような事情に基づいてなされたものであり、コンパクト化が図れるとともに、給気性能及び耐薬品性に優れる給気モジュールの提供を目的とする。
　［本開示の効果］
　本開示の一態様に係る給気モジュールは、コンパクト化が図れるとともに、給気性能及び耐薬品性に優れる。
［本開示の実施形態の説明］
　最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
　本開示の一態様に係る給気モジュールは中空糸膜の内部に供給される液体に気体を給気可能な給気モジュールであって、フッ素樹脂を主成分とする筐体と、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする複数本の上記中空糸膜とを備え、上記中空糸膜の気孔率Ｋ［％］、平均厚さＴ１［ｍｍ］及び平均外径Ｄ２［ｍｍ］が、下記式（１）の関係を満たす。
　Ｋ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）≧２．０　・・・（１）
　当該給気モジュールは、気孔率Ｋ［％］、平均厚さＴ１［ｍｍ］及び平均外径Ｄ２［ｍｍ］が、上記式（１）の関係を満たす複数本の中空糸膜を備えることにより、高い給気性能及び耐水圧性を実現できるとともに、小型化を図ることができる。また、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする中空糸膜及びフッ素樹脂を主成分とする筐体を備えることにより、優れた耐薬品性を有する。ここで、「主成分」とは、質量換算で最も含有割合の大きい成分をいい、例えば含有割合が５０質量％以上、好ましくは７０質量％以上、より好ましくは９５質量％以上の成分をいう。
　上記「気孔率」とは、中空糸膜の全体積に対する空孔の総体積の割合をいい、ＡＳＴＭ－Ｄ－７９２に準拠し、密度を測定することにより求めることができる。サンプルの乾燥質量と水中質量を０．０００１ｇ単位で測定し、これらの差よりサンプルの体積を求める。また、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の真比重を２．１７ｇ／ｃｍ３として、乾燥質量より、サンプルを構成する樹脂の体積を算出した。サンプルの体積から樹脂の体積を除いた空隙体積と、サンプルの体積の比を％表示し、気孔率とする。他の方法としては具体的には上記気孔率は、以下の手順で測定することができる。初めに、気孔率を測定する中空糸膜の長さ（Ｌ）を１ｍｍ単位で測定する。次に、電子天秤で中空糸膜の重量（Ｗ）を０．０００１ｇ単位で測定する。そして、上記測定値に基づいて、気孔率［％］を下記式により算出する。
　気孔率［％］＝｛１－樹脂のみの体積［ｃｍ３］÷中空糸膜全体積［ｃｍ３］｝×１００
　　　　　　　＝｛１－（Ｗ［ｇ］÷ρ［ｇ／ｃｍ３］）÷（π（Ｄ２２［ｍｍ２］－Ｄ１２［ｍｍ２］）×Ｌ［ｍｍ］÷１０００）｝×１００
　ここで、「ρ」はポリテトラフルオロエチレンの真比重を示し、２．１７［ｇ／ｃｍ３］である。
　上記中空糸膜の「平均厚さ」は、（平均外径－平均内径）を２で除して求めることができる。上記「平均外径」とは、上記中空糸膜の断面が円の場合、任意の２点の外径の平均値をいう。上記中空糸膜の断面が楕円の場合、短径と長径の直径を２カ所測定し、平均した値を平均外径とする。また、上記中空糸膜の断面が一般の円又は楕円以外の異形断面の場合、断面の外径のエッジ情報を抽出して円に近似し、得られた内周長を円周率で除した値を平均外径とする。上記「平均内径」とは、任意の２点の内径の平均値をいう。具体的には上記平均外径は、以下の手順で測定することができる。初めに、中空糸膜を長さ方向に垂直な面で輪切りにして、断面全体が視野に入るように電子顕微鏡で観察する。上記断面の略対角となる位置（位相が略９０度ずれる位置）で、外径を２カ所測定し、平均した値を平均外径（Ｄ２）とする。
　上記中空糸膜の融解熱量が３０Ｊ／ｇ以上４５Ｊ／ｇ以下であることが好ましい。上記中空糸膜の融解熱量が上記範囲であることにより、高結晶度かつより良好な範囲の孔径及び気孔率を有する中空糸膜を得ることができる。
　上記中空糸膜の融解熱量は、示差走査熱量計を用いて行われ、示差走査熱量計による測定の第３ステップにおける２９６℃から３４３℃間の吸熱量である。具体的には、上記中空糸膜の融解熱量は、５０℃／分の速度で室温から２４５℃まで加熱した後に、１０℃／分の速度で２４５℃から３６５℃まで加熱する第１ステップと、－１０℃／分の速度で３６５℃から３５０℃まで冷却して保持した後に、－１０℃／分の速度で３５０℃から３３０℃まで冷却後、さらに－１℃／分の速度で３３０℃から３０５℃まで冷却する第２ステップと、－５０℃／分の速度で３０５℃から２４５℃まで冷却後、１０℃／分の速度で２４５℃から３６５℃まで加熱する第３ステップとを経た場合の上記第３ステップにおける２９６℃から３４３℃までの融解熱量である。上記測定におけるサンプル量は１０ｍｇから２０ｍｇであり、サンプリングタイムは０．５秒／回である。
　上記中空糸膜の平均外径Ｄ２が０．７０ｍｍ以下、平均内径Ｄ１が０．３２ｍｍ以下、耐水圧が０．３ＭＰａ以上、かつ気孔率Ｋが３０％以上であることが好ましい。上記中空糸膜における平均外径、平均内径、耐水圧及び気孔率Ｋが上記範囲内であることにより、薄肉かつ微細な径を有しながら耐水圧及び気孔率が高い中空糸膜の束を構成できるので、当該給気モジュールより小型化を図りつつ、給気性能を向上できる。
　上記「平均内径」とは、任意の２点の内径の平均値をいう。上記平均内径は、以下の手順で測定することができる。初めに、中空糸膜を長さ方向に垂直な面で輪切りにして、断面全体が視野に入るように電子顕微鏡で観察する。上記断面の略対角となる位置（位相が略９０度ずれる位置）で、内径を２カ所測定し、平均した値を平均内径（Ｄ１）とする。上記「耐水圧」とは、膜の一方側の面に水圧を加えたとき、他方側から水が漏れ始める圧力を言い、漏水圧とも言われる。一般に、貫通孔の孔径が大きい方が水は漏れやすく耐水圧は低く、一方孔径が小さい方が耐水圧は高い。具体的には上記耐水圧は、ＪＩＳ－Ｌ１０９２（２００９）に準拠して測定する。具体的には中空糸膜の内腔を水で満たし、内腔への水圧を１００ｋＰａ／分の速度で連続的に高めていき、中空糸膜の外表面から水滴として漏れ出す時点の圧力を耐水圧とする。
　溶存酸素濃度０．６ｐｐｍ以下の純水を上記中空糸膜の内部に供給し、圧力１０ｋＰａで空気を透過させた場合に、給気処理後の純水が溶存酸素濃度８ｐｐｍ以上を維持できる毎分当たりの最大の流量が、上記中空糸膜の単位内表面積に対して０．０３５ｍＬ／（ｃｍ２・分）以上であることが好ましい。当該給気モジュールは、給気処理後の純水が溶存酸素濃度８ｐｐｍ以上を維持できる毎分当たりの最大の流量が上記範囲であることにより、液体に対してより少ない膜面積で高濃度に気体を給気しつつ、流量を多く流すことができ、給気効果がより優れる。ここで、「内表面積」とは、中空糸膜の内側の表面積を意味する。
　上記筐体の主成分が、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体又はこれらの組み合わせであることが好ましい。上記筐体が、これらのフッ素樹脂を主成分とすることにより、耐薬品性及び機械的強度を向上できる。
［本開示の実施形態の詳細］
　以下、本開示の各実施形態に係る給気モジュールについて図面を参照しつつ詳説する。
＜給気モジュール＞
　本開示の他の一態様に係る給気モジュールは、中空糸膜内に供給される液体に気体を給気可能な給気モジュールである。筐体と、複数本の中空糸膜とを備える。上記中空糸膜壁は、液体の漏れを抑制しつつも、気体を透過させることができる。当該給気モジュールは、どのような分野の用途にも適用することができる。例えば、半導体、電子デバイス、医薬用途の洗浄水、食品や飲料の製造、産業廃液、河川水、湖水、プールの水、公衆浴場の水等の浄化や中和、飲料水や工業用水等の水処理用途、液体に対する酸素、オゾン、二酸化炭素、窒素、水素等の気体の透過による特定の気体の富化機能など、種々の用途に利用できる。
　当該給気モジュールは、各種装置等内に給気モジュールが固定された一体型のタイプと、筐体と複数の中空糸膜を有する膜部材がそれぞれ独立していて、膜部材を筐体に挿入して使用する交換可能なカートリッジタイプのいずれのタイプにおいても使用することができる。
　図１に、本開示の一実施形態に係る給気モジュールの例として、給気用の給気モジュール３を示す。給気モジュール３は、一方向に引き揃えられる複数本の上記中空糸膜１を有する膜部材２と、この膜部材２を格納する筒状の筐体１１とを備える。給気モジュール３は、気体を中空糸膜１に透過させて中空糸膜１内に供給される液体に給気するタイプである。
　膜部材２は、複数本の中空糸膜１の一方の端部を保持する第１封止部４と、複数本の中空糸膜１の他方の端部を保持する第２封止部５とを有する。第１封止部４及び第２封止部５においては、中空糸膜１間と、中空糸膜の束及び筐体内面間とにポッティング剤が充填されている。
　上記ポッティング剤は、樹脂、ゴム又はエラストマーを主成分とする。ポッティング剤としては、特に限定されないが、例えば、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、紫外線硬化型樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリアミド樹脂ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂などが挙げられる。これらの中でもフッ素樹脂及びシリコーン樹脂が、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレン（変性ＰＴＦＥ）を主成分とする中空糸膜やフッ素樹脂を主成分とする筐体との接着剤として良好な性能を有する観点から好ましい。
　給気モジュール３は、筒状の筐体１１と、この筐体１１の一方側の端部に装着され、気体供給口９及び第１封止部４が係合する係合構造が設けられた第１スリーブ１２と、筐体１１における第１スリーブ１２側の端部を封止し、液体排出口８が設けられた第１キャップ１３と、筐体１１の他方側の端部に装着され、気体排出口１９及び第２封止部５が係合する係合構造が設けられたる第２スリーブ１４と、筐体１１における第２スリーブ１４側の端部を封止し、液体供給口７が設けられた第２キャップ１５とを有する構成とすることができる。
　給気モジュール３は、一方の端部の端面には原水がＳ１方向に供給される液体供給口７を有し、他方の端部の端面には複数本の中空糸膜１を透過した液体がＳ２方向に排出される液体排出口８を有する。筐体１１の側面には、気体がＰ１方向に供給される気体供給口９及び気体がＰ２方向に排出される気体排出口１９が備えられている。なお、気体供給口９及び気体排出口１９の配置位置及び向きは特に限定されず、給気モジュール３が設置された状態に応じて構成できる。
　液体供給口７から中空糸膜１内に向けて供給された原水は、筐体１１内に供給される。そして、筐体１１の他方の端部近傍の側面に設けられた液体排出口８から給気処理後の液体が排出される。
　給気モジュール３は、フッ素樹脂を主成分とする筐体と、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする複数本の中空糸膜とを備えることにより、耐薬品性に優れることから、原水の種類は特に限定されず、純水、飲料水、薬液、廃水等、目的に応じて種々の液体を使用できる。
　また、気体供給口９から供給された気体は、中空糸膜１の壁面から気体排出口１９に向けて吸入され、中空糸膜１内に供給される液体に給気されながら気体排出口１９の先端から排出される。
　上記給気される気体としては、例えば空気、酸素、二酸化炭素、水素、オゾン、窒素、硫化水素、アンモニア等が挙げられる。
　筐体１１は、フッ素樹脂を主成分とする。筐体１１がフッ素樹脂を主成分とすることにより、優れた耐薬品性を有する。上記フッ素樹脂としては、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体又はこれらの組み合わせであることが好ましい。上記筐体１１の主成分が、これらのフッ素樹脂を主成分とすることにより、耐薬品性及び機械的強度を向上できる。
　当該給気モジュール３においては、溶存酸素濃度０．６ｐｐｍ以下の純水を上記中空糸膜の内部に供給し、圧力１０ｋＰａで空気を透過させた場合に、給気処理後の純水が溶存酸素濃度８ｐｐｍ以上を維持できる毎分当たりの最大の流量が、上記中空糸膜１の単位内表面積に対して０．０３５ｍＬ／（ｃｍ２・分）以上分であることが好ましい。当該給気モジュール３においては、給気処理後の純水が溶存酸素濃度８ｐｐｍ以上を維持できる毎分当たりの最大の流量が、上記範囲であることにより、液体に対して高濃度の気体を効率よく給気することができ、給気効果がより優れる。
［中空糸膜］
　図２及び図３の中空糸膜１は、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする。ポリテトラフルオロエチレン及び変性ポリテトラフルオロエチレンは耐薬品性及び耐溶剤性に優れたフッ素樹脂であるため、当該給気モジュール３に供給される液体及び気体の種類の選択性が向上する。また、ポリテトラフルオロエチレン及び変性ポリテトラフルオロエチレンは疎水性が高いフッ素樹脂であるため、中空糸膜１からの液体の漏れが抑制されるとともに、気体の透過性を向上できる。
　変性ポリテトラフルオロエチレンとは、ヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）、アルキルビニルエーテル（ＡＶＥ）、クロロトリフルオロエチレン（ＣＴＦＥ）等が少量、好ましくはテトラフルオロエチレンに対して１／５０（モル比）以下共重合されたポリテトラフルオロエチレンを言う。
　上記中空糸膜１の平均外径Ｄ２の下限としては、特に限定されないが、０．１ｍｍが好ましく、０．２ｍｍがより好ましい。一方、上記中空糸膜１の平均外径Ｄ２の上限としては、０．７０ｍｍが好ましく、０．４ｍｍがより好ましい。上記平均外径Ｄ２が上記下限に満たないと、圧力損失が大きくなるおそれがある。逆に、上記平均外径Ｄ２が上記上限を超えると、筐体１１内に収められる膜面積が小さくなったり、耐圧強度が低くなり内圧による破裂や、外圧による座屈が生じたりするおそれがある。
　上記中空糸膜１の平均内径Ｄ１の下限としては、特に限定されないが、０．０５ｍｍが好ましく、０．１ｍｍがより好ましい。一方、上記中空糸膜の平均内径Ｄ１の上限としては、０．３２ｍｍが好ましく、０．２ｍｍがより好ましい。上記平均内径Ｄ１が上記下限に満たないと、圧力損失が大きくなるおそれがある。逆に、上記平均内径Ｄ１が上記上限を超えると、耐圧強度が低くなり、内圧による破裂や、外圧による座屈が生じるおそれがある。
　上記中空糸膜１の平均厚さＴ１の下限としては、０．０１ｍｍが好ましく、０．０２ｍｍがより好ましい。一方、上記中空糸膜１の平均厚さＴ１の上限としては、０．２０ｍｍが好ましく、０．１０ｍｍがより好ましい。上記平均厚さＴ１が上記下限に満たないと、耐圧強度が低くなり、内圧による破裂や、外圧による座屈が生じるおそれがある。逆に、上記平均厚さＴ１が上記上限を超えると、気体透過性が低くなるおそれがある。
　上記中空糸膜１の気孔率Ｋの下限としては、３０％が好ましく、４０％がより好ましい。一方、上記中空糸膜１の気孔率Ｋの上限としては、特に限定されないが、８０％が好ましく、７０％がより好ましい。上記中空糸膜１の気孔率Ｋが上記下限に満たない場合、気体透過性が低くなり、上記中空糸膜１の給気性能が低下するおそれがある。上記中空糸膜１の気孔率Ｋが上記上限を超える場合、上記中空糸膜１の機械的強度が低下し、耐久性の低下や、内圧による破裂等の破壊が生じるおそれがある。
　上記中空糸膜１の気孔率Ｋ［％］、平均厚さＴ１［ｍｍ］及び平均外径Ｄ２［ｍｍ］が、下記式（１）の関係を満たす。
　Ｋ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）≧２．０　・・・（１）
　上記中空糸膜１の気孔率Ｋ［％］、平均厚さＴ１［ｍｍ］及び平均外径Ｄ２［ｍｍ］が上記式（１）の関係を満たすことにより、当該給気モジュールは高い給気性能及び耐水圧性を実現できるとともに、小型化を図ることができる。Ｋ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）が２．０未満の場合、当該給気モジュールは給気性能又は耐水圧が低下したり、小型化を図ることが困難となるおそれがある。
　上記中空糸膜１の平均孔径の下限としては、３．０ｎｍが好ましく、５．０ｎｍがより好ましい。一方、上記中空糸膜１の平均孔径の上限としては、５０．０ｎｍが好ましく、４０．０ｎｍがより好ましい。上記平均孔径が上記下限に満たないと、給気性能が不十分となるおそれがある。逆に、上記平均孔径が上記上限を超えると、耐水圧が下がり、界面活性剤などの不純物が混入した水等の液体が漏出するおそれがある。
　平均孔径は、細孔径分布測定器等を用いるバブルポイント法（ＡＳＴＭ　Ｆ３１６－８６、ＪＩＳＫ３８３２）により、以下の手順で測定する。初めに、細孔径分布測定器等により、膜に加えられる差圧と膜を透過する空気流量との関係を、膜が乾燥している場合と膜が液体で濡れている場合について測定する。そして、得られたグラフをそれぞれ乾き曲線及び濡れ曲線とし、乾き曲線の流量を１／２とした曲線と、濡れ曲線との交点における差圧をＰ（Ｐａ）としたとき、式ｄ＝ｃγ／Ｐで表されるｄ（ｎｍ）の値が平均孔径である。なお、上記ｃは定数で２８６０であり、上記γは液体の表面張力（ｄｙｎ／ｃｍ＝ｍＮ／ｍ）である。
　他の方法として、液・液相置換を行なうポロメータを用いたバブルポイント法によっても中空糸膜の孔径を測定することができる。また、中空糸膜の主成分であるＰＴＦＥは疎水性樹脂であるため、中空糸膜の孔径は、水銀圧入タイプのポロシメータと同様の原理である純水圧入タイプのポロシメータにより、Ｗａｓｈｂｕｒｎの式を用いて測定することもできる。
　当該給気モジュール３においては、上記中空糸膜１の耐水圧が０．３ＭＰａ以上であることが好ましく、１．０ＭＰａ以上であることがより好ましい。上記中空糸膜１の耐水圧が上記範囲であることにより、当該給気モジュール３に高圧で液体を流すことができる。当該給気モジュール３に高圧で液体を流すことができることにより、給気ガスの圧力を高めても液中でバブリングが生じないので、より高濃度の溶存ガス液体を製造することが可能となる。
　上記中空糸膜１の融解熱量の上限としては、４５Ｊ／ｇが好ましく、４２Ｊ／ｇがより好ましい。上記中空糸膜１の融解熱量の下限としては、３０Ｊ／ｇが好ましく、３３Ｊ／ｇがより好ましい。上記中空糸膜１の融解熱量が上記上限を超える場合、孔径が大きくなるおそれがある。一方、上記中空糸膜１の融解熱量が上記下限に満たないと、気孔率が低下するおそれがある。上記中空糸膜１の融解熱量が上記範囲であることにより、高結晶度かつより良好な範囲の孔径及び気孔率を有する中空糸膜１を得ることができる。上述したように、上記中空糸膜１の融解熱量は、上記第１ステップから上記第３ステップを経た場合の第３ステップにおける２９６℃から３４３℃までの融解熱量である。当該中空糸膜は、上記第１ステップから上記第３ステップを経た場合に、上記第３ステップにおける２９６℃から３４３℃までの融解熱量が、３０．０Ｊ／ｇ以上４５．０Ｊ／ｇ以下であることにより、延伸に適した特性を得ることができることから、変形性が高く、荷重－伸び曲線上に最初に現れる一般的な降伏点を越えて、破断に至る前に現れる次の変曲点まで延伸することができる。その結果、微小な孔径を有する多孔質の中空糸膜を得ることができる。従って、上記中空糸膜１は、従来技術では得られなかった多孔質で平均外径が０．７０ｍｍ以下、平均内径が０．３２ｍｍ以下であり、高気孔率Ｋかつ耐水圧が高い特性を有する。
　従来一般的に使用されている成型用のポリテトラフルオロエチレンは、上記第１ステップから第３ステップを経た場合の上記第３ステップにおける上記融解熱量は３０Ｊ／ｇ未満である。従って、この樹脂の中空糸膜についても融解熱量は３０Ｊ／ｇ未満と考えられる。モールド成形、ペースト押出成形等の成形性と成形品の強度を考慮した結果、このような樹脂が用いられていると考えられる。例えばペースト押出では、成形寸法や機械的強度などの品質を均質にするために、成形寸法等に応じて上記融解熱量が２０Ｊ／ｇ以下や２５Ｊ／ｇ程度のポリテトラフルオロエチレンが使用される。上記中空糸膜１は、上記第３ステップにおける２９６℃から３４３℃までの融解熱量の範囲が３０．０Ｊ／ｇ以上、４５．０Ｊ／ｇ以下である点で従来の中空糸膜とは異なるものであり、この相違により、従来の中空糸膜よりも変形性が高く、衝撃吸収性や変形密着性が大幅に優れる。さらに、延伸工程により、微小な孔径及び高気孔率を有する多孔質の中空糸膜を得ることができる。
　上記中空糸膜１のイソプロパノールバブルポイントの下限としては、５００ｋＰａが好ましく、１０００ｋＰａがより好ましい。一方、上記中空糸膜１のイソプロパノールバブルポイントの上限は特に限定されない。上記中空糸膜１のイソプロパノールバブルポイントが上記下限に満たない場合、上記中空糸膜１の液体保持力が不十分となるおそれがある。「イソプロパノールバブルポイント」とは、イソプロパノールを用い、ＡＳＴＭ－Ｆ３１６－８６に準拠して測定される値であり、孔から液体を押し出すのに必要な最小の圧力を示し、孔径の平均に対応した指標である。
　当該給気モジュール３における上記中空糸膜１の充填率の下限としては３０％が好ましく、４０％がより好ましい。一方、上記中空糸膜１の充填率の上限としては７０％が好ましく、６０％がより好ましい。上記中空糸膜１の充填率が上記下限に満たないと、当該給気モジュール３の給気性能が小さくなるおそれがある。逆に、上記中空糸膜１の充填率が上記上限を超えると、筐体１１に中空糸膜１を充填した際に中空糸膜１の潰れが発生したり、筐体に充填する場合の困難性が生じたりするおそれがある。当該給気モジュール３は、気孔率及びバブルポイントが高い上記中空糸膜１の充填率が３０％以上７０％以下であることにより、優れた給気性能を有する。ここで、「中空糸膜の充填率」とは、筐体１１に充填された中空糸膜１の充填密度のことをいい、筐体１１に充填された中空糸膜１の長さ方向に対して垂直な筐体１１の内腔断面積に対する、充填された各中空糸膜１の外径により求められる各中空糸膜１により占有された断面積の総和の割合（％）である。
　上記中空糸膜１は、ポリテトラフルオロエチレン及び変性ポリテトラフルオロエチレンの他、本開示の所望の効果を害しない範囲で他のフッ素樹脂や添加剤を含有していてもよい。上記添加剤としては、例えば耐摩耗性改良、低温流れ防止、空孔生成容易化のための無機充填剤、金属粉、金属酸化物粉、金属硫化物粉等が挙げられる。
［中空糸膜の製造方法］
　次に、上記中空糸膜の製造方法の例について説明する。上記中空糸膜の製造方法は、例えばポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの粒子をチューブ状に成形する成形工程、上記チューブ状成形品をポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの融点以上に加熱する焼結工程、溶融された樹脂を冷却する工程、及び無孔質チューブ状成形品を延伸して多孔質化する延伸工程を有することが好ましい。このように、上記中空糸膜は、成形後に延伸して形成することにより、上記中空糸膜の孔の小径化を図りつつ多孔質の中空糸膜を形成することができる。
　上記中空糸膜は、例えば上記第３ステップにおける２９６℃から３４３℃までの融解熱量が、３０．０Ｊ／ｇ以上４５．０Ｊ／ｇ以下であるポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを、一度溶融させて粒子間隙を消滅させた後、徐冷して得られる。すなわち、上記ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを、その融点以上に加熱して溶融する工程、並びに溶融された樹脂を冷却する工程、又は／及び３１３℃以上３２１℃未満で１０分以上保持する工程を含む。
　融解熱量が３０．０Ｊ／ｇ以上４５．０Ｊ／ｇ以下であるポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンは、例えば、融解熱量が３０．０Ｊ／ｇ未満のポリテトラフルオロエチレンに、ガンマ線、エックス線、紫外線、電子線などの電離放射線を照射する方法や、加熱による分解反応等を利用する方法などにより得ることができる。
（成形工程）
　成形工程では乳化重合等により製造されたポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの粉末をチューブ状に成形してチューブ状成形品を得る。原料のポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの粒子とは、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの微細粒子からなる粉体である。このポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの微細粒子（ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレン粉末）を液体（分散媒）に分散した乳液であるポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンディスパージョンも、原料のポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの粉末として用いることができる。ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの粉末としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの微細粒子からなる粉体であり乳化重合により製造されるポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンファインパウダーや懸濁重合により製造されるポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンモールディングパウダーを挙げることができる。
　ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの粉末をチューブ状に成形して所定の形状寸法のチューブ状の成形品を得る場合、粉体から膜を成形するための公知の方法、例えば原料粉末に押出助剤を配合して混合後にチューブ状にペースト押出成形する方法やポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンディスパージョン等を用いて成形し、分散媒を乾燥して除去する方法（キャスティング法）が挙げられる。ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンは、通常、溶融粘度が高いために、溶融押出が困難であるとともに、その溶液の作製も困難であるので、上記のような方法が一般的に採用される。
（焼結工程）
　焼結工程では、上記チューブ状成形品をポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの融点以上に加熱して無孔質チューブ状成形品を得る。乳化重合等により製造されたポリテトラフルオロエチレン粒子又は変性ポリテトラフルオロエチレン粒子を押し固めた中空糸膜は、粒子の間隙や押出助剤の抜けに起因する孔や空隙が存在するが、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの粉末を完全溶融することにより、これらの孔や空隙は消滅するか、実質的に連続する空隙が極小化する。その結果、無孔質チューブ状成形品が作製される。無孔質の膜状成形品とは、膜を貫通する孔がほとんど無い膜を意味するが、具体的には、ガーレー秒が５０００秒以上の膜が好ましい。ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの粉末の溶融を完全にしてガーレー秒の大きい無孔質膜状成形品を作製するために、原料の融点より高い温度で加熱されることが好ましく、又樹脂の分解や変性を抑制するために加熱温度は、４５０℃以下の温度が好ましい。
（冷却工程）
　上記焼結工程後は、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを徐冷により冷却する工程を行うことが好ましい。冷却工程では、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの融点以上に昇温した後ゆっくりと結晶融点以下へ徐冷する方法や、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの融点よりもやや低い温度で一定時間加熱する方法（以下、「定温処理」と言うことがある）が行われる。この冷却により、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレン中に結晶が生成され、次の延伸工程前に、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの樹脂の結晶化度を飽和させることができるので、多孔質膜の製造において孔径の再現性をより高くすることができる。なお、結晶化プロセスでは冷却速度が低いほどあるいは定温処理時間が長いほど結晶化度が高まり融解熱量が高くなる傾向がある。一方、冷却速度が高いほどあるいは定温処理時間が短いほど結晶化度は低くなり、融解熱量が低くなる傾向がある。
　中空糸膜の融解熱量は、この結晶の生成量に依存し、結晶の生成量は、冷却速度に影響される。従って、上記範囲の融解熱量を得るために、冷却は、徐冷（ゆっくりした冷却）、又は／及び３１０℃以上３２５℃未満での１０分以上の保持を含む冷却により行われる。徐冷は、－３．０℃／分以下の冷却速度で行われることが好ましく、より好ましくは、－２．０℃／分以下の速度で冷却する。
　冷却速度が上記の範囲外であっても、３１０℃以上３２５℃未満の１０分以上の保持を行うことにより、結晶化を促進することができる。すなわち、徐冷では高度な温度制御が必要であるが、一定温度での保持による熱処理方法では、高度な温度制御は不要で、かつより安定、均質に熱処理が可能である。さらに、融点以上の温度からの徐冷は、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレン同士が融着するために長尺製品巻物の状態で行うことができず、製品を非常に遅い線速で引き出しながら、長い時間をかけて焼結工程及び冷却工程を行う必要がある。一方、上記の一定温度での保持による熱処理方法によれば、融点未満に冷却後、長尺製品巻物を形成し、巻物の状態で結晶化を促進させることが可能であるで、大量にバッチ処理することにより量産が可能となる。なお、３１０℃以上３２５℃未満で１０分以上保持する工程は、上記焼結工程後冷却する途中で行ってもよいし、冷却後に上記の温度範囲に加熱保持してもよい。
　原料として使用されるポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンの粉体又は粒体としては、ポリテトラフルオロエチレンの粉体又は粒体の融解熱量を上記の範囲に調整したものをそのまま用いてもよいし、少なくとも１種が上記の範囲内の融解熱量を持つ２種以上のポリテトラフルオロエチレンの粉体又は粒体とを混合したものを用いてもよい。
（延伸工程）
　延伸工程では、このようにして得られた無孔質チューブ状成形品を延伸して多孔質化する。多孔質の中空糸膜は、上記無孔質チューブ状成形品を、延伸することにより得ることができる。延伸工程では、軸方向のみ又は、軸方向と周方向（径膨張方向）に延伸をしても良い。軸方向における延伸率としては例えば３倍以上１０倍以下とすることができ、周方向における延伸率としては例えば２倍以上４倍以下とすることができる。上記中空糸膜は、延伸温度、延伸率等の延伸条件を調節することにより、空孔の大きさや形状を調節することができる。
　上記延伸は、荷重－伸び曲線上に、最初に現れる一般的な降伏点（以下、「第１降伏点」ともいう）を越え、破断に至る前に現れる次の変曲点（以下、「第２降伏点」ともいう）までの間で行うことが好ましい。
　上記中空糸膜の製造方法によれば、給気性能及び耐薬品性に優れる中空糸膜を製造することができる。
［その他の実施形態］
　今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
　例えば上記実施形態においては、当該給気モジュールが、液体を中空糸膜内に灌流させて液体に気体を給気する形態であったが、気体を中空糸膜内に供給し、中空糸膜外部を灌流する液体に気体を給気する形態の給気モジュールであってもよい。当該給気モジュールは、液体を中空糸膜内に供給する形態及び気体を中空糸膜内に供給する形態のいずれでであっても、同様の給気性能を有する。
　以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
［物性値の測定］
　まず、以下の実施例、比較例において行った物性値の測定方法について説明する。
（融解熱量の測定）
　サンプルを１０ｍｇから２０ｍｇを採り、必要に応じてアルミセルにＰＴＦＥを封止する。ここで、ＰＴＦＥは可能な限り収縮変形できるようにフリーな状態に保つことが重要であるので、セルを潰さないか、潰し切らないようにする。
　このサンプルについて、以下の条件で加熱や冷却を行う。
　５０℃／分の速度で室温から２４５℃まで加熱した後に、１０℃／分の速度で２４５℃から３６５℃まで加熱する（第１ステップ）。
　次に、－１０℃／分の速度で３６５℃から３５０℃まで冷却して保持した後に、－１０℃／分の速度で３５０℃から３３０℃まで冷却後、さらに－１℃／分の速度で３３０℃から３０５℃まで冷却する（第２ステップ）。
　次に、－５０℃／分の速度で３０５℃から２４５℃まで冷却後、１０℃／分の速度で２４５℃から３６５℃まで加熱する（第３ステップ）。
　０．５秒／回でサンプリングタイムを行い、株式会社島津製作所製熱流束示差走査熱量計ＤＳＣ－６０Ａを使用し、吸熱量及び発熱量を求めた。第１ステップの吸熱量は３０３℃から３５３℃の区間、第２ステップの発熱量は３１８℃から３０９℃の区間、第３ステップの吸熱量は２９６℃から３４３℃の区間を積分して求めた値である。この第三ステップにおける吸熱量を融解熱量とする。
（気孔率）
　サンプルの乾燥質量と水中質量を測定し、これらの差よりサンプルの体積を求めた。又、ＰＴＦＥの真比重を２．１７ｇ／ｃｍ３として、乾燥質量より、サンプルを構成する樹脂の体積を算出した。サンプルの体積から樹脂の体積を除いた空隙体積と、サンプルの体積の比を％表示し、気孔率とした。
（イソプロパノール（ＩＰＡ）バブルポイント）
　中空糸膜をイソプロピルアルコール容器に浸漬・含浸し、管壁の孔内をイソプロピルアルコールで充満した後、浸漬状態で中空糸膜の一方の端面の内側より徐々に空気圧を負荷したときに、初めて気泡が反対側の端面から出てくるときの圧力を、バブルポイントとした。この時の測定最大圧力は５００ｋＰａとした。
（平均孔径）
　純水圧入タイプのポロシメータにより、Ｗａｓｈｂｕｒｎの式を用いて測定した。
（０．３ＭＰａ耐水圧試験）
　中空糸膜の内腔を水で満たし、内腔への水圧を１００ｋＰａ／分の速度で０．３ＭＰａまで連続的に高めていき、中空糸膜の外表面からの水滴として漏れを観察した。
＜中空糸膜　試験Ｎｏ．１及びＮｏ．２（実施例）＞
［原料粉末の調製］
　原料粉末である下記に示すＰＴＦＥファインパウダーを原料とした。ここで使用されるＰＴＦＥファインパウダーとは、テトラフルオロエチレンを乳化重合して生成した粒径が０．１５μｍ～０．３５μｍのＰＴＦＥ粒子（一次粒子）からなるもの（乳化重合品）を乾燥し、数百μｍ～数千μｍに造粒した粉体である。
　試験Ｎｏ．１及び試験Ｎｏ．２で用いた原料樹脂は下記の通りである。
　試験Ｎｏ．１（ダイキン工業社製Ｆ２０８：変性ＰＴＦＥ）
　試験Ｎｏ．２（ＡＧＣ社製ＣＤ－１２３Ｅに１．０ｋＧｙのγ線を照射：ホモＰＴＦＥ）
　各原料の第３ステップの融解熱量を表１に示す。
［成形工程］
　得られたＰＴＦＥの粉末を下記の条件でチューブ状に成形した。チューブ状に成型する方法としては、例えば「フッ素樹脂ハンドブック（里川孝臣著、日刊工業新聞社）」に記載のペースト押出法やラム押出法を用いることができる。試験Ｎｏ．１及び試験Ｎｏ．２については、上記ペースト押出法を用いた。ＰＴＦＥの粉末に液状潤滑剤（「ソルベントナフサ」、富士フィルム和光純薬社製）を２３質量部混合して、予備成型機で円筒状に押し固めた後に、押出機を用いてとぐろ状に押し出すことにより成形した。シリンダーとダイス温度は５０℃とした。試験Ｎｏ．１は、シリンダー径４０ｍｍ、マンドレル径１０ｍｍ、ダイス径１．０ｍｍ、コアピン径０．５ｍｍ、リダクションレシオ（ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ　ｒａｔｉｏ：縮小断面積比）２０００の押出機を用いた。試験Ｎｏ．２は、シリンダー径３０ｍｍ、マンドレル径１０ｍｍ、ダイス径０．８ｍｍ、コアピン径０．４ｍｍ、リダクションレシオ１６６７の押出機を用いた。
［乾燥工程］
　乾燥工程では、２００℃の熱風循環恒温槽で液体潤滑剤を乾燥させた。
［焼結工程］
　上記チューブ状成形品を連続延伸焼結機により、ＰＴＦＥ又は変性ＰＴＦＥの融点以上である炉温度４２０℃で加熱し、延伸倍率０．９倍で焼結して、半透明の無孔質チューブを得た。
［徐冷工程］
　上記半透明の無孔質チューブをとぐろに巻いた状態で、熱風循環恒温槽に入れ３５０℃で５分間以上加熱し、連続して３００℃以下まで－１℃／分以下の冷却速度で徐冷した。
［延伸工程］
　延伸工程では、得られた無孔質チューブ状成形品を以下の条件で延伸し、多孔質化チューブ状成形品を得た。引張試験機（島津製作所製の恒温槽付きオートグラフＡＧ５００）にて、チャック幅１０ｍｍ、延伸速度５００ｍｍ／分、１７０℃で延伸を行った。なお、平均外径と平均内径は任意の２点を測定して平均値を求め、平均厚さは、任意の２点における（平均外径－平均内径）／２の数式より求めた。
　各試験番号の中空糸膜の軸方向延伸倍率を表１に示し、平均外径Ｄ２、平均内径Ｄ１及び平均厚さＴ１を表２に示す。
＜中空糸膜　試験Ｎｏ．３（比較例）＞
　原料粉末である下記に示すＰＴＦＥ粉末に液状潤滑剤（富士フィルム和光純薬製ソルベントナフサ）を混合して押し固めた後に、チューブ状にペースト押出成形を行い、チューブ状成形体を作製する。その際、液状潤滑剤を１９質量部配合した。その押出成形品を２００℃に加熱し液体潤滑剤を乾燥除去し、未焼結チューブを得た。その後、連続延伸焼結機を用いて長手方向に２８０℃で延伸して多孔質化した後に３８０℃に焼結を行うことにより、多孔質のチューブ状成形体を作製した。試験Ｎｏ．３における押出成形で用いたダイスの温度、延伸工程での軸方向延伸倍率を表１に示し、平均外径Ｄ２、平均内径Ｄ１及び平均厚さＴ１を表２に示す。試験Ｎｏ．３の原料樹脂としては、ＡＧＣ社製ＣＤ１２３Ｅ（ホモＰＴＦＥ）を用いた。また、試験Ｎｏ．３の原料樹脂の第３ステップの融解熱量を表１に示す。
　試験Ｎｏ．１～試験Ｎｏ．３の中空糸膜の押出条件を表１に示す。また、気孔率Ｋ及びイソプロパノールバブルポイント及び平均孔径の測定結果、０．３ＭＰａ耐水圧試験結果、並びにＫ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）の算出結果を表２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
＜給気モジュール　試験Ｎｏ．１１～試験Ｎｏ．１４（中空糸膜　試験Ｎｏ．１～試験Ｎｏ．３）＞
　試験Ｎｏ．１～試験Ｎｏ．３の中空糸膜を備える給気モジュール（給気モジュール　試験Ｎｏ．１１～試験Ｎｏ．１４）を作製した。これらの給気モジュールにおいては、中空糸膜の充填率を４０％とし、胴内径と有効長は大小二種類のサイズで作製した。中空糸膜の封入本数が異なる４種類の給気モジュールを作製した。また、これらの給気モジュールは、フッ素樹脂を主成分とする筐体を用いた。給気モジュールの筐体容積、中空糸膜の封入本数及び充填率を表３に示す。筐体容積は、胴部内断面積と有効長との積を算出することにより求めた。
［給気モジュールの給気性能評価］
　２５℃の室温で、上記給気モジュールの中空糸の内腔に溶存酸素濃度０．６ｐｐｍの純水を透過させながら、ゲージ圧力１０ｋＰａの空気をスイープ（ｓｗｅｅｐ）させながら中空糸膜の外面に接触させ、給気モジュールの給気性能評価を行った。この時、純水流量を０．５ｍｌ／分から徐々に高めていき、給気処理後の純水が溶存酸素濃度８ｐｐｍ以上を維持できる毎分当たりの最大の流量を、毎分当たりの８ｐｐｍ達成最大流量とした。溶存酸素濃度８ｐｐｍ以上を維持できる毎分当たりの最大の流量と上記給気モジュールの単位内表面積当たりの溶存酸素濃度８ｐｐｍ以上を維持できる毎分当たりの最大の流量を表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　表３に示すように、ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを主成分とし、中空糸膜の気孔率Ｋ［％］、平均厚さＴ１［ｍｍ］及び平均外径Ｄ２［ｍｍ］がＫ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）≧２．０を満たす試験Ｎｏ．１１～Ｎｏ．１３の給気モジュールは、処理能力の高いモジュールを実現できることが示された。特に、上記Ｋ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）の値が高いＮｏ．２の中空糸膜を備えるＮｏ．１３の給気モジュールは、内表面積当たりの処理能力が非常に高かった。一方、Ｋ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）≧２．０を満たさない中空糸膜を備える試験Ｎｏ．１４の給気モジュールは、内表面積当たりの処理能力が劣っていた。また、試験Ｎｏ．１４の給気モジュールは、内容積が同じであるＮｏ．１２の給気モジュールと比較すると、溶存酸素濃度８ｐｐｍ以上の純水の最大流量も非常に少なかった。
　以上のように、当該給気モジュールは給気性能及び耐薬品性に優れることが示された。従って、当該給気モジュールは、半導体製造工程、廃水処理、飲料及び食品製造工程、薬液製造工程等の給気装置に好適に用いられる。
１　中空糸膜
２　膜部材
３　給気モジュール
４　第１封止部
５　第２封止部
７　液体供給口
８　液体排出口
９　気体供給口
１９　気体排出口
１１　筐体
１２　第１スリーブ
１３　第１キャップ
１４　第２スリーブ
１５　第２キャップ

Claims (5)

  1. 　中空糸膜の内部に供給される液体に気体を給気可能な給気モジュールであって、
    　フッ素樹脂を主成分とする筐体と、
    　ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレンを主成分とする複数本の上記中空糸膜と
    　を備え、
    　上記中空糸膜の気孔率Ｋ［％］、平均厚さＴ１［ｍｍ］及び平均外径Ｄ２［ｍｍ］が、下記式（１）の関係を満たす給気モジュール。
    　Ｋ／（Ｔ１×Ｄ２×１００）≧２．０　・・・（１）
  2. 　上記中空糸膜の融解熱量が３０Ｊ／ｇ以上４５Ｊ／ｇ以下である請求項１に記載の給気モジュール。
  3. 　上記中空糸膜の平均外径Ｄ２が０．７０ｍｍ以下、平均内径Ｄ１が０．３２ｍｍ以下、耐水圧が０．３ＭＰａ以上、かつ気孔率Ｋが３０％以上である請求項１又は請求項２に記載の給気モジュール。
  4. 　溶存酸素濃度０．６ｐｐｍ以下の純水を上記中空糸膜の内部に供給し、圧力１０ｋＰａで空気を透過させた場合に、給気処理後の純水が溶存酸素濃度８ｐｐｍ以上を維持できる毎分当たりの最大の流量が、上記中空糸膜の単位内表面積に対して０．０３５ｍＬ／（ｃｍ２・分）以上である請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の給気モジュール。
  5. 　上記筐体の主成分が、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体又はこれらの組み合わせである請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の給気モジュール。
     
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