WO2022209903A1 - Ｌｅｄチャック - Google Patents

Ｌｅｄチャック Download PDF

Info

Publication number
WO2022209903A1
WO2022209903A1 PCT/JP2022/011973 JP2022011973W WO2022209903A1 WO 2022209903 A1 WO2022209903 A1 WO 2022209903A1 JP 2022011973 W JP2022011973 W JP 2022011973W WO 2022209903 A1 WO2022209903 A1 WO 2022209903A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
led
control board
led control
cooling plate
chuck
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/011973
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
知基 糠信
博之 中山
繁 河西
慶之 森藤
大 小林
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 東京エレクトロン株式会社 filed Critical 東京エレクトロン株式会社
Priority to CN202280023471.7A priority Critical patent/CN117043611A/zh
Priority to US18/282,744 priority patent/US20240159825A1/en
Priority to KR1020237036294A priority patent/KR20230160884A/ko
Priority to DE112022001827.5T priority patent/DE112022001827T5/de
Publication of WO2022209903A1 publication Critical patent/WO2022209903A1/ja

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
    • G01R31/311—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation of integrated circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/0033—Heating devices using lamps
    • H05B3/0038—Heating devices using lamps for industrial applications
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2874—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature
    • G01R31/2875—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature related to heating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/64—Heat extraction or cooling elements
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B1/00—Details of electric heating devices
    • H05B1/02—Automatic switching arrangements specially adapted to apparatus ; Control of heating devices
    • H05B1/0227—Applications
    • H05B1/023—Industrial applications
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B45/00—Circuit arrangements for operating light-emitting diodes [LED]
    • H05B45/30—Driver circuits

Definitions

  • the present disclosure relates to LED chucks.
  • an electronic device inspection apparatus for inspecting electronic devices
  • an electronic device inspection apparatus for example, Patent Document 1 that irradiates light from an LED to heat the electronic device is known.
  • This disclosure provides a technique for suppressing the emission of noise to the outside that occurs when illuminating an LED.
  • a top plate on which an object to be inspected is placed, and a plurality of LEDs arranged to face the object to be inspected and heating the object to be inspected placed on the top plate a cooling plate arranged on the rear surface side of the LED array substrate; an LED control substrate arranged on the rear surface side of the cooling plate and controlling the plurality of LEDs; and the LED control substrate and a base plate arranged to surround the LED chuck, wherein the surface of the cooling plate facing the LED control board and the surface of the base plate facing the LED control board are made of a magnetic material.
  • This disclosure provides a technique for suppressing the emission of noise to the outside that occurs when illuminating an LED.
  • FIG. 1 is a perspective view of an electronic device inspection apparatus according to this embodiment.
  • FIG. 2 is a front view of the electronic device inspection apparatus according to this embodiment.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of an LED chuck according to this embodiment.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the cooling plate of the LED chuck according to this embodiment.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the base plate of the LED chuck according to this embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of an LED chuck according to this embodiment.
  • FIG. 1 is a perspective view of an electronic device inspection apparatus 10, which is an example of an electronic device inspection apparatus according to this embodiment.
  • FIG. 2 is a front view of an electronic device inspection apparatus 10, which is an example of an electronic device inspection apparatus according to this embodiment. Note that FIG. 2 schematically shows components incorporated in the electronic device inspection apparatus 10 as a partial cross-sectional view.
  • the electronic device inspection apparatus 10 inspects electrical characteristics of a plurality of electronic devices formed on the wafer W.
  • the electronic device testing apparatus 10 includes a storage chamber 12, a loader 13, and a tester 14.
  • the housing chamber 12 has a hollow housing shape.
  • the accommodation chamber 12 accommodates the stage 11 therein.
  • the storage chamber 12 also includes a probe card 15 inside.
  • the probe card 15 includes a plurality of needle-like probes 16 arranged corresponding to electrode pads or solder bumps provided corresponding to the electrodes of the electronic devices on the wafer W. As shown in FIG.
  • the wafer W is fixed to the stage 11 so that its position relative to the stage 11 does not shift.
  • the stage 11 has an LED chuck 30 .
  • the wafer W is fixed to the stage 11 by the LED chuck 30 .
  • the stage 11 moves horizontally and vertically.
  • the stage 11 adjusts the relative position between the probe card 15 and the wafer W.
  • Electrode pads and solder bumps provided corresponding to the electrodes of the electronic devices on the wafer W are brought into contact with the probes 16 of the probe card 15 .
  • the loader 13 takes out the wafer W on which the electronic devices are arranged from a FOUP (Front Opening Unify Pod), which is a transfer container, and places it on the stage 11 inside the storage chamber 12 . Also, the loader 13 removes the wafer W that has been inspected from the stage 11 and accommodates it in the FOUP.
  • FOUP Front Opening Unify Pod
  • the probe card 15 is connected to the tester 14. When each probe 16 contacts the electrode pads or solder bumps provided corresponding to the electrodes of each electronic device on the wafer W, each probe 16 supplies power from the tester 14 to each electronic device. Each probe 16 also transmits signals from the electronic device to the tester 14 .
  • the tester 14 has a test board (not shown) that reproduces part of the circuit configuration of the motherboard on which the electronic device is mounted. Also, the test board of the tester 14 is connected to a tester computer 18 which judges the quality of the electronic device based on signals from the electronic device. By replacing the test board in the tester 14, circuit configurations of multiple types of motherboards can be reproduced.
  • the loader 13 includes a base unit 19 as a controller that controls a power source, etc., and a potential difference generation circuit (not shown) in each electronic device, such as a potential difference measurement unit 20 that measures the potential difference in a diode, transistor, or resistor.
  • the potential difference measurement unit 20 is connected to the probe card 15 via wiring 21 .
  • the potential difference measurement unit 20 acquires the potential difference between the two probes 16 contacting the two electrode pads corresponding to each electrode of the potential difference generation circuit, and transfers the acquired potential difference to the base unit 19 .
  • the base unit 19 is connected to the stage 11 via wiring 22 . It also controls the operation of the LED chuck 30, which will be described later.
  • the base unit 19 and the potential difference measurement unit 20 may be provided in the housing chamber 12 , and the potential difference measurement unit 20 may be provided in the probe card 15 .
  • the electronic device inspection apparatus 10 also includes a user interface section 23 .
  • the user interface unit 23 includes a display panel such as a touch panel and a keyboard. The user inputs various information and instructions through the user interface section 23 .
  • the tester computer 18 when inspecting the electrical characteristics of the electronic device, transmits data to the test board connected to the electronic device via each probe 16. Also, the tester computer 18 determines whether or not the transmitted data was correctly processed by the test board based on the electrical signals from the test board.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the LED chuck 30 according to this embodiment.
  • the LED chuck 30 has a temperature raising function to control the temperature of the electronic device to be tested.
  • the LED chuck 30 heats the electronic device with an LED 35a, which will be described later.
  • the LED chuck 30 includes a top plate 31 , a glass plate 32 , an insulating ring 33 , a base plate 34 , an LED array substrate 35 , a cooling plate 36 and an LED control substrate 37 .
  • a wafer W which is an object to be inspected, is placed on the top plate 31 .
  • the top plate 31 is made of silicon carbide, for example.
  • the top plate 31 has a mechanism for attracting the wafer W, which is an object to be inspected.
  • the top plate 31 is placed on the glass plate 32 . That is, the glass plate 32 is provided on the back side of the top plate 31 when viewed from above.
  • the glass plate 32 is made of heat-resistant glass, for example.
  • the glass plate 32 transmits light from the LEDs 35 a mounted on the LED array substrate 35 . The light transmitted through the LEDs 35 a heats the top plate 31 and the wafer W placed on the top plate 31 .
  • the insulating ring 33 is a member that connects the glass plate 32 and the base plate 34 .
  • the insulating ring 33 has a hollow cylindrical shape.
  • a cooling plate 36 and an LED control board 37 are provided in the internal space formed by the insulating ring 33 , the glass plate 32 and the base plate 34 .
  • the insulating ring 33 is made of, for example, a low thermal expansion material.
  • the base plate 34 holds the cooling plate 36.
  • the base plate 34 is made of ceramic, for example.
  • the cooling plate 36 is fixed to the base plate 34 with screws 39 .
  • the LED array substrate 35 is a substrate on which the LEDs 35a are mounted.
  • the LED array substrate 35 holds the LEDs 35 a and conducts heat generated from the LEDs 35 a to the cooling plate 36 .
  • the LED array substrate 35 is made of aluminum, for example.
  • the cooling plate 36 cools the LED array substrate 35.
  • the cooling plate 36 is made of copper, for example.
  • the cooling plate 36 has a coolant inlet 36a on its side surface.
  • the cooling plate 36 has a channel 36b inside.
  • the coolant introduced from the coolant inlet port 36a passes through the flow path 36b and is discharged from the coolant outlet port.
  • the cooling plate 36 is cooled by the coolant passing through the flow path 36b.
  • the cooling plate 36 carries the LED array substrate 35 thereon. That is, the cooling plate 36 is provided on the back side of the LED array substrate 35 when viewed from above.
  • the LED control board 37 is a board provided with a circuit for controlling light emission of the LEDs 35a of the LED array board 35.
  • the LED control board 37 is made of, for example, a glass epoxy board.
  • the LED control board 37 is fixed to the cooling plate 36 by a power supply member 38 .
  • the LED control board 37 is provided on the back side of the cooling plate 36 when viewed from above.
  • the power supply member 38 also supplies power from the LED control board 37 to the LEDs 35 a of the LED array board 35 .
  • the LED control board 37 is arranged so as to be surrounded by the base plate 34 .
  • the LED control board 37 generates noise because it has a circuit that drives the LED 35a to switch between ON and OFF at high speed.
  • the LED chuck 30 includes the LED control board 37 A coating layer made of a magnetic material is provided on the surface corresponding to the .
  • a coating layer made of a magnetic material will be explained.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the cooling plate 36 of the LED chuck 30 according to this embodiment.
  • the cooling plate 36 includes a top surface 36S1 on which the LED array substrate 35 is placed, a bottom surface 36S2 facing the LED control substrate 37, and a side surface 36S3 connecting the top surface 36S1 and the bottom surface 36S2, and a coating layer 36c made of a magnetic material.
  • the covering layer 36c is an example of a first covering layer.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the base plate 34 of the LED chuck 30 according to this embodiment.
  • the base plate 34 includes a coating layer 34c made of a magnetic material on the upper surface 34S1 facing the LED control board 37. As shown in FIG. A coating layer made of a magnetic material is not formed on the lower surface 34S2. Note that the coating layer 34c is an example of a second coating layer.
  • the magnetic material forming the coating layers 36c and 34c is, for example, nickel.
  • the coating layer 36c and the coating layer 34c are formed of magnetic plated layers. That is, the coating layer 36c and the coating layer 34c are magnetic plating layers.
  • the base plate 34 may be made of a magnetic metal.
  • the base plate 34 may be made of magnetic stainless steel.
  • the shielding effect can be enhanced by forming the base plate 34 itself from a magnetic metal.
  • the coating layer 36c and the coating layer 34c may be composed of ferrite plated layers. That is, the coating layer 36c and the coating layer 34c may be ferrite plated layers. High frequency noise can be suppressed by using ferrite.
  • the covering layer 36c and the covering layer 34c may be configured by attaching a magnetic shield sheet. It can be easily mounted by attaching a sheet. Also, the material of the magnetic shield sheet may be appropriately selected according to the noise frequency.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the LED chuck 30 according to the present embodiment, particularly an enlarged cross-sectional view of the connecting portion between the LED array substrate 35 and the LED control substrate 37. As shown in FIG. The LED array board 35 and the LED control board 37 are electrically connected by a power supply member 38 .
  • the power supply member 38 includes a screw 381 , a screw 382 , and a connecting member 383 that connects the screw 381 and the screw 382 .
  • the screw 381, screw 382 and connecting member 383 are made of a conductive material.
  • screw 381, screw 382 and connecting member 383 are made of metal.
  • a resin sleeve 384 is provided around the screw 381 to insulate it from the cooling plate 36 .
  • a sleeve 385 for insulating the cooling plate 36 is provided around the connection member 383 .
  • the LED control board 37 includes electronic components 371 for controlling the LEDs 35a.
  • the electronic component 371 is a component that generates heat. In order to cool the electronic component 371 , the electronic component 371 is thermally connected with the cooling plate 36 via the thermally conductive sheet 372 .
  • connection cable 37 a is connected to the LED control board 37 .
  • a shield 40 is provided around the connection cable 37a. By providing the shield 40, the noise radiated from the connection cable 37a can be reduced to less than half.
  • the shield 40 is made of stainless steel, for example.
  • the connection cable 37a may be covered with a magnetic shield sheet.
  • LED chuck 31 top plate 32 glass plate 33 insulation ring 34 base plate 34c coating layer 34S1 upper surface 34S2 lower surface 35 LED array substrate 36 cooling plate 36c coating layer 36S1 upper surface 36S2 lower surface 36S3 side surface 37 LED control substrate 37a connection cable 38 power supply member 40 shield 371 Electronic component 372 Thermally conductive sheet W Wafer

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

被検査体が載置されるトッププレートと、前記被検査体に対向して配置され、前記トッププレートに載置される被検査体を加熱する複数のＬＥＤが設けられたＬＥＤアレイ基板と、前記ＬＥＤアレイ基板の裏面側に配置されるクーリングプレートと、前記クーリングプレートの裏面側に配置されて前記複数のＬＥＤを制御するＬＥＤ制御基板と、前記ＬＥＤ制御基板を囲むように配置されるベースプレートと、を備え、前記クーリングプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面及び前記ベースプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面は、磁性体材料からなるＬＥＤチャック。

Description

ＬＥＤチャック
　本開示は、ＬＥＤチャックに関する。
　電子デバイスを検査する電子デバイス検査装置として、電子デバイスを加熱するために、ＬＥＤによって光を照射する電子デバイス検査装置（例えば、特許文献１）が知られている。
特開２０１８－１５１３６９号公報
　本開示では、ＬＥＤを照射する際に発生するノイズの外部への放射を抑制する技術を提供する。
　本開示の一の態様によれば、被検査体が載置されるトッププレートと、前記被検査体に対向して配置され、前記トッププレートに載置される被検査体を加熱する複数のＬＥＤが設けられたＬＥＤアレイ基板と、前記ＬＥＤアレイ基板の裏面側に配置されるクーリングプレートと、前記クーリングプレートの裏面側に配置されて前記複数のＬＥＤを制御するＬＥＤ制御基板と、前記ＬＥＤ制御基板を囲むように配置されるベースプレートと、を備え、前記クーリングプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面及び前記ベースプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面は、磁性体材料からなるＬＥＤチャックが提供される。
　本開示では、ＬＥＤを照射する際に発生するノイズの外部への放射を抑制する技術を提供する。
図１は、本実施形態に係る電子デバイス検査装置の斜視図である。 図２は、本実施形態に係る電子デバイス検査装置の正面図である。 図３は、本実施形態に係るＬＥＤチャックの断面図である。 図４は、本実施形態に係るＬＥＤチャックのクーリングプレートの断面図である。 図５は、本実施形態に係るＬＥＤチャックのベースプレートの断面図である。 図６は、本実施形態に係るＬＥＤチャックの断面図である。
　以下、本開示の実施形態について添付の図面を参照しながら説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。
　図１は、本実施形態に係る電子デバイス検査装置の一例である電子デバイス検査装置１０の斜視図である。図２は、本実施形態に係る電子デバイス検査装置の一例である電子デバイス検査装置１０の正面図である。なお、図２は、部分的に断面図として、電子デバイス検査装置１０に内蔵される構成要素を概略的に示す。
　電子デバイス検査装置１０は、ウエハＷに形成された複数の電子デバイスの電気的特性を検査する。電子デバイス検査装置１０は、収容室１２と、ローダ１３と、テスター１４を備える。
　収容室１２は、内部が空洞の筐体形状を呈する。収容室１２は、内部にステージ１１を収容する。また、収容室１２は、内部に、プローブカード１５を備える。プローブカード１５は、ウエハＷの各電子デバイスの電極に対応して設けられた電極パッド又は半田バンプに対応して配置された複数の針状のプローブ１６を備える。
　ウエハＷは、ステージ１１に対する相対位置がずれないように該ステージ１１へ固定される。ステージ１１は、ＬＥＤチャック３０を備える。ＬＥＤチャック３０によって、ウエハＷはステージ１１に固定される。ステージ１１は、水平方向及び上下方向に移動する。ステージ１１は、プローブカード１５とウエハＷとの相対位置を調整する。そして、ウエハＷの各電子デバイスの電極に対応して設けられた電極パッドや半田バンプをプローブカード１５の各プローブ１６へ接触させる。
　ローダ１３は、搬送容器であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｙ　Ｐｏｄ）から電子デバイスが配置されたウエハＷを取り出して収容室１２の内部のステージ１１へ載置する。また、ローダ１３は、検査が行われたウエハＷをステージ１１から除去してＦＯＵＰへ収容する。
　プローブカード１５はテスター１４へ接続される。各プローブ１６がウエハＷの各電子デバイスの電極に対応して設けられた電極パッドや半田バンプに接触する際、各プローブ１６はテスター１４から各電子デバイスへ電力を供給する。また、各プローブ１６は、電子デバイスからの信号をテスター１４へ伝達する。
　テスター１４は、電子デバイスが搭載されるマザーボードの回路構成の一部を再現するテストボード（図示しない）を有する。また、テスター１４のテストボードは電子デバイスからの信号に基づいて電子デバイスの良否を判断するテスターコンピュータ１８に接続される。テスター１４ではテストボードを取り替えることにより、複数種のマザーボードの回路構成を再現することができる。
　ローダ１３は、電源等を制御するコントローラとしてのベースユニット１９と、各電子デバイスにおける電位差生成回路（図示しない）、例えば、ダイオード、トランジスタ又は抵抗における電位差を測定する電位差測定ユニット２０と、を備える。電位差測定ユニット２０は、配線２１を介してプローブカード１５に接続される。電位差測定ユニット２０は、電位差生成回路の各電極に対応する２つの電極パッドへ接触する２つのプローブ１６間の電位差を取得し、取得した電位差をベースユニット１９へ伝達する。
　ベースユニット１９は配線２２を介してステージ１１へ接続される。また、後述するＬＥＤチャック３０の動作を制御する。
　なお、ベースユニット１９や電位差測定ユニット２０は収容室１２に設けられてもよく、さらに、電位差測定ユニット２０はプローブカード１５に設けられてもよい。
　また、電子デバイス検査装置１０は、ユーザインターフェース部２３を備える。ユーザインターフェース部２３は表示パネル、例えば、タッチパネルやキーボード等からなる。ユーザはユーザインターフェース部２３において各種情報や指示を入力する。
　電子デバイス検査装置１０では、電子デバイスの電気的特性の検査を行う際、テスターコンピュータ１８が電子デバイスと各プローブ１６を介して接続されたテストボードへデータを送信する。また、テスターコンピュータ１８が、送信されたデータが当該テストボードによって正しく処理されたか否かをテストボードからの電気信号に基づいて判定する。
　＜ＬＥＤチャック３０＞
　本実施形態のＬＥＤチャック３０について説明する。図３は、本実施形態に係るＬＥＤチャック３０の断面図である。
　ＬＥＤチャック３０は、テストする電子デバイスの温度を制御するために、昇温機能を有する。ＬＥＤチャック３０は、後述するＬＥＤ３５ａにより電子デバイスの加熱を行う。ＬＥＤチャック３０は、トッププレート３１と、ガラスプレート３２と、絶縁リング３３と、ベースプレート３４と、ＬＥＤアレイ基板３５と、クーリングプレート３６と、ＬＥＤ制御基板３７と、を備える。
　トッププレート３１は、被検査体であるウエハＷを載置する。トッププレート３１は、例えば、炭化シリコンにて構成される。トッププレート３１は、被検査体であるウエハＷを吸着するための機構を有する。
　ガラスプレート３２は、トッププレート３１を載置する。すなわち、ガラスプレート３２は、上から見てトッププレート３１の裏面側に設けられる。ガラスプレート３２は、例えば、耐熱ガラスにより構成される。ガラスプレート３２は、ＬＥＤアレイ基板３５に搭載されるＬＥＤ３５ａからの光を透過する。ＬＥＤ３５ａを透過した光は、トッププレート３１と、トッププレート３１に載置されるウエハＷと、を加熱する。
　絶縁リング３３は、ガラスプレート３２とベースプレート３４とを接続する部材である。絶縁リング３３は、内部が空洞の円筒状の形状を有する。絶縁リング３３、ガラスプレート３２及びベースプレート３４により形成される内部空間には、クーリングプレート３６及びＬＥＤ制御基板３７が設けられる。絶縁リング３３は、例えば、低熱膨張材により形成される。
　ベースプレート３４は、クーリングプレート３６を保持する。ベースプレート３４は、例えば、セラミックにより構成される。クーリングプレート３６は、ベースプレート３４にねじ３９により固定される。
　ＬＥＤアレイ基板３５は、ＬＥＤ３５ａが載置される基板である。ＬＥＤアレイ基板３５は、ＬＥＤ３５ａを保持するとともに、ＬＥＤ３５ａから発せられる熱をクーリングプレート３６に伝熱する。ＬＥＤアレイ基板３５は、例えば、アルミニウムにより形成される。
　クーリングプレート３６は、ＬＥＤアレイ基板３５を冷却する。クーリングプレート３６は、例えば、銅により形成される。クーリングプレート３６は、側面に冷媒導入口３６ａを備える。クーリングプレート３６は、内部に、流路３６ｂを備える。冷媒導入口３６ａから導入された冷媒は、流路３６ｂを通って冷媒導出口から排出される。冷媒が流路３６ｂを通過することにより、クーリングプレート３６が冷却される。
　クーリングプレート３６は、ＬＥＤアレイ基板３５を載置する。すなわち、クーリングプレート３６は、上から見てＬＥＤアレイ基板３５の裏面側に設けられる。
　ＬＥＤ制御基板３７は、ＬＥＤアレイ基板３５のＬＥＤ３５ａの発光を制御する回路を備える基板である。ＬＥＤ制御基板３７は、例えば、ガラスエポキシ基板により形成される。ＬＥＤ制御基板３７は、給電部材３８により、クーリングプレート３６に固定される。ＬＥＤ制御基板３７は、上から見てクーリングプレート３６の裏面側に設けられる。なお、給電部材３８は、ＬＥＤ制御基板３７からＬＥＤアレイ基板３５のＬＥＤ３５ａに給電も行う。ＬＥＤ制御基板３７は、ベースプレート３４により囲まれるように配置される。
　ＬＥＤ制御基板３７は、ＬＥＤ３５ａを高速にＯｎとＯｆｆをスイッチングするように駆動する回路を備えるため、ノイズを発生する。ＬＥＤ制御基板３７から発生するノイズがＬＥＤチャック３０の外部に放出されることを防止するために、すなわち、ＬＥＤ制御基板３７からの輻射ノイズを遮蔽するために、ＬＥＤチャック３０は、ＬＥＤ制御基板３７に対応する面に磁性体材料からなる被覆層を備える。
　磁性体材料からなる被覆層について説明する。
　図４は、本実施形態に係るＬＥＤチャック３０のクーリングプレート３６の断面図である。クーリングプレート３６は、ＬＥＤアレイ基板３５が載置される上面３６Ｓ１と、ＬＥＤ制御基板３７に対向する下面３６Ｓ２と、上面３６Ｓ１と下面３６Ｓ２をつなぐ側面３６Ｓ３に、磁性体材料からなる被覆層３６ｃを備える。なお、被覆層３６ｃは、第１被覆層の一例である。
　図５は、本実施形態に係るＬＥＤチャック３０のベースプレート３４の断面図である。ベースプレート３４は、ＬＥＤ制御基板３７が対向する上面３４Ｓ１に、磁性体材料で形成された被覆層３４ｃを備える。下面３４Ｓ２には、磁性体材料で形成された被覆層は形成されていない。なお、被覆層３４ｃは第２被覆層の一例である。
　被覆層３６ｃ及び被覆層３４ｃを形成する磁性体材料は、例えば、ニッケルである。被覆層３６ｃ及び被覆層３４ｃは、磁性体のめっき層により形成される。すなわち、被覆層３６ｃ及び被覆層３４ｃは磁性体めっき層である。被覆層３６ｃ及び被覆層３４ｃが磁性体材料で形成されることにより、ＬＥＤ制御基板３７から放射されるノイズである電界ノイズ及び磁場ノイズを遮蔽できる。
　なお、ベースプレート３４を磁性体金属により構成してもよい。例えば、ベースプレート３４は、磁性を有するステンレス鋼により構成してもよい。ベースプレート３４自体を磁性体金属により構成することによって、シールド効果を高めることができる。
　また、被覆層３６ｃ及び被覆層３４ｃをフェライトのめっき層によって構成してもよい。すなわち、被覆層３６ｃ及び被覆層３４ｃをフェライトめっき層としてもよい。フェライトを用いることによって、高周波ノイズを抑制することができる。
　また、被覆層３６ｃ及び被覆層３４ｃは、磁気シールドシートを貼り付けることにより構成してもよい。シートを貼り付けることにより容易に実装できる。また、磁気シールドシートの材質をノイズ周波数に応じて適宜選択してもよい。
　ＬＥＤアレイ基板３５とＬＥＤ制御基板３７との接続について説明する。図６は、本実施形態に係るＬＥＤチャック３０の断面図、特に、ＬＥＤアレイ基板３５とＬＥＤ制御基板３７との接続部分の拡大断面図である。ＬＥＤアレイ基板３５とＬＥＤ制御基板３７は、給電部材３８で電気的に接続される。
　給電部材３８は、ねじ３８１と、ねじ３８２と、ねじ３８１とねじ３８２とを接続する接続部材３８３を備える。ねじ３８１、ねじ３８２及び接続部材３８３は、導電材料により形成される。例えば、ねじ３８１、ねじ３８２及び接続部材３８３は、金属により形成される。ねじ３８１の周囲には、クーリングプレート３６と絶縁するために、樹脂製のスリーブ３８４を備える。また、接続部材３８３の周囲には、クーリングプレート３６と絶縁するためのスリーブ３８５が設けられる。
　ＬＥＤ制御基板３７は、ＬＥＤ３５ａを制御するために電子部品３７１を備える。電子部品３７１は、発熱をともなう部品である。電子部品３７１を冷却するために、電子部品３７１は、熱伝導性シート３７２を介して、クーリングプレート３６と熱的に接続される。
　ＬＥＤ制御基板３７には、接続ケーブル３７ａが接続される。接続ケーブル３７ａの周囲には、シールド４０が設けられる。シールド４０を設けることによって、接続ケーブル３７ａから放射されるノイズを半分以下に低減することができる。シールド４０は、例えば、ステンレス鋼により形成される。なお、接続ケーブル３７ａを磁気シールドシートで覆うようにしてもよい。
　なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
　本願は、日本特許庁に２０２１年３月３０日に出願された基礎特許出願２０２１－０５７１６０号の優先権を主張するものであり、その全内容を参照によりここに援用する。
３０　ＬＥＤチャック
３１　トッププレート
３２　ガラスプレート
３３　絶縁リング
３４　ベースプレート
３４ｃ　被覆層
３４Ｓ１　上面
３４Ｓ２　下面
３５　ＬＥＤアレイ基板
３６　クーリングプレート
３６ｃ　被覆層
３６Ｓ１　上面
３６Ｓ２　下面
３６Ｓ３　側面
３７　ＬＥＤ制御基板
３７ａ　接続ケーブル
３８　給電部材
４０　シールド
３７１　電子部品
３７２　熱伝導性シート
Ｗ　ウエハ

Claims (9)

  1. 　被検査体が載置されるトッププレートと、
    　前記被検査体に対向して配置され、前記トッププレートに載置される被検査体を加熱する複数のＬＥＤが設けられたＬＥＤアレイ基板と、
    　前記ＬＥＤアレイ基板の裏面側に配置されるクーリングプレートと、
    　前記クーリングプレートの裏面側に配置されて前記複数のＬＥＤを制御するＬＥＤ制御基板と、
    　前記ＬＥＤ制御基板を囲むように配置されるベースプレートと、
    を備え、
    　前記クーリングプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面及び前記ベースプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面は、磁性体材料からなる、
    ＬＥＤチャック。
  2. 　前記クーリングプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面は、前記磁性体材料からなる第１被覆層を有する、
    請求項１に記載のＬＥＤチャック。
  3. 　前記第１被覆層は、磁性体めっき層である、
    請求項２に記載のＬＥＤチャック。
  4. 　前記ベースプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面は、前記磁性体材料からなる第２被覆層を有する、
    請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のＬＥＤチャック。
  5. 　前記第２被覆層は、磁性体めっき層である、
    請求項４に記載のＬＥＤチャック。
  6. 　前記磁性体材料は、ニッケルである、
    請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のＬＥＤチャック。
  7. 　前記ベースプレートは、セラミックにより形成される、
    請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のＬＥＤチャック。
  8. 　前記ＬＥＤ制御基板に接続される接続ケーブルを備え、
    　前記接続ケーブルは、シールドにより覆われる、
    請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のＬＥＤチャック。
  9. 　前記ＬＥＤ制御基板に搭載の電子部品は、熱伝導性シートを介して前記クーリングプレートに固定される、
    請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のＬＥＤチャック。
PCT/JP2022/011973 2021-03-30 2022-03-16 Ｌｅｄチャック WO2022209903A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202280023471.7A CN117043611A (zh) 2021-03-30 2022-03-16 Led卡盘
US18/282,744 US20240159825A1 (en) 2021-03-30 2022-03-16 Led chuck
KR1020237036294A KR20230160884A (ko) 2021-03-30 2022-03-16 Led 척
DE112022001827.5T DE112022001827T5 (de) 2021-03-30 2022-03-16 LED-Futter

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021057160A JP2022154237A (ja) 2021-03-30 2021-03-30 Ｌｅｄチャック
JP2021-057160 2021-03-30

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022209903A1 true WO2022209903A1 (ja) 2022-10-06

Family

ID=83459025

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/011973 WO2022209903A1 (ja) 2021-03-30 2022-03-16 Ｌｅｄチャック

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20240159825A1 (ja)
JP (1) JP2022154237A (ja)
KR (1) KR20230160884A (ja)
CN (1) CN117043611A (ja)
DE (1) DE112022001827T5 (ja)
WO (1) WO2022209903A1 (ja)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001068515A (ja) * 1999-06-30 2001-03-16 Cascade Microtech Inc 容量性電流を遮蔽するプローブステーション熱チャック
JP2003077964A (ja) * 2001-08-31 2003-03-14 Ibiden Co Ltd ウエハプローバ用チャックトップ
JP2011030122A (ja) * 2009-07-29 2011-02-10 Tamura Seisakusho Co Ltd 可視光通信用ｌｅｄ照明装置
JP2011520269A (ja) * 2008-05-02 2011-07-14 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 回転基板のための非半径方向温度制御のためのシステム
JP2017195239A (ja) * 2016-04-19 2017-10-26 三菱電機株式会社 プローブ位置検査装置および半導体評価装置ならびにプローブ位置検査方法
WO2018100881A1 (ja) * 2016-11-29 2018-06-07 東京エレクトロン株式会社 載置台及び電子デバイス検査装置
WO2019116911A1 (ja) * 2017-12-13 2019-06-20 東京エレクトロン株式会社 検査装置
WO2020230674A1 (ja) * 2019-05-10 2020-11-19 東京エレクトロン株式会社 載置台及び載置台の作製方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6994313B2 (ja) 2016-11-29 2022-01-14 東京エレクトロン株式会社 載置台及び電子デバイス検査装置
JP2021057160A (ja) 2019-09-27 2021-04-08 東芝ライテック株式会社 照明制御システム

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001068515A (ja) * 1999-06-30 2001-03-16 Cascade Microtech Inc 容量性電流を遮蔽するプローブステーション熱チャック
JP2003077964A (ja) * 2001-08-31 2003-03-14 Ibiden Co Ltd ウエハプローバ用チャックトップ
JP2011520269A (ja) * 2008-05-02 2011-07-14 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 回転基板のための非半径方向温度制御のためのシステム
JP2011030122A (ja) * 2009-07-29 2011-02-10 Tamura Seisakusho Co Ltd 可視光通信用ｌｅｄ照明装置
JP2017195239A (ja) * 2016-04-19 2017-10-26 三菱電機株式会社 プローブ位置検査装置および半導体評価装置ならびにプローブ位置検査方法
WO2018100881A1 (ja) * 2016-11-29 2018-06-07 東京エレクトロン株式会社 載置台及び電子デバイス検査装置
WO2019116911A1 (ja) * 2017-12-13 2019-06-20 東京エレクトロン株式会社 検査装置
WO2020230674A1 (ja) * 2019-05-10 2020-11-19 東京エレクトロン株式会社 載置台及び載置台の作製方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022154237A (ja) 2022-10-13
CN117043611A (zh) 2023-11-10
US20240159825A1 (en) 2024-05-16
DE112022001827T5 (de) 2024-01-11
KR20230160884A (ko) 2023-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI734871B (zh) 載置台及電子元件檢查裝置
KR102387504B1 (ko) 검사 장치
TW201942993A (zh) 檢查裝置
JP7213080B2 (ja) 載置台
JP2024052751A (ja) 載置台及び検査装置
WO2022209903A1 (ja) Ｌｅｄチャック
JP4889653B2 (ja) デバイス実装装置、テストヘッド及び電子部品試験装置
JP2004150999A (ja) プローブカード
JP2008286666A (ja) プローブカード
US11828794B2 (en) Placement table, testing device, and testing method
JP7500312B2 (ja) 検査装置及び検査装置の制御方法
KR102665977B1 (ko) 검사 장치
EP3882644B1 (en) Substrate support, test device, and method of adjusting temperature of substrate support
JP7449814B2 (ja) 検査方法及び検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22780123

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 18282744

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202280023471.7

Country of ref document: CN

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20237036294

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020237036294

Country of ref document: KR

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 112022001827

Country of ref document: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 22780123

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1