WO2022176258A1 - 管継手 - Google Patents

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WO2022176258A1
WO2022176258A1 PCT/JP2021/036665 JP2021036665W WO2022176258A1 WO 2022176258 A1 WO2022176258 A1 WO 2022176258A1 JP 2021036665 W JP2021036665 W JP 2021036665W WO 2022176258 A1 WO2022176258 A1 WO 2022176258A1
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WO
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tube
axial direction
axial
inner ring
bulging
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PCT/JP2021/036665
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耀平 大川
歩 黒▲崎▼
慎悟 樋口
一清 手嶋
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日本ピラー工業株式会社
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Publication date
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    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16L47/04—Connecting arrangements or other fittings specially adapted to be made of plastics or to be used with pipes made of plastics with a swivel nut or collar engaging the pipe
    • F16L47/041—Connecting arrangements or other fittings specially adapted to be made of plastics or to be used with pipes made of plastics with a swivel nut or collar engaging the pipe the plastic pipe end being flared either before or during the making of the connection
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16L13/00—Non-disconnectible pipe-joints, e.g. soldered, adhesive or caulked joints
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    • F16L13/16—Non-disconnectible pipe-joints, e.g. soldered, adhesive or caulked joints made by plastically deforming the material of the pipe, e.g. by flanging, rolling the pipe joint consisting of overlapping extremities having mutually co-operating collars
    • F16L13/165—Non-disconnectible pipe-joints, e.g. soldered, adhesive or caulked joints made by plastically deforming the material of the pipe, e.g. by flanging, rolling the pipe joint consisting of overlapping extremities having mutually co-operating collars the pipe or collar being deformed by an axially movable sleeve
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    • F16L19/00—Joints in which sealing surfaces are pressed together by means of a member, e.g. a swivel nut, screwed on or into one of the joint parts
    • F16L19/04—Joints in which sealing surfaces are pressed together by means of a member, e.g. a swivel nut, screwed on or into one of the joint parts using additional rigid rings, sealing directly on at least one pipe end, which is flared either before or during the making of the connection
    • F16L19/05—Joints in which sealing surfaces are pressed together by means of a member, e.g. a swivel nut, screwed on or into one of the joint parts using additional rigid rings, sealing directly on at least one pipe end, which is flared either before or during the making of the connection with a rigid pressure ring between the screwed member and the exterior of the flared pipe end
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Definitions

  • the present invention relates to pipe joints.
  • tubes and fluid devices are used in piping routes where fluids such as chemicals, high-purity liquids, ultrapure water, and cleaning liquids flow.
  • a connection structure for connecting the formed flow paths for example, a pipe joint made of synthetic resin is adopted.
  • Such a pipe joint includes an inner ring attached to the inner peripheral side of the tip of the tube, a cylindrical joint main body attached to the outer peripheral side of the tip of the tube, and a cylindrical joint main body attached to the outer peripheral side of the joint main body. and a union nut are known (see, for example, Patent Document 1).
  • the inner ring has a cylindrical main body, a bulge formed at one end in the axial direction of the main body so as to protrude radially outward, and a seal formed at the other end in the axial direction of the main body. is doing.
  • a fluid channel is formed inside the inner ring.
  • the bulging portion of the inner ring is press-fitted into the distal end portion of the tube to expand the diameter of the distal end portion of the tube.
  • the union nut presses the outer peripheral surface of the tube whose diameter is expanded by the propulsive force when the union nut is attached to the joint body.
  • the seal portion of the inner ring is pressed against the seal groove formed in the joint body, and the tube can be prevented from slipping out.
  • surface pressure is generated between the tube and the bulging portion, it is possible to suppress leakage of fluid from between the tube and the bulging portion.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and can ensure the necessary surface pressure between the bulging portion of the inner ring and the tube without increasing the tightening torque of the union nut.
  • the purpose is to provide a pipe joint.
  • a pipe joint according to the present invention comprises an inner ring that protrudes radially outward on one side in the axial direction and has a bulging portion that is press-fitted into a distal end portion of a tube;
  • the end of the inner ring on the other side in the axial direction is press-fitted into the inner circumference of the inner ring, and has a joint body having a male threaded portion on the outer circumference, and a female threaded portion to be tightened by the male threaded portion.
  • a union nut that presses the distal end portion of the tube to the other side in the axial direction by tightening the female threaded portion to the male threaded portion; and has a tapered portion that generates surface pressure against the tube when pressed by the union nut, and the outer peripheral surface of the tapered portion has a concave curved surface in an axial cross-sectional view It has a concave curved surface formed on the
  • the concave curved surface is formed on the outer peripheral surface of the tapered portion of the bulging portion of the inner ring, when the union nut presses the tube, the bottom portion of the concave curved surface will be the bottom of the tube. becomes less accessible.
  • the axial range in which the surface pressure is generated between the tapered portion of the bulging portion and the tube is narrower than before, so the surface pressure generated between the tapered portion of the bulging portion and the tube can be minimized. can be higher than Therefore, the necessary surface pressure can be secured between the bulging portion of the inner ring and the tube without increasing the tightening torque of the union nut. As a result, it is possible to suppress the fluid from leaking to the outside from between the bulging portion and the tube.
  • the concave surface portion is formed over the entire axial length of the outer peripheral surface of the tapered portion.
  • the axial range in which the surface pressure is generated between the tapered portion of the bulging portion of the concave curved portion and the tube can be further narrowed.
  • the contact pressure can be further increased.
  • the outer peripheral surface of the tapered portion has a convex curved surface formed on one axial side of the concave curved surface in an axial cross-sectional view.
  • the strength of the end portion of the tapered portion is increased, so even if the tapered portion is pressed by the union nut through the tube, the end portion of the tapered portion can be prevented from collapsing radially inward.
  • a pipe joint viewed from another aspect of the present invention comprises an inner ring having a bulging portion that protrudes radially outward on one side in the axial direction and is press-fitted into the distal end portion of the tube; is press-fitted into the distal end of the tube, the end of the inner ring on the other side in the axial direction is press-fitted into the inner periphery, a joint body having a male threaded portion on the outer periphery, and a female thread tightened to the male threaded portion a union nut that presses the distal end portion of the tube to the other side in the axial direction by tightening the female threaded portion to the male threaded portion, wherein the bulging portion extends from the middle portion in the axial direction.
  • a diameter D and an inner diameter d of a non-deformed portion of the tube which does not deform even when the bulging portion is press-fitted satisfy a relationship of 1.0d ⁇ D ⁇ 1.4d.
  • the diameter D at one end in the axial direction of the outer peripheral surface of the tapered portion of the bulging portion of the inner ring and the inner diameter d of the non-deformed portion of the tube satisfy the relationship D ⁇ 1.4d. Since it is satisfied, the tightening torque of the union nut does not increase.
  • the diameter D of one axial end of the outer peripheral surface of the tapered portion and the inner diameter d of the non-deformed portion of the tube satisfy the relationship of 1.0d ⁇ D, the tightening torque of the union nut should not be increased. Even so, it is possible to ensure the necessary surface pressure between the bulging portion of the inner ring and the tube. As a result, it is possible to suppress the fluid from leaking to the outside from between the bulging portion and the tube.
  • the required surface pressure can be secured between the bulging portion of the inner ring and the tube without increasing the tightening torque of the union nut.
  • FIG. 1 is an axial cross-sectional view of a pipe joint according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. FIG. 4 is an axial cross-sectional view showing an inner ring of the pipe joint
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG. 2 showing a bulging portion of the inner ring
  • It is a cross-sectional view showing a state of contact between the tapered portion of the bulging portion and the tube.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a tapered portion of the bulging portion has collapsed radially inward
  • FIG. 8 is an enlarged axial cross-sectional view showing a bulging portion of an inner ring in a pipe joint according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 11 is a cross-sectional view showing a contact state between a tapered portion of a bulging portion and a tube in the second embodiment;
  • FIG. 11 is an enlarged axial cross-sectional view showing the vicinity of a bulging portion of an inner ring in a pipe joint according to a third embodiment of the present invention;
  • FIG. 11 is an enlarged axial cross-sectional view showing a modification of the bulging portion of the inner ring in the third embodiment;
  • FIG. 1 is an axial cross-sectional view showing a pipe joint according to a first embodiment of the present invention.
  • a pipe joint 1 is used, for example, in a piping path through which a chemical solution (fluid) used in a semiconductor manufacturing apparatus flows.
  • a pipe joint 1 includes a joint body 2 , a union nut 3 and an inner ring 4 .
  • the left side of FIG. 1 is referred to as one axial side
  • the right side of FIG. 1 is referred to as the other axial side (the same applies to FIGS. 2 to 9).
  • the inner ring 4 is made of, for example, polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), polyethylene (PE), or fluorine resin (perfluoroalkoxyalkane (PFA), polytetrafluoroethylene (PTFE), or polyvinylidene fluoride (PVDF ), etc.), and is formed in a cylindrical shape.
  • PVC polyvinyl chloride
  • PP polypropylene
  • PE polyethylene
  • fluorine resin perfluoroalkoxyalkane
  • PTFE polytetrafluoroethylene
  • PVDF polyvinylidene fluoride
  • the inner ring 4 includes a cylindrical body portion 5 , a bulging portion 6 formed on one axial side of the body portion 5 , and a seal portion 7 formed on the other axial side of the body portion 5 .
  • a fluid flow path 4 a is formed inside each diameter of the main body portion 5 , the bulging portion 6 , and the seal portion 7 of the inner ring 4 .
  • the fluid channel 4a communicates the channel 8a formed inside the tube 8 with the channel 2c formed inside the joint body 2 .
  • the bulging portion 6 is formed on one axial side of the body portion 5 so as to protrude radially outward.
  • the bulging portion 6 is press-fitted into the distal end portion of a tube 8 made of synthetic resin (such as PFA) to expand the diameter of the distal end portion of the tube 8 . Details of the bulging portion 6 will be described later.
  • the seal portion 7 has an annular primary seal portion 7a and a cylindrical secondary seal portion 7b.
  • the primary seal portion 7a is formed so as to protrude from the radially inner side of the other axial end portion of the main body portion 5 toward the other axial side.
  • the outer peripheral surface of the primary seal portion 7a is formed so as to gradually decrease in diameter from one end in the axial direction toward the other end in the axial direction.
  • the primary seal portion 7 a is press-fitted into a primary seal groove 2 d (described later) of the joint body 2 .
  • the secondary seal portion 7 b is formed so as to protrude from the radially outer side of the other axial end portion of the main body portion 5 toward the other axial side.
  • the secondary seal portion 7 b is press-fitted into a secondary seal groove 2 e (described later) of the joint body 2 .
  • the joint main body 2 is cylindrically formed of a synthetic resin material such as PVC, PP, PE, or fluororesin (PFA, PTFE, etc.).
  • the inner diameter of the joint main body 2 is set to be approximately the same as the inner diameter of the inner ring 4 so as not to hinder the movement of the chemical solution.
  • a socket portion 2 a is formed at one axial end portion of the joint body 2 .
  • a sealing portion 7 (an end portion on the other side in the axial direction) of an inner ring 4 having a bulging portion 6 press-fitted into a distal end portion of a tube 8 is press-fitted into the inner circumference of the socket portion 2a.
  • a male threaded portion 2b is formed on the outer periphery of the socket portion 2a.
  • the joint body 2 has an annular primary seal groove 2d and an annular secondary seal groove 2e formed radially inward of the socket portion 2a.
  • the primary seal groove 2d has a tapered shape in which the diameter of the primary seal groove 2d is gradually reduced from one end in the axial direction toward the other end in the axial direction.
  • the secondary seal groove 2e is formed radially outside the primary seal groove 2d in the joint body 2. As shown in FIG.
  • the union nut 3 is cylindrically formed of a synthetic resin material such as PVC, PP, PE, or fluororesin (PFA, PTFE, etc.).
  • the union nut 3 has a female threaded portion 3a formed on the inner periphery on the other side in the axial direction, and a pressing portion 3b formed to protrude radially inward on the one side in the axial direction.
  • the female threaded portion 3a of the union nut 3 is tightened to the male threaded portion 2b of the joint body 2.
  • the union nut 3 is attached to the joint main body 2, and the corner portion 3c formed at the other axial end portion of the pressing portion 3b is expanded by the bulging portion 6 of the inner ring 4. presses the expanded diameter portion 8b of the , to the other side in the axial direction.
  • the portion of the pressing portion 3b that presses the tube 8 is not limited to the corner portion 3c.
  • a chamfered portion may be formed instead of the corner portion 3c at the other axial end portion of the pressing portion 3b, and the tube 8 may be pressed by the chamfered portion.
  • FIG. 2 is an axial sectional view showing the inner ring 4.
  • the bulging portion 6 of the inner ring 4 has a maximum thickness portion 11 having the maximum thickness in the radial direction, and a base end portion 12 formed on the other side of the maximum thickness portion 11 in the axial direction. , and a tapered portion 13 formed on one axial side of the maximum thickness portion 11 .
  • the maximum thickness portion 11 is formed over a predetermined length in the axial direction.
  • the outer peripheral surface of the base end portion 12 is formed so as to gradually decrease in diameter from the other axial end of the maximum thickness portion 11 toward the other axial side.
  • the base end portion 12 is formed so that the thickness in the radial direction gradually decreases from the other end in the axial direction of the maximum thickness portion 11 toward the other side in the axial direction.
  • the other end in the axial direction of the base end portion 12 is connected to the body portion 5 .
  • the outer peripheral surface of the base end portion 12 is inclined in a planar shape, but may be inclined in a curved shape.
  • An inner peripheral surface 14 of the tapered portion 13 is formed so as to gradually increase in diameter from the other side in the axial direction toward one end in the axial direction.
  • An outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 is formed so as to gradually decrease in diameter from one axial end of the maximum thickness portion 11 toward one axial side.
  • the tapered portion 13 is formed so that the thickness in the radial direction gradually decreases toward one side in the axial direction from the middle portion in the axial direction of the bulging portion 6 , that is, is tapered.
  • contact pressure is generated by pressing the enlarged diameter portion 8b with the corner portion 3c of the union nut 3. It's becoming
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the main part of FIG. 2 showing the bulging portion 6 of the inner ring 4.
  • An outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 of the bulging portion 6 has a concave curved surface portion 15a formed in a concave curved surface shape so as to be depressed radially inward.
  • the concave curved surface portion 15a is formed in, for example, a concave arc shape.
  • the concave curved surface portion 15 a of the present embodiment is formed over the entire axial length of the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 .
  • the concave curved surface portion 15a is formed on the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 of the bulging portion 6 of the inner ring 4, so that the enlarged diameter portion 8b of the tube 8 is attached to the union nut 3 as shown in FIG. (not shown) makes it difficult for the inner peripheral surface of the tube 8 to come into contact with the bottom portion 15a1 of the concave surface portion 15a when pressed to the other side in the axial direction.
  • the axial range in which the surface pressure is generated between the tapered portion 13 of the bulging portion 6 and the tube 8 is narrower than in the conventional art. The generated surface pressure can be increased more than before.
  • the required surface pressure can be secured between the bulging portion 6 of the inner ring 4 and the tube 8 without increasing the tightening torque of the union nut 3 .
  • the chemical liquid flowing through the fluid flow path 4 a of the inner ring 4 can be prevented from leaking to the outside from between the bulging portion 6 and the tube 8 .
  • the concave curved surface portion 15a is formed along the entire length of the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 in the axial direction, the concave curved surface portion 15a is formed only on a part of the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 in the axial direction. Compared to the case, the axial range in which the surface pressure is generated between the tapered portion 13 of the bulging portion 6 and the tube 8 can be further narrowed. Thereby, the surface pressure generated between the tapered portion 13 of the bulging portion 6 and the tube 8 can be further increased.
  • the tapered portion 13 has a small radial thickness at the tip portion (one end portion in the axial direction), when the tapered portion 13 is pressed by the union nut 3 through the tube 8, the tapered portion 13 shown in FIG. As shown, the tip of the tapered portion 13 tends to fall radially inward (toward the fluid flow path 4a), and the tube 8 and the inner peripheral surface 14 are not flush with each other. If the distal end of the tapered portion 13 collapses in this manner, the flow of the chemical solution in the fluid channel 4 a of the inner ring 4 may be blocked by the distal end of the tapered portion 13 . Therefore, in a second embodiment, which will be described later, a configuration is provided for suppressing the tip of the tapered portion 13 from collapsing.
  • FIG. 6 is an enlarged axial sectional view showing the bulging portion 6 of the inner ring 4 in the pipe joint 1 according to the second embodiment of the present invention.
  • the shape of the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 of the bulging portion 6 is different from that in the first embodiment. The differences will be described below.
  • the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 of the bulging portion 6 includes a concave curved surface portion 15a formed in a concave curved surface shape so as to be depressed radially inward, and a concave curved surface portion 15a that protrudes radially outward on one axial side of the concave curved surface portion 15a. and a convex curved surface portion 15b formed in a convex curved shape.
  • the concave curved surface portion 15a is formed in, for example, a concave arc shape.
  • the convex curved surface portion 15b is formed, for example, in a convex arc shape.
  • the concave curved surface portion 15a is formed between the other end in the axial direction of the outer peripheral surface 15 and the middle portion on the one side in the axial direction.
  • the convex curved surface portion 15b is formed between the intermediate portion of the outer peripheral surface 15 and one end in the axial direction.
  • a concave curved surface portion 15a and a convex curved surface portion 15b are formed continuously in the axial direction on the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13, and the convex curved surface portion 15b is formed at the distal end portion of the tapered portion 13. . Since other configurations of the second embodiment are the same as those of the first embodiment, they are denoted by the same reference numerals and descriptions thereof are omitted.
  • the concave curved surface portion 15a is formed on the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 of the bulging portion 6 of the inner ring 4. Therefore, as shown in FIG.
  • the inner peripheral surface of the tube 8 is less likely to come into contact with the bottom portion 15a1 of the concave surface portion 15a.
  • the axial range in which the surface pressure is generated between the tapered portion 13 of the bulging portion 6 and the tube 8 is narrower than in the conventional art. The generated surface pressure can be increased more than before.
  • the required surface pressure can be secured between the bulging portion 6 of the inner ring 4 and the tube 8 without increasing the tightening torque of the union nut 3 .
  • the chemical liquid flowing through the fluid flow path 4 a of the inner ring 4 can be prevented from leaking to the outside from between the bulging portion 6 and the tube 8 .
  • the tapered portion 13 at the tip portion is The thickness in the radial direction can be increased.
  • the strength of the distal end of the tapered portion 13 is increased, so even if the tapered portion 13 is pressed by the union nut 3 via the tube 8, the distal end of the tapered portion 13 will still be strong as in the first embodiment (see FIG. 5). It is possible to suppress the portion from falling to the radially inner side. As a result, it is possible to prevent the flow of the chemical liquid in the fluid channel 4 a of the inner ring 4 from being hindered by the tapered portion 13 of the bulging portion 6 .
  • FIG. 8 is an enlarged axial cross-sectional view showing the vicinity of the bulging portion 6 of the inner ring 4 in the pipe joint 1 according to the third embodiment of the present invention.
  • the shape of the tapered portion 13 of the bulging portion 6 is different from that in the first embodiment. The differences will be described below.
  • the tapered portion 13 of the bulging portion 6 is formed axially shorter than the tapered portion 13 of the bulging portion 6 in the first embodiment.
  • a radially extending flat surface 16 is formed at one axial end of the tapered portion 13 .
  • the flat surface 16 extends radially inward from one axial end 15 c of the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 and is connected to one axial end of the inner peripheral surface 14 of the tapered portion 13 .
  • the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 is formed in a convex curved surface shape (for example, a convex circular arc shape) over the entire length in the axial direction.
  • the diameter D of one axial end 15c of the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 and the inner diameter d of the non-deformed portion 8c of the tube 8 are set to satisfy the relationship of 1.0d ⁇ D ⁇ 1.4d.
  • the non-deformable portion 8 c is a portion of the tube 8 that does not deform even when the bulging portion 6 of the inner ring 4 is press-fitted into the distal end portion of the tube 8 .
  • a flat surface 16 is formed at one axial end of the tapered portion 13, but a shape other than the flat surface (for example, a tapered surface, etc.) may be formed. Further, the shape of the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 is not limited to a convex surface shape, and may be formed in a planar shape as shown in FIG. 9, for example.
  • the diameter D of the axial end 15c of the outer peripheral surface 15 of the tapered portion 13 of the bulging portion 6 of the inner ring 4 and the inner diameter d of the non-deformed portion 8c of the tube 8 satisfies the relationship D ⁇ 1.4d, so the tightening torque of the union nut 3 does not increase.
  • the diameter D of the one axial end 15c of the outer peripheral surface of the tapered portion 13 and the inner diameter d of the non-deformed portion 8c of the tube 8 satisfy the relationship of 1.0d ⁇ D, the tightening torque of the union nut 3 is The required surface pressure can be ensured between the bulging portion 6 of the inner ring 4 and the tube 8 without increasing the height. As a result, the chemical liquid flowing through the fluid flow path 4 a of the inner ring 4 can be prevented from leaking to the outside from between the bulging portion 6 and the tube 8 .
  • the pipe joint of the present invention can also be applied in the liquid crystal/organic EL field, the medical/pharmaceutical field, the automobile-related field, etc., in addition to the semiconductor manufacturing equipment.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Joints That Cut Off Fluids, And Hose Joints (AREA)
  • Joints With Pressure Members (AREA)
  • Branch Pipes, Bends, And The Like (AREA)

Abstract

管継手１は、チューブ８の先端部内に圧入される膨出部６を有するインナーリング４と、インナーリング４の端部が内周に圧入されるとともに外周に雄ねじ部２ｂを有する継手本体２と、雄ねじ部２ｂに締め付けられる雌ねじ部３ａを有するとともに雌ねじ部３ａが雄ねじ部２ｂに締め付けられることでチューブ８の先端部を押圧するユニオンナット３と、を備える。膨出部６は、ユニオンナット３の押圧によりチューブ８との間で面圧を発生させる先細り部１３を有する。先細り部１３の外周面１５は、軸方向の断面視において凹曲面状に形成された凹曲面部１５ａを有する。

Description

管継手
　本発明は、管継手に関する。
　半導体製造、医療・医薬品製造、及び食品加工・化学工業等の各種技術分野の製造工程では、薬液、高純度液、超純水、或いは洗浄液等の流体が流れる配管経路において、チューブや流体デバイスに形成された流路同士を接続する接続構造として、例えば合成樹脂製の管継手が採用されている。このような管継手として、チューブの先端部の内周側に装着されるインナーリングと、チューブの先端部の外周側に装着される円筒状の継手本体と、継手本体の外周側に装着されるユニオンナットと、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
　インナーリングは、円筒状の本体部と、本体部の軸方向一端部において径外側へ突出して形成された膨出部と、本体部の軸方向他端部に形成されたシール部と、を有している。インナーリングの内部には流体流路が形成されている。インナーリングの膨出部は、チューブの先端部内に圧入されて、当該チューブの先端部を拡径する。ユニオンナットは、継手本体に装着されるときの推進力により、インナーリングの膨出部によって拡径したチューブの外周面を押圧する。これにより、インナーリングのシール部が、継手本体に形成されたシール溝に圧力されるとともに、チューブの抜け出しを防止することができる。さらに、チューブと膨出部との間で面圧が発生するので、チューブと膨出部との間から流体が漏洩するのを抑制することができる。
特開２０１８－１６８９４７号公報
　前記ユニオンナットの推進力によりチューブが押圧されると、チューブの内周面は、インナーリングの膨出部の外周面に対して軸方向の広範囲にわたって接触するので、チューブと膨出部との間で面圧が発生する範囲は軸方向の広範囲に及ぶ。このため、チューブと膨出部との間において、流体の漏洩を抑制するために必要な面圧を確保するためには、ユニオンナットの締め付けトルクを高くする必要があり、施工性が悪いという問題があった。
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ユニオンナットの締め付けトルクを高くしなくても、インナーリングの膨出部とチューブとの間で必要な面圧を確保することができる管継手を提供することを目的とする。
　（１）本発明の管継手は、軸方向一方側において径外側に突出して形成されるとともにチューブの先端部内に圧入される膨出部を有するインナーリングと、前記膨出部が前記チューブの先端部内に圧入された状態で前記インナーリングの軸方向他方側の端部が内周に圧入されるとともに、外周に雄ねじ部を有する継手本体と、前記雄ねじ部に締め付けられる雌ねじ部を有するとともに、前記雌ねじ部が前記雄ねじ部に締め付けられることで前記チューブの先端部を軸方向他方側へ押圧するユニオンナットと、を備え、前記膨出部は、その軸方向の途中部から軸方向一方側に向かって先細るように形成されるとともに、前記ユニオンナットの押圧により前記チューブとの間で面圧を発生させる先細り部を有し、前記先細り部の外周面は、軸方向の断面視において凹曲面状に形成された凹曲面部を有する。
　本発明の管継手によれば、インナーリングの膨出部における先細り部の外周面に凹曲面部が形成されているので、ユニオンナットがチューブを押圧したときに、凹曲面部の底部分にチューブが接触しにくくなる。これにより、膨出部の先細り部とチューブとの間で面圧が発生する軸方向の範囲は従来よりも狭くなるので、膨出部の先細り部とチューブとの間で発生する面圧を従来よりも高めることができる。したがって、ユニオンナットの締め付けトルクを高くしなくても、インナーリングの膨出部とチューブとの間で必要な面圧を確保することができる。その結果、流体が膨出部とチューブとの間から外部に漏洩するのを抑制することができる。
　（２）前記凹曲面部は、前記先細り部の外周面の軸方向全長にわたって形成されているのが好ましい。
　この場合、凹曲面部の膨出部の先細り部とチューブとの間で面圧が発生する軸方向の範囲をさらに狭くすることができるので、膨出部の先細り部とチューブとの間で発生する面圧をさらに高めることができる。
　（３）前記先細り部の外周面は、軸方向の断面視において前記凹曲面部よりも軸方向一方側において凸曲面状に形成された凸曲面部を有するのが好ましい。
　この場合、上記（２）の場合と比較して、先細り部における凹曲面部よりも軸方向一方側の端部の径方向の厚みを厚くすることができる。これにより、先細り部の前記端部の強度が増すので、ユニオンナットによりチューブを介して先細り部が押圧されても、先細り部の前記端部が径内側へ倒れ込むのを抑制することができる。その結果、インナーリング内の流体の流れが、膨出部の先細り部によって阻害されるのを抑制することができる。
　（４）本発明の他の観点から見た管継手は、軸方向一方側において径外側に突出して形成されるとともにチューブの先端部内に圧入される膨出部を有するインナーリングと、前記膨出部が前記チューブの先端部内に圧入された状態で前記インナーリングの軸方向他方側の端部が内周に圧入されるとともに、外周に雄ねじ部を有する継手本体と、前記雄ねじ部に締め付けられる雌ねじ部を有するとともに、前記雌ねじ部が前記雄ねじ部に締め付けられることで前記チューブの先端部を軸方向他方側へ押圧するユニオンナットと、を備え、前記膨出部は、その軸方向の途中部から軸方向一方側に向かって先細るように形成されるとともに、前記ユニオンナットの押圧により前記チューブとの間で面圧を発生させる先細り部を有し、前記先細り部の外周面の軸方向一端の直径Ｄと、前記チューブにおいて前記膨出部が圧入されても変形しない非変形部の内径ｄとが、１．０ｄ≦Ｄ≦１．４ｄの関係を満たしている。
　本発明の管継手によれば、インナーリングの膨出部における先細り部の外周面の軸方向一端の直径Ｄと、前記チューブの非変形部の内径ｄとが、Ｄ≦１．４ｄの関係を満たしているので、ユニオンナットの締め付けトルクが高くなることはない。また、先細り部の外周面の軸方向一端の直径Ｄと、前記チューブの非変形部の内径ｄとが、１．０ｄ≦Ｄの関係を満たしているので、ユニオンナットの締め付けトルクを高くしなくても、インナーリングの膨出部とチューブとの間で必要な面圧を確保することができる。その結果、流体が膨出部とチューブとの間から外部に漏洩するのを抑制することができる。
　本発明によれば、ユニオンナットの締め付けトルクを高くしなくても、インナーリングの膨出部とチューブとの間で必要な面圧を確保することができる。
本発明の第１実施形態に係る管継手の軸方向の断面図である。 前記管継手のインナーリングを示す軸方向の断面図である。 前記インナーリングの膨出部を示す図２の要部拡大断面図である。 前記膨出部の先細り部とチューブとの接触状態を示す断面図である。 前記膨出部の先細り部が径内側へ倒れ込んだ状態を示す断面図である。 本発明の第２実施形態に係る管継手におけるインナーリングの膨出部を示す軸方向の拡大断面図である。 第２実施形態における膨出部の先細り部とチューブとの接触状態を示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る管継手におけるインナーリングの膨出部付近を示す軸方向の拡大断面図である。 第３実施形態におけるインナーリングの膨出部の変形例を示す軸方向の拡大断面図である。
　次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
［第１実施形態］
　図１は、本発明の第１実施形態に係る管継手を示す軸方向の断面図である。図１において、管継手１は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液（流体）が流れる配管経路に用いられる。管継手１は、継手本体２と、ユニオンナット３と、インナーリング４と、を備えている。以下、本実施形態では、便宜上、図１の左側を軸方向一方側といい、図１の右側を軸方向他方側という（図２～図９も同様）。
　インナーリング４は、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、又はフッ素樹脂（パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、又はポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等）の合成樹脂材料によって、円筒状に形成されている。
　インナーリング４は、円筒状に形成された本体部５と、本体部５の軸方向一方側に形成された膨出部６と、本体部５の軸方向他方側に形成されたシール部７と、を備えている。インナーリング４における本体部５、膨出部６、及びシール部７の各径内側には、流体流路４ａが形成されている。流体流路４ａは、チューブ８の内部に形成された流路８ａと、継手本体２の内部に形成された流路２ｃとを連通する。
　膨出部６は、本体部５の軸方向一方側において径外側に突出して形成されている。膨出部６は、合成樹脂製（ＰＦＡ等）のチューブ８の先端部内に圧入され、当該チューブ８の先端部を拡径する。膨出部６の詳細については後述する。シール部７は、環状の一次シール部７ａと、円筒状の二次シール部７ｂと、を有している。
　一次シール部７ａは、本体部５の軸方向他端部の径内側から軸方向他方側に突出して形成されている。一次シール部７ａの外周面は、軸方向一端から軸方向他端へ向かって漸次縮径して形成されている。一次シール部７ａは、継手本体２の一次シール溝２ｄ（後述）に圧入される。二次シール部７ｂは、本体部５の軸方向他端部の径外側から軸方向他方側に突出して形成されている。二次シール部７ｂは、継手本体２の二次シール溝２ｅ（後述）に圧入される。
　継手本体２は、例えば、ＰＶＣ、ＰＰ、ＰＥ又はフッ素樹脂（ＰＦＡやＰＴＦＥ等）の合成樹脂材料によって円筒状に形成されている。継手本体２の内径は、薬液の移動を妨げないように、インナーリング４の内径と略同一寸法に設定されている。継手本体２の軸方向一端部には、受口部２ａが形成されている。受口部２ａの内周には、チューブ８の先端部内に膨出部６が圧入されたインナーリング４のシール部７（軸方向他方側の端部）が圧入されている。これにより、継手本体２の軸方向一端部は、チューブ８の先端部の外周に装着されている。受口部２ａの外周には、雄ねじ部２ｂが形成されている。
　継手本体２は、受口部２ａよりも径内側に形成された、環状の一次シール溝２ｄ及び環状の二次シール溝２ｅを有している。一次シール溝２ｄは、継手本体２の径内側において、軸方向一端から軸方向他端へ向かって漸次縮径するように切り欠かれたテーパ形状とされている。二次シール溝２ｅは、継手本体２において一次シール溝２ｄよりも径外側に形成されている。
　ユニオンナット３は、例えば、ＰＶＣ、ＰＰ、ＰＥ又はフッ素樹脂（ＰＦＡやＰＴＦＥ等）の合成樹脂材料によって円筒状に形成されている。ユニオンナット３は、軸方向他方側の内周に形成された雌ねじ部３ａと、軸方向一方側において径内側に突出して形成された押圧部３ｂと、を有している。
　ユニオンナット３の雌ねじ部３ａは、継手本体２の雄ねじ部２ｂに締め付けられている。その締め付けによって、ユニオンナット３は継手本体２に装着されるとともに、押圧部３ｂの軸方向他端部に形成された角部３ｃは、インナーリング４の膨出部６により拡径されたチューブ８の拡径部８ｂを軸方向他方側へ押圧する。なお、本実施形態では、押圧部３ｂにおけるチューブ８を押圧する部分は、角部３ｃに限定されるものではない。例えば、押圧部３ｂの軸方向他端部において角部３ｃの替わりに面取り部を形成し、その面取り部によりチューブ８を押圧してもよい。
　以上の構成により、ユニオンナット３の雌ねじ部３ａを継手本体２の雄ねじ部２ｂに締め付けると、インナーリング４の一次シール部７ａ及び二次シール部７ｂは、それぞれ継手本体２の一次シール溝２ｄ及び二次シール溝２ｅに圧入される。これにより、インナーリング４と継手本体２との接続部分のシール性能を確保することができる。また、ユニオンナット３の角部３ｃがチューブ８の拡径部８ｂを軸方向他方側へ押圧することで、チューブ８の抜け出しを防止することができる。
　図２は、インナーリング４を示す軸方向の断面図である。図１及び図２において、インナーリング４の膨出部６は、その径方向の厚みが最大となる最大厚み部１１と、最大厚み部１１の軸方向他方側に形成された基端部１２と、最大厚み部１１の軸方向一方側に形成された先細り部１３と、を有している。
　最大厚み部１１は、軸方向の所定長さにわたって形成されている。基端部１２の外周面は、最大厚み部１１の軸方向他端から軸方向他方側へ向かって徐々に縮径するように形成されている。これにより、基端部１２は、最大厚み部１１の軸方向他端から軸方向他方側へ向かって、径方向の厚みが徐々に薄くなるように形成されている。基端部１２の軸方向他端は、本体部５に接続されている。なお、図２の断面視において、基端部１２の外周面は、平面状に傾斜しているが、曲面状に傾斜していてもよい。
　先細り部１３の内周面１４は、軸方向他方側から軸方向一端に向かって徐々に拡径するように形成されている。先細り部１３の外周面１５は、最大厚み部１１の軸方向一端から軸方向一方側へ向かって徐々に縮径するように形成されている。これにより、先細り部１３は、膨出部６の軸方向の途中部から軸方向一方側へ向かって径方向の厚みが徐々に薄くなるように、つまり先細るように形成されている。先細り部１３の外周面１５とチューブ８の拡径部８ｂの内周面との間では、ユニオンナット３の角部３ｃにより拡径部８ｂが押圧されることで、面圧が発生するようになっている。
　図３は、インナーリング４の膨出部６を示す図２の要部拡大断面図である。膨出部６の先細り部１３の外周面１５は、径方向内側に窪むように凹曲面状に形成された凹曲面部１５ａを有している。凹曲面部１５ａは、例えば凹円弧状に形成されている。本実施形態の凹曲面部１５ａは、先細り部１３の外周面１５の軸方向全長にわたって形成されている。
　以上のように、インナーリング４の膨出部６における先細り部１３の外周面１５に凹曲面部１５ａが形成されているので、図４に示すようにチューブ８の拡径部８ｂがユニオンナット３（図示省略）により軸方向他方側へ押圧されたときに、凹曲面部１５ａの底部分１５ａ１にチューブ８の内周面が接触しにくくなる。これにより、膨出部６の先細り部１３とチューブ８との間で面圧が発生する軸方向の範囲は従来よりも狭くなるので、膨出部６の先細り部１３とチューブ８との間で発生する面圧を従来よりも高めることができる。したがって、ユニオンナット３の締め付けトルクを高くしなくても、インナーリング４の膨出部６とチューブ８との間で必要な面圧を確保することができる。その結果、インナーリング４の流体流路４ａを流れる薬液が、膨出部６とチューブ８との間から外部に漏洩するのを抑制することができる。
　また、凹曲面部１５ａは、先細り部１３の外周面１５の軸方向全長にわたって形成されているので、凹曲面部１５ａが先細り部１３の外周面１５の軸方向の一部だけに形成されている場合と比較して、膨出部６の先細り部１３とチューブ８との間で面圧が発生する軸方向の範囲をさらに狭くすることができる。これにより、膨出部６の先細り部１３とチューブ８との間で発生する面圧をさらに高めることができる。
　ところで、本実施形態では、先細り部１３の先端部（軸方向一端部）における径方向の厚みが薄いので、ユニオンナット３によりチューブ８を介して先細り部１３が押圧されたときに、図５に示すように、先細り部１３の先端部が径内側（流体流路４ａ側）へ倒れ込み易く、チューブ８と内周面１４とが面一とならない。このように先細り部１３の先端部が倒れ込むと、インナーリング４の流体流路４ａにおける薬液の流れが、先細り部１３の先端部によって阻害されるおそれがある。そこで、後述する第２実施形態では、先細り部１３の先端部の倒れ込みを抑制する構成を備えている。
［第２実施形態］
　図６は、本発明の第２実施形態に係る管継手１におけるインナーリング４の膨出部６を示す軸方向の拡大断面図である。第２実施形態では、膨出部６の先細り部１３の外周面１５の形状が第１実施形態と相違する。以下、その相違点について説明する。
　膨出部６の先細り部１３の外周面１５は、径方向内側に窪むように凹曲面状に形成された凹曲面部１５ａと、凹曲面部１５ａよりも軸方向一方側において径方向外側に突出するように凸曲面状に形成された凸曲面部１５ｂと、を有している。凹曲面部１５ａは、例えば凹円弧状に形成されている。凸曲面部１５ｂは、例えば凸円弧状に形成されている。
　凹曲面部１５ａは、外周面１５の軸方向他端から軸方向一方側の途中部までの間に形成されている。凸曲面部１５ｂは、外周面１５の前記途中部から軸方向一端までの間に形成されている。これにより、先細り部１３の外周面１５には、凹曲面部１５ａと凸曲面部１５ｂとが軸方向に連続して形成され、凸曲面部１５ｂは、先細り部１３の先端部に形成されている。第２実施形態の他の構成は、第１実施形態と同様であるため、同一の符号を付し、その説明を省略する。
　以上、第２実施形態の管継手１においても、インナーリング４の膨出部６における先細り部１３の外周面１５に凹曲面部１５ａが形成されているので、図７に示すようにチューブ８の拡径部８ｂがユニオンナット３（図示省略）により軸方向他方側へ押圧されたときに、凹曲面部１５ａの底部分１５ａ１にチューブ８の内周面が接触しにくくなる。これにより、膨出部６の先細り部１３とチューブ８との間で面圧が発生する軸方向の範囲は従来よりも狭くなるので、膨出部６の先細り部１３とチューブ８との間で発生する面圧を従来よりも高めることができる。したがって、ユニオンナット３の締め付けトルクを高くしなくても、インナーリング４の膨出部６とチューブ８との間で必要な面圧を確保することができる。その結果、インナーリング４の流体流路４ａを流れる薬液が、膨出部６とチューブ８との間から外部に漏洩するのを抑制することができる。
　また、先細り部１３の外周面１５には、凹曲面部１５ａよりも軸方向一方側に凸曲面部１５ｂが形成されているので、第１実施形態と比較して、先細り部１３の先端部における径方向の厚みを厚くすることができる。これにより、先細り部１３の先端部の強度が増すので、ユニオンナット３によりチューブ８を介して先細り部１３が押圧されても、第１実施形態（図５参照）のように先細り部１３の先端部が径内側へ大きく倒れ込むのを抑制することができる。その結果、インナーリング４の流体流路４ａにおける薬液の流れが、膨出部６の先細り部１３によって阻害されるのを抑制することができる。
［第３実施形態］
　図８は、本発明の本発明の第３実施形態に係る管継手１におけるインナーリング４の膨出部６付近を示す軸方向の拡大断面図である。第３実施形態では、膨出部６の先細り部１３の形状が第１実施形態と相違する。以下、その相違点について説明する。
　膨出部６の先細り部１３は、第１実施形態における膨出部６の先細り部１３よりも軸方向に短く形成されている。先細り部１３の軸方向一端には、径方向に延びる平坦面１６が形成されている。平坦面１６は、先細り部１３の外周面１５の軸方向一端１５ｃから径内側に延び、先細り部１３の内周面１４の軸方向一端に接続されている。
　先細り部１３の外周面１５は、その軸方向全長にわたって凸曲面状（例えば凸円弧状）に形成されている。先細り部１３の外周面１５の軸方向一端１５ｃの直径Ｄ、及びチューブ８の非変形部８ｃの内径ｄは、１．０ｄ≦Ｄ≦１．４ｄの関係を満たすように設定されている。非変形部８ｃは、チューブ８において、インナーリング４の膨出部６がチューブ８の先端部内に圧入されても変形しない部分である。
　Ｄ≦１．４ｄとしたのは、軸方向一端１５ｃの直径Ｄが１．４ｄを上回ると、ユニオンナット３の角部３ｃにより軸方向に生じる押圧力が平坦面１６全体に生じることで、ユニオンナット３の締め付けトルクが高くなるからである。１．０ｄ≦Ｄとしたのは、軸方向一端１５ｃの直径Ｄが１．０ｄを下回ると、膨出部６の先細り部１３とチューブ８との間で面圧が発生する軸方向の範囲が長くなり、膨出部６とチューブ８との間で必要な面圧を確保することができなくなるからである。第３実施形態の他の構成は、第１実施形態と同様であるため、同一の符号を付し、その説明を省略する。
　なお、先細り部１３の軸方向一端には平坦面１６が形成されているが、平坦面以外の形状（例えばテーパ面等）が形成されていてもよい。
　また、先細り部１３の外周面１５の形状は、凸曲面状に限定されるものではなく、例えば図９に示すように平面状に形成されていてもよい。
　以上、第３実施形態の管継手１によれば、インナーリング４の膨出部６における先細り部１３の外周面１５の軸方向一端１５ｃの直径Ｄと、チューブ８の非変形部８ｃの内径ｄとが、Ｄ≦１．４ｄの関係を満たしているので、ユニオンナット３の締め付けトルクが高くなることはない。また、先細り部１３の外周面の軸方向一端１５ｃの直径Ｄと、チューブ８の非変形部８ｃの内径ｄとが、１．０ｄ≦Ｄの関係を満たしているので、ユニオンナット３の締め付けトルクを高くしなくても、インナーリング４の膨出部６とチューブ８との間で必要な面圧を確保することができる。その結果、インナーリング４の流体流路４ａを流れる薬液が、膨出部６とチューブ８との間から外部に漏洩するのを抑制することができる。
［その他］
　本発明の管継手は、半導体製造装置以外に、液晶・有機ＥＬ分野、医療・医薬分野、または自動車関連分野などにおいても適用することができる。
　今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
　１　管継手
　２　継手本体
　２ｂ　雄ねじ部
　３　ユニオンナット
　３ａ　雌ねじ部
　３ｃ　角部
　４　インナーリング
　６　膨出部
　８　チューブ
　８ｃ　非変形部
　１３　先細り部
　１５　外周面
　１５ａ　凹曲面部
　１５ｂ　凸曲面部
　１５ｃ　軸方向一端

Claims (4)

  1. 　軸方向一方側において径外側に突出して形成されるとともにチューブの先端部内に圧入される膨出部を有するインナーリングと、
    　前記膨出部が前記チューブの先端部内に圧入された状態で前記インナーリングの軸方向他方側の端部が内周に圧入されるとともに、外周に雄ねじ部を有する継手本体と、
    　前記雄ねじ部に締め付けられる雌ねじ部を有するとともに、前記雌ねじ部が前記雄ねじ部に締め付けられることで前記チューブの先端部を軸方向他方側へ押圧するユニオンナットと、を備え、
    　前記膨出部は、その軸方向の途中部から軸方向一方側に向かって先細るように形成されるとともに、前記ユニオンナットの押圧により前記チューブとの間で面圧を発生させる先細り部を有し、
    　前記先細り部の外周面は、軸方向の断面視において凹曲面状に形成された凹曲面部を有する、管継手。
  2. 　前記凹曲面部は、前記先細り部の外周面の軸方向全長にわたって形成されている、請求項１に記載の管継手。
  3. 　前記先細り部の外周面は、軸方向の断面視において前記凹曲面部よりも軸方向一方側において凸曲面状に形成された凸曲面部を有する、請求項１に記載の管継手。
  4. 　軸方向一方側において径外側に突出して形成されるとともにチューブの先端部内に圧入される膨出部を有するインナーリングと、
    　前記膨出部が前記チューブの先端部内に圧入された状態で前記インナーリングの軸方向他方側の端部が内周に圧入されるとともに、外周に雄ねじ部を有する継手本体と、
    　前記雄ねじ部に締め付けられる雌ねじ部を有するとともに、前記雌ねじ部が前記雄ねじ部に締め付けられることで前記チューブの先端部を軸方向他方側へ押圧するユニオンナットと、を備え、
    　前記膨出部は、その軸方向の途中部から軸方向一方側に向かって先細るように形成されるとともに、前記ユニオンナットの押圧により前記チューブとの間で面圧を発生させる先細り部を有し、
    　前記先細り部の外周面の軸方向一端の直径Ｄと、前記チューブにおいて前記膨出部が圧入されても変形しない非変形部の内径ｄとが、１．０ｄ≦Ｄ≦１．４ｄの関係を満たしている、管継手。
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