WO2022024240A1 - 搬送装置およびスライダの位置検出装置 - Google Patents

搬送装置およびスライダの位置検出装置 Download PDF

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WO2022024240A1
WO2022024240A1 PCT/JP2020/028982 JP2020028982W WO2022024240A1 WO 2022024240 A1 WO2022024240 A1 WO 2022024240A1 JP 2020028982 W JP2020028982 W JP 2020028982W WO 2022024240 A1 WO2022024240 A1 WO 2022024240A1
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tracks
magnetism
magnetic
track
slider
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PCT/JP2020/028982
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English (en)
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俊介 青木
好典 林
秀明 古宇田
Original Assignee
ヤマハ発動機株式会社
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Priority to JP2022539851A priority patent/JP7447274B2/ja
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • G01D5/2451—Incremental encoders
    • G01D5/2452—Incremental encoders incorporating two or more tracks having an (n, n+1, ...) relationship

Definitions

  • the present invention relates to a transfer device and a position detection device for a slider, and more particularly to a transfer device provided with a slider and a position detection device for the slider to be transported.
  • a position detection device for a slider to be transported is known.
  • Such position detection is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2019-160991.
  • a slider that moves along a predetermined direction is provided so as to extend along a predetermined direction, and a magnetic scale for detecting the position of the slider and a slider are specified.
  • a position detection device sliding position detection device
  • the magnetic scale includes a plurality (six) tracks arranged in parallel, and each of the plurality of tracks is magnetized along a predetermined direction by the magnetizing device. The information is magnetized.
  • the magnetic information is not stable near both ends of the track of the magnetic scale (there is magnetic disturbance and is not stable), so that the magnetic scale is not stable. It is known that the information accuracy of the magnetic information near both ends of the is not high. Therefore, in the conventional position detection device as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2019-160991, the position of the slider is set due to the fact that the information accuracy near both ends of the magnetic scale is not high. It may not be possible to detect it accurately. Therefore, a transport device and a slider position detection device capable of accurately detecting the position of the slider are desired.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and one object of the present invention is to provide a transport device and a slider position detection device capable of accurately detecting the position of a slider. It is to be.
  • the transfer device is provided on the slider, a transfer unit for moving the slider along a predetermined direction, and the slider so as to extend along a predetermined direction.
  • a magnetic scale for detecting the position of the slider, and a magnetic sensor provided in the transport section for detecting the magnetism of the magnetic scale, and the magnetic scales are arranged in parallel along a direction orthogonal to a predetermined direction.
  • the magnetizing start position and magnetizing end position of some of the multiple tracks, including the multiple tracks that have been used, are the end of the track rather than the magnetizing start position and magnetization end position of other tracks. They are staggered to the other side.
  • the magnetizing start position and the magnetizing end position of some of the plurality of trucks are set to the magnetizing start position and the magnetizing end position of the other trucks. Place it on the opposite side of the track from the position.
  • the magnetic sensor does not detect all the magnetism of a plurality of tracks of the magnetic scale, it can be determined that it is near the end of the magnetic scale, so that the information accuracy is near the end of the magnetic scale. It is possible to detect magnetic information that is not high (magnetically disturbed and unstable) and suppress its use for detecting the position of the slider.
  • the magnetic sensor detects all the magnetism of multiple tracks on the magnetic scale
  • the magnetic information of the other tracks except for some tracks is magnetically stable, so that the magnetic information of the other tracks Can be used to determine whether or not the magnetic information of some tracks is at a position where it is magnetically stable. This makes it possible to accurately determine the timing at which the position detection of the slider is started. As a result, the position of the slider can be detected with high accuracy.
  • the plurality of tracks are arranged outside the magnetically stable region where the magnetic information is magnetically stable and both ends of the magnetically stable region, and the magnetic information is magnetically arranged.
  • Each of the unstable magnetically unstable regions includes, and the magnetizing start position and the magnetizing end position of some of the multiple tracks are at the end of the track rather than the magnetically unstable regions of other tracks. It is arranged so as to be offset to the opposite side.
  • the plurality of tracks are configured so that the magnetism changes periodically, and the magnetizing start position and the magnetizing end position of some of the plurality of tracks are set to other tracks. It is arranged so as to be offset from the magnetizing start position and the magnetizing end position to the side opposite to the end of the track by one cycle or more.
  • the magnetic information is magnetically stable at a position shifted to the side opposite to the end of the truck by one cycle or more from the start or end of magnetization, so that it is opposite to the end of the truck.
  • a plurality of magnetic sensors are arranged along a predetermined direction, from the magnetism start position to the magnetism end position of some of the plurality of tracks.
  • the distance is greater than the distance between adjacent magnetic sensors.
  • the magnetism start position and the magnetism end position of one of the plurality of trucks are the magnetism start position and the magnetism start position of the other plurality of trucks among the plurality of trucks. It is arranged so as to be offset from the end of magnetism to the side opposite to the end of the track. With this configuration, it is possible to minimize the number of tracks in which the magnetizing start position and the magnetizing end position are shifted to the opposite side of the end of the track, so that the position close to the end of the magnetic scale can be minimized. The number of other multiple tracks for which magnetic information is stable can be increased.
  • the magnetic scale includes an identification track having identification information for distinguishing a plurality of sliders and a position track for identifying the position of the sliders, and is magnetized. Some tracks whose start position and magnetization end position are offset from the end of the track are included in the identification track.
  • the magnetic scale includes a first track in which predetermined magnetic information is periodically and repeatedly recorded, and a second track in which the periodic information of the first track is recorded.
  • the magnetism start position and magnetism end position of the second track are arranged so as to be offset from the magnetism start position and magnetism end position of the first track to the side opposite to the end of the track.
  • a control unit for acquiring the position of the slider based on the detection result of the magnetic sensor is further provided, and a plurality of magnetic sensors are arranged along a predetermined direction.
  • the control unit detects the magnetism of the magnetic scale by one of the magnetic sensors and acquires the position of the slider, the magnetic information of all the tracks among the multiple tracks of the magnetic scale is magnetically stable.
  • the control to acquire the position of the slider is started based on the detection result of the other magnetic sensor.
  • control unit is configured to determine whether or not the magnetic information of the track of the magnetic scale is in the magnetically stable region based on the presence or absence of detection of magnetism by the magnetic sensor. Has been done. With this configuration, it is possible to determine whether or not magnetism is detected even when the magnetic information is not stable, so it is possible to accurately determine whether or not the track of the magnetic scale is in the magnetically stable region.
  • the control unit preferably controls all of the tracks among the plurality of tracks.
  • the other track among the plurality of tracks is configured to be determined to be in the magnetically stable region.
  • the control unit preferably has a control unit for other tracks among a plurality of tracks.
  • a magnetically stable region it is configured to determine whether or not a part of the plurality of tracks is in the magnetically stable region based on the magnetic information of other tracks.
  • the slider position detecting device is provided on the slider moving along a predetermined direction so as to extend along the predetermined direction, and the position of the slider is determined. It comprises a magnetic scale for detection and a magnetic sensor provided in a transport section that moves a slider along a predetermined direction to detect the magnetism of the magnetic scale, and the magnetic scale is oriented in a direction orthogonal to a predetermined direction.
  • the magnetism start position and magnetism end position of some of the multiple tracks, including multiple tracks arranged in parallel along the track, are more track than the magnetism start position and magnetism end position of other tracks. It is arranged so as to be offset from the end of the magnet.
  • the magnetizing start position and the magnetizing end position of some of the plurality of tracks are set to the magnetizing start position and the magnetism end position of the other track. Place it on the side opposite to the end of the track from the magnetization end position.
  • the magnetic sensor does not detect all the magnetism of the plurality of tracks of the magnetic scale, it can be determined that it is near the end of the magnetic scale, so that the information accuracy is near the end of the magnetic scale. It is possible to detect magnetic information that is not high (unstable) and suppress its use for detecting the position of the slider.
  • the magnetic sensor detects all the magnetism of multiple tracks on the magnetic scale
  • the magnetic information of the other tracks except for some tracks is magnetically stable, so that the magnetic information of the other tracks Can be used to determine whether or not the magnetic information of some tracks is at a position where it is magnetically stable.
  • This makes it possible to accurately determine the timing at which the position detection of the slider is started.
  • it is possible to provide a slider position detection device capable of accurately detecting the position of the slider.
  • the position of the slider can be detected with high accuracy.
  • the transport device 100 is configured to transport the object to be transported mounted on the slider 30 along the transport units 1 and 2. Further, the object to be conveyed to be conveyed by the transfer device 100 is operated at a plurality of transfer positions. The object to be transported is operated by a robot or a worker.
  • the transfer device 100 includes a transfer unit 1, a transfer unit 2, a transfer transfer unit 3, a transfer transfer unit 4, and a slider 30. Further, the transport device 100 includes a control unit 40.
  • the transport unit 1 includes a plurality of transport modules 10.
  • the transport unit 2 includes a plurality of transport modules 10.
  • the plurality of transport modules 10 are connected in series with each other to form a transport path for the slider 30.
  • the slider 30 is conveyed in the X direction through the transfer units 1 and 2, and is conveyed in the Y direction from the transfer unit 1 (2) to the transfer unit 2 (1) by the transfer transfer units 3 and 4. That is, the slider 30 is transported in the order of the transfer unit 1, the transfer transfer unit 3, the transfer unit 2, and the transfer transfer unit 4, and is used by circulating the slider 30.
  • the transport module 10 includes a linear motor stator 11, a magnetic sensor 12, a guide rail 13, and a cover 14.
  • the transfer transfer units 3 and 4 include a transfer mechanism 20 that conveys the slider 30 in the X direction and a movement mechanism that moves the transfer mechanism 20 in the Y direction.
  • the transport mechanism 20 has a linear motor stator 11 and a magnetic sensor 12.
  • the moving mechanism has a guide rail and a ball screw mechanism.
  • the slider 30 includes a slider main body 31, a linear motor mover 32, a guide block 33, and a magnetic scale 34.
  • a plurality of sliders 30 are provided. Further, the plurality of sliders 30 are configured to move independently on the transport units 1, 2, and the transfer transport units 3 and 4, respectively.
  • the transport units 1 and 2 are configured to move the slider 30 along a predetermined direction (X direction). Further, the transport portions 1 and 2 are provided substantially in parallel.
  • the transport unit 1 transports the slider 30 in the X2 direction, and the transport unit 2 transports the slider 30 in the X1 direction.
  • the transport units 1 and 2 are fixedly provided on the gantry. That is, the linear motor stator 11 and the guide rail 13 of the transport portions 1 and 2 are fixedly provided.
  • the transfer transfer unit 3 is arranged at a position adjacent to the transfer units 1 and 2 on the X2 direction side. Further, the transfer transfer unit 4 is arranged at a position adjacent to the transfer unit 1 and 2 on the X1 direction side.
  • the linear motor stator 11 includes an electromagnet, and the slider 30 is moved by supplying driving power (current) to the electromagnet.
  • the linear motor stator 11 is arranged along the transport direction (X direction). Further, as shown in FIG. 2, the electromagnet of the linear motor stator 11 is arranged so that the core extends along the Y direction.
  • the magnetic sensor 12 is provided in the transport units 1 and 2. Further, the magnetic sensor 12 is configured to detect the magnetism of the magnetic scale 34. Specifically, the magnetic sensor 12 is provided so as to face the magnetic scale 34 provided on the slider 30 in the Y direction. The magnetic sensor 12 is configured to detect the magnetism of the magnetic scale 34 and detect the position of the slider 30. The position of the slider 30 detected by the magnetic sensor 12 is used for feedback control of the movement of the slider 30.
  • a plurality of magnetic sensors 12 are arranged at intervals along the transport direction (X direction). Further, the magnetic sensor 12 is configured to transmit a signal corresponding to the detected magnetism to the control unit 40.
  • the guide rail 13 is arranged so as to extend along the transport direction (X direction) of the slider 30.
  • a pair of guide rails 13 are provided in parallel along the Y direction.
  • the guide rail 13 is arranged so that the slider 30 can be transferred between the transport modules 10 adjacent to each other in the X direction.
  • the guide block 33 of the slider 30 is movably engaged with the guide rail 13 in the X direction.
  • the cover 14 is provided so as to cover above the linear motor stator 11, the magnetic sensor 12, and the guide rail 13. That is, the cover 14 is provided so that the upper portions of the linear motor stator 11, the magnetic sensor 12, and the guide rail 13 are not exposed even when the slider 30 is not provided.
  • the slider main body 31 is configured so that an object to be transported is placed on it. Further, the slider main body 31 is provided so as to surround the covers 14 of the transport portions 1 and 2 when viewed from the transport direction (X direction). A linear motor mover 32, a guide block 33, and a magnetic scale 34 are attached to the slider main body 31.
  • the linear motor mover 32 is provided so as to sandwich the linear motor stator 11 in the Y direction.
  • the linear motor mover 32 includes a plurality of permanent magnets arranged along the transport direction (X direction).
  • the guide block 33 is provided so as to be movable along the guide rail 13.
  • the guide block 33 has a plurality of balls that move and circulate along the moving direction.
  • the magnetic scale 34 is provided on the slider 30 so as to extend along a predetermined direction (X direction). Further, the magnetic scale 34 is provided to detect the position (transport position) of the slider 30. Further, the magnetic scale 34 is magnetized in a predetermined pattern along the transport direction (X direction). Further, as shown in FIG. 5, the position detecting device 200 includes a magnetic scale 34 and a magnetic sensor 12 for detecting the magnetism of the magnetic scale 34.
  • the position detection device 200 is an example of the "slider position detection device" in the claims.
  • the magnetic scale 34 is formed by magnetizing the scale material according to a predetermined pattern.
  • the scale material is formed of a magnet material (eg, metal magnet, plastic magnet, rubber magnet, etc.).
  • the scale material is formed of the same material and quality as a whole, and the presence or absence of a magnetic field, the width of the period, and the strength of the magnetic field are controlled by magnetism. Further, magnetism to the scale material is performed in a state of being assembled to a rigid back plate.
  • the magnetic scales 34 have a plurality of tracks 34a, 34b, arranged in parallel along a direction (Z direction) orthogonal to a predetermined direction (X direction). Includes 34c, 34d, 34e and 34f. Further, among the plurality of tracks 34a to 34f, the magnetism start position P2 and the magnetism end position P3 of some of the tracks 34a are more tracks than the magnetism start positions P1 and the magnetism end positions P4 of the other tracks 34b to 34f. It is offset to the opposite side of the end of the track (shifted to the center of the track).
  • the magnetism start position P2 is arranged so as to be offset from the magnetism start position P1 in the X2 direction. Further, the magnetism end position P3 is arranged so as to be offset from the magnetism end position P4 in the X1 direction.
  • the plurality of tracks 34a to 34f are arranged outside the magnetically stable region 341 where the magnetic information is stable and both ends of the magnetically stable region 341, and the magnetic information is magnetic. Includes an unstable magnetically unstable region 342, respectively. That is, magnetic disturbance occurs in the vicinity of the magnetized end portion (magnetically unstable region 342). Therefore, the phase difference is not constant between the plurality of tracks.
  • each of the plurality of tracks 34a to 34f is configured so that the magnetism changes periodically.
  • the magnetic scale 34 includes identification tracks (tracks 34a to 34c) having identification information for distinguishing a plurality of sliders 30, and position tracks (34d to 34f) for specifying the position of the slider 30. I'm out. That is, by detecting the magnetic information of the tracks 34a to 34c, it is possible to specify which of the plurality of sliders 30 is the slider 30. Further, by acquiring the magnetic information of the tracks 34d to 34f, it is possible to specify where the specified slider 30 is located with respect to the magnetic sensor 12.
  • the identification track has a magnetic period showing a constant phase difference between the vernier track 34c and the segment track 34a at different periods (pitch) based on the master track 34b. It is configured as follows.
  • the magnetic scale 34 includes tracks 34b and 34c in which predetermined magnetic information is periodically and repeatedly recorded, and tracks 34a in which periodic information of the tracks 34b and 34c is recorded. That is, predetermined magnetic information is periodically and repeatedly recorded in the master track 34b and the nonius track 34c. Further, the track 34a of the segment is recorded with information specifying which period the tracks 34b and 34c are in.
  • the magnetism start position P2 and the magnetism end position P3 of some of the tracks 34a to 34f among the plurality of tracks 34a to 34f are the other tracks 34b to 34f. It is arranged so as to be offset from the magnetically unstable region 342 on the side opposite to the end of the track. Specifically, the magnetically unstable region 342 exists only at a distance of D1 from the end portion. Further, the inside of the magnetically unstable region 342 is the magnetically stable region 341.
  • the magnetism start position P2 and the magnetism end position P3 of the track 34a are arranged inside the magnetism start position P1 and the magnetism end position P4 of the tracks 34b to 34f by a distance of D2 (> D1).
  • the position (coordinates by the tracks 34d to 34f (position track)) for identifying and determining the position of the slider 30 is set on the assumption that the detection is delayed by a maximum of 1/4 cycle in advance. Has been done. This makes it possible to suppress variations in the determination timing for each scale.
  • the magnetism start position P2 and the magnetism end position P3 of some of the tracks 34a to 34f among the plurality of tracks 34a to 34f are higher than the magnetism start position P1 and the magnetism end position P4 of the other tracks 34b to 34f.
  • the trucks are arranged so as to be offset from the end of the truck for one cycle or more. That is, the distance D2 between the magnetism start positions P1 and P2 (magnetism end positions P3 and P4) is larger than one cycle of the longest cycle among the tracks 34b to 34f.
  • the part of the period for one wavelength (one cycle) at the end is under an environment different from the part of the other period (inner cycle). Be placed. That is, the inner period is affected by the magnetic influence of the adjacent period and exhibits a predetermined magnetic characteristic. However, in one cycle at the end, there is no magnetic cycle on the outside, so the balance is different from the cycle on the inside. Therefore, even if the same magnetism is performed due to the magnetism setting, the magnetic field distribution will be slightly different.
  • the distance from the magnetizing start position P2 to the magnetizing end position P3 of some of the tracks 34a to 34f among the plurality of tracks 34a to 34f is larger than the distance of the adjacent magnetic sensors 12.
  • all the magnetisms of the tracks 34a to 34f can be detected while any of the adjacent magnetic sensors 12 is in the control state, and the control unit 40 can start the control.
  • the slider 30 moves by connecting a plurality of magnetic sensors 12, it is possible to accurately detect the position at all the positions of the slider 30. In addition, the slider 30 does not fall into an uncontrolled state.
  • the next magnetic sensor 12 moves the magnetism of the track 34a while the slider 30 is in a state of feedback control based on the detection result of the previous magnetic sensor 12.
  • the stable region 341 it is possible to take over the control between the plurality of magnetic sensors 12 while the feedback control is being performed and within the magnetically stable region 341.
  • the magnetism start position P2 and the magnetism end position P3 of one track 34a among the plurality of tracks 34a to 34f are the magnetism start positions of the other plurality of tracks 34b to 34f among the plurality of tracks 34a to 34f. It is arranged so as to be offset from P1 and the magnetism end position P4 on the side opposite to the end of the track. That is, only one track 34a is shortened.
  • the control unit 40 is configured to control each unit of the transport device 100.
  • the control unit 40 controls the electric power supplied to the linear motor stator 11 to control the movement of the slider 30. Further, the control unit 40 controls the drive of the movement mechanism 21 of the transfer transfer units 3 and 4, and controls the movement of the transfer mechanism 20.
  • the control unit 40 includes a CPU (Central Processing Unit), a memory, and the like.
  • control unit 40 is configured to acquire the position of the slider 30 based on the detection result of the magnetic sensor 12. Further, when the control unit 40 detects the magnetism of the magnetic scale by one of the magnetic sensors 12 and acquires the position of the slider 30, the magnetism of all the tracks among the plurality of tracks 34a to 34f of the magnetic scale 34. When the magnetism of the magnetically stable region 341 with stable information is detected by the other magnetic sensor 12 adjacent to one magnetic sensor 12, the position of the slider 30 is acquired based on the detection result of the other magnetic sensor 12. It is configured to start control.
  • control unit 40 determines whether or not the magnetic information of the tracks 34a to 34f of the magnetic scale 34 is in the stable magnetically stable region 341 based on the presence or absence of detection of magnetism by the magnetic sensor 12. It is configured as follows.
  • control unit 40 detects the magnetism of all the tracks among the plurality of tracks 34a to 34f, the control unit 40 determines that the other tracks 34b to 34f among the plurality of tracks 34a to 34f are in the magnetically stable region 341. It is configured to do.
  • control unit 40 may use the plurality of tracks 34a to 34f based on the magnetic information of the other tracks 34b to 34f. It is configured to determine whether or not some of the tracks 34a of the 34f are in the magnetically stable region 341.
  • step S1 of FIG. 7 the control unit 40 determines whether or not the magnetism of the five tracks 34b to 34f is detected by the magnetic sensor 12 at the transit destination. The determination in step S1 is repeated until the magnetism of the five tracks 34b to 34f is detected.
  • step S2 the control unit 40 determines whether or not the magnetism of all the tracks 34a to 34f is detected. That is, it is determined whether or not the magnetism of the track 34a of the segment of the identification track is further detected in addition to the detected tracks 34b to 34f. The determination in step S2 is repeated until the magnetism of all the tracks 34a to 34f is detected.
  • step S3 When the magnetism of all the tracks 34a to 34f is detected, whether or not the position of the magnetic scale 34 (slider 30) has moved within a predetermined range based on the position track (tracks 34d to 34f) in step S3. Judged. That is, based on the magnetic information of the position tracks (tracks 34d to 34f), it is determined whether or not the short track 34a is also in the magnetically stable region. The determination in step S3 is repeated until the position of the magnetic scale 34 (slider 30) is moved within a predetermined range.
  • step S4 When the position of the magnetic scale 34 (slider 30) is moved within a predetermined range, the magnetism of the identification track (tracks 34a to 34c) is detected in step S4, and the ID of the slider 30 is determined. Then, in step S5, the position detection of the slider 30 based on the magnetic sensor 12 after the transfer is started. In this case, the position detection of the slider 30 based on the magnetic sensor 12 before the transfer is completed. That is, the magnetic sensor 12 used for detecting the position of the slider 30 is switched. After that, the position detection start process is terminated.
  • the magnetism start position P2 and the magnetism end position P3 of some of the tracks 34a to 34f among the plurality of tracks 34a to 34f are set to the magnetism start positions P1 and the magnetism start positions P1 of the other tracks 34b to 34f.
  • the position is shifted from the magnetism end position P4 to the side opposite to the end of the track.
  • the magnetic sensor 12 detects magnetic information whose information accuracy is not high (unstable) in the vicinity of the end portion of the slider 30 and suppress its use for detecting the position of the slider 30. Further, when the magnetic sensor 12 detects all the magnetisms of the plurality of tracks 34a to 34f of the magnetic scale 34, the magnetic information of the other tracks 34b to 34f except for some tracks 34a is magnetically stable. Therefore, it is possible to determine whether or not the magnetic information of some of the tracks 34a is at a position where the magnetic information is magnetically stable by using the stable magnetic information of the other tracks 34b to 34f. This makes it possible to accurately determine the timing at which the position detection of the slider 30 is started. As a result, the position of the slider 30 can be detected with high accuracy.
  • the plurality of tracks 34a to 34f are arranged outside the magnetically stable region 341 where the magnetic information is stable and both ends of the magnetically stable region 341, and the magnetic information is magnetic.
  • It is arranged so as to be offset from the magnetically unstable region 342 on the side opposite to the end of the track.
  • the other tracks 34b to 34f are magnetic. Since it is the stable region 341, it is possible to detect magnetic information with high information accuracy from the other tracks 34b to 34f based on the detection of all of the plurality of tracks 34a to 34f. As a result, it is possible to accurately determine whether or not the magnetic information of some of the tracks 34a is at a stable position by using the stable magnetic information of the other tracks 34b to 34f.
  • the plurality of tracks 34a to 34f are configured so that their magnetism changes periodically, and some of the plurality of tracks 34a to 34f arrive at the track 34a.
  • the magnetism start position P2 and the magnetism end position P3 are arranged so as to be offset from the magnetism start position P1 and the magnetism end position P4 of the other tracks 34b to 34f to the side opposite to the end of the track by one cycle or more. ..
  • the magnetic information is stable, so the position is shifted to the opposite side to the end of the track.
  • a plurality of magnetic sensors 12 are arranged along a predetermined direction, and land from the magnetizing start position P2 of some of the tracks 34a to 34f among the plurality of tracks 34a to 34f.
  • the distance to the magnetic end position P3 is made larger than the distance of the adjacent magnetic sensor 12.
  • the magnetism start position P2 and the magnetism end position P3 of one of the plurality of tracks 34a to 34f are the other plurality of the plurality of tracks 34a to 34f.
  • the tracks 34b to 34f are arranged so as to be offset from the magnetizing start position P1 and the magnetizing end position P4 on the side opposite to the end of the track.
  • the number of other stable tracks 34b to 34f can be increased.
  • the magnetic scale 34 includes an identification track having identification information for distinguishing a plurality of sliders 30 and a position track for specifying the position of the sliders.
  • a part of the track 34a in which the magnetic start position and the magnetization end position are arranged so as to be offset from the end of the track is included in the identification track.
  • the tracks 34b and 34c in which predetermined magnetic information is periodically and repeatedly recorded and the tracks 34a in which the periodic information of the tracks 34b and 34c are recorded.
  • This makes it possible to stabilize the magnetic information of the tracks 34b and 34c, which require more information accuracy than the track 34a in order to accurately detect the position of the slider 30, at a position closer to the end of the magnetic scale 34. ..
  • a control unit 40 for acquiring the position of the slider 30 based on the detection result of the magnetic sensor 12 is provided, and the control unit 40 is magnetically scaled by one of the magnetic sensors 12.
  • the magnetometer of one of the magnetic stable regions 341 in which the magnetic information of all the tracks among the plurality of tracks 34a to 34f of the magnetic scale 34 is stable is detected.
  • the control for acquiring the position of the slider 30 is started based on the detection result of the other magnetic sensor 12.
  • the magnetic information of the tracks 34a to 34f detected by the other magnetic sensor 12 can be transferred from the one magnetic sensor 12 to the other magnetic sensor 12 in a magnetically stable state.
  • control unit 40 is set in the magnetically stable region 341 in which the magnetic information of the tracks 34a to 34f of the magnetic scale 34 is stable based on the presence or absence of detection of magnetism by the magnetic sensor 12. It is configured to determine whether or not it exists. As a result, it is possible to determine whether or not magnetism is detected even when the magnetic information is not stable, so it is possible to accurately determine whether or not the tracks 34a to 34f of the magnetic scale 34 are in the magnetically stable region 341. ..
  • the control unit 40 when the control unit 40 detects the magnetism of all the tracks among the plurality of trucks 34a to 34f, the other trucks 34b to 34f among the plurality of trucks 34a to 34f. Is configured to be determined to be the magnetically stable region 341. Thereby, it is possible to accurately determine that the other tracks 34b to 34f, which are longer than some of the tracks 34a among the plurality of tracks 34a to 34f, are in the magnetically stable region 341.
  • the control unit 40 when the other tracks 34b to 34f among the plurality of tracks 34a to 34f are in the magnetically stable region 341, the control unit 40 is magnetically connected to the other tracks 34b to 34f. Based on the information, it is configured to determine whether or not a part of the tracks 34a to 34f among the plurality of tracks 34a to 34f is in the magnetically stable region 341. As a result, based on the magnetic information of the other tracks 34b to 34f that became the magnetically stable region 341 earlier, some of the tracks 34a shorter than the other tracks 34b to 34f became the magnetically stable region 341. Can be accurately determined.
  • the magnetic scale may include a plurality of tracks other than six.
  • one of the plurality of tracks on the magnetic scale is arranged so that the magnetizing start position and the magnetizing end position are shifted to the side opposite to the end of the track as compared with the other tracks.
  • the present invention is not limited to this.
  • two or more of the plurality of tracks on the magnetic scale may be arranged so that the magnetizing start position and the magnetizing end position are shifted to the side opposite to the end of the track as compared with the other tracks.
  • three of the plurality of tracks on the magnetic scale are identification tracks for distinguishing the slider, and the remaining three tracks are position tracks for specifying the position of the slider.
  • the present invention is not limited to this. In the present invention, a plurality of identification tracks other than three may be provided, or a plurality of position tracks other than three may be provided.
  • the transport unit moves the slider by a linear motor
  • the transport unit may be configured to move the slider by a ball screw mechanism, a rotating belt mechanism, or the like.
  • the magnetic scale is shown as an example of a configuration in which the magnetic scale is arranged upright in the vertical direction, but the present invention is not limited to this. In the present invention, the magnetic scale may be laid horizontally.
  • the transport portion is configured to extend linearly, but the present invention is not limited to this.
  • the transport portion may be curved.
  • control processing by the control unit is described using a flow-driven flow in which the processing is sequentially performed along the processing flow, but the present invention is not limited to this.
  • control process by the control unit may be performed by an event-driven type (event-driven type) process in which the process is executed in event units. In this case, it may be completely event-driven, or it may be a combination of event-driven and flow-driven.

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Abstract

この搬送装置は、スライダ（３０）と、搬送部（１、２）と、スライダの位置を検出するための磁気スケール（３４）と、磁気スケールの磁気を検出する磁気センサ（１２）と、を備える。磁気スケールは、平行に配列された複数のトラック（３４ａ～３４ｆ）を含み、複数のトラックのうち一部のトラック（３４ａ）の着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラック（３４ｂ～３４ｆ）の着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。

Description

搬送装置およびスライダの位置検出装置
　この発明は、搬送装置およびスライダの位置検出装置に関し、特に、スライダを備える搬送装置および搬送されるスライダの位置検出装置に関する。
　従来、搬送されるスライダの位置検出装置が知られている。このような位置検出は、たとえば、特開２０１９－１６０９９１号公報に開示されている。
　上記特開２０１９－１６０９９１号公報には、所定の方向に沿って移動するスライダに、所定の方向に沿って延びるように設けられ、スライダの位置を検出するための磁気スケールと、スライダを所定の方向に沿って移動させる搬送部に設けられ、磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備える位置検出装置（スライダの位置検出装置）が開示されている。この特開２０１９－１６０９９１号公報の位置検出装置では、磁気スケールは、平行に配列された複数（６つ）のトラックを含み、複数のトラックの各々は着磁装置により所定の方向に沿って磁気情報が着磁されている。
特開２０１９－１６０９９１号公報
　ここで、特開２０１９－１６０９９１号公報には記載されていないが、磁気スケールのトラックの両端部付近では、磁気情報が安定しない（磁気的に乱れがあり、安定していない）ため、磁気スケールの両端部付近の磁気情報の情報精度が高くないことが知られている。このため、特開２０１９－１６０９９１号公報に開示されているような従来の位置検出装置では、磁気スケールの両端部付近の情報精度が高くない磁気情報を用いることに起因して、スライダの位置を精度よく検出することができない場合がある。そこで、スライダの位置を精度よく検出することが可能な搬送装置およびスライダの位置検出装置が望まれている。
　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、スライダの位置を精度よく検出することが可能な搬送装置およびスライダの位置検出装置を提供することである。
　上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による搬送装置は、スライダと、スライダを所定の方向に沿って移動させる搬送部と、所定の方向に沿って延びるようにスライダに設けられ、スライダの位置を検出するための磁気スケールと、搬送部に設けられ、磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備え、磁気スケールは、所定の方向と直交する方向に沿って平行に配列された複数のトラックを含み、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。
　この発明の第１の局面による搬送装置では、上記のように、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置を、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出していない場合には、磁気スケールの端部付近であると判断することができるので、磁気スケールの端部付近において情報精度が高くない（磁気的に乱れがあり安定していない）磁気情報を検出して、スライダの位置検出に用いるのを抑制することができる。また、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出した場合には、一部のトラックを除く他のトラックの磁気情報は磁気的に安定しているので、他のトラックの磁気情報を用いて、一部のトラックの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを判定することができる。これにより、スライダの位置検出を開始するタイミングを精度よく決定することができる。これらの結果、スライダの位置を精度よく検出することができる。
　上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、複数のトラックは、磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域と、磁気的安定領域の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域と、を各々含み、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの磁気的不安定領域よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。このように構成すれば、トラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラックを含む複数のトラックの全ての磁気を検出した場合には、他のトラックは磁気的安定領域であるため、複数のトラックの全てを検出したことに基づいて、他のトラックからは情報精度が高い磁気情報を検出することができる。これにより、他のトラックの安定した磁気情報を用いて、一部のトラックの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを精度よく判定することができる。
　この場合、好ましくは、複数のトラックは、各々周期的に磁気が変化するように構成されており、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりも、１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらして配置されている。このように構成すれば、着磁開始または着磁終了から１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらした位置では、磁気情報が磁気的に安定するため、トラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラックを含む複数のトラックの全ての磁気を検出した場合に、他のトラックを確実に磁気的安定領域にすることができる。
　上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気センサは、所定の方向に沿って複数配置されており、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置から着磁終了位置までの距離は、隣接する磁気センサの距離よりも大きい。このように構成すれば、隣接する磁気センサのうちいずれかの磁気センサにより複数のトラックの全ての磁気を検出することができるので、スライダが複数の磁気センサを乗り継いで移動する場合に、スライダを全ての位置において精度よく検出することができる。
　上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、複数のトラックのうち１つのトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、複数のトラックのうちの他の複数のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。このように構成すれば、着磁開始位置および着磁終了位置をトラックの端部とは反対側にずらして配置するトラックを最小限にすることができるので、磁気スケールの端部から近い位置で磁気情報が安定する他の複数のトラックの数を多くすることができる。
　上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気スケールは、複数のスライダを区別するための識別情報を有する識別トラックと、スライダの位置を特定するための位置トラックと、を含み、着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラックは、識別トラックに含まれている。このように構成すれば、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出した場合に、スライダの位置を特定する位置トラックの磁気情報は磁気的に安定しているので、位置トラックの安定した磁気情報を用いて、一部のトラックの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを精度よく判定することができる。
　上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気スケールは、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されている第１トラックと、第１トラックの周期情報が記録されている第２トラックと、を含み、第２トラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、第１トラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。このように構成すれば、精度よくスライダの位置を検出するために第２トラックよりも情報精度が必要な第１トラックを、磁気スケールの端部から近い位置で磁気情報が磁気的に安定するようにすることができる。
　上記第１の局面による搬送装置において、好ましくは、磁気センサの検出結果に基づいて、スライダの位置を取得する制御部をさらに備え、磁気センサは、所定の方向に沿って複数配置されており、制御部は、一方の磁気センサにより磁気スケールの磁気を検出してスライダの位置を取得している場合に、磁気スケールの複数のトラックのうち全てのトラックの磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域の磁気を、一方の磁気センサに隣接する他方の磁気センサにより検出した場合に、他方の磁気センサの検出結果に基づいてスライダの位置を取得する制御を始めるように構成されている。このように構成すれば、他方の磁気センサにより検出されるトラックの磁気情報が磁気的に安定した状態で、一方の磁気センサから他方の磁気センサに乗り継ぐことができる。
　この場合、好ましくは、制御部は、磁気センサによる磁気の検出の有無に基づいて、磁気スケールのトラックの磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域であるか否かを判定するように構成されている。このように構成すれば、磁気情報が安定しない場合でも磁気の検出の有無は判定することができるので、磁気スケールのトラックが磁気的安定領域であるか否かを精度よく判定することができる。
　上記磁気の検出の有無に基づいて磁気スケールのトラックの磁気情報が安定した磁気的安定領域であるか否かを判定する構成において、好ましくは、制御部は、複数のトラックのうち全てのトラックの磁気を検出した場合に、複数のトラックのうち他のトラックは磁気的安定領域であると判定するように構成されている。このように構成すれば、複数のトラックのうち一部のトラックよりも長い他のトラックが磁気的安定領域であることを精度よく判定することができる。
　上記磁気の検出の有無に基づいて磁気スケールのトラックの磁気情報が安定した磁気的安定領域であるか否かを判定する構成において、好ましくは、制御部は、複数のトラックのうち他のトラックが磁気的安定領域である場合に、他のトラックの磁気情報に基づいて、複数のトラックのうち一部のトラックが磁気的安定領域であるか否かを判定するように構成されている。このように構成すれば、先に磁気的安定領域となった他のトラックの磁気情報に基づいて、他のトラックよりも短い一部のトラックが磁気的安定領域になったことを精度よく判定することができる。
　上記目的を達成するために、この発明の第２の局面によるスライダの位置検出装置は、所定の方向に沿って移動するスライダに、所定の方向に沿って延びるように設けられ、スライダの位置を検出するための磁気スケールと、スライダを所定の方向に沿って移動させる搬送部に設けられ、磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備え、磁気スケールは、所定の方向と直交する方向に沿って平行に配列された複数のトラックを含み、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。
　この発明の第２の局面によるスライダの位置検出装置では、上記のように、複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置を、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出していない場合には、磁気スケールの端部付近であると判断することができるので、磁気スケールの端部付近において情報精度が高くない（安定していない）磁気情報を検出して、スライダの位置検出に用いるのを抑制することができる。また、磁気センサが磁気スケールの複数のトラックの全ての磁気を検出した場合には、一部のトラックを除く他のトラックの磁気情報は磁気的に安定しているので、他のトラックの磁気情報を用いて、一部のトラックの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを判定することができる。これにより、スライダの位置検出を開始するタイミングを精度よく決定することができる。これらの結果、スライダの位置を精度よく検出することが可能なスライダの位置検出装置を提供することができる。
　本発明によれば、上記のように、スライダの位置を精度よく検出することができる。
本発明の一実施形態による搬送装置を示した平面図である。 本発明の一実施形態による搬送装置の搬送部およびスライダを示した断面図である。 本発明の一実施形態による搬送装置の磁気スケールを示した図である。 本発明の一実施形態による搬送装置の磁気スケールの端部付近を示した図である。 本発明の一実施形態による搬送装置の磁気スケールと複数の磁気センサとの関係を示した図である。 本発明の一実施形態による搬送装置の磁気スケールの磁気パターンの一例を示した図である。 本発明の一実施形態による搬送装置の制御部による位置検出開始処理を説明するためのフローチャートである。
　以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
　図１～図７を参照して、本発明の一実施形態による搬送装置１００の構成について説明する。
（搬送装置の構成）
　本実施形態による搬送装置１００は、搬送部１、２に沿ってスライダ３０に載置された搬送対象物を搬送するように構成されている。また、搬送装置１００により搬送される搬送対象物は、複数の搬送位置において作業が行われる。搬送対象物は、ロボットや作業者により作業が行われる。
　搬送装置１００は、図１に示すように、搬送部１と、搬送部２と、乗継搬送部３と、乗継搬送部４と、スライダ３０と、を備えている。また、搬送装置１００は、制御部４０を備えている。
　搬送部１は、複数の搬送モジュール１０を含んでいる。搬送部２は、複数の搬送モジュール１０を含んでいる。複数の搬送モジュール１０は、互いに直列的に接続されて、スライダ３０の搬送路が形成されている。スライダ３０は、搬送部１および２をＸ方向に搬送され、乗継搬送部３および４により、搬送部１（２）から搬送部２（１）にＹ方向に搬送される。つまり、スライダ３０は、搬送部１、乗継搬送部３、搬送部２、乗継搬送部４の順に搬送されて循環して用いられる。
　搬送モジュール１０は、図２に示すように、リニアモータ固定子１１と、磁気センサ１２と、ガイドレール１３と、カバー１４とを含んでいる。
　乗継搬送部３および４は、図１に示すように、スライダ３０をＸ方向に搬送する搬送機構２０と、搬送機構２０をＹ方向に移動させる移動機構とを含んでいる。搬送機構２０は、リニアモータ固定子１１と、磁気センサ１２とを有している。移動機構は、ガイドレールと、ボールねじ機構とを有している。
　スライダ３０は、図２に示すように、スライダ本体３１と、リニアモータ可動子３２と、ガイドブロック３３と、磁気スケール３４とを含んでいる。スライダ３０は、複数設けられている。また、複数のスライダ３０は、搬送部１、２、乗継搬送部３および４上を、各々独立して移動するように構成されている。
　搬送部１および２は、スライダ３０を所定の方向（Ｘ方向）に沿って移動させるように構成されている。また、搬送部１および２は、略平行に設けられている。搬送部１は、スライダ３０をＸ２方向に搬送し、搬送部２は、スライダ３０をＸ１方向に搬送する。搬送部１および２は、架台上に固定的に設けられている。つまり、搬送部１および２のリニアモータ固定子１１およびガイドレール１３は、固定的に設けられている。
　乗継搬送部３は、搬送部１および２のＸ２方向側に隣接した位置に配置されている。また、乗継搬送部４は、搬送部１および２のＸ１方向側に隣接した位置に配置されている。
　リニアモータ固定子１１は、電磁石を含み、電磁石に駆動電力（電流）が供給されることにより、スライダ３０を移動させる。リニアモータ固定子１１は、搬送方向（Ｘ方向）に沿って配置されている。また、図２に示すように、リニアモータ固定子１１の電磁石は、芯がＹ方向に沿って延びるように配置されている。
　磁気センサ１２は、搬送部１および２に設けられている。また、磁気センサ１２は、磁気スケール３４の磁気を検出するように構成されている。具体的には、磁気センサ１２は、スライダ３０に設けられた磁気スケール３４とＹ方向に対向するように設けられている。磁気センサ１２は、磁気スケール３４の磁気を検知して、スライダ３０の位置を検知するように構成されている。磁気センサ１２により検知したスライダ３０の位置は、スライダ３０の移動のフィードバック制御に用いられる。
　また、磁気センサ１２は、図５に示すように、搬送方向（Ｘ方向）に沿って間隔を置いて複数配置されている。また、磁気センサ１２は、検出した磁気に対応する信号を制御部４０に送信するように構成されている。
　ガイドレール１３は、スライダ３０の搬送方向（Ｘ方向）に沿って延びるように配置されている。ガイドレール１３は、Ｙ方向に沿って平行に一対設けられている。ガイドレール１３は、Ｘ方向に隣接する搬送モジュール１０間において、スライダ３０が乗継可能に位置合わせされて配置されている。ガイドレール１３には、スライダ３０のガイドブロック３３がＸ方向に移動可能に係合している。
　カバー１４は、リニアモータ固定子１１、磁気センサ１２およびガイドレール１３の上方を覆うように設けられている。つまり、カバー１４は、スライダ３０がない場合でも、リニアモータ固定子１１、磁気センサ１２およびガイドレール１３の上方が露出しないように設けられている。
　スライダ本体３１は、搬送対象物が載置されるように構成されている。また、スライダ本体３１は、搬送方向（Ｘ方向）から見て、搬送部１および２のカバー１４を囲むように設けられている。スライダ本体３１には、リニアモータ可動子３２と、ガイドブロック３３と、磁気スケール３４とが取り付けられている。
　リニアモータ可動子３２は、リニアモータ固定子１１をＹ方向において挟み込むように設けられている。リニアモータ可動子３２は、搬送方向（Ｘ方向）に沿って配列された複数の永久磁石を含んでいる。
　ガイドブロック３３は、ガイドレール１３に沿って移動可能に設けられている。ガイドブロック３３は、移動方向に沿って移動して循環する複数のボールを有している。
　磁気スケール３４は、所定の方向（Ｘ方向）に沿って延びるようにスライダ３０に設けられている。また、磁気スケール３４は、スライダ３０の位置（搬送位置）を検出するために設けられている。また、磁気スケール３４は、搬送方向（Ｘ方向）に沿って所定のパターンに着磁されている。また、図５に示すように、位置検出装置２００は、磁気スケール３４と、磁気スケール３４の磁気を検出する磁気センサ１２を含んでいる。なお、位置検出装置２００は、請求の範囲の「スライダの位置検出装置」の一例である。
　磁気スケール３４は、スケール材を所定のパターンにより磁化することにより形成されている。スケール材は、磁石材料（たとえば、金属マグネット、プラスチックマグネットまたはゴムマグネットなど）により形成されている。スケール材は、全体的に同一の素材および品質により形成されており、着磁により磁場の有無、周期の幅、磁場の強さが管理されている。また、スケール材への着磁は、剛体である背板に組付けられた状態で行われる。
　ここで、本実施形態では、図３に示すように、磁気スケール３４は、所定の方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｚ方向）に沿って平行に配列された複数のトラック３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ、３４ｅおよび３４ｆを含んでいる。また、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、他のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして（トラックの中央側にずらして）配置されている。つまり、着磁開始位置Ｐ２は、着磁開始位置Ｐ１よりもＸ２方向側にずらして配置されている。また、着磁終了位置Ｐ３は、着磁終了位置Ｐ４よりもＸ１方向側にずらして配置されている。
　具体的には、図４に示すように、複数のトラック３４ａ～３４ｆは、磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１と、磁気的安定領域３４１の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域３４２と、を各々含んでいる。つまり、着磁されている端部付近（磁気的不安定領域３４２）は、磁気的に乱れが生じている。このため、複数のトラック間で位相差が一定ではなくなる。
　また、複数のトラック３４ａ～３４ｆは、各々周期的に磁気が変化するように構成されている。また、磁気スケール３４は、複数のスライダ３０を区別するための識別情報を有する識別トラック（トラック３４ａ～３４ｃ）と、スライダ３０の位置を特定するための位置トラック（３４ｄ～３４ｆ）と、を含んでいる。つまり、トラック３４ａ～３４ｃの磁気情報を検出することにより、複数のスライダ３０のうちいずれのスライダ３０なのかを特定することが可能である。また、トラック３４ｄ～３４ｆの磁気情報を取得することにより、磁気センサ１２に対して、特定されたスライダ３０がどこに位置しているのかを特定することが可能である。
　識別トラックは、図６に示すように、マスターであるトラック３４ｂを基礎に、ノニアス（副尺）のトラック３４ｃおよびセグメントのトラック３４ａを異なる周期（ピッチ）で一定の位相差を示す磁気周期を持つように構成されている。
　磁気スケール３４は、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されているトラック３４ｂおよび３４ｃと、トラック３４ｂおよび３４ｃの周期情報が記録されているトラック３４ａと、を含んでいる。つまり、マスターのトラック３４ｂおよびノニアスのトラック３４ｃは、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されている。また、セグメントのトラック３４ａは、トラック３４ｂおよび３４ｃがどの周期にあるかを特定する情報が記録されている。
　また、本実施形態では、図３および図４に示すように、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気的不安定領域３４２よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。具体的には、磁気的不安定領域３４２は、端部からＤ１の距離だけ存在する。また、磁気的不安定領域３４２の内側は、磁気的安定領域３４１となる。トラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、トラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもＤ２（＞Ｄ１）の距離だけ内側に配置されている。
　また、磁気スケール３４は、たとえば、予め最大１／４周期分検出が遅れることを想定した上で、スライダ３０の識別および位置を確定する位置（トラック３４ｄ～３４ｆ（位置トラック）による座標）が設定されている。これにより、スケール毎の確定タイミングのばらつきを抑制することが可能である。
　また、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、他のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりも、１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらして配置されている。つまり、着磁開始位置Ｐ１およびＰ２（着磁終了位置Ｐ３およびＰ４）の間の距離Ｄ２は、トラック３４ｂ～３４ｆのうち最も長い周期の１周期分よりも大きい。
　ここで、磁気スケール３４の素材の状態にかかわらず、連続した着磁において、端部１波長（１周期）分の周期の部分は、他の周期（内側の周期）の部分と異なる環境下に置かれる。つまり、内側の周期では隣接する周期の磁気的な影響を受けた上で所定の磁気特性を示す。しかし、端部の１周期分では、外側に磁気の周期がないため、内側の周期とはバランスが異なる。このため、着磁設定上同じ着磁を行った場合でも微妙に異なる磁場分布となる。そこで、６つのトラック３４ａ～３４ｆがそろい、位置検出のトリガーとなる位置を、着磁開始位置Ｐ１（着磁終了位置Ｐ４）である端部から１波長（１周期）分以上内側にすることにより、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気特性を安定させることが可能である。
　また、図５に示すように、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２から着磁終了位置Ｐ３までの距離は、隣接する磁気センサ１２の距離よりも大きい。これにより、隣接する磁気センサ１２の内いずれかの磁気センサ１２が制御状態にある中でトラック３４ａ～３４ｆのすべての磁気を検出し、制御部４０が制御を開始することができる。その結果、スライダ３０が複数の磁気センサ１２を乗り継いで移動する場合に、スライダ３０のすべての位置において精度よく位置を検出することが可能である。また、スライダ３０が無制御状態に陥ることもなくなる。つまり、スライダ３０が複数の磁気センサ１２を跨いで移動する際に、前の磁気センサ１２の検出結果に基づいてフィードバック制御している状態にあるうちに、次の磁気センサ１２がトラック３４ａの磁気的安定領域３４１に到達することにより、複数の磁気センサ１２間での制御の引継ぎを、フィードバック制御している状態で、かつ、磁気的安定領域３４１内で行うことが可能である。
　また、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち１つのトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうちの他の複数のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている。つまり、１つのトラック３４ａのみ短くなっている。
　制御部４０は、搬送装置１００の各部を制御するように構成されている。制御部４０は、リニアモータ固定子１１に供給する電力を制御して、スライダ３０の移動を制御する。また、制御部４０は、乗継搬送部３および４の移動機構２１の駆動を制御して、搬送機構２０の移動を制御する。制御部４０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、メモリなどを含んでいる。
　ここで、制御部４０は、磁気センサ１２の検出結果に基づいて、スライダ３０の位置を取得するように構成されている。また、制御部４０は、一方の磁気センサ１２により磁気スケールの磁気を検出してスライダ３０の位置を取得している場合に、磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち全てのトラックの磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１の磁気を、一方の磁気センサ１２に隣接する他方の磁気センサ１２により検出した場合に、他方の磁気センサ１２の検出結果に基づいてスライダ３０の位置を取得する制御を始めるように構成されている。
　具体的には、制御部４０は、磁気センサ１２による磁気の検出の有無に基づいて、磁気スケール３４のトラック３４ａ～３４ｆの磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１であるか否かを判定するように構成されている。
　また、制御部４０は、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち全てのトラックの磁気を検出した場合に、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち他のトラック３４ｂ～３４ｆは磁気的安定領域３４１であると判定するように構成されている。
　また、制御部４０は、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち他のトラック３４ｂ～３４ｆが磁気的安定領域３４１である場合に、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気情報に基づいて、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａが磁気的安定領域３４１であるか否かを判定するように構成されている。
（位置検出開始処理）
　図７を参照して、搬送装置１００の制御部４０による磁気センサ１２の乗り継ぎ時の位置検出開始処理について説明する。なお、この処理は、スライダ３０が移動して、磁気スケール３４が隣接する２つの磁気センサ１２に跨って配置された場合に、スライダ３０の識別および位置を取得するための磁気を検出する磁気センサ１２を乗り継ぐ（切り替える）際の処理である。
　図７のステップＳ１において、制御部４０は、乗継先の磁気センサ１２により５つのトラック３４ｂ～３４ｆの磁気を検出したか否かを判断する。５つのトラック３４ｂ～３４ｆの磁気が検出されるまで、ステップＳ１の判断が繰り返される。
　５つのトラック３４ｂ～３４ｆの磁気が検出されると、ステップＳ２において、制御部４０は、全てのトラック３４ａ～３４ｆの磁気を検出したか否かを判断する。つまり、検出しているトラック３４ｂ～３４ｆに加えて、識別トラックのセグメントのトラック３４ａの磁気をさらに検出したか否かが判断される。全てのトラック３４ａ～３４ｆの磁気が検出されるまで、ステップＳ２の判断が繰り返される。
　全てのトラック３４ａ～３４ｆの磁気が検出されると、ステップＳ３において、位置トラック（トラック３４ｄ～３４ｆ）に基づいて、磁気スケール３４（スライダ３０）の位置が所定範囲内に移動したか否かが判断される。
つまり、位置トラック（トラック３４ｄ～３４ｆ）の磁気情報に基づいて、短いトラック３４ａも磁気的安定領域になったか否かが判断される。磁気スケール３４（スライダ３０）の位置が所定範囲内に移動されるまで、ステップＳ３の判断が繰り返される。
　磁気スケール３４（スライダ３０）の位置が所定範囲内に移動されると、ステップＳ４において、識別トラック（トラック３４ａ～３４ｃ）の磁気を検出して、スライダ３０のＩＤを確定する。そして、ステップＳ５において、乗り継ぎ後の磁気センサ１２に基づくスライダ３０の位置検出が開始される。この場合、乗り継ぎ前の磁気センサ１２に基づくスライダ３０の位置検出が終了される。つまり、スライダ３０の位置検出に用いる磁気センサ１２が切り替えられる。その後、位置検出開始処理が終了される。
（本実施形態の効果）
　本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
　本実施形態では、上記のように、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３を、他のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、磁気センサ１２が磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出していない場合には、磁気スケール３４の端部付近であると判断することができるので、磁気スケール３４の端部付近において情報精度が高くない（安定していない）磁気情報を検出して、スライダ３０の位置検出に用いるのを抑制することができる。また、磁気センサ１２が磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出した場合には、一部のトラック３４ａを除く他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気情報は磁気的に安定しているので、他のトラック３４ｂ～３４ｆの安定した磁気情報を用いて、一部のトラック３４ａの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを判定することができる。これにより、スライダ３０の位置検出を開始するタイミングを精度よく決定することができる。これらの結果、スライダ３０の位置を精度よく検出することができる。
　また、本実施形態では、上記のように、複数のトラック３４ａ～３４ｆは、磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１と、磁気的安定領域３４１の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域３４２と、を各々含み、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３を、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気的不安定領域３４２よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、トラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラック３４ａを含む複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出した場合には、他のトラック３４ｂ～３４ｆは磁気的安定領域３４１であるため、複数のトラック３４ａ～３４ｆの全てを検出したことに基づいて、他のトラック３４ｂ～３４ｆからは情報精度が高い磁気情報を検出することができる。これにより、他のトラック３４ｂ～３４ｆの安定した磁気情報を用いて、一部のトラック３４ａの磁気情報が安定している位置であるか否かを精度よく判定することができる。
　また、本実施形態では、上記のように、複数のトラック３４ａ～３４ｆは、各々周期的に磁気が変化するように構成されており、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３を、他のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりも、１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、着磁開始または着磁終了から１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらした位置では、磁気情報が安定するため、トラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラック３４ａを含む複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出した場合に、他のトラック３４ｂ～３４ｆを確実に磁気的安定領域３４１にすることができる。
　また、本実施形態では、上記のように、磁気センサ１２は、所定の方向に沿って複数配置されており、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２から着磁終了位置Ｐ３までの距離を、隣接する磁気センサ１２の距離よりも大きくする。これにより、隣接する磁気センサ１２のうちいずれかの磁気センサ１２により複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出することができるので、スライダ３０が複数の磁気センサ１２を乗り継いで移動する場合に、スライダ３０を全ての位置において精度よく検出することができる。
　また、本実施形態では、上記のように、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち１つのトラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３は、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうちの他の複数のトラック３４ｂ～３４ｆの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、着磁開始位置および着磁終了位置をトラックの端部とは反対側にずらして配置するトラックを最小限にすることができるので、磁気スケール３４の端部から近い位置で磁気情報が安定する他の複数のトラック３４ｂ～３４ｆの数を多くすることができる。
　また、本実施形態では、上記のように、磁気スケール３４は、複数のスライダ３０を区別するための識別情報を有する識別トラックと、スライダの位置を特定するための位置トラックと、を含み、着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されている一部のトラック３４ａは、識別トラックに含まれている。これにより、磁気センサ１２が磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆの全ての磁気を検出した場合に、スライダ３０の位置を特定する位置トラックの磁気情報は磁気的に安定しているので、位置トラックの安定した磁気情報を用いて、一部のトラック３４ａの磁気情報が磁気的に安定している位置であるか否かを精度よく判定することができる。
　また、本実施形態では、上記のように、磁気スケール３４は、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されているトラック３４ｂおよび３４ｃと、トラック３４ｂおよび３４ｃの周期情報が記録されているトラック３４ａと、を含み、トラック３４ａの着磁開始位置Ｐ２および着磁終了位置Ｐ３を、トラック３４ｂおよび３４ｃの着磁開始位置Ｐ１および着磁終了位置Ｐ４よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置する。これにより、精度よくスライダ３０の位置を検出するためにトラック３４ａよりも情報精度が必要なトラック３４ｂおよび３４ｃを、磁気スケール３４の端部から近い位置で磁気情報が安定するようにすることができる。
　また、本実施形態では、上記のように、磁気センサ１２の検出結果に基づいて、スライダ３０の位置を取得する制御部４０を設け、制御部４０を、一方の磁気センサ１２により磁気スケールの磁気を検出してスライダ３０の位置を取得している場合に、磁気スケール３４の複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち全てのトラックの磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１の磁気を、一方の磁気センサ１２に隣接する他方の磁気センサ１２により検出した場合に、他方の磁気センサ１２の検出結果に基づいてスライダ３０の位置を取得する制御を始めるように構成する。これにより、他方の磁気センサ１２により検出されるトラック３４ａ～３４ｆの磁気情報が磁気的に安定した状態で、一方の磁気センサ１２から他方の磁気センサ１２に乗り継ぐことができる。
　また、本実施形態では、上記のように、制御部４０を、磁気センサ１２による磁気の検出の有無に基づいて、磁気スケール３４のトラック３４ａ～３４ｆの磁気情報が安定した磁気的安定領域３４１であるか否かを判定するように構成する。これにより、磁気情報が安定しない場合でも磁気の検出の有無は判定することができるので、磁気スケール３４のトラック３４ａ～３４ｆが磁気的安定領域３４１であるか否かを精度よく判定することができる。
　また、本実施形態では、上記のように、制御部４０を、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち全てのトラックの磁気を検出した場合に、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち他のトラック３４ｂ～３４ｆは磁気的安定領域３４１であると判定するように構成する。これにより、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａよりも長い他のトラック３４ｂ～３４ｆが磁気的安定領域３４１であることを精度よく判定することができる。
　また、本実施形態では、上記のように、制御部４０を、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち他のトラック３４ｂ～３４ｆが磁気的安定領域３４１である場合に、他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気情報に基づいて、複数のトラック３４ａ～３４ｆのうち一部のトラック３４ａが磁気的安定領域３４１であるか否かを判定するように構成する。これにより、先に磁気的安定領域３４１となった他のトラック３４ｂ～３４ｆの磁気情報に基づいて、他のトラック３４ｂ～３４ｆよりも短い一部のトラック３４ａが磁気的安定領域３４１になったことを精度よく判定することができる。
（変形例）
　なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
　たとえば、上記実施形態では、磁気スケールが６つのトラックを含む構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気スケールは、６つ以外の複数のトラックを含んでいてもよい。
　また、上記実施形態では、磁気スケールの複数のトラックのうち１つのトラックが他のトラックよりも着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気スケールの複数のトラックのうち２以上のトラックが他のトラックよりも着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されていてもよい。
　また、上記実施形態では、磁気スケールの複数のトラックのうち３つのトラックがスライダを区別するための識別トラックであり、残りの３つのトラックがスライダの位置を特定するための位置トラックである構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、識別トラックを３つ以外の複数設けてもよいし、位置トラックを３つ以外の複数設けてもよい。
　また、上記実施形態では、搬送部はスライダをリニアモータにより移動させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、搬送部がスライダをボールねじ機構や、回転ベルト機構などにより移動させる構成でもよい。
　また、上記実施形態では、磁気スケールは、上下方向に立てて配置されている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、磁気スケールは、水平方向に寝かして配置されていてもよい。
　また、上記実施形態では、搬送部が直線状に延びるように構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、搬送部が湾曲していてもよい。
　また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部による制御処理を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部による制御処理を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。
　１、２　搬送部
　１２　磁気センサ
　３０　スライダ
　３４　磁気スケール
　３４ａ　トラック（識別トラック、第２トラック）
　３４ｂ、３４ｃ　トラック（識別トラック、第１トラック）
　３４ｄ、３４ｅ、３４ｆ　トラック（位置トラック）
　４０　制御部
　１００　搬送装置
　２００　位置検出装置（スライダの位置検出装置）
　３４１　磁気的安定領域
　３４２　磁気的不安定領域

Claims (12)

  1. 　スライダと、
    　前記スライダを所定の方向に沿って移動させる搬送部と、
    　前記所定の方向に沿って延びるように前記スライダに設けられ、前記スライダの位置を検出するための磁気スケールと、
    　前記搬送部に設けられ、前記磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備え、
    　前記磁気スケールは、前記所定の方向と直交する方向に沿って平行に配列された複数のトラックを含み、
    　前記複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている、搬送装置。
  2. 　前記複数のトラックは、磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域と、前記磁気的安定領域の両端の外側に配置されて磁気情報が磁気的に不安定な磁気的不安定領域と、を各々含み、
    　前記複数のトラックのうち前記一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、前記他のトラックの前記磁気的不安定領域よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている、請求項１に記載の搬送装置。
  3. 　前記複数のトラックは、各々周期的に磁気が変化するように構成されており、
    　前記複数のトラックのうち前記一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、前記他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりも、１周期分以上トラックの端部とは反対側にずらして配置されている、請求項２に記載の搬送装置。
  4. 　前記磁気センサは、前記所定の方向に沿って複数配置されており、
    　前記複数のトラックのうち前記一部のトラックの着磁開始位置から着磁終了位置までの距離は、隣接する前記磁気センサの距離よりも大きい、請求項１～３のいずれか１項に記載の搬送装置。
  5. 　前記複数のトラックのうち１つのトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、前記複数のトラックのうちの他の複数のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている、請求項１～４のいずれか１項に記載の搬送装置。
  6. 　前記磁気スケールは、複数の前記スライダを区別するための識別情報を有する識別トラックと、前記スライダの位置を特定するための位置トラックと、を含み、
    　着磁開始位置および着磁終了位置がトラックの端部とは反対側にずらして配置されている前記一部のトラックは、前記識別トラックに含まれている、請求項１～５のいずれか１項に記載の搬送装置。
  7. 　前記磁気スケールは、所定の磁気情報が周期的に繰り返し記録されている第１トラックと、前記第１トラックの周期情報が記録されている第２トラックと、を含み、
    　前記第２トラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、前記第１トラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている、請求項１～６のいずれか１項に記載の搬送装置。
  8. 　前記磁気センサの検出結果に基づいて、前記スライダの位置を取得する制御部をさらに備え、
    　前記磁気センサは、前記所定の方向に沿って複数配置されており、
    　前記制御部は、一方の前記磁気センサにより前記磁気スケールの磁気を検出して前記スライダの位置を取得している場合に、前記磁気スケールの複数のトラックのうち全てのトラックの磁気情報が磁気的に安定した磁気的安定領域の磁気を、前記一方の磁気センサに隣接する他方の前記磁気センサにより検出した場合に、前記他方の磁気センサの検出結果に基づいて前記スライダの位置を取得する制御を始めるように構成されている、請求項１～７のいずれか１項に記載の搬送装置。
  9. 　前記制御部は、前記磁気センサによる磁気の検出の有無に基づいて、前記磁気スケールのトラックの磁気情報が磁気的に安定した前記磁気的安定領域であるか否かを判定するように構成されている、請求項８に記載の搬送装置。
  10. 　前記制御部は、前記複数のトラックのうち全てのトラックの磁気を検出した場合に、前記複数のトラックのうち前記他のトラックは前記磁気的安定領域であると判定するように構成されている、請求項９に記載の搬送装置。
  11. 　前記制御部は、前記複数のトラックのうち前記他のトラックが前記磁気的安定領域である場合に、前記他のトラックの磁気情報に基づいて、前記複数のトラックのうち前記一部のトラックが前記磁気的安定領域であるか否かを判定するように構成されている、請求項９または１０に記載の搬送装置。
  12. 　所定の方向に沿って移動するスライダに、前記所定の方向に沿って延びるように設けられ、前記スライダの位置を検出するための磁気スケールと、
    　前記スライダを前記所定の方向に沿って移動させる搬送部に設けられ、前記磁気スケールの磁気を検出する磁気センサと、を備え、
    　前記磁気スケールは、前記所定の方向と直交する方向に沿って平行に配列された複数のトラックを含み、
    　前記複数のトラックのうち一部のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置は、他のトラックの着磁開始位置および着磁終了位置よりもトラックの端部とは反対側にずらして配置されている、スライダの位置検出装置。
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