WO2021141110A1

WO2021141110A1 - ベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器

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Publication number: WO2021141110A1
Application number: PCT/JP2021/000478
Authority: WO
Inventors: 和範小田; 武田　利彦; 伸一郎高橋; 太田　貴之
Original assignee: 大日本印刷株式会社
Priority date: 2020-01-10
Filing date: 2021-01-08
Publication date: 2021-07-15
Also published as: KR20220125246A; CN114846290A; US20230026517A1; JPWO2021141110A1; TW202130963A

Abstract

本発明によるベーパーチャンバ用のウィックシートは、第１本体面と第２本体面とを有するシート本体と、作動流体の蒸気が通る第１蒸気流路部と、第２本体面に設けられ、第１蒸気流路部と連通して作動流体の液体が通る液流路部と、第１本体面に設けられ、第１蒸気流路部と連通して作動流体の蒸気が通る第２蒸気流路部と、を備えている。シート本体は、第１方向に長手方向を有する、周囲に第１蒸気流路部が配置されたランド部を有している。第２蒸気流路部は、第１方向に直交する第２方向においてランド部の一方の側縁から他方の側縁に延びる蒸気流路溝を有している。

Description

ベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器

　本発明は、ベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器に関する。

　モバイル端末等の電子機器には、発熱を伴う電子デバイスが用いられている。この電子デバイスの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）またはパワー半導体等が挙げられる。モバイル端末の例としては、携帯端末またはタブレット端末等が挙げられる。

　このような電子デバイスは、ヒートパイプ等の放熱装置によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、電子機器の薄型化のために、放熱装置の薄型化が求められている。放熱装置として、ヒートパイプより薄型化できるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバは、ベーパーチャンバ内に封入された作動流体が電子デバイスの熱を吸収して拡散することにより、電子デバイスを冷却する。

　より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動流体は、電子デバイスに近接した部分（蒸発部）で電子デバイスから熱を受ける。このことにより、作動流体が蒸発して作動蒸気に変化する。その作動蒸気は、ベーパーチャンバ内に形成された蒸気流路部内で、蒸発部から離れる方向に拡散して冷却される。そして、作動蒸気は、凝縮して作動液に変化する。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィックとも称する）としての液流路部が設けられている。このことにより、作動液は、蒸気流路部から液流路部に入り込む。その後、作動液は、液流路部を流れて、蒸発部に向かって輸送される。そして、蒸発部に輸送された作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このようにして、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流する。このようにして、電子デバイスの熱を拡散している。この結果、ベーパーチャンバの放熱効率が高められている。

特開２００８－８２６９８号公報

　本発明は、放熱効率を向上できるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。

　本発明は、第１の解決手段として、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
　前記シート本体の前記第１本体面から前記第２本体面に延び、前記作動流体の蒸気が通る第１蒸気流路部と、
　前記第２本体面に設けられ、前記第１蒸気流路部と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、
　前記第１本体面に設けられ、前記第１蒸気流路部と連通して前記作動流体の蒸気が通る第２蒸気流路部と、を備え、
　前記シート本体は、第１方向に長手方向を有する、周囲に前記第１蒸気流路部が配置されたランド部を有し、
　前記第２蒸気流路部は、前記第１方向に直交する第２方向において前記ランド部の一方の側縁から他方の側縁に延びる蒸気流路溝を有している、ベーパーチャンバ用のウィックシート、
を提供する。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　前記第２蒸気流路部は、複数の前記蒸気流路溝を有し、
　互いに隣り合う一対の前記蒸気流路溝の間に、前記第１シートに当接する蒸気流路凸部が設けられている、
ようにしてもよい。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　前記第２蒸気流路部は、前記蒸気流路凸部に設けられた、互いに隣り合う一対の前記蒸気流路溝を連通する蒸気流路連絡溝を有している、
ようにしてもよい。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　互いに隣り合う前記蒸気流路凸部のうちの一方に設けられた前記蒸気流路連絡溝と、他方に設けられた前記蒸気流路連絡溝は、前記第１方向に沿って見たときに重なる位置とは異なる位置に配置されている、
ようにしてもよい。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　互いに隣り合う前記蒸気流路凸部のうちの一方に設けられた前記蒸気流路連絡溝と、他方に設けられた前記蒸気流路連絡溝は、前記第１方向に沿って見たときに重なる位置に配置されている、
ようにしてもよい。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　前記シート本体は、複数の前記ランド部を有し、
　前記第２蒸気流路部は、前記ランド部の各々に設けられ、
　前記第２方向において互いに隣り合う一対の前記ランド部のうちの一方の前記ランド部の前記蒸気流路溝と、他方の前記ランド部の前記蒸気流路溝は、前記第２方向に沿って見たときに重なる位置に配置されている、
ようにしてもよい。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　前記第２蒸気流路部は、前記第１方向において前記ランド部の一側に配置されている、ようにしてもよい。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　前記第２蒸気流路部の前記蒸気流路溝と、前記第１方向における前記ランド部の一対の端縁のうち前記第２蒸気流路部が配置されている側の前記端縁との間に、前記第１シートに当接する端縁凸部が設けられている、
ようにしてもよい。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　前記シート本体に設けられ、前記液流路部と前記第２蒸気流路部とに連通する連通部を更に備える、
ようにしてもよい。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　前記連通部は、前記シート本体を貫通して、前記液流路部から前記蒸気流路溝に延びる貫通孔を含む、
ようにしてもよい。

　上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
　前記液流路部は、第１方向に延びる、前記作動流体の液体が通る複数の液流路主流溝と、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記液流路主流溝に連通する液流路連絡溝と、を有し、
　前記液流路主流溝は、前記液流路連絡溝と連通する液流路交差部を更に含み、
　前記貫通孔は、前記液流路交差部および前記蒸気流路溝に延びている、
ようにしてもよい。

　本発明は、第２の解決手段として、
　作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
　前記シート本体の前記第１本体面から前記第２本体面に延びる貫通空間と、
　前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１本体面溝部と、
　前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２本体面溝部と、を備え、
　前記シート本体は、第１方向に長手方向を有する、周囲に前記貫通空間が配置されたランド部を有し、
　前記第１本体面溝部は、前記第１方向に直交する第２方向において前記ランド部の一方の側縁から他方の側縁に延びる第１溝を有し、
　前記第２本体面溝部は、前記第１方向に延びる第２溝を有し、
　前記第１溝の前記第１方向における寸法は、前記第２溝の前記第２方向における寸法よりも大きい、ベーパーチャンバ用のウィックシート
を提供する。

　本発明は、第３の解決手段として、
　第１シートと、
　第２シートと、
　前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、上述した第１の解決手段または第２の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ、
を提供する。

　本発明は、第４の解決手段として、
　第１シートと、
　第２シートと、
　前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートと、
　前記作動流体が蒸発する蒸発領域と、を備え、
　前記第２蒸気流路部は、前記蒸発領域に配置されている、ベーパーチャンバ、
を提供する。

　本発明は、第５の解決手段として、
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
　前記デバイスに熱的に接触した上述した第３の解決手段または第４の解決手段によるベーパーチャンバと、を備えた、電子機器、
を提供する。

　本発明によれば、放熱効率を向上できる。

図１は、本発明の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。図２は、本発明の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。図３は、図２のベーパーチャンバを示すＡ－Ａ線断面図である。図４は、図３の下側シートの上面図である。図５は、図３の上側シートの下面図である。図６は、図３のウィックシートの上面図である。図７は、図３のウィックシートの下面図である。図８は、図３の部分拡大断面図である。図９は、図６に示す液流路部の部分拡大上面図である。図１０は、図７に示す第２蒸気流路部の部分拡大下面図である。図１１Ａは、図７のＢ－Ｂ線に沿った部分断面を下側シートとともに示す図である。図１１Ｂは、図１１Ａの変形例を示す部分断面図である。図１１Ｃは、図１１Ａの他の変形例を示す部分断面図である。図１２は、実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、ウィックシートの準備工程を説明するための図である。図１３は、実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、エッチング工程を説明するための図である。図１４は、実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。図１５は、第１変形例として、第２蒸気流路部を示す部分拡大下面図である。図１６Ａは、第２変形例として、第２蒸気流路部を示す部分拡大下面図である。図１６Ｂは、図１６Ａの部分拡大下面図である。図１６Ｃは、図１６ＢのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。図１７は、第３変形例として、第２蒸気流路部を示す部分拡大下面図である。図１８は、第４変形例として、第２蒸気流路部を示す部分拡大下面図である。図１９は、第５変形例として、液流路部を示す部分拡大上面図である。図２０は、第６変形例として、第２蒸気流路部を示す部分拡大下面図である。図２１は、第７変形例として、第２蒸気流路部を示す部分拡大下面図である。

　以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。

　本明細書において用いる、幾何学的条件と、物理的特性と、幾何学的条件または物理的特性の程度を特定する用語と、幾何学的条件または物理的特性を示す数値等については、厳密な意味に縛られることなく解釈することとする。そして、これらの幾何学的条件、物理的特性、用語、および数値等については、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「長さ」、「角度」、「形状」または「配置」等が挙げられる。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「平行」、「直交」または「同一」等が挙げられる。さらに、図面を明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載している。しかしながら、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。

　図１～図２１を用いて、本発明の実施の形態におけるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、発熱を伴う電子デバイスＤとともに電子機器ＥのハウジングＨに収容されており、電子デバイスＤを冷却するための装置である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末またはタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。電子デバイスＤの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）またはパワー半導体等が挙げられる。電子デバイスＤは、被冷却装置と称する場合もある。

　ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅは、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された電子デバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、電子デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時に電子デバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、電子デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、電子デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。

　次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子機器Ｅの電子デバイスＤが冷却される。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノールまたはアセトン等、およびそれらの混合液が挙げられる。作動流体２ａ、２ｂは、凍結膨張性を有していてもよい。すなわち、作動流体２ａ、２ｂは、凍結時に膨張する流体であってもよい。凍結膨張性を有する作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、または純水にアルコールなどの添加物を加えた水溶液等が挙げられる。

　図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０と、上側シート２０と、ベーパーチャンバ用のウィックシート３０と、を備えている。下側シート１０は、第１シートの一例である。上側シート２０は、第２シートの一例である。ベーパーチャンバ用のウィックシート３０は、下側シート１０と上側シート２０との間に介在されている。ベーパーチャンバ用のウィックシート３０を、以下、単にウィックシート３０と記す。本実施の形態では、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０が、この順番で積層されている。

　ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、一例として、ベーパーチャンバ１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形状である例について説明する。この場合、図４～図７に示すように、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。また、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状またはＴ字形状等、任意の形状であってもよい。

　図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動流体２ａ、２ｂが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。

　蒸発領域ＳＲは、平面視で電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤが取り付けられる領域である。蒸発領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１の任意の場所に配置できる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側（図２における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲに電子デバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動流体の液体が蒸発領域ＳＲにおいて蒸発する。電子デバイスＤからの熱は、平面視で電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、電子デバイスＤが重なる領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視で、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含む。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。熱を受ける面とは、上側シート２０の後述する第２上側シート面２０ｂに相当する。熱を放出する面とは、下側シート１０の後述する第１下側シート面１０ａに相当する。例えば、図２に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、または下方から見た状態が、平面視に相当している。作動流体の気体を作動蒸気２ａと記し、作動流体の液体を、作動液２ｂと記す。

　凝縮領域ＣＲは、平面視で電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域と言うこともできる。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が下側シート１０に放出され、作動蒸気２ａが凝縮領域ＣＲにおいて冷却されて凝縮する。

　ベーパーチャンバ１がタブレット端末内に設置される場合、タブレット端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、電子デバイスＤから熱を受けるシートを上述の上側シート２０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の下側シート１０と称する。このため、下側シート１０が下側に配置され、上側シート２０が上側に配置された状態で、ベーパーチャンバ１の構成を説明する。

　図３に示すように、下側シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に設けられた第１下側シート面１０ａと、第１下側シート面１０ａとは反対側に設けられた第２下側シート面１０ｂと、を有している。第２下側シート面１０ｂは、ウィックシート３０の側に設けられている。下側シート１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよい。下側シート１０は、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第１下側シート面１０ａに、上述のハウジングＨの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。第１下側シート面１０ａの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。図４に示すように、下側シート１０の四隅に、アライメント孔１２が設けられていてもよい。

　図３に示すように、上側シート２０は、ウィックシート３０の側に設けられた第１上側シート面２０ａと、第１上側シート面２０ａとは反対側に設けられた第２上側シート面２０ｂと、を有している。第２上側シート面２０ｂは、ウィックシート３０とは反対側に設けられている。上側シート２０は、全体的に平坦状に形成されていてもよい。上側シート２０は、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第２上側シート面２０ｂに、上述の電子デバイスＤが取り付けられる。図５に示すように、上側シート２０の四隅に、アライメント孔２２が設けられていてもよい。

　図３に示すように、ウィックシート３０は、シート本体３１と、シート本体３１に設けられた第１蒸気流路部５０と、液流路部６０と、第２蒸気流路部７０と、を備えている。シート本体３１は、第１本体面３１ａと、第１本体面３１ａとは反対側に設けられた第２本体面３１ｂと、を有している。第１本体面３１ａは、下側シート１０の側に配置されている。第２本体面３１ｂは、上側シート２０の側に配置されている。第１蒸気流路部５０と液流路部６０と第２蒸気流路部７０とにより、上述した密封空間３が構成されている。

　下側シート１０の第２下側シート面１０ｂとシート本体３１の第１本体面３１ａとは、拡散接合されていてもよい。第２下側シート面１０ｂと第１本体面３１ａとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、上側シート２０の第１上側シート面２０ａとシート本体３１の第２本体面３１ｂとは、拡散接合されていてもよい。第１上側シート面２０ａと第２本体面３１ｂとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、接合されていることを意味する用語として用いている。下側シート１０とウィックシート３０とが恒久的に接合されることにより、ベーパーチャンバ１の動作時に、下側シート１０とウィックシート３０との接合が維持できていればよい。上側シート２０とウィックシート３０とが恒久的に接合されることにより、ベーパーチャンバ１の動作時に、上側シート２０とウィックシート３０との接合が維持できていればよい。

　本実施の形態によるウィックシート３０のシート本体３１は、枠体部３２と、複数のランド部３３と、を有している。枠体部３２は、図２、図６および図７に示すように、平面視で矩形枠状に形成されている。ランド部３３は、枠体部３２内に設けられている。枠体部３２およびランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。枠体部３２の内側に、第１蒸気流路部５０が画定されている。すなわち、枠体部３２の内側であって、各ランド部３３の周囲に第１蒸気流路部５０が配置されている。各ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れる。

　本実施の形態では、ランド部３３は、平面視で、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。ランド部３３の平面形状は、細長の矩形状になっていてもよい。Ｘ方向は、第１方向の一例である。Ｘ方向は、図６における左右方向に相当する。また、各ランド部３３は、Ｙ方向において等間隔に離間している。Ｙ方向は、第２方向の一例である。Ｙ方向は、図６における上下方向に相当する。各ランド部３３は、互いに平行に配置されていてもよい。各ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れて、凝縮領域ＣＲに向かって輸送される。これにより、作動蒸気２ａの流れが妨げられることを抑制している。ランド部３３の幅ｗ１（図８参照）は、例えば、１００μｍ～１５００μｍであってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、Ｙ方向におけるランド部３３の寸法である。幅ｗ１は、ウィックシート３０の厚さ方向において後述する貫通部３４が存在する位置における寸法を意味している。

　枠体部３２および各ランド部３３は、下側シート１０に拡散接合されるとともに、上側シート２０に拡散接合される。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。後述する下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａは、ランド部３３の側壁を構成している。シート本体３１の第１本体面３１ａおよび第２本体面３１ｂは、枠体部３２および各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。

　第１蒸気流路部５０は、シート本体３１を貫通する貫通空間の一例である。第１蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路である。第１蒸気流路部５０は、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに延びており、ウィックシート３０のシート本体３１を貫通している。すなわち、第１蒸気流路部５０は、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに延びる貫通空間として構成されている。

　図６および図７に示すように、本実施の形態における第１蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とを有している。第１蒸気通路５１は、枠体部３２とランド部３３との間に形成されている。この第１蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であってランド部３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、矩形枠状になっている。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合うランド部３３の間に形成されている。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形状になっている。複数のランド部３３によって、第１蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とに区画されている。

　図３に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、シート本体３１の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに延びている。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、第１下側シート面１０ａに設けられた下側蒸気流路凹部５３と、上側シート２０面２０ｂに設けられた上側蒸気流路凹部５４とによってそれぞれ構成されている。下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが連通することにより、第１蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂにわたって延びている。

　下側蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３１ａからエッチングされることによって形成されている。下側蒸気流路凹部５３は、第１本体面３１ａに凹状に形成されている。このことにより、下側蒸気流路凹部５３は、図８に示すように、湾曲した壁面５３ａを有している。この壁面５３ａは、下側蒸気流路凹部５３を画定している。壁面５３ａは、図８に示す断面において、第２本体面３１ｂに近づくにつれて、対向する壁面５３ａに近づくように湾曲している。このような下側蒸気流路凹部５３は、第１蒸気通路５１の一部（下半分）および第２蒸気通路５２の一部（下半分）を構成している。

　上側蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂからエッチングされることによって形成されている。上側蒸気流路凹部５４は、第２本体面３１ｂに凹状に形成されている。このことにより、上側蒸気流路凹部５４は、図８に示すように、湾曲した壁面５４ａを有している。この壁面５４ａは、上側蒸気流路凹部５４を画定している。壁面５４ａは、図８に示す断面において、第１本体面３１ａに近づくにつれて、対向する壁面５４ａに近づくように湾曲している。このような上側蒸気流路凹部５４は、第１蒸気通路５１の一部（上半分）および第２蒸気通路５２の一部（上半分）を構成している。

　図８に示すように、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが連接して貫通部３４が形成されている。壁面５３ａと壁面５４ａはそれぞれ貫通部３４に向かって湾曲している。このことにより、下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが互いに連通している。本実施の形態では、第１蒸気通路５１における貫通部３４の平面形状は、第１蒸気通路５１と同様に矩形枠状になっている。第２蒸気通路５２における貫通部３４の平面形状は、第２蒸気通路５２と同様に細長の矩形状になっている。下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが合流して稜線が形成され、この稜線によって貫通部３４が画定されていてもよい。当該稜線は、図８に示すように、蒸気通路５１、５２の内側に張り出すように形成されていてもよい。この貫通部３４において第１蒸気通路５１の平面面積が最小になっているとともに、第２蒸気通路５２の平面面積が最小になっている。このような第２蒸気通路５２における貫通部３４の幅ｗ２（図８参照）は、例えば、４００μｍ～１６００μｍであってもよい。第１蒸気通路５１における貫通部３４の幅も同様である。ここで、貫通部３４の幅ｗ２は、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部３３の間のギャップに相当する。

　Ｚ方向における貫通部３４の位置は、第１下側シート面１０ａと上側シート２０面２０ｂとの中間位置でもよい。あるいは、貫通部３４の位置は、中間位置から下側にずれた位置でもよく、または上側にずれた位置でもよい。下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが連通すれば、Ｚ方向における貫通部３４の位置は任意である。Ｚ方向は、図８における上下方向に相当する。

　本実施の形態では、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路５１の断面形状および第２蒸気通路５２の断面形状は、台形状や矩形状であってもよく、あるいは樽形の形状になっていてもよい。

　このように構成された第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を含む第１蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。図３に示すように、本実施の形態による第１蒸気流路部５０は、主として、下側シート１０と、上側シート２０と、上述したシート本体３１の枠体部３２およびランド部３３によって画定されている。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。

　ここで、図３は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２などを拡大して示している。これらの蒸気通路５１、５２の個数や配置は、図２、図６および図７とは異なっている。

　ところで、図示しないが、第１蒸気流路部５０内に、ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合うランド部３３同士を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向においてランド部３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向におけるランド部３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、第１蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていることが好ましい。例えば、ウィックシート３０のシート本体３１の第１本体面３１ａおよび第２本体面３１ｂのうちの一方の側に配置されて、他方の側には、蒸気流路凹部を構成する空間が形成されるようにしてもよい。このことにより、支持部の厚さをシート本体３１の厚さよりも薄くでき、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止できる。

　図６および図７に示すように、ウィックシート３０のシート本体３１の四隅に、アライメント孔３５が設けられていてもよい。

　図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、Ｘ方向における一側の端縁に、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を更に備えていてもよい。図２に示す形態では、注入部４は、蒸発領域ＳＲの側に配置されている。注入部４は、蒸発領域ＳＲの側の端縁から外側に突出している。

　より具体的には、注入部４は、下側注入突出部１１と、上側注入突出部２１と、ウィックシート注入突出部３６と、を有していてもよい。下側注入突出部１１は、図４に示すように、下側シート１０を構成する部分である。上側注入突出部２１は、図５に示すように、上側シート２０を構成する部分である。ウィックシート注入突出部３６は、図６および図７に示すように、シート本体３１を構成する部分である。ウィックシート注入突出部３６に注入流路３７が形成されている。この注入流路３７は、シート本体３１の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに延びており、Ｚ方向においてシート本体３１（より詳細には、ウィックシート注入突出部３６）を貫通している。また、注入流路３７は、第１蒸気流路部５０に連通している。この注入流路３７を通過して、作動液２ｂが密封空間３に注入される。液流路部６０の配置によっては、注入流路３７は液流路部６０に連通するようにしてもよい。ウィックシート注入突出部３６の上面および下面は、平坦状に形成されている。下側注入突出部１１の上面および上側注入突出部２１の下面も、平坦状に形成されている。各注入突出部１１、２１、３８の平面形状は等しくてもよい。

　本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一対の端縁のうちの一側の端縁に設けられている例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、注入部４は、任意の位置に設けることができる。また、ウィックシート注入突出部３６に設けられた注入流路３７は、作動液２ｂを注入できれば、シート本体３１を貫通していなくてもよい。この場合、シート本体３１の第１本体面３１ａおよび第２本体面３１ｂのうちの一方に形成された凹部で、第１蒸気流路部５０に連通する注入流路３７を形成できる。

　液流路部６０は、図３、図６および図８に示すように、ウィックシート３０のシート本体３１の第２本体面３１ｂに設けられている。液流路部６０は、主として作動液２ｂが通る流路であってもよい。この液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成している。液流路部６０は、第１蒸気流路部５０に連通している。液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。液流路部６０は、ウィックと称する場合もある。本実施の形態においては、液流路部６０は、ウィックシート３０の各ランド部３３の第２本体面３１ｂに設けられている。液流路部６０は、各ランド部３３の第２本体面３１ｂの全体にわたって形成されていてもよい。各ランド部３３の第１本体面３１ａには、液流路部６０は設けられていなくてもよい。

　図９に示すように、液流路部６０は、第２本体面溝部の一例である。より具体的には、液流路部６０は、複数の液流路主流溝６１と、複数の液流路連絡溝６５と、を有している。液流路主流溝６１は、第２溝の一例である。液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５は、作動液２ｂが通る溝である。液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１に連通している。

　各液流路主流溝６１は、図９に示すように、Ｘ方向に延びている。液流路主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるような流路断面積を有している。液流路主流溝６１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。このことにより、液流路主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各液流路主流溝６１は、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿って、等間隔に離間して配置されていてもよい。

　液流路主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０のシート本体３１の第２本体面３１ｂからエッチングされることによって形成されている。このことにより、液流路主流溝６１は、図８に示すように、湾曲した壁面６２を有している。この壁面６２は、液流路主流溝６１を画定し、第１本体面３１ａに向かって膨らむような形状で湾曲している。

　図８および図９に示すように、液流路主流溝６１の幅ｗ３は、例えば、５μｍ～１５０μｍであってもよい。液流路主流溝６１の幅ｗ３は、第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。幅ｗ３は、Ｙ方向における寸法に相当している。また、図８に示すように、液流路主流溝６１の深さｈ１は、例えば、３μｍ～１５０μｍであってもよい。深さｈ１は、Ｚ方向における寸法に相当している。

　図９に示すように、各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に延びている。液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１に垂直に形成されている。いくつかの液流路連絡溝６５は、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通している。他の液流路連絡溝６５は、第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２と、液流路主流溝６１とを連通している。すなわち、当該液流路連絡溝６５は、Ｙ方向におけるランド部３３の側縁３３ａから、当該側縁３３ａに隣り合う液流路主流溝６１に延びている。このようにして、第１蒸気通路５１と液流路主流溝６１とが連通されているとともに、第２蒸気通路５２と液流路主流溝６１とが連通されている。

　液流路連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるような流路断面積を有している。液流路連絡溝６５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向に沿って、等間隔に離間して配置されていてもよい。

　液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１と同様に、エッチングによって形成されている。液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１と同様の湾曲した壁面（図示せず）を有している。図９に示すように、液流路連絡溝６５の幅ｗ４は、液流路主流溝６１の幅ｗ３と等しくてもよい。しかしながら、幅ｗ４は、幅ｗ３よりも大きくてもよく、または小さくてもよい。幅ｗ４は、Ｘ方向における寸法に相当している。液流路連絡溝６５の深さは、液流路主流溝６１の深さｈ１と等しくてもよい。しかしながら、液流路連絡溝６５の深さは、深さｈ１よりも深くてもよく、または浅くてもよい。

　図９に示すように、液流路部６０は、シート本体３１の第２本体面３１ｂに設けられた凸部列６３を有している。凸部列６３は、互いに隣り合う液流路主流溝６１の間に設けられている。各凸部列６３は、Ｘ方向に配列された複数の凸部６４を含んでいる。凸部６４は、液流路突出部の一例である。凸部６４は、液流路部６０内に設けられている。凸部６４は、シート本体３１から突出して上側シート２０に当接している。各凸部６４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う凸部６４の間に、液流路主流溝６１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う凸部６４の間に、液流路連絡溝６５が介在されている。液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に延びており、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通している。このことにより、これらの液流路主流溝６１の間で作動液２ｂが往来可能になっている。

　凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図９に示すように、凸部６４の平面形状が、矩形状になっている。凸部６４の平面形状は、シート本体３１の第２本体面３１ｂの位置における平面形状に相当している。

　本実施の形態においては、凸部６４は、千鳥状に配置されている。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列６３の凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部６４の幅ｗ５は、例えば、５μｍ～５００μｍであってもよい。凸部６４の幅ｗ５は、第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。幅ｗ５は、Ｙ方向における寸法に相当している。凸部６４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列６３の凸部６４が、Ｘ方向においても整列される（図１９参照）。

　液流路主流溝６１は、液流路交差部６６を含んでいる。液流路交差部６６は、液流路主流溝６１のうち液流路連絡溝６５と連通する部分である。液流路交差部６６において、液流路主流溝６１と液流路連絡溝６５とがＴ字状に連通している。このことにより、一の液流路主流溝６１と、一方の側の液流路連絡溝６５とが連通している液流路交差部６６において、他方の側の液流路連絡溝６５が当該液流路主流溝６１に連通することを回避できる。例えば、一の液流路交差部６６において、図９における上側の液流路連絡溝６５と下側の液流路連絡溝６５とが連通することを回避できる。すなわち、一の液流路主流溝６１のＹ方向における両側に存在する液流路連絡溝６５が、Ｘ方向において同じ位置に配置される場合、当該液流路主流溝６１と当該液流路連絡溝６５とが、十字状に交わる。この場合、当該液流路主流溝６１の壁面６２（図８参照）が、Ｘ方向における同じ位置で、当該液流路連絡溝６５によって両側で切り欠かれる。この切り欠かれた位置では、十字状に連続した空間が形成され、液流路主流溝６１の毛細管作用が低下し得る。これに対して本実施の形態によれば、一の液流路主流溝６１のＹ方向における両側に存在する液流路連絡溝６５が、Ｘ方向において異なる位置に配置されている。このことにより、当該液流路主流溝６１の壁面６２のうち、Ｙ方向の一側で液流路連絡溝６５によって切り欠かれる位置と、Ｙ方向の他側で液流路連絡溝６５によって切り欠かれる位置とを、Ｘ方向で異ならせることができる。この場合、液流路主流溝６１は、Ｙ方向における一側で液流路連絡溝６５と連通するため、Ｙ方向における他側では、当該液流路主流溝６１の壁面６２を残存できる。このため、液流路主流溝６１の壁面６２が液流路連絡溝６５によって切り欠かれた位置では、連続する空間はＴ字状に形成され、液流路主流溝６１の毛細管作用の低下を抑制できる。このため、蒸発領域ＳＲに向かう作動液２ｂの推進力が液流路交差部６６で低下することを抑制できる。

　第２蒸気流路部７０は、図３、図７および図８に示すように、ウィックシート３０のランド部３３の第１本体面３１ａに設けられている。第２蒸気流路部７０は、主として作動蒸気２ａが通る部分であってもよい。この第２蒸気流路部７０は、上述した密封空間３の一部を構成している。第２蒸気流路部７０は、第１蒸気流路部５０に連通しているとともに、第１蒸気流路部５０を介して液流路部６０に連通している。本実施の形態においては、第２蒸気流路部７０は、ウィックシート３０の各ランド部３３の第１本体面３１ａに設けられている。

　図７に示すように、本実施の形態による第２蒸気流路部７０は、Ｘ方向においてランド部３３の一側に配置されていてもよい。第２蒸気流路部７０は、Ｘ方向においてランド部３３の中心よりも当該一側に形成されていてもよい。本実施の形態による第２蒸気流路部７０は、蒸発領域ＳＲに配置されていてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第２蒸気流路部７０の一部が、蒸発領域ＳＲの外側にはみ出していてもよい。第２蒸気流路部７０の少なくとも一部が蒸発領域ＳＲに配置されている場合、電子デバイスＤの熱を受けて、蒸発領域ＳＲにおいて作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａが、Ｙ方向に拡散しやすくなる。

　図１０示すように、第２蒸気流路部７０は、第１本体面溝部の一例である。より具体的には、第２蒸気流路部７０は、蒸気流路溝７１を含んでいる。蒸気流路溝７１は、第１溝の一例である。蒸気流路溝７１は、Ｘ方向に直交するＹ方向においてランド部３３の一方の側縁３３ａから他方の側縁３３ａに延びている。本実施の形態では、各ランド部３３に、１つの蒸気流路溝７１が形成されている。蒸気流路溝７１は、第２蒸気通路５２とは直交する方向であるＹ方向に延びている。図１０では、蒸気流路溝７１のＹ方向寸法が、Ｘ方向寸法よりも小さくなっている例が示されているが、このことに限られることはない。ランド部３３の側縁３３ａは、Ｙ方向におけるランド部３３の縁を意味しており、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａのうち第１本体面３１ａにおける位置を意味する用語として用いている。

　ランド部３３は、一対の端縁３３ｂを含んでいる。端縁３３ｂは、ランド部３３のＸ方向における端縁である。図１０に示すように、蒸気流路溝７１と、一側の端縁３３ｂとの間に、下側シート１０に当接する端縁凸部７３が設けられている。より具体的には、端縁凸部７３は、Ｘ方向において蒸発領域ＳＲに配置された端縁３３ｂと蒸気流路溝７１との間に形成されている。この端縁凸部７３は、Ｘ方向における第２蒸気流路部７０の一側に形成されており、第１本体面３１ａを構成している。このため、端縁凸部７３は、下側シート１０と当接し、接合されている。蒸気流路溝７１の他側には、第１本体面３１ａが残存している。ランド部３３の端縁３３ｂは、Ｘ方向におけるランド部３３の縁を意味しており、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａのうち第１本体面３１ａにおける位置を意味する用語として用いている。

　第２蒸気流路部７０の蒸気流路溝７１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。しかしながら、蒸気流路溝７１の流路断面積は、上述した液流路部６０の液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくてもよい。このことにより、蒸気流路溝７１内の作動液２ｂに作用する毛細管力を、液流路主流溝６１内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくしてもよい。

　蒸気流路溝７１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０のシート本体３１の第１本体面３１ａからエッチングされることによって形成されている。このことにより、蒸気流路溝７１は、図１１Ａに示すように、湾曲した壁面７１ａを有している。この壁面７１ａは、蒸気流路溝７１を画定し、第２本体面３１ｂに向かって膨らむような形状で湾曲している。図１１Ａに示す断面においては、上述したように、壁面７１ａが、楕円の一部を構成する形状で湾曲している例が示されている。このように壁面７１ａが形成されている場合には、例えば、上方から与えられる力をＸ方向に分散でき、蒸気流路溝７１が押し潰されることを抑制できる。また、蒸気流路溝７１のＸ方向における中央部の空間を相対的に大きくできる。このことにより、作動蒸気２ａの流路抵抗を小さくでき、蒸気流路溝７１を流れる作動蒸気２ａの圧力損失を低減できる。

　しかしながら、蒸気流路溝７１の壁面７１ａの形状は、図１１Ａに示す形状に限られることはない。

　例えば、蒸気流路溝７１は、図１１Ｂに示すように、２つの湾曲壁面７７と、直線壁面７８と、を有していてもよい。湾曲壁面７７は、湾曲している。直線壁面７８は、湾曲壁面７７の間に設けられており、直線状に形成されている。図１１Ｂでは、湾曲壁面７７は、円弧の一部を構成する形状で湾曲しているが、これに限られることはない。このように蒸気流路溝７１が形成されている場合には、直線壁面７８に毛細管作用が発生することを抑制でき、作動液２ｂが蒸気流路溝７１に流入することを抑制できる。また、蒸気流路溝７１のうち直線壁面７８で画定される部分において、作動蒸気２ａの流路抵抗を小さくでき、蒸気流路溝７１を流れる作動蒸気２ａの圧力損失を低減できる。

　例えば、蒸気流路溝７１は、図１１Ｃに示すように、２つの湾曲壁面７７と、凹凸壁面７９と、を有していてもよい。湾曲壁面７７は、湾曲している。凹凸壁面７９は、湾曲壁面７７の間に設けられており、凹凸状に形成されている。この凹凸壁面７９の凹凸形状で、作動蒸気２ａの流れを誘導できる。この場合、作動蒸気２ａの流路抵抗を小さくでき、蒸気流路溝７１を流れる作動蒸気２ａの圧力損失を低減できる。凹凸壁面７９に形成される凹凸の高さは、後述する蒸気流路溝７１の深さｈ２よりも小さくてもよい。また、凹凸の平面形状は任意である。凹凸壁面７９の一部に、図１１Ｂに示すような直線壁面７８が形成されていてもよい。

　図７および図１０に示すように、各ランド部３３の第１本体面３１ａに、上述した第２蒸気流路部７０が設けられている。Ｙ方向において互いに隣り合う一対のランド部３３のうちの一方のランド部３３の蒸気流路溝７１と、他方のランド部３３の蒸気流路溝７１は、Ｙ方向に沿って見たときに重なる位置に配置されている。すなわち、互いに隣り合うランド部３３の蒸気流路溝７１は、第２蒸気通路５２を介して連続状に形成されており、互いの延長線上に形成されている。互いに隣り合うランド部３３の蒸気流路溝７１は、Ｘ方向において同じ位置に配置されていてもよい。しかしながら、蒸気流路溝７１の配置はこれに限られることはない。例えば、Ｙ方向において互いに隣り合う一対のランド部３３のうちの一方のランド部３３の蒸気流路溝７１と、他方のランド部３３の蒸気流路溝７１は、Ｙ方向に沿って見たときに重なる位置とは異なる位置に配置されていてもよい。この場合、これらの蒸気流路溝７１は、Ｙ方向に沿って見たときに重ならず、Ｘ方向において互いに異なる位置に配置される。

　図１０に示すように、蒸気流路溝７１の幅ｗ６は、上述した液流路主流溝６１の幅ｗ３（図９参照）よりも大きくてもよい。幅ｗ６は、例えば、５００μｍ～３００００μｍであってもよい。蒸気流路溝７１の幅ｗ６は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。幅ｗ６は、Ｘ方向における寸法に相当している。また、図８に示すように、蒸気流路溝７１の深さｈ２は、上述した液流路主流溝６１の深さｈ１よりも大きくてもよい。深さｈ２は、例えば、２５μｍ～２００μｍであってもよい。深さｈ２は、Ｚ方向における寸法に相当している。

　端縁凸部７３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図１０に示すように、端縁凸部７３の平面形状が、矩形状になっている。端縁凸部７３の平面形状は、シート本体３１の第１本体面３１ａの位置における平面形状に相当している。

　ところで、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはない。下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１０、２０、３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。また、作動流体２ａ、２ｂとして純水を使用する場合には、腐食することを防止できる。所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止できれば、これらのシート１０、２０、３０には、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いることもできる。

　図３に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ～１０００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、第１蒸気流路部５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１の機能を適切に発揮できる。一方、厚さｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。

　下側シート１０の厚さｔ２は、例えば、６μｍ～１００μｍであってもよい。下側シート１０の厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、下側シート１０の機械的強度を確保できる。一方、下側シート１０の厚さｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。同様に、上側シート２０の厚さｔ３は、下側シート１０の厚さｔ２と同様に設定されていてもよい。上側シート２０の厚さｔ３と、下側シート１０の厚さｔ２は、異なっていてもよい。

　ウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ～４００μｍであってもよい。ウィックシート３０の厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、第１蒸気流路部５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１の機能を適切に発揮できる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。

　次に、このような構成からなる本実施の形態のベーパーチャンバ１の製造方法について、図１２～図１４を用いて説明する。図１２～図１４では、図３の断面図と同様の断面を示している。

　ここでは、初めに、ウィックシート３０の作製工程について説明する。

　まず、図１２に示すように、準備工程として、平板状の金属材料シートＭを準備する。金属材料シートＭは、第１材料面Ｍａと、第２材料面Ｍｂと、を含んでいる。金属材料シートＭは、所望の厚さを有する圧延材で形成されていてもよい。

　準備工程の後、エッチング工程として、図１３に示すように、金属材料シートＭを、第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂからエッチングする。このことにより、金属材料シートＭに、第１蒸気流路部５０、液流路部６０および第２蒸気流路部７０を形成する。

　より具体的には、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂに、フォトリソフィー技術によって、パターン状のレジスト膜（図示せず）が形成される。続いて、パターン状のレジスト膜の開口を介して、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂがエッチングされる。このことにより、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂがパターン状にエッチングされて、図１３に示すような第１蒸気流路部５０、液流路部６０および第２蒸気流路部７０が形成される。エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。

　エッチングは、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂを同時にエッチングしてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂのエッチングは別々の工程として行われてもよい。また、第１蒸気流路部５０、液流路部６０および第２蒸気流路部７０が同時にエッチングで形成されてもよく、別々の工程で形成されてもよい。

　エッチング工程においては、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂをエッチングすることにより、図６および図７に示すような所定の外形輪郭形状が得られる。

　このようにして、本実施の形態によるウィックシート３０が得られる。

　ウィックシート３０の作製工程の後、接合工程として、図１４に示すように、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０が接合される。下側シート１０および上側シート２０は、所望の平面形状および所望の厚さを有する圧延材で形成されていてもよい。

　より具体的には、まず、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０をこの順番で積層する。この場合、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂにウィックシート３０の第１本体面３１ａが重ね合わされ、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂに、上側シート２０の第１上側シート面２０ａが重ね合わされる。この際、下側シート１０のアライメント孔１２と、ウィックシート３０のアライメント孔３５と、上側シート２０のアライメント孔２２とを利用して、各シート１０、２０、３０が位置合わせされる。

　続いて、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０が仮止めされる。例えば、スポット的に抵抗溶接を行って、これらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよく、レーザ溶接でこれらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよい。

　次に、下側シート１０と、ウィックシート３０と、上側シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、下側シート１０とウィックシート３０と上側シート２０とを積層方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。加圧する際には、下側シート１０とウィックシート３０とが密着するとともにウィックシート３０と上側シート２０とが密着する。拡散接合は、各シート１０、２０、３０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１０、２０、３０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、ウィックシート３０の枠体部３２および各ランド部３３における第１本体面３１ａが、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに拡散接合される。また、ウィックシート３０の枠体部３２および各ランド部３３における第２本体面３１ｂが、上側シート２０面の第１上側シート面２０ａに拡散接合される。このようにして、各シート１０、２０、３０が拡散接合されて、下側シート１０と上側シート２０との間に、第１蒸気流路部５０と液流路部６０と第２蒸気流路部７０とを有する密封空間３が形成される。この段階では、上述した注入流路３７は封止されていない。上述した注入部４においては、下側シート１０の下側注入突出部１１とウィックシート３０のウィックシート注入突出部３６とが拡散接合される。また、このウィックシート注入突出部３６と上側シート２０の上側注入突出部２１とが拡散接合される。

　接合工程の後、注入部４から密封空間３に作動液２ｂが注入される。この際、作動液２ｂは、液流路部６０の各液流路主流溝６１と各液流路連絡溝６５で構成される空間の合計体積よりも多い注入量で注入されてもよい。

　その後、上述した注入流路３７が封止される。例えば、注入部４にレーザ光を照射し、注入部４が部分的に溶融して注入流路３７を封止するようにしてもよい。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断されて、作動液２ｂが封入された密封空間３が得られる。このため、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。注入流路３７の封止のためには、注入部４をかしめてもよく（または押圧して塑性変形してもよく）、またはろう付けしてもよい。

　以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。

　次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。

　上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。上側シート２０の第２上側シート面２０ｂに、被冷却装置であるＣＰＵ等の電子デバイスＤが取り付けられる。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面に付着する。より具体的には、作動液２ｂは、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａ、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａ、液流路部６０の液流路主流溝６１の壁面６２および液流路連絡溝６５の壁面、並びに第２蒸気流路部７０の蒸気流路溝７１の壁面７１ａに付着する。また、作動液２ｂは、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂのうち下側蒸気流路凹部５３および蒸気流路溝７１に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液２ｂは、上側シート２０の第１上側シート面２０ａのうち上側蒸気流路凹部５４、液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５に露出した部分にも付着し得る。

　この状態で電子デバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲ（図６および図７参照）に存在する作動液２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａの多くは、密封空間３を構成する下側蒸気流路凹部５３および上側蒸気流路凹部５４内で拡散する（図６の実線矢印参照）。

　より具体的には、第１蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１のうちＸ方向に延びる部分および第２蒸気通路５２において、作動蒸気２ａは、主としてＸ方向に拡散する。一方、第１蒸気通路５１のうちＹ方向に延びる部分においては、作動蒸気２ａは、主としてＹ方向に拡散する。また、本実施の形態においては、ランド部３３の第１本体面３１ａに、第２蒸気流路部７０が設けられている。この第２蒸気流路部７０は、Ｙ方向におけるランド部３３の一方の側縁３３ａから他方の側縁３３ａに延びる蒸気流路溝７１を有している。このことにより、第２蒸気流路部７０の蒸気流路溝７１内においても、作動蒸気２ａは、主としてＹ方向に拡散する。

　そして、各蒸気流路凹部５３、５４内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れ、作動蒸気２ａの多くは、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲに輸送される。図６および図７においては、作動蒸気２ａの多くは、蒸気流路部５０における右側の部分に輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として下側シート１０に放熱して冷却される。下側シート１０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。

　作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて下側シート１０に放熱する。このことにより、作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気流路凹部５３、５４の壁面５３ａ、５４ａおよび下側シート１０の第２下側シート面１０ｂおよび上側シート２０の第１上側シート面２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けているため、液流路部６０のうち蒸発領域ＳＲ以外の領域（すなわち、凝縮領域ＣＲ）における作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図６の破線矢印参照）。このことにより、各壁面５３ａ、５４ａ、第２下側シート面１０ｂおよび第１上側シート面２０ａに付着した作動液２ｂは、液流路部６０に移動する。この際、作動液２ｂは、液流路連絡溝６５を通過して液流路主流溝６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝６１および各液流路連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。このため、充填された作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得る。このようにして、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

　液流路部６０においては、各液流路主流溝６１が、対応する液流路連絡溝６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士で、作動液２ｂが往来し、液流路主流溝６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各液流路主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。

　液流路部６０によって蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲ内の液流路連絡溝６５を通って、流路断面積が大きい下側蒸気流路凹部５３および上側蒸気流路凹部５４に移動する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気流路凹部５３、５４内で拡散する。各蒸気流路凹部５３、５４内の作動蒸気２ａの一部は、上述したように、第２蒸気流路部７０を通り、Ｙ方向に拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱が輸送されて放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。

　このように本実施の形態によれば、ランド部３３の第１本体面３１ａに、作動蒸気２ａが通る第２蒸気流路部７０が設けられている。第２蒸気流路部７０は、Ｙ方向においてランド部３３の一方の側縁３３ａから他方の側縁３３ａに延びる蒸気流路溝７１を有している。このことにより、蒸発領域ＳＲにおいて蒸発した作動蒸気２ａを、第１蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２でＸ方向に拡散するだけでなく、蒸気流路溝７１を通って、Ｙ方向にも拡散できる。このため、電子デバイスＤの熱をより一層拡散でき、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。この場合、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。

　本実施の形態によれば、Ｙ方向において互いに隣り合う一対のランド部３３のうちの一方のランド部３３の蒸気流路溝７１と、他方のランド部３３の蒸気流路溝７１は、Ｙ方向に沿って見たときに重なる位置に配置されている。このことにより、ランド部３３に設けられた蒸気流路溝７１を、当該ランド部３３に隣り合う他のランド部３３に設けられた蒸気流路溝７１とＹ方向に整列できる。このため、作動蒸気２ａは、各ランド部３３に設けられた蒸気流路溝７１を通って各ランド部３３を横断するようにＹ方向に拡散できる。この結果、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。

　本実施の形態によれば、第２蒸気流路部７０は、Ｘ方向においてランド部３３の一側に配置されている。このことにより、第２蒸気流路部７０が配置されている部分を蒸発領域ＳＲとする場合には、蒸発領域ＳＲで蒸発した作動蒸気２ａのＹ方向への流れが妨げられることを抑制できる。このため、作動蒸気２ａのＹ方向への拡散を促進でき、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。

　本実施の形態によれば、Ｘ方向におけるランド部３３の一対の端縁３３ｂのうち第２蒸気流路部７０が配置されている側の端縁３３ｂとの間に、下側シート１０に当接する端縁凸部７３が設けられている。このことにより、端縁凸部７３を下側シート１０に当接させて接合できる。このため、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。

　（第１変形例）
　上述した本実施の形態においては、各ランド部３３に設けられた第２蒸気流路部７０は、１つの蒸気流路溝７１を有している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図１５に示すように、各ランド部３３に設けられた第２蒸気流路部７０が、複数の蒸気流路溝７１を有していてもよい。この場合、各ランド部３３に、複数の蒸気流路溝７１がＸ方向に配列される。そして、互いに隣り合う一対の蒸気流路溝７１の間に、下側シート１０に当接する蒸気流路凸部７４が設けられていてもよい。図１５では、蒸気流路溝７１のＸ方向寸法が、Ｙ方向寸法よりも小さくなっている例が示されているが、このことに限られることはない。図１５に示す例では、各蒸気流路凸部７４の平面形状が、矩形状になっている。蒸気流路凸部７４の平面形状は、シート本体３１の第１本体面３１ａの位置における平面形状に相当している。

　第１変形例においては、蒸気流路溝７１の幅ｗ７は、液流路主流溝６１の幅ｗ３（図９参照）よりも大きくてもよい。幅ｗ７は、Ｘ方向における寸法に相当している。幅ｗ７は、例えば、３０μｍ～２０００μｍであってもよい。幅ｗ７は、３０μｍ～５００μｍであってもよく、３０μｍ～２００μｍであってもよい。蒸気流路溝７１の深さｈ３（図１６Ｃ参照）は、液流路主流溝６１の深さｈ１（図８参照）よりも大きくてもよい。深さｈ３は、Ｚ方向の寸法に相当しており、図８のｈ２に相当している。深さｈ３は、例えば、２５μｍ～２００μｍであってもよい。蒸気流路凸部７４の幅ｗ８は、例えば、３０μｍ～５００μｍであってもよい。

　このように第１変形例によれば、蒸気流路溝７１の間に、蒸気流路凸部７４が設けられている。このことにより、蒸発領域ＳＲにおいて蒸発した作動蒸気２ａを、Ｙ方向に拡散させつつ、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。

　図１５に示す例においては、Ｙ方向において互いに隣り合う一対のランド部３３のうちの一方のランド部３３の各蒸気流路溝７１と、他方のランド部３３の対応する蒸気流路溝７１は、Ｙ方向に沿って見たときに重なる位置に配置されている。このことにより、ランド部３３に設けられた各蒸気流路溝７１を、当該ランド部３３に隣り合う他のランド部３３に設けられた対応する蒸気流路溝７１と整列できる。このため、作動蒸気２ａは、各ランド部３３に設けられた各蒸気流路溝７１を通ってＹ方向に拡散でき、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。

　（第２変形例）
　上述した第１変形例においては、第２蒸気流路部７０が、複数の蒸気流路溝７１を有しており、互いに隣り合う一対の蒸気流路溝７１の間に、蒸気流路凸部７４が設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図１６Ａおよび図１６Ｂに示すように、第２蒸気流路部７０は、蒸気流路凸部７４に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａを有していてもよい。蒸気流路連絡溝７２ａは、互いに隣り合う一対の蒸気流路溝７１を連通している。

　蒸気流路連絡溝７２ａは、Ｙ方向とは異なる方向に延びている。図１６Ａおよび図１６Ｂに示すように、蒸気流路連絡溝７２ａは、Ｘ方向に延びている。蒸気流路連絡溝７２ａは、蒸気流路溝７１に垂直に形成されている。蒸気流路連絡溝７２ａの流路断面積は、蒸気流路溝７１の流路断面積と等しくてもよい。あるいは、蒸気流路連絡溝７２ａの流路断面積は、蒸気流路溝７１の流路断面積よりも大きくてもよく、または小さくてもよい。蒸気流路連絡溝７２ａは、蒸気流路溝７１と同様に、エッチングによって形成されていてもよい。各蒸気流路凸部７４には、１つまたは複数の蒸気流路連絡溝７２ａが形成されていてもよい。

　図１６Ａおよび図１６Ｂに示すように、蒸気流路連絡溝７２ａは、千鳥状に配置されていてもよい。より具体的には、互いに隣り合う蒸気流路凸部７４のうちの一方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａと、他方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａは、Ｘ方向に沿って見たときに重なる位置とは異なる位置に配置されていてもよい。この場合、これらの蒸気流路連絡溝７２ａは、Ｘ方向に沿って見たときに重なっていない。

　図１６Ｂに示すように、蒸気流路連絡溝７２ａの幅ｗ１０は、蒸気流路溝７１の幅ｗ７と等しくてもよい。しかしながら、幅ｗ１０は、幅ｗ７よりも大きくてもよく、または小さくてもよい。幅ｗ１０は、Ｙ方向における寸法に相当している。幅ｗ１０は、例えば、３０μｍ～２０００μｍであってもよい。幅ｗ１０は、３０μｍ～５００μｍであってもよく、３０μｍ～２００μｍであってもよい。図１６Ｃに示すように、蒸気流路連絡溝７２ａの深さｈ４は、蒸気流路溝７１の深さｈ３と等しくてもよい。しかしながら、深さｈ４は、深さｈ３よりも大きくてもよく、または小さくてもよい。深さｈ４は、Ｚ方向における寸法に相当している。深さｈ４は、例えば、２５μｍ～２００μｍであってもよい。

　図１６Ａに示すように、第２蒸気流路部７０は、端縁凸部７３に設けられた蒸気流路連絡溝７２ｂを有していてもよい。蒸気流路連絡溝７２ｂは、蒸気流路溝７１と第１蒸気通路５１とを連通している。蒸気流路連絡溝７２ｂは、上述した蒸気流路連絡溝７２ａと同様に形成されていてもよい。端縁凸部７３には、１つまたは複数の蒸気流路連絡溝７２ｂが形成されていてもよい。蒸気流路連絡溝７２ｂは、蒸気流路連絡溝７２ａとともに千鳥状に配置されていてもよい。

　このように第２変形例によれば、蒸気流路凸部７４に、互いに隣り合う一対の蒸気流路溝７１を連通する蒸気流路連絡溝７２ａが設けられている。このことにより、作動蒸気２ａが蒸気流路溝７１を通る際、蒸気流路連絡溝７２ａを通ってＸ方向に拡散できる。このため、第２蒸気流路部７０内の作動蒸気２ａを、Ｙ方向だけでなくＸ方向に拡散でき、電子デバイスＤの熱をより一層拡散できる。

　第２変形例によれば、互いに隣り合う蒸気流路凸部７４のうちの一方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａと、他方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａは、Ｘ方向に沿って見たときに重なる位置とは異なる位置に配置されている。このことにより、Ｘ方向において互いに隣り合う一対の蒸気流路凸部７４を、Ｙ方向において異なる位置に配置することができる。このため、ベーパーチャンバ１の機械的強度をより一層向上できる。

　（第３変形例）
　上述した第２変形例においては、互いに隣り合う蒸気流路凸部７４のうちの一方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａと、他方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａは、Ｘ方向に沿って見たときに重なる位置とは異なる位置に配置されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図１７に示すように、互いに隣り合う蒸気流路凸部７４のうちの一方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａと、他方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａは、Ｘ方向に沿って見たときに重なる位置に配置されていてもよい。この場合、蒸気流路連絡溝７２ａは、格子状に配置される。端縁凸部７３に、上述した蒸気流路連絡溝７２ｂが形成される場合には、蒸気流路連絡溝７２ｂは、蒸気流路連絡溝７２ａとともに格子状に配置されていてもよい。

　このように第３変形例によれば、互いに隣り合う蒸気流路凸部７４のうちの一方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａと、他方に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａは、Ｘ方向に沿って見たときに重なる位置に配置されている。このことにより、蒸気流路凸部７４に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａを、当該蒸気流路凸部７４に隣り合う他の蒸気流路凸部７４に設けられた蒸気流路連絡溝７２ａと整列できる。このため、作動蒸気２ａは、各蒸気流路凸部７４に設けられた各蒸気流路連絡溝７２ａを通ってＸ方向に拡散できる。このため、第２蒸気流路部７０内の作動蒸気２ａを、Ｘ方向により一層拡散でき、電子デバイスＤの熱をより一層拡散できる。

　（第４変形例）
　上述した第１変形例においては、各蒸気流路凸部７４の平面形状が、矩形状になっている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば、図１８に示すように、各蒸気流路凸部７４の平面形状は、丸みを帯びた矩形状に形成されていてもよい。より具体的には、図１８に示すように、平面視において、蒸気流路凸部７４の角部の各々に、丸みを帯びた湾曲部７５が設けられていてもよい。Ｙ方向における蒸気流路凸部７４の両端部において、２つの角部に設けられた湾曲部７５が連続状に一体的に形成されていてもよい。

　このように第４変形例によれば、蒸気流路凸部７４の角部に湾曲部７５が設けられることにより、第２蒸気流路部７０の蒸気流路溝７１の流路抵抗を低減できる。このことにより、作動蒸気２ａをスムースにＹ方向に流すことができる。また、蒸気流路凸部７４の角部における毛管力を低減でき、作動液２ｂが当該角部に溜まることを抑制できる。

　図１８に示すように、端縁凸部７３の角部のうち蒸気流路溝７１の側の角部にも、同様の湾曲部７５が設けられていてもよい。このことにより、端縁凸部７３に隣り合う蒸気流路溝７１の流路抵抗をより一層低減できる。

　（第５変形例）
　上述した本実施の形態においては、第２蒸気流路部７０が、第１蒸気流路部５０を介して液流路部６０に連通している例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、例えば図１９および図２０に示すように、シート本体３１に、液流路部６０と第２蒸気流路部７０とを連通した複数の連通部８０が設けられていてもよい。連通部８０は、蒸発領域ＳＲ内に位置していてもよい。

　より具体的には、図１９および図２０に示すように、連通部８０は、シート本体３１を貫通して、液流路部６０から第２蒸気流路部７０に延びる貫通孔８２を含んでいてもよい。図１９および図２０に示す第５変形例では、貫通孔８２は、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａまたは上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａではなく、平面視でランド部３３の内部に位置している。図１９よび図２０では、貫通孔８２が矩形状に形成されている例が示されている。しかしながら、貫通孔８２の平面形状は、円形状または楕円形状等の湾曲していてもよく、任意である。

　貫通孔８２は、液流路部６０の液流路交差部６６および第２蒸気流路部７０の蒸気流路溝７１に延びていてもよい。図１９および図２０に示す第５変形例では、貫通孔８２の一端は、液流路交差部６６に位置している。貫通孔８２の他端は、蒸気流路溝７１に位置している。貫通孔８２は、液流路主流溝６１または液流路連絡溝６５に連通されていれば、液流路交差部６６に連通されていなくてもよい。

　図１９に示すように、貫通孔８２の幅ｗ９は、液流路連絡溝６５の幅ｗ４（図９参照）よりも大きくてもよい。幅ｗ９は、Ｘ方向における寸法に相当している。このことにより、貫通孔８２内の作動液２ｂに作用する毛細管力を、液流路連絡溝６５内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくできる。この場合、貫通孔８２内に作動液２ｂが滞留することを抑制できる。また、この場合、貫通孔８２は、凸部６４を切り欠くように形成される。また、貫通孔８２の幅ｗ９は、蒸気流路溝７１の幅ｗ６（図１０参照）よりも小さくてもよい。貫通孔８２の幅ｗ９は、例えば、１０μｍ～１００μｍであってもよい。貫通孔８２の幅ｗ９は、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。

　このように第５変形例によれば、液流路部６０内において電子デバイスＤから受けた熱によって作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａの一部は、連通部８０を通って第２蒸気流路部７０の蒸気流路溝７１に達することができる。このことにより、作動蒸気２ａは、蒸気流路溝７１内でＹ方向に拡散できる。すなわち、液流路部６０内において蒸発した作動蒸気２ａは、第１蒸気流路部５０を通らずに、第２蒸気流路部７０に達することができる。このことにより、作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａを、スムースにＹ方向に拡散できる。このため、電子デバイスＤの熱をより一層拡散でき、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。

　第５変形例によれば、連通部８０は、シート本体３１を貫通して、液流路部６０から第２蒸気流路部７０に延びる貫通孔８２を含んでいる。このことにより、液流路部６０から第２蒸気流路部７０への作動液２ｂの流路抵抗をより一層減らすことができる。このため、液流路部６０内で蒸発した作動蒸気２ａは、第２蒸気流路部７０にスムースに達することができる。さらに、第５変形例によれば、貫通孔８２が、液流路交差部６６および蒸気流路溝７１に延びていることにより、液流路部６０から蒸気流路溝７１への作動蒸気２ａの流路抵抗をより一層減らすことができる。

　（第６変形例）
　上述した本実施の形態においては、各ランド部３３に設けられた第２蒸気流路部７０が、１つの蒸気流路溝７１を有している例について説明した。この場合、蒸気流路溝７１内に、ランド部３３から突出して下側シート１０に当接する複数の凸部７６が設けられていてもよい。凸部７６は、蒸気流路溝７１内に複数設けられていてもよい。凸部７６は、蒸気流路溝７１を通る作動蒸気２ａの流れが妨げられないように配置されていてもよい。このような凸部７６は、例えば、図２１に示すように、平面視で円形状に形成されていてもよく、あるいは、図示しないが楕円形状に形成されていてもよい。また、図示しないが、凸部７６は、平面視で矩形状に形成されていてもよい。この場合、上述した蒸気流路凸部７４とは異なり、ランド部３３の一方の側縁３３ａまで延びていなくてもよく、または他方の側縁３３ａまで延びていなくてもよい。また、図２１に示す例では、凸部７６は、並列配列されている例が示されている。しかしながら、凸部７６は、平面視で千鳥状に配置されていてもよい。

　（第７変形例）
　上述した本実施の形態においては、第２蒸気流路部７０が、ウィックシート３０の各ランド部３３の第１本体面３１ａに設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、第２蒸気流路部７０は、全てのランド部３３に設けられていなくてもよい。例えば、任意の一のランド部３３のみに第２蒸気流路部７０が設けられていてもよく、いくつかのランド部３３に第２蒸気流路部７０が設けられていてもよい。例えば、電子デバイスＤの平面形状が小さい場合には、電子デバイスＤで覆われる領域に応じて、任意のランド部３３に選択的に第２蒸気流路部７０が設けられていてもよい。また、ベーパーチャンバ１が単純な矩形状ではない場合も、同様である。

　本発明は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。

Claims

　作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
　前記シート本体の前記第１本体面から前記第２本体面に延び、前記作動流体の蒸気が通る第１蒸気流路部と、
　前記第２本体面に設けられ、前記第１蒸気流路部と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、
　前記第１本体面に設けられ、前記第１蒸気流路部と連通して前記作動流体の蒸気が通る第２蒸気流路部と、を備え、
　前記シート本体は、第１方向に長手方向を有する、周囲に前記第１蒸気流路部が配置されたランド部を有し、
　前記第２蒸気流路部は、前記第１方向に直交する第２方向において前記ランド部の一方の側縁から他方の側縁に延びる蒸気流路溝を有している、ベーパーチャンバ用のウィックシート。
　前記第２蒸気流路部は、複数の前記蒸気流路溝を有し、
　互いに隣り合う一対の前記蒸気流路溝の間に、前記第１シートに当接する蒸気流路凸部が設けられている、請求項１に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　前記第２蒸気流路部は、前記蒸気流路凸部に設けられた、互いに隣り合う一対の前記蒸気流路溝を連通する蒸気流路連絡溝を有している、請求項２に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　互いに隣り合う前記蒸気流路凸部のうちの一方に設けられた前記蒸気流路連絡溝と、他方に設けられた前記蒸気流路連絡溝は、前記第１方向に沿って見たときに重なる位置とは異なる位置に配置されている、請求項３に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　互いに隣り合う前記蒸気流路凸部のうちの一方に設けられた前記蒸気流路連絡溝と、他方に設けられた前記蒸気流路連絡溝は、前記第１方向に沿って見たときに重なる位置に配置されている、請求項３に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　前記シート本体は、複数の前記ランド部を有し、
　前記第２蒸気流路部は、前記ランド部の各々に設けられ、
　前記第２方向において互いに隣り合う一対の前記ランド部のうちの一方の前記ランド部の前記蒸気流路溝と、他方の前記ランド部の前記蒸気流路溝は、前記第２方向に沿って見たときに重なる位置に配置されている、請求項１～５のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　前記第２蒸気流路部は、前記第１方向において前記ランド部の一側に配置されている、請求項１～６のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　前記第２蒸気流路部の前記蒸気流路溝と、前記第１方向における前記ランド部の一対の端縁のうち前記第２蒸気流路部が配置されている側の前記端縁との間に、前記第１シートに当接する端縁凸部が設けられている、請求項７に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　前記シート本体に設けられ、前記液流路部と前記第２蒸気流路部とに連通する連通部を備えた、請求項１に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　前記連通部は、前記シート本体を貫通して、前記液流路部から前記蒸気流路溝に延びる貫通孔を含む、請求項９に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　前記液流路部は、第１方向に延びる、前記作動流体の液体が通る複数の液流路主流溝と、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記液流路主流溝に連通する液流路連絡溝と、を有し、
　前記液流路主流溝は、前記液流路連絡溝と連通する液流路交差部を更に含み、
　前記貫通孔は、前記液流路交差部および前記蒸気流路溝に延びている、請求項１０に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
　作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
　第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
　前記シート本体の前記第１本体面から前記第２本体面に延びる貫通空間と、
　前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１本体面溝部と、
　前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２本体面溝部と、を備え、
　前記シート本体は、第１方向に長手方向を有する、周囲に前記貫通空間が配置されたランド部を有し、
　前記第１本体面溝部は、前記第１方向に直交する第２方向において前記ランド部の一方の側縁から他方の側縁に延びる第１溝を有し、
　前記第２本体面溝部は、前記第１方向に延びる第２溝を有し、
　前記第１溝の前記第１方向における寸法は、前記第２溝の前記第２方向における寸法よりも大きい、ベーパーチャンバ用のウィックシート。
　第１シートと、
　第２シートと、
　前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、請求項１～１２のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ。
　第１シートと、
　第２シートと、
　前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、請求項１～１１のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシートと、
　前記作動流体が蒸発する蒸発領域と、を備え、
　前記第２蒸気流路部は、前記蒸発領域に配置されている、ベーパーチャンバ。
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収容されたデバイスと、
　前記デバイスに熱的に接触した、請求項１３または１４に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。