WO2021085312A1 - チップ固定装置及び粒子検査装置 - Google Patents

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WO2021085312A1
WO2021085312A1 PCT/JP2020/039783 JP2020039783W WO2021085312A1 WO 2021085312 A1 WO2021085312 A1 WO 2021085312A1 JP 2020039783 W JP2020039783 W JP 2020039783W WO 2021085312 A1 WO2021085312 A1 WO 2021085312A1
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flow path
fixing
fixing device
elastically deformed
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尚英 宮本
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ソニー株式会社
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    • G01N2015/1006—Investigating individual particles for cytology

Definitions

  • This disclosure relates to a chip fixing device and a particle inspection device.
  • a particle inspection device that inspects particles using a microchip (hereinafter referred to as a flow path chip) through which a sample liquid containing particles and a sheath liquid flow, and separates the sample liquid.
  • a flow path chip a microchip
  • the flow path chip is mounted on the mounting portion, the pressure change portion of the flow path chip is operated by a piezoelectric element (piezo element), and the sample liquid is taken into the pressure change portion.
  • piezoelectric element piezoelectric element
  • a piezoelectric element is provided in the chip fixing device for fixing the flow path chip to the mounting portion.
  • the piezoelectric element is flowed in a state where the flow path chip is fixed to the mounting portion and is in contact with the pressure changing portion. It is conceivable to fix it to the road chip.
  • such a fixing structure has a problem that the structure of the fixing device becomes complicated.
  • the present disclosure proposes a chip fixing device and a particle inspection device capable of fixing the flow path chip to the mounting portion and simplifying the structure of fixing the piezoelectric element to the flow path chip.
  • a mounting portion on which a flow path chip having a flow path through which a fluid containing particles flows and a pressure changing portion that takes in target particles from the flow path is mounted, and the mounting portion mounted on the mounting portion.
  • the mounting portion includes a fixing portion for fixing the flow path chip, the mounting portion has a base on which the flow path chip is placed, and the fixing portion is a fixing for pressing the flow path chip against the base.
  • the fixing member includes a member, a piezoelectric element that operates the pressure changing portion, and a holding member that is movably provided in a direction of contacting and separating from the pressure changing portion and holds the piezoelectric element.
  • a chip fixing device having an elastically deformed portion for fixing the holding member to the fixing member by elastically deforming when the flow path tip is pressed against the base.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a flow path chip of an embodiment.
  • the chip fixing device of this embodiment is used in a particle inspection device such as a flow cytometer, and as shown in FIG. 1, as a microchip through which a sample liquid as a fluid containing particles and a sheath liquid flow.
  • This is a device for fixing the flow path chip 3.
  • the flow path tip 3 is formed in a rectangular plate shape, and is targeted from the sample liquid introduction flow path 3a through which the sample liquid containing particles flows, the sheath liquid introduction flow path 3b through which the sheath liquid flows, and the sample liquid introduction flow path 3a. It has a pressure changing unit 3c that sucks and takes in particles.
  • the flow path chip 3 includes an observation unit 3d for observing particles, a buffer solution introduction path 3e through which the buffer solution flows, a pair of waste liquid flow paths 3f and 3g for discharging the sample liquid sheath liquid and the buffer liquid, and pressure. It has a counter unit 3h for measuring the particles separated by the changing unit 3c, and a collection flow path 3k for collecting the separated particles.
  • the present disclosure is not limited to a structure in which the flow path chip 3 has a buffer solution introduction path 3e, a waste liquid flow path 3f, 3g, and a recovery flow path 3k, and these may be omitted.
  • the sample liquid introduction flow path 3a and the sheath liquid introduction flow path 3b meet on the upstream side of the observation unit 3d.
  • the buffer solution introduction path 3e communicates with the downstream of the orifice 3m on the downstream side of the observation unit 3d.
  • the pressure changing portion 3c is arranged on the downstream side of the orifice 3m, and has a pressure chamber 3n that takes in the target particles from the orifice 3m.
  • the pressure chamber 3n communicates with the counter unit 3h and the recovery flow path 3k.
  • the flow path chip 3 is provided with a plurality of positioning holes 3r for positioning at a predetermined position by a chip fixing device described later.
  • the material for forming the flow path chip 3 include polycarbonate, cycloolefin polymer, polypropylene, PDMS (polydimethylolefin), glass, silicon and the like.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3 of the embodiment.
  • the pressing portion 3p forming the pressure chamber 3n is pressed by the piezoelectric element 17 described later, so that the periphery of the pressing portion 3p is elastically deformed.
  • the volume of the pressure chamber 3n changes.
  • the pressure changing unit 3c separates the desired particles A by taking the sample liquid and the sheath liquid from the orifice 3m into the pressure chamber 3n by changing the pressure according to the change in the volume of the pressure chamber 3n. ..
  • the pressure chamber 3n In the pressure changing portion 3c, the pressure chamber 3n is normally pressurized, and the flow F1 in which the sample liquid and the sheath liquid flow into the pressure chamber 3n is stopped by the flow F2 of the buffer liquid. As the volume of the pressure chamber 3n increases in the pressure changing portion 3c, the sample liquid and the sheath liquid flow into the pressure chamber 3n.
  • particle A broadly includes biological particles such as cells, microorganisms and liposomes, or synthetic particles such as latex particles, gel particles and industrial particles.
  • Biological particles include chromosomes, liposomes, mitochondria, organelles (organelles) and the like that make up various cells.
  • Cells include animal cells (blood cell lineage cells, etc.) and plant cells.
  • Microorganisms include bacteria such as Escherichia coli, viruses such as tobacco mosaic virus, and fungi such as yeast.
  • the bio-related particles also include bio-related polymers such as nucleic acids, proteins, and complexes thereof.
  • the industrial particles may be, for example, an organic or inorganic polymer material, a metal, or the like.
  • Organic polymer materials include polystyrene, styrene / divinylbenzene, polymethylmethacrylate and the like.
  • Inorganic polymer materials include glass, silica, magnetic materials and the like.
  • Metals include colloidal gold, aluminum and the like. The shape of these particles is generally spherical, but may be non-spherical, and the size, mass, and the like are not particularly limited.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the chip fixing device of the embodiment.
  • FIG. 4 is an exploded perspective view showing the chip fixing device of the embodiment.
  • the width direction of the chip fixing device is the X direction
  • the depth direction of the chip fixing device is the Y direction
  • the height direction of the chip fixing device is the Z direction.
  • the X, Y, and Z directions are shown in the same manner as in FIGS. 3 and 4.
  • the orientation of the chip fixing device is not limited to the X, Y, and Z directions described above.
  • the chip fixing device 5 of the embodiment presses the mounting portion 6 on which the flow path chip 3 is mounted and the flow path chip 3 mounted on the mounting portion 6 to press the flow path chip.
  • a fixing portion 7 for fixing the 3 to the mounting portion 6 and a driving portion 8 for driving the fixing portion 7 are provided.
  • the mounting portion 6 has a base 11 on which the flow path chip 3 is mounted, and the flow path chip 3 is inserted and removed from the mounting portion 6 at one end side of the base 11 in the Y direction.
  • the exit 12 is formed.
  • the rectangular flow path chip 3 is inserted and removed from the insertion / removal port 12 along the longitudinal direction of the flow path chip 3.
  • the fixing portion 7 is provided with respect to the fixing block 16 as a fixing member that presses the flow path chip 3 onto the base 11, the piezoelectric element 17 that operates the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3, and the pressure changing portion 3c.
  • An element holder 18 (see FIG. 9) as a holding member provided so as to be movable in the Z direction of contact and separation to hold the piezoelectric element 17, and a pressing coil spring 19 (see FIG. 11) that presses the element holder 18 against the pressure changing portion 3c. ) And.
  • the fixing portion 7 is attached with four elevating guide shafts 21 for guiding the element holder 18 to move in the Z direction in contact with and separating from the pressure changing portion 3c, and a fixing block 16 in a direction away from the base 11. It has four compression coil springs 22 and a force.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a fixing block 16 of the chip fixing device 5 of the embodiment.
  • FIG. 6 is a perspective view showing the fixing block 16 of the chip fixing device 5 of the embodiment from the bottom surface side.
  • the fixing block 16 is formed in a rectangular parallelepiped shape by, for example, a metal material, and guide holes 16a are provided through each of the four corners.
  • Each of the four elevating guide shafts 21 provided on the base 11 is inserted into each guide hole 16a.
  • the fixed block 16 is movably supported by the base 11 along each elevating guide shaft 21.
  • each elevating guide shaft 21 is provided with a compression coil spring 22, and the fixed block 16 returns to the initial position separated from the base 11 by the elastic force of the compression coil spring 22.
  • the fixed block 16 has two inclined surfaces 24, which are trajectories to which the rollers 44 of the drive unit 8 described later move, as the pressurizing unit pressurized by the drive unit 8.
  • Each inclined surface 24 is formed along both side surfaces of the fixed block 16 in the X direction.
  • the inclined surface 24 is inclined with respect to the YX plane, and is directed from one end portion 24a located on the insertion / removal port 12 side of the mounting portion 6 toward the other end portion 24b located on the side opposite to the insertion / removal port 12 side. (See FIGS. 7 and 8).
  • one end portion 24a of the inclined surface 24 is separated from the elastically deformed portion 25 described later of the fixed block 16, and the other end portion 24b of the inclined surface 24 is formed at a position adjacent to the elastically deformed portion 25.
  • the pressurizing portion of the fixed block 16 is not limited to the inclined surface 24, and any pressurizing structure may be adopted as long as it is a portion to which an external force for moving the fixed block 16 toward the base 11 is applied. ..
  • FIG. 7 and 8 are side views for explaining an operation in which the flow path chip 3 is fixed to the mounting portion 6 in the chip fixing device 5 of the embodiment.
  • the ascending position separated from the base 11 is the initial position, and the flow path chip 3 is inserted and removed from the insertion / removal port 12 of the mounting portion 6.
  • the fixed block 16 is moved up and down by the roller 44 moved by the drive unit 8 moving from one end portion 24a to the other end portion 24b along the inclined surface 24.
  • the flow path chip 3 is pressed against the base 11 by the fixing block 16.
  • the fixing block 16 fixes the flow path chip 3 mounted on the mounting portion 6 to the mounting portion 6.
  • the fixed block 16 moves along the elevating guide shaft 21 by the elastic force of the compression coil spring 22 as the roller 44 moves from the other end 24b toward the one end 24a along the inclined surface 24. To return to the initial position. As a result, the fixing block 16 releases the flow path chip 3 mounted on the mounting portion 6 from the fixed state on the mounting portion 6.
  • one end 24a of the inclined surface 24 is along the XY plane (horizontal plane in the drawing), and the other end 24b is, for example, X. -It is formed with a small inclination angle with respect to the Y plane.
  • one end portion 24a and the other end portion 24b are continuous with an intermediate portion 24c inclined at a predetermined inclination angle with respect to the XY plane.
  • the inclination angle of the other end 24b of the inclined surface 24 is smaller than that of the intermediate portion 24c between the one end 24a and the other end 24b.
  • the inclination angle of the inclined surface 24 refers to the inclination angle with respect to the XY plane.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing an elastically deformed portion of the fixing block 16 of the chip fixing device 5 of the embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic view for explaining an elastically deformed portion in the fixing block 16 of the chip fixing device 5 of the embodiment.
  • the fixed block 16 is elastically deformed when the flow path tip 3 is pressed against the base 11, so that the element holder 18 is elastically deformed to fix the element holder 18 to the fixed block 16.
  • the elastically deformed portion 25 is arranged on one side of the fixed block 16 in the X direction, and is integrally formed with the fixed block 16.
  • the elastically deformed portion 25 is bent so that the elastically deformed portion 25 approaches the element holder 18 side by pushing down the other end portion 24b side of the inclined surface 24 by the roller 44.
  • the elastically deformed portion 25 has a regulating portion 25a that regulates the position of the element holder 18 and a pair of thin-walled portions 25b formed on both sides of the regulating portion 25a.
  • the regulating portion 25a is formed in a size that allows the outer peripheral surface of the element holder 18 to be appropriately pressed.
  • the thin-walled portion 25b is formed to be thinner in the Z direction than the regulating portion 25a.
  • the regulating portion 25a is arranged on the base 11 side (the back surface side of the fixed block 16) with respect to the pair of thin-walled portions 25b.
  • the fixed block 16 has two notches 27 extending from each of the pair of thin-walled portions 25b to the outer peripheral surface of the fixed block 16.
  • Each notch 27 is formed in a slit shape that penetrates the fixing block 16 in the Z direction. Therefore, in the fixed block 16, a portion of the two inclined surfaces 24 on which the inclined surface 24 and the elastically deformed portion 25 are formed is divided by the notch 27. In other words, the portion having the inclined surface 24 is connected to the fixed block 16 by the elastically deformed portion 25.
  • the portion whose rigidity is reduced by the thin portion 25b and the notch 27 is formed in the fixed block 16, and when the roller 44 pushes down the inclined surface 24, proper bending is likely to occur in the vicinity of the elastically deformed portion 25. Therefore, the elastically deformed portion 25 can be smoothly elastically deformed.
  • the roller 44 pushes down the other end 24b side of the inclined surface 24 to elastically deform the pair of thin-walled portions 25b and elastically deform the pair of thin-walled portions 25b.
  • the regulating portion 25a moves toward the element holder 18 side and presses the element holder 18 in the X direction.
  • the element holder 18 pressed by the regulating portion 25a is abutted against the inner surface (reference surface) of the through hole 31, which will be described later, and is fixed to the fixing block 16. Therefore, the piezoelectric element 17 held by the element holder 18 is fixed at a predetermined position in the Z direction with respect to the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3 fixed to the mounting portion 6.
  • the elastically deformed portion 25 is provided adjacent to the other end portion 24b of the inclined surface 24.
  • the inclined surface 24 functions as a pressure portion for appropriately elastically deforming the elastically deformed portion 25, so that when the roller 44 pushes down the inclined surface 24, the elastically deformed portion 25 smoothly elastically deforms. Reliability is ensured.
  • the roller 44 moves from one end 24a of the inclined surface 24 away from the elastically deformed portion 25 toward the other end 24b near the elastically deformed portion 25, so that the elastically deformed portion 25 moves with the lowering operation of the fixed block 16. Is gradually elastically deformed to ensure the stability of movement of the regulating portion 25a due to the elastic deformation.
  • the force of the roller 44 stopped at the other end 24b of the inclined surface 24 pushing down the inclined surface 24 makes it possible to properly maintain the elastically deformed state of the elastically deformed portion 25, and stabilizes the fixed state of the element holder 18.
  • the sex is enhanced.
  • the center O2 of the piezoelectric element 17 and the rotation center line M of the roller 44 stopped at the other end 24b of the inclined surface 24 when the fixing block 16 presses the flow path chip 3 against the base 11 are on the same straight line L. positioned.
  • the elastically deformed portion 25 is formed around the vicinity of the element holder 18 (the peripheral portion of the through hole 31 described later).
  • the pair of thin-walled portions 25b are smoothly elastically deformed by the rollers 44 moving on the inclined surface 24, and the restricting portion 25a is moved to the element holder 18 side with the elastic deformation of the pair of thin-walled portions 25b. It becomes possible to move smoothly toward.
  • the elastically deformed portion 25 in this embodiment is provided only on one end side of the fixed block 16 in the X direction, but if necessary, element holders 18 are sandwiched between both ends of the fixed block 16 in the X direction. They may be provided so as to sandwich each other.
  • the elastically deformed portion 25 is integrally formed with the fixed block 16.
  • the elastically deformed portion 25 is formed of a material having a smaller elastic modulus than the fixed block 16, and the elastically deformed portion 25 is assembled to the fixed block 16. May be configured.
  • a through hole 31 is formed at a position facing the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3 mounted on the mounting portion 6, and the element holder 18 is placed in the through hole 31 in the Z direction. It is supported so that it can be moved to.
  • the inner wall of the through hole 31 is formed so as to regulate the moving range of the element holder 18 with respect to the Z direction.
  • the fixed block 16 is formed with an observation opening 32 penetrating at a position facing the observation portion 3d of the flow path chip 3 mounted on the mounting portion 6. Further, as shown in FIG. 6, on the bottom surface of the fixed block 16 facing the base 11, two positioning pins 33 inserted into the positioning holes 3r of the flow path chip 3 mounted on the mounting portion 6 are provided.
  • the flow path chip 3 When the flow path chip 3 is pressed by the fixed block 16, the flow path chip 3 is positioned at a predetermined position with respect to the fixed block 16. That is, the flow path chip 3 is positioned at a predetermined position with respect to the mounting portion 6 by the fixing block 16.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view showing an element holder 18 in the fixing block 16 of the chip fixing device 5 of the embodiment.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 12 and 13 are exploded perspective views showing the element holder 18 in the fixing block 16 of the chip fixing device 5 of the embodiment.
  • the element holder 18 is arranged in the through hole 31 of the fixed block 16, and the inner surface of the through hole 31 is pressed by the restricting portion 25a of the elastically deformed portion 25 described above. It functions as a reference plane to which the element holder 18 is abutted.
  • the element holder 18 has a holding hole 18a for holding the piezoelectric element 17 and a convex portion 18b supported by the pressing coil spring 19.
  • the piezoelectric element 17 is fixed in the holding hole 18a by, for example, an adhesive, and operates so as to press the pressure changing portion 3c in the Z direction.
  • the piezoelectric element 17 fixed to the element holder 18 is provided with a contactor 35 in contact with the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3.
  • the contact 35 is fixed to the end face of the piezoelectric element 17 with, for example, an adhesive.
  • a fixing plate 36 for fixing the periphery of the pressure changing portion 3c is provided on the peripheral edge of the through hole 31.
  • the fixing plate 36 has an opening 36a into which the contactor 35 enters.
  • the element holder 18 is provided with a spring receiving member 37 that supports one end of the pressing coil spring 19.
  • the spring receiving member 37 is attached to the convex portion 18b of the element holder 18.
  • the fixed block 16 is provided with a spring pressing member 38 that supports the other end of the pressing coil spring 19.
  • the element holder 18 is urged toward the back surface side of the fixed block 16 by the pressing coil spring 19, and the elastic force of the pressing coil spring 19 causes the contact 35 of the piezoelectric element 17 to press the pressure of the flow path chip 3. It is pressure-welded to the changing portion 3c.
  • the fixed block 16 has a guide groove 41 and a guide pin 42 as a guide portion for guiding the movement of the element holder 18 which is brought into contact with and separated from the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3 in the Z direction.
  • the guide groove 41 is formed linearly along the Z direction on the inner peripheral surface of the through hole 31.
  • the guide pin 42 is fixed so as to project from the outer peripheral surface of the element holder 18 along the X direction, and is inserted into the guide groove 41.
  • the guide pin 42 functions as a so-called detent that regulates the rotation of the element holder 18 with respect to the circumferential direction in the through hole 31.
  • the guide groove 41 and the guide pin 42 sandwich the element holder 18 on a plane orthogonal to the direction in which the element holder 18 contacts and separates from the pressure changing portion 3c, that is, on an XY plane. It is provided on the opposite side of the regulation unit 25a. Further, as shown in FIG. 10, the guide groove 41 and the guide pin 42 are stopped at the center O1 of the regulation portion 25a, the center O2 of the piezoelectric element 17, and the other end portion 24b of the inclined surface 24 in the XY plane. It is located on a straight line L where the rotation center line M of the roller 44 is located.
  • the guide groove 41 is provided in the fixed block 16 and the guide pin 42 is provided in the element holder 18, but contrary to this structure, the guide groove 41 is provided in the element holder 18.
  • the guide pin 42 may be provided in the fixed block 16.
  • the drive unit 8 of the chip fixing device 5 includes two rollers 44 that move the fixing block 16 toward the base 11, and an arm member 45 that rotatably supports each roller 44.
  • a drive mechanism (not shown) for reciprocating the arm member 45 in the Y direction, and a pair of reciprocating guide shafts 46 for guiding the reciprocating movement of the arm member 45.
  • the arm member 45 is provided with a bearing portion 47 supported by each reciprocating guide shaft 46.
  • Each reciprocating guide shaft 46 is fixed along the side surfaces of both sides of the base 11 in the X direction. Both ends of the reciprocating guide shaft 46 in the axial direction are supported by support portions 48 provided on the base 11.
  • FIGS. 14A to 14D are cross-sectional views for explaining an operation in which the piezoelectric element 17 is fixed to the flow path chip 3 in the chip fixing device 5 of the embodiment.
  • the contact 35 of the piezoelectric element 17 urged by the pressing coil spring 19 is mounted on the mounting portion 6 at the initial position where the fixing block 16 is separated from the base 11. It is separated from the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3 that has been formed.
  • the fixed block 16 starts descending toward the base 11 by the roller 44 of the drive unit 8, and the fixed block 16 is moved by a predetermined amount (for example, from the initial position) from the initial position. When lowered by about 3 mm), the tip of the contact 35 of the piezoelectric element 17 comes into contact with the pressing portion 3p of the pressure chamber 3n of the pressure changing portion 3c.
  • the chip fixing device 5 receives the fixing plate 36 of the fixing block 16 when the fixing block 16 descends from the initial position toward the base 11 by a predetermined amount (for example, about 4 mm). Contact the periphery of the pressure changing portion 3c. At the same time, the tip of the contactor 35 that has come into contact with the pressure change portion 3c descends from the contact position, so that the pressure change portion 3c is slightly reduced by the contactor 35 (for example, the contactor 35 and the pressure change portion 3c). It is pushed in (about 1 mm from the contact position). As a result, the elastic force of the pressing coil spring 19 applies pressurization to the pressure chamber 3n of the pressure changing portion 3c with which the contactor 35 of the piezoelectric element 17 is in contact.
  • a predetermined amount for example, about 4 mm.
  • the fixing block 16 pushed down by the roller 44 of the drive unit 8 is further lowered toward the base 11, so that the periphery of the fixing block 16 near the element holder 18 (periphery of the through hole 31).
  • a predetermined external force (for example, about 400 [N]) is applied to the portion).
  • a predetermined external force is applied to the peripheral edge portion of the through hole 31, so that the portion where the elastically deformed portion 25 and the notch 27 are formed is bent.
  • the pair of thin-walled portions 25b of the elastically deformed portion 25 are elastically deformed, the regulating portion 25a moves toward the element holder 18, and the regulating portion 25a causes the element holder 18 to move to the inner surface of the through hole 31. It is struck and fixed.
  • the tip of the contact 35 of the piezoelectric element 17 is fixed to the fixing block 16 in a state where a pressurization is applied to the pressure chamber 3n of the pressure changing portion 3c as described above.
  • the piezoelectric element 17 is fixed at a predetermined position in the Z direction with respect to the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3. Therefore, the piezoelectric element 17 makes it possible to operate the pressure changing portion 3c with high accuracy, and the operation reliability of the pressure changing portion 3c is enhanced.
  • the elastically deformed portion 25 is elastically deformed by lowering toward the base 11 when the fixing block 16 presses the base 11.
  • the chip fixing device 5 fixes the flow path chip 3 to the mounting portion 6 and fixes the piezoelectric element 17 to the fixing block 16, that is, the piezoelectric element 17 with respect to the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3. Can be fixed.
  • FIG. 15 is a block diagram showing the particle inspection device 1 of the embodiment.
  • the particle inspection device 1 is, for example, a flow cytometer, and laser light is applied to the chip fixing device 5 and the observation unit 3d of the flow path chip 3 fixed to the mounting portion 6 by the chip fixing device 5.
  • a light source unit 51 for irradiating the particles A and an inspection unit 52 for inspecting the particles A flowing through the observation unit 3d of the flow path chip 3 fixed to the chip fixing device 5 are provided.
  • the light source unit 51 has a laser light source (not shown) that irradiates the particles A of the flow path chip 3 with a laser beam.
  • the inspection unit 52 has a photodetector (not shown) that detects the fluorescence and scattered light emitted by the particles A.
  • the chip fixing device 5 according to the present embodiment is not limited to being applied to the particle inspection device such as the flow cytometer described above, and may be applied to an image processing device such as an imaging cytometer.
  • the fixing portion 7 in the chip fixing device 5 of the embodiment includes a fixing block 16 that presses the flow path chip 3 against the base 11 of the mounting portion 6, a piezoelectric element 17 that operates the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3. It has an element holder 18 that is movably provided in the Z direction and is provided to hold the piezoelectric element 17 in contact with and detached from the pressure changing portion 3c.
  • the fixed block 16 has an elastically deformed portion 25 that fixes the element holder 18 to the fixed block 16 by elastically deforming when the flow path tip 3 is pressed against the base 11 of the mounting portion 6.
  • the fixing portion 7 fixes the element holder 18 to the fixing block 16 by elastically deforming the elastically deforming portion 25 of the fixing block 16 when the fixing block 16 fixes the base 11 to the mounting portion 6.
  • the fixed structure of the element holder 18 can be simplified.
  • the flow path chip 3 is fixed to the mounting portion 6 with a simple structure, and the piezoelectric element 17 is fixed to the fixing block 16 to determine the piezoelectric element 17 with respect to the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3.
  • a structure that is fixed in position can be realized.
  • the piezoelectric element 17 is fixed at a predetermined position with respect to the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3 fixed to the mounting portion 6, so that the operation accuracy and operation reliability of the pressure changing portion 3c operated by the piezoelectric element 17 are increased. Sex can be ensured.
  • the fixing block 16 in the chip fixing device 5 of the embodiment has an inclined surface 24 pressurized by the driving unit 8, and the inclined surface 24 is arranged adjacent to the elastically deformed portion 25.
  • the elastically deformed portion 25 can be appropriately elastically deformed by the inclined surface 24 which is the pressurized portion, and the operation that the elastically deformed portion 25 smoothly elastically deforms when the fixed block 16 is pressurized is reliable. Sex can be ensured.
  • the elastically deformed portion 25 of the fixing block 16 in the chip fixing device 5 of the embodiment includes a regulating portion 25a that regulates the position of the element holder 18 and a pair of thin-walled portions 25b formed on both sides of the regulating portion 25a.
  • the regulating portion 25a presses the element holder 18 against the fixing block 16.
  • the pair of thin-walled portions 25b are elastically deformed to smoothly move the regulating portion 25a, and the structure in which the regulating portion 25a presses the element holder 18 can be simply configured.
  • the direction in which the regulating portion 25a moves is appropriately controlled by the pair of thin-walled portions 25b, the reliability of the fixing operation of the element holder 18 by the elastically deforming portion 25 can be improved.
  • the fixing block 16 of the chip fixing device 5 of the embodiment has a notch 27 extending from the pair of thin-walled portions 25b to the outer peripheral surface of the fixing block 16.
  • the portion of the fixed block 16 in which the elastically deformed portion 25 is formed is divided by the notch 27, so that the rigidity of the thin portion 25b is reduced. Therefore, proper bending is likely to occur in the vicinity of the elastically deformed portion 25, and the elastically deformed portion 25 can be smoothly elastically deformed. Therefore, the reliability of the fixing operation of the element holder 18 by the elastically deformed portion 25 can be further improved.
  • the regulating portion 25a is arranged on the base 11 side of the pair of thin-walled portions 25b in the Z direction.
  • the amount of displacement in which the regulating portion 25a moves toward the element holder 18 when the thin-walled portion 25b is elastically deformed is appropriately secured, so that the stability of the operation in which the regulating portion 25a presses the element holder 18 is enhanced. Can be done.
  • the fixing block 16 in the chip fixing device 5 of the embodiment has a guide groove 41 and a guide pin 42 that guide the movement of the element holder 18 that comes into contact with and separates from the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3.
  • the guide groove 41 and the guide pin 42 are opposite to the regulating portion 25a with the element holder 18 sandwiched on a plane (XY plane) orthogonal to the Z direction in which the element holder 18 is brought into contact with and separated from the pressure changing portion 3c. It is located on the side.
  • the structure that guides the movement of the element holder 18 and the structure that fixes the element holder 18 to the fixing block 16 can be compatible with each other.
  • the fixing block 16 in the chip fixing device 5 of the embodiment has an inclined surface 24 on which the roller 44 of the drive unit 8 moves, and the roller 44 moves along the inclined surface 24 at one end portion 24a of the inclined surface 24.
  • the fixed block 16 is moved toward the base 11 by moving from the other end to the other end 24b.
  • the elastically deformed portion 25 is provided adjacent to the other end portion 24b of the inclined surface 24.
  • the roller 44 moves from one end 24a of the inclined surface 24 away from the elastically deformed portion 25 toward the other end 24b near the elastically deformed portion 25, so that the elastically deformed portion is moved along with the lowering operation of the fixed block 16.
  • 25 is gradually elastically deformed to ensure the stability of movement of the regulating portion 25a due to the elastic deformation.
  • the force of the roller 44 stopped at the other end 24b of the inclined surface 24 pushing down the inclined surface 24 makes it possible to properly maintain the elastically deformed state of the elastically deformed portion 25, and stabilizes the fixed state of the element holder 18. You can improve your sex.
  • the inclination angle of the other end portion 24b of the inclined surface 24 is smaller than that of the intermediate portion 24c between the one end portion 24a and the other end portion 24b.
  • the regulating portion is used in the plane (XY plane) orthogonal to the Z direction in which the element holder 18 is in contact with and separated from the pressure changing portion 3c of the flow path chip 3.
  • the center O1 of the 25a, the center O2 of the piezoelectric element 17, and the rotation center line M of the roller 44 stopped at the other end 24b of the inclined surface 24 when the fixing block 16 presses the flow path chip 3 against the base 11. , Located on the same straight line L.
  • the pair of thin-walled portions 25b can be smoothly elastically deformed by the rollers 44 moving on the inclined surface 24, and the restricting portion 25a becomes an element as the pair of thin-walled portions 25b elastically deform. It can be smoothly moved toward the holder 18 side. Therefore, the stability of the fixed state of the element holder 18 by the regulating portion 25a can be further improved.
  • the present technology can also adopt the following configurations.
  • a mounting portion on which a flow path chip having a flow path through which a fluid containing particles flows, a pressure changing portion for taking in target particles from the flow path, and the flow path chip mounted on the mounting portion are fixed.
  • the mounting portion includes a fixing portion, and the mounting portion has a base on which the flow path chip is placed, and the fixing portion includes a fixing member that presses the flow path chip against the base and the pressure change.
  • the fixing member has a piezoelectric element that operates the portion and a holding member that is movably provided in a direction of contacting and separating from the pressure changing portion to hold the piezoelectric element, and the fixing member holds the flow path chip.
  • a chip fixing device having an elastically deformed portion that elastically deforms when pressed against the base to fix the holding member to the fixing member.
  • a drive unit for driving the fixed portion is further provided, and the fixing member has a pressurizing portion pressurized by the drive portion, and the pressurizing portion is arranged adjacent to the elastically deformed portion.
  • the elastically deformed portion has a regulating portion that regulates the position of the holding member and a pair of thin-walled portions formed on both sides of the regulating portion, and the elastically deformed portion is accompanied by elastic deformation of the pair of thin-walled portions.
  • the chip fixing device according to (2) wherein the regulating unit presses the holding member against the fixing member.
  • the chip fixing device according to (3), wherein the fixing member has a notch extending from the pair of thin-walled portions to the outer peripheral surface of the fixing member.
  • the fixing member has a guide portion that guides the movement of the holding member that is brought into contact with the pressure changing portion, and the guide portion is in a direction in which the holding member is brought into contact with or detaching from the pressure changing portion.
  • the chip fixing device according to any one of (3) to (5), which is arranged on an orthogonal plane on the opposite side of the holding member from the restricting portion.
  • the drive unit has a roller that moves the fixing member toward the base, the pressure portion of the fixing member has an inclined surface on which the roller moves, and the roller is on the inclined surface.
  • the fixing member is moved toward the base by moving from one end to the other end of the inclined surface, and the elastically deformed portion is provided adjacent to the other end of the inclined surface.

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Abstract

チップ固定装置は、粒子を含む流体が流れる流路と、流路から対象粒子を取り込む圧力変化部と、を有する流路チップが装着される装着部と、装着部に装着された流路チップを固定する固定部と、を備える。装着部は、流路チップが載置される基台を有する。固定部は、流路チップを基台に押圧する固定部材と、圧力変化部を作動させる圧電素子と、圧力変化部に対して接離する方向に移動可能に設けられて圧電素子を保持する保持部材と、を有する。固定部材は、流路チップを基台に押圧するときに弾性変形することで保持部材を固定部材に固定する弾性変形部を有する。

Description

チップ固定装置及び粒子検査装置
　本開示は、チップ固定装置及び粒子検査装置に関する。
　粒子を含むサンプル液と、シース液とが流れるマイクロチップ（以下、流路チップと称する。）を用いて粒子の検査を行い、サンプル液を分取する粒子検査装置が知られている。この種の粒子検査装置では、流路チップが装着部に装着されて、流路チップが有する圧力変化部を圧電素子（ピエゾ素子）で作動させて、圧力変化部内にサンプル液を取り込むことで所望の粒子を分取するものがある。
特開２０１２－１２７９２２号公報 特開２０１３－３２９７６号公報
　流路チップの製造コストを低減するべく、流路チップの圧力変化部を作動させる圧電素子を流路チップが備える代わりに、流路チップを装着部に固定するチップ固定装置に圧電素子を設けることが提案されている。この場合、チップ固定装置に設けられた圧電素子によって圧力変化部を適正に作動させるためには、流路チップを装着部に固定し、かつ、圧力変化部に接触させた状態で圧電素子を流路チップに対して固定することが考えられる。しかしながら、このような固定構造は、固定装置の構造の複雑化を招く問題がある。
　そこで、本開示では、流路チップを装着部に固定すると共に流路チップに対して圧電素子を固定する構造を簡素化することができるチップ固定装置及び粒子検査装置を提案する。
　本開示によれば、粒子を含む流体が流れる流路と、前記流路から対象粒子を取り込む圧力変化部と、を有する流路チップが装着される装着部と、前記装着部に装着された前記流路チップを固定する固定部と、を備え、前記装着部は、前記流路チップが載置される基台を有し、前記固定部は、前記流路チップを前記基台に押圧する固定部材と、前記圧力変化部を作動させる圧電素子と、前記圧力変化部に対して接離する方向に移動可能に設けられて前記圧電素子を保持する保持部材と、を有し、前記固定部材は、前記流路チップを前記基台に押圧するときに弾性変形することで前記保持部材を前記固定部材に固定する弾性変形部を有する、チップ固定装置が提供される。
実施例の流路チップを示す模式図である。 実施例の流路チップの圧力変化部を説明するための断面図である。 実施例のチップ固定装置を示す斜視図である。 実施例のチップ固定装置を示す分解斜視図である。 実施例のチップ固定装置の固定ブロックを示す斜視図である。 実施例のチップ固定装置の固定ブロックを底面側から示す斜視図である。 実施例のチップ固定装置において、流路チップが装着部に固定される動作を説明するための側面図である。 実施例のチップ固定装置において、流路チップが装着部に固定される動作を説明するための側面図である。 実施例のチップ固定装置の固定ブロックにおける弾性変形部を示す断面図である。 実施例のチップ固定装置の固定ブロックにおける弾性変形部を説明するための模式図である。 実施例のチップ固定装置の固定ブロックにおける素子ホルダを示す断面図である。 実施例のチップ固定装置の固定ブロックにおける素子ホルダを示す分解斜視図である。 実施例のチップ固定装置の固定ブロックにおける素子ホルダを示す分解斜視図である。 実施例のチップ固定装置において、流路チップに対して圧電素子が固定される動作を説明するための断面図である。 実施例のチップ固定装置において、流路チップに対して圧電素子が固定される動作を説明するための断面図である。 実施例のチップ固定装置において、流路チップに対して圧電素子が固定される動作を説明するための断面図である。 実施例のチップ固定装置において、流路チップに対して圧電素子が固定される動作を説明するための断面図である。 実施例の粒子検査装置を示すブロック図である。
　以下に、本開示の実施例について図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例によって、本開示のチップ固定装置及び粒子検査装置が限定されるものではない。
（流路チップの構成）
　図１は、実施例の流路チップを示す模式図である。本実施例のチップ固定装置は、例えば、フローサイトメータ等の粒子検査装置に用いられて、図１に示すように、粒子を含む流体としてのサンプル液と、シース液とが流れるマイクロチップとしての流路チップ３を固定するための装置である。流路チップ３は、矩形板状に形成されており、粒子を含むサンプル液が流れるサンプル液導入流路３ａと、シース液が流れるシース液導入流路３ｂと、サンプル液導入流路３ａから対象粒子を吸引して取り込む圧力変化部３ｃと、を有する。
　また、流路チップ３は、粒子を観察する観察部３ｄと、バッファ液が流れるバッファ液導入路３ｅと、サンプル液シース液及びバッファ液を排出する一対の廃液用流路３ｆ、３ｇと、圧力変化部３ｃによって分取された粒子を計測するカウンタ部３ｈと、分取された粒子を回収する回収用流路３ｋと、を有する。なお、本開示は、流路チップ３がバッファ液導入路３ｅ、廃液用流路３ｆ、３ｇ、回収用流路３ｋを有する構造に限定されず、これらが省かれてもよい。
　サンプル液導入流路３ａとシース液導入流路３ｂは、観察部３ｄの上流側にて合流する。バッファ液導入路３ｅは、観察部３ｄの下流側のオリフィス３ｍの下流に連通されている。圧力変化部３ｃは、オリフィス３ｍの下流側に配置されており、オリフィス３ｍから対象粒子を取り込む圧力室３ｎを有する。圧力室３ｎは、カウンタ部３ｈ、回収用流路３ｋに連通している。
　また、流路チップ３には、後述するチップ固定装置によって所定位置に位置決めするための複数の位置決め孔３ｒが設けられている。流路チップ３を形成する材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリプロピレン、ＰＤＭＳ（polydimethylsiloxane）、ガラス及びシリコン等が挙げられる。
　図２は、実施例の流路チップ３の圧力変化部３ｃを説明するための断面図である。図２に示すように、流路チップ３の圧力変化部３ｃは、圧力室３ｎを形成する押圧部３ｐが、後述する圧電素子１７によって押圧されることで、押圧部３ｐの周囲が弾性変形して圧力室３ｎの容積が変化する。圧力変化部３ｃは、圧力室３ｎの容積の変化に伴って圧力が変化することにより、オリフィス３ｍから圧力室３ｎ内に、サンプル液及びシース液を取り込むことで、所望の粒子Ａを分取する。圧力変化部３ｃは、通常時、圧力室３ｎが加圧されており、サンプル液及びシース液が圧力室３ｎ内に流入する流れＦ１が、バッファ液の流れＦ２によって止められている。圧力変化部３ｃは、圧力室３ｎの容積が増えることで、サンプル液及びシース液が圧力室３ｎ内に流入する。
　なお、本開示において、「粒子Ａ」には、細胞や微生物、リポソーム等の生体関連粒子、あるいはラテックス粒子やゲル粒子、工業用粒子等の合成粒子等が広く含まれるものとする。生体関連粒子には、各種細胞を構成する染色体、リポソーム、ミトコンドリア、オルガネラ（細胞小器官）等が含まれる。細胞には、動物細胞（血球系細胞等）及び植物細胞が含まれる。微生物には、大腸菌等の細菌類、タバコモザイクウイルス等のウイルス類、イースト菌等の菌類等が含まれる。さらに、生体関連粒子には、核酸やタンパク質、これらの複合体等の生体関連高分子も包含されるものとする。また、工業用粒子は、例えば有機もしくは無機高分子材料、金属等であってもよい。有機高分子材料には、ポリスチレン、スチレン・ジビニルベンゼン、ポリメチルメタクリレート等が含まれる。無機高分子材料には、ガラス、シリカ、磁性体材料等が含まれる。金属には、金コロイド、アルミ等が含まれる。これら粒子の形状は、一般には球形であるのが普通であるが、非球形であってもよく、また大きさや質量等も特に限定されない。
（チップ固定装置の構成）
　図３は、実施例のチップ固定装置を示す斜視図である。図４は、実施例のチップ固定装置を示す分解斜視図である。図３及び図４において、例えば、チップ固定装置の幅方向をＸ方向、チップ固定装置の奥行き方向をＹ方向、チップ固定装置の高さ方向をＺ方向とする。図５以降においても、図３及び図４と同様に、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向を示す。なお、チップ固定装置の向きは、上述したＸ、Ｙ、Ｚ方向に限定されない。
　図３及び図４に示すように、実施例のチップ固定装置５は、流路チップ３が装着される装着部６と、装着部６に装着された流路チップ３を押圧して流路チップ３を装着部６に固定する固定部７と、固定部７を駆動する駆動部８と、を備える。
（装着部の構成）
　装着部６は、流路チップ３が載置される基台１１を有しており、基台１１におけるＹ方向の一端側に、装着部６に対して流路チップ３が挿脱される挿脱口１２が形成されている。矩形状の流路チップ３は、挿脱口１２に対して流路チップ３の長手方向に沿って挿脱される。
（固定部の構成）
　固定部７は、流路チップ３を基台１１上に押圧する固定部材としての固定ブロック１６と、流路チップ３の圧力変化部３ｃを作動させる圧電素子１７と、圧力変化部３ｃに対して接離するＺ方向に移動可能に設けられて圧電素子１７を保持する保持部材として素子ホルダ１８（図９参照）と、素子ホルダ１８を圧力変化部３ｃに押圧する押圧用コイルバネ１９（図１１参照）と、を有する。
　また、固定部７は、素子ホルダ１８が圧力変化部３ｃに対して接離するＺ方向に移動するのを案内する４つの昇降ガイド軸２１と、固定ブロック１６が基台１１から離れる方向に付勢する４つの圧縮コイルバネ２２と、を有する。
　図５は、実施例のチップ固定装置５の固定ブロック１６を示す斜視図である。図６は、実施例のチップ固定装置５の固定ブロック１６を底面側から示す斜視図である。図５及び図６に示すように、固定ブロック１６は、例えば、金属材料によって直方体状に形成されており、４つの各角部にガイド穴１６ａが貫通して設けられている。各ガイド穴１６ａには、基台１１上に設けられた４つの各昇降ガイド軸２１が挿通されている。これにより、固定ブロック１６は、各昇降ガイド軸２１に沿って移動可能に基台１１に支持されている。各昇降ガイド軸２１には、図４に示すように、圧縮コイルバネ２２がそれぞれ設けられており、圧縮コイルバネ２２の弾性力によって固定ブロック１６が、基台１１から離間した初期位置に復帰する。
（固定ブロックの傾斜面）
　図３及び図５に示すように、固定ブロック１６は、駆動部８によって加圧される加圧部として、後述する駆動部８のローラ４４が移動する軌道である２つの傾斜面２４を有する。各傾斜面２４は、Ｘ方向における固定ブロック１６両側面に沿ってそれぞれ形成されている。傾斜面２４は、Ｙ－Ｘ平面に対して傾斜しており、装着部６の挿脱口１２側に位置する一端部２４ａから、挿脱口１２側とは反対側に位置する他端部２４ｂに向かって延びている（図７及び図８参照）。また、傾斜面２４の一端部２４ａは、固定ブロック１６が有する後述の弾性変形部２５から離れており、傾斜面２４の他端部２４ｂは、弾性変形部２５に隣り合う位置に形成されている。なお、固定ブロック１６の加圧部は、傾斜面２４に限定されず、固定ブロック１６を基台１１に向かって移動させる外力が加わる部分であればよく、任意の加圧構造が採用されてよい。
（装着部に対する流路チップの固定動作）
　図７及び図８は、実施例のチップ固定装置５において、装着部６に対して流路チップ３が固定される動作を説明するための側面図である。図７に示すように、固定ブロック１６は、基台１１から離間された上昇位置が初期位置となり、装着部６の挿脱口１２に対して流路チップ３が挿脱される。
　固定ブロック１６は、図７及び図８に示すように、駆動部８によって移動されたローラ４４が、傾斜面２４上に沿って一端部２４ａから他端部２４ｂへ向かって移動することにより、昇降ガイド軸２１に沿って移動して、固定ブロック１６によって流路チップ３が基台１１に押圧される。これにより、固定ブロック１６は、装着部６に装着された流路チップ３を装着部６に固定する。また、固定ブロック１６は、ローラ４４が傾斜面２４上に沿って他端部２４ｂから一端部２４ａへ向かって移動することにより、圧縮コイルバネ２２の弾性力によって、昇降ガイド軸２１に沿って移動して初期位置に戻る。これにより、固定ブロック１６は、装着部６に装着された流路チップ３を装着部６に固定状態を解除する。
　また、固定ブロック１６において、図７及び図８に示すように、傾斜面２４の一端部２４ａが、Ｘ－Ｙ平面（図中における水平面）に沿っており、他端部２４ｂが、例えば、Ｘ－Ｙ平面に対して小さな傾斜角をもって形成されている。傾斜面２４は、一端部２４ａと他端部２４ｂが、Ｘ－Ｙ平面に対して所定の傾斜角で傾斜された中間部２４ｃを挟んで連続している。
　したがって、傾斜面２４の他端部２４ｂの傾斜角は、一端部２４ａと他端部２４ｂとの間の中間部２４ｃよりも小さい。ここで、傾斜面２４の傾斜角は、Ｘ－Ｙ平面に対する傾斜角を指す。これにより、傾斜面２４上に沿って移動するローラ４４が他端部２４ｂに移動したときに、他端部２４ｂで停止したローラ４４によって、固定ブロック１６をＺ方向に向かって押し下げる加圧力が安定的に保たれる。このため、ローラ４４が他端部２４ｂに停止した状態における流路チップ３の固定状態の安定性が高められる。
（固定ブロックの弾性変形部）
　図９は、実施例のチップ固定装置５の固定ブロック１６における弾性変形部を示す断面図である。図１０は、実施例のチップ固定装置５の固定ブロック１６における弾性変形部を説明するための模式図である。固定ブロック１６は、図５、図９及び図１０に示すように、流路チップ３を基台１１に押圧するときに弾性変形することで素子ホルダ１８を固定ブロック１６に固定する弾性変形部２５を有する。弾性変形部２５は、Ｘ方向における固定ブロック１６の一方側に配置されており、固定ブロック１６と一体に形成されている。弾性変形部２５は、ローラ４４によって傾斜面２４の他端部２４ｂ側が押し下げられることで、弾性変形部２５が素子ホルダ１８側に近づくように撓む。
　図９及び図１０に示すように、弾性変形部２５は、素子ホルダ１８の位置を規制する規制部２５ａと、規制部２５ａの両側に形成された一対の薄肉部２５ｂと、を有する。規制部２５ａは、素子ホルダ１８の外周面を適正に押圧可能な大きさに形成されている。薄肉部２５ｂは、Ｚ方向における厚みが規制部２５ａよりも薄く形成されている。規制部２５ａは、図９に示すように、一対の薄肉部２５ｂよりも基台１１側（固定ブロック１６の裏面側）に配置されている。これにより、薄肉部２５ｂが弾性変形したときに規制部２５ａが素子ホルダ１８側へ移動する変位量が適正に確保されるので、規制部２５ａによる素子ホルダ１８の押圧動作の安定性が高められる。
　また、固定ブロック１６は、図１０に示すように、一対の薄肉部２５ｂの各々から、固定ブロック１６の外周面まで延びる２つの切欠き２７を有する。各切欠き２７は、固定ブロック１６をＺ方向に貫通するスリット状に形成されている。したがって、固定ブロック１６において、２つの傾斜面２４のうちの一方の傾斜面２４と弾性変形部２５が形成された部分が、切欠き２７によって分割されている。言い換えると、固定ブロック１６には、傾斜面２４を有する部分が、弾性変形部２５によって連結されている。このように薄肉部２５ｂと切欠き２７によって剛性が小さくされた部分が固定ブロック１６に形成されており、ローラ４４が傾斜面２４を押し下げたときに弾性変形部２５近傍に適正な撓みが生じ易いので、弾性変形部２５をスムーズに弾性変形させることができる。
　固定ブロック１６は、流路チップ３に向かって下降したときに、ローラ４４が傾斜面２４の他端部２４ｂ側を押し下げることで一対の薄肉部２５ｂが弾性変形し、一対の薄肉部２５ｂの弾性変形に伴って、規制部２５ａが素子ホルダ１８側に向かって移動して素子ホルダ１８をＸ方向に押圧する。これにより、規制部２５ａによって押圧された素子ホルダ１８は、後述する貫通穴３１の内面（基準面）に突き当てられて固定ブロック１６に対して固定される。したがって、素子ホルダ１８に保持された圧電素子１７は、装着部６に固定された流路チップ３の圧力変化部３ｃに対して、Ｚ方向における所定の位置に固定される。
　また、弾性変形部２５は、傾斜面２４の他端部２４ｂに隣り合って設けられている。これにより、傾斜面２４が弾性変形部２５を適正に弾性変形させるための加圧部として機能するので、ローラ４４が傾斜面２４を押し下げたときに弾性変形部２５がスムーズに弾性変形する動作の信頼性が確保されている。また、弾性変形部２５から離れた傾斜面２４の一端部２４ａから、弾性変形部２５近傍の他端部２４ｂに向かってローラ４４が移動することにより、固定ブロック１６の下降動作と共に弾性変形部２５を徐々に弾性変形させて、弾性変形に伴う規制部２５ａの移動の安定性が確保されている。さらに、傾斜面２４の他端部２４ｂに停止したローラ４４が傾斜面２４を押し下げる力によって、弾性変形部２５が弾性変形した状態を適正に保つことが可能となり、素子ホルダ１８の固定状態の安定性が高められる。
　また、図１０に示すように、素子ホルダ１８が流路チップ３の圧力変化部３ｃに対して接離するＺ方向に直交する平面、すなわちＸ－Ｙ平面において、規制部２５ａの中心Ｏ１と、圧電素子１７の中心Ｏ２と、固定ブロック１６が流路チップ３を基台１１に押圧したときに傾斜面２４の他端部２４ｂに停止したローラ４４の回転中心線Ｍは、同一直線Ｌ上に位置している。また、言い換えると、弾性変形部２５は、素子ホルダ１８近傍の周囲（後述する貫通穴３１の周縁部分）に形成されている。
　このような配置により、傾斜面２４上を移動するローラ４４によって一対の薄肉部２５ｂをスムーズに弾性変形させて、一対の薄肉部２５ｂの弾性変形に伴って、規制部２５ａが素子ホルダ１８側に向かってスムーズに移動させることが可能となる。なお、本実施例における弾性変形部２５は、Ｘ方向における固定ブロック１６の一端側のみに設けられたが、必要に応じて、Ｘ方向における固定ブロック１６の両端側に、素子ホルダ１８を間に挟むようにそれぞれ設けられてもよい。また、弾性変形部２５は、固定ブロック１６に一体に形成されたが、例えば、弾性変形部２５が固定ブロック１６よりも弾性係数が小さい材料で形成され、弾性変形部２５が固定ブロック１６に組み付けられて構成されてもよい。
　また、固定ブロック１６には、装着部６に装着された流路チップ３の圧力変化部３ｃに対向する位置に、貫通穴３１が形成されており、貫通穴３１内に素子ホルダ１８がＺ方向に移動可能に支持されている。貫通穴３１は、Ｚ方向に対する素子ホルダ１８の移動範囲を規制するように内壁が形成されている。また、固定ブロック１６には、装着部６に装着された流路チップ３の観察部３ｄに対向する位置に、観察用開口３２が貫通して形成されている。また、図６に示すように、固定ブロック１６における、基台１１に対向する底面には、装着部６に装着された流路チップ３の各位置決め孔３ｒに挿入される２つの位置決めピン３３が設けられており、固定ブロック１６によって流路チップ３が押圧されたときに固定ブロック１６に対して流路チップ３が所定位置に位置決めされる。すなわち、流路チップ３は、固定ブロック１６によって装着部６に対して所定の位置に位置決めされる。
　図１１は、実施例のチップ固定装置５の固定ブロック１６における素子ホルダ１８を示す断面図である。図１１は、図５におけるＡ－Ａ断面図である。図１２及び図１３は、実施例のチップ固定装置５の固定ブロック１６における素子ホルダ１８を示す分解斜視図である。図１１及び図１２に示すように、素子ホルダ１８は、固定ブロック１６の貫通穴３１内に配置されており、貫通穴３１の内面が、上述した弾性変形部２５の規制部２５ａによって押圧された素子ホルダ１８が突き当てられる基準面として機能する。
　図１１、図１２及び図１３に示すように、素子ホルダ１８は、圧電素子１７を保持する保持穴１８ａと、押圧用コイルバネ１９が支持する凸部１８ｂと、を有する。圧電素子１７は、例えば、接着剤によって保持穴１８ａ内に固定されており、圧力変化部３ｃをＺ方向に押圧するように作動する。素子ホルダ１８に固定された圧電素子１７には、流路チップ３の圧力変化部３ｃに接する接触子３５が設けられている。接触子３５は、例えば、接着剤によって圧電素子１７の端面に固定されている。
　流路チップ３に接する固定ブロック１６の裏面には、図１１及び図１２に示すように、貫通穴３１の周縁部に、圧力変化部３ｃの周囲を固定する固定板３６が設けられている。固定板３６は、接触子３５が進入する開口３６ａを有する。また、素子ホルダ１８には、押圧用コイルバネ１９の一端を支持するバネ受け部材３７が設けられている。バネ受け部材３７は、素子ホルダ１８の凸部１８ｂに取り付けられている。固定ブロック１６には、押圧用コイルバネ１９の他端を支持するバネ押さえ部材３８が設けられている。したがって、素子ホルダ１８は、押圧用コイルバネ１９によって固定ブロック１６の裏面側に向かって付勢されており、押圧用コイルバネ１９の弾性力によって、圧電素子１７の接触子３５が流路チップ３の圧力変化部３ｃに圧接される。
　また、固定ブロック１６は、流路チップ３の圧力変化部３ｃに対してＺ方向に接離する素子ホルダ１８の移動を案内するガイド部として、ガイド溝４１及びガイドピン４２を有する。ガイド溝４１は、図９及び図１０に示すように、貫通穴３１の内周面に、Ｚ方向に沿って直線状に形成されている。ガイドピン４２は、図９、図１０及び図１３に示すように、素子ホルダ１８の外周面からＸ方向に沿って突出するように固定されており、ガイド溝４１内に挿入されている。ガイドピン４２は、貫通穴３１内の周方向に対する素子ホルダ１８の回転を規制する、いわゆる回り止めとして機能する。
　ガイド溝４１及びガイドピン４２は、図１０に示すように、素子ホルダ１８が圧力変化部３ｃに対して接離する方向に直交する平面上、すなわちＸ－Ｙ平面上において、素子ホルダ１８を挟んで規制部２５ａとは反対側に設けられている。また、ガイド溝４１及びガイドピン４２は、図１０に示すように、Ｘ－Ｙ平面において、規制部２５ａの中心Ｏ１と、圧電素子１７の中心Ｏ２と、傾斜面２４の他端部２４ｂに停止したローラ４４の回転中心線Ｍとがそれぞれ位置する直線Ｌ上に位置している。
　これにより、弾性変形部２５の規制部２５ａによって素子ホルダ１８が貫通穴３１の内面に突き当てられた際に、素子ホルダ１８の移動に伴う力がガイド溝４１及びガイドピン４２に加わることが避けられるので、ガイド溝４１及びガイドピン４２の損傷が抑えられる。したがって、素子ホルダ１８のＺ方向の移動をガイドする構造と、素子ホルダ１８を固定ブロック１６に固定する構造（圧電素子１７を圧力変化部３ｃに対して固定する構造）と、を両立することができる。
　なお、本実施例におけるガイド部は、ガイド溝４１が固定ブロック１６に設けられて、ガイドピン４２が素子ホルダ１８に設けられたが、この構造とは逆に、ガイド溝４１が素子ホルダ１８に設けられて、ガイドピン４２が固定ブロック１６に設けられてもよい。
（駆動部の構成）
　チップ固定装置５の駆動部８は、図３及び図４に示すように、固定ブロック１６を基台１１に向かって移動させる２つのローラ４４と、各ローラ４４を回転自在に支持するアーム部材４５と、アーム部材４５をＹ方向に往復移動させる駆動機構（図示せず）と、アーム部材４５の往復移動をガイドする一対の往復ガイド軸４６と、を有する。
　アーム部材４５には、各往復ガイド軸４６に支持される軸受け部４７が設けられている。各往復ガイド軸４６は、Ｘ方向における基台１１の両側の側面に沿って固定されている。往復ガイド軸４６は、軸方向の両端が、基台１１に設けられた支持部４８に支持されている。駆動部８は、駆動機構によってアーム部材４５を駆動することで、固定ブロック１６の傾斜面２４上に沿ってローラ４４が移動し、固定ブロック１６を昇降ガイド軸２１に沿って昇降させる。
（流路チップに対する圧電素子の固定動作）
　図１４Ａ～図１４Ｄは、実施例のチップ固定装置５において、流路チップ３に対して圧電素子１７が固定される動作を説明するための断面図である。
　図１４Ａに示すように、チップ固定装置５は、固定ブロック１６が基台１１から離間した初期位置で、押圧用コイルバネ１９によって付勢された圧電素子１７の接触子３５が、装着部６に装着された流路チップ３の圧力変化部３ｃから離れている。次に、図１４Ｂに示すように、チップ固定装置５は、駆動部８のローラ４４によって固定ブロック１６が基台１１に向かって下降を開始し、固定ブロック１６が初期位置から所定量（例えば、３ｍｍ程度）だけ下降したときに、圧電素子１７の接触子３５の先端が、圧力変化部３ｃの圧力室３ｎの押圧部３ｐに接触する。
　続いて、図１４Ｃに示すように、チップ固定装置５は、固定ブロック１６が初期位置から所定量（例えば、４ｍｍ程度）だけ基台１１に向かって下降したときに、固定ブロック１６の固定板３６が圧力変化部３ｃの周囲に接触する。これと同時に、圧力変化部３ｃに接触した接触子３５の先端が、接触位置から下降することで、接触子３５によって圧力変化部３ｃが僅かに（例えば、接触子３５と圧力変化部３ｃとの接触位置から１ｍｍ程度）押し込まれる。これにより、押圧用コイルバネ１９の弾性力によって、圧電素子１７の接触子３５が接触した圧力変化部３ｃの圧力室３ｎには与圧が加わる。
　続いて、チップ固定装置５は、駆動部８のローラ４４によって押し下げられる固定ブロック１６が基台１１に向かって更に下降することにより、固定ブロック１６における素子ホルダ１８近傍の周囲（貫通穴３１の周縁部分）に所定の外力（例えば、４００［Ｎ］程度）が加わる。固定ブロック１６は、基台１１に向かって下降するときに所定の外力が貫通穴３１の周縁部分に加わることで、弾性変形部２５及び切欠き２７が形成された部分に撓みが生じる。このため、固定ブロック１６は、弾性変形部２５の一対の薄肉部２５ｂが弾性変形し、規制部２５ａが素子ホルダ１８に向かって移動し、規制部２５ａによって素子ホルダ１８が貫通穴３１の内面に突き当てられて固定される。
　圧電素子１７が所定位置に固定されたとき、圧電素子１７の接触子３５の先端は、上述のように、圧力変化部３ｃの圧力室３ｎに与圧を加えた状態で固定ブロック１６に固定される。このように素子ホルダ１８が固定ブロック１６に対して固定されることで、圧電素子１７が、流路チップ３の圧力変化部３ｃに対するＺ方向の所定位置に固定される。このため、圧電素子１７によって圧力変化部３ｃを精度良く作動させることが可能になり、圧力変化部３ｃの動作信頼性が高められる。
　したがって、チップ固定装置５は、固定ブロック１６が基台１１を押圧するときに基台１１に向かって下降することにより、弾性変形部２５が弾性変形する。これにより、チップ固定装置５は、流路チップ３を装着部６に固定すると共に、固定ブロック１６に圧電素子１７を固定する、すなわち、流路チップ３の圧力変化部３ｃに対して圧電素子１７を固定することができる。
（粒子検査装置の構成）
　以上のように構成されたチップ固定装置５を備える粒子検査装置について説明する。図１５は、実施例の粒子検査装置１を示すブロック図である。図１５に示すように、粒子検査装置１は、例えば、フローサイトメータであり、チップ固定装置５と、チップ固定装置５によって装着部６に固定された流路チップ３の観察部３ｄにレーザ光を照射する光源部５１と、チップ固定装置５に固定された流路チップ３の観察部３ｄを流れる粒子Ａを検査する検査部５２と、を備える。光源部５１は、流路チップ３の粒子Ａにレーザ光を照射するレーザ光源（図示せず）を有する。検査部５２は、粒子Ａが発する蛍光や散乱光を検出する光検出素子（図示せず）を有する。なお、本実施例に係るチップ固定装置５は、上述したフローサイトメータ等の粒子検査装置に適用されることに限定されず、イメージングサイトメータ等の画像処理装置に適用されてもよい。
（効果）
　実施例のチップ固定装置５における固定部７は、流路チップ３を装着部６の基台１１に押圧する固定ブロック１６と、流路チップ３の圧力変化部３ｃを作動させる圧電素子１７と、圧力変化部３ｃに対して接離するＺ方向に移動可能に設けられて圧電素子１７を保持する素子ホルダ１８と、を有する。固定ブロック１６は、流路チップ３を装着部６の基台１１に押圧するときに弾性変形することで素子ホルダ１８を固定ブロック１６に固定する弾性変形部２５を有する。つまり、固定部７は、固定ブロック１６が基台１１を装着部６に固定するときに固定ブロック１６の弾性変形部２５が弾性変形することで、素子ホルダ１８を固定ブロック１６に固定するので、素子ホルダ１８の固定構造を簡素化することができる。これにより、簡素な構造で、流路チップ３を装着部６に固定すると共に、固定ブロック１６に圧電素子１７を固定することで流路チップ３の圧力変化部３ｃに対して圧電素子１７を所定位置に固定する構造を実現することができる。そして、装着部６に固定された流路チップ３の圧力変化部３ｃに対して圧電素子１７が所定位置に固定されることにより、圧電素子１７が作動させる圧力変化部３ｃの動作精度、動作信頼性を確保することができる。
　また、実施例のチップ固定装置５における固定ブロック１６は、駆動部８によって加圧される傾斜面２４を有しており、傾斜面２４が弾性変形部２５に隣り合って配置されている。これにより、加圧部である傾斜面２４によって弾性変形部２５を適正に弾性変形させることが可能となり、固定ブロック１６が加圧されたときに弾性変形部２５がスムーズに弾性変形する動作の信頼性を確保することができる。
　また、実施例のチップ固定装置５における固定ブロック１６の弾性変形部２５は、素子ホルダ１８の位置を規制する規制部２５ａと、規制部２５ａの両側に形成された一対の薄肉部２５ｂと、を有しており、一対の薄肉部２５ｂの弾性変形に伴って、規制部２５ａが素子ホルダ１８を固定ブロック１６に押圧する。これにより、一対の薄肉部２５ｂが弾性変形することで規制部２５ａをスムーズに移動して、規制部２５ａが素子ホルダ１８を押圧する構造を簡素に構成することができる。また、一対の薄肉部２５ｂによって規制部２５ａが移動する方向が適正に制御されるので、弾性変形部２５による素子ホルダ１８の固定動作の信頼性を高めることができる。
　また、実施例のチップ固定装置５の固定ブロック１６は、一対の薄肉部２５ｂから、固定ブロック１６の外周面まで延びる切欠き２７を有する。これにより、固定ブロック１６において弾性変形部２５が形成された部分が、切欠き２７によって分割されるので、薄肉部２５ｂの剛性が小さくなる。このため、弾性変形部２５近傍に適正な撓みが生じ易くなり、弾性変形部２５をスムーズに弾性変形させることができる。したがって、弾性変形部２５による素子ホルダ１８の固定動作の信頼性を更に高めることができる。
　また、実施例のチップ固定装置５における固定ブロック１６の弾性変形部２５は、Ｚ方向において規制部２５ａが、一対の薄肉部２５ｂよりも基台１１側に配置されている。これにより、薄肉部２５ｂが弾性変形したときに規制部２５ａが素子ホルダ１８側へ移動する変位量が適正に確保されるので、規制部２５ａが素子ホルダ１８を押圧する動作の安定性を高めることができる。
　また、実施例のチップ固定装置５における固定ブロック１６は、流路チップ３の圧力変化部３ｃに対して接離する素子ホルダ１８の移動を案内するガイド溝４１及びガイドピン４２を有する。ガイド溝４１及びガイドピン４２は、素子ホルダ１８が圧力変化部３ｃに対して接離するＺ方向に直交する平面（Ｘ－Ｙ平面）上において、素子ホルダ１８を挟んで規制部２５ａとは反対側に配置されている。これにより、弾性変形部２５の規制部２５ａによって押圧された素子ホルダ１８の移動に伴う力がガイド溝４１及びガイドピン４２に加わることが避けられるので、ガイド溝４１及びガイドピン４２の損傷を抑えることができる。したがって、素子ホルダ１８の移動をガイドする構造と、素子ホルダ１８を固定ブロック１６に固定する構造と、を両立することができる。
　また、実施例のチップ固定装置５における固定ブロック１６は、駆動部８のローラ４４が移動する傾斜面２４を有しており、ローラ４４が傾斜面２４上に沿って傾斜面２４の一端部２４ａから他端部２４ｂへ移動することで固定ブロック１６が基台１１に向かって移動される。弾性変形部２５は、傾斜面２４の他端部２４ｂに隣り合って設けられている。これにより、弾性変形部２５から離れた傾斜面２４の一端部２４ａから、弾性変形部２５近傍の他端部２４ｂに向かってローラ４４が移動することにより、固定ブロック１６の下降動作と共に弾性変形部２５を徐々に弾性変形させて、弾性変形に伴う規制部２５ａの移動の安定性が確保されている。また、傾斜面２４の他端部２４ｂに停止したローラ４４が傾斜面２４を押し下げる力によって、弾性変形部２５が弾性変形した状態を適正に保つことが可能となり、素子ホルダ１８の固定状態の安定性を高めることができる。
　また、実施例のチップ固定装置５における固定ブロック１６は、傾斜面２４の他端部２４ｂの傾斜角が、一端部２４ａと他端部２４ｂとの間の中間部２４ｃよりも小さい。これにより、傾斜面２４上に沿って移動するローラ４４が他端部２４ｂに移動したときに、他端部２４ｂで停止したローラ４４によって、固定ブロック１６をＺ方向に向かって押し下げる加圧力を安定的に保つことが可能になる。このため、ローラ４４が他端部２４ｂに停止した状態における流路チップ３の固定状態の安定性を更に高めることができる。
　また、実施例のチップ固定装置５の固定ブロック１６において、素子ホルダ１８が流路チップ３の圧力変化部３ｃに対して接離するＺ方向に直交する平面（Ｘ－Ｙ平面）において、規制部２５ａの中心Ｏ１と、圧電素子１７の中心Ｏ２と、固定ブロック１６が流路チップ３を基台１１に押圧したときに傾斜面２４の他端部２４ｂに停止したローラ４４の回転中心線Ｍは、同一直線Ｌ上に位置している。このような配置により、傾斜面２４上を移動するローラ４４によって一対の薄肉部２５ｂをスムーズに弾性変形させることが可能になり、一対の薄肉部２５ｂの弾性変形に伴って、規制部２５ａが素子ホルダ１８側に向かってスムーズに移動させることができる。したがって、規制部２５ａによる素子ホルダ１８の固定状態の安定性を更に高めることができる。
＜付記＞
　なお、本技術は以下のような構成も採ることができる。
（１）
　粒子を含む流体が流れる流路と、前記流路から対象粒子を取り込む圧力変化部と、を有する流路チップが装着される装着部と、前記装着部に装着された前記流路チップを固定する固定部と、を備え、前記装着部は、前記流路チップが載置される基台を有し、前記固定部は、前記流路チップを前記基台に押圧する固定部材と、前記圧力変化部を作動させる圧電素子と、前記圧力変化部に対して接離する方向に移動可能に設けられて前記圧電素子を保持する保持部材と、を有し、前記固定部材は、前記流路チップを前記基台に押圧するときに弾性変形することで前記保持部材を前記固定部材に固定する弾性変形部を有する、チップ固定装置。
（２）
　前記固定部を駆動する駆動部を更に備え、前記固定部材は、前記駆動部によって加圧される加圧部を有し、前記加圧部が前記弾性変形部に隣り合って配置されている、（１）に記載のチップ固定装置。
（３）
　前記弾性変形部は、前記保持部材の位置を規制する規制部と、前記規制部の両側に形成された一対の薄肉部と、を有し、前記一対の薄肉部の弾性変形に伴って、前記規制部が前記保持部材を前記固定部材に押圧する、（２）に記載のチップ固定装置。
（４）
　前記固定部材は、前記一対の薄肉部から、前記固定部材の外周面まで延びる切欠きを有する、（３）に記載のチップ固定装置。
（５）
　前記規制部は、前記一対の薄肉部よりも前記基台側に配置されている、（３）または（４）に記載のチップ固定装置。
（６）
　前記固定部材は、前記圧力変化部に対して接離する前記保持部材の移動を案内するガイド部を有し、前記ガイド部は、前記保持部材が前記圧力変化部に対して接離する方向に直交する平面上において、前記保持部材を挟んで前記規制部とは反対側に配置されている、（３）ないし（５）のいずれか１つに記載のチップ固定装置。
（７）
　前記駆動部は、前記固定部材を前記基台に向かって移動させるローラを有し、前記固定部材の前記加圧部は、前記ローラが移動する傾斜面を有し、前記ローラが前記傾斜面上に沿って前記傾斜面の一端部から他端部へ移動することで前記固定部材が前記基台に向かって移動され、前記弾性変形部は、前記傾斜面の前記他端部に隣り合って設けられている、（３）ないし（６）のいずれか１つに記載のチップ固定装置。
（８）
　前記傾斜面の前記他端部の傾斜角は、前記一端部と前記他端部との間の中間部よりも小さい、（７）に記載のチップ固定装置。
（９）
　前記保持部材が前記圧力変化部に対して接離する方向に直交する平面において、前記規制部の中心と、前記圧電素子の中心と、前記固定部材が前記流路チップを前記基台に押圧したときに前記傾斜面の前記他端部に停止した前記ローラの回転中心線は、同一直線上に位置している、（７）または（８）に記載のチップ固定装置。
（１０）
　（１）ないし（９）のいずれか１つに記載のチップ固定装置と、前記チップ固定装置によって前記装着部に固定された前記流路チップを流れる前記粒子を検査する検査部と、を備える粒子検査装置。
　　　１　粒子検査装置
　　　３　流路チップ
　　　３ａ　サンプル液導入流路（流路）
　　　３ｃ　圧力変化部
　　　５　チップ固定装置
　　　６　装着部
　　　７　固定部
　　　８　駆動部
　　１１　基台
　　１６　固定ブロック（固定部材）
　　１７　圧電素子
　　１８　素子ホルダ（保持部材）
　　２４　傾斜面
　　２４ａ　一端部
　　２４ｂ　他端部
　　２４ｃ　中間部
　　２５　弾性変形部
　　２５ａ　規制部
　　２５ｂ　薄肉部
　　２７　切欠き
　　４１　ガイド溝（ガイド部）
　　４２　ガイドピン（ガイド部）
　　４４　ローラ
　　　Ａ　粒子
　　　Ｌ　直線
　　　Ｍ　回転中心線
　　　Ｏ１
　　　Ｏ２

Claims (10)

  1. 　粒子を含む液体が流れる流路と、前記流路から前記対象粒子を取り込む圧力変化部と、を有する流路チップが装着される装着部と、
    　前記装着部に装着された前記流路チップを固定する固定部と、を備え、
    　前記装着部は、前記流路チップが載置される基台を有し、
    　前記固定部は、前記流路チップを前記基台に押圧する固定部材と、前記圧力変化部を作動させる圧電素子と、前記圧力変化部に対して接離する方向に移動可能に設けられて前記圧電素子を保持する保持部材と、を有し、
    　前記固定部材は、前記流路チップを前記基台に押圧するときに弾性変形することで前記保持部材を前記固定部材に固定する弾性変形部を有する、チップ固定装置。
  2. 　前記固定部を駆動する駆動部を更に備え、
    　前記固定部材は、前記駆動部によって加圧される加圧部を有し、前記加圧部が前記弾性変形部に隣り合って配置されている、請求項１に記載のチップ固定装置。
  3. 　前記弾性変形部は、前記保持部材の位置を規制する規制部と、前記規制部の両側に形成された一対の薄肉部と、を有し、前記一対の薄肉部の弾性変形に伴って、前記規制部が前記保持部材を前記固定部材に押圧する、請求項２に記載のチップ固定装置。
  4. 　前記固定部材は、前記一対の薄肉部から、前記固定部材の外周面まで延びる切欠きを有する、請求項３に記載のチップ固定装置。
  5. 　前記規制部は、前記一対の薄肉部よりも前記基台側に配置されている、請求項３に記載のチップ固定装置。
  6. 　前記固定部材は、前記圧力変化部に対して接離する前記保持部材の移動を案内するガイド部を有し、
    　前記ガイド部は、前記保持部材が前記圧力変化部に対して接離する方向に直交する平面上において、前記保持部材を挟んで前記規制部とは反対側に配置されている、請求項３に記載のチップ固定装置。
  7. 　前記駆動部は、前記固定部材を前記基台に向かって移動させるローラを有し、
    　前記固定部材の前記加圧部は、前記ローラが移動する傾斜面を有し、前記ローラが前記傾斜面上に沿って前記傾斜面の一端部から他端部へ移動することで前記固定部材が前記基台に向かって移動され、
    　前記弾性変形部は、前記傾斜面の前記他端部に隣り合って設けられている、請求項３に記載のチップ固定装置。
  8. 　前記傾斜面の前記他端部の傾斜角は、前記一端部と前記他端部との間の中間部よりも小さい、請求項７に記載のチップ固定装置。
  9. 　前記保持部材が前記圧力変化部に対して接離する方向に直交する平面において、前記規制部の中心と、前記圧電素子の中心と、前記固定部材が前記流路チップを前記基台に押圧したときに前記傾斜面の前記他端部に停止した前記ローラの回転中心線は、同一直線上に位置している、請求項７に記載のチップ固定装置。
  10. 　請求項１に記載のチップ固定装置と、
    　前記チップ固定装置によって前記装着部に固定された前記流路チップを流れる前記粒子を検査する検査部と、
    　を備える粒子検査装置。
PCT/JP2020/039783 2019-11-01 2020-10-22 チップ固定装置及び粒子検査装置 WO2021085312A1 (ja)

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