WO2020213961A1 - 트레이 이송 장치 - Google Patents

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WO2020213961A1
WO2020213961A1 PCT/KR2020/005113 KR2020005113W WO2020213961A1 WO 2020213961 A1 WO2020213961 A1 WO 2020213961A1 KR 2020005113 W KR2020005113 W KR 2020005113W WO 2020213961 A1 WO2020213961 A1 WO 2020213961A1
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WO
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frame
push
transfer
pull
test tray
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PCT/KR2020/005113
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English (en)
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이택선
여동현
유일하
Original Assignee
주식회사 아테코
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Publication date
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    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
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    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
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    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Definitions

  • the present invention relates to a tray transfer device, and more particularly, to a tray transfer device that transfers a test tray within a test site of an electronic component test handler.
  • the electronic component test handler is a device that inspects a plurality of electronic components, for example, semiconductor devices, modules, and SSDs after being manufactured.
  • the electronic component test handler is configured to connect electronic components to a test device, artificially create various environments to check whether the electronic components are operating normally, and classify them into good, re-inspection, and defective products according to the inspection results.
  • distribution is performed by exchanging the user tray in which the device to be tested or the device that has been tested is loaded with the outside, and distribution with the outside must be performed at an appropriate cycle so that the inspection can be continuously performed.
  • Korean Patent Registration No. 1,734,397 (registered on May 02, 2017), filed and registered by the present applicant, is disclosed for such a test handler.
  • the problem to be solved by the present invention is to provide a test tray transfer device capable of stably transferring a test tray between a test chamber and a buffer chamber.
  • test tray transfer device capable of transferring two test trays simultaneously between a test chamber and a buffer chamber.
  • a test tray transfer device for solving the above problems includes a fixed frame, a transfer frame provided to be movable in a transverse direction with respect to the fixed frame, a transfer drive unit for transferring the transfer frame in a transverse direction, A push-pull frame provided so as to be able to move forward or backward with respect to the transfer frame, a push-pull driving unit for moving the push-pull frame forward or backward, and the push-pull driving unit are inserted into a test tray as the push-pull frame advances and the test tray And, as the transfer driving unit transfers the transfer frame in the transverse direction, it is transferred in the transverse direction together with the push-pull frame and the transfer frame, and the push-pull drive unit moves the push-pull frame backward. It includes a support arm that is separated from the test tray.
  • the fixed frame includes a guide member for supporting the transfer frame to be movable in a transverse direction
  • the transfer frame includes a support piece for movably supporting the push-pull frame
  • the push-pull frame is the support piece Can be combined to enable forward or backward.
  • the push-pull driving unit includes a guide rail extending in parallel with the guide member, the push-pull frame includes a rolling member at least partially accommodated in the guide rail, and the guide rail advances together with the push-pull frame. Or it can be configured to reverse.
  • a test tray transfer apparatus for solving the above problem includes a first transfer unit transferring a first test tray and a second transfer unit transferring a second test tray, and the first transfer
  • the unit includes a first fixing frame, a first transfer frame provided to be movable in a transverse direction with respect to the first fixing frame, a first push-pull frame provided to be able to move forward and backward with respect to the first transfer frame, and the first A first push-pull driving unit for moving the push-pull frame forward or backward, and a first support arm that moves forward or backward integrally with the first push-pull frame and is selectively coupled to the first test tray, and the second transfer unit Silver, a second fixing frame, a second transfer frame provided to be movable in a transverse direction with respect to the second fixing frame, a second push-pull frame provided to be able to move forward and backward with respect to the second transfer frame, the second push A second push-pull driving unit for moving the full frame forward or backward, and
  • the first transfer frame, the first push-pull frame, and the first support arm may be integrally moved in the transverse direction by the transfer driving unit.
  • the second transfer frame, the second push-pull frame, and the second support arm may be integrally moved in the transverse direction by the transfer driving unit.
  • the transfer driving unit may include a rotation shaft rotatably supported by the first fixing frame and the second fixing frame, connecting the rotation shaft to the first transfer frame, and rotating the first transfer frame by rotation of the rotation shaft. It may include a first power transmission member to move in the transverse direction, and a second power transmission member that connects the rotation shaft and the second transfer frame and moves the second transfer frame in the transverse direction by rotation of the rotation shaft.
  • the first test tray and the second test tray may be disposed vertically, and the first transfer module and the second transfer module may be disposed vertically.
  • the first fixing frame includes a first guide member supporting the first transfer frame so as to be movable in a transverse direction
  • the first push-pull driving unit includes a first guide rail extending in parallel with the first guide member.
  • the first push-pull frame includes a first rolling member at least partially accommodated in the first guide rail
  • the first guide rail is configured to move forward or backward together with the first push-pull frame
  • the second fixing frame includes a second guide member supporting the second transfer frame so as to be movable in a transverse direction
  • the second push-pull driving unit includes a second guide rail extending in parallel with the second guide member.
  • the second push-pull frame includes a second rolling member at least partially accommodated in the second guide rail, and the second guide rail may be configured to move forward or backward together with the second push-pull frame.
  • the first transfer frame includes a first support piece movably supporting the first push-pull frame, and the first push-pull frame is coupled to the first support piece to be forward or backward
  • the second The transfer frame may include a second support piece supporting the second push-pull frame to be movable, and the second push-pull frame may be coupled to the second support piece to be forward or backward.
  • the test tray can be stably transferred between the test chamber and the buffer chamber.
  • test trays Two test trays can be transferred simultaneously between the test chamber and the buffer chamber.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating an electronic component test handler according to an embodiment of the present invention divided into spaces according to functions.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram of a test handler body of FIG. 1 divided according to functions on a plane.
  • FIG 3 is a conceptual diagram showing movement of a device and a test tray in a test handler body.
  • FIG. 4 is a schematic side view of a test tray transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic front view of a test tray transfer device according to an embodiment of the present invention.
  • 6 to 8 are views for explaining the operation of the test tray transfer device according to an embodiment of the present invention.
  • the user tray and the test tray are trays in which a plurality of loading grooves configured to load semiconductor elements are arranged in a certain arrangement, and the loading grooves of the user tray are placed inside the grooves by gravity without a separate fixing function. It may be configured to be seated in, and the loading groove of the test tray may include a separate fixing member (eg, an insert, etc.) so that the device is not easily separated by gravity or external impact.
  • a separate fixing member eg, an insert, etc.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating an electronic component test handler according to an embodiment of the present invention divided into spaces according to functions.
  • the test handler 1 is configured to carry in the device 20 from the outside, perform a test, and selectively carry out the device 20 for each grade.
  • the test handler 1 moves the stacker and device 20 for carrying in or carrying out a plurality of user trays 10 from the outside according to spatially functional functions from the user tray 10, performing a test, and then performing a test by grade. It may be classified into a test handler body 100, which is an area that is classified and loaded into the user tray 10.
  • the stacker 2 refers to an area in which the user tray 10 can be loaded in a large amount.
  • the stacker may be classified into a loading stacker, an unloading stacker, and an empty stacker according to the loaded device 20.
  • the loading stacker is configured to load the user tray 10 in which devices 20 that need to be tested and sorted are loaded.
  • the loading stacker has a size capable of being loaded in units of one lot in which a plurality of user trays 10 carried from the outside are stacked.
  • the unloading stacker is configured to load a plurality of user trays 10 loaded with a device 20 for carrying out to the outside among the devices 20 that have been tested and sorted before being taken out in units of one lot.
  • the empty stacker is configured so that a plurality of empty user trays 10 can be loaded, and the empty user tray 10 is transferred from the loading stacker after the transfer of the device 20 is completed, or the empty user tray 10 is transferred to the unloading stacker. It may be configured to be able to transport the user tray 10.
  • the loading stacker, the unloading stacker, and the empty stacker may be classified according to logistics to the outside, logistics and loading purposes inside the test handler 1, but their configurations may be the same or similar to each other. .
  • Each stacker module 500 may be configured to stack and stack a plurality of user trays 10 in a vertical direction for efficient use of space.
  • each of the stacker modules 500 is configured to be horizontally moved in the y direction of FIG. 1 to be opened and closed, and distribution with the outside is performed at a position carried out to the outside.
  • a plurality of user trays 10 may be transferred to a loading stacker from an automatic guided vehicle (AGV), or an unmanned transportation vehicle may collect a plurality of user trays 10 from the unloading stacker.
  • AGV automatic guided vehicle
  • the stacker 2 may be configured such that each of the loading stacker, the unloading stacker, and the empty stacker may be set in plural, and internal logistics can be continuously performed even while any one is logistics with the outside.
  • test handler body 100 will be schematically described with reference to FIGS. 2 and 3.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram of a test handler body of FIG. 1 divided according to functions on a plane
  • FIG. 3 is a conceptual diagram illustrating movement of a device and a test tray in the test handler body.
  • the test handler body 100 tests a plurality of devices 20, classifies the devices 20 after the test, and transfers and loads the devices 20 before and after the test.
  • the test handler body 100 may be functionally classified, including a loading site (L), a test site (T), and an unloading site (UL).
  • the loading site L is configured to pick up a plurality of devices 20 from the user tray 10 and place them on the test tray 130.
  • the loading site L may be provided with a hand 110 for transferring the device 20 from the user tray 10 to the test tray 130, a loading shuttle 120, and a scanner (not shown) for inspection. .
  • the user trays 10 loaded in the loading stacker may be alternately supplied to the pickup position one by one, and the hand 110, which will be described later, removes only the plurality of devices 20 from the user tray 10 and transfers them.
  • the empty user tray 10 and the user tray 10 in which the devices 20 are loaded are replaced and positioned so that the device 20 can be continuously supplied.
  • the pickup position a plurality of user trays 10 are provided so that the device 20 can be continuously supplied even when all the user trays 10 loaded in any one stacker module 500 have been consumed or a failure occurs. It can be exposed.
  • the other user tray 10 may be configured to wait in a standby state or be replaced with a new user tray 10.
  • the hand 110 is configured to pick up and transfer the plurality of devices 20 and then load them onto the test tray 130 or the loading shuttle 120.
  • the hand 110 may be configured to be in charge of logistics for each transport section.
  • the hand 110 may be installed on the rail to enable horizontal movement of the upper side, and is configured so that the attachment can be viewed toward the lower side, and a linear actuator (not shown) is provided to enable length adjustment in the vertical direction. Can be.
  • the attachment may be provided with a plurality of vacuum ports and may be configured to vacuum-adsorb the plurality of devices 20.
  • the attachment may be configured to be replaceable in consideration of the type, size, and shape of the device 20.
  • the test tray 130 is provided with an insert for each loading groove in consideration of thermal deformation when fixing the device 20 and performing a test, and the interval between the loading grooves may be different from that of the user tray 10.
  • the spacing between the loading grooves of the test tray 130 is configured to be larger than that of the user tray 10. Therefore, after picking up the plurality of devices 20 from the user tray 10 at the pickup position by using the hand 110, the space between the devices 20 is widened and then loaded onto the test tray 130.
  • two interval adjustments may be performed to increase the interval in two directions of xy, and for this purpose, a loading shuttle 120 is provided between the pickup position and the test tray 130, and a loading shuttle from the user tray 10
  • the distance in one direction can be adjusted while being transferred to 120, and the distance in the other direction can be adjusted while transferring from the loading shuttle 120 to the test tray 130.
  • the loading shuttle 120 is provided between the user tray 10 and the test tray 130, and the space between the loading grooves is the user tray 10 so that the plurality of devices 20 can be loaded in a state that is primarily aligned. It may be configured in an array that is widened in one direction. In addition, the loading shuttle 120 may be positioned in consideration of the locations of the user tray 10, the test tray 130, and the hand 110 for efficient logistics.
  • a scanner (not shown) is provided to identify barcodes if they are present on the device 20 to be transferred.
  • the scanner (not shown) may be configured to recognize a barcode on a path through which the hand 110 picks up and transfers the device 20.
  • the scanner may be provided in various positions to facilitate the recognition of barcodes according to the shape, size and type of the device 20.
  • test tray 130 In the place position, an empty test tray 130 is supplied, and the device 20 is transferred and stacked.
  • the test tray 130 is transferred to the test site T afterwards, and a new empty test tray 130 is supplied.
  • a mask and a preciser configured to prevent separation of the device 20 after the device 20 is seated on the test tray 130 may be provided at the place position.
  • the test tray 130 is provided with an insert for each loading groove, and each insert is provided with a locking portion capable of preventing the device 20 from being separated.
  • the basic position of each of the locking portions is set to a position that prevents the device 20 from being separated.
  • the loading of the device 20 in the test tray 130 is performed by expanding the engaging portion of the insert with a mask while pressing the insert with a presizer, and the hand 110 transferring the device 20 to the loading groove.
  • the mask is configured in a shape corresponding to the test tray 130, and a plurality of protrusions are provided so as to expand the locking portions of each insert when in close contact with the test tray 130.
  • the presizer is configured to temporarily fix the insert provided in the test tray 130 in a somewhat spaced state.
  • the presizer is provided with a plurality of pressing pins corresponding to the position of each insert, and the presizer is in close contact with the test tray 130 to press the insert to temporarily fix it with the test tray 130. Therefore, it is possible to minimize the position error when the device 20 is seated on the insert.
  • an elevating unit for independently elevating the mask and the presizer may be additionally provided.
  • the test site T is configured to perform a test on a plurality of devices 20 loaded on the test tray 130 in units of the test tray 130 and transmit the test results.
  • a thermal load test may be performed in which the device 20 is changed to a temperature of -40°C to 130°C to check the function.
  • a test chamber 160 and buffer chambers 150 and 170 provided before and after the test chamber 160 may be provided at the test site T.
  • Each of the buffer chambers 150 and 170 may be configured to be loaded with a plurality of test trays 130, and may be configured to perform preheating or post-heat treatment before and after performing the thermal load test.
  • the test tray 130 may be configured to be transported and tested while the test tray 130 is upright, so that the overall size of the equipment may be reduced. Meanwhile, although the configuration is not shown in detail, an inverter 140 may be provided before and after the buffer chambers 150 and 170 to change the posture of the test tray 130 to an upright state.
  • the unloading site UL is configured to sort, transport, and load the device 20 according to the test result from the test tray 130 transferred from the test site T.
  • the unloading site UL may be provided with elements similar to the configuration of the loading site L, and may be performed in the reverse order of the transfer of the device 20 at the loading site L.
  • a plurality of sorting shuttles 170 may be provided to temporarily collect from the test tray 130 according to grades.
  • a predetermined number of devices 20 of the same grade are loaded in a sorting shuttle (not shown)
  • a plurality of devices may be simultaneously picked up and transferred to the user tray 10.
  • a control unit for controlling driving of the above-described components may be separately provided.
  • test tray 130 is transferred from the first buffer chamber 150 to the test chamber 160 within the test site T, or the test tray 130 from the test chamber 160 to the second buffer chamber 170 ( A test tray transfer device 40 for transferring 130) will be described.
  • FIG. 4 is a schematic side view of a test tray transfer device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 5 is a schematic front view of a test tray transfer device according to an embodiment of the present invention.
  • the test tray transfer device 40 includes a first transfer unit 410, a second transfer unit 420, and a transfer drive unit 430. do.
  • the first transfer unit 410 includes a first fixed frame 411, a first transfer frame 415, a first push-pull frame 416, and a first push-pull drive unit 419, 419a, 419b.
  • the first fixing frame 411 is fixedly installed in the test site T.
  • First shaft support portions 411a and 411b for rotatably supporting the rotation shaft 432 of the transfer driving unit 430 are provided at upper and lower sides of the first fixing frame 411, respectively.
  • first fixing frame 411 is formed to extend in the transverse direction to support the first guide member 413 and the first guide member 413 for supporting the first transfer frame 415 to be movable in the transverse direction. And at least one first guide support 414 protruding so as to be protruded.
  • a bar-shaped member is illustrated as the first guide member 413, but the present invention is not limited thereto, and an LM guide or the like may be used according to embodiments.
  • the first transfer frame 415 is slidably installed along the first guide member 413.
  • One side of the first transfer frame 415 is formed with a first support piece 415b coupled to the first cross bar 416a of the first push-pull frame 416.
  • the first support piece 415b slidably supports the first cross bar 416a.
  • a first grip part 415a coupled to the first power transmission member 433 of the transfer driving part 430 is formed on the other side of the first transfer frame 415.
  • the first power transmission member 433 is a member such as a belt or chain of a closed loop that is formed to be elongated in a direction substantially parallel to the first guide member 413 and moves along the closed loop as the rotation shaft 432 rotates.
  • the first grip part 415a is coupled to one side of the first power transmission member 433 and moves along the closed loop together with the first power transmission member 433 as the rotation shaft 432 rotates.
  • the first transfer frame 415 moves in a transverse direction along the first guide member 413.
  • the first push-pull frame 416 may be formed as an approximately square frame-shaped frame in which the first cross bar 416a is formed at approximately the center.
  • the first cross bar 416a extends in a direction perpendicular to the first guide member 413 and is slidably coupled to the first support piece 415b of the first transfer frame 415 as described above. do.
  • a first support arm support part 417 is provided at a front end of the first push-pull frame 416, and a first support arm 418 protruding forward is provided at a front end of the first support arm support part 417.
  • 5 shows an example in which the two first support arms 418a and 418b protrude from the front end of the first support arm support part 417, but according to the embodiment, the size of the test tray 130 and/or the test tray The number of the first support arms 418a and 418b may be modified for stable support of 130.
  • a first rolling member 416b is provided at the lower end of the first push-pull frame 416.
  • the first rolling member 416b is rotatably provided with respect to the first push-pull frame 416, and as shown in FIG. 4, the first guide rail of the first push-pull drive units 419, 419a, 419b ( 419b) is installed to accommodate at least a portion.
  • the first push-pull frame 416 moves in the transverse direction integrally with the first transfer frame 415, the first push It guides the lateral movement of the full frame 416 and reduces friction with the first guide rail 419b.
  • the first push-pull driver 419, 419a, 419b includes a first push-pull motor 419, a first guide rail 419b, and a first push rod 419a.
  • the first guide rail 419b is formed to extend in the transverse direction parallel to the first guide member 413, and is connected to the first push-pull motor 419 by a first push rod 419a.
  • the first push-pull motor 419 is driven to move forward or backward the first push rod 419a, and the first guide rail 419b moves forward or backward integrally with the first push rod 419a.
  • the first push-pull frame 416 moves forward or backward while being supported by the first support piece 415b. Accordingly, the first guide rail 419b and the first push-pull frame 416 may move forward or backward apart from the first transfer frame 415 by driving the first push-pull motor 419.
  • the first push-pull motor 419 may be fixedly installed on the test site T or fixedly installed on the first fixed frame 411.
  • the second transfer unit 420 includes a second fixed frame 421, a second transfer frame 425, a second push-pull frame 426, and a second push-pull driving unit 429, 429a, 429b. .
  • the second transfer unit 420 is spaced apart from the first transfer unit 410 and is provided under the first transfer unit 410.
  • the second fixing frame 421 is fixedly installed in the test site T.
  • Second shaft support portions 421a and 421b for rotatably supporting the rotation shaft 432 of the transfer driving unit 430 are provided at upper and lower sides of the second fixing frame 421, respectively.
  • the second fixing frame 421 is formed to extend in the transverse direction in parallel with the first guide member 413 to support the second transfer frame 425 so as to be movable in the transverse direction, and , And at least one second guide support portion 424 protruding to support the second guide member 423.
  • a bar-shaped member is illustrated as the second guide member 423, but the present invention is not limited thereto, and an LM guide or the like may be used according to the embodiment.
  • the second transfer frame 425 is slidably installed along the second guide member 423.
  • a second support piece 425b coupled with the second cross bar 426a of the second push-pull frame 426 is formed.
  • the second support piece 425b supports the second cross bar 426a in a slidable manner.
  • a second grip part 425a is formed on the other side of the second transfer frame 425 to be coupled to the second power transmission member 434 of the transfer driving part 430.
  • the second power transmission member 434 is a member such as a belt or chain of a closed loop that is formed to be elongated in a direction substantially parallel to the second guide member 423 and moves along the closed loop as the rotation shaft 432 rotates.
  • the second grip part 425a is coupled to one side of the second power transmission member 434 and moves along the closed loop together with the second power transmission member 434 as the rotation shaft 432 rotates.
  • the second transfer frame 425 moves in a transverse direction along the second guide member 423.
  • the second push-pull frame 426 may be formed as an approximately square frame-shaped frame in which the second cross bar 426a is formed at approximately the center.
  • the second cross bar 426a extends in a direction perpendicular to the second guide member 423 and is slidably coupled to the second support piece 425b of the second transfer frame 425 as described above. do.
  • a second support arm support part 427 is provided at a front end of the second push-pull frame 426, and a second support arm 428 protruding forward is provided at a front end of the second support arm support part 427.
  • 5 shows an example in which two second support arms 428a and 428b protrude from the front end of the second support arm support 427, but the size of the test tray 130 and/or the test tray according to the embodiment The number of the second support arms 428a and 428b may be modified for stable support of 130 and the like.
  • a second rolling member 426b is provided at an upper end of the second push-pull frame 426.
  • the second rolling member 426b is rotatably provided with respect to the second push-pull frame 426, and as shown in FIG. 4, the second guide rail of the second push-pull drive units 429, 429a, 429b ( 429b) is installed to accommodate at least a portion.
  • a second push It guides the lateral movement of the full frame 426 and reduces friction with the second guide rail 429b.
  • the second push-pull driving units 429, 429a, 429b include a second push-pull motor 429, a second guide rail 429b, and a second push rod 429a.
  • the second guide rail 429b extends in the transverse direction parallel to the second guide member 423 and is connected to the second push-pull motor 429 by a second push rod 429a.
  • the second push-pull motor 429 is driven to move forward or backward the second push rod 429a, and the second guide rail 429b moves forward or backward integrally with the second push rod 429a.
  • the second guide rail 429b moves forward or backward
  • the second push-pull frame 426 moves forward or backward while being supported by the second support piece 425b. Accordingly, by the driving of the second push-pull motor 429, the second guide rail 429b and the second push-pull frame 426 may move forward or backward apart from the second transfer frame 425.
  • the second push-pull motor 429 may be fixedly installed on the test site T or fixedly installed on the second fixed frame 421.
  • the transfer driving unit 430 includes a forward and reverse rotation motor 431, a rotation shaft 432, a first power transmission member 433 and a second power transmission member 434.
  • the forward and reverse rotation motor 431 may be fixedly installed in the test site T or fixedly installed on the first fixed frame 411. Alternatively, according to an embodiment, the forward/reverse rotation motor 431 may be fixedly installed on the second fixing frame 421.
  • the rotation shaft 432 is connected to the output shaft of the forward/reverse rotation motor 431 or extends from the output shaft, and the first shaft support portions 411a and 411b of the first transfer unit 410 and the second transfer unit 420 are 2 It is installed to penetrate through the shaft support (421a, 421b).
  • the end of the rotation shaft 432 may be rotatably supported on the second fixing frame 421.
  • the first power transmission member 433 is coupled to one side of the rotation shaft 432 and the first grip part 415a, and as the rotation shaft 432 rotates, the first grip part 415a becomes the first power transmission member 433 ) Is configured to move along.
  • the second power transmission member 434 is coupled to the other side of the rotation shaft 432 and the second grip part 425a, so that the second grip part 425a becomes the second power transmission member 434 as the rotation shaft 432 rotates. ) Is configured to move along.
  • test tray transfer device According to an embodiment of the present invention, the operation of the test tray transfer device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 to 8.
  • FIGS. 6 and 7 are diagrams schematically illustrating a second transfer unit 420 and a test tray 130 of the test tray transfer device 40 according to an embodiment of the present invention.
  • test tray 130 is located in front of the second transfer unit 420 to be transferred from the first buffer chamber 150 to the test chamber 160.
  • the test tray 130 may be positioned in front of the second transfer unit 420 in an approximately upright state.
  • the test tray transfer device 40 may transfer two test trays 130a and 130b disposed vertically (see FIG. 7 ).
  • the first buffer chamber 150 may include an elevating mechanism capable of arranging the test trays 130a and 130b vertically.
  • first transfer unit 410 Although the operation of the first transfer unit 410 is not shown in FIGS. 6 and 7, the structures of the first transfer unit 410 and the second transfer unit 420 are similar, and the first transfer unit 410 is substantially As it operates similarly to the second transfer unit 420, a description of the second transfer unit 420 will be replaced.
  • a support arm insertion hole 131 is formed at one side of the test tray 130.
  • test tray 130 is positioned so that the support arm insertion hole 131 is positioned in front of the second support arm 428.
  • the second push-pull motor 429 advances the second push rod 429a toward the test tray 130, so that the second push-pull frame 426 is transferred to the test tray 130.
  • the second support arm 428 is inserted into the support arm insertion hole 131 by advancing to the side.
  • the second guide rail 429b also moves forward.
  • the forward and reverse rotation motor 431 of the transfer driving unit 430 rotates the rotation shaft 432 in one direction.
  • the first power transmission member 433 and the second power transmission member 434 move along the closed loop, and the first power transmission member 433
  • the first grip portion 415a coupled to the first power transmission member 433 moves together
  • the second grip portion 425b coupled to the second power transmission member 434 is coupled to the second power transmission member 434
  • the first transfer frame 415, the first push-pull frame 416, and the first support arms 418a and 418b are integrally moved in the transverse direction
  • the second transfer frame 425, the second The push-pull frame 426 and the second support arms 428a and 428b are integrally moved in the transverse direction.
  • first transfer frame 415 is guided in the transverse direction along the first guide member 413
  • first push-pull frame 416 is guided in the transverse direction along the first guide rail 419b
  • second The transfer frame 425 is guided in the transverse direction along the second guide member 423
  • the second push-pull frame 426 is guided in the transverse direction along the second guide rail 429b.
  • the first support arm (418a, 418b) is inserted into the support arm insertion hole 131, while supporting the first test tray (130a), transporting the first test tray (130a) in the horizontal direction, 2
  • the support arms 428a and 428b are inserted into the support arm insertion hole 131 and move the second test tray 130b in the transverse direction while supporting the second test tray 130b.
  • the push-pull frame 416 is provided with a first rolling member 416b, and the first rolling member 416b is configured to rotate on the first guide rail 419b, and the first push-pull frame 416 and The frictional force between the first guide rails 419b is reduced and the first test tray 130a is smoothly transferred.
  • the second push-pull frame 426 Due to the load of the second test tray 130b, a considerable force is also applied between the second push-pull frame 426 and the second guide rail 429b, and the second push-pull frame 426 is also a second rolling member ( 426b) to reduce frictional force between the second push-pull frame 426 and the second guide rail 429b, and to facilitate the transfer of the second test tray 130b.
  • the first transfer unit 410 and the second transfer unit 420 are formed to extend over the first buffer chamber 150 and the test chamber 160, and the two test trays 130a from the first buffer chamber 150, 130b) is configured to be transportable.
  • the first push-pull motor 419 moves the first push rod 419a backward toward the first transfer unit 410
  • the support arms 418a and 418b are separated from the first test tray 130a
  • the second push-pull motor 429 moves the second push rod 429a backward toward the second transfer unit 420
  • the support arms 428a and 428b are separated from the second test tray 130b.
  • the forward and reverse rotation motor 431 rotates the rotation shaft 432 in the opposite direction so that the first transfer frame 415, the first push-pull frame 416 and the first support arms 418a and 418b are integrally initialized.
  • the second transfer frame 425, the second push-pull frame 426, and the second support arms 428a and 428b are integrally returned to the initial position.
  • first push-pull motor 419 advances the first push rod 419a
  • second push-pull motor 429 advances the second push rod 429a
  • the first support arms 418a, 418b are coupled to the test trays in the first buffer chamber 150, respectively, so that the transfer of the test trays is repeated.
  • the test tray transfer device 40 includes push-pull motors 419 and 429 providing power for coupling/separating the support arms 418 and 428 and the test trays 130a and 130b, and the test tray Since the forward and reverse rotation motors 431 that provide power to transport (130a, 130b) in the transverse direction are all operated in a position in place, at least some of the motors as the power source move together in the process of moving the test tray Compared to that, since it is structurally stable, and vibrations or sloshing generated while moving motors with relatively high loads are prevented, the test tray can be transported more stably.
  • test tray transfer device 40 for transferring the test trays 130 between the first buffer chamber 150 and the test chamber 160
  • test tray transfer device 40 Is provided between the test chamber 160 and the second buffer chamber 170 and may be used to transfer the test trays 130 tested in the test chamber 160 to the second buffer chamber 170.

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치는, 고정 프레임, 상기 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 이송 프레임, 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시키는 이송 구동부, 상기 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 푸쉬풀 프레임, 상기 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 푸쉬풀 구동부 및 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 전진시킴에 따라 테스트 트레이로 삽입되어 상기 테스트 트레이를 지지하고, 상기 이송 구동부가 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시킴에 따라 상기 푸쉬풀 프레임 및 상기 이송 프레임과 함께 횡방향으로 이송되고, 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 후진시킴에 따라 상기 테스트 트레이로부터 이탈되는 지지암을 포함한다.

Description

트레이 이송 장치
본 발명은 트레이 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자부품 테스트 핸들러의 테스트 사이트 내에서 테스트 트레이를 이송하는 트레이 이송 장치에 관한 것이다.
전자부품 테스트 핸들러는 복수의 전자부품, 예를 들어 반도체 소자나 모듈, SSD가 제조된 이후 검사하는 장치이다. 전자부품 테스트 핸들러는 전자부품을 테스트 장치에 접속시키고 다양한 환경을 인위적으로 조성하여 전자부품의 정상작동 여부를 검사하고 검사 결과에 따라 양품, 재검사, 불량품 등과 같이 구별하여 분류하도록 구성된다.
전자부품 테스트 핸들러는 테스트해야 할 디바이스 또는 테스트가 완료된 디바이스가 적재되어 있는 유저 트레이를 외부와 교환하는 방식으로 물류가 이루어지며, 지속적으로 검사가 이루어질 수 있도록 적절한 주기로 외부와 물류가 수행되어야 한다.
이와 같은 테스트 핸들러에 대하여 본 출원인에 의해 출원되어 등록된 대한민국 등록특허 제1,734,397호(2017. 05. 02. 등록)가 개시되어 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 테스트 챔버와 버퍼 챔버 사이에서 테스트 트레이를 안정적으로 이송할 수 있는 테스트 트레이 이송 장치를 제공하는 것이다.
테스트 챔버와 버퍼 챔버 사이에서 2개의 테스트 트레이를 동시에 이송할 수 있는 테스트 트레이 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치는, 고정 프레임, 상기 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 이송 프레임, 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시키는 이송 구동부, 상기 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 푸쉬풀 프레임, 상기 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 푸쉬풀 구동부 및 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 전진시킴에 따라 테스트 트레이로 삽입되어 상기 테스트 트레이를 지지하고, 상기 이송 구동부가 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시킴에 따라 상기 푸쉬풀 프레임 및 상기 이송 프레임과 함께 횡방향으로 이송되고, 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 후진시킴에 따라 상기 테스트 트레이로부터 이탈되는 지지암을 포함한다.
상기 고정 프레임은 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 가이드 부재를 포함하고, 상기 이송 프레임은 상기 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 지지편을 포함하고, 상기 푸쉬풀 프레임은 상기 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합될 수 있다.
상기 푸쉬풀 구동부는 상기 가이드 부재와 나란하게 연장되는 가이드 레일을 포함하고, 상기 푸쉬풀 프레임은 상기 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 롤링 부재를 포함하며, 상기 가이드 레일은 상기 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구성될 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치는, 제1 테스트 트레이를 이송하는 제1 이송 유닛 및 제2 테스트 트레이를 이송하는 제2 이송 유닛을 포함하고, 상기 제1 이송 유닛은, 제1 고정 프레임, 상기 제1 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 제1 이송 프레임, 상기 제1 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 제1 푸쉬풀 프레임, 상기 제1 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 제1 푸쉬풀 구동부 및 상기 제1 푸쉬풀 프레임과 일체로 전진 또는 후진하며 선택적으로 상기 제1 테스트 트레이에 결합되는 제1 지지암을 포함하고, 상기 제2 이송 유닛은, 제2 고정 프레임, 상기 제2 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 제2 이송 프레임, 상기 제2 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 제2 푸쉬풀 프레임, 상기 제2 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 제2 푸쉬풀 구동부 및 상기 제2 푸쉬풀 프레임과 일체로 전진 또는 후진하며 선택적으로 상기 제2 테스트 트레이에 결합되는 제2 지지암을 포함하며, 상기 제1 이송 프레임 및 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이송시켜 상기 제1 지지암에 결합된 상기 제1 테스트 트레이와 상기 제2 지지암에 결합된 상기 제2 테스트 트레이를 이송시키는 이송 구동부를 더 포함한다.
상기 이송 구동부에 의해 상기 제1 이송 프레임, 상기 제1 푸쉬풀 프레임 및 상기 제1 지지암은 일체로 횡방향으로 이동할 수 있다.
상기 이송 구동부에 의해 상기 제2 이송 프레임, 상기 제2 푸쉬풀 프레임 및 상기 제2 지지암은 일체로 횡방향으로 이동할 수 있다.
상기 이송 구동부는, 상기 제1 고정 프레임 및 상기 제2 고정 프레임에 회전 가능하게 지지되는 회전 샤프트, 상기 회전 샤프트와 상기 제1 이송 프레임을 연결하며 상기 회전 샤프트의 회전에 의해 상기 제1 이송 프레임을 횡방향으로 이동시키는 제1 동력 전달 부재 및 상기 회전 샤프트와 상기 제2 이송 프레임을 연결하며 상기 회전 샤프트의 회전에 의해 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이동시키는 제2 동력 전달 부재를 포함할 수 있다.
상기 제1 테스트 트레이와 상기 제2 테스트 트레이는 상하로 배치되며, 상기 제1 이송 모듈 및 상기 제2 이송 모듈은 상하로 배치될 수 있다.
상기 제1 고정 프레임은 상기 제1 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제1 가이드 부재를 포함하고, 상기 제1 푸쉬풀 구동부는 상기 제1 가이드 부재와 나란하게 연장되는 제1 가이드 레일을 포함하고, 상기 제1 푸쉬풀 프레임은 상기 제1 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 제1 롤링 부재를 포함하며, 상기 제1 가이드 레일은 상기 제1 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구성되고, 상기 제2 고정 프레임은 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제2 가이드 부재를 포함하고, 상기 제2 푸쉬풀 구동부는 상기 제2 가이드 부재와 나란하게 연장되는 제2 가이드 레일을 포함하고, 상기 제2 푸쉬풀 프레임은 상기 제2 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 제2 롤링 부재를 포함하며, 상기 제2 가이드 레일은 상기 제2 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구성될 수 있다.
상기 제1 이송 프레임은 상기 제1 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 제1 지지편을 포함하고, 상기 제1 푸쉬풀 프레임은 상기 제1 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합되고, 상기 제2 이송 프레임은 상기 제2 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 제2 지지편을 포함하고, 상기 제2 푸쉬풀 프레임은 상기 제2 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합될 수 있다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
테스트 챔버와 버퍼 챔버 사이에서 테스트 트레이를 안정적으로 이송할 수 있다.
테스트 챔버와 버퍼 챔버 사이에서 2개의 테스트 트레이를 동시에 이송할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다.
도 2는 도 1의 테스트 핸들러 본체를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이다.
도 3은 테스트 핸들러 본체에서의 디바이스 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 개략적인 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 개략적인 정면도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 대하여, 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 이하의 실시예의 설명에서 각각의 구성요소의 명칭은 당업계에서 다른 명칭으로 호칭될 수 있다. 그러나 이들의 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 변형된 실시예를 채용하더라도 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한, 각각의 구성 요소에 부가된 부호는 설명의 편의를 위하여 기재된다. 그러나 이들 부호가 기재된 도면 상의 도시 내용이 각각의 구성 요소를 도면 내의 범위로 한정하지 않는다. 마찬가지로 도면 상의 구성을 일부 변형한 실시예가 채용되더라도 기능적 유사성 및 동일성이 있다면 균등한 구성으로 볼 수 있다. 또한, 당해 기술 분야의 일반적인 기술자 수준에 비추어 보아, 당연히 포함되어야 할 구성요소로 인정되는 경우, 이에 대하여는 설명을 생략한다.
이하에서의 디바이스는 반도체 소자, 반도체 모듈, SSD 등 전기적으로 기능을 수행하는 소자를 뜻함을 전제로 설명하도록 한다. 또한, 이하에서 유저 트레이와 테스트 트레이는 반도체 소자가 적재될 수 있도록 구성된 복수의 적재홈이 일정한 배열로 구성되어 있는 트레이이며, 유저 트레이의 적재홈은 별도의 고정기능 없이 중력에 의해 디바이스가 홈 내부에 안착되도록 구성될 수 있고, 테스트 트레이의 적재홈은 디바이스가 중력이나 외부 충격에 의해 쉽게 이탈되지 않도록 별도의 고정 부재(예를 들어, 인서트 등)를 포함할 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 전체적인 구성에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자부품 테스트 핸들러를 기능에 따른 공간으로 구분한 개념도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 테스트 핸들러(1)는 외부로부터 디바이스(20)를 반입하고 테스트를 수행하여 등급별로 선택적으로 외부에 반출할 수 있도록 구성된다.
테스트 핸들러(1)는 공간적으로 기능에 따라 복수의 유저 트레이(10)를 외부로부터 반입하거나 외부로 반출하기 위한 스태커 및 디바이스(20)를 유저 트레이(10)로부터 옮겨 담고 테스트를 수행한 뒤 등급별로 분류하여 유저 트레이(10)로 적재하는 영역인 테스트 핸들러 본체(100)로 구분될 수 있다.
스태커(2)는 유저 트레이(10)를 대량으로 적재해 놓을 수 있는 영역을 뜻한다. 스태커는 적재되어 있는 디바이스(20)에 따라 로딩 스태커(loading stacker), 언로딩 스태커(unloading stacker), 엠프티 스태커(empty stacker)로 구분될 수 있다.
로딩 스태커는 테스트 및 분류가 필요한 디바이스(20)들이 적재되어 있는 유저 트레이(10)를 적재할 수 있도록 구성된다. 로딩 스태커는 외부로부터 반입되는 복수의 유저 트레이(10)가 적층된 1 lot의 단위로 적재될 수 있는 크기로 구성된다.
언로딩 스태커는 테스트 및 분류가 완료된 디바이스(20) 중 외부로 반출하기 위한 디바이스(20)가 적재된 유저 트레이(10)를 1 lot의 단위로 반출하기 전 복수로 적재해 놓을 수 있도록 구성된다.
엠프티 스태커는 비어있는 유저 트레이(10)가 복수로 적재될 수 있도록 구성되며, 로딩 스태커로부터 디바이스(20)의 이송이 완료된 후 비어있는 유저 트레이(10)를 이송받거나, 언로딩 스태커로 비어있는 유저 트레이(10)를 이송할 수 있도록 구성될 수 있다.
한편, 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커는 외부와의 물류, 테스트 핸들러(1) 내부에서의 물류 및 적재 목적에 따라 구분될 수 있으나, 자체의 구성은 서로 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.
각각의 스태커 모듈(500)은 공간의 효율적인 활용을 위하여 복수의 유저 트레이(10)를 수직방향으로 쌓아 적재할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 각각의 스태커 모듈(500)은 도 1의 y 방향으로 수평 이동하여 개폐될 수 있도록 구성되며, 외부로 반출된 위치에서 외부와 물류가 이루어지게 된다. 일 예로서 무인 운반차(AGV; Automatic Guided Vehicle)로부터 로딩 스태커에 복수의 유저 트레이(10)를 이송받거나, 무인 운반차가 복수의 유저 트레이(10)를 언로딩 스태커로부터 회수해 갈 수 있다.
또한, 스태커(2)는 로딩 스태커, 언로딩 스태커, 엠프티 스태커 각각이 복수로 설정될 수 있으며, 어느 하나가 외부와 물류하는 동안에도 내부적인 물류가 연속적으로 진행될 수 있도록 구성될 수 있다.
이하에서는 도 2 및 도 3을 참조하여 테스트 핸들러 본체(100)의 구성 및 동작에 대하여 개략적으로 설명하도록 한다.
도 2는 도 1의 테스트 핸들러 본체를 평면상에서 기능에 따라 구분한 개념도이고, 도 3은 테스트 핸들러 본체에서의 디바이스 및 테스트 트레이의 이동을 나타낸 개념도이다.
테스트 핸들러 본체(100)에서는 복수의 디바이스(20)를 테스트하며, 테스트 이후 디바이스(20)를 분류하며, 테스트 전후과정에서 디바이스(20)의 이송 및 적재가 수행될 수 있다. 테스트 핸들러 본체(100)는 로딩 사이트(L), 테스트 사이트(T), 언로딩 사이트(UL)를 포함하여 기능적으로 분류될 수 있다.
로딩 사이트(L)는 유저 트레이(10)로부터 복수의 디바이스(20)를 픽업(pick up)하여 테스트 트레이(130)로 플레이스(place)할 수 있도록 구성된다. 로딩 사이트(L)에는 유저 트레이(10)로부터 테스트 트레이(130)로 디바이스(20)를 이송하기 위한 핸드(110), 로딩 셔틀(120) 및 검사를 위한 스캐너(미도시)가 구비될 수 있다.
픽업위치에는 로딩 스태커에 적재되어 있던 유저 트레이(10)가 하나씩 교대로 공급될 수 있으며, 후술할 핸드(110)가 복수의 디바이스(20)만을 유저 트레이(10)로부터 빼내어 이송을 수행한다. 적재되어 있던 모든 디바이스(20)가 이송된 경우 빈 유저 트레이(10)와 디바이스(20)가 적재된 유저 트레이(10)가 교체되어 위치되어 지속적으로 디바이스(20)를 공급할 수 있도록 구성된다. 한편, 픽업위치에는 어느 하나의 스태커 모듈(500)에서 적재되어 있던 유저 트레이(10)를 모두 소비하였거나, 고장이 난 경우에도 지속적으로 디바이스(20)를 공급할 수 있도록 복수의 유저 트레이(10)가 노출될 수 있다. 이 경우 어느 하나의 유저 트레이(10)로부터 디바이스(20)를 이송중인 경우 다른 유저 트레이(10)는 스탠바이 상태로 대기하거나 새로운 유저 트레이(10)로 교체되도록 구성될 수 있다.
핸드(110)는 복수의 디바이스(20)를 픽업하고 이송한 뒤 테스트 트레이(130) 또는 로딩 셔틀(120)에 적재할 수 있도록 구성된다. 핸드(110)는 복수로 구성되어 이송구간마다의 물류를 담당할 수 있도록 구성될 수 있다. 핸드(110)는 상측의 수평방향이동이 가능하도록 레일에 설치될 수 있으며, 하측을 향하여 어태치먼트가 바라볼 수 있도록 구성되며, 수직방향으로의 길이조절이 가능할 수 있도록 리니어 액추에이터(미도시)가 구비될 수 있다. 어태치먼트는 일 예로 복수의 진공 포트가 구비되어 복수의 디바이스(20)를 진공 흡착할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 어태치먼트는 디바이스(20)의 종류, 크기 및 형상을 고려하여 교체가 가능하도록 구성될 수 있다.
한편, 테스트 트레이(130)는 디바이스(20)의 고정 및 테스트 수행시 열변형 등을 고려하여 적재홈마다 인서트가 구비되며, 적재홈 간의 간격이 유저 트레이(10)와 다를 수 있다. 일반적으로 테스트 트레이(130)의 적재홈 간의 간격이 유저 트레이(10)보다 크게 구성된다. 따라서 핸드(110)를 이용하여 픽업위치의 유저 트레이(10)로부터 복수의 디바이스(20)를 픽업한 이후 디바이스(20)간 간격을 넓혀 테스트 트레이(130)에 적재하게 된다. 구체적으로 x-y 의 2방향으로 간격을 넓히기 위해 2번의 간격조절이 수행될 수 있으며, 이를 위해 픽업위치와 테스트 트레이(130) 사이에 로딩 셔틀(120)이 구비되며, 유저 트레이(10)로부터 로딩 셔틀(120)로 이송하면서 일방향으로의 간격을 조절하고, 로딩 셔틀(120)로부터 테스트 트레이(130)로 이송하면서 나머지 방향으로의 간격을 조절할 수 있다.
로딩 셔틀(120)은 유저 트레이(10)와 테스트 트레이(130) 사이에 구비되며, 복수의 디바이스(20)가 1차적으로 정렬된 상태로 적재될 수 있도록 적재 홈의 간격이 유저 트레이(10)보다 일 방향으로 넓혀진 배열로 구성될 수 있다. 또한, 로딩 셔틀(120)은 물류의 효율을 위해 유저 트레이(10), 테스트 트레이(130) 및 핸드(110)의 위치를 고려하여 위치가 제어될 수 있다.
스캐너(미도시)는 이송되는 디바이스(20)에 바코드가 있는 경우 이를 식별하기 위해 구비된다. 스캐너(미도시)는 핸드(110)가 디바이스(20)를 픽업하여 이송하는 경로 상에서 바코드를 인식할 수 있도록 구성될 수 있다. 스캐너는 디바이스(20)의 형상, 크기 및 종류에 따라 바코드의 인식이 용이할 수 있도록 다양한 위치에 구비될 수 있다.
플레이스 위치에서는 비어있는 테스트 트레이(130)가 공급되며, 디바이스(20)가 이송되어 적재가 이루어진다. 플레이스 위치에서 디바이스(20)의 적재가 완료되면 이후 테스트 사이트(T)로 테스트 트레이(130)를 이송하며, 비어있는 새로운 테스트 트레이(130)를 공급받을 수 있도록 구성된다.
한편, 도시되지는 않았으나, 플레이스 위치에서는 테스트 트레이(130)에 디바이스(20)가 안착된 이후 디바이스(20)의 이탈을 방지할 수 있도록 구성되는 마스크 및 프리사이저(preciser)가 구비될 수 있다. 전술한 바와 같이, 테스트 트레이(130)에는 각 적재홈마다 인서트가 구비되며, 각각의 인서트에는 디바이스(20)의 이탈을 방지할 수 있는 걸림부가 구비되어 있다. 각각의 걸림부의 기본위치는 디바이스(20)의 이탈을 방지하는 위치로 설정된다.
테스트 트레이(130)에서 디바이스(20)의 적재는 프리사이저로 인서트를 가압한 상태에서 마스크로 인서트의 걸림부를 확장하고 핸드(110)가 디바이스(20)를 적재홈으로 이송하여 이루어진다.
마스크는 테스트 트레이(130)와 대응되는 형상으로 구성되며, 테스트 트레이(130)에 밀착되었을 때 각각의 인서트의 걸림부를 확장시킬 수 있도록 복수의 돌출부가 구비된다.
프리사이저는 전술한 바와 같이 테스트 트레이(130)에 구비된 다소 유격이 있는 상태의 인서트를 일시적으로 고정하기 위해 구성된다. 프리사이저에는 각각의 인서트의 위치에 대응하는 복수의 가압핀이 구비되며, 프리사이저가 테스트 트레이(130)에 밀착되면서 인서트를 가압하여 테스트 트레이(130)와 일시적으로 고정시킬 수 있게 된다. 따라서 디바이스(20)를 인서트에 안착시킬 때 위치 오차를 최소화할 수 있게 된다.
다만, 도시되는 않았으나 마스크와 프리사이저를 독립적으로 승강시키기 위한 승강부가 추가로 구비될 수 있다.
테스트 사이트(T)는 테스트 트레이(130)에 적재된 복수의 디바이스(20)를 테스트 트레이(130) 단위로 시험을 수행하며, 시험결과를 전송할 수 있도록 구성된다. 테스트 챔버(160)에서는 일 예로 디바이스(20)를 -40℃ 내지 130℃의 온도로 변화시켜 기능을 점검하는 열부하 테스트가 진행될 수 있다.
테스트 사이트(T)에는 테스트 챔버(160)와 테스트 챔버(160) 전후에 구비되는 버퍼 챔버(150, 170)가 구비될 수 있다. 각 버퍼 챔버(150, 170)는 복수의 테스트 트레이(130)가 적재될 수 있도록 구성되며, 열부하 테스트의 수행 전후에 예열 또는 후열처리가 이루어질 수 있도록 구성될 수 있다.
테스트 사이트(T)에서는 테스트 트레이(130)를 직립으로 세운 상태에서 테스트의 이송 및 테스트가 수행되도록 구성될 수 있어 전체적인 장비의 크기를 감소시킬 수 있다. 한편, 구성이 상세히 도시되지 않았으나, 버퍼 챔버(150, 170)의 전후에는 테스트 트레이(130)를 직립 상태로 자세를 전환시키는 반전기(140)가 구비될 수 있다
언로딩 사이트(UL)는 테스트 사이트(T)로부터 이송받는 테스트 트레이(130)로부터 디바이스(20)를 테스트 결과에 따라 분류하고 이송하여 적재할 수 있도록 구성된다. 언로딩 사이트(UL)는 로딩 사이트(L)의 구성과 유사한 요소들이 구비될 수 있으며, 로딩 사이트(L)에서의 디바이스(20)의 이송과 반대순서로 이루어질 수 있다.
다만, 언로딩 사이트(UL)에서는 테스트 트레이(130)로부터 등급에 따라 일시적으로 모아둘 수 있도록 복수의 소팅 셔틀(170)이 구비될 수 있다. 물류의 효율을 향상시키기 위해 소팅 셔틀(미도시)에 동일한 등급의 디바이스(20)가 소정개수로 적재된 경우 복수 개를 동시에 픽업하여 유저 트레이(10)로 이송시킬 수 있도록 제어될 수 있다. 또한, 도시되지는 않았으나, 전술한 구성요소들의 구동을 제어하는 제어부가 별도로 구비될 수 있다.
이하에서는, 테스트 사이트(T) 내에서 제1 버퍼 챔버(150)에서 테스트 챔버(160)로 테스트 트레이(130)를 이송하거나, 테스트 챔버(160)에서 제2 버퍼 챔버(170)로 테스트 트레이(130)를 이송하는 테스트 트레이 이송 장치(40)에 대해 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 개략적인 측면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 개략적인 정면도이다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 제1 이송 유닛(410), 제2 이송 유닛(420) 및 이송 구동부(430)를 포함한다.
제1 이송 유닛(410)은 제1 고정 프레임(411), 제1 이송 프레임(415), 제1 푸쉬풀 프레임(416) 및 제1 푸쉬풀 구동부(419, 419a, 419b)를 포함한다.
제1 고정 프레임(411)은 테스트 사이트(T) 내에 고정 설치된다.
제1 고정 프레임(411)의 상측과 하측에는 각각 이송 구동부(430)의 회전 샤프트(432)를 회전 가능하게 지지하는 제1 샤프트 지지부(411a, 411b)가 구비된다.
또한, 제1 고정 프레임(411)은 횡방향으로 연장 형성되어 제1 이송 프레임(415)을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제1 가이드 부재(413)와, 제1 가이드 부재(413)를 지지하도록 돌출 형성된 적어도 하나의 제1 가이드 지지부(414)를 포함한다.
본 실시예에서는 제1 가이드 부재(413)로서 바 형태의 부재를 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 실시예에 따라, LM 가이드 등이 사용될 수도 있다.
제1 이송 프레임(415)은 제1 가이드 부재(413)를 따라 슬라이딩 가능하게 설치된다.
제1 이송 프레임(415)의 일측에는 제1 푸쉬풀 프레임(416)의 제1 크로스 바(416a)와 결합되는 제1 지지편(415b)이 형성된다. 제1 지지편(415b)은 제1 크로스 바(416a)를 슬라이딩 가능하게 지지한다.
제1 이송 프레임(415)의 타측에는 이송 구동부(430)의 제1 동력 전달 부재(433)와 결합되는 제1 그립부(415a)가 형성된다. 제1 동력 전달 부재(433)는 대략 제1 가이드 부재(413)와 나란한 방향으로 길게 형성된 폐루프의 벨트, 체인 등의 부재로서, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 폐루프를 따라 이동한다. 제1 그립부(415a)는 제1 동력 전달 부재(433)의 일측에 결합되어, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제1 동력 전달 부재(433)와 함께 폐루프를 따라 이동한다.
따라서, 회전 샤프트(432)가 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전함에 따라, 제1 이송 프레임(415)은 제1 가이드 부재(413)를 따라 횡방향으로 이동하게 된다.
제1 푸쉬풀 프레임(416)은 대략 중앙에 제1 크로스 바(416a)가 형성된 대략 사각틀형상의 프레임으로 형성될 수 있다. 제1 크로스 바(416a)는 대략 제1 가이드 부재(413)와 수직한 전후 방향으로 연장되며, 전술한 바와 같이, 제1 이송 프레임(415)의 제1 지지편(415b)에 슬라이딩 가능하게 결합된다.
제1 푸쉬풀 프레임(416)의 전단에는 제1 지지암 지지부(417)가 구비되고, 제1 지지암 지지부(417)의 전단에는 전방으로 돌출 형성된 제1 지지암(418)이 구비된다. 도 5에는 제1 지지암 지지부(417)의 전단에 2개의 제1 지지암(418a, 418b)이 돌출 형성되는 예를 도시하였으나, 실시예에 따라 테스트 트레이(130)의 크기 및/또는 테스트 트레이(130)의 안정적 지지 등을 위해 제1 지지암(418a, 418b)의 개수는 변형될 수 있다.
제1 푸쉬풀 프레임(416)의 하단에는 제1 롤링 부재(416b)가 구비된다. 제1 롤링 부재(416b)는 제1 푸쉬풀 프레임(416)에 대해 회전 가능하게 구비되며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 푸쉬풀 구동부(419, 419a, 419b)의 제1 가이드 레일(419b) 내에 적어도 일부가 수용되도록 설치된다.
제1 롤링 부재(416b)는 제1 가이드 레일(419b)의 내측벽 중 어느 하나와 접하여 제1 푸쉬풀 프레임(416)이 제1 이송 프레임(415)과 일체로 횡방향으로 이동할 때에 제1 푸쉬풀 프레임(416)의 횡방향 이동을 안내함과 동시에 제1 가이드 레일(419b)과의 마찰을 감소시킨다.
제1 푸쉬풀 구동부(419, 419a, 419b)는 제1 푸쉬풀 모터(419), 제1 가이드 레일(419b) 및 제1 푸쉬 로드(419a)를 포함한다.
제1 가이드 레일(419b)은 제1 가이드 부재(413)와 나란하게 횡방향으로 연장 형성되고, 제1 푸쉬 로드(419a)에 의해 제1 푸쉬풀 모터(419)와 연결된다.
제1 푸쉬풀 모터(419)는 제1 푸쉬 로드(419a)를 전진 또는 후진하도록 구동되고, 제1 가이드 레일(419b)은 제1 푸쉬 로드(419a)와 일체로 전진 또는 후진하게 된다.
제1 가이드 레일(419b)이 전진 또는 후진함에 따라, 제1 푸쉬풀 프레임(416)은 제1 지지편(415b)에 지지된 상태로 전진 또는 후진하게 된다. 따라서, 제1 푸쉬풀 모터(419)의 구동에 의해 제1 이송 프레임(415)과는 별도로 제1 가이드 레일(419b)과 제1 푸쉬풀 프레임(416)은 전진 또는 후진할 수 있다.
제1 푸쉬풀 모터(419)는 테스트 사이트(T)에 고정 설치되거나, 제1 고정 프레임(411)에 고정 설치될 수 있다.
한편, 제2 이송 유닛(420)은 제2 고정 프레임(421), 제2 이송 프레임(425), 제2 푸쉬풀 프레임(426) 및 제2 푸쉬풀 구동부(429, 429a, 429b)를 포함한다.
제2 이송 유닛(420)은 제1 이송 유닛(410)으로부터 이격되어 제1 이송 유닛(410)의 하부에 구비된다.
제2 고정 프레임(421)은 테스트 사이트(T) 내에 고정 설치된다.
제2 고정 프레임(421)의 상측과 하측에는 각각 이송 구동부(430)의 회전 샤프트(432)를 회전 가능하게 지지하는 제2 샤프트 지지부(421a, 421b)가 구비된다.
또한, 제2 고정 프레임(421)은 횡방향으로 제1 가이드 부재(413)와 나란하게 연장 형성되어 제2 이송 프레임(425)을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제2 가이드 부재(423)와, 제2 가이드 부재(423)를 지지하도록 돌출 형성된 적어도 하나의 제2 가이드 지지부(424)를 포함한다.
본 실시예에서는 제2 가이드 부재(423)로서 바 형태의 부재를 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 실시예에 따라, LM 가이드 등이 사용될 수도 있다.
제2 이송 프레임(425)은 제2 가이드 부재(423)를 따라 슬라이딩 가능하게 설치된다.
제2 이송 프레임(425)의 일측에는 제2 푸쉬풀 프레임(426)의 제2 크로스 바(426a)와 결합되는 제2 지지편(425b)이 형성된다. 제2 지지편(425b)은 제2 크로스 바(426a)를 슬라이딩 가능하게 지지한다.
제2 이송 프레임(425)의 타측에는 이송 구동부(430)의 제2 동력 전달 부재(434)와 결합되는 제2 그립부(425a)가 형성된다. 제2 동력 전달 부재(434)는 대략 제2 가이드 부재(423)와 나란한 방향으로 길게 형성된 폐루프의 벨트, 체인 등의 부재로서, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 폐루프를 따라 이동한다. 제2 그립부(425a)는 제2 동력 전달 부재(434)의 일측에 결합되어, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제2 동력 전달 부재(434)와 함께 폐루프를 따라 이동한다.
따라서, 회전 샤프트(432)가 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전함에 따라, 제2 이송 프레임(425)은 제2 가이드 부재(423)를 따라 횡방향으로 이동하게 된다.
제2 푸쉬풀 프레임(426)은 대략 중앙에 제2 크로스 바(426a)가 형성된 대략 사각틀형상의 프레임으로 형성될 수 있다. 제2 크로스 바(426a)는 대략 제2 가이드 부재(423)와 수직한 전후 방향으로 연장되며, 전술한 바와 같이, 제2 이송 프레임(425)의 제2 지지편(425b)에 슬라이딩 가능하게 결합된다.
제2 푸쉬풀 프레임(426)의 전단에는 제2 지지암 지지부(427)가 구비되고, 제2 지지암 지지부(427)의 전단에는 전방으로 돌출 형성된 제2 지지암(428)이 구비된다. 도 5에는 제2 지지암 지지부(427)의 전단에 2개의 제2 지지암(428a, 428b)이 돌출 형성되는 예를 도시하였으나, 실시예에 따라 테스트 트레이(130)의 크기 및/또는 테스트 트레이(130)의 안정적 지지 등을 위해 제2 지지암(428a, 428b)의 개수는 변형될 수 있다.
제2 푸쉬풀 프레임(426)의 상단에는 제2 롤링 부재(426b)가 구비된다. 제2 롤링 부재(426b)는 제2 푸쉬풀 프레임(426)에 대해 회전 가능하게 구비되며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 푸쉬풀 구동부(429, 429a, 429b)의 제2 가이드 레일(429b) 내에 적어도 일부가 수용되도록 설치된다.
제2 롤링 부재(426b)는 제2 가이드 레일(429b)의 내측벽 중 어느 하나와 접하여 제2 푸쉬풀 프레임(426)이 제2 이송 프레임(425)과 일체로 횡방향으로 이동할 때에 제2 푸쉬풀 프레임(426)의 횡방향 이동을 안내함과 동시에 제2 가이드 레일(429b)과의 마찰을 감소시킨다.
제2 푸쉬풀 구동부(429, 429a, 429b)는 제2 푸쉬풀 모터(429), 제2 가이드 레일(429b) 및 제2 푸쉬 로드(429a)를 포함한다.
제2 가이드 레일(429b)은 제2 가이드 부재(423)와 나란하게 횡방향으로 연장 형성되고, 제2 푸쉬 로드(429a)에 의해 제2 푸쉬풀 모터(429)와 연결된다.
제2 푸쉬풀 모터(429)는 제2 푸쉬 로드(429a)를 전진 또는 후진하도록 구동되고, 제2 가이드 레일(429b)은 제2 푸쉬 로드(429a)와 일체로 전진 또는 후진하게 된다.
제2 가이드 레일(429b)이 전진 또는 후진함에 따라, 제2 푸쉬풀 프레임(426)은 제2 지지편(425b)에 지지된 상태로 전진 또는 후진하게 된다. 따라서, 제2 푸쉬풀 모터(429)의 구동에 의해 제2 이송 프레임(425)과는 별도로 제2 가이드 레일(429b)과 제2 푸쉬풀 프레임(426)은 전진 또는 후진할 수 있다.
제2 푸쉬풀 모터(429)는 테스트 사이트(T)에 고정 설치되거나, 제2 고정 프레임(421)에 고정 설치될 수 있다.
이송 구동부(430)는 정역 회전 모터(431), 회전 샤프트(432), 제1 동력 전달 부재(433) 및 제2 동력 전달 부재(434)를 포함한다.
정역 회전 모터(431)는 테스트 사이트(T) 내에 고정 설치되거나, 제1 고정 프레임(411)에 고정 설치될 수 있다. 또는 실시예에 따라 정역 회전 모터(431)는 제2 고정 프레임(421)에 고정 설치될 수도 있다.
회전 샤프트(432)는 정역 회전 모터(431)의 출력축과 연결되거나 출력축으로부터 연장 형성되며, 제1 이송 유닛(410)의 제1 샤프트 지지부(411a, 411b)와 제2 이송 유닛(420)의 제2 샤프트 지지부(421a, 421b)를 관통하도록 설치된다. 회전 샤프트(432)의 단부는 제2 고정 프레임(421)에 회전 가능하게 지지될 수 있다.
제1 동력 전달 부재(433)는 회전 샤프트(432)의 일측과 제1 그립부(415a)와 결합되어, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제1 그립부(415a)가 제1 동력 전달 부재(433)를 따라 이동되도록 구성된다.
제2 동력 전달 부재(434)는 회전 샤프트(432)의 타측과 제2 그립부(425a)와 결합되어, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제2 그립부(425a)가 제2 동력 전달 부재(434)를 따라 이동되도록 구성된다.
이하에서는, 도 6 내지 도 8을 참고하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치의 동작에 대해 설명한다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40) 중 제2 이송 유닛(420)과 테스트 트레이(130)를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 제1 버퍼 챔버(150) 내에서 테스트 챔버(160) 측으로 이송되기 위해 테스트 트레이(130)가 제2 이송 유닛(420)의 전방에 위치된 상태이다. 테스트 트레이(130)는 대략 직립된 상태로 제2 이송 유닛(420)의 전방에 위치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 상하로 배치된 2개의 테스트 트레이(130a, 130b)를 함께 이송할 수 있다(도 7 참고). 이를 위해, 도시되지는 않았지만, 제1 버퍼 챔버(150)는 테스트 트레이(130a, 130b)를 상하로 배치시킬 수 있는 승강 기구를 구비할 수 있다.
도 6 및 도 7에는 제1 이송 유닛(410)의 동작이 도시되지 않았지만, 제1 이송 유닛(410)과 제2 이송 유닛(420)의 구조가 유사하고, 제1 이송 유닛(410)은 실질적으로 제2 이송 유닛(420)과 유사하게 동작하므로, 제2 이송 유닛(420)에 대한 설명으로 갈음한다.
테스트 트레이(130)의 일측에는 지지암 삽입홀(131)이 형성된다.
테스트 트레이(130)는 지지암 삽입홀(131)이 제2 지지암(428)의 전방에 위치하도록 위치된다.
이후, 도 7에 도시된 바와 같이, 제2 푸쉬풀 모터(429)는 제2 푸쉬 로드(429a)를 테스트 트레이(130) 측으로 전진시켜, 제2 푸쉬풀 프레임(426)이 테스트 트레이(130) 측으로 전진되도록 하여, 제2 지지암(428)이 지지암 삽입홀(131)로 삽입되도록 한다. 동시에, 제2 가이드 레일(429b)도 함께 전진하게 된다.
이후, 이송 구동부(430)의 정역 회전 모터(431)는 회전 샤프트(432)를 일방향으로 회전시킨다.
도 8에 도시된 바와 같이, 회전 샤프트(432)가 회전함에 따라 제1 동력 전달 부재(433)와 제2 동력 전달 부재(434)가 폐루프를 따라 이동하게 되고, 제1 동력 전달 부재(433)에 결합된 제1 그립부(415a)가 제1 동력 전달 부재(433)와 함께 이동하고 제2 동력 전달 부재(434)에 결합된 제2 그립부(425b)가 제2 동력 전달 부재(434)와 함께 이동하므로, 제1 이송 프레임(415), 제1 푸쉬풀 프레임(416) 및 제1 지지암(418a, 418b)이 일체로 횡방향으로 이동하게 되고, 제2 이송 프레임(425), 제2 푸쉬풀 프레임(426) 및 제2 지지암(428a, 428b)이 일체로 횡방향으로 이동하게 된다. 또한, 제1 이송 프레임(415)은 제1 가이드 부재(413)를 따라 횡방향으로 안내되고, 제1 푸쉬풀 프레임(416)은 제1 가이드 레일(419b)을 따라 횡방향으로 안내되고, 제2 이송 프레임(425)은 제2 가이드 부재(423)를 따라 횡방향으로 안내되고, 제2 푸쉬풀 프레임(426)은 제2 가이드 레일(429b)을 따라 횡방향으로 안내된다.
동시에, 제1 지지암(418a, 418b)은 지지암 삽입홀(131)에 삽입된 상태로 제1 테스트 트레이(130a)를 지지한 채로 제1 테스트 트레이(130a)를 횡방향으로 이송시키고, 제2 지지암(428a, 428b)은 지지암 삽입홀(131)에 삽입된 상태로 제2 테스트 트레이(130b)를 지지한 채로 제2 테스트 트레이(130b)를 횡방향으로 이송시키게 된다.
제1 테스트 트레이(130a)의 하중으로 인해, 제1 푸쉬풀 프레임(416)과 제1 가이드 레일(419b) 사이에는 상당한 힘이 가해지는데, 본 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 제1 푸쉬풀 프레임(416)에 제1 롤링 부재(416b)를 구비하고, 제1 롤링 부재(416b)가 제1 가이드 레일(419b)을 타고 회전하도록 구성하여, 제1 푸쉬풀 프레임(416)과 제1 가이드 레일(419b) 사이의 마찰력을 감소시키고 제1 테스트 트레이(130a)의 이송이 원활하게 이루어지도록 한다.
제2 테스트 트레이(130b)의 하중으로 인해, 제2 푸쉬풀 프레임(426)과 제2 가이드 레일(429b) 사이에도 상당한 힘이 가해지데, 제2 푸쉬풀 프레임(426) 역시 제2 롤링 부재(426b)를 구비하여, 제2 푸쉬풀 프레임(426)과 제2 가이드 레일(429b) 사이의 마찰력을 감소시키고 제2 테스트 트레이(130b)의 이송이 원활하게 이루어지도록 한다.
제1 이송 유닛(410) 및 제2 이송 유닛(420)은 제1 버퍼 챔버(150)와 테스트 챔버(160)에 걸쳐 연장 형성되어, 제1 버퍼 챔버(150)로부터 2개의 테스트 트레이(130a, 130b)를 이송할 수 있도록 구성된다.
2개의 테스트 트레이(130a, 130b)가 테스트 챔버(160) 내로 이송된 이후, 제1 푸쉬풀 모터(419)는 제1 푸쉬 로드(419a)를 제1 이송 유닛(410) 측으로 후진시켜, 제1 지지암(418a, 418b)이 제1 테스트 트레이(130a)로부터 분리되도록 하고, 제2 푸쉬풀 모터(429)는 제2 푸쉬 로드(429a)를 제2 이송 유닛(420) 측으로 후진시켜, 제2 지지암(428a, 428b)이 제2 테스트 트레이(130b)로부터 분리되도록 한다.
이후, 정역 회전 모터(431)는 회전 샤프트(432)를 반대 방향으로 회전시켜 제1 이송 프레임(415), 제1 푸쉬풀 프레임(416) 및 제1 지지암(418a, 418b)이 일체로 초기 위치로 복귀하도록 하고, 제2 이송 프레임(425), 제2 푸쉬풀 프레임(426) 및 제2 지지암(428a, 428b)이 일체로 초기 위치로 복귀하도록 한다.
그리고 다시 제1 푸쉬풀 모터(419)는 제1 푸쉬 로드(419a)를 전진시키고, 제2 푸쉬풀 모터(429)는 제2 푸쉬 로드(429a)를 전진시켜, 제1 지지암(418a, 418b)과 제2 지지암(428a, 428b)이 각각 제1 버퍼 챔버(150) 내의 테스트 트레이들과 결합하도록 하여, 테스트 트레이들의 이송을 반복하게 된다.
본 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 지지암(418, 428)과 테스트 트레이(130a, 130b)의 결합/분리를 위한 동력을 제공하는 푸쉬풀 모터(419, 429)와, 테스트 트레이(130a, 130b)를 횡방향으로 이송시키기 위한 동력을 제공하는 정역 회전 모터(431)가 모두 제자리에 위치한 상태로 작동하므로, 동력원인 모터들 중 적어도 일부가 테스트 트레이의 이동 과정에서 함께 이동하는 경우에 비해, 구조적으로 안정하고, 상대적으로 고하중인 모터들이 이동하면서 발생하는 진동이나 출렁임이 방지되므로, 테스트 트레이를 보다 안정적으로 이송할 수 있다.
제1 버퍼 챔버(150)와 테스트 챔버(160) 사이에서 테스트 트레이(130)들을 이송하는 테스트 트레이 이송 장치(40)를 기준으로 설명하였지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이 이송 장치(40)는 테스트 챔버(160)와 제2 버퍼 챔버(170) 사이에 구비되어, 테스트 챔버(160)에서 테스트를 마친 테스트 트레이(130)들을 제2 버퍼 챔버(170)로 이송하는데 사용될 수도 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (10)

  1. 고정 프레임;
    상기 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 이송 프레임;
    상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시키는 이송 구동부;
    상기 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 푸쉬풀 프레임;
    상기 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 푸쉬풀 구동부; 및
    상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 전진시킴에 따라 테스트 트레이로 삽입되어 상기 테스트 트레이를 지지하고, 상기 이송 구동부가 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이송시킴에 따라 상기 푸쉬풀 프레임 및 상기 이송 프레임과 함께 횡방향으로 이송되고, 상기 푸쉬풀 구동부가 상기 푸쉬풀 프레임을 후진시킴에 따라 상기 테스트 트레이로부터 이탈되는 지지암;을 포함하는 테스트 트레이 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정 프레임은 상기 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 가이드 부재를 포함하고,
    상기 이송 프레임은 상기 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 지지편을 포함하고,
    상기 푸쉬풀 프레임은 상기 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합되는, 테스트 트레이 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 푸쉬풀 구동부는 상기 가이드 부재와 나란하게 연장되는 가이드 레일을 포함하고,
    상기 푸쉬풀 프레임은 상기 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 롤링 부재를 포함하며,
    상기 가이드 레일은 상기 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구성되는, 테스트 트레이 이송 장치.
  4. 제1 테스트 트레이를 이송하는 제1 이송 유닛 및
    제2 테스트 트레이를 이송하는 제2 이송 유닛을 포함하고,
    상기 제1 이송 유닛은,
    제1 고정 프레임;
    상기 제1 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 제1 이송 프레임;
    상기 제1 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 제1 푸쉬풀 프레임;
    상기 제1 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 제1 푸쉬풀 구동부; 및
    상기 제1 푸쉬풀 프레임과 일체로 전진 또는 후진하며 선택적으로 상기 제1 테스트 트레이에 결합되는 제1 지지암을 포함하고,
    상기 제2 이송 유닛은,
    제2 고정 프레임;
    상기 제2 고정 프레임에 대해 횡방향으로 이동 가능하게 구비되는 제2 이송 프레임;
    상기 제2 이송 프레임에 대해 전후진 가능하게 구비되는 제2 푸쉬풀 프레임;
    상기 제2 푸쉬풀 프레임을 전진 또는 후진시키는 제2 푸쉬풀 구동부; 및
    상기 제2 푸쉬풀 프레임과 일체로 전진 또는 후진하며 선택적으로 상기 제2 테스트 트레이에 결합되는 제2 지지암을 포함하며,
    상기 제1 이송 프레임 및 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이송시켜 상기 제1 지지암에 결합된 상기 제1 테스트 트레이와 상기 제2 지지암에 결합된 상기 제2 테스트 트레이를 이송시키는 이송 구동부를 더 포함하는, 테스트 트레이 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이송 구동부에 의해 상기 제1 이송 프레임, 상기 제1 푸쉬풀 프레임 및 상기 제1 지지암은 일체로 횡방향으로 이동하는, 테스트 트레이 이송 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 이송 구동부에 의해 상기 제2 이송 프레임, 상기 제2 푸쉬풀 프레임 및 상기 제2 지지암은 일체로 횡방향으로 이동하는, 테스트 트레이 이송 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 이송 구동부는,
    상기 제1 고정 프레임 및 상기 제2 고정 프레임에 회전 가능하게 지지되는 회전 샤프트;
    상기 회전 샤프트와 상기 제1 이송 프레임을 연결하며 상기 회전 샤프트의 회전에 의해 상기 제1 이송 프레임을 횡방향으로 이동시키는 제1 동력 전달 부재; 및
    상기 회전 샤프트와 상기 제2 이송 프레임을 연결하며 상기 회전 샤프트의 회전에 의해 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이동시키는 제2 동력 전달 부재를 포함하는, 테스트 트레이 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 테스트 트레이와 상기 제2 테스트 트레이는 상하로 배치되며,
    상기 제1 이송 모듈 및 상기 제2 이송 모듈은 상하로 배치되는, 테스트 트레이 이송 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 제1 고정 프레임은 상기 제1 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제1 가이드 부재를 포함하고,
    상기 제1 푸쉬풀 구동부는 상기 제1 가이드 부재와 나란하게 연장되는 제1 가이드 레일을 포함하고,
    상기 제1 푸쉬풀 프레임은 상기 제1 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 제1 롤링 부재를 포함하며,
    상기 제1 가이드 레일은 상기 제1 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구성되고,
    상기 제2 고정 프레임은 상기 제2 이송 프레임을 횡방향으로 이동 가능하게 지지하는 제2 가이드 부재를 포함하고,
    상기 제2 푸쉬풀 구동부는 상기 제2 가이드 부재와 나란하게 연장되는 제2 가이드 레일을 포함하고,
    상기 제2 푸쉬풀 프레임은 상기 제2 가이드 레일에 적어도 일부가 수용되는 제2 롤링 부재를 포함하며,
    상기 제2 가이드 레일은 상기 제2 푸쉬풀 프레임과 함께 전진 또는 후진하도록 구성되는, 테스트 트레이 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 이송 프레임은 상기 제1 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 제1 지지편을 포함하고,
    상기 제1 푸쉬풀 프레임은 상기 제1 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합되고,
    상기 제2 이송 프레임은 상기 제2 푸쉬풀 프레임을 이동 가능하게 지지하는 제2 지지편을 포함하고,
    상기 제2 푸쉬풀 프레임은 상기 제2 지지편에 전진 또는 후진 가능하게 결합되는, 테스트 트레이 이송 장치.
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