WO2020194635A1

WO2020194635A1 - 検査装置

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Publication number: WO2020194635A1
Application number: PCT/JP2019/013466
Authority: WO
Inventors: 吉隆北村; 克彦岸本
Original assignee: シャープ株式会社
Priority date: 2019-03-27
Filing date: 2019-03-27
Publication date: 2020-10-01

Abstract

検査装置（２）は、被検査物を載置する検査ステージ（４）を備えた検査装置であって、前記被検査物を前記検査ステージ上に真空吸着する真空チャック機構（６）と、前記検査ステージ上への前記被検査物の真空吸着により、前記被検査物と接する、前記検査ステージ上の異物捕捉シート（８）とを備える。

Description

検査装置

　本発明は、被検査物を載置する検査ステージを備えた検査装置に関する。

　特許文献１には、有機ＥＬパネルを検査するための検査装置が開示されている。

日本国再公表特許「国際公開番号２０１５／０５６３６５」

　特許文献１に記載されているような検査装置を用いて、被検査物を検査する場合、検査装置のステージと被検査物との間の異物の存在により、被検査物に傷等が発生する可能性がある。

　上記課題を解決するために、本発明の検査装置は、被検査物を載置する検査ステージを備えた検査装置であって、前記被検査物を前記検査ステージ上に真空吸着する真空チャック機構と、前記検査ステージ上への前記被検査物の真空吸着により、前記被検査物と接する、前記検査ステージ上の異物捕捉シートとを備える。

　上記構成により、検査装置のステージと被検査物との間に異物が存在した場合であっても、当該被検査物への傷等の発生を低減できる。

本発明の実施形態１に係る検査装置の概略上面図および概略断面図である。本発明の実施形態１に係る検査装置にフレキシブル表示パネルを載置した際の、当該検査装置およびフレキシブル表示パネルの概略上面図および概略断面図である。本発明の比較形態に係る検査装置の概略上面図および概略断面図である。本発明の比較形態に係る検査装置の課題を説明するための図である。本発明の実施形態１に係る検査装置の効果を説明するための、当該検査装置の概略上面図および概略断面図である。本発明の実施形態１に係る多孔質シートの概略断面図である。本発明の実施形態２に係る検査装置の概略上面図および概略断面図である。

　〔実施形態１〕
　図１は、本実施形態に係る検査装置２の概略上面図および概略断面図である。図１の（ａ）は、検査装置２の概略上面図であり、図１の（ｂ）は、図１の（ａ）における、Ａ－Ａ線矢視断面図である。図１の（ｃ）は、後述する検査ステージ４の上表面の一部を拡大して示す図である。

　図１に示すように、本実施形態に係る検査装置２は、検査ステージ４と、真空チャック機構６と、異物捕捉シート８と、支持シート１０とを備える。この他、検査装置２は、撮像装置、あるいはセンサ等、被検査物を検査するための、図示しない従来公知の検査器具を備えていてもよい。

　検査装置２は、被検査物を検査するために、当該被検査物を載置する検査ステージ４を備える。本実施形態において、検査装置２は、検査ステージ４の上面側と重畳する位置に、被検査物を載置することにより、当該被検査物の検査が可能となる。

　検査ステージ４の下面側には、図１の（ｂ）に示す、真空チャック機構６が設けられている。真空チャック機構６は、例えば、図示しない真空ポンプ等により、検査ステージ４の上面側の部材を、検査ステージ４の上面と重畳する位置に真空吸着する。

　ここで、例えば、検査ステージ４は、セラミックの焼結材料を含んでいてもよく、すなわち、検査ステージ４は、セラミックの焼結材料を焼結することにより形成してもよい。この場合、検査ステージ４は、図１の（ｃ）に示すように、セラミックの焼結材料の焼結の際に生じる細孔４Ａを含む、多孔質体を備えていてもよい。当該多孔質体の細孔４Ａは、真空チャック機構６による、被検査物の真空吸着に使用される真空吸着孔として使用してもよい。これにより、検査ステージ４は、略均一に真空吸着孔を備え、真空チャック機構６により、被検査物を、検査ステージ４の略全面に吸着させやすくなる。真空吸着孔としての機能を担保する観点から、検査ステージ４が備える細孔４Ａの直径ｄＡは、２μｍから３μｍであることが好ましい。また、耐久性を確保する観点から、検査ステージ４の厚みは、１ｍｍ以上であることが好ましい。

　異物捕捉シート８は、検査ステージ４の上面側に設けられ、多孔質シート１２と、変形防止層１４とを含む。本実施形態において、真空チャック機構６による被検査物の真空吸着により、被検査物の少なくとも一部は、異物捕捉シート８の上面８Ｓと接する。特に、本実施形態においては、真空チャック機構６による被検査物の真空吸着により、被検査物の少なくとも一部と多孔質シート１２の上面とが接する。

　本実施形態において、多孔質シート１２は、検査ステージ４と比較して剛性の低い層である。本実施形態において、多孔質シート１２は、例えば、複数の繊維状材料を含んでいてもよい。なお、多孔質シート１２は、図１の（ｂ）に示すように、膜厚ｄ１を有している。

　本実施形態において、変形防止層１４は、多孔質シート１２が、真空チャック機構６による真空吸着によって、変形することを防止するための層であり、検査ステージ４と多孔質シート１２との間に配置される。多孔質シート１２と変形防止層１４とのハンドリングを改善する観点から、多孔質シート１２と変形防止層１４とは、一体化されていることが好ましい。

　変形防止層１４は、細線が網目状に編み込まれた構造を備えていてもよく、あるいは、ハニカム構造を含む細線を備えていてもよい。変形防止層１４に含まれる細線の直径は、５μｍ以下であることが好ましい。また、細線によって形成される網目構造またはハニカム構造の網目の大きさは、５μｍ以下であることが好ましい。

　上記構成により、変形防止層１４は、真空チャック機構６による、検査ステージ４上の各部材の真空吸着を妨げることなく、当該真空吸着による変形を防止するために必要な剛性を備えることができる。また、変形を防止する観点から、変形防止層１４が備える細線の高さを、当該細線の幅で割った値は、１以上であることが好ましい。

　変形防止層１４は、例えば、直径が１０～１００μｍの金属ワイヤを、縦横に編み込んだメッシュ構造を備えていてもよい。当該金属ワイヤは、例えば、ワイヤボンディングで使用される、３０μｍのＡｕ細線、または、１５μｍのＡｌ細線であってもよい。

　また、変形防止層１４は、厚さ５０～１００μｍの金属プレートに対し、多数の開口を形成することにより形成してもよい。当該金属プレートに対する加工は、例えば、レーザ加工またはミリング等を含む、物理的加工であってもよく、あるいは、ウェットエッチングまたはドライエッチング等を含む、化学的加工であってもよい。

　支持シート１０は、異物捕捉シート８よりも剛性の高い層であり、検査ステージ４の上面の一部に形成されている。支持シート１０は、図１の（ａ）に示すように、上面視において、多孔質シート１２の周囲に形成されていてもよい。また、支持シート１０は、気体の流路を備えていなくともよく、真空チャック機構６によって、支持シート１０の上面に被検査物が吸着されなくともよい。

　本実施形態において、図１の（ｂ）に示すように、支持シート１０は、真空チャック機構６による被検査物の真空吸着により、被検査物の一部と接触する上面１０Ｓを備えている。ここで、上面８Ｓと、上面１０Ｓとの、検査ステージ４の上面からの高さが同一であるため、上面８Ｓと、上面１０Ｓとは、略面一となる。

　なお、本実施形態において、異物捕捉シート８と、支持シート１０とは、図１の（ｂ）に示す、通気性を備えた接着層１６を介して、検査ステージ４に接着されていてもよい。接着層１６は、異物捕捉シート８と、支持シート１０とを、検査ステージ４から剥離した際の糊残りが少なくなるものが好ましい。接着層１６の粘着力は、０．１Ｎ／２５ｍｍ以上、１０Ｎ／２５ｍｍ以下が好ましい。当該接着層１６があるために、本実施形態においては、異物捕捉シート８と、支持シート１０とは、検査ステージ４から容易に剥離できる。

　図２は、本実施形態に係る検査装置２に、被検査物を載置した状態について説明するための図である。本実施形態においては、検査装置２を使用して検査する被検査物として、ＯＬＥＤパネル等を含む、フレキシブル表示パネルＰを例に挙げて説明する。図２の（ａ）は、フレキシブル表示パネルＰを載置した検査装置２の概略上面図であり、図２の（ｂ）は、図２の（ａ）における、Ａ－Ａ線矢視断面図である。

　本実施形態において、フレキシブル表示パネルＰは、図２の（ａ）に示すように、表示面を有する表示領域ＤＡと、当該表示領域ＤＡの周囲に設けられた額縁領域ＮＡとを備える。額縁領域ＮＡには、図１の（ａ）に示す、端子部ＴＡが形成されている。端子部ＴＡと、表示領域ＤＡ各サブ画素回路に接続する配線とは、額縁領域ＮＡに形成された引き回し配線Ｌを介して、電気的に導通している。端子部ＴＡには、表示領域ＤＡの各サブ画素と接続する各サブ画素回路に、映像信号を印加するための外部機器が実装されてもよい。

　本実施形態において、検査装置２を使用してフレキシブル表示パネルＰを検査する場合、図２の（ａ）および図２の（ｂ）に示すように、フレキシブル表示パネルＰが、検査ステージ４の異物捕捉シート８側の、検査ステージ４と重畳する位置に配置される。この際、表示領域ＤＡは、異物捕捉シート８と重畳する位置に配置される。同様に、端子部ＴＡを含む額縁領域ＮＡは、支持シート１０と重畳する位置に配置される。

　ゆえに、フレキシブル表示パネルＰの、端子部ＴＡとは異なる一部である、表示領域ＤＡの下面は、異物捕捉シート８と接する。このため、表示領域ＤＡは、異物捕捉シート８を介して、検査ステージ４に支持される。一方、フレキシブル表示パネルＰの、端子部ＴＡを含む一部である、額縁領域ＮＡの下面は、支持シート１０と接する。このため、額縁領域ＤＡ、特に、端子部ＴＡは、支持シート１０上において直接支持される。

　検査ステージ４と重畳する位置に、フレキシブル表示パネルＰを配置した状態において、真空チャック機構６を稼働することにより、フレキシブル表示パネルＰを、検査装置２に吸着する。検査装置２にフレキシブル表示パネルＰを吸着した状態において、図示しない検査器具による、フレキシブル表示パネルＰの検査が実行される。

　なお、上述したように、本実施形態においては、上面８Ｓと、上面１０Ｓとが略面一であることから、フレキシブル表示パネルＰの検査装置２への吸着の際に、表示領域ＤＡと額縁領域ＮＡとの境界に、ダメージが生じることを低減することができる。

　なお、フレキシブル表示パネルＰが、タッチパネルを有さない表示パネルであった場合、図２の（ｂ）に示す、フレキシブル表示パネルＰの厚みｄ２は、１５０μｍ～２００μｍであってもよい。また、フレキシブル表示パネルＰが、タッチパネルを有する表示パネルであった場合、上記厚みｄ２は、２５０μｍ～３００μｍであってもよい。

　フレキシブル表示パネルＰは、例えば、粘着層を備えた積層フィルムと、ポリイミド基板と、薄膜トランジスタ層または発光素子層を備えたデバイス層とが、下層から順に積層された構造を備えていてもよい。積層フィルムの厚みは１００μｍであってもよく、ポリイミド基板の１６μｍであってもよく、デバイス層の厚みは２０～３０μｍであってもよい。さらに、フレキシブル表示パネルＰは、当該デバイス層の上層に、厚みが７５μｍ程度の積層フィルムを備えていてもよい。

　次に、本実施形態に係る検査装置２の効果を、図３に示す、比較形態に係る検査装置２０の課題と対比して説明する。

　図３は、比較形態に係る検査装置２０の概略上面図および概略断面図である。図３の（ａ）は、検査装置２０の概略上面図であり、図３の（ｂ）は、図３の（ａ）における、Ａ－Ａ線矢視断面図である。

　比較形態に係る検査装置２０は、本実施形態に係る検査装置２と比較して、異物捕捉シート８、支持シート１０、および接着層１６を備えていない点においてのみ、構成が異なる。このため、検査装置２０を使用した被検査物の検査は、真空チャック機構６を使用して、検査ステージ４上に直接被検査物を吸着した状態において実行される。

　図４は、比較形態に係る検査装置２０の課題を説明するための図であり、図４の（ａ）と図４の（ｂ）との何れにおいても、図３の（ｂ）に対応する位置における断面図を示している。

　被検査物の検査工程においては、図４の（ａ）に示す、異物Ｅが発生する場合がある。異物Ｅとしては、被検査物がフレキシブル表示パネルＰである場合、例えば、フレキシブル表示パネルＰの有機層を蒸着により形成した際に、蒸着機のチャンバ内において付着した有機物の塊が挙げられる。また、異物Ｅとしては、例えば、フレキシブル表示パネルＰの基板の分断、あるいは、基板の搬送において発生する、基板ガラスの破片、またはプラスチック製のトレイの破片が挙げられる。他にも、異物Ｅとしては、例えば、フレキシブル表示パネルＰの基板の搬送において、搬送系の部品が削れることによって生じる、金属の小片、あるいは、作業員の人体または被服から発生する繊維くず等が挙げられる。

　検査ステージ４上に異物Ｅが存在する状態において、検査ステージ４上に被検査物が吸着すると、当該異物Ｅと被検査物とが当接する。このために、異物Ｅによって、被検査物に傷等が発生する可能性がある。

　また、検査ステージ４上に異物Ｅが存在する状態において、検査ステージ４上にフレキシブル表示パネルＰが吸着すると、図４の（ｂ）に示すように、異物Ｅによってフレキシブル表示パネルＰの一部が押し上げられ、パネル変形部ＰＤとなる。ここで、表示領域ＤＡにパネル変形部ＰＤが生じている状態において、検査装置２０による検査が実行された場合、パネル変形部ＰＤの存在により、良品であるフレキシブル表示パネルＰを不良品であると誤検知する場合がある。

　例えば、パネル変形部ＰＤを表示領域ＤＡに有するフレキシブル表示パネルＰに対し、カメラを用いた混色検査等の表示品位検査を実行した場合、本来明部と判定されるべき箇所にパネル変形部ＰＤが生じていると、当該箇所を暗部であると検知する場合がある。当該箇所は、パネル変形部ＰＤにより暗部となっているのか、あるいは、混色により暗部となっているのかが判断することが困難であり、本来混色が生じていないフレキシブル表示パネルＰを、混色が発生した不良品であると誤って判断する可能性がある。

　図５は、本実施形態に係る検査装置２が奏する効果について説明するための図であり、図５の（ａ）と図５の（ｂ）との何れにおいても、図２の（ｂ）に対応する位置における断面図を示している。

　本実施形態においても、図５の（ａ）に示すように、異物捕捉シート８上に、異物Ｅが生じる場合がある。異物捕捉シート８上に異物Ｅが存在する状態において、フレキシブル表示パネルＰを検査装置２上に配置した場合、本実施形態においても、図５の（ａ）に示すように、表示領域ＤＡの一部にパネル変形部ＰＤが生じる。

　しかしながら、本実施形態において、真空チャック機構６による、フレキシブル表示パネルＰの吸着が実行されることにより、図５の（ｂ）に示すように、異物Ｅが、異物捕捉シート８の多孔質シート１２に生じる凹部１２Ｒに捕捉される。これは、多孔質シート１２が、検査ステージ４と比較して剛性が低いために、真空吸着によってフレキシブル表示パネルＰに押された異物Ｅが、多孔質シート１２に押し込まれることによる。

　多孔質シート１２上の凹部１２Ｒ中に、異物Ｅが捕捉されることにより、多孔質シート１２と重畳する位置に吸着された被検査物への、異物Ｅによる傷等の発生が低減する。したがって、本実施形態に係る検査装置２を使用して、被検査物の検査を行う場合には、検査装置２上に異物Ｅが生じた場合であっても、被検査物への傷等の発生を低減できる。

　また、多孔質シート１２上の凹部１２Ｒ中に、異物Ｅが捕捉されることにより、フレキシブル表示パネルＰの表示領域ＤＡからパネル変形部ＰＤが除去される。したがって、本実施形態においては、検査装置２上に異物Ｅが生じた場合であっても、フレキシブル表示パネルＰの表示領域ＤＡにおける凹凸を低減した状態において、フレキシブル表示パネルＰの検査を実行できる。このために、本実施形態においては、本来良品であるフレキシブル表示パネルＰを、不良品であると誤検知する蓋然性を低減でき、フレキシブル表示パネルＰの製造工程における歩留まりを改善できる。

　なお、変形防止層１４は、多孔質シート１２の下層のみに形成されている。このため、変形防止層１４は、真空吸着による多孔質シート１２の変形を低減するものの、異物Ｅによる多孔質シート１２の変形を阻害しない。このために、変形防止層１４は、多孔質シート１２の、異物Ｅを取り込む機能を阻害しない。

　また、多孔質シート１２よりも剛性の高い支持シート１０上に異物Ｅが生じた場合、フレキシブル表示パネルＰの額縁領域ＮＡにパネル変形部ＰＤが生じる。しかしながら、額縁領域ＮＡは、混色等、表示品位に影響する不良は生じない。このため、フレキシブル表示パネルＰの額縁領域ＮＡにパネル変形部ＰＤが生じた場合であっても、フレキシブル表示パネルＰの検査に与える影響は小さい。

　加えて、支持シート１０が多孔質シート１２よりも剛性が高いことにより、フレキシブル表示パネルＰの端子部ＴＡが、支持シート１０によってより確実に保持される。このために、上述した混色検査等を実施するための、端子部ＴＡへの外部機器の実装がより容易となり、検査装置２を使用した検査がより簡便となる。

　本実施形態において、多孔質シート１２が繊維状材料を備える場合、多孔質シート１２は、繊維状材料間に異物Ｅを取り込むことにより、異物Ｅを捕捉してもよい。本実施形態において、多孔質シート１２が備える繊維状材料の長さと直径との比は、１０００以上：１であってもよい。すなわち、多孔質シート１２が備える繊維状材料は、当該繊維状材料の直径の１０００倍以上の長さを有していてもよい。上記構成によれば、異物Ｅを多孔質シート１２が捕捉した際の、多孔質シート１２に含まれる繊維状材料からの発塵が防止でき、また、異物Ｅを繊維状材料中に、効率よく取り込むために必要な剛性を、多孔質シート１２が備えることが可能である。

　また、多孔質シート１２が備える繊維状材料の直径は、フレキシブル表示パネルＰ等の被検査物の厚みｄ２の、１０分の１以下であることが好ましい。当該繊維状材料を多孔質シート１２に用いることにより、多孔質シート１２は、異物Ｅを補足するために適切な剛性、すなわち柔軟性を獲得することができる。

　本実施形態において、１０，０００ｍあたりのグラム重量を示す単位である、デシテックスを用いて、多孔質シート１２が備える繊維状材料の直径を表した場合、本実施形態に係る繊維状材料の直径は、５デシテックス以下であることが好ましい。また、本実施形態に係る繊維状材料の直径は、３０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましい。上記構成により、多孔質シート１２が、異物を繊維状材料中に、効率よく取り込むことが可能である。なお、本実施形態に係る繊維状材料の直径が、０．１デシテックス以上、あるいは０．１μｍ以上であれば、当該繊維状材料を人工的に製造できる。

　本実施形態において、多孔質シート１２は、導電性を有していてもよい。例えば、多孔質シート１２は、繊維状の導電性材料を含んでいてもよく、上述した繊維状材料が、当該導電性材料であってもよい。これにより、検査ステージ４上におけるフレキシブル表示パネルＰ等の被検査物に、静電気が発生することを低減でき、当該静電気による被検査物へのダメージを低減できる。導電性材料は、例えば、Ｐｔ、Ａｕ、あるいはカーボンの何れかを含んでいてもよい。

　上述した膜厚ｄ１は、２０μｍ以上であることが好ましい。フレキシブル表示パネルの検査を、検査装置２を使用して行う場合、一般に、検査装置２上に発生する異物Ｅは、最大で数μｍ程度の大きさを有する異物Ｅが想定される。膜厚ｄ１が２０μｍ以上であることにより、数μｍ程度の大きさを有する異物Ｅを、多孔質シート１２がより効率よく捕捉することが可能である。

　また、膜厚ｄ１は、１ｍｍ以下であることが好ましく、３００μｍ以下であることがより好ましい。上記構成により、多孔質シート１２が変形して、異物Ｅを捕捉するために必要な柔軟性を、多孔質シート１２が備えることが可能である。

　また、多孔質シート１２の空隙率は、多孔質シート１２全体の体積に対して、２０体積パーセント以上、５０体積パーセント以下であることが好ましい。多孔質シート１２の空隙率が、２０体積パーセント以上であることにより、同一の多孔質シート１２が捕捉できる異物Ｅの最大量が十分に確保でき、多孔質シート１２の交換、すなわち、異物捕捉シート８の交換の頻度を低減できる。また、多孔質シート１２の空隙率が、５０体積パーセント以下であることにより、フレキシブル表示パネルＰ等の被検査物を、多孔質シート１２が適切に支持するための、多孔質シート１２の剛性を十分に確保することができる。

　多孔質シート１２の空隙率に関して、図６を参照して説明を行う。図６の（ａ）は、多孔質シート１２を、当該多孔質シート１２が備える繊維状材料の長さ方向と直交する面における断面図である。また、図６の（ｂ）は、図６の（ａ）に対応する断面図であり、多孔質シート１２を、多孔質シート１２の厚み方向に圧縮した場合について示している。なお、図６においては、紙面に向かって上下方向を、多孔質シート１２の厚み方向とする。

　本実施形態においては、図６の（ａ）に示すように、多孔質シート１２の繊維状材料１２ｆは、繊維状材料１２ｆのそれぞれの中心が、正三角格子点状に略一致するように、多孔質シート１２中に整列しているモデルを仮定する。また、多孔質シート１２の繊維状材料１２ｆは、長さ方向に略同一の形状を有していると仮定する。

　ここで、繊維状材料１２ｆの半径をａ、互いに隣接する繊維状材料１２ｆの間隙の最小距離をｂとおく。なお、被検査物が上述するフレキシブル表示パネルＰ等の柔軟な被検査物である場合、ａはフレキシブル表示パネルＰの厚みの１０分の１以下の値を有する。しかしながら、被検査物が柔軟でない場合には、ａはこれ以上の値であってもよい。また、ｂはａ以下の値を有する。この場合、多孔質シート１２の空隙率Ｋは、下記の式（１）によって表される。

　多孔質シート１２の空隙率Ｋの導出について、図６の（ａ）を参照しつつ説明する。

　図６の（ａ）に示すように、多孔質シート１２の厚み方向において互いに隣接する繊維状材料１２ｆにおいて、一方の繊維状材料１２ｆの中心から、他方の繊維状材料１２ｆの中心までの、多孔質シート１２の厚み方向における距離を、Ｔ１とおく。ここで、Ｔ１は、ａおよびｂを用いて、下記の式（２）によって表される。

　ここで、図６の（ａ）に示すように、互いに隣接する３つの繊維状材料１２ｆの中心同士が形成する正三角形の領域を、領域Ｃとおく。ここで、領域Ｃに含まれる、繊維状材料１２ｆの断面積は、繊維状材料１２ｆの全断面積の半分である。したがって、領域Ｃにおける、多孔質シート１２中の繊維状材料１２ｆの充填率をＦとすると、下記の式（３）が成立する。

　さらに、繊維状材料１２ｆは、多孔質シート１２中において多数積層されていると仮定した場合、充填率Ｆは、多孔質シート１２の全体の体積に対する、繊維状材料１２ｆの充填率と略同一であると見なせる。したがって、１から充填率Ｆを引くことにより、上述した式（１）が導出される。

　次いで、多孔質シート１２が捕捉することができる、異物Ｅの最大高さＨについて、図６の（ｂ）を参照しつつ説明する。

　図６の（ｂ）に示すように、多孔質シート１２が、繊維状材料１２ｆ同士が接触するまで、厚み方向に圧縮された場合を仮定する。ここで、図６の（ｂ）に示すように、多孔質シート１２の厚み方向において互いに隣接する繊維状材料１２ｆにおいて、一方の繊維状材料１２ｆの中心から、他方の繊維状材料１２ｆの中心までの、多孔質シート１２の厚み方向における距離を、Ｔ２とおく。この場合、ここで、Ｔ２は、ａおよびｂを用いて、下記の式（４）によって表される。

　ここで、本実施形態において、多孔質シート１２は、多孔質シート１２の厚み方向に、ｎ層の繊維状材料１２ｆの層が積層された構造を有していると仮定する。なお、ｎは２以上の自然数である。この場合、多孔質シート１２が圧縮されていない状態における、多孔質シート１２の膜厚ｄ１は、下記の式（５）によって表される。

　同様に、多孔質シート１２が圧縮された状態における、多孔質シート１２の膜厚ｄ３は、下記の式（６）によって表される。

　ここで、多孔質シート１２が確実に捕捉できる、異物Ｅの最大高さＨは、異物Ｅに押されることにより、多孔質シート１２が変形できる、多孔質シート１２の厚み方向の最大変形量に相当する。したがって、当該最大高さＨは、下記の式（７）によって表される。

　以上より、異物捕捉シート８は、上記の式（７）に示す、最大高さＨまでの異物Ｅを、多孔質シート１２に、確実に捕捉することができる。

　なお、上述したように、本実施形態においては、検査装置２が接着層１６を備えているために、異物捕捉シート８と、支持シート１０とを、検査ステージ４から剥離できる。ゆえに、異物捕捉シート８上または支持シート１０上に多く異物が発生した場合には、容易に異物捕捉シート８または支持シート１０を交換することができる。

　異物捕捉シート８が導電性材料を備えている場合、当該導電性材料が酸化し、異物捕捉シート８の導電性が失われた場合においても、異物捕捉シート８を交換してもよい。ここで、異物捕捉シート８が、Ｐｔ、Ａｕ、あるいはカーボンの何れかを導電性材料として備えている場合、当該導電性材料の酸化による、異物捕捉シート８の導電性の低下を遅延させ、異物捕捉シート８の交換の頻度を低減することができる。

　〔実施形態２〕
　図７は、本実施形態に係る検査装置２の概略上面図および概略断面図である。図７の（ａ）は、検査装置２の概略上面図であり、図７の（ｂ）は、図１の（ａ）における、Ａ－Ａ線矢視断面図である。

　本実施形態に係る検査装置２は、前実施形態に係る検査装置２と比較して、多孔質シート１２が、多孔質シート１２の、被検査物を真空吸着する側の表面に、図７の各図に示す、皮膜１８をさらに備えている点においてのみ、構成が異なる。皮膜１８は、導電性材料からなり、膜厚ｄ４を有する。

　本実施形態においても、検査装置２は、同様の理由から、良品であるフレキシブル表示パネルＰを、不良品であると誤検知する蓋然性を低減でき、フレキシブル表示パネルＰの製造工程における歩留まりを改善できる。

　また、本実施形態に係る検査装置２は、多孔質シート１２が、導電性材料からなる皮膜１８を、上面８Ｓ側に有するために、検査ステージ４上におけるフレキシブル表示パネルＰ等の被検査物に、静電気が発生することをより効率よく低減できる。

　皮膜１８の膜厚ｄ４は、１００ｎｍ以下であることが好ましい。膜厚ｄ４が１００ｎｍ以下であることにより、多孔質シート１２による異物Ｅの捕捉を、皮膜１８が阻害することを低減できる。また、皮膜１８の膜厚ｄ４は、１ｎｍ以上であることが好ましい。膜厚ｄ４が１ｎｍ以上であることにより、皮膜１８が十分な導電性を獲得でき、かつ、比較的容易に皮膜１８を形成することが可能である。

　皮膜１８は、導電性材料として、例えば、Ｐｔ、Ａｕ、あるいはカーボンの何れかを含んでいてもよい。皮膜１８がこれらの材料を含むことにより、皮膜１８の膜厚ｄ４が数ｎｍ程度であっても、皮膜１８の酸化が低減され、皮膜１８の導電性がより維持されやすくなる。

　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

２　　検査装置
４　　検査ステージ
６　　真空チャック機構
８　　異物捕捉シート
１０　支持シート
１２　多孔質シート
１４　変形防止層
１８　皮膜
Ｐ　　フレキシブル表示パネル
ＴＡ　端子部

Claims

　被検査物を載置する検査ステージを備えた検査装置であって、
　前記被検査物を前記検査ステージ上に真空吸着する真空チャック機構と、
　前記検査ステージ上への前記被検査物の真空吸着により、前記被検査物と接する、前記検査ステージ上の異物捕捉シートとを備えた検査装置。
　前記異物捕捉シートは、前記被検査物の真空吸着により、前記被検査物と接する多孔質シートと、前記真空チャック機構による真空吸着により、多孔質シートが変形することを防止する、前記検査ステージと前記多孔質シートとの間の変形防止層とを含む請求項１に記載の検査装置。
　前記多孔質シートは、複数の繊維状材料を含む請求項２に記載の検査装置。
　前記繊維状材料の長さと直径との比が、１０００以上：１である請求項３に記載の検査装置。
　前記繊維状材料の直径が、被検査物の厚みの１０分の１以下である請求項３または４に記載の検査装置。
　前記繊維状材料の直径が、０．１デシテックス以上、５デシテックス以下である請求項３から５の何れか１項に記載の検査装置。
　前記繊維状材料の直径が、０．１μｍ以上、３０μｍ以下である請求項３から５の何れか１項に記載の検査装置。
　前記繊維状材料の半径をａ、互いに隣接する前記繊維状材料の間隙の最小距離をｂ、前記多孔質シートの空隙率をＫとし、ａが前記被検査物の厚みの１０分の１以下の値を有し、ｂがａ以下の値を有する場合、下記の式（１）が成立する請求項３から７の何れか１項に記載の検査装置。
　前記多孔質シートが、導電性を有する請求項２から８の何れか１項に記載の検査装置。
　前記多孔質シートが、前記多孔質シートの、前記被検査物を真空吸着する側の表面に、導電性材料からなる皮膜をさらに備えた請求項９に記載の検査装置。
　前記皮膜の膜厚が、１ｎｍ以上、１００ｎｍ以下である請求項１０に記載の検査装置。
　前記多孔質シートが、繊維状の導電性材料を含む請求項９に記載の検査装置。
　前記導電性材料が、Ｐｔ、Ａｕ、またはカーボンの何れかである請求項１０から１２の何れか１項に記載の検査装置。
　前記多孔質シートの膜厚が、２０μｍ以上、１ｍｍ以下である請求項２から１３の何れか１項に記載の検査装置。
　前記多孔質シートの空隙率が、２０体積パーセント以上、５０体積パーセント以下である請求項２から１４の何れか１項に記載の検査装置。
　前記変形防止層が、網目状の細線を備えた請求項２から１５の何れか１項に記載の検査装置。
　前記変形防止層が、ハニカム構造を含む細線を備えた請求項２から１５の何れか１項に記載の検査装置。
　前記検査ステージが、セラミックの焼結材料を含み、前記焼結材料が、前記真空チャック機構による前記被検査物の真空吸着に使用される真空吸着孔を有する多孔質体を備えた請求項１から１７の何れか１項に記載の検査装置。
　前記被検査物が、端子部を有するフレキシブル表示パネルであり、前記真空チャック機構による真空吸着により、前記フレキシブル表示パネルの、前記端子部とは異なる一部が、異物捕捉シートを介して、前記検査ステージ上に支持され、前記端子部を含む一部が、前記異物捕捉シートよりも剛性の高い支持シートにより支持される請求項１から１８の何れか１項に記載の検査装置。
　前記異物捕捉シートと、前記支持シートとの、前記被検査物と接する面の、前記検査ステージからの高さが同一である請求項１９に記載の検査装置。