WO2019142907A1 - 光学分析装置および光学分析方法 - Google Patents

光学分析装置および光学分析方法 Download PDF

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WO2019142907A1
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light
objective lens
analysis
numerical aperture
optical
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Inventor
福武　直樹
武志 川野
Original Assignee
株式会社ニコン
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/65—Raman scattering

Definitions

  • the present invention relates to an optical analyzer and an optical analysis method.
  • Patent Document 1 International Publication No. 2016/009548
  • a non-resonant background is also generated by four-wave mixing simultaneously with the generation of the CARS light, so that the detected spectrum has a profile different from that of the spontaneous Raman spectrum.
  • a light source generating pump light and Stokes light
  • a first objective lens capable of focusing on the boundary between an analysis object and a member supporting the analysis object, an analysis object and A second objective lens disposed opposite to the first objective lens across the member and capable of focusing on the analysis object and the boundary of the member; light generated by the analysis object and the member; And a spectroscope for receiving light through the objective lens.
  • a member capable of transmitting pump light and Stokes light supports an object to be analyzed, and has a first numerical aperture so as to focus on the boundary between the object and member.
  • a second objective which irradiates the pump light and the Stokes light to the object to be analyzed and the member through the one objective lens, is disposed opposite to the first objective lens, and can focus on the boundary of the object to be analyzed and the member.
  • An optical analysis method is provided in which scattered light generated by an object to be analyzed and a member is received by a spectroscope through a lens.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a sample 110.
  • 1 is a schematic view of a laser microspectroscope 100.
  • FIG. It is a schematic diagram explaining a CARS process. It is a schematic diagram explaining a four-wave mixing process. It is a schematic diagram which shows the focus vicinity of an objective lens. It is a figure which shows point-image amplitude distribution of the scattered light by the optical linear optical effect. It is a figure which shows point-image amplitude distribution of the scattered light by the optical linear optical effect. It is a figure which shows point-image amplitude distribution of the scattered light by the optical linear optical effect. It is a figure which shows point-image amplitude distribution of the scattered light by the optical linear optical effect. It is a graph which shows the relationship between the angular frequency of scattered light, and CARS light intensity. It is a graph which shows the relationship between the angular frequency of scattered light, and CARS light intensity. It is a figure which shows the detected spectrum. It is a figure which shows the
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a sample 110 which is an analysis target of a spectrum by the laser microspectroscope 100.
  • the illustrated sample 110 is formed by accommodating the analyte 112 in the sample container 114 in a state of being immersed in the protective liquid 116.
  • the analysis target 112 is a biological sample such as a cell sheet, for example, and a culture solution is used as the protective solution 116.
  • the sample container 114 may also be made of glass, but is not limited to glass.
  • FIG. 2 is a schematic view showing the structure of the laser microspectroscope 100.
  • the laser microspectroscope 100 includes a laser light source 120, an excitation light generator 130, an optical system 150, a stage 160, a polychromator 170, and a controller 180.
  • a sample 110 to be analyzed is placed on a stage 160.
  • the laser light generated by the laser light source 120 is converted into pump light and Stokes light in the excitation light generator 130, and then irradiated to the sample 110 through the excitation light side objective lens 152 or the like.
  • the scattered light generated in the sample 110 irradiated with the excitation light is detected by the polychromator 170 through the signal light side objective lens 154.
  • the detection result by the polychromator 170 is processed by the control unit 180, and the spectrum of the sample 110 is output.
  • the laser light source 120 generates a picosecond pulse laser and enters the excitation light generator 130.
  • a mode locked picosecond Nd: YVO 4 laser, a mode locked picosecond ytterbium laser, or the like can be used.
  • the laser light source 120 may be provided with an optical parametric oscillator that uses the second harmonic of the picosecond pulse as excitation light, and the wavelength of the picosecond pulse laser may be changed and output.
  • the excitation light generator 130 has an optical splitter 132, a photonic crystal fiber 134, a reflecting mirror 136, and an optical coupler 138.
  • the optical splitter 132 splits the picosecond pulse laser incident from the laser light source 120 into two.
  • One exit end of the light splitter 132 is coupled to a light path including a pair of reflecting mirrors 136. Therefore, the picosecond pulse laser incident on this side bypasses the photonic crystal fiber 134 and is guided to the optical path coupled to one incident end of the optical coupler 138. Thereby, one of the branched picosecond pulse lasers is adjusted in time until it reaches the optical multiplexer 138, and the optical multiplexer is aligned in timing with the other picosecond pulse laser via the photonic crystal fiber 134. It is incident on 138.
  • the other exit end of the light splitter 132 is coupled to the incident end of the photonic crystal fiber 134.
  • the picosecond pulse laser incident on the photonic crystal fiber 134 broadens the spectrum in a wavelength band longer than that of the initially incident picosecond pulse laser due to the self phase modulation occurring in the photonic crystal fiber 134.
  • the exit end of the photonic crystal fiber 134 is coupled to the other entrance end of the optical coupler 138.
  • the broad spectrum picosecond pulse laser and the picosecond pulse laser whose timing is matched are multiplexed by the optical multiplexer 138 and then emitted from the excitation light generator 130 as a picosecond pulse laser synthesized.
  • the picosecond pulse laser emitted from the excitation light generator 130 is finally irradiated to the sample 110 as excitation light.
  • the original narrow band picosecond pulse laser is irradiated as a pump light
  • the picosecond pulse laser whose band is broadened by the photonic crystal fiber 134 is irradiated as a Stokes light to the sample 110 respectively.
  • the laser light source 120 is not limited to one generating a picosecond pulse laser of a single wavelength, but may be one generating a picosecond pulse laser of a plurality of wavelengths.
  • a picosecond pulse laser to be pump light may also be output after wavelength conversion by a photonic crystal fiber.
  • the optical system 150 of the laser microspectroscope 100 includes an excitation light side objective lens 152 disposed between the excitation light generation unit 130 and the stage 160.
  • the excitation light side objective lens 152 focuses on the inside of the sample 110 placed on the stage 160, and condenses the excitation light propagated from the excitation light generation unit 130 in the sample 110. As a result, near the focal point in the sample 110, the excitation light produces a non-linear effect.
  • the stage 160 has a drive unit 162 that moves the stage 160 at least in the XY direction by a piezoelectric element.
  • the sample 110 on the stage 160 can be scanned with excitation light without moving the optical system.
  • the optical system 150 also has a signal light side objective lens 154 disposed on the opposite side of the excitation light side objective lens 152 with respect to the sample 110 placed on the stage 160.
  • the signal light side objective lens 154 focuses on the inside of the sample 110 placed on the stage 160 and collects the scattered light emitted from the sample 110.
  • the excitation light side objective lens 152 and the signal light side objective lens 154 preferably have mutually different numerical apertures (NA). This point will be described later with reference to FIGS.
  • the optical system 150 further includes an optical filter 156 and an imaging lens 158 on the optical path of the scattered light emitted from the signal light side objective lens 154.
  • the optical filter 156 removes unwanted optical components from the scattered light emitted from the sample 110.
  • the unnecessary component includes a partial band of the irradiation light emitted through the sample 110. Therefore, the optical filter 156 is changed according to the type of the sample 110, the composition of the analysis target, the purpose of detection, and the like.
  • the imaging lens 158 focuses the scattered light generated by the sample 110 on the light receiving surface of the polychromator 170 described later.
  • the laser microspectroscope 100 has reflecting mirrors 140 and 142 on the optical path of the excitation light and the scattered light. Thereby, the optical paths of the excitation light and the scattered light are bent, and the enlargement of the size of the laser microspectroscope 100 is suppressed.
  • the polychromator 170 When the irradiation light of a wide band is irradiated to the sample 110, the polychromator 170 splits the light emitted from the object of analysis 112 with a diffraction grating and simultaneously receives the light by a plurality of light receiving elements. Thus, the polychromator 170 operates as a detection unit that detects the spectrum of the sample 110 in the area irradiated with the irradiation light.
  • the polychromator 170 splits and detects light received through a narrow area corresponding to the entrance slit of a spectroscope disposed at a position conjugate to one of the image planes of the optical system 150. For this reason, when the emitted light is received using a polychromator, it is not possible to displace the optical path of the excitation light irradiated to the sample 110.
  • the spectrum obtained by one detection of the polychromator 170 corresponds to the component at one position of the object to be analyzed 112.
  • the laser microspectroscope 100 can displace the stage 160 on which the sample 110 is placed by the drive unit 162.
  • the laser microspectroscope 100 can also detect spectra at different positions of the sample 110.
  • the control unit 180 includes a keyboard 182, a mouse 184, an information processing device 186, and a display device 188.
  • the keyboard 182 and the mouse 184 are connected to the information processing apparatus 186, and are operated when the user inputs an instruction to the information processing apparatus 186.
  • the information processing device 186 can be formed by mounting a program that causes a general purpose personal computer to execute a control procedure.
  • the display device 188 returns feedback to the user on the operation by the keyboard 182 and the mouse 184, and displays the image or character string generated by the information processing device 186 to the user.
  • the control unit 180 controls the operations of the laser light source 120, the drive unit 162, the polychromator 170 and the like, and sets an instruction from the user in the laser microspectroscope 100. Further, the detection result of the polychromator 170 is visualized, and an image to be displayed on the display device 188 is generated.
  • the laser microspectroscope 100 is used when imaging a sample 110 by scattered light or a galvano scanner that scans the sample 110 fixed by displacing the optical path of the excitation light with the excitation light.
  • a photomultiplier tube 190 or the like may be additionally provided.
  • a photomultiplier tube 190 or the like may be additionally provided.
  • the insertion / extraction reflection mirror 142 may be provided on the most downstream side in the optical path of the scattered light to selectively use the plurality of detection units. .
  • FIG. 3 is a view for explaining the CARS process that occurs when the analysis target 112 in the sample 110 is irradiated with the collected excitation light.
  • the CARS process irradiates the sample 110 with excitation light including pump light and Stokes light having different angular frequencies ⁇ p and ⁇ s , and the difference between the light frequency ⁇ p of the pump light and the light frequency ⁇ s of the Stokes light This occurs when [ ⁇ p ⁇ s ] resonates with the angular frequency ⁇ 0 of the natural vibration of the molecules contained in the sample.
  • the CARS process the vibration mode of a specific molecular structure contained in the sample is excited by molecular vibration interacts with the probe beam is a third laser beam having an angular frequency omega 3, third order nonlinear polarization
  • the CARS light derived from is generated as Raman scattered light.
  • a specific molecular structure such as a functional group
  • the accumulation time is short and detection can be performed at high speed when detecting using a photoelectric conversion element. This also enables observation at the video rate. Not only the distribution of the specific molecular structure but also changes in the distribution can be detected. Furthermore, by setting the band of the irradiation light to be irradiated to the sample to be an infrared band with less damage to the living cells, it is possible to observe the living cells to be observed as it is.
  • a spectral image showing the frequency distribution (wave number distribution) of the Raman scattered light emitted from the irradiation position can be obtained. Furthermore, the distribution of specific molecules in the observation plane can be imaged by repeatedly irradiating the irradiation light while moving the sample in a direction intersecting the optical path of the irradiation light.
  • FIG. 4 is a diagram for explaining four-wave mixing which is a phenomenon different from the CARS process which occurs when the analysis target 112 in the sample 110 is irradiated with the condensed excitation light.
  • Four-wave mixing causes scattering at the same angular frequency 2 ⁇ p - ⁇ s as CARS light, as illustrated, due to the third-order nonlinear susceptibility ⁇ (3) of the analysis object 112 when the excitation light is irradiated.
  • Light is a phenomenon that occurs simultaneously with CARS light.
  • non-resonant background Scattered light resulting from such a four-wave mixing process is called “non-resonant background” because it is generated independently of the molecular vibration of the sample and reduces the contrast of the CARS light image.
  • CARB signal area where the CARS signal level is low, the influence of the non-resonant background is relatively strong, which may make imaging difficult.
  • FIG. 5 is a view schematically showing an optical arrangement of the excitation light side objective lens 152 and the signal light side objective lens 154 in the laser microspectroscope 100. As shown in FIG. As shown, the excitation light side objective lens 152 and the signal light side objective lens 154 respectively focus on the boundary between the analysis object 112 and the glass sample container 114.
  • the excitation light collected by the excitation light side objective lens 152 causes four-wave mixing in both the analysis object 112 and the sample container 114. Furthermore, in the analysis object 112, CARS light is generated when the difference frequency ( ⁇ p ⁇ s ) of the excitation light matches with the molecular vibration resonance frequency.
  • the non-resonant background which does not depend on molecular vibrational resonance, is due to the real part of the third-order nonlinear susceptibility ⁇ (3) .
  • the CARS light intensity is proportional to
  • the imaginary part Im ⁇ s (3) ⁇ of the nonlinear susceptibility corresponds to the same spectrum as the spontaneous Raman spectrum (natural spectrum) from which the influence of the non-resonant background is removed.
  • FIG. 6 is a view showing a point spread distribution in the region A shown in FIG. The illustrated example shows the case where the numerical aperture NA ex of the excitation light side objective lens 152 is larger than the numerical aperture NA col of the signal light side objective lens 154.
  • an argan diagram of scattered light due to the contribution on the side of the analysis target 112 and scattered light due to the contribution on the side of the sample container 114 is shown together.
  • the upper Argan diagram in the figure corresponds to the initial phase of the scattered light generated at the object of analysis 112. Further, the Argan diagram on the lower side in the figure corresponds to the initial phase of the scattered light generated in the sample container 114.
  • ASF (x) is a point spread function of the whole system including the excitation side and the signal collection side.
  • FIG. 7 is a diagram showing the point spread distribution in the region A, as in FIG.
  • the numerical aperture NA ex of the excitation light side objective lens 152 is equal to the numerical aperture NA col of the signal light side objective lens 154.
  • an Argan diagram of scattered light due to the contribution on the side of the analysis target 112 is also shown.
  • FIG. 8 is a diagram showing a point spread distribution in the region A, as in FIGS.
  • the numerical aperture NA ex of the excitation light side objective lens 152 is smaller than the numerical aperture NA col of the signal light side objective lens 154.
  • an Argan diagram of scattered light due to the contribution of the analysis target 112 is shown together.
  • the numerical aperture NA ex of the excitation light side objective lens 152 having a circular pupil is [n ⁇ sin ⁇ ex (n is a refractive index)]
  • the numerical aperture NA col of the signal light side objective lens 154 is [n ⁇ sin ⁇
  • the above-mentioned equation (5) is satisfied by satisfying the conditions shown in the following series of equations (6).
  • the signal light side objective is Assuming that the lens 154 has a circular pupil of radius n ⁇ sin ⁇ col , the above equation 5 is satisfied by satisfying the conditions shown in the following series of equations (7).
  • the excitation light side objective lens 152 has an annular pupil
  • the radius of the circular pupil of the signal light side objective lens 154 can be made large. Therefore, the resolution as an optical analyzer becomes high, and the signal light can be condensed with high efficiency.
  • FIG. 9 is a graph showing the relationship between the angular frequency of scattered light and the CARS light intensity as an example of the combination of the numerical aperture NA satisfying the relationship of the equation (5).
  • the numerical aperture NA ex of the excitation light side objective lens 152 is 1
  • the numerical aperture NA col of the signal light side objective lens 154 is 0.4
  • the numerical aperture NA ex of the excitation light side objective lens 152 is The case where the numerical aperture which becomes large is selected is shown.
  • the intensity of the CARS light tends to be higher in the region where the angular frequency is low.
  • FIG. 10 is a graph showing the relationship between the angular frequency of scattered light and the CARS light intensity as an example of the combination of the numerical aperture NA satisfying the relationship of the equation (5).
  • the numerical aperture NA ex of the excitation light side objective lens 152 is 1, the numerical aperture NA col of the signal light side objective lens 154 as 1.3, towards the aperture NA col of the signal light side objective lens 154 The case where the numerical aperture which becomes large is selected is shown.
  • the intensity of the CARS light tends to be high in the region where the angular frequency is high.
  • FIG. 11 is a graph showing a profile of a spectrum detected under the condition that the relationship shown in the above equation (5) holds.
  • the illustrated profile substantially matches the profile of the spontaneous Raman spectrum.
  • FIG. 12 shows a profile of a spectrum measured with the numerical aperture NA ex of the excitation light side objective lens 152 of the laser microspectroscope 100 and the numerical aperture NA col of the signal light side objective lens 154 being the same.
  • this profile is generally crumply deformed under the influence of non-resonant background.
  • dips are attached immediately after each peak, and the waveform is different from the original spectrum.
  • the spectrum of the accurate profile that matches the spectrum of the spontaneous Raman scattered light without adding any device. can be detected. Also, since no additional image processing or signal processing is required, the processing load and processing time of the analyzer can be reduced to take advantage of the CARS spectrum that the signal level is high, for example the correct spectrum at the video rate It is also possible to detect
  • DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 laser microspectrometer, 110 samples, 112 analysis object, 114 sample container, 116 protective liquid, 120 laser light source, 130 excitation light generation part, 132 light branching device, 134 photonic crystal fiber, 136, 140 reflecting mirror, 138 light combining Waver, 142 insertion / retraction mirror, 150 optical system, 152 excitation light side objective lens, 154 signal light side objective lens, 156 optical filter, 158 imaging lens, 160 stage, 162 driving unit, 170 polychromator, 180 control unit , 182 keyboard, 184 mouse, 186 information processor, 188 display device, 190 photomultiplier tube

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Abstract

光学分析装置であって、ポンプ光およびストークス光を発生する光源と、分析対象と分析対象を支持する部材との境界に焦点を結ぶことが可能な第１の対物レンズと、分析対象および部材を挟んで第１の対物レンズに対向して配置され、分析対象および部材の境界に焦点を結ぶことが可能である第２の対物レンズと、分析対象および部材で発生した光を、第２の対物レンズを通じて受光する分光器とを備える。光学分析方法であって、ポンプ光およびストークス光が透過可能な部材に分析対象を支持させ、 第１の開口数を有して分析対象および部材の境界に焦点を結ぶことが可能な第１の対物レンズを通じて、ポンプ光およびストークス光を分析対象および部材に照射し、第１の対物レンズに対向して配置され、分析対象および部材の境界に焦点を結ぶことが可能な第２の対物レンズを通じて、分析対象および部材で発生した散乱光を分光器で受光する 。

Description

光学分析装置および光学分析方法
　本発明は、光学分析装置および光学分析方法に関する。
　コヒーレントアンチストークスラマン散乱光（以降の記載においては「コヒーレントアンチストークスラマン散乱」を「ＣＡＲＳ」と記載する）のスペクトルにより分析対象に含まれる物質を分析する光学分析方法がある（例えば、特許文献１参照）。
　特許文献１　国際公開第２０１６／００９５４８号
　分析対象に励起光を照射した場合、ＣＡＲＳ光の発生と同時に、４光波混合による非共鳴バックグラウンドも発生するので、検出されたスペクトルは、自発ラマンスペクトルと異なるプロファイルを有するものとなる。
　本発明の第一態様においては、ポンプ光およびストークス光を発生する光源と、分析対象と分析対象を支持する部材との境界に焦点を結ぶことが可能な第１の対物レンズと、分析対象および部材を挟んで第１の対物レンズに対向して配置され、分析対象および部材の境界に焦点を結ぶことが可能である第２の対物レンズと、 分析対象および部材で発生した光を、第２の対物レンズを通じて受光する分光器と を備える光学分析装置が提供される。
　本発明の第二態様においては、ポンプ光およびストークス光が透過可能な部材に分析対象を支持させ、第１の開口数を有して分析対象および部材の境界に焦点を結ぶことが可能な第１の対物レンズを通じて、ポンプ光およびストークス光を分析対象および部材に照射し、第１の対物レンズに対向して配置され、分析対象および部材の境界に焦点を結ぶことが可能な第２の対物レンズを通じて、分析対象および部材で発生した散乱光を分光器で受光する光学分析方法が提供される。
　上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となり得る。
サンプル１１０の模式的断面図である。 レーザ顕微分光器１００の模式図である。 ＣＡＲＳ過程を説明する模式図である。 四光波混合過程を説明する模式図である。 対物レンズの焦点付近を示す模式図である。 光線形光学効果による散乱光の点像振幅分布を示す図である。 光線形光学効果による散乱光の点像振幅分布を示す図である。 光線形光学効果による散乱光の点像振幅分布を示す図である。 散乱光の角周波数とＣＡＲＳ光強度との関係を示すグラフである。 散乱光の角周波数とＣＡＲＳ光強度との関係を示すグラフである。 検出したスペクトルを示す図である。 比較例として検出したスペクトルを示す図である。
　以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
　図１は、レーザ顕微分光器１００によるスペクトルの分析対象となるサンプル１１０の構成を示す模式的断面図である。図示のサンプル１１０は、分析対象１１２を、保護液１１６に浸した状態でサンプル容器１１４に収容して形成される。分析対象１１２は、例えば細胞シートのような生体標本であり、保護液１１６として培養液が用いられている。サンプル容器１１４は、ガラス製も用いることができるが、ガラスに限定されるわけではない。
　図２は、レーザ顕微分光器１００の構造を示す模式図である。レーザ顕微分光器１００は、レーザ光源１２０、励起光発生部１３０、光学系１５０、ステージ１６０、ポリクロメータ１７０、および制御部１８０を備える。
　レーザ顕微分光器１００において、分析対象となるサンプル１１０は、ステージ１６０に置かれる。レーザ光源１２０が発生したレーザ光は、励起光発生部１３０においてポンプ光およびストークス光に変換された後、励起光側対物レンズ１５２等を通じてサンプル１１０に照射される。励起光を照射されたサンプル１１０において発生した散乱光は、信号光側対物レンズ１５４を通じてポリクロメータ１７０に検出される。ポリクロメータ１７０による検出結果は、制御部１８０において処理され、サンプル１１０の分光スペクトルが出力される。
　レーザ顕微分光器１００において、レーザ光源１２０は、ピコ秒パルスレーザを発生して、励起光発生部１３０に入射する。レーザ光源１２０としては、モードロックピコ秒Ｎｄ：ＹＶＯ４レーザ、モードロックピコ秒イットリビウムレーザー等を用いることができる。また、レーザ光源１２０に、ピコ秒パルスの第２高調波を励起光とする光パラメトリック発振器を設けて、ピコ秒パルスレーザの波長を変化させ出力してもよい。
　励起光発生部１３０は、光分岐器１３２、フォトニック結晶ファイバ１３４、反射鏡１３６、および光合波器１３８を有する。光分岐器１３２は、レーザ光源１２０から入射されたピコ秒パルスレーザを２つに分岐させる。
　光分岐器１３２の一方の射出端は一対の反射鏡１３６を含む光路に結合される。よって、こちら側に入射したピコ秒パルスレーザは、フォトニック結晶ファイバ１３４を迂回して、光合波器１３８の一方の入射端に結合された光路に誘導される。これにより、分岐されたピコ秒パルスレーザの一方は、光合波器１３８に到達するまでの時間を調整され、フォトニック結晶ファイバ１３４を経由した他方のピコ秒パルスレーザとタイミングを揃えて光合波器１３８に入射される。
　光分岐器１３２の他方の射出端は、フォトニック結晶ファイバ１３４の入射端に結合される。フォトニック結晶ファイバ１３４に入射したピコ秒パルスレーザは、フォトニック結晶ファイバ１３４において生じる自己位相変調により、当初入射したピコ秒パルスレーザよりも波長が長い帯域で広スペクトル化する。フォトニック結晶ファイバ１３４の射出端は、光合波器１３８の他方の入射端に結合される。
　広スペクトル化ピコ秒パルスレーザと、それにタイミングを合わせたピコ秒パルスレーザとは、光合波器１３８で合波された後、励起光発生部１３０から合成されたピコ秒パルスレーザとして射出される。励起光発生部１３０から射出されたピコ秒パルスレーザは、最終的に励起光としてサンプル１１０に照射される。ここで、当初の狭帯域のピコ秒パルスレーザはポンプ光として、フォトニック結晶ファイバ１３４で広帯域化されたピコ秒パルスレーザはストークス光として、それぞれサンプル１１０に照射される。
　なお、レーザ光源１２０は、単一波長のピコ秒パルスレーザを発生するものに限られず、複数の波長のピコ秒パルスレーザを発生するものを用いてもよい。また、ポンプ光となるピコ秒パルスレーザも、フォトニック結晶ファイバにより波長を変換してから出力してもよい。
　レーザ顕微分光器１００の光学系１５０は、励起光発生部１３０とステージ１６０との間に配された励起光側対物レンズ１５２を含む。励起光側対物レンズ１５２は、ステージ１６０に置かれたサンプル１１０の内部に焦点を結び、励起光発生部１３０から伝播した励起光をサンプル１１０内に集光する。これにより、サンプル１１０内の焦点付近において、励起光は非線形効果を生じる。
　ステージ１６０は、圧電素子によりステージ１６０を少なくともＸ－Ｙ方向に移動させる駆動部１６２を有する。これにより、光学系を移動させることなく、ステージ１６０上のサンプル１１０を励起光で走査できる。
　また、光学系１５０は、ステージ１６０に置かれたサンプル１１０に対して、励起光側対物レンズ１５２と反対側に配された信号光側対物レンズ１５４を有する。信号光側対物レンズ１５４は、ステージ１６０に置かれたサンプル１１０の内部に焦点を結び、サンプル１１０から射出された散乱光を集光する。なお、レーザ顕微分光器１００において、励起光側対物レンズ１５２と、信号光側対物レンズ１５４とは、互いに異なる開口数（ＮＡ）を有することが好ましい。この点については、図６、７、８を参照して後述する。
　光学系１５０は、更に、信号光側対物レンズ１５４から射出された散乱光の光路上に、光学フィルタ１５６および結像レンズ１５８を有する。光学フィルタ１５６は、サンプル１１０から射出された散乱光から不要な光学的成分を取り除く。
　ここで、不要な成分とは、サンプル１１０を透過して射出された照射光の一部の帯域を含む。このため、光学フィルタ１５６は、サンプル１１０の種類、分析対象の組成、検出目的等に応じて変更される。結像レンズ１５８は、後述するポリクロメータ１７０の受光面に、サンプル１１０で発生した散乱光を結像させる。
　なお、レーザ顕微分光器１００は、励起光および散乱光の光路上に、反射鏡１４０、１４２を有する。これにより、励起光および散乱光の光路が折り曲げられ、レーザ顕微分光器１００の寸法の拡大を抑制する。
　ポリクロメータ１７０は、広帯域の照射光をサンプル１１０に照射した場合に、分析対象１１２から射出された光を回折格子で分光して複数の受光素子で同時に受光する。これにより、ポリクロメータ１７０は、照射光が照射された領域におけるサンプル１１０のスペクトルを検出する検出部として動作する。
　なお、ポリクロメータ１７０は、光学系１５０の像面のひとつと共役な位置に配された分光器の入射スリットに相当する狭い領域を通して受光した光を分光して検出する。このため、ポリクロメータを用いて射出光を受光する場合は、サンプル１１０に照射する励起光の光路を変位させることができない。
　よって、ポリクロメータ１７０の１回の検出により得られるスペクトルは、分析対象１１２のあるひとつの位置における成分に対応する。しかしながら、レーザ顕微分光器１００は、駆動部１６２により、サンプル１１０を置いたステージ１６０を変位させることができる。よって、レーザ顕微分光器１００では、サンプル１１０の異なる位置のスペクトルも検出することができる。
　制御部１８０は、キーボード１８２、マウス１８４、情報処理装置１８６および表示装置１８８を有する。キーボード１８２およびマウス１８４は、情報処理装置１８６に接続され、情報処理装置１８６にユーザの指示を入力する場合に操作される。情報処理装置１８６は、汎用パーソナルコンピュータに制御手順を実行させるプログラムを実装して形成できる。
　表示装置１８８は、キーボード１８２およびマウス１８４による操作に対するフィードバックをユーザに返すと共に、情報処理装置１８６が生成した画像または文字列をユーザに向かって表示する。制御部１８０は、レーザ光源１２０、駆動部１６２、ポリクロメータ１７０等の動作を制御すると共に、ユーザによる指示をレーザ顕微分光器１００に設定する。また、ポリクロメータ１７０の検出結果を映像化して、表示装置１８８に表示する画像を生成する。
　なお、レーザ顕微分光器１００は、上記の他に、励起光の光路を変位させて固定されたサンプル１１０を励起光により走査するガルバノスキャナや、散乱光によるサンプル１１０のイメージングをする場合に使用する光電子増倍管１９０等を付加的に設けてもよい。光電子増倍管１９０等を付加的に設けてもよい。光電子増倍管１９０等の複数の検出部を設けた場合は、例えば、散乱光の光路において最も下流側に挿抜式反射鏡１４２を設けて、複数の検出部を選択的に使用してもよい。
　図３は、サンプル１１０における分析対象１１２に、集光された励起光が照射された場合に生じるＣＡＲＳ過程を説明する図である。ＣＡＲＳ過程は、互いに異なる角周波数ωｐ、ωｓを有するポンプ光およびストークス光を含む励起光をサンプル１１０に照射して、ポンプ光の光周波数ωｐとストークス光の光周波数ωｓとの差［ωｐ－ωｓ］が、サンプルに含まれる分子の固有振動の角振動数ω０と共鳴した場合に発生する。
　ＣＡＲＳ過程により、サンプルに含まれる特定の分子構造の振動モードが励振されると、分子振動が角周波数ω３を有する第３のレーザ光であるプローブ光と相互作用することにより、三次の非線形分極に由来するＣＡＲＳ光がラマン散乱光として発生する。
　更に、ポンプ光はプローブ光としても利用できるので、［ωｐ＝ω３］という条件の下で、ＣＡＲＳ光が発生する。サンプルにおいて発生するＣＡＲＳ光は、［ωＣＡＲＳ＝ωｐ－ωｓ＋ω３＝２ωｐ－ωｓ］を満たす光周波数を有する。よって、サンプルから射出されたＣＡＲＳ光を検出することにより、サンプルに含まれる特定の分子構造、例えば官能基の存在を検出できる。更に、照射光をサンプルに照射する位置を変えながら繰り返しＣＡＲＳ光を検出することにより、分析対象１１２における特定の分子構造の分布を画像化することができる。
　ここで、ＣＡＲＳ光は自発ラマン散乱光等に比べると光強度が高いので、光電気変換素子を用いて検出する場合に蓄積時間が短く、高速に検出できる。これにより、ビデオレートでの観察も可能になる。また、特定分子構造の分布だけではなく、分布の変化も検出することができる。更に、サンプルに照射する照射光の帯域を、生細胞に与えるダメージが少ない赤外帯域とすることにより、観察対象の生細胞を生かしたまま観察することができる。
　また更に、サンプルの特定の位置に照射する照射光の光周波数を変化させることにより、当該照射位置から射出されたラマン散乱光の周波数分布（波数分布）を示すスペクトル画像が得られる。更に、照射光の光路に対して交差する方向にサンプルを移動させながら照射光を繰り返し照射することにより、観察平面における特定の分子の分布を画像化することもできる。
　図４は、サンプル１１０における分析対象１１２に、集光された励起光が照射された場合に生じる、ＣＡＲＳ過程とは別の現象である四光波混合を説明する図である。四光波混合は、励起光が照射された場合に、分析対象１１２の３次非線形感受率χ（３）に起因して、図示のように、ＣＡＲＳ光と同じ角周波数２ωｐ－ωｓの散乱光がＣＡＲＳ光と同時に発生する現象である。
　このような四光波混合過程に起因する散乱光は、試料の分子振動に依存することなく発生するので非共鳴バックグラウンドと呼ばれ、ＣＡＲＳ光像のコントラストを低下させる。また、指紋領域と呼ばれるＣＡＲＳ信号レベルが低い領域では、非共鳴バックグラウンドの影響が相対的に強く、イメージングが困難な場合があった。
　更に、レーザ波長を掃引してスペクトルを検出した場合に、ＣＡＲＳ光と非共鳴バックグラウンドとが重畳して検出されるので、自発ラマン散乱により検出したスペクトルとは異なるプロファイルのスペクトルが検出される原因となる。このため、生体内で凝集しやすく分子振動が強い脂質の検出に限られる等、ＣＡＲＳ顕微法の適用範囲が制限されている。スペクトル検出後に画像処理等による後処理でスペクトルを補正することも試みられているが、処理負荷および処理時間が増加するので、有効な検出までの積算時間が短いというＣＡＲＳ信号の利点が損なわれる。
　図５は、レーザ顕微分光器１００における励起光側対物レンズ１５２および信号光側対物レンズ１５４の光学的配置を模式的に示す図である。図示のように、励起光側対物レンズ１５２および信号光側対物レンズ１５４は、それぞれ、分析対象１１２とガラス製のサンプル容器１１４との境界に焦点を結ぶ。
　このため、励起光側対物レンズ１５２が集光した励起光は、分析対象１１２とサンプル容器１１４の両方において四光波混合を生じる。更に、分析対象１１２においては、励起光の差周波（ωｐ－ωｓ）が分子振動共鳴周波数と一致した場合に増強されてＣＡＲＳ光が発生する。
　よって、分子振動共鳴に依存しない非共鳴バックグラウンドは、３次非線形感受率χ（３）の実部に起因する。一方、ＣＡＲＳ光強度は｜χ（３）｜２に比例するので、３次非線形感受率χ（３）の実部と虚部の両方を反映する。換言すれば、非線形感受率の虚部Ｉｍ｛χｓ （３）｝が、非共鳴バックグラウンドの影響が除かれた自発ラマンスペクトル（自然スペクトル）と同じスペクトルに相当する。
　図６は、図５に示した領域Ａにおける点像振幅分布を示す図である。なお、図示の例は、励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘが、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌよりも大きい場合を示す。
　また、図内の右に、分析対象１１２側の寄与による散乱光と、サンプル容器１１４側の寄与による散乱光のアルガン図を併せて示す。図中上側のアルガン図は、分析対象１１２において発生した散乱光の初期位相に対応する。また、図中下側のアルガン図は、サンプル容器１１４において発生する散乱光の初期位相に対応する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
 　ここで、ＡＳＦ（ｘ）は励起側および信号集光側を含む全系の点像振幅分布関数である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
　図７は、図６と同様に、領域Ａにおける点像振幅分布を示す図である。ただし、図７に示した例では、励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘが、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌと等しい。また、図７の右に、分析対象１１２側の寄与による散乱光のアルガン図を併せて示す。
　図８は、図６、７と同様に、領域Ａにおける点像振幅分布を示す図である。図８に示す例では、励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘが、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌよりも小さい。図８の右にも、分析対象１１２側の寄与による散乱光のアルガン図を併せて示す。
　図６、７、８に示すアルガン図を比較すると判るように、励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘと、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌとの関係の変化は、発生する散乱光の点像振幅分布に反映され、散乱光の偏角θＦが変化することが判る。よって、励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘと、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌとを適切に設定することにより、上記の式（５）を満足できることが判る。
　ここで、円形の瞳を有する励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘを［ｎ・ｓｉｎθｅｘ（ｎは屈折率）］とし、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌを［ｎ・ｓｉｎθｃｏｌ（ｎは屈折率）］とした場合、下記の一連の式（６）に示す条件が満たされることにより上記式（５）が満足される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
　また、励起光側対物レンズ１５２が、外径ｎ・ｓｉｎθｅｘ（ｏｕｔ）、内径ｎ・ｓｉｎθｅｘ（ｉｎ）の環状瞳を有して輪帯照明が形成されている場合は、信号光側対物レンズ１５４が半径ｎ・ｓｉｎθｃｏｌの円形瞳を有するものとすると、下記の一連の式（７）に示す条件が満たされることにより上記式５が満足される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000009
　上記のように、励起光側対物レンズ１５２が環状の瞳を有する場合は、信号光側対物レンズ１５４の円形瞳の半径を大きくとることができる。よって、光学分析装置としての分解能が高くなり、信号光を高効率に集光できる。
　図９は、式（５）の関係を満たす開口数ＮＡの組合せの一例として、散乱光の角周波数とＣＡＲＳ光強度との関係を示すグラフである。図示の例は、励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘを１とし、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌを０．４として、励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘの方が大きくなる開口数を選択した場合を示す。このような開口数の関係が成立している場合、角周波数が低い領域でＣＡＲＳ光の強度がより高くなる傾向がある。よって、指紋領域におけるＣＡＲＳスペクトルの検出に有利である。
　図１０は、式（５）の関係を満たす開口数ＮＡの組合せの一例として、散乱光の角周波数とＣＡＲＳ光強度との関係を示すグラフである。図示の例は、励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘを１とし、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌを１．３として、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌの方が大きくなる開口数を選択した場合を示す。このような開口数の関係が成立している場合は、角周波数が高い領域でＣＡＲＳ光の強度が高くなる傾向がある。
　図１１は、上記式（５）に示した関係が成立する条件下で検出したスペクトルのプロファイルを示すグラフである。図示のプロファイルは、自発ラマンスペクトルのプロファイルと略一致する。
　図１２は、比較のために、レーザ顕微分光器１００の励起光側対物レンズ１５２の開口数ＮＡｅｘと、信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡｃｏｌとを同じにして測定したスペクトルのプロファイルを示すグラフである。図示のように、このプロファイルは、非共鳴バックグラウンドの影響を受けて、プロファイルが全体に山なりに変形している。また、各ピークの直後にディップが付帯しており、本来のスペクトルとは異なる波形となっている。
　このように、励起光側対物レンズ１５２および信号光側対物レンズ１５４の開口数ＮＡを適切に設定することにより、デバイスを付加することなく、自発ラマン散乱光のスペクトルと一致する正確なプロファイルのスペクトルを検出できる。また、付加的な画像処理または信号処理も不要なので、分析器の処理負荷および処理時間が減少して、信号レベルが高いというＣＡＲＳスペクトルの利点を活かすことができ、例えば、正確なスペクトルをビデオレートで検出することも可能になる。
　以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。
　請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
１００　レーザ顕微分光器、１１０　サンプル、１１２　分析対象、１１４　サンプル容器、１１６　保護液、１２０　レーザ光源、１３０　励起光発生部、１３２　光分岐器、１３４　フォトニック結晶ファイバ、１３６、１４０　反射鏡、１３８　光合波器、１４２　挿抜式反射鏡、１５０　光学系、１５２　励起光側対物レンズ、１５４　信号光側対物レンズ、１５６　光学フィルタ、１５８　結像レンズ、１６０　ステージ、１６２　駆動部、１７０　ポリクロメータ、１８０　制御部、１８２　キーボード、１８４　マウス、１８６　情報処理装置、１８８　表示装置、１９０　光電子増倍管

Claims (8)

  1. 　ポンプ光およびストークス光を発生する光源と、
    　分析対象と前記分析対象を支持する部材との境界に焦点を結ぶことが可能な第１の対物レンズと、
    　前記分析対象および前記部材を挟んで前記第１の対物レンズに対向して配置され、前記分析対象および前記部材の境界に焦点を結ぶことが可能である第２の対物レンズと、
    　前記分析対象および前記部材で発生した光を、前記第２の対物レンズを通じて受光する分光器と
    　を備える光学分析装置。
  2. 　前記第２の対物レンズは、前記第１の対物レンズの開口数と異なる開口数を有する請求項１に記載の光学分析装置。
  3. 　前記第１の対物レンズの開口数が、前記第２の対物レンズの開口数よりも大きい請求項２に記載の光学分析装置。
  4. 　前記部材が、前記ポンプ光およびストークス光に対してコヒーレントアンチストークスラマン散乱光を生じない材料で形成される請求項１から３のいずれか一項に記載の光学分析装置。
  5. 　前記部材がガラス板である請求項４に記載の光学分析装置。
  6. 　前記第１の対物レンズの開口数および前記第２の対物レンズの開口数が、前記ポンプ光および前記ストークス光を照射した場合に、前記分析対象において発生した散乱光の位相と前記部材で発生した散乱光の位相との差２θＦが、下記の式（１）に示す条件を満たすように選択されている請求項２から５のいずれか一項に記載の光学分析装置。
    　６５°≦２θＦ≦１１５° ・・・（１）
  7. 　ポンプ光およびストークス光が透過可能な部材に分析対象を支持させ、
    　第１の開口数を有して前記分析対象および前記部材の境界に焦点を結ぶことが可能な第１の対物レンズを通じて、前記ポンプ光および前記ストークス光を前記分析対象および前記部材に照射し、
    　前記第１の対物レンズに対向して配置され、前記分析対象および前記部材の境界に焦点を結ぶことが可能な第２の対物レンズを通じて、前記分析対象および前記部材で発生した光を分光器で受光する
    　光学分析方法。
  8. 　前記第２の対物レンズは、前記第１の対物レンズの開口数と異なる開口数を有する請求項７に記載の光学分析方法。
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