WO2017153074A1 - Kipptoleranter wegsensor - Google Patents

Kipptoleranter wegsensor Download PDF

Info

Publication number
WO2017153074A1
WO2017153074A1 PCT/EP2017/050988 EP2017050988W WO2017153074A1 WO 2017153074 A1 WO2017153074 A1 WO 2017153074A1 EP 2017050988 W EP2017050988 W EP 2017050988W WO 2017153074 A1 WO2017153074 A1 WO 2017153074A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
measuring
correction
track
coil
path
Prior art date
Application number
PCT/EP2017/050988
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Fabian Utermoehlen
Dayo Oshinubi
Stefan Leidich
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Priority to JP2018547881A priority Critical patent/JP6714716B2/ja
Priority to US16/084,178 priority patent/US11118940B2/en
Priority to CN201780016002.1A priority patent/CN108779991B/zh
Priority to EP17700556.8A priority patent/EP3427010A1/de
Publication of WO2017153074A1 publication Critical patent/WO2017153074A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
    • G01D5/202—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils by movable a non-ferromagnetic conductive element

Definitions

  • the invention relates to a displacement sensor and a method for determining a relative position with this displacement sensor.
  • Measuring signal may be a frequency change of a resonant circuit comprising a measuring coil, which is arranged over an electrically conductive track.
  • the electrically conductive track changes its width along a measurement path such that an overlap of the measurement coil with the electrically conductive track changes along the measurement path.
  • the measuring coil induces a in the conductive track
  • Such a rotation angle sensor is shown for example in DE 10 2004 033 083 AI.
  • a tolerance-robust design usually requires the use of multiple measuring coils and a plurality of conductive tracks, which usually have an identical geometry, but are offset along the circumference of the object to be measured.
  • Embodiments of the present invention may advantageously enable to provide a tolerance sensor robust path sensor.
  • a displacement sensor can be
  • a displacement sensor may also be a rotation angle sensor with which a relative rotation of two components relative to one another about an axis of rotation can be determined.
  • the displacement sensor comprises an induction element with at least one electrically conductive measuring track element which runs along a measuring path; a sensor element which is movable relative to the induction element along the at least one measuring track element, wherein the sensor element comprises at least one measuring coil, which is arranged above the at least one measuring track element, wherein a
  • Overlapping of the at least one measuring coil and the at least one measuring track element along the measuring path changes such that an induction of the at least one measuring coil from a position of the measuring coil on the
  • Measuring path is dependent.
  • the induction element has two electrically conductive
  • Correction track elements which are adjacent to each other with respect to the measurement path are arranged, and the sensor element on two correction coils, with respect to the measuring path side by side over each one of the two
  • Correction track elements are arranged and their coverage is constant with the correction track elements along the measurement path.
  • the induction element can be, for example, a (approximately flexible) printed circuit board, on which the measuring track element and the correction track elements are formed as one or more conductor tracks.
  • This printed circuit board can be arranged on a component whose movement is to be measured, but it is also possible for the induction element to be provided directly by the component to be measured, if it is electrically conductive.
  • Measuring track element can be, for example, an increase on this component. Furthermore, the correction track elements can be provided directly by this component.
  • the one or more measuring track elements and the correction track elements can each be formed by mutually separate electrically conductive tracks. But it is also possible that one or more of the measuring track elements and / or correction track elements by only one electrically conductive track
  • measuring track elements may be provided from the edges of an electrically conductive track.
  • a correction track may be provided from the center of an electrically conductive track. It is possible for each coil (measuring coil and / or correction coil) to each have a conductive track on the induction element which provides the respective measuring track element. But it is also possible that several coils (measuring coil and / or correction coil) to each have a conductive track on the induction element which provides the respective measuring track element. But it is also possible that several measuring track elements may be provided from the edges of an electrically conductive track.
  • a correction track may be provided from the center of an electrically conductive track. It is possible for each coil (measuring coil and / or correction coil) to each have a conductive track on the induction element which provides the respective measuring track element. But it is also possible that several coil (measuring coil and / or correction coil) to each have a conductive track on the induction element which provides the respective measuring track element. But it is also possible that several coil (me
  • Track elements (measuring track elements and / or correction track elements) are provided by only one electrically conductive track.
  • the sensor element may be a printed circuit board in which the measuring coil and / or the correction coils are designed as planar coils.
  • the sensor element may also include other components, such as a controller that can induce an alternating current in the coils and / or measure a frequency of the alternating voltage in these coils. It is possible that the bases of the correction coils substantially correspond to those of the measuring coils. It is also possible that the
  • Correction coils have a smaller area than the measuring coil (s).
  • the induction element and the sensor element are movable relative to each other.
  • the induction element may be arranged on a shaft which is rotatable relative to the sensor element.
  • the sensor element and the induction element can also be fastened to components which are displaceable relative to one another in the direction of the measurement path.
  • the measuring coil (s) and the correction coils are in this case with a
  • the coils can each be connected to a resonant circuit whose
  • Frequency then changes with the respective inductance. This frequency can be evaluated as a measurement signal of the respective coil.
  • the one or more measuring track elements change in width along the measuring path, for example, the inductance of the associated measuring coil and thus the associated frequency changes. From the frequency can thus be closed to the position of the measuring coil along the measuring path.
  • the measurement signal can be changed by tilting or a change in distance, which can be corrected using the correction coils.
  • the correction coils are juxtaposed with respect to the measurement path, i. along an x-direction when the measurement path is along the y-direction. Since the overlap of a correction coil with the associated
  • Correction track element is independent of the position on the measuring path can, from the measurement signal of the correction coil (ie, the frequency of the AC voltage generated by the inductance of the correction coil) to the distance of Correction coil are closed to the correction track element. Based on the distance determined for each correction coil and the known one
  • Geometry of the displacement sensor (such as the distance of the correction coils from each other and from the one or more measuring coils) can be closed to the distance of the measuring coil (s) of the respective measuring track element. With this distance then, for example, the frequency of the measuring coil can be corrected. Overall, the influence of tolerances on the measurement result can be almost neutralized.
  • the displacement sensor can be manufactured inexpensively, since installation tolerances can be greater.
  • the measuring track element has a variable width along the measuring path. For example, that can
  • Measuring track element such change its width that results in a sinusoidal measurement signal with respect to the measurement path.
  • a sinusoidally dependent on the way frequency can be easily evaluated
  • Correction track elements along the measurement path to a constant width.
  • the correction track elements may be wider than the associated correction coils.
  • the correction coils along the measurement path can always be completely covered by the correction track elements.
  • the at least one measuring coil is arranged between the two correction coils. If the correction coils are arranged in the x-direction next to the measuring coil (s), the
  • the induction element has two electrically conductive measuring track elements, which are arranged next to one another along the measuring path with respect to the measuring path, wherein the
  • Sensor element has two measuring coils, which are arranged with respect to the measuring path side by side over the two electrically conductive tracks.
  • the displacement sensor may comprise two measuring coils lying next to one another in the x direction.
  • the two measuring track elements are shaped identically in sections and the measuring track elements are arranged offset from one another in such a way that signals are induced in the respective measuring coils which are shifted with respect to one Meßwegposition to each other.
  • the two measuring track elements may be formed such that one measuring coil generates a sinusoidal measuring signal along the measuring path and the other measuring coil generates a cosinusoidal measuring signal (i.e., a sinusoidal signal offset by 90 °). From the quotient, the position of the road can be calculated using the arctan function.
  • a correction track element and a measuring track element run next to one another and are formed from an electrically conductive track. It is possible for a measuring track element and a correction track element to be formed by the same conductive structure on the
  • Induction element can be provided.
  • the associated measuring coil and the associated correction coil can then be arranged successively along the measuring path.
  • an area of the correction coil may be smaller than that of the measuring coils.
  • the correction coil may cover only a part of the conductive track that does not have a variable width.
  • a measuring coil is formed from two sub-coils which are arranged next to each other with respect to the measuring path and which are arranged above two measuring track elements.
  • a correction coil may be arranged with respect to the measuring path (ie with respect to the x-direction) between the two partial coils. It is possible that the correction coil in the y-direction, ie along the measuring path, of the two sub-coils is spaced. This correction coil can be arranged above a correction track element, which is arranged between the two measuring track elements.
  • two adjacent measuring coils are divided in this way in two sub-coils.
  • a correction coil can be provided for each of these measuring coils which is arranged with respect to the x-direction between the two partial coils.
  • a particularly compact induction element can be realized, since for each combination of measuring coil and correction coil only one conductive track must be present (which then provides the two measuring track elements at the edge and the correction track element in the middle).
  • the correction coil in this case is made smaller than the measuring coil by the surface and / or its extent in the x-direction, since the measuring coil covers the entire width of the conductive track (both measuring track elements and the
  • correction track element The correction coil can be integrated to save space in the sensor element.
  • a correction track element is flanked by two measurement track elements and the correction track element and the measurement track elements are formed from an electrically conductive track.
  • the electrically conductive trace which is formed from the two measuring track elements (at their edge) and the correction track element (in the middle), can then have a minimum width that is equal to the width of the correction track element.
  • this minimum width may be about 30% greater than the width of the correction coils.
  • the displacement sensor is a
  • the induction element may be arranged along a linear measuring path.
  • the deflection depth of a two-wheeler can be measured.
  • a linear path sensor can be used in a brake system.
  • the gear position can be measured in an automatic transmission with such a linear displacement sensor.
  • the displacement sensor is a
  • Rotation angle sensor For example, the induction element on a shaft be arranged about a rotation axis. Such a rotation angle sensor can be used for the measurement of a camshaft position. Likewise, with such a rotation angle sensor, an angle of an eccentric shaft for a variable valve timing can be determined. Also, such a
  • Rotation angle sensor can be used as a rotor position sensor for an electric motor for an electric vehicle.
  • Another aspect of the invention relates to a method for determining a relative position of a sensor element and an induction element of a displacement sensor, as described above and below.
  • the method may be performed by a controller, which may also be arranged on the sensor element.
  • the method comprises: measuring two correction frequency signals of the two correction coils; Determining a distance of the respective correction coil from the induction element from the respective correction frequency signal; Determining a spacing of the at least one sensing coil from the inductor from the distances of the correction coils; Measuring at least one measurement frequency signal of the at least one measurement coil; Correcting the at least one measurement frequency signal based on the determined distance of the respective measurement coil; and
  • Computer program can be implemented, requires little computing power and can be mapped with a standard microcontroller.
  • Fig. 1 shows schematically a linear path sensor according to an embodiment of the invention.
  • Fig. 2 shows schematically a rotation angle sensor according to an embodiment of the invention.
  • Fig. 3 shows schematically an induction element for a displacement sensor according to an embodiment of the invention.
  • FIG. 4 shows a schematic cross section through a displacement sensor according to an embodiment of the invention.
  • Fig. 5 shows schematically an induction element for a displacement sensor according to an embodiment of the invention.
  • Fig. 6 shows schematically an induction element for a displacement sensor according to an embodiment of the invention.
  • Fig. 7 shows a schematic cross section through a displacement sensor according to an embodiment of the invention.
  • Fig. 8 is a diagram illustrating a dependency of a frequency on a distance between an inductor and a coil.
  • Fig. 9 is a diagram illustrating a dependency of a frequency on a measurement path.
  • FIG. 1 shows a displacement sensor 10 in the form of a linear displacement sensor 10a, which comprises a sensor element 12 and an induction element 14.
  • the induction element 14 may, for example, be a printed circuit board which is mounted on a component 16 whose relative position to the sensor element 12 is to be determined. Furthermore, it is possible that the induction element 14 is provided as a structure of an electrically conductive component 16.
  • the sensor element 12 which may also include a circuit board 17, there may be a controller 18, which, as will be described below, from a coil located in the sensor element 12 a position of the
  • Sensor element 12 along the measuring path M can determine.
  • the measurement path M is aligned along a y-direction, while a width direction is determined by the x-direction.
  • the distance of the sensor element 12 and the induction element 14 is determined in a z-direction.
  • FIG. 2 shows a displacement sensor 10 in the form of a rotation angle sensor 10b, which comprises a sensor element 12 and an induction element 14.
  • Sensor element 12 and the induction element 14 are rotatable relative to each other about an axis A. Since the induction element is wound around a shaft 16 ', this results in that the sensor element 12 and the induction element 14 along a (curved) measuring path M are mutually movable.
  • the sensor element 12 and the induction element 14 may be constructed the same as in FIG.
  • the induction element 14 may be a flexible printed circuit board and / or be provided by structuring the surface of the shaft 16 ', if this is electrically conductive.
  • axis A is aligned in the x direction.
  • the measurement path M is (locally) in the y-direction, assuming that the shaft 16 'rotates and the sensor element 12 is fixed.
  • FIG. 3 shows an induction element 14, which comprises, for example, a (flexible) printed circuit board 22 on which several electrically conductive trace elements 20a, 20b, 20c, 20d are used up as metallization layers or printed conductors. It is also possible that the tracks 20a, 20b, 20c, 20d are formed as elevations or depressions on an electrically conductive component 16, 16 '.
  • the induction element 14 is flat.
  • the rotation angle sensor 10b the induction element 14 is curved into a circle (if only a part of 360 ° is to be detected).
  • the track elements 20a to 20d are divided into two measuring track elements 20a, 20b and two correction track elements 20c, 20d.
  • the two measuring track elements 20a, 20b run next to one another and / or in the direction of the measuring path M (that is to say in the y direction). Furthermore, the measuring track elements 20a, 20b extend between the two correction track elements 20c, 20d, which also extend in the direction of the measuring path.
  • Measuring track elements 20a, 20b are each a measuring coil 24a, 24b. There is one each above the correction track elements 20c, 20d
  • Correction coil 24c, 24d The measuring coils 24a, 24b and the correction coils 24c, 24d are arranged side by side (in the x-direction), wherein the measuring coils 24a, 24b are arranged within the two correction coils 24c, 24d. Further, all coils 24a, 24b, 24c, 24d may be the same size or have the same area.
  • the measuring track elements 20a, 20b are structured in such a way that the
  • each measuring track element 20a, 20b in the x-direction changes along the y-direction so that the coverage of the associated measuring coil 24a, 24b changes along the y-direction or along the measuring path.
  • each measuring coil 24a, 24b generates a measuring signal which essentially depends on the position of the respective one
  • Measuring coil 24a, 24b on the measuring path M depends.
  • each measuring track element 20a, 20b can be curved outwards in sections (in the x-direction or in the opposite direction of the x-direction), so that an arcuate structure arises that repeats periodically.
  • each measuring track element 20a, 20b may be mirror-symmetrical with respect to a central axis running parallel to the measuring path.
  • the two measuring track elements 20a, 20b may be shaped identically in sections, but be displaced relative to one another along the measuring path M, in order in this way generate different measurement signals in the correction coils 24a, 24b. As shown, the measurement track elements 20a, 20b may be shifted by half a period, resulting in maximally different measurement signals.
  • correction track elements 20c, 20d need not be structured and may be independent of the rotation / displacement or the measurement path
  • Measuring signal depends on the distance (in the z-direction) of the respective correction coil 24c, 24d of the induction element 14.
  • FIG. 4 shows a cross section through a displacement sensor 10 (in the form of a rotation angle sensor 10b), on which a tilting of the sensor element 12 relative to the induction element 14 is shown.
  • the removal of the coils 24a to 24d deviates from a nominal distance Ung Znom, resulting in that the measurement signals of the measuring coils 24a, 24b are distorted, but can be corrected by the measurement signals of the correction coils 24c, 24d.
  • FIGS. 5 and 6 show further embodiments of FIG.
  • Induction elements 14 in which a correction track element 20c, 20d and measuring track elements 20a, 20b are integrated with each other.
  • Measuring track elements 20a, 20b are each provided by a separate electrically conductive track (i.e., a track separate from the other tracks).
  • electrically conductive traces which have the same shape as the measuring track elements 20a, 20b from FIG. 3, are in each case two
  • Measuring track elements 20a (or 20b) and a correction track element 20c (or 20d) divided. It is to be understood that this division is made by the arrangement of the coils 24a to 24d and the two measuring track elements 20a (or 20b) and the correction track element 20c (or 20d) can be connected together or can be provided by a single metallization layer. It However, it is also possible that the measuring track elements 20a (or 20b) and the correction track element 20c (or 20d) are separated from each other.
  • each measuring track element 20a, 20b can be curved outward in sections (in the x-direction or in the opposite direction of the x-direction), so that an arcuate structure arises that repeats periodically.
  • the other edge can be straight or run parallel to the measuring path.
  • the width of the track formed from the measurement track elements 20a (or 20b) and the correction track element 20c (or 20d) may periodically change between a minimum width and a maximum width along the measurement path.
  • the minimum width may be the width of the correction track element 20c (or 20d).
  • the measuring coil 24a (or 24b) in the width direction (x direction) covers the associated measuring track elements 20a (or 20b) and
  • correction track elements 20c (or 20d) completely.
  • the measuring coil 24a (or 24b) can be as wide as the maximum width of the track formed from the associated track elements.
  • the correction coil 24c (or 24d) only covers the correction track element 20c (or 20d) in the width direction (x direction).
  • the correction coil 24c (or 24d) can be just as wide or slightly narrower than the minimum width of the track formed from the associated track elements.
  • the measuring coils 24a, 24b are arranged next to one another in the x-direction.
  • the correction coils are arranged side by side in the x-direction. In this case, the correction coils in the y-direction or in the direction of the measuring path M are spaced apart from the measuring coils 24a, 24b.
  • FIG. 6 shows a cross section through a displacement sensor 10 in the form of a linear position sensor with an induction element 14 and a coil structure from FIG. 6. Analogously to FIG. 4, it is shown that the removal of the coils 24a to 24d due to a tilting of one nominal distance z n0 m may differ.
  • FIG. 7 further shows that the measuring track elements 20a, 20b and the
  • Correction track elements 20c, 20d are arranged on the sensor element 12 facing side of the circuit board 22.
  • Rotation angle sensor 10b may have a structure according to FIGS. 3, 5 or 6.
  • the measuring coils 24a, 24b and the correction coils 24c, 24d may each be connected to a resonant circuit, which is excited by the controller 18 to oscillate.
  • the frequency of the respective resonant circuit depends on the inductance of the respective coil 24a to 24d, which in turn depends on the
  • the controller can run at runtime the frequencies of the two
  • Fig. 8 shows a diagram with the relationship between the frequency of a coil 24a to 24d and their distance from the induction element 14. From this context, which are interpolated for example in the controller 18 or as a table may be stored, the controller 18 may calculate a distance from a frequency (and vice versa).
  • the distances are determined for a, for example, of the distances z c.
  • this can be done via a linear interpolation.
  • the controller can now correct the measured frequency of the measuring coils.
  • Fig. 9 is a diagram showing the measuring signals of the measuring coils 24a, 24b as they are generated without tilting (i.e., when calibrated) by the measuring coils 24a, 24b.
  • f o is a minimum frequency that is generated when no overlap occurs (for example, when the inductor 14 is removed).
  • the minimum frequency f o depends on the coil geometry and resonant capacitance (and not on the distance and inductor 14) and can be determined by calibration.
  • fmin (znomi, 2) is the frequency at minimum coverage (at the
  • Nominal distance z n0 mi, 2) and f m ax (z n omi, 2) is the frequency at maximum
  • Correction coil 24b are defined by design and specimen scatter and can be determined by calibration. By methods of the entire measurement range during calibration, the control may the minimum frequency fmin (znomi, 2) and maximum frequency f and m ax (z n omi, 2) of each measuring coil 24a, 24b determine.
  • the controller 18 is now the (corrected) frequency of the respective measuring coil 24a, 24b at maximum coverage f m ax (e.g. a, b) in this Determine the distance. This can be done via the relationship shown in FIG. 8.
  • the controller 18 can then determine the position y on the measuring path.
  • the measuring track elements 20a, 20b may be shaped such that a sinusoidal measuring signal results via the measuring path M. Furthermore, the measuring track elements 20a, 20b can do so

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

Ein Wegsensor (10) umfasst ein Induktionselement (14) mit wenigstens einem elektrisch leitfähigen Messspurelement (20a, 20b), das entlang eines Messwegs (M) verläuft; ein Sensorelement (12), das relativ zu dem Induktionselement (14) entlang des wenigstens einen Messspurelements (20a, 20b) beweglich ist; wobei das Sensorelement (12) wenigstens eine Messspule (24a, 24b) umfasst, die über dem wenigstens einen Messspurelement (20a, 20b) angeordnet ist; wobei sich eine Überdeckung der wenigstens einen Messspule (24a, 24b) und des wenigstens einen Messspurelements (20a, 20b) entlang des Messwegs (M) derart ändert, dass eine Induktion der wenigstens einen Messspule (24a, 24b) von einer Position (y) der Messspule (24a, 24b) auf dem Messweg (M) abhängig ist; wobei das Induktionselement (14) zwei elektrisch leitfähige Korrekturspurelemente (20c, 20d) aufweist, die bezüglich des Messwegs (M) nebeneinander angeordnet sind; und wobei das Sensorelement (12) zwei Korrekturspulen (24c, 24d) aufweist, die bezüglich des Messwegs (M) nebeneinander über jeweils einem der beiden Korrekturspurelemente (20c, 20d) angeordnet sind und deren Überdeckung mit den Korrekturspurelementen (20c, 20d) entlang des Messwegs (M) konstant ist.

Description

Beschreibung
Kipptoleranter Wegsensor
Gebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft einen Wegsensor und ein Verfahren zum Bestimmen einer Relativposition mit diesem Wegsensor.
Stand der Technik Bekannt sind Drehwinkelsensoren, die auf dem Wirbelstromprinzip basieren. Das
Messsignal kann eine Frequenzänderung eines Schwingkreises sein, der eine Messspule umfasst, die über einer elektrisch leitfähigen Spur angeordnet ist. Die elektrisch leitfähige Spur ändert ihre Breite entlang eines Messwegs derart, dass sich eine Überdeckung der Messspule mit der elektrisch leitfähigen Spur entlang des Messwegs ändert. Die Messspule induziert in der leitfähigen Spur einen
Wirbelstrom, der zu einer Induktivitätsänderung der Messspule führt.
Ein derartiger Drehwinkelsensor ist beispielsweise in der DE 10 2004 033 083 AI dargestellt.
Eine toleranzrobuste Auslegung erfordert in der Regel den Einsatz von mehreren Messspulen und mehreren leitfähigen Spuren, die meistens eine identische Geometrie aufweisen, allerdings entlang des Umfangs des zu vermessenden Objektes versetzt angeordnet sind.
Neben der Bewegung in Messrichtung (wie etwa eine Drehung um eine x-Achse) kann es aufgrund von Toleranzen zu einer Verschiebung und zu
Abstandsänderungen zwischen der Messspule und der elektrisch leitfähigen Spur (d.h. zu einer Bewegung in x-Richtung und z-Richtung) kommen. Des Weiteren ist eine Verkippung um die y-Achse möglich. Eine Verkippung und eine Abstandsänderung können für das Messverfahren besonders kritisch sein, da der Wirbelstromeffekt eine starke Abstandsabhängigkeit aufweist.
Offenbarung der Erfindung
Vorteile der Erfindung
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung können in vorteilhafter Weise ermöglichen, einen gegenüber Toleranzen robusten Wegsensor bereitzustellen.
Ideen zu Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung können unter anderem als auf den nachfolgend beschriebenen Gedanken und Erkenntnissen beruhend angesehen werden. Ein Aspekt der Erfindung betrifft einen Wegsensor. Ein Wegsensor kann ein
Linearwegsensor sein, mit dem eine Relativposition zweier Bauelemente entlang eines geraden Messwegs bestimmt werden kann. Ein Wegsensor kann auch ein Drehwinkelsensor sein, mit dem eine relative Verdrehung zweier Bauelemente zueinander um eine Drehachse bestimmt werden kann.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst der Wegsensor ein Induktionselement mit wenigstens einem elektrisch leitfähigen Messspurelement, das entlang eines Messwegs verläuft; ein Sensorelement, das relativ zu dem Induktionselement entlang des wenigstens einen Messspurelements beweglich ist, wobei das Sensorelement wenigstens eine Messspule umfasst, die über dem wenigstens einen Messspurelement angeordnet ist, wobei sich eine
Überdeckung der wenigstens einen Messspule und des wenigstens einen Messspurelements entlang des Messwegs derart ändert, dass eine Induktion der wenigstens einen Messspule von einer Position der Messspule auf dem
Messweg abhängig ist.
Weiter weist das Induktionselement zwei elektrisch leitfähige
Korrekturspurelemente auf, die bezüglich des Messwegs nebeneinander angeordnet sind, und weist das Sensorelement zwei Korrekturspulen auf, die bezüglich des Messwegs nebeneinander über jeweils einem der beiden
Korrekturspurelemente angeordnet sind und deren Überdeckung mit den Korrekturspurelementen entlang des Messwegs konstant ist.
Das Induktionselement kann beispielsweise eine (in etwa flexible) Leiterplatte sein, auf dem das Messspurelement und die Korrekturspurelemente als eine oder mehrere Leiterbahnen ausgebildet sind. Diese Leiterplatte kann auf einem Bauteil, dessen Bewegung gemessen werden soll, angeordnet sein, Es ist aber auch möglich, dass das Induktionselement durch das zu vermessende Bauteil direkt bereitgestellt wird, wenn dieses elektrisch leitfähig ist. Das
Messspurelement kann beispielsweise eine Erhöhung auf diesem Bauteil sein. Weiter können die Korrekturspurelemente direkt durch dieses Bauteil bereitgestellt sein.
Das oder die Messspurelemente sowie die Korrekturspurelemente können jeweils durch voneinander getrennte elektrisch leitfähige Spuren gebildet sein. Es ist aber auch möglich, dass ein oder mehrere der Messspurelemente und/oder Korrekturspurelemente durch lediglich eine elektrisch leitfähige Spur
bereitgestellt werden. Ein oder zwei Messspurelemente können beispielsweise von den Rändern einer elektrisch leitfähigen Spur bereitgestellt werden. Eine Korrekturspur kann von der Mitte einer elektrisch leitfähigen Spur bereitgestellt werden. Es ist möglich, dass je Spule (Messspule und/oder Korrekturspule) jeweils eine leitfähige Spur auf dem Induktionselement vorhanden ist, die das jeweilige Messspurelement bereitstellt. Es ist aber auch möglich, dass mehrere
Spurelemente (Messspurelemente und/oder Korrekturspurelemente) von lediglich einer elektrisch leitfähigen Spur bereitgestellt werden.
Das Sensorelement kann eine Leiterplatte sein, in der die Messspule und/oder die Korrekturspulen als Planarspulen ausgebildet sind. Das Sensorelement kann auch weitere Bauelemente, wie etwa eine Steuerung, die einen Wechselstrom in den Spulen induzieren kann und/oder eine Frequenz der Wechselspannung in diesen Spulen messen kann, umfassen. Es ist möglich, dass die Grundflächen der Korrekturspulen im Wesentlichen denen der Messspulen entsprechen. Es ist auch möglich, dass die
Korrekturspulen eine kleinere Fläche aufweisen als die Messspule(n).
Das Induktionselement und das Sensorelement sind relativ zueinander beweglich. Beispielsweise kann das Induktionselement auf einer Welle angeordnet sein, die relativ zum Sensorelement drehbar ist. Auch können das Sensorelement und das Induktionselement an Bauteilen befestigt sein, die in Richtung des Messwegs zueinander verschiebbar sind.
Mit den Korrekturspulen kann eine Verkippung des Induktionselementes relativ zum Sensorelement und auch eine relative Abstandsänderung dieser beiden Elemente des Wegsensors ausgeglichen werden.
Die Messspule(n) und die Korrekturspulen werden dabei mit einer
Wechselspannung beaufschlagt, die in den zugehörigen Messspurelement(en) und Korrekturspurelementen einen Wirbelstrom induziert, und die somit die Induktivität der jeweiligen Spule (Messspule oder Korrekturspule) ändert. Die Spulen können jeweils mit einem Schwingkreis verbunden sein, dessen
Frequenz sich dann mit der jeweiligen Induktivität ändert. Diese Frequenz kann als Messsignal der jeweiligen Spule ausgewertet werden.
Da das oder die Messspurelemente sich beispielsweise entlang des Messwegs in ihrer Breite ändern, ändert sich die Induktivität der zugehörigen Messspule und damit die zugehörige Frequenz. Aus der Frequenz kann damit auf die Position der Messspule entlang des Messwegs geschlossen werden.
Da das Messsignal zusätzlich vom Abstand der Messspule von dem
Messspurelement abhängt (d.h. einer Entfernung in z-Richtung), kann durch Verkippung oder eine Abstandsänderung das Messsignal jedoch verändert werden, was mithilfe der Korrekturspulen korrigiert werden kann.
Die Korrekturspulen sind bezüglich des Messwegs nebeneinander angeordnet, d.h. entlang einer x-Richtung, wenn der Messweg entlang der y-Richtung verläuft. Da die Überdeckung einer Korrekturspule mit dem zugehörigen
Korrekturspurelement unabhängig von der Position auf dem Messweg ist, kann aus dem Messsignal der Korrekturspule (d.h. die durch die Induktivität der Korrekturspule erzeugte Frequenz der Wechselspannung) auf den Abstand der Korrekturspule zu dem Korrekturspurelement geschlossen werden. Basierend auf den für jede Korrekturspule bestimmten Abstand und der bekannten
Geometrie des Wegsensors (wie etwa der Abstand der Korrekturspulen voneinander und von der oder den Messspulen) kann auf den Abstand der Messspule(n) von dem jeweiligen Messspurelement geschlossen werden. Mit diesem Abstand kann dann beispielsweise die Frequenz der Messspule korrigiert werden. Insgesamt kann der Einfluss von Toleranzen auf das Messergebnis nahezu neutralisiert werden.
Mit dem Wegsensor kann eine Messgenauigkeit erhöht werden, da eine
Abstands- und Verkippungskorrektur durchgeführt werden kann. Weiter kann der Wegsensor kostengünstig hergestellt werden, da Einbautoleranzen größer sein können.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung weist das Messspurelement entlang des Messwegs eine variable Breite auf. Beispielsweise kann das
Messspurelement derartig seine Breite verändern, dass sich ein sinusförmiges Messsignal bezüglich des Messwegs ergibt. Eine sinusförmig vom Weg abhängige Frequenz kann besonders einfach ausgewertet werden
(beispielsweise durch Anwenden einer inversen trigonometrischen Funktion).
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung weisen die beiden
Korrekturspurelemente entlang des Messwegs eine konstante Breite auf. Die Korrekturspurelemente können breiter als die zugehörigen Korrekturspulen sein. Beispielsweise können die Korrekturspulen entlang des Messwegs immer von den Korrekturspurelementen komplett überdeckt sein.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist das wenigstens eine
Messspurelement zwischen den beiden Korrekturspurelementen angeordnet. Wenn die Korrekturspurelemente in x-Richtung (d.h. orthogonal zum Messweg in y-Richtung) außerhalb der Messspurelemente angeordnet sind, ergibt sich ein großer Abstand der Korrekturspulen in x-Richtung, wodurch die
Korrekturgenauigkeit erhöht wird.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist die wenigstens eine Messspule zwischen den beiden Korrekturspulen angeordnet. Werden die Korrekturspulen in x-Richtung neben der oder den Messspulen angeordnet, kann das
Sensorelement in y-Richtung, d.h. in Richtung des Messwegs, besonders kurz gehalten werden. Insgesamt kann sich bei minimal möglicher Bauform ein maximaler Abstand in x-Richtung ergeben.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung weist das Induktionselement zwei elektrisch leitfähige Messspurelemente auf, die bezüglich des Messwegs nebeneinander entlang des Messwegs angeordnet sind, wobei das
Sensorelement zwei Messspulen aufweist, die bezüglich des Messwegs nebeneinander über den beiden elektrisch leitfähigen Spuren angeordnet sind. Mit anderen Worten kann der Wegsensor zwei in x-Richtung nebeneinander liegende Messspulen umfassen.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung sind die beiden Messspurelemente abschnittsweise gleich geformt und sind die Messspurelemente derart zueinander versetzt angeordnet, dass in den jeweiligen Messspulen Signale induziert werden, die bezüglich einer Messwegposition zueinander verschoben sind. Beispielsweise können die beiden Messspurelemente so geformt sein, dass die eine Messspule ein sinusförmiges Messsignal entlang des Messwegs und die andere Messspule ein cosinusförmiges Messsignal (d.h. ein um 90° versetztes Sinussignal) erzeugt. Aus dem Quotienten kann mithilfe der arctan-Funktion die Wegposition berechnet werden.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung verlaufen ein Korrekturspurelement und ein Messspurelement nebeneinander und sind aus einer elektrisch leitfähigen Spur gebildet. Es ist möglich, dass ein Messspurelement und ein Korrekturspurelement durch die gleiche leitfähige Struktur auf dem
Induktionselement bereitgestellt werden. Die zugehörige Messspule und die zugehörige Korrekturspule können dann entlang des Messwegs aufeinander abfolgend angeordnet sein. In diesem Fall kann eine Fläche der Korrekturspule kleiner sein als die der Messspulen. Beispielsweise kann die Korrekturspule lediglich einen Teil der leitfähigen Spur überdecken, der keine variable Breite aufweist.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist eine Messspule aus zwei bezüglich des Messwegs nebeneinander beabstandet angeordneten Teilspulen gebildet, die über zwei Messspurelementen angeordnet sind. Eine Korrekturspule kann bezüglich des Messwegs (d.h. bezüglich der x-Richtung) zwischen den beiden Teilspulen angeordnet sein. Dabei ist es möglich, dass die Korrekturspule in y-Richtung, d.h. entlang des Messwegs, von den beiden Teilspulen beabstandet ist. Diese Korrekturspule kann über einem Korrekturspurelement angeordnet sein, das zwischen den beiden Messspurelementen angeordnet ist.
Es ist möglich, dass zwei nebeneinander angeordnete Messspulen auf diese Weise in jeweils zwei Teilspulen aufgeteilt sind. Weiter kann für jede dieser Messspulen eine Korrekturspule vorgesehen sein, die bezüglich der x-Richtung zwischen den beiden Teilspulen angeordnet ist. Auf diese Weise kann beispielsweise ein besonders kompaktes Induktionselement realisiert werden, da für jede Kombination aus Messspule und Korrekturspule lediglich eine leitfähige Spur vorhanden sein muss (die dann am Rand die zwei Messspurelemente und in der Mitte das Korrekturspurelement bereitstellt).
Die Korrekturspule ist in diesem Fall von der Fläche und/oder ihrer Erstreckung in x-Richtung kleiner als die Messspule ausgeführt, da die Messspule die ganze Breite der leitfähigen Spur (beide Messspurelemente und das
Korrekturspurelement) überdeckt. Die Korrekturspule kann platzsparend in das Sensorelement integriert werden.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist ein Korrekturspurelement von zwei Messspurelementen flankiert und das Korrekturspurelement und die Messspurelemente werden aus einer elektrisch leitfähigen Spur gebildet.
Die elektrisch leitfähige Spur, die aus den beiden Messspurelementen (an deren Rand) und dem Korrekturspurelement (in deren Mitte) gebildet ist, kann dann eine minimale Breite aufweisen, die gleich der Breite des Korrekturspurelements ist. Beispielsweise kann diese minimale Breite etwa 30% größer sein als die Breite der Korrekturspulen.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist der Wegsensor ein
Linearwegsensor. Beispielsweise kann das Induktionselement entlang einem linearen Messweg angeordnet sein. Mit dem Linearwegsensor kann
beispielsweise die Einfedertiefe eines Zweirads gemessen werden. Weiter kann ein derartiger Linearwegsensor bei einem Bremssystem zum Einsatz kommen. Auch kann die Gangposition bei einem Automatikgetriebe mit einem derartigen Linearwegsensor gemessen werden.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist der Wegsensor ein
Drehwinkelsensor. Beispielsweise kann das Induktionselement auf einer Welle um eine Drehachse angeordnet sein. Ein derartiger Drehwinkelsensor kann für die Messung einer Nockenwellenposition eingesetzt werden. Ebenso kann mit einem derartigen Drehwinkelsensor ein Winkel einer Exzenterwelle für eine variable Ventilverstellung bestimmt werden. Auch kann ein derartiger
Drehwinkelsensor als Rotorlagesensor für einen elektrischen Motor für ein Elektrofahrzeug eingesetzt werden.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen einer Relativposition eines Sensorelements und eines Induktionselements eines Wegsensors, so wie er obenstehend und untenstehend beschrieben ist.
Beispielsweise kann das Verfahren von einer Steuerung ausgeführt werden, die auch auf dem Sensorelement angeordnet sein kann.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das Verfahren: Messen von zwei Korrekturfrequenzsignalen der beiden Korrekturspulen; Bestimmen eines Abstands der jeweiligen Korrekturspule von dem Induktionselement aus dem jeweiligen Korrekturfrequenzsignal; Bestimmen eines Abstands der wenigstens einen Messspule von dem Induktionselement aus den Abständen der Korrekturspulen; Messen wenigstens eines Messfrequenzsignals der wenigstens einen Messspule; Korrigieren des wenigstens einen Messfrequenzsignals basierend auf dem bestimmten Abstand der jeweiligen Messspule; und
Bestimmen der Relativposition aus dem korrigierten wenigstens einem
Messfrequenzsignal.
Ein Algorithmus, der das Verfahren ausführt und in der Steuerung als
Computerprogramm implementiert sein kann, benötigt wenig Rechenleistung und kann mit einem Standard-Mikrocontroller abgebildet werden.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Nachfolgend werden Ausführungsformen der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, wobei weder die Zeichnungen noch die Beschreibung als die Erfindung einschränkend auszulegen sind.
Fig. 1 zeigt schematisch einen Linearwegsensor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. Fig. 2 zeigt schematisch einen Drehwinkelsensor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 3 zeigt schematisch ein Induktionselement für einen Wegsensor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 4 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Wegsensor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. Fig. 5 zeigt schematisch ein Induktionselement für einen Wegsensor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 6 zeigt schematisch ein Induktionselement für einen Wegsensor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 7 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Wegsensor gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 8 zeigt ein Diagramm, das eine Abhängigkeit einer Frequenz von einem Abstand zwischen einem Induktionselement und einer Spule illustriert.
Fig. 9 zeigt ein Diagramm, das eine Abhängigkeit einer Frequenz von einem Messweg illustriert.
Die Figuren sind lediglich schematisch und nicht maßstabsgetreu. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen in den Figuren gleiche oder gleichwirkende
Merkmale.
Ausführungsformen der Erfindung
Die Fig. 1 zeigt einen Wegsensor 10 in der Form eines Linearwegsensors 10a, der ein Sensorelement 12 und ein Induktionselement 14 umfasst. Das
Sensorelement 12 und das Induktionselement 14 sind relativ zueinander entlang eines Messwegs M verschiebbar. Der Aufbau des Sensorelements 12 und des Induktionselements 14 wird in Bezug auf die Fig. 3 bis 9 noch genauer erläutert. Das Induktionselement 14 kann beispielsweise eine Leiterplatte sein, die auf einem Bauteil 16 angebracht ist, dessen Relativposition zu dem Sensorelement 12 bestimmt werden soll. Weiter ist es möglich, dass das Induktionselement 14 als Struktur eines elektrisch leitfähigen Bauteils 16 bereitgestellt ist.
Auf dem Sensorelement 12, das auch eine Leiterplatte 17 umfassen kann, kann sich eine Steuerung 18 befinden, die, wie weiter unten noch beschrieben wird, aus im Sensorelement 12 befindlichen Spulen eine Wegposition des
Sensorelements 12 entlang dem Messweg M bestimmen kann.
In dieser und den folgenden Figuren ist der Messweg M entlang einer y-Richtung ausgerichtet, während eine Breitenrichtung durch die x-Richtung bestimmt wird. Der Abstand des Sensorelements 12 und des Induktionselements 14 wird in einer z-Richtung bestimmt.
Die Fig. 2 zeigt einen Wegsensor 10 in der Form eines Drehwinkelsensors 10b, der ein Sensorelement 12 und ein Induktionselement 14 umfasst. Das
Sensorelement 12 und das Induktionselement 14 sind relativ zueinander um eine Achse A drehbar. Da das Induktionselement um eine Welle 16' gewickelt ist, führt dies dazu, dass das Sensorelement 12 und das Induktionselement 14 entlang eines (gekrümmten) Messwegs M zueinander beweglich sind.
Das Sensorelement 12 und das Induktionselement 14 (falls von der Welle 16' in Gedanken abgewickelt) können genauso wie in der Fig. 1 aufgebaut sein.
Beispielsweise kann das Induktionselement 14 eine flexible Leiterplatte sein und/oder durch eine Strukturierung der Oberfläche der Welle 16' bereitgestellt sein, falls diese elektrisch leitfähig ist.
Bei der Fig. 1 ist die Achse A in x-Richtung ausgerichtet. Der Messweg M verläuft (lokal) in der y-Richtung, unter der Annahme, dass sich die Welle 16' dreht und das Sensorelement 12 fest steht.
Die Fig. 3 zeigt ein Induktionselement 14, das beispielsweise eine (flexible) Leiterplatte 22 umfasst, auf der mehrere elektrisch leitfähige Spurelemente 20a, 20b, 20c, 20d als Metallisierungsschichten bzw. Leiterbahnen aufgebraucht sind. Es ist auch möglich, dass die Spuren 20a, 20b, 20c, 20d als Erhebungen oder Vertiefungen auf einem elektrisch leitfähigen Bauteil 16, 16' gebildet sind. Bei dem Linearwegsensor 10a ist das Induktionselement 14 flach. Bei dem Drehwinkelsensor 10b ist das Induktionselement 14 zu einem Kreis bzw. zu einem Kreisbogen gekrümmt (falls nur ein Teil von 360° erfasst werden soll).
Die Spurelemente 20a bis 20d sind in zwei Messspurelemente 20a, 20b und zwei Korrekturspurelemente 20c, 20d unterteilt. Die beiden Messspurelemente 20a, 20b verlaufen nebeneinander und/oder in Richtung des Messwegs M (d.h. in y- Richtung). Weiter verlaufen die Messspurelemente 20a, 20b zwischen den beiden Korrekturspurelementen 20c, 20d, die auch in Richtung des Messwegs verlaufen.
Weiter befindet sich über jedem Spurelement 20a, 20b, 20c, 20d eine dem Spurelement zugeordnete Messspule 24a, 24b, 24c, 24d. Über den
Messspurelementen 20a, 20b befindet sich jeweils eine Messspule 24a, 24b. Über den Korrekturspurelementen 20c, 20d befindet sich jeweils eine
Korrekturspule 24c, 24d. Die Messspulen 24a, 24b und die Korrekturspulen 24c, 24d sind nebeneinander (in x-Richtung) angeordnet, wobei die Messspulen 24a, 24b innerhalb der beiden Korrekturspulen 24c, 24d angeordnet sind. Weiter können alle Spulen 24a, 24b, 24c, 24d gleich groß sein bzw. die gleiche Fläche aufweisen.
Die Messspurelemente 20a, 20b sind derart strukturiert, dass sich die
Überdeckung der zugehörigen Messspulen bei Drehung der Welle 16' bzw.
Verfahren des Bauteils 16 verändert. Die Breite jedes Messspurelements 20a, 20b in x-Richtung verändert sich dabei entlang der y-Richtung so, dass sich die Überdeckung der zugehörigen Messspule 24a, 24b entlang der y-Richtung bzw. entlang des Messwegs verändert. Auf diese Weise erzeugt jede Messspule 24a, 24b ein Messsignal, das im Wesentlichen von der Position der jeweiligen
Messspule 24a, 24b auf dem Messweg M abhängt.
Der Rand jedes Messspurelements 20a, 20b kann dabei abschnittsweise nach außen (in x-Richtung bzw. entgegen der x-Richtung) gekrümmt sein, so dass eine bogenförmige Struktur entsteht, die sich periodisch wiederholt. Auch kann jedes Messspurelement 20a, 20b bezüglich einer parallel zu dem Messweg verlaufenden Mittelachse spiegelsymmetrisch sein.
Die beiden Messspurelemente 20a, 20b können abschnittsweise gleich geformt sein, allerdings entlang des Messwegs M zueinander verschoben sein, um so unterschiedliche Messsignale in den Korrekturspulen 24a, 24b zu erzeugen. Wie gezeigt, können die Messspurelemente 20a, 20b um eine halbe Periode verschoben sein, was zu maximal unterschiedlichen Messsignalen führt.
Die Korrekturspurelemente 20c, 20d müssen nicht strukturiert sein und können eine von der Drehung/Verschiebung bzw. dem Messweg unabhängige
Geometrie aufweisen. Lediglich die Korrekturspulen 24c, 24d sollten entlang des Messwegs immer die gleiche Überdeckung mit den Korrekturspurelementen 20c, 20d aufweisen (beispielswiese eine vollständige Überdeckung). Auf diese Weise erzeugen die Korrekturspulen 24c, 24d ein vom Messweg unabhängiges
Messsignal, das allerdings von der Entfernung (in z-Richtung) der jeweiligen Korrekturspule 24c, 24d von dem Induktionselement 14 abhängt.
Es ist möglich, auf gesonderte Korrekturspurelemente 20c, 20d für die
Korrekturspulen 24c, 24d zu verzichten und die Korrekturspulen 24c, 24d über einer Fläche eines elektrisch leitfähigen Bauteils 16, 16' anzuordnen.
Die Fig. 4 zeigt einen Querschnitt durch einen Wegsensor 10 (in der Form eines Drehwinkelsensors 10b), an dem eine Verkippung des Sensorelements 12 gegenüber dem Induktionselement 14 gezeigt ist. Die Entfernung der Spulen 24a bis 24d weicht von einer nominalen Entfern Ung Znom ab, was dazu führt, dass die Messsignale der Messspulen 24a, 24b verfälscht werden, allerdings durch die Messsignale der Korrekturspulen 24c, 24d korrigiert werden können.
Die Fig. 5 und die Fig. 6 zeigen weitere Ausführungsformen von
Induktionselementen 14, bei denen ein Korrekturspurelement 20c, 20d und Messspurelemente 20a, 20b ineinander integriert sind.
Bei der Fig. 3 werden die Korrekturspurelemente 20c, 20d und
Messspurelemente 20a, 20b jeweils durch eine gesonderte elektrisch leitfähige Spur (d.h. eine von den anderen Spuren getrennte Spur) bereitgestellt. Bei den Fig. 5 und 6 werden elektrisch leitfähige Spuren, die die gleiche Form aufweisen wie die Messspurelemente 20a, 20b aus der Fig. 3, in jeweils zwei
Messspurelemente 20a (bzw. 20b) und ein Korrekturspurelement 20c (bzw. 20d) unterteilt. Es ist zu verstehen, dass diese Unterteilung durch die Anordnung der Spulen 24a bis 24d erfolgt und die beiden Messspurelemente 20a (bzw. 20b) und das Korrekturspurelement 20c (bzw. 20d) miteinander verbunden sein können bzw. von einer einzigen Metallisierungsschicht bereitgestellt werden können. Es ist jedoch auch möglich, dass die Messspurelemente 20a (bzw. 20b) und das Korrekturspurelement 20c (bzw. 20d) voneinander getrennt sind.
Genauso wie bei der Fig. 3 kann ein Rand jedes Messspurelements 20a, 20b dabei abschnittsweise nach außen (in x-Richtung bzw. entgegen der x-Richtung) gekrümmt sein, so dass eine bogenförmige Struktur entsteht, die sich periodisch wiederholt. Der andere Rand kann dabei gerade sein bzw. parallel zum Messweg verlaufen.
Insgesamt kann sich die Breite der aus den Messspurelementen 20a (bzw. 20b) und des Korrekturspurelements 20c (bzw. 20d) gebildeten Spur zwischen einer minimalen Breite und einer maximalen Breite entlang des Messwegs periodisch verändern. Die minimale Breite kann dabei die Breite des Korrekturspurelements 20c (bzw. 20d) sein.
Bei der Fig. 5 überdeckt die Messspule 24a (bzw. 24b) in Breitenrichtung (x- Richtung) die zugehörigen Messspurelemente 20a (bzw. 20b) und
Korrekturspurelemente 20c (bzw. 20d) vollständig. Die Messspule 24a (bzw. 24b) kann dabei genauso breit wie die maximale Breite der aus den zugehörigen Spurelementen gebildeten Spur sein.
Die Korrekturspule 24c (bzw. 24d) überdeckt in Breitenrichtung (x-Richtung) lediglich das Korrekturspurelement 20c (bzw. 20d). Die Korrekturspule 24c (bzw. 24d) kann dabei genauso breit oder etwas schmaler wie die minimale Breite der aus den zugehörigen Spurelementen gebildeten Spur sein.
Die Messspulen 24a, 24b sind in x-Richtung nebeneinander angeordnet. Auch die Korrekturspulen sind in x-Richtung nebeneinander angeordnet. Dabei sind die Korrekturspulen in y-Richtung bzw. in Richtung des Messwegs M von den Messspulen 24a, 24b beabstandet.
Bei der Fig. 6, bei der die Anordnung der Spulen 24a bis 24d und die Form der Korrekturspulen 24c, 24d genauso wie bei der Fig. 5 ist, ist jede der Messspulen 24a, 24b in jeweils zwei Teilspulen 26 unterteilt. Jede der Teilspulen 26 ist dabei in etwa so breit wie die maximale Breite des zugehörigen Messspurelements 20a bzw. 20b. Auf diese Weise kann der von einer Messspule 20a, 20b abgegebene Bereich des Messsignals erhöht werden. Insbesondere wird das minimale Messsignal reduziert gegenüber dem Aufbau aus der Fig. 4. Die Fig. 7 zeigt einen Querschnitt durch einen Wegsensor 10 in der Form eines Linearwegsensors mit einem Induktionselement 14 und einem Spulenaufbau aus der Fig. 6. Analog der Fig. 4 ist gezeigt, dass die Entfernung der Spulen 24a bis 24d aufgrund einer Verkippung von einer nominalen Entfernung zn0m abweichen kann.
Die Fig. 7 zeigt weiter, dass die Messspurelemente 20a, 20b und die
Korrekturspurelemente 20c, 20d auf der dem Sensorelement 12
gegenüberliegenden Seite der Leiterplatte 22 angeordnet sein können. Es ist auch möglich, dass die Messspurelemente 20a, 20b und die
Korrekturspurelemente 20c, 20d auf der dem Sensorelement 12 zugewandten Seite der Leiterplatte 22 angeordnet sind.
Es ist möglich, dass sowohl ein Linearwegsensor 10a als auch ein
Drehwinkelsensor 10b einen Aufbau entsprechend den Fig. 3, 5 oder 6 aufweisen können.
In Bezug auf die Fig. 8 und 9 wird ein Verfahren beschrieben, das die Steuerung 18 ausführen kann, um zu ermitteln, in welcher Position des Messwegs M sich das Sensorelement 12 in Bezug auf das Induktionselement 14 befindet.
Die Messspulen 24a, 24b und die Korrekturspulen 24c, 24d können mit jeweils einem Schwingkreis verbunden sein, der von der Steuerung 18 zum Schwingen angeregt wird. Die Frequenz des jeweiligen Schwingkreises hängt von der Induktivität der jeweiligen Spule 24a bis 24d ab, die wiederum von der
Überdeckung der jeweiligen Spule mit den ihr zugeordneten Spurelementen 20a bis 20d abhängt. Diese Frequenzen werden von der Steuerung 18 als
Messsignal erfasst.
Zunächst kann die Steuerung zur Laufzeit die Frequenzen der beiden
Korrekturspulen 24c, 24d messen und anhand dieser Frequenzen auf die Abstände zc, Zd (siehe Fig. 4, 7) zwischen dem Induktionselement 14 und der jeweiligen Korrekturspule 24c, 24d schließen. Fig. 8 zeigt ein Diagramm mit dem Zusammenhang zwischen der Frequenz einer Spule 24a bis 24d und deren Abstand von dem Induktionselement 14. Aus diesem Zusammenhang, der beispielsweise in der Steuerung 18 interpoliert werden oder als Tabelle abgespeichert sein kann, kann die Steuerung 18 aus einer Frequenz einen Abstand berechnen (und umgekehrt).
Aus der bekannten Geometrie des Wegsensors 10 und insbesondere den Positionen der Spulen 24a bis 24d in x-Richtung können aus den Abständen zc, Zd die Abstände za, Zb bestimmt werden. Bei der Ausführungsform der Fig. 4, bei der die Korrekturspulen 24c, 24d außen neben den Messspulen 24a, 24b platziert sind, kann dies über eine lineare Interpolation geschehen. Bei der Ausführungsform der Fig. 7 können die Abstände gleichgesetzt werden (za=Zd und Zb=Zd), da die Korrekturspule 24c, 24d bezüglich der x-Richtung an der gleichen Position wie die Messspule 24a, 24b angeordnet ist.
Mit den Abständen za, Zb kann die Steuerung nun jeweils die gemessene Frequenz der Messspulen korrigieren.
Fig. 9 zeigt ein Diagramm, das die Messsignale der Messspulen 24a, 24b zeigt, wie sie ohne Verkippung (d.h. bei Kalibrierung) von den Messspulen 24a, 24b erzeugt werden.
Dabei ist fo eine minimale Frequenz, die erzeugt wird, wenn keine Überdeckung erfolgt (beispielsweise, wenn das Induktionselement 14 entfernt ist). Die minimale Frequenz fo ist von der Spulengeometrie und der Resonanzkapazität abhängig (und nicht vom Abstand und vom Induktionselement 14) und kann durch Kalibrierung ermittelt werden. fmin(znomi,2) ist die Frequenz bei minimaler Überdeckung (bei dem
Nominalabstand zn0mi,2) und fmax(znomi,2) ist die Frequenz bei maximaler
Überdeckung (bei dem Nominalabstand zn0mi,2). Der nominale Abstand zn0mi der ersten Korrekturspule 24a und der nominale Abstand zn0m2 der zweiten
Korrekturspule 24b sind durch Design und Exemplarstreuung definiert und können durch Kalibrierung ermittelt werden. Durch Verfahren des gesamten Messbereiches beim Kalibrieren kann die Steuerung die minimale Frequenz fmin(znomi,2) und maximale Frequenz und fmax(znomi,2) jeder Messspule 24a,24b ermitteln.
Aus dem mittels den Korrekturspulen 24c, 24d ermittelten Abstand za, Zb der Messspulen 24a, 24b kann die Steuerung 18 nun die (korrigierte) Frequenz der jeweiligen Messspule 24a, 24b bei maximaler Überdeckung fmax(za,b) bei diesem Abstand bestimmen. Dies kann über den in der Fig. 8 gezeigten Zusammenhang geschehen.
Die gemessenen Frequenzen fmi,2 der Messspulen können nun mit diesen korrigierten maximalen Frequenzen fmax(za,b) korrigiert werden, beispielsweise mit einer linearen Korrektur gemäß fcorl,2 = (fml,2_fo) / (fmax(za,bHo) * fmax(znoml,2)
Aus den korrigierten Frequenzen fcori,2 kann die Steuerung 18 dann die Position y auf dem Messweg bestimmen. Beispielsweise können die Messspurelemente 20a, 20b so geformt sein, dass sich ein sinusförmiges Messsignal über den Messweg M ergibt. Weiter können die Messspurelemente 20a, 20b so
zueinander in Richtung des Messwegs M versetzt sein, dass sich um 90° verschobene Messsignale ergeben. Dann kann mittels y = arctan( fCori/ fcor2 ) die Wegposition bzw. der Drehwinkel y aus den korrigierten Frequenzen fcori,2 berechnet werden. Durch die Korrektur stimmt dieses Ergebnis mit einem vergleichbaren Ergebnis zum Zeitpunkt einer Kalibrierung überein.
Abschließend ist darauf hinzuweisen, dass Begriffe wie„aufweisend",
„umfassend" etc. keine anderen Elemente oder Schritte ausschließen und Begriffe wie„eine" oder„ein" keine Vielzahl ausschließen. Bezugszeichen in den Ansprüchen sind nicht als Einschränkung anzusehen.

Claims

Ansprüche
1. Wegsensor (10), umfassend:
ein Induktionselement (14) mit wenigstens einem elektrisch leitfähigen Messspurelement (20a, 20b), das entlang eines Messwegs (M) verläuft; ein Sensorelement (12), das relativ zu dem Induktionselement (14) entlang des wenigstens einen Messspurelements (20a, 20b) beweglich ist;
wobei das Sensorelement (12) wenigstens eine Messspule (24a, 24b) umfasst, die über dem wenigstens einen Messspurelement (20a, 20b) angeordnet ist;
wobei sich eine Überdeckung der wenigstens einen Messspule (24a, 24b) und des wenigstens einen Messspurelements (20a, 20b) entlang des Messwegs (M) derart ändert, dass eine Induktion der wenigstens einen Messspule (24a, 24b) von einer Position (y) der Messspule (24a, 24b) auf dem Messweg (M) abhängig ist;
dadurch gekennzeichnet, dass
das Induktionselement (14) zwei elektrisch leitfähige Korrekturspurelemente (20c, 20d) aufweist, die bezüglich des Messwegs (M) nebeneinander angeordnet sind; und
das Sensorelement (12) zwei Korrekturspulen (24c, 24d) aufweist, die bezüglich des Messwegs (M) nebeneinander über jeweils einem der beiden
Korrekturspurelemente (20c, 20d) angeordnet sind und deren Überdeckung mit den Korrekturspurelementen (20c, 20d) entlang des Messwegs (M) konstant ist. 2. Wegsensor (10) nach Anspruch 1,
wobei das wenigstens eine Messspurelement (20a, 20b) entlang des Messwegs (M) eine variable Breite aufweist; und/oder
wobei die beiden Korrekturspurelemente (20c, 20d) entlang des Messwegs (M) eine konstante Breite aufweisen.
3. Wegsensor (10) nach Anspruch 1 oder 2,
wobei das wenigstens eine Messspurelement (20a, 20b) zwischen den beiden Korrekturspurelementen (20c, 20d) angeordnet ist; und/oder wobei die wenigstens eine Messspule (24a, 24b) zwischen den beiden Korrekturspulen (24c, 24d) angeordnet ist.
Wegsensor (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei das Induktionselement (14) zwei elektrisch leitfähige
Messspurelemente (20a, 20b) aufweist, die bezüglich des Messwegs (M) nebeneinander entlang des Messwegs (M) angeordnet sind;
wobei das Sensorelement (12) zwei Messspulen (24a, 24b) aufweist, die bezüglich des Messwegs (M) nebeneinander über den beiden elektrisch leitfähigen Messspurelementen (20a, 20b) angeordnet sind.
Wegsensor (10) nach Anspruch 4,
wobei die beiden Messspurelemente (20a, 20b) abschnittsweise gleich geformt sind und die Messspurelemente (20a, 20b) derart zueinander versetzt angeordnet sind, dass in den jeweiligen Messspulen (24a, 24b) Messsignale induziert werden, die bezüglich einer Messwegposition (y) zueinander verschoben sind.
Wegsensor (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei ein Korrekturspurelement (20c, 20d) und ein Messspurelement (20a, 20b) nebeneinander verlaufen und aus einer elektrisch leitfähigen Spur gebildet sind; und/oder
wobei eine Messspule (24a, 24b) und eine Korrekturspule (24c, 24d) entlang des Messwegs (M) aufeinander abfolgend angeordnet sind.
Wegsensor (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei eine Messspule (24, 24b) aus zwei beabstandet bezüglich des Messwegs nebeneinander angeordneten Teilspulen (26) gebildet ist, die über zwei Messspurelementen (20a, 20b) angeordnet sind;
wobei eine Korrekturspule (24c, 24d) bezüglich des Messwegs (M) zwischen den beiden Teilspulen (26) angeordnet ist und die Korrekturspule (24c, 24d) über einem Korrekturspurelement (20c, 20d) angeordnet ist, das zwischen den beiden Messspurelementen (20a, 20b) angeordnet ist; und/oder wobei ein Korrekturspurelement (20c, 20d) von zwei Messspurelementen (20a, 20b) flankiert ist und das Korrekturspurelement (20c, 20d) und die Messspurelemente (20a, 20b) aus einer elektrisch leitfähigen Spur gebildet sind.
8. Wegsensor (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
wobei der Wegsensor ein Linearwegsensor (10a) ist und das
Induktionselement (14) entlang einem linearen Messweg (M) angeordnet ist.
9. Wegsensor (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
wobei der Wegsensor ein Drehwinkelsensor (10b) ist und das
Induktionselement (14) auf einer Welle (16') um eine Drehachse (A) angeordnet ist.
10. Verfahren zum Bestimmen einer Relativposition (y) eines Sensorelements (12) und eines Induktionselements (14) eines Wegsensors (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das Verfahren umfassend:
Messen von zwei Korrekturfrequenzsignalen der beiden Korrekturspulen (24c, 24d);
Bestimmen eines Abstands der jeweiligen Korrekturspule (24c, 24d) von dem Induktionselement (14) aus dem jeweiligen Korrekturfrequenzsignal; Bestimmen eines Abstands der wenigstens einen Messspule (24a, 24b) von dem Induktionselement (14) aus den Abständen der Korrekturspulen (24c, 24d);
Messen wenigstens eines Messfrequenzsignals der wenigstens einen Messspule (24a, 24b);
Korrigieren des wenigstens einen Messfrequenzsignals basierend auf dem bestimmten Abstand der jeweiligen Messspule (24a, 24b);
Bestimmen der Relativposition (y) aus dem korrigierten wenigstens einem
Messfrequenzsignal.
PCT/EP2017/050988 2016-03-11 2017-01-18 Kipptoleranter wegsensor WO2017153074A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018547881A JP6714716B2 (ja) 2016-03-11 2017-01-18 傾き耐性のある距離センサ
US16/084,178 US11118940B2 (en) 2016-03-11 2017-01-18 Tilt-tolerant displacement sensor
CN201780016002.1A CN108779991B (zh) 2016-03-11 2017-01-18 倾斜容差式位移传感器
EP17700556.8A EP3427010A1 (de) 2016-03-11 2017-01-18 Kipptoleranter wegsensor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016204016.2 2016-03-11
DE102016204016.2A DE102016204016A1 (de) 2016-03-11 2016-03-11 Kipptoleranter Wegsensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2017153074A1 true WO2017153074A1 (de) 2017-09-14

Family

ID=57821993

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2017/050988 WO2017153074A1 (de) 2016-03-11 2017-01-18 Kipptoleranter wegsensor

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11118940B2 (de)
EP (1) EP3427010A1 (de)
JP (1) JP6714716B2 (de)
CN (1) CN108779991B (de)
DE (1) DE102016204016A1 (de)
WO (1) WO2017153074A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019224585A1 (en) 2018-05-24 2019-11-28 Bosch Car Multimedia Portugal, S.A. Linear position sensor

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102019213387A1 (de) * 2019-09-04 2021-03-04 Zf Friedrichshafen Ag Induktive Verschiebungs- und/oder Positionserfassung
DE102020119967A1 (de) 2020-07-29 2022-02-03 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Sensoranordnung zur Linearwegerfassung

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004033083A1 (de) 2004-07-08 2006-01-26 Robert Bosch Gmbh Wirbelstromsensor zur kontinuierlichen Weg- oder Winkelmessung
US20070001666A1 (en) * 2005-06-27 2007-01-04 Lee Joong K Linear and rotational inductive position sensor
EP1884749A1 (de) * 2006-07-31 2008-02-06 Cherry GmbH Induktive Positions- oder Winkelmesseinrichtung

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0158110U (de) 1987-10-07 1989-04-11
EP0555507B1 (de) * 1992-02-14 1995-01-11 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Wegmesseinrichtung
JP4643782B2 (ja) 1999-12-10 2011-03-02 株式会社キーエンス 渦電流式変位計とそれを用いた距離測定方法
DE10025661A1 (de) * 2000-05-24 2001-12-06 Balluff Gebhard Feinmech Wegmeßsystem
US6720760B2 (en) * 2001-11-14 2004-04-13 Mitutoyo Corporation Induced current position transducers having improved scale loop structures
DE102004025156B3 (de) * 2004-05-21 2005-07-21 Knorr-Bremse Systeme für Nutzfahrzeuge GmbH Verfahren zur Fehlerkorrektur eines Wegsensorsignals
JP2006194720A (ja) 2005-01-13 2006-07-27 Mitsutoyo Corp セパレート型エンコーダ、及び、その取付方法
GB0501803D0 (en) * 2005-01-28 2005-03-09 Howard Mark A Position encoder
EP2038616B1 (de) * 2006-06-07 2013-01-02 Vogt Electronic Components GmbH Positionskodierer und verfahren zum detektieren der position eines beweglichen teils einer maschine
DE102006026543B4 (de) * 2006-06-07 2010-02-04 Vogt Electronic Components Gmbh Lagegeber und zugehöriges Verfahren zum Erfassen einer Position eines Läufers einer Maschine
US7719263B2 (en) 2006-11-22 2010-05-18 Zf Friedrichshafen Ag Inductive position measuring device or goniometer
WO2009115764A1 (en) * 2008-03-19 2009-09-24 Sagentia Sensors Limited Processing circuitry
DE102010027017A1 (de) * 2010-07-08 2012-01-12 Siemens Aktiengesellschaft Induktive Sensoreinrichtung sowie induktiver Näherungssensor mit einer induktiven Sensoreinrichtung
JP2013246051A (ja) 2012-05-25 2013-12-09 Panasonic Corp 変位検出装置
JP2015001375A (ja) 2013-06-12 2015-01-05 ＤＢＬａｂ合同会社 回転角度検出装置
US10775199B2 (en) * 2016-08-24 2020-09-15 Mitutoyo Corporation Winding and scale configuration for inductive position encoder

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004033083A1 (de) 2004-07-08 2006-01-26 Robert Bosch Gmbh Wirbelstromsensor zur kontinuierlichen Weg- oder Winkelmessung
US20070001666A1 (en) * 2005-06-27 2007-01-04 Lee Joong K Linear and rotational inductive position sensor
EP1884749A1 (de) * 2006-07-31 2008-02-06 Cherry GmbH Induktive Positions- oder Winkelmesseinrichtung

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019224585A1 (en) 2018-05-24 2019-11-28 Bosch Car Multimedia Portugal, S.A. Linear position sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JP6714716B2 (ja) 2020-06-24
CN108779991A (zh) 2018-11-09
CN108779991B (zh) 2021-05-28
US11118940B2 (en) 2021-09-14
US20200292355A1 (en) 2020-09-17
JP2019507884A (ja) 2019-03-22
DE102016204016A1 (de) 2017-09-14
EP3427010A1 (de) 2019-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3420318B1 (de) Drehwinkelsensor
EP1688709B1 (de) Verfahren zur Bestimmung einer aktuellen Bahnposition eines Betätigungselements einer induktiven Sensoreinheit
EP3365634B1 (de) Drehwinkelsensor
EP0334854B1 (de) Messeinrichtung für drehwinkel und/oder drehgeschwindigkeit
EP2225142B1 (de) Absolut messende lenkwinkelsensoranordnung
EP1672323A2 (de) Sensoreinheit mit versetzten Betätigungsflächen
EP2979102B1 (de) Fremdmagnetfeld-unempfindlicher hallsensor
DE102013224098A1 (de) Sensoranordnung zur Erfassung von Drehwinkeln an einem rotierenden Bauteil in einem Fahrzeug
DE112012002160T5 (de) Drehwinkelsensor
EP2820382A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur redundanten, absoluten positionsbestimmung eines beweglichen körpers
EP3390970B1 (de) Linearwegsensor
EP3645977A1 (de) Sensorsystem zur bestimmung mindestens einer rotationseigenschaft eines rotierenden elements
DE60215414T2 (de) Apparat zur Erfassung einer relativen Winkelpositionsänderung
DE102017222063A1 (de) Induktive Positionsmesseinrichtung
EP3427010A1 (de) Kipptoleranter wegsensor
EP3458812B1 (de) Kipptoleranter linearwegsensor
WO2020030322A1 (de) Sensorsystem zur bestimmung mindestens einer rotationseigenschaft eines rotierenden elements
WO2022156931A1 (de) Induktiver linearwegsensor
EP3746746A1 (de) Induktiver winkelsensor für eine kraftfahrzeuglenkung
WO2016045816A1 (de) Sensoranordnung zur weg- und/oder winkelmessung
DE102008064544B4 (de) Positions-/Wegmesssystem und Verfahren zur Bestimmung der Position eines Gebers
DE102015226743A1 (de) Mechanisches Bauteil und entsprechende Betriebs- und Herstellungsverfahren
DE102008000630A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung und Überprüfung einer Messeinrichtung
DE102022114508A1 (de) Induktiver Linearwegsensor sowie Fahrzeug mit einem induktiven Linearwegsensor
DE10132666A1 (de) Positionssensor eines Ventils

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2018547881

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2017700556

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2017700556

Country of ref document: EP

Effective date: 20181011

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17700556

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1