WO2017057740A1 - 異物検査装置 - Google Patents

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WO2017057740A1
WO2017057740A1 PCT/JP2016/079144 JP2016079144W WO2017057740A1 WO 2017057740 A1 WO2017057740 A1 WO 2017057740A1 JP 2016079144 W JP2016079144 W JP 2016079144W WO 2017057740 A1 WO2017057740 A1 WO 2017057740A1
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WO
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ray
inspection
unit
main body
shielding curtain
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PCT/JP2016/079144
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English (en)
French (fr)
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彰 市原
孝浩 中島
Original Assignee
株式会社イシダ
日新電子工業株式会社
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/18—Investigating the presence of flaws defects or foreign matter
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables

Definitions

  • This disclosure relates to a foreign matter inspection apparatus.
  • Patent Document 1 X-ray inspection for detecting foreign matter contained in an object to be inspected using X-ray permeability and foreign matter contained in the object to be inspected using an interaction between a magnetic field and a metal are disclosed.
  • a foreign substance inspection apparatus capable of performing both of metal detection and the detection is described.
  • the foreign substance inspection apparatus as described above is required to reduce the size of the apparatus.
  • the X-ray shielding curtain installed to suppress the external leakage of X-rays generated in the X-ray inspection unit is brought closer to the metal detection unit, when the X-ray shielding curtain swings, There is a possibility of adversely affecting the inspection accuracy of the metal detector.
  • an object of the present disclosure is to provide a foreign substance inspection apparatus capable of achieving both reduction in apparatus size and improvement in inspection accuracy.
  • a foreign matter inspection apparatus uses a transport unit that transports an object to be inspected, and X that detects foreign matter contained in the object being transported by the transport unit using X-ray transparency.
  • X-ray inspection unit metal detection unit for detecting foreign matter contained in inspection object being transported by transport unit using line inspection unit, interaction between magnetic field and metal, at least part of transport unit,
  • a housing having a metal detection portion therein, a carrying-in port for the inspection object by the conveyance unit, and a carrying-out port for the inspection object by the conveyance unit; and an upper end provided at the fixed end with respect to the housing And a first X-ray shielding curtain whose lower end is a free end, and a second X-ray shielding curtain which is provided at the carry-out port and whose upper end is a fixed end with respect to the casing and whose lower end is a free end.
  • the transport section passes through the A first X-ray having a disposed main body portion, a first hood portion provided on the carry-in side with respect to the main body portion, and a second hood portion provided on the carry-out side with respect to the main body portion.
  • the length of the shielding curtain is smaller than the distance from the upper end of the first X-ray shielding curtain to the main body through the first hood portion, and the length of the second X-ray shielding curtain is the second from the upper end of the second X-ray shielding curtain. 2 It is smaller than the distance to the main body through the hood.
  • each X-ray shielding curtain swings due to the inspection object being conveyed by the conveyance unit, etc., each X-ray shielding curtain is in contact with the main body of the case of the metal detection unit. Is prevented. Therefore, even if a layout is adopted in which each X-ray shielding curtain approaches the metal detection unit, it is possible to suppress the influence of the shaking motion of each X-ray shielding curtain on the magnetic field of the metal detection unit. Therefore, according to this foreign matter inspection apparatus, it is possible to achieve both reduction in the apparatus size and improvement in inspection accuracy.
  • the length of the first X-ray shielding curtain is greater than the distance from the upper end of the first X-ray shielding curtain to the first hood portion, and the length of the second X-ray shielding curtain is The distance from the upper end of the second X-ray shielding curtain to the second hood portion may be larger.
  • the first hood portion may be provided with a first opening through which the X-ray of the X-ray inspection portion passes.
  • the second hood portion may be provided with a second opening so as to exhibit a shape symmetrical to the first hood portion with the main body portion interposed therebetween.
  • a foreign matter inspection apparatus uses a transport unit that transports an object to be inspected and X that detects foreign matter contained in the object being transported by the transport unit using X-ray transparency.
  • X-ray inspection unit metal detection unit for detecting foreign matter contained in inspection object being transported by transport unit using line inspection unit, interaction between magnetic field and metal, at least part of transport unit,
  • a housing having a metal detection part housed therein, a carry-in port for the inspection object by the conveyance part, and a carry-out port for the inspection object by the conveyance part, wherein the conveyance part passes through the metal detection part
  • the case includes a main body portion in which a search coil is disposed, a first hood portion provided on one side of the carry-in port side and the carry-out port side with respect to the main body portion, and a carry-in port side with respect to the main body portion.
  • a second hood portion provided on the other side of the carry-out side, and the first hood portion
  • the first opening through which the X-ray of the X-ray inspection unit passes is provided, and the second hood is provided with a second opening so as to exhibit a shape symmetrical to the first hood with the main body interposed therebetween. ing.
  • a hood portion (first hood portion, second hood portion) is provided on each of the carry-in side and the carry-out side with respect to the main body portion in which the search coil is disposed.
  • the first hood portion is provided with a first opening through which the X-ray of the X-ray inspection portion passes
  • the second hood portion has a shape symmetrical to the first hood portion with the main body portion interposed therebetween. A second opening is provided.
  • the first hood portion is provided on the carry-in side with respect to the main body portion, and the second hood portion is provided on the carry-out side with respect to the main body portion.
  • X-rays that require a longer processing time than the inspection by the metal detection unit by disposing the first hood portion provided with the first opening through which the X-rays of the X-ray inspection unit pass on the inlet side with respect to the main body unit Inspection by the inspection unit can be started in advance, and the processing time of the entire apparatus can be shortened.
  • the first hood portion has a pair of light-transmitting / receiving sensor lights passing through the first hood portion so as to be symmetrical when viewed from the conveyance direction of the inspection object by the conveyance unit.
  • a third opening may be provided, and the second hood portion may be provided with a pair of fourth openings so as to exhibit a shape symmetrical to the first hood portion with the body portion interposed therebetween.
  • FIG. 1 is a front view of a foreign matter inspection apparatus according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating the internal configuration and control system of the foreign matter inspection apparatus shown in FIG.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram of a main configuration of the X-ray inspection unit and the metal detection unit of FIG.
  • FIG. 4 is a perspective view of main components of the X-ray inspection unit and the metal detection unit of FIG.
  • FIG. 5 is a front view of the main components of the X-ray inspection unit, metal detection unit, and X-ray shielding curtain of FIG.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG.
  • FIG. 7 is a sectional view taken along line VII-VII in FIG.
  • FIG. 1 is a front view of a foreign matter inspection apparatus 1 according to an embodiment.
  • a foreign matter inspection device 1 shown in FIG. 1 is a device that detects foreign matter contained in an inspection object.
  • the inspected object is, for example, food.
  • the foreign object inspection apparatus 1 performs X-ray inspection and metal detection while conveying the inspection object in the interior thereof, and inspects whether or not the inspection object contains foreign objects.
  • X-ray inspection is a technique for detecting foreign matter contained in an object to be inspected using X-ray transparency, and is realized by the X-ray inspection unit 2 (see FIG. 2).
  • metal detection is a technique for detecting a foreign substance contained in an inspection object using an interaction between a magnetic field and metal, and is realized by the metal detection unit 3 (see FIG. 2). In metal detection, a metal foreign object can be detected. Details of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 will be described later.
  • the foreign matter inspection apparatus 1 has a housing 4 in which a space is defined.
  • the housing 4 accommodates the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 therein.
  • the housing 4 shields X-rays generated by the X-ray inspection unit 2 and suppresses external leakage of X-rays.
  • the housing 4 is made of, for example, stainless steel.
  • the housing 4 has a box shape in this embodiment.
  • An opening 4 a that communicates with the inside of the housing 4 is formed on the right side surface of the housing 4.
  • an opening 4 b communicating with the inside of the housing 4 is formed on the left side surface of the housing 4.
  • the object to be inspected is carried into the inside of the housing 4 from the opening 4a and inspected, and is carried out of the housing 4 through the opening 4b. That is, the opening 4a serves as an inspection object carry-in port, and the opening 4b serves as an inspection object carry-out port.
  • an upper door 40 and a lower door 41 that open and close the housing 4 are provided on the front surface of the housing 4.
  • the upper door 40 and the lower door 41 have a hinged door structure, for example. By opening or closing the upper door 40 or the lower door 41, at least a part of an X-ray inspection unit 2 and a metal detection unit 3 described later are exposed to the outside.
  • the upper door 40 and the lower door 41 are made of, for example, stainless steel.
  • a display 5 and an operation switch 6 are provided on the front surface of the upper door 40.
  • the display 5 is a display device having both a display function and an input function, and is, for example, a touch panel.
  • the display 5 displays the result of X-ray inspection and metal detection, and also displays an operation screen for setting various parameters related to metal detection and X-ray inspection.
  • the operation switch 6 is a power switch for the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3.
  • the housing 4 is supported by a support base 7.
  • a notification unit 8 and a cooler 9 are provided on the upper surface of the housing 4.
  • the notification unit 8 notifies of foreign matter contamination and the operating state of the device.
  • the notification unit 8 includes a first notification device 81 corresponding to the X-ray inspection unit 2 and a second notification device 82 corresponding to the metal detection unit 3.
  • the cooler 9 sends cool air to the inside of the housing 4 and adjusts the temperature of the devices arranged inside the housing 4.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating the internal configuration and control system of the foreign matter inspection apparatus 1 shown in FIG.
  • the inside of the housing 4 is inspected with a substrate chamber T ⁇ b> 1 in which a part of an X-ray generator to be described later and a control board of a component are arranged, and an object S to be inspected. It is divided into the inspection room T2 to be performed. The temperature of the substrate chamber T1 is adjusted by the cooler 9 described above.
  • a conveyor (conveying unit) 10 for conveying the inspection object S is disposed.
  • the conveyor 10 is a roller belt conveyor in the present embodiment, and extends in the horizontal direction inside the housing 4 with one end located in the opening 4a and the other end located in the opening 4b. is doing. That is, the housing
  • the conveyor 10 according to the present embodiment carries the inspection object S into the housing 4 through the opening 4a and carries the inspection object S out of the housing 4 through the opening 4b.
  • An X-ray shielding curtain (first X-ray shielding curtain) 42 is disposed in the opening 4a.
  • an X-ray shielding curtain (second X-ray shielding curtain) 43 is disposed in the opening 4b.
  • the X-ray shielding curtains 42 and 43 have upper ends that are fixed to the housing 4 and lower ends that are free ends.
  • the X-ray shielding curtains 42 and 43 shield X-rays generated by the X-ray inspection unit 2 and suppress external leakage of X-rays.
  • the X-ray shielding curtains 42 and 43 are made of, for example, a flexible material containing a tungsten metal material.
  • the loading conveyor 11 may be disposed on the right side of the conveyor 10 and the unloading conveyor 12 may be disposed on the left side of the conveyor 10. Further, the carry-out conveyor 12 may have a function of distributing the inspection object S.
  • an annular case 31 having a through hole 31a for allowing the inspection object S to pass therethrough is disposed in the inspection room T2.
  • the conveyor 10 penetrates the case 31 through the through hole 31a.
  • the inspection object S passes through the through hole 31 a of the case 31 by the conveyor 10, and X-ray inspection and metal detection are sequentially performed in the case 31.
  • the case 31 is made of, for example, stainless steel.
  • the X-ray inspection unit 2 includes an X-ray inspection control unit 20, an X-ray generator 21, and an X-ray detector 22.
  • the X-ray generator 21 includes an X-ray source that generates X-rays and a slit mechanism.
  • the X-ray detector 22 detects X-rays generated by the X-ray generator 21.
  • the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22 are arranged so as to face each other so as to sandwich the conveyor 10 and the case 31 from above and below.
  • an X-ray source and the like are disposed in the substrate chamber T1, and a mechanism for irradiating X-rays is disposed in the examination chamber T2.
  • a mechanism for irradiating X-rays is disposed in the examination chamber T2.
  • the X-ray detector 22 for example, a line sensor in which a plurality of X-ray detection sensors are arranged in parallel in the front-rear direction is used.
  • the X-ray detector 22 is accommodated in the substrate case 23 in order to reduce X-ray leakage.
  • the substrate case 23 is provided with a slit 23a (see FIG. 4) in order to allow X-rays to reach the X-ray detector 22.
  • the X-ray inspection control unit 20 temporarily stores an input / output interface I / O for inputting / outputting signals to / from the outside, a ROM (Read Only Memory) in which a program and information for processing are stored, and data. It has a storage medium such as RAM (Random Access Memory) and HDD (Hard Disk Drive), a CPU (Central Processing Unit), a communication circuit, and the like.
  • the X-ray inspection control unit 20 stores input data in the RAM based on a signal output from the CPU, loads a program stored in the ROM into the RAM, and executes the program loaded in the RAM. The functions described later are realized.
  • the X-ray inspection control unit 20 is disposed in the substrate chamber T1 and connected to the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22.
  • the X-ray inspection control unit 20 is connected to the display 5 and receives operation information from an operator via an operation screen.
  • the X-ray inspection control unit 20 sets operation profiles of the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22 based on the operation information, and controls operations of the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22.
  • the X-ray inspection control unit 20 detects the inspection object S using the laser sensor 24 disposed upstream of the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22, the X-ray inspection control unit 20 inspects the inspection object S. Start.
  • the X-ray inspection control unit 20 controls the X-ray generator 21 to irradiate the inspection object S being conveyed by the conveyor 10 with X-rays.
  • the X-ray detector 22 measures the X-ray transmission amount of X-rays that have passed through the inspection object S, and outputs the measured X-ray transmission amount to the X-ray inspection control unit 20.
  • the X-ray inspection control unit 20 generates an X-ray transmission image in which the X-ray transmission amount acquired in time series is reflected in the pixel value. Then, the X-ray inspection control unit 20 detects the foreign matter by analyzing the X-ray transmission image using an image processing technique. For example, the X-ray inspection control unit 20 determines whether there is an image region in which the difference from the reference transmittance of the inspection object S is a predetermined value or more based on the pixel value of the X-ray transmission image. The X-ray inspection control unit 20 determines that a foreign object has been detected when there is an image region in which the difference from the reference transmittance of the inspection object S is a predetermined value or more.
  • the X-ray inspection control unit 20 displays the result data of the X-ray inspection on the display 5 or stores the result data in the storage unit in response to a request from the worker. Further, the X-ray inspection control unit 20 indicates that when the X-ray generator 21 and the X-ray detector 22 are operating normally, the device relating to the X-ray inspection is operating using the first alarm 81. To the workers. Further, when it is determined that a foreign object has been detected, the X-ray inspection control unit 20 notifies the worker that the foreign object has been detected using the first notification device 81.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram of the main components of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 of FIG.
  • FIG. 4 is a perspective view of the main components of the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 of FIG.
  • the case 31 includes a main body portion 32, a first hood portion 33, and a second hood portion 34.
  • the first hood portion 33 is provided on the opening 4 a side (loading side) with respect to the main body portion 32.
  • the second hood part 34 is provided on the opening part 4 b side (the outlet side) with respect to the main body part 32.
  • the through hole 31 a of the case 31 described above is defined by the inner walls of the main body portion 32, the first hood portion 33, and the second hood portion 34.
  • An X-ray passage slit (first opening) 33 a that allows X-rays to pass is formed on the upper surface of the first hood portion 33 so as to be positioned below the X-ray generator 21.
  • An X-ray passage slit (first opening) 33b that allows X-rays to pass through is formed on the lower surface of the first hood portion 33 so as to face the X-ray passage slit 33a.
  • the X-ray detector 22 is disposed below the X-ray passage slit 33b.
  • a slit 33c is provided on the downstream side (the main body portion 32 side) of the X-ray passage slits 33a and 33b.
  • a laser sensor 38 is disposed in the slit 33c. The laser sensor 38 irradiates the inspection object S on the conveyor 10 with laser through the slit 33c.
  • the metal detection unit 3 includes a metal detection control unit 30, an annular transmission coil 35 that is a search coil, and annular reception coils 36 and 37 that are search coils.
  • the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 are formed of a conductive material such as metal and are disposed inside the main body 32 of the case 31.
  • the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 are arranged coaxially with the extending direction of the through hole 31a. That is, the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 are disposed so as to surround the through hole 31a.
  • the inspection object S passes through the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 by the conveyor 10.
  • the transmission coil 35 is disposed between the reception coils 36 and 37.
  • the receiving coils 36 and 37 are differentially connected to each other and arranged symmetrically with respect to the transmitting coil 35.
  • the two receiving coils 36 and 37 have the same flux linkage.
  • the transmission coil 35 is configured to be energized and generates magnetic flux.
  • a voltage is excited in each of the receiving coils 36 and 37 by electromagnetic induction of a magnetic field generated by the transmitting coil 35.
  • the first hood portion 33 and the second hood portion 34 shield external leakage of the magnetic field generated by the transmission coil 35 and entry of an external magnetic field.
  • the metal detection control unit 30 includes an input / output interface I / O for inputting / outputting signals from / to the outside, a ROM storing programs and information for processing, a RAM for temporarily storing data, an HDD, etc. Storage medium, CPU, and communication circuit.
  • the metal detection control unit 30 stores input data in the RAM based on a signal output from the CPU, loads a program stored in the ROM into the RAM, and executes the program loaded into the RAM, which will be described later. Realize the function to do.
  • the metal detection control unit 30 is disposed in the substrate chamber T1 and connected to the X-ray inspection control unit 20, and receives operation information from the worker input to the operation screen of the display 5 via the X-ray inspection control unit 20. Accept.
  • the metal detection control unit 30 sets operation profiles of the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 based on the operation information.
  • the metal detection control unit 30 detects the inspection object S using the laser sensor 38 disposed on the upstream side of the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37, the metal detection control unit 30 starts metal detection of the inspection object S. .
  • the metal detection control unit 30 supplies an alternating excitation current to the transmission coil 35 to generate a magnetic flux.
  • the magnetic flux generated by the transmission coil 35 passes through the two reception coils 36 and 37, and a voltage is excited in each of the reception coils 36 and 37 by electromagnetic induction.
  • the metal detection control unit 30 acquires the output voltage of the differential connection of the receiving coils 36 and 37 and determines metal detection. When the differential connection output voltage is 0, the metal detection control unit 30 determines that a metal foreign object is not detected. On the other hand, when the differential connection output voltage is not zero, the metal detection control unit 30 determines that a metal foreign object has been detected.
  • the metal detection control unit 30 displays the metal detection result data on the display 5 or stores the result data in the storage unit in response to a request from the worker. In addition, when the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 are operating normally, the metal detection control unit 30 informs the worker that the metal detection device is operating using the second alarm 82. Inform. Furthermore, when the metal detection control unit 30 determines that a foreign object has been detected, the metal detection control unit 30 notifies the worker that the foreign object has been detected using the second notification device 82.
  • the case 31 may be held by a vibration isolation table 39 (anti-vibration tables 39a and 39b) for the purpose of improving the vibration resistance characteristics.
  • the X-ray inspection unit 2 and the metal detection unit 3 described above are configured to be independently operable. That is, the foreign substance inspection apparatus 1 can perform not only both the X-ray inspection and the metal detection but also any one of the X-ray inspection and the metal detection.
  • the X-ray inspection unit 2 since the X-ray inspection unit 2 performs display control of the display 5, the operation screen of the metal detection unit 3 is displayed on the display 5 when the X-ray inspection unit 2 is stopped. Not. For this reason, a sub-display (not shown) connected to the metal detection unit 3 is disposed inside the housing 4.
  • the metal detection unit 3 receives operation information via the sub display and displays result data or the like on the sub display.
  • the positional relationship between the case 31 of the metal detection unit 3 and the X-ray shielding curtains 42 and 43 will be described.
  • the object to be inspected by the conveyor 10 is located at the shortest distance d1 between the upper end 42 a of the X-ray shielding curtain 42 and the first hood portion 33.
  • a value obtained by adding the length d2 of the first hood portion 33 along the conveying direction of S is the distance from the upper end 42a of the X-ray shielding curtain 42 to the main body portion 32 via the first hood portion 33.
  • the length L1 of the X-ray shielding curtain 42 (that is, the distance from the upper end 42a to the lower end 42b) L1 is the distance from the upper end 42a of the X-ray shielding curtain 42 to the main body portion 32 via the first hood portion 33, That is, it is smaller than d1 + d2. This means that the X-ray shielding curtain 42 does not contact the main body portion 32 even if the X-ray shielding curtain 42 swings.
  • the length L1 of the X-ray shielding curtain 42 is larger than the distance d1 from the upper end 42a of the X-ray shielding curtain 42 to the first hood portion 33. This means that the X-ray shielding curtain 42 contacts the first hood portion 33 when the X-ray shielding curtain 42 swings.
  • the illustration of the laser sensor 24 is omitted.
  • the shortest distance d3 between the upper end 43 a of the X-ray shielding curtain 43 and the second hood portion 34 is set in the transport direction of the inspection object S by the conveyor 10.
  • a value obtained by adding the length d4 of the second hood part 34 along the distance is a distance from the upper end 43a of the X-ray shielding curtain 43 to the main body part 32 via the second hood part 34.
  • the length L2 of the X-ray shielding curtain 43 (that is, the distance from the upper end 43a to the lower end 43b) L2 is the distance from the upper end 43a of the X-ray shielding curtain 43 to the main body portion 32 via the second hood portion 34, That is, it is smaller than d3 + d4. This means that even if the X-ray shielding curtain 43 swings, the X-ray shielding curtain 43 does not contact the main body portion 32.
  • the length L2 of the X-ray shielding curtain 43 is larger than the distance d3 from the upper end 43a of the X-ray shielding curtain 43 to the second hood portion 34. This means that the X-ray shielding curtain 43 contacts the second hood portion 34 when the X-ray shielding curtain 43 swings.
  • a pair of X-rays through which X-rays from the X-ray inspection unit 2 pass are passed through the first hood portion 33 provided on the opening 4 a side (loading side) with respect to the main body portion 32.
  • Passing slits (first openings) 33a and 33b are provided.
  • the pair of X-ray passage slits 33a and 33b face each other in the vertical direction.
  • the first hood portion 33 is provided with a pair of slits (third openings) 33c and 33d through which light (laser) of a light projecting / receiving sensor including the laser sensor 38 passes.
  • the pair of slits 33 c and 33 d face each other in the horizontal direction perpendicular to the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10.
  • the first hood portion 33 has a left-right symmetry (left-right symmetry with respect to a line passing through the center of the first hood portion 33 along the vertical direction) when viewed from the conveyance direction of the inspection object S by the conveyor 10.
  • the first hood portion 33 is provided with a pair of X-ray passage slits 33a and 33b and a pair of slits 33c and 33d so as to be symmetric when viewed from the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10. It has been.
  • the second hood part 34 provided on the opening 4 b side (the carry-out side) with respect to the main body part 32 has a symmetrical shape with the first hood part 33 across the main body part 32.
  • the second hood part 34 has a slit (second opening) 34a corresponding to the X-ray passage slit 33a and an X-ray passage slit so as to exhibit a shape symmetrical to the first hood part 33 with the main body part 32 interposed therebetween.
  • a slit (second opening) 34b corresponding to 33b, a slit (fourth opening) 34c corresponding to the slit 33c, and a slit (fourth opening) 34d corresponding to the slit 33d are provided.
  • the second hood portion 34 has a symmetrical shape (symmetrical with respect to a line passing through the center of the second hood portion 34 along the vertical direction) when viewed from the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10.
  • the second hood portion 34 has a shape symmetrical to the first hood portion 33 with the main body portion 32 sandwiched between the second hood portion 34 and the body portion 32 when viewed from the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10.
  • a pair of slits 34a, 34b and a pair of slits 34c, 34d are provided.
  • the length L1 of the X-ray shielding curtain 42 is smaller than the distance d1 + d2 from the upper end 42a of the X-ray shielding curtain 42 to the main body portion 32 via the first hood portion 33.
  • the length L2 of the X-ray shielding curtain 43 is smaller than the distance d3 + d4 from the upper end 43a of the X-ray shielding curtain 43 to the main body part 32 via the second hood part 34. Therefore, even if the X-ray shielding curtains 42 and 43 are shaken due to the inspection object S being conveyed on the conveyor 10, etc., the X-ray shielding curtains 42 and 43 are the main body of the case 31 of the metal detector 3. Contact with the portion 32 is prevented.
  • each X-ray shielding curtain 42, 43 approaches the metal detection unit 3
  • the influence of the swinging movement of each X-ray shielding curtain 42, 43 on the magnetic field of the metal detection unit 3 is suppressed. Can do. Therefore, according to the foreign substance inspection apparatus 1, it is possible to achieve both reduction in the apparatus size and improvement in inspection accuracy.
  • the length L1 of the X-ray shielding curtain 42 is larger than the distance d1 from the upper end 42a of the X-ray shielding curtain 42 to the first hood 33, and the length L2 of the X-ray shielding curtain 43 is obtained. Is larger than the distance d3 from the upper end 43a of the X-ray shielding curtain 43 to the second hood portion 34. Thereby, it can suppress more reliably that each X-ray shielding curtain 42 and 43 leaves
  • the first hood portion 33 is provided with X-ray passage slits 33a and 33b through which the X-ray of the X-ray inspection portion 2 passes.
  • the second hood part 34 is provided with slits 34a, 34b, 34c so as to exhibit a shape symmetrical to the first hood part 33 with the main body part 32 interposed therebetween.
  • the balance of the magnetic field of the metal detection part 3 worsens by the influence of a slit, and can suppress the fall of the test
  • the X-ray shielding curtain 42 does not satisfy the condition that “the length of the X-ray shielding curtain 42 is larger than the distance from the upper end 42a of the X-ray shielding curtain 42 to the first hood portion 33”.
  • the X-ray shielding curtain 42 arranged on the upstream side in the conveyance direction of the inspection object S by the conveyor 10 may not satisfy the condition.
  • the X-ray shielding curtain 43 does not satisfy the condition that “the length of the X-ray shielding curtain 43 is larger than the distance from the upper end 43a of the X-ray shielding curtain 43 to the second hood portion 34”.
  • the X-ray shielding curtain 43 arranged on the downstream side in the conveyance direction of the inspection object S by the conveyor 10 may not satisfy the condition.
  • the foreign matter inspection apparatus 1 may be configured as follows. That is, the foreign object inspection apparatus 1 includes a conveyor 10, an X-ray inspection unit 2, a metal detection unit 3, and a housing 4 having openings 4a and 4b.
  • the first hood portion 33 is provided with X-ray passage slits 33a and 33b through which the X-rays of the X-ray inspection portion 2 pass, and the second hood portion 34 is provided with a first hood portion 33 and a second hood portion 34.
  • Slits 34 a and 34 b may be provided in the hood part 34 so as to exhibit a shape symmetrical to the first hood part 33 with the main body part 32 interposed therebetween.
  • variable foreign matter inspection apparatus 1 In this foreign matter inspection apparatus 1 (hereinafter, referred to as “variant foreign matter inspection apparatus 1”), the opening 4a side and the opening 4b with respect to the main body 32 in which the transmission coil 35 and the reception coils 36 and 37 are disposed.
  • a first hood portion 33 and a second hood portion 34 are provided on the side.
  • X-ray passage slits 33a and 33b through which the X-ray of the X-ray inspection unit 2 passes are provided in the first hood portion 33, and the first hood portion is sandwiched between the main body portion 32 and the second hood portion 34.
  • Slits 34 a and 34 b are provided so as to have a symmetrical shape with respect to 33. Thereby, it can prevent that the balance of the magnetic field of the metal detection part 3 worsens by the influence of X-ray passage slits 33a and 33b, and can suppress the fall of the test
  • the inspection object S is carried into the housing 4 through the opening 4b, inspected inside the housing 4, and carried out of the housing 4 through the opening 4a. Also good. That is, the opening 4b may be a carry-in port for the inspection object S, and the opening 4a may be a carry-out port for the inspection object S.
  • the first hood portion 33 is provided on the opening (carriage entrance) 4 a side with respect to the main body portion 32, and the second hood portion 34 is opposed to the main body portion 32. May be provided on the opening (carrying outlet) 4b side.
  • a pair of light beams from the light projecting and receiving sensors pass through the first hood portion 33 so as to be symmetric when viewed from the conveying direction of the inspection object S by the conveyor 10.
  • the slits 33c and 33d are provided, and the second hood part 34 may be provided with a pair of slits 34c and 34d so as to exhibit a shape symmetrical to the first hood part 33 with the main body part 32 interposed therebetween.
  • SYMBOLS 1 Foreign substance inspection apparatus, 2 ... X-ray inspection part, 3 ... Metal detection part, 4 ... Housing

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Abstract

異物検査装置は、搬送部と、Ｘ線検査部と、金属検出部と、搬入口及び搬出口を有する筐体と、搬入口に設けられた第１Ｘ線遮蔽カーテンと、搬出口に設けられた第２Ｘ線遮蔽カーテンと、を備える。ケースは、サーチコイルが内部に配置された本体部と、本体部に対して搬入口側に設けられた第１フード部と、本体部に対して搬出口側に設けられた第２フード部と、を有する。第１Ｘ線遮蔽カーテンの長さは、その上端から第１フード部を介して本体部に至る距離よりも小さい。第２Ｘ線遮蔽カーテンの長さは、その上端から第２フード部を介して本体部に至る距離よりも小さい。

Description

異物検査装置
　本開示は、異物検査装置に関する。
　特許文献１には、Ｘ線の透過性を利用して被検査物に含まれる異物を検出するＸ線検査と、磁界と金属との相互作用を利用して被検査物に含まれる異物を検出する金属検出との両方を行うことができる異物検査装置が記載されている。
特開２０１５－２８４６５号公報
　上述したような異物検査装置には、装置サイズの小型化が求められる。しかし、例えば、Ｘ線検査部で発生するＸ線の外部漏洩を抑制するために設置されるＸ線遮蔽カーテンが、金属検出部に無為に近付けられると、Ｘ線遮蔽カーテンが揺れ動いた際に、金属検出部の検査精度に悪影響を与えるおそれがある。
　そこで、本開示は、装置サイズの小型化及び検査精度の向上の両立を図ることができる異物検査装置を提供することを目的とする。
　本開示の一形態に係る異物検査装置は、被検査物を搬送する搬送部と、Ｘ線の透過性を利用して、搬送部で搬送されている被検査物に含まれる異物を検出するＸ線検査部と、磁界と金属との相互作用を利用して、搬送部で搬送されている被検査物に含まれる異物を検出する金属検出部と、搬送部の少なくとも一部、Ｘ線検査部、及び金属検出部を内部に収容し、搬送部による被検査物の搬入口、及び搬送部による被検査物の搬出口を有する筐体と、搬入口に設けられ、上端が筐体に対する固定端であり且つ下端が自由端である第１Ｘ線遮蔽カーテンと、搬出口に設けられ、上端が筐体に対する固定端であり且つ下端が自由端である第２Ｘ線遮蔽カーテンと、を備え、金属検出部において搬送部が通過しているケースは、サーチコイルが内部に配置された本体部と、本体部に対して搬入口側に設けられた第１フード部と、本体部に対して搬出口側に設けられた第２フード部と、を有し、第１Ｘ線遮蔽カーテンの長さは、第１Ｘ線遮蔽カーテンの上端から第１フード部を介して本体部に至る距離よりも小さく、第２Ｘ線遮蔽カーテンの長さは、第２Ｘ線遮蔽カーテンの上端から第２フード部を介して本体部に至る距離よりも小さい。
　この異物検査装置では、搬送部で搬送されている被検査物が接触すること等によって各Ｘ線遮蔽カーテンが揺れ動いても、各Ｘ線遮蔽カーテンが金属検出部のケースの本体部に接触することが防止される。そのため、金属検出部に各Ｘ線遮蔽カーテンが近付くようなレイアウトを採ったとしても、各Ｘ線遮蔽カーテンの揺れ動きが金属検出部の磁界に与える影響を抑制することができる。よって、この異物検査装置によれば、装置サイズの小型化及び検査精度の向上の両立を図ることが可能となる。
　本開示の一形態に係る異物検査装置では、第１Ｘ線遮蔽カーテンの長さは、第１Ｘ線遮蔽カーテンの上端から第１フード部に至る距離よりも大きく、第２Ｘ線遮蔽カーテンの長さは、第２Ｘ線遮蔽カーテンの上端から第２フード部に至る距離よりも大きくてもよい。これにより、金属検出部から各Ｘ線遮蔽カーテンが離れて装置サイズが大型化するのをより確実に抑制することができる。
　本開示の一形態に係る異物検査装置では、第１フード部には、Ｘ線検査部のＸ線が通過する第１開口が設けられていてもよい。これにより、金属検出部による検査よりも長い処理時間を要するＸ線検査部による検査を先行して開始させ、装置全体としての処理時間を短縮させることができる。
　本開示の一形態に係る異物検査装置では、第２フード部には、本体部を挟んで第１フード部と対称の形状を呈するように第２開口が設けられていてもよい。これにより、開口の影響で金属検出部の磁界のバランスが悪くなるのを防止し、金属検出部による検査精度の低下を抑制することができる。
　本開示の他形態に係る異物検査装置は、被検査物を搬送する搬送部と、Ｘ線の透過性を利用して、搬送部で搬送されている被検査物に含まれる異物を検出するＸ線検査部と、磁界と金属との相互作用を利用して、搬送部で搬送されている被検査物に含まれる異物を検出する金属検出部と、搬送部の少なくとも一部、Ｘ線検査部、及び金属検出部を内部に収容し、搬送部による被検査物の搬入口、及び搬送部による被検査物の搬出口を有する筐体と、を備え、金属検出部において搬送部が通過しているケースは、サーチコイルが内部に配置された本体部と、本体部に対して搬入口側及び搬出口側の一方の側に設けられた第１フード部と、本体部に対して搬入口側及び搬出口側の他方の側に設けられた第２フード部と、を有し、第１フード部には、Ｘ線検査部のＸ線が通過する第１開口が設けられており、第２フード部には、本体部を挟んで第１フード部と対称の形状を呈するように第２開口が設けられている。
　この異物検査装置では、サーチコイルが内部に配置された本体部に対して搬入口側及び搬出口側のそれぞれにフード部（第１フード部、第２フード部）が設けられている。これにより、例えば筐体を小型化したとしても、金属検出部の磁界に外乱の影響が及ぶのを抑制することができる。更に、第１フード部に、Ｘ線検査部のＸ線が通過する第１開口が設けられており、第２フード部に、本体部を挟んで第１フード部と対称の形状を呈するように第２開口が設けられている。これにより、第１開口の影響で金属検出部の磁界のバランスが悪くなるのを防止し、金属検出部による検査精度の低下を抑制することができる。よって、この異物検査装置によれば、装置サイズの小型化及び検査精度の向上の両立を図ることが可能となる。
　本開示の他形態に係る異物検査装置では、第１フード部は、本体部に対して搬入口側に設けられており、第２フード部は、本体部に対して搬出口側に設けられていてもよい。Ｘ線検査部のＸ線が通過する第１開口が設けられた第１フード部を本体部に対して搬入口側に配置することで、金属検出部による検査よりも長い処理時間を要するＸ線検査部による検査を先行して開始させ、装置全体としての処理時間を短縮させることができる。
　本開示の他形態に係る異物検査装置では、第１フード部には、搬送部による被検査物の搬送方向から見た場合に左右対称となるように、投受光センサの光が通過する一対の第３開口が設けられており、第２フード部には、本体部を挟んで第１フード部と対称の形状を呈するように一対の第４開口が設けられていてもよい。これにより、第３開口の影響で金属検出部の磁界のバランスが悪くなるのを防止し、金属検出部による検査精度の低下を抑制することができる。
　本開示によれば、装置サイズの小型化及び検査精度の向上の両立を図ることができる異物検査装置を提供することが可能となる。
図１は、実施形態に係る異物検査装置の正面図である。 図２は、図１に示される異物検査装置の内部構成及び制御系を説明する概念図である。 図３は、図２のＸ線検査部及び金属検出部の主要構成の説明図である。 図４は、図２のＸ線検査部及び金属検出部の主要構成の斜視図である。 図５は、図２のＸ線検査部、金属検出部、及びＸ線遮蔽カーテンの主要構成の正面図である。 図６は、図５のVI－VI線に沿っての断面図である。 図７は、図５のVII－VII線に沿っての断面図である。
　以下、図面を参照して、本開示の実施形態について説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
　図１は実施形態に係る異物検査装置１の正面図である。図１に示される異物検査装置１は、被検査物に含まれる異物を検出する装置である。被検査物は例えば食品である。異物検査装置１は、その内部において被検査物を搬送しつつＸ線検査及び金属検出を行い、被検査物に異物が含まれるか否かを検査する。
　Ｘ線検査は、Ｘ線の透過性を利用して被検査物に含まれる異物を検出する手法であり、Ｘ線検査部２（図２参照）によって実現される。Ｘ線検査では、被検査物とは異なるＸ線透過性を有する異物を検出することができる。一方、金属検出は、磁界と金属との相互作用を利用して被検査物に含まれる異物を検出する手法であり、金属検出部３（図２参照）によって実現される。金属検出では金属異物を検出することができる。Ｘ線検査部２及び金属検出部３の詳細については後述する。
　異物検査装置１は、その内部に空間が画成された筐体４を有する。筐体４は、Ｘ線検査部２及び金属検出部３を内部に収容する。筐体４は、Ｘ線検査部２により発生されるＸ線を遮蔽し、Ｘ線の外部漏洩を抑制する。筐体４は、例えばステンレスなどで形成される。
　筐体４は、本実施形態では箱状を呈している。筐体４の右側面には、筐体４の内部に連通する開口部４ａが形成されている。同様に、筐体４の左側面には、筐体４の内部に連通する開口部４ｂが形成されている。本実施形態では、被検査物は、開口部４ａから筐体４の内部へ搬入されて検査が行われ、開口部４ｂから筐体４の外部へ搬出される。つまり、開口部４ａが被検査物の搬入口、開口部４ｂが被検査物の搬出口となる。
　筐体４の前面には、筐体４を開閉する上部扉４０及び下部扉４１が設けられている。上部扉４０及び下部扉４１は、例えば開き戸構造である。上部扉４０又は下部扉４１が開閉されることで、後述するＸ線検査部２及び金属検出部３の少なくとも一部が外部に露出される。上部扉４０及び下部扉４１は、例えばステンレスなどで形成される。
　上部扉４０の前面には、ディスプレイ５及び操作スイッチ６が設けられている。ディスプレイ５は、表示機能と入力機能を兼ね備えた表示装置であり、例えばタッチパネルである。ディスプレイ５は、Ｘ線検査及び金属検出の結果などを表示するとともに、金属検出及びＸ線検査に関する各種パラメータの設定を行う操作画面を表示する。操作スイッチ６は、Ｘ線検査部２及び金属検出部３の電源スイッチなどである。
　筐体４は、支持台７によって支持されている。筐体４の上面には、報知部８及びクーラー９が設けられている。報知部８は、異物混入や機器の作動状態を報知する。報知部８は、Ｘ線検査部２に対応する第１報知器８１、及び金属検出部３に対応する第２報知器８２を備えている。クーラー９は、筐体４の内部に冷気を送り、筐体４の内部に配置された機器の温度を調整する。
　図２は、図１に示される異物検査装置１の内部構成及び制御系を説明する概念図である。図２に示されるように、筐体４の内部は、後述するＸ線発生器の一部や構成要素の制御基板などが配置される基板室Ｔ１と、被検査物Ｓが搬入されて検査が行われる検査室Ｔ２とに区画されている。基板室Ｔ１は、上述したクーラー９によって温度調整されている。
　検査室Ｔ２には、被検査物Ｓを搬送するコンベヤ（搬送部）１０が配置されている。コンベヤ１０は、本実施形態ではローラ式のベルトコンベヤであり、一端部が開口部４ａに位置し且つ他端部が開口部４ｂに位置した状態で、筐体４の内部を水平方向に延在している。つまり、筐体４は、コンベヤ１０のうち一端部及び他端部を除く部分を内部に収容している。本実施形態のコンベヤ１０は、開口部４ａを介して被検査物Ｓを筐体４の内部に搬入し、開口部４ｂを介して被検査物Ｓを筐体４の外部に搬出する。
　開口部４ａには、Ｘ線遮蔽カーテン（第１Ｘ線遮蔽カーテン）４２が配置されている。同様に、開口部４ｂには、Ｘ線遮蔽カーテン（第２Ｘ線遮蔽カーテン）４３が配置されている。Ｘ線遮蔽カーテン４２，４３は、上端が筐体４に対する固定端であり且つ下端が自由端である。Ｘ線遮蔽カーテン４２，４３は、Ｘ線検査部２が発生したＸ線を遮蔽し、Ｘ線の外部漏洩を抑制する。Ｘ線遮蔽カーテン４２，４３は、例えばタングステンの金属材料を含有する可撓性材料などにより形成される。なお、被検査物Ｓの搬入及び搬出を自動化すべく、コンベヤ１０の右側に搬入用コンベヤ１１を配置し、コンベヤ１０の左側に搬出用コンベヤ１２を配置してもよい。また、搬出用コンベヤ１２が、被検査物Ｓの振分機能を備えていてもよい。
　検査室Ｔ２には、被検査物Ｓを通過させるための貫通穴３１ａが形成された環状体のケース３１が配置されている。コンベヤ１０は、貫通穴３１ａを介してケース３１を貫通している。被検査物Ｓは、コンベヤ１０によってケース３１の貫通穴３１ａを通過し、ケース３１においてＸ線検査及び金属検出が順次実行される。ケース３１は、例えばステンレスなどで形成される。
　最初に、Ｘ線検査を行うＸ線検査部２について説明する。Ｘ線検査部２は、Ｘ線検査制御部２０、Ｘ線発生器２１、及びＸ線検出器２２を備える。Ｘ線発生器２１は、Ｘ線を発生するＸ線源、及びスリット機構を含む。Ｘ線検出器２２は、Ｘ線発生器２１で発生したＸ線を検出する。Ｘ線発生器２１及びＸ線検出器２２は、コンベヤ１０及びケース３１を上下方向から挟むように対向配置されている。なお、Ｘ線発生器２１のうち、Ｘ線源などは基板室Ｔ１に配置され、Ｘ線を照射する機構が検査室Ｔ２に配置されている。Ｘ線検出器２２としては、例えば複数のＸ線検出センサを前後方向に沿って並設したラインセンサが用いられる。Ｘ線検出器２２は、Ｘ線漏洩を低減させるために、基板ケース２３に収容されている。基板ケース２３には、Ｘ線検出器２２へＸ線を到達させるために、スリット２３ａ（図４参照）が設けられている。
　Ｘ線検査制御部２０は、外部との信号の入出力などを行う入出力インターフェースＩ／Ｏ、処理を行うためのプログラムおよび情報などが記憶されたＲＯＭ（Read Only Memory）、データを一時的に記憶するＲＡＭ（RandomAccess Memory）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）などの記憶媒体、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、及び通信回路などを有する。Ｘ線検査制御部２０は、ＣＰＵが出力する信号に基づいて、入力データをＲＡＭに記憶し、ＲＯＭに記憶されているプログラムをＲＡＭにロードし、ＲＡＭにロードされたプログラムを実行することで、後述する機能を実現する。
　Ｘ線検査制御部２０は、基板室Ｔ１に配置され、Ｘ線発生器２１及びＸ線検出器２２に接続されている。Ｘ線検査制御部２０は、ディスプレイ５に接続され、操作画面を介して作業員から操作情報を受け付ける。Ｘ線検査制御部２０は、操作情報に基づいてＸ線発生器２１及びＸ線検出器２２の動作プロファイルを設定するとともに、Ｘ線発生器２１及びＸ線検出器２２の動作を制御する。Ｘ線検査制御部２０は、Ｘ線発生器２１及びＸ線検出器２２よりも上流側に配置されたレーザセンサ２４を用いて被検査物Ｓを検出した場合、当該被検査物Ｓの検査を開始する。Ｘ線検査制御部２０は、Ｘ線発生器２１を制御して、コンベヤ１０によって搬送されている被検査物ＳにＸ線を照射させる。Ｘ線検出器２２は、被検査物Ｓを透過したＸ線のＸ線透過量を計測し、計測したＸ線透過量をＸ線検査制御部２０へ出力する。
　Ｘ線検査制御部２０は、時系列で取得したＸ線透過量を画素値に反映させたＸ線透過画像を生成する。そして、Ｘ線検査制御部２０は、画像処理技術によりＸ線透過画像を解析して、異物を検出する。例えば、Ｘ線検査制御部２０は、Ｘ線透過画像の画素値に基づいて、被検査物Ｓの基準透過率との差が所定値以上となる画像領域が存在するか否かを判定する。そして、Ｘ線検査制御部２０は、被検査物Ｓの基準透過率との差が所定値以上となる画像領域が存在する場合には、異物を検出したと判定する。
　Ｘ線検査制御部２０は、作業員からの要求に応じて、Ｘ線検査の結果データをディスプレイ５に表示させたり、記憶部に結果データを記憶したりする。また、Ｘ線検査制御部２０は、Ｘ線発生器２１及びＸ線検出器２２が正常に作動している場合、第１報知器８１を用いてＸ線検査に係る機器が作動中である旨を作業員に報知する。さらに、Ｘ線検査制御部２０は、異物を検出したと判定した場合、第１報知器８１を用いて異物を検知した旨を作業員に報知する。
　図３は、図２のＸ線検査部２及び金属検出部３の主要構成の説明図である。図４は、図２のＸ線検査部２及び金属検出部３の主要構成の斜視図である。図３及び図４に示されるように、ケース３１は、本体部３２、第１フード部３３、及び第２フード部３４を有する。第１フード部３３は、本体部３２に対して開口部４ａ側（搬入口側）に設けられている。第２フード部３４は、本体部３２に対して開口部４ｂ側（搬出口側）に設けられている。上述したケース３１の貫通穴３１ａは、本体部３２、第１フード部３３、及び第２フード部３４それぞれの内壁によって画成されている。
　第１フード部３３の上面には、Ｘ線を通過させるＸ線通過スリット（第１開口）３３ａがＸ線発生器２１の下方に位置するように形成されている。第１フード部３３の下面には、Ｘ線を通過させるＸ線通過スリット（第１開口）３３ｂがＸ線通過スリット３３ａと対向するように形成されている。Ｘ線通過スリット３３ｂの下方には、Ｘ線検出器２２が配置される。このように構成することで、Ｘ線発生器２１が発生したＸ線２１ａは、Ｘ線通過スリット３３ａ，３３ｂを通過し、ケース３１の内部を搬送されている被検査物Ｓに照射される。なお、第１フード部３３の側面において、Ｘ線通過スリット３３ａ，３３ｂよりも下流側（本体部３２側）にはスリット３３ｃが設けられている。スリット３３ｃには、レーザセンサ３８が配置される。レーザセンサ３８は、スリット３３ｃを介してコンベヤ１０上の被検査物Ｓにレーザを照射する。
　次に、金属検出を行う金属検出部３について説明する。金属検出部３は、金属検出制御部３０、サーチコイルである環状の送信コイル３５、及びサーチコイルである環状の受信コイル３６，３７を備える。送信コイル３５及び受信コイル３６，３７は、金属などの導電性材料で形成され、ケース３１の本体部３２の内部に配置されている。送信コイル３５及び受信コイル３６，３７は、貫通穴３１ａの延在方向と同軸に配置されている。つまり、送信コイル３５及び受信コイル３６，３７は、貫通穴３１ａを囲むように配置されている。これにより、被検査物Ｓは、コンベヤ１０によって送信コイル３５及び受信コイル３６，３７を通過する。
　送信コイル３５は、受信コイル３６，３７間に配置されている。受信コイル３６，３７は、互いに差動接続されるとともに送信コイル３５に対して対称に配置されている。２つの受信コイル３６，３７は、同一の鎖交磁束を有する。送信コイル３５は、通電可能に構成されており、磁束を発生する。受信コイル３６，３７それぞれには、送信コイル３５が発生した磁界の電磁誘導によって電圧が励起する。なお、第１フード部３３及び第２フード部３４は、送信コイル３５が発生した磁界の外部漏洩と外来磁界の進入を遮蔽する。
　金属検出制御部３０は、外部との信号の入出力などを行う入出力インターフェースＩ／Ｏ、処理を行うためのプログラムおよび情報などが記憶されたＲＯＭ、データを一時的に記憶するＲＡＭ、ＨＤＤなどの記憶媒体、ＣＰＵ、及び通信回路などを有する。金属検出制御部３０は、ＣＰＵが出力する信号に基づいて、入力データをＲＡＭに記憶し、ＲＯＭに記憶されているプログラムをＲＡＭにロードし、ＲＡＭにロードされたプログラムを実行することで、後述する機能を実現する。
　金属検出制御部３０は、基板室Ｔ１に配置されるとともにＸ線検査制御部２０に接続され、Ｘ線検査制御部２０を介してディスプレイ５の操作画面に入力された作業員からの操作情報を受け付ける。金属検出制御部３０は、操作情報に基づいて送信コイル３５及び受信コイル３６，３７の動作プロファイルを設定する。金属検出制御部３０は、送信コイル３５及び受信コイル３６，３７よりも上流側に配置されたレーザセンサ３８を用いて被検査物Ｓを検出した場合、当該被検査物Ｓの金属検出を開始する。
　金属検出制御部３０は、送信コイル３５へ交番励磁電流を供給し、磁束を発生させる。送信コイル３５によって発生された磁束は、２つの受信コイル３６，３７を貫通し、電磁誘導によって受信コイル３６，３７それぞれに電圧が励起される。金属検出制御部３０は、受信コイル３６，３７の差動接続の出力電圧を取得して、金属検出の判定を行う。金属検出制御部３０は、差動接続の出力電圧が０のときは、金属異物を検出していないと判定する。一方、金属検出制御部３０は、差動接続の出力電圧が０でないときは、金属異物を検出したと判定する。
　金属検出制御部３０は、作業員からの要求に応じて、金属検出の結果データをディスプレイ５に表示させたり、記憶部に結果データを記憶したりする。また、金属検出制御部３０は、送信コイル３５及び受信コイル３６，３７が正常に作動している場合、第２報知器８２を用いて金属検出に係る機器が作動中である旨を作業員に報知する。さらに、金属検出制御部３０は、異物を検出したと判定した場合、第２報知器８２を用いて異物を検知した旨を作業員に報知する。なお、ケース３１は、耐振特性向上の目的で防振台３９（防振台３９ａ，３９ｂ）により保持されていてもよい。
　上述したＸ線検査部２及び金属検出部３は、それぞれ独立に作動可能に構成されている。つまり、異物検査装置１は、Ｘ線検査及び金属検出の両方を行うだけでなく、Ｘ線検査及び金属検出の何れか一方を実行することもできる。上述のとおり、本実施形態では、Ｘ線検査部２がディスプレイ５の表示制御を行うため、Ｘ線検査部２が停止している場合には、ディスプレイ５に金属検出部３の操作画面が表示されない。このため、筐体４の内部には、金属検出部３に接続されたサブディスプレイ（不図示）が配置されている。金属検出部３は、Ｘ線検査部２が停止している場合には、サブディスプレイを介して操作情報を受け付け、サブディスプレイに結果データなどを表示する。
　次に、金属検出部３のケース３１とＸ線遮蔽カーテン４２，４３との位置関係について説明する。図５に示されるように、ケース３１に最も近いＸ線遮蔽カーテン４２に着目すると、Ｘ線遮蔽カーテン４２の上端４２ａと第１フード部３３との最短の距離ｄ１に、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向に沿った第１フード部３３の長さｄ２を加えた値が、Ｘ線遮蔽カーテン４２の上端４２ａから第１フード部３３を介して本体部３２に至る距離となる。ここで、Ｘ線遮蔽カーテン４２の長さ（すなわち、上端４２ａから下端４２ｂに至る距離）Ｌ１は、Ｘ線遮蔽カーテン４２の上端４２ａから第１フード部３３を介して本体部３２に至る距離、すなわち、ｄ１＋ｄ２よりも小さい。このことは、Ｘ線遮蔽カーテン４２が揺れ動いても、Ｘ線遮蔽カーテン４２が本体部３２に接触することがないことを意味する。その一方で、Ｘ線遮蔽カーテン４２の長さＬ１は、Ｘ線遮蔽カーテン４２の上端４２ａから第１フード部３３に至る距離ｄ１よりも大きい。このことは、Ｘ線遮蔽カーテン４２が揺れ動くと、Ｘ線遮蔽カーテン４２が第１フード部３３に接触することを意味する。なお、図５では、レーザセンサ２４の図示を省略している。
　同様に、ケース３１に最も近いＸ線遮蔽カーテン４３に着目すると、Ｘ線遮蔽カーテン４３の上端４３ａと第２フード部３４との最短の距離ｄ３に、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向に沿った第２フード部３４の長さｄ４を加えた値が、Ｘ線遮蔽カーテン４３の上端４３ａから第２フード部３４を介して本体部３２に至る距離となる。ここで、Ｘ線遮蔽カーテン４３の長さ（すなわち、上端４３ａから下端４３ｂに至る距離）Ｌ２は、Ｘ線遮蔽カーテン４３の上端４３ａから第２フード部３４を介して本体部３２に至る距離、すなわち、ｄ３＋ｄ４よりも小さい。このことは、Ｘ線遮蔽カーテン４３が揺れ動いても、Ｘ線遮蔽カーテン４３が本体部３２に接触することがないことを意味する。その一方で、Ｘ線遮蔽カーテン４３の長さＬ２は、Ｘ線遮蔽カーテン４３の上端４３ａから第２フード部３４に至る距離ｄ３よりも大きい。このことは、Ｘ線遮蔽カーテン４３が揺れ動くと、Ｘ線遮蔽カーテン４３が第２フード部３４に接触することを意味する。
　次に、ケース３１の形状について説明する。図６に示されるように、本体部３２に対して開口部４ａ側（搬入口側）に設けられた第１フード部３３には、Ｘ線検査部２のＸ線が通過する一対のＸ線通過スリット（第１開口）３３ａ，３３ｂが設けられている。一対のＸ線通過スリット３３ａ，３３ｂは、鉛直方向において互いに対向している。また、第１フード部３３には、レーザセンサ３８を含む投受光センサの光（レーザ）が通過する一対のスリット（第３開口）３３ｃ，３３ｄが設けられている。一対のスリット３３ｃ，３３ｄは、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向に垂直な水平方向において互いに対向している。第１フード部３３は、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向から見た場合に、左右対称（鉛直方向に沿って第１フード部３３の中心を通る線を基準として左右対称）の形状を呈している。つまり、第１フード部３３には、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向から見た場合に左右対称となるように、一対のＸ線通過スリット３３ａ，３３ｂ及び一対のスリット３３ｃ，３３ｄが設けられている。
　図７に示されるように、本体部３２に対して開口部４ｂ側（搬出口側）に設けられた第２フード部３４は、本体部３２を挟んで第１フード部３３と対称の形状を呈している。つまり、第２フード部３４には、本体部３２を挟んで第１フード部３３と対称の形状を呈するように、Ｘ線通過スリット３３ａに対応するスリット（第２開口）３４ａ、Ｘ線通過スリット３３ｂに対応するスリット（第２開口）３４ｂ、スリット３３ｃに対応するスリット（第４開口）３４ｃ、及びスリット３３ｄに対応するスリット（第４開口）３４ｄが設けられている。第２フード部３４は、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向から見た場合に、左右対称（鉛直方向に沿って第２フード部３４の中心を通る線を基準として左右対称）の形状を呈している。つまり、第２フード部３４には、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向から見た場合に左右対称となるように、且つ本体部３２を挟んで第１フード部３３と対称の形状を呈するように、一対のスリット３４ａ，３４ｂ及び一対のスリット３４ｃ，３４ｄが設けられている。
　以上説明したように、異物検査装置１では、Ｘ線遮蔽カーテン４２の長さＬ１が、Ｘ線遮蔽カーテン４２の上端４２ａから第１フード部３３を介して本体部３２に至る距離ｄ１＋ｄ２よりも小さく、Ｘ線遮蔽カーテン４３の長さＬ２が、Ｘ線遮蔽カーテン４３の上端４３ａから第２フード部３４を介して本体部３２に至る距離ｄ３＋ｄ４よりも小さい。したがって、コンベヤ１０で搬送されている被検査物Ｓが接触すること等によって各Ｘ線遮蔽カーテン４２，４３が揺れ動いても、各Ｘ線遮蔽カーテン４２，４３が金属検出部３のケース３１の本体部３２に接触することが防止される。そのため、金属検出部３に各Ｘ線遮蔽カーテン４２，４３が近付くようなレイアウトを採ったとしても、各Ｘ線遮蔽カーテン４２，４３の揺れ動きが金属検出部３の磁界に与える影響を抑制することができる。よって、異物検査装置１によれば、装置サイズの小型化及び検査精度の向上の両立を図ることが可能となる。
　また、異物検査装置１では、Ｘ線遮蔽カーテン４２の長さＬ１が、Ｘ線遮蔽カーテン４２の上端４２ａから第１フード部３３に至る距離ｄ１よりも大きく、Ｘ線遮蔽カーテン４３の長さＬ２が、Ｘ線遮蔽カーテン４３の上端４３ａから第２フード部３４に至る距離ｄ３よりも大きい。これにより、金属検出部３から各Ｘ線遮蔽カーテン４２，４３が離れて装置サイズが大型化するのをより確実に抑制することができる。
　また、異物検査装置１では、第１フード部３３に、Ｘ線検査部２のＸ線が通過するＸ線通過スリット３３ａ，３３ｂが設けられている。これにより、金属検出部３による検査よりも長い処理時間を要するＸ線検査部２による検査を先行して開始させ、装置全体としての処理時間を短縮させることができる。
　また、異物検査装置１では、第２フード部３４に、本体部３２を挟んで第１フード部３３と対称の形状を呈するように、スリット３４ａ，３４ｂ，３４ｃが設けられている。これにより、スリットの影響で金属検出部３の磁界のバランスが悪くなるのを防止し、金属検出部３による検査精度の低下を抑制することができる。また、第１フード部３３と第２フード部３４とが本体部３２を挟んで対称の形状を呈しているため、部品としての共用化を図ることができる。
　以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示の一形態及び他形態は、上述した実施形態に限定されるものではない。
　例えば、Ｘ線遮蔽カーテン４２は、「Ｘ線遮蔽カーテン４２の長さが、Ｘ線遮蔽カーテン４２の上端４２ａから第１フード部３３に至る距離よりも大きい」との条件を満たしていなくてもよい。特に、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向において上流側の配置されたＸ線遮蔽カーテン４２は、当該条件を満たさない場合がある。同様に、Ｘ線遮蔽カーテン４３は、「Ｘ線遮蔽カーテン４３の長さが、Ｘ線遮蔽カーテン４３の上端４３ａから第２フード部３４に至る距離よりも大きい」との条件を満たしていなくてもよい。特に、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向において下流側の配置されたＸ線遮蔽カーテン４３は、当該条件を満たさない場合がある。
　また、本実施形態では、筐体４の内部にコンベヤ１０の一部を配置する例を説明したが、コンベヤ１０はその全てが筐体４の内部に収容されていてもよい。
　また、異物検査装置１は、次のように構成されていてもよい。すなわち、異物検査装置１は、コンベヤ１０と、Ｘ線検査部２と、金属検出部３と、開口部４ａ，４ｂを有する筐体４と、を備え、ケース３１が、本体部３２と、第１フード部３３と、第２フード部３４と、を有し、第１フード部３３に、Ｘ線検査部２のＸ線が通過するＸ線通過スリット３３ａ，３３ｂが設けられており、第２フード部３４に、本体部３２を挟んで第１フード部３３と対称の形状を呈するようにスリット３４ａ，３４ｂが設けられていてもよい。この異物検査装置１（以下、「変形例の異物検査装置１」という）では、送信コイル３５及び受信コイル３６，３７が内部に配置された本体部３２に対して開口部４ａ側及び開口部４ｂ側に第１フード部３３及び第２フード部３４がそれぞれ設けられている。これにより、例えば筐体４を小型化したとしても、金属検出部３の磁界に外乱の影響が及ぶのを抑制することができる。更に、第１フード部３３に、Ｘ線検査部２のＸ線が通過するＸ線通過スリット３３ａ，３３ｂが設けられており、第２フード部３４に、本体部３２を挟んで第１フード部３３と対称の形状を呈するようにスリット３４ａ，３４ｂが設けられている。これにより、Ｘ線通過スリット３３ａ，３３ｂの影響で金属検出部３の磁界のバランスが悪くなるのを防止し、金属検出部３による検査精度の低下を抑制することができる。よって、変形例の異物検査装置１によれば、装置サイズの小型化及び検査精度の向上の両立を図ることが可能となる。なお、この場合には、被検査物Ｓは、開口部４ｂから筐体４の内部に搬入され、筐体４の内部において検査が行われ、開口部４ａから筐体４の外部に搬出されてもよい。つまり、開口部４ｂが被検査物Ｓの搬入口であり、開口部４ａが被検査物Ｓの搬出口であってもよい。
　また、変形例の異物検査装置１では、第１フード部３３が、本体部３２に対して開口部（搬入口）４ａ側に設けられており、第２フード部３４が、本体部３２に対して開口部（搬出口）４ｂ側に設けられていてもよい。Ｘ線検査部２のＸ線が通過するＸ線通過スリット３３ａ，３３ｂが設けられた第１フード部３３を本体部３２に対して搬入口側に配置することで、金属検出部３による検査よりも長い処理時間を要するＸ線検査部２による検査を先行して開始させ、装置全体としての処理時間を短縮させることができる。
　また、変形例の異物検査装置１では、第１フード部３３に、コンベヤ１０による被検査物Ｓの搬送方向から見た場合に左右対称となるように、投受光センサの光が通過する一対のスリット３３ｃ，３３ｄが設けられており、第２フード部３４に、本体部３２を挟んで第１フード部３３と対称の形状を呈するように一対のスリット３４ｃ，３４ｄが設けられていてもよい。これにより、一対のスリット３３ｃ，３３ｄの影響で金属検出部３の磁界のバランスが悪くなるのを防止し、金属検出部３による検査精度の低下を抑制することができる。
　１…異物検査装置、２…Ｘ線検査部、３…金属検出部、４…筐体、４ａ…開口部（搬入口）、４ｂ…開口部（搬出口）、１０…コンベヤ（搬送部）、３１…ケース、３２…本体部、３３…第１フード部、３３ａ，３３ｂ…Ｘ線通過スリット（第１開口）、３３ｃ，３３ｄ…スリット（第３開口）、３４…第２フード部、３４ａ，３４ｂ…スリット（第２開口）、３４ｃ，３４ｄ…スリット（第４開口）、３５…送信コイル（サーチコイル）、３６，３７…受信コイル（サーチコイル）、４２…Ｘ線遮蔽カーテン（第１Ｘ線遮蔽カーテン）、４２ａ…上端、４２ｂ…下端、４３…Ｘ線遮蔽カーテン（第２Ｘ線遮蔽カーテン）、４３ａ…上端、４３ｂ…下端、Ｓ…被検査物。

Claims (7)

  1. 　被検査物を搬送する搬送部と、
    　Ｘ線の透過性を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出するＸ線検査部と、
    　磁界と金属との相互作用を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出する金属検出部と、
    　前記搬送部の少なくとも一部、前記Ｘ線検査部、及び前記金属検出部を内部に収容し、前記搬送部による前記被検査物の搬入口、及び前記搬送部による前記被検査物の搬出口を有する筐体と、
    　前記搬入口に設けられ、上端が前記筐体に対する固定端であり且つ下端が自由端である第１Ｘ線遮蔽カーテンと、
    　前記搬出口に設けられ、上端が前記筐体に対する固定端であり且つ下端が自由端である第２Ｘ線遮蔽カーテンと、を備え、
    　前記金属検出部において前記搬送部が通過しているケースは、
    　サーチコイルが内部に配置された本体部と、
    　前記本体部に対して前記搬入口側に設けられた第１フード部と、
    　前記本体部に対して前記搬出口側に設けられた第２フード部と、を有し、
    　前記第１Ｘ線遮蔽カーテンの長さは、前記第１Ｘ線遮蔽カーテンの前記上端から前記第１フード部を介して前記本体部に至る距離よりも小さく、
    　前記第２Ｘ線遮蔽カーテンの長さは、前記第２Ｘ線遮蔽カーテンの前記上端から前記第２フード部を介して前記本体部に至る距離よりも小さい、異物検査装置。
  2. 　前記第１Ｘ線遮蔽カーテンの前記長さは、前記第１Ｘ線遮蔽カーテンの前記上端から前記第１フード部に至る距離よりも大きく、
    　前記第２Ｘ線遮蔽カーテンの前記長さは、前記第２Ｘ線遮蔽カーテンの前記上端から前記第２フード部に至る距離よりも大きい、請求項１記載の異物検査装置。
  3. 　前記第１フード部には、前記Ｘ線検査部のＸ線が通過する第１開口が設けられている、請求項１又は２記載の異物検査装置。
  4. 　前記第２フード部には、前記本体部を挟んで前記第１フード部と対称の形状を呈するように第２開口が設けられている、請求項３記載の異物検査装置。
  5. 　被検査物を搬送する搬送部と、
    　Ｘ線の透過性を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出するＸ線検査部と、
    　磁界と金属との相互作用を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出する金属検出部と、
    　前記搬送部の少なくとも一部、前記Ｘ線検査部、及び前記金属検出部を内部に収容し、前記搬送部による前記被検査物の搬入口、及び前記搬送部による前記被検査物の搬出口を有する筐体と、を備え、
    　前記金属検出部において前記搬送部が通過しているケースは、
    　サーチコイルが内部に配置された本体部と、
    　前記本体部に対して前記搬入口側及び前記搬出口側の一方の側に設けられた第１フード部と、
    　前記本体部に対して前記搬入口側及び前記搬出口側の他方の側に設けられた第２フード部と、を有し、
    　前記第１フード部には、前記Ｘ線検査部のＸ線が通過する第１開口が設けられており、
    　前記第２フード部には、前記本体部を挟んで前記第１フード部と対称の形状を呈するように第２開口が設けられている、異物検査装置。
  6. 　前記第１フード部は、前記本体部に対して前記搬入口側に設けられており、
    　前記第２フード部は、前記本体部に対して前記搬出口側に設けられている、請求項５記載の異物検査装置。
  7. 　前記第１フード部には、前記搬送部による前記被検査物の搬送方向から見た場合に左右対称となるように、投受光センサの光が通過する一対の第３開口が設けられており、
    　前記第２フード部には、前記本体部を挟んで前記第１フード部と対称の形状を呈するように一対の第４開口が設けられている、請求項５又は６記載の異物検査装置。
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