WO2017057729A1

WO2017057729A1 - Correlated microscope

Info

Publication number: WO2017057729A1
Application number: PCT/JP2016/079121
Authority: WO
Inventors: 信一郎礒部; 孝昭金丸; 信一高洲; 光二小坂; 隆大江
Original assignee: 学校法人中村産業学園; 株式会社アイエスティー; 株式会社Ｔｃｋ
Priority date: 2015-10-01
Filing date: 2016-09-30
Publication date: 2017-04-06

Abstract

According to the present invention, a first region extraction window (37) including an image of one sample platform (6) and the observation target tissue (35) of a sample (7) when respectively positioned on two microscopes (1, 2), first sample platform coordinates (31), second sample platform coordinates (32), and the coordinates of a second region extraction window (38) are acquired, the second sample platform coordinates are corrected on the basis of the difference between the first sample platform coordinates and the second sample platform coordinates, to acquire the coordinates of the second region extraction window after correction, and a second positioning unit is moved from a second non-observation position to a second observation position in which the second region extraction window is located at a positon corresponding to the coordinate position of the first region extraction window on the basis of the corrected coordinates.

Description

相関顕微鏡Correlation microscope

　本発明は、電子顕微鏡とレーザ顕微鏡とを非同軸に配置した状態で搬送装置により試料を両顕微鏡にそれぞれ搬送して観察することができる相関顕微鏡に関する。 The present invention relates to a correlation microscope in which a sample can be transported to both microscopes and observed by a transport device in a state where an electron microscope and a laser microscope are arranged non-coaxially.

　疾病診断方法の開発等の医療バイオ分野では、生体組織を蛍光色素で免疫染色を行った後、蛍光顕微鏡を用いて観察している。しかし、この方法では１０００倍程度の解像度が限界である。それに対し、蛍光色素で標識された生体組織からなる試料の分析点を高倍率で観察する方法として、走査型電子顕微鏡（以下、ＳＥＭという。）の電子線を試料に照射して蛍光を発生させ（カソードルミネッセンス）、その蛍光を観察する方法が提案されている（例えば、特許文献１）。 In the field of medical biotechnology, such as the development of disease diagnosis methods, biological tissues are immunostained with fluorescent dyes and then observed using a fluorescence microscope. However, this method has a limit of about 1000 times the resolution. On the other hand, as a method of observing the analysis point of a sample made of biological tissue labeled with a fluorescent dye at a high magnification, the sample is irradiated with an electron beam from a scanning electron microscope (hereinafter referred to as SEM) to generate fluorescence. (Cathodeluminescence) and a method of observing the fluorescence has been proposed (for example, Patent Document 1).

　また、半導体ウェハ等の分析に関するものではあるが、荷電粒子による試料励起と光による試料励起を一つの装置で行うようＳＥＭと光学顕微鏡とを組み合わせて、試料の分析点のＸ線分光スペクトルと蛍光スペクトルとを測定する表面分析装置も提案されている（例えば、特許文献２）。 In addition, although it relates to the analysis of semiconductor wafers and the like, the SEM and optical microscope are combined so that sample excitation by charged particles and sample excitation by light are performed in one apparatus, and the X-ray spectral spectrum and fluorescence at the analysis point of the sample are combined. A surface analyzer for measuring a spectrum has also been proposed (for example, Patent Document 2).

　このように、ＳＥＭと光学顕微鏡とを組み合わせて、蛍光色素で標識された生体組織からなる試料の分析点を即座にＳＥＭで観察することにより、その分析点の形態的特徴から対象物を短時間で同定できることが期待できる。 In this way, by combining an SEM and an optical microscope and immediately observing an analysis point of a sample made of a biological tissue labeled with a fluorescent dye with an SEM, the object can be quickly identified from the morphological characteristics of the analysis point. It can be expected to be identified.

　しかしながら、この場合、ＳＥＭと光学顕微鏡とに同一試料をそれぞれ搬送して同一箇所を観察しようとしても、搬送による位置決め精度が悪く、高い精度で同一箇所を観察することができなかった。 However, in this case, even if the same sample is transported to the SEM and the optical microscope and an attempt is made to observe the same location, the positioning accuracy by the transport is poor and the same location cannot be observed with high accuracy.

　そこで、半導体素子に関するものではあるが、走査型電子顕微鏡に試料を搬送する搬送装置としては、特許文献３及び４のような構成が知られている。 Therefore, although related to the semiconductor element, configurations as in

Patent Documents

3 and 4 are known as a transport device for transporting a sample to a scanning electron microscope.

特開平１１－２６０３０３号公報JP-A-11-260303 特開平５－１１３４１８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-113418 特開２０１４－８６４１９号公報JP 2014-86419 A 特開平８－２７３５７２号公報JP-A-8-273572

　しかしながら、前記従来の公報においては、オリフラを基準に位置決めされるため、生体試料に対しては、そのようなオリフラによる位置決め方法を適用することができず、高い精度で同一位置での観察が行える相関顕微鏡の開発が望まれていた。 However, in the above-mentioned conventional publication, since the orientation flat is used as a reference, a positioning method using such orientation flat cannot be applied to a biological sample, and observation at the same position can be performed with high accuracy. The development of a correlation microscope has been desired.

　従って、本発明の目的は、前記問題を解決することにあって、高い精度で同一位置での観察が行える相関顕微鏡を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a correlation microscope capable of observing at the same position with high accuracy in solving the above-mentioned problems.

　前記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。 In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.

　本発明の第１の態様によれば、第１顕微鏡と、
　前記第１顕微鏡とは光軸が非同軸で配置された第２顕微鏡と、
　試料が保持された試料台を試料台位置決め保持部に位置決め保持した状態で前記第１顕微鏡から前記第２顕微鏡へ前記試料台を搬送する搬送装置と、
　前記第１顕微鏡に配置されて、少なくとも第１観察位置と第１非観察位置との間で移動可能でかつ前記試料台を位置決め保持する第１位置決め部を有するとともに、前記第１位置決め部が前記第１非観察位置に位置したときに前記第１位置決め部と前記搬送装置の前記試料台位置決め保持部との間で前記試料台を受渡しする第１位置決め装置と、
　前記第１位置決め部が前記第１観察位置及び前記第１非観察位置にそれぞれ位置したとき、前記第１位置決め部に位置決めされた前記試料台の画像を取得して、前記試料台の前記試料の観察対象組織を含む第１領域抽出窓の画像を取得する第１画像取得部と、
　前記第１位置決め部が前記第１非観察位置に位置したときに前記第１画像取得部で取得した画像を基に、前記第１位置決め部に位置決めされた前記試料台の第１試料台座標の座標位置を取得する第１座標取得部と、
　前記第１位置決め部が前記第１非観察位置に位置したときに前記第１画像取得部で取得した前記第１領域抽出窓の画像と前記第１座標取得部で取得した前記試料台の前記第１試料台座標の座標位置とに基づいて、前記第１試料台座標における前記第１領域抽出窓の座標位置を取得する第１抽出窓座標取得部と、
　前記第２顕微鏡に配置されて、少なくとも第２観察位置と第２非観察位置との間で移動可能でかつ前記試料台を位置決め保持する第２位置決め部を有するとともに、前記第２位置決め部が前記第２非観察位置に位置したときに前記第２位置決め部と前記搬送装置の前記試料台位置決め保持部との間で前記試料台を受渡しする第２位置決め装置と、
　前記第２位置決め部が前記第２観察位置及び前記第２非観察位置にそれぞれ位置したとき、前記第２位置決め部に位置決めされた前記試料台の画像を取得して、前記試料台の前記第１領域抽出窓に対応する第２領域抽出窓の画像を取得する第２画像取得部と、
　前記第２位置決め部が前記第２非観察位置に位置したときに前記第２画像取得部で取得した画像を基に、前記第２位置決め部に位置決めされた前記試料台の第２試料台座標の座標位置を取得する第２座標取得部と、
　前記第２位置決め部が前記第２非観察位置に位置したときに前記第２画像取得部で取得した前記第２領域抽出窓の画像と前記第２座標取得部で取得した前記試料台の前記第２試料台座標の座標位置とに基づいて、前記第２試料台座標における前記第２領域抽出窓の座標位置を取得するとともに、前記第１座標取得部で取得した前記第１試料台座標の前記座標位置と前記第２座標取得部で取得した前記第２試料台座標の前記座標位置との差を取得して、取得した差を基に、前記第２試料台座標の前記座標位置を補正して、前記第１領域抽出窓に対応する前記第２領域抽出窓の補正後の座標位置を取得する第２抽出窓座標取得部とを備えて、
　前記第２位置決め装置は、前記第２抽出窓座標取得部で取得した前記第２領域抽出窓の補正後の座標位置に基づいて、前記第２位置決め部を、前記第２非観察位置から、前記第１領域抽出窓の前記座標位置に対応する位置に前記第２領域抽出窓が位置している前記第２観察位置に移動させるとともに、
　前記第１顕微鏡と前記第２顕微鏡とは、いずれか一方の顕微鏡が光学顕微鏡であり、他方の顕微鏡が電子顕微鏡である、相関顕微鏡を提供する。 According to a first aspect of the present invention, a first microscope;
The first microscope is a second microscope having an optical axis arranged non-coaxially;
A transport device for transporting the sample stage from the first microscope to the second microscope in a state where the sample stage holding the sample is positioned and held in the sample stage positioning holding unit;
A first positioning portion disposed on the first microscope, movable at least between a first observation position and a first non-observation position, and positioning and holding the sample stage; and A first positioning device that delivers the sample table between the first positioning unit and the sample table positioning holding unit of the transport device when positioned at a first non-observation position;
When the first positioning unit is positioned at the first observation position and the first non-observation position, respectively, an image of the sample stage positioned at the first positioning unit is acquired, and the sample of the sample stage is acquired. A first image acquisition unit for acquiring an image of a first region extraction window including an observation target tissue;
Based on the image acquired by the first image acquisition unit when the first positioning unit is positioned at the first non-observation position, the first sample table coordinate of the sample table positioned by the first positioning unit A first coordinate acquisition unit for acquiring a coordinate position;
When the first positioning unit is located at the first non-observation position, the image of the first region extraction window acquired by the first image acquisition unit and the first of the sample stage acquired by the first coordinate acquisition unit. A first extraction window coordinate acquisition unit that acquires a coordinate position of the first region extraction window in the first sample table coordinates based on a coordinate position of one sample table coordinate;
The second microscope is disposed on the second microscope, is movable at least between a second observation position and a second non-observation position, and has a second positioning section that positions and holds the sample stage. A second positioning device that delivers the sample table between the second positioning unit and the sample table positioning holding unit of the transport device when positioned at a second non-observation position;
When the second positioning unit is positioned at the second observation position and the second non-observation position, respectively, an image of the sample stage positioned at the second positioning unit is acquired, and the first of the sample stage is acquired. A second image acquisition unit for acquiring an image of the second region extraction window corresponding to the region extraction window;
Based on the image acquired by the second image acquisition unit when the second positioning unit is positioned at the second non-observation position, the second sample table coordinate of the sample table positioned by the second positioning unit A second coordinate acquisition unit for acquiring a coordinate position;
When the second positioning unit is positioned at the second non-observation position, the image of the second region extraction window acquired by the second image acquisition unit and the second of the sample stage acquired by the second coordinate acquisition unit. Based on the coordinate position of the two sample table coordinates, the coordinate position of the second region extraction window in the second sample table coordinate is acquired, and the first sample table coordinate acquired by the first coordinate acquisition unit A difference between the coordinate position and the coordinate position of the second sample table coordinate acquired by the second coordinate acquisition unit is acquired, and the coordinate position of the second sample table coordinate is corrected based on the acquired difference. A second extraction window coordinate acquisition unit that acquires a corrected coordinate position of the second region extraction window corresponding to the first region extraction window,
The second positioning device moves the second positioning unit from the second non-observation position based on the corrected coordinate position of the second region extraction window acquired by the second extraction window coordinate acquisition unit. Moving the second region extraction window to the second observation position at a position corresponding to the coordinate position of the first region extraction window;
The first microscope and the second microscope provide a correlation microscope in which one of the microscopes is an optical microscope and the other microscope is an electron microscope.

　また、本発明の第２の態様によれば、第１の態様において、前記第１位置決め部が前記第１観察位置に位置したときに前記第１画像取得部で取得された前記第１領域抽出窓の画像から抽出された前記観察対象組織の複数個の特徴部に基づき、前記第１位置決め部が前記第１観察位置に位置したときに前記第１画像取得部で取得された前記第１領域抽出窓の前記画像と前記第２位置決め部が前記第２観察位置に位置したときに前記第２画像取得部で取得された前記第２領域抽出窓の画像とのパターンマッチングを行う画像処理部と、
　前記画像処理部での前記パターンマッチングの結果と、前記第１座標取得部で取得した前記第１試料台座標の座標位置と、前記第２抽出窓座標取得部で取得した第２領域抽出窓の前記補正後の座標位置とを基に、前記第１領域抽出窓の画像と前記第２領域抽出窓の画像とを重ね合わせる画像合成部とをさらに備えることもできる。 According to the second aspect of the present invention, in the first aspect, the first region extraction acquired by the first image acquisition unit when the first positioning unit is located at the first observation position. The first region acquired by the first image acquisition unit when the first positioning unit is located at the first observation position based on a plurality of features of the observation target tissue extracted from the image of the window An image processing unit that performs pattern matching between the image of the extraction window and the image of the second region extraction window acquired by the second image acquisition unit when the second positioning unit is positioned at the second observation position; ,
The result of the pattern matching in the image processing unit, the coordinate position of the first sample stage coordinate acquired by the first coordinate acquisition unit, and the second region extraction window acquired by the second extraction window coordinate acquisition unit An image composition unit that superimposes the image of the first region extraction window and the image of the second region extraction window based on the corrected coordinate position may be further provided.

　本発明の前記第１の態様によれば、２つの顕微鏡にそれぞれ位置決めされたときの同一の試料台の画像及び試料の観察対象組織を含む第１領域抽出窓と第１試料台座標と第２試料台座標と第２領域抽出窓の座標とをそれぞれ取得し、第１試料台座標と第２試料台座標との差を基に第２試料台座標を補正して、第２領域抽出窓の補正後の座標を取得し、補正後の座標位置を基に、第２位置決め装置は、第２位置決め部を、第２非観察位置から、第１領域抽出窓の座標位置に対応する位置に第２領域抽出窓が位置している第２観察位置に移動させる。この結果、高い精度で同一位置での観察を行うことができる。 According to the first aspect of the present invention, the first region extraction window, the first sample table coordinates, and the second image including the image of the same sample table and the observation target tissue of the sample when positioned on the two microscopes, respectively. The sample table coordinates and the coordinates of the second region extraction window are respectively acquired, and the second sample table coordinates are corrected based on the difference between the first sample table coordinates and the second sample table coordinates. Based on the corrected coordinate position, the second positioning device moves the second positioning unit from the second non-observation position to a position corresponding to the coordinate position of the first region extraction window. Move to the second observation position where the two-region extraction window is located. As a result, it is possible to perform observation at the same position with high accuracy.

　また、本発明の前記第２の態様によれば、第１領域抽出窓画像に対応する第２領域抽出窓画像に対してパターンマッチングを行い、第１領域抽出窓画像と第２領域抽出窓画像とを重ね合わせた合成画像を生成することができる。この結果、高い精度で同一位置での合成画像を取得して観察することができる。 Further, according to the second aspect of the present invention, pattern matching is performed on the second region extraction window image corresponding to the first region extraction window image, and the first region extraction window image and the second region extraction window image are obtained. Can be synthesized. As a result, a synthesized image at the same position can be acquired and observed with high accuracy.

　本発明のこれらと他の目的と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。この図面においては、
本発明の１つの実施形態にかかる相関顕微鏡の概略正面図、実施形態にかかる相関顕微鏡の平面図、相関顕微鏡の正面図、相関顕微鏡のブロック図、相関顕微鏡の試料台の平面図、相関顕微鏡の試料台の底面図、相関顕微鏡の試料台の斜視図、相関顕微鏡の搬送装置の部分の平面図、相関顕微鏡の搬送装置の部分の斜視図、相関顕微鏡の搬送装置の試料台位置決め保持部付近の斜視図、相関顕微鏡の搬送装置の周辺の斜視図、相関顕微鏡の第１位置決め装置の斜視図、相関顕微鏡の第１顕微鏡、搬送装置、及び試料台投入装置の平面図、相関顕微鏡の第１位置決め装置の第１位置決め部の拡大平面図、相関顕微鏡の第１位置決め装置での第１試料台座標と第２位置決め装置での第２試料台座標との関係及びテンプレートマッチングを説明するための説明図、相関顕微鏡の第２顕微鏡及びロードロック室ユニットの平面図、相関顕微鏡のロードロック室内での受渡しを説明するための拡大平面図、相関顕微鏡の回転搬送装置の斜視図、相関顕微鏡の回転搬送装置の平面図、相関顕微鏡のロードロック室ユニット及び第２顕微鏡の真空室内の斜視図、相関顕微鏡の第２位置決め装置の第２位置決め部の拡大平面図、相関顕微鏡の搬送装置の搬送動作のフローチャート、相関顕微鏡の試料の第１例にかかる合成前後の画像の説明図、相関顕微鏡の試料の第２例にかかる合成前後の画像の説明図、相関顕微鏡の試料の第３例にかかる合成前後の画像の説明図、相関顕微鏡の試料の第４例にかかる合成前後の画像の説明図、従来の２つの顕微鏡間での位置合わせの状態を説明するための説明図、実施形態にかかる相関顕微鏡での位置合わせの状態を説明するための説明図、前記実施形態の変形例にかかる相関顕微鏡の試料台の平面図、前記実施形態の変形例にかかる相関顕微鏡の試料台の正面図、前記実施形態の変形例にかかる相関顕微鏡の試料台の斜視図、前記実施形態の変形例にかかる相関顕微鏡の試料台に挿入可能な標準試料台の斜視図、前記実施形態の変形例にかかる相関顕微鏡の試料台に標準試料台が挿入された状態での斜視図。 These and other objects and features of the invention will become apparent from the following description taken in conjunction with the preferred embodiments with reference to the accompanying drawings. In this drawing,
1 is a schematic front view of a correlation microscope according to one embodiment of the present invention; The top view of the correlation microscope concerning an embodiment, Front view of correlation microscope, Correlation microscope block diagram, Plan view of the sample stage of the correlation microscope, Bottom view of correlation microscope sample stage, A perspective view of a sample stage of a correlation microscope, A plan view of the part of the transfer device of the correlation microscope, A perspective view of the part of the transfer device of the correlation microscope, FIG. Perspective view of the periphery of the transfer device of the correlation microscope, The perspective view of the 1st positioning device of a correlation microscope, The top view of the 1st microscope of a correlation microscope, a conveyance device, and a sample stand loading device, An enlarged plan view of the first positioning portion of the first positioning device of the correlation microscope, Explanatory drawing for demonstrating the relationship between the 1st sample stand coordinate in the 1st positioning device of a correlation microscope, and the 2nd sample stand coordinate in the 2nd positioning device, and template matching. Plan view of the second microscope and load lock chamber unit of the correlation microscope, An enlarged plan view for explaining delivery in the load lock chamber of the correlation microscope, A perspective view of a rotary conveyance device of a correlation microscope, Plan view of the rotary transport device of the correlation microscope, A perspective view of the load lock chamber unit of the correlation microscope and the vacuum chamber of the second microscope, An enlarged plan view of the second positioning portion of the second positioning device of the correlation microscope; A flowchart of the transport operation of the transport device of the correlation microscope; Explanatory drawing of the image before and after the synthesis | combination concerning the 1st example of the sample of a correlation microscope, Explanatory drawing of the image before and after the synthesis | combination concerning the 2nd example of the sample of a correlation microscope, Explanatory drawing of the image before and behind the synthesis | combination concerning the 3rd example of the sample of a correlation microscope, Explanatory drawing of the image before and after the synthesis | combination concerning the 4th example of the sample of a correlation microscope, Explanatory drawing for demonstrating the state of the alignment between the conventional two microscopes, Explanatory drawing for demonstrating the state of the alignment in the correlation microscope concerning embodiment. The top view of the sample stand of the correlation microscope concerning the modification of the embodiment, Front view of a sample stage of a correlation microscope according to a modification of the embodiment, The perspective view of the sample stand of the correlation microscope concerning the modification of the embodiment, The perspective view of the standard sample stand which can be inserted in the sample stand of the correlation microscope concerning the modification of the embodiment, The perspective view in the state where the standard sample stand was inserted in the sample stand of the correlation microscope concerning the modification of the embodiment.

　以下、図面を参照して本発明における第１実施形態を詳細に説明する。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

　図１は、本発明の第１の実施形態にかかる相関顕微鏡１０の概略構成図である。図２及び図３は、一例として、相関顕微鏡１０の配置を示す平面図及び正面図である。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a correlation microscope 10 according to the first embodiment of the present invention. 2 and 3 are a plan view and a front view showing the arrangement of the correlation microscope 10 as an example.

　本発明の第１の実施形態にかかる相関顕微鏡１０は、図１～図３に示すように、少なくとも、第１顕微鏡１と、第２顕微鏡２と、搬送装置５と、第１位置決め装置８と、第２位置決め装置９と、制御部１１と備えている。必要に応じて、相関顕微鏡１０は、モニタ４、記憶部５０、試料台投入装置６９、免振台３なども備えている。モニタ４は、観察結果を表示するディスプレイである。記憶部５０は、制御部１１の各部又は各種検出部又はリニアスケールなどで取得した情報を記憶する。試料台投入装置６９は試料台６を投入のため準備する装置である。免振台３は、各種装置等を載置して、相関顕微鏡１０の外部から相関顕微鏡１０に伝達される振動を防止するための装置である。 As shown in FIGS. 1 to 3, the correlation microscope 10 according to the first embodiment of the present invention includes at least a first microscope 1, a second microscope 2, a transport device 5, and a first positioning device 8. The second positioning device 9 and the control unit 11 are provided. The correlation microscope 10 also includes a monitor 4, a storage unit 50, a sample table input device 69, a vibration isolation table 3, and the like as necessary. The monitor 4 is a display that displays the observation result. The storage unit 50 stores information acquired by each unit of the control unit 11, various detection units, a linear scale, or the like. The sample stage loading device 69 is a device for preparing the sample stage 6 for loading. The vibration isolation table 3 is a device for placing various devices and the like to prevent vibrations transmitted from the outside of the correlation microscope 10 to the correlation microscope 10.

　第１顕微鏡１と第２顕微鏡２とは、いずれか一方の顕微鏡が光学顕微鏡であり、他方の顕微鏡が電子顕微鏡である。一例として、この第１実施形態では、第１顕微鏡１は、光学顕微鏡の一例である共焦点顕微鏡とする。また、第２顕微鏡２は、電子顕微鏡の一例である走査型電子顕微鏡とし、共焦点顕微鏡１とは光軸が非同軸で配置されている。以下の説明では、第１顕微鏡１の例である共焦点顕微鏡に最初に試料台６を搬送したのち、第２顕微鏡２の例である走査型電子顕微鏡に試料台６を搬送しているが、この順序に限定されるものではなく、逆の順序で試料台６を搬送してもよい。 One of the first microscope 1 and the second microscope 2 is an optical microscope, and the other microscope is an electron microscope. As an example, in the first embodiment, the first microscope 1 is a confocal microscope that is an example of an optical microscope. The second microscope 2 is a scanning electron microscope that is an example of an electron microscope, and the optical axis of the second microscope 2 is non-coaxial with the confocal microscope 1. In the following description, after the sample stage 6 is first transported to the confocal microscope that is an example of the first microscope 1, the sample stage 6 is transported to the scanning electron microscope that is an example of the second microscope 2. The sample stage 6 may be transported in the reverse order without being limited to this order.

　図４に示すように、詳しくは後述するが、制御部１１は、少なくとも、第１座標取得部２１と、第２座標取得部２２と、第１抽出窓座標取得部２３と、第２抽出窓座標取得部２４と、第１画像取得部４１と、第２画像取得部４２と、画像処理部４６と、画像合成部４７とを備えている。制御部１１の動作制御部４９は、第１顕微鏡１と、第２顕微鏡２と、搬送装置５と、第１位置決め装置８と、第２位置決め装置９と、ロードロック室ユニット６０と、回転搬送装置６６となどの各種駆動装置、及び、制御部１１の第１座標取得部２１から画像合成部４７までのそれぞれの動作を制御している。 As will be described in detail later with reference to FIG. 4, the control unit 11 includes at least a first coordinate acquisition unit 21, a second coordinate acquisition unit 22, a first extraction window coordinate acquisition unit 23, and a second extraction window. A coordinate acquisition unit 24, a first image acquisition unit 41, a second image acquisition unit 42, an image processing unit 46, and an image composition unit 47 are provided. The operation control unit 49 of the control unit 11 includes a first microscope 1, a second microscope 2, a transfer device 5, a first positioning device 8, a second positioning device 9, a load lock chamber unit 60, and a rotary transfer. Various drive devices such as the device 66 and the operations from the first coordinate acquisition unit 21 to the image composition unit 47 of the control unit 11 are controlled.

　第１顕微鏡１と第２顕微鏡２との間で搬送装置５により試料台６が搬送されている。試料台６には、試料７が保持されている。 The sample stage 6 is transported by the transport device 5 between the first microscope 1 and the second microscope 2. A sample 7 is held on the sample stage 6.

　図５Ａ～図５Ｃに示すように、試料台６は、例えば銅などの非磁性体の円板状部材で構成されている。試料台６の表面には、試料載置領域６ａと、試料載置領域６ａの近傍でかつ試料載置領域６ａ外に２つの基準点６ｂ，６ｃが配置されている。各基準点６ｂ，６ｃは、例えば、直径１ｍｍ程度の小さな円形凹部で形成されている。試料台６は、その側面に、９０度毎に周囲の四隅に湾曲した切欠部６ｄ，…，６ｄを有するとともに、隣接する２つの切欠部６ｄ，６ｄの中間に円形の位置決め切欠６ｅを有する。また、試料台６の裏面中央には、円形の位置決め凹部６ｆを有している。試料台６の全周囲の側面下部には、上向き傾斜防止用の鍔部６ｈを有している。試料載置領域６ａには、観察対象組織３５を含む生体試料７が両面接着テープなどにより固定されている。観察対象組織３５の例は、１つの細胞又は器官、又は、１つの細胞又は器官の一部などである。 As shown in FIGS. 5A to 5C, the sample stage 6 is composed of a non-magnetic disk-like member such as copper. On the surface of the sample stage 6, a sample placement area 6a and two

reference points

6b and 6c are arranged in the vicinity of the sample placement area 6a and outside the sample placement area 6a. Each

reference point

6b, 6c is formed of a small circular recess having a diameter of about 1 mm, for example. The sample stage 6 has notches 6d,..., 6d that are curved at four corners on the side surface every 90 degrees, and a circular positioning notch 6e between two

adjacent notches

6d, 6d. Further, a circular positioning recess 6 f is provided at the center of the back surface of the sample stage 6. The lower part of the side surface of the entire circumference of the sample stage 6 has a flange part 6h for preventing upward tilting. The biological sample 7 including the observation target tissue 35 is fixed to the sample placement area 6a with a double-sided adhesive tape or the like. An example of the observation target tissue 35 is one cell or organ, or a part of one cell or organ.

　搬送装置５は、少なくとも試料台位置決め保持部２５を有して、試料台６を試料台位置決め保持部２５に位置決め保持した状態で、第１顕微鏡１から第２顕微鏡２へ試料台６を搬送する。具体的には、図６～図９に示すように、搬送装置５は、モータなどで正逆回転駆動される回転装置５ａと、回転装置５ａで正逆回転する搬送アーム５ｂと、搬送アーム５ｂの先端に取り付けられた試料台位置決め保持部２５と、試料台位置決め保持部２５を搬送アーム５ｂの軸方向に進退させる進退装置５ｃと、搬送アーム５ｂを上下動させる昇降装置５ｄとを備えている。進退装置５ｃと昇降装置５ｄとは、それぞれ、例えば、案内機構で案内しつつ正逆回転モータなどで１つの軸方向に進退駆動させる公知の駆動装置である。よって、試料台位置決め保持部２５を回転装置５ａの回転軸の周りに正逆回転させるとともに、昇降装置５ｄで搬送アーム５ｂを上下動させ、進退装置５ｃで試料台位置決め保持部２５を搬送アーム５ｂの軸方向に進退可能として、第１位置決め装置８及び第２位置決め装置９に対して、試料台６を自在に位置調整可能としている。 The transport device 5 has at least a sample stage positioning holder 25 and transports the sample stage 6 from the first microscope 1 to the second microscope 2 in a state where the sample stage 6 is positioned and held by the sample stage positioning holder 25. . Specifically, as shown in FIGS. 6 to 9, the transport device 5 includes a rotating device 5a that is driven to rotate forward and backward by a motor, a transport arm 5b that rotates forward and backward by the rotating device 5a, and a transport arm 5b. A sample table positioning and holding unit 25 attached to the tip of the sample table, an advance / retreat device 5c for moving the sample table positioning and holding unit 25 in the axial direction of the transfer arm 5b, and an elevating device 5d for moving the transfer arm 5b up and down. . The advancing / retreating device 5c and the lifting / lowering device 5d are known drive devices that are driven to advance and retract in one axial direction by a forward / reverse rotation motor or the like while being guided by a guide mechanism, for example. Therefore, the sample table positioning holding unit 25 is rotated forward and backward around the rotation axis of the rotating device 5a, the transport arm 5b is moved up and down by the lifting device 5d, and the sample table positioning holding unit 25 is moved by the advance / retreat device 5c. The position of the sample stage 6 can be freely adjusted with respect to the first positioning device 8 and the second positioning device 9.

　試料台位置決め保持部２５は、図８に示すように、搬送アーム５ｂの先端に固定されたＬ字状の保持枠部２５ａと、保持枠部２５ａの下部中央部に立設した第１位置決めピン２５ｂと、第１位置決めピン２５ｂの両側に張り出して試料台６の裏面を支持する一対の支持台部２５ｃと、保持枠部２５ａの基端側で一方の支持台部２５ｃから立設した第２位置決めピン２５ｄとを備えている。よって、第１位置決めピン２５ｂは、試料台６の裏面中央の位置決め凹部６ｆに嵌合するとともに、第２位置決めピン２５ｄは、試料台６の位置決め切欠６ｅに嵌合して、試料台６を試料台位置決め保持部２５に対して位置決めした状態で、一対の支持台部２５ｃで試料台６の裏面を支持して保持できるようにしている。 As shown in FIG. 8, the sample stage positioning holding unit 25 includes an L-shaped holding frame portion 25a fixed to the tip of the transfer arm 5b, and a first positioning pin erected at the lower center portion of the holding frame portion 25a. 25b, a pair of support bases 25c projecting on both sides of the first positioning pin 25b and supporting the back surface of the sample stage 6, and a second standing upright from one support base 25c on the base end side of the holding frame part 25a. Positioning pins 25d. Accordingly, the first positioning pin 25b is fitted into the positioning recess 6f at the center of the back surface of the sample stage 6, and the second positioning pin 25d is fitted into the positioning notch 6e of the sample stage 6, so that the sample stage 6 is attached to the sample. The back surface of the sample table 6 is supported and held by the pair of support table portions 25c in a state where the sample table 6 is positioned with respect to the table positioning holding unit 25.

　第１位置決め装置８は、第１顕微鏡１の下部に配置されている。図１０に示すように、第１位置決め装置８は、例えば、ＸＹＺステージ８ａと、リニアスケール８ｂと、第１位置決め制御部８ｇとで構成されている。 The first positioning device 8 is disposed below the first microscope 1. As shown in FIG. 10, the first positioning device 8 includes, for example, an XYZ stage 8a, a linear scale 8b, and a first positioning control unit 8g.

　ＸＹＺステージ８ａは、Ｘ軸ステージ８ｘとＹ軸ステージ８ｙとＺ軸ステージ８ｚとで構成されている。ＸＹＺステージ８ａは、Ｘ軸ステージ８ｘでＸ軸方向に進退可能であり、Ｙ軸ステージ８ｙでＹ軸方向に進退可能であり、Ｚ軸ステージ８ｚでＺ軸方向に進退可能である。 The XYZ stage 8a includes an X-axis stage 8x, a Y-axis stage 8y, and a Z-axis stage 8z. The XYZ stage 8a can be advanced and retracted in the X-axis direction by the X-axis stage 8x, can be advanced and retracted in the Y-axis direction by the Y-axis stage 8y, and can be advanced and retracted in the Z-axis direction by the Z-axis stage 8z.

　リニアスケール８ｂは、ＸＹＺステージ８ａのＸ軸ステージ８ｘとＹ軸ステージ８ｙとＺ軸ステージ８ｚとの各軸に配置されて、リニアエンコーダとも呼ばれ、ｎｍオーダの測長器であり、これを用いてＰＩＤ制御によりＸＹＺステージ８ａの位置決めを行っている。各リニアスケール８ｂは、固定側エンコーダヘッドから可動側ガラススケールにレーザが照射され、可動側ガラススケールで反射されて受光される光を基に可動側ガラススケールの目盛を固定側エンコーダヘッドでｎｍ精度で取得する。すなわち、各軸の位置座標を固定側エンコーダヘッドでｎｍ精度で取得できるように構成している。従って、第１顕微鏡１のＸＹＺステージ８ａのステージ座標系分解能と位置精度、すなわち、第１顕微鏡１のＸＹＺステージ８ａの後述する装置座標（ＸＹ座標）５８と装置座標原点５８ｏとがｎｍ精度で繰り返し一致するような、ＸＹ座標５８と装置座標原点５８ｏとを有している。 The linear scale 8b is arranged on each axis of the X-axis stage 8x, the Y-axis stage 8y, and the Z-axis stage 8z of the XYZ stage 8a, and is also called a linear encoder, and is a length measuring device on the order of nm. Thus, the XYZ stage 8a is positioned by PID control. Each linear scale 8b irradiates the movable glass scale with laser from the fixed encoder head, and reflects the light received by being reflected by the movable glass scale. Get in. That is, the position coordinates of each axis are configured to be acquired with nm accuracy by the fixed encoder head. Therefore, the stage coordinate system resolution and position accuracy of the XYZ stage 8a of the first microscope 1, that is, the apparatus coordinates (XY coordinates) 58 and the apparatus coordinate origin 58o described later of the XYZ stage 8a of the first microscope 1 are repeated with nm accuracy. An XY coordinate 58 and a device coordinate origin 58o that coincide with each other are included.

　第１位置決め制御部８ｇは、リニアスケール８ｂの情報を基に、各ステージのモータなどの駆動装置８ｘａ，８ｙａ，８ｚａを駆動制御する。すなわち、第１位置決め制御部８ｇにより、リニアスケール８ｂの情報を基に、Ｘ軸ステージ８ｘとＹ軸ステージ８ｙとＺ軸ステージ８ｚとは、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とにｎｍ精度例えば１０ｎｍ分解能のサーボ制御にて移動可能としている。 The first positioning control unit 8g controls driving of the driving devices 8xa, 8ya, 8za such as motors of the respective stages based on the information of the linear scale 8b. That is, the X-axis stage 8x, the Y-axis stage 8y, and the Z-axis stage 8z are set to the X axis, the Y axis, and the Z axis perpendicular to each other by the first positioning control unit 8g based on the information of the linear scale 8b. It can be moved by servo control with accuracy of, for example, 10 nm resolution.

　第１位置決め装置８は、試料台６を位置決め保持する第１位置決め部２８を有するとともに、第１位置決め部２８が受渡し位置Ｉに位置したのち、第１位置決め部２８と搬送装置５の試料台位置決め保持部２５との間で試料台６を受渡しする。第１位置決め部２８は、試料台６の受渡しを行う受渡し位置Ｉの他に、座標位置を取得する第１基準マーク撮像基準位置と、観察を行う単数又は複数の第１観察位置とにそれぞれ移動可能としている。本実施形態では、受渡し位置Ｉと第１基準マーク撮像基準位置とが第１非観察位置の例である。非観察位置とは、観察位置以外の位置であって、試料台６の受渡し動作又は装置座標等を取得する動作を行うための位置である。第１位置決め部２８の第１基準マーク撮像基準位置は、第１位置決め装置８において予め決められており、例えば、座標計算を簡単にするため、２つの基準点６ｂ，６ｃの中間にＹ軸が位置し、Ｘ軸が試料載置領域６ａを横切るような位置（図１３の左側の座標を参照）などに決めればよい。 The first positioning device 8 includes a first positioning unit 28 that positions and holds the sample stage 6, and after the first positioning unit 28 is positioned at the delivery position I, the first positioning unit 28 and the sample stage positioning of the transport device 5 are positioned. The sample stage 6 is delivered to and from the holding unit 25. The first positioning unit 28 moves to the first reference mark imaging reference position for acquiring the coordinate position and the single or a plurality of first observation positions for observation, in addition to the delivery position I for delivering the sample stage 6. It is possible. In the present embodiment, the delivery position I and the first reference mark imaging reference position are examples of the first non-observation position. The non-observation position is a position other than the observation position, and is a position for performing a delivery operation of the sample stage 6 or an operation of acquiring apparatus coordinates and the like. The first reference mark imaging reference position of the first positioning unit 28 is determined in advance in the first positioning device 8. For example, in order to simplify the coordinate calculation, the Y axis is located between the two

reference points

6b and 6c. The position may be determined such that the X axis crosses the sample placement region 6a (see the coordinates on the left side of FIG. 13).

　第１位置決め部２８は、図１１及び図１２に示すように、第１位置決め部２８に対する搬送装置５による搬入方向（図１２の左方向）の先端の一対の切欠部６ｄにそれぞれ係合可能な一対の位置決め突起２８ａと、試料台６の搬入方向と交差する方向の一対の端部の裏面を支持する一対の支持部２８ｂ，２８ｃと、搬入方向の後端の１つの切欠部６ｄに係合可能なロック部２８ｄ先端に有して支持軸２８ｆ周りに正逆回転可能なレバー２８ｅと、レバー２８ｅを正逆回転駆動するモータなどのロック部駆動装置２８ｈと、試料台位置決め保持部２５による試料台搬入搬出用の開口部２８ｇとを有している。 As shown in FIGS. 11 and 12, the first positioning portion 28 is engageable with a pair of cutout portions 6 d at the tip in the loading direction (left direction in FIG. 12) by the transport device 5 with respect to the first positioning portion 28. Engage with a pair of positioning projections 28a, a pair of

support portions

28b and 28c that support the back surfaces of a pair of end portions in a direction crossing the loading direction of the sample stage 6, and one notch portion 6d at the rear end in the loading direction. A lever 28e that is provided at the tip of the lock portion 28d that can rotate forward and backward around the support shaft 28f, a lock portion drive device 28h such as a motor that drives the lever 28e to rotate forward and reverse, It has an opening 28g for loading and unloading the table.

　よって、試料台位置決め保持部２５から第１位置決め部２８に試料台６を渡すときは、以下のように動作する。 Therefore, when the sample table 6 is transferred from the sample table positioning holding unit 25 to the first positioning unit 28, the operation is as follows.

　まず、第１位置決め部２８が受渡し位置Ｉに位置したのち、搬送装置５の試料台位置決め保持部２５の第１位置決めピン２５ｂと第２位置決めピン２５ｄとで位置決めされつつ支持台部２５ｃで下から支持されている状態の試料台６が、試料台位置決め保持部２５と共に搬入方向から第１位置決め部２８の上方まで進退装置５ｃで移動する。 First, after the first positioning unit 28 is located at the delivery position I, the first positioning pin 25b and the second positioning pin 25d of the sample table positioning holding unit 25 of the transport device 5 are positioned from the bottom by the support table 25c. The sample stage 6 in a supported state is moved by the advance / retreat apparatus 5 c from the loading direction to above the first positioning part 28 together with the sample stage positioning holding part 25.

　次いで、昇降装置５ｄで試料台６と共に試料台位置決め保持部２５が下降して、試料台位置決め保持部２５が開口部２８ｇ内に入るとともに、試料台６の搬入方向と交差する方向の一対の端部の裏面を、第１位置決め部２８の一対の支持部２８ｂ，２８ｃで支持したのち、昇降装置５ｄによる試料台位置決め保持部２５の下降を停止する。 Next, the sample table positioning and holding unit 25 is lowered together with the sample table 6 by the lifting device 5d so that the sample table positioning and holding unit 25 enters the opening 28g and a pair of ends in a direction intersecting the loading direction of the sample table 6 After the back surface of the part is supported by the pair of

support parts

28b, 28c of the first positioning part 28, the descent of the sample table positioning holding part 25 by the lifting device 5d is stopped.

　次いで、第１位置決め部２８のレバー２８ｅをロック部駆動装置２８ｈにより一点鎖線の退避位置から反時計周りに回転させて、搬入方向の後端の１つの切欠部６ｄに係合させるとともに、第１位置決め部２８の一対の位置決め突起２８ａを、試料台６の搬入方向の先端の一対の切欠部６ｄに係合させる。この結果、試料台６を第１位置決め部２８に位置決め保持する。 Next, the lever 28e of the first positioning portion 28 is rotated counterclockwise from the retracted position of the alternate long and short dash line by the lock portion driving device 28h to be engaged with one notch 6d at the rear end in the loading direction, and the first The pair of positioning protrusions 28 a of the positioning portion 28 are engaged with the pair of notch portions 6 d at the tip in the loading direction of the sample stage 6. As a result, the sample stage 6 is positioned and held on the first positioning portion 28.

　次いで、搬送装置５の試料台位置決め保持部２５を搬送装置５の昇降装置５ｄによりさらに下降させて、支持台部２５ｃによる試料台６の支持を解除したのち、進退装置５ｃで試料台位置決め保持部２５を第１位置決め部２８の開口部２８ｇから反搬入方向に退避することにより、試料台６を試料台位置決め保持部２５から第１位置決め部２８に渡すことができる。 Next, after the sample stage positioning and holding unit 25 of the transfer device 5 is further lowered by the elevating device 5d of the transfer device 5 and the support of the sample table 6 by the support table 25c is released, the sample table positioning and holding unit is moved by the advance / retreat apparatus 5c. The sample stage 6 can be transferred from the sample stage positioning holding part 25 to the first positioning part 28 by retracting 25 from the opening part 28g of the first positioning part 28 in the reverse loading direction.

　その後、第１位置決め装置８の駆動により、まず、第１基準マーク撮像基準位置に第１位置決め部２８を位置決めして、第１基準マーク撮像基準位置での試料台６の画像を第１画像取得部４１で取得したのち、第１位置決め部２８を第１観察位置まで移動させて、第１顕微鏡１で観察を行う。 Thereafter, the first positioning device 8 is driven to first position the first positioning unit 28 at the first reference mark imaging reference position, and the first image of the sample stage 6 at the first reference mark imaging reference position is acquired. After being acquired by the unit 41, the first positioning unit 28 is moved to the first observation position, and observation is performed with the first microscope 1.

　逆に、第１位置決め部２８から試料台位置決め保持部２５に試料台６を受け取るときは、以下のように動作する。 Conversely, when the sample stage 6 is received from the first positioning unit 28 to the sample stage positioning holding unit 25, the operation is as follows.

　まず、第１位置決め装置８の駆動により、第１位置決め部２８を試料台受渡し位置Ｉまで移動させたのち、進退装置５ｃで試料台位置決め保持部２５を第１位置決め部２８の下方まで搬入方向に移動させる。 First, after the first positioning device 8 is driven to move the first positioning portion 28 to the sample table delivery position I, the advancement / retreat device 5c moves the sample table positioning holding portion 25 below the first positioning portion 28 in the loading direction. Move.

　次いで、昇降装置５ｄで試料台位置決め保持部２５を上昇させて開口部２８ｇ内に入り込ませて、支持台部２５ｃにより試料台６を下から支持する。 Next, the sample stage positioning holding part 25 is lifted by the elevating device 5d to enter the opening 28g, and the sample stage 6 is supported from below by the support stage 25c.

　次いで、第１位置決め部２８のレバー２８ｅをロック部駆動装置２８ｈにより切欠部６ｄに係合した位置から一点鎖線の退避位置まで時計周りに回転させて、係合解除する。 Next, the lever 28e of the first positioning part 28 is rotated clockwise from the position engaged with the notch 6d by the lock part driving device 28h to the retracted position of the one-dot chain line to release the engagement.

　次いで、さらに、昇降装置５ｄで試料台６と共に試料台位置決め保持部２５を上昇させれば、試料台６を第１位置決め部２８の位置決め保持状態から解除することができる。 Next, when the sample table positioning and holding unit 25 is raised together with the sample table 6 by the lifting device 5d, the sample table 6 can be released from the positioning and holding state of the first positioning unit 28.

　次いで、進退装置５ｃで試料台６と共に試料台位置決め保持部２５を第１位置決め部２８の開口部２８ｇから反搬入方向に退避することにより、試料台６を第１位置決め部２８から試料台位置決め保持部２５に受け取ることができる。 Next, the sample stage 6 is retracted from the opening 28g of the first positioning part 28 in the anti-loading direction together with the sample stage 6 by the advance / retreat apparatus 5c, whereby the sample stage 6 is positioned and held from the first positioning part 28. Part 25 can receive it.

　なお、試料台位置決め保持部２５の支持台部２５ｃは、試料台６の裏面の搬入方向の前後の端部を支持する一方、支持部２８ｂ，２８ｃは、搬入方向と交差する方向の一対の端部を支持するため、支持台部２５ｃと支持部２８ｂ，２８ｃとが当接することなく、試料台６を第１位置決め部２８と試料台位置決め保持部２５との間で円滑に受渡しすることができる。 The support table 25c of the sample table positioning and holding unit 25 supports the front and rear ends of the back surface of the sample table 6 in the carry-in direction, while the

support units

28b and 28c are a pair of ends in the direction crossing the carry-in direction. Therefore, the sample stage 6 can be smoothly transferred between the first positioning part 28 and the sample stage positioning holding part 25 without the support base part 25c and the

support parts

28b, 28c coming into contact with each other. .

　第１画像取得部４１は、蛍光選択フィルタ（不図示）と観察用カメラ（例えば、ＣＣＤカメラ）とを有しており、蛍光選択フィルタでの波長選択により目的の波長で表示された蛍光画像をＣＣＤカメラで検出してデジタル信号を取得する。第１位置決め部２８が第１基準マーク撮像基準位置に位置決めされたとき、及び、第１位置決め部２８が単数又は複数の第１観察位置に位置決めされたとき、第１画像取得部４１は、取得したデジタル信号を基に、第１位置決め部２８に位置決めされた試料台６の画像をそれぞれ取得して、試料台６の試料載置領域６ａに載置された試料７の観察対象組織３５を含む第１領域抽出窓３７の画像をそれぞれ取得する。取得した画像は、記憶部５０に記憶する。ここで、第１領域抽出窓３７は、試料載置領域６内に位置し、かつ、単数又は複数の観察対象組織３５を含むように、ユーザが、キーボード又はマウス又は音声入力などの入出力装置４８により設定できる。第１領域抽出窓３７の一例としては、４個の頂点の座標位置を指定することにより定義できる、四角形の仮想の領域抽出窓である。実際の例としては、ユーザに、第１領域抽出窓３７を設定するように促す抽出窓設定部７０を制御部１１に備えるようにしてもよい。第１位置決め部２８が第１基準マーク撮像基準位置に位置決めされたときには、第１位置決め装置８の装置座標原点５８ｏに対する装置座標５８を取得するための試料台６の画像と共に、第１基準マーク撮像基準位置での第１領域抽出窓３７の画像も第１画像取得部４１で取得する。 The first image acquisition unit 41 includes a fluorescence selection filter (not shown) and an observation camera (for example, a CCD camera), and displays a fluorescence image displayed at a target wavelength by wavelength selection using the fluorescence selection filter. A digital signal is acquired by detection with a CCD camera. When the first positioning unit 28 is positioned at the first reference mark imaging reference position, and when the first positioning unit 28 is positioned at one or a plurality of first observation positions, the first image acquisition unit 41 acquires Based on the digital signal thus obtained, images of the sample stage 6 positioned on the first positioning unit 28 are respectively acquired, and the observation target tissue 35 of the sample 7 placed on the sample placement area 6a of the sample stage 6 is included. Images of the first region extraction window 37 are acquired. The acquired image is stored in the storage unit 50. Here, the first area extraction window 37 is located in the sample placement area 6 and includes a single or plural observation target tissues 35 so that the user can input / output devices such as a keyboard, a mouse, or voice input. 48 can be set. An example of the first region extraction window 37 is a quadrangular virtual region extraction window that can be defined by designating the coordinate positions of four vertices. As an actual example, the control unit 11 may include an extraction window setting unit 70 that prompts the user to set the first region extraction window 37. When the first positioning unit 28 is positioned at the first reference mark imaging reference position, the first reference mark imaging is performed together with the image of the sample stage 6 for obtaining the apparatus coordinates 58 with respect to the apparatus coordinate origin 58o of the first positioning apparatus 8. An image of the first region extraction window 37 at the reference position is also acquired by the first image acquisition unit 41.

　第１座標取得部２１は、第１画像取得部４１で取得した第１基準マーク撮像基準位置での試料台６の画像から、試料台６の第１試料台座標３１の座標位置を取得する。具体的には、第１座標取得部２１においては、第１基準マーク撮像基準位置での試料台６の画像から、パターンマッチングなどにより、試料台６の２つの基準点６ｂ，６ｃの位置を抽出して、抽出した２つの基準点６ｂ，６ｃの座標位置を求める。ここでの座標位置は、図１３に示すように、第１位置決め装置８の装置座標原点５８ｏに対する装置座標５８の座標位置である。なお、装置座標５８はｘ軸５８ｘ及びｙ軸５８ｙで構成されている。これらの２つの基準点６ｂ，６ｃの座標位置のうち、一方の基準点（例えば、搬入方向先端側の基準点）６ｂの座標位置を第１試料台座標３１の原点位置３１ｏとし、２つの基準点６ｂ，６ｃの座標位置を結ぶ線３１ｘを第１試料台座標３１のｘ軸とする。第１試料台座標３１の原点位置３１ｏを通りかつ第１試料台座標３１のｘ軸３１ｘと直交する軸が、第１試料台座標３１のｙ軸３１ｙとなる。このようにして、原点位置３１ｏとｘ軸３１ｘとｙ軸３１ｙとにより第１試料台座標３１が定義できる。取得した第１試料台座標３１の座標位置などの情報は、記憶部５０に記憶する。 The first coordinate acquisition unit 21 acquires the coordinate position of the first sample table coordinate 31 of the sample table 6 from the image of the sample table 6 at the first reference mark imaging reference position acquired by the first image acquisition unit 41. Specifically, the first coordinate acquisition unit 21 extracts the positions of the two

reference points

6b and 6c of the sample table 6 from the image of the sample table 6 at the first reference mark imaging reference position by pattern matching or the like. Then, the coordinate positions of the two extracted

reference points

6b and 6c are obtained. The coordinate position here is the coordinate position of the device coordinate 58 with respect to the device coordinate origin 58o of the first positioning device 8, as shown in FIG. The device coordinates 58 are composed of an x-axis 58x and a y-axis 58y. Among the coordinate positions of these two

reference points

6b and 6c, the coordinate position of one reference point (for example, the reference point on the leading end side in the carrying-in direction) 6b is set as the origin position 31o of the first sample stage coordinate 31, and the two reference points A line 31 x connecting the coordinate positions of the

points

6 b and 6 c is taken as the x axis of the first sample stage coordinate 31. The axis passing through the origin position 31 o of the first sample table coordinate 31 and orthogonal to the x axis 31 x of the first sample table coordinate 31 is the y axis 31 y of the first sample table coordinate 31. In this way, the first sample stage coordinate 31 can be defined by the origin position 31o, the x-axis 31x, and the y-axis 31y. Information such as the coordinate position of the acquired first sample table coordinate 31 is stored in the storage unit 50.

　第１抽出窓座標取得部２３は、第１画像取得部４１で取得した第１基準マーク撮像基準位置での試料台６の画像、及び、例えば、ユーザが指定した第１領域抽出窓３７の４個の頂点の位置を基に、第１基準マーク撮像基準位置での試料台６の第１試料台座標３１における試料台６の試料７の第１領域抽出窓３７の４個の頂点の座標位置を取得する。取得した情報及び設定した情報は、記憶部５０に記憶する。 The first extraction window coordinate acquisition unit 23 includes the image of the sample stage 6 at the first reference mark imaging reference position acquired by the first image acquisition unit 41 and, for example, 4 of the first region extraction window 37 specified by the user. Based on the positions of the vertices, the coordinate positions of the four vertices of the first area extraction window 37 of the sample 7 of the sample stage 6 in the first sample stage coordinates 31 of the sample stage 6 at the first reference mark imaging reference position. To get. The acquired information and the set information are stored in the storage unit 50.

　共焦点顕微鏡は、大気中で試料７を観察可能であるが、走査型電子顕微鏡は、真空中で試料７を観察するため、気圧調整のためのロードロック室ユニット６０と回転搬送装置６６とが必要となる。この実施形態では、第２顕微鏡２の一例が走査型電子顕微鏡であるため、図２、図３、及び図１４に示すように、第２顕微鏡２に隣接してロードロック室ユニット６０と回転搬送装置６６とを配置している。詳しくは以下に詳述するが、ロードロック室ユニット６０内には、搬送部材６１を備えて、搬送装置５の試料台位置決め保持部２５と搬送部材６１との間で試料台６を受渡しし、ロードロック室ユニット６０のロードロック室６０ａを大気圧から真空圧まで減圧したのちは、搬送部材６１と回転搬送装置６６との間で試料台６を受渡しするとともに、第２顕微鏡２の真空室２ａ内の回転搬送装置６６の回転搬送アーム６７と第２顕微鏡２の第２位置決め装置９との間で試料台６を受渡しする。 The confocal microscope can observe the sample 7 in the atmosphere, but the scanning electron microscope observes the sample 7 in a vacuum. Therefore, the load lock chamber unit 60 for adjusting the atmospheric pressure and the rotary conveyance device 66 are provided. Necessary. In this embodiment, an example of the second microscope 2 is a scanning electron microscope. Therefore, as shown in FIGS. 2, 3, and 14, the load-lock chamber unit 60 is rotated and conveyed adjacent to the second microscope 2. A device 66 is arranged. As will be described in detail below, the load lock chamber unit 60 is provided with a transport member 61, and the sample table 6 is delivered between the sample table positioning holding unit 25 of the transport device 5 and the transport member 61. After reducing the load lock chamber 60a of the load lock chamber unit 60 from the atmospheric pressure to the vacuum pressure, the sample stage 6 is transferred between the transfer member 61 and the rotary transfer device 66, and the vacuum chamber 2a of the second microscope 2 is also transferred. The sample stage 6 is delivered between the rotary transfer arm 67 of the rotary transfer device 66 and the second positioning device 9 of the second microscope 2.

　ロードロック室ユニット６０は、図１４及び図１５に示すように、搬送部材６１と、搬送部材駆動装置６２と、真空吸引装置６３と、大気側の第１開閉装置６４と、真空側の第２開閉装置６５とを備えている。搬送部材６１は、ロードロック室６０ａ内で、搬送装置５の試料台位置決め保持部２５との間で試料台６を受渡し可能とするとともに、後述する回転搬送アーム６７との間でも試料台６を受渡し可能としている。搬送部材駆動装置６２は、搬送部材６１を長手軸方向沿いに進退駆動する、エアシリンダ又はモータとギヤとの組み合わせなどで構成される。 As shown in FIGS. 14 and 15, the load lock chamber unit 60 includes a transport member 61, a transport member driving device 62, a vacuum suction device 63, a first opening / closing device 64 on the atmosphere side, and a second side on the vacuum side. An opening / closing device 65 is provided. The transfer member 61 can deliver the sample stage 6 to and from the sample stage positioning holding unit 25 of the transfer apparatus 5 in the load lock chamber 60a, and can also transfer the sample stage 6 to and from the rotary transfer arm 67 described later. Delivery is possible. The conveying member driving device 62 is configured by an air cylinder or a combination of a motor and a gear that drives the conveying member 61 to advance and retract along the longitudinal axis direction.

　搬送部材６１は、先端部が二股部６１ａに分岐して、分岐した隙間６１ｂに、試料台位置決め保持部２５の第１位置決めピン２５ｂ及び回転搬送アーム６７の第１位置決めピン６１ｂがそれぞれ挿入可能としている。 The transport member 61 has a tip portion branched into a bifurcated portion 61a, and the first positioning pin 25b of the sample table positioning holding portion 25 and the first positioning pin 61b of the rotary transport arm 67 can be inserted into the branched gap 61b. Yes.

　よって、試料台位置決め保持部２５から搬送部材６１に試料台６を渡すときは、試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａ内に入って後述する受渡し位置ＩＩＩに位置したのち、搬送部材６１が退避位置から受渡し位置ＩＩＩに移動して、搬送部材６１の二股部６１ａが試料台位置決め保持部２５の試料台６と試料台位置決め保持部２５との隙間内に入り込み、搬送部材６１の分岐した隙間６１ｂに試料台位置決め保持部２５の第１位置決めピン２５ｂが挿入される。その後、試料台位置決め保持部２５が下降する。すると、搬送部材６１の二股部６１ａで試料台６の裏面が支持可能となり、試料台位置決め保持部２５から試料台６を回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａに受け取ることができる。その後、試料台６を支持した搬送部材６１が退避位置まで移動したのち、試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａから退避する。 Therefore, when the sample table 6 is transferred from the sample table positioning / holding unit 25 to the transport member 61, the sample table positioning / holding unit 25 enters the load lock chamber 60a and is positioned at a delivery position III to be described later. Moving from the retracted position to the delivery position III, the bifurcated portion 61a of the transport member 61 enters the gap between the sample stage 6 and the sample stage positioning holder 25 of the sample stage positioning holder 25, and the gap where the transport member 61 branches off. The first positioning pin 25b of the sample stage positioning holding part 25 is inserted into 61b. Thereafter, the sample stage positioning holder 25 is lowered. Then, the back surface of the sample table 6 can be supported by the bifurcated portion 61 a of the transport member 61, and the sample table 6 can be received from the sample table positioning holding unit 25 to the holding frame portion 67 a of the rotary transport arm 67. Thereafter, after the transport member 61 supporting the sample stage 6 has moved to the retracted position, the sample stage positioning holder 25 is retracted from the load lock chamber 60a.

　一方、搬送部材６１から回転搬送アーム６７に試料台６を渡すときは、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａがロードロック室６０ａ内に入ってきて、受渡し位置ＩＩＩに位置した搬送部材６１の下方に、回転搬送アーム６７の第１位置決めピン６７ｂが位置したのち、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａが上昇すると、搬送部材６１の分岐した隙間６１ｂに回転搬送アーム６７の第１位置決めピン６７ｂが挿入される。すると、二股部６１ａで支持されていた試料台６の裏面を、回転搬送アーム６７の一対の支持台部６７ｃで支持可能となり、搬送部材６１から試料台６を回転搬送アーム６７に受け取ることができる。その後、搬送部材６１が退避位置まで移動したのち、試料台６を支持した試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａから退避する。 On the other hand, when the sample stage 6 is transferred from the transfer member 61 to the rotary transfer arm 67, the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67 enters the load lock chamber 60a and is below the transfer member 61 located at the delivery position III. After the first positioning pin 67b of the rotary transfer arm 67 is positioned, when the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67 is raised, the first positioning pin 67b of the rotary transfer arm 67 is inserted into the gap 61b branched from the transfer member 61. Inserted. Then, the back surface of the sample table 6 supported by the bifurcated portion 61 a can be supported by the pair of support table portions 67 c of the rotation transfer arm 67, and the sample table 6 can be received from the transfer member 61 by the rotation transfer arm 67. . Thereafter, after the transport member 61 has moved to the retracted position, the sample stage positioning holding unit 25 that supports the sample stage 6 is retracted from the load lock chamber 60a.

　逆に、回転搬送アーム６７から搬送部材６１が試料台６を受け取るときは、搬送部材６１が退避位置に位置した状態で、試料台６を支持した回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａがロードロック室６０ａ内に入ってきて、受渡し位置ＩＩＩに位置する。次いで、搬送部材６１が退避位置から受渡し位置ＩＩＩに移動して、搬送部材６１の二股部６１ａで試料台６の裏面を支持したのち、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａが下降する。すると、試料台６は搬送部材６１の二股部６１ａでのみ支持された状態となり、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａはロードロック室６０ａから退避する。 Conversely, when the transport member 61 receives the sample stage 6 from the rotary transport arm 67, the holding frame portion 67a of the rotary transport arm 67 that supports the sample stage 6 is load-locked with the transport member 61 positioned at the retracted position. It enters the chamber 60a and is located at the delivery position III. Next, after the transport member 61 moves from the retracted position to the delivery position III and supports the back surface of the sample stage 6 by the bifurcated portion 61a of the transport member 61, the holding frame portion 67a of the rotary transport arm 67 is lowered. Then, the sample stage 6 is supported only by the bifurcated portion 61a of the transport member 61, and the holding frame portion 67a of the rotary transport arm 67 is retracted from the load lock chamber 60a.

　さらに、搬送部材６１から試料台位置決め保持部２５に試料台６を渡すときは、試料台６を支持した搬送部材６１が退避位置に位置した状態で、試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａ内に入ってきて、受渡し位置ＩＩＩでかつ搬送部材６１の下方に位置する。次いで、試料台位置決め保持部２５が上昇して、試料台位置決め保持部２５で試料台６を支持する。その後、搬送部材６１が退避位置に移動すると、試料台位置決め保持部２５でのみ試料台６を支持することになる。その後、試料台６を支持した試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａから退避する。 Furthermore, when the sample stage 6 is transferred from the transport member 61 to the sample stage positioning and holding unit 25, the sample stage positioning and holding unit 25 is in the load lock chamber 60a in a state where the transport member 61 that supports the sample stage 6 is located at the retracted position. It enters inside and is located at the delivery position III and below the conveying member 61. Next, the sample stage positioning / holding unit 25 is raised, and the sample stage 6 is supported by the sample stage positioning / holding unit 25. Thereafter, when the transport member 61 moves to the retracted position, the sample stage 6 is supported only by the sample stage positioning holding unit 25. Thereafter, the sample stage positioning holding part 25 supporting the sample stage 6 is retracted from the load lock chamber 60a.

　搬送部材駆動装置６２は、搬送部材６１を長手方向に進退駆動させて、搬送部材６１の先端部に支持した試料台６の、試料台位置決め保持部２５との受渡し位置ＩＩＩと、回転搬送アーム６７との受渡し位置ＩＩＩと、退避位置とに搬送部材６１がそれぞれ移動可能としている。この例では、試料台位置決め保持部２５との受渡し位置ＩＩＩと回転搬送アーム６７との受渡し位置ＩＩＩとは同一位置としているが、異なる位置としてもよい。搬送部材６１の退避位置では、搬送部材６１が試料台位置決め保持部２５及び回転搬送アーム６７と接触しない位置としている。 The transporting member driving device 62 drives the transporting member 61 to advance and retreat in the longitudinal direction, and the delivery position III of the sample stage 6 supported on the front end of the transporting member 61 with the sample stage positioning holding unit 25 and the rotary transporting arm 67. The transfer member 61 can be moved to the delivery position III and the retracted position. In this example, the delivery position III with the sample stage positioning holder 25 and the delivery position III with the rotary transfer arm 67 are the same position, but they may be different positions. In the retracted position of the transport member 61, the transport member 61 is not in contact with the sample stage positioning holding unit 25 and the rotary transport arm 67.

　ロードロック室６０ａの搬送装置側すなわち大気側の第１開閉ドア６４ａを第１開閉装置６４で開閉可能としている。また、ロードロック室６０ａの搬送アーム側すなわち真空側の第２開閉ドア６５ａを第２開閉装置６５で開閉可能としている。 The first opening / closing door 64a on the transfer device side, that is, the atmosphere side of the load lock chamber 60a can be opened and closed by the first opening / closing device 64. In addition, the second opening / closing door 65 a on the transfer arm side, that is, the vacuum side of the load lock chamber 60 a can be opened and closed by the second opening / closing device 65.

　ロードロック室６０ａの大気側の第１開閉ドア６４ａを開閉するときは、搬送部材６１を受渡し位置ＩＩＩ又は退避位置に位置させた状態で、ロードロック室６０ａの圧力を大気圧まで上昇させたのち、大気側の第１開閉ドア６４ａを開ける。その後、ロードロック室６０ａの大気側の第１開閉ドア６４ａを開けた状態で、搬送装置５の試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａ内に入り込んで試料台６を受渡しし、試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａから取り出されたのち、大気側の第１開閉ドア６４ａを閉じる。その後、ロードロック室６０ａを真空にするときは、真空吸引装置６３を駆動する。真空になったのちは、ロードロック室６０ａの真空側の第２開閉ドア６５ａを開けて、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａがロードロック室６０ａ内に入り込んで、搬送部材６１を受渡し位置ＩＩＩに位置させた状態で試料台６を受渡しし、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａと共に試料台６がロードロック室６０ａから取り出されたのち、真空側の第２開閉ドア６５ａを閉じる。 When opening and closing the first open / close door 64a on the atmosphere side of the load lock chamber 60a, the pressure in the load lock chamber 60a is increased to atmospheric pressure with the transport member 61 positioned at the delivery position III or the retracted position. Then, the first open / close door 64a on the atmosphere side is opened. After that, with the first open / close door 64a on the atmosphere side of the load lock chamber 60a opened, the sample table positioning holding unit 25 of the transfer device 5 enters the load lock chamber 60a, delivers the sample table 6, and positions the sample table. After the holding part 25 is removed from the load lock chamber 60a, the first open / close door 64a on the atmosphere side is closed. Thereafter, when the load lock chamber 60a is evacuated, the vacuum suction device 63 is driven. After the vacuum is reached, the second opening / closing door 65a on the vacuum side of the load lock chamber 60a is opened, the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67 enters the load lock chamber 60a, and the transfer member 61 is transferred to the delivery position III. The sample stage 6 is delivered in the state of being positioned at the position, and after the sample stage 6 is taken out of the load lock chamber 60a together with the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67, the second open / close door 65a on the vacuum side is closed.

　逆に、真空から大気圧にするときは、図示しない開放弁を動作制御部４９で動作制御して、大気圧に開放する。 Conversely, when the pressure is changed from vacuum to atmospheric pressure, an opening valve (not shown) is controlled by the operation control unit 49 to open to atmospheric pressure.

　回転搬送装置６６は、図１６～図１７に示すように、Ｃ字状に屈曲した回転搬送アーム６７と、回転搬送アーム６７を正逆回転する回転搬送駆動装置６８とで構成されている。回転搬送駆動装置６８は、正逆回転駆動するモータ６８ａと、ウォーム６８ｂと、ギア６８ｃと、回転軸６８ｄと、昇降装置６８ｅとで構成されている。モータ６８ａが正逆回転駆動されると、モータ６８ａの回転軸に固定されたウォーム６８ｂが正逆回転し、ウォーム６８ｂと噛み合ったギア６８ｃに固定された回転軸６８ｄが正逆回転する。 As shown in FIGS. 16 to 17, the rotary transfer device 66 is composed of a rotary transfer arm 67 bent in a C-shape and a rotary transfer drive device 68 that rotates the rotary transfer arm 67 forward and backward. The rotary conveyance drive device 68 includes a motor 68a that drives forward and reverse rotation, a worm 68b, a gear 68c, a rotary shaft 68d, and a lifting device 68e. When the motor 68a is driven to rotate forward and backward, the worm 68b fixed to the rotating shaft of the motor 68a rotates forward and backward, and the rotating shaft 68d fixed to the gear 68c engaged with the worm 68b rotates forward and backward.

　回転搬送アーム６７は、Ｃ字状の保持枠部６７ａと、保持枠部６７ａの下部中央部に立設した第１位置決めピン６７ｂと、第１位置決めピン６７ｂの両側に張り出して試料台６の裏面を支持する一対の支持台部６７ｃとを備えている。 The rotary transfer arm 67 includes a C-shaped holding frame portion 67a, a first positioning pin 67b erected on the lower center portion of the holding frame portion 67a, and a back surface of the sample stage 6 that projects from both sides of the first positioning pin 67b. And a pair of support bases 67c.

　よって、第１位置決めピン６７ｂは、試料台６の裏面中央の位置決め凹部６ｆに嵌合した状態で、一対の支持台部６７ｃで試料台６の裏面を支持して保持できるようにしている。 Therefore, the first positioning pin 67b is configured to support and hold the back surface of the sample table 6 with the pair of support tables 67c in a state where the first positioning pin 67b is fitted in the positioning recess 6f at the center of the back surface of the sample table 6.

　回転搬送アーム６７は、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａがロードロック室６０ａ内に入り込んで搬送部材６１との間で試料台６を受渡しする位置と、第２顕微鏡２の第２位置決め装置９との間で試料台６を受渡しする位置との間で回転移動可能としている。昇降装置６８ｅは、エアシリンダ等で構成され、回転搬送アーム６７を回転軸方向沿いに昇降可能としている。 The rotary transfer arm 67 includes a position where the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67 enters the load lock chamber 60a and delivers the sample table 6 to and from the transfer member 61, and the second positioning device 9 of the second microscope 2. Between them and the position where the sample stage 6 is delivered. The elevating device 68e is composed of an air cylinder or the like, and can move the rotary transfer arm 67 up and down along the rotation axis direction.

　第２位置決め装置９は、第２顕微鏡２の下部に配置されている。図１８に示すように、第２位置決め装置９は、例えば、ＸＹＺステージ９ａと、リニアスケール９ｂと、第２位置決め制御部９ｇとで構成されている。 The second positioning device 9 is disposed below the second microscope 2. As shown in FIG. 18, the second positioning device 9 includes, for example, an XYZ stage 9a, a linear scale 9b, and a second positioning control unit 9g.

　ＸＹＺステージ９ａは、Ｘ軸ステージ９ｘとＹ軸ステージ９ｙとＺ軸ステージ９ｚとで構成されている。ＸＹＺステージ９ａは、Ｘ軸ステージ９ｘでＸ軸方向に進退可能であり、Ｙ軸ステージ９ｙでＹ軸方向に進退可能であり、Ｚ軸ステージ９ｚでＺ軸方向に進退可能である。 The XYZ stage 9a includes an X-axis stage 9x, a Y-axis stage 9y, and a Z-axis stage 9z. The XYZ stage 9a can be advanced and retracted in the X-axis direction by the X-axis stage 9x, can be advanced and retracted in the Y-axis direction by the Y-axis stage 9y, and can be advanced and retracted in the Z-axis direction by the Z-axis stage 9z.

　リニアスケール９ｂは、ＸＹＺステージ９ａのＸ軸ステージ９ｘとＹ軸ステージ９ｙとＺ軸ステージ９ｚとの各軸に配置されて、リニアエンコーダとも呼ばれ、ｎｍオーダの測長器であり、これを用いてＰＩＤ制御によりＸＹＺステージ９ａの位置決めを行っている。各リニアスケール９ｂは、固定側エンコーダヘッドから可動側ガラススケールにレーザが照射され、可動側ガラススケールで反射されて受光される光を基に可動側ガラススケールの目盛を固定側エンコーダヘッドでｎｍ精度で取得する。すなわち、各軸の位置座標を固定側エンコーダヘッドでｎｍ精度で取得できるように構成している。従って、第２顕微鏡２のＸＹＺステージ９ａのステージ座標系分解能と位置精度、すなわち、第２顕微鏡２のＸＹＺステージ９ａの後述する装置座標（ＸＹ座標）５９と装置座標原点５９ｏとがｎｍ精度で繰り返し一致するような、ＸＹ座標５９と装置座標原点５９ｏとを有している。 The linear scale 9b is arranged on each axis of the X-axis stage 9x, the Y-axis stage 9y, and the Z-axis stage 9z of the XYZ stage 9a and is also called a linear encoder, and is a nm-order length measuring device. Thus, the XYZ stage 9a is positioned by PID control. Each linear scale 9b irradiates the movable side glass scale with laser from the fixed side encoder head, and reflects the scale of the movable side glass scale on the basis of the light reflected and received by the movable side glass scale. Get in. That is, the position coordinates of each axis are configured to be acquired with nm accuracy by the fixed encoder head. Therefore, the stage coordinate system resolution and position accuracy of the XYZ stage 9a of the second microscope 2 are repeated, that is, an apparatus coordinate (XY coordinate) 59 and an apparatus coordinate origin 59o described later of the XYZ stage 9a of the second microscope 2 are repeated with nm accuracy. An XY coordinate 59 and a device coordinate origin 59o that coincide with each other are included.

　よって、第１顕微鏡１のＸＹＺステージ８ａの装置座標（ＸＹ座標）５８と装置座標原点５８ｏとに対する試料台６の２つの基準点６ｂ，６ｃの座標位置は、第２顕微鏡２のＸＹＺステージ９ａの装置座標（ＸＹ座標）５９と装置座標原点５９ｏとに対する試料台６の２つの基準点６ｂ，６ｃの座標位置とｎｍ精度で一致させれば、後は、装置座標（ＸＹ座標）５８と装置座標原点５８ｏに対する第１領域抽出窓３７の座標位置と、装置座標（ＸＹ座標）５９と装置座標原点５９ｏに対する第２領域抽出窓３８の座標位置とをｎｍ精度で一致させるように位置制御すれば、同一観察位置を観察することが可能になる。 Therefore, the coordinate positions of the two

reference points

6b and 6c of the sample stage 6 with respect to the apparatus coordinates (XY coordinates) 58 and the apparatus coordinate origin 58o of the XYZ stage 8a of the first microscope 1 are the same as those of the XYZ stage 9a of the second microscope 2. If the coordinate positions of the two

reference points

6b and 6c of the sample stage 6 with respect to the apparatus coordinates (XY coordinates) 59 and the apparatus coordinate origin 59o coincide with each other with nm accuracy, the apparatus coordinates (XY coordinates) 58 and the apparatus coordinates will be used. If the position control is performed so that the coordinate position of the first region extraction window 37 with respect to the origin 58o, the device coordinates (XY coordinates) 59, and the coordinate position of the second region extraction window 38 with respect to the device coordinate origin 59o are made to coincide with each other with nm accuracy, It becomes possible to observe the same observation position.

　第１位置決め制御部９ｇは、リニアスケール９ｂの情報を基に、各ステージのモータなどの駆動装置９ｘａ，９ｙａ，９ｚａを駆動制御する。すなわち、第１位置決め制御部９ｇにより、リニアスケール９ｂの情報を基に、Ｘ軸ステージ９ｘとＹ軸ステージ９ｙとＺ軸ステージ９ｚとは、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とにｎｍ精度例えば１０ｎｍ分解能のサーボ制御にて移動可能としている。 The first positioning control unit 9g controls driving of the driving devices 9xa, 9ya, 9za such as motors of the respective stages based on the information of the linear scale 9b. That is, the first positioning control unit 9g, based on the information of the linear scale 9b, sets the X axis stage 9x, the Y axis stage 9y, and the Z axis stage 9z to the X axis, the Y axis, and the Z axis that are orthogonal to each other. It can be moved by servo control with accuracy of, for example, 10 nm resolution.

　第２位置決め装置９は、試料台６を位置決め保持する第２位置決め部２９を有するとともに、第２位置決め部２９が受渡し位置ＩＩに位置したのち、第２位置決め部２９と搬送装置５の試料台位置決め保持部２５との間で試料台６を受渡しする。第２位置決め装置９の一例としては、第１位置決め装置８と同様なＸＹＺステージである。第２位置決め部２９は、試料台６の受渡しを行う受渡し位置ＩＩの他に、座標位置を取得する第２基準マーク撮像基準位置と、観察を行う単数又は複数の第２観察位置とにそれぞれ移動可能としている。本実施形態では、受渡し位置ＩＩと第２基準マーク撮像基準位置とが第２非観察位置の例である。第２位置決め部２９の第２基準マーク撮像基準位置は、第２位置決め装置９において予め決められており、例えば、座標計算を簡単にするため、第１基準マーク撮像基準位置と同様に、２つの基準点６ｂ，６ｃの中間にＹ軸が位置し、Ｘ軸が試料載置領域６ａを横切るような位置などに決めればよい。 The second positioning device 9 has a second positioning portion 29 for positioning and holding the sample stage 6, and after the second positioning portion 29 is positioned at the delivery position II, the second positioning portion 29 and the sample stage positioning of the transfer device 5 are positioned. The sample stage 6 is delivered to and from the holding unit 25. An example of the second positioning device 9 is an XYZ stage similar to the first positioning device 8. The second positioning unit 29 moves to the second reference mark imaging reference position for acquiring the coordinate position and the single or plural second observation positions for performing observation, in addition to the delivery position II for delivering the sample stage 6. It is possible. In the present embodiment, the delivery position II and the second reference mark imaging reference position are examples of the second non-observation position. The second reference mark imaging reference position of the second positioning unit 29 is determined in advance in the second positioning device 9. For example, in order to simplify the coordinate calculation, The position may be determined such that the Y axis is located between the

reference points

6b and 6c and the X axis crosses the sample placement area 6a.

　第２位置決め部２９は、図１４及び図１９に示すように、一対の位置決め突起２９ａをＣ字状先端に有するスライド板部材２９ｄと、スライド板部材２９ｄの先端に対向する３枚の屈曲した係止面２９ｃと、試料台６の一対の端部の裏面を支持する一対の支持部２９ｂと、スライド板駆動装置２９ｅと、回転搬送アーム６７による試料台搬入搬出用の開口部２９ｇを有している。スライド板部材２９ｄは、超音波モータやシールド型磁気モータなどのスライド板駆動装置２９ｅにより長手軸方向沿いに退避位置と係合位置との間で進退駆動される。 As shown in FIGS. 14 and 19, the second positioning portion 29 includes a slide plate member 29d having a pair of positioning protrusions 29a at the C-shaped tip, and three bent engagement members facing the tip of the slide plate member 29d. A stop surface 29c, a pair of support portions 29b for supporting the back surfaces of the pair of end portions of the sample stage 6, a slide plate driving device 29e, and an opening 29g for loading and unloading the sample stage by the rotary transport arm 67 are provided. Yes. The slide plate member 29d is driven back and forth between the retracted position and the engaged position along the longitudinal axis direction by a slide plate driving device 29e such as an ultrasonic motor or a shield type magnetic motor.

　受渡し位置ＩＩの第２位置決め部２９に対して、試料台６を保持した回転搬送アーム６７の下降により試料台６が搬入されるとき、試料台６の回転搬送アーム６７の先端軸方向と交差する方向（図１９の左右方向）の一対の端部の裏面は、一対の支持部２９ｂで支持される状態となる。この状態で、回転搬送アーム６７の先端軸方向と交差する方向（例えば、図１９の左方向に）にスライド板部材２９ｄが退避位置から係合位置に向けて移動すれば、一対の位置決め突起２９ａが、試料台６の片側の一対の（図１９では右側の一対の）切欠部６ｄにそれぞれ係合するとともに、回転搬送アーム６７の先端軸方向と交差する方向（図１９の左方向に）に試料台６をスライド板部材２９ｄで押すことができる。この押す動作により、試料台６の他方の片側の鍔部６ｈが、屈曲した係止面２９ｃに向かって押し付けられて係止される。３枚の屈曲した係止面２９ｃは、平面的にはスライド板部材２９ｄの中心軸に対して線対称に配置され、等脚台形の上底と一対の斜辺である脚とを構成するように平面的に配置され、かつ、上下方向に対しては、回転搬送アーム６７の先端軸方向と交差する方向（図１９の左方向に）に向かうに従い下向きに傾斜する傾斜面で構成されている。従って、スライド板部材２９ｄで試料台６を押すと、試料台６の鍔部６ｈが屈曲した係止面２９ｃのうちの中央を除く両側の２枚の係止面２９ｃに押し当てられて、平面的には２枚の係止面２９ｃでセンタリングされることになり、常に一定位置に試料台６が位置決めされる一方、２枚の係止面２９ｃで鍔部６ｈが下向きに押し付けられて、スライド板部材２９ｄでの押圧時に、回転搬送アーム６７の先端軸方向と交差する方向に対して鍔部６ｈが上向きに跳ね上がるのを防止することができる。 When the sample stage 6 is carried into the second positioning portion 29 at the delivery position II by the lowering of the rotary transfer arm 67 holding the sample stage 6, it intersects the tip axis direction of the rotary transfer arm 67 of the sample stage 6. The back surfaces of the pair of end portions in the direction (left-right direction in FIG. 19) are supported by the pair of support portions 29b. In this state, if the slide plate member 29d moves from the retracted position toward the engaged position in a direction (for example, in the left direction in FIG. 19) intersecting the tip end axial direction of the rotary transfer arm 67, a pair of positioning protrusions 29a is obtained. Are respectively engaged with a pair of notches 6d (one pair on the right side in FIG. 19) on one side of the sample stage 6 and in a direction crossing the tip axis direction of the rotary transfer arm 67 (to the left in FIG. 19). The sample stage 6 can be pushed by the slide plate member 29d. By this pushing operation, the flange 6h on the other side of the sample stage 6 is pressed and locked toward the bent locking surface 29c. The three bent locking surfaces 29c are arranged in line symmetry with respect to the central axis of the slide plate member 29d in a plan view so as to constitute an upper base of an isosceles trapezoid and a pair of oblique sides. It is arranged in a plane and is composed of an inclined surface that inclines downward as it goes in the direction intersecting the tip axis direction of the rotary transfer arm 67 (to the left in FIG. 19) with respect to the vertical direction. Therefore, when the sample table 6 is pushed by the slide plate member 29d, the flange portion 6h of the sample table 6 is pressed against the two locking surfaces 29c on both sides except the center of the bent locking surfaces 29c, and is flat. Specifically, centering is performed by the two locking surfaces 29c, and the sample stage 6 is always positioned at a fixed position. On the other hand, the collar portion 6h is pressed downward by the two locking surfaces 29c and slides. When the plate member 29d is pressed, it is possible to prevent the flange portion 6h from jumping upward with respect to the direction intersecting the distal end axis direction of the rotary conveyance arm 67.

　よって、搬送アーム６７から第２位置決め部２９に試料台６を渡すときは、以下のように動作する。 Therefore, when the sample stage 6 is transferred from the transfer arm 67 to the second positioning unit 29, the following operation is performed.

　まず、第２位置決め部２９が受渡し位置ＩＩに位置したのち、搬送アーム６７の第１位置決めピン６７ｂで位置決めされつつ支持台部６７ｃで下から支持されている状態の試料台６が、保持枠部６７ａと共に第２位置決め部２９の上方まで回転搬送駆動装置６８により回転移動する。 First, after the second positioning unit 29 is positioned at the delivery position II, the sample stage 6 in a state of being supported by the support base part 67c while being positioned by the first positioning pin 67b of the transfer arm 67 is held by the holding frame part. Together with 67a, the rotary conveyance drive device 68 rotates up to above the second positioning portion 29.

　次いで、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａが試料台６と共に昇降装置６８ｅにより下降して、保持枠部６７ａが開口部２９ｇ内に入り、試料台６の回転搬送アーム６７の先端軸方向と交差する方向の一対の端部の裏面を、第２位置決め部２９の一対の支持部２９ｂで支持したのち、昇降装置６８ｅによる下降を停止する。 Next, the holding frame portion 67a of the rotary transport arm 67 is lowered together with the sample stage 6 by the lifting device 68e, the holding frame section 67a enters the opening 29g, and intersects the tip axis direction of the rotary transport arm 67 of the sample stage 6. After the back surfaces of the pair of end portions in the direction to be supported by the pair of support portions 29b of the second positioning portion 29, the descent by the elevating device 68e is stopped.

　次いで、第２位置決め部２９のスライド板部材２９ｄをスライド板駆動装置２９ｅにより退避位置から係合位置に向けて移動させて、一対の位置決め突起２９ａを回転搬送アーム６７の先端軸方向において片端側の一対の切欠部６ｄに係合させるとともに、スライド板部材２９ｄで試料台６を押す。この結果、回転搬送アーム６７の先端軸方向において他方の片端側の試料台６の鍔部６ｈを係止面２９ｃに向かって押し付けてセンタリングしつつ係止する。この状態で、試料台６は、係止面２９ｃと一対の位置決め突起２９ａとの間で位置決め保持されている。 Next, the slide plate member 29 d of the second positioning unit 29 is moved from the retracted position to the engaged position by the slide plate driving device 29 e, and the pair of positioning protrusions 29 a is moved to the one end side in the distal end axial direction of the rotary conveyance arm 67. While engaging with a pair of notch parts 6d, the sample stand 6 is pushed by the slide plate member 29d. As a result, the flange portion 6h of the sample stage 6 on the other end side in the direction of the distal end of the rotary transfer arm 67 is pressed toward the locking surface 29c and locked while being centered. In this state, the sample stage 6 is positioned and held between the locking surface 29c and the pair of positioning projections 29a.

　次いで、昇降装置６８ｅによる搬送アーム６７のさらなる下降により、支持台部６７ｃでの試料台６の支持を解除し、搬送アーム６７の保持枠部６７ａが第２位置決め部２９の開口部２９ｇから離れる方向に回転移動させることにより、試料台６を搬送アーム６７から第２位置決め部２９に渡すことができる。 Next, when the transport arm 67 is further lowered by the lifting device 68e, the support of the sample table 6 by the support base 67c is released, and the holding frame portion 67a of the transport arm 67 is separated from the opening 29g of the second positioning unit 29. The sample stage 6 can be transferred from the transfer arm 67 to the second positioning unit 29 by being rotated and moved.

　その後、第２位置決め装置９の駆動により、まず、第２基準マーク撮像基準位置に第２位置決め部２９を位置決めして、第２基準マーク撮像基準位置での試料台６の画像を第２画像取得部４２で取得したのち、第２位置決め部２９を第２観察位置まで移動させて、第２顕微鏡２で観察を行う。 Thereafter, the second positioning device 9 is driven to first position the second positioning unit 29 at the second reference mark imaging reference position, and obtain an image of the sample stage 6 at the second reference mark imaging reference position. After being acquired by the unit 42, the second positioning unit 29 is moved to the second observation position and observation is performed with the second microscope 2.

　逆に、第２位置決め部２９から搬送アーム６７に試料台６を受け取るときは、以下のように動作する。 Conversely, when the sample stage 6 is received from the second positioning unit 29 to the transfer arm 67, the operation is as follows.

　まず、第２位置決め装置９の駆動により、第２位置決め部２９を試料台受渡し位置ＩＩまで移動させたのち、搬送アーム６７の保持枠部６７ａを第２位置決め部２９の下方まで回転移動させる。 First, the second positioning device 9 is driven to move the second positioning portion 29 to the sample stage delivery position II, and then the holding frame portion 67 a of the transfer arm 67 is rotated to the lower side of the second positioning portion 29.

　次いで、搬送アーム６７の保持枠部６７ａを昇降装置６８ｅで上昇させて開口部２９ｇ内に入り込ませて、支持台部６７ｃにより試料台６を下から支持する。 Next, the holding frame portion 67a of the transfer arm 67 is lifted by the lifting device 68e to enter the opening 29g, and the sample table 6 is supported from below by the support table 67c.

　次いで、第２位置決め部２９のスライド板部材２９ｄをスライド板駆動装置２９ｅにより係合位置から退避位置に向けて移動させて、一対の位置決め突起２９ａを回転搬送アーム６７の先端軸方向において片端側の一対の切欠部６ｄから係合解除させる。 Next, the slide plate member 29 d of the second positioning portion 29 is moved from the engagement position toward the retracted position by the slide plate driving device 29 e, and the pair of positioning projections 29 a is moved to one end side in the distal end axial direction of the rotary conveyance arm 67. The engagement is released from the pair of notches 6d.

　次いで、さらに、試料台６と共に保持枠部６７ａを昇降装置６８ｅで上昇させれば、試料台６を第２位置決め部２９の位置決め保持状態から解除することができる。 Next, when the holding frame 67 a is lifted together with the sample stage 6 by the lifting device 68 e, the sample stage 6 can be released from the positioning and holding state of the second positioning unit 29.

　次いで、回転搬送駆動装置６８により試料台６と共に搬送アーム６７の保持枠部６７ａを第２位置決め部２９の開口部２９ｇから退避するように搬送アーム６７を回転移動することにより、試料台６を第２位置決め部２９から保持枠部６７ａに受け取ることができる。 Next, the sample carrier 6 is rotated by the rotary carrier drive device 68 by rotating the carrier arm 67 so that the holding frame portion 67a of the carrier arm 67 is retracted from the opening 29g of the second positioning unit 29 together with the sample table 6. 2 It can be received from the positioning portion 29 to the holding frame portion 67a.

　なお、搬送アーム６７の保持枠部６７ａの支持台部６７ｃは、試料台６の裏面の回転搬送アーム６７の先端軸方向と交差する方向の前後の端部を支持する一方、第２位置決め部２９の支持部２９ｂは、回転搬送アーム６７の先端軸方向の一対の端部を支持するため、支持台部６７ｃと支持部２９ｂとが当接することなく、試料台６を第２位置決め部２９と保持枠部６７ａとの間で円滑に受渡しすることができる。 The support base portion 67c of the holding frame portion 67a of the transport arm 67 supports the front and rear end portions in the direction intersecting the front end axis direction of the rotary transport arm 67 on the back surface of the sample base 6, while the second positioning portion 29 is supported. The support portion 29b supports a pair of ends in the distal end axial direction of the rotary transfer arm 67, so that the support base portion 67c and the support portion 29b are not in contact with each other and the sample base 6 is held with the second positioning portion 29. It can be delivered smoothly to and from the frame portion 67a.

　第２画像取得部４２は、一例として、第２位置決め部２９に位置決めされた試料台６に対して電子線を走査制御して得られた二次電子等を検出部（不図示）で検出して、Ｉ－Ｖアンプ（不図示）にて電気信号に変え、Ａ・Ｄコンバータ（不図示）で変換して、ＳＥＭ画像を取得する。第２位置決め部２９が第２基準マーク撮像基準位置に位置決めされたとき、及び、第２位置決め部２９が単数又は複数の第２観察位置に位置決めされたとき、第２画像取得部４２は、さらに、取得した試料台６の画像を基に、試料台６の第１領域抽出窓３７に対応する第２領域抽出窓３８の画像をそれぞれ取得する。取得した画像は、記憶部５０に記憶する。ここで、第２領域抽出窓３８は、第１領域抽出窓３７と同じ大きさで、試料台６に対して第１領域抽出窓３７と同じ位置に位置している。第２位置決め部２９が第２基準マーク撮像基準位置に位置決めされたときには、第２基準マーク撮像基準位置での第２領域抽出窓３８の座標位置を第２画像取得部４２で取得する。 For example, the second image acquisition unit 42 detects secondary electrons and the like obtained by scanning the electron beam with respect to the sample stage 6 positioned by the second positioning unit 29 by a detection unit (not shown). Then, an SEM image is acquired by changing to an electric signal with an IV amplifier (not shown) and converting with an A / D converter (not shown). When the second positioning unit 29 is positioned at the second reference mark imaging reference position, and when the second positioning unit 29 is positioned at one or a plurality of second observation positions, the second image acquisition unit 42 further includes Based on the acquired image of the sample stage 6, images of the second area extraction window 38 corresponding to the first area extraction window 37 of the sample stage 6 are acquired. The acquired image is stored in the storage unit 50. Here, the second region extraction window 38 has the same size as the first region extraction window 37 and is located at the same position as the first region extraction window 37 with respect to the sample stage 6. When the second positioning unit 29 is positioned at the second reference mark imaging reference position, the second image acquisition unit 42 acquires the coordinate position of the second region extraction window 38 at the second reference mark imaging reference position.

　第２座標取得部２２は、第２画像取得部４２で取得した第２基準マーク撮像基準位置での試料台６の画像から、試料台６の第２試料台座標３２の座標位置を取得する。具体的には、第２座標取得部２２においては、第１座標取得部２１と同様に、第２基準マーク撮像基準位置での試料台６の画像から、パターンマッチングなどにより、試料台６の２つの基準点６ｂ，６ｃの位置を抽出して、抽出した２つの基準点６ｂ，６ｃの座標位置を求める。ここでの座標位置は、図１９に示すように、第２位置決め装置９の装置座標原点５９ｏに対する装置座標５９の座標位置である。なお、装置座標５９はｘ軸５９ｘ及びｙ軸５９ｙで構成されている。これらの２つの基準点６ｂ，６ｃの座標位置のうち、一方の基準点（例えば、搬入方向先端側の基準点）６ｂの座標位置を第２試料台座標３２の原点位置３２ｏとし、２つの基準点６ｂ，６ｃの座標位置を結ぶ線３２ｘを第２試料台座標３２のｘ軸とする。第２試料台座標３２の原点位置３２ｏを通りかつ第２試料台座標３２のｘ軸３２ｘと直交する軸が、第２試料台座標３２のｙ軸３２ｙとなる。このようにして、原点位置３２ｏとｘ軸３２ｘとｙ軸３２ｙとにより第２試料台座標３２が定義できる。取得した第２試料台座標３２の座標位置などの情報は、記憶部５０に記憶する。 The second coordinate acquisition unit 22 acquires the coordinate position of the second sample table coordinate 32 of the sample table 6 from the image of the sample table 6 at the second reference mark imaging reference position acquired by the second image acquisition unit 42. Specifically, in the second coordinate acquisition unit 22, as in the first coordinate

acquisition unit

21, 2 of the sample table 6 is obtained by pattern matching or the like from the image of the sample table 6 at the second reference mark imaging reference position. The positions of the two

reference points

6b and 6c are extracted, and the coordinate positions of the two extracted

reference points

6b and 6c are obtained. The coordinate position here is the coordinate position of the device coordinate 59 with respect to the device coordinate origin 59o of the second positioning device 9, as shown in FIG. The device coordinates 59 are composed of an x-axis 59x and a y-axis 59y. Among the coordinate positions of these two

reference points

6b and 6c, the coordinate position of one reference point (for example, the reference point on the leading end side in the loading direction) 6b is set as the origin position 32o of the second sample stage coordinate 32, and two reference points A line 32x connecting the coordinate positions of the

points

6b and 6c is taken as the x-axis of the second sample stage coordinate 32. The axis passing through the origin position 32o of the second sample table coordinate 32 and orthogonal to the x axis 32x of the second sample table coordinate 32 is the y axis 32y of the second sample table coordinate 32. In this way, the second sample stage coordinate 32 can be defined by the origin position 32o, the x axis 32x, and the y axis 32y. Information such as the coordinate position of the acquired second sample table coordinate 32 is stored in the storage unit 50.

　第２抽出窓座標取得部２４は、記憶部５０に記憶されかつ第１座標取得部２１で取得した第１試料台座標３１の座標位置と第２座標取得部２２で取得した第２試料台座標３２の座標位置との差を記憶部５０からそれぞれ取得する。このとき、第１試料台座標３１のｘ軸３１ｘと第２試料台座標３２のｘ軸３２ｘとでなす回転角度θも求めて、第１試料台座標３１に対する第２試料台座標３２の回転角度も、差の一部とする。取得した差を基に、第２試料台座標３２の座標位置を補正して、第１領域抽出窓３７に対応する第２領域抽出窓３８の補正後の座標位置を取得する。取得した情報は、記憶部５０に記憶する。 The second extraction window coordinate acquisition unit 24 stores the coordinate position of the first sample table coordinate 31 stored in the storage unit 50 and acquired by the first coordinate acquisition unit 21 and the second sample table coordinate acquired by the second coordinate acquisition unit 22. Differences from the 32 coordinate positions are acquired from the storage unit 50. At this time, the rotation angle θ between the x-axis 31x of the first sample table coordinate 31 and the x-axis 32x of the second sample table coordinate 32 is also obtained, and the rotation angle of the second sample table coordinate 32 with respect to the first sample table coordinate 31 Is also part of the difference. Based on the acquired difference, the coordinate position of the second sample stage coordinate 32 is corrected, and the corrected coordinate position of the second region extraction window 38 corresponding to the first region extraction window 37 is acquired. The acquired information is stored in the storage unit 50.

　特徴部記憶部４５は、第１画像取得部４１で取得された第１領域抽出窓３７の画像のうちの観察対象組織３５の複数個の特徴部４４を記憶する。特徴部４４の例としては、ユーザが指定する組織３５の部分的な外形形状、全体的な形状、濃度などが例示できる。抽出した情報は、記憶部５０に記憶する。 The feature storage unit 45 stores a plurality of feature parts 44 of the observation target tissue 35 in the image of the first region extraction window 37 acquired by the first image acquisition unit 41. As an example of the characteristic part 44, the partial external shape of the structure | tissue 35 which a user designates, an overall shape, a density | concentration etc. can be illustrated. The extracted information is stored in the storage unit 50.

　画像処理部４６は、特徴部記憶部４５に記憶した複数個の特徴部４４を持つテンプレート３３を作成し、このテンプレート３３に基づき、第２画像取得部４２で取得された第２領域抽出窓３８の画像でパターンマッチングを行う。パターンマッチングでテンプレート３３が第２領域抽出窓３８の画像中の組織３５ｂに一致すると判定されると、その結果情報は、記憶部５０に記憶する。 The image processing unit 46 creates a template 33 having a plurality of feature parts 44 stored in the feature part storage unit 45, and based on the template 33, the second area extraction window 38 acquired by the second image acquisition unit 42. Pattern matching is performed on the image. If it is determined by pattern matching that the template 33 matches the tissue 35 b in the image of the second region extraction window 38, the result information is stored in the storage unit 50.

　画像合成部４７は、画像処理部４６でのパターンマッチングの結果を基に、第１領域抽出窓３７の画像のうちの観察対象組織３５と第２領域抽出窓３８の画像中の組織３５ｂとが一致するように、第１領域抽出窓３７の画像と第２領域抽出窓３８の画像とを重ね合わせて合成する。合成した画像情報は、記憶部５０に記憶する。 Based on the result of pattern matching in the image processing unit 46, the image composition unit 47 determines whether the observation target tissue 35 in the image of the first region extraction window 37 and the tissue 35b in the image of the second region extraction window 38 are the same. The images of the first region extraction window 37 and the image of the second region extraction window 38 are superimposed and synthesized so as to match. The combined image information is stored in the storage unit 50.

　必要に応じて、動作制御部４９は、合成した画像をモニタ４に表示する。表示された画像は、形状が明瞭でかつ蛍光部分が重ねて合成されて表示されている。この結果、組織の輪郭等の形状の明確な把握と、蛍光部分による組織の機能評価とが同時に行うことができる。 The operation control unit 49 displays the synthesized image on the monitor 4 as necessary. The displayed image has a clear shape and is synthesized and displayed with overlapping fluorescent portions. As a result, it is possible to simultaneously perform a clear grasp of the shape such as the outline of the tissue and the functional evaluation of the tissue by the fluorescent portion.

　試料７の例としては、以下の試料７を使用することができる。 As an example of the sample 7, the following sample 7 can be used.

　試料作製　参考例
　（試料作製）
　ラットの神経組織であるアストロサイトに対し、以下の手順により免疫染色を行った。
１）4%パラフォルムアルデヒドを含む0.1M PB(Phosphate Buffer)で還流固定後、浸漬固定した（３時間）。
２）20%シュークロースを含む0.1M PBで洗浄した（４℃、一晩）。
３）ａ．カミソリによる切断、ｂ．ＳＥＭ用凍結割断、ｃ．ビブラトーム切片（１００μｍ厚）などの、各用途に応じた技法により神経(脊髄)組織を小さな試料に分けた。
４）0.1M PB洗浄（５分×３回）
５）0.8% fish gelatin、１％牛血清アルブミン, 0.2%Triton X-100を含む0.1M PBS(PBSTBF)でブロッキングした（室温、１時間）。
６）抗グリア線維性酸性蛋白Glial fibrillary acidic protein (GFAP)マウスモノクローナル抗体(1: 20,000; Sigma) in PBSTBF（４℃、１４時間）。コントロールはPBSTBFのみでインキュベートした。
７）0.1M PB洗浄（５分×３回）
８）ビオチン標識抗マウス抗体(1: 400; Jackson Lab) in PBSTBF（室温、９０分）
９）0.1M PB洗浄（５分×３回）
１０）Fluolid-labeled streptavidin in 10m M HEPES, 0.15M NaCl (pH7.3), 室温, 90分AMCA(7-amino-4-methylcoumarine-3-acetic acid)標識ストレプトアビジン(1: 200; Jackson Lab) in PBSTBF, 室温,９０分。 Sample preparation Reference example (Sample preparation)
Immunostaining was performed on astrocytes, which are rat nerve tissue, by the following procedure.
1) The solution was fixed by refluxing with 0.1M PB (Phosphate Buffer) containing 4% paraformaldehyde and then fixed by immersion (3 hours).
2) Washed with 0.1M PB containing 20% sucrose (4 ° C., overnight).
3) a. Cutting with a razor, b. Freezing cleaving for SEM, c. Nerve (spinal cord) tissue was divided into small samples by techniques appropriate to each application, such as vibratome sections (100 μm thick).
4) 0.1M PB washing (5 minutes x 3 times)
5) Blocking was performed with 0.1 M PBS (PBSTBF) containing 0.8% fish gelatin, 1% bovine serum albumin, and 0.2% Triton X-100 (room temperature, 1 hour).
6) Glial fibrillary acidic protein (GFAP) mouse monoclonal antibody (1: 20,000; Sigma) in PBSTBF (4 ° C., 14 hours). Controls were incubated with PBSTBF only.
7) 0.1M PB washing (5 minutes x 3 times)
8) Biotin-labeled anti-mouse antibody (1: 400; Jackson Lab) in PBSTBF (room temperature, 90 minutes)
9) 0.1M PB washing (5 minutes x 3 times)
10) Fluolid-labeled streptavidin in 10 mM HEPES, 0.15 M NaCl (pH 7.3), room temperature, 90 minutes AMCA (7-amino-4-methylcoumarine-3-acetic acid) labeled streptavidin (1: 200; Jackson Lab) in PBSTBF, room temperature, 90 minutes.

　　　但し、希釈倍率はFluolidの製作過程により変動する。
１１)0.1M PB洗浄（５分×３回）
　なお、本参考例及び以下の参考例中、Fluolidとは、国際公開第２００８／０１３２６０号パンフレットに記載された蛍光色素を指す。 However, the dilution factor varies depending on the production process of Fluolid.
11) 0.1M PB washing (5 minutes x 3 times)
In addition, in this reference example and the following reference examples, Fluolid refers to the fluorescent dye described in the international publication 2008/013260 pamphlet.

　参考例３）ｃ．ビブラトーム切片による試料
　（試料作製）
　ラットの腎(尿細管)に対し、以下の手順により免疫染色を行った。
１）2.8％パラホルムアルデヒド－0.2％ピクリン酸－0.06％グルタールアルデヒド－0.1MPBで還流固定後、4%パラホルムアルデヒドin PBにて後固定を行い、４℃で保存した。
２）ビブラトームで１ｍｍの試料を作製し、PBS (0.01M)で洗浄した（４℃、１日）。
３)　Biotinylated　Peanut　Agglutinin（PNA）(Vector)in PBS （４℃、４日）（1：100）
４）PBS洗浄（４℃、２０分×３）
５）蛍光色素付加（４℃、１日）
　　Streptavidin-Fluolid-W-Orange in PBS（1：10）
６）PBS洗浄（４℃,２０分×３）
７）アセトン脱水　（50-75-85-95-100 %上昇系脱水）
８）標識・脱水後の試料を親水性プラスチック（テクノビット８１００）にて包埋後、光顕用ダイヤモンドナイフとウルトラミクロトームを用い約２μｍ厚の切片を作製した。
９）試料搭載用の板に、ウェハ用Ｓｉ基板を３ｍｍ角程度に割ったものを用い、その上に試料を載せた。
１０）基板試料にイオンエッチングを行い切片試料とした。イオンエッチング（真空デバイス社製ＰＩＢ－１０）を用い、ソフトモードで３分、ハードモードで３分を３回で行った。
１１）試料をオスミウムプラズマコーター（真空でバイス社製：HCP1SW）にて２．５ｎｍ厚の金属コーティング行った。 Reference Example 3) c. Sample by vibratome section (sample preparation)
Immunostaining was performed on rat kidneys (tubules) according to the following procedure.
1) After reflux fixation with 2.8% paraformaldehyde-0.2% picric acid-0.06% glutaraldehyde-0.1MPB, post-fixation with 4% paraformaldehyde in PB was performed and stored at 4 ° C.
2) A 1 mm sample was prepared with a vibratome and washed with PBS (0.01 M) (4 ° C., 1 day).
3) Biotinylated Peanut Agglutinin (PNA) (Vector) in PBS (4 ° C, 4 days) (1: 100)
4) PBS washing (4 ° C., 20 minutes × 3)
5) Addition of fluorescent dye (4 ° C, 1 day)
Streptavidin-Fluolid-W-Orange in PBS (1:10)
6) PBS washing (4 ° C, 20 minutes x 3)
7) Acetone dehydration (50-75-85-95-100% ascending dehydration)
8) After embedding the labeled and dehydrated sample with a hydrophilic plastic (Technobit 8100), a slice of about 2 μm thickness was prepared using a light microscope diamond knife and an ultramicrotome.
9) As a sample mounting plate, a wafer Si substrate divided into about 3 mm square was used, and the sample was placed thereon.
10) The substrate sample was ion-etched to obtain a slice sample. Using ion etching (PIB-10 manufactured by Vacuum Device Inc.), the soft mode was performed for 3 minutes and the hard mode was performed for 3 minutes three times.
11) A 2.5 nm thick metal coating was applied to the sample with an osmium plasma coater (vacuum manufactured by Vice Corporation: HCP1SW).

　試料台投入装置６９は、開口部６９ｂを挟んで一対の支持部６９ａを有して、試料台６の裏面の一対の端部を支持している。開口部６９ｂには、搬送装置５の搬送アーム５ｂの試料台位置決め保持部２５が挿入可能である。ユーザが、試料７を固定した試料台６を一対の支持部６９ａで、試料台６の４つの切欠き部６ｄを利用しつつ位置決め支持するように、試料台投入装置６９にセットする。 The sample stage loading device 69 has a pair of support parts 69a across the opening 69b, and supports a pair of ends on the back surface of the sample stage 6. The sample stage positioning holder 25 of the transfer arm 5b of the transfer device 5 can be inserted into the opening 69b. The user sets the sample table 6 on which the sample 7 is fixed to the sample table input device 69 so that the sample table 6 is positioned and supported by the pair of support portions 69a while using the four notches 6d of the sample table 6.

　このようにセットされると、一対の支持部６９ａで試料台６の裏面の一対の端部を支持している状態となっており、試料台位置決め保持部２５が開口部６９ｂの下方に移動して、昇降装置５ｄで上昇すると、試料台位置決め保持部２５の保持枠部２５ａの第１位置決めピン２５ｂと第２位置決めピン２５ｄとで位置決めしつつ一対の支持台部２５ｃで、一対の支持部６９ａで支持されていない試料台６の裏面の端部を支持する。さらに、昇降装置５ｄで上昇すると、一対の支持部６９ａでの支持が解除されて、試料台位置決め保持部２５で試料台６が保持されることになる。その後、第１及び第２顕微鏡１，２に対して搬送を開始する。第１及び第２顕微鏡１，２での観察が終了すると、搬送装置５により、試料台投入装置６９に試料台６を戻す。 When set in this manner, the pair of support portions 69a support the pair of end portions on the back surface of the sample table 6, and the sample table positioning holding unit 25 moves below the opening 69b. When lifted by the elevating device 5d, the pair of support portions 69a are positioned by the pair of support base portions 25c while being positioned by the first positioning pins 25b and the second positioning pins 25d of the holding frame portion 25a of the sample table positioning holding portion 25. The end portion of the back surface of the sample stage 6 that is not supported by is supported. Further, when the lift is raised by the lifting device 5d, the support by the pair of support portions 69a is released, and the sample stand 6 is held by the sample stand positioning holding portion 25. Then, conveyance with respect to the 1st and

2nd microscopes

1 and 2 is started. When the observation with the first and

second microscopes

1 and 2 is completed, the sample stage 6 is returned to the sample stage loading apparatus 69 by the transfer device 5.

　試料台投入装置６９に試料台６を戻すときは、試料台位置決め保持部２５と共に試料台６が開口部６９ｂの上方に位置したのち、下降する。すると、一対の支持部６９ａで試料台６の裏面の一対の端部が支持されるようになり、さらに下降すると、一対の支持台部２５ｃでの支持が解除されて、試料台位置決め保持部２５から試料台投入装置６９に試料台６を戻すことができる。 When returning the sample stage 6 to the sample stage loading device 69, the sample stage 6 is positioned above the opening 69b together with the sample stage positioning holding unit 25 and then lowered. Then, the pair of support portions 69a support the pair of end portions of the back surface of the sample stage 6, and when further lowered, the support at the pair of support stage portions 25c is released and the sample stage positioning holding unit 25 is released. The sample table 6 can be returned from the sample table to the sample table loading device 69.

　以下、前記構成にかかる相関顕微鏡１０の動作について、説明する。なお、ユーザの動作を除く以下の動作は、動作制御部４９で全て動作制御される。 Hereinafter, the operation of the correlation microscope 10 according to the above configuration will be described. The following operations except the user's operation are controlled by the operation control unit 49.

　まず、最初に、試料７を両面テープなどで試料台６の試料載置領域６ａに貼り付けた試料台６を、ユーザが試料台投入装置６９にセットする（図２０のステップＳ１参照）。 First, the user first sets the sample stage 6 on which the sample 7 is attached to the sample placement area 6a of the sample stage 6 with double-sided tape or the like on the sample stage loading device 69 (see step S1 in FIG. 20).

　次いで、ユーザが、第１顕微鏡１と第２顕微鏡２との観察順序に基づく搬送ルートを選択して、入出力装置４８で動作制御部４９に入力する（図２０のステップＳ２参照）。ここでは、搬送ルートは、第１顕微鏡１から第２顕微鏡２に向かう第１搬送ルートと、第２顕微鏡２から第１顕微鏡１に向かう第２搬送ルートとのいずれかを選択する。 Next, the user selects a transport route based on the observation order of the first microscope 1 and the second microscope 2 and inputs it to the operation control unit 49 using the input / output device 48 (see step S2 in FIG. 20). Here, the transport route is selected from the first transport route from the first microscope 1 to the second microscope 2 and the second transport route from the second microscope 2 to the first microscope 1.

　次いで、搬送装置５の搬送アーム５ｂの試料台位置決め保持部２５が、試料台投入装置６９から試料台６を取り出して、搬送ルートに基づいて顕微鏡に向かう。ここでは、第１顕微鏡１に最初に搬送すると決定されたと仮定して、第１顕微鏡１に向けて搬送する。 Next, the sample stage positioning holding unit 25 of the transfer arm 5b of the transfer apparatus 5 takes out the sample stage 6 from the sample stage input apparatus 69 and goes to the microscope based on the transfer route. Here, it is assumed that it is determined to be transported first to the first microscope 1 and transported toward the first microscope 1.

　次いで、搬送装置５の搬送アーム５ｂの試料台位置決め保持部２５に保持された試料台６を、第１顕微鏡１の第１位置決め装置８の第１位置決め部２８に受け渡す。このとき、第１位置決め部２８は、受渡し位置Ｉまで予め移動して待機している。第１位置決め部２８の受渡し位置Ｉの上方に搬送装置５の試料台位置決め保持部２５を位置させたのち下降して、搬送装置５の試料台位置決め保持部２５から第１位置決め部２８に試料台６を渡して、試料台６を第１位置決め部２８で位置決め保持する。その後、試料台位置決め保持部２５は第１位置決め装置８から退避する。 Next, the sample table 6 held by the sample table positioning holding unit 25 of the transfer arm 5 b of the transfer device 5 is transferred to the first positioning unit 28 of the first positioning device 8 of the first microscope 1. At this time, the first positioning unit 28 moves to the delivery position I in advance and stands by. The sample table positioning holding unit 25 of the transfer device 5 is positioned above the delivery position I of the first positioning unit 28 and then lowered to move the sample table from the sample table positioning holding unit 25 of the transfer device 5 to the first positioning unit 28. 6 is passed, and the sample stage 6 is positioned and held by the first positioning unit 28. Thereafter, the sample stage positioning holder 25 is retracted from the first positioning device 8.

　次いで、第１位置決め装置８の駆動により、第１位置決め部２８で位置決め保持された試料台６を、まず、受渡し位置Ｉから第１基準マーク撮像基準位置に位置決めしたのち、第１画像取得部４１で第１位置決め部２８に位置決めされた試料台６の画像を取得して、試料台６の試料載置領域６ａに載置された試料７の観察対象組織３５を含む第１領域抽出窓３７の画像を取得する。取得した画像は、記憶部５０に記憶する。 Next, by driving the first positioning device 8, the sample table 6 positioned and held by the first positioning unit 28 is first positioned from the delivery position I to the first reference mark imaging reference position, and then the first image acquisition unit 41. The first region extraction window 37 including the observation target tissue 35 of the sample 7 placed on the sample placement region 6a of the sample stand 6 is acquired by acquiring the image of the sample stand 6 positioned on the first positioning unit 28. Get an image. The acquired image is stored in the storage unit 50.

　その後、第１画像取得部４１で取得した試料台６の画像から、試料台６の第１試料台座標３１の座標位置を第１座標取得部２１で取得し、記憶部５０に記憶する。 Thereafter, from the image of the sample stage 6 acquired by the first image acquisition unit 41, the coordinate position of the first sample stage coordinate 31 of the sample stage 6 is acquired by the first coordinate acquisition unit 21 and stored in the storage unit 50.

　次いで、ユーザが指定した第１領域抽出窓３７の４個の頂点の位置を基に、第１基準マーク撮像基準位置での試料台６の第１試料台座標３１における試料台６の試料７の第１領域抽出窓３７の４個の頂点の座標位置を第１抽出窓座標取得部２３で取得し、記憶部５０に記憶する。 Next, based on the positions of the four vertices of the first region extraction window 37 designated by the user, the sample 7 of the sample stage 6 at the first sample stage coordinate 31 of the sample stage 6 at the first reference mark imaging reference position is displayed. The coordinate positions of the four vertices of the first region extraction window 37 are acquired by the first extraction window coordinate acquisition unit 23 and stored in the storage unit 50.

　これらの試料７の第１領域抽出窓３７の頂点の座標位置の取得動作の後に、又は、座標位置の取得動作と同時的に、第１位置決め装置８の駆動により、第１位置決め部２８で位置決め保持された試料台６を、第１基準マーク撮像基準位置から、ユーザが所望する第１観察位置まで移動させたのち、第１顕微鏡１で観察を行う（図２０のステップＳ３参照）。観察時、第１画像取得部４１で第１位置決め部２８に位置決めされた試料台６の画像を取得して、試料台６の試料載置領域６ａに載置された試料７の観察対象組織３５を含む第１領域抽出窓３７の画像を取得する。取得した画像は、記憶部５０に記憶する。必要に応じて、複数枚の画像取得を行う。異なる第１観察位置毎に、観察及び画像取得を繰り返す。 After the operation of acquiring the coordinate position of the vertex of the first region extraction window 37 of these samples 7 or simultaneously with the operation of acquiring the coordinate position, the first positioning device 28 drives the positioning. After the held sample stage 6 is moved from the first reference mark imaging reference position to the first observation position desired by the user, observation is performed with the first microscope 1 (see step S3 in FIG. 20). At the time of observation, the first image acquisition unit 41 acquires an image of the sample stage 6 positioned on the first positioning unit 28, and the observation target tissue 35 of the sample 7 placed on the sample placement region 6 a of the sample stage 6. An image of the first region extraction window 37 including is acquired. The acquired image is stored in the storage unit 50. If necessary, multiple images are acquired. Observation and image acquisition are repeated for each different first observation position.

　次いで、第１顕微鏡１での観察終了後、第２顕微鏡２に向けて試料台６の搬送を行う（図２０のステップＳ４及びステップＳ５参照）。すなわち、まず、第１位置決め部２８は、受渡し位置Ｉまで移動して待機する。 Next, after the observation with the first microscope 1 is completed, the sample stage 6 is transported toward the second microscope 2 (see step S4 and step S5 in FIG. 20). That is, first, the first positioning unit 28 moves to the delivery position I and stands by.

　次いで、搬送装置５の駆動により、試料台位置決め保持部２５を、第１位置決め部２８の受渡し位置Ｉの下方に位置させたのち上昇させて、第１位置決め部２８の受渡し位置Ｉで、第１位置決め部２８から搬送装置５の試料台位置決め保持部２５に試料台６を渡して、試料台位置決め保持部２５で試料台６を位置決め保持する。 Next, by driving the transfer device 5, the sample stage positioning holding unit 25 is moved to a position below the delivery position I of the first positioning unit 28, and then lifted to reach the first position at the delivery position I of the first positioning unit 28. The sample table 6 is transferred from the positioning unit 28 to the sample table positioning holding unit 25 of the transport device 5, and the sample table 6 is positioned and held by the sample table positioning holding unit 25.

　次いで、搬送装置５の駆動により、試料台位置決め保持部２５が第１位置決め装置８から退避する。 Next, the sample table positioning holder 25 is retracted from the first positioning device 8 by driving the transport device 5.

　次いで、搬送装置５の駆動により、試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａに向かい、ロードロック室６０ａの大気側の第１開閉ドア６４ａを第１開閉装置６４で開けたのち、ロードロック室６０ａ内に入る。 Next, by driving the transfer device 5, the sample stage positioning holding unit 25 faces the load lock chamber 60 a, and the first open / close door 64 a on the atmosphere side of the load lock chamber 60 a is opened by the first open / close device 64, and then the load lock chamber is opened. Enter 60a.

　次いで、ロードロック室６０ａ内で、試料台６を支持している試料台位置決め保持部２５を受渡し位置ＩＩＩに位置させたのち、搬送部材６１を退避位置から受渡し位置ＩＩＩに移動させる。その後、試料台位置決め保持部２５を下降させて、試料台位置決め保持部２５から搬送部材６１に試料台６を渡す。その後、試料台位置決め保持部２５をロードロック室６０ａ内から退避させる。 Next, in the load lock chamber 60a, after the sample stage positioning holding part 25 supporting the sample stage 6 is positioned at the delivery position III, the transport member 61 is moved from the retracted position to the delivery position III. Thereafter, the sample stage positioning and holding unit 25 is lowered, and the sample stage 6 is transferred from the sample stage positioning and holding unit 25 to the transport member 61. Thereafter, the sample stage positioning holder 25 is retracted from the load lock chamber 60a.

　次いで、ロードロック室６０ａの大気側の第１開閉ドア６４ａを第１開閉装置６４で閉じたのち、真空吸引装置６３を駆動してロードロック室６０ａ内を真空にする。 Next, after the first open / close door 64a on the atmosphere side of the load lock chamber 60a is closed by the first open / close device 64, the vacuum suction device 63 is driven to evacuate the load lock chamber 60a.

　次いで、ロードロック室６０ａの真空側の第２開閉ドア６５ａを開けて、第２顕微鏡２の真空室２ａ内から回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａがロードロック室６０ａ内に入り込んで受渡し位置ＩＩＩに位置したのち、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａが上昇して、受渡し位置ＩＩＩの搬送部材６１から回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａに試料台６を渡す。 Next, the second open / close door 65a on the vacuum side of the load lock chamber 60a is opened, and the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67 enters the load lock chamber 60a from the vacuum chamber 2a of the second microscope 2, and the delivery position III Then, the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67 is raised, and the sample stage 6 is transferred from the transfer member 61 at the delivery position III to the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67.

　次いで、搬送部材６１が退避位置に移動し、試料台６を支持した回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａがロードロック室６０ａから取り出されたのち、真空側の第２開閉ドア６５ａを閉じる。 Next, after the transport member 61 is moved to the retracted position and the holding frame portion 67a of the rotary transport arm 67 that supports the sample stage 6 is taken out from the load lock chamber 60a, the second open / close door 65a on the vacuum side is closed.

　次いで、第２顕微鏡２の真空室２ａ内で、試料台６を支持した回転搬送アーム６７が回転して、その保持枠部６７ａが第２位置決め装置９の第２位置決め部２９に向かう。 Next, in the vacuum chamber 2 a of the second microscope 2, the rotary transfer arm 67 that supports the sample stage 6 rotates, and the holding frame portion 67 a moves toward the second positioning portion 29 of the second positioning device 9.

　次いで、回転搬送アーム６７に支持された試料台６を、第２顕微鏡２の第２位置決め装置９の第２位置決め部２９に受け渡す。このとき、第２位置決め部２９は、受渡し位置ＩＩまで予め移動して待機している。第２位置決め部２９の受渡し位置ＩＩの上方に回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａを位置させたのち下降して開口部２９ｇ内に入り、保持枠部６７ａから第２位置決め部２９に試料台６を渡して、試料台６を第２位置決め部２９で位置決め保持する。その後、保持枠部６７ａは第２位置決め装置９から退避する。 Next, the sample stage 6 supported by the rotary transfer arm 67 is transferred to the second positioning unit 29 of the second positioning device 9 of the second microscope 2. At this time, the second positioning unit 29 moves to the delivery position II in advance and stands by. After the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67 is positioned above the delivery position II of the second positioning portion 29, the holding frame portion 67a is lowered and enters the opening 29g, and the sample table 6 is moved from the holding frame portion 67a to the second positioning portion 29. And the sample stage 6 is positioned and held by the second positioning unit 29. Thereafter, the holding frame portion 67 a is retracted from the second positioning device 9.

　次いで、第２位置決め装置９の駆動により、第２位置決め部２９で位置決め保持された試料台６を、まず、受渡し位置ＩＩから第２基準マーク撮像基準位置に位置決めしたのち、第２画像取得部４２で第２位置決め部２９に位置決めされた試料台６の画像を取得して、試料台６の試料載置領域６ａに載置された試料７の観察対象組織３５を含む第２領域抽出窓３８の画像を取得する。取得した画像は、記憶部５０に記憶する。 Next, by driving the second positioning device 9, the sample table 6 positioned and held by the second positioning unit 29 is first positioned from the delivery position II to the second reference mark imaging reference position, and then the second image acquisition unit 42. The image of the sample stage 6 positioned by the second positioning unit 29 is acquired by the second region extraction window 38 including the observation target tissue 35 of the sample 7 placed in the sample placement area 6 a of the sample stage 6. Get an image. The acquired image is stored in the storage unit 50.

　その後、第２画像取得部４２で取得した第２基準マーク撮像基準位置での試料台６の画像から、試料台６の第２試料台座標３２の座標位置を第２座標取得部２２で取得し、記憶部５０に記憶する。 Thereafter, the second coordinate acquisition unit 22 acquires the coordinate position of the second sample table coordinate 32 of the sample table 6 from the image of the sample table 6 at the second reference mark imaging reference position acquired by the second image acquisition unit 42. And stored in the storage unit 50.

　次いで、第１顕微鏡１のＸＹＺステージ８ａの装置座標（ＸＹ座標）５８と装置座標原点５８ｏと、第２顕微鏡２のＸＹＺステージ９ａの装置座標（ＸＹ座標）５９と装置座標原点５９ｏとが同じであると仮定し、第２抽出窓座標取得部２４は、記憶部５０に記憶されかつ第１座標取得部２１で取得した第１試料台座標３１の座標位置と第２座標取得部２２で取得した第２試料台座標３２の座標位置との差を記憶部５０からそれぞれ取得する。このとき、第１試料台座標３１のｘ軸３１ｘと第２試料台座標３２のｘ軸３２ｘとでなす回転角度θも求める。この結果、取得した差として、第１試料台座標３１の座標位置と第２試料台座標３２の座標位置との差、及び、第１試料台座標３１に対する第２試料台座標３２の回転角度を基に、第２試料台座標３２の座標位置を補正して、第１領域抽出窓３７に対応する第２領域抽出窓３８の座標を第２抽出窓座標取得部２４で取得し、記憶部５０に記憶する。前記差に関する情報も、記憶部５０に記憶する。 Next, the apparatus coordinates (XY coordinates) 58 and the apparatus coordinate origin 58o of the XYZ stage 8a of the first microscope 1 are the same as the apparatus coordinates (XY coordinates) 59 of the XYZ stage 9a of the second microscope 2 and the apparatus coordinates origin 59o. Assuming that there is, the second extraction window coordinate acquisition unit 24 is acquired by the second coordinate acquisition unit 22 and the coordinate position of the first sample stage coordinate 31 stored in the storage unit 50 and acquired by the first coordinate acquisition unit 21. The difference from the coordinate position of the second sample stage coordinate 32 is acquired from the storage unit 50. At this time, the rotation angle θ formed by the x-axis 31x of the first sample table coordinate 31 and the x-axis 32x of the second sample table coordinate 32 is also obtained. As a result, as the obtained difference, the difference between the coordinate position of the first sample table coordinate 31 and the coordinate position of the second sample table coordinate 32 and the rotation angle of the second sample table coordinate 32 with respect to the first sample table coordinate 31 are obtained. Based on this, the coordinate position of the second sample stage coordinate 32 is corrected, the coordinates of the second region extraction window 38 corresponding to the first region extraction window 37 are acquired by the second extraction window coordinate acquisition unit 24, and the storage unit 50. To remember. Information regarding the difference is also stored in the storage unit 50.

　記憶部５０に記憶された情報を基に、第２位置決め装置９の第２位置決め制御部９ｇの駆動制御により、第２位置決め部２９で位置決め保持された試料台６を、第２基準マーク撮像基準位置から、第１位置決め装置８の装置座標５８に対する第１領域抽出窓３７とほぼ同じ位置に、第２位置決め装置９の装置座標５９に対して第２領域抽出窓３８が位置するように、ｎｍ精度で位置制御する。この位置制御動作により、第１顕微鏡１で観察した第１観察位置に非常に近い位置まで第２領域抽出窓３８が自動的に移動することになる。従って、ユーザは、容易に、第１顕微鏡１で観察した第１観察位置と同一位置又は第１顕微鏡１で観察した第１観察位置のｎｍオーダで非常に近い位置の第２観察位置で、第２顕微鏡２による観察を行うことができる（図２０のステップＳ３参照）。観察時、第２画像取得部４２で第２位置決め部２９に位置決めされた試料台６の画像を取得して、試料台６の試料載置領域６ａに載置された試料７の観察対象組織３５を含む第２領域抽出窓３８の画像を取得する。取得した画像は、記憶部５０に記憶する。必要に応じて、複数枚の画像取得を行う。異なる第２観察位置毎に、観察及び画像取得を繰り返す。 Based on the information stored in the storage unit 50, the second reference mark imaging reference is obtained by positioning the sample stage 6 held by the second positioning unit 29 by the drive control of the second positioning control unit 9g of the second positioning device 9. From the position, nm is set so that the second region extraction window 38 is located with respect to the device coordinates 59 of the second positioning device 9 at approximately the same position as the first region extraction window 37 with respect to the device coordinates 58 of the first positioning device 8. Position control with accuracy. By this position control operation, the second region extraction window 38 is automatically moved to a position very close to the first observation position observed with the first microscope 1. Therefore, the user can easily set the second observation position at the same position as the first observation position observed with the first microscope 1 or the second observation position very close to the nm order of the first observation position observed with the first microscope 1. 2 Observation with the microscope 2 can be performed (see step S3 in FIG. 20). At the time of observation, an image of the sample stage 6 positioned by the second positioning unit 29 is acquired by the second image acquisition unit 42, and the observation target tissue 35 of the sample 7 placed in the sample placement area 6 a of the sample stage 6 is obtained. An image of the second region extraction window 38 including is acquired. The acquired image is stored in the storage unit 50. If necessary, multiple images are acquired. Observation and image acquisition are repeated for each different second observation position.

　次いで、第２顕微鏡２での観察終了後、試料台投入装置６９に向けて試料台６の搬送を行う（図２０のステップＳ４及びステップＳ６参照）。すなわち、まず、第２位置決め部２９は、受渡し位置ＩＩまで移動して待機する。 Next, after the observation with the second microscope 2 is completed, the sample stage 6 is transported toward the sample stage loading device 69 (see step S4 and step S6 in FIG. 20). That is, first, the second positioning unit 29 moves to the delivery position II and stands by.

　次いで、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａが開口部２９ｇ内に入ったのち上昇して、第２位置決め部２９から保持枠部６７ａに試料台６を渡す。その後、回転搬送アーム６７が回転して、その保持枠部６７ａがロードロック室６０ａに向かう。 Next, the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67 rises after entering the opening 29g, and the sample stage 6 is transferred from the second positioning portion 29 to the holding frame portion 67a. Thereafter, the rotary transfer arm 67 rotates and the holding frame portion 67a moves toward the load lock chamber 60a.

　次いで、ロードロック室６０ａの真空側の第２開閉ドア６５ａを開けたのち、保持枠部６７ａが受渡し位置ＩＩＩに位置したのち、搬送部材６１が退避位置から受渡し位置ＩＩＩに位置して、試料台６を支持する。 Next, after opening the second opening / closing door 65a on the vacuum side of the load lock chamber 60a, after the holding frame portion 67a is positioned at the delivery position III, the transport member 61 is positioned from the retracted position to the delivery position III, and the sample table 6 is supported.

　次いで、回転搬送アーム６７の保持枠部６７ａがロードロック室６０ａから取り出されたのち、真空側の第２開閉ドア６５ａを閉じる。 Next, after the holding frame portion 67a of the rotary transfer arm 67 is taken out from the load lock chamber 60a, the second open / close door 65a on the vacuum side is closed.

　次いで、ロードロック室６０ａの真空を開放して大気圧としたのち、ロードロック室６０ａの大気側の第１開閉ドア６４ａを第１開閉装置６４で開ける。 Next, after the vacuum in the load lock chamber 60a is released to atmospheric pressure, the first open / close door 64a on the atmosphere side of the load lock chamber 60a is opened by the first open / close device 64.

　次いで、搬送装置５の駆動により、試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａ内に入って受渡し位置ＩＩＩに位置したのち、受渡し位置ＩＩＩに位置した搬送部材６１から試料台位置決め保持部２５に試料台６を渡す。 Next, the sample table positioning holding unit 25 enters the load lock chamber 60a and is positioned at the delivery position III by driving the transfer device 5, and then the sample is transferred from the transfer member 61 positioned at the transfer position III to the sample table positioning holding unit 25. Pass the table 6.

　次いで、搬送装置５の駆動により、試料台６を支持した試料台位置決め保持部２５がロードロック室６０ａ内から取り出されたのち、第１開閉ドア６４ａを第１開閉装置６４で閉める。 Next, after the sample table positioning holding unit 25 supporting the sample table 6 is taken out from the load lock chamber 60 a by driving the transport device 5, the first opening / closing door 64 a is closed by the first opening / closing device 64.

　次いで、搬送装置５の駆動により、試料台６を支持した試料台位置決め保持部２５が試料台投入装置６９に移動して、試料台６を試料台投入装置６９に支持させる。 Next, by driving the transport device 5, the sample table positioning holding unit 25 that supports the sample table 6 moves to the sample table input device 69, and the sample table 6 is supported by the sample table input device 69.

　これで、相関顕微鏡１０の一連の動作が終了する。 This completes a series of operations of the correlation microscope 10.

　前記観察の結果として取得した画像については、以下のように処理を行う。この処理は、前記動作と同時的に行うことも可能である。 The image acquired as a result of the observation is processed as follows. This process can also be performed simultaneously with the above operation.

　まず、第１位置決め部２８が第１観察位置に位置したときに第１画像取得部４１で取得された第１領域抽出窓３７の画像のうちの観察対象組織３５の複数個の特徴部４４を特徴部記憶部４５に記憶する。一例として、具体的には、観察対象組織３５の特徴的な部分的な外形形状、全体的な形状、又は、濃度などをユーザが入出力装置４８を利用して複数個指定することにより、複数個の特徴部４４を特徴部記憶部４５に記憶することができる。 First, the plurality of characteristic portions 44 of the observation target tissue 35 in the image of the first region extraction window 37 acquired by the first image acquisition unit 41 when the first positioning unit 28 is positioned at the first observation position. Store in the feature storage 45. As an example, specifically, when the user designates a plurality of characteristic partial outer shapes, overall shapes, or concentrations of the observation target tissue 35 using the input / output device 48, a plurality of The feature portions 44 can be stored in the feature portion storage portion 45.

　次いで、画像処理部４６は、特徴部記憶部４５に記憶した複数個の特徴部４４を持つテンプレート３３を作成する（図１３参照）。このテンプレート３３に基づき、第２位置決め部２９が第２観察位置に位置したときに第２画像取得部４２で取得された第２領域抽出窓３８の画像でパターンマッチングを行って、複数個の特徴部４４を持つ組織３５ｂを探し出す。パターンマッチングでテンプレート３３が第２領域抽出窓３８の画像中の組織３５ｂに一致すると判定されると、その結果情報は、記憶部５０に記憶する。もし、一致しない判定されたときは、特徴部４４の個数又は特徴部４４自体を再検討して、パターンマッチングを行い、第２領域抽出窓３８の画像中の組織３５ｂに一致するとの判定を取得する。 Next, the image processing unit 46 creates a template 33 having a plurality of feature parts 44 stored in the feature part storage unit 45 (see FIG. 13). Based on this template 33, pattern matching is performed on the image of the second region extraction window 38 acquired by the second image acquisition unit 42 when the second positioning unit 29 is positioned at the second observation position, and a plurality of features are obtained. The organization 35b having the part 44 is searched for. If it is determined by pattern matching that the template 33 matches the tissue 35 b in the image of the second region extraction window 38, the result information is stored in the storage unit 50. If it is determined that they do not match, the number of the feature portions 44 or the feature portions 44 themselves are reviewed, pattern matching is performed, and a determination is made that they match the tissue 35b in the image of the second region extraction window 38. To do.

　次いで、画像処理部４６でのパターンマッチングの一致判定結果と、第１座標取得部２１で取得した第１試料台座標３１の座標位置と、第２抽出窓座標取得部２４で取得した第２領域抽出窓３８の補正後の座標位置とを基に、画像合成部４７により、第１領域抽出窓３７の画像のうちの観察対象組織３５と第２領域抽出窓３８の画像中の組織３５ｂとが一致するように、第１領域抽出窓３７の画像と第２領域抽出窓３８の画像とを重ね合わせて合成する。合成した画像情報は、記憶部５０に記憶する。 Next, the pattern matching coincidence determination result in the image processing unit 46, the coordinate position of the first sample stage coordinate 31 acquired by the first coordinate acquisition unit 21, and the second region acquired by the second extraction window coordinate acquisition unit 24 Based on the corrected coordinate position of the extraction window 38, the image synthesis unit 47 generates an observation target tissue 35 in the image of the first region extraction window 37 and a tissue 35 b in the image of the second region extraction window 38. The images of the first region extraction window 37 and the image of the second region extraction window 38 are superimposed and synthesized so as to match. The combined image information is stored in the storage unit 50.

　次いで、モニタ４に合成した画像を表示する。 Next, the synthesized image is displayed on the monitor 4.

　試料７の第１例として、図２１に、合成前後の画像を示す。図２１の（ａ）は、第１画像取得部４１で取得された第１領域抽出窓３７の画像であって、蛍光顕微鏡で取得した画像である。（ｂ）は、第２画像取得部４２で取得された第２領域抽出窓３８の画像であって、電子顕微鏡で取得した画像である。（ｃ）は（ａ）の画像と（ｂ）の画像とを合成した合成画像である。（ａ）の蛍光顕微鏡で取得した画像のうち、白い部分は、蛍光色素で標識された生体組織の部分である。（ｂ）の電子顕微鏡で取得した画像では、組織の輪郭が明確に把握できる。これらを合成した（ｃ）の合成画像では、輪郭が明確に把握できる組織において、蛍光部分を明確に把握することができる。 As a first example of sample 7, FIG. 21 shows images before and after synthesis. FIG. 21A is an image of the first region extraction window 37 acquired by the first image acquisition unit 41, and is an image acquired by a fluorescence microscope. (B) is the image of the 2nd area extraction window 38 acquired by the 2nd image acquisition part 42, Comprising: It is the image acquired with the electron microscope. (C) is a synthesized image obtained by synthesizing the image of (a) and the image of (b). In the image acquired by the fluorescence microscope of (a), the white part is a part of the biological tissue labeled with a fluorescent dye. In the image acquired by the electron microscope of (b), the outline of the tissue can be clearly grasped. In the synthesized image (c) obtained by synthesizing these, the fluorescent portion can be clearly grasped in the tissue whose outline can be clearly grasped.

　また、試料７の第２例として、図２２に、腎臓の尿細管の組織の合成前後の画像を示す。図２２の（ａ）は、第１画像取得部４１で取得された第１領域抽出窓３７の画像であって、蛍光顕微鏡で取得した画像である。（ｂ）は、第２画像取得部４２で取得された第２領域抽出窓３８の画像であって、電子顕微鏡で取得した画像である。（ｃ）は（ａ）の画像と（ｂ）の画像とを合成した合成画像である。（ａ）の蛍光顕微鏡で取得した画像のうち、白い部分は、蛍光色素で標識された生体組織の部分である。特に、太くて短い白の矢印で示した部分は、蛍光色素で標識された生体組織（腎臓の尿細管内の刷子縁）の部分である。細くて長い白の矢印部分は、各図で同一の組織を示す。（ｂ）の電子顕微鏡で取得した画像では、組織の輪郭が明確に把握できる。これらを合成した（ｃ）の合成画像では、輪郭が明確に把握できる組織において、蛍光部分を明確に把握することができる。 Further, as a second example of the sample 7, FIG. 22 shows images before and after the synthesis of the renal tubular tissue. FIG. 22A is an image of the first region extraction window 37 acquired by the first image acquisition unit 41, and is an image acquired by a fluorescence microscope. (B) is the image of the 2nd area extraction window 38 acquired by the 2nd image acquisition part 42, Comprising: It is the image acquired with the electron microscope. (C) is a synthesized image obtained by synthesizing the image of (a) and the image of (b). In the image acquired by the fluorescence microscope of (a), the white part is a part of the biological tissue labeled with a fluorescent dye. In particular, the portion indicated by a thick and short white arrow is a portion of a biological tissue (brush border in the renal tubule) labeled with a fluorescent dye. The thin and long white arrows indicate the same structure in each figure. In the image acquired by the electron microscope of (b), the outline of the tissue can be clearly grasped. In the synthesized image (c) obtained by synthesizing these, the fluorescent portion can be clearly grasped in the tissue whose outline can be clearly grasped.

　また、試料７の第３例として、図２３に、人工繊維とゲルとの合成前後の画像を示す。図２３の（ａ）は、第１画像取得部４１で取得された第１領域抽出窓３７の画像であって、蛍光顕微鏡で取得した画像である。（ｂ）は、第２画像取得部４２で取得された第２領域抽出窓３８の画像であって、電子顕微鏡で取得した画像である。（ｃ）は（ａ）の画像と（ｂ）の画像とを合成した合成画像である。（ａ）の蛍光顕微鏡で取得した画像のうち、白い部分は、水で大きくなるゲルを示しているが、人工繊維が映っていないため、人工繊維との関係が不明瞭である。（ｂ）の電子顕微鏡で取得した画像では、人工繊維は明確に把握できるが、水で大きくなるゲルは全く把握できない。（ｃ）の合成画像では、人工繊維と水で大きくなるゲルとの両方が明確に把握でき、人工繊維に対して、どの部分に水で大きくなるゲルが存在するかがわかる。特に、白の矢印で示した部分は、水で大きくなるゲルである。（ｂ）では、同じ場所を白の矢印で示しても、全くわからない状態である。 Further, as a third example of the sample 7, FIG. 23 shows images before and after the synthesis of the artificial fiber and the gel. (A) of FIG. 23 is an image of the first region extraction window 37 acquired by the first image acquisition unit 41, and is an image acquired by a fluorescence microscope. (B) is the image of the 2nd area extraction window 38 acquired by the 2nd image acquisition part 42, Comprising: It is the image acquired with the electron microscope. (C) is a synthesized image obtained by synthesizing the image of (a) and the image of (b). Of the images acquired with the fluorescence microscope of (a), the white part shows a gel that becomes larger with water, but the artificial fiber is not reflected, and the relationship with the artificial fiber is unclear. In the image acquired by the electron microscope of (b), the artificial fibers can be clearly grasped, but the gel that becomes large with water cannot be grasped at all. In the synthetic image of (c), both the artificial fiber and the gel that becomes larger with water can be clearly grasped, and it can be seen in which part the gel that becomes larger with water is present with respect to the artificial fiber. In particular, the portion indicated by the white arrow is a gel that becomes larger with water. In (b), even if the same place is indicated by a white arrow, it is not understood at all.

　また、試料７の第４例として、図２４に、マウスの尾骨の組織の合成前後の画像を示す。図２４の（ａ）は、第１画像取得部４１で取得された第１領域抽出窓３７の画像であって、蛍光顕微鏡で取得した画像である。（ｂ）は、第２画像取得部４２で取得された第２領域抽出窓３８の画像であって、電子顕微鏡で取得した画像である。（ｃ）は（ａ）の画像と（ｂ）の画像とを合成した合成画像である。（ａ）の蛍光顕微鏡で取得した画像のうち、白の矢印で示した白い部分は、蛍光色素で標識された生体組織の部分である。（ｂ）の電子顕微鏡で取得した画像では、組織の輪郭が明確に把握できるが、蛍光色素で標識された生体組織は全くわからない。これらを合成した（ｃ）の合成画像では、輪郭が明確に把握できる組織において、蛍光部分を明確に把握することができる。（ｄ）は拡大前の電子顕微鏡で取得した画像である。 Also, as a fourth example of the sample 7, FIG. 24 shows images before and after synthesis of the mouse tailbone tissue. FIG. 24A is an image of the first region extraction window 37 acquired by the first image acquisition unit 41 and is an image acquired by a fluorescence microscope. (B) is the image of the 2nd area extraction window 38 acquired by the 2nd image acquisition part 42, Comprising: It is the image acquired with the electron microscope. (C) is a synthesized image obtained by synthesizing the image of (a) and the image of (b). The white part shown with the white arrow among the images acquired with the fluorescence microscope of (a) is a part of the biological tissue labeled with the fluorescent dye. In the image acquired with the electron microscope of (b), the outline of the tissue can be clearly understood, but the biological tissue labeled with the fluorescent dye is not known at all. In the synthesized image (c) obtained by synthesizing these, the fluorescent portion can be clearly grasped in the tissue whose outline can be clearly grasped. (D) is an image acquired with an electron microscope before enlargement.

　前記実施形態によれば、２つの顕微鏡１，２にそれぞれ位置決めされたときの同一の試料台６の画像及び試料７の観察対象組織３５を含む第１領域抽出窓３７と第１試料台座標３１と第２試料台座標３２と第２領域抽出窓３８の座標とをそれぞれ取得し、第１試料台座標３１と第２試料台座標３２との差を基に第２試料台座標３２を補正して、第２領域抽出窓３８の補正後の座標位置を取得し、補正後の座標位置を基に、第２位置決め装置９は、第２位置決め部２９を、第２非観察位置から、第１領域抽出窓３７の座標位置に対応する位置に第２領域抽出窓３８が位置している第２観察位置に移動させる。この結果、高い精度で同一位置での観察を行うことができる。 According to the embodiment, the first region extraction window 37 including the image of the same sample stage 6 and the observation target tissue 35 of the sample 7 when positioned on the two

microscopes

1 and 2, and the first sample stage coordinates 31. , The second sample stage coordinates 32 and the coordinates of the second region extraction window 38 are obtained, and the second sample stage coordinates 32 are corrected based on the difference between the first sample stage coordinates 31 and the second sample stage coordinates 32. Then, the corrected coordinate position of the second region extraction window 38 is acquired, and based on the corrected coordinate position, the second positioning device 9 moves the second positioning unit 29 from the second non-observation position to the first position. The second region extraction window 38 is moved to the second observation position where the second region extraction window 38 is located at a position corresponding to the coordinate position of the region extraction window 37. As a result, it is possible to perform observation at the same position with high accuracy.

　また、第１領域抽出窓画像に対応する第２領域抽出窓画像に対してパターンマッチングを行い、第１領域抽出窓画像と第２領域抽出窓画像とを重ね合わせた合成画像を生成することができる。この結果、高い精度で同一位置での合成画像を取得して観察することができる。 In addition, pattern matching is performed on the second region extraction window image corresponding to the first region extraction window image to generate a composite image in which the first region extraction window image and the second region extraction window image are superimposed. it can. As a result, a synthesized image at the same position can be acquired and observed with high accuracy.

　すなわち、前記実施形態によれば、以下の優れた効果を奏することができる。 That is, according to the embodiment, the following excellent effects can be obtained.

　蛍光標識された試料７について光学顕微鏡で例えば数百倍程度の観察倍率で観察を行うことにより、機能情報が得られ、さらに所望の試料領域について走査型電子顕微鏡を用いてさらに高倍率の観察を行うことにより、形態情報が得られる。これらの情報を両方含んだ正確に合成した画像を生成することができる。この結果、完全同一の組織（細胞、器官、細胞又は器官の一部など）において、形態と機能とを明確に特定することができる。すなわち、高い精度（すなわち、ｎｍ精度）で同一位置での観察が行える相関顕微鏡を提供することができる。 By observing the fluorescently labeled sample 7 with an optical microscope, for example, at an observation magnification of about several hundred times, functional information can be obtained. Further, a desired sample region can be observed at a higher magnification using a scanning electron microscope. By doing so, morphological information is obtained. An accurately synthesized image including both of these pieces of information can be generated. As a result, it is possible to clearly specify the form and function in completely the same tissue (cell, organ, cell or part of the organ, etc.). That is, it is possible to provide a correlation microscope that can perform observation at the same position with high accuracy (that is, nm accuracy).

　一般に、試料７中には、多数の類似する細胞があり、かつ、それらの細胞には、観察対象組織の一例である細胞３５と、変形により酷似する細胞３５ｈ（図１３参照）とを含むことが多い。例えば、観察対象の細胞は、観察する度に異なり、観察対象の１つの細胞３５と類似する細胞３５ｈが、数千個も含まれる場合がある。また、生体組織ゆえ、観察途中で変形してしまい、観察対象では無かった細胞が、観察対象の細胞と酷似するように変形する場合もある。よって、試料７の全体の画像において、単にパターンマッチングを行うだけでは、間違った数千個の細胞を抽出してしまうこともある。 In general, the sample 7 includes a large number of similar cells, and these cells include a cell 35 which is an example of a tissue to be observed and a cell 35h (see FIG. 13) which closely resembles due to deformation. There are many. For example, the cell to be observed is different every time it is observed, and there are cases where thousands of cells 35h similar to one cell 35 to be observed are included. In addition, because of the biological tissue, the cells may be deformed during the observation, and the cells that were not the observation target may be deformed so as to be very similar to the observation target cells. Therefore, by simply performing pattern matching on the entire image of the sample 7, thousands of wrong cells may be extracted.

　また、図２５に示すように、２つの位置決め装置間の座標の位置合わせの精度が悪い場合には、（ａ）の蛍光顕微鏡で見たときの画像エリアと、（ｂ）の電子顕微鏡で見たときの画像エリアとは、全く異なる位置となってしまい、試料７のどの位置を観察しているか不明となってしまう。これに対して、本実施形態では、２つの位置決め装置８，９間の座標の位置合わせの精度が非常に良い場合には、（ａ）の蛍光顕微鏡で見たときの画像エリアと、（ｂ）の電子顕微鏡で見たときの画像エリアとはナノオーダレベルで一致し、同一の観察が行える。 In addition, as shown in FIG. 25, when the accuracy of coordinate alignment between the two positioning devices is poor, the image area when viewed with the fluorescence microscope of (a) and the electron microscope of (b). The image area at this time is completely different from the image area, and it is unclear which position of the sample 7 is being observed. On the other hand, in this embodiment, when the accuracy of the coordinate alignment between the two

positioning devices

8 and 9 is very good, the image area when viewed with the fluorescence microscope of (a), and (b The image area when viewed with an electron microscope in (1) coincides at the nano-order level, and the same observation can be performed.

　すなわち、前記実施形態では、座標同士の位置関係をサブミクロンオーダで正確に位置合わせすることができる上に、試料７の全体の画像ではなく、試料７中に予め設定した小さな抽出窓３７，３８内での観察対象組織３５を指定し、その指定した組織３５から複数の特徴部４４を抽出し、抽出した複数の特徴部４４を基に、抽出窓３７，３８内でパターンマッチングを行うことにより、間違って数千個の細胞を抽出するような課題を解消している。 That is, in the above-described embodiment, the positional relationship between the coordinates can be accurately aligned on the submicron order, and the

small extraction windows

37 and 38 set in advance in the sample 7 instead of the entire image of the sample 7 can be obtained. By specifying a tissue 35 to be observed in the image, extracting a plurality of feature portions 44 from the specified tissue 35, and performing pattern matching in the

extraction windows

37 and 38 based on the extracted feature portions 44. The problem of extracting thousands of cells by mistake has been solved.

　さらに、このように精度良く抽出作業を行うことにより、一つの細胞の内外の蛍光状態すなわち機能情報を把握できるような合成画像が取得でき、細胞の内外での例えば試薬の効果の違い等を明確に把握することができる（図２２参照）。 Furthermore, by performing the extraction operation with high accuracy in this way, it is possible to obtain a composite image that can grasp the fluorescence state inside or outside of one cell, that is, functional information, and clarify, for example, the difference in the effect of reagents inside and outside the cell. (See FIG. 22).

　これに対して、従来は、組織等の同一位置での比較を行うことができず、互いに類似している細胞から電子顕微鏡用の試料と、光学顕微鏡用の試料とをそれぞれ別箇に用意して、それぞれ観察したのち、両者の観察結果を比較検討していた。これでは、それぞれの試料を用意するのが煩雑であり、かつ、１００％同一の細胞又は細胞の部分ではないので、確実性に欠けるとの指摘があった。 In contrast, conventionally, comparisons cannot be made at the same position of tissues or the like, and a sample for an electron microscope and a sample for an optical microscope are separately prepared from cells that are similar to each other. After observing each of them, the observation results of both were compared. In this case, it has been pointed out that the preparation of each sample is complicated, and it is not 100% identical cells or cell parts, so that it is not reliable.

　本実施形態は、これらの課題を全て解決できる優れた効果を有するものである。 This embodiment has an excellent effect that can solve all of these problems.

　なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can implement in another various aspect.

　例えば、図１及び図２に一点鎖線で示すように、相関顕微鏡１０の全てをクリーンルームの暗室５５内に配置するようにしてもよい。モニタ４以外の相関顕微鏡１０の全体をクリーンルームの暗室５５内に配置するとともに、試料台投入装置６９へ試料台６をセットするための開閉ドア５５ａを設けるようにしてもよい。このように構成すれば、その暗室５５から一度も一般環境に暴露することなく、試料台搬送を実現することができる。 For example, as shown by a one-dot chain line in FIGS. 1 and 2, all of the correlation microscope 10 may be arranged in the dark room 55 of the clean room. The entire correlation microscope 10 other than the monitor 4 may be disposed in the dark room 55 of the clean room, and an open / close door 55 a for setting the sample stage 6 to the sample stage loading apparatus 69 may be provided. If comprised in this way, sample stand conveyance can be implement | achieved, without being exposed to the general environment from the dark room 55 once.

　また、試料台６は、９０度毎に周囲の四隅に湾曲した切欠部６ｄ，…，６ｄを有しているが、これに限られるものではない。例えば、試料台６は、３か所又は５カ所以上に切欠部６ｄを有していてもよい。 The sample stage 6 has notches 6d,..., 6d that are curved at four corners around every 90 degrees, but is not limited thereto. For example, the sample stage 6 may have notches 6d at three places or five places or more.

　また、本実施形態では、受渡し位置Ｉと第１基準マーク撮像基準位置とが第１位置決め部２８の第１非観察位置の例であるとともに、受渡し位置ＩＩと第２基準マーク撮像基準位置とが第２位置決め部２９の第２非観察位置の例としているが、これに限られるものではなく、受渡し位置Ｉと第１基準マーク撮像基準位置とを一つの位置とし、当該位置を第１位置決め部２８の第１非観察位置の例とするとともに、受渡し位置ＩＩと第２基準マーク撮像基準位置とを一つの位置とし、当該位置を第２位置決め部２９の第２非観察位置の例とするようにしてもよい。 In the present embodiment, the delivery position I and the first reference mark imaging reference position are examples of the first non-observation position of the first positioning unit 28, and the delivery position II and the second reference mark imaging reference position are The second non-observation position of the second positioning unit 29 is an example, but is not limited to this. The delivery position I and the first reference mark imaging reference position are set as one position, and the position is the first positioning unit. 28 as an example of the first non-observation position, and the delivery position II and the second reference mark imaging reference position are set as one position, and the position is set as an example of the second non-observation position of the second positioning unit 29. It may be.

　また、試料台は、１つの部材で構成されるものに限らず、前記実施形態の変形例として、以下のような複数の部材で構成してもよい。すなわち、図２７Ａ～図２７Ｃは、それぞれ、前記実施形態の変形例にかかる相関顕微鏡の試料台６Ｄの平面図、正面図、及び、斜視図である。図２７Ｄは、試料台６Ｄの試料台枠体６Ｂに挿入可能な標準試料台の一例としての試料載置台６Ｃの斜視図である。図２７Ｅは、試料台６Ｄの試料台枠体６Ｂに試料載置台６Ｃが挿入された状態での斜視図である。なお、試料台枠体６Ｂの底面図は、図５Ｂの相関顕微鏡の試料台６の底面図と同じであるため、図示を省略する。 Further, the sample stage is not limited to one member but may be composed of a plurality of members as follows as a modification of the embodiment. 27A to 27C are a plan view, a front view, and a perspective view, respectively, of the sample stage 6D of the correlation microscope according to the modification of the embodiment. FIG. 27D is a perspective view of a sample mounting table 6C as an example of a standard sample table that can be inserted into the sample table frame 6B of the sample table 6D. FIG. 27E is a perspective view in a state where the sample mounting table 6C is inserted into the sample table frame 6B of the sample table 6D. The bottom view of the sample table frame 6B is the same as the bottom view of the sample table 6 of the correlation microscope in FIG.

　試料台６Ｄは、試料台枠体６Ｂと、試料載置台６Ｃとで構成している。 The sample table 6D is composed of a sample table frame 6B and a sample mounting table 6C.

　試料台枠体６Ｂは、切欠部６ｄと切欠６ｅと鍔部６ｈとなどの外形形状は図５Ａの試料台６と同様であるが、試料載置領域に、大略円筒状の側壁６Ｂｄで囲まれた、有底の円形凹部６Ｂａを有している点が異なっている。 The sample table frame 6B has the same outer shape as the sample table 6 of FIG. 5A, such as the notch 6d, the notch 6e, and the flange 6h, but is surrounded by a substantially cylindrical side wall 6Bd in the sample mounting region. Moreover, the point which has bottomed circular recessed part 6Ba differs.

　試料載置台６Ｃは、試料台枠体６Ｂの円形凹部６Ｂａに着脱可能に挿入される円柱体であって、その上面に、試料７として生体組織を載置する円形の試料載置領域６ａを有している。試料載置領域６ａには、観察対象組織３５を含む生体試料７を両面接着テープなどにより固定することができる。試料載置領域６ａの高さは、側壁６Ｂｄの高さと同じか、側壁６Ｂｄよりも少し高くなっている。 The sample mounting table 6C is a cylindrical body that is detachably inserted into the circular recess 6Ba of the sample table frame 6B. The sample mounting table 6C has a circular sample mounting region 6a on which a biological tissue is mounted as the sample 7. is doing. The biological sample 7 including the observation target tissue 35 can be fixed to the sample placement area 6a with a double-sided adhesive tape or the like. The height of the sample placement area 6a is the same as the height of the side wall 6Bd or slightly higher than the side wall 6Bd.

　側壁６Ｂｄには、一カ所、貫通したネジ穴６Ｂｇを有して、このネジ穴６Ｂｇにネジ６Ｂｈをねじ込み可能としている。よって、円形凹部６Ｂａに試料載置台６Ｃを挿入したのち、ネジ６Ｂｈをねじ込んで試料載置台６Ｃを係止することにより、試料載置台６Ｃを円形凹部６Ｂａ内に固定するようにしている。 The side wall 6Bd has a screw hole 6Bg penetrating in one place, and the screw 6Bh can be screwed into the screw hole 6Bg. Therefore, after the sample mounting table 6C is inserted into the circular recess 6Ba, the sample mounting table 6C is locked by screwing the screw 6Bh, thereby fixing the sample mounting table 6C in the circular recess 6Ba.

　なお、側壁６Ｂｄには、側壁６Ｂｄの上端面から下向きに延びた１個又は複数個の切欠きを形成して、切欠き内にピンセットなどを挿入可能として、円形凹部６Ｂａに対して試料載置台６Ｃを着脱しやすくするようにしてもよい。 The side wall 6Bd is formed with one or a plurality of notches extending downward from the upper end surface of the side wall 6Bd so that tweezers or the like can be inserted into the notches, and the sample mounting table is placed on the circular recess 6Ba. You may make it easy to attach and detach 6C.

　このように試料台６Ｄを、標準試料台の一例としての試料載置台６Ｃと、試料台枠体６Ｂとの複数の部材で構成することにより、汎用されている標準試料台を使用することができ、汎用性に富んだものとすることができる。よって、複数の試料を観察するときに、複数の特別な試料台６を予め用意するのではなく、標準試料台の一例としての試料載置台６Ｃのみを複数個用意して、試料台枠体６Ｂに対して試料載置台６Ｃのみを交換すればよく、より利便性の高いものとすることができる。 In this way, by configuring the sample stage 6D with a plurality of members of the sample stage 6C as an example of the standard sample stage and the sample stage frame 6B, a standard sample stage that is widely used can be used. It can be versatile. Therefore, when observing a plurality of samples, a plurality of special sample tables 6 are not prepared in advance, but only a plurality of sample mounting tables 6C as an example of a standard sample table are prepared, and a sample table frame 6B is prepared. On the other hand, it is only necessary to replace the sample mounting table 6C, which can be more convenient.

　この結果、ユーザは、先の実施形態にかかる専用の試料台６と、標準試料台を使用可能な変形例にかかる試料台６Ｄとのいずれかを１つを選択して、相関顕微鏡に使用することができる。 As a result, the user selects one of the dedicated sample stage 6 according to the previous embodiment and the sample stage 6D according to the modified example in which the standard sample stage can be used, and uses it for the correlation microscope. be able to.

　なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。 It should be noted that, by appropriately combining any of the various embodiments or modifications, the effects possessed by them can be produced. In addition, combinations of the embodiments, combinations of the examples, or combinations of the embodiments and examples are possible, and combinations of features in different embodiments or examples are also possible.

　本発明にかかる相関顕微鏡は、共焦点レーザ顕微鏡と走査型電子顕微鏡との両方で高い精度で同一位置で観察を行うことができ、蛍光試薬などの開発において使用される相関顕微鏡等として有用である。 The correlation microscope according to the present invention can be observed at the same position with high accuracy in both the confocal laser microscope and the scanning electron microscope, and is useful as a correlation microscope used in the development of fluorescent reagents and the like. .

　１　レーザ顕微鏡
　２　電子顕微鏡
　２ａ　真空室
　３　免振台
　４　モニタ
　５　搬送装置
　５ａ　回転装置
　５ｂ　搬送アーム
　５ｃ　進退装置
　５ｄ　昇降装置
　６　試料台
　６Ｂ　試料台枠体
　６Ｂａ　円形凹部
　６Ｂｄ　側壁
　６Ｂｇ　ネジ穴
　６Ｂｈ　ネジ
　６C　試料載置台
　６D　試料台
　６ａ　試料載置領域
　６ｂ，６ｃ　２つの基準点(円形凹部)
　６ｄ　切欠部
　６ｅ　位置決め切欠
　６ｆ　位置決め凹部
　６ｈ　鍔部（上向き傾斜防止用）
　７　試料
　８　第１位置決め装置
　８ａ　ＸＹＺステージ
　８ｂ　リニアスケール
　８ｇ　第１位置決め制御部
　９　第２位置決め装置
　９ａ　ＸＹＺステージ
　９ｂ　リニアスケール
　９ｇ　第２位置決め制御部
　１０　相関顕微鏡
　１１　制御部
　２１　第１座標取得部
　２２　第２座標取得部
　２３　第１抽出窓座標取得部
　２４　第２抽出窓座標取得部
　２５　試料台位置決め保持部
　２５ａ　保持枠部
　２５ｂ　第１位置決めピン
　２５ｃ　支持台部
　２５ｄ　第２位置決めピン
　２８　第１位置決め部
　２８ａ　位置決め突起
　２８ｂ，２８ｃ　支持部
　２８ｄ　ロック部
　２８ｅ　レバー
　２８ｆ　支持軸
　２８ｇ　開口部
　２８ｈ　ロック部駆動装置
　２９　第２位置決め部
　２９ａ　位置決め突起
　２９ｂ　支持部
　２９ｃ　係止面
　２９ｄ　スライド板部材
　２９ｅ　スライド板駆動装置
　２９ｇ　開口部
　３１　第１試料台座標
　３１ｏ　第１試料台座標の原点位置
　３１ｘ　第１試料台座標のｘ軸
　３１ｙ　第１試料台座標のｙ軸
　３２　第２試料台座標
　３２ｏ　第２試料台座標の原点位置
　３２ｘ　第２試料台座標のｘ軸
　３２ｙ　第２試料台座標のｙ軸
　３３　テンプレート
　３５　試料の観察対象組織
　３５ａ　第２領域抽出窓内での観察対象組織
　３７　第１領域抽出窓
　３８　第２領域抽出窓
　４１　第１画像取得部
　４２　第２画像取得部
　４４　特徴部
　４５　特徴部記憶部
　４６　画像処理部
　４７　画像合成部
　４８　入出力装置
　４９　動作制御部
　５０　記憶部
　５５　暗室
　５５ａ　開閉ドア
　５８　第１位置決め装置の装置座標
　５８ｏ　装置座標原点
　５８ｘ　装置座標のｘ軸
　５８ｙ　装置座標のｙ軸
　５９　第２位置決め装置の装置座標
　５９ｏ　装置座標原点
　５９ｘ　装置座標のｘ軸
　５９ｙ　装置座標のｙ軸
　６０　ロードロック室ユニット
　６０ａ　ロードロック室
　６１　搬送部材
　６１ａ　二股部
　６１ｂ　第１位置決めピン
　６２　搬送部材駆動装置
　６３　真空吸引装置
　６４　第１開閉装置
　６４ａ　第１開閉ドア
　６５　第２開閉装置
　６５ａ　第２開閉ドア
　６６　回転搬送装置
　６７　回転搬送アーム
　６７ａ　保持枠部
　６７ｂ　第１位置決めピン
　６７ｃ　支持台部
　６８　回転搬送駆動装置
　６８ａ　モータ
　６８ｂ　ウォーム
　６８ｃ　ギア
　６８ｄ　回転軸
　６８ｅ　昇降装置
　６９　試料台投入装置
　６９ａ　支持部
　６９ｂ　開口部
　７０　抽出窓設定部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser microscope 2 Electron microscope 2a Vacuum chamber 3 Isolation table 4 Monitor 5 Transfer device

5a Rotation device

5b Transfer arm 5c Advancement / retraction device 5d Lifting device 6 Sample stand 6B Sample stand frame 6Ba Circular recessed part 6Bd Side wall 6Bg Screw hole 6Bh Screw 6C Sample Mounting table 6D Sample table 6a

Sample mounting area

6b, 6c Two reference points (circular recess)
6d notch 6e positioning notch 6f positioning recess 6h collar (for upward tilt prevention)
7 Sample 8 First Positioning Device 8a XYZ Stage 8b Linear Scale 8g First Positioning Control Unit 9 Second Positioning Device 9a XYZ Stage 9b Linear Scale 9g Second Positioning Control Unit 10 Correlation Microscope 11 Control Unit 21 First Coordinate Acquisition Unit 22 First 2 coordinate acquisition part 23 1st extraction window coordinate acquisition part 24 2nd extraction window coordinate acquisition part 25 Sample stand positioning holding part 25a Holding frame part 25b 1st positioning pin 25c Supporting stand part 25d 2nd positioning pin 28 1st positioning part 28a Positioning protrusions 28b, 28c Support portion 28d Lock portion 28e Lever 28f Support shaft 28g Opening portion 28h Lock portion driving device 29 Second positioning portion 29a Positioning projection 29b Support portion 29c Locking surface 29d Slide plate member 29e Slide plate drive device 29g Opening portion 31 First sample Coordinates 31o origin position of first sample table coordinates 31x x axis of first sample table coordinates 31y y axis of first sample table coordinates 32 second sample table coordinates 32o origin position of second sample table coordinates 32x second sample table coordinates x-axis 32y y-axis of second sample base coordinates 33 template 35 sample observation target tissue 35a observation target tissue in second region extraction window 37 first region extraction window 38 second region extraction window 41 first image acquisition unit 42 Second image acquisition unit 44 Feature unit 45 Feature unit storage unit 46 Image processing unit 47 Image composition unit 48 Input / output device 49 Operation control unit 50 Storage unit 55 Dark room 55a Opening / closing door 58 Device coordinates of first positioning device 58o Device coordinate origin 58x Device coordinate x-axis 58y Device coordinate y-axis 59 Device coordinate of second positioning device 59o Device coordinate origin 59x Device coordinate x-axis 59y Device coordinate y-axis 60 Load lock chamber unit 60a Load lock chamber 61 Conveying member 61a Fork part 61b First positioning pin 62 Conveying member driving device 63 Vacuum suction device 64 First opening / closing device 64a First opening / closing door 65 Second opening / closing device 65a Second opening / closing door 66 Rotation transfer device 67 Rotation transfer arm 67a Holding frame portion 67b First positioning pin 67c Support base portion 68 Rotation transfer drive device 68a Motor 68b Worm 68c Gear 68d Rotating shaft 68e Lifting device 69 Sample stand loading device 69a Support portion 69b Opening portion 70 Extraction Window setting section

Claims

　第１顕微鏡（２，１）と、
　前記第１顕微鏡とは光軸が非同軸で配置された第２顕微鏡（１，２）と、
　試料（７）が保持された試料台（６）を試料台位置決め保持部（２５）に位置決め保持した状態で前記第１顕微鏡から前記第２顕微鏡へ前記試料台を搬送する搬送装置（５）と、
　前記第１顕微鏡に配置されて、少なくとも第１観察位置と第１非観察位置との間で移動可能でかつ前記試料台を位置決め保持する第１位置決め部（２８）を有するとともに、前記第１位置決め部が前記第１非観察位置に位置したときに前記第１位置決め部と前記搬送装置の前記試料台位置決め保持部との間で前記試料台を受渡しする第１位置決め装置（８）と、
　前記第１位置決め部が前記第１観察位置及び前記第１非観察位置にそれぞれ位置したとき、前記第１位置決め部に位置決めされた前記試料台の画像を取得して、前記試料台の前記試料の観察対象組織（３５）を含む第１領域抽出窓（３７）の画像を取得する第１画像取得部（４１）と、
　前記第１位置決め部が前記第１非観察位置に位置したときに前記第１画像取得部で取得した画像を基に、前記第１位置決め部に位置決めされた前記試料台の第１試料台座標（３１）の座標位置を取得する第１座標取得部（２１）と、
　前記第１位置決め部が前記第１非観察位置に位置したときに前記第１画像取得部で取得した前記第１領域抽出窓の画像と前記第１座標取得部で取得した前記試料台の前記第１試料台座標の座標位置とに基づいて、前記第１試料台座標における前記第１領域抽出窓の座標位置を取得する第１抽出窓座標取得部（２３）と、
　前記第２顕微鏡に配置されて、少なくとも第２観察位置と第２非観察位置との間で移動可能でかつ前記試料台を位置決め保持する第２位置決め部（２９）を有するとともに、前記第２位置決め部が前記第２非観察位置に位置したときに前記第２位置決め部と前記搬送装置の前記試料台位置決め保持部との間で前記試料台を受渡しする第２位置決め装置（９）と、
　前記第２位置決め部が前記第２観察位置及び前記第２非観察位置にそれぞれ位置したとき、前記第２位置決め部に位置決めされた前記試料台の画像を取得して、前記試料台の前記第１領域抽出窓に対応する第２領域抽出窓（３８）の画像を取得する第２画像取得部（４２）と、
　前記第２位置決め部が前記第２非観察位置に位置したときに前記第２画像取得部で取得した画像を基に、前記第２位置決め部に位置決めされた前記試料台の第２試料台座標（３２）の座標位置を取得する第２座標取得部（２２）と、
　前記第２位置決め部が前記第２非観察位置に位置したときに前記第２画像取得部で取得した前記第２領域抽出窓の画像と前記第２座標取得部で取得した前記試料台の前記第２試料台座標の座標位置とに基づいて、前記第２試料台座標における前記第２領域抽出窓の座標位置を取得するとともに、前記第１座標取得部で取得した前記第１試料台座標の前記座標位置と前記第２座標取得部で取得した前記第２試料台座標の前記座標位置との差を取得して、取得した差を基に、前記第２試料台座標の前記座標位置を補正して、前記第１領域抽出窓に対応する前記第２領域抽出窓の補正後の座標位置を取得する第２抽出窓座標取得部（２４）とを備えて、
　前記第２位置決め装置は、前記第２抽出窓座標取得部で取得した前記第２領域抽出窓の補正後の座標位置に基づいて、前記第２位置決め部を、前記第２非観察位置から、前記第１領域抽出窓の前記座標位置に対応する位置に前記第２領域抽出窓が位置している前記第２観察位置に移動させるとともに、
　前記第１顕微鏡と前記第２顕微鏡とは、いずれか一方の顕微鏡が光学顕微鏡であり、他方の顕微鏡が電子顕微鏡である、相関顕微鏡。 The first microscope (2, 1);
The first microscope is a second microscope (1, 2) in which the optical axis is arranged non-coaxially;
A transport device (5) for transporting the sample stage from the first microscope to the second microscope in a state where the sample stage (6) holding the sample (7) is positioned and held by the sample stage positioning holding unit (25); ,
The first microscope has a first positioning portion (28) which is disposed on the first microscope and is movable between at least a first observation position and a first non-observation position and which positions and holds the sample stage. A first positioning device (8) for delivering the sample table between the first positioning unit and the sample table positioning holding unit of the transport device when the unit is located at the first non-observation position;
When the first positioning unit is positioned at the first observation position and the first non-observation position, respectively, an image of the sample stage positioned at the first positioning unit is acquired, and the sample of the sample stage is acquired. A first image acquisition unit (41) for acquiring an image of the first region extraction window (37) including the observation target tissue (35);
Based on the image acquired by the first image acquisition unit when the first positioning unit is positioned at the first non-observation position, the first sample table coordinates (the first sample table coordinate of the sample table positioned by the first positioning unit) 31) a first coordinate acquisition unit (21) for acquiring the coordinate position;
When the first positioning unit is located at the first non-observation position, the image of the first region extraction window acquired by the first image acquisition unit and the first of the sample stage acquired by the first coordinate acquisition unit. A first extraction window coordinate acquisition unit (23) for acquiring a coordinate position of the first region extraction window in the first sample table coordinates based on the coordinate position of one sample table coordinate;
The second microscope has a second positioning portion (29) which is disposed on the second microscope and is movable between at least a second observation position and a second non-observation position and which positions and holds the sample stage. A second positioning device (9) for delivering the sample table between the second positioning unit and the sample table positioning holding unit of the transport device when the unit is positioned at the second non-observation position;
When the second positioning unit is positioned at the second observation position and the second non-observation position, respectively, an image of the sample stage positioned at the second positioning unit is acquired, and the first of the sample stage is acquired. A second image acquisition unit (42) for acquiring an image of the second region extraction window (38) corresponding to the region extraction window;
Based on the image acquired by the second image acquisition unit when the second positioning unit is positioned at the second non-observation position, the second sample table coordinates (the second sample table coordinate of the sample table positioned by the second positioning unit) 32) a second coordinate acquisition unit (22) for acquiring the coordinate position;
When the second positioning unit is positioned at the second non-observation position, the image of the second region extraction window acquired by the second image acquisition unit and the second of the sample stage acquired by the second coordinate acquisition unit. Based on the coordinate position of the two sample table coordinates, the coordinate position of the second region extraction window in the second sample table coordinate is acquired, and the first sample table coordinate acquired by the first coordinate acquisition unit A difference between the coordinate position and the coordinate position of the second sample table coordinate acquired by the second coordinate acquisition unit is acquired, and the coordinate position of the second sample table coordinate is corrected based on the acquired difference. A second extraction window coordinate acquisition unit (24) for acquiring a corrected coordinate position of the second region extraction window corresponding to the first region extraction window,
The second positioning device moves the second positioning unit from the second non-observation position based on the corrected coordinate position of the second region extraction window acquired by the second extraction window coordinate acquisition unit. Moving the second region extraction window to the second observation position at a position corresponding to the coordinate position of the first region extraction window;
The first microscope and the second microscope are correlation microscopes in which any one of the microscopes is an optical microscope and the other microscope is an electron microscope.
　前記第１位置決め部が前記第１観察位置に位置したときに前記第１画像取得部で取得された前記第１領域抽出窓の画像から抽出された前記観察対象組織（３５）の複数個の特徴部（４４）に基づき、前記第１位置決め部が前記第１観察位置に位置したときに前記第１画像取得部で取得された前記第１領域抽出窓の前記画像と前記第２位置決め部が前記第２観察位置に位置したときに前記第２画像取得部で取得された前記第２領域抽出窓の画像とのパターンマッチングを行う画像処理部（４６）と、
　前記画像処理部での前記パターンマッチングの結果と、前記第１座標取得部で取得した前記第１試料台座標の座標位置と、前記第２抽出窓座標取得部で取得した第２領域抽出窓の前記補正後の座標位置とを基に、前記第１領域抽出窓の画像と前記第２領域抽出窓の画像とを重ね合わせる画像合成部（４７）とをさらに備える、
請求項１に記載の相関顕微鏡。 A plurality of features of the observation target tissue (35) extracted from the image of the first region extraction window acquired by the first image acquisition unit when the first positioning unit is located at the first observation position. Based on the part (44), the image of the first region extraction window acquired by the first image acquisition unit when the first positioning unit is positioned at the first observation position and the second positioning unit are An image processing unit (46) that performs pattern matching with the image of the second region extraction window acquired by the second image acquisition unit when positioned at the second observation position;
The result of the pattern matching in the image processing unit, the coordinate position of the first sample stage coordinate acquired by the first coordinate acquisition unit, and the second region extraction window acquired by the second extraction window coordinate acquisition unit An image composition unit (47) that superimposes the image of the first region extraction window and the image of the second region extraction window based on the corrected coordinate position;
The correlation microscope according to claim 1.
　前記試料の前記観察対象組織（３５）を含む前記第１領域抽出窓（３７）を設定する抽出窓設定部（７０）を有する、
　請求項１又は２に記載の相関顕微鏡。 An extraction window setting unit (70) for setting the first region extraction window (37) including the observation target tissue (35) of the sample;
The correlation microscope according to claim 1 or 2.
　前記試料台は、前記試料として生体組織を載置する試料載置領域（６ａ）と、前記試料載置領域以外の領域に配置された２つの基準点（６ｂ，６ｃ）とを有し、
　前記第１座標取得部は、前記第１位置決め部が前記第１非観察位置に位置するときの前記試料台の前記第１試料台座標の前記座標位置として、前記第１位置決め装置の装置座標原点に対する前記試料台の前記２つの基準点のそれぞれの座標位置を取得し、
　前記第２座標取得部は、前記第２位置決め部が前記第２非観察位置に位置するときの前記試料台の前記第２試料台座標の前記座標位置として、前記第２位置決め装置の装置座標原点に対する前記試料台の前記２つの基準点のそれぞれの座標位置を取得するとともに、前記第１座標取得部で取得した前記２つの基準点のそれぞれの座標位置を結ぶ線と、前記第２座標取得部で取得した前記２つの基準点のそれぞれの座標位置を結ぶ線とでなす角度も、前記第１試料台座標に対する前記第２試料台座標の回転角度として取得して、
　前記第１座標取得部で取得した前記第１試料台座標の前記座標位置と第２座標取得部で取得した前記第２試料台座標の前記座標位置との前記差として、前記第１座標取得部で取得した前記２つの基準点のそれぞれの座標位置と前記第２座標取得部で取得した前記２つの基準点のそれぞれの座標位置との差と、前記回転角度とを基に、前記第２試料台座標の前記座標位置を補正して、前記第１領域抽出窓に対応する前記第２領域抽出窓の補正後の座標位置を取得する、
　請求項１～３のいずれか１つに記載の相関顕微鏡。 The sample stage has a sample placement region (6a) for placing a biological tissue as the sample, and two reference points (6b, 6c) arranged in a region other than the sample placement region,
The first coordinate acquisition unit is a device coordinate origin of the first positioning device as the coordinate position of the first sample table coordinate of the sample table when the first positioning unit is located at the first non-observation position. Obtaining the coordinate positions of the two reference points of the sample stage with respect to
The second coordinate acquisition unit is a device coordinate origin of the second positioning device as the coordinate position of the second sample table coordinate of the sample table when the second positioning unit is located at the second non-observation position. The coordinate positions of the two reference points of the sample stage with respect to the line, the line connecting the coordinate positions of the two reference points acquired by the first coordinate acquisition unit, and the second coordinate acquisition unit The angle formed by the line connecting the coordinate positions of the two reference points acquired in step 2 is also acquired as the rotation angle of the second sample table coordinate with respect to the first sample table coordinate,
As the difference between the coordinate position of the first sample table coordinate acquired by the first coordinate acquisition unit and the coordinate position of the second sample table coordinate acquired by the second coordinate acquisition unit, the first coordinate acquisition unit Based on the difference between the coordinate position of each of the two reference points acquired in step 2 and the coordinate position of each of the two reference points acquired by the second coordinate acquisition unit, and the rotation angle, the second sample is used. Correcting the coordinate position of the base coordinates to obtain a corrected coordinate position of the second region extraction window corresponding to the first region extraction window;
The correlation microscope according to any one of claims 1 to 3.
　前記第１位置決め装置及び前記第２位置決め装置は、それぞれ、ＸＹＺステージであり、
　各ＸＹＺステージは、Ｘ軸ステージ（８ｘ，９ｘ）とＹ軸ステージ（８ｙ，９ｙ）とＺ軸ステージ（８ｚ，９ｚ）との各軸にｎｍ精度で位置検出可能なリニアスケール（８ｂ，９ｂ）が配置されているとともに、
　前記第２位置決め部を前記第２観察位置に位置させるとき、前記第２位置決め装置は、前記第２抽出窓座標取得部で取得した前記第２領域抽出窓の前記補正後の座標位置に前記第２領域抽出窓が位置するように位置制御する、
　請求項１～４のいずれか１つに記載の相関顕微鏡。 Each of the first positioning device and the second positioning device is an XYZ stage,
Each XYZ stage is a linear scale (8b, 9b) capable of detecting the position with nm accuracy on each axis of the X axis stage (8x, 9x), the Y axis stage (8y, 9y), and the Z axis stage (8z, 9z). Is placed,
When the second positioning unit is positioned at the second observation position, the second positioning device is positioned at the corrected coordinate position of the second region extraction window acquired by the second extraction window coordinate acquisition unit. Control the position so that the two-region extraction window is located.
The correlation microscope according to any one of claims 1 to 4.
　前記試料台は、
　　前記試料載置領域に凹部（６Ｂａ）を有する試料台枠体（６Ｂ）と、
　　前記試料台枠体の前記凹部に着脱可能に挿入され、前記試料載置領域を上面に有する試料載置台（６Ｃ）とで構成される、
　請求項４に記載の相関顕微鏡。 The sample stage is
A sample frame (6B) having a recess (6Ba) in the sample mounting area;
A sample mounting table (6C) that is detachably inserted into the recess of the sample table frame and has the sample mounting region on the upper surface;
The correlation microscope according to claim 4.