WO2017050417A1

WO2017050417A1 - Elektronische baugruppe sowie verfahren zur herstellung derselben

Info

Publication number: WO2017050417A1
Application number: PCT/EP2016/001496
Authority: WO
Inventors: Eike Kottkamp; Daniel Baasner
Original assignee: Erwin Quarder Systemtechnik Gmbh
Priority date: 2015-09-21
Filing date: 2016-09-05
Publication date: 2017-03-30
Also published as: DE102015012018A1

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer insbesondere formstabilen elektronischen Baugruppe (11') mit Leiterbahnen (12) und mit mindestens einem Messaufnehmer (14) mit folgenden Schritten: a) Aufbringen von elektrisch leitfähigen Leiterbahnen (12) sowie von einem, mit mindestens einer der Leiterbahnen (12) verbundenen Messaufnehmer (14) auf ein bevorzugt plastisch verformbares, flächiges, nicht umgeformtes Folienstück (10) durch Aufdrucken oder mittels Dünnschichttechniken, wie etwa Sputtern oder Ätzen, b) Umformen eines Bereichs des flächigen Folienstücks (10), insbesondere durch Tiefziehen, nämlich eines Bereichs, in dem der Messaufnehmer (14) sitzt, insbesondere derart, dass dieser Folienstückbereich nach dem Umformen zusammen mit dem Messaufnehmer (14) winklig oder mit Abstand parallel zu der nicht umgeformten Folienstückebene angeordnet ist.

Description

Elektronische Baugruppe sowie Verfahren zur Herstellung derselben Beschreibung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine vorzugsweise formstabile elektronische Baugruppe mit Leiterbahnen und mindestens einem Messaufnehmer zur Messung von physikalischen, chemischen oder biologischen Eigenschaften sowie ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Baugruppe.

Es sind verschiedene Arten von elektronischen Baugruppen mit Leiterbahnen und mindestens einem Messaufnehmer bekannt. In der Regel werden zur Herstellung derselben starre Leiterbahnplatten (Platinen) mit Leiterbahnen versehen und anschließend separat mit als Messaufnehmer ausgebildeten, elektronischen Bauelementen bestückt. Die Produktion solcher Baugruppen ist vergleichsweise kostenintensiv. In Abgrenzung dazu sind auch elektronische Baugruppen bekannt, bei denen in der Regel elastisch-flexible Leiterbahnfolien verwendet und mit separaten elektronischen Bauelementen bestückt werden. Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine bevorzugt formstabile elektronische Baugruppe mit Leiterbahnen und mindestens einem Messaufnehmer anzugeben, die möglichst einfach und kostengünstig zu fertigen ist. Weiter ist es Aufgabe der Erfindung, ein entsprechendes Fertigungsverfahren für solche Baugruppen anzugeben.

Diese Aufgaben werden gelöst durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 9.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer bevorzugt formstabilen elektronischen Baugruppe mit Leiterbahnen und mindestens einem Messaufnehmer zeichnet sich dabei durch folgende Schritte aus:

BESTÄTIGUNGSKOPIE a) Zunächst werden sowohl die elektrisch leitfähigen Leiterbahnen als auch mindestens ein Messaufnehmer, der mit wenigstens einer der Leiterbahnen elektrisch leitend verbunden ist (vorzugsweise mit wenigstens zwei der Leiterbahnen), auf ein vorzugsweise plastisch verformbares, flächiges, nicht umgeformtes Folienstück aufgebracht. Das Folienstück kann dabei auch Bestandteil eines (größeren) Folienabschnitts oder einer Folienbahn sein. Das Aufbringen der Leiterbahnen auf das Folienstück erfolgt vorzugsweise durch Aufdrucken, kann aber auch mittels geeigneter bekannter Dünnschichttechniken erfolgen, wie etwa Sputtern, Ätzen oder dergleichen. b) Nach dem Aufbringen der Leiterbahnen und des mindestens einen Messaufnehmers wird dann mindestens ein Bereich des flächigen Folienstücks vorzugsweise plastisch umgeformt, insbesondere tiefgezogen. Nämlich mindestens der Bereich, in dem der mindestens eine Messaufnehmer sitzt. Das Umformen kann dabei derart erfolgen, dass dieser Folienstückbereich zusammen mit dem Messaufnehmer nach dem Umformen winklig oder mit Abstand parallel zu der nicht umgeformten Folienstückebene angeordnet ist.

Die bevorzugte Verwendung von plastisch verformbaren Folienstücken, etwa aus PC, PET, PEI, PI, PS, erlaubt dabei die fertigungstechnisch relativ kostengünstige Gestaltung von dreidimensionalen, in diesem Fall formstabilen elektronischen Baugruppen mit Messaufnehmer durch entsprechendes Umformen derselben in die gewünschte Form. Das erforderliche plastisch verformbare Folienstück ist dann in Abgrenzung etwa zu elastischen Folienstücken entsprechend derart ausgebildet, dass es nach dem Umformvorgang seine hierbei herbeigeführte Endform beibehält.

Der Messaufnehmer bzw. Messfühler (Messgrößenaufnehmer) ist in bekannter Weise definiert ist als ein Bauelement, das (physikalische, biologische oder chemische) Eigenschaften, insbesondere seiner Umgebung, wie etwa eine Impedanz, eine Leitfähigkeit, eine Temperatur etc. als Messgröße erfassen kann.

Der Messaufnehmer kann im einfachsten Fall beispielsweise aus Leiterbahnen bzw. Leiterbahnabschnitten bestehen (oder diese aufweisen), die für die Messung von Eigenschaften, wie etwa Impedanzen ausgebildet sein können. Diese Leiterbahnabschnitte können beispielsweise als Meanderstruktur ausgebildet sein.

Der Messaufnehmer kann auch aus ein oder mehreren Elektroden, insbesondere einem Elektrodenpaar, bestehen (oder diese aufweisen). Sämtliche Messaufnehmerarten, die durch Aufdrucken oder mittels Dünnschichttechniken aufgebracht werden können, sind denkbar.

Indem der Messaufnehmer erfindungsgemäß zusammen mit den Leiterbahnen auf das flächige Ausgangsfolienstück vorzugsweise aufgedruckt wird, entfällt ein fertigungstechnisch aufwendiges, separates Bestücken einer in einem ersten Herstellungsprozess geschaffenen Leiterbahnstruktur mit einem separaten Messaufnehmerbauteil, wie dies im Stand der Technik notwendig ist und in der Regel durch maschinelle Bestückungseinrichtungen erfolgt.

Die erfindungsgemäße elektronische Baugruppe kann eine entsprechende Messtechnik bzw. Messelektronik aufweisen, die die von dem Messaufnehmer übermittelten Messgrößen verarbeitet und ggf. auswertet. Die Baugruppe kann aber auch eine externe Messelektronik angeschlossen werden, die dies ermöglicht.

Zweckmäßiger Weise ist allgemein vorgesehen, dass der Folienstückbereich, in dem das aufgebrachte Messaufnehmer sitzt, so umgeformt wird, dass er einen versetzt zu der nicht umgeformten Folienstückebene angeordneten Raum begrenzt - Messaufnehmerraum -, in dem dann der Messaufnehmer sitzt.

Indem letztlich jeweils im Umformprozess mindestens eine Ausformung in dem vorgenannten, zunächst flächig-ebenen Folienstückbereich geschaffen wird, bevorzugt mehrere Ausformungen, kann in einfacher und kostengünstiger Weise eine elektronische Baugruppe geschaffen werden, bei der der Messaufnehmerraum als Proben- bzw. Analyseraum bzw. als Probekammer ausgebildet ist. Dieser kann dann der Aufnahme von zu analysierenden Proben dienen, wie etwa Flüssigkeiten, festen Stoffen etc.. Der jeweilige Messaufnehmer erfasst bzw. misst mindestens eine Eigenschaft der jeweiligen Probe. Auf diese Weise kann aus einem Folienstück auch kostengünstig eine Multiwell-Platte mit einer Vielzahl von Probekammern hergestellt werden mit jeweils in den einzelnen Probekammern angeordnetem (mindestens einem) Messaufnehmer. In weiterer Konkretisierung der Erfindung wird bevorzugt der Folienstückbereich, in dem der aufgedruckte Messaufnehmer sitzt, so umgeformt, dass der Messaufnehmer an einer aus dem Folienstück gebildeten, winklig zu der nicht umgeformten Folienstückebene verlaufenden Seitenwandung des Messaufnehmerraums sitzt, und zwar an einer dem Messaufnehmerraum zugewandten Seite dieser Seitenwandung.

Alternativ könnte das Folienstück in dem vorgenannten Bereich auch so umgeformt werden, dass der Messaufnehmer an einer - insofern vorgesehen - parallel mit Abstand zu der nicht umgeformten Folienstückebene verlaufenden Bodenwandung des Messaufnehmerraums sitzt.

Es wird nochmals betont, dass insbesondere ein Aufdrucken der Leiterbahnen und des Messaufnehmers besondere Vorteile bietet. In so einem Fall werden die Leiterbahnen sowie der Messaufnehmer bevorzugt unter Verwendung von einem oder mehreren, mit elektrisch leitfähigen Bestandteilen angereicherten, druckfähigen Materialien auf die Folie aufgedruckt. Ein druckfähiges Material kann insbesondere ein Polymermatrixmaterial sein, das entsprechend mit leitfähigen Partikeln angereichert ist. Es können Inkjet-Druckverfahren verwendet werden, aber auch Massendruckverfahren, wie Tief-, Offset- und Flexodruck- Verfahren.

Wichtig ist in diesem Zusammenhang mindestens für das Aufbringen der Leiterbahn(en), die an dem Messaufnehmer endet, ggf. aber auch für den Messaufnehmer, jeweils ein ausreichend flexibles Material zu verwenden, wie etwa PC, PET, PEI, PI, PS, das entsprechend während des oben beschriebenen Umformvorgangs, wie etwa einem Tiefziehvorgang, nicht brechen oder Risse ausbilden würde, die dann die elektrische Leitfähigkeit der Leiterbahn bzw. des Messaufnehmers beeinträchtigen. In weiterer Ausbildung der Erfindung ist vorgesehen, die Leiterbahnen sowie ggf. zusätzlich den Messaufnehmer nach dem Aufbringen auf das Folienstück auf ihrer von dem Folienstück jeweils abgewandten Seite mit einer Schutzschicht zu versehen, insbesondere mit einer diese abgewandte Seite sowie ggf. auch weitere Seiten überdeckenden Folienschicht oder einer diese überdeckenden Beschichtung aus Kunststoff.

Unabhängig davon, ob eine solche Schutzschicht aufgebracht wird, kann vorgesehen werden, das Folienstück nach dem Umformvorgang auf seiner von den Leiterbahnen und dem Messaufnehmer abgewandten Seite in einem Spritzgussvorgang mit Kunststoff zu hinterspritzen oder das Folienstück auf dieser Seite auf ein vorgefertigtes Spritzgussteil aufzukleben oder aufzulaminieren, um die Stabilität der erfindungsgemäßen formstabilen Baugruppe weiter zu verbessern.

Eine insbesondere durch das obige Verfahren hergestellte, bevorzugt formstabile elektronische Baugruppe verfügt erfindungsgemäß entsprechend über Leiterbahnen und mindestens einen Messaufnehmer, die - wie oben bereits ausgeführt - jeweils durch Aufdrucken oder Dünnschichttechniken, wie Sputtern oder Ätzen, auf die Folie aufgebracht worden sind, wobei der Messaufnehmer in einem durch einen Umformvorgang umgeformten Folienstückbereich angeordnet ist. Bevorzugt ist dieser winklig oder mit Abstand parallel zu einer nicht umgeformten Folienstückebene des Folienstücks der Baugruppe angeordnet. Vorzugsweise weist das plastisch verformte Folienstück mindestens in dem Bereich der Leiterbahnen und des Messaufnehmers eine Schutzschicht zum Schutz der Leiterbahnen/des Messaufnehmers auf, insbesondere eine diese überdeckende Folienschicht oder eine Beschichtung aus Kunststoff. Weiter ist bevorzugt die von der Leiterbahn und dem Messaufnehmer abgewandte Seite des Folienstücks mit einem Spritzgussteil aus Kunststoff fest verbunden. Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den beigefügten Patentansprüchen, aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung sowie aus den beigefügten Zeichnungen. Darin zeigt:

Fig. 1 ein nicht umgeformtes, flächig-ebenes Folienstück mit aufgebrachten

Leiterbahnen und Messaufnehmern im Querschnitt,

Fig. 2 das Folienstück aus Fig. 1 nach einem Umformvorgang,

Fig. 3 das Folienstück aus Fig. 2 nach einem Hinterspritzen mit Kunststoff,

Fig. 4 eine Darstellung eines Folienstücks entsprechend Fig. 1 , allerdings mit zusätzlich aufgebrachter Schutzschicht,

Fig. 5 das Folienstück aus Fig. 4 nach einem Umformvorgang,

Fig. 6 ein Folienstück ähnlich der Fig. 4, allerdings mit einer Unterbrechung der Schutzschicht im Bereich der Messaufnehmer,

Fig. 7 das Folienstück aus Fig. 6 nach einem Umformvorgang.

In den Zeichnungen sind verschiedene Ausführungsformen von erfindungsgemäßen, im vorliegenden Fall formstabilen elektronischen Baugruppen 11 , 1 1', 1 1" und 1 1 "' gezeigt.

Eine solche Baugruppe 1 1-11"' verfügt über ein Folienstück bzw. eine Folie 10, auf die zunächst in einem flächigen, das heißt in einem noch nicht umgeformten Ausgangszustand, vgl. beispielsweise Fig. 1 , elektrisch leitfähige Leiterbahnen 12 aufgebracht werden. Auf ein solches Folienstück 10 werden die Leiterbahnen 12 vorzugsweise mittels bekannten Druckverfahren für elektronische Schaltungen auf eine der Folienstückseiten aufgedruckt. Die Leiterbahnstruktur kann dabei beliebige Form annehmen und wird letztlich bestimmt durch die gewünschten elektronischen Eigenschaften der späteren elektronischen Baugruppe 1 1-1 1 "'.

Eine wichtige Besonderheit der Erfindung besteht darin, dass in dem unter anderem in Fig. 1 gezeigten, im Wesentlichen zweidimensionalen bzw. flächigen Zustand des Folienstücks 10 nicht nur die Leiterbahnen 12 durch Aufdrucken oder alternativ durch (andere) Dünnschichttechniken aufgebracht werden, sondern auch Messaufnehmer 14. Bei den Messaufnehmern 14 kann es sich beispielsweise um Elektroden handeln, die so auf dem Folienstück 10 platziert werden, dass sie in elektrisch leitendem Kontakt mit mindestens einer Leiterbahn 12 stehen. In der Regel sind sie an eine oder mindestens zwei Leiterbahnen 12 angeschlossen. Es kann sich alternativ aber auch um beispielsweise meanderförmig verlaufende Abschnitte von Leiterbahnen 12 handeln, die ausgebildet sind, um beispielsweise Impedanzen zu messen.

Falls die fertige elektronische formstabile Baugruppe 11-11"' Eigenschaften einer vollständigen Schaltung aufweisen soll, ist auch vorstellbar, mittels der Druckoder Dünnschichttechniken zusätzlich für solche Schaltungen benötigte elektronische (Halbleiter-)Bauelemente, wie etwa Widerstände, Transistoren, Kondensatoren oder dergleichen, auf das Folienstück 12 aufzudrucken oder mittels der Dünnschichttechniken aufzubringen.

Sowohl hierfür geeignete Druckmaterialien als auch entsprechende Druckeinrichtungen, die dies ermöglichen, sind im Stand der Technik bekannt. Das Aufdrucken könnte unter anderem durch Inkjet-Drucker mittels an sich bekannter kunststoffbasierter "Tinten" erfolgen, die mit elektrisch leitfähigen Partikeln angereichert sind.

Insbesondere ist denkbar, solche Strukturen elektronischer Schaltungen mittels 3D-Druckern aufzubringen. In Fig. 2 ist eine weitere Besonderheit der Erfindung exemplarisch gezeigt. Nach dem Aufbringen der Leiterbahnen 12 und der Messaufnehmer 14 wird das Folienstück 10 im Bereich der Messaufnehmer 14 umgeformt, hier tiefgezogen. Hierzu ist in Fig. 2 ein Tiefziehstempel 16 zeichnerisch angedeutet, der bestimmte Teilabschnitte dieses Bereichs nach unten umformt.

Konkret werden Abschnitte 10a des Folienstücks 10, auf denen sich die Messaufnehmer 14 befinden, jeweils zusammen mit dem jeweiligen Messaufnehmer 14 im Rahmen des Umformvorgangs relativ zu der vorherigen Folienstückebene bzw. zu jeweils während des Prozesses nicht umgeformten Folienstückabschnitten 10b (nach unten oder alternativ nach oben) gebogen, und zwar unter Ausbildung eines im vorliegenden Ausführungsbeispiel trichterförmigen Messaufnehmerraums 18. Dieser Messaufnehmerraums 18 ist im vorliegenden Fall nach unten hin offen, da das Folienstück 10 zwischen den beiden Messaufnehmern 14 eine Öffnung 19 aufweist. Diese Öffnung 19 ist aber nicht zwingend notwendig.

Wie zu erkennen ist, befinden sich die Messaufnehmern 14 nach dem Umformvorgang innerhalb des Messaufnehmerraums 18. Die Folienstückabschnitte 10a bilden jeweils winklig zur nicht umgeformten Folienstückebene verlaufende Seitenwandungen des Messaufnehmerraums 18.

Die Verwendung plastisch verformbaren Folienmaterials sowie die Verwendung von ausreichend flexiblem Leiterbahnmaterial sorgt dafür, dass die jeweils an dem jeweiligen Messaufnehmer 14 endende Leiterbahn 12, die im Bereich des Übergangs zwischen dem Folienstück 10a und 10b während des Umformvorgangs (im vorliegenden Fall nach unten, alternativ nach oben) gebogen wird, auch nach der plastischen Verformung weiterhin funktionsfähig ist, da keine Risse oder Brüche in der jeweiligen Leiterbahn 14 auftreten. Zudem ist die elektronische Baugruppe 1 insofern formstabil, als dass sie nach dem Umformen in ihrer Endform verbleibt.

In der Fig. 3 ist eine Baugruppe 11' gezeigt, die aus der Baugruppe 11 der Fig. 2 entstanden ist. Diese wurde nach dem Umformen des Folienstücks 10 bzw. der jeweiligen Folienstückabschnitte 10a mit einer Kunststoffschicht 20 hinterspritzt. Die Kunststoffschicht 20 bildet dann gleichzeitig die Bodenwandung des Messaufnehmerraums 18. Der Messaufnehmerraums 18 kann dann beispielsweise von oben mit Analyseflüssigkeiten gefüllt werden, die dann mittels der Messaufnehmer 14 untersucht werden können. Wie zu erkennen ist, erfolgt das Hinterspritzen mit der Kunststoffmasse 20 auf der Seite des Folienstücks 10, die den Leiterbahnen 12 bzw. den Messaufnehmern 14 abgewandt ist. Alternativ könnte ein ähnliches Kunststoffteil 20 auch separat gefertigt werden und das Folienstück aus Fig. 2 auf das separate Kunststoff teil auflaminiert oder aufgeklebt werden. In Fig. 4, 5 ist eine weitere Baugruppe 11" gezeigt, bei der die Leiterbahnen 12 und der Messaufnehmer 14 nach oben hin, das heißt auf der dem Folienstück 10 abgewandten Seite vollständig mit einer Schutzschicht 22 überdeckt sind. Die Leiterbahnen 12 und der Messaufnehmer 14 sind dabei in die Schutzschicht 22 eingebettet. Bevorzugt wird die Schutzschicht 22 zwischen dem Aufbringen der Leiterbahnen 12 und der Messaufnehmer 14 und dem späteren Umformen der Folienstückabschnitte 10a aufgebracht.

In den Fig. 6 und 7 ist eine weitere Baugruppe 11'" gezeigt, bei der die Messaufnehmer 14 im Gegensatz zu der Baugruppe 11" mindestens bereichsweise nicht von der Schutzschicht 22 überdeckt sind. Dies, um eine direkte Kontaktierung der Messaufnehmer 14 durch beispielsweise eine Analyseflüssigkeit oder dergleichen zu ermöglichen.

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Bezugszeichenliste

10 Folie

10a Folienstückabschnitt

10b Folienstückabschnitt

11-

1 1'" Baugruppe

12 Leiterbahnen

14 Messaufnehmer

16 Tiefziehstempel

18 Messaufnehmerraum

19 Öffnung

20 Kunststoffschicht

22 Schutzschicht

Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zur Herstellung einer vorzugsweise formstabilen elektronischen Baugruppe (11-11"') mit Leiterbahnen (12) und mit mindestens einem Messaufnehmer (14) zur Messung von physikalischen, chemischen oder biologischen Eigenschaften, mit folgenden Schritten:

a) Aufbringen von elektrisch leitfähigen Leiterbahnen (12) sowie von einem, mit mindestens einer der Leiterbahnen (12) verbundenen Messaufnehmer (14) auf ein bevorzugt plastisch verformbares, flächiges, nicht umgeformtes Folienstück (10) durch Aufdrucken oder mittels Dünnschichttechniken, wie etwa Sputtern oder Ätzen,

b) Umformen eines Bereichs des flächigen Folienstücks (10), insbesondere durch Tiefziehen, nämlich eines Bereichs, in dem der Messaufnehmer (14) sitzt, insbesondere derart, dass dieser Folienstückbereich nach dem Umformen zusammen mit dem Messaufnehmer (14) winklig oder mit Abstand parallel zu der nicht umgeformten Folienstückebene angeordnet ist.

2. Verfahren gemäß Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Folienstückbereich, in dem der aufgebrachte Messaufnehmer (14) sitzt, so umgeformt wird, dass er einen versetzt zu der nicht umgeformten Folienstückebene angeordneten Raum (18) begrenzt - Messaufnehmerraum -, in dem der Messaufnehmer (14) sitzt.

3. Verfahren gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Folienstückbereich, in dem der aufgebrachte Messaufnehmer (14) sitzt, so umgeformt wird, dass der Messaufnehmer (14) an einer aus dem Folienstück (10) gebildeten Seitenwandung (10a) des Messaufnehmerraums (18) sitzt, die winklig zu der nicht umgeformten Folienstückebene verläuft, und zwar an einer dem Messaufnehmerraum (18) zugewandten Seite der Seitenwandung (10a).

4. Verfahren gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnen (12) sowie der Messaufnehmer (18) unter Verwendung von einem oder mehreren, mit elektrisch leitfähigen Bestandteilen angereicherten, druckfähigen Materialen, insbesondere Kunststoff materialen, auf das Folienstück (10) aufgedruckt werden.

5. Verfahren gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf das Folienstück (10) zwischen dem Aufbringen der Leiterbahnen (12) sowie des Messaufnehmers (14) und dem nachfolgenden Umformvorgang mindestens in dem Bereich der Leiterbahnen (12) und gegebenenfalls auch des Messaufnehmers (14) eine Schutzschicht (22) zum Schutz der Leiterbahnen (12)/des Messaufnehmers (14) aufgebracht wird, insbesondere eine diese überdeckende Folienschicht oder eine Beschichtung aus Kunststoff.

6. Verfahren gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Folienstück (10) nach dem Umformvorgang auf der von der Leiterbahn (12) und dem Messaufnehmer (14) abgewandten Seite in einem Spritzgussvorgang mit Kunststoff hinterspritzt wird, oder dass das Folienstück (10) auf dieser Seite nach dem Umformvorgang auf ein vorgefertigtes Spritzgutssteil aufgeklebt oder auflaminiert wird.

7. Verfahren gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Messaufnehmer durch einen oder mehrere, insbesondere meanderförmig verlaufende, bevorzugt aufgedruckte Leiterbahnabschnitte gebildet ist.

8. Verfahren gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Messaufnehmer ein oder mehrere, insbesondere aufgedruckte Elektroden umfasst.

9. Elektronische, bevorzugt formstabile Baugruppe (1 1-11"') mit mindestens einem Messaufnehmer (14) zur Messung von physikalischen, chemischen oder biologischen Eigenschaften, insbesondere hergestellt nach dem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, dass die Baugruppe ein vorzugsweise plastisch verformtes Folienstück (10) aufweist mit Leiterbahnen (12) und mindestens einem Messaufnehmer (14), die jeweils durch Aufdrucken oder Dünnschichttechniken, wie Sputtern oder Ätzen, auf die Folie aufgebracht worden sind, wobei der Messaufnehmer (14) in einem durch einen Umformvorgang umgeformten Folienstückbereich angeordnet ist, bevorzugt in einem Folienstückbereich, der winklig oder mit Abstand parallel zu einer nicht umgeformten Folienstückebene des Folienstücks (10) der Baugruppe (11-11'") angeordnet ist.

10. Baugruppe (1 1-11"') gemäß Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das bevorzugt plastisch verformte Folienstück (10) mindestens in dem Bereich der Leiterbahnen (12) und des Messaufnehmers (14) eine Schutzschicht (22) zum Schutz der Leiterbahnen (12)/des Messaufnehmers (14) aufweist, insbesondere eine diese überdeckende Folienschicht oder eine Beschichtung aus Kunststoff.

11. Baugruppe (1 1-11 "') gemäß Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die von der Leiterbahn (12) und dem Messaufnehmer (14) abgewandte Seite des Folienstücks (10) mit einem Spritzgussteil aus Kunststoff fest verbunden ist.

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