WO2017025554A1

WO2017025554A1 - Method and device for the deposition of thin layers

Info

Publication number: WO2017025554A1
Application number: PCT/EP2016/069020
Authority: WO
Inventors: Winfried Wolke; Jochen Rentsch
Original assignee: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Priority date: 2015-08-13
Filing date: 2016-08-10
Publication date: 2017-02-16
Also published as: DE102015215434A1

Abstract

The invention relates to a method for depositing thin layers (10), which contain or consist of TCO, onto at least one substrate (1), wherein at least one starting material (40) arranged in a container (4) is evaporated in a vacuum chamber (20), the components of the layer (10) being in a stoichiometric ratio and the particles (45) rising from the container (4) prior to depositing on the substrate (1) penetrate a plasma zone (35).

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung dünner Schichten Method and device for depositing thin layers

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten, welche TCO enthalten oder daraus bestehen, auf zumindest einem Substrat, wobei zumindest ein sich in einem Gefäß befindliches Ausgangsmaterial in einer Vakuumkammer verdampft und auf dem Substrat niedergeschlagen wird. Solche Verfahren können beispielsweise zur Beschichtung von photo- voltaischen Zellen oder OLED-Displays verwendet werden. The invention relates to a method for depositing thin layers, which contain or consist of TCO, on at least one substrate, wherein at least one starting material present in a vessel is vaporized in a vacuum chamber and deposited on the substrate. Such methods can be used, for example, for coating photovoltaic cells or OLED displays.

Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Furthermore, the invention relates to a device for

Durchführung des Verfahrens . Implementation of the procedure.

Aus K. Ellmer und T. Welzel: Reactive magnetron sputtering of transparent conductive oxide thin film: rule of energetic particle bombardment, J. Mater. Res., Vol. 27, No. 5, 14. Mai 2012 ist bekannt, dünne Schichten, welche TCO enthalten oder daraus bestehen, durch CVD-Verfahren aus einem Plasma abzuscheiden. Diese Verfahren haben jedoch den Nachteil, dass bei der Abscheidung der Schicht Röntgenstrahlung und/oder hochenergetische Ionen auf das Substrat treffen, welche das Substrat oder die aufwachsende Schicht schädigen. Dies kann nachteilige Auswirkungen auf die optischen From K. Ellmer and T. Welzel: Reactive magnetron sputtering of transparent conductive oxide thin film: Rule of energetic particle bombardment, J. Mater. Res., Vol. 27, no. 5, May 14, 2012 is known to deposit thin films containing or consisting of TCO by CVD method from a plasma. However, these methods have the disadvantage that in the deposition of the layer X-ray radiation and / or high-energy ions strike the substrate, which damage the substrate or the growing layer. This can adversely affect the optical

und/oder elektronischen Eigenschaften der Schicht haben. and / or have electronic properties of the layer.

Ausgehend vom Stand der Technik liegt der Erfindung somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten anzugeben, welche TCO enthalten oder daraus bestehen und welches eine verbesserte Schichtqualität bereitstellen kann. Starting from the prior art, the object of the invention is thus to specify a method for depositing thin layers which contain or consist of TCO and which can provide improved layer quality.

Die Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst . Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, eine Schicht aus TCO mittels Ionenplattieren abzuscheiden. Hierzu wird das Ausgangsmaterial bzw. der Precursor zur Abscheidung der Schicht als Feststoff in eine Vakuumkammer eingebracht. Der Precursor kann sich in einem Gefäß befinden, welches zumindest einseitig offen ausgeführt ist und welches aus einem The object is achieved by a method according to claim 1. According to the invention, it is proposed to deposit a layer of TCO by means of ion plating. For this purpose, the starting material or the precursor for depositing the layer is introduced as a solid in a vacuum chamber. The precursor may be located in a vessel which is designed to be open at least on one side and which consists of a

wärmebeständigen Material besteht, beispielsweise einer Keramik. Das Gefäß kann in an sich bekannter Weise beheizt werden, beispielsweise durch Widerstandsheizung, durch heat-resistant material, such as a ceramic. The vessel can be heated in a conventional manner, for example by resistance heating, by

Elektronenstoßheizung, durch eine Induktionsheizung und/oder durch Einwirken einer Infrarotstrahlungsquelle. Die Zufuhr thermischer Energie führt zum Verdampfen des Precursors . Electron impact heating, by induction heating and / or by the action of an infrared radiation source. The supply of thermal energy leads to evaporation of the precursor.

Auf der Sichtlinie der Öffnung des Gefäßes ist das für die Abscheidung vorgesehene Substrat angeordnet, sodass der aus dem Gefäß aufsteigende Dampf auf dem Substrat niedergeschlagen wird. Dies führt zum Kondensieren des gasförmigen Precursors, wobei sich die gewünschte dünne Schicht bildet. On the line of sight of the opening of the vessel, the substrate provided for the deposition is arranged, so that the vapor rising from the vessel is deposited on the substrate. This leads to condensation of the gaseous precursor, forming the desired thin layer.

Zwischen dem Gefäß und dem Substrat befindet sich eine Between the vessel and the substrate is a

Plasmazone, welche ein Inertgas enthält oder daraus besteht. Beim Durchdringen dieser Plasmazone werden die vom Gefäß aufsteigenden Partikel teilweise ionisiert, wodurch sich positive und/oder negative Ionen bilden können. Diese elektrisch geladenen Partikel können zumindest teilweise mit höherer Energie auf das Substrat auftreffen, wodurch die aufwachsende Schicht modifiziert wird. Beispielweise können schwach anhaftende Verunreinigungen durch den geladenen Partikelstrom desorbiert werden, sodass die Schicht mit größerer Reinheit aufwächst. Ebenso können Atome bzw. Plasmazone, which contains or consists of an inert gas. When penetrating this plasma zone, the particles rising from the vessel are partially ionized, whereby positive and / or negative ions can form. These electrically charged particles can impinge at least partially with higher energy on the substrate, whereby the growing layer is modified. For example, weakly adhering impurities can be desorbed by the charged particle stream, so that the layer grows up with greater purity. Likewise, atoms or

Moleküle, welche sich auf Gitterfehlstellen befinden, desorbiert werden, sodass die aufwachsende dünne Schicht aufgrund des Teilchenbeschusses eine verbesserte Morphologie oder Kristallstruktur aufweist. Dies kann zu verbesserten optischen und/oder elektronischen Eigenschaften führen. Erfindungsgemäß wird nun vorgeschlagen, die Precursoren, d.h. die Bestandteile der dünnen Schicht, in stöchio- metrischem Verhältnis in das Gefäß einzubringen. Zu Beginn des Verfahrens enthält das Gefäß somit im Wesentlichen das identische Material, welches sich später als dünne Schicht auf dem Substrat wiederfindet. Dies vermeidet die Verwendung von Reaktivgasen, welche sowohl das Substrat als auch die Precursoren im Gefäß kontaminieren können, sodass eine Desolate molecules that are located on lattice defects, so that the growing thin layer due to the particle bombardment has an improved morphology or crystal structure. This can lead to improved optical and / or electronic properties. According to the invention, it is now proposed to introduce the precursors, ie the constituents of the thin layer, into the vessel in a stoichiometric ratio. At the beginning of the process, the vessel thus substantially contains the identical material, which later appears as a thin layer on the substrate. This avoids the use of reactive gases, which can contaminate both the substrate and the precursors in the vessel, so that a

Schicht mit verschlechterten Eigenschaften erzeugt wird oder das Schichtwachstum vollständig zum Erliegen kommt. Layer with degraded properties is generated or the layer growth comes to a complete halt.

Weiterhin werden die aus dem Gefäß verdampften Precursoren im Plasma nur in niedrige Ladungszustände umgeladen. Darüber hinaus ist der Ionisierungsgrad im Plasma geringer als bei bekannten Sputterverfahren oder CVD-Verfahren, sodass weniger geladene Teilchen auf die Oberfläche des Substrats auftreffen. Eine Schädigung des Substrats wird dadurch vermieden. Schließlich weist das erfindungsgemäße Verfahren den Vorteil auf, dass bei der thermischen Verdampfung der Precursoren im Gefäß keine hochenergetische Röntgenstrahlung entsteht, welche durch elektronische Anregung zur Desorption anhaftender Adsorbate vom Substrat führen würde. Hierdurch kann die Schichtqualität des auf dem Substrat abgeschiedenen TCO-Materials verbessert werden. Furthermore, the precursors evaporated from the vessel are only transferred to low charge states in the plasma. In addition, the degree of ionization in the plasma is lower than in known sputtering or CVD processes, so that less charged particles strike the surface of the substrate. Damage to the substrate is thereby avoided. Finally, the method according to the invention has the advantage that during the thermal evaporation of the precursors in the vessel no high-energy X-ray radiation is produced, which would lead to the desorption of adhering adsorbates from the substrate by electronic excitation. As a result, the layer quality of the deposited on the substrate TCO material can be improved.

Das erfindungsgemäß verwendete Substrat kann beispielsweise eine photovoltaische Zelle sein oder eine solche enthalten. Das Verfahren kann zur vollflächigen Abscheidung der dünnen Schicht auf dem Substrat eingesetzt werden. In anderen Ausführungsformen der Erfindung kann lediglich eine Teilfläche des Substrats beschichtet werden. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das Substrat eine OLED sein oder solche enthalten. Allgemein kann die erfindungsgemäße The substrate used in the invention may be, for example, a photovoltaic cell or contain such. The method can be used for full-surface deposition of the thin layer on the substrate. In other embodiments of the invention, only a partial area of the substrate may be coated. In some embodiments of the invention, the substrate may be or include an OLED. In general, the inventive

Schicht aus einem TCO-Material stets dort vorteilhaft eingesetzt werden, wo dem Substrat ein elektrischer Strom zugeführt werden soll oder ein elektrischer Strom aus dem Substrat abgeführt werden soll. Aufgrund der Transparenz des Schichtmaterials bleibt ein Lichtzutritt bzw. ein Lichtaustritt aus dem Substrat weiterhin möglich. Layer of a TCO material are always used advantageously there, where the substrate, an electric current to be supplied or an electric current to be removed from the substrate. Due to the transparency of the Layer material remains a light access or a light exit from the substrate still possible.

In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das Plasma in der Plasmazone ein Inertgas enthalten oder daraus In some embodiments of the invention, the plasma in the plasma zone may contain or include an inert gas

bestehen. Dieses reagiert nicht mit dem Precursor im Gefäß und nicht mit der auf dem Substrat entstehenden dünnen consist. This does not react with the precursor in the vessel and not with the thin film formed on the substrate

Schicht, sodass die Prozesskontrolle vereinfacht sein kann. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das Plasma in der Plasmazone Argon enthalten oder daraus bestehen. Shift, so process control can be simplified. In some embodiments of the invention, the plasma in the plasma zone may contain or consist of argon.

Dieses Edelgas ist chemisch inert und leicht verfügbar, was die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens This noble gas is chemically inert and readily available, which is the implementation of the method according to the invention

erleichtert. Als Inertgas kann in einigen Ausführungsformen der Erfindung Argon und/oder Xenon verwendet werden. facilitated. As inert gas, argon and / or xenon may be used in some embodiments of the invention.

In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das Plasma in der Plasmazone ein induktiv gekoppeltes Plasma sein. In some embodiments of the invention, the plasma in the plasma zone may be an inductively coupled plasma.

Dieses entsteht durch ein an einer Spule anliegendes This is created by a voltage applied to a coil

Hochfrequenzfeld, welches die Plasmazone in etwa ringförmig umgibt. Das Hochfrequenzfeld der Spule kann beispielweise eine Frequenz zwischen etwa 20 MHz und etwa 50 MHz High-frequency field, which surrounds the plasma zone in an approximately annular. For example, the high frequency field of the coil may have a frequency between about 20 MHz and about 50 MHz

aufweisen . exhibit .

In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das Plasma in der Plasmazone ein Mikrowellenplasma sein. Dieses In some embodiments of the invention, the plasma in the plasma zone may be a microwave plasma. This

entsteht, wenn eine Spannung von etwa 2 GHz bis etwa 10 GHz an eine Elektrode in der Vakuumkammer angelegt wird. occurs when a voltage of about 2 GHz to about 10 GHz is applied to an electrode in the vacuum chamber.

In wiederum einer anderen Ausführungsform kann das Plasma in der Plasmazone ein ECR-Plasma sein. Hierzu liegt die Plasmazone im Einflussbereich eines Magneten. Sodann wird in die Plasmazone mittels eines Wellenleiters eine Mikrowellenstrahlung eingestrahlt, beispielsweise im Frequenzbereich zwischen etwa 2 GHz und etwa etwa 10 GHz. Das ECR-Plasma heizt selektiv das Elektronengas, sodass die Ionenrümpfe vergleichsweise kalt bleiben. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das Substrat mit einer Vorspannung beaufschlagt werden. Die Vorspannung kann in einigen Ausführungsformen der Erfindung eine Gleichspannung sein. Hierdurch werden Ionen eines vorgebbaren Ladungszustands auf das Substrat beschleunigt. Ionen des jeweils anderen Ladungszustands werden vom Substrat ferngehalten. Durch Einstellen der Vorspannung zwischen etwa 2 V und etwa 100 V kann die kinetische Energie und der In yet another embodiment, the plasma in the plasma zone may be an ECR plasma. For this, the plasma zone is within the influence of a magnet. Then, a microwave radiation is radiated into the plasma zone by means of a waveguide, for example in the frequency range between about 2 GHz and about 10 GHz. The ECR plasma selectively heats the electron gas, leaving the ion stumps comparatively cold. In some embodiments of the invention, a bias may be applied to the substrate. The bias voltage may be a DC voltage in some embodiments of the invention. As a result, ions of a specifiable charge state are accelerated onto the substrate. Ions of the other charge state are kept away from the substrate. By adjusting the bias voltage between about 2 V and about 100 V, the kinetic energy and the

Ladungszustand der auftreffenden Partikel kontrolliert werden. Hierdurch können die Eigenschaften der aufwachsenden Schichten in weiten Grenzen eingestellt werden. Charge state of the impinging particles are controlled. As a result, the properties of the growing layers can be adjusted within wide limits.

In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann die Plasmazone von zumindest einem Opferelement zumindest teilweise begrenzt sein. Das Opferelement verhindert, dass Elektroden oder Spulen der Plasmaerzeugungseinrichtung mit dem TCO- Material aus dem Gefäß beschichtet werden. Da dieses elektrisch leitfähig ist, könnte eine solche parasitäre In some embodiments of the invention, the plasma zone of at least one sacrificial element may be at least partially confined. The sacrificial element prevents electrodes or coils of the plasma generating device from being coated with the TCO material from the vessel. Since this is electrically conductive, such a parasitic

Beschichtung auf den Komponenten der Plasmaerzeugungseinrichtung deren Effizienz vermindern oder den Betrieb unmöglich machen. Die erfindungsgemäß vorgesehenen Opferelemente können in einigen Ausführungsformen der Erfindung so ausgestalten sein, dass diese nur jeweils vergleichsweise kleine Flächen bedecken, sodass sich keine Wirbelströme in den Opferelementen ausbilden. Alternativ oder zusätzlich können die Opferelemente leicht ausgetauscht werden, wenn diese durch parasitäre Beschichtungen zu stark verunreinigt sind. Da die Opferelemente einfacher und kostengünstiger auszutauschen sind als die aktiven Komponenten der Plasmaerzeugungseinrichtung, können die Stillstandszeiten und die Beschichtungskosten minimiert sein. Coating on the components of the plasma generating device reduce their efficiency or make the operation impossible. The sacrificial elements provided according to the invention may in some embodiments of the invention be designed such that they only cover comparatively small areas in each case, so that no eddy currents develop in the sacrificial elements. Alternatively or additionally, the sacrificial elements can be easily replaced if they are too contaminated by parasitic coatings. Since the sacrificial elements are easier and cheaper to exchange than the active components of the plasma generating device, downtime and coating costs can be minimized.

In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das Opferelement ein Dielektrikum enthalten oder daraus bestehen. Dies führt dazu, dass sich in dem Opferelement keine Wirbelströme ausbilden, welche elektrische oder magnetische Felder von der Plasmazone abschirmen, sodass der Betrieb des In some embodiments of the invention, the sacrificial element may include or consist of a dielectric. As a result, eddy currents, which are electrical or magnetic fields, do not form in the sacrificial element from the plasma zone, so that the operation of the

Plasmas zum Erlegen kommen würde. Plasmas would come to kill.

In einigen Ausführungsformen der Erfindung können mehrere Opferelemente hintereinander angeordnet sein, sodass die parasitäre Beschichtung von Komponenten der Plasmaerzeugungseinrichtung mit größerer Sicherheit verhindert wird. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann zumindest ein ersten Opferelement und zumindest ein zweites Opferelement vorhanden sein. In some embodiments of the invention, a plurality of sacrificial elements may be arranged one behind the other, so that the parasitic coating of components of the plasma generating device is prevented with greater certainty. In some embodiments of the invention, at least one first sacrificial element and at least one second sacrificial element may be present.

In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das TCO- Material Sauerstoff und zumindest ein Metall enthalten. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das Metall ausgewählt sein aus Indium und/oder Zinn und/oder Zink und/oder Aluminium und/oder Kadmium und/oder Kupfer und/ode Gallium. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann da TCO-Material zwei verschiedene Metalle und Sauerstoff enthalten. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann das TCO-Material mit einem Dotierstoff versehen sein, um vorgebbare Werte für die elektrische Leitfähigkeit und/oder vorgebbare optische Eigenschaften zu erzielen. In some embodiments of the invention, the TCO material may include oxygen and at least one metal. In some embodiments of the invention, the metal may be selected from indium and / or tin and / or zinc and / or aluminum and / or cadmium and / or copper and / or gallium. In some embodiments of the invention, since TCO material may contain two different metals and oxygen. In some embodiments of the invention, the TCO material can be provided with a dopant in order to achieve predefinable values for the electrical conductivity and / or predefinable optical properties.

In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann ein In some embodiments of the invention, a

Dotierstoff gasförmig oder als Dampf in die Plasmazone eingebracht werden und zusammen mit dem aus dem Gefäß verdampften TCO-Material auf dem Substrat niedergeschlagen werden, um dort eine dotierte TCO-Schicht zu erzeugen. Dopant gaseous or introduced as a vapor in the plasma zone and are deposited together with the vaporized from the vessel TCO material on the substrate to produce there a doped TCO layer.

In anderen Ausführungsformen der Erfindung kann sich der Dotierstoff zusammen mit dem TCO-Material in dem Gefäß befinden, sodass aus dem Gefäß sämtliche Konstituenten der dotierten TCO-Schicht verdampfen und in Richtung des In other embodiments of the invention, the dopant may be in the vessel along with the TCO material so that all of the constituents of the doped TCO layer evaporate out of the vessel and toward the

Substrats emittiert werden. Substrate are emitted.

In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann der In some embodiments of the invention, the

Dotierstoff ausgewählt sein aus Phosphor, Antimon, Arsen, Bor, Gallium, Aluminium und/oder Indium. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann der Dotierstoff ein Dopant may be selected from phosphorus, antimony, arsenic, Boron, gallium, aluminum and / or indium. In some embodiments of the invention, the dopant may include

Element der III. oder V. Hauptgruppe enthalten oder daraus bestehen. Hierbei können Elemente der V. Hauptgruppe, beispielsweise Phosphor, Antimon oder Arsen, eine n- Leitfähigkeit des TCO-Materials bewirken. Elemente der III. Hauptgruppe, beispielsweise Bor, Gallium, Aluminium oder Indium, können eine p-Leitfähigkeit des TCO-Materials bewirken . Element of the III. or V. main group or consist thereof. Here, elements of the V. main group, for example phosphorus, antimony or arsenic, can bring about an n conductivity of the TCO material. Elements of the III. Main group, for example boron, gallium, aluminum or indium, can cause a p-conductivity of the TCO material.

Nachfolgend soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und Figuren ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens näher erläutert werden. Dabei zeigt The invention will be explained in more detail below with reference to embodiments and figures without limiting the general concept of the invention. It shows

Figur 1 den Querschnitt durch eine photovoltaische Zelle. 1 shows the cross section through a photovoltaic cell.

Figur 2 zeigt den Querschnitt durch eine Vorrichtung, mit welcher das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann . Figure 2 shows the cross section through a device with which the inventive method can be performed.

Figur 3 zeigt beispielhaft eine Plasmaerzeugungseinrichtung im Längsschnitt. FIG. 3 shows by way of example a plasma generation device in longitudinal section.

Figur 4 zeigt die Plasmaerzeugungseinrichtung gemäß Figur 3 im Querschnitt. FIG. 4 shows the plasma generating device according to FIG. 3 in cross section.

Figur 1 zeigt ein Substrat 1, welches Teil einer photo- voltaischen Zelle sein kann. Im Substrat 1 sind in an sich bekannter Weise, beispielsweise durch Ionenimplantation oder durch Diffusion, n- und p-leitende Bereiche erzeugt, sodass sich ein pn-Übergang ausbildet. FIG. 1 shows a substrate 1, which may be part of a photovoltaic cell. In the substrate 1, n- and p-type regions are generated in a manner known per se, for example by ion implantation or by diffusion, so that a pn junction is formed.

Eintreffende elektromagnetische Strahlung kann im Substrat 1 absorbiert werden, sodass sich Elektron-Loch-Paare bilden. Diese können über zumindest einen Vorderseitenkontakt 11 und zumindest einen Rückseitenkontakt 12 als elektrische Incoming electromagnetic radiation can be absorbed in the substrate 1, forming electron-hole pairs. These can via at least one front side contact 11 and at least one rear side contact 12 as electrical

Spannung bzw. elektrischer Strom abgegriffen werden. Die in Figur 1 beispielhaft gezeigte photovoltaische Zelle ist mit einer Schicht 10 versehen, welche zumindest ein TCO enthält oder daraus besteht. Die Schicht 10 ist somit einerseits optisch transparent, um das Eindringen von Licht in das Substrat 1 zu ermöglichen. Andererseits ist die Voltage or electrical current are tapped. The photovoltaic cell shown by way of example in FIG. 1 is provided with a layer 10 which contains or consists of at least one TCO. The layer 10 is thus on the one hand optically transparent in order to allow the penetration of light into the substrate 1. On the other hand, that is

Schicht 10 auch elektrisch leitfähig, sodass der Strom aus dem Substrat 1 zum Vorderseitenkontakt 11 geleitet werden kann . Layer 10 also electrically conductive, so that the current from the substrate 1 to the front side contact 11 can be passed.

Der Rückseitenkontakt 12 kann vollflächig hergestellt sein und ein Metall oder eine Legierung enthalten. Optional kann auch zwischen dem Substrat 1 und dem Rückseitenkontakt 12 eine in Figur 1 nicht dargestellte Zwischenschicht vorhanden sein. Die Zwischenschicht kann ebenfalls ein TCO-Material enthalten oder daraus bestehen. The rear side contact 12 can be made over the entire surface and contain a metal or an alloy. Optionally, an intermediate layer, not shown in FIG. 1, may also be present between the substrate 1 and the rear-side contact 12. The intermediate layer may also contain or consist of a TCO material.

Figur 2 zeigt eine Vorrichtung zur Durchführung des FIG. 2 shows a device for carrying out the

erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung der Schicht 10. inventive method for producing the layer 10.

Die Vorrichtung 2 enthält eine Vakuumkammer 20, welche mit einer Mehrzahl kaskadierter Vakuumpumpen 21 und 22 evakuiert werden kann. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann in der Vakuumkammer 20 ein Hochvakuum erzeugt werden. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann der Restgasdruck in der Vakuumkammer 20 weniger als 1·10"⁶ mbar oder weniger als 1-10-⁷ mbar oder weniger als 5·10^~8 mbar betragen. The device 2 includes a vacuum chamber 20 which can be evacuated with a plurality of cascaded vacuum pumps 21 and 22. In some embodiments of the invention, a high vacuum may be created in the vacuum chamber 20. In some embodiments of the invention, the residual gas pressure may be ⁸ mbar in the vacuum chamber 20 is less than 1 x 10 ^"6 mbar or less than 1-10- ⁷ mbar or less than 5 x 10 ^~.

In der Vakuumkammer 20 befindet sich ein Substrathalter 25, welcher dazu eingerichtet ist, zumindest ein Substrat 1 aufzunehmen. In anderen Ausführungsformen der Erfindung kann auch eine Mehrzahl von Substrathaltern 25 vorhanden sein oder der Substrathalter 25 kann dazu eingerichtet sein, eine Mehrzahl von Substraten 1 aufzunehmen. Das Substrat 1 kann beispielsweise die in Figur 1 dargestellte photovoltaische Zelle sein oder eine OLED, welche mit einem transparenten, elektrisch leitfähigen Kontakt versehen werden soll. Weiterhin befindet sich im Inneren der Vakuumkammer 20 eine Spule 3. Die Spule 3 kann mit einer Wechselspannungsquelle V_RF verbunden sein. Die Wechselspannungsquelle kann in einigen Ausführungsformen der Erfindung einen Wechselstrom mit einer Frequenz zwischen etwa 20 MHz und etwa 60 MHz bereitstellen. Bei Betrieb der Spannungs- bzw. Stromquelle V_RF wird in der Spule ein magnetisches Wechselfeld erzeugt, welches induktiv an das im Inneren der Spule befindliche Gasvolumen koppelt. In the vacuum chamber 20 is a substrate holder 25 which is adapted to receive at least one substrate 1. In other embodiments of the invention, a plurality of substrate holders 25 may also be present, or the substrate holder 25 may be configured to receive a plurality of substrates 1. The substrate 1 can be, for example, the photovoltaic cell shown in FIG. 1 or an OLED which is to be provided with a transparent, electrically conductive contact. Furthermore, there is a coil 3 inside the vacuum chamber 20. The coil 3 may be connected to an AC voltage source V _RF . The AC voltage source, in some embodiments of the invention, may provide an AC current having a frequency between about 20 MHz and about 60 MHz. During operation of the voltage or current source V _RF , an alternating magnetic field is generated in the coil, which inductively couples to the gas volume inside the coil.

In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann zum Betrieb der Vorrichtung in den von der Spule 3 umgrenzten Raum ein Inertgas zugeführt werden, beispielsweise Argon. Dieses bildet bei Betrieb der Stromquelle V_RF ein Plasma, welches die Plasmazone 35 ausfüllt. Sofern die Schicht 10 einen Dotierstoff enthalten soll, kann dieser in einigen Ausführungsformen der Erfindung ebenfalls im Plasma enthalten sein und dort mit der Oberfläche der aufwachsenden Schicht 35 reagieren. In some embodiments of the invention, an inert gas, such as argon, may be added to operate the device in the space bounded by the coil 3. This forms during operation of the power source V _RF, a plasma which fills the plasma zone 35. If the layer 10 is to contain a dopant, in some embodiments of the invention it may also be contained in the plasma and react there with the surface of the growing layer 35.

Weiterhin befindet sich in der Vakuumkammer 20 ein Gefäß 4, welches das Material der abzuscheidenden Schicht 10 in stöchiometrischem Verhältnis enthält. Sofern die Schicht 10 beispielsweise Indium-Zinn-Oxid mit der Summenformel Furthermore, located in the vacuum chamber 20, a vessel 4, which contains the material of the deposited layer 10 in stoichiometric ratio. If the layer 10, for example, indium tin oxide with the empirical formula

(In₂0₃) ₀,9 (Sn0₂)o,i enthält, so wird auch diese Verbindung als Ausgangsmaterial bzw. Precursor 40 in das Gefäß 4 (In ₂ 0 ₃ ) ₀ , 9 (Sn0 ₂ ) o, i contains, so this compound as the starting material or precursor 40 in the vessel 4th

eingebracht . brought in .

Zur Schichtabscheidung wird das Gefäß 4 mit einer in Figur 2 nicht dargestellten Heizvorrichtung erwärmt. Die Heizvorrichtung kann beispielsweise eine unterhalb des Gefäßes 4 befindliche Elektronstoßheizung oder eine Widerstandsheizung oder eine Induktionsheizung umfassen. In einigen Ausführungsformen der Erfindung kann auch eine intensive For layer deposition, the vessel 4 is heated with a heater, not shown in Figure 2. The heating device may comprise, for example, an electron impact heater located below the vessel 4 or a resistance heater or an induction heater. In some embodiments of the invention may also be an intensive

Infrarotstrahlungsquelle, beispielsweise ein C0₂-Laser, zur thermischen Verdampfung des Precursors 40 verwendet werden. Der verdampfende Precursor 40 bildet einen Nebel bzw. eine Partikelwolke 45, welche in Richtung des Substrats 1 Infrared radiation source, such as a C0 ₂ laser, are used for thermal evaporation of the precursor 40. The evaporating precursor 40 forms a mist or a cloud of particles 45, which in the direction of the substrate. 1

driftet. Hierbei durchqueren die Partikel die Plasmazone 35, sodass diese zumindest teilweise umgeladen werden. drifts. Here, the particles pass through the plasma zone 35, so that they are at least partially reloaded.

Am Substrathalter 25 befindet sich eine Vorspannung V_DC, welche geladene Partikel aus der Plasmazone 35 in Richtung des Substrats 1 beschleunigt. Hierdurch wird auf dem At the substrate holder 25 is a bias voltage V _DC , which accelerates charged particles from the plasma zone 35 in the direction of the substrate 1. This will be on the

Substrat 1 die gewünschte Schicht 10 durch lonenplattieren abgeschieden . Substrate 1, the desired layer 10 deposited by ion plating.

Nachdem die Schicht 10 in der gewünschten Schichtdicke abgeschieden wurde, wird die Heizung des Gefäßes 4 After the layer 10 has been deposited in the desired layer thickness, the heating of the vessel 4

abgeschaltet, sodass der Partikelstrom 45 zum Erliegen kommt. Zeitgleich, früher oder später wird dann auch die Stromquelle V_RF abgeschaltet, sodass das Plasma in der switched off, so that the particle flow 45 comes to a standstill. At the same time, sooner or later, the power source V _{RF is} switched off, so that the plasma in the

Plasmazone 35 erlischt. Schließlich kann das Substrat 1 entweder über eine Schleuse oder durch Belüften der Plasma zone 35 goes out. Finally, the substrate 1 either via a lock or by venting the

Vakuumkammer 20 entnommen werden. Vacuum chamber 20 are removed.

Anhand der Figuren 3 und 4 wird eine Plasmaerzeugungseinrichtung erläutert, welche in Zusammenhang mit der With reference to Figures 3 and 4, a plasma generating device will be explained, which in connection with the

vorliegenden Erfindung einsetzbar ist. can be used in the present invention.

Diese enthält eine Spule 3 wie vorstehend bereits This contains a coil 3 as already above

beschrieben. Diese dient der Erzeugung eines magnetischen Wechselfelds, welches ein im Spuleninneren befindliches Gas ionisiert. Hierdurch kommt es zur Ausbildung einer Plasmazone 35, wie in Figur 4 dargestellt. described. This serves to generate an alternating magnetic field, which ionizes a gas located inside the coil. This results in the formation of a plasma zone 35, as shown in Figure 4.

Da die TCO-Schicht auch als parasitäre Schicht auf der Spule abgeschieden werden kann, kann es durch diese leitfähige Beschichtung auf der Spule 3 zur Ausbildung von Wirbel - strömen auf der Oberfläche der Spule kommen, sodass entweder kein Plasma mehr erzeugt werden kann oder zumindest der Energieeinsatz zur Aufrechterhaltung des Plasmas ansteigt. Um zu verhindern, dass die Spule 3 mit dem verdampften Since the TCO layer can also be deposited as a parasitic layer on the coil, this conductive coating on the coil 3 can lead to the formation of eddy currents on the surface of the coil, so that either no more plasma can be generated or at least the Energy use to maintain the plasma increases. To prevent the coil 3 with the vaporized

Precursor 45 aus dem Gefäß 4 in Kontakt kommt, befindet sich ein erstes Opferelement 31 im Inneren der Spule 3. Das Precursor 45 comes out of the vessel 4 into contact, there is a first sacrificial element 31 inside the coil 3. Das

Opferelement 31 kann ein Dielektrikum enthalten oder daraus bestehen. Beispielsweise kann das Opferelement 31 eine Sacrificial element 31 may contain or consist of a dielectric. For example, the sacrificial element 31 a

Keramik oder ein Kunststoff sein. Um den bei Betrieb der Vorrichtung auftretenden Temperaturen Stand zu halten, kann das Opferelement 31 z.B. Polyimid, Polytetrafluoräthylen oder Aluminiumoxid enthalten oder daraus bestehen. Das erste Opferelement 31 ist im dargestellten Beispiel rohrförmig mit einem runden Querschnitt ausgeführt und in etwa konzentrisch zur Spule 3 angeordnet . Be ceramic or a plastic. In order to withstand the temperatures which occur during operation of the device, the sacrificial element 31 may e.g. Contain or consist of polyimide, polytetrafluoroethylene or alumina. In the example shown, the first sacrificial element 31 is tubular in shape with a round cross section and arranged approximately concentrically with the coil 3.

Um zu verhindern, dass nun auf dem ersten Opferelement 31 seinerseits wieder eine elektrisch leitfähige TCO-Beschich- tung abgeschieden wird, befindet sich im Inneren des In order to prevent now again an electrically conductive TCO coating is deposited on the first sacrificial element 31, is located inside the

konzentrisch zur Spule 3 angeordneten ersten Opferelements 31 zumindest ein zweites Opferelement 32. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind 6 zweite Opferelemente 32 vorhanden, welche jeweils durch einen Spalt 33 von einander beabstandet sind. In anderen Ausführungsformen der Erfindung kann die Anzahl der zweiten Opferelemente 32 größer oder geringer sein und beispielsweise zwischen etwa 3 und etwa 20 betragen . At least one second sacrificial element 32 is arranged concentrically to the coil 3 arranged first sacrificial element 32. In the illustrated embodiment, 6 second sacrificial elements 32 are present, which are each separated by a gap 33 from each other. In other embodiments of the invention, the number of second sacrificial elements 32 may be larger or smaller and, for example, between about 3 and about 20.

Die kleineren Opferelemente 32 verhindern, dass sich eine großflächige TCO-Beschichtung ausbildet, in welcher sich bei Betrieb des magnetischen Wechselfelds Wirbelströme bilden, welche das von der Spule erzeugte Feld 3 abschirmen. Wie in Figur 3 ersichtlich, sind die zweiten Opferelemente 32 als vergleichsweise schmale, jedoch lange Streifen ausgebildet, sodass sich in diesen keine zirkulär verlaufenden Wirbelströme ausbilden können, welche dem Magnetfeld der Spule 3 entgegenwirken . The smaller sacrificial elements 32 prevent the formation of a large-area TCO coating in which, during operation of the alternating magnetic field, eddy currents form, which shield the field 3 generated by the coil. As can be seen in FIG. 3, the second sacrificial elements 32 are designed as comparatively narrow, but long strips, so that no circularly running eddy currents can form in them, which counteract the magnetic field of the coil 3.

Die Spalte 33 zwischen den zweiten Opferelementen 32 sind so gewählt, dass die Diffusion des gasförmigen Precursors auf die Rückseite der zweiten Opferelemente 32 und damit in Richtung auf das erste Opferelement 31 stark unterdrückt ist. Somit bildet sich auch auf dem ersten Opferelement 31 keine vollflächige, leitfähige Beschichtung . The gaps 33 between the second sacrificial elements 32 are chosen so that the diffusion of the gaseous precursor the back of the second sacrificial elements 32 and thus strongly suppressed in the direction of the first sacrificial element 31. Thus, even on the first sacrificial element 31 no full-surface, conductive coating is formed.

Auf diese Weise kann die Betriebsdauer der Vorrichtung vergrößert werden, so dass mehrere Substrate 1 In this way, the operating time of the device can be increased, so that a plurality of substrates. 1

hintereinander in der gewünschten Weise beschichtet werden können, ohne dass eine zeitaufwändige Wartung der can be coated one behind the other in the desired manner, without a time-consuming maintenance of the

Beschichtungsanlage erforderlich ist. Coating system is required.

In unterschiedlichen Ausführungsformen der Erfindung kann die Schicht 10 beispielsweise folgende TCO-Materialen enthalten : In various embodiments of the invention, the layer 10 may contain, for example, the following TCO materials:

1. Sn0₂ mit den optionalen Dotierstoffen: Sb, F, As, Nb und/oder Ta 1. Sn0 ₂ with the optional dopants: Sb, F, As, Nb and / or Ta

2. In₂0₃ mit den optionalen Dotierstoffen: Sn, Ge, Mo, F, Ti, Zr, Mo, Hf, Nb, Ta, W, Te, H und/oder Ce 2. In ₂ 0 ₃ with the optional dopants: Sn, Ge, Mo, F, Ti, Zr, Mo, Hf, Nb, Ta, W, Te, H and / or Ce

3. ZnO mit den optionalen Dotierstoffen: AI, Ga, B, In, Y, Sc, F, V, S, Ge, Ti, Zr und/oder Hf 3. ZnO with the optional dopants: Al, Ga, B, In, Y, Sc, F, V, S, Ge, Ti, Zr and / or Hf

4. CdO mit den optionalen Dotierstoffen: In und/oder Sn 4. CdO with the optional dopants: In and / or Sn

5. Ga₂0₃ 5. Ga ₂ 0 ₃

6. ZnO-Sn0₂ als Verbindungen: Zn₂Sn0₄ und/oder ZnSn0₃ 6. ZnO-SnO ₂ as compounds: Zn ₂ SnO ₄ and / or ZnSnO ₃

7. ZnO-In₂0₃ als Verbindungen: Zn₂In₂0₅ und/oder Zn₃In₂0₆ 7. ZnO-In ₂ 0 ₃ as compounds: Zn ₂ In ₂ 0 ₅ and / or Zn ₃ In ₂ 0 ₆

8. In₂0₃-Sn0₂ als Verbindung: In₄Sn₃Oi₂ 8. In ₂ 0 ₃ -SnO ₂ as compound: In ₄ Sn ₃ Oi ₂

9. CdO-Sn0₂ als Verbindungen: Cd₂Sn0₄ und/oder CdSn0₃ 9. CdO-SnO ₂ as compounds: Cd ₂ SnO ₄ and / or CdSnO ₃

10. CdO-In₂0₃ als Verbindung: Cdln₂0₄ 11. Mgln₂0₄ 10. CdO-In ₂ 0 ₃ as compound: Cdln ₂ 0 ₄ 11. Mgln ₂ 0 ₄

12. Galn0₃, (Ga, In) ₂0₃ mit den optionalen Dotierstoffen: 12. Galn0 ₃ , (Ga, In) ₂ 0 ₃ with the optional dopants:

Sn und/oder Ge Sn and / or Ge

13. CdSb206 mit dem optionalen Dotierstoff: Y 13. CdSb206 with the optional dopant: Y

14. Zn-In₂0₃-Sn0₂ als Verbindung: Zn₂In₂0₅- In₄Sn₃0i₂ 14. Zn-In ₂ 0 ₃ -SnO ₂ as compound: Zn ₂ In ₂ 0 ₅ - In ₄ Sn ₃ 0i ₂

15. CdO-In₂0₃-Sn0₂ als Verbindung: Cdln204 -Cd2Sn04 15. CdO-In ₂ 0 ₃ -SnO ₂ as compound: Cdln204 -Cd ₂ SnO 4

16. ZnO-CdO-In₂0₃-Sn0₂ 16. ZnO-CdO-In ₂ 0 ₃ -SnO ₂

17. Cu0₂ mit den optionalen Dotierstoffen: AI, Sc, Y, In, Ga, Cr und/oder Mg 17. CuO ₂ with the optional dopants: Al, Sc, Y, In, Ga, Cr and / or Mg

Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die dargestellten Ausführungsformen beschränkt. Die vorstehende Beschreibung ist daher nicht als beschränkend, sondern als erläuternd anzusehen. Die nachfolgenden Ansprüche sind so zu verstehen, dass ein genanntes Merkmal in zumindest einer Ausführungsform der Erfindung vorhanden ist. Dies schließt die Anwesenheit weiterer Merkmale nicht aus. Sofern die Ansprüche und die vorstehende Beschreibung „erste" und „zweite" Ausführungsformen definieren, so dient diese Of course, the invention is not limited to the illustrated embodiments. The above description is therefore not to be considered as limiting, but as illustrative. The following claims are to be understood as meaning that a named feature is present in at least one embodiment of the invention. This does not exclude the presence of further features. As long as the claims and the above description define "first" and "second" embodiments, this serves

Bezeichnung der Unterscheidung zweier gleichartiger Ausführungsformen, ohne eine Rangfolge festzulegen. Designation of the distinction between two similar embodiments without defining a ranking.

Claims

Ansprüche claims

1. Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten (10), welche TCO enthalten oder daraus bestehen, auf zumindest einem Substrat (1), wobei zumindest ein sich in einem Gefäß (4) befindliches Ausgangsmaterial (40) in einer Vakuumkammer (20) verdampft wird, dadurch gekennzeichnet, dass Method for depositing thin layers (10) containing or consisting of TCO on at least one substrate (1), wherein at least one starting material (40) located in a vessel (4) is vaporized in a vacuum chamber (20), characterized in that

in dem Gefäß die Bestandteile der Schicht (10) in in the vessel, the constituents of the layer (10) in

stöchiometrischem Verhältnis vorliegen und Stoichiometric ratio present and

die vom Gefäß (4) aufsteigenden Partikel (45) vor dem Abscheiden auf dem Substrat (1) eine Plasmazone (35) durchdringen, wobei das Plasma in der Plasmazone (35) ein Inertgas enthält oder daraus besteht. the particles (45) ascending from the vessel (4) penetrate a plasma zone (35) before depositing on the substrate (1), the plasma in the plasma zone (35) containing or consisting of an inert gas.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasma in der Plasmazone (35) Argon und/oder Xenon enthält oder daraus besteht. 2. The method according to claim 1, characterized in that the plasma in the plasma zone (35) contains argon and / or xenon or consists thereof.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasma in der Plasmazone (35) ausgewählt ist aus einem induktiv gekoppelten Plasma und/oder einem 3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the plasma in the plasma zone (35) is selected from an inductively coupled plasma and / or a

Mikrowellenplasma und/oder einem ECR-Plasma. Microwave plasma and / or an ECR plasma.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat mit einer Vorspannung (V_DC) beaufschlagt wird. 4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the substrate with a bias voltage (V _DC ) is applied.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorspannung (V_DC) eine Gleichspannung ist. 5. The method according to claim 4, characterized in that the bias voltage (V _DC ) is a DC voltage.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Plasmazone (35) von zumindest einem Opferelement zumindest teilweise begrenzt ist. 6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the plasma zone (35) of at least one sacrificial element is at least partially limited.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Opferelement (32) ein Dilektrikum enthält oder daraus besteht . 7. The method according to claim 6, characterized in that the sacrificial element (32) contains a Dilektrikum or consists thereof.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das das TCO-Material Sauerstoff und zumindest ein Metall enthält, welches ausgewählt sind aus Indium und/oder Zinn und/oder Zink und/oder Aluminium und/oder Cadmium und/oder Kupfer und/oder Gallium 8. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the TCO material contains oxygen and at least one metal, which are selected from indium and / or tin and / or zinc and / or aluminum and / or cadmium and / or copper and / or gallium

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das das TCO einen Dotierstoff enthält, welcher zumindest ein Element der III. oder V. 9. The method according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the TCO contains a dopant which at least one element of the III. or V.

Hauptgruppe enthält oder Main group contains or

dass das das TCO einen Dotierstoff enthält, welcher ausgewählt ist aus Phosphor, Antimon, Arsen, Bor, that the TCO contains a dopant which is selected from phosphorus, antimony, arsenic, boron,

Gallium, Aluminium und/oder Indium. Gallium, aluminum and / or indium.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (1) eine photovoltaische Zelle enthält oder daraus besteht. 10. The method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that the substrate (1) contains a photovoltaic cell or consists thereof.

11. Vorrichtung zur Abscheidung dünner Schichten (10) auf 11. Apparatus for depositing thin layers (10)

zumindest einem Substrat (1) , mit zumindest at least one substrate (1), with at least

einer Vakuumkammer (20) , a vacuum chamber (20),

einem zur Aufnahme eines Ausgangsmaterials (40) one for receiving a starting material (40)

vorgesehenem Gefäß (4), welches mittels einer provided vessel (4), which by means of a

Heizeinrichtung beheizbar und innerhalb der Vakuumkammer (20) angeordnet ist, Heating device is heated and disposed within the vacuum chamber (20),

einem Substrathalter (25) , welcher zur Aufnahme eines Substrates (1) vorgesehen und innerhalb der Vakuumkammer (20) so angeordnet ist, dass das Substrat (1) zumindest zeitweise gegenüber des Gefäßes (4) plazierbar ist, einer Spule (3), mit welcher zumindest in einer Plasmazone (35) ein magnetisches Wechselfeld erzeugbar ist, und einer Gaszufuhreinrichtung, mit welcher der Vakuumkammer (20) ein Inertgas zuführbar ist. a substrate holder (25) which is provided for receiving a substrate (1) and arranged within the vacuum chamber (20) so that the substrate (1) at least temporarily placed opposite the vessel (4), a coil (3), with which at least in a plasma zone (35), an alternating magnetic field can be generated, and a gas supply means, with which the vacuum chamber (20), an inert gas can be supplied.