WO2016184638A1 - Process and system for decomposing monosilane - Google Patents

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WO2016184638A1
WO2016184638A1 PCT/EP2016/058939 EP2016058939W WO2016184638A1 WO 2016184638 A1 WO2016184638 A1 WO 2016184638A1 EP 2016058939 W EP2016058939 W EP 2016058939W WO 2016184638 A1 WO2016184638 A1 WO 2016184638A1
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WO
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reactor
monosilane
gas stream
concentration
fed
Prior art date
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PCT/EP2016/058939
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French (fr)
Inventor
Christian Schmid
Georgij Petrik
Jochem Hahn
Original Assignee
Schmid Silicon Technology Gmbh
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02—Silicon
    • C01B33/021—Preparation
    • C01B33/027—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
    • C01B33/029—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material by decomposition of monosilane
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02—Silicon
    • C01B33/021—Preparation
    • C01B33/027—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
    • C01B33/035—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds in the presence of heated filaments of silicon, carbon or a refractory metal, e.g. tantalum or tungsten, or in the presence of heated silicon rods on which the formed silicon is deposited, a silicon rod being obtained, e.g. Siemens process

Definitions

  • the present invention relates to a process and a plant for the decomposition of monosilane for the production of high-purity silicon.
  • High purity silicon is usually produced in a multi-stage process starting from metallurgical silicon, which usually still has a relatively high proportion of impurities.
  • this can be converted, for example, into a trihalosilane, such as trichlorosilane (SiHC), which is subsequently decomposed thermally to give highly pure silicon.
  • a trihalosilane such as trichlorosilane (SiHC)
  • SiHC trichlorosilane
  • thermal decomposition of monosilane (SiH 4 ) as described for example in DE 33 1 1 650 A1.
  • the temperature of the gas mixture within a reactor is very difficult to control because there are large temperature gradients within the reactor. These problems are exacerbated when the amount of gas mixture fed into the reactor is increased to remove larger amounts of silicon.
  • the desired throughput of monosilane-containing gas mixture is optionally more than 10,000 Nm 3 (standard cubic meters). With such a high throughput, turbulent flows easily occur within the reactor, as a result of which an undesirably efficient heat exchange between see the gas mixture and the highly heated silicon rods occurs. This causes on the one hand, the aforementioned undesirable increase in the temperature of the gas mixture. On the other hand, the silicon rods are cooled, resulting in increased energy consumption.
  • a monosilane-containing gas stream is circulated in a circulation system comprising a reactor for decomposing the monosilane contained in the gas stream.
  • the cycle always comprises the following individual steps:
  • a monosilane-containing gas stream is fed to the reactor.
  • the gas stream is analogous to the prior art mentioned at the beginning preferably a gas mixture of a carrier gas and monosilane.
  • the carrier gas used is particularly preferably hydrogen.
  • Suitable reactors are in principle the reactors described in DE 10 201 1 089 695 A1 and in DE 10 2009 003 368 B3. On properties of particularly suitable reactors will be discussed in more detail.
  • the gas stream is contacted with a highly heated surface within the reactor. At this surface, a part of the monosilane contained in the gas stream decomposes. The concentration of monosilane in the gas stream falls off. As a result of the decomposition, a solid silicon layer separates on the highly heated surface. This layer is the desired process product.
  • the gas stream is discharged from the reactor.
  • the gas stream discharged from the reactor has a significantly lower concentration of monosilane than the gas stream fed into the reactor.
  • the gas flow at a significantly higher temperature than at the moment of its injection into the reactor.
  • the gas stream discharged from the reactor is treated.
  • the treatment process comprises, in particular, at least partial equalization, preferably complete equalization, of the decrease in the monosilane concentration which occurs as a result of the decomposition. This is done by appropriate addition of monosilane.
  • the treatment of the gas stream in preferred embodiments may additionally comprise cleaning and cooling steps.
  • step (4) the gas stream resulting from step (4) is fed back to the reactor.
  • the cycle closes here.
  • an operating pressure in the range of 2.5 bar to 10 bar (absolute) is set during the separation within the circulatory system.
  • values in the range from 3 bar to 10 bar (absolute), in particular from 4 bar to 8 bar (absolute), more preferably from 4 bar to 7 bar (absolute), are more preferred.
  • the operating pressure is preferably substantially constant. Pressure fluctuations within the circulatory system are not completely avoidable, but usually very small.
  • the circulation system is usually purged first with nitrogen and then filled with hydrogen until the desired operating pressure is reached.
  • a compressor or a blower is usually required for the circulation of hydrogen within the circulatory system. It is preferred that the concentration of monosilane in the gas stream to be fed into the reactor according to step (1) during the deposition in a range between 0.5 vol.% And 5 vol.%, Preferably between 0.5 vol. and 3% by volume.
  • the aim is to keep the concentration of monosilane in the reactor low.
  • Decomposition reactions should not take place in the gas phase, but on the highly heated surface. Otherwise you get, as mentioned above, unwanted, usually dusty by-products.
  • In the gas phase as few collisions as possible should occur between silane molecules (among themselves), decomposition products (among themselves) and between silane molecules and decomposition products. Due to the high operating pressure, the formation of the by-products is surprisingly suppressed, without having to purchase this at low deposition rates.
  • the concentration of monosilane in the gas stream in step (4) is not more than 1% by volume, preferably not more than 0.5% by volume, more preferably not more than 0.25% by volume, raised. By this measure, the formation of the dust-like by-products is further suppressed.
  • the amount of monosilane of the gas stream fed into the reactor in accordance with step (1) per unit time is particularly preferably gradually increased. In other words, the mass flow of the monosilane fed into the reactor is increased.
  • the concentration of monosilane in the gas stream is particularly preferably gradually increased in step (4).
  • the drop in monosilane concentration due to decomposition is gradually compensated or overcompensated in this embodiment.
  • the volume concentration of monosilane in the gas stream thus increases slightly.
  • the preferred concentration limits defined above for the concentration of monosilane in the gas stream are to be observed in preferred embodiments.
  • the increase in concentration preferably takes place continuously or in several successive steps.
  • the flow rate at which the monosilane-containing gas stream circulates in the circulation system can also be increased, in particular by means of the mentioned compressor or blower.
  • the above defined preferred limits for the speed at which the gas stream enters the reactor are to be noted in.
  • the flow rate at which the monosilane-containing gas stream circulates in the circulation system is preferably increased gradually.
  • the flow rate should not be set too high. Therefore, in most cases, the concentration of monosilane in the gas stream is gradually increased.
  • the highly heated surface within the reactor, at which monosilane can decompose also increases. If the mass of monosilane which is fed into the reactor per unit time is not increased, the thickness of the deposited silicon layer increases more and more slowly. This is counteracted by the measures described. The growth rate of the deposited silicon layer is controlled exclusively by the mass of the monosilane fed into the reactor.
  • pressure fluctuations within the circulatory system are usually not completely avoidable.
  • maximum and minimum pressures within the circulatory system do not differ by more than 500 mbar, preferably by not more than 300 mbar. Deviations of less than 200 mbar, more preferably even less than 100 mbar, are even more preferred. Small fluctuations can occur, for example, at the reactor inlet and at the reactor outlet. However, the greatest pressure difference usually occurs at the compressor or blower.
  • An increase in the operating pressure may occur during operation as a result of the decomposition taking place in the reactor (2 moles of hydrogen are formed from one mole of monosilane).
  • the operating pressure is increased by the monosilane addition.
  • pressure equalization takes place at regular or irregular time intervals or continuously, by removing gas from the circulatory system. will be.
  • This pressure compensation can be regulated for example by means of a pressure relief valve.
  • the temperature of the gas stream fed into the reactor in step (1) and step (5) is set to a value in the range of 25 ° C to 75 ° C, especially in the range of 40 ° C to 60 ° C, is set.
  • the temperature of the gas stream fed into the reactor in step (1) and step (5) is set to a value in the range of 25 ° C to 75 ° C, especially in the range of 40 ° C to 60 ° C, is set.
  • reactors such as those described in DE 10 201 1 089 695 A1 and those described in DE 10 2009 003 368 B3 are suitable for carrying out the process according to the invention.
  • the reactor is a fluidized bed reactor is used, in which the highly heated surface is provided by means of highly heated silicon particles in a fluidized bed.
  • the decomposition of the monosilane is particularly preferably carried out on highly heated silicon rods.
  • the growth rate of the deposited silicon layer is preferably controlled by the mass of the monosilane fed into the gas stream. With increasing operating time and increasing thickness of the silicon layer, the mass of monosilane, which is fed per unit time in the reactor, increased.
  • the mass of monosilane in the gas stream to be fed into the reactor according to step (1) or (5) is increased in proportion to the increase in the size of the superheated surface.
  • the highly heated silicon surface is adjusted to a temperature between 800 ° C and 1000 ° C, more preferably to a temperature of about 900 ° C.
  • the concentration of monosilane is determined by measurement in the gas stream discharged from the reactor. If appropriate, the concentration of monosilane in the gas stream to be fed into the reactor is additionally determined at the reactor inlet. Depending on the measurement results or the monosilane addition in step (4) and thus the concentration of monosilane in the according to step (1) or (5) fed into the reactor gas stream and ultimately the mass of the per unit time Monosilane fed into the reactor and, if appropriate, the gradual increase of this mass can be controlled or regulated as the operating time progresses.
  • the thickness of the silicon layer deposited on the superheated surface is determined mathematically or by measurement and, depending on the measurement result, the monosilane addition in step (4) and thus the concentration of monosilane in step (1) or (1) (5) the gas stream to be fed into the reactor and finally also the mass of the monosilane fed into the reactor per unit time and optionally the gradual increase of this mass as the operating time progresses.
  • the thickness of the silicon layer can be determined, for example, by an optical measurement. Preferably, however, the change in the electrical resistance of the silicon rods is tracked. Alternatively, the change in the monosilane concentration in the reactor can also be monitored over the operating period (preferably continuous determination of the monosilane concentration at the reactor inlet and at the reactor outlet) and from this (knowing the volume of gas passed through the reactor) the increase in the thickness of the silicon layer be determined by calculation.
  • the mass of monosilane which is fed into the circulatory system can also be detected. Since it is known from experience to what extent the fed monosilane is converted to metallic silicon, the change in thickness can be calculated from this.
  • Reactors which are distinguished by at least one of the following features are particularly preferably used in the context of a process according to the invention:
  • the reactors comprise a reactor bottom and a reactor top mounted thereon, which together include a reactor interior in which the above-mentioned highly heated silicon rods can be placed.
  • the silicon rods within the reactor supports are provided, which are integrated in the reactor bottom or are arranged in or on the reactor bottom.
  • the silicon rods are preferably aligned vertically to the reactor bottom and, in preferred embodiments, are vertically upwardly within the interior of the reactor.
  • the silicon rods each have two free ends, one of the holders being associated with each of these ends. For example, they preferably have a U-shape.
  • the reactors described in DE 10 201 1 089 695 A1 and in DE 10 2009 003 368 B3 fulfill these features.
  • the monosilane-containing gas stream is preferably fed via inlet nozzles into the reactor. These nozzles are preferably integrated in the mentioned reactor bottom or arranged on the reactor bottom or above the reactor bottom in the reactor interior.
  • the gas flow from these inlet nozzles at the mentioned speed less than 7.5 m / s, preferably less than 5 m / s, particularly preferably less than 2.5 m / s, emerges.
  • the number of nozzles is optionally very high.
  • Another parameter that can affect the flow rate is the diameter of the opening through which the gas stream exits the nozzle.
  • the opening is a circular opening. The diameter of the opening is preferably in the range of 10 mm to 80 mm, in particular in the range of 20 mm to 60 mm.
  • a three-digit number of nozzles can be arranged in a reactor.
  • reactors which can be used preferably have between 50 and 500 nozzles, more preferably between 100 and 300 nozzles.
  • the dimensions of the reactor according to the invention and / or the number of nozzles and / or the diameter of the openings are preferably adjusted to an operating volume flow between 500 m 3 and 25,000 m 3 , preferably between 10,000 m 3 and 25,000 m 3 of monosilane-containing gas per hour (the Figures refer to volumes at 1, 01325 bar and 323 K).
  • the actual volumes to be fed are lower due to the above-mentioned compression of the gas stream to pressures in the range of 2.5 to 10 bar.
  • the speed of the gas when entering the reactor can be kept low, which is for the reasons already mentioned above (avoidance of turbulence and avoidance of undesirable cooling of the silicon rods) is preferred.
  • the monosilane-containing gas stream is passed vertically from bottom to top through the reactor, passing through the superheated surface, particularly the highly heated silicon rods.
  • the gas stream can be deflected downwards, as described in DE 10 201 1 089 695 A1, and exit from the reactor again via the reactor bottom.
  • the gas stream can also be removed from the reactor through an outlet at the upper end of the reactor top.
  • the gas mixture from the reactor via a pipe which is guided through the reactor bottom and far protrudes into the interior of the reactor to dissipate.
  • a reactor design is described in DE 10 2009 003 368 B3.
  • the preparation of the gas stream in step (4) comprises at least one, preferably several, in particular all of the following substeps:
  • the gas stream is cooled
  • the gas stream is passed through a filter
  • the gas stream is mixed with monosilane.
  • Cooling serves to end decomposition reactions in the gas phase as quickly as possible after the gas stream has been removed from the reactor.
  • the temperature of the effluent gas from the reactor may be up to 700 ° C.
  • the gas stream is circulated through a compressor or blower in the circulation system. It has been found to be particularly advantageous to feed the monosilane between this compressor / blower and the inlet to the reactor in the gas stream. The reason for this is that the monosilane addition can significantly increase the density of the gas stream, which can be a potential problem for the compressor / blower. If the concentration of monosilane in the gas stream - based on the direction of flow of the gas stream in the circulation system - fed behind the compressor / blower but before the reactor in the circulation system, the load on the compressor / fan is minimized.
  • the plant according to the invention serves to carry out the method described above. It comprises at least the following components: (1) a circulation system designed to circulate a monosilane-containing gas stream at an operating pressure in the range between 2.5 bar and 10 bar,
  • At least one means for treating the gas stream including means for increasing the concentration of monosilane in the gas stream and
  • suitable reactors including suitable for feeding the monosilane-containing gas stream nozzles (as a means for feeding the gas stream) are mentioned in the context of the description of the method according to the invention.
  • the method of the present invention discloses highly heated silicon rods as the preferred means of choice for providing a highly heated silicon surface, and a preferred means for circulating the gas flow at said operating pressure, namely, the aforementioned compressor or blower.
  • the means for cooling the gas stream discharged from the reactor is preferably at least one heat exchanger.
  • the at least one means for processing the gas stream preferably comprises the above-mentioned filter.
  • the means for increasing the concentration of monosilane in the gas stream may in the simplest case be a connection to a monosilane source, which is coupled via a control valve to the circulation system.
  • the coupling is realized behind the compressor / blower but before the reactor.
  • FIG. 1 Shown in FIG. 1 is a flow chart of an embodiment of a system 100 according to the invention (schematic representation). Via the line 101, a gas mixture of hydrogen and monosilane is fed into the reactor 102. In the reactor, U-shaped silicon rods 103 are arranged. These are heated to a temperature greater than 800 ° C. Monosilane, which comes into contact with the superheated rods, decomposes on their surface to form a layer of metallic silicon.
  • the monosilane-hydrogen mixture flows through the reactor 102 from bottom to top and exits from the reactor at the outlet 104. Via the line 105, the gas mixture is fed to a treatment. First, it is cooled by the heat exchanger 106. Subsequently, it is freed by means of the filter 107 of particulate impurities. In the optional heat exchanger 108, it can be cooled again.
  • the blower 109 serves to circulate the gas mixture through the described components of the system 100. Via the line 1 10, the gas mixture is returned to the reactor 102.
  • a portion of the gas mixture can be diverted after passing through the blower 109 from the line 1 10 and fed via the bypass line 1 13 at point 1 14 in front of the blower 109 again in the cycle.
  • the proportion of the branched gas mixture can be regulated via the valve V3.
  • a proportionate recycling of the gas mixture may be expedient in particular in the initial stage of decomposition. At this stage, it may happen that the fan is operated without the recycling of the gas mixture 109 in underload, because the flow rate at which the gas mixture is circulated in the circulatory system, must still be very low.
  • the line 1 1 1 Of great importance is the line 1 1 1. About this monosilane is fed from a monosilane source in the described circulatory system. A regulation of the monosilane supply can take place via the valve Vi. It is important that the feed of the gas mixture in the flow direction behind the blower 109 takes place. Via the line 1 12, a resulting in the circulation system pressure can be reduced. For this purpose, for example, serve the pressure relief valve V2.
  • the recirculated gas mixture has in relation to the proportion of monosilane in the gas mixture immediately after its supply via the line 1 1 1 a maximum (Ci).
  • concentration of monosilane in the gas mixture after leaving the reactor is significantly lower (CE)
  • the difference between Ci and CE is less than 0.5 mol%.
  • the operating pressure within the described circulatory system is 6 bar.

Abstract

A process is described for decomposing monosilane, where a monosilane-containing gas stream is circulated in a circuit system which comprises a reactor for decomposing the monosilane present in the gas stream. The process feeds the gas stream into the reactor and brings it into contact with a surface heated to high temperature within the reactor. At the surface, some of the monosilane present in the gas stream is decomposed with deposition of a solid silicon layer, and the concentration of the monosilane in the gas stream thus decreases. The gas stream is passed out of the reactor and treated, monosilane being added here to the gas stream. The treated gas stream is then fed back into the reactor. During deposition an operating pressure in the range from 2.5 bar to 10 bar is established within the circuit system. The gas stream enters the reactor here with a velocity below 7.5 m/s. A system is moreover proposed which is suitable for carrying out the process.

Description

Verfahren und Anlage zur Zersetzung von Monosilan  Process and plant for the decomposition of monosilane
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anlage zur Zersetzung von Monosilan zwecks Herstellung von hochreinem Silizium. The present invention relates to a process and a plant for the decomposition of monosilane for the production of high-purity silicon.
Hochreines Silizium wird in der Regel in einem mehrstufigen Prozess ausgehend von metallurgischem Silizium, das in der Regel noch einen relativ hohen Anteil an Verunreinigungen aufweist, hergestellt. Zur Aufreinigung des metallurgischen Siliziums kann dieses beispielsweise in ein Trihalogensilan wie Trichlorsilan (SiHC ) überführt werden, das anschließend thermisch zu hochreinem Silizium zersetzt wird. Eine derartige Vorgehensweise ist beispielsweise aus der DE 29 19 086 A1 bekannt. Alternativ dazu kann man hochreines Silizium auch durch thermische Zersetzung von Monosilan (SiH4) gewinnen, wie es zum Beispiel in der DE 33 1 1 650 A1 beschrieben ist. High purity silicon is usually produced in a multi-stage process starting from metallurgical silicon, which usually still has a relatively high proportion of impurities. For the purification of the metallurgical silicon, this can be converted, for example, into a trihalosilane, such as trichlorosilane (SiHC), which is subsequently decomposed thermally to give highly pure silicon. Such an approach is known for example from DE 29 19 086 A1. Alternatively, one can win high-purity silicon by thermal decomposition of monosilane (SiH 4 ), as described for example in DE 33 1 1 650 A1.
In den letzten Jahren ist die Gewinnung von Reinstsilizium mittels thermischer Zersetzung von Monosilan immer stärker in den Vordergrund getreten. So sind zum Beispiel in der DE 10 201 1 089 695 A1 und in der DE 10 2009 003 368 B3 Reaktoren beschrieben, in die Monosilan einge- düst werden kann und in denen hocherhitzte Silizium-Stäbe angeordnet sind, an denen das Monosilan zersetzt wird. Das dabei anfallende Silizium wird in metallischer Form auf der Oberfläche der Silizium-Stäbe abgeschieden. In recent years, the recovery of ultra-pure silicon by means of thermal decomposition of monosilane has come more and more to the fore. Thus, for example, DE 10 201 1 089 695 A1 and DE 10 2009 003 368 B3 describe reactors in which monosilane can be injected and in which highly heated silicon rods are arranged, at which the monosilane is decomposed. The resulting silicon is deposited in metallic form on the surface of the silicon rods.
Damit sich die Abscheidung besser kontrollieren lässt, ist es üblich, in Reaktoren wie z.B. dem in der DE 10 2009 003 368 B3 beschriebenen kein reines Monosilan einzuspeisen, sondern ein Gemisch aus Monosilan und einem Trägergas wie Wasserstoff. Allerdings muss darauf geachtet werden, dass sich dieses Gasgemisch nicht zu stark erhitzt. Ab einer Temperatur von 400 °C besteht die Gefahr, dass eine Zersetzung des Monosilans bereits in der Gasphase eintritt, was zur verstärkten Bildung unerwünschter Nebenprodukte führen kann. Um dies zu vermeiden, wird die Konzentration an Monosilan in dem Gemisch gewöhnlich sehr niedrig gehalten. In order to better control the deposition, it is common to use in reactors such as e.g. to feed the described in DE 10 2009 003 368 B3 no pure monosilane, but a mixture of monosilane and a carrier gas such as hydrogen. However, care must be taken that this gas mixture does not overheat. From a temperature of 400 ° C, there is a risk that a decomposition of the monosilane already occurs in the gas phase, which can lead to the increased formation of undesired by-products. To avoid this, the concentration of monosilane in the mixture is usually kept very low.
In der Praxis ist die Temperatur des Gasgemischs innerhalb eines Reaktors sehr schwer zu kontrollieren, da innerhalb des Reaktors große Temperaturgefälle bestehen. Diese Probleme werden noch verstärkt, wenn zur Abscheidung größerer Mengen Silizium die in den Reaktor eingespeiste Menge des Gasgemischs erhöht wird. In modernen Reaktoren liegt der angestrebte Durchsatz an monosilanhaltigem Gasgemisch bei gegebenenfalls mehr als 10.000 Nm3 (Normkubikmetern). Bei einem derart hohen Durchsatz kommt es innerhalb des Reaktors leicht zu turbulenten Strömungen, infolge derer ein unerwünscht effizienter Wärmeaustausch zwi- sehen dem Gasgemisch und den hocherhitzten Silizium-Stäben auftritt. Dieser bewirkt zum einen die erwähnte unerwünschte Erhöhung der Temperatur des Gasgemischs. Zum anderen werden die Silizium-Stäbe abgekühlt, was zu einem erhöhten Energieverbrauch führt. In practice, the temperature of the gas mixture within a reactor is very difficult to control because there are large temperature gradients within the reactor. These problems are exacerbated when the amount of gas mixture fed into the reactor is increased to remove larger amounts of silicon. In modern reactors, the desired throughput of monosilane-containing gas mixture is optionally more than 10,000 Nm 3 (standard cubic meters). With such a high throughput, turbulent flows easily occur within the reactor, as a result of which an undesirably efficient heat exchange between see the gas mixture and the highly heated silicon rods occurs. This causes on the one hand, the aforementioned undesirable increase in the temperature of the gas mixture. On the other hand, the silicon rods are cooled, resulting in increased energy consumption.
Diese Nachteile wurden bislang in Kauf genommen, da man mit turbulenten Strömungen durchaus auch positive Effekte verbindet. Es ist gewünscht, dass sich Silizium möglichst gleichmäßig auf allen Bereichen der erwähnten hocherhitzten Silizium-Stäbe abscheidet. Eine Verwirbelung des in die Reaktoren eingespeisten Gasgemischs wird dafür als förderlich angesehen. These disadvantages have so far been accepted, since turbulent flows are also associated with positive effects. It is desired that silicon deposit as evenly as possible on all regions of the mentioned highly heated silicon rods. A turbulence of the fed into the reactors gas mixture is considered to be beneficial.
Der vorliegenden Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur thermischen Zersetzung von Monosilan bereitzustellen, bei dem auch bei einem Durchsatz an monosilanhaltigem Gasgemisch von mehr als 10.000 Nm3 die aus dem Stand der Technik bekannten Probleme nicht oder nur in vergleichsweise geringem Maß auftreten. It is an object of the present invention to provide a process for the thermal decomposition of monosilane in which the problems known from the prior art do not occur or occur only to a comparatively small extent even with a throughput of monosilane-containing gas mixture of more than 10,000 Nm 3 .
Diese Aufgabe wird gelöst durch das Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 . Bevorzugte Merkmale des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den abhängigen Ansprüchen 2 bis 12 angegeben. Darüber hinaus ist auch die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignete Anlage mit den Merkmalen des Anspruchs 13 von der vorliegenden Erfindung umfasst. Ein bevorzugtes Merkmal der erfindungsgemäßen Anlage ist im abhängigen Anspruch 14 angegeben. Der Wortlaut sämtlicher Ansprüche wird hiermit durch Bezugnahme zum Inhalt der vorliegenden Beschreibung gemacht. This object is achieved by the method having the features of claim 1. Preferred features of the method according to the invention are specified in the dependent claims 2 to 12. In addition, the system suitable for carrying out the method according to the invention with the features of claim 13 of the present invention is also included. A preferred feature of the system according to the invention is specified in the dependent claim 14. The wording of all claims is hereby incorporated by reference into the content of the present description.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Zersetzung von Monosilan wird ein monosilanhalti- ger Gasstrom in einem Kreislaufsystem, das einen Reaktor zur Zersetzung des im Gasstrom enthaltenen Monosilans umfasst, zirkuliert. Der Kreislauf umfasst stets die folgenden Einzelschritte: In the process according to the invention for the decomposition of monosilane, a monosilane-containing gas stream is circulated in a circulation system comprising a reactor for decomposing the monosilane contained in the gas stream. The cycle always comprises the following individual steps:
(1 ) In diesem Schritt wird ein monosilanhaltiger Gasstrom in den Reaktor eingespeist. Bei dem Gasstrom handelt es sich in Analogie zu eingangs erwähntem Stand der Technik bevorzugt um ein Gasgemisch aus einem Trägergas und Monosilan. Als Trägergas kommt besonders bevorzugt Wasserstoff zum Einsatz. (1) In this step, a monosilane-containing gas stream is fed to the reactor. The gas stream is analogous to the prior art mentioned at the beginning preferably a gas mixture of a carrier gas and monosilane. The carrier gas used is particularly preferably hydrogen.
Als Reaktor eignen sich grundsätzlich die in der DE 10 201 1 089 695 A1 und die in der DE 10 2009 003 368 B3 beschriebenen Reaktoren. Auf Eigenschaften besonders geeigneter Reaktoren wird noch detaillierter eingegangen. (2) In diesem Schritt wird der Gasstrom mit einer hocherhitzten Oberfläche innerhalb des Reaktors in Kontakt gebracht. An dieser Oberfläche zersetzt sich ein Teil des im Gasstrom enthaltenen Monosilans. Die Konzentration an Monosilan im Gasstrom fällt dabei ab. In Folge der Zersetzung scheidet sich eine feste Siliziumschicht auf der hocherhitzte Oberfläche ab. Bei dieser Schicht handelt es sich um das gewünschte Verfahrensprodukt. Suitable reactors are in principle the reactors described in DE 10 201 1 089 695 A1 and in DE 10 2009 003 368 B3. On properties of particularly suitable reactors will be discussed in more detail. (2) In this step, the gas stream is contacted with a highly heated surface within the reactor. At this surface, a part of the monosilane contained in the gas stream decomposes. The concentration of monosilane in the gas stream falls off. As a result of the decomposition, a solid silicon layer separates on the highly heated surface. This layer is the desired process product.
(3) In diesem Schritt wird der Gasstrom aus dem Reaktor abgeführt. Der aus dem Reaktor abgeführte Gasstrom weist eine deutlich niedrigere Konzentration an Monosilan auf als der in den Reaktor eingespeiste Gasstrom. Darüber hinaus weist der Gasstrom eine deutlich höhere Temperatur auf als im Moment seiner Einspeisung in den Reaktor. (3) In this step, the gas stream is discharged from the reactor. The gas stream discharged from the reactor has a significantly lower concentration of monosilane than the gas stream fed into the reactor. In addition, the gas flow at a significantly higher temperature than at the moment of its injection into the reactor.
(4) In diesem Schritt wird der aus dem Reaktor abgeführte Gasstrom aufbereitet. Der Pro- zess der Aufbereitung umfasst insbesondere ein mindestens teilweises Ausgleichen, vorzugsweise ein vollständiges Ausgleichen, des in Folge der Zersetzung auftretenden Abfalls der Mo- nosilan-Konzentration. Dies erfolgt durch entsprechende Zugabe von Monosilan. Darüber hinaus kann die Aufbereitung des Gasstroms in bevorzugten Ausführungsformen zusätzlich Reini- gungs- und Kühlschritte umfassen. (4) In this step, the gas stream discharged from the reactor is treated. The treatment process comprises, in particular, at least partial equalization, preferably complete equalization, of the decrease in the monosilane concentration which occurs as a result of the decomposition. This is done by appropriate addition of monosilane. In addition, the treatment of the gas stream in preferred embodiments may additionally comprise cleaning and cooling steps.
(5) In diesem Schritt wird der aus Schritt (4) resultierende Gasstrom in den Reaktor wieder eingespeist. Der Kreislauf schließt sich hier. (5) In this step, the gas stream resulting from step (4) is fed back to the reactor. The cycle closes here.
Besonders bevorzugt wird während der Abscheidung innerhalb des Kreislaufsystems ein Betriebsdruck im Bereich von 2,5 bar bis 10 bar (absolut) eingestellt. Innerhalb dieses Bereiches sind Werte im Bereich von 3 bar bis 10 bar (absolut), insbesondere von 4 bar bis 8 bar (absolut), besonders bevorzugt von 4 bar bis 7 bar (absolut), weiter bevorzugt. Particularly preferably, an operating pressure in the range of 2.5 bar to 10 bar (absolute) is set during the separation within the circulatory system. Within this range, values in the range from 3 bar to 10 bar (absolute), in particular from 4 bar to 8 bar (absolute), more preferably from 4 bar to 7 bar (absolute), are more preferred.
Gleichzeitig wird dafür Sorge getragen, dass innerhalb des Reaktors keine turbulenten Strömungen auftreten. Dies wird dadurch gewährleistet, dass der Gasstrom mit einer Geschwindigkeit kleiner 7,5 m/s, bevorzugt kleiner 5 m/s, besonders bevorzugt kleiner 2,5 m/s, in den Reaktor eintritt. Innerhalb des Kreislaufsystems ist der Betriebsdruck bevorzugt im Wesentlichen konstant. Druckschwankungen innerhalb des Kreislaufsystems sind zwar nicht völlig vermeidbar, allerdings meist sehr klein. At the same time, care is taken to ensure that no turbulent flows occur within the reactor. This is ensured by the gas stream entering the reactor at a rate of less than 7.5 m / s, preferably less than 5 m / s, more preferably less than 2.5 m / s. Within the circulatory system, the operating pressure is preferably substantially constant. Pressure fluctuations within the circulatory system are not completely avoidable, but usually very small.
Zur Inbetriebnahme des Reaktors wird das Kreislaufsystem in aller Regel erst mit Stickstoff gespült und anschließend mit Wasserstoff gefüllt, bis der gewünschte Betriebsdruck erreicht ist. Zur Zirkulation des Wasserstoffs innerhalb des Kreislaufsystems wird in aller Regel ein Verdichter oder ein Gebläse benötigt. Es ist bevorzugt, dass die Konzentration an Monosilan im gemäß Schritt (1 ) in den Reaktor einzuspeisenden Gasstrom während der Abscheidung in einem Bereich zwischen 0,5 Vol.-% und 5 Vol.-%, bevorzugt zwischen 0,5 Vol.-% und 3 Vol.-%, gehalten wird. To start up the reactor, the circulation system is usually purged first with nitrogen and then filled with hydrogen until the desired operating pressure is reached. For the circulation of hydrogen within the circulatory system, a compressor or a blower is usually required. It is preferred that the concentration of monosilane in the gas stream to be fed into the reactor according to step (1) during the deposition in a range between 0.5 vol.% And 5 vol.%, Preferably between 0.5 vol. and 3% by volume.
Grundsätzlich ist man bestrebt, die Konzentration an Monosilan im Reaktor niedrig zu halten. Zersetzungsreaktionen sollten nicht in der Gasphase erfolgen, sondern an der hocherhitzten Oberfläche. Ansonsten erhält man, wie eingangs erwähnt, unerwünschte, in der Regel staubförmige Nebenprodukte. In der Gasphase sollten möglichst wenige Zusammenstöße zwischen Silanmolekülen (untereinander), Zersetzungsprodukten (untereinander) sowie zwischen Silan- molekülen und Zersetzungsprodukten erfolgen. Durch den hohen Betriebsdruck wird die Bildung der Nebenprodukte überraschenderweise zurückgedrängt, ohne dies mit geringen Ab- scheidungsraten erkaufen zu müssen. In principle, the aim is to keep the concentration of monosilane in the reactor low. Decomposition reactions should not take place in the gas phase, but on the highly heated surface. Otherwise you get, as mentioned above, unwanted, usually dusty by-products. In the gas phase, as few collisions as possible should occur between silane molecules (among themselves), decomposition products (among themselves) and between silane molecules and decomposition products. Due to the high operating pressure, the formation of the by-products is surprisingly suppressed, without having to purchase this at low deposition rates.
Vorzugsweise wird die Konzentration an Monosilan im Gasstrom in Schritt (4) um nicht mehr als 1 Vol.-%, bevorzugt um nicht mehr als 0,5 Vol.-%, besonders bevorzugt um nicht mehr als 0,25 Vol.-%, angehoben. Durch diese Maßnahme wird die Bildung der staubförmigen Nebenprodukte noch weiter zurückgedrängt. Preferably, the concentration of monosilane in the gas stream in step (4) is not more than 1% by volume, preferably not more than 0.5% by volume, more preferably not more than 0.25% by volume, raised. By this measure, the formation of the dust-like by-products is further suppressed.
Besonders bevorzugt wird mit steigender Dicke der Siliziumschicht auf der Oberfläche die Menge an Monosilan des gemäß Schritt (1 ) in den Reaktor eingespeisten Gasstroms pro Zeiteinheit (und damit die pro Zeiteinheit in den Reaktor eingespeiste Masse an Monosilan) graduell erhöht. Oder mit anderen Worten, der Massenstrom des in den Reaktor eingespeisten Mono- silans wird erhöht. With increasing thickness of the silicon layer on the surface, the amount of monosilane of the gas stream fed into the reactor in accordance with step (1) per unit time (and thus the mass of monosilane fed into the reactor per unit time) is particularly preferably gradually increased. In other words, the mass flow of the monosilane fed into the reactor is increased.
Hierzu wird besonders bevorzugt die Konzentration an Monosilan im Gasstrom in Schritt (4) graduell angehoben. Der in Folge der Zersetzung auftretende Abfall der Monosilan- Konzentration wird in dieser Ausführungsform graduell kompensiert oder überkompensiert. Die Volumenkonzentration an Monosilan im Gasstrom steigt also etwas an. Die oben definierten bevorzugten Konzentrationsgrenzwerte für die Konzentration an Monosilan im Gasstrom sind in bevorzugten Ausführungsformen zu beachten. Die Anhebung der Konzentration erfolgt bevorzugt stetig oder in mehreren aufeinanderfolgenden Schritten. For this purpose, the concentration of monosilane in the gas stream is particularly preferably gradually increased in step (4). The drop in monosilane concentration due to decomposition is gradually compensated or overcompensated in this embodiment. The volume concentration of monosilane in the gas stream thus increases slightly. The preferred concentration limits defined above for the concentration of monosilane in the gas stream are to be observed in preferred embodiments. The increase in concentration preferably takes place continuously or in several successive steps.
Alternativ oder zusätzlich zu dieser besonders bevorzugten Ausführungsform kann zur Erhöhung des Massenstroms des in den Reaktor eingespeisten Monosilans auch die Strömungsgeschwindigkeit, mit der der monosilanhaltige Gasstrom in dem Kreislaufsystem zirkuliert, erhöht werden, insbesondere mittels des erwähnten Verdichters oder Gebläses. Die oben definierten bevorzugten Grenzwerte für die Geschwindigkeit, mit der der Gasstrom in den Reaktor eintritt, sind in zu beachten. Alternatively or in addition to this particularly preferred embodiment, in order to increase the mass flow of the monosilane fed into the reactor, the flow rate at which the monosilane-containing gas stream circulates in the circulation system can also be increased, in particular by means of the mentioned compressor or blower. The above defined preferred limits for the speed at which the gas stream enters the reactor are to be noted in.
In der Praxis hat sich eine Kombination der beiden bevorzugten Maßnahmen als vorteilhaft erwiesen. Bevorzugt wird im laufenden Betrieb die Strömungsgeschwindigkeit, mit der der mono- silanhaltige Gasstrom in dem Kreislaufsystem zirkuliert, nach und nach erhöht. Damit im Reaktor keine Turbulenzen erzeugt werden und damit der Wärmeaustausch zwischen der hocherhitzten Oberfläche in dem Reaktor und dem Gasstrom nicht zu groß wird, sollte die Strömungsgeschwindigkeit aber nicht zu hoch eingestellt werden. Deshalb wird meist ergänzend die Konzentration an Monosilan im Gasstrom nach und nach angehoben. In practice, a combination of the two preferred measures has proved to be advantageous. During operation, the flow rate at which the monosilane-containing gas stream circulates in the circulation system is preferably increased gradually. However, in order not to generate turbulence in the reactor, and thus the heat exchange between the superheated surface in the reactor and the gas flow does not become too large, the flow rate should not be set too high. Therefore, in most cases, the concentration of monosilane in the gas stream is gradually increased.
In aller Regel vergrößert sich mit fortschreitender Betriebsdauer und zunehmender Dicke der Siliziumschicht auch die hocherhitzte Oberfläche innerhalb des Reaktors, an der sich Monosilan zersetzen kann. Wird die Masse an Monosilan, die pro Zeiteinheit in den Reaktor eingespeist wird, nicht gesteigert, so erhöht sich die Dicke der abgeschiedenen Siliziumschicht immer langsamer. Dem wird durch die beschriebenen Maßnahmen entgegengewirkt. Die Wachstumsrate der abgeschiedenen Siliziumschicht wird dabei ausschließlich über die Masse des in den Reaktor eingespeisten Monosilans gesteuert. As a rule, with increasing operating time and increasing thickness of the silicon layer, the highly heated surface within the reactor, at which monosilane can decompose, also increases. If the mass of monosilane which is fed into the reactor per unit time is not increased, the thickness of the deposited silicon layer increases more and more slowly. This is counteracted by the measures described. The growth rate of the deposited silicon layer is controlled exclusively by the mass of the monosilane fed into the reactor.
Alternativ zu den beschriebenen bevorzugten Maßnahmen wäre es auch denkbar, zur Erhöhung der in den Reaktor pro Zeiteinheit eingespeisten Masse an Monosilan den Betriebsdruck anzuheben. In den meisten Fällen ist die bevorzugte Anhebung der Monosilan-Konzentration jedoch die geeignetere Verfahrensvariante. As an alternative to the preferred measures described, it would also be conceivable to increase the operating pressure to increase the mass of monosilane fed into the reactor per unit of time. In most cases, however, the preferred increase in monosilane concentration is the more appropriate process variant.
Es wurde bereits kurz erwähnt, dass Druckschwankungen innerhalb des Kreislaufsystems meist nicht völlig vermeidbar sind. In aller Regel weichen maximale und minimale Drücke innerhalb des Kreislaufsystems aber um nicht mehr als 500 mbar, bevorzugt um nicht mehr als 300 mbar, voneinander ab. Abweichungen von weniger als 200 mbar, besonders bevorzugt sogar von weniger als 100 mbar, sind noch weiter bevorzugt. Geringe Schwankungen können beispielsweise am Reaktoreingang und am Reaktorausgang auftreten. Die größte Druckdifferenz stellt sich jedoch meist am Verdichter oder Gebläse ein. It has already been briefly mentioned that pressure fluctuations within the circulatory system are usually not completely avoidable. As a rule, maximum and minimum pressures within the circulatory system do not differ by more than 500 mbar, preferably by not more than 300 mbar. Deviations of less than 200 mbar, more preferably even less than 100 mbar, are even more preferred. Small fluctuations can occur, for example, at the reactor inlet and at the reactor outlet. However, the greatest pressure difference usually occurs at the compressor or blower.
Zu einer Anhebung des Betriebsdrucks kann es während des laufenden Betriebs in Folge der im Reaktor stattfindenden Zersetzung (aus einem Mol Monosilan werden 2 Mol Wasserstoff gebildet) kommen. Zum anderen wird der Betriebsdruck durch die Monosilan-Zugabe erhöht. In bevorzugten Ausführungsformen erfolgt daher in regelmäßigen oder unregelmäßigen Zeitabständen oder kontinuierlich ein Druckausgleich, indem Gas aus dem Kreislaufsystem abgelas- sen wird. Dieser Druckausgleich kann beispielsweise mittels eines Überdruckventils geregelt werden. An increase in the operating pressure may occur during operation as a result of the decomposition taking place in the reactor (2 moles of hydrogen are formed from one mole of monosilane). On the other hand, the operating pressure is increased by the monosilane addition. In preferred embodiments, therefore, pressure equalization takes place at regular or irregular time intervals or continuously, by removing gas from the circulatory system. will be. This pressure compensation can be regulated for example by means of a pressure relief valve.
Es ist bevorzugt, dass die Temperatur des Gasstroms, der in Schritt (1 ) und in Schritt (5) in den Reaktor eingespeist wird, auf einen Wert im Bereich von 25 °C bis 75 °C, insbesondere im Bereich von 40 °C bis 60 °C, eingestellt wird. Beim Abführen des Gasstroms aus dem Reaktor liegt dessen Temperatur in der Regel im Bereich von 400 °C bis 700 °C, insbesondere im Bereich von 500 °C bis 600 °C. It is preferred that the temperature of the gas stream fed into the reactor in step (1) and step (5) is set to a value in the range of 25 ° C to 75 ° C, especially in the range of 40 ° C to 60 ° C, is set. When removing the gas stream from the reactor whose temperature is generally in the range of 400 ° C to 700 ° C, in particular in the range of 500 ° C to 600 ° C.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens sind nicht nur Reaktoren wie die in der DE 10 201 1 089 695 A1 und die in der DE 10 2009 003 368 B3 beschriebenen geeignet. Vielmehr ist es auch möglich, dass als Reaktor ein Wirbelschichtreaktor zum Einsatz kommt, bei dem die hocherhitzte Oberfläche mittels hocherhitzter Silizium-Partikel in einer Wirbelschicht bereitgestellt wird. Besonders bevorzugt erfolgt die Zersetzung des Monosilans jedoch an hocherhitzten Silizium-Stäben. Not only reactors such as those described in DE 10 201 1 089 695 A1 and those described in DE 10 2009 003 368 B3 are suitable for carrying out the process according to the invention. Rather, it is also possible that the reactor is a fluidized bed reactor is used, in which the highly heated surface is provided by means of highly heated silicon particles in a fluidized bed. However, the decomposition of the monosilane is particularly preferably carried out on highly heated silicon rods.
Wie bereits angesprochen, wird die Wachstumsrate der abgeschiedenen Siliziumschicht bevorzugt über die Masse des in den Gasstrom eingespeisten Monosilans gesteuert. Mit fortschreitender Betriebsdauer und zunehmender Dicke der Siliziumschicht wird die Masse an Monosilan, die pro Zeiteinheit in den Reaktor eingespeist wird, erhöht. As already mentioned, the growth rate of the deposited silicon layer is preferably controlled by the mass of the monosilane fed into the gas stream. With increasing operating time and increasing thickness of the silicon layer, the mass of monosilane, which is fed per unit time in the reactor, increased.
Bevorzugt wird die Masse an Monosilan in dem gemäß Schritt (1 ) bzw. (5) in den Reaktor einzuspeisenden Gasstrom proportional zum Anstieg der Größe der hocherhitzten Oberfläche erhöht. Preferably, the mass of monosilane in the gas stream to be fed into the reactor according to step (1) or (5) is increased in proportion to the increase in the size of the superheated surface.
Besonders bevorzugt ist die hocherhitzte Silizium-Oberfläche auf eine Temperatur zwischen 800 °C und 1000 °C, besonders bevorzugt auf eine Temperatur von ca. 900 °C, eingestellt. Particularly preferably, the highly heated silicon surface is adjusted to a temperature between 800 ° C and 1000 ° C, more preferably to a temperature of about 900 ° C.
In bevorzugten Ausführungsformen wird in dem aus dem Reaktor abgeführten Gasstrom die Konzentration an Monosilan durch eine Messung bestimmt. Gegebenenfalls wird zusätzlich am Reaktoreingang die Konzentration an Monosilan in dem in den Reaktor einzuspeisenden Gasstrom bestimmt. In Abhängigkeit des oder der Messergebnisse können dann die Mono- silan-Zugabe in Schritt (4) und damit die Konzentration an Monosilan in dem gemäß Schritt (1 ) bzw. (5) in den Reaktor einzuspeisenden Gasstrom sowie letztendlich auch die Masse des pro Zeiteinheit in den Reaktor eingespeisten Monosilans sowie gegebenenfalls die graduelle Erhöhung dieser Masse mit fortschreitender Betriebsdauer gesteuert oder geregelt werden. In weiteren bevorzugten Ausführungsformen werden die Dicke der auf der hocherhitzten Oberfläche abgeschiedenen Siliziumschicht rechnerisch oder durch eine Messung bestimmt und - in Abhängigkeit des Messergebnisses - die Monosilan-Zugabe in Schritt (4) und damit die Konzentration an Monosilan in dem gemäß Schritt (1 ) bzw. (5) in den Reaktor einzuspeisenden Gasstrom sowie letztendlich auch die Masse des pro Zeiteinheit in den Reaktor eingespeisten Monosilans sowie gegebenenfalls die graduelle Erhöhung dieser Masse mit fortschreitender Betriebsdauer gesteuert oder geregelt. In preferred embodiments, the concentration of monosilane is determined by measurement in the gas stream discharged from the reactor. If appropriate, the concentration of monosilane in the gas stream to be fed into the reactor is additionally determined at the reactor inlet. Depending on the measurement results or the monosilane addition in step (4) and thus the concentration of monosilane in the according to step (1) or (5) fed into the reactor gas stream and ultimately the mass of the per unit time Monosilane fed into the reactor and, if appropriate, the gradual increase of this mass can be controlled or regulated as the operating time progresses. In further preferred embodiments, the thickness of the silicon layer deposited on the superheated surface is determined mathematically or by measurement and, depending on the measurement result, the monosilane addition in step (4) and thus the concentration of monosilane in step (1) or (1) (5) the gas stream to be fed into the reactor and finally also the mass of the monosilane fed into the reactor per unit time and optionally the gradual increase of this mass as the operating time progresses.
Die Dicke der Siliziumschicht kann beispielsweise durch eine optische Messung bestimmt werden. Bevorzugt wird allerdings die Änderung des elektrischen Widerstands der Silizium-Stäbe verfolgt. Alternativ können auch über die Betriebsdauer die Änderung der Monosilan- Konzentration im Reaktor verfolgt werden (bevorzugt kontinuierliche Bestimmung der Mono- silan-Konzentration am Reaktoreingang und am Reaktorausgang) und hieraus (unter Kenntnis des durch den Reaktor geführten Gasvolumens) die Zunahme der Dicke der Siliziumschicht rechnerisch bestimmt werden. The thickness of the silicon layer can be determined, for example, by an optical measurement. Preferably, however, the change in the electrical resistance of the silicon rods is tracked. Alternatively, the change in the monosilane concentration in the reactor can also be monitored over the operating period (preferably continuous determination of the monosilane concentration at the reactor inlet and at the reactor outlet) and from this (knowing the volume of gas passed through the reactor) the increase in the thickness of the silicon layer be determined by calculation.
Alternativ kann auch die Masse an Monosilan, die in das Kreislaufsystem eingespeist wird, er- fasst werden. Da aus Erfahrungswerten bekannt ist, zu welchem Anteil das eingespeiste Monosilan zu metallischem Silizium umgesetzt wird, lässt sich hieraus die Dickenänderung errechnen. Alternatively, the mass of monosilane which is fed into the circulatory system can also be detected. Since it is known from experience to what extent the fed monosilane is converted to metallic silicon, the change in thickness can be calculated from this.
Besonders bevorzugt werden im Rahmen eines erfindungsgemäßen Verfahrens Reaktoren eingesetzt, die sich durch mindestens eines der folgenden Merkmale auszeichnen: Reactors which are distinguished by at least one of the following features are particularly preferably used in the context of a process according to the invention:
Bevorzugt umfassen die Reaktoren einen Reaktorboden und ein darauf montiertes Reaktoroberteil, die zusammen einen Reaktorinnenraum einschließen, in dem die oben erwähnten hocherhitzten Silizium-Stäbe angeordnet werden können. Zur Anordnung der Silizium-Stäbe innerhalb des Reaktors sind Halterungen vorgesehen, die in den Reaktorboden integriert sind oder in oder auf dem Reaktorboden angeordnet sind. Preferably, the reactors comprise a reactor bottom and a reactor top mounted thereon, which together include a reactor interior in which the above-mentioned highly heated silicon rods can be placed. For the arrangement of the silicon rods within the reactor supports are provided, which are integrated in the reactor bottom or are arranged in or on the reactor bottom.
Innerhalb der Reaktoren sind die Silizium-Stäbe bevorzugt vertikal zum Reaktorboden ausgerichtet und weisen in bevorzugten Ausführungsformen innerhalb des Reaktorinnenraums senkrecht nach oben. Within the reactors, the silicon rods are preferably aligned vertically to the reactor bottom and, in preferred embodiments, are vertically upwardly within the interior of the reactor.
Die Silizium-Stäbe sind weisen jeweils zwei freie Enden auf, wobei jedem dieser Enden eine der Halterungen zugeordnet ist. Bevorzugt weisen sie z.B. eine U-Form auf. Die in der DE 10 201 1 089 695 A1 und die in der DE 10 2009 003 368 B3 beschriebenen Reaktoren erfüllen diese Merkmale. The silicon rods each have two free ends, one of the holders being associated with each of these ends. For example, they preferably have a U-shape. The reactors described in DE 10 201 1 089 695 A1 and in DE 10 2009 003 368 B3 fulfill these features.
Der monosilanhaltige Gasstrom wird bevorzugt über Einlassdüsen in den Reaktor eingespeist. Diese Düsen sind vorzugsweise in den erwähnten Reaktorboden integriert oder auf dem Reaktorboden oder oberhalb des Reaktorbodens in dem Reaktorinnenraum angeordnet. The monosilane-containing gas stream is preferably fed via inlet nozzles into the reactor. These nozzles are preferably integrated in the mentioned reactor bottom or arranged on the reactor bottom or above the reactor bottom in the reactor interior.
Es ist bevorzugt, dass der Gasstrom aus diesen Einlassdüsen mit der erwähnten Geschwindigkeit kleiner 7,5 m/s, bevorzugt kleiner 5 m/s, besonders bevorzugt kleiner 2,5 m/s, austritt. Um zu gewährleisten, dass auch bei hohen Durchsätzen diese Strömungsgeschwindigkeiten eingehalten werden können, wird die Anzahl der Düsen gegebenenfalls sehr hoch gewählt. Ein weiterer Parameter, der auf die Strömungsgeschwindigkeit Einfluss nehmen kann, ist der Durchmesser der Öffnung, durch die der Gasstrom aus der Düse austritt. Bevorzugt handelt es sich bei der Öffnung um eine kreisrunde Öffnung. Der Durchmesser der Öffnung liegt vorzugsweise im Bereich von 10 mm bis 80 mm, insbesondere im Bereich von 20 mm bis 60 mm. It is preferred that the gas flow from these inlet nozzles at the mentioned speed less than 7.5 m / s, preferably less than 5 m / s, particularly preferably less than 2.5 m / s, emerges. To ensure that even at high flow rates, these flow rates can be met, the number of nozzles is optionally very high. Another parameter that can affect the flow rate is the diameter of the opening through which the gas stream exits the nozzle. Preferably, the opening is a circular opening. The diameter of the opening is preferably in the range of 10 mm to 80 mm, in particular in the range of 20 mm to 60 mm.
In einem Reaktor kann gegebenenfalls eine dreistellige Anzahl an Düsen angeordnet sein. Bevorzugt weisen im Rahmen der vorliegenden Erfindung einsetzbare Reaktoren zwischen 50 und 500 Düsen auf, besonders bevorzugt zwischen 100 und 300 Düsen. Die Dimensionen des erfindungsgemäßen Reaktors und/oder die Anzahl der Düsen und/oder der Durchmesser der Öffnungen sind bevorzugt auf einen Betriebsvolumenstrom zwischen 500 m3 und 25.000 m3, bevorzugt zwischen 10.000 m3 und 25.000 m3 an monosilanhaltigem Gas pro Stunde abgestimmt (die Zahlenangaben beziehen sich auf Volumina bei 1 ,01325 bar und 323 K). Die tatsächlich einzuspeisenden Volumina sind aufgrund der oben erwähnten Komprimierung des Gasstroms auf Drücke im Bereich von 2,5 bis 10 bar geringer. Damit kann die Geschwindigkeit des Gases beim Eintritt in den Reaktor gering gehalten werden, was aus den oben bereits erwähnten Gründen (Vermeidung von Turbulenzen sowie Vermeidung einer unerwünschten Abkühlung der Silizium-Stäbe) bevorzugt ist. Optionally, a three-digit number of nozzles can be arranged in a reactor. In the context of the present invention, reactors which can be used preferably have between 50 and 500 nozzles, more preferably between 100 and 300 nozzles. The dimensions of the reactor according to the invention and / or the number of nozzles and / or the diameter of the openings are preferably adjusted to an operating volume flow between 500 m 3 and 25,000 m 3 , preferably between 10,000 m 3 and 25,000 m 3 of monosilane-containing gas per hour (the Figures refer to volumes at 1, 01325 bar and 323 K). The actual volumes to be fed are lower due to the above-mentioned compression of the gas stream to pressures in the range of 2.5 to 10 bar. Thus, the speed of the gas when entering the reactor can be kept low, which is for the reasons already mentioned above (avoidance of turbulence and avoidance of undesirable cooling of the silicon rods) is preferred.
In nahezu sämtlichen bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wird der monosilanhaltige Gasstrom vertikal von unten nach oben durch den Reaktor geführt und passiert dabei die hocherhitzte Oberfläche, insbesondere die hocherhitzten Silizium-Stäbe. Am oberen Ende des Reaktors kann der Gasstrom nach unten umgelenkt werden, wie dies in der DE 10 201 1 089 695 A1 beschrieben ist, und über den Reaktorboden wieder aus dem Reaktor austreten. Alternativ kann der Gasstrom auch durch einen Auslass am oberen Ende des Reaktoroberteils aus dem Reaktor abgeführt werden. Darüber hinaus ist es natürlich möglich, das Gasgemisch aus dem Reaktor über ein Rohr, das durch den Reaktorboden geführt ist und weit in den Innenraum des Reaktors hineinragt, abzuführen. Ein solches Reaktordesign ist in der DE 10 2009 003 368 B3 beschrieben. In almost all preferred embodiments of the present invention, the monosilane-containing gas stream is passed vertically from bottom to top through the reactor, passing through the superheated surface, particularly the highly heated silicon rods. At the upper end of the reactor, the gas stream can be deflected downwards, as described in DE 10 201 1 089 695 A1, and exit from the reactor again via the reactor bottom. Alternatively, the gas stream can also be removed from the reactor through an outlet at the upper end of the reactor top. In addition, it is of course possible, the gas mixture from the reactor via a pipe which is guided through the reactor bottom and far protrudes into the interior of the reactor to dissipate. Such a reactor design is described in DE 10 2009 003 368 B3.
All diese Ausführungsformen bieten den Vorteil, dass Verwirbelungen im Bereich der hocherhitzten Oberfläche minimiert werden. All of these embodiments offer the advantage of minimizing turbulence in the area of the highly heated surface.
Das Aufbereiten des Gasstroms in Schritt (4) umfasst mindestens einen, bevorzugt mehrere, insbesondere alle der folgenden Teilschritte: The preparation of the gas stream in step (4) comprises at least one, preferably several, in particular all of the following substeps:
Der Gasstrom wird abgekühlt The gas stream is cooled
Der Gasstrom wird durch einen Filter geführt The gas stream is passed through a filter
Der Gasstrom wird mit Monosilan versetzt. The gas stream is mixed with monosilane.
Das Abkühlen dient dazu, möglichst schnell Zersetzungsreaktionen in der Gasphase zu beenden, nachdem der Gasstrom aus dem Reaktor abgeführt wurde. Wie oben erwähnt, kann die Temperatur des aus dem Reaktor ausströmenden Gases in bevorzugten Ausführungsformen bis zu 700 °C betragen. Cooling serves to end decomposition reactions in the gas phase as quickly as possible after the gas stream has been removed from the reactor. As noted above, in preferred embodiments, the temperature of the effluent gas from the reactor may be up to 700 ° C.
Gegebenenfalls werden staubförmige Nebenprodukte, die durch Zerfallsreaktionen in der Gasphase gebildet wurden, mit dem Gasstrom aus dem Reaktor geschleppt. Diese müssen natürlich abgetrennt werden. Vor allem hierzu dient der genannte Filter. Optionally, dust-like by-products formed by gaseous phase disintegration reactions are dragged out of the reactor with the gas stream. Of course, these have to be separated. Above all, the aforementioned filter is used.
Wie oben angesprochen, wird der Gasstrom durch einen Verdichter oder durch ein Gebläse in dem Kreislaufsystem zirkuliert. Es hat sich als besonders vorteilhaft herausgestellt, das Monosilan zwischen diesem Verdichter / Gebläse und dem Eingang in den Reaktor in den Gasstrom einzuspeisen. Der Grund dafür liegt darin, dass sich durch die Monosilan-Zugabe die Dichte des Gasstromes signifikant erhöhen kann, was für den Verdichter / das Gebläse ein potentielles Problem darstellen kann. Wird die Konzentration an Monosilan im Gasstrom - bezogen auf die Strömungsrichtung des Gasstroms in dem Kreislaufsystem - hinter dem Verdichter / Gebläse aber vor dem Reaktor in das Kreislaufsystem eingespeist, so ist die Belastung des Verdichters / Gebläses minimiert. As mentioned above, the gas stream is circulated through a compressor or blower in the circulation system. It has been found to be particularly advantageous to feed the monosilane between this compressor / blower and the inlet to the reactor in the gas stream. The reason for this is that the monosilane addition can significantly increase the density of the gas stream, which can be a potential problem for the compressor / blower. If the concentration of monosilane in the gas stream - based on the direction of flow of the gas stream in the circulation system - fed behind the compressor / blower but before the reactor in the circulation system, the load on the compressor / fan is minimized.
Die erfindungsgemäße Anlage dient zur Durchführung des oben beschriebenen Verfahrens. Sie umfasst mindestens die folgenden Komponenten: (1 ) ein Kreislaufsystem, das darauf ausgelegt ist, dass in ihm ein monosilanhaltiger Gasstrom bei einem Betriebsdruck im Bereich zwischen 2,5 bar und 10 bar zirkulierbar ist, The plant according to the invention serves to carry out the method described above. It comprises at least the following components: (1) a circulation system designed to circulate a monosilane-containing gas stream at an operating pressure in the range between 2.5 bar and 10 bar,
(2) einen Reaktor, der Teil des Kreislaufsystems ist und der ein Mittel zum Einspeisen des monosilanhaltigen Gasstroms in den Reaktor sowie einen Auslass zum Abführen des Gasstroms aus dem Reaktor aufweist, (2) a reactor which is part of the circulatory system and which has a means for feeding the monosilane-containing gas stream into the reactor and an outlet for removing the gas stream from the reactor,
(3) ein Mittel zur Bereitstellung einer hocherhitzten Silizium-Oberfläche innerhalb des Reaktors, (3) means for providing a superheated silicon surface within the reactor,
(4) ein Mittel zum Abkühlen des aus dem Reaktor abgeführten Gasstroms, (4) a means for cooling the gas stream discharged from the reactor,
(5) mindestens ein Mittel zum Aufbereiten des Gasstroms, einschließlich einem Mittel zum Erhöhen der Konzentration an Monosilan im Gasstrom und (5) at least one means for treating the gas stream, including means for increasing the concentration of monosilane in the gas stream and
(6) ein Mittel zum Zirkulieren des Gasstroms bei dem genannten Betriebsdruck. (6) means for circulating the gas flow at said operating pressure.
Für die erfindungsgemäße Anlage geeignete Reaktoren einschließlich zum Einspeisen des monosilanhaltigen Gasstroms geeignete Düsen (als Mittel zum Einspeisen des Gasstroms) sind im Rahmen der Beschreibung des erfindungsgemäßen Verfahrens erwähnt. Darüber hinaus offenbart das erfindungsgemäße Verfahren hocherhitzte Silizium-Stäbe als bevorzugtes Mittel der Wahl zur Bereitstellung einer hocherhitzten Silizium-Oberfläche sowie ein bevorzugtes Mittel zum Zirkulieren des Gasstroms bei dem genannten Betriebsdruck, nämlich den erwähnten Verdichter oder das Gebläse. For the plant according to the invention suitable reactors including suitable for feeding the monosilane-containing gas stream nozzles (as a means for feeding the gas stream) are mentioned in the context of the description of the method according to the invention. In addition, the method of the present invention discloses highly heated silicon rods as the preferred means of choice for providing a highly heated silicon surface, and a preferred means for circulating the gas flow at said operating pressure, namely, the aforementioned compressor or blower.
Bei dem Mittel zum Abkühlen des aus dem Reaktor abgeführten Gasstroms handelt es sich bevorzugt um mindestens einen Wärmetauscher. Das mindestens eine Mittel zum Aufbereiten des Gasstroms umfasst bevorzugt den oben genannten Filter. The means for cooling the gas stream discharged from the reactor is preferably at least one heat exchanger. The at least one means for processing the gas stream preferably comprises the above-mentioned filter.
Bei dem Mittel zum Erhöhen der Konzentration an Monosilan im Gasstrom kann es sich im einfachsten Fall um eine Verbindung zu einer Monosilan-Quelle handelt, die über ein Regelventil mit dem Kreislaufsystem gekoppelt ist. In Übereinstimmung mit den obigen Ausführungen ist die Kopplung hinter dem Verdichter / Gebläse aber vor dem Reaktor realisiert. The means for increasing the concentration of monosilane in the gas stream may in the simplest case be a connection to a monosilane source, which is coupled via a control valve to the circulation system. In accordance with the above, the coupling is realized behind the compressor / blower but before the reactor.
Weitere Merkmale der Erfindung sowie aus der Erfindung resultierende Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der Zeichnung. Diese dient lediglich zur Erläuterung und zum besseren Verständnis der Erfindung und ist in keiner Weise einschränkend zu verstehen. Dargestellt ist in Fig. 1 ein Fließbild einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Anlage 100 (schematische Darstellung). Über die Leitung 101 wird ein Gasgemisch aus Wasserstoff und Monosilan in den Reaktor 102 eingespeist. In dem Reaktor sind U-förmige Silizium-Stäbe 103 angeordnet. Diese sind auf eine Temperatur größer 800 °C erhitzt. Monosilan, das in Kontakt mit den hocherhitzten Stäben tritt, zersetzt sich an deren Oberfläche unter Bildung einer Schicht aus metallischem Silizium. Further features of the invention and advantages resulting from the invention will become apparent from the following description of the drawing. This is merely illustrative and for a better understanding of the invention and is in no way limiting. Shown in FIG. 1 is a flow chart of an embodiment of a system 100 according to the invention (schematic representation). Via the line 101, a gas mixture of hydrogen and monosilane is fed into the reactor 102. In the reactor, U-shaped silicon rods 103 are arranged. These are heated to a temperature greater than 800 ° C. Monosilane, which comes into contact with the superheated rods, decomposes on their surface to form a layer of metallic silicon.
Das Monosilan-Wasserstoff-Gemisch durchströmt den Reaktor 102 von unten nach oben und tritt am Ausgang 104 aus dem Reaktor aus. Über die Leitung 105 wird das Gasgemisch einer Aufbereitung zugeführt. Zunächst wird es mittels des Wärmetauschers 106 gekühlt. Anschließend wird es mittels des Filters 107 von partikelförmigen Verunreinigungen befreit. Im fakultativen Wärmetauscher 108 kann es nochmals gekühlt werden. Das Gebläse 109 dient dazu, das Gasgemisch im Kreislauf durch die beschriebenen Bestandteile der Anlage 100 zu zirkulieren. Über die Leitung 1 10 wird das Gasgemisch wieder dem Reaktor 102 zugeführt. The monosilane-hydrogen mixture flows through the reactor 102 from bottom to top and exits from the reactor at the outlet 104. Via the line 105, the gas mixture is fed to a treatment. First, it is cooled by the heat exchanger 106. Subsequently, it is freed by means of the filter 107 of particulate impurities. In the optional heat exchanger 108, it can be cooled again. The blower 109 serves to circulate the gas mixture through the described components of the system 100. Via the line 1 10, the gas mixture is returned to the reactor 102.
Ein Teil des Gasgemischs kann nach dem Durchlaufen des Gebläses 109 aus der Leitung 1 10 abgezweigt und über die Bypass-Leitung 1 13 am Punkt 1 14 vor dem Gebläse 109 wieder in den Kreislauf eingespeist werden. Der Anteil des abgezweigten Gasgemischs kann über das Ventil V3 geregelt werden. Eine anteilige Rückführung des Gasgemischs kann insbesondere im Anfangsstadium der Zersetzung zweckmäßig sein. In diesem Stadium kann es vorkommen, dass das Gebläse ohne die Rückführung des Gasgemischs 109 in Unterlast betrieben wird, weil die Strömungsgeschwindigkeit, mit der das Gasgemisch in dem Kreislaufsystem zirkuliert wird, noch sehr niedrig sein muss. A portion of the gas mixture can be diverted after passing through the blower 109 from the line 1 10 and fed via the bypass line 1 13 at point 1 14 in front of the blower 109 again in the cycle. The proportion of the branched gas mixture can be regulated via the valve V3. A proportionate recycling of the gas mixture may be expedient in particular in the initial stage of decomposition. At this stage, it may happen that the fan is operated without the recycling of the gas mixture 109 in underload, because the flow rate at which the gas mixture is circulated in the circulatory system, must still be very low.
Von großer Bedeutung ist die Leitung 1 1 1 . Über diese wird Monosilan aus einer Monosilan- Quelle in das beschriebene Kreislaufsystem eingespeist. Eine Regelung der Monosilan-Zufuhr kann über das Ventil Vi erfolgen. Von Bedeutung ist dabei, dass die Einspeisung des Gasgemischs in Strömungsrichtung hinter dem Gebläse 109 erfolgt. Über die Leitung 1 12 kann ein im Kreislaufsystem entstehender Überdruck abgebaut werden. Hierzu kann beispielsweise das Überdruckventil V2 dienen. Of great importance is the line 1 1 1. About this monosilane is fed from a monosilane source in the described circulatory system. A regulation of the monosilane supply can take place via the valve Vi. It is important that the feed of the gas mixture in the flow direction behind the blower 109 takes place. Via the line 1 12, a resulting in the circulation system pressure can be reduced. For this purpose, for example, serve the pressure relief valve V2.
Das im Kreislauf geführte Gasgemisch weist in Bezug auf den Anteil an Monosilan im Gasgemisch unmittelbar nach dessen Einspeisung über die Leitung 1 1 1 ein Maximum auf (Ci). In Folge der thermischen Zersetzung des Monosilans im Reaktor 102 liegt die Konzentration an Monosilan im Gasgemisch nach dem Verlassen des Reaktors deutlich niedriger (CE), wobei die Differenz zwischen Ci und CE weniger als 0,5 Mol-% beträgt. Während der Abkühlphase und dem Reinigen des Gasgemischs verändert sich die Konzentration nicht. Der Betriebsdruck innerhalb des beschriebenen Kreislaufsystems beträgt 6 bar. The recirculated gas mixture has in relation to the proportion of monosilane in the gas mixture immediately after its supply via the line 1 1 1 a maximum (Ci). As a result of the thermal decomposition of the monosilane in the reactor 102, the concentration of monosilane in the gas mixture after leaving the reactor is significantly lower (CE), the difference between Ci and CE is less than 0.5 mol%. During the cooling phase and the cleaning of the gas mixture, the concentration does not change. The operating pressure within the described circulatory system is 6 bar.

Claims

Patentansprüche claims
1 . Verfahren zur Zersetzung von Monosilan, bei dem ein monosilanhaltiger Gasstrom in einem Kreislaufsystem, das einen Reaktor zur Zersetzung des im Gasstrom enthaltenen Monosilans umfasst, zirkuliert wird, umfassend die Schritte 1 . A method of decomposing monosilane, comprising circulating a monosilane-containing gas stream in a recycle system comprising a reactor for decomposing the monosilane contained in the gas stream, comprising the steps
(1 ) Einspeisen eines monosilanhaltigen Gasstroms in den Reaktor, (1) feeding a monosilane-containing gas stream into the reactor,
(2) Inkontaktbringen des Gasstroms mit einer hocherhitzten Oberfläche innerhalb des Reaktors, an der ein Teil des im Gasstroms enthaltenen Monosilans unter Abschei- dung einer festen Siliziumschicht auf der Oberfläche zersetzt wird, so dass die Konzentration des Monosilans im Gasstrom abfällt,  (2) contacting the gas stream with a highly heated surface within the reactor where a portion of the monosilane contained in the gas stream is decomposed to deposit a solid silicon layer on the surface such that the concentration of monosilane in the gas stream drops;
(3) Abführen des Gasstroms aus dem Reaktor,  (3) removing the gas stream from the reactor,
(4) Aufbereiten des Gasstroms, einschließlich mindestens teilweises, vorzugsweise vollständiges Ausgleichen des in Folge der Zersetzung auftretenden Abfalls der Mono- silan-Konzentration durch Zugabe von Monosilan und  (4) treatment of the gas stream, including at least partial, preferably complete balancing of the decrease in monosilane concentration occurring as a result of the decomposition by the addition of monosilane and
(5) Wiedereinspeisen des aufbereiteten, monosilanhaltigen Gasstroms in den Reaktor gemäß Schritt (1 ),  (5) reintroducing the treated, monosilane-containing gas stream into the reactor according to step (1),
wobei während der Abscheidung innerhalb des Kreislaufsystems ein Betriebsdruck im Bereich von 2,5 bar bis 10 bar (absolut) eingestellt wird und der Gasstrom mit einer Geschwindigkeit kleiner 7,5 m/s, bevorzugt kleiner 5 m/s, besonders bevorzugt kleiner 2,5 m/s, in den Reaktor eintritt.  wherein during the deposition within the circulatory system an operating pressure in the range of 2.5 bar to 10 bar (absolute) is set and the gas flow at a speed of less than 7.5 m / s, preferably less than 5 m / s, more preferably less than 2, 5 m / s, enters the reactor.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Konzentration an Monosilan im gemäß Schritt (1 ) bzw. (5) in den Reaktor einzuspeisenden Gasstrom während der Abscheidung in einem Bereich zwischen 0,5 Vol-% und 5 Vol-%, bevorzugt zwischen 0,5 Vol-% und 3 Vol-%, gehalten wird. 2. The method according to claim 1, characterized in that the concentration of monosilane in accordance with step (1) or (5) to be fed into the reactor gas stream during the deposition in a range between 0.5 vol% and 5% by volume, preferably between 0.5 vol.% and 3 vol.%.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Konzentration an Monosilan im Gasstrom in Schritt (4) um nicht mehr als 1 Vol-%, bevorzugt um nicht mehr als 0,5 Vol-%, besonders bevorzugt um nicht mehr als 0,25 Vol-%, angehoben wird. 3. The method according to any one of claims 1 or 2, characterized in that the concentration of monosilane in the gas stream in step (4) by not more than 1% by volume, preferably by not more than 0.5% by volume, more preferably in order not more than 0.25% by volume.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass mit steigender Dicke der Siliziumschicht (auf der Oberfläche) die Masse an Monosilan des gemäß Schritt (1 ) bzw. (5) in den Reaktor eingespeisten Gasstroms pro Zeiteinheit graduell erhöht wird, wobei es bevorzugt ist, dass zur Erhöhung der Masse an Monosilan pro Zeiteinheit die Konzentration an Monosilan im Gasstrom in Schritt (4) graduell angehoben wird und/oder die Strömungsgeschwindigkeit, mit der der monosilanhaltige Gasstrom in dem Kreislaufsystem zirkuliert, erhöht wird. 4. The method according to any one of claims 2 or 3, characterized in that with increasing thickness of the silicon layer (on the surface), the mass of monosilane according to step (1) or (5) fed into the reactor gas flow per unit time is gradually increased , wherein it is preferred that to increase the mass of monosilane per Time unit, the concentration of monosilane in the gas stream is gradually increased in step (4) and / or the flow rate at which the monosilane-containing gas stream circulates in the circulation system is increased.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Temperatur des Gasstroms 5. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the temperature of the gas stream
• beim Einspeisen in den Reaktor auf einen Wert im Bereich von 25 °C bis 75 °C, insbesondere im Bereich von 40 °C bis 60 °C, eingestellt wird und/oder  Is set to a value in the range of 25 ° C to 75 ° C, in particular in the range of 40 ° C to 60 ° C, when feeding into the reactor and / or
• beim Abführen aus dem Reaktor im Bereich von 400 °C bis 700 °C, insbesondere im Bereich von 500 °C bis 600 °C, liegt.  • when discharged from the reactor in the range of 400 ° C to 700 ° C, in particular in the range of 500 ° C to 600 ° C, is located.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die hocherhitzte Oberfläche in Form hocherhitzter Silizium-Stäbe bereitgestellt wird und mit steigender Dicke der Siliziumschicht größer wird. 6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the highly heated surface is provided in the form of highly heated silicon rods and becomes larger with increasing thickness of the silicon layer.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Konzentration an Monosilan in dem aus dem Reaktor abgeführten Gasstrom durch eine Messung bestimmt und in Abhängigkeit des Messergebnisses die Monosilanzugabe in Schritt (4) (quantitativ) gesteuert/geregelt wird. 7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the concentration of monosilane in the gas stream discharged from the reactor determined by a measurement and depending on the measurement result, the monosilane addition in step (4) (quantitatively) controlled / regulated.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Siliziumschicht rechnerisch oder durch Messung bestimmt und in Abhängigkeit des Messergebnisses die graduelle Erhöhung der Masse an Monosilan in dem gemäß Schritt (1 ) bzw. (5) in den Reaktor eingespeisten Gasstroms pro Zeiteinheit gesteuert/geregelt wird. 8. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the thickness of the silicon layer determined by calculation or by measurement and depending on the measurement result, the gradual increase in the mass of monosilane in the according to step (1) or (5) fed into the reactor Gas flow per unit time is controlled / regulated.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Reaktor mindestens eines der folgenden Merkmale aufweist: 9. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the reactor has at least one of the following features:
• Er umfasst einen Reaktorboden und ein darauf montiertes Reaktoroberteil, die zusammen einen Reaktorinnenraum einschließen, in dem die Silizium-Stäbe angeordnet werden, insbesondere in auf dem Reaktorboden angeordneten oder in den Reaktorboden integrierten Halterungen. It comprises a reactor bottom and a reactor top mounted thereon which together enclose a reactor interior in which the silicon rods are placed, particularly in brackets disposed on the reactor bottom or integrated in the reactor bottom.
• Die Silizium-Stäbe innerhalb des Reaktors sind bevorzugt vertikal zum Reaktorboden ausgerichtet und weisen in bevorzugten Ausführungsformen innerhalb des Reaktorinnenraums senkrecht nach oben. • Die Silizium-Stäbe weisen jeweils zwei freie Enden auf, wobei jedem dieser Enden eine der Halterungen zugeordnet ist. The silicon rods within the reactor are preferably oriented vertically to the reactor bottom and, in preferred embodiments, point vertically upwards within the interior of the reactor. • The silicon rods each have two free ends, with each of these ends being associated with one of the brackets.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der monosilanhaltige Gasstrom über Einlassdüsen in den Reaktor eingespeist wird, wobei es bevorzugt ist, 10. The method according to claim 9, characterized in that the monosilane-containing gas stream is fed via inlet nozzles into the reactor, wherein it is preferred
• dass die Düsen in den Reaktorboden integriert oder auf dem Reaktorboden / oberhalb des Reaktorbodens in dem Reaktorinnenraum angeordnet sind • that the nozzles are integrated in the reactor bottom or arranged on the reactor bottom / above the reactor bottom in the reactor interior
und/oder  and or
• dass der Gasstrom aus den Einlassdüsen mit der Geschwindigkeit < 7,5 m/sec, bevorzugt < 5 m/sec, besonders bevorzugt < 2,5 m/sec, austritt.  • That the gas stream from the inlet nozzles with the speed <7.5 m / sec, preferably <5 m / sec, particularly preferably <2.5 m / sec, emerges.
1 1 . Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, insbesondere nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der monosilanhaltige Gasstrom 1 1. Method according to one of the preceding claims, in particular according to claim 10, characterized in that the monosilane-containing gas stream
• vertikal von unten nach oben durch den Reaktor geführt wird • is guided vertically from bottom to top through the reactor
und/oder  and or
• durch einen Auslass an der Spitze des Reaktoroberteils aus dem Reaktor abgeführt wird. • Is discharged from the reactor through an outlet at the top of the reactor top.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufbereiten des Gasstroms in Schritt (4) mindestens einen der folgenden Teilschritte umfasst: 12. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the processing of the gas stream in step (4) comprises at least one of the following substeps:
• Der Gasstrom wird abgekühlt • The gas flow is cooled
• Der Gasstrom wird durch einen Filter geführt  • The gas flow is passed through a filter
• Der Gasstrom wird mit Monosilan versetzt  • The gas stream is mixed with monosilane
13. Anlage zur Zersetzung von Monosilan, insbesondere gemäß einem Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit 13. plant for the decomposition of monosilane, in particular according to a method according to one of the preceding claims, with
(1 ) einem Kreislaufsystem, in dem ein monosilanhaltiger Gasstrom bei einem Betriebsdruck zwischen 2,5 bar und 10 bar zirkulierbar ist, (1) a circulation system in which a monosilane-containing gas stream can be circulated at an operating pressure between 2.5 bar and 10 bar,
(2) einem Reaktor, der Teil des Kreislaufsystems ist und ein Mittel zum Einspeisen des monosilanhaltigen Gasstroms in den Reaktor sowie einen Auslass zum Abführen des Gasstroms aus dem Reaktor aufweist, (3) einem Mittel zur Bereitstellung einer hocherhitzten Siliziumoberfläche innerhalb des Reaktors, (2) a reactor which is part of the circulatory system and which has a means for feeding the monosilane-containing gas stream into the reactor and an outlet for removing the gas stream from the reactor, (3) means for providing a superheated silicon surface within the reactor,
(4) einem Mittel zum Abkühlen des aus dem Reaktor abgeführten Gasstroms, (4) means for cooling the gas stream discharged from the reactor,
(5) Mitteln zum Aufbereiten des Gasstroms, einschließlich einem Mittel zum Erhöhen der Konzentration an Monosilan im Gasstrom und (5) means for treating the gas stream, including means for increasing the concentration of monosilane in the gas stream and
(6) einem Mittel zum Zirkulieren des Gasstroms bei dem genannten Betriebsdruck.  (6) means for circulating the gas flow at said operating pressure.
14. Anlage nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittel zum Erhöhen der Konzentration an Monosilan im Gasstrom bezogen auf die Strömungsrichtung des Gasstroms in dem Kreislaufsystem unmittelbar hinter dem Mittel zum Zirkulieren des Gasstroms angeordnet ist. 14. Plant according to claim 13, characterized in that the means for increasing the concentration of monosilane in the gas stream with respect to the flow direction of the gas stream in the circulation system is arranged immediately behind the means for circulating the gas stream.
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