WO2016002583A1 - タッチパネル - Google Patents

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WO2016002583A1
WO2016002583A1 PCT/JP2015/068004 JP2015068004W WO2016002583A1 WO 2016002583 A1 WO2016002583 A1 WO 2016002583A1 JP 2015068004 W JP2015068004 W JP 2015068004W WO 2016002583 A1 WO2016002583 A1 WO 2016002583A1
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mesh
conductive material
touch panel
mesh pattern
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PCT/JP2015/068004
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English (en)
French (fr)
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佐藤　光範
Original Assignee
日本航空電子工業株式会社
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Publication date
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    • G06F2203/04111—Cross over in capacitive digitiser, i.e. details of structures for connecting electrodes of the sensing pattern where the connections cross each other, e.g. bridge structures comprising an insulating layer, or vias through substrate
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    • G06F2203/04112—Electrode mesh in capacitive digitiser: electrode for touch sensing is formed of a mesh of very fine, normally metallic, interconnected lines that are almost invisible to see. This provides a quite large but transparent electrode surface, without need for ITO or similar transparent conductive material
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    • G06F3/0412—Digitisers structurally integrated in a display

Definitions

  • the present invention relates to a capacitive touch panel.
  • Patent Documents 1 to 3 are known as capacitive touch panels. The terms used in Patent Documents 1 to 3 vary. However, each touch panel has a transparent substrate, a plurality of X-direction electrodes arranged along a plurality of rows in the X direction, which is a predetermined direction parallel to the surface of the substrate, and a direction parallel to the surface of the substrate in the X direction.
  • JP 2010-2958 A International Publication Number 2012/099394 JP 2013-246723 A
  • FIG. 1 is a diagram for explaining the problem of the touch panel of Patent Document 1.
  • FIG. 1 of Patent Document 2 is shown in FIG. 2
  • FIG. 1 of Patent Document 3 is shown in FIG.
  • the touch panel of Patent Literature 1 includes an X-direction electrode, a Y-direction electrode, an X-direction connection portion, and a Y-direction connection portion (in Patent Literature 1, “pad portion 11a”, “pad portion 12a”, “connection portion 11c”, “relay”).
  • a transparent conductive material is used for all of the electrodes 5a "). Since the transparent conductive material is not colorless, the color of the portion 5d (shaded portion in FIG. 1) where the Y-direction connection portion 5a overlaps the Y-direction electrode 12a and the X-direction connection portion 11c becomes dark and is recognized with the naked eye. I can do it.
  • the touch panel disclosed in Patent Document 2 includes an X-direction electrode, an X-direction connection portion, and a Y-direction electrode (in Patent Document 2, “first sensor portion 22a, first electrode connection portion 22b, second sensor portion 24a”).
  • the Y-direction connecting portion (“second electrode connecting portion 24b” in Patent Document 2) is formed in a mesh shape.
  • the portion having the mesh-shaped Y-direction connecting portion can be recognized with the naked eye.
  • the touch panel disclosed in Patent Document 3 has an X-direction electrode, an X-direction connection portion, and a Y-direction electrode (in Patent Document 3, “column electrode 12, connection portion 122, column electrode 13”), and a Y-direction connection portion.
  • a transparent conductive material is used for “bridge portion 41” in Patent Document 3.
  • the transparent conductive material is not colorless, the difference in the presence or absence of the transparent conductive material can be recognized with the naked eye.
  • an object of the present invention is to make the electrode less noticeable than in the prior art.
  • the touch panel of the present invention includes a transparent substrate, a plurality of X-direction electrodes arranged along a plurality of rows in the X direction, which is a predetermined direction parallel to the surface of the substrate, and a surface parallel to the surface of the substrate in the X direction.
  • a Y-direction connection portion that electrically connects the Y-direction electrodes, an insulating film formed between the X-direction connection portion and the Y-direction connection portion, an X-direction mesh electrode, and a Y-direction mesh electrode are provided.
  • the X direction electrode, the Y direction electrode, and the X direction connection portion are films of a transparent conductive material formed in the same layer.
  • the Y-direction connecting portion has a mesh shape formed of a conductive material so as to become a part of a predetermined mesh pattern.
  • the X direction mesh electrode is formed in a mesh shape with a conductive material so as to become a part of the mesh pattern in a region where the X direction electrode is formed, and is insulated from the Y direction connection portion.
  • the Y direction mesh electrode is formed in a mesh shape with a conductive material so as to become a part of the mesh pattern in a region where the Y direction electrode is formed, and is insulated from the X direction mesh electrode.
  • an X-direction connection mesh electrode that is formed in a mesh shape with a conductive material so as to become a part of the pattern and is insulated from the Y-direction connection portion and the Y-direction mesh electrode is also provided.
  • the touch panel of the present invention since the transparent conductive material films do not overlap, there is no color difference due to the difference in thickness of the transparent conductive material. Further, since the transparent conductive material and the mesh pattern formed using the conductive material are formed on almost the entire surface, there is no influence on the visibility due to the difference between the existing portion and the non-existing portion. Therefore, the electrode of the touch panel of the present invention is less conspicuous than the conventional touch panel.
  • FIG. The figure which shows FIG. The figure which shows FIG. The figure which shows FIG. The top view of the touch panel of Example 1 and Example 2 (the figure seen from the normal line direction of the board
  • the top view which expanded the range containing the two X direction electrodes 100x of FIG. 4, and the two Y direction electrodes 100y.
  • the top view when the insulating film 130 is also formed from the state of FIG.
  • the figure which shows the 3rd example of a mesh pattern The top view (figure seen from the normal line direction of the board
  • FIG. The top view when the insulating film 130 is also formed from the state of FIG.
  • membrane X direction electrode 100x, the Y direction electrode 100y, and the X direction connection part 110x
  • membrane X direction electrode 100x, the Y direction electrode 100y, and the X direction connection part 110x
  • membrane X direction electrode 100x, the Y direction electrode 100y, and the X direction connection part 110x
  • FIG. 4 shows a plan view of the touch panel 200 of the first embodiment (viewed from the normal direction of the substrate 210).
  • the touch panel 200 includes a transparent substrate 210, a plurality of X-direction electrodes 100x arranged along a plurality of rows in the X direction, which is a predetermined direction parallel to the surface of the substrate 210, and an X direction parallel to the surface of the substrate.
  • a film 130 and a mesh pattern 220 are provided.
  • the substrate 210 is transparent, and for example, polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate, or cycloolefin polymer (COP) having a thickness of about 100 ⁇ m may be used.
  • PET polyethylene terephthalate
  • PET polycarbonate
  • a touch panel may be formed and attached to the front plate.
  • the touch panel may be formed directly on the surface of the front plate that is not in contact with people.
  • FIG. 5 is an enlarged plan view of a range including the two X-direction electrodes 100x and the two Y-direction electrodes 100y in FIG. 6 is a view showing only the X-direction electrode 100x, the Y-direction electrode 100y, and the X-direction connection portion 110x of FIG. 5,
  • FIG. 7 is a plan view when the insulating film 130 is also formed from the state of FIG. 6, and
  • FIG. FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a mesh pattern 220 in a range indicated by 5.
  • the X-direction electrode 100x, the Y-direction electrode 100y, and the X-direction connection portion 110x are transparent conductive material films formed in the same layer.
  • polyethylene-3,4-dioxythiophene (PEDOT) or indium tin oxide (ITO) may be used as the transparent conductive material.
  • Acrylic or polyester may be used for the insulating film 130, and the thickness may be about 1 to 2 ⁇ m.
  • the X direction electrode 100x, the Y direction electrode 100y, and the X direction connection portion 110x can be formed by printing.
  • indium tin oxide (ITO) an ITO film is formed on the substrate 210 by sputtering and then patterned by chemical etching, so that the X direction electrode 100x, the Y direction electrode 100y, and the X direction connection portion 110x are formed.
  • the X-direction electrode 100x, the Y-direction electrode 100y, and the X-direction connection portion 110x are formed so that the interval is 1 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less.
  • the thickness may be about 400 nm.
  • the mesh pattern 220 is formed of a conductive material, and has a plurality of disconnections 120g for insulation.
  • the conductive material is formed of a fine metal wire such as silver or copper. 5 and 8, the thin line of the conductive material is shown by a solid line, and since there is no conductive material in other parts, the transparent state can be maintained as a whole.
  • the thickness may be 7 ⁇ m or less, the repetition period of the mesh pattern 220 may be 200 to 400 ⁇ m, and the length of the disconnection 120 g may be 1 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less. In order to improve the reliability against corrosion, the thickness is desirably 3 ⁇ m or more, and the thickness may be 1 to 2 ⁇ m.
  • the mesh pattern 220 is classified into a Y-direction connection portion 140y, an X-direction mesh electrode 120x, a Y-direction mesh electrode 120y, and an X-direction connection mesh electrode 140x depending on the location.
  • the Y-direction connecting portion 140y is formed in a mesh shape with a conductive material so as to become a part of the mesh pattern 220, and electrically connects the Y-direction electrodes 100y adjacent to each other in the Y direction.
  • Each of the Y-direction connecting portions 140y electrically connects the adjacent Y-direction electrodes 100y through two or more paths formed by the conductive material.
  • the Y-direction connecting portion 140y in FIG. 5 is formed by connecting square patterns, the Y-direction electrodes 100y can be connected to each other even if one place is disconnected due to corrosion or the like if it is a place other than the intersection. As a result, the durability and reliability can be improved.
  • the X-direction mesh electrode 120x is formed in a mesh shape with a conductive material so as to become a part of the mesh pattern 220 in a region where the X-direction electrode 100x is formed, and is insulated from the Y-direction connection portion 140y.
  • the “region” means a range shown in a plan view (a view seen from the normal direction of the substrate 210). The same applies to the following description.
  • the Y-direction mesh electrode 120y is formed in a mesh shape with a conductive material so as to become a part of the mesh pattern 220 in a region where the Y-direction electrode 100y is formed, and is insulated from the X-direction mesh electrode 120x.
  • the X-direction connection mesh electrode 140x has at least a portion where the insulating film 130 is not formed in the region where the X-direction connection portion 110x is formed, and the insulating film 130 in the region where the X-direction connection portion 110x is formed. Is formed in a mesh shape with a conductive material so as to become a part of the mesh pattern 220 in a portion where the pattern is not formed.
  • the X direction connection mesh electrode 140x is insulated from the Y direction connection portion 140y and the Y direction mesh electrode 120y.
  • the X direction connecting mesh electrode 140x may be formed.
  • the X-direction mesh electrode 120x, the Y-direction mesh electrode 120y, and the X-direction connection mesh electrode 140x are not formed on the side of the insulating film 130 where the Y-direction connection portion 140y is not formed, the Y-direction connection portion.
  • the 140y, the X direction mesh electrode 120x, the Y direction mesh electrode 120y, and the X direction connection mesh electrode 140x can be formed by one process (printing).
  • a transparent conductive material process for forming a transparent conductor material film (X direction electrode 100x, Y direction electrode 100y and X direction connection portion 110x), an insulating film process for forming insulating film 130, and a mesh pattern for forming mesh pattern 220
  • the touch panel 200 can be made in three steps of the process. Note that the touch panel 200 may be formed in the order of a mesh pattern process, an insulating film process, and a transparent conductive material process.
  • FIG. 9A, FIG. 9B, and FIG. 9C are diagrams showing examples of mesh patterns. 5 and 8, a square mesh pattern is shown, but a triangle shown in FIG. 9A, a hexagon shown in FIG. 9B, and a waveform shown in FIG. 9C may be used, but other patterns (such as octagons) are not shown. But you can. Also, in the description of the modified example described later and the second embodiment, a square mesh pattern is shown in the figure, but other patterns may be used as in the present embodiment.
  • the touch panel 200 since the transparent conductive material films do not overlap, there is no color difference due to the difference in thickness of the transparent conductive material. Further, since the transparent conductive material and the mesh pattern formed using the conductive material are formed on almost the entire surface, there is no influence on the visibility due to the difference between the existing portion and the non-existing portion. Therefore, the electrode of the touch panel 200 is less conspicuous than the conventional touch panel.
  • the Y-direction connection portion 140y of the touch panel 200 is very thin, the X-direction connection portion 110x and the Y-direction connection portion 140y are smaller than the area where the X-direction connection portion 11c and the Y-direction connection portion 5a of Patent Document 1 face each other.
  • the facing area is very small. That is, the stray capacitance generated between the X direction connection portion 110x and the Y direction connection portion 140y can be reduced. Therefore, the sensitivity of the touch panel can be improved.
  • the mesh pattern 220 of the conductive material is formed on the transparent conductive material film, the resistance of the electrode can be lowered.
  • FIG. 10 is a plan view of the touch panel 201 according to the present modification (viewed from the normal direction of the substrate 210).
  • the touch panel 201 is different from the touch panel 200 in that a dummy electrode 150 that is a film of a transparent conductive material is provided between the X direction electrode 100x and the Y direction electrode 100y, and a dummy mesh electrode 160 is also provided in the region where the dummy electrode is formed. It is. Others are the same as the first embodiment.
  • FIG. 11 shows an enlarged plan view of a range including two X-direction electrodes 100x and two Y-direction electrodes 100y when the dummy electrode 150 is also provided.
  • 12 is a view showing the X-direction electrode 100x, the Y-direction electrode 100y, the X-direction connection portion 110x, and the dummy electrode 150 of FIG. 11, and
  • FIG. 13 is a plan view when the insulating film 130 is also formed from the state of FIG. 14 is a diagram showing an example of the mesh pattern 221 in the range shown in FIG.
  • the dummy electrode 150 is also formed in the same layer as the X direction electrode 100x, the Y direction electrode 100y, and the X direction connection portion 110x (see FIG. 12).
  • the touch panel 201 is formed in a mesh shape with a conductive material so as to be a part of the mesh pattern 221 in an area where the dummy electrode 150 is formed, and is insulated from the X direction mesh electrode 120x and the Y direction mesh electrode 120y.
  • the dummy mesh electrode 160 is also provided. Since the dummy mesh electrode 160 is also included, the mesh pattern 221 is different from the mesh pattern 220 in the position of the disconnection 120g.
  • the conditions for reducing the visibility of the mesh pattern and the film of the transparent conductive material are the same as in Example 1. That is, the width of the conductive material forming the mesh pattern 221 is 7 ⁇ m or less, the repetition period of the mesh pattern 221 is 200 to 400 ⁇ m, the disconnection for insulating the mesh pattern is 1 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less, and the transparent conductive material films are insulated. The interval for this may be 1 ⁇ m or more and 50 ⁇ m or less. The width of the conductive material may be 3 ⁇ m or more in order to improve the reliability against corrosion.
  • the touch panel 201 can obtain the same effects as the touch panel 200 of the first embodiment.
  • Example 1 a touch panel that can be created by three processes of a transparent conductive material process, an insulating film process, and a mesh pattern process is shown.
  • Example 2 shows a touch panel that can be created by four processes: a transparent conductive material process, a first mesh pattern process, an insulating film process, and a second mesh pattern process.
  • a plan view of the touch panel 202 of the second embodiment (viewed from the normal direction of the substrate 210) is the same as FIG.
  • An enlarged plan view of the range including the two X-direction electrodes 100x and the two Y-direction electrodes 100y is the same as FIG. 5, and the X-direction electrode 100x, the Y-direction electrodes 100y and X formed by the transparent conductive material process are the same.
  • the shape of the direction connecting portion 110x is the same as that in FIG.
  • the specific materials and dimensions of the substrate 210 and the mesh pattern 222 are the same as those in the first embodiment. Below, a different point is demonstrated.
  • FIG. 15 is a diagram showing a mesh pattern 222 'formed by the first mesh pattern process.
  • the mesh pattern 222 'in FIG. 15 is different from the mesh pattern 220 in the first embodiment in that the Y-direction connecting portion 140y does not exist.
  • the X-direction connection mesh electrode 140x connects the adjacent X-direction mesh electrodes 120x to each other, but may not exist at the position where the Y-direction connection portion 140y is formed.
  • FIG. 16 shows a state in which a mesh pattern 222 'is formed (printed) on the conductive material film (X-direction electrode 100x, Y-direction electrode 100y, and X-direction connection portion 110x) shown in FIG.
  • the process of forming the mesh pattern 222 'in FIG. 15 is a first mesh pattern process.
  • the conditions for reducing the visibility of the mesh pattern and the film of the transparent conductive material are the same as in Example 1. That is, the width of the conductive material forming the mesh pattern 223 is 7 ⁇ m or less, the repetition period of the mesh pattern 221 is 200 to 400 ⁇ m, the disconnection for mesh pattern insulation is 1 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less, and the transparent conductive material films are insulated. The interval for this is 50 ⁇ m or less.
  • the width of the conductive material may be 3 ⁇ m or more in order to improve the reliability against corrosion.
  • FIG. 17 shows a plan view when the insulating film 131 is also formed from the state of FIG.
  • the insulating film 131 has a through hole 132 in a part of each region where the Y-direction electrode 100y is formed.
  • the insulating film 131 is formed on the entire region where the mesh pattern 222 ′ is formed except for the portion of the through hole 132.
  • FIG. 18 shows a state in which the Y-direction connecting portion 140y is further formed (printed) from the state of FIG.
  • a process of forming (printing) the Y-direction connecting portion 140y is a second mesh pattern process.
  • the Y-direction connecting portion 140y is shown thick so that it can be recognized.
  • the actual Y-direction connecting portion 140y has the same thickness as the mesh pattern 222 ′, except for the broken portion of the mesh pattern 222 ′.
  • the mesh pattern 222 (see FIG. 4) is formed by both the Y-direction connecting portion 140y and the mesh pattern 222 '.
  • the Y-direction connecting portion 140y corresponds to “formed in a mesh shape with a conductive material so as to be a part of a predetermined mesh pattern”. Further, in the mesh pattern 222 ′ shown in FIG. 15, the portion overlapping with the Y-direction connecting portion 140 y may be omitted because it does not affect the visibility.
  • the touch panel 202 of the second embodiment is configured as described above, the same effects as the touch panel 200 of the first embodiment can be obtained.
  • the transparent conductive material process, the first mesh pattern process, the insulating film process, and the second mesh pattern process are described in the order of manufacturing. However, they may be manufactured in the reverse order.
  • a touch panel that can be formed by five processes of a transparent conductive material process, a first mesh pattern process, an insulating film process, a second mesh pattern process, and a dummy electrode process is shown.
  • a plan view of the touch panel 203 of this modification (a view seen from the normal direction of the substrate 210) is the same as FIG.
  • the touch panel 203 is different from the touch panel 202 in that a dummy electrode 150 that is a film of a transparent conductive material is provided between the X direction electrode 100x and the Y direction electrode 100y, and the dummy mesh electrode 160 is also formed in the region where the dummy electrode 150 is formed. It is to prepare.
  • a plan view in which the range including the two X-direction electrodes 100x and the two Y-direction electrodes 100y is enlarged is the same as FIG.
  • FIG. 19 is a diagram showing the X direction electrode 100x, the Y direction electrode 100y, and the X direction connection portion 110x of FIG.
  • a film is formed using a transparent conductive material as shown in FIG.
  • FIG. 20 shows a mesh pattern 223 'formed by the first mesh pattern process.
  • the mesh pattern 223 ′ in FIG. 20 is different from the mesh pattern 221 of the first embodiment in that the Y-direction connecting portion 140 y does not exist.
  • the X-direction connection mesh electrode 140x connects the adjacent X-direction mesh electrodes 120x to each other, but may not exist at the position where the Y-direction connection portion 140y is formed.
  • FIG. 21 is a diagram showing a state in which a mesh pattern 223 'is formed (printed) on the transparent conductive material film (X direction electrode 100x, Y direction electrode 100y, X direction connection portion 110x) shown in FIG.
  • the process of forming (printing) the mesh pattern 223 'in this way is the first mesh pattern process. Since this modification also includes the dummy mesh electrode 160, the mesh pattern 223 'differs from the mesh pattern 222 in the position of the disconnection 120g.
  • the dummy mesh electrode 160 is formed in a mesh shape with a conductive material as a part of the mesh pattern 223 ′ in a region where the dummy electrode 150 is formed, and is insulated from the X direction mesh electrode 120x and the Y direction mesh electrode 120y. .
  • the conditions for reducing the visibility of the mesh pattern and the film of the transparent conductive material are the same as in Example 1. That is, the width of the conductive material forming the mesh pattern 223 is 7 ⁇ m or less, the repetition period of the mesh pattern 221 is 200 to 400 ⁇ m, the disconnection for mesh pattern insulation is 1 ⁇ m or more and 20 ⁇ m or less, and the transparent conductive material films are insulated. The interval for this is from 1 ⁇ m to 50 ⁇ m.
  • the width of the conductive material may be 3 ⁇ m or more in order to improve the reliability against corrosion.
  • FIG. 22 is a plan view when the insulating film 131 is also formed from the state of FIG.
  • the insulating film 131 has a through hole 132 in a part of each region where the Y-direction electrode 100y is formed.
  • the insulating film 131 is formed on the entire region where the mesh pattern 223 ′ is formed except for the portion of the through hole 132.
  • FIG. 23 shows a state in which the Y-direction connecting portion 140y and the dummy electrode 150 are further formed (printed) from the state of FIG.
  • the Y-direction connection portion 140y is shown thick so that it can be recognized.
  • the actual Y-direction connection portion 140y has the same thickness as the mesh pattern 223 ′, except for the broken portion of the mesh pattern 223 ′.
  • the mesh pattern 223 ′ overlaps.
  • the mesh pattern 223 (see FIG. 10) is formed by both the Y-direction connecting portion 140y and the mesh pattern 223 '.
  • the Y-direction connecting portion 140y corresponds to “formed in a mesh shape with a conductive material so as to be a part of a predetermined mesh pattern”. Further, in the mesh pattern 223 'shown in FIG. 20, the portion overlapping the Y-direction connecting portion 140y may be omitted because it does not affect the visibility.
  • a dummy electrode 150 that is a film of a transparent conductive material is formed. In the case of this modification, the dummy electrode 150 and the dummy mesh electrode 160 are formed on the opposite sides with the insulating film 131 interposed therebetween.
  • the touch panel 203 can obtain the same effects as the touch panel 200 of the first embodiment.
  • the transparent conductive material process, the first mesh pattern process, the insulating film process, the second mesh pattern process, and the dummy electrode process are described in the order of manufacturing. However, they may be manufactured in the reverse order. Absent. Further, the order of the second mesh pattern process and the dummy electrode process may be first.

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Abstract

　タッチパネルの電極を目立たなくする。本発明のタッチパネルは、透明な基板、複数のＸ方向電極、複数のＹ方向電極、Ｘ方向接続部、Ｙ方向接続部、絶縁膜、Ｘ方向メッシュ電極、Ｙ方向メッシュ電極を備える。また、少なくとも、Ｘ方向接続部が形成されている領域に絶縁膜が形成されていない部分があるときには、Ｘ方向接続メッシュ電極も備える。Ｘ方向電極、Ｙ方向電極、Ｘ方向接続部は、同一の層に形成された透明導電材料の膜である。Ｙ方向接続部は、メッシュパターンの一部になるように導電材料によって形成されたメッシュ状である。Ｘ方向メッシュ電極、Ｙ方向メッシュ電極、Ｘ方向接続メッシュ電極は、ほぼ全面にメッシュパターンが形成されるように、導電材料によって形成されている。

Description

タッチパネル
　本発明は静電容量型のタッチパネルに関する。
　静電容量型のタッチパネルとして、特許文献１～３が知られている。特許文献１～３の中で用いられている用語はまちまちである。しかし、どのタッチパネルも、透明な基板と、基板の表面に平行な所定の方向であるＸ方向の複数の列に沿って配列された複数のＸ方向電極と、基板の表面に平行でＸ方向に垂直な方向であるＹ方向の複数の列に沿って配列された複数のＹ方向電極と、Ｘ方向に隣接するＸ方向電極同士を電気的に接続するＸ方向接続部と、Ｙ方向に隣接するＹ方向電極同士を電気的に接続するＹ方向接続部と、Ｘ方向接続部とＹ方向接続部との間に形成された絶縁膜とを備える。
特開２０１０－２９５８号公報 国際公開番号２０１２／０９９３９４ 特開２０１３－２４６７２３号公報
　どの特許文献も、明細書に示した構成であれば電極が目立たないと説明している。しかしながら、従来技術はＸ方向接続部とＹ方向接続部が交差する付近の外観が、その他の部分と微妙に異なるので、高いレベルで評価すると肉眼で認識できてしまうという課題がある。図１は特許文献１のタッチパネルの問題点を説明するための図である。また、特許文献２の図１を図２に、特許文献３の図１を図３に示す。
　特許文献１のタッチパネルは、Ｘ方向電極、Ｙ方向電極、Ｘ方向接続部、Ｙ方向接続部（特許文献１中では「パッド部１１ａ」、「パッド部１２ａ」、「接続部分１１ｃ」、「中継電極５ａ」）のすべてに透明導電材料を用いている。透明導電材料は無色ではないため、Ｙ方向接続部５ａが、Ｙ方向電極１２ａやＸ方向接続部１１ｃと重なった部分５ｄ（図１の網掛け部）の色が濃くなってしまい、肉眼で認識できてしまう。
　特許文献２のタッチパネルは、Ｘ方向電極、Ｘ方向接続部、Ｙ方向電極（特許文献２中では「第１センサー部２２ａ、第１電極連結部２２ｂ、第２センサー部２４ａ」）に透明導電材料を用い、Ｙ方向接続部（特許文献２中では「第２電極連結部２４ｂ」）をメッシュ形状にしている。しかし、メッシュ形状のＹ方向接続部がある部分が肉眼で認識できてしまう。
　また、特許文献３のタッチパネルは、Ｘ方向電極、Ｘ方向接続部、Ｙ方向電極（特許文献３中では「列電極１２、接続部１２２、列電極１３」）を網目状にし、Ｙ方向接続部（特許文献３中では「ブリッジ部４１」）に透明導電材料を用いている。しかし、透明導電材料が無色でないため、透明導電材料の有無の差を肉眼で認識できてしまう。
　このように、より高いレベルで評価すると肉眼で認識できてしまう。そこで、本発明は、従来技術よりもさらに電極を目立たなくすることを目的とする。
　本発明のタッチパネルは、透明な基板と、基板の表面に平行な所定の方向であるＸ方向の複数の列に沿って配列された複数のＸ方向電極と、基板の表面に平行でＸ方向に垂直な方向であるＹ方向の複数の列に沿って配列された複数のＹ方向電極と、Ｘ方向に隣接するＸ方向電極同士を電気的に接続するＸ方向接続部と、Ｙ方向に隣接するＹ方向電極同士を電気的に接続するＹ方向接続部と、Ｘ方向接続部とＹ方向接続部との間に形成された絶縁膜と、Ｘ方向メッシュ電極と、Ｙ方向メッシュ電極を備える。Ｘ方向電極、Ｙ方向電極、Ｘ方向接続部は、同一の層に形成された透明導電材料の膜である。Ｙ方向接続部は、あらかじめ定めたメッシュパターンの一部になるように導電材料によって形成されたメッシュ状である。Ｘ方向メッシュ電極は、Ｘ方向電極が形成されている領域に、前記メッシュパターンの一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成され、Ｙ方向接続部とは絶縁されている。Ｙ方向メッシュ電極は、Ｙ方向電極が形成されている領域に、前記メッシュパターンの一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成され、Ｘ方向メッシュ電極とは絶縁されている。また、少なくとも、Ｘ方向接続部が形成されている領域に絶縁膜が形成されていない部分があるときには、Ｘ方向接続部が形成されている領域の絶縁膜が形成されていない部分に、前記メッシュパターンの一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成され、Ｙ方向接続部およびＹ方向メッシュ電極とは絶縁されているＸ方向接続メッシュ電極も備える。
　本発明のタッチパネルによれば、透明導電材料の膜が重ならないので、透明導電材料の厚さの違いによる色の違いは生じない。また、透明導電材料も導電材料を用いて形成するメッシュパターンも、ほぼ全面に形成されるので存在する部分と存在しない部分との違いによる視認性への影響はない。したがって、本発明のタッチパネルは、従来のタッチパネルよりも電極が目立たない。
特許文献１のタッチパネルの問題点を説明するための図。 特許文献２の図１を示す図。 特許文献３の図１を示す図。 実施例１、実施例２のタッチパネルの平面図（基板の法線方向から見た図）。 図４の２つのＸ方向電極１００ｘと２つのＹ方向電極１００ｙを含む範囲を拡大した平面図。 図５のＸ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘのみを示した図。 図６の状態から絶縁膜１３０も形成したときの平面図。 図５で示した範囲のメッシュパターン２２０の例を示した図。 メッシュパターンの第１の例を示す図。 メッシュパターンの第２の例を示す図。 メッシュパターンの第３の例を示す図。 実施例１変形例、実施例２変形例のタッチパネルの平面図（基板の法線方向から見た図）。 ダミー電極１５０も備えた場合の２つのＸ方向電極１００ｘと２つのＹ方向電極１００ｙを含む範囲を拡大した平面図。 図１１のＸ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘとダミー電極１５０を示した図。 図１２の状態から絶縁膜１３０も形成したときの平面図。 図１１で示した範囲のメッシュパターン２２１の例を示した図。 第１メッシュパターンプロセスで形成するメッシュパターン２２２’を示す図。 図６に示した導電材料の膜（Ｘ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘ）の上にメッシュパターン２２２’を形成（印刷）した状態を示す図。 図１６の状態から絶縁膜１３１も形成したときの平面図。 図１７の状態からＹ方向接続部１４０ｙをさらに形成（印刷）した状態を示す図。 図１１のＸ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘを示した図。 第１メッシュパターンプロセスで形成するメッシュパターン２２３’を示す図。 図１９に示した透明導電材料の膜（Ｘ方向電極１００ｘ、Ｙ方向電極１００ｙ、Ｘ方向接続部１１０ｘ）上にメッシュパターン２２３’を形成（印刷）した状態を示す図。 図２１の状態から絶縁膜１３１も形成したときの平面図。 図２２の状態からＹ方向接続部１４０ｙとダミー電極１５０をさらに形成（印刷）した状態を示す図。
　以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。なお、同じ機能を有する構成部には同じ番号を付し、重複説明を省略する。
　図４に実施例１のタッチパネル２００の平面図（基板２１０の法線方向から見た図）を示す。タッチパネル２００は、透明な基板２１０と、基板２１０の表面に平行な所定の方向であるＸ方向の複数の列に沿って配列された複数のＸ方向電極１００ｘと、基板の表面に平行でＸ方向に垂直な方向であるＹ方向の複数の列に沿って配列された複数のＹ方向電極１００ｙと、Ｘ方向に隣接するＸ方向電極１００ｘ同士を電気的に接続するＸ方向接続部１１０ｘと、絶縁膜１３０と、メッシュパターン２２０を備える。基板２１０は、透明であり、例えば１００μｍ程度の厚さのポリエチレンテレフタレート（PET）、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー（COP）を用いればよい。また、人が接触する前面板を基板として用いてもよい。前面板以外の基板を用いる場合は、タッチパネルを形成した上で前面板に張り付ければよく、前面板を基板として用いる場合は、前面板の人が接触しない面に直接タッチパネルを形成すればよい。
　図５は、図４の２つのＸ方向電極１００ｘと２つのＹ方向電極１００ｙを含む範囲を拡大した平面図である。図６は図５のＸ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘのみを示した図、図７は図６の状態から絶縁膜１３０も形成したときの平面図、図８は図５で示した範囲のメッシュパターン２２０の例を示した図である。Ｘ方向電極１００ｘ、Ｙ方向電極１００ｙ、Ｘ方向接続部１１０ｘは、同一の層に形成された透明導電材料の膜である。透明導電材料としては、ポリエチレン－３，４－ジオキシチオフェン（PEDOT）を用いてもよいし、酸化インジウムスズ（ITO）を用いてもよい。絶縁膜１３０には、アクリルまたはポリエステルを用いればよく、厚さは１～２μｍ程度にすればよい。なお、ポリエチレン－３，４－ジオキシチオフェン（PEDOT）の場合、Ｘ方向電極１００ｘ、Ｙ方向電極１００ｙ、Ｘ方向接続部１１０ｘは、印刷によって形成することも可能である。酸化インジウムスズ（ITO）の場合は、スパッタで基板２１０上にITOの膜を成膜した上で、ケミカルエッチングでパターニングすることで、Ｘ方向電極１００ｘ、Ｙ方向電極１００ｙ、Ｘ方向接続部１１０ｘを形成すればよい。Ｘ方向電極１００ｘ、Ｙ方向電極１００ｙ、Ｘ方向接続部１１０ｘは、間隔が１μｍ以上５０μｍ以下となるように形成すれば視認性を低くできる。また、厚さは４００ｎｍ程度にすればよい。
　メッシュパターン２２０には、導電材料で形成され、絶縁のための断線１２０ｇが複数箇所ある。導電材料としては、銀や銅などの金属細線で形成される。図５，８では、導電材料の細線が実線で示されており、その他の部分には導電材料はないので、全体的には透明な状態を維持できる。導電材料の視認性を低くするためには太さを７μｍ以下、メッシュパターン２２０の繰り返し周期を２００～４００μｍ、断線１２０ｇの長さを１μｍ以上２０μｍ以下とすればよい。また、腐食に対する信頼性を向上させるためには太さは３μｍ以上が望ましく、厚さは１～２μｍとすればよい。メッシュパターン２２０は、場所によってＹ方向接続部１４０ｙ、Ｘ方向メッシュ電極１２０ｘ、Ｙ方向メッシュ電極１２０ｙ、Ｘ方向接続メッシュ電極１４０ｘに区別される。
　Ｙ方向接続部１４０ｙは、メッシュパターン２２０の一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成され、Ｙ方向に隣接するＹ方向電極１００ｙ同士を電気的に接続する。Ｙ方向接続部１４０ｙのそれぞれは、導電材料が形成する２つ以上の経路で隣接するＹ方向電極１００ｙ同士を電気的に接続する。例えば、図５のＹ方向接続部１４０ｙは、正方形のパターンがつながって形成されているので、交点以外の場所であれば、腐食などによってどこか一箇所が断線しても、Ｙ方向電極１００ｙ同士を電気的に接続した状態を維持できるので、耐久性、信頼性を向上できる。
　Ｘ方向メッシュ電極１２０ｘは、Ｘ方向電極１００ｘが形成されている領域に、メッシュパターン２２０の一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成され、Ｙ方向接続部１４０ｙとは絶縁されている。なお、「領域」とは、平面図（基板２１０の法線方向から見た図）で示したときの範囲を意味している。以下の説明でも同様である。Ｙ方向メッシュ電極１２０ｙは、Ｙ方向電極１００ｙが形成されている領域に、メッシュパターン２２０の一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成され、Ｘ方向メッシュ電極１２０ｘとは絶縁されている。
　Ｘ方向接続メッシュ電極１４０ｘは、少なくとも、Ｘ方向接続部１１０ｘが形成されている領域に絶縁膜１３０が形成されていない部分があるときには、Ｘ方向接続部１１０ｘが形成されている領域の絶縁膜１３０が形成されていない部分に、メッシュパターン２２０の一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成される。また、Ｘ方向接続メッシュ電極１４０ｘは、Ｙ方向接続部１４０ｙおよびＹ方向メッシュ電極１２０ｙとは絶縁されている。なお、Ｘ方向接続部１１０ｘが形成されている領域全体に絶縁膜１３０が形成されているときも含め、絶縁膜１３０のＹ方向接続部１４０ｙが形成されていない側（のＸ方向接続部１１０ｘ上）にも、Ｘ方向接続メッシュ電極１４０ｘを形成してもよい。
　ただし、絶縁膜１３０のＹ方向接続部１４０ｙが形成されていない側には、Ｘ方向メッシュ電極１２０ｘ、Ｙ方向メッシュ電極１２０ｙ、Ｘ方向接続メッシュ電極１４０ｘを形成しないようにすれば、Ｙ方向接続部１４０ｙ、Ｘ方向メッシュ電極１２０ｘ、Ｙ方向メッシュ電極１２０ｙ、Ｘ方向接続メッシュ電極１４０ｘを１回の処理（印刷）で形成できる。したがって、透明導体材料の膜（Ｘ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘ）を形成する透明導電材料プロセス、絶縁膜１３０を形成する絶縁膜プロセス、メッシュパターン２２０を形成するメッシュパターンプロセスの３つの工程で、タッチパネル２００を作ることができる。なお、メッシュパターンプロセス、絶縁膜プロセス、透明導電材料プロセスの順番でタッチパネル２００を形成してもよい。
　図９Ａ，図９Ｂ，図９Ｃは、メッシュパターンの例を示す図である。図５，８では、正方形のメッシュパターンを示したが、図９Ａに示す三角形、図９Ｂに示す六角形、図９Ｃに示す波形でもよいし、図示していないが他のパターン（八角形など）でもよい。また、後述の変形例や実施例２の説明でも図では正方形のメッシュパターンを示すが、本実施例と同様に他のパターンでもよい。
　タッチパネル２００によれば、透明導電材料の膜が重ならないので、透明導電材料の厚さの違いによる色の違いは生じない。また、透明導電材料も導電材料を用いて形成するメッシュパターンも、ほぼ全面に形成されるので存在する部分と存在しない部分との違いによる視認性への影響はない。したがって、タッチパネル２００は、従来のタッチパネルよりも電極が目立たない。
　さらに、タッチパネル２００のＹ方向接続部１４０ｙは非常に細いので、特許文献１のＸ方向接続部１１ｃとＹ方向接続部５ａが対向する面積に比べ、Ｘ方向接続部１１０ｘとＹ方向接続部１４０ｙが対向する面積は非常に小さい。つまり、Ｘ方向接続部１１０ｘとＹ方向接続部１４０ｙの間に生じる浮遊容量を小さくできる。よって、タッチパネルの感度を向上できる。また、導電材料のメッシュパターン２２０を透明導電材料の膜上に形成するので、電極の抵抗を低くすることもできる。
［変形例］
　図１０に、本変形例のタッチパネル２０１の平面図（基板２１０の法線方向から見た図）を示す。タッチパネル２０１がタッチパネル２００と異なる点は、Ｘ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとの間に透明導電材料の膜であるダミー電極１５０と、ダミー電極が形成された領域にダミーメッシュ電極１６０も備えることである。その他は、実施例１と同じである。
　図１１に、ダミー電極１５０も備えた場合の２つのＸ方向電極１００ｘと２つのＹ方向電極１００ｙを含む範囲を拡大した平面図を示す。図１２は図１１のＸ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘとダミー電極１５０を示した図、図１３は図１２の状態から絶縁膜１３０も形成したときの平面図、図１４は図１１で示した範囲のメッシュパターン２２１の例を示した図である。
　タッチパネル２０１の場合、Ｘ方向電極１００ｘ、Ｙ方向電極１００ｙ、Ｘ方向接続部１１０ｘと同じ層に、ダミー電極１５０も形成されている（図１２参照）。そして、タッチパネル２０１は、ダミー電極１５０が形成されている領域に、メッシュパターン２２１の一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成され、Ｘ方向メッシュ電極１２０ｘおよびＹ方向メッシュ電極１２０ｙとは絶縁されたダミーメッシュ電極１６０も備える。ダミーメッシュ電極１６０も有するため、メッシュパターン２２１はメッシュパターン２２０とは断線１２０ｇの位置が異なる。
　メッシュパターンと透明導電材料の膜の視認性を低くするための条件は、実施例１と同じである。つまり、メッシュパターン２２１を形成する導電材料の幅は７μｍ以下、メッシュパターン２２１の繰り返し周期は２００～４００μｍ、メッシュパターンの絶縁のための断線は１μｍ以上２０μｍ以下、透明導電材料の膜同士の絶縁のための間隔は１μｍ以上５０μｍ以下とすればよい。また、導電材料の幅は、腐食に対する信頼性を向上させるために、太さを３μｍ以上とすればよい。
　このような構成なので、タッチパネル２０１も実施例１のタッチパネル２００と同様の効果が得られる。
　実施例１では、透明導電材料プロセス、絶縁膜プロセス、メッシュパターンプロセスの３つのプロセスで作成できるタッチパネルを示した。実施例２では、透明導電材料プロセス、第１メッシュパターンプロセス、絶縁膜プロセス、第２メッシュパターンプロセスの４つのプロセスで作成できるタッチパネルを示す。実施例２のタッチパネル２０２の平面図（基板２１０の法線方向から見た図）は図４と同じである。また、２つのＸ方向電極１００ｘと２つのＹ方向電極１００ｙを含む範囲を拡大した平面図は図５と同じであり、透明導電材料プロセスで形成されるＸ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘの形状は図６と同じである。また、基板２１０、メッシュパターン２２２の具体的な材料や寸法などは実施例１と同じである。以下では、異なる点について説明する。
　図１５は、第１メッシュパターンプロセスで形成するメッシュパターン２２２’を示す図である。図１５のメッシュパターン２２２’ではＹ方向接続部１４０ｙが存在しない点が、実施例１のメッシュパターン２２０との違いである。なお、図１５の例では、Ｘ方向接続メッシュ電極１４０ｘは、隣接するＸ方向メッシュ電極１２０ｘ同士を接続しているが、Ｙ方向接続部１４０ｙが形成される位置には存在しなくてもよい。
　図１６は、図６に示した導電材料の膜（Ｘ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘ）の上にメッシュパターン２２２’を形成（印刷）した状態を示している。図１５のメッシュパターン２２２’を形成するプロセスが、第１メッシュパターンプロセスである。
　メッシュパターンと透明導電材料の膜の視認性を低くするための条件は、実施例１と同じである。つまり、メッシュパターン２２３を形成する導電材料の幅は７μｍ以下、メッシュパターン２２１の繰り返し周期は２００～４００μｍ、メッシュパターンの絶縁のための断線は１μｍ以上２０μｍ以下、透明導電材料の膜同士の絶縁のための間隔は５０μｍ以下である。また、導電材料の幅は、腐食に対する信頼性を向上させるために、太さを３μｍ以上とすればよい。
　次に、絶縁膜１３１を形成する（絶縁膜プロセス）。図１７に、図１６の状態から絶縁膜１３１も形成したときの平面図を示す。絶縁膜１３１は、Ｙ方向電極１００ｙが形成されているそれぞれの領域の一部にスルーホール１３２を有する。絶縁膜１３１は、スルーホール１３２の部分を除いて、メッシュパターン２２２’が形成された領域全体に形成されている。
　図１８は、図１７の状態からＹ方向接続部１４０ｙをさらに形成（印刷）した状態を示している。Ｙ方向接続部１４０ｙを形成（印刷）するプロセスが第２メッシュパターンプロセスである。図１８では、Ｙ方向接続部１４０ｙを認識できるように太く示しているが、実際のＹ方向接続部１４０ｙは、メッシュパターン２２２’と同じ太さであり、メッシュパターン２２２’の断線の部分を除き、メッシュパターン２２２’と重なる。また、Ｙ方向接続部１４０ｙとメッシュパターン２２２’の両方で、メッシュパターン２２２（図４参照）が形成される。したがって、本実施例の場合も、Ｙ方向接続部１４０ｙは、「あらかじめ定めたメッシュパターンの一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成される」ことに該当する。また、図１５に示したメッシュパターン２２２’で、Ｙ方向接続部１４０ｙと重なる部分は、視認性に影響を与えない部分なので省略してもよい。
　実施例２のタッチパネル２０２は上述のような構成なので、実施例１のタッチパネル２００と同様の効果が得られる。
　なお、上述の説明では、透明導電材料プロセス、第１メッシュパターンプロセス、絶縁膜プロセス、第２メッシュパターンプロセスの順番で製造する前提で説明したが、逆の順番で製造しても構わない。
［変形例］
　本変形例では、透明導電材料プロセス、第１メッシュパターンプロセス、絶縁膜プロセス、第２メッシュパターンプロセス、ダミー電極プロセスの５つのプロセスで作成できるタッチパネルを示す。本変形例のタッチパネル２０３の平面図（基板２１０の法線方向から見た図）は図１０と同じである。タッチパネル２０３がタッチパネル２０２と異なる点は、Ｘ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとの間に透明導電材料の膜であるダミー電極１５０も備え、ダミー電極１５０が形成される領域にダミーメッシュ電極１６０も備えることである。また、２つのＸ方向電極１００ｘと２つのＹ方向電極１００ｙを含む範囲を拡大した平面図は図１１と同じである。
　図１９は、図１１のＸ方向電極１００ｘとＹ方向電極１００ｙとＸ方向接続部１１０ｘを示した図である。本変形例の透明導電材料プロセスでは、透明導電材料を用いて、図１９に示すように膜を形成する。図２０に第１メッシュパターンプロセスで形成するメッシュパターン２２３’を示す。図２０のメッシュパターン２２３’ではＹ方向接続部１４０ｙが存在しない点が、実施例１変形例のメッシュパターン２２１との違いである。なお、図２０の例では、Ｘ方向接続メッシュ電極１４０ｘは、隣接するＸ方向メッシュ電極１２０ｘ同士を接続しているが、Ｙ方向接続部１４０ｙが形成される位置には存在しなくてもよい。
　図２１は、図１９に示した透明導電材料の膜（Ｘ方向電極１００ｘ、Ｙ方向電極１００ｙ、Ｘ方向接続部１１０ｘ）上にメッシュパターン２２３’を形成（印刷）した状態を示す図である。このようにメッシュパターン２２３’を形成（印刷）するプロセスが、第１メッシュパターンプロセスである。本変形例ではダミーメッシュ電極１６０も有するため、メッシュパターン２２３’はメッシュパターン２２２とは断線１２０ｇの位置が異なる。ダミーメッシュ電極１６０は、ダミー電極１５０が形成される領域に、メッシュパターン２２３’の一部として導電材料によってメッシュ状に形成され、Ｘ方向メッシュ電極１２０ｘおよびＹ方向メッシュ電極１２０ｙとは絶縁されている。
　メッシュパターンと透明導電材料の膜の視認性を低くするための条件は、実施例１と同じである。つまり、メッシュパターン２２３を形成する導電材料の幅は７μｍ以下、メッシュパターン２２１の繰り返し周期は２００～４００μｍ、メッシュパターンの絶縁のための断線は１μｍ以上２０μｍ以下、透明導電材料の膜同士の絶縁のための間隔は１μｍ以上５０μｍ以下である。また、導電材料の幅は、腐食に対する信頼性を向上させるために、太さを３μｍ以上とすればよい。
　次に、絶縁膜１３１を形成する（絶縁膜プロセス）。図２２に、図２１の状態から絶縁膜１３１も形成したときの平面図を示す。絶縁膜１３１は、Ｙ方向電極１００ｙが形成されているそれぞれの領域の一部にスルーホール１３２を有する。絶縁膜１３１は、スルーホール１３２の部分を除いて、メッシュパターン２２３’が形成された領域全体に形成されている。
　そして、第２メッシュパターンプロセスとダミー電極プロセスを実行する。図２３は、図２２の状態からＹ方向接続部１４０ｙとダミー電極１５０をさらに形成（印刷）した状態を示している。図２３では、Ｙ方向接続部１４０ｙを認識できるように太く示しているが、実際のＹ方向接続部１４０ｙは、メッシュパターン２２３’と同じ太さであり、メッシュパターン２２３’の断線の部分を除き、メッシュパターン２２３’と重なってしまう。また、Ｙ方向接続部１４０ｙとメッシュパターン２２３’の両方で、メッシュパターン２２３（図１０参照）が形成される。したがって、本変形例の場合も、Ｙ方向接続部１４０ｙは、「あらかじめ定めたメッシュパターンの一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成される」ことに該当する。また、図２０に示したメッシュパターン２２３’の中で、Ｙ方向接続部１４０ｙと重なる部分は、視認性に影響を与えない部分なので省略してもよい。ダミー電極プロセスでは、透明導電材料の膜であるダミー電極１５０を形成する。本変形例の場合、ダミー電極１５０とダミーメッシュ電極１６０とは、絶縁膜１３１を挟んで反対側に形成されている。
　このような構成なので、タッチパネル２０３も実施例１のタッチパネル２００と同様の効果が得られる。
　なお、上述の説明では透明導電材料プロセス、第１メッシュパターンプロセス、絶縁膜プロセス、第２メッシュパターンプロセス、ダミー電極プロセスの順番で製造する前提で説明したが、逆の順番で製造しても構わない。また、第２メッシュパターンプロセスとダミー電極プロセスの順番はどちらが先でも構わない。
１００ｘ　Ｘ方向電極　　　　　　　　　　　　　　１００ｙ　Ｙ方向電極
１１０ｘ　Ｘ方向接続部　　　　　　　　　　　　　１２０ｇ　断線
１２０ｘ　Ｘ方向メッシュ電極　　　　　　　　　　１２０ｙ　Ｙ方向メッシュ電極
１３０，１３１　絶縁膜　　　　　　　　　　　　　１３２　スルーホール
１４０ｘ　Ｘ方向接続メッシュ電極　　　　　　　　１４０ｙ　Ｙ方向接続部
１５０　ダミー電極　　　　　　　　　　　　　　　１６０　ダミーメッシュ電極
２００，２０１，２０２，２０３　タッチパネル　　２１０　基板
２２０，２２１，２２２，２２３，２２２’，２２３’　メッシュパターン

Claims (8)

  1. 　透明な基板と、
    　前記基板の表面に平行な所定の方向であるＸ方向の複数の列に沿って配列された複数のＸ方向電極と、
    　前記基板の表面に平行でＸ方向に垂直な方向であるＹ方向の複数の列に沿って配列された複数のＹ方向電極と、
    　Ｘ方向に隣接するＸ方向電極同士を電気的に接続するＸ方向接続部と、
    　Ｙ方向に隣接するＹ方向電極同士を電気的に接続するＹ方向接続部と、
    　前記Ｘ方向接続部と前記Ｙ方向接続部との間に形成された絶縁膜と、
    　を備えるタッチパネルにおいて、
    　前記Ｘ方向電極、前記Ｙ方向電極、前記Ｘ方向接続部は、同一の層に形成された透明導電材料の膜であり、
    　前記Ｙ方向接続部は、あらかじめ定めたメッシュパターンの一部になるように導電材料によってメッシュ状に形成され、
    　前記Ｘ方向電極が形成されている領域に、前記メッシュパターンの一部になるように前記導電材料によってメッシュ状に形成され、前記Ｙ方向接続部とは絶縁されたＸ方向メッシュ電極と、
    　前記Ｙ方向電極が形成されている領域に、前記メッシュパターンの一部になるように前記導電材料によってメッシュ状に形成され、前記Ｘ方向メッシュ電極とは絶縁されたＹ方向メッシュ電極と、
    　を備え、
    　少なくとも、前記Ｘ方向接続部が形成されている領域に前記絶縁膜が形成されていない部分があるときには、前記Ｘ方向接続部が形成されている領域の前記絶縁膜が形成されていない部分に、前記メッシュパターンの一部になるように前記導電材料によってメッシュ状に形成され、前記Ｙ方向接続部および前記Ｙ方向メッシュ電極とは絶縁されたＸ方向接続メッシュ電極も備える
    　ことを特徴とするタッチパネル。
  2. 　請求項１記載のタッチパネルであって、
    　それぞれの前記Ｙ方向接続部は、前記導電材料が形成する２つ以上の経路で隣接するＹ方向電極同士を電気的に接続する
    　ことを特徴とするタッチパネル。
  3. 　請求項１または２記載のタッチパネルであって、
    　前記メッシュパターンを形成する導電材料の幅は３μｍ以上７μｍ以下、前記メッシュパターンの繰り返し周期は２００～４００μｍ、前記メッシュパターンの絶縁のための断線は１μｍ以上２０μｍ以下、前記透明導電材料の膜同士の絶縁のための間隔は１μｍ以上５０μｍ以下である
    　ことを特徴とするタッチパネル。
  4. 　請求項１から３のいずれかに記載のタッチパネルであって、
    　前記絶縁膜の前記Ｙ方向接続部が形成されていない側には、前記Ｘ方向メッシュ電極、前記Ｙ方向メッシュ電極、前記Ｘ方向接続メッシュ電極は形成されていない
    　ことを特徴とするタッチパネル。
  5. 　請求項４記載のタッチパネルであって、
    　前記Ｘ方向電極、前記Ｙ方向電極、前記Ｘ方向接続部と同一の層の、前記Ｘ方向電極と前記Ｙ方向電極との間に形成された前記透明導電材料の膜であるダミー電極と、
    　前記ダミー電極が形成されている領域に、前記メッシュパターンの一部になるように前記導電材料によってメッシュ状に形成され、前記Ｘ方向メッシュ電極および前記Ｙ方向メッシュ電極とは絶縁されたダミーメッシュ電極と、
    　を備えることを特徴とするタッチパネル。
  6. 　請求項１から３のいずれかに記載のタッチパネルであって、
    　前記絶縁膜は、前記Ｙ方向電極が形成されているそれぞれの領域の一部にスルーホールを有し、前記スルーホールの部分を除いて、前記メッシュパターンが形成された領域全体に形成されている
    　ことを特徴とするタッチパネル。
  7. 　請求項６記載のタッチパネルであって、
    　前記Ｘ方向電極と前記Ｙ方向電極との間に前記透明導電材料によって形成されたダミー電極と、
    　前記ダミー電極が形成されている領域に、前記メッシュパターンの一部になるように前記導電材料によってメッシュ状に形成され、前記Ｘ方向メッシュ電極および前記Ｙ方向メッシュ電極とは絶縁されたダミーメッシュ電極と、
    　を備えることを特徴とするタッチパネル。
  8. 　請求項７記載のタッチパネルであって、
    　前記ダミー電極と前記ダミーメッシュ電極とは、前記絶縁膜を挟んで反対側に形成されている
    　ことを特徴とするタッチパネル。
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