WO2014191381A1 - Vorrichtung zur abbildung einer probe - Google Patents

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WO2014191381A1
WO2014191381A1 PCT/EP2014/060891 EP2014060891W WO2014191381A1 WO 2014191381 A1 WO2014191381 A1 WO 2014191381A1 EP 2014060891 W EP2014060891 W EP 2014060891W WO 2014191381 A1 WO2014191381 A1 WO 2014191381A1
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plane
intermediate image
transmission system
medium
optical
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PCT/EP2014/060891
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Wolfgang Singer
Ralf Wolleschensky
Wilhelm Ulrich
David Shafer
Artur Degen
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Carl Zeiss Microscopy Gmbh
Carl Zeiss Ag
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Publication date
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Definitions

  • the invention relates to a device for imaging a sample arranged in a first medium in an object plane.
  • the device comprises an optical transmission system which images the specimen in the object plane into an intermediate image in an intermediate image plane, wherein the object plane and the intermediate image plane with an optical axis of the transmission system enclose a similar angle different from 90 ° and the optical transmission system comprises two subsystems is symmetrically constructed so that the imaging through the optical transmission system with a scale of 1: 1 takes place.
  • the device also comprises an optical imaging system with an objective whose optical axis is perpendicular to the intermediate image plane and which is focused on the intermediate image plane, so that the object plane can be imaged undistorted onto a detector.
  • Such a device is used in particular in the examination of biological samples, in which the illumination of the sample with a light sheet whose plane intersects the optical axis of the Detekiion at a non-zero angle occurs.
  • the light sheet encloses a right angle with the detection direction, which generally corresponds to the optical axis of the microscope objective.
  • SPIM Effective Plane Illumination Microscopy
  • the SPIM technique is preferably used in fluorescence microscopy, where it is also referred to as LSFM ⁇ Light Sheet Fluorescenc Microscopy).
  • the LSFM technique has several advantages: Since the detection can take place in the far field, larger sample areas can be detected. Although the resolution is somewhat lower than with confocal laser scanning microscopy, the LSFM technique allows thicker samples to be analyzed, since the penetration depth is higher. In addition, the light load In this method, the samples are the lowest, reducing the risk of bleaching a sample, as the sample is illuminated only by a thin sheet of light at a non-zero angle to the direction of detection.
  • a quasi-static light blue can also be generated by rapidly scanning the sample with a rotationally symmetrical light beam.
  • the light sheet-like illumination is created by the rotationally symmetric light beam is subjected to a very fast relative movement to the observed sample and this time in succession several times strung together.
  • the integration time of the camera, on the sensor of which the sample is imaged, is selected so that the scan is completed within the integration time.
  • illumination is via a lens system located in the plane of the sample which is illuminated. So if, for example, observed from above, the lighting must be from the side. Therefore, usual preparation techniques can not be used.
  • Another significant disadvantage is that both the illumination lens and the observation lens must be arranged spatially close to each other, so that for the detection of a lens with a high numerical aperture can be used, which thus retrieves light from a wide range, at the same time Light sheet must be generated.
  • Tilting the detector such that the illuminated section of the sample coincides with the detector plane would significantly degrade the image quality, as tilting the detector relative to the optical axis would result in the appearance of spherical aberrations, the more noticeable the farther the illuminated sample areas lie outside the focus or image plane.
  • This problem can be eliminated with a structure, as described for example in US 2011/0261446 A1.
  • a construction which includes the imaging system of Tokunaga ei al. replaced by a transmission system.
  • This transmission system consists of the mirror-symmetrical coupling of two imaging systems.
  • the two imaging systems are mirror-symmetrically arranged with respect to their optical elements, the mirror plane corresponding to the original image plane of the first imaging system, ie the illuminated area of the sample in the image intersecting the image plane at an angle.
  • the magnification of the transmission system is chosen such that it corresponds to the ratio of the refractive indices of a first medium in which the sample is located to a second medium in which the intermediate image is located.
  • the optical components of the two imaging subsystems can be selected identically, but are arranged mirror-inverted, so that the imaging takes place on a scale of 1: 1. If one of the two subsystems is designed as an immersion system, the optical element which is closest to the sample, that is to say in an immersion medium, then, according to US 2011/026 446 A1, enlargements are to be selected which correspond to the ratio of the refractive indices of the object side and a picture-side medium or immersion medium correspond.
  • the object plane is imaged into an intermediate image in an intermediate image plane, the intermediate image plane again coinciding with the light-plane, so that the object plane is shown undistorted and not enlarged with respect to the intermediate image plane.
  • US 201 1/0261446 A1 provides an optical imaging system designed as a microscope, which has an objective whose optical axis is perpendicular to the intermediate image plane. It is also focused on the intermediate image plane, the focal planes of the transmission tion systems and the imaging system intersect at the center of the intermediate image. In this way, an undistorted image of the sample, ie an image free of aberrations, with a microscope-dependent magnification can be made on a detector.
  • the object of the invention is therefore to develop a device of the type described above to the effect that these disadvantages are overcome.
  • a compact, space-saving system is to be developed, which manages with as few lenses as possible and, moreover, has little need to be corrected with regard to the prevention of aberrations.
  • both subsystems telecentric and the optical transmission system is constructed symmetrically with respect to a pupil plane, the object plane and the intermediate image plane meet the Scheimpflug condition, and wherein the intermediate image in a second medium, which is a for first medium has almost identical refractive index lies.
  • a compact design which also requires little corrections, can be achieved by the lens group of the subsystems arranged closest to the sample or the intermediate bladder comprising at least one catadioptric assembly.
  • the construction of the optical transmission system with a catadioptric assembly offers several advantages over a system of lenses. Firstly, no special corrections of chromatic aberrations are necessary because the light is mirrored instead of going through a lens. It's also easier to apply Petzval corrections. With the aid of a catadioptric assembly, it is also possible to construct the optical transmission system in a straightforward manner with telecentric subsystems and with respect to a pupil plane symmetrically, so that, for example, a pupil bite is inserted into the plane of symmetry of the transmission system which can be used to control the numerical aperture. The beam path can be extended in this area also in a certain range, so that the accommodation of further optical elements is possible.
  • the accessible pupil also facilitates the generation of an overview image with an object plane which, for example, can lie parallel to the surface of a cover glass. Due to the telecentricity of the subsystems, it is achieved that the transmission also takes place correctly in a wide range outside the focal plane without appreciable aberrations.
  • Object plane and intermediate image plane meet the Scheimpflug condition, so that an angle ß ', which includes the normal of the intermediate image plane with the optical axis of the transmission system, by an angle ß, which includes the normal of the object plane with the optical axis of the transmission system, and by the refractive indices of both media and the magnification is clearly specified.
  • an angle ß ' which includes the normal of the intermediate image plane with the optical axis of the transmission system
  • ß which includes the normal of the object plane with the optical axis of the transmission system
  • refractive indices of both media and the magnification is clearly specified.
  • the two media have the same refractive indices ⁇ ', n or at least approximately equal refractive indices and a magnification of 1 is selected for a reproduction on a scale of 1: 1, the two angles are consequently the same or nearly the same, which is the structure of the optical imaging system relative to the optical transmission system. Even with almost the same refractive indices, the angles can be assumed to be the same as in a good approximation.
  • the subsystems of the transfer optics are constructed symmetrically, but also the refractive indices of possibly used immersion media and of media in which sample or intermediate image are located, are almost equal.
  • coverslips are used, they are preferably constructed identically both in the object area and in the intermediate image area, ie of the same material and of identical thickness. It is also possible to use coverslips made of different materials if their refractive indices are nearly equal.
  • the intermediate image therefore lies in a second medium which has a refractive index which is almost identical to the first medium.
  • the transmission system interacts with the media and allows a true-to-scale reproduction in a given volume range in a ratio of 1: 1, an object-faithful volume image that is perpendicular to the image in its lateral extent comic and in the depth opening error-free, so that even an object plane lying obliquely to the optical axis is true to scale and without the errors mentioned in the intermediate image plane is mapped.
  • the apparatus described above is generally suitable for imaging slated object planes and is easily deployable there due to its compact design
  • its particular advantage is that it can be used in conjunction with the SPIM technique in which detection direction and direction of illumination one of Include zero different angles and the illumination in the direction of illumination is done with a light sheet.
  • the device preferably has means for coupling illumination light for illuminating the sample with a light sheet, wherein the light sheet plane lies substantially in the object plane and at a non-zero angle to the detection direction.
  • a first possibility for designing the means for coupling illumination light is to provide a lighting device which couples the illumination light via the second medium in the intermediate image plane in the Strahiengang, wherein the illumination of the intermediate image plane is carried out with a light sheet in this plane.
  • this requires a precise structural adaptation of the illumination optics and the optical imaging system, which is focused on the intermediate image plane, since both are on the same side of the transmission optics, which complicates the use of high numerical apertures.
  • the advantage of this arrangement compared to a coupling of illumination light directly at the sample location lies precisely in the fact that the illumination does not take place at the sample location, which allows a simpler overall design and widens the application possibilities, since no consideration has to be given to a special configuration of the sample chamber.
  • the means for coupling illumination light comprise a beam splitter arranged in a pupil plane between the two subsystems.
  • This embodiment can be used particularly well, in particular, when the wavelengths of the illumination light differ from those that are to be detected, as is regularly the case, for example, in fluorescence microscopy applications.
  • beam splitters other optical elements can be used as long as they redirect the coupled light towards the sample and allow the light coming from the sample to pass unimpeded in the corresponding region of the device.
  • the illumination light is coupled only into that part of the optical transmission system which falls onto the sample at a different angle than the light beam from the sample takes to delektierende light.
  • the angular range in which the illumination light is irradiated “So different from the angular range at which the light to be detected is emitted from the sample, in each case with respect to the optical axis. This applies to all configurations.
  • first and second medium also act as immersion agents.
  • water can be used as the first medium.
  • this choice is also possible for the second medium, but has drawbacks insofar as the optical imaging system for detection and optionally also the illumination device then have to be correspondingly designed as immersion optics.
  • the refractive index of water is 1, 33 and that of said fluoropoly- mer 1, 34, which is considered to be almost equal in the context of the invention.
  • CYTOP ® can also be used as the first medium.
  • the fluoropolymer can also be used instead of a cover glass, if such is provided, so that due to the almost identical refractive indices a design of the transmission system with higher tolerances is possible.
  • Another embodiment provides for the use of sample carriers on both sides of the transmission system. If a sample chamber is used on the object side, the use of a plate made of the same material or of a material having a virtually identical refractive index and of the same thickness as the corresponding sample chamber wall is sufficient between them in order to obtain the optical symmetry. Immersionsstoff must then not be used, but can of course be used, in which case the same immersion agent is preferably used on both sides of the transmission system, for example water or oil.
  • suitable materials such as water, aqueous solutions or gels may be used, with the exception of air.
  • the catadioptric assembly comprises the following optical elements: (i) a plano-convex lens or lens group having a convex surface and a planar surface facing the object plane or intermediate image plane and mirrored to the inside, and (ii) one of the convex surface of the lens or lens group opposed mirror element having a concave shaped mirror surface which reflects light coming from the plano-convex lens or lens group.
  • a plano-convex lens or lens group having a convex surface and a planar surface facing the object plane or intermediate image plane and mirrored to the inside
  • one of the convex surface of the lens or lens group opposed mirror element having a concave shaped mirror surface which reflects light coming from the plano-convex lens or lens group.
  • an area including the optical axis is always excluded from the mirroring, so that light in these areas can pass through the mirrors and be transmitted.
  • the catadioptric assembly may comprise a single plano-convex lens or a lens group of two or more lenses cemented together.
  • the convex surface of the plano-convex lens or lens group may be aspherical in shape, the mirror element may also be configured as Manginapt.
  • Figure 1 shows the basic structure of a device for imaging a sample with an optical
  • FIG. 6 shows a fourth specific embodiment of the optical transmission system.
  • the device comprises an optical transmission system 4, which images the sample 1 in the object plane 2 into an intermediate image 5 in an intermediate image plane 6.
  • the object plane 2 and the intermediate image plane 6 each include an angle different from 90 ° with an optical axis of the optical transmission system 4, both angles are preferably the same.
  • the optical transmission system 4 consists of two subsystems, an object-side subsystem 4a and an inter-image subsystem 4b, each with a plurality of lenses, and is Symmetrical with respect to a plane of symmetry 7, so that the mapping is done with a scale of 1: 1.
  • the structure of the optical transmission system is symmetrical with respect to a pupil plane, the plane of symmetry 7 thus corresponds to a pupil plane.
  • an optional, advantageously controllable pupil diaphragm 8 is arranged in the construction shown in FIG.
  • the lens group of the subsystems 4a and 4b arranged closest to the sample 1 or the intermediate image 5 respectively comprises at least one catadioptric assembly.
  • the transmission system 4 is constructed so that when imaging the sample 1, the intermediate image 5 is in a second medium 9, wherein the second medium having an almost identical to the first medium 3 refractive index.
  • the first medium 3 is water and if the transmission system 4 is designed as an immersion system so that it dips for example directly into the sample chamber with water, the second subsystem 4b is also designed as an immersion system, the intermediate image 5 then being in the second medium 9, which has a refractive index which is almost identical to the water, it being understood that the second medium 9 may also be identical to the first medium 3.
  • CYTOP ® can also be used as a second medium, which facilitates the construction since it is not a liquid material.
  • Other, but compared to water firmer media, but with almost the same refractive indices can be used here.
  • a sample carrier 10 is also arranged on the intermediate image side of the transmission system 4 or a corresponding optical, usually plane-parallel element made of the same material and of the same thickness as the sample carrier 0.
  • the transmission system 4 can be configured as immersion system, an immersion liquid is located then in each case between the outer lens of the catadioptric system and the sample carrier 10.
  • oil can be used as immersion liquid, which, however, is not particularly suitable as the first medium 3, since oil can not be used for storing living samples in particular.
  • an optical imaging system 11 is directed with an objective 12, whose optical axis is perpendicular to the intermediate image plane 6 and which is focused on the intermediate image plane 6.
  • the detector 13 may be, for example, the CCD or CMOS chip of a camera, and observation through an eyepiece or on a screen is, of course, conceivable.
  • Both subsystems 4a and 4b are telecentric systems, and the transmission system 4 as an overall system is an afocal system, so that the intermediate image is imaged without error in a large area, which is not focused. This is necessary because the object plane 2 is tilted to the optical axis, so that actually a region from the volume is imaged onto the detector 3.
  • catadioptric assemblies for the subsystems 4a, 4b also offers the advantage that the pupil, which forms the region between the two subsystems 4a and 4b, is easily accessible. In this way, additional optical elements, such as the already mentioned pupil diaphragm 8, can be introduced into the beam path.
  • the device described above can be used particularly well in connection with the SPI technique, since it offers several possibilities to couple the illumination light for illuminating the sample 1 with a light sheet, as is necessary in this method, in the beam path of the transmission system 4, wherein the Lichiblattebene lies substantially in the object plane and at a non-zero angle to the detection direction.
  • the combination with a classic SPIM structure is possible in which the illumination is carried out by a separate illumination objective in the region of the sample or sample chamber.
  • the means for coupling illumination light 14 shown in FIG. 1 comprise a beam conductor 5 arranged in a pupil plane between the two subsystems 4 a and 4 b.
  • the arrangement of the beam splitter 15 in the pupil plane is readily possible since the beam path at this point lies between the two Subsystems 4a and 4b can be extended to a certain extent, so that the beam splitter 15 can be arranged without problems in the pupil plane, in Figure 1, the beam splitter 15 is arranged in the plane of symmetry 7, this is not absolutely necessary, it can also directly be assigned to one of the two subsystems 4a or 4b.
  • the radiation probe 15 must be designed in such a way that it transmits light to be detected, which is, however, unproblematical for fluorescence microscopy applications, since here the wavelengths of the illumination light 14 and the light to be detected differ. It can be seen in FIG.
  • FIG. 4 Another possibility for coupling illumination light 14 into the beam path of the transmission system 4 is shown in FIG.
  • the representation of the complete transmission system 4 has been omitted, but only the intermediate image-side subsystem 4b is shown as a sketch, the optical elements shown are only used to illustrate the fundamental radiation profile.
  • the illumination device 16 shown here is arranged on the side of the intermediate image 5, it is designed to introduce the illumination light 14 via the second medium 9 in the intermediate image plane 6 in the beam path, the illumination of the intermediate image plane 6 already takes place with a light sheet in this plane , This light sheet is then correspondingly transferred to the object plane 2, since the transmission system 4 works in both directions.
  • the intermediate image-side subsystem 4b shown in FIG. 2 it is in direct contact with the second medium 9, which thus acts as an immersion medium.
  • the first medium 3 is in direct contact with the corresponding optical element of the object-side subsystem 4a and acts there as an immersion medium.
  • a special sample holder is therefore dispensed with. If the first medium 3 is, for example, water, then the transmission system can be introduced from above into the corresponding sample chamber. Special connections to the sample chambers also allow mounting from the side or from below. If, for example, water is used as the first medium 3, it is also possible to use water as the second medium 9.
  • the first medium 3 and the second medium 9 can also be replaced by a sample carrier 10 or cover slides or a corresponding element on the intermediate image side.
  • the transmission system 4 does not necessarily have to be configured as an immersion system, but to achieve a high numerical aperture, the design as an immersion system is advantageous.
  • the Transmission system 4 for example, a numerical aperture of 1, 31, the optical imaging system 11 has a numerical aperture of 1, 0 and the illumination device 16 have a numerical aperture of 0.5.
  • an extremely high numerical aperture is no longer necessary here, which facilitates the optical design in terms of selection and assembly of components for well-corrected imaging.
  • the catadioptric assembly may be configured in various ways, depending on the design of this assembly, the remaining elements of the transmission system 4 are designed.
  • the catadioptric assembly comprises, for example, a plano-convex lens or lens group and a mirror element.
  • the plano-convex lens or lens group has a flat surface, which faces the object plane 2 or intermediate image plane 6 and is mirrored to the inside. In this case, an area which encloses the optical axis is excluded from the mirroring for the passage of light.
  • the area must be large enough for sufficient light to be able to enter the transmission system 4 along the detection direction through this non-mirrored area, and also illumination light at an angle of preferably 90 ° with respect to the detection direction for optimum illumination with a light sheet.
  • a convex surface is arranged opposite the planar surface, and the mirror element in turn is arranged opposite this convex surface of the lens or lens group.
  • the mirror surface of this mirror element is concave-shaped, it reflects light coming from the plano-convex lens or lens group. Also in the mirror element, an area including the optical axis is excluded from the mirroring for passing light.
  • the beam path is designed so that light enters through the non-mirrored area at an angle which lies in the detection direction, first passes through the plano-convex lens, exits at the convex surface, and is reflected back to the mirror surface of the mirror element on the plano-convex Lens. After repeated entry through the convex surface of the plano-convex lens, the beam is reflected at the mirrored, planar surface in the direction of the region of the mirror element, which is except for the passage of light from the mirror coating.
  • This area can be formed as an opening, in this opening can already be inserted a corresponding lens or lens group.
  • the transmission system 4 can be realized in various ways.
  • each of subsystems 4a and 4b may have the system data listed in Table 1 below.
  • a transmission system with these system data is shown by way of example in FIG.
  • the catadioptric assembly thus consists here of the lens L1 and the mirror element S2.
  • the working distance is in this case 0.5 mm, as the first and second medium is preferably a Materia!
  • FIG. 4 Another example of a realization of the transmission system 4 is shown in FIG.
  • Each of the two subsystems 4a and 4b of the transmission system 4 shown there has the following system data:
  • Each of the subsystems 4a and 4b thus has lenses L1, L2, L3, L5, L6, L7, L8, L9, L10 and a mirror element S4.
  • the lenses L, L2 and L3 are cemented together, as are the lenses L8, L9 and L10 cemented together, they each form lens groups.
  • the surfaces 1 and 5 are mirrored, marked in Figure 4 as well as in Figure 3 by the indicated hatching.
  • Water is again preferably used as the first and second medium, the working distance from the object plane-without the cover glass-being 0.4 mm, ie the thickness of the water layer is 0.4 mm.
  • a fluoropolymer may be used, for example, in place of the water as a second medium on the intermediate image side.
  • the convex surface of the plano-convex lens or lens group is aspherically shaped, in the case of a lens group it means the surface farthest away from the object.
  • An example of such a transmission system 4 is shown in FIG. It has the following system data from Table 3.
  • the convex surface 2 of the plano-convex lens is aspherically shaped.
  • the aspherically shaped surface in this case a rotationally symmetric conic asphere, is governed by the relationship described.
  • K is the conic constant
  • N are natural numbers and c 2 , - the coefficients of a polynomial in h.
  • R denotes the radius of an imaginary conic sectional area at the vertex of this area, ie the distance of the vertex to the nearest focal point. Both the vertex and the foci of the conic section on the optical axis win.
  • the coefficients, the conic constant K and the radius R are determined iteratively.
  • the radius of area 2 in Table 3 denotes the spherical base radius in the nearest vicinity of the optical axis, ie, for small h, and corresponds to p.
  • the lenses L5 and L6 form a lens group, they are cemented together.
  • Water is again preferably used as the first and second medium, the working distance, ie the thickness of the water layer, being 0.4 mm.
  • the mirror element can also be configured as a Manginapt.
  • a Manginapter An example of this is shown in Figure 6, it has the following system data from Table 4: Lens area radius [mm] thickness [mm] / air distance [mm] rid
  • Each of the subsystems 4a, 4b thus has lenses L1, L2, L3, L4, L5 and L6.
  • the lens L2 is designed as a Manginapt, ie, the one side of this lens is - except for the area around the optical axis - mirrored.
  • Water or a fluoropolymer are again preferably used as the first and second medium, the working distance, ie the thickness of the water layer, being 0.4 mm.
  • the fluoropolymer can also be used in place of a coverslip.
  • optical transmission systems described above due to the use of catadioptric elements, greatly reduce the structure of a device for imaging a sample, particularly in the context of SPIM applications. Since the intermediate image and the actual object lie in media with approximately the same refractive index, the defocused volume region is imaged with almost no optical errors, so that even oblique object planes which lie in a large area outside the focus can be correctly imaged. LIST OF REFERENCE NUMBERS

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Abbildung einer in einem ersten Medium (3) in einer Objektebene (2) angeordneten Probe (1). Eine solche Vorrichtung umfasst ein optisches Übertragungssystem (4), welches die Probe (1) in der Objektebene (2) in ein Zwischenbild (5) in einer Zwischenbildebene (6) abbildet, wobei die Objektebene (2) und die Zwischenbildebene (6) mit einer optischen Achse des Übertragungssystems (4) einen von 90° verschiedenen Winkel einschließen und das optische Übertragungssystem (4) aus zwei Teilsystemen (4a, 4b) mit mehreren Linsen symmetrisch bezüglich einer Symmetrieebene (7) aufgebaut ist, so dass die Abbildung durch das Übertragungssystem mit einem Maßstab von 1:1 erfolgt. Die Vorrichtung umfasst außerdem ein optisches Abbildungssystem (11) mit einem Objektiv (12), dessen optische Achse senkrecht auf der Zwischenbildebene (6) steht und welches auf die Zwischenbildebene (6) fokussiert ist, so dass die Objektebene (2) unverzerrt auf einen Detektor (13) abbildbar ist. Bei einer solchen Vorrichtung sind beide Teilsysteme (4a, 4b) telezentrisch und das optische Übertragungssystem (4) bezüglich einer Pupillenebene symmetrisch aufgebaut, wobei die Objektebene (2) und die Zwischenbildebene (6) die Scheimpflugbedingung erfüllen, und wobei das Zwischenbild (5) in einem zweiten Medium (9), welches einen zum ersten Medium (3) nahezu identischen Brechungsindex aufweist, liegt. Außerdem umfasst die der Probe (1) bzw. dem Zwischenbild (5) am nächsten angeordnete Linsengruppe der Teilsysteme (4a, 4b) mindestens eine katadioptrische Baugruppe.

Description

Vorrichtung zur Abbildung einer Probe
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Abbildung einer in einem ersten Medium in einer Objektebene angeordneten Probe. Die Vorrichtung umfasst ein optisches Übertragungssystem, welches die Probe in der Objektebene in ein Zwischenbild in einer Zwischenbildebene abbildet, wobei die Objektebene und die Zwischenbildebene mit einer optischen Achse des Übertragungssystems einen von 90° verschiedenen, gleichen Winkel einschließen und das optische Übertragungssystem aus zwei Teilsystemen mit mehreren Linsen symmetrisch aufgebaut ist, so dass die Abbildung durch das optische Übertragungssystem mit einem Maßstab von 1 :1 erfolgt. Die Vorrichtung umfasst außerdem ein optisches Abbildungssystem mit einem Objektiv, dessen optische Achse senkrecht auf der Zwischenbildebene steht und welches auf die Zwischenbildebene fokussiert ist, so dass die Objektebene unverzerrt auf einen Detektor abbildbar ist.
Eine solche Vorrichtung wird insbesondere bei der Untersuchung von biologischen Proben eingesetzt, bei der die Beleuchtung der Probe mit einem Lichtblatt, dessen Ebene die optische Achse der Detekiion in einem von Null verschiedenen Winkel schneidet, erfolgt. Üblicherweise schließt dabei das Lichtblatt mit der Detektionsrichtung, die in der Regel der optischen Achse des Mikroskopobjektivs entspricht, einen rechten Winkel ein. Mit dieser auch als SPIM (Seiecti- ve Plane llumination Microscopy) bezeichneten Technik lassen sich in relativ kurzer Zeit räumliche Aufnahmen auch dickerer Proben erstellen. Auf der Basis von optischen Schnitten kombiniert mit einer Relativbewegung in einer Richtung senkrecht zur Schniitebene ist eine bildliche, räumlich ausgedehnte Darstellung der Probe möglich.
Die SPIM-Technik wird bevorzugt in der Fluoreszenzmikroskopie eingesetzt, wo sie dann auch als LSFM {Light Sheet Fluorescenc Microscopy) bezeichnet wird. Gegenüber anderen etablierten Verfahren wie der konfokalen Laser-Scanning-Mikroskopie oder der Zwei-Photonen- Mikroskopie weist die LSFM-Technik mehrere Vorzüge auf: Da die Detektion im Weitfeld erfolgen kann, lassen sich größere Probenbereiche erfassen. Zwar ist die Auflösung etwas geringer als bei der konfokalen Laser-Scanning-Mikroskopie, jedoch lassen sich mit der LSFM-Technik dickere Proben analysieren, da die Eindringtiefe höher ist. Darüber hinaus ist die Lichtbelastung der Proben bei diesem Verfahren am geringsten, was die Gefahr des Ausbleichens einer Probe reduziert, da die Probe nur durch ein dünnes Lichtblatt in einem von Null verschiedenen Winkel zur Detektionsrichtung beleuchtet wird.
Statt ein rein statisches Lichtblau zu verwenden, kann auch ein quasistatisches Lichtblau erzeugt werden, indem die Probe mit einen rotationssymmetrischen Lichtstrahl schnell abgetastet wird. Die lichtblattartige Beleuchtung entsteht, indem der rotationssymmetrische Lichtstrahl einer sehr schnellen Relativbewegung zu der zu beobachteten Probe unterworfen wird und dabei zeitlich aufeinanderfolgend mehrfach aneinandergereiht wird. Dabei wird die Integrationszeit der Kamera, auf deren Sensor die Probe abgebildet wird, so gewählt, dass die Abtastung innerhalb der Integrationszeit abgeschlossen wird.
Die SPIM-Technik ist in der Literatur inzwischen vielfach beschrieben, beispielsweise in der DE 102 57 423 A1 und der darauf aufbauenden WO 2004/0535558 A1. Verfahren und Anordnungen, mit denen sich ein besonders dünnes Lichtblatt konstruieren lässt, sind beispielsweise in der nicht vorveröffentiichten DE 10 2012 013 163.1 beschrieben.
Bei den üblichen SPIM-Anordnungen erfolgt die Beleuchtung über ein Linsensystem, welches in der Ebene der Probe liegt, die beleuchtet wird. Wird also beispielsweise von oben beobachtet, so muss die Beleuchtung von der Seite erfolgen. Übliche Präparationstechniken können daher nicht verwendet werden. Ein weiterer wesentlicher Nachteil liegt darin, dass sowohl das Beleuchtungsobjektiv als auch das Beobachtungsobjektiv räumlich nah beieinander angeordnet werden müssen, so dass für die Detektion eine Linse mit einer hohen numerischen Apertur benutzt werden kann, die also aus einen weiten Bereich Licht herholt, wobei gleichzeitig ein Lichtblatt erzeugt werden muss. Diese mechanischen Beschränkungen können zu einer Einschränkung der numerischen Apertur und damit der Auflösung des abbildenden Systems führen.
Im Artikel„Highly inclined thin Illumination enables clear single-molecule imaging in cells" von M. Tokunaga et a/., erschienen in Nature ethods 5 (2), S. 159-161 im Jahre 2008, wird eine Anordnung beschrieben, die es ermöglicht, dasselbe Objektiv für die Beleuchtung mit einem Lichtblau und für die Detektion von Fluoreszenz, die von der Probe kommt, zu verwenden. Dabei erfolgt die Beleuchtung der Probe mit einem Lichtblatt über einen Teilbereich des Objektivs, welcher einen Randbereich dieses Objektivs einschließt, so dass die Beleuchtung also unter einem zur optischen Achse des Objektivs schrägen Winkel erfolgt. Für die Detektion wird dann ein gegenüberliegender Randbereich des Objektivs verwendet, so dass die Detektion im Mittel ebenfalls unter einem zur optischen Achse des Objektivs von Null verschiedenen Winkel erfolgt. Dieser Winkel beträgt aufgrund der beschränkten numerischen Apertur des Objekts dabei in der Regel weniger als 90°, wie es sonst in der SPIM-Technik üblich ist. Darüber hinaus liegt das Lichtblatt nicht in der Fokusebene des Objektivs, sondern in einem Winkel schräg zu dieser, so dass es sie nur in einem Punkt schneidet- Dies hat zur Folge, dass auch im Bild der durch das Lichtblatt beleuchtete Schnitt durch die Probe nicht in der Bildebene liegt, sondern diese nur an einen Punkt schneidet und somit in weiten Bereichen defokussiert ist. Ein Kippen des Detektors derart, dass die beleuchtete Sektion der Probe mit der Detektorebene zusammenfällt, würde die Bildqualität erheblich verschlechtern, da das Kippen des Detektors relativ zur optischen Achse zum Auftreten von sphärischen Abberationen führen würde, die sich um so stärker bemerkbar machen, je weiter die beleuchteten Probenbereiche außerhalb der Fokus- bzw. Bildebene liegen.
Dieses Problem lässt sich mit einem Aufbau beseitigen, wie er beispielsweise in der US 2011/0261446 A1 beschrieben ist. Dort ist ein Aufbau offenbart, welcher das abbildende System von Tokunaga ei al. durch ein Übertragungssystem ersetzt. Dieses Übertragungssystem besteht aus der spiegelsymmetrischen Aneinanderkopplung zweier abbildender Systeme. Die beiden abbildenden Systeme sind bzgl. ihrer optischen Elemente, spiegelsymmetrisch angeordnet, wobei die Spiegelebene der ursprünglichen Bildebene des ersten abbildenden Systems entspricht, bei der also der beleuchtete Bereich der Probe im Bild die Bildebene schräg schneidet. Die Vergrößerung des Übertragungssystems wird so gewählt, dass sie dem Verhältnis der Brechzahlen eines ersten Mediums, in dem sich die Probe befindet, zu einem zweiten Medium, in dem das Zwischenbild lokalisiert ist, entspricht.
Sofern keine Immersionsmedien verwendet werden, können die optischen Komponenten der beiden abbildenden Teilsysteme sind identisch gewählt werden, sind jedoch spiegelverkehrt angeordnet, sodass die Abbildung in dem Maßstab 1 :1 erfolgt. Falls eines der beiden Teilsysteme als Immersionssystem ausgestaltet ist, sich das optische Element, welches der Probe am nächsten ist, also in einem Immersionsmedium befindet, so sollen gemäß der US 2011/026 446 A1 Vergrößerungen gewählt werden, die dem Verhältnis der Brechzahlen des objektseitigen und eines bildseitigen Mediums oder Immersionsmediums entsprechen.
Mit Hilfe des - bis auf die Verwendung von Immersionsmedien symmetrischen - optischen Übertragungssystems wird also die Objektebene in ein Zwischenbiid in einer Zwischenbildebene abgebildet, wobei die Zwischenbildebene wieder mit der Lichtblattebene zusammenfällt, so dass die Objektebene bezüglich der Zwischenbildebene unverzerrt und nicht vergrößert dargestellt ist.
Um nun eine vergrößerte Darstellung der Probe in der Objektebene zu erhalten, ist in der US 201 1/0261446 A1 ein als Mikroskop ausgestaltetes optisches Abbildungssystem vorgesehen, welches ein Objektiv aufweist, dessen optische Achse senkrecht auf der Zwischenbildebene steht. Außerdem ist es auf die Zwischenbildebene fokussiert, die Fokusebenen des Übertra- gungssysiems und des Abbildungssystems schneiden sich im Zentrum des Zwischenbildes. Auf diese Weise kann eine unverzerrte Abbildung der Probe, d.h. eine Abbildung frei von Abberationen, mit einer vom Mikroskop abhängigen Vergrößerung auf einen Detektor erfolgen. Das zugrunde liegende Prinzip wird beispielsweise in der WO 2008/078083 A1 beschrieben, demnach kann unter Verwendung eines solchen Systems ein Objekt in einem gewissen Volumenbereich in einer senkrecht zur optischen Achse liegenden Bildebene komafrei und öffnungsfehlerfrei in der Tiefe abgebildet werden.
Nachteilig bei der in der US 201 1/0261446 A1 beschriebenen Anordnung ist die Vielzahl von Linsen, die für das optische Übertragungssystem verwendet werden, da es sich bei jedem der beiden Teilsysteme um ein mikroskopisches System mit einer Tubuslinse handelt. Das Gesamtsystem beansprucht deshalb viel Raum, die Vielzahl der Linsen führt zudem zu einen Lichtverlust, der sich negativ bemerkbar macht. Ein weiteres Problem entsteht dadurch, dass die Objektebene gekippt ist, so dass eine Vielzahl von Objektpunkten, die abgebildet werden sollen, nicht im Fokus liegen. Üblicherweise sind Mikroskoplinsen jedoch für solche Bereiche weit außerhalb der Fokusebene nicht korrigiert.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art dahingehend weiterzuentwickeln, dass diese Nachteile überwunden werden. Insbesondere soll ein kompaktes, platzsparendes System entwickelt werden, welches mit möglichst wenig Linsen auskommt und zudem hinsichtlich der Vermeidung von Abbildungsfehlern möglicht wenig korrigiert werden muss.
Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art dadurch gelöst, dass beide Teilsysteme telezentrisch und das optische Übertragungssystem bezüglich einer Pupillenebene symmetrisch aufgebaut ist, wobei die Objektebene und die Zwischenbildebene die Scheimpflugbedingung erfüllen, und wobei das Zwischenbild in einem zweiten Medium, welches einen zum ersten Medium nahezu identischen Brechungsindex aufweist, liegt. Eine kompakte Bauweise, welche zudem wenig Korrekturen benötigt, lässt sich erreichen, indem die der Probe bzw. dem Zwischenbäld am nächsten angeordnete Linsengruppe der Teilsysteme mindestens eine katadioptrische Baugruppe umfasst.
Der Aufbau des optischen Übertragungssystems mit einer katadioptrischen Baugruppe bietet gegenüber einem System aus Linsen mehrere Vorteile. Zum einen sind keine besonderen Korrekturen von Farbfehlern notwendig, da das Licht gespiegelt wird, anstatt durch eine Linse zu gehen. Außerdem ist es leichter, Petzval-Korrekturen anzuwenden. Mit Hilfe einer katadioptrischen Baugruppe ist es außerdem möglich, das optische Übertragungssystem unkompliziert mit telezentrischen Teilsystemen und hinsichtlich einer Pupillenebene symmetrisch aufzubauen, so dass in die Symmetrieebene des Übertragungssystems z.B. eine Pupillenbiende eingesetzt werden kann, mit Hilfe derer sich die numerische Apertur steuern lässt. Der Strahlengang kann in diesem Bereich auch in einem gewissen Bereich verlängert werden, so dass die Unterbringung weiterer optischer Elemente möglich wird. Auch lässt sich so eine strukturierte Beleuchtung ohne eine separate Pupillenabbildung erzeugen. Die zugängliche Pupille erleichtert auch die Erzeugung eines Übersichtsbildes mit einer Objektebene, die beispielsweise parallel zur Oberfläche eines Deckglases liegen kann. Durch die Telezentrie der Teilsysteme wird erreicht, dass die Übertragung auch in einem weiten Bereich außerhalb der Fokusebene ohne nennenswerte Abbildungsfehler korrekt erfolgt.
Objektebene und Zwischenbildebene erfüllen die Scheimpflugbedingung, so dass ein Winkel ß', den die Normale der Zwischenbildebene mit der optischen Achse des Übertragungssystems einschließt, durch einen Winkel ß, den die Normale der Objektebene mit der optischen Achse des Übertragungssystems einschließt, sowie durch die Brechzahlen der beiden Medien und die Vergrößerung eindeutig vorgegeben ist. Allgemein gilt ri
tm '=—M tmß
n
Wenn, wie bevorzugt, die beiden Medien die gleichen Brechzahlen η', n oder zumindest nahezu gleiche Brechzahlen aufweisen und eine Vergrößerung von 1 bei einer Abbildung im Maßstab 1 :1 gewählt wird, sind die beiden Winkel folglich gleich oder nahezu gleich, was den Aufbau des optischen Abbildungssystems relativ zum optischen Übertragungssystem erleichtert. Auch bei nahezu gleichen Brechzahlen können die Winkel als in guter Näherung gleich angesetzt werden.
Bei der erfindungsgemäßen Lösung sind nicht nur die Teilsysteme der Übertragungsoptik symmetrisch aufgebaut, sondern auch die Brechzahlen eventuell verwendeter Immersionsmedien und von Medien, in denen Probe bzw. Zwischenbild lokalisiert sind, sind nahezu gleich. Sofern Deckgläser verwendet werden, sind diese bevorzugt sowohl im Objektbereich als auch im Zwi- schenbildbereich identisch aufgebaut, d.h. aus dem gleichen Material und von identischer Dicke. Es ist auch möglich, Deckgläser aus verschiedenen Materialien zu verwenden, wenn ihre Brechzahlen nahezu gleich sind. Das Zwischenbild liegt daher in einem zweiten Medium, welches eines zum ersten Medium nahezu identischen Brechungsindex aufweist. Nicht zuletzt durch diese Maßnahme kann durch diesen symmetrischen Aufbau das Auftreten von Abberationen wie Koma und lateraler Farbauslöschung vermieden werden, da sich diese nicht symmetrischen Aberrationen beider Teilsysteme gegenseitig kompensieren. Das Übertragungssystem im Zusammenspiel mit den Medien ermöglicht in einem vorgegebenen Volumenbereich eine sowohl in der Tiefe als auch in der lateralen Ausdehnung maßstabsgetreue Abbildung im Verhältnis 1 : 1 , eine objekttreue Volumenabbildung, die in der lateralen Ausdehnung senkrecht zur optischen Achse komafrei und in der Tiefe öffnungsfehlerfrei ist, so dass auch eine zur optischen Achse schief liegende Objektebene maßstabsgetreu und ohne die genannten Fehler in die Zwischenbildebene abgebildet wird.
Während die vorangehend beschriebene Vorrichtung generell für die Abbildung schiefer Objektebenen geeignet ist und aufgrund ihrer kompakten Bauweise dort einfach einsetzbar ist, so liegt ihr besonderer Vorteil darin, dass sie im Zusammenhang mit der SPIM-Technik verwendet werden kann, bei welcher Detektionsrichtung und Beleuchtungsrichtung einen von Null verschiedenen Winkel einschließen und die Beleuchtung in der Beleuchtungsrichtung mit einem Lichtblatt erfolgt. Zu diesem Zweck weist die Vorrichtung bevorzugt Mittel zur Einkopplung von Beleuchtungslicht zur Beleuchtung der Probe mit einem Lichtblatt auf, wobei die Lichtblattebene im wesentlichen in der Objektebene und in einem von Null verschiedenen Winkel zur Detektionsrichtung liegt.
Eine erste Möglichkeit zur Ausgestaltung der Mittel zur Einkopplung von Beleuchtungslicht liegt darin, eine Beleuchtungseinrichtung vorzusehen, welche das Beleuchtungslicht über das zweite Medium in der Zwischenbildebene in den Strahiengang einkoppelt, wobei die Beleuchtung der Zwischenbildebene mit einem Lichtblatt in dieser Ebene erfolgt. Dies erfordert allerdings eine genaue bautechnische Anpassung der Beleuchtungsoptik und des optischen Abbildungssystems, welches auf die Zwischenbildebene fokussiert ist, da sich beide auf der gleichen Seite der Übertragungsoptik befinden, was die Verwendung hoher numerischer Aperturen erschwert. Der Vorteil bei dieser Anordnung gegenüber einer Einkopplung von Beleuchtungslicht direkt am Probenort liegt jedoch gerade darin, dass die Beleuchtung nicht am Probenort erfolgt, was insgesamt eine einfachere Bauweise ermöglicht und die Einsatzmöglichkeiten erweitert, da auf eine spezielle Konfiguration der Probenkammer keine Rücksicht genommen werden muss.
Aufgrund der symmetrischen Bauweise bezüglich einer Pupillenebene lässt sich in einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Vorrichtung auch eine andere Möglichkeit der Einkopplung des Beleuchtungslichts realisieren, bei der sich die Beleuchtungsoptik und das optische Abbildungssystem zur Detektion räumlich nicht gegenseitig stören. Bei dieser Ausgestaltung umfassen die Mittel zur Einkopplung von Beleuchtungslicht einen in einer Pupillenebene zwischen den beiden Teilsystemen angeordneten Strahlteiler. Diese Ausgestaltung ist insbesondere dann besonders gut einsetzbar, wenn sich die Wellenlängen des Beleuchtungslichtes von denen, die detektiert werden sollen, unterscheiden, was z.B. bei fluoreszenzmikroskopischen Anwendungen regelmäßig der Fall ist. Anstelle von Strahlteilern können auch andere optische Elemente verwendet werden, sofern sie das eingekoppelte Licht in Richtung der Probe umlenken und das von der Probe kommende Licht in dem entsprechenden Bereich der Vorrichtung ungehindert durchlassen. Das Beieuchtungslicht wird dabei nur in den Teil des optischen Übertragungssystems eingekoppelt, der unter einem anderen Winkel auf die Probe fällt, als ihn das von der Probe kommende zu delektierende Licht einnimmt. Der Winkeibereich, in dem das Beleuchtungslicht eingestrahlt wird» unterscheidet sich also von dem Winkelbereich, unter dem das zu detektierende Licht von der Probe abgestrahlt wird, jeweils hinsichtlich der optischen Achse. Dies trifft für alle Ausgestaltungen zu.
Zur Erzielung möglichst hoher numerischer Aperturen ist es vorteilhaft, wenn das optische Übertragungssystem mit dem ersten und zweiten Medium in Kontakt steht, so dass erstes und zweites Medium auch als Immersionsmittel wirken. Als erstes Medium kann beispielsweise Wasser verwendet werden. Diese Wahl ist grundsätzlich auch für das zweite Medium möglich, jedoch insofern mit Nachteilen behaftet, da dann auch das optische Abbildungssystem zur De- tektion und gegebenenfalls auch die Beleuchtungseinrichtung entsprechend als Immersionsoptiken ausgestaltet werden müssen. Vorteilhaft verwendet man daher für das zweite Medium anstelle von Wasser ein amorphes Fluoropolymer, beispielsweise CYTOP®' welches einen Brechungsindex aufweist, der im wesentlichen dem von Wasser entspricht. Bei einer Wellenlänge von λύ = 578,56 nm beträgt die Brechzahl von Wasser 1 ,33 und die des genannten Fluoropoly- mers 1 ,34, was im Sinne der Erfindung als nahezu gleich angesehen wird. Auch als erstes Medium kann CYTOP® verwendet werden. Das Fluoropolymer kann auch anstelle eines Deckglases verwendet werden, falls ein solches vorgesehen ist, so dass aufgrund der nahezu identischen Brechzahlen eine Auslegung des Übertragungssystems mit höheren Toleranzen möglich wird.
Eine andere Ausgestaltung sieht die Verwendung von Probenträgern auf beiden Seiten des Übertragungssystems vor. Wird objektseitig eine Probenkammer verwendet, so reicht zwi- schenbildseitig die Verwendung einer Platte aus dem gleichen Material oder aus einem Material mit einem nahezu gleichen Brechungsindex und von gleicher Dicke wie die entsprechende Probenkammerwand aus um die optische Symmetrie zu erhalten. Immersionsmittel müssen dann nicht verwendet werden, können aber selbstverständlich eingesetzt werden, wobei dann auf beiden Seite des Übertragungssystems bevorzugt das gleiche Immersionsmittel eingesetzt wird, beispielsweise Wasser oder Öl.
Als erstes Medium können beispielsweise alle zur lang- oder kurzfristigen Aufbewahrung von organischen proben geeignete Materialien, beispielsweise Wasser, wässrige Lösungen oder Gele, verwendet werden, mit Ausnahme von Luft.
Für die Realisierung der katadioptrischen Baugruppe gibt es verschiedene Möglichkeiten. Um eine kompakte Bauweise zu realisieren ist es jedoch vorteilhaft, wenn die katadioptrische Baugruppe folgende optische Elemente umfasst: (i) eine plankonvexe Linse oder Linsengruppe mit einer konvexen Fläche und einer planen Fläche, weiche der Objektebene bzw. Zwischenbildebene zugewandt und zur Innenseite verspiegelt ist, und (ii) ein der konvexen Fläche der Linse oder Linsengruppe gegenüber angeordnetes Spiegelelement mit einer konkav geformten Spiegelfläche, welche von der plankonvexen Linse oder Linsengruppe kommendes Licht reflektiert. Sowohl bei der plankonvexen Linse oder Linsengruppe als auch bei den Spiegelelement ist ein Bereich, der die optische Achse einschließt, jeweils von der Verspiegelung ausgenommen, so dass Licht in diesem Bereichen durch die Spiegel hindurchtreten und übertragen werden kann.
Die katadioptrische Baugruppe kann beispielsweise eine einzelne plankonvexe Linse aufweisen oder aber eine Linsengruppe aus zwei oder mehr miteinander verkitteten Linsen. Die konvexe Fläche der plankonvexen Linse oder Linsengruppe kann asphärisch geformt sein, das Spiegelelement kann auch als Manginspiegel ausgestaltet sein. Solche Ausführungen sind beispielhaft in den Unteransprüchen aufgeführt und werden auch anhand der folgenden Zeichnungen beschrieben.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten sowie auch die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alieinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen, die auch erfindungswesentliche Merkmale zeigen, beispielhalber noch näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt:
Fsg.1 den prinzipiellen Aufbau einer Vorrichtung zur Abbildung einer Probe mit einem optischen
Übertragungssystem und einem optischen Abbildungssystem,
Fig.2 ein optisches Übertragungssystem mit einer anderen Ausgestaltung für die Einkopplung des Beleuchiungslichts,
Fig.3 eine erste spezielle Ausgestaltung des optischen Übertragungssystems,
Fig.4 eine zweite spezielle Ausgestaltung des optischen Übertragungssystems,
Fig.5 eine dritte spezielle Ausgestaltung des optischen Übertragungssystems, und
Fig.6 eine vierte spezielle Ausgestaltung des optischen Übertragungssystems.
In Fig.1 ist zunächst der grundlegende Aufbau einer Vorrichtung zur Abbildung einer Probe 1 , die in einer Objektebene 2 in einem ersten Medium 3 angeordnet ist, dargestellt. Bei dem ersten Medium 3 kann es sich beispielsweise um Wasser oder eine wässrige Lösung handeln. Die Vorrichtung umfasst ein optisches Übertragungssystem 4, welches die Probe 1 in der Objektebene 2 in ein Zwischenbild 5 in einer Zwischenbildebene 6 abbildet. Die Objektebene 2 und die Zwischenbildebene 6 schließen mit einer optischen Achse des optischen Übertragungssystems 4 jeweils einen von 90° verschiedenen Winkel ein, beide Winkel sind bevorzugt gleich. Das optische Übertragungssystem 4 besteht aus zwei Teilsystemen, einem objekiseitigen Teilsystem 4a und einem zwischenbildseitigen Teilsystem 4b, jeweils mit mehreren Linsen, und ist symmeirisch bezüglich einer Symmetrieebene 7 aufgebaut, so dass die Abbildung mit einem Maßstab von 1 :1 erfolgt. Objektebene 2, Zwischenbildebene 6 und die Symmetrieebene 7, die auch als Objektivebene bezeichnet werden kann, schneiden sich in einer Geraden, so dass die Scheimpflugbedingung erfüllt ist. Dabei ist der Aufbau des optischen Übertragungssystems bezüglich einer Pupillenebene symmetrisch, die Symmetrieebene 7 korrespondiert also zu einer Pupillenebene. In dieser Pupilienebene ist in dem in Fig.1 gezeigten Aufbau eine optionale, vorteilhaft ansteuerbare Pupillenblende 8 angeordnet. Um einen kompakten Aufbau zu erreichen und die Abbildungsfehler möglichst gering zu halten, umfasst die der Probe 1 bzw. dem Zwischenbild 5 am nächsten angeordnete Linsengruppe der Teilsysteme 4a und 4b jeweils mindestens eine katadioptrische Baugruppe. Um zu gewährleisten, dass die Abbildung tatsächlich mit einem Maßstab von 1 :1 erfolgt, und um mögliche Abbildungsfehler weitestgehend zu eliminieren ist das Übertragungssystem 4 so aufgebaut, dass bei der Abbildung der Probe 1 das Zwischenbild 5 in einem zweiten Medium 9 liegt, wobei das zweite Medium einen zum ersten Medium 3 nahezu identischen Brechungsindex aufweist. Ist beispielsweise das erste Medium 3 Wasser und ist das Übertragungssystem 4 als Immersionssystem ausgestaltet, so dass es beispielsweise direkt in die Probenkammer mit Wasser eintaucht, so ist auch das zweite Teilsystem 4b als Immersionssystem ausgestaltet, das Zwischenbild 5 liegt dann in dem zweiten Medium 9, welches einen zum Wasser nahezu identischen Brechungsindex aufweist, wobei das zweite Medium 9 selbstverständlich mit dem ersten Medium 3 auch identisch sein kann. Anstelle von Wasser lässt sich jedoch auch CYTOP® als zweites Medium verwenden, was den Aufbau erleichtert, da es sich nicht um ein flüssiges Material handelt. Auch andere, im Vergleich zu Wasser festere Medien jedoch mit nahezu gleichen Brechzahlen lassen sich hier verwenden. Natürlich ist es auch möglich, die Probe 1 in einer wässrigen Lösung auf einem Probenträger 10 zu platzieren, wie dies hier für das probenseitige Teilsystem 4a des optischen Übertragungssystems 4 gezeigt ist. Entsprechend ist auf der Zwischenbildseite des Übertragungssystems 4 ebenfalls ein Probenträger 10 angeordnet bzw. ein entsprechendes optisches, meist planparalleles Element aus dem gleichen Material und von gleicher Dicke wie der Probenträger 0. Auch hier kann das Übertragungssystem 4 als immersionssystem ausgestaltet sein, eine Immersionsflüssigkeit befindet sich dann jeweils zwischen der äußeren Linse des katadioptrischen Systems und dem Probenträger 10. In diesem Fall kann beispielsweise auch Öl als Immersionsflüssigkeit verwendet werden, was sich jedoch als erstes Medium 3 nicht besonders eignet, da Öl nicht zur Aufbewahrung insbesondere lebender Proben verwendet werden kann.
Auf die Zwischenbildebene 6 ist ein optisches Abbildungssystem 11 gerichtet mit einem Objektiv 12, dessen optische Achse senkrecht auf der Zwischenbildebene 6 steht und welches auf die Zwischenbildebene 6 fokussiert ist. Auf diese Weise kann insgesamt die Objektebene 2 unverzerrt auf einen Detektor 13 abgebildet werden. Bei dem Detektor 13 kann es sich beispielsweise um den CCD- oder CMOS-Chip einer Kamera handeln, auch die Beobachtung durch ein Okular oder auf einem Bildschirm ist selbstverständlich denkbar. Beide Teilsysteme 4a und 4b sind telezentrische Systeme und bei dem Übertragungssystem 4 als Gesamtsystem handelt es sich um ein afokales System, damit das Zwischenbild in einem großen Bereich, auf den nicht fokussiert wird, ohne Fehler abgebildet wird. Dies ist notwendig, da die Objektebene 2 zur optischen Achse gekippt ist, so dass eigentlich ein Bereich aus dem Volumen auf den Detektor 3 abgebildet wird.
Die Verwendung katadioptrischer Baugruppen für die Teilsysteme 4a, 4b bietet darüber hinaus den Vorteil, dass die Pupille, die den Bereich zwischen den beiden Teilsystemen 4a und 4b bildet, leicht zugänglich ist. Auf diese Weise können zusätzliche optische Elemente, wie die bereits genannte Pupillenblende 8 in den Strahlengang eingebracht werden.
Die vorangehend beschriebene Vorrichtung lässt sich besonders gut im Zusammenhang mit der SPI -Technik einsetzen, da sie mehrere Möglichkeiten bietet, das Beleuchtungslicht zur Beleuchtung der Probe 1 mit einem Lichtblatt, wie es bei diesem Verfahren notwendig ist, in den Strahlengang des Übertragungssystems 4 einzukoppeln, wobei die Lichiblattebene im wesentlichen in der Objektebene und in einem von Null verschiedenen Winkel zur Detektionsrichtung liegt. Grundsätzlich ist auch die Kombination mit einem klassischem SPIM-Aufbau möglich, bei dem die Beleuchtung durch ein gesondertes Beleuchtungsobjektiv im Bereich der Probe bzw. Probenkammer erfolgt.
Eine der Möglichkeit zur Einkoppiung von Beleuchtungslicht 14 in das Übertragungssystem 4 ist ebenfalls in Fig.1 dargestellt, es handelt sich dabei jedoch nur um eine von mehreren Möglichkeiten, so ist beispielsweise auch die Kombination mit einer klassischen, gesonderten Beleuchtungsoptik, die über ein eigenes Beleuchtungsobjektiv verfügt, möglich. Die in Fig.1 dargestellten Mittel zur Einkoppiung von Beleuchtungslicht 14 umfassen einen in einer Pupillenebene zwischen den beiden Teilsystemen 4a und 4b angeordneten Strahlteüer 5. Die Anordnung des Strahlteilers 15 in der Pupillenebene ist ohne weiteres möglich, da der Strahlengang an dieser Stelle zwischen den beiden Teilsystemen 4a und 4b in einem gewissen Umfang verlängert werden kann, so dass der Strahlteiler 15 ohne Probleme in der Pupillenebene angeordnet werden kann, in Fig.1 ist der Strahiteiler 15 in der Symmetrieebene 7 angeordnet, dies ist nicht unbedingt notwendig, er kann auch direkt einem der beiden Teilsysteme 4a oder 4b zugeordnet sein. Der Strahlteüer 15 muss dabei so ausgestaltet sein, dass er zu delektierendes Licht hindurch- lässt, was für Fluoreszenzmikroskopieanwendungen allerdings unproblematisch ist, da sich hier die Wellenlängen von Beleuchtungslicht 14 und zu detektierendem Licht unterscheiden. In Fig.1 ist zu erkennen, dass für den Beleuchtungsstrahlengang der linke Teil des Teilsystems 4a verwendet wird, während für die Detektion der rechte Teil des Teilsystems 4a verwendet wird. Aufgrund dieser räumlichen Aufteilung von Detektions- und Beleuchtungsstrahlengang, die notwendig zur Realisierung einer SPIM-Beobachtung mit einem einzigen optischen System im Bereich der Probe ist, kann anstelle des die gesamte Pupillenebene einnehmenden Strahlteilers 15 auch ein halb so großes Element verwendet werden, welches den rechten Bereich freilässt. Auf diese Weise können geringe Lichtverluste, die an dem Strahlteiler 15 auftreten können, vermieden werden, was bei schwach ausgeprägten Fluoreszenzsignalen von Vorteil sein kann.
Eine weitere Möglichkeit zur Einkopplung von Beleuchtungslicht 14 in den Strahlengang des Übertragungssystems 4 ist in Fig.2 dargestellt. Dabei wurde auf Darstellung des vollständigen Übertragungssystems 4 verzichtet, vielmehr wird nur das zwischenbildseitige Teilsystem 4b als Skizze dargestellt, die gezeigten optischen Elemente dienen nur der Verdeutlichung des prinzipiellen Strahlungsverlaufs. Die hier gezeigte Beleuchtungseinrichtung 16 ist auf der Seite des Zwischenbildes 5 angeordnet, sie ist dazu ausgelegt, das Beleuchtungslicht 14 über das zweite Medium 9 in der Zwischenbildebene 6 in den Strahlengang einzubringen, wobei die Beleuchtung der Zwischenbildebene 6 bereits mit einem Lichtblatt in dieser Ebene erfolgt. Dieses Lichtblatt wird dann entsprechend in die Objektebene 2 übertragen, da das Übertragungssystem 4 in beiden Richtungen funktioniert.
Bei dem in Fig.2 gezeigten zwischenbildseitigen Teilsystem 4b steht dieses in direktem Kontakt mit dem zweiten Medium 9, welches somit als Immersionsmittel wirkt. Das erste Medium 3 steht mit dem entsprechenden optischen Element des objektseitigen Teilsystems 4a in direktem Kontakt und wirkt dort als Immersionsmittel. Bei diesem Aufbau wird also auf eine spezielle Pro- benhalterung verzichtet. Handelt es sich bei dem ersten Medium 3 beispielsweise um Wasser, so kann das Übertragungssystem von oben in die entsprechende Probenkammer eingebracht werden. Über spezielle Anschlüsse an den Probenkammern ist auch eine Anbringung von der Seite oder von unten möglich. Wenn als erstes Medium 3 beispielsweise Wasser verwendet wird, so kann auch als zweites Medium 9 Wasser verwendet werden. Besonders vorteilhaft ist jedoch die Verwendung nicht eines flüssigen Mediums, sondern eines festen oder amorphen Mediums, beispielsweise eines amorphen Fluoropolymers, wie es von der Firma BELLEX International Corporation unter dem Produktnamen CYTOP® angeboten wird. Aufgrund seiner Konsistenz muss dieses Material nicht gesondert in einem Gefäß aufbewahrt werden, was für die Ankopplung des optischen Abbildungssystems 11 und gegebenenfalls auch der in Fig. 2 gezeigten Beleuchtungseinrichtung 16 einen großen Vorteil darstellt, da ansonsten auch das optische Abbildungssystem 11 und die Beleuchtungseinrichtung 16 als Immersionssysteme ausgestaltet werden müssten, was aber selbstverständlich möglich ist.
Selbstverständlich kann auch das erste Medium 3 und das zweite Medium 9 jeweils durch einen Probenträger 10 bzw. Deckgias oder ein entsprechendes Element auf der Zwischenbildseite ersetzt werden. In diesem Fall muss das Übertragungssystem 4 nicht zwingend als Immersionssystem ausgestaltet sein, zur Erzielung einer hohen numerischen Apertur ist die Ausgestaltung als Immersionssystem jedoch von Vorteil. Bei der in Fig.2 gezeigten Vorrichtung kann das Übertragungssysiem 4 beispielsweise eine numerische Apertur von 1 ,31 , das optische Abbildungssystem 11 eine numerische Apertur von 1 ,0 und die Beleuchtungseinrichtung 16 eine numerische Apertur von 0,5 aufweisen. Für das optische Abbildungssystem 11 ist hier, da es nur der Abbildung dient und nicht der Beleuchtung, keine extrem hohe numerische Apertur mehr notwendig, was das optische Design hinsichtlich der Auswahl und Zusammenstellung von Komponenten für eine gut korrigierte Abbildung erleichtert.
Die katadioptrische Baugruppe kann auf verschiedenen Weisen ausgestaltet sein, in Abhängigkeit von der Ausgestaltung dieser Baugruppe werden die übrigen Elemente des Übertragungssystems 4 gestaltet. Zur Verkürzung der räumlichen Längsausdehnung des Übertragungssystems 4 entlang der optischen Achse umfasst die katadioptrische Baugruppe beispielsweise eine plankonvexe Linse oder Linsengruppe und ein Spiegelelement. Die plankonvexe Linse oder Linsengruppe weist eine plane Fläche auf, weiche der Objektebene 2 bzw. Zwischenbildebene 6 zugewandt und zur Innenseite verspiegelt ist. Dabei ist ein Bereich, der die optische Achse einschließt, zum Durchtritt von Licht von der Verspiegelung ausgenommen. Der Bereich muss dabei so groß sein, dass genügend Licht entlang der Detektionsrichtung durch diesen unver- spiegelten Bereich in das Übertragungssystem 4 eintreten kann und außerdem Beleuchtungslicht in einem Winkel von bevorzugt 90° gegenüber der Detektionsrichtung zur optimalen Beleuchtung mit einem Lichtblatt. Gegenüber der planen Fläche ist eine konvexe Fläche angeordnet, das Spiegelelement wiederum ist dieser konvexen Fläche der Linse oder Linsengruppe gegenüber angeordnet. Die Spiegelfläche dieses Spiegelelements ist konkav geformt, sie reflektiert von der plankonvexen Linse oder Linsengruppe kommendes Licht. Auch bei dem Spiegelelement ist ein Bereich, der die optische Achse einschließt zum Durchtritt von Licht von der Verspiegelung ausgenommen. Dabei ist der Strahlengang so konzipiert, dass Licht durch den unverspiegelten Bereich unter einem Winkel, der im Bereich der Detektionsrichtung liegt, eintritt, zunächst durch die plankonvexe Linse hindurchläuft, an der konvexen Fläche austritt, und an der Spiegelfläche des Spiegelelements zurückreflektiert wird auf die plankonvexe Linse. Nach abermaligen Eintritt durch die konvexe Fläche der plankonvexen Linse wird der Strahl an der verspiegelten, planen Fläche reflektiert in Richtung des Bereiches des Spiegelelements, der zum Durchtritt von Licht von der Verspiegelung ausgenommen ist. Dieser Bereich kann als Öffnung ausgebildet sein, in diese Öffnung kann auch schon eine entsprechende Linse oder Linsengruppe eingesetzt sein.
Unter Verwendung dieser beiden Elemente, der plankonvexen Linse/Linsengruppe und dem Spiegelelement, kann das Übertragungssystem 4 auf verschiedene Weisen realisiert werden.
Beispielsweise kann ein jedes der Teilsysteme 4a und 4b die in folgender Tabelle 1 aufgeführten Systemdaten aufweisen. Linse Fläche Radius [mm] Dicke [mm] / Luftabstand [mm] nd Vd
L1 1 plan 17,56 1 ,52 64,1
2 -59,77 7,22
S2 3 -29,95 1 ,00
L3 4 784,92 3,35 1 ,59 64,27
5 -21 ,53 2,56
L4 6 -8,81 4,39 1 ,65 33,85
7 -8,21 3,76
L5 8 189,42 3,50 1 ,52 64,17
9 -15,81 0,50
L6 10 21 ,29 4,00 1 ,52 64,1 7
11 -65,47
Tabelle 1
Dabei weist jedes des Teilsysteme Linsen L1 , L3, L4, L5 und L6 sowie ein Spiegelelement S2 auf, die Flächen 1 und 3 sind verspiegelt. Die Brechzahl nd und die Abbesche Zahl vd beziehen sich auf eine Wellenlänge von λά = 578,56 nm. Ein Übertragungssystem mit diesen Systemdaten ist beispielhaft in Fig.3 dargestellt. Die katadioptrische Baugruppe besteht hier also aus der Linse L1 und dem Spiegelelement S2. Der Arbeitsabstand beträgt in diesem Fall 0,5 mm, als erstes und zweites Medium wird bevorzugt ein Materia! verwendet, welches einen Brechungsindex nd = 1 ,33 und eine Abbesche Zahl vd = 55,74 aufweist, beispielsweise Wasser oder ein Fluoropolymer wie CYTOP®, welches einen Brechungsindex von 1 ,34 aufweist. Das in Tabelle 1 beschriebene System ist auch und insbesondere für den Einsatz in immersionsumgebungen geeignet.
Ein anderes Beispiel für eine Realisierung des Übertragungssystems 4 ist in Fig.4 dargestellt. Jedes der beiden Teilsysteme 4a und 4b des dort dargestellten Übertragungssystems 4 weist folgende Systemdaten auf:
Linse Fläche Radius [mm] Dicke [mm] / Luftabstand [mm] 1d vd
L1 1 plan 7,22 1 ,64 42,41
L2 2 122,40 8,53 1 ,46 67,87
L3 3 -130,00 6,16 1 ,82 46,62
4 -74,26 10,49
S4 5 -38,74 0,10
L5 6 -16,21 1 ,00 1 ,44 94,93 L6 7 6,19 3,28 1 ,64 42,41
8 -85,87 10,80
L7 9 -174,59 3,04 1 ,74 32,26
10 -14,94 0,10
L8 11 42,60 3,40 1 ,61 56,65
L9 12 -46,09 8,71 1 ,88 40,76
L10 13 17,72 7,67 1 ,82 46,62
14 -37,45
Tabelle 2
Jedes der Teilsysteme 4a und 4b weist hier also Linsen L1 , L2, L3, L5, L6, L7, L8, L9, L10 auf und ein Spiegelelement S4. Die Linsen L , L2 und L3 sind miteinander verkittet, ebenso sind die Linsen L8, L9 und L10 miteinander verkittet, Sie bilden jeweils Linsengruppen. Bei jedem der Teilsysteme sind die Flächen 1 und 5 verspiegelt, gekennzeichnet in Fig.4 wie auch in Fig.3 durch die angedeutet Schraffur. Diese Ausgestaltung lässt sich insbesondere mit einem Deckglas mit dem Brechungsindex nd = 1 ,52 und einer Abbeschen Zahl vd = 59,48 verwenden, wobei das Deckglas dann bevorzugt eine Dicke von 0,17 mm hat. Als erstes und zweites Medium werden jeweils wieder bevorzugt Wasser verwendet, wobei der Arbeitsabstand von der Objektebene - ohne das Deckglas - bei 0,4 mm liegt, d.h. die Dicke der Wasserschicht beträgt 0,4 mm. Auch ein Fluoropolymer kann verwendet werden, beispielsweise anstelle des Wassers als zweitem Medium auf der Zwischenbildseite.
In einer weiteren Ausgestaltung des Übertragungssystems 4 ist die konvexe Fläche der plankonvexen Linse oder Linsengruppe asphärisch geformt, bei einer Linsengruppe ist dabei die dem Objekt am entferntesten liegende Fläche gemeint. Ein Beispiel für ein solches Übertragungssystem 4 ist in Fig.5 dargestellt. Es weist die folgenden Systemdaten aus Tabelle 3 auf.
Linse Fläche Radius [mm] Dicke [mm] / Luftabstand [mm] nd vd
L1 1 plan 16,60 1 ,52 64,17
2 -51 ,89 6,85
S2 3 -27,43 0,00
L3 4 -95, 19 1 ,00 1 ,52 64,1 7
5 13,07 1 ,00
L4 6 -23,51 6,17 1 ,69 31 ,18
7 -6,94 0,10
L5 8 26,32 5,00 1 ,69 31 ,18 L6 9 15,23 8,00 1 ,52 64,17
10 -14,45
Tabelle 3
Dabei ist die konvexe Fläche 2 der plankonvexen Linse asphärisch geformt. Die asphärisch geformte Fläche, hier eine rotationssymmetrische Kegelschnittasphäre, wird dabei durch die Beziehung
Figure imgf000017_0001
beschrieben. K ist die konische Konstante, und N sind natürliche Zahlen und c2,- die Koeffizienten eines Polynoms in h. R bezeichnet den Radius einer gedachten Kegelschnittfläche am Scheitelpunkt dieser Fläche, d.h. den Abstand des Scheitelpunkts zum nächstgelegenen Brennpunkt. Dabei Siegen sowohl der Scheitelpunkt als auch die Brennpunkte der Kegelschnittfläche auf der optischen Achse. Die Koeffizienten, die konische Konstante K und der Radius R werden iterativ bestimmt. Der Radius der Fläche 2 in Tabelle 3 bezeichnet den sphärischen Grundradius in der nächsten Umgebung der optischen Achse, d.h. für kleine h, und korrespondiert zu p.
Bei dem in Fig.5 gezeigten Beispiel bilden außerdem die Linsen L5 und L6 eine Linsengruppe, sie sind miteinander verkittet. Auch diese Ausgestaltung lässt sich insbesondere mit einem Deckglas mit dem Brechungsindex nd = 1 ,52 und einer Abbeschen Zahl vd = 59,48 verwenden, wobei das Deckglas dann bevorzugt eine Dicke von 0,17 mm hat. Als erstes und zweites Medium werden jeweils wieder bevorzugt Wasser verwendet, wobei der Arbeitsabstand, d.h. die Dicke der Wasserschicht, 0,4 mm beträgt. Für diese und die in Tabelle 3 aufgeführten Parameter ergeben sich beispielsweise, wenn man als konische Konstante K = 0 wählt und eine übliche Linsenhöhe von ca. 30 mm vorgibt, die folgenden Koeffizienten des Polynoms in h bis i = 8: cA = -8,9311 - 10-7, c6 = ~1 ,4858- 10^ , c8 = -2,1550- 10~11 , c10 = - , 1551 - 10~13 c12 = -3,6392- 10""16, c = -5,7753- 10~19 und c16 = -3,6408- 10~22. Auch Fluoropolymere kommen als Deckglas und/oder Medien in Frage.
In einer weiteren Ausgestaltung des Übertragungssystems kann das Spiegelelement auch als Manginspiegel ausgestaltet sein. Ein Beispiel dafür ist in Fig.6 gezeigt, es weist die folgenden Systemdaten aus Tabelle 4 auf: Linse Fläche Radius [mm] Dicke [mm] / Luftabstand [mm] rid
L1 1 plan 15,98 1 ,52 64,17
2 -62,72 6,23
L2 3 -32,45 3,50 1 ,52 64,17
4 -3 ,64 0,53
L3 5 -10,68 1 ,00 1 ,52 64,17
6 -1 ,90 0,10
L4 7 -3,44 7,31 1 ,69 31 ,18
8 -19,46 0,54
L5 9 56,66 3,92 1 ,69 31 ,18
10 -39,96 0, 10
L6 11 24,67 4,00 1 ,52 64,17
12 -14,04
Tabelle 4
Jedes der Teilsysteme 4a, 4b weist also Linsen L1 , L2, L3, L4, L5 und L6 auf. Die Linse L2 ist als Manginspiegel ausgestaltet, d.h. die eine Seite dieser Linse ist - bis auf den Bereich um die optische Achse - verspiegelt. Auch diese Ausgestaltung lässt sich insbesondere mit einem Deckglas mit dem Brechungsindex nd = ,52 und einer Abbeschen Zahi vd = 59,48 verwenden, wobei das Deckglas dann bevorzugt eine Dicke von 0, 17 mm hat. Als erstes und zweites Medium werden jeweils wieder bevorzugt Wasser oder ein Fluoropolymer verwendet, wobei der Arbeitsabstand, d.h. die Dicke der Wasserschicht, 0,4 mm beträgt. Das Fluoropolymer kann auch anstelle eines Deckglases eingesetzt werden.
Die vorangehend beschriebenen optischen Übertragungssysteme erlauben aufgrund der Verwendung katadioptrischer Elemente eine starke Verkürzung des Aufbaus einer Vorrichtung zur Abbildung einer Probe, insbesondere im Zusammenhang mit SPIM-Anwendungen. Da das Zwischenbild und das tatsächliche Objekt in Medien mit annähernd gleicher Brechzahl liegen, wird der defokussierte Volum enbereich nahezu ohne optische Fehler abgebildet, so dass auch schräge Objektebenen, die in einem großen Bereich außerhalb des Fokus liegen, korrekt abgebildet werden können. Bezugszeichenliste
1 Probe
2 Objektebene
3 erstes Medium
4 optisches Übertragungssystem
4,a, 4b Teiisystem
5 Zwischenbild
6 Zwischenbildebene
7 Symmetrieebene
8 Pupiilenblende
9 zweites Medium
10 Probenträger
11 optisches Abbildungssystem
12 Objektiv
13 Detektor
14 Beleuchtungslicht
15 Strahlteiler
16 Beleuchtungseinrichtung
L1 - L10 Linsen
S2, S4 Spiegeleiement

Claims

Patentansprüche
Vorrichtung zur Abbildung einer in einem ersten Medium (3) in einer Objektebene (2) angeordneten Probe (1 ), umfassend
ein optisches Ü bertrag ungssystem (4), welches die Probe (1 ) Objektebene (2) in ein Zwischenbild (5) in einer Zwischenbildebene (6) abbildet,
wobei die Objektebene (2) und die Zwischenbildebene (6) mit einer optischen Achse des Übertragungssystems (4) einen von 90° verschiedenen Winkel einschließen und das optische Übertragungssystem (4) aus zwei Teilsystemen (4a, 4b) mit mehreren Linsen symmetrisch bzgl. einer Symmetrieebene (7) aufgebaut ist, so dass die Abbildung durch das optische Übertragungssystem (4) mit einem Maßstab von 1 :1 erfolgt,
ein optisches Abbildungssystem (11 ) mit einem Objektiv (12), dessen optische Achse senkrecht auf der Zwischenbildebene (6) steht und welches auf die Zwischenbildebene (6) fokussiert ist, so dass die Objektebene (2) unverzerrt auf einen Detektor ( 3) abbildbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass
das beide Teilsysteme (4a, 4b) telezentrisch und das optische Übertragungssystem (4) bezüglich einer Pupillenebene symmetrisch aufgebaut ist,
die Objektebene (2) und die Zwischenbildebene (6) die Scheimpflugbedingung erfüllen, das Zwischenbild (5) in einem zweiten Medium (9), welches einen zum ersten Medium (3) nahezu identischen Brechungsindex aufweist, liegt, und
die der Probe (1 ) bzw. dem Zwischenbild (5) am nächsten angeordnete Linsengruppe der Teilsysteme (4a, 4b) mindestens eine katadioptrische Baugruppe umfasst.
Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass sie Mittel zur Einkopplung von Beleuchtungsltcht (14) zur Beleuchtung der Probe (1 ) mit einem Lichtblau aufweist, wobei die Lichtblattebene im wesentlichen in der Objektebene
(2) und in einem von Null verschiedenen Winkel zur Detektionsrichtung liegt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Einkopplung von Beleuchtungslicht (14) einen in einer Pupillenebene zwischen den beiden Teilsystemen (4a, 4b) angeordneten Strahiteiler (15) umfassen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Einkopplung von Beleuchtungslicht (14) eine Beleuchtungseinrichtung ( 6) umfassen, welche das Beleuchtungslicht (14) über das zweite Medium (9) in der Zwischenbildebene (6) in den Strahlengang einkoppelt, wobei die Beleuchtung der Zwischenbildebene (6) mit einem Lichtblatt in dieser Ebene erfolgt.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Übertragungssystem (4) mit dem ersten (3) und dem zweiten Medium (9) in Kontakt steht, so dass erstes (3) und zweites Medium (9) als Immersionsmittel wirken.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass als erstes Medium (3) Wasser und als zweites Medium (9) ein amorphes Fluoropotymer verwendet wird.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die kata- dioptrische Baugruppe folgende optischen Elemente umfasst:
eine plankonvexe Linse oder Linsengruppe mit einer planen Fläche, weiche der Objektebene (2) bzw. Zwischenbildebene (6) zugewandt und zur Innenseite verspiegelt ist, wobei ein Bereich, der die optische Achse einschließt, zum Durchtritt von Licht von der Ver- spiegelung ausgenommen ist, und mit einer konvexen Fläche,
ein der konvexen Fläche der Linse oder Linsengruppe gegenüber angeordnetes Spiegelelement mit einer konkav geformten Spiegelfläche, welche von der plankonvexen Linse oder Linsengruppe kommendes Licht reflektiert, wobei ein Bereich, der die optische Achse einschließt, zum Durchtritt von Licht von der Verspiegelung ausgenommen ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein jedes der Teilsysteme (4a, 4b) folgende Systemdaten mit Linsen L1 , L3, L4, L5, L6 und einem Spiegelelement S2 aufweist, wobei die Flächen 1 und 3 verspiegelt sind, mit nd der Brechzahl und vd der Abbeschen Zahl bei einer Weilenlänge ü = 587,56 nm:
Dicke [mm] /
Linse Fläche Radius [mm] nd vd
Luftabstand [mm]
L1 1 plan 17,56 1 ,52 64,17
2 -59,77 7,22
S2 3 -29,95 1 ,00 L3 4 784,92 3,35 1 ,59 64,27
5 -21 ,53 2,56
L4 6 -8,81 4,39 1 ,65 33,85
7 -8,21 3,76
L5 8 189,42 3,50 1 ,52 64, 7
9 -15,81 0,50
L6 10 21 ,29 4,00 1 ,52 64,17
1 1 -65,47
9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein jedes der optischen Teilsystem (4a, 4b) folgende Systemdaten aufweist, mit Linsen L , L2, L3, L5, L6, L7, L8, L9, L10 und einem Spiegelelement S4, wobei die Linsen L1 , L2 und L3 miteinander und die Linsen L8, L9, L10 miteinander verkittet sind und Linsengruppen bilden, und wobei die Flächen 1 und 5 verspiegeli sind, mit nd der Brechzahl und vd der Abbeschen Zahl bei einer Wellenlänge λ = 587,56 nm:
Figure imgf000022_0001
10. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die konvexe Fläche der plankonvexen Linse oder Linsengruppe asphärisch geformt ist.
1 1 . Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein jedes der optischen Teilsysteme {4a, 4b) folgende Systemdaten aufweist, mit Linsen L , L2, L3, L4, L5, L6, und einem Spiegelelement S2, wobei die Linsen L5 und L6 eine Linsengruppe bilden und miteinander verkittet sind, mit nd der Brechzahl und vd der Abbeschen Zahl bei einer Wellenlänge kä = 587,56 nm, wobei die Fläche 2 asphärisch geformt ist:
Figure imgf000023_0001
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Spiegelelement als Manginspiegel ausgestaltet ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass ein jedes der optischen Teilsysteme (4a, 4b) folgende Systemdaten aufweist, mit Linsen L1 , L2, L3, L4, L5, L6, wobei die Linse L2 der Manginspiegel ist und wobei die wobei die Flächen 1 und 4 verspiegelt sind, mit nd der Brechzahl und vd der Abbeschen Zahl bei einer Wellenlänge k<j = 587,56 nm :
Dicke [mm] / Luftab¬
Linse Fläche Radius [mm] vd stand [mm]
L1 1 plan 15,98 1 ,52 64,17
2 -62, 72 6,23
L2 3 -32,45 3,50 1 ,52 64,17
4 -31 ,64 0,53
L3 5 -10,68 1 ,00 1 ,52 64, 17
6 -1 ,90 0,10
L4 7 -3,44 7,31 1 ,69 31 ,18
8 -19,46 0,54
L5 9 56,66 3,92 1 ,69 31 , 18
10 -39,96 0,10
L6 11 24,67 4,00 1 ,52 64, 17
12 -14,04
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