WO2014087484A1 - テストコンタクト及び電子部品搬送装置 - Google Patents

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WO2014087484A1
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contact
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contacts
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祐 伊藤
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上野精機株式会社
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    • G01R31/013—Testing passive components

Definitions

  • the present invention relates to a test contact for measuring electrical characteristics of an electronic component, and an electronic component transport device including the test contact.
  • Electronic components such as semiconductor elements are separated into individual pieces through the assembly processes such as dicing, mounting, bonding, and sealing in the previous process, and then in the subsequent processes, marking processing, appearance inspection, electrical property inspection, electronic After sorting the parts and so on, they are packed and shipped on tape or container tubes.
  • a test contact for carrying out this electrical characteristic inspection generally includes an arrangement table on which electronic components are placed and a conductive contact called a contact.
  • the test contact has a measurement result obtained by bringing the contact into contact with an electrode terminal of an electronic component placed on the placement table, and passing a current or applying a voltage through the contact (for example, , See Patent Document 1).
  • one of the factors affecting the measurement accuracy of electronic components is the contact state between the contacts and the electrode terminals of the electronic components. If the positional relationship between the contact and the electrode terminal is deviated, a resistance change or the like occurs, or an unsuitable combination of contact and the electrode terminal come into contact with each other, resulting in an abnormal measurement result.
  • a correction unit that corrects the positional deviation and posture deviation of the electronic component is arranged at the front stage of the conveyance path from the test contact, and the electronic component is carried to the test contact after correcting the position and posture.
  • test contacts are arranged in multiple stages in order to inspect electrical characteristics of multiple sections.
  • the first test contact can be guided in a relatively correct position and orientation by the correction unit.
  • the next and subsequent test contacts may be subjected to electrical property inspections due to the positional or posture misalignment that occurs each time the test contact is contacted with the previous test contact, the reliability of electrical property inspections after the next step Will fall.
  • the present invention has been proposed to solve the above-described problems, and it is an object of the present invention to provide a test contact in which positioning of an electronic component is made precise, and an electronic component transport apparatus including the test contact.
  • the test contact according to the present invention is a test contact for measuring the electrical characteristics of an electronic component, and is a multi-row contact area for placing an electronic component to be measured and an electrode terminal of the electronic component.
  • Contact and a position restricting plate disposed between the contact rows and in contact with the boundary of the placement area, and the electronic component has the position before reaching the placement area when there is a misalignment. It is characterized in that it comes into contact with the regulating plate and is guided to the placement area described above.
  • the position restricting plate may be provided on both sides of the placement area.
  • the position restricting plate is provided at a total of three locations on both sides across the placement area, and the electronic component contacts the position restriction plate before reaching the placement area when there is a posture shift, You may make it guide to the mounting area mentioned above.
  • the position regulating plate may have an inclined surface facing the placement area.
  • An electronic component transport apparatus is an electronic component transport apparatus for aligning and transporting electronic components, the transport path for transporting the electronic components, and continuously arranged on the transport path, and the electrical characteristics of the electronic components
  • a position restriction plate that is in contact with the boundary of the placement area, and the electronic component contacts the position restriction plate before reaching the placement area when there is a positional deviation.
  • the position restricting plate may be provided on both sides of the placement area.
  • the position restricting plate is provided at a total of three locations on both sides across the placement area, and the electronic component contacts the position restriction plate before reaching the placement area when there is a posture shift, You may make it guide to the mounting area mentioned above.
  • the position regulating plate may have an inclined surface facing the placement area.
  • a correction unit that corrects the positional deviation and the attitude deviation of the electronic component may be further provided in the front stage on the transport path with respect to the plurality of test contacts arranged in succession.
  • the positioning of the electronic component becomes precise and the accuracy of the electrical characteristic inspection is further improved.
  • FIG. 1 is a top view showing the configuration of the test contact 1 according to the present embodiment.
  • the test contact 1 is a device that measures electrical characteristics such as voltage, current, resistance, or frequency of the electronic component 2 by bringing the electrode terminal of the electronic component 2 into contact with the contact 11 and injecting current and applying voltage.
  • the electronic component 2 is a component used in an electrical product, and includes a semiconductor element.
  • the semiconductor element include a transistor, an LED, an integrated circuit, and a resistor, a capacitor, and the like.
  • the electronic component 2 has a substantially rectangular shape, and a plurality of electrode terminals are arranged along one opposing side.
  • the electrode terminal may be exposed in a planar shape, a spherical shape, or a pin shape on the back surface of the electronic component 2, or may protrude in a plate shape to the side of the electronic component 2.
  • the test contact 1 is provided with a placement area 10 a on the placement table 10.
  • the placement area 10 a is an area in which the electronic component 2 is set, and has a rectangular shape that matches the shape and size of the electronic component 2.
  • a plate-like contact 11 made of a conductive material extends in the placement region 10a.
  • the contact 11 is a contact terminal connected to a test apparatus (not shown) via wiring.
  • the conductive material include metal such as copper or an alloy such as beryllium copper, stainless steel, tungsten, an alloy thereof, or a superalloy. The material can be selected as appropriate depending on whether or not the insulating oxide film on the electrode terminal adheres significantly to the contact 11 by breaking the insulating oxide film on the electrode terminal.
  • the contact 11 extends toward the placement area 10a.
  • a bent portion is provided in the middle, and the tip extends from the bent portion and is inclined upward. This is because the insulating oxide film of the electrode terminal is easily broken by elastic deformation.
  • the contact 11 extends from both sides so as to sandwich the placement region 10a. And it is facing each other with an interval in the mounting area 10a. Further, a plurality of contacts 11 are arranged in multiple rows on each side across the placement region 10a.
  • the support block 17 divided in parallel with the placement table 10 is arranged on the placement table 10.
  • the contacts 11 are arranged so as not to come into direct contact with the arrangement table 10 by being sandwiched between the support blocks 17 and bolted.
  • Insulating members 12 are interposed between the rows of contacts 11 to maintain the insulating properties of the contacts 11 arranged in multiple rows.
  • the contact 11 may be arranged with each plate surface horizontal with respect to the arrangement table 10 or vertically.
  • the contacts 11 with the plate surfaces arranged horizontally are called horizontal contacts, and the contacts 11 with the plate surfaces arranged vertically are called laminated contacts. In this embodiment, a laminated contact is illustrated.
  • a position restricting plate 13 and a position restricting block 14 are provided around the placement area 10a.
  • the electronic component 2 is guided by the position restricting plate 13 and the position restricting block 14 without causing a positional shift and a positional shift in the placement region 10a, and contacts the contact 11 and the electrode terminal, and undergoes an electrical property test.
  • the positional deviation means that the electronic component 2 is displaced in parallel to the XY direction from the specified position
  • the attitude deviation means that the electronic component 2 is directed in a direction different from the specified direction.
  • the position restricting plates 13 are provided on both sides of the mounting region 10a in the extending direction of the contacts 11.
  • the position restricting blocks 14 are provided on both sides of the placement region 10a in a direction orthogonal to the extension of the contacts 11.
  • the position restricting plate 13 guides the posture and mounting position of the electronic component 2 in the extending direction of the contact 11, and the position restricting block 14 determines the posture and mounting position of the electronic component 2 in the direction orthogonal to the extending of the contact 11. To guide. That is, the electronic component 2 receives the posture and placement position guides from four directions by the position restriction plate 13 and the position restriction block 14.
  • the position restricting plate 13 is a flat plate extending in parallel with the contact 11.
  • the arrangement position is between the rows of contacts 11.
  • the material is not limited to either metal or resin, and may be the same material as the contact 11. However, since it is in contact with the electronic component 2, it is desirable to use metal from the viewpoint of preventing wear.
  • the insulating member 12 separates the contact 11 and the position restricting plate 13 from each other.
  • the position regulating plate 13 extends higher than the upper surface position of the contact 11. This is for correcting the positional deviation and posture deviation of the electronic component 2 that is descending in the placement area 10a.
  • An end face of the position regulating plate 13 facing the placement area 10a is an inclined surface 13a that faces the boundary of the placement area 10a.
  • the inclined surface 13 a is in contact with the boundary of the placement region 10 a at the height of the upper surface of the contact 11. That is, the position restricting plates 13 on both sides across the placement area 10 a are tapered toward the placement area 10 a and sandwich the placement area 10 a with the height of the upper surface of the contact 11.
  • the position restricting plate 13 can be provided between all the rows of the contacts 11 or between some rows. Further, the position restricting plates 13 located on both sides of the placement region 10a are not necessarily arranged to face each other, and the facing positions may be shifted from each other.
  • the two position restricting plates 13 are provided on one side, and one is provided on the other side so that the two are placed in a triangular arrangement position, so that the electronic component 2 is oriented in any direction. Can be corrected. Moreover, if it can be arranged at least between one row, a certain positional deviation can be eliminated, and if it can be arranged between two rows, a certain posture deviation can be eliminated.
  • the position restriction block 14 has a substantially rectangular parallelepiped shape, one surface faces the placement region 10a, and a part of the position restriction block 14 enters the placement region 10a.
  • the position restriction block 14 is placed so as to protrude from the hole 15 formed in the placement table 10 to the surface of the placement table 10.
  • the hole 15 is provided with an elastic body 16.
  • the position restriction block 14 is supported by the elastic body 16. This is because the electronic component 2 main body is lifted by the position restriction block 14 while the contact 11 is in contact with the electrode terminal, so that an excessive load is not applied to the electrode terminal. That is, the position restriction block 14 also functions as a load buffer member.
  • the upper surface of the position restricting block 14 is notched obliquely toward the placement area 10a, forming an inclined surface 14a.
  • the inclination is toward the placement area 10a. That is, the position restricting blocks 14 on both sides across the placement area 10a are tapered toward the placement area 10a.
  • the lowermost end 14b of the inclined surface 14a is slightly higher than the height of the upper surface of the contact 11 due to the urging force of the elastic body 16 when no pressing force is applied to the position restricting block 14.
  • FIG. 4 is a top view illustrating a schematic configuration of the electronic component transport apparatus 3 including the test contact 1 according to the present embodiment.
  • FIG. 5 is a side view showing a schematic configuration of the electronic component conveying apparatus 3.
  • the embodiment shown in FIGS. 4 and 5 is an example in which the electronic component transport device 3 includes a test contact 1.
  • the electronic component transport device 3 causes the electronic component 2 to receive at least an electrical property test while transporting the electronic component 2, ranks it according to the result of the electrical property test, and stores less than a certain rank in the classification bin 36.
  • a certain rank or higher is packed in a packing body 37 such as a carrier tape, a tray, or a container tube.
  • the electronic component conveying device 3 turns the turntable 31 to which the holding unit 33 is attached along the outer periphery by the direct drive motor 32.
  • the holding portion 33 is arranged at a circumferentially equidistant position on the outer periphery of the turntable 31 and has a tip directed downward.
  • the holding portion 33 is supported by a support portion 34 attached to the outer peripheral portion of the turntable 31.
  • the turntable 31 is intermittently rotated by the direct drive motor 32.
  • the rotation angle for each pitch of the turntable 31 and the adjacent angle of the holding portion 33 are set to be equal. That is, the holding unit 33 moves to a point where the adjacent holding unit 33 is stopped every pitch.
  • the holding unit 33 is a suction nozzle that sucks and detaches the electronic component 2.
  • the nozzle opening is directed downward.
  • the inside of the pipe of the suction nozzle communicates with a pneumatic circuit of a vacuum generator (not shown).
  • the suction nozzle sucks the electronic component 2 when negative pressure is generated, and releases the electronic component 2 when vacuum breaks.
  • the advancing / retreating drive device 35 for moving the holding unit 33 up and down is fixed immediately above each stop position of the holding unit 33.
  • the advancing / retreating drive device 35 includes a motor, a cam, a cam follower, and a spring body, and rotates the cam by driving the motor, pushes the cam follower toward the holding portion 33, and even after the cam follower comes into contact with the holding portion 33, the cam follower is further driven.
  • the holding part 33 is lowered by propelling. Further, the advancing / retreating drive device 35 releases the propulsive force for the holding portion 33 by returning the cam follower, and exerts the urging force of the spring body to raise the holding portion 33.
  • the test contacts 1 are arranged at three consecutive stop positions among the stop positions of the holding portion 33.
  • a correction unit 38 is disposed at a stop position immediately before the three consecutive test contacts 1. The correction unit 38 moves the electronic component 2 being conveyed in the XY ⁇ direction, and corrects the positional deviation and the attitude deviation of the electronic component 2.
  • the holding unit 33 that has attracted the electronic component 2 is lowered by the advance / retreat driving device 35 when stopped immediately above the correction unit 38.
  • the correction unit 38 moves the received electronic component 2 in the XY ⁇ direction so that the correct position and posture are taken.
  • the holding unit 33 is raised again by the advance / retreat drive device 35.
  • the electronic component 2 whose position and orientation are corrected by the correction unit 38 is continuously moved immediately above each test contact 1 by the intermittent rotation of the turntable 31 and is subjected to an electrical characteristic test by each test contact 1.
  • the amount of deviation of the positional relationship and orientation relationship between the placement area 10 a and the electronic component 2 is not zero or large. .
  • the electronic component 2 is likely to be displaced in position or posture because of contact with the test contact.
  • the electronic component 2 may be moved to the side of the main body or the main body before reaching the placement area 10 a.
  • the corners abut against the position restricting plate 13 or the position restricting block 14.
  • the electronic component 2 When the electronic component 2 is displaced in the extending direction of the contact 11, one side of the electronic component 2 contacts the position regulating plate 13. When the electronic component 2 is displaced in a direction orthogonal to the extension of the contact 11, the electronic component 2 contacts the position restriction block 14. Further, when the electronic component 2 rotates and changes its direction, it contacts both the position restricting plate 13 and the position restricting block 14.
  • the electronic component 2 contacts the inclined surfaces 13a and 14a of the position restricting plate 13 and the position restricting block 14.
  • the electronic component 2 is further lowered toward the placement region 10a while being in contact with the inclined surfaces 13a and 14a, the electronic component 2 is dragged from the inclined surfaces 13a and 14a inclined toward the placement region 10a. In response, it moves so as to be in a position and posture along the placement area 10a. Therefore, when the electronic component 2 reaches the placement area 10a, the positional deviation and the attitude deviation of the electronic component 2 are corrected by the position regulating plate 13 and the position regulating block 14.
  • the position restricting plate 13 is arranged between the rows of contacts 11.
  • the contacts 11 are arranged at the same intervals as the electrode terminals of the electronic component 2. For this reason, even if the electrode terminal protrudes from the side surface of the electronic component 2, there is little possibility that the electrode terminal contacts the position regulating plate 13.
  • the position restricting block 14 is disposed so as to partially overlap the mounting position, and the lowermost end 14b of the inclined surface 14a of the position restricting block 14 is higher than the height of the upper surface of the contact 11. Therefore, as shown in FIG. 7, when the electrode terminal of the electronic component 2 comes into contact with the contact 11, the body of the electronic component 2 has already received the pressure rising from the placement region 10 a from the position restriction block 14. For this reason, the electrode terminal is not subjected to excessive drag from the contact 11.
  • the test contact 1 injects current or applies voltage to the electronic component 2 via the contact 11, and starts an electrical characteristic test.
  • the holding unit 33 moves up again while holding the electronic component 2, and moves to the next test contact 1 by the rotation of the next pitch of the turntable 31.
  • the correction unit 38 is arranged in front of the first test contact 1, the correction unit 38 is excluded when the first test contact 1 includes the position restricting plate 13 and the position restricting block 14. You can also
  • the electronic component 2 passes through the continuous test contact 1 and reaches the classification bin 36, if the result of the electrical characteristic test is less than a certain rank, it is discharged into the classification bin 36. Furthermore, when the electronic component 2 reaches directly above the package 37 such as a carrier tape, if the result of the electrical characteristic test is a determination of a certain rank or higher, the electronic component 2 is delivered to the package 37.
  • the position regulating plate 13 that is in contact with the boundary of the placement region 10 a on which the electronic component 2 is placed is arranged between the rows of the contacts 11. If the electronic component 2 is misaligned, the electronic component 2 comes into contact with the position regulating plate 13 before reaching the placement area 10a and is guided to the placement area 10a. Therefore, even when the electrode terminal protrudes from the side of the electronic component 2, the electronic component 2 is misaligned in the extending direction of the contact 11 just before the electronic component 2 is placed on the placement region 10 a. Can be corrected. Therefore, there is no room for misalignment between the electronic component 2 and the contact 11, and a highly reliable electrical property inspection is performed.
  • the position restricting plates 13 may be provided on both sides of the placement area 10a. As a result, correction is possible regardless of which of the extending direction of the contact 11 the electronic component 2 is displaced. Further, at least three position restricting plates 13 may be provided on at least both sides of the placement area 10a. As a result, if there is an attitude shift, the position restriction plate 13 is brought into contact with the placement area 10a before reaching the placement area 10a and is guided to the placement area 10a. Therefore, not only the positional deviation but also the posture deviation can be corrected to the point just before reaching the placement area 10a.
  • the electronic component transport apparatus 3 has a plurality of test contacts 1 continuously arranged on the transport path, and these test contacts 1 are in contact with the boundary of the mounting area 10a on which the electronic component 2 is mounted.
  • the regulation plate 13 is arranged between the rows of contacts 11.
  • the case where the electrode terminals are provided on both opposing sides of the electronic component 2 has been described as an example.
  • the test contact 1 of the present embodiment is applicable.
  • the position restriction block 14 may be eliminated, and the position restriction plate 13 may be disposed at the position of the position restriction block 14.
  • the conveying mechanism may be a linear conveying system, or a plurality of turntables. 31 may constitute one conveyance path.
  • an electrostatic suction method a Bernoulli chuck method, or a chuck mechanism for mechanically holding the electronic component 2 is arranged instead of the suction nozzle that sucks and releases the electronic component 2 by generation and breakage of vacuum. May be.
  • the electronic component transport apparatus 3 can include not only the test contact 1 but also various process processing units such as an appearance inspection unit and a marking unit, and the test contact 1 is not limited to the three illustrated examples.
  • One or more machines can be arranged.
  • the position restricting block 14 has been described as a pair provided as a separate body with the placement region 10 a interposed therebetween, the position restricting block 14 may be an integrated structure connected inside the hole portion 15.
  • the hole 15 is formed so as to be connected at the lower portion of the placement region 10a.
  • a U-shaped position restriction block 14 is disposed in the hole portion 15 in a side view. According to this, height adjustment of a pair of position control block 14 becomes easy.

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Abstract

　電子部品の位置決めを精密にしたテストコンタクト、及びこれを備えた電子部品搬送装置を提供する。テストコンタクトは、測定対象となる電子部品が載置される載置領域と、電子部品の電極端子に接触する多列のコンタクトとを備える。そして、これらコンタクトの列間には、載置領域の境界と接するように位置規制板を設ける。電子部品は、位置ズレがあると、載置領域に到達する前に位置規制板に接触しながら載置領域へ案内される。

Description

テストコンタクト及び電子部品搬送装置
　本発明は、電子部品の電気特性を測定するテストコンタクト、及びこれを備える電子部品搬送装置に関する。
　半導体素子等の電子部品は、前工程において、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経て個片に分離された後、後工程において、マーキング処理、外観検査、電気特性検査、電子部品の分類等を経て、テープやコンテナチューブに梱包されて出荷される。
　電気特性検査では、電子部品の電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性が測定される。この電気特性検査を実施するテストコンタクトは、一般的に、電子部品を載置する配置台と、コンタクトと呼ばれる導通接触子とを備える。このテストコンタクトは、配置台に載置された電子部品の電極端子にコンタクトを接触させ、コンタクトを介して電流を流したり、電圧を印加したりすることで、その測定結果を得ている（例えば、特許文献１参照。）。
　電気特性の測定方式としては、印加と測定を共通の接触子で行うシングルコンタクト方式と、印加と測定を別々の接触子で行うケルビンコンタクト方式とが知られている。通常、高い測定精度が要求されない場合には前者が用いられ、その逆の場合に後者が用いられる。
　電気特性検査においては、電子部品の測定精度に影響を与える要因の１つとして、コンタクトと電子部品の電極端子との接触状態がある。コンタクトと電極端子の位置関係がずれていると、抵抗変化等が生じたり、対応予定でない組み合わせのコンタクトと電極端子とが接触してしまって異常な測定結果が生じたりする。
　そのため、従来は、電子部品の位置ズレや姿勢ズレを補正する補正ユニットをテストコンタクトよりも搬送経路前段に配置し、位置や姿勢を正してから電子部品をテストコンタクトに運んでいた。
特開２００３－９０８４９号公報
　しかしながら、従来のように、テストコンタクトの前段に補正ユニットを配置するとすれば、補正ユニットの分だけコスト高になってしまう。搬送経路上には多くの工程処理を設置したい場合もあり、この場合、補正ユニットが追加されれば、その分、配置できる工程処理の数は減少する。工程処理の数を減少させたくない場合には、テストコンタクト及び補正ユニットを備える電子部品搬送装置は、大型化してしまい、生産効率が低下してしまう。
　また、補正ユニットを設けたとしても、テストコンタクトまで電子部品を運ぶ間に位置ズレや姿勢ズレが生じてしまうおそれがある。電子部品の搬送態様が間欠移動方式であると、電子部品は停止の際に慣性力を受けるためである。慣性力を減らすには穏やかな減速が必要であるが、この場合、生産効率が低下してしまう。
　更には、複数課目の電気特性検査を行うために、テストコンタクトを多段に配置する場合がある。最初のテストコンタクトへは、補正ユニットにより比較的正しい位置及び姿勢で誘導できる。しかしながら、次段以降のテストコンタクトへは、前段のテストコンタクトとの接触毎に発生した位置ズレや姿勢ズレを持ち込んで電気特性検査を受けるおそれがあるため、次段以降の電気特性検査に対する信頼性が低下してしまう。
　以上のように、従来のテストコンタクトでは電子部品に位置ズレや姿勢ズレが発生し易く、より精度の高い電気特性検査には限界があった。本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、電子部品の位置決めを精密にしたテストコンタクト、及びこれを備えた電子部品搬送装置を提供することを目的とする。
　本発明に係るテストコンタクトは、電子部品の電気特性を測定するテストコンタクトであって、測定対象となる電子部品が載置される載置領域と、前記電子部品の電極端子に接触する多列のコンタクトと、前記コンタクトの列間に配置され、前記載置領域の境界と接する位置規制板と、を備え、前記電子部品は、位置ズレがあると、前記載置領域に到達する前に前記位置規制板に接触し、前記載置領域へ案内されること、を特徴とする。
　前記位置規制板は、前記載置領域を挟んで両側に設けられるようにしてもよい。
　前記位置規制板は、前記載置領域を挟んで両側に少なくとも計３箇所設けられ、前記電子部品は、姿勢ズレがあると、前記載置領域に到達する前に前記位置規制板に接触し、前記載置領域へ案内されるようにしてもよい。
　前記位置規制板は、載置領域に向かった傾斜面を有するようにしてもよい。
　また、本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を整列搬送させる電子部品搬送装置であって、電子部品を搬送する搬送経路と、前記搬送経路上に連続して並び、電子部品の電気特性を測定する複数のテストコンタクトと、を備え、前記テストコンタクトは、測定対象となる電子部品が載置される載置領域と、前記電子部品の電極端子に接触する多列のコンタクトと、前記コンタクトの列間に配置され、前記載置領域の境界と接する位置規制板と、を備え、前記電子部品は、位置ズレがあると、前記載置領域に到達する前に前記位置規制板に接触しながら、前記載置領域へ案内されること、を特徴とする。
　前記位置規制板は、前記載置領域を挟んで両側に設けられるようにしてもよい。
　前記位置規制板は、前記載置領域を挟んで両側に少なくとも計３箇所設けられ、前記電子部品は、姿勢ズレがあると、前記載置領域に到達する前に前記位置規制板に接触し、前記載置領域へ案内されるようにしてもよい。
　前記位置規制板は、載置領域に向かった傾斜面を有するようにしてもよい。
　前記連続して配置される複数のテストコンタクトよりも搬送経路上前段に、前記電子部品の位置ズレ及び姿勢ズレを補正する補正ユニットを更に備えるようにしてもよい。
　本発明によれば、テストコンタクトの載置領域へ電子部品が到達するまで位置ズレや姿勢ズレの補正が続くので、電子部品の位置決めが精密になり、電気特性検査の精度が更に向上する。
本実施形態に係るテストコンタクトの構成を示す上面図である。 本実施形態に係るテストコンタクトの構成を示す側面図である。 両側の位置規制ブロックを横断した断面図である。 本実施形態に係るテストコンタクトを備える電子部品搬送装置の概略構成を示す上面図である。 本実施形態に係るテストコンタクトを備える電子部品搬送装置の概略構成を示す側面図である。 電子部品と位置規制板との関係を示す図である。 電子部品と位置規制ブロックとの関係を示す図である。
　以下、本発明に係るテストコンタクトと電子部品搬送装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
　（テストコンタクト）
　図１は、本実施形態に係るテストコンタクト１の構成を示す上面図である。テストコンタクト１は、コンタクト１１に電子部品２の電極端子を接触させ、電流注入及び電圧印加により、電子部品２の電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定する装置である。
　電子部品２は、電気製品に使用される部品であり、半導体素子が含まれ、半導体素子としてはトランジスタやＬＥＤや集積回路、その他には抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。この電子部品２は、概略矩形であり、一の対向両辺に沿って複数の電極端子が並んでいる。電極端子は、電子部品２の裏面に面状、球状、又はピン状に露出している場合、又は電子部品２の側方に板状に突出している場合がある。
　このテストコンタクト１は、配置台１０上に載置領域１０ａを設けている。載置領域１０ａは、電子部品２がセットされる領域であり、電子部品２の形状及び大きさに合った矩形形状を有する。この載置領域１０ａには、導電性材料からなる板形状のコンタクト１１が延びている。
　このコンタクト１１は、試験装置（不図示）と配線を介して繋がっている接触端子である。すなわち、導電性材料としては、例えば、銅、又はベリリウム銅等の合金、ステンレス鋼、タングステン、又はその合金、超合金などの金属製を挙げることができる。材質は、電極端子の絶縁酸化膜を破ることでコンタクト１１に対する絶縁酸化膜の付着が著しくなるか否か等によって、適宜選択が可能である。
　このコンタクト１１は、載置領域１０ａに向けて延びている。途中に屈曲部を有し、屈曲部から延び先端は上方に傾斜している。弾性変形により電極端子の絶縁酸化膜を破り易くするためである。コンタクト１１は、載置領域１０ａを挟みこむように両側から延びている。そして、載置領域１０ａ内で間隔を空けて向かい合わせになっている。更に、コンタクト１１は、載置領域１０ａを挟んで片側毎に多列に複数並んでいる。
　配置台１０には、配置台１０と平行に分割された支持ブロック１７が配置されている。コンタクト１１は、支持ブロック１７に挟まれてボルト留めされることで、配置台１０と直接接触しないように配置されている。コンタクト１１の列間には、絶縁部材１２が介在しており、多列に並ぶコンタクト１１の絶縁性を保っている。
　このコンタクト１１は、各板面を配置台１０に対して水平にして配置されても、垂直にして配置されてもよい。板面を水平に配したコンタクト１１を水平コンタクト、板面を垂直に配したコンタクト１１を積層コンタクトという。本実施形態では、積層コンタクトを例示している。
　載置領域１０ａの周りには、コンタクト１１の他、位置規制板１３及び位置規制ブロック１４が設けられている。電子部品２は、位置規制板１３及び位置規制ブロック１４によって載置領域１０ａに位置ズレ及び姿勢ズレを起こすことなく誘導され、コンタクト１１と電極端子とを接触し、電気特性の検査を受ける。
　尚、位置ズレとは、電子部品２が規定位置よりもＸＹ方向に平行にズレていることをいい、姿勢ズレとは、電子部品２が規定の向きと異なる方向を向いていることをいう。
　位置規制板１３は、コンタクト１１の延び方向において載置領域１０ａを挟んで両側に設けられる。位置規制ブロック１４は、コンタクト１１の延びと直交する方向において載置領域１０ａを挟んで両側に設けられる。位置規制板１３は、コンタクト１１の延び方向において電子部品２の姿勢及び載置位置をガイドし、位置規制ブロック１４は、コンタクト１１の延びと直交する方向において電子部品２の姿勢及び載置位置をガイドする。すなわち、電子部品２は、位置規制板１３と位置規制ブロック１４で四方から姿勢及び載置位置のガイドを受ける。
　この位置規制板１３は、コンタクト１１と平行に延びる平板である。配置位置は、コンタクト１１の列間である。材質は、金属又は樹脂の何れにも限られず、コンタクト１１と同じ材質であってもよい。但し、電子部品２と接触するため、摩耗防止の観点から金属製が望ましい。金属製の位置規制板１３を採用する場合、コンタクト１１と位置規制板１３との間は絶縁部材１２で隔離する。
　図２に示すように、位置規制板１３は、コンタクト１１の上面位置よりも高く延びている。載置領域１０ａに下降中の電子部品２の位置ズレ及び姿勢ズレを修正するためである。位置規制板１３の載置領域１０ａに臨む端面は、載置領域１０ａの境界に向かう傾斜面１３ａとなっている。傾斜面１３ａは、コンタクト１１の上面高さで載置領域１０ａの境界と接する。すなわち、載置領域１０ａを挟んで両側の位置規制板１３は、載置領域１０ａに向かってテーパ状に窄み、コンタクト１１の上面高さで載置領域１０ａを挟む。
　この位置規制板１３は、コンタクト１１の列間全てに設けることも、一部の列間に設けることもできる。また、載置領域１０ａを挟んで両側に位置する位置規制板１３は、対向配置が必須ではなく、向き合う位置が互いにズレていてもよい。
　位置規制板１３は、一方の片側に２枚設け、この２枚と三角形の配置位置となるように他方の片側に１枚設けることで、電子部品２がどの方向に向いていても、一方向に修正できる。また、少なくとも、１つの列間に配することができれば、一定の位置ズレは解消でき、２つの列間に配することができれば、一定の姿勢ズレは解消できる。
　図１に戻り、位置規制ブロック１４は、概略直方体形状を有し、一面が載置領域１０ａと正対し、一部が載置領域１０ａ内に入り込んでいる。この位置規制ブロック１４は、配置台１０に形成された穴部１５から配置台１０の表面に突出して載置される。
　図３に示すように、穴部１５には、弾性体１６が設けられている。位置規制ブロック１４は、弾性体１６によって支持されている。コンタクト１１を電極端子に接触させている間、電子部品２本体を位置規制ブロック１４で持ち上げておくことにより、電極端子に過度な荷重がかからないようにするためである。すなわち、位置規制ブロック１４は、荷重緩衝部材としても働く。
　この位置規制ブロック１４は、上面が載置領域１０ａに向かって斜めに切り欠かれており傾斜面１４ａとなっている。傾斜は、載置領域１０ａに向かっている。すなわち、載置領域１０ａを挟んで両側の位置規制ブロック１４は、載置領域１０ａに向かってテーパ状に窄む。傾斜面１４ａの最下端１４ｂは、位置規制ブロック１４に押圧力が及んでいない状態では、弾性体１６の付勢力によってコンタクト１１の上面高さよりも若干高くなっている。
　（テストコンタクト１の適用例）
　このようなテストコンタクト１の適用例について図４及び図５を参照して説明する。図４は、本実施形態に係るテストコンタクト１を備える電子部品搬送装置３の概略構成を示す上面図である。図５は、この電子部品搬送装置３の概略構成を示す側面図である。
　図４及び図５に示す実施形態は、電子部品搬送装置３がテストコンタクト１を備える例である。電子部品搬送装置３は、電子部品２を搬送しながら、電子部品２に少なくとも電気特性検査を受けさせ、電気特性検査の結果に応じてランク分けして、一定ランク未満は分類ビン３６に収容するとともに、一定ランク以上はキャリアテープ、トレイ、コンテナチューブ等の梱包体３７に梱包する。
　電子部品搬送装置３は、外周に沿って保持部３３が取り付けられたターンテーブル３１をダイレクトドライブモータ３２で旋回させる。保持部３３は、ターンテーブル３１の外周囲に円周等配位置で配置されており、下方に先端を向けている。この保持部３３は、ターンテーブル３１の外周部に取り付けられた支持部３４によって支持されている。
　ターンテーブル３１は、ダイレクトドライブモータ３２により間欠回転される。ターンテーブル３１の１ピッチごとの回転角度と保持部３３の隣接角度とは等しくなるように設定されている。すなわち、保持部３３は、１ピッチごとに隣の保持部３３が停止していた地点に移動する。
　保持部３３は、電子部品２を吸着及び離脱させる吸着ノズルである。ノズル開口を下方に向けている。吸着ノズルのパイプ内部は、図示しない真空発生装置の空気圧回路と連通しており、吸着ノズルは、負圧の発生によって電子部品２を吸着し、真空破壊によって電子部品２を離脱させる。
　保持部３３の各停止位置直上には、保持部３３を昇降させる進退駆動装置３５が固定されている。進退駆動装置３５は、モータ、カム、カムフォロア、及びバネ体からなり、モータの駆動によりカムを回転させ、カムフォロアを保持部３３に向けて押し出し、カムフォロアが保持部３３に当接した後も更にカムフォロアを推進させることで、保持部３３を下降させる。また、進退駆動装置３５は、カムフォロアを戻すことで保持部３３に対する推進力を解除し、バネ体の付勢力を発揮させて保持部３３を上昇させる。
　本実施形態では、保持部３３の停止位置のうち、連続する３箇所の停止位置に各々テストコンタクト１が配置されている。また、この３連続のテストコンタクト１の１つ前段の停止位置には補正ユニット３８が配置されている。補正ユニット３８は、搬送中の電子部品２をＸＹθ方向に動かし、電子部品２の位置ズレ及び姿勢ズレを修正する。
　（動作）
　以上のようなテストコンタクト１と、これを備えた電子部品搬送装置３の動作を説明する。まず、電子部品２は、保持部３３の先端に吸着される。そして、ターンテーブル３１の外周に沿って搬送される。電子部品２は、保持部３３の各停止位置で停止し、その停止位置には、補正ユニット３８の直上が含まれている。
　電子部品２を吸着した保持部３３は、補正ユニット３８の直上で停止すると、進退駆動装置３５によって下降される。保持している電子部品２が補正ユニット３８に達すると、補正ユニット３８は、受け取った電子部品２をＸＹθ方向に移動させ、正しい位置及び姿勢をとらせる。
　姿勢補正が終了すると、保持部３３は進退駆動装置３５によって再び上昇する。
　補正ユニット３８で位置及び姿勢が正された電子部品２は、ターンテーブル３１の間欠回転により、連続的に各テストコンタクト１の直上に移動し、各テストコンタクト１により電気特性検査を受ける。
　最初のテストコンタクト１では、前段で既に電子部品２の位置ズレ及び姿勢ズレが正されているので、載置領域１０ａと電子部品２との位置関係や向き関係のズレ量はゼロ若しくは大きくはない。しかし、最初のテストコンタクト、２番目のテストコンタクトと順次経るごとに、電子部品２は、テストコンタクトとの接触が発生しているために位置ズレや姿勢ズレが発生するおそれがある。
　但し、テストコンタクト１においては、図６及び７に示すように、電子部品２に位置ズレや姿勢ズレが生じていると、その電子部品２は、載置領域１０ａに到達前に本体側面や本体角部が位置規制板１３又は位置規制ブロック１４に当接する。
　電子部品２がコンタクト１１の延び方向に位置ズレを起こしていると、電子部品２の一辺が位置規制板１３に接触する。電子部品２がコンタクト１１の延びと直交する方向に位置ズレを起こしていると、位置規制ブロック１４に接触する。また、電子部品２が回転して向きを変えていると、位置規制板１３と位置規制ブロック１４の両方に接触する。
　詳細には、電子部品２は、位置規制板１３や位置規制ブロック１４の傾斜面１３ａ、１４ａに接触する。傾斜面１３ａ、１４ａに接触させたまま、電子部品２を更に載置領域１０ａに向けて下降させると、電子部品２は、載置領域１０ａに向けて傾斜している傾斜面１３ａ、１４ａから抗力を受けて、載置領域１０ａに沿った位置及び姿勢となるように移動していく。そのため、電子部品２が載置領域１０ａに到達する頃には、電子部品２の位置ズレや姿勢ズレは、これら位置規制板１３や位置規制ブロック１４により正されている。
　尚、位置規制板１３はコンタクト１１の列間に配置されている。また、コンタクト１１は電子部品２の電極端子と同じ間隔で配列されている。このため、電子部品２の側面から電極端子が突出していても、電極端子が位置規制板１３に接触するおそれは少ない。
　ここで、位置規制ブロック１４は載置位置と一部が重なるように配置され、位置規制ブロック１４が有する傾斜面１４ａの最下端１４ｂはコンタクト１１上面の高さよりも高い。そのため、図７に示すように、電子部品２の電極端子がコンタクト１１と接触するときには、電子部品２の本体は既に載置領域１０ａから浮き上がりの圧力を位置規制ブロック１４から受けている。そのため、電極端子がコンタクト１１から過度に抗力を受けないようになっている。
　電子部品２が載置領域１０ａに載置されると、テストコンタクト１は、コンタクト１１を介して電子部品２に電流注入又は電圧印加を行い、電気特性テストを開始する。電気特性テストが終了すると、保持部３３は、電子部品２を保持したまま再び上昇し、ターンテーブル３１の次ピッチの回転により次のテストコンタクト１に移動する。
　尚、最初のテストコンタクト１の前段に補正ユニット３８を配置するようにしたが、最初のテストコンタクト１に位置規制板１３や位置規制ブロック１４を備えている場合には、この補正ユニット３８を排除することもできる。
　そして、連続したテストコンタクト１を抜け、電子部品２が分類ビン３６に到達すると、電気特性テストの結果が一定ランク未満の判定であった場合には、この分類ビン３６に排出される。さらに、電子部品２がキャリアテープ等の梱包体３７の直上に到達すると、電気特性テストの結果が一定ランク以上の判定であった場合には、この梱包体３７へ受け渡される。
　（効果）
　以上のように、本実施形態に係るテストコンタクト１は、電子部品２が載置される載置領域１０ａの境界と接する位置規制板１３をコンタクト１１の列間に配置するようにした。電子部品２は、位置ズレがあると、載置領域１０ａに到達する前に位置規制板１３に接触し、載置領域１０ａへ案内される。そのため、電子部品２の側方から電極端子が突び出している場合であっても、載置領域１０ａへ電子部品２が載置される寸前までコンタクト１１の延び方向における電子部品２の位置ズレを補正することができる。従って、電子部品２とコンタクト１１との間に位置ズレが生じる余地がなく、信頼性の高い電気特性の検査が実施される。
　位置規制板１３は、載置領域１０ａを挟んで両側に設けられるようにしてもよい。これにより、コンタクト１１の延び方向のどちらに電子部品２が位置ズレを起こしても補正が可能となる。また、位置規制板１３は、載置領域１０ａを挟んで少なくとも両側に少なくとも３箇所設けられるようにしてもよい。これにより、姿勢ズレがあると、載置領域１０ａに到達する前に位置規制板１３に接触し、載置領域１０ａへ案内される。そのため、位置ズレのみならず、姿勢ズレも載置領域１０ａに到達する寸前まで補正することができる。
　位置規制板１３には、載置領域１０ａに向かった傾斜面１３ａを設けることで、徐々に位置ズレや姿勢ズレを補正することができ、電子部品２に過大な荷重をかけるおそれがなく、電子部品２を傷つけにくい。
　更に、電子部品搬送装置３には、複数のテストコンタクト１を搬送経路上に連続して並ばせ、これらテストコンタクト１には、電子部品２が載置される載置領域１０ａの境界と接する位置規制板１３をコンタクト１１の列間に配置するようにした。これにより、最初のテストコンタクト１で正しい位置及び姿勢で電気特性テストが実施できるのみならず、次段以降のテストコンタクト１への搬送時やテストコンタクト１との接触により位置ズレや姿勢ズレが発生しても、次段以降においても信頼性の高い電気特性検査を行うことができる。
　（他の実施形態）
　以上のように本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲又はその均等の範囲に含まれる。
　例えば、本実施形態では、電子部品２の一対向両辺に電極端子が設けられている場合を例に採り説明した。そのほか、電子部品２の全周囲に電極端子が設けられている場合であっても、本実施形態のテストコンタクト１は適用可能である。すなわち、位置規制ブロック１４を排除し、位置規制ブロック１４の位置にも位置規制板１３を配置すればよい。
　また、電子部品搬送装置３として、一つのターンテーブル３１に各種の工程処理機構を配置する場合を例に挙げたが、搬送機構としては、直線搬送方式であってもよく、また複数のターンテーブル３１で一の搬送経路を構成するようにしてもよい。
　また、保持部３３として、真空の発生及び破壊により電子部品２を吸着及び離脱させる吸着ノズルに代えて、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品２を機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。
　また、電子部品搬送装置３は、テストコンタクト１のみならず、外観検査ユニットやマーキングユニット等の各種の工程処理ユニットを追加することも可能であり、またテストコンタクト１は例示した３機に限られず、１機以上を配置することができる。
　また、位置規制ブロック１４は、載置領域１０ａを挟んで一対が別体として設けられているものとして説明したが、穴部１５の内部で繋がった一体構造物とすることもできる。この場合、穴部１５は載置領域１０ａの下部で繋がるように形成される。そして、その穴部１５に側面視コの字状の位置規制ブロック１４が配置される。これによると、一対の位置規制ブロック１４の高さ合わせが容易となる。
１　テストコンタクト
１０　配置台
１０ａ　載置領域
１１　コンタクト
１２　絶縁部材
１３　位置規制板
１３ａ　傾斜面
１４　位置規制ブロック
１４ａ　傾斜面
１４ｂ　最下端
１５　穴部
１６　弾性体
１７　支持ブロック
２　電子部品
３　電子部品搬送装置
３１　ターンテーブル
３２　ダイレクトドライブモータ
３３　保持部
３４　支持部
３５　進退駆動装置
３６　分類ビン
３７　梱包体
３８　補正ユニット

Claims (9)

  1. 　電子部品の電気特性を測定するテストコンタクトであって、
    　測定対象となる電子部品が載置される載置領域と、
    　前記電子部品の電極端子に接触する多列のコンタクトと、
    　前記コンタクトの列間に配置され、前記載置領域の境界と接する位置規制板と、
    　を備え、
    　前記電子部品は、位置ズレがあると、前記載置領域に到達する前に前記位置規制板に接触しながら、前記載置領域へ案内されること、
    　を特徴とするテストコンタクト。
  2. 　前記位置規制板は、前記載置領域を挟んで両側に設けられること、
    　を特徴とする請求項１記載のテストコンタクト。
  3. 　前記位置規制板は、前記載置領域を挟んで両側に少なくとも計３箇所設けられ、
    　前記電子部品は、姿勢ズレがあると、前記載置領域に到達する前に前記位置規制板に接触し、前記載置領域へ案内されること、
    　を特徴とする請求項１又は２記載のテストコンタクト。
  4. 　前記位置規制板は、載置領域に向かった傾斜面を有すること、
    　を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のテストコンタクト。
  5. 　電子部品を整列搬送させる電子部品搬送装置であって、
    　電子部品を搬送する搬送経路と、
    　前記搬送経路上に連続して並び、電子部品の電気特性を測定する複数のテストコンタクトと、
    　を備え、
    　前記テストコンタクトは、
    　測定対象となる電子部品が載置される載置領域と、
    　前記電子部品の電極端子に接触する多列のコンタクトと、
    　前記コンタクトの列間に配置され、前記載置領域の境界と接する位置規制板と、
    　を備え、
    　前記電子部品は、位置ズレがあると、前記載置領域に到達する前に前記位置規制板に接触し、前記載置領域へ案内されること、
    　を特徴とする電子部品搬送装置。
  6. 　前記位置規制板は、前記載置領域を挟んで両側に設けられること、
    　を特徴とする請求項５記載の電子部品搬送装置。
  7. 　前記位置規制板は、前記載置領域を挟んで両側に少なくとも計３箇所設けられ、
    　前記電子部品は、姿勢ズレがあると、前記載置領域に到達する前に前記位置規制板に接触し、前記載置領域へ案内されること、
    　を特徴とする請求項５又は６記載の電子部品搬送装置。
  8. 　前記位置規制板は、載置領域に向かった傾斜面を有すること、
    　を特徴とする５乃至７の何れかに記載の電子部品搬送装置。
  9. 　前記連続して配置される複数のテストコンタクトよりも搬送経路上前段に、前記電子部品の位置ズレ及び姿勢ズレを補正する補正ユニットを更に備えること、
    　を特徴とする５乃至８の何れかに記載の電子部品搬送装置。
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