WO2013186136A3 - Appareil lithographique et procédé de fabrication de dispositif - Google Patents

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William Peter VAN DRENT
Michael Johannes Vervoordeldonk
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Asml Netherlands B.V.
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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Abstract

La présente invention concerne un appareil lithographique présentant deux tables de substrat ou deux structures de support pour dispositifs de reproduction qui sont positionnés par des moteurs plans agissant contre une plaque d'aimant, ledit appareil lithographique présentant une ou plusieurs masses d'équilibre également entraînées contre la plaque d'aimant de façon à réduire à un minimum le mouvement de la plaque d'aimant. Ainsi, des erreurs de positionnement non répétitives liées aux variations de la position de la plaque d'aimant sont réduites.
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