WO2012143070A1 - Verfahren zum herstellen eines lichtwellenleiters in einem polymer - Google Patents

Verfahren zum herstellen eines lichtwellenleiters in einem polymer Download PDF

Info

Publication number
WO2012143070A1
WO2012143070A1 PCT/EP2012/001109 EP2012001109W WO2012143070A1 WO 2012143070 A1 WO2012143070 A1 WO 2012143070A1 EP 2012001109 W EP2012001109 W EP 2012001109W WO 2012143070 A1 WO2012143070 A1 WO 2012143070A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
laser beam
polymer
imaging optics
penetration depth
optical waveguide
Prior art date
Application number
PCT/EP2012/001109
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jonas Gortner
Susanna Orlic
Christian Stark
Marc Seifried
Original Assignee
Technische Universität Berlin
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Technische Universität Berlin filed Critical Technische Universität Berlin
Publication of WO2012143070A1 publication Critical patent/WO2012143070A1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
    • G02B6/138—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by using polymerisation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/0006—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring taking account of the properties of the material involved
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
    • B23K26/0608—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams in the same heat affected zone [HAZ]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
    • B23K26/0676—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing into dependently operating sub-beams, e.g. an array of spots with fixed spatial relationship or for performing simultaneously identical operations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
    • B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/12002—Three-dimensional structures
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/30—Organic material
    • B23K2103/42—Plastics
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12166—Manufacturing methods
    • G02B2006/12169—Annealing
    • G02B2006/12171—Annealing using a laser beam
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12166—Manufacturing methods
    • G02B2006/12195—Tapering
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
    • G02B6/3807—Dismountable connectors, i.e. comprising plugs
    • G02B6/3873—Connectors using guide surfaces for aligning ferrule ends, e.g. tubes, sleeves, V-grooves, rods, pins, balls
    • G02B6/3885—Multicore or multichannel optical connectors, i.e. one single ferrule containing more than one fibre, e.g. ribbon type
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4249—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4292—Coupling light guides with opto-electronic elements the light guide being disconnectable from the opto-electronic element, e.g. mutually self aligning arrangements

Definitions

  • the invention relates to a method for producing an optical waveguide in a polymer, wherein a laser beam is focused in the polymer in a focusing point.
  • US 2009/0218519 discloses a method for producing a refractive index change in a photopolymer, wherein a photopolymer is provided with a photosensitivity with respect to light of a certain wavelength and wherein in one region a refractive index change is produced in the photopolymer by lithography, by the photopolymer in the region is exposed to light of the particular wavelength.
  • the aforementioned object is achieved by a method for producing an optical waveguide, in particular a single-mode optical waveguide, a coupler and / or a taper is dissolved in a polymer, wherein a first laser beam of a first wavelength is focused in the polymer in a focusing point, wherein a second laser beam, in particular the first wavelength, is focused in the polymer in the focusing point and crosses the first laser beam, so that the refractive index of the polymer changes in an area around the focal point or increased, wherein the focal point along a particular three-dimensional trajectory is moved by the polymer, and wherein it is advantageously provided that the cross section of the first laser beam and / or the cross ⁇ cut of the second laser beam (in particular in the focusing point or in the region of the focusing point) is changed during the movement of the focusing point. It is particularly provided that the focus point is equal to the intersection of the two laser beams. After completion of the movement along the trajectory, the polymer is advantageously exposed or cured.
  • An optical waveguide according to the invention is particularly suitable for conducting light having a wavelength between approximately 850 nm and 1550 nm.
  • a coupler in the sense of the invention is in particular a coupling to a waveguide.
  • a coupler according to the invention is in particular a transition from a laser diode (VCSEL) to a waveguide.
  • VCSEL laser diode
  • a taper in the sense of the invention is in particular a component which connects two optical waveguides with different diameters.
  • a polymer in the sense of the invention is in particular a polymer whose refractive index changes upon irradiation of light of the first wavelength or which is particularly sensitive to light of the first wavelength or sensitive to light of this wavelength.
  • a polymer in the sense of the invention is in particular a photopolymer. Suitable polymers can be obtained from the companies InPhase, Aprilis, DuPont or Microresist.
  • a polymer in the sense of the invention may in particular be an organic transparent material.
  • a three-dimensional trajectory in the sense of the invention is in particular a trajectory whose course changes in three spatial directions.
  • the first laser beam is generated in particular by means of a first laser.
  • the second laser beam is generated in particular by means of or another laser.
  • a singlemode optical waveguide in the sense of the invention is in particular an optical waveguide in which no higher transverse modes are formed.
  • a singlemode optical waveguide in the sense of the invention is in particular an optical waveguide in which light propagates in a straight line.
  • a singlemode optical waveguide according to the invention is in particular an optical waveguide in which light propagates without impact at the interface.
  • a singlemode optical waveguide according to the invention is in particular an optical waveguide with a diameter of not more than 10 ⁇ .
  • a singlemode optical waveguide in the sense of the invention is in particular an optical waveguide with a diameter of not less than 3 ⁇ m. Further details of single-mode optical waveguides z. B. the websites
  • the aforementioned object is also achieved by a method for producing an optical waveguide, in particular a singlemode optical waveguide, a coupler and / or a tapers in a polymer, wherein a first laser beam of a first wavelength is irradiated into the polymer, wherein a second laser beam, in particular the first wavelength, is blasted into the polymer and crosses the first laser beam at a crossing point, so that the refractive index of the polymer in a region around the crossing point or increases, the crossing point along a three-dimensional trajectory is moved through the polymer, and wherein is advantageously provided that the cross section of the first laser beam and / or the cross section of the second laser beam (in particular at the crossing point or in the region of the crossing point) is changed during the movement of the crossing point.
  • the polymer After completion of the movement along the trajectory, the polymer is advantageously exposed or cured.
  • the aforementioned object is also achieved by a method for producing a light waveguide ⁇ , or a tapers in a polymer, wherein a first laser beam of a first wavelength is irradiated into the polymer, wherein a second laser beam, in particular the first wavelength, blasted into the polymer and crossing the first laser beam at a crossing point so that the refractive index of the polymer changes in a region around the crossing point, and the crossing point moves along the polymer along a three-dimensional trajectory and the cross section of the first laser beam and / or the first laser beam Cross-section of the second laser beam (in particular at the crossing point or in the region of the crossing point) during the movement of the crossing point for generating a transition between a single-mode optical waveguide and a multi-mode optical waveguide (in particular SMF-28 to OM-4) is changed.
  • the polymer After completion of the movement along the trajectory, the poly
  • the area around the focussing point or the crossing point has a diameter of not more than 10 ⁇ m.
  • the first laser beam and / or the second laser beam impinge obliquely on a surface of the polymer.
  • the first laser beam and / or the second laser beam are distorted before impinging on the surface of the polymer.
  • the first and / or the second laser beam are focused by means of a focusing lens or imaging optics (wherein the focusing lens or imaging optics in a further advantageous embodiment with respect to the axis of the first and / or second laser beam by an angle with an amount between (in about 0.5 ° and 2 ° is inclined).
  • the first laser beam is focused by means of a first imaging optics, which advantageously with respect to the axis of the first laser beam by a first angle with an amount between about 0.1 ° and 4 °, in particular with an amount between (in approximately) 0.5 ° and 2 °, is inclined or inclined in this area.
  • the first angle is set as a function of the penetration depth of the first laser beam into the polymer.
  • the distance between the polymer and the first imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, depending on the penetration depth of the first laser beam is set in the polymer.
  • a distance between the polymer and the first imaging optics should in particular designate the path that covers the light of the laser beam from the first imaging optics to the polymer.
  • the distance in particular the length of the light path is set dynamically. Dynamic in the sense of the invention is intended in particular to mean that the angle or the distance with the change or the course of the trajectory is changed. It is provided in particular that the distance between the polymer and the first imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, is increased when the penetration depth of the first laser beam into the polymer increases. It is provided in particular that the distance between the polymer and the first imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, is reduced when the penetration depth of the first laser beam into the polymer decreases.
  • the first laser beam passes through a first cylindrical lens arrangement.
  • a first cylindrical lens arrangement according to the invention comprises in particular two cylindrical lenses.
  • a first cylindrical lens arrangement in the sense of the invention comprises in particular two cylindrical lenses, which are rotated about their optical axis by 90 ° to each other.
  • the first imaging optics is arranged in the light path of the first laser beam between the first cylindrical lens arrangement and the polymer.
  • the distance between the first cylindrical lens arrangement and the first imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, depending on the penetration depth of the first laser beam is set in the polymer.
  • a distance between the first cylindrical lens arrangement and the first imaging optical system is intended in particular to designate the path which covers the light of the laser beam from the first cylindrical lens arrangement to the first imaging optical system. So far the distance in particular the length of the light path dynamically adjusted. It is provided in particular that the distance between the first cylinder arrangement and the first imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, is reduced when the penetration depth of the first laser beam into the polymer increases. It is provided in particular that the distance between the first cylinder arrangement and the first imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, is increased when the penetration depth of the first laser beam into the polymer decreases.
  • the first cylindrical lens arrangement is adjusted in particular such that a suitable correction of the astigmatism takes place.
  • the positions of the cylindrical lenses of the first cylindrical lens arrangement, in particular dynamically and automatically are set as a function of the penetration depth.
  • the second laser beam is focused by means of a second imaging optics, which advantageously with respect to the axis of the second laser beam by a second angle with an amount between about 0.1 ° and 4 °, in particular with an amount between (in approximately) 0.5 ° and 2 °, is inclined or inclined in this area.
  • the second angle is set as a function of the penetration depth of the second laser beam into the polymer.
  • the distance between the polymer and the second imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, depending on the penetration depth of the second laser beam is set in the polymer.
  • a distance between the polymer and the second imaging optics is intended in particular to designate the path which covers the light of the laser beam from the second imaging optics to the polymer.
  • the distance in particular the length of the light path is set dynamically.
  • Dynamic in the sense of the invention is intended in particular to mean that the angle or the distance with the change or the course of the trajectory is changed. It is provided in particular that the distance between the polymer and the second imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, is increased when the penetration depth of the second laser beam into the polymer increased. In particular, it is provided that the distance between the polymer and the second imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, is reduced when the penetration depth of the second laser beam into the polymer decreases.
  • the second laser beam passes through a second cylindrical lens arrangement.
  • a second cylindrical lens arrangement according to the invention comprises in particular two cylindrical lenses.
  • a second cylindrical lens arrangement according to the invention comprises, in particular, two cylindrical lenses, which are rotated about their optical axis by 90 ° to each other. It is provided in particular that the second imaging optics is arranged in the light path of the second laser beam between the second cylindrical lens arrangement and the polymer.
  • the distance between the second cylindrical lens arrangement and the second imaging optics, in particular dynamically and / or automatically, depending on the penetration depth of the second laser beam is set in the polymer.
  • a distance between the second cylindrical lens arrangement and the second imaging optics in the context of the invention is intended to denote, in particular, the path which covers the light of the laser beam from the second cylindrical lens arrangement to the second imaging optical unit.
  • the distance in particular the length of the light path is set dynamically.
  • the distance between the second cylinder arrangement and the second imaging optics, in particular dynamically and / or automatically is reduced when the penetration depth of the second laser beam into the polymer increases.
  • the distance between the second cylinder arrangement and the second imaging optics, in particular dynamically and / or automatically is increased when the penetration depth of the second laser beam into the polymer decreases.
  • the second cylindrical lens arrangement is adjusted in particular such that a suitable correction of the astigmatism takes place.
  • the positions of the cylindrical lenses of the second cylindrical lens arrangement are set as a function of the penetration depth.
  • the penetration depth of a laser beam into a polymer is to be understood in particular to mean the penetration depth of the laser beam into the polymer up to the point of intersection or up to the focusing point.
  • a setting as a function of the penetration depth also includes, in particular, an adjustment as a function of a desired value of the penetration depth.
  • a setting as a function of the penetration depth comprises, in particular, an adjustment as a function of a position or a desired position of the polymer.
  • a third laser beam of a second wavelength is focused in the polymer in the focusing point.
  • the second wavelength is different in particular from the first wavelength.
  • the first and the second wavelength differ in particular by at least 100 nm.
  • the second wavelength within the meaning of the invention is in particular a wavelength by means of which no change, in particular no significant change, of the refractive index is produced in the polymer.
  • the third laser beam strikes (substantially) perpendicular to the surface of the polymer.
  • the third light beam passes through a QWP (Quarter Wave Plate) and / or a PBS (Polarzing Beam Splitter) before impacting and / or after striking the surface of the polymer.
  • the QWP is arranged with respect to the course of the third laser beam between the polymer and the PBS.
  • the PBS it is possible to observe the focusing point with a confocal microscope.
  • the PBS only couples light (to a detector) whose polarization has been rotated by 90 ° with respect to the incident light.
  • the location of fiber tips in the polymer may be identified and connected to an optical waveguide in the polymer by the prescribed method.
  • the cross section of the first laser beam and / or the cross section of the second laser beam is changed during the movement of the focusing point and / or the crossing point.
  • the inventive method for producing a coupler between at least one optical fiber and an optoelectronic device, a (direct) optical data connection between at least two optical or optoelectronic chips, a multiplexer, a multiplexer or a multiplexer between a singlemode - Optical fiber and a multimode optical fiber used.
  • the adjustment costs can be reduced when constructing optical signal paths.
  • the invention makes it possible to increase or reduce the cross-section of waveguides on coupling surfaces in such a way that the requirement for the precision of the adjustment can be reduced. This reduces the construction costs of optical signal paths.
  • FIG. 1 shows an embodiment of a device for producing an optical waveguide, for producing in particular a single-mode optical waveguide, in a polymer
  • FIG. 2 shows an exemplary embodiment of a focusing point with a diamond-shaped cross-section
  • FIG. 5 shows an exemplary embodiment of an intensity distribution in a focusing point with an elliptical cross section
  • FIG. 7 shows an embodiment of an optical quadrupler coupler integrated in an MT plug
  • FIG. 9 shows an embodiment for a transition between a single-mode optical waveguide and a multimode optical waveguide
  • Fig. 10 shows an embodiment of a suitable relationship between the
  • Fig. 11 shows an embodiment of a suitable relationship between the
  • FIG. 1 shows an exemplary embodiment of a device 100 for carrying out the method according to the invention for producing an optical waveguide, in particular a single-mode optical waveguide, in a polymer 10.
  • a light beam with the wavelength of 405 nm is generated by means of a laser 4 and by means of a semitransparent mirror 6 divided into a laser beam 1 and a laser beam 2.
  • the beam diameter of the laser beam is adjusted by means of a zoom lens 5 by changing the numerical aperture. With the adjustment of the diameter of the laser beam, the effective beam size in a focusing point (focus) 40 in the polymer 10 is also adjusted.
  • Both the laser beam 1 and the laser beam 2 are each distorted by a warper 11 or 21 and then each directed by a rotatable or adjustable mirror 12 and 22 on the polymer 10.
  • the laser beams 1 and 2 are focused in the focusing point 40 by means of focusing lenses 13 and 23, respectively.
  • laser beam 1 and laser beam 2 intersect.
  • the distortors 1 and 21 are each an embodiment of a cylindrical lens arrangement in the sense of the claims.
  • the focusing lenses 13 and 23 are each an embodiment of an imaging optics in the sense of the claims.
  • the apparatus 100 further comprises a laser 30 for emitting a laser beam 3 having a wavelength of 635 nm.
  • the laser beam 3 passes through a PBS 31, a confocal filter 33 and a QWP 34 and is directed to the focusing point 40 by means of a mirror 35.
  • the laser beam 3 is focused by means of a lens 36 into the focusing point 40.
  • the laser 30 serves as the light source of a confocal microscope, the PBS 31 decoupling light in the direction of a detector 32 whose polarization is rotated by 90 ° with respect to the incident light has been.
  • an image signal is generated, which images the polymer 10 in the focusing point 40.
  • fiber tips can be found in the polymer 10 and connected to a waveguide generated by the laser beams 1 and 2.
  • the polymer 10 is chosen to react to 405 nm wavelength light in the sense that it changes its refractive index, whereas 635 nm wavelength light shows no particular reactivity.
  • the focusing point 40 By moving the polymer 10, the focusing point 40, ie the crossing point of the laser beams 1 and 2, can be moved along a three-dimensional trajectory through the polymer 10, so that by changing the refractive index of the polymer in the focusing point 40, a three-dimensionally extending waveguide, in particular a three-dimensional singlemode Optical fiber, arises.
  • the crossing angle 41 of the laser beams 1 and 2 and thus the shape of the optical waveguide can be set.
  • the laser beams 1 and 2 are each aligned with the polymer 10 in such a way that their angles of incidence are the same.
  • round, diamond-shaped (see Fig. 2) or square (see Fig. 3) cross sections of the optical waveguide can be generated.
  • FIGS. 4 and 5 show the intensity distribution of 405 nm wavelength light in the polymer 10 in creating a circular or elliptical cross section for an optical waveguide.
  • FIG. 6 shows an exemplary embodiment for the implementation of the distortors 11 and 21, respectively.
  • the distorters 11 and 21 each comprise two cylindrical lenses NT 47-750 from Edmund Optics, designated by reference numbers 51 and 52, the lens 52 rotated by 90 ° about the z-axis.
  • the focusing lenses 13 and 23 cooperate with the distortors 11 and 21, the focusing lenses 13 and 23 being designed as geltech aspherical lenses 352280 and tilted by -1, 2 ° relative to the x-axis.
  • couplers can be produced between at least one optical fiber and an optoelectronic component, (direct) optical data connections between at least two optical or optoelectronic chips, multiplexers, demultiplexers and transitions between a single-mode optical waveguide and a multimode optical waveguide.
  • four-optical couplers integrated in an MT plug for example as shown by way of example in FIG. 7, can be produced, wherein reference numerals 61, 62, 63 and 64 designate optical waveguides produced by the method according to the invention.
  • Fig. 8 shows a corresponding quadruple coupler without a plug.
  • FIG 9 shows an exemplary embodiment of a transition between a singlemode optical waveguide (on the left) and a multimode optical waveguide (on the right) produced by means of the method according to the invention.
  • the cross section of the laser beam 1 and / or the cross section of the laser beam 2 during the movement of the focusing point 40 are changed to produce the transition between the singlemode optical waveguide (left) and the multimode optical waveguide (right).
  • the distance between the focusing lens 13 and the polymer 10 is increased as the penetration depth of the laser beam 1 into the polymer 10 increases.
  • a suitable relationship between the penetration depth of the laser beam 1 into the polymer 10 and the distance between the focusing lens 13 and the polymer 10 is shown in FIG. 10.
  • the distance between the warper 1 and the focusing lens 13 is reduced when the penetration depth of the laser beam 1 into the polymer 10 is increased.
  • a suitable connection between the penetration depth of the Laser beam 1 in the polymer 10 and the distance between the warper 11 and the focusing lens 13 is shown in FIG. 11.
  • the distance between the focusing lens 23 and the polymer 10 is increased as the penetration depth of the laser beam 1 into the polymer 10 increases.
  • the distance between the warper 21 and the focusing lens 23 is reduced when the penetration depth of the laser beam 1 into the polymer 10 is increased.
  • a suitable relationship between the penetration depth of the laser beam 1 into the polymer 10 and the distance between the distortion 21 and the focusing lens 23 is shown in FIG. 21.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Lichtwellenleiters, insbesondere eines Singlemode-Lichtwellenleiters, in einem Polymer (10), wobei ein erster Laserstrahl (1) einer ersten Wellenlänge in dem Polymer in einem Fokussierpunkt fokussiert wird, wobei ein zweiter Laserstrahl (2), insbesondere der ersten Wellenlänge, in dem Polymer in dem Fokussierpunkt fokussiert wird und den ersten Laserstrahl kreuzt, so dass sich der Brechungsindex der Polymers in einem Bereich um den Fokussierpunkt verändert bzw. erhöht, und wobei der Fokussierpunkt entlang einer Trajektorie durch das Polymer bewegt, und wobei vorteilhafterweise vorgesehen ist, dass der Querschnitt des ersten Laserstrahls und/oder der Querschnitt des zweiten Laserstrahls (insbesondere im Fokussierpunkt bzw. im Bereich des Fokussierpunktes) während der Bewegung des Fokussierpunktes verändert wird.

Description

Verfahren zum Herstellen eines Lichtwellenleiters in einem Polymer
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Lichtwellenleiters in einem Polymer, wobei ein Laserstrahl in dem Polymer in einem Fokussierpunkt fokussiert wird.
Die US 2009/0218519 offenbart ein Verfahren zum Erzeugen eines Brechungsindexwechsels in einem Fotopolymer, wobei ein Fotopolymer mit einer Fotosensitivität in Bezug auf Licht einer bestimmten Wellenlänge bereitgestellt wird und wobei in einem Bereich ein Brechungsindexwechsel in dem Fotopolymer durch Lithografie erzeugt wird, indem das Fotopolymer in der Region Licht mit der bestimmten Wellenlänge ausgesetzt wird.
Es ist Aufgabe der Erfindung, einen verbesserten Lichtwellenleiter zu erzeugen. Es ist insbesondere Aufgabe der Erfindung, Singlemode-Lichtwellenleiter in einem Polymer zu erzeugen. Dabei soll es insbesondere ermöglicht werden, jedem Multiplexer bzw. Demultiplexer für die Anwendung von 40 Gb/s und 100 Gb/s Ethernetstandard bereitzustellen. Insbesondere soll ein Verfahren angegeben werden, mittels dessen besonders geeignete Koppler zwischen einer Lichtwellenfaser und einem optoelektronischen Bauteil hergestellt werden können. Es ist weiterhin wünschenswert, Taper besonders kostengünstig und vorteilhaft herzustellen.
Vorgenannte Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Herstellen eines Lichtwellenleiters, insbesondere eines Singlemode-Lichtwellenleiters, eines Kopplers und/oder eines Tapers in einem Polymer gelöst, wobei ein erster Laserstrahl einer ersten Wellenlänge in dem Polymer in einem Fokussierpunkt fokussiert wird, wobei ein zweiter Laserstrahl, insbesondere der ersten Wellenlänge, in dem Polymer in dem Fokussierpunkt fokussiert wird und den ersten Laserstrahl kreuzt, so dass sich der Brechungsindex des Polymers in einem Bereich um den Fokussierpunkt verändert bzw. erhöht, wobei der Fokussierpunkt entlang einer, insbesondere dreidimensionalen, Trajektorie durch das Polymer bewegt wird, und wobei vorteilhafterweise vorgesehen ist, dass der Querschnitt des ersten Laserstrahls und/oder der Quer¬ schnitt des zweiten Laserstrahls (insbesondere im Fokussierpunkt bzw. im Bereich des Fokussierpunktes) während der Bewegung des Fokussierpunktes verändert wird. Dabei ist insbesondere vorgesehen, dass der Fokussierpunkt gleich dem Kreuzungspunkt der beiden Laserstrahlen ist. Nach Abschluss der Bewegung entlang der Trajektorie wird das Polymer vorteilhafterweise ausbelichtet bzw. gehärtet.
Ein Lichtwellenleiter im Sinne der Erfindung ist insbesondere geeignet zum Leiten von Licht mit einer Wellenlänge zwischen in etwa 850 nm und 1550 nm. Ein Koppler im Sinne der Erfindung ist insbesondere eine Ankopplung an einen Wellenleiter. Ein Koppler im Sinne der Erfindung ist insbesondere ein Übergang von einer Laserdiode (VCSEL) auf einen Wellenleiter. Ein Taper im Sinne der Erfindung ist insbesondere ein Bauteil, das zwei Lichtwellenleiter mit unterschiedlichen Durchmessern miteinander verbindet.
Ein Polymer im Sinne der Erfindung ist insbesondere ein Polymer, dessen Brechungsindex sich bei Bestrahlung von Licht mit der ersten Wellenlänge ändert bzw. das besonders auf Licht der ersten Wellenlänge reagiert bzw. in Bezug auf Licht dieser Wellenlänge sensitiv ist. Ein Polymer im Sinne der Erfindung ist insbesondere ein Fotopolymer. Geeignete Polymere können von den Firmen InPhase, Aprilis, DuPont bzw. Microresist bezogen werden. Ein Polymer im Sinne der Erfindung kann insbesondere ein organisches transparentes Material sein.
Eine dreidimensionale Trajektorie im Sinne der Erfindung ist insbesondere eine Trajektorie, deren Verlauf sich in drei Raumrichtungen ändert. Der erste Laserstrahl wird insbesondere mittels eines ersten Lasers erzeugt. Der zweite Laserstrahl wird insbesondere mittels des oder eines weiteren Lasers erzeugt.
Ein Singlemode-Lichtwellenleiter im Sinne der Erfindung ist insbesondere ein Lichtwellenleiter, in dem sich keine höheren Transversalmoden bilden. Ein Singlemode- Lichtwellenleiter im Sinne der Erfindung ist insbesondere ein Lichtwellenleiter, in dem sich Licht geradlinig ausbreitet. Ein Singlemode-Lichtwellenleiter im Sinne der Erfindung ist insbesondere ein Lichtwellenleiter, in dem sich Licht ohne Aufprall an der Grenzfläche ausbreitet. Ein Singlemode-Lichtwellenleiter im Sinne der Erfindung ist insbesondere ein Lichtwellenleiter mit einem Durchmesser von nicht mehr als 10 μιτι. Ein Singlemode-Lichtwellenleiter im Sinne der Erfindung ist insbesondere ein Lichtwellenleiter mit einem Durchmesser von nicht weniger als 3 μηι. Weitere Einzelheiten zu Singlemode-Lichtwellenleitern können z. B. den Internetseiten
- de.wikipedia.org/wiki/Singlemode-Faser
- de.wikipedia.org/wiki/Lichtwellenleiter#Mono-_bzw._Singlemode
entnommen werden.
Vorgenannte Aufgabe wird zudem durch ein Verfahren zum Herstellen eines Lichtwellenleiters, insbesondere eines Singlemode-Lichtwellenleiters, eines Kopplers und/oder eines Tapers in einem Polymer gelöst, wobei ein erster Laserstrahl einer ersten Wellenlänge in das Polymer gestrahlt wird, wobei ein zweiter Laserstrahl, insbesondere der ersten Wellenlänge, in das Polymer gestrahlt wird und den ersten Laserstrahl in einem Kreuzungspunkt kreuzt, so dass sich der Brechungsindex der Polymers in einem Bereich um den Kreuzungspunkt verändert bzw. erhöht, wobei der Kreuzungspunkt entlang einer dreidimensionalen Trajektorie durch das Polymer bewegt wird, und wobei vorteilhafterweise vorgesehen ist, dass der Querschnitt des ersten Laserstrahls und/oder der Querschnitt des zweiten Laserstrahls (insbesondere im Kreuzungspunkt bzw. im Bereich des Kreuzungspunktes) während der Bewegung des Kreuzungspunktes verändert wird. Nach Abschluss der Bewegung entlang der Trajektorie wird das Polymer vorteilhafterweise ausbelichtet bzw. gehärtet. Vorgenannte Aufgabe wird zudem durch ein Verfahren zum Herstellen eines Licht¬ wellenleiters, bzw. eines Tapers in einem Polymer gelöst, wobei ein erster Laserstrahl einer ersten Wellenlänge in das Polymer gestrahlt wird, wobei ein zweiter Laserstrahl, insbesondere der ersten Wellenlänge, in das Polymer gestrahlt wird und den ersten Laserstrahl in einem Kreuzungspunkt kreuzt, so dass sich der Brechungsindex des Polymers in einem Bereich um den Kreuzungspunkt verändert bzw. erhöht, und wobei der Kreuzungspunkt entlang einer dreidimensionalen Trajektorie durch das Polymer bewegt und der Querschnitt des ersten Laserstrahls und/oder der Querschnitt des zweiten Laserstrahls (insbesondere im Kreuzungspunkt bzw. im Bereich des Kreuzungspunktes) während der Bewegung des Kreuzungspunktes zur Erzeugung eines Übergangs zwischen einem Singlemode-Lichtwellenleiter und einem Multimode-Lichtwellenleiter (insbesondere SMF-28 zu OM-4) verändert wird. Nach Abschluss der Bewegung entlang der Trajektorie wird das Polymer vorteilhafterweise ausbelichtet bzw. gehärtet.
In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung umfasst der Bereich um den Fokussierpunkt bzw. den Kreuzungspunkt einen Durchmesser von nicht mehr als 10 μιη. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung treffen der erste Laserstrahl und/oder der zweite Laserstrahl schräg auf eine Oberfläche des Polymers auf. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung werden der erste Laserstrahl und/oder der zweite Laserstrahl vor dem Auftreffen auf die Oberfläche des Polymers verzerrt. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung werden der erste und/oder der zweite Laserstrahl mittels einer Fokussierlinse bzw. Abbildungsoptik fokussiert (wobei die Fokussierlinse bzw. Abbildungsoptik in weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung gegenüber der Achse des ersten und/oder zweiten Laserstrahls um einen Winkel mit einem Betrag zwischen (in etwa) 0,5° und 2° geneigt ist bzw. wird).
In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der erste Laserstrahl mittels einer ersten Abbildungsoptik fokussiert, die vorteilhafter Weise gegenüber der Achse des ersten Laserstrahls um einen ersten Winkel mit einem Betrag zwischen in etwa 0,1 ° und 4°, insbesondere mit einem Betrag zwischen (in etwa) 0,5° und 2°, geneigt ist bzw. in diesem Bereich geneigt wird. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der erste Winkel in Abhängigkeit der Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer eingestellt. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der Abstand zwischen dem Polymer und der ersten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer eingestellt. Ein Abstand zwischen dem Polymer und der ersten Abbildungsoptik soll im Sinne der Erfindung dabei insbesondere die Strecke bezeichnen, die das Licht des Laserstrahls von der ersten Abbildungsoptik zum Polymer zurücklegt. Insofern ist der Abstand insbesondere die Länge des Lichtweges dynamisch eingestellt. Dynamisch im Sinne der Erfindung soll insbesondere bedeuten, dass der Winkel bzw. der Abstand mit der Veränderung bzw. dem Verlauf der Trajektorie verändert wird. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen dem Polymer und der ersten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, vergrößert wird, wenn sich die Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer vergrößert. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen dem Polymer und der ersten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, verkleinert wird, wenn sich die Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer verkleinert.
In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung tritt der erste Laserstrahl durch eine erste Zylinderlinsenanordnung hindurch. Eine erste Zylinderlinsenanordnung im Sinne der Erfindung umfasst insbesondere zwei Zylinderlinsen. Eine erste Zylinderlinsenanordnung im Sinne der Erfindung umfasst insbesondere zwei Zylinderlinsen, die um ihre optische Achse um 90° zueinander gedreht sind. Es ist insbesondere vorgesehen, dass die erste Abbildungsoptik im Lichtweg des ersten Laserstrahls zwischen der ersten Zylinderlinsenanordnung und dem Polymer angeordnet ist. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der Abstand zwischen der ersten Zylinderlinsenanordnung und der ersten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer eingestellt. Ein Abstand zwischen der ersten Zylinderlinsenanordnung und der ersten Abbildungsoptik soll im Sinne der Erfindung dabei insbesondere die Strecke bezeichnen, die das Licht des Laserstrahls von der ersten Zylinderlinsenanordnung zur ersten Abbildungsoptik zurücklegt. Insofern ist der Abstand insbesondere die Länge des Lichtweges dynamisch eingestellt. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen der ersten Zylinderanordnung und der ersten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, verkleinert wird, wenn sich die Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer vergrößert. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen der ersten Zylinderanordnung und der ersten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, vergrößert wird, wenn sich die Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer verkleinert. Die erste Zylinderlinsenanordnung wird insbesondere derart eingestellt, dass eine geeignete Korrektur des Astigmatismus erfolgt. Es ist insbesondere auch vorgesehen, dass die Positionen der Zylinderlinsen der ersten Zylinderlinsenanordnung, insbesondere dynamisch und automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe eingestellt werden.
In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der zweite Laserstrahl mittels einer zweiten Abbildungsoptik fokussiert, die vorteilhafter Weise gegenüber der Achse des zweiten Laserstrahls um einen zweiten Winkel mit einem Betrag zwischen in etwa 0,1 ° und 4°, insbesondere mit einem Betrag zwischen (in etwa) 0,5° und 2°, geneigt ist bzw. in diesem Bereich geneigt wird. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der zweite Winkel in Abhängigkeit der Eindringtiefe des zweiten Laserstrahls in das Polymer eingestellt. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der Abstand zwischen dem Polymer und der zweiten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des zweiten Laserstrahls in das Polymer eingestellt. Ein Abstand zwischen dem Polymer und der zweiten Abbildungsoptik soll im Sinne der Erfindung dabei insbesondere die Strecke bezeichnen, die das Licht des Laserstrahls von der zweiten Abbildungsoptik zum Polymer zurücklegt. Insofern ist der Abstand insbesondere die Länge des Lichtweges dynamisch eingestellt. Dynamisch im Sinne der Erfindung soll insbesondere bedeuten, dass der Winkel bzw. der Abstand mit der Veränderung bzw. dem Verlauf der Trajektorie verändert wird. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen dem Polymer und der zweiten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, vergrößert wird, wenn sich die Eindringtiefe des zweiten Laserstrahls in das Polymer vergrößert. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen dem Polymer und der zweiten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, verkleinert wird, wenn sich die Eindringtiefe des zweiten Laserstrahls in das Polymer verkleinert.
In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung tritt der zweite Laserstrahl durch eine zweite Zylinderlinsenanordnung hindurch. Eine zweite Zylinderlinsenanordnung im Sinne der Erfindung umfasst insbesondere zwei Zylinderlinsen. Eine zweite Zylinderlinsenanordnung im Sinne der Erfindung umfasst insbesondere zwei Zylinderlinsen, die um ihre optische Achse um 90° zueinander gedreht sind. Es ist insbesondere vorgesehen, dass die zweite Abbildungsoptik im Lichtweg des zweiten Laserstrahls zwischen der zweiten Zylinderlinsenanordnung und dem Polymer angeordnet ist. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der Abstand zwischen der zweiten Zylinderlinsenanordnung und der zweiten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des zweiten Laserstrahls in das Polymer eingestellt. Ein Abstand zwischen der zweiten Zylinderlinsenanordnung und der zweiten Abbildungsoptik im Sinne der Erfindung soll dabei insbesondere die Strecke bezeichnen, die das Licht des Laserstrahls von der zweiten Zylinderlinsenanordnung zur zweiten Abbildungsoptik zurücklegt. Insofern ist der Abstand insbesondere die Länge des Lichtweges dynamisch eingestellt. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen der zweiten Zylinderanordnung und der zweiten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, verkleinert wird, wenn sich die Eindringtiefe des zweiten Laserstrahls in das Polymer vergrößert. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen der zweiten Zylinderanordnung und der zweiten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, vergrößert wird, wenn sich die Eindringtiefe des zweiten Laserstrahls in das Polymer verkleinert. Die zweite Zylinderlinsenanordnung wird insbesondere derart eingestellt, dass eine geeignete Korrektur des Astigmatismus erfolgt. Es ist insbesondere auch vorgesehen, dass die Positionen der Zylinderlinsen der zweiten Zylinderlinsenanordnung, insbesondere dynamisch und automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe eingestellt werden. Unter der Eindringtiefe eines Laserstrahls in ein Polymer soll im Sinne der Erfindung insbesondere die Eindringtiefe des Laserstrahls in das Polymer bis zum Kreuzungspunkt bzw. bis zum Fokussierpunkt verstanden werden. Eine Einstellung in Abhängigkeit der Eindringtiefe umfasst im Sinne der Erfindung insbesondere auch eine Einstellung in Abhängigkeit eines Sollwerts der Eindringtiefe. Eine Einstellung in Abhängigkeit der Eindringtiefe umfasst insbesondere eine Einstellung in Abhängigkeit einer Position oder einer Sollposition des Polymers.
In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird ein dritter Laserstrahl einer zweiten Wellenlänge in dem Polymer in dem Fokussierpunkt fokussiert. Die zweite Wellenlänge ist insbesondere verschieden von der ersten Wellenlänge. Die erste und die zweite Wellenlänge unterscheiden sich insbesondere um zumindest 100 nm. Die zweite Wellenlänge im Sinne der Erfindung ist insbesondere eine Wellenlänge, mittels der in dem Polymer keine Veränderung, insbesondere keine wesentliche Veränderung, des Brechungsindex erzeugt wird. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung trifft der dritte Laserstrahl (im Wesentlichen) senkrecht auf die Oberfläche des Polymers auf. Es ist insbesondere vorgesehen, dass der dritte Lichtstrahl vor dem Auftreffen und/oder nach dem Auftreffen auf die Oberfläche des Polymers eine QWP (Quarter Wave Plate) und/oder einen PBS (Polarzing Beam Splitter) durchläuft. Es ist insbesondere vorgesehen, dass die QWP in Bezug auf den Verlauf des dritten Laserstrahls zwischen dem Polymer und dem PBS angeordnet ist. Mittels des PBS ist es möglich, den Fokussierpunkt mit einem konfokalen Mikroskop zu betrachten. Dazu koppelt der PBS nur Licht (zu einem Detektor) aus, dessen Polarisation um 90° gegenüber dem einfallenden Licht gedreht wurde. Auf diese Weise kann zum Beispiel der Ort von Faserspitzen im Polymer identifiziert und diese mittels des vorgeschriebenen Verfahrens mit einem Lichtwellenleiter in dem Polymer verbunden werden.
In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird der Querschnitt des ersten Laserstrahls und/oder der Querschnitt des zweiten Laserstrahls während der Bewegung des Fokussierpunktes und/oder des Kreuzungspunktes verändert. In weiterhin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines Kopplers zwischen zumindest einer Lichtleiterfaser und einem optoelektronischen Bauteil, einer (direkten) optischen Datenverbindung zwischen zumindest zwei optischen oder optoelektronischen Chips, eines Multi- plexers, eines Demultiplexers oder eines Übergangs zwischen einem Singlemode- Lichtwellenleiter und einem Multimode-Lichtwellenleiter verwendet.
Mittels der Erfindung können insbesondere die Justagekosten beim Aufbau optischer Signalstrecken verringert werden. Dabei ermöglicht es die Erfindung, den Querschnitt von Wellenleitern an Kopplungsflächen derart zu vergrößern oder zu verkleinern, dass die Anforderung an die Präzision der Justage gesenkt werden können. Dadurch verringern sich die Aufbaukosten von optischen Signalstrecken.
Weitere Vorteile und Einzelheiten ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen. Dabei zeigen:
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer Einrichtung zur Herstellung eines Lichtwellenleiters, zur Herstellung insbesondere eines Singlemode-Lichtwellenleiters, in einem Polymer,
Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel für einen Fokussierpunkt mit einem rautenförmigen Querschnitt,
Fig. 3 einen Fokussierpunkt mit einem quadratischen Querschnitt,
Fig. 4 ein Ausführungsbeispiel für eine Intensitätsverteilung in einem Fokussierpunkt mit einem kreisrunden Querschnitt,
Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel für eine Intensitätsverteilung in einem Fokussierpunkt mit einem elliptischen Querschnitt,
Fig. 7 ein Ausführungsbetspiel für einen in einem MT-Stecker integrierten optischen Vierfach- Koppler,
Fig. 8 ein Ausführungsbeispiel für einen optischen Vierfach-Koppler,
Fig. 9 ein Ausführungsbeispiel für einen Übergang zwischen einem Singlemode- Lichtwellenleiter und einem Multimode-Lichtwellenleiter, Fig. 10 ein Ausführungsbeispiel für einen geeigneten Zusammenhang zwischen der
Eindringtiefe eines Laserstrahls in ein Polymer und dem Abstand zwischen einer Fokussierlinse und dem Polymer und
Fig. 11 ein Ausführungsbeispiel für einen geeigneten Zusammenhang zwischen der
Eindringtiefe eines Laserstrahls in ein Polymer und dem Abstand zwischen einer Fokussierlinse und einem Verzerrer.
Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung 100 zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung eines Lichtwellenleiters, insbesondere eines Singlemode-Lichtwellenleiters, in einem Polymer 10. Dazu wird mittels eines Lasers 4 ein Lichtstrahl mit der Wellenlänge von 405 nm erzeugt und mittels eines semitransparenten Spiegels 6 in einen Laserstrahl 1 und einen Laserstrahl 2 geteilt. Zuvor wird der Strahldurchmesser des Laserstrahls mittels eines Zoomobjektivs 5 durch Veränderung der numerischen Apertur eingestellt. Mit der Einstellung des Durchmessers des Laserstrahls wird auch die effektive Strahlgröße in einem Fokussierpunkt (Fokus) 40 in dem Polymer 10 eingestellt. Sowohl der Laserstrahl 1 als auch der Laserstrahl 2 werden jeweils durch einen Verzerrer 11 bzw. 21 verzerrt und anschließend jeweils mittels eines drehbaren bzw. justierbaren Spiegels 12 bzw. 22 auf das Polymer 10 gerichtet. Dabei werden die Laserstrahlen 1 und 2 mittels Fokus- sierlinsen 13 bzw. 23 in dem Fokussierpunkt 40 fokussiert. In dem Fokussierpunkt 40 kreuzen sich Laserstrahl 1 und Laserstrahl 2. Die Verzerrer 1 und 21 sind jeweils ein Ausführungsbeispiel für eine Zylinderlinsenanordnung im Sinne der Ansprüche. Die Fokussierlinsen 13 und 23 sind jeweils ein Ausführungsbeispiel für eine Abbildungsoptik im Sinne der Ansprüche.
Die Vorrichtung 100 umfasst zudem einen Laser 30 zum Emittieren eines Laserstrahls 3 mit einer Wellenlänge von 635 nm. Der Laserstrahl 3 durchläuft einen PBS 31 , einen Konfokalfilter 33 sowie eine QWP 34 und wird mittels eines Spiegels 35 auf den Fokussierpunkt 40 gerichtet. Dabei wird der Laserstrahl 3 mittels einer Linse 36 in den Fokussierpunkt 40 fokussiert. Der Laser 30 dient als Lichtquelle eines konfokalen Mikroskops, wobei der PBS 31 Licht in Richtung eines Detektors 32 auskoppelt, dessen Polarisation um 90° gegenüber dem einfallenden Licht gedreht wurde. Mittels des Detektors 32 wird ein Bildsignal erzeugt, das das Polymer 10 im Fokussierpunkt 40 abbildet. Auf diese Weise können zum Beispiel Faserspitzen im Polymer 10 gefunden und mit einem durch die Laserstrahlen 1 und 2 erzeugten Wellenleiter verbunden werden.
Das Polymer 10 ist derart gewählt, dass es auf Licht der Wellenlänge 405 nm in dem Sinne reagiert, dass es seinen Brechungsindex ändert, wohingegen Licht mit der Wellenlänge 635 nm keine besondere Reaktivität zeigt.
Durch Bewegen des Polymers 10 kann der Fokussierpunkt 40, also der Kreuzungspunkt der Laserstrahlen 1 und 2, entlang einer dreidimensionalen Trajektorie durch das Polymer 10 bewegt werden, sodass durch Änderung des Brechungsindex des Polymers im Fokussierpunkt 40 ein dreidimensional verlaufender Wellenleiter, insbesondere ein dreidimensional verlaufender Singlemode-Lichtwellenleiter, entsteht.
Zudem kann durch aufeinander abgestimmtes Bewegen der drehbaren bzw. justierbaren Spiegel 12 und 22 der Kreuzungswinkel 41 der Laserstrahlen 1 und 2 und damit die Form des Lichtwellenleiters, wie in Fig. 2 und Fig. 3 beispielhaft dargestellt, eingestellt werden. Dabei ist jedoch vorteilhafterweise vorgesehen, dass die Laserstrahlen 1 und 2 jeweils derart auf das Polymer 10 ausgerichtet sind, dass ihre Einfallswinkel gleichgroß sind. Mittels des beschriebenen Verfahrens können runde, rautenförmige (vgl. Fig. 2) oder quadratische (vgl. Fig. 3) Querschnitte des Lichtwellenleiters erzeugt werden.
Fig. 4 und Fig. 5 zeigen die Intensitätsverteilung von Licht der Wellenlänge 405 nm in dem Polymer 10 bei der Erzeugung eines kreisrunden bzw. elliptischen Querschnitts für einen Lichtwellenleiter.
Fig. 6 zeigt ein Ausführungsbeispiel für die Implementierung der Verzerrer 11 bzw. 21. Die Verzerrer 11 und 21 umfassen jeweils zwei mit Bezugszeichen 51 und 52 bezeichnete zylindrische Linsen NT 47 - 750 von Edmund Optics, wobei die Linse 52 um 90° um die z-Achse gedreht ist. Die Fokussierlinsen 13 und 23 wirken mit den Verzerrern 11 und 21 zusammen, wobei die Fokussierlinsen 13 und 23 als asphärische Linsen 352280 der Firma Geltech ausgestaltet und gegenüber der x- Achse um -1 ,2° geneigt bzw. gedreht sind.
Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens können zum Beispiel Koppler zwischen zumindest einer Lichtleiterfaser und einem optoelektronischen Bauteil, (direkte) optische Datenverbindungen zwischen zumindest zwei optischen oder optoelektronischen Chips, Multiplexer, Demultiplexer sowie Übergänge zwischen einem Singlemode-Lichtwellenleiter und einem Multimode-Lichtwellenleiter hergestellt werden. Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens können zum Beispiel in einem MT- Stecker integrierte optische Vierfach-Koppler, wie sie beispielhaft Fig. 7 gezeigt sind, hergestellt werden, wobei Bezugszeichen 61 , 62, 63 und 64 mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellte Lichtwellenleiter bezeichnen. Fig. 8 zeigt einen entsprechenden Vierfach-Koppler ohne Stecker.
Fig. 9 zeigt ein Ausführungsbeispiel für einen mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellten Übergang zwischen einem Singlemode-Lichtwellenleiter (links) und einem Multimode-Lichtwellenleiter (rechts). Dabei werden zur Erzeugung des Übergangs zwischen dem Singlemode-Lichtwellenleiter (links) und dem Multimode-Lichtwellenleiter (rechts) der Querschnitt des Laserstrahls 1 und/oder der Querschnitt des Laserstrahls 2 während der Bewegung des Fokussierpunktes 40 verändert.
Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen der Fokussierlinse 13 und dem Polymer 10 vergrößert wird, wenn sich die Eindringtiefe des Laserstrahls 1 in das Polymer 10 vergrößert. Einen geeigneten Zusammenhang zwischen der Eindringtiefe des Laserstrahls 1 in das Polymer 10 und dem Abstand zwischen der Fokussierlinse 13 und dem Polymer 10 zeigt Fig. 10. Zudem ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen dem Verzerrer 1 und der Fokussierlinse 13 verkleinert wird, wenn sich die Eindringtiefe des Laserstrahls 1 in das Polymer 10 vergrößert. Einen geeigneten Zusammenhang zwischen der Eindringtiefe des Laserstrahls 1 in das Polymer 10 und dem Abstand zwischen Verzerrer 11 und der Fokussierlinse 13 zeigt Fig. 11.
Es ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen der Fokussierlinse 23 und dem Polymer 10 vergrößert wird, wenn sich die Eindringtiefe des Laserstrahls 1 in das Polymer 10 vergrößert. Einen geeigneten Zusammenhang zwischen der Eindringtiefe des Laserstrahls 1 in das Polymer 10 und dem Abstand zwischen der Fokussierlinse 23 und dem Polymer 10 zeigt Fig. 10. Zudem ist insbesondere vorgesehen, dass der Abstand zwischen dem Verzerrer 21 und der Fokussierlinse 23 verkleinert wird, wenn sich die Eindringtiefe des Laserstrahls 1 in das Polymer 10 vergrößert. Einen geeigneten Zusammenhang zwischen der Eindringtiefe des Laserstrahls 1 in das Polymer 10 und dem Abstand zwischen Verzerrer 21 und der Fokussierlinse 23 zeigt Fig. 21.

Claims

P AT E N TA N S P R Ü C H E
1. Verfahren zum Herstellen eines Lichtwellenleiters, insbesondere eines Singlemode-Lichtwellenleiters, eines Kopplers und/oder eines Tapers in einem Polymer, wobei ein erster Laserstrahl einer ersten Wellenlänge in dem Polymer in einem Fokussierpunkt fokussiert wird, wobei ein zweiter Laserstrahl, insbesondere der ersten Wellenlänge, in dem Polymer in dem Fokussierpunkt fokussiert wird und den ersten Laserstrahl kreuzt, so dass sich der Brechungsindex des Polymers in einem Bereich um den Fokussierpunkt verändert bzw. erhöht, wobei der Fokussierpunkt entlang einer Trajektorie durch das Polymer bewegt wird, und wobei der Querschnitt des ersten Laserstrahls und/oder der Querschnitt des zweiten Laserstrahls während der Bewegung des Fokussierpunktes verändert wird.
2. Verfahren zum Herstellen eines Lichtwellenleiters, insbesondere eines Singlemode-Lichtwellenleiters, eines Kopplers und/oder eines Tapers in einem Polymer, wobei ein erster Laserstrahl einer ersten Wellenlänge in das Polymer gestrahlt wird, wobei ein zweiter Laserstrahl, insbesondere der ersten Wellenlänge, in das Polymer gestrahlt wird und den ersten Laserstrahl in einem Kreuzungspunkt kreuzt, so dass sich der Brechungsindex des Polymers in einem Bereich um den Kreuzungspunkt verändert bzw. erhöht, wobei der Kreuzungspunkt entlang einer dreidimensionalen Trajektorie durch das Polymer bewegt wird, und wobei der Querschnitt des ersten Laserstrahls und/oder der Querschnitt des zweiten Laserstrahls während der Bewegung des Kreuzungspunktes verändert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der
Bereich einen Durchmesser von nicht mehr als 10 pm umfasst.
4. Verfahren nach Anspruch 1 , 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Laserstrahl und/oder der zweite Laserstrahl schräg auf eine Oberfläche des Polymers auftreffen.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Laserstrahl und/oder der zweite Laserstrahl vor dem Auftreffen auf die Oberfläche des Polymers verzerrt werden.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Laserstrahl mittels einer ersten Abbildungsoptik fokussiert wird, die vorteilhafter Weise gegenüber der Achse des ersten Laserstrahls um einen ersten Winkel mit einem Betrag zwischen in etwa 0,5° und 2° geneigt ist.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Winkel, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer eingestellt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen dem Polymer und der ersten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer eingestellt wird.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Laserstrahl durch eine erste Zylinderlinsenanordnung hindurch tritt.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Abbildungsoptik im Lichtweg des ersten Laserstrahls zwischen der ersten Zylinderlinsenanordnung und dem Polymer angeordnet ist.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen der ersten Zylinderlinsenanordnung und der ersten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer eingestellt wird.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Laserstrahl mittels einer zweiten Abbildungsoptik fokussiert wird, die vorteilhafter Weise gegenüber der Achse des zweiten Laserstrahls um einen zweiten Winkel mit einem Betrag zwischen in etwa 0,5° und 2° geneigt ist.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Winkel, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des ersten Laserstrahls in das Polymer eingestellt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen dem Polymer und der zweiten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des zweiten Laserstrahls in das Polymer eingestellt wird.
15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Laserstrahl durch eine zweite Zylinderlinsenanordnung hindurch tritt.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Abbildungsoptik im Lichtweg des zweiten Laserstrahls zwischen der zweiten Zylinderlinsenanordnung und dem Polymer angeordnet ist.
17. Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen der zweiten Zylinderlinsenanordnung und der zweiten Abbildungsoptik, insbesondere dynamisch und/oder automatisch, in Abhängigkeit der Eindringtiefe des zweiten Laserstrahls in das Polymer eingestellt wird.
18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein dritter Laserstrahl einer zweiten Wellenlänge in dem Polymer in dem Fokussierpunkt fokussiert wird.
19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Laserstrahl im Wesentlichen senkrecht auf die Oberfläche des Polymers auftrifft.
20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt des ersten Laserstrahls und/oder der Querschnitt des zweiten Laserstrahls während der Bewegung des Fokussier- punktes und/oder des Kreuzungspunktes verändert wird.
21. Verwendung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Herstellung eines Kopplers zwischen zumindest einer Lichtleiterfaser und einem optoelektronischen Bauteil, einer (direkten) optischen Datenverbindung zwischen zumindest zwei optischen oder optoelektronischen Chips, eines Multiplexers, eines Demultiplexers oder eines Übergangs zwischen einem Singlemode-Lichtwellenleiter und einem Multimode-Lichtwellenleiter.
PCT/EP2012/001109 2011-04-16 2012-03-13 Verfahren zum herstellen eines lichtwellenleiters in einem polymer WO2012143070A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011017329.3 2011-04-16
DE102011017329A DE102011017329A1 (de) 2011-04-16 2011-04-16 Verfahren zum Herstellen eines Lichtwellenleiters in einem Polymer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012143070A1 true WO2012143070A1 (de) 2012-10-26

Family

ID=45926508

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2012/001109 WO2012143070A1 (de) 2011-04-16 2012-03-13 Verfahren zum herstellen eines lichtwellenleiters in einem polymer

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102011017329A1 (de)
WO (1) WO2012143070A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9470858B2 (en) 2013-01-11 2016-10-18 Multiphoton Optics Gmbh Optical package and a process for its preparation

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013100888A1 (de) 2013-01-29 2014-07-31 Schott Ag Licht-Konzentrator oder -Verteiler
WO2018022319A1 (en) 2016-07-29 2018-02-01 Corning Optical Communications LLC Waveguide connector elements and optical assemblies incorporating the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004013668A2 (en) * 2002-08-02 2004-02-12 Oz Optics Ltd. Microstructuring optical wave guide devices with femtosecond optical pulses
EP1422541A2 (de) * 2002-11-25 2004-05-26 Nitto Denko Corporation Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Polyimid-Wellenleitern.
FR2871582A1 (fr) * 2004-06-11 2005-12-16 Univ Louis Pasteur Etablisseme Procede de fabrication d'un bloc optique a circuit optique integre par photopolymerisation localisee d'une matrice organique par absorption a deux photons et bloc optique ainsi obtenu
US20090218519A1 (en) 2005-06-18 2009-09-03 The Regents Of The University Of Colorado Three-Dimensional Direct-Write Lithography

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10155492A1 (de) * 2001-11-13 2003-10-09 Univ Schiller Jena Verfahren zur Herstellung eines optischen Verzweigers, insbesondere eines Mehrfach-Strahlteilers, sowie verfahrensgemäß hergestellter Verzweiger
US6785439B2 (en) * 2002-01-29 2004-08-31 Agilent Technologies, Inc. Switching using three-dimensional rewriteable waveguide in photosensitive media
KR100471380B1 (ko) * 2002-12-23 2005-03-10 한국전자통신연구원 레이저 직접 묘화법을 이용한 광 도파로 제작방법 및 이를이용한 광 도파로

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004013668A2 (en) * 2002-08-02 2004-02-12 Oz Optics Ltd. Microstructuring optical wave guide devices with femtosecond optical pulses
EP1422541A2 (de) * 2002-11-25 2004-05-26 Nitto Denko Corporation Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Polyimid-Wellenleitern.
FR2871582A1 (fr) * 2004-06-11 2005-12-16 Univ Louis Pasteur Etablisseme Procede de fabrication d'un bloc optique a circuit optique integre par photopolymerisation localisee d'une matrice organique par absorption a deux photons et bloc optique ainsi obtenu
US20090218519A1 (en) 2005-06-18 2009-09-03 The Regents Of The University Of Colorado Three-Dimensional Direct-Write Lithography

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KOO J-S ET AL: "UV written waveguides using crosslinkable PMMA-based copolymers", OPTICAL MATERIALS, ELSEVIER SCIENCE PUBLISHERS B.V. AMSTERDAM, NL, vol. 23, no. 3-4, 1 September 2003 (2003-09-01), pages 583 - 592, XP004437371, ISSN: 0925-3467, DOI: 10.1016/S0925-3467(03)00025-9 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9470858B2 (en) 2013-01-11 2016-10-18 Multiphoton Optics Gmbh Optical package and a process for its preparation

Also Published As

Publication number Publication date
DE102011017329A1 (de) 2012-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102016214606B3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur lithographischen Erzeugung einer Zielstruktur an einer nicht-planaren Ausgangsstruktur
EP3335062A1 (de) Optisches bauelement mit strahlumlenkelement, verfahren zu seiner herstellung sowie für das bauelement geeignete strahlumlenkelemente
DE102015012980B4 (de) Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen auf optischen Fasern
WO2018083191A1 (de) Verfahren zur herstellung eines optischen systems und optisches system
EP2556397A1 (de) Verfahren und anordnung zum erzeugen eines laserstrahls mit unterschiedlicher strahlprofilcharakteristik mittels einer mehrfachclad-faser
WO2018219710A1 (de) VERFAHREN ZUM TIEFSCHWEIßEN EINES WERKSTÜCKS, MIT VERTEILUNG DER LASERLEISTUNG AUF MEHRERE FOKI
WO2012143070A1 (de) Verfahren zum herstellen eines lichtwellenleiters in einem polymer
DE102017206461B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zum laserbasierten Trennen eines transparenten, sprödbrechenden Werkstücks
DE102006046313B3 (de) Verfahren und Anordnung zum Strukturieren einer lichtleitenden Faser entlang deren Längsachse (longitudinale Strukturierung) basierend auf der nicht-linearen Absorption von Laserstrahlung
WO2021175967A1 (de) Lokalisierung von optischen koppelstellen
DE102005020622A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Lage eines Faserkerns in einer optischen Faser
EP2056144B1 (de) Endstück für Lichtleitfaser
DE10127331A1 (de) Verfahren zum Verbinden einer optischen Faser mit einer GRIN-Linse sowie Verfahren zur Herstellung optischer Filtermodule und verfahrensgem. hergestellte Filtermodule
DE102015205163B4 (de) Optisches System für eine Laserbearbeitungsmaschine, mit einem optischen Element in einem Stecker eines Lichtleitkabels
DE10044522C2 (de) Optische Anordnung zur Strahlführung
EP3421170B1 (de) Vorrichtung zum bohren und/oder für materialabtragung mittels laserstrahlung ; verwendung solcher vorrichtung zum bohren und/oder für materialabtragung mittels laserstrahlung ; verfahren zur montage eines porroprismas in einer rotationseinheit
EP2520958A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Grundjustage eines Faserkopplers
DE3735032A1 (de) Lichtwellenleiter mit ankopplungsoptik
WO2022128998A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur fokuslagen-bestimmung
DE102021112271A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Strahlgüte
DE102021109579A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum ausbilden von modifikationen mit einem laserstrahl in einem material mit einer gekrümmten oberfläche
EP3839609A1 (de) Lasersystem zur erzeugung einer linienförmigen lasermarkierung
DE102017215068A1 (de) Optische Baugruppe und Verwendung einer optischen Baugruppe
DE102019115306A1 (de) Herstellungsverfahren für ein optisches Einkoppelelement zur Verwendung in einem Fahrzeug
DE202008009454U1 (de) Optische Koppelvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12711562

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12711562

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1