WO2012073730A1 - 輪郭線検出方法及び輪郭線検出装置 - Google Patents
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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Definitions
- the present invention relates to a contour detection method and a contour detection device for detecting a contour of a workpiece.
- the contour detection apparatus 100A used for the contour detection will be described more specifically.
- the surface of the mounting table is used as a background surface 6A, and a workpiece W is placed on the background surface 6A.
- a plurality of LEDs 21A are arranged in a ring shape, and a ring illumination 10A having a light emission direction directed substantially in the center of the ring is provided above the workpiece, and the central through-hole 4A of the ring illumination 10A is provided.
- the workpiece W is imaged by the camera 5A via
- the ring illumination 10A is brought close to the background surface 6A so that the edge portion of the workpiece W is sufficiently illuminated, so that the perspective view of FIG.
- the background surface 6A is viewed from above, the light irradiation region 7A is formed in which the background surface 6A in the through-hole 4A is illuminated in a substantially circular shape without a gap. Then, since illumination light is irradiated not only on the workpiece W but also on the background surface 6A around the workpiece W, when the background surface 6A is a material or surface shape that scatters light, as shown in FIG.
- the workpiece Even when the workpiece has a certain height, it may be difficult to detect an edge due to scattered light from a background surface around the workpiece depending on the configuration of the ring illumination or the like. On the contrary, even if the influence of scattered light from the background surface is small, reflected light is generated from the entire surface of the workpiece, so that it is sometimes difficult to shine only the edge portion to be detected, particularly the outer contour line. In addition, if the edge portion of the workpiece is a curved surface such as an R surface, the reflected light from the edge portion has a width, which may be difficult to grasp as a contour line.
- contour detection devices for detecting the outer contour of a wafer in a chamber as shown in Patent Document 2 use ring illumination.
- this contour line detection apparatus as shown in FIG. 17, light polarized in a predetermined direction is irradiated from the ring-shaped illumination 10A onto the entire surface of the wafer W and the background surface around the outer contour line of the wafer W. Is configured to do.
- a wafer W that reflects light while maintaining the polarization of the incident light is placed on the reflecting member 61A that changes its polarization when the light is reflected, and the ring shape
- the central axis of the through hole 4A of the illumination 10A is arranged so as to pass through the center of the wafer W with respect to the surface of the circular wafer W.
- the light emitted from the ring-shaped illumination 10A is set so as to be irradiated so as to spread to the outside including all the outer contour lines of the wafer W. Then, the light passing through the through hole 4A out of the reflected light from the reflecting member 61A around the outer contour of the wafer W and the wafer W and serving as the background surface 6A is imaged through the polarizing filter 51A. Only the reflected light from either the wafer W or the reflecting member 61A is imaged, and the outer contour that is the boundary between the wafer W and the reflecting member 61A is detected.
- the cylindrical light shielding member 3A is provided in the through-hole 4A in the center of the ring-shaped illumination 10A.
- the light 10A is also configured to shield light incident at a predetermined angle or more from the illumination 10A to the central axis side of its own through-hole 4A.
- An object of the present invention is to provide a contour detection method and a contour detection device capable of clearly detecting the contour of a workpiece even when the height is low and the influence of reflected light from the background is strong.
- the contour detection method of the present invention is a contour detection method for detecting a contour of the workpiece by detecting light from the workpiece by a light detection unit, and the position where the light detection unit is provided Set above the workpiece, and the illumination light emitted from the light emitting section is substantially at a position spaced a predetermined distance outward from the detection target contour line, which is at least a part of the contour line, or the inner edge, or It is set to irradiate only the light irradiation region having an outer edge at a position separated from the detection target contour line by a predetermined distance, and the light irradiation region is lower than the detection target contour line and illuminated. It is set so that it may be formed on the surface where light is scattered.
- the contour detection device of the present invention is a contour detection device for detecting the contour of the workpiece by detecting light from the workpiece with a light detection unit, and is a light emission that emits illumination light.
- a light detection unit that is provided above the workpiece and detects light from the workpiece, and the illumination light emitted from the light emission unit is substantially the outline of at least a part of the workpiece It is configured to irradiate only a light irradiation region having a position separated from the detection target contour line, which is a line, a predetermined distance outward as an inner edge, or having a position spaced a predetermined distance inward from the detection target contour line as an outer edge.
- the light irradiation area is formed below the detection target contour line and on a surface on which illumination light is scattered.
- the surface on which the illumination light is scattered is a concept that includes not only a surface that scatters light over the entire surface but also a surface that scatters light at least in part or all of the light irradiation region.
- the detection target outline is not a concept including only a ridge line with an edge, but a concept including a line indicating a rounded corner.
- the upper part of the workpiece and the lower part of the workpiece are not only the vertical direction but also a concept including the upper and lower sides as viewed from the surface on which the workpiece is disposed with reference to the surface on which the workpiece is disposed. For example, when a workpiece is arranged on a surface extending in the vertical direction, the horizontal direction corresponds to the top and bottom.
- the illumination light is not directly irradiated to the detection target contour of the workpiece and its vicinity, it is in the vicinity of the background surface of the detection target contour. Scattered light from the object is not generated.
- scattered light is generated in the light irradiation region formed on the surface below the detection target contour, and a part of the light is irradiated onto the detection target contour above the surface again. Since scattered light is generated, the detection target contour line of the workpiece can be illuminated even when the illumination light is not directly applied to the workpiece. Therefore, it is possible to shine only the detection target contour line of the workpiece without illuminating the vicinity of the detection target contour line, and a large luminance difference is generated between each.
- the detection target contour line is clearly detected by the light detection unit. be able to. Further, since the light detection unit is provided above the workpiece, only the light scattered in the light irradiation region and further scattered in the detection target contour line of the workpiece and the traveling direction thereof is changed. It can be easily detected by the light detection unit.
- an illumination device is provided below the contour line to be detected, and the contour line is directly irradiated with light. There is no need to do.
- the light emitting unit when inspecting a flowing work, the light emitting unit is separated from the work so that it does not contact while the work is moving, and the light emitting unit is below the work at the time of inspection. It is necessary to stop the work once at the inspection position and to move the light emitting part or the work up and down, etc. Then, a waiting time such as a work stop time or a time required to move the light irradiation unit is generated, so that the inspection time for one work becomes long and the inspection efficiency is lowered.
- the contour detection is performed by applying light from below the detection target contour line with secondary light as in the present invention, the contour detection is performed in a state where the light emitting portion and the workpiece are separated from each other. Therefore, it is possible to inspect continuously without stopping the work flowing by the belt conveyor or moving the work or the light emitting part up and down. Accordingly, since it is possible to prevent the waiting time as in the case of using direct light, it is possible to continuously detect the contour line of the workpiece flowing with very high inspection efficiency. Moreover, since it is only necessary to arrange
- the work is placed on a background surface where the illumination light is scattered, and one opening end is larger than the work.
- the other opening end is set to a height higher than the position where the light irradiation unit is provided, and the position of the one opening end is set to the background surface of the workpiece. It is set so as to surround the workpiece as viewed from the side where it is placed, and the one opening end and the background surface are separated from each other, and the separation distance is included in the illumination light emitted from the light emitting unit. What is necessary is just to set so that the light which goes inside rather than the inner edge of the said light irradiation area
- region may be light-shielded by the said light-shielding member.
- the position of the light detection unit may be set above the other opening end, and the inner peripheral surface of the light shielding member may be set as a non-reflective surface. If it is such, it can absorb substantially except the light scattered by the outline of the workpiece
- the light detection unit is a camera
- the field of view of the image pickup area is the work piece.
- a background surface around the workpiece, and the size may be set smaller than the inner edge of the light irradiation region.
- the illumination light emitted from the light irradiation unit substantially enters the light irradiation region having the inner edge at a position separated from the contour of the workpiece by a predetermined distance on the background surface.
- the illumination light is not directly irradiated on the workpiece and the background surface around the workpiece, and the outline of the workpiece is illuminated with the scattered light from the light irradiation region. Can be. Therefore, only the outline of the workpiece can be shined strongly to facilitate detection, and the outline can be clearly detected even when the height of the workpiece is particularly low.
- FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a contour detection device according to a first embodiment of the present invention.
- FIG. 2 is a schematic perspective view showing the illumination device and its light irradiation area in the first embodiment.
- FIG. 3 is a schematic diagram of an image captured by the contour detection device of the first embodiment.
- FIG. 4 is a comparison diagram of the contour detection result of the circular magnet by the conventional contour detection device and the contour detection device according to the first embodiment.
- FIG. 5 is a comparison diagram of the contour detection result of the nut by the conventional contour detection device and the contour detection device according to the first embodiment.
- FIG. 6 is a schematic diagram showing a configuration of a contour detection apparatus according to the second embodiment of the present invention.
- FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a contour detection device according to a first embodiment of the present invention.
- FIG. 2 is a schematic perspective view showing the illumination device and its light irradiation area in the first embodiment.
- FIG. 3 is a schematic diagram
- FIG. 7 is a schematic diagram of an image captured by the contour detection device of the second embodiment.
- FIG. 8 is a schematic diagram showing a configuration of a contour detection apparatus according to the third embodiment of the present invention.
- FIG. 9 is a schematic perspective view showing a contour detection device according to another embodiment of the present invention.
- FIG. 10 is a schematic diagram showing an outline detection apparatus according to another embodiment of the present invention.
- FIG. 11 is a schematic view showing a contour detection device according to still another embodiment of the present invention.
- FIG. 12 is a schematic diagram showing an embodiment in an inspection line of a contour line detection apparatus according to another embodiment of the present invention.
- FIG. 13 is a comparative example for the embodiment in the inspection line of the present invention.
- FIG. 14 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional contour detection apparatus.
- FIG. 14 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional contour detection apparatus.
- FIG. 15 is a schematic diagram showing a state when the height of the workpiece is low in a conventional contour detection apparatus.
- FIG. 16 is a schematic diagram showing an image captured by a conventional contour detection device when the height of the workpiece is low.
- FIG. 17 is a schematic diagram showing a contour detection apparatus for detecting the outer contour of a wafer in a conventional chamber.
- the configuration of the contour detection apparatus 100 used in the contour detection method of the present embodiment will be described with reference to FIG.
- the contour line detection device 100 is used, for example, when performing shape inspection of a workpiece W such as a semiconductor chip, and is used for imaging the workpiece W with the camera 5 and detecting the contour from the edge portion. Is.
- the detection target contour line is set to an outer contour line indicating the outer shape of the workpiece W.
- the contour detection device 100 is provided directly on the background surface 6 that is the surface of the mounting member on which the workpiece W is mounted and the workpiece W arranged on the mounting table.
- a ring-shaped illumination device 10 having an observation hole 4 in the center, and a camera 5 provided above the work W so as to capture the work W in the field of view through the observation hole 4 It is.
- the background surface 6 on which the workpiece W is placed has an opaque surface, and is made of a surface shape and a material in which incident light is diffused almost in all directions to generate scattered light. More specifically, the background surface 6 is, for example, an opaque resin surface, a satin metal surface, a surface of a mesh-like background member, or the like, and a surface on which secondary reflection occurs. Further, the workpiece W is smaller than the vertical and horizontal dimensions and has a flat shape. Note that this workpiece W is merely an example, and the contour detection device 100 of the present embodiment may be used when detecting an outer contour even if the workpiece W has other shapes.
- the illumination device 10 will be described with a focus on the shape.
- the light emitting portion 2 having a substantially flat cylindrical shape and a thin cylindrical shape protruding from the central portion of the flat cylindrical shape.
- the illuminating device 10 includes a light emitting portion 2 in which a plurality of light emitters 21 that emit illumination light are annularly arranged, and a cylindrical shape provided along the inside of the light emitting portion 2.
- the light shielding member 3 is configured so that the illumination light is irradiated only on the light irradiation region 7 having an inner edge at a position separated from the contour of the workpiece W on the background surface 6 by a predetermined distance.
- the distance between the contour of the workpiece W and the light irradiation region 7 is such that only the edge of the workpiece W is shined by scattered light from the light irradiation region 7 described later, and a sufficient amount of light is obtained. It is set. More specifically, it suffices that a slight gap is generated between the detection target contour line and the inner edge of the light irradiation region 7, and the vertical separation distance between the light shielding member 3 and the background surface 6 is sufficient. And can be determined based on the height of the workpiece.
- the distance between the detection target contour line and the light irradiation region 7 in the horizontal direction is small. In the opposite case, contour detection can be performed even if the horizontal separation distance is large.
- the luminous body 21 is a bullet-type LED 21 and emits light having a spread according to the orientation characteristics from the light emitting end thereof.
- Each LED 21 is provided in two rows side by side on virtual circles with different diameters, and the LEDs 21 are arranged so that the optical axis of each LED 21 is in the axial direction of the observation hole 4, that is, in the installed state, downward in the vertical direction. is there.
- the light shielding member 3 has a cylindrical shape whose opening end is configured to be larger than the workpiece W.
- one opening end 32 is In addition to being provided so as to surround the workpiece W, the opening end 32 and the background surface 6 are separated from each other when viewed from the horizontal direction.
- the opening end is configured to be larger than the workpiece W, specifically, the area determined by the inner contour of the opening end when viewed from above the background surface 6 is the outer contour of the workpiece W. It is designed to be larger than the determined area.
- the separation distance between the opening end and the background surface 6 is the length when a perpendicular is dropped from the tip of the opening end to the background surface 6.
- the separation distance is set so as to block light traveling inward from the inner edge of the light irradiation region 7. Therefore, as shown in white in the perspective view of FIG. 2, the illumination light irradiated from the illumination device 10 to the background surface 6 is irradiated so that the light irradiation region 7 is formed in an annular shape. Become. Further, the separation distance is set so that the amount of scattered light entering the light shielding member 3 is sufficient to make the contour of the workpiece W shine, and no extra light is incident from the outside. is there. In addition, when the inspection object is continuously inspected on a line in which inspection objects flow one after another, the height of the back of the workpiece becomes larger if the position of the ring illumination is fixed. It may be determined in consideration of conditions.
- the other opening end 33 is located above the light emitting portion 2 so that the illumination light does not directly enter the cylinder from above.
- the inner peripheral surface 31 of the light shielding member 3 is, for example, painted black to be a non-reflective surface, and light incident on the inner peripheral surface 31 is absorbed.
- the camera 5 corresponds to the light detection unit in the claims, is provided above the other opening end 33, and images the workpiece W and the surrounding background surface 6 through the observation hole 4. It is.
- the field of view is such that the radius from the center of the workpiece W does not reach the inner edge of the light irradiation region 7. That is, it is set so as to capture an area narrower than the hatched area at the center of the background surface 6 shown in the perspective view of FIG.
- the illumination light emitted from the light emitting unit 2 travels while spreading vertically downward at a predetermined angle. At this time, the illumination light traveling to the workpiece W and the background member around the workpiece W is blocked by the light shielding member 5 inside the light emitting portion 2. Therefore, as shown in the perspective view of FIG. 2 and the like, an annular light irradiation region 7 having an inner edge at a position separated from the contour of the workpiece W by the light emitting portion 2 and the light shielding member 3 is the background. Formed on surface 6. On the other hand, since the illumination light is not directly applied to the workpiece W and the background surface 6 around the workpiece W, it is a dark region as shown by hatching in FIG.
- the light irradiation region 7 when the light irradiation region 7 is irradiated with illumination light, since the background surface 6 is a scattering surface, omnidirectional diffusion occurs, and the light irradiation region 7 is secondary. It will function as a light source.
- the light scattered by the illumination light 7 in the light irradiation region 7 is referred to as secondary light.
- the secondary light passes between the tip of the light shielding member 3 and the background surface 6. Since the workpiece W is on the upper side with respect to the background surface 6, a part of the secondary light that has passed through the gap is a side surface or an outline of the workpiece W as indicated by a two-dot chain line in FIG. Reach the edge to form from below. On the other hand, the secondary light that has not reached the workpiece W is incident on the inner peripheral surface 31 of the light shielding member 3 and absorbed as shown by the one-dot chain line in FIG.
- the secondary light indicated by the two-dot chain line reaching the edge portion When attention is paid to the secondary light indicated by the two-dot chain line reaching the edge portion, the secondary light is scattered again at this edge.
- the light in which the secondary light is scattered at the edge portion of the workpiece W is referred to as tertiary light.
- the light scattered upward with the camera 5 as indicated by a thick solid line can be detected by the camera 5, and the light scattered in other directions (not shown) is the light shielding member. 3 is absorbed by the inner peripheral surface 31.
- the light irradiation is not performed directly on the workpiece W and the background surface 6 surrounding the workpiece W, but on the position away from the contour of the workpiece W. Only the area 7 is irradiated with illumination light to form a secondary light source, and the contour of the workpiece W is illuminated with secondary light as indicated by a two-dot chain line that proceeds upward at a low angle therefrom. Since the secondary light is detected by the camera 5 as shown by a thick solid line generated by scattering the secondary light at the contour of the work W, the background around the work W as shown in FIG. The surface 6 can be imaged by illuminating only the outline of the workpiece W without illuminating it.
- the contrast between the contour of the workpiece W and the background surface 6 can be increased, and the contour detection accuracy can be improved.
- the light that is not reflected by the work W is absorbed by the inner peripheral surface 31 of the light shielding member 3, so that it enters the camera 5 as stray light, It is possible to prevent the entire captured image from becoming bright and the contrast with the contour portion from being deteriorated.
- the secondary light illuminates the edge from below. Therefore, for example, it is only necessary to install a ring illumination and a camera above an existing inspection line, and the introduction is easy. In other words, in a line such as an existing belt conveyor, it is possible to avoid a problem that it is very difficult to install a ring illumination or the like in order to directly irradiate a work with light from below from a problem such as a space.
- the material of the member used as the background surface 6 should just scatter light, and since there are few restrictions on a background member, it is easy to use it for various uses.
- the background color is black, for example, if the glossy black or the like is scattered, only the edge of the workpiece W can be illuminated to detect the contour line.
- This magnet has a rough surface, and has a small reflectance of light from an edge (intersection of the upper surface and the side surface) which is a contour portion.
- the background surface was imaged when the grid portion was a white mesh background and when it was blank.
- FIG. 4 (a) and 4 (b) show the contour detection results of the magnet by the conventional contour detection apparatus 100A.
- FIG. 4 (a) in the hole portion of the mesh ground (the black portion on the background surface), although linear light can be slightly imaged from the edge portion of the magnet, It can be seen that it is difficult to detect only the contour line because the contour of the magnet on the white surface on the background surface has almost no difference in luminance.
- FIG. 4B when the background surface is a blank sheet, the reflectance of the background surface is high, so the difference between the blank sheet and the entire magnet can be understood, but the blank sheet and the inside of the magnet outline are also shining. Therefore, it can be seen that imaging is not possible with the edge portion of the magnet being linear. Therefore, it can be seen that in both examples, when the reflected light from the background surface is strong, only the contour of the workpiece W cannot be detected well.
- the contour detection apparatus 100 of this embodiment only the outer contour can be imaged in a thin line shape on any background surface.
- the contour detection apparatus 100 of the present embodiment it can be suitably used even when it is desired to detect only the outermost outer contour when there are a plurality of contour lines.
- the illumination light may be configured to reach only the light irradiation region 7 directly from the light emitting unit 2 without using the light shielding member 3.
- the light emitting ends of the plurality of LEDs 21 constituting the light emitting portion 2 are provided so as to face outward with respect to the central axis of the observation hole 4.
- the background surface 6 around the W and the workpiece W may not be irradiated with illumination light.
- the LED 21 may be arranged side by side on an annular flexible substrate, and both ends of the flexible substrate may be brought into contact with each other so that the light emission end of the LED 21 is on the outside and rounded into a truncated cone. Good.
- the field of view of the camera 5 may be imaged so as to include a part of the light irradiation region 7, for example. Even when an image is captured in such a visual field in the second embodiment, the edge of the workpiece W can be detected as shown in FIG. When it is desired to further improve the contrast, the field of view may be set to be narrower and less affected by scattered light from the outer light irradiation region 7.
- the light emitter 21 constituting the light emitting portion 2 is provided to be inclined toward the observation hole 4 side, and light is emitted only in the vicinity of the distal end side opening end 32 of the light shielding member 3.
- region 7, and the point by which the outer side surface 34 of the said light shielding member 3 is a mirror surface differ from the light shielding member 1st Embodiment.
- the LEDs constituting the light emitting section 2 are arranged inside a flexible substrate rounded into a truncated cone, and the optical axis is directed toward the observation hole 4 as shown in FIG. It is like that. Furthermore, two rows of LEDs are arranged in an annular shape, and the inclination angle with respect to the horizontal plane of the outer LED is larger than that of the inner LED. In this way, the light irradiation region 7 is configured to concentrate in a narrow region as compared with the first embodiment.
- wasted light is reflected and reaches the light irradiation region 7. More specifically, since the light emitted from the light emitter 21 is reflected without being absorbed by the light shielding member 3, light is emitted from the light emitter 21 to the light irradiation region 7 with the light amount loss being minimized. can do. Therefore, since the amount of light scattered in the light irradiation region 7 is also increased, the amount of secondary light reaching the edge portion of the workpiece W can be increased, and the edge portion can be further illuminated by the tertiary light, The brightness can be increased to make it easier to detect the contour.
- the ring illumination 10 has a cylindrical shape, and the light irradiation region 7 has an annular shape, but may have other shapes. That is, as shown in FIG. 9A, a substantially truncated cone shape may be used in which the camera side is the bottom surface side and the workpiece W side is the tip side. Even with such a shape, it is possible to form the light irradiation region 7 having the inner edge at a position spaced a predetermined distance from the contour of the workpiece. Moreover, as shown in FIG.9 (b), the ring illumination 10 may be square.
- the ring illumination 10 has a square shape and the observation hole 4 has a square shape, and the light irradiation region 7 is formed in a substantially square shape.
- the shape of the workpiece W is square, the distance from each side of the workpiece W to the light irradiation region 7 can be made equal, and the luminance of each side can be made uniform.
- the ring illumination 10 of FIG. 9B only the outer contour of the circular workpiece W can be detected.
- the inner part of the outer contour is generally flat, but for example, the workpiece may be a multi-stage shape with the center portion further protruding as shown in FIG.
- the distance between the position of the light irradiation region and the open end of the light shielding member and the background surface is adjusted so that only the edge of the outer contour is detected. What is necessary is just to make it the next light reach
- the surface of the workpiece W is covered with a light shielding member as shown in FIG.
- the contour line may be detected by irradiating light from ring illumination to form the light irradiation region 7 on the surface of the workpiece W. That is, the light irradiation region 7 may be formed not only on the surface of the mounting member which is a member other than the workpiece but also on the workpiece itself or other objects other than the mounting member. . In short, the light irradiation region is formed below the detected detection target contour line, and it is only necessary that the formed surface is a surface that scatters light.
- the inner contour line that is a detection target contour line is further inward.
- the contour line may be detected by forming the light irradiation region so that the position separated by a predetermined distance is the outer edge.
- subjected to FIG. 11 attaches
- Such a contour detection device can be suitably used when it is desired to illuminate only an annular member, for example, an inner contour line of a nut or the like.
- a black print B having a predetermined radius is applied to the surface of the belt conveyor CN having a scattering surface at regular intervals.
- Inspection accuracy may be improved by placing a work in the center of the circle.
- the tip of the light shielding member and the workpiece W are separated from each other.
- the contour can be detected without moving up and down only the entire apparatus or only the constituent devices such as the light shielding member 3 and the camera 5 so as not to interfere with movement by contact. For this reason, while the workpiece W flows smoothly by the belt conveyor CN, when the workpiece W reaches the inspection position, the ring illumination 10 can be illuminated like a flash to continuously detect the entire outer contour line of each workpiece.
- direct light from the ring illumination 10 ⁇ / b> A is irradiated from below on the outer contour line of the workpiece W without using secondary light in the inspection line using the belt conveyor CN.
- the work W is located directly below the camera 5A that is the inspection position in the contour detection apparatus 100A. Moving.
- the belt conveyor CN is stopped as shown in FIG. 13B, and the ring illumination 10A is moved below the detection target contour line of the workpiece W as shown in FIG. Directly irradiate light.
- the ring illumination 10A is moved upward as shown in FIG. 13D, and then the belt conveyor CN is moved again as shown in FIG. Will repeat.
- the ring illumination 10A is moved upward as shown in FIG. 13D, and then the belt conveyor CN is moved again as shown in FIG. Will repeat.
- the time during which the workpiece W is stopped and the time required to move the ring illumination up and down are waiting times, so one workpiece is inspected. It takes a long time to do.
- the inspection efficiency cannot be improved because the inspection cannot be performed while always moving without stopping the workpiece.
- the lighting device may be fixed to the side of the belt conveyor and the inspection may be performed continuously. If it is attempted to detect the entire circumference of the outer contour line, it is necessary to place the illumination device also on the workpiece traveling direction side, so the workpiece or the illumination device must be moved up and down so as not to prevent movement. Then, since the waiting time described above occurs, the inspection efficiency is lowered.
- the contour detection device 100 of each embodiment since the workpiece W and the contour detection device 100, in particular, the workpiece W and the light shielding member 3 are separated in the vertical direction, the workpiece W is moved by the belt conveyor CN or the like. Even when moving, if nothing is done, no contact occurs and movement is not hindered.
- the outer contour line is irradiated with light from the lower side of the detection target contour line by the secondary light from the background surface, the work W is stopped or the work W or the illumination device 10 is moved up and down during the inspection. There is no need to Therefore, the workpiece contour line can be continuously detected without stopping the belt conveyor for the inspection, so that the waiting time as described above does not occur, and the inspection efficiency can be remarkably improved. .
- the method of irradiating light only to the light irradiation region is not particularly limited to each of the embodiments described above.
- the background surface is irradiated in an annular shape with highly directional illumination light, and the light of the central portion is irradiated. You may make it mount a workpiece
- the background surface may be any material that scatters light, and is not limited to a material that diffuses uniformly in all directions. For example, scattering that is biased from the light irradiation region toward the workpiece may be used.
- the background surface is not limited to a flat surface, and may be a curved surface having the highest point on which the workpiece is placed, for example. In short, it is sufficient that the light scattered from the light irradiation region does not enter the background surface around the workpiece. In such a background surface, only the edge portion can be lit to increase the contrast. it can. In other words, at least the background surface on which the light irradiation region is formed needs to be at a position lower than the workpiece, and only the edge of the workpiece can be illuminated by the scattered light.
- the background surface is not limited to the surface of the mounting table, the substrate, or the like, but refers to the surface on the back side of the workpiece whose contour is to be detected.
- contour detection is performed for shape inspection, but it may be used for inspecting whether or not a part is placed at a predetermined position, or may be used for other purposes. I do not care.
- a camera is used as the light detection unit, a light receiving element such as a CCD or a CMOS may be used.
- the present invention it is possible to make only the outline of the workpiece shine strongly and easily detect it, and it is possible to detect the outline clearly even when the height of the workpiece is particularly low. Accordingly, for example, product inspection with high accuracy can be performed by machine vision or the like.
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Abstract
背景面が光を散乱するものであり、特にワークの高さが低い場合であっても、ワークの輪郭を明確に検出できる輪郭線検出方法及び輪郭線検出装置であり、ワークWからの光を光検出部5で検出することにより、前記ワークWの輪郭線を検出する輪郭線検出方法であって、前記光検出部5を設ける位置を前記ワークWの上方に設定し、光射出部2から射出される照明光が実質的に、前記ワークWの少なくとも一部の輪郭線である検出対象輪郭線から外側へ所定距離離間した位置を内縁とする、又は前記検出対象輪郭線から内側へ所定距離離間した位置を外縁とする光照射領域7にのみ照射されるように設定しており、前記光照射領域7が、前記検出対象輪郭線よりも下方であるとともに照明光が散乱される面上に形成されるように設定した。
Description
本発明は、ワークの輪郭線を検出するための輪郭線検出方法及び輪郭線検出装置に関するものである。
例えば半導体チップ等のワークの形状検査を行う場合、そのワークの外輪郭線のみを検出して形状を特定できるようにして、設計値との比較が行われている。ワークの輪郭(エッジ)を検出する際には、特許文献1で示されるような環状のローアングル照明により、載置台に置かれたワークのエッジを低いアングルの光で周囲から照明して、ワークのエッジからの光をカメラで検出しやすくしている。
この輪郭線検出に用いられる輪郭線検出装置100Aについてより具体的に説明すると、図14に示すように載置台の表面を背景面6Aとして、その背景面6Aの上にワークWを載置しておき、複数のLED21Aが円環状に配設され、その光射出方向が円環の略中心方向に向けてあるリング照明10Aをワークの上方に設けておき、前記リング照明10Aの中央の貫通孔4Aを介してカメラ5AでワークWを撮像している。
ところで、ワークWの高さが低い場合には、ワークWのエッジ部分が十分に照明されるようにリング照明10Aを背景面6Aに近づけることになるので、図15(a)の斜視図のように背景面6Aを上方から視ると貫通孔4A内にある背景面6Aが略円形状に隙間なく照明された光照射領域7Aが形成されることになる。すると、ワークWだけでなく、ワークWの周囲の背景面6Aにも照明光が照射されるので、背景面6Aが光を散乱する材質や表面形状の場合、図15(b)に示すようにワークWのエッジからの散乱光だけでなく、カメラ5Aの視野内にあるワークWの周囲の背景面6Aからの散乱光もカメラで検出してしまう。カメラの視野内にある背景面からの散乱光の量が多くなると、図16に示すようにワークWのエッジからの散乱光と背景面6Aからの散乱光の輝度の差が出にくくなり、ワークWのエッジが検出しにくくなってしまう。このように従来の輪郭線検出方法では、特にワークの高さが低い場合にはワークの周囲の背景面に照射される照明光の量が多くなってしまうので、ワークのエッジを検出しにくいという問題が顕著となる。また、ワークがある程度の高さを有している場合でも、リング照明の構成等によってはワークの周囲にある背景面からの散乱光によりエッジを検出しにくいことがある。逆に背景面からの散乱光の影響が小さくてもワークの全面から反射光が生じるため検出したいエッジ部分、特に外輪郭線のみを光らせにくいこともある。加えて、ワークのエッジ部分がR面等の曲面になっていると、エッジ部分からの反射光が幅を有したものとなってしまうため輪郭線として捉えることが難しい場合がある。
また、特許文献2に示すようなチャンバー内にあるウエハの外輪郭線を検出するための輪郭線検出装置においても、リング状照明を用いたものがある。この輪郭線検出装置では、図17に示すようにリング状照明10Aからフィルタを介して所定の向きに偏光した光を前記ウエハWの全面及びウエハWの外輪郭線の周辺にある背景面に照射するように構成されている。より具体的には、光が反射する際にその偏光に変化が生じる反射部材61Aの上に、入射した光の偏光を保ったまま光を反射するウエハWを載置してあり、前記リング状照明10Aの貫通孔4Aの中心軸が、円形状のウエハWの表面に対して、ウエハWの中心を通るように配置されている。また、リング状照明10Aから射出された光が、ウエハWの外輪郭線を全て含んでその外側まで広がるように照射されるように設定されている。そして、前記ウエハW及びウエハWの外輪郭の周囲にあり背景面6Aとなる反射部材61Aからの反射光のうち、前記貫通孔4Aを通った光を偏光フィルタ51Aに通して撮像することで、ウエハWあるいは反射部材61Aのいずれか一方からの反射光のみを撮像してウエハWと反射部材61Aとの境界である外輪郭が検出される。加えて、このウエハWの外輪郭を検出する方法では、迷光を防ぎコントラストを良くする目的で、リング状照明10Aの中央部の貫通孔4Aに筒状の遮光部材3Aを設けており、リング状照明10Aから自身の貫通孔4Aの中心軸側に所定角度以上で入射する光を遮光するようにも構成されている。
しかしながら、このような輪郭線検出装置100Aでは、外輪郭を検出したいワークを入射した光の偏光に変化が生じて反射される特殊な反射部材6Aの上に載置する必要があるため、製造ラインの構成や制限によっては利用が難しい場合もある。加えて、偏光フィルタ51Aを用いているとはいっても、ワークWの材質と反射部材61Aの材質が似ており、偏光の傾向が似ている場合には、前記リング照明10AからワークW及び背景面6Aの両方に照明光を直接照射していることから、従来と同様にワークWと背景面6Aとで輝度の差が生じにくいといった問題が生じてしまう。
本発明は、上述したような輪郭線検出に関する種々の問題を鑑みてなされたものであり、背景面の影響やワークの特性により従来輪郭線のみを検出することが難しかったものや、特にワークの高さが低く背景面からの反射光の影響が強く出てしまう場合であっても、ワークの輪郭を明確に検出できる輪郭線検出方法及び輪郭線検出装置を提供することを目的とする。
すなわち、本発明の輪郭線検出方法は、ワークからの光を光検出部で検出することにより、前記ワークの輪郭線を検出する輪郭線検出方法であって、前記光検出部を設ける位置を前記ワークの上方に設定し、光射出部から射出される照明光が実質的に、前記ワークの少なくとも一部の輪郭線である検出対象輪郭線から外側へ所定距離離間した位置を内縁とする、又は前記検出対象輪郭線から内側へ所定距離離間した位置を外縁とする光照射領域にのみ照射されるように設定しており、前記光照射領域が、前記検出対象輪郭線よりも下方であるとともに照明光が散乱される面上に形成されるように設定していることを特徴とする。
また、本発明の輪郭線検出装置は、ワークからの光を光検出部で検出することにより、前記ワークの輪郭線を検出するための輪郭線検出装置であって、照明光を射出する光射出部と、前記ワークの上方に設けられ、前記ワークからの光を検出する光検出部と、を備え、前記光射出部から射出される照明光が実質的に、前記ワークの少なくとも一部の輪郭線である検出対象輪郭線から外側へ所定距離離間した位置を内縁とする、又は前記検出対象輪郭線から内側へ所定距離離間した位置を外縁とする光照射領域にのみ照射されるように構成されており、前記光照射領域が、前記検出対象輪郭線よりも下方であるとともに照明光が散乱される面上に形成されるように構成されていることを特徴とする。
ここで、照明光が散乱される面とは、面全域において光を散乱するものだけでなく、少なくとも前記光照射領域の全部又は一部が光を散乱するものを含む概念である。また、前記検出対象輪郭線とは、エッジの出ている稜線のみを含む概念ではなく、ラウンドしている角を示す線等を含む概念である。また、ワークの上方、ワークの下方とは鉛直方向のみならず、ワークの配置されている面を基準として、その配置されている面から視た上下を含む概念である。例えば、鉛直方向に延びる面上にワークが配置されている場合には、水平方向が上下に対応することになる。
このような輪郭線検出方法及び輪郭線検出装置であれば、前記ワークの検出対象輪郭及びその近傍には直接照明光を照射していないので、前記検出対象輪郭線の背景面となる近傍にある物体からの散乱光は発生しない。一方、前記検出対象輪郭線よりも下方にある面に形成された前記光照射領域では散乱光が生じ、そのうちの一部は、その面よりも上にある検出対象輪郭線へと照射されて再び散乱光が生じるので、ワークに直接照明光が照射されていなくてもワークの検出対象輪郭線は光らせることができる。従って、検出対象輪郭線の近傍は光らせずに、ワークの検出対象輪郭線のみを光らせることができ、それぞれに大きな輝度の差が生じるので、前記光検出部で検出対象輪郭線を明確に検出することができる。さらに、前記光検出部が、前記ワークの上方に設けられているので、前記光照射領域で散乱したもののうち、前記ワークの検出対象輪郭線においてさらに散乱して進行方向が変えられた光のみを前記光検出部で検出しやすくすることができる。
さらに、照明光の照射された背景面からの二次光によりエッジのみを光らせるように構成されているので、検出したい輪郭線よりも下側に照明装置を設けて直接光を前記輪郭線に照射する必要がない。例えば、二次光を用いずに直接光を検出対象輪郭線の下方から照射して輪郭線検出を行うことも考えられるが、ベルトコンベアによりワークが順番に流れている状態で検査を行う場合には、ワークの移動を妨げないように光射出部を配置する必要があるので実際には適用しにくい。より具体的に説明すると、流れているワーク検査をする場合、ワークが移動している間は前記光射出部とワークが接触しないように離れており、検査時にはワークよりも下方に前記光射出部が配置されるように、ワークを検査位置において一度停止させるとともに前記光射出部又はワークを上下に移動させる等する必要がある。すると、ワークの停止時間や、光照射部を移動させるのにかかる時間等の待ち時間が生じてしまうので、1つのワークにかかる検査時間が長くなってしまい検査効率が低下してしまう。
一方、本発明のように二次光により検出対象輪郭線の下方から光を当てて輪郭線検出を行うように構成すれば、光射出部とワークとを離間させた状態で輪郭線検出を行うことができるので、ベルトコンベアにより流れてくるワークを停止させたり、ワーク又は光射出部を上下動させたりすることなく連続で検査することができる。従って、直接光を用いた場合のような待ち時間が発生しないようにできるので、非常に高い検査効率で流れてくるワークの輪郭線検出を連続で行うことができる。また、光射出部や光検出部をワークまたはベルトコンベアの上方に配置するだけでよいので、既存の検査ラインにも導入しやすい。
前記光照射領域のみに照明光が照射されるようにする具体的な方法としては、前記ワークを照明光が散乱される背景面上に載置し、一方の開口端が前記ワークよりも大きい筒状の遮光部材を更に用い、他方の開口端の位置を、前記光照射部の設けられている位置以上の高さに設定し、前記一方の開口端の位置を、前記背景面を前記ワークの載置されている側から視て前記ワークを囲うように設定し、前記一方の開口端と前記背景面との間を離間させ、その離間距離を前記光射出部から射出された照明光のうち前記光照射領域の内縁よりも内側へと向かう光が前記遮光部材により遮光されるように設定すればよい。
前記光照射領域において散乱した光が、前記ワークで再び散乱されず、迷光となって直接前記光検出部に入射し、前記ワークと前記背景面とのコントラストが悪化するのを防ぐには、前記光検出部の位置を前記他方の開口端の上方に設定し、前記遮光部材の内側周面を非反射面に設定すればよい。このようなものであれば、前記遮光部材の内側周面でワークの輪郭で散乱された光以外は、略吸収することができ、輪郭において前記光検出部の設けてある側に散乱された光のみを検出することできる。
前記光照射領域において散乱した光が前記光検出部において直接検出されないようにするための具体的な方法としては、前記光検出部がカメラであって、その撮像する範囲である視野が、前記ワークと当該ワークの周囲の背景面を含むように設定してあるとともに、その大きさが前記光照射領域の内縁よりも小さく設定してあればよい。
このように本発明の輪郭線検出方法によれば、光照射部から射出される照明光が、実質的に前記背景面において前記ワークの輪郭から所定距離離間した位置を内縁とする光照射領域にのみ照射されるようにしているので、前記ワークと当該ワークの周囲の背景面には照明光を直接照射しないようにするとともに、前記光照射領域からの散乱光で前記ワークの輪郭を照明することができることができる。従って、前記ワークの輪郭のみを強く光らせて、検出しやすくすることができ、特に前記ワークの高さが低い場合であってもその輪郭を明確に検出することができる。
100・・・輪郭線検出装置
2・・・光射出部
21・・・発光体
3・・・遮光部材
31・・・内側周面
32・・・一方の開口端
33・・・他方の開口端
5・・・カメラ(光検出部)
6・・・背景面
W・・・ワーク
2・・・光射出部
21・・・発光体
3・・・遮光部材
31・・・内側周面
32・・・一方の開口端
33・・・他方の開口端
5・・・カメラ(光検出部)
6・・・背景面
W・・・ワーク
以下、本発明の第1実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態の輪郭線検出方法に用いる輪郭線検出装置100の構成について図1に基づいて説明する。前記輪郭線検出装置100は、例えば半導体チップ等のワークWの形状検査を行う際に用いられるものであり、前記ワークWをカメラ5によって撮像してそのエッジ部分から輪郭を検出するために用いられるものである。本実施形態では、検出対象輪郭線は前記ワークWの外形を示す外輪郭線に設定してある。
前記輪郭線検出装置100は、図1(a)に示すようにワークWが載置される載置部材の表面である背景面6と、載置台の上に配置されたワークWの直上に設けてある、観測孔4を中央に有するリング状の照明装置10と、前記観測孔4を介して前記ワークWを視野に捉えるように前記ワークWの上部に設けられたカメラ5とを備えたものである。
前記ワークWが置かれている背景面6は、その表面が不透明なものであり、入射した光が略全方位拡散されて、散乱光が生じる表面形状及び材質からなるものである。より具体的には、前記背景面6は、例えば不透明樹脂面、梨地金属面、背景部材がメッシュ状のものの表面等であり、二次反射が生じる表面である。また、前記ワークWは高さ寸法が縦横の寸法に比べて小さく、平らな形状をしたものである。なお、このワークWはあくまで一例であり、その他の形状のワークWであっても外輪郭を検出する場合に本実施形態の輪郭線検出装置100を用いても構わない。
前記照明装置10は、形状に着目して説明すると図1(b)の斜視図に示すように、概略平円筒状との光射出部2と、その平円筒の中央部から突出する細円筒状の遮光部材3からなるものである。つまり、この照明装置10は、前記観測孔4の中心軸に対して回転対称となるように構成してあり、前記ワークWの中心に対して鉛直方向の軸と、前記観測孔4の中心軸とが一致するように設けてある。より具体的に説明すると前記照明装置10は、照明光を射出する複数の発光体21を環状に配設した光射出部2と、前記光射出部2の内側に沿って設けられた筒状の遮光部材3とから構成してあり、背景面6上において前記ワークWの輪郭から所定距離離間した位置を内縁とする光照射領域7にのみ照明光が照射されるようにしてある。ここでワークWの輪郭と前記光照射領域7との間の離間している距離は、後述する光照射領域7からの散乱光によりワークWのエッジのみを光らせ、十分な光量が得られる程度に設定してある。より具体的には、検出対象輪郭線と、前記光照射領域7の内縁との間にわずかでも隙間が生じていればよく、前記遮光部材3と背景面6との間の垂直方向の離間距離と、ワークの背の高さに基づいて決めることができる。例えば、前記遮光部材3と背景面6との間の垂直方向の離間距離よりもワークWの背が高い場合には、光照射領域7で散乱した光がワークWのエッジに到達するようにするために検出対象輪郭線と前記光照射領域7の水平方向の離間距離は小さい方が好ましい。逆の場合には、水平方向の離間距離が大きくても輪郭線検出を行うことができる。
前記発光体21は砲弾型のLED21であり、その光射出端から配向特性に従って広がりを持った光を射出するものである。各LED21は、異なる直径の仮想円上に並べて2列分設けてあり、各LED21の光軸が前記観測孔4の軸方向、すなわち設置された状態で鉛直方向下向きとなるように揃えて設けてある。
前記遮光部材3は、開口端が前記ワークWよりも大きく構成された円筒状のものであり、前記背景面6を前記ワークWが配置されている側から視て、その一方の開口端32が、前記ワークWを囲うように設けてあるとともに、水平方向から視て前記一方の開口端32と、前記背景面6との間を離間させて設けてある。ここで、前記開口端が前記ワークWよりも大きく構成するために、具体的には、上方から背景面6を視て前記開口端の内輪郭で決まる面積の方が前記ワークWの外輪郭で決まる面積よりも大きくなるようにしてある。また、前記開口端と前記背景面6との離間距離は、前記開口端の先端から前記背景面6へ垂線を下ろした時の長さとしている。前記離間距離は、前記光照射領域7の内縁よりも内側へと向かう光を遮光するように設定してある。従って、図2の斜視図において白色で示すように、前記照明装置10から前記背景面6に照射される照明光は、前記光照射領域7が円環状に形成されるように照射されることになる。さらに、前記離間距離は、前記遮光部材3内に入射する散乱光の量が、前記ワークWの輪郭を光らせるのに十分な量となるとともに、余計な光が外部から入射しないように設定してある。また、この離間距離は検査対象が次々と流れてくるライン上において連続で検査を行う場合等では、リング照明の位置を固定するならばワークの背の高さをよりも大きくする等、その他の条件を考慮して決定されてもよい。
また、他方の開口端33は、前記光射出部2よりも上側となるようにしてあり、上部からは筒内に前記照明光が直接入ることがないようにしてある。さらに、前記遮光部材3の内側周面31は、例えば黒塗りにして非反射面にしてあり、内側周面31に入射した光は吸収されるようにしてある。
前記カメラ5は、請求項での光検出部に相当するものであり、前記他方の開口端33の上方に設けてあり、前記観測孔4を通してワークWとその周囲の背景面6を撮像するようにしてある。また、その視野は、前記ワークWの中心からその半径が前記光照射領域7の内縁に到達しないようにしてある。つまり、図2の斜視図において示される背景面6の中央部でハッチングがなされている領域よりも狭い範囲を撮像するように設定してある。
このように構成された輪郭線検出装置100により、どのように照明光及びその散乱光が作用してワークWが検出されるのかについて図1(a)の模式図及び図2の斜視図を参照しながら説明する。
まず、前記光射出部2から照射された照明光は、鉛直下向きに所定角度に広がりながら進行する。このとき、前記光射出部2の内側にある遮光部材5により、前記ワークW及び前記ワークWの周囲にある背景部材へと進む照明光は遮られることになる。従って、図2の斜視図等に示されるように、前記光射出部2及び前記遮光部材3によって、ワークWの輪郭から所定距離離間した位置を内縁とする円環状の光照射領域7が前記背景面6に形成される。一方、前記ワークW及び前記ワークWの周囲の背景面6には照明光が直接は照射されないので、図2のハッチングで示すように暗い領域となっている。
次に、図1(a)に示すように前記光照射領域7に照明光が照射されると、前記背景面6は散乱面であるので全方位拡散が生じ、前記光照射領域7は二次光源として機能することになる。ここで、照明光が前記光照射領域7において散乱した光のことを二次光と呼ぶこととする。
前記光照射領域7では、全方位拡散が生じることから二次光のうちの一部は、前記遮光部材3の先端と前記背景面6との間を通っていくものがある。背景面6よりも前記ワークWの方が上側にあることから、隙間を通過した二次光のうち一部は、図1(a)の二点鎖線に示すように前記ワークWの側面または輪郭を形成するエッジに下側から到達する。一方、前記ワークWに到達しなかった二次光は図1(a)の一点鎖線に示すように前記遮光部材3の内側周面31に入射して吸収されるので、カメラ5では検出されない。
エッジ部分に到達した二点鎖線で示される二次光に注目すると、このエッジにおいても二次光が再び散乱する。ここで、二次光がワークWのエッジ部分で散乱した光のことを三次光と呼ぶこととする。三次光のうち太実線で示されるようなカメラ5のある上方へと散乱されたものは、前記カメラ5により検出することができ、その他の方向に散乱されたもの(図示しない)は前記遮光部材3の内側周面31に吸収される。
以上のようにこの輪郭線検出方法では、前記ワークW及びその周囲にある背景面6に対して直接照明光を照射するのではなく、前記ワークWの輪郭からは離間した位置にある前記光照射領域7にのみ照明光を照射して二次光源とし、そこからローアングルで上向きに進む二点鎖線で示されるような二次光により前記ワークWの輪郭を照明している。そして、前記二次光が前記ワークWの輪郭において散乱されて生じる太実線で示されるような三次光をカメラ5で検出するようにしているので、図3に示すようにワークWの周囲の背景面6は光らせることなく、前記ワークWの輪郭だけを光らせて撮像することができる。
従って、特に前記ワークWの高さが低い場合であっても、前記ワークWの輪郭と前記背景面6とのコントラストを大きくすることができ、輪郭の検出精度を向上させることができる。
また、前記光照射領域7からの二次光のうち、前記ワークWに反射されなかった光は前記遮光部材3の内側周面31において吸収されるので、迷光となってカメラ5に入射し、撮像した像の全体が明るくなって輪郭部分とのコントラストが悪くなってしまうのを防ぐことができる。
加えて、前記ワークWの検出対象輪郭線であるエッジよりも下側にある背景面6に照明を照射して光照射領域7を形成することにより、二次光によってエッジに対して下方から照明する効果を得ることができ、輪郭線検出ができるので、例えば、既存の検査ラインの上方にリング照明及びカメラを設置するだけでよく導入がしやすい。言い換えると、既存のベルトコンベア等のラインにおいてワークに対して下方から直接光を照射するためにリング照明等を設置することはスペース等の問題で非常に難しいといった問題を避けることができる。また、背景面6となる部材の材質は光を散乱するものであればよく、背景部材の制限が少ないため様々な用途に用いやすい。加えて、前記背景面の色が例えば黒色であったとしても、光沢がある黒色等の散乱が生じるものであれば、ワークWのエッジのみを光らせて輪郭線を検出する事ができる。
次に、第1実施形態の輪郭線検出装置100を用いた輪郭線検出の実験結果について図10に示す従来の輪郭線検出装置を用いた場合の検出結果と比較しながら説明する。この例では、ワークWは前述した例よりもある程度高さを有するものである。
まず、前記ワークWが円筒形状で表面が黒色の磁石の輪郭線検出を行った場合について説明する。この磁石は、表面がざらついており、輪郭部分であるエッジ(上面と側面の交差部分)からの光の反射率が小さいものである。背景面は、格子部分が白色のメッシュ地の場合と、白紙の場合において撮像した。
図4(a)、図4(b)に従来の輪郭線検出装置100Aにより磁石の輪郭線検出結果を示す。図4(a)に示すように、メッシュ地の穴の部分(背景面において黒色の部分)では、磁石のエッジ部分から線状の光をうっすらと撮像できているものの、メッシュ地の格子部分(背景面において白色の部分)の上にある磁石の輪郭は輝度の差がほとんどないため、輪郭線のみを検出することが困難であることが分かる。また、図4(b)に示すように背景面を白紙とした場合、背景面の反射率が高いため、白紙と磁石全体の違いはわかるものの、白紙と、磁石の輪郭線の内側も光ってしまっているため、磁石のエッジ部分を線状にして撮像することができていないことが分かる。従って、どちらの例においても背景面からの反射光が強い場合には、うまくワークWの輪郭のみを検出する事ができていないことが分かる。
一方、図4(c)、図4(d)に示すように第1実施形態の輪郭線検出装置100を用いてそれぞれ同じ条件で撮像した場合、磁石のエッジ部分だけを光らすことができ、輪郭線として検出できていることが分かる。これは、前述したように、ワークWとその周囲には光が直接照射されておらず、光照射領域7からの二次光がエッジに当たり、更に散乱して三次光となったもののみが検出されているからだと考えられる。
さらに、背景面を同じ条件として、ワークWを金属製のナットにした場合の実験結果について従来例と比較しながら説明する。このナットは、金属のためエッジ部分からの反射率が高く、エッジ部分がR面となっており、中央部にねじを螺合するためのねじ穴が形成されている。
図5(a)、図5(b)に示すように、従来の輪郭線検出装置100Aでこのナットを撮像した場合、背景面がメッシュ地、白紙のいずれであっても、エッジ部分からの光を撮像できているものの、エッジに丸みがあるため輪郭線が太くなってしまうとともに場所によってその太さも異なってしまっている。従って、画像処理等により輪郭を検出する場合、輪郭線が太いためある程度の誤差が生じてしまう可能性がある。また、ねじ穴部分からの反射光があるため内側にも輪郭線が表れてしまっている。このようにねじ穴部分も撮像されてしまうと、最も外側の輪郭である外輪郭のみを検出した場合には不具合が生じる可能性がある。
一方、図5(c)、図5(d)に示すように本実施形態の輪郭線検出装置100によれば、いずれの背景面においても、外輪郭のみを細い線状に撮像する事ができていることが分かる。しかも光照射領域での散乱により生じた二次光は、図1等から明らかなように内側にあるねじ山部分には当たらないので、ねじ山部分はほとんど撮像されていないことも分かる。つまり、本実施形態の輪郭線検出装置100によれば、複数の輪郭線がある場合において特にいちばん外側の外輪郭のみを検出したい場合にも好適に用いることができる。
次に第2実施形態について説明する。なお、第1実施形態に対応する部材には同じ符号を付すこととする。
前記第1実施形態では、光射出部2から射出された照明光の一部を前記遮光部材3により遮ることにより、背景面6における円環状の光照射領域7にのみ照明光が照射されるように構成していたが、例えば、前記遮光部材3を用いずに直接光射出部2から前記光照射領域7にのみ照明光が到達するように構成しても構わない。
より具体的には、図6に示すように前記光射出部2を構成する複数のLED21の光射出端が観測孔4の中心軸に対して外向きにとなるように設けておき、前記ワークW及びワークWの周囲にある背景面6に照明光が照射されないようにしても構わない。このものは、例えば、円環状のフレキシブル基板にLED21を並べて設けておき、前記LED21の光射出端が外側となるように前記フレキシブル基板の両端を当接させて切頭円錐に丸めて形成すればよい。
また、カメラ5の視野の設定は、例えば前記光照射領域7の一部を含むようにして撮像しても構わない。第2実施形態においてこのような視野で撮像した場合でも、図7に示すようにワークWのエッジを検出することはできる。コントラストをより向上させたい場合等には、視野をもっと狭く設定し、外側の光照射領域7からの散乱光の影響を受けにくくすればよい。
次に第3実施形態について説明する。なお、第1実施形態に対応する部材には同じ符号を付すこととする。
第3実施形態の輪郭線検出装置100は、光射出部2を構成する発光体21が観測孔4側へと傾けて設けてあり、前記遮光部材3の先端側開口端32の近傍にのみ光照射領域7が形成されるようにしている点、前記遮光部材3の外側面34が鏡面となっている点が遮光部材第1実施形態と異なっている。
より具体的には、前記光射出部2を構成するLEDは、切頭円錐状に丸められたフレキシブル基板の内側に配列されており、図8のように観測孔4側へと光軸が向くようにしてある。さらに、LEDは2列が円環状に並べられており、内側のLEDよりも外側のLEDの方が水平面に対する傾斜角度が大きくなるようにしてある。このようにして、光照射領域7が前記第1実施形態に比べて狭い領域に集中するように構成してある。
また、前記遮光部材3の外側面34を鏡面とすることにより、第1実施形態では、無駄になっていた光が反射されて光照射領域7に到達することになる。より具体的には、発光体21から射出された光が遮光部材3に吸収されずに反射されるので、光量ロスを最小限に抑えた状態で発光体21から光照射領域7に光を照射することができる。従って、光照射領域7で散乱される光の量も多くなるので、ワークWのエッジ部分に到達する二次光の量も多くすることができ、よりエッジ部分を三次光により光らせることができ、輝度を大きくして輪郭を検出しやすくすることができる。
その他の実施形態について説明する。
前記各実施形態では、リング照明10は、円筒形状であり、光照射領域7の形状も円環状であったがその他の形状であっても構わない。すなわち、図9(a)に示すようにカメラ側を底面側、ワークW側を先端側とする概略円錐台形状にしても構わない。このような形状であっても、ワークの輪郭から所定距離離間した位置を内縁とする光照射領域7を形成することができる。また、図9(b)に示すように、リング照明10が角型のものであっても構わない。より具体的には、正方形状のリング照明10とし正方形状の観測孔4を有したものであって、光照射領域7が概略ロの字状に形成されるように構成してある。この場合、ワークWの形状は正方形状であれば、ワークWの各辺から光照射領域7までの距離を等しくでき、各辺の輝度を均一にすることができる。また、図9(b)のリング照明10であっても、円形状のワークWの外輪郭のみを検出することはできる。
前記ワークは、外輪郭の内側が概略平坦なものであったが、例えば図8に示すように中央部が更に突出して多段形状になったものであっても構わない。この場合、最も外側にあるエッジを検出するには、前記光照射領域の位置と、前記遮光部材の先端側開口端及び背景面との間の距離を調節して、外輪郭のエッジにのみ二次光が到達し、前記遮光部材により内側のエッジ部分へ向かう光を遮るようにすればよい。加えて、多段形状となっているワークのうち内側の輪郭線を検出対象輪郭線としたい場合等は、図10に示すように突出部分のみを遮光部材で覆うようにして、前記ワークWの表面にリング照明から光を照射してワークWの表面上に光照射領域7を形成して輪郭線検出を行っても構わない。すなわち、前記光照射領域7は、ワーク以外の部材である載置部材の表面に形成されるものだけなく、ワーク自体や載置部材以外のその他の物体に形成されるものであっても構わない。要するに、検出した検出対象輪郭線よりも光照射領域が下方に形成されており、その形成されている面が光を散乱する面でさえあればよい。
また、図11に示すようにワークWが例えば、平板円環状のもの場合であって、その内側の輪郭線を検出したい場合等には、検出対象輪郭線である内側の輪郭線からさらに内側へ所定距離離間した位置を外縁とするように光照射領域を形成して輪郭線の検出を行っても構わない。なお、図11に付した符号は、前記第1実施形態に付したものと対応するものには同じ番号を付している。このような輪郭線検出装置であれば、円環状の部材、例えばナット等の内側の輪郭線のみ光らせて撮像したい場合等に好適に用いることができる。
加えて、遮光部材により前記ワークの周囲には光が照射されないようにして、二次光によりエッジ部分だけを光らせるようにするだけでなく、前記ワークの近傍のみ黒色等の光を吸収し、散乱が生じない材質のものにしておき、前記ワークの近傍以外の背景面は光を散乱するようにしてもよい。このようにすれば、遮光部材により厳密に光照射領域を設定できなかったとしても、ワーク近傍から散乱光が生じることがないので、エッジ検出の精度を容易に向上させることができる。より具体的には、図12の平面図及び上面図に示すような検査ラインにおいて、散乱面を有するベルトコンベアCNの表面に、一定間隔ごとに所定半径の黒色プリントBを施しておき、その黒色円の中央にワークを配置しておくようして検査精度をよくしてもよい。また、図1、図6、図8、図10、図11に示すような各輪郭線検出装置100であれば、遮光部材の先端とワークWとの間を離間させてあるので、ワークWと接触して移動を妨げないように装置全体あるいは遮光部材3やカメラ5といった各構成機器のみを上下動させることなく輪郭線検出を行うことができる。このため、ベルトコンベアCNによりワークWをスムーズに流しながら、ワークWが検査位置に到達したらリング照明10をフラッシュのように光らせて各ワークの外輪郭線全周を連続で検出できる。
本実施形態の比較例として図13に示すようにベルトコンベアCNを用いた検査ラインにおいて二次光を用いずに、ワークWの外輪郭線にリング照明10Aからの直接光を下方から照射して外輪郭線の全周を検出する場合を考えてみる。このような直接光を用いた輪郭線検出装置100Aによる検査の動作について説明すると、まず、図13(a)に示すように輪郭線検出装置100A内の検査位置であるカメラ5A直下までワークWが移動する。次に、図13(b)に示すようにベルトコンベアCNを停止させ、図13(c)のようにリング照明10AをワークWの検出対象輪郭線よりも下方へと移動させ、ワークWのエッジに直接光を照射する。輪郭線が検出されると、図13(d)のようにリング照明10Aを上方へと移動させた後に、図13(e)のように再びベルトコンベアCNを移動させて、図13の動作を繰り返すことになる。このように、検査ラインにおいてワークWの検出対象輪郭線に下方から直接光を当てて輪郭線検出を行うように構成しようとすると、ワークWと輪郭線検出の接触を防ぎ、ワークWの移動を妨げないようにする機構が必要となる。しかも図13(b)~(d)に示すように、ワークWを停止させている時間や、リング照明を上下動させるのにかかる時間は待ち時間となってしまうので、1個のワークを検査するのにかかる時間が長くなってしまっている。つまり、ワークを停止させずに常に動かしながら検査をすることができないので、検査効率が悪くなってしまう。例えば、ワークの一部の輪郭線のみを検出する場合には、ベルトコンベアの側方に照明装置を固定しておいて、連続で検査を行うことができる場合もあるが、下方からの直接光により外輪郭線の全周を検出しようとすると、ワークの進行方向側にも照明装置を置く必要があるので、どうしても移動を妨げないようにワーク又は照明装置を上下動させなくてはならない。すると、上述した待ち時間が発生するので、検査効率が低下してしまう。
一方、各実施形態の輪郭線検出装置100によれば、ワークWと輪郭線検出装置100、特にワークWと遮光部材3とが上下方向に離間しているので、ベルトコンベアCN等によりワークWが移動している場合でも何もしなくても接触が生じず、移動が妨げられない。しかも、背景面からの二次光により検出対象輪郭線の下方から外輪郭線に光を照射するようにしているので、ワークWを停止させたり、検査時にワークW又は照明装置10を上下動させたりする必要がない。従って、検査のためにベルトコンベアを止めることなく、連続でワークの輪郭線検出を行うことができるので、上述したような待ち時間が発生せず、検査効率を格段によいものにすることができる。
前記光照射領域にのみ光を照射する方法としては、特に前記各実施形態に限られるものではなく、例えば指向性の強い照明光により円環状に背景面を照射しておき、中央部の光の照射されていない部分にワークを載置するようにしても構わない。
前記背景面は、光を散乱するものであればよく、全方位に均一に拡散するものに限られない。例えば、光照射領域から前記ワーク側へ偏った散乱をするものであっても構わない。
また、前記背景面は平面に限られるものではなく、例えば前記ワークが載置されている点が最も高い曲面であっても構わない。要するに、前記光照射領域から散乱された光が、前記ワークの周囲にある背景面に入射しないものであればよく、このような背景面であればエッジ部分のみを光らせてコントラストを大きくすることができる。言い換えると、少なくとも光照射領域が形成される背景面が、前記ワークよりも低い位置にあればよく、散乱光によりワークのエッジのみを照明することできる。加えて、背景面は例えば載置台の表面や基板等だけに限られるものではなく、輪郭を検出したい対象であるワークの後ろ側にあるものの面を指す。
前記各実施形態では、形状検査のために輪郭線検出を行っていたが、所定の位置に部品が配置されているかどうか等を検査するために用いてもよいし、その他の用途に用いても構わない。また、光検出部としてカメラを用いていたが、例えばCCDやCMOS等と言った受光素子を用いても構わない。
その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて、様々な変形や実施形態の組み合わせを行っても構わない。
本発明によれば、ワークの輪郭のみを強く光らせて、検出しやすくすることができ、特に前記ワークの高さが低い場合であってもその輪郭を明確に検出することができる。従って、例えばマシンビジョン等により高精度での製品検査が可能となる。
Claims (8)
- ワークからの光を光検出部で検出することにより、前記ワークの輪郭線を検出する輪郭線検出方法であって、
前記光検出部を設ける位置を前記ワークの上方に設定し、
光射出部から射出される照明光が実質的に、前記ワークの少なくとも一部の輪郭線である検出対象輪郭線から外側へ所定距離離間した位置を内縁とする、又は前記検出対象輪郭線から内側へ所定距離離間した位置を外縁とする光照射領域にのみ照射されるように設定しており、
前記光照射領域が、前記検出対象輪郭線よりも下方であるとともに照明光が散乱される面上に形成されるように設定していることを特徴とする輪郭線検出方法。 - 前記ワークを照明光が散乱される背景面上に載置し、
一方の開口端が前記ワークよりも大きい筒状の遮光部材を更に用い、
他方の開口端の位置を、前記光照射部の設けられている位置以上の高さに設定し、
前記一方の開口端の位置を、前記背景面を前記ワークの載置されている側から視て前記ワークを囲うように設定し、
前記一方の開口端と前記背景面との間を離間させ、その離間距離を前記光射出部から射出された照明光のうち前記光照射領域の内縁よりも内側へと向かう光が前記遮光部材により遮光されるように設定する請求項1記載の輪郭線検出方法。 - 前記光検出部の位置を前記他方の開口端の上方に設定し、
前記遮光部材の内側周面を非反射面に設定する請求項2記載の輪郭線検出方法。 - 前記光検出部がカメラであって、その撮像する範囲である視野が、前記ワークと当該ワークの周囲の背景面を含むように設定してあるとともに、その大きさが前記光照射領域の内縁よりも小さく設定してある請求項1記載の輪郭線検出方法。
- ワークからの光を光検出部で検出することにより、前記ワークの輪郭線を検出するための輪郭線検出装置であって、
照明光を射出する光射出部と、
前記ワークの上方に設けられ、前記ワークからの光を検出する光検出部と、を備え、
前記光射出部から射出される照明光が実質的に、前記ワークの少なくとも一部の輪郭線である検出対象輪郭線から外側へ所定距離離間した位置を内縁とする、又は前記検出対象輪郭線から内側へ所定距離離間した位置を外縁とする光照射領域にのみ照射されるように構成されており、
前記光照射領域が、前記検出対象輪郭線よりも下方であるとともに照明光が散乱される面上に形成されるように構成されていることを特徴とする輪郭線検出装置。 - 一方の開口端が前記ワークよりも大きい筒状の遮光部材を更に備え、
他方の開口端の位置が、前記光照射部の設けられている位置以上の高さに設定され、
前記一方の開口端の位置が、前記ワークが載置されている背景面を当該ワークの配置された側から視て前記ワークを囲うように設定され、
前記一方の開口端と前記背景面との間が離間しており、その離間距離が前記光射出部から射出された照明光のうち前記光照射領域の内縁よりも内側へと向かう光が前記遮光部材により遮光されるように設定されている請求項5記載の輪郭線検出装置。 - 前記光検出部の位置が、前記他方の開口端の上方に設定され、
前記遮光部材の内側周面が非反射面である請求項6記載の輪郭線検出装置。 - 前記光検出部がカメラであって、その撮像する範囲である視野が、前記ワークと当該ワークの周囲の背景面を含むように設定してあるとともに、その大きさが前記光照射領域の内縁よりも小さく設定してある請求項5記載の輪郭線検出方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105156927A (zh) * | 2015-09-28 | 2015-12-16 | 欧普照明股份有限公司 | 一种照明模组及照明灯具 |
CN106523990A (zh) * | 2016-11-15 | 2017-03-22 | 东莞创视自动化科技有限公司 | 一种视觉检测照明结构及其方法 |
CN111210473A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-05-29 | 上海悦易网络信息技术有限公司 | 手机轮廓定位方法及设备 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6768189B2 (ja) * | 2016-03-07 | 2020-10-14 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法 |
JP7434139B2 (ja) * | 2020-12-02 | 2024-02-20 | シーシーエス株式会社 | 光照射装置 |
TWI826848B (zh) * | 2020-12-21 | 2023-12-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 光照射裝置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6413406A (en) * | 1987-07-07 | 1989-01-18 | Toshiba Corp | Body recognition device |
JPH0219436U (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-08 | ||
JPH02165700A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-26 | Yamaha Motor Co Ltd | チップ部品実装装置 |
JPH04107992A (ja) * | 1990-08-28 | 1992-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の観察装置 |
JPH055708A (ja) * | 1991-06-21 | 1993-01-14 | Ckd Corp | ハンダ配設状況識別方法及び識別装置 |
JPH0634567A (ja) * | 1992-07-17 | 1994-02-08 | Murata Mfg Co Ltd | ワーク欠損検出装置 |
JPH0732231A (ja) * | 1993-07-16 | 1995-02-03 | Mazda Motor Corp | 突起物の位置検出装置 |
WO2005089036A1 (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 部品装着精度の検査方法及び検査装置 |
JP2007240207A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Tateyama Machine Kk | 工具検査装置と工具検査方法 |
-
2010
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-
2011
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6413406A (en) * | 1987-07-07 | 1989-01-18 | Toshiba Corp | Body recognition device |
JPH0219436U (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-08 | ||
JPH02165700A (ja) * | 1988-12-20 | 1990-06-26 | Yamaha Motor Co Ltd | チップ部品実装装置 |
JPH04107992A (ja) * | 1990-08-28 | 1992-04-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の観察装置 |
JPH055708A (ja) * | 1991-06-21 | 1993-01-14 | Ckd Corp | ハンダ配設状況識別方法及び識別装置 |
JPH0634567A (ja) * | 1992-07-17 | 1994-02-08 | Murata Mfg Co Ltd | ワーク欠損検出装置 |
JPH0732231A (ja) * | 1993-07-16 | 1995-02-03 | Mazda Motor Corp | 突起物の位置検出装置 |
WO2005089036A1 (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 部品装着精度の検査方法及び検査装置 |
JP2007240207A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Tateyama Machine Kk | 工具検査装置と工具検査方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105156927A (zh) * | 2015-09-28 | 2015-12-16 | 欧普照明股份有限公司 | 一种照明模组及照明灯具 |
CN106523990A (zh) * | 2016-11-15 | 2017-03-22 | 东莞创视自动化科技有限公司 | 一种视觉检测照明结构及其方法 |
CN111210473A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-05-29 | 上海悦易网络信息技术有限公司 | 手机轮廓定位方法及设备 |
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Publication number | Publication date |
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JP5740595B2 (ja) | 2015-06-24 |
JP2012117943A (ja) | 2012-06-21 |
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