WO2012029110A1

WO2012029110A1 - 表示パネルの製造方法及びその製造システム

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Publication number: WO2012029110A1
Application number: PCT/JP2010/064734
Authority: WO
Inventors: 道也横田
Original assignee: 信越エンジニアリング株式会社
Priority date: 2010-08-30
Filing date: 2010-08-30
Publication date: 2012-03-08
Also published as: KR101471705B1; JP4657387B1; CN102598091B; JPWO2012029110A1; KR20130086654A; KR101614591B1; TWI356359B; CN102598091A; TW201209780A; KR20120033297A

Abstract

　電気光学パネルと基板を完全な無気泡状態で且つ均一なギャップで接着する。先ず、真空雰囲気中で電気光学パネル（１）と基板（２）の対向面（１ａ，２ａ）同士を液状接着剤（３）を挟んでＺ方向へ重ね合わせる。次いで、電気光学パネル（１）と基板（２）の間で液状接着剤（３）を自然伸展させることにより、液状接着剤（３）中における局部的な真空などが消失して、液状接着剤（３）の層厚が電気光学パネル（１）及び基板（２）の対向面（１ａ，２ａ）全体でＺ方向へ略均一になる。その後、大気中で電気光学パネル（１）及び基板（２）のいずれか一方を他方に対しＸＹθ方向へ相互に滑り移動させて位置合わせする。この位置合わせの工程は、電気光学パネル（１）又は基板（２）のいずれか一方を液状接着剤（３）の界面に沿ってスムーズに滑動させるだけでよく、加圧しないので液状接着剤（３）は変形流動せず空気を巻き込むことはない。

Description

表示パネルの製造方法及びその製造システム

　本発明は、例えばタッチパネルや３Ｄ（３次元）ディスプレイや電子書籍など、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）などからなる電気光学パネルに対して、新たに付加的機能を有する基板を貼り付けた付加機能基板貼り付け型表示パネルの製造方法、及び、その方法を実施するために使用する製造システムに関する。
　詳しくは、電気光学パネルと、透光性を有し前記電気光学パネルから射出された光を視認側に射出する基板とを液状接着剤で貼り合わせる表示パネルの製造方法、及び、その製造システムに関する。

　従来、この種の表示パネルの製造方法として、真空雰囲気中で電気光学パネル（液晶パネル）と紫外線硬化性接着剤が部分的に描画（塗布）された基板（カバーガラス）とを位置合わせした状態で押し合わせ、その後、前記電気光学パネルを仮ＵＶ硬化装置のテーブルに真空吸着させるとともに前記基板を加圧板に真空吸着させ、次いで、加圧部材で加圧板全体をテーブル側に押圧するとともに、バネで加圧板の周縁部をテーブル側に押圧することにより、電気光学パネルと基板とが互いに接近する方向に押圧され、かつ電気光学パネル及び基板の周縁部が中央部側よりも強い力で押圧され、また押圧とともに、テーブルと加圧板との相対位置を調整して電気光学パネル及び基板のアライメント処理が行われ、その後、仮接着工程を行い、最後に本硬化処理（本接着工程）を行って電気光学パネルと基板が本接着される電気光学装置の製造方法がある（例えば、特許文献１参照）。

２００９－２３００３９号公報

　このような従来の表示パネルの製造方法では、仮ＵＶ硬化装置のテーブルと加圧板に電気光学パネルと基板をそれぞれ真空吸着した状態で互いに接近する方向に押圧するとともに位置合わせを行うが、これら真空吸着による電気光学パネル及び基板の保持は大気中でなければ確実に行えない。
　そうしてみると、大気中で電気光学パネルと基板が互いに接近する方向に押圧されることになり、それに伴って、接着剤が厚さ方向へ押し潰され、変形流動しながら液晶パネル及び基板の対向面に沿って流動し押し広げられる。
　しかし乍ら、大気中における接着剤の変形流動は、その変形流動の過程で空気を巻き込み易くなることが避けられず、完全な無気泡で接着できないことから不良品が発生し易く歩留まりが悪いという問題があった。
　すなわち、接着剤の変形流動中、例えば接着剤と基板の間に空隙が全く生じない状態で流動すれば空気が混入することはないが、押圧中に電気光学パネルの表面に対して基板が僅かでも傾斜すると空隙が生じ、空気の巻き込みが発生するいう問題があった。大気中で加圧板を使用する場合には、加圧板を支持する軸機構の精度、加圧板の歪み等が存在し、これらが基板に伝わるため、空気の巻き込みの問題は避け得ないものであった。
　また、基板が例えばタッチパネルのカバーガラスのように模様や記号などが接着面に印刷される場合には、印刷部と非印刷部との間に僅かな凹凸が生ずるため、空気の巻き込みがさらに助長されるという問題もあった。
　バネで電気光学パネル及び基板の周縁部を中央部側よりも強い力で押圧しても、大気中における接着剤の変形流動に伴う空気の巻き込みを減らすことはできず、電気光学パネルと基板の間を完全な無気泡状態にすることはできなかった。
　特に、基板サイズが大型化すると、加圧方式では信頼性を得ることは難しかった。
　また、電気光学パネルと基板を一組ずつ重ね合わせて位置合わせするため、生産性に劣るという問題があった。

　本発明は、このような問題に対処することを課題とするものであり、電気光学パネルと基板を完全な無気泡状態で且つ均一なギャップで接着すること、などを目的とするものである。

　このような目的を達成するために本発明による表示パネルの製造方法は、電気光学パネルと、透光性を有し前記電気光学パネルから射出された光を視認側に射出する基板とを液状接着剤で貼り合わせる表示パネルの製造方法であって、真空雰囲気中で前記電気光学パネル及び前記基板の対向面をそれらの間に前記液状接着剤が挟まれるようにＺ方向へ重ね合わせる合着工程と、前記合着工程で重ね合わされた前記電気光学パネル及び前記基板の前記対向面に沿って前記液状接着剤を所定時間に亘り自然伸展させて、該液状接着剤の層厚を前記電気光学パネル及び前記基板の対向面全体でＺ方向へ略均一にするレベリング工程と、前記レベリング工程後に前記電気光学パネル又は前記基板のいずれか一方を他方に対し大気中でＸＹθ方向へ相互に滑り移動させて位置合わせする無気泡整列工程と、前記無気泡整列工程で位置合わせされた前記電気光学パネル及び前記基板の前記対向面間に配置される前記液状接着剤を硬化させる硬化工程とを含むことを特徴とする。

　また本発明による表示パネルの製造システムは、電気光学パネルと、透光性を有し前記電気光学パネルから射出された光を視認側に射出する基板とを液状接着剤で貼り合わせる表示パネルの製造システムであって、真空チャンバーを有し、該真空チャンバー内で前記電気光学パネルと前記基板を保持して、それらの間に前記液状接着剤が挟まれるようにＺ方向へ重ね合わせる合着ユニットと、前記合着ユニットで重ね合わされた前記電気光学パネル及び前記基板を着脱自在に保持して、前記真空チャンバー内から大気中に搬送する搬送ユニットと、大気中に設けられ、前記搬送ユニットで搬送された前記電気光学パネル又は前記基板のいずれか一方を他方に対しＸＹθ方向へ相互移動して位置合わせする無気泡整列ユニットと、前記無気泡整列ユニットで位置合わせされた前記電気光学パネルと前記基板の対向面間に配置される前記液状接着剤を硬化させる硬化ユニットとを備え、前記搬送ユニットは、前記真空チャンバー内から重ね合わされた前記電気光学パネル及び前記基板を大気中の前記無気泡整列ユニットへ搬送してセットするまでの所定時間中に、前記電気光学パネルと前記基板の対向面に沿って前記液状接着剤が自然伸展して、該液状接着剤の層厚が前記対向面全体でＺ方向へ略均一になるようにしたことを特徴とする。

　前述した特徴を有する本発明による表示パネルの製造方法は、先ず、合着工程において、真空雰囲気中で電気光学パネルと基板の対向面同士が液状接着剤を挟んでＺ方向へ重ね合わされることにより、液状接着剤を対向面に沿って強制的に伸展させる。次いで、レベリング工程において、電気光学パネルと基板の間で液状接着剤を自然伸展させることにより、液状接着剤中における局部的な真空などが消失して、液状接着剤は略静止安定した状態になり、液状接着剤の層厚が電気光学パネル及び基板の対向面全体でＺ方向へ略均一になって、これ以上のギャップ調整は必要ない状態となる。その後の無気泡整列工程において、大気中で電気光学パネル及び基板のいずれか一方を他方に対しＸＹθ方向へ相互移動して位置合わせする場合、略均一な層厚の液状接着剤上に乗った電気光学パネル又は基板のいずれか一方を液状接着剤の界面に沿ってスムーズに滑動させるだけでよく、加圧しないので液状接着剤は変形流動せず空気を巻き込むことはない。
　したがって、電気光学パネルと基板を完全な無気泡状態で且つ均一なギャップで接着することができる。
　その結果、真空吸着された電気光学パネルと基板を大気中で互いに接近する方向に押圧するとともに位置合わせを行う従来の製造方法に比べ、電気光学パネルのサイズが大きくなっても、無気泡の性能を向上させることができ、歩留まりが大幅に良くなる。

　また、前述した特徴を有する本発明による表示パネルの製造システムは、先ず、合着ユニットによって、真空チャンバー内で電気光学パネルと基板の対向面同士が液状接着剤を挟んでＺ方向へ重ね合わされることにより、液状接着剤を対向面に沿って強制的に伸展させる。次いで、搬送ユニットによって、真空チャンバー内から重ね合わせが完了した電気光学パネル及び基板を、大気中の無気泡整列ユニットに搬送してセットするまでの所定時間中に、電気光学パネルと基板の間で液状接着剤を自然伸展させることにより、液状接着剤中における局部的な真空などが消失して、液状接着剤は略静止安定した状態になり、液状接着剤の層厚が電気光学パネル及び基板の対向面全体でＺ方向へ略均一になって、これ以上のギャップ調整は必要ない状態となる。その後、無気泡整列ユニットによって、大気中で電気光学パネル及び基板のいずれか一方を他方に対しＸＹθ方向へ相互移動して位置合わせする場合、略均一な層厚の液状接着剤上に乗った電気光学パネル又は基板のいずれか一方を液状接着剤の界面に沿ってスムーズに滑動させるだけでよく、加圧しないので液状接着剤は変形流動せず空気を巻き込むことはない。
　したがって、電気光学パネルと基板を完全な無気泡状態で且つ均一なギャップで接着することができる。
　その結果、真空吸着された電気光学パネルと基板を大気中で互いに接近する方向に押圧するとともに位置合わせを行う従来の製造システムに比べ、電気光学パネルのサイズが大きくなっても、無気泡の性能を向上させることができ、歩留まりが大幅に良くなる。

本発明の実施形態に係る表示パネルの製造システムを示すブロック図である。合着ユニットの縦断正面図であり、（ａ）が重ね合わせ前の状態を示し、（ｂ）が重ね合わせ後の状態を示している。無気泡整列ユニットの縦断正面図であり、（ａ）が平面図、（ｂ）が一部切欠正面図である。本発明の実施形態に係る表示パネルの製造方法を示すフローチャートである。

　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
　本発明の実施形態に係る表示パネルＡの製造システムは、図１～図３に示すように、電気光学パネル１と基板２を液状接着剤３が挟まれるようにＺ方向へ重ね合わせる合着ユニット１０、重ね合わされた電気光学パネル１及び基板２を大気中に搬送する搬送ユニット２０、電気光学パネル１と基板２をＸＹθ方向へ位置合わせする無気泡整列ユニット３０、位置合わせされた電気光学パネル１及び基板２の間に配置される液状接着剤３を硬化させる硬化ユニット４０、これら合着ユニット１０，搬送ユニット２０，無気泡整列ユニット３０及び硬化ユニット４０などをそれぞれ作動制御する制御部５０を、主要な構成要素として備えている。

　電気光学パネル１は、電気光学物質層とこれに電圧を印加する手段とを備えたものであり、電気信号に基づいた電圧印加により電気光学物質層の状態を変化させ、所望の光を取り出すことが可能になっている。
　電気光学パネル１の具体例としては、タッチパネルや３Ｄ（３次元）ディスプレイや電子書籍などに用いられる、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、フレキシブルディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）などが挙げられる。
　さらに、電気光学パネル１は、矩形などに形成され、その周縁部には、後述する基板２との位置合わせに用いるアライメントマーク（図示しない）を設けることが好ましい。
　また、電気光学パネル１としては、その製作段階で複数の電気光学パネル１が並設される分離前の一枚ものを使用することも可能である。

　基板２は、ガラスや石英、プラスチックなどの透光性を有する材料からなるものであり、電気光学パネル１から射出された光を透過しＺ方向側（視認側）に射出するとともに、表示パネルＡの用途に応じた機能を有している。
　基板２の具体例としては、タッチパネルや３Ｄ（３次元）ディスプレイや電子書籍などに用いられる、カバーガラスやバリアガラスなどが挙げられ、例えばタッチパネルとして用いられる場合には、模様や記号などのパターンが接着面である表面に印刷される。
　基板２の大きさや平面形状は、電気光学パネル１と同程度の矩形などに形成され、その周縁部には、電気光学パネル１との位置合わせに用いるアライメントマーク（図示しない）を設けることが好ましい。
　また、基板２としては、その製作段階で複数の基板２が並設される分離前の一枚ものを使用することも可能である。

　液状接着剤３は、光エネルギーを吸収して重合が進行することにより硬化して接着性を発現する光硬化性を有する接着剤や熱硬化型接着剤や二液混合硬化型接着剤などからなり、重合度（硬化度）が低い状態では流動性を有し、重合度（硬化度）が高くなるにつれて流動性が低下し変形し難くなるように構成される。
　さらに、液状接着剤３は、電気光学パネル１及び基板２の対向面（表面）１ａ，２ａに対して部分的に塗布され、後述する合着ユニット１０で電気光学パネル１及び基板２の対向面１ａ，２ａを重ね合わせることにより、これら対向面１ａ，２ａに沿って液状接着剤３が伸展して、最終的には対向面１ａ，２ａの略全体に充満するようにしている。
　液状接着剤３の具体例としては、紫外線硬化型接着剤などが用いられる。
　また、液状接着剤３の塗布方法としては、例えばディスペンサなどの液体定量吐出機からなる塗布手段（図示しない）を用い、対向面１ａ，２ａに点状や線状に描画し、後述する合着ユニット１０により電気光学パネル１と基板２の対向面１ａ，２ａ同士が重ね合わされることで、点状や線状の液状接着剤３がそれぞれ伸展してその界面同士が接触し相互に繋がるように分散配置することが好ましい。

　そして、合着ユニット１０は、その全体又は一部が開閉駆動部１１ａの作動により開閉自在に形成される真空チャンバー１１と、真空チャンバー１１内にＺ方向（図２（ａ）（ｂ）に示される例では上下方向）へ対向するように設けられて電気光学パネル１と基板２をそれぞれ着脱自在に保持する一対の保持板１２，１３と、これら保持板１２，１３のいずれか一方又は両方をＺ方向へ互いに接近移動させて電気光学パネル１と基板２を重ね合わせる昇降駆動部１４とを有している。

　一対の保持板１２，１３は、例えば金属やセラミックスなどの剛体で歪み（撓み）変形しない厚さの平板状に形成され、その互いに対向する保持面１２ａ，１３ａに、電気光学パネル１又は基板２を着脱自在に保持する保持手段（図示しない）として、例えば粘着チャック又は静電チャックや吸引チャックとの組み合わせなどが設けられるとともに、真空チャンバー１１に対して保持面１２ａ，１３ａのいずれか一方又は両方がＺ方向へ平行状態で互いに接近又は離隔するように往復動自在に支持される。

　図２（ａ）（ｂ）に示される例では、下方に配置される保持板１２の保持面１２ａに電気光学パネル１が保持され、上方に配置される保持板１３の保持面１３ａに基板２が保持され、下方の保持板１２に対して上方の保持板１３のみを昇降駆動部１４で昇降移動させるように構成している。
　また、その他の例として図示しないが、下方の保持板１２に基板２を保持するとともに上方の保持板１３に電気光学パネル１を保持したり、上方の保持板１３に対して下方の保持板１２のみを昇降駆動部１４で昇降移動したり、下方の保持板１２及び上方の保持板１３の両方を昇降駆動部１４で昇降移動させることも可能である。

　また、真空チャンバー１１の内部において保持板１２，１３の周囲には、気圧調整可能な閉空間Ｓを形成し、該閉空間Ｓが真空又はそれに近い状態に減圧された雰囲気の環境下で、保持面１２ａ，１３ａを互いに接近移動して電気光学パネル１と基板２を重ね合わせることが好ましい。

　搬送ユニット２０は、電気光学パネル１及び基板２を着脱自在に保持する手段として、例えば吸着パッドなどを有する搬送用ロボットなどであり、少なくとも合着ユニット１０の真空チャンバー１１と後述する無気泡整列ユニット３０とに亘って往復動自在に設けられて、合着ユニット１０で重ね合わされた電気光学パネル１及び基板２を無気泡整列ユニット３０へ向け搬送して受け渡す。
　搬送ユニット２０の具体例としては、合着ユニット１０の保持板１２，１３に設けられる昇降自在なリフトピン（図示しない）などと協動して作動することにより、真空チャンバー１１内で重ね合わされた電気光学パネル１及び基板２を保持面１２ａ，１３ａから受け取り、真空チャンバー１１内から外の大気中に取り出すとともに、電気光学パネル１及び基板２の重ね合わせ状態を維持しながら後述する無気泡整列ユニット３０へ向け搬送し、その保持チャック３１上の所定位置にセットする。
　さらに必要に応じて、搬送ユニット２０により、例えばディスペンサなどの液体定量吐出機からなる塗布手段が配備される外部領域から電気光学パネル１及び基板２を、合着ユニット１０の真空チャンバー１１内へ向け搬入し、また後述する無気泡整列ユニット３０による無気泡整列工程及び後述する硬化ユニット４０に液状接着剤３の硬化工程が終了した後に、無気泡整列ユニット３０から電気光学パネル１及び基板２を搬出するように移動制御することが好ましい。
　また必要に応じて、搬送ユニット２０には、搬送中の電気光学パネル１及び基板２に対し、それぞれの対向面１ａ，２ａ中に挟まれた液状接着剤３の自然伸展を促進するために、微振動が含まれた適度な振動を与える手段を備えたり、搬送中の電気光学パネル１及び基板２を一定時間に亘り滞留保持して先入れ先出しするバッファ手段を備えることも可能である。

　無気泡整列ユニット３０は、大気中に配設され、搬送ユニット２０で搬送された電気光学パネル１と基板２をそれぞれ着脱自在に保持する一対の保持チャック３１，３２と、これら保持チャック３１，３２のいずれか一方を他方に対してＸＹθ方向（図３（ａ）に示される例では上下左右及び斜め方向）へ移動させて電気光学パネル１と基板２を位置合わせする水平駆動部３３と、電気光学パネル１及び基板２の周縁部に配置されるアライメントマークなどを検出するための位置検出部３４を有している。

　一対の保持チャック３１，３２は、例えば金属やセラミックスなどの剛体で歪み（撓み）変形しない厚さの平板状に形成され、その互いに対向する保持面３１ａ，３２ａに、電気光学パネル１又は基板２を着脱自在に保持する保持手段（図示しない）として、例えば吸引チャックや静電チャックや粘着チャックや摩擦チャック又はそれらの組み合わせなどが設けられるとともに、保持面３１ａ，３２ａの真空チャンバー１１に対して保持面１２ａ，１３ａのいずれか一方が他方に対して平行状態を維持しながらＸＹθ方向へ移動自在に支持される。
　図３（ａ）（ｂ）に示される例では、基板２が保持される上方の保持チャック３２の周縁部に、位置検出部３４としてカメラを設けている。さらに、基板２が保持される上方の保持チャック３２に対して、電気光学パネル１が保持される下方の保持チャック３１をＸＹθ方向へ移動自在に支持している。
　また、その他の例として図示しないが、電気光学パネル１が保持される下方の保持チャック３１に対して、基板２が保持される上方の保持チャック３２をＸＹθ方向へ移動自在に支持することも可能である。

　硬化ユニット４０は、液状接着剤３の重合度（硬化度）を高めるために光エネルギーを照射するものであり、無気泡整列ユニット３０による電気光学パネル１及び基板２の位置合わせ直後に、これらを移動させずに液状接着剤３の重合度（硬化度）を高める。
　硬化ユニット４０の具体例として、液状接着剤３が紫外線硬化型接着剤などが用いられる場合には、紫外線を照射するＵＶ照射部となり電気光学パネル１及び基板２の対向面１ａ，２ａの間に沿って伸展した液状接着剤３の一部又は全部に向け、紫外線を照射させる。
　図３（ａ）（ｂ）に示される例では、基板２が保持される上方の保持チャック３２の周縁部に、硬化ユニット４０としてＵＶ照射ヘッドを配設し、電気光学パネル１及び基板２の対向面１ａ，２ａの間に沿って伸展した液状接着剤３の周縁部おいて数箇所を部分的に硬化させることにより、必要最低限の仮硬化を行い、無気泡整列ユニット３０から電気光学パネル１及び基板２が搬出された後に本硬化させるようにしている。
　また、その他の例として図示しないが、紫外線硬化型接着剤に代えて熱硬化型接着剤や二液混合硬化型接着剤などを用いたり、液状接着剤３の全部を本硬化させることも可能である。

　制御部５０は、合着ユニット１０における真空チャンバー１１の開閉駆動部１１ａや昇降駆動部１４，搬送ユニット２０，無気泡整列ユニット３０における水平駆動部３３や位置検出部３４及び硬化ユニット４０などと電気的に接続するコントローラーであり、予め設定されたプログラムに従って順次作動させるように制御されている。
　特に、制御部５０は、搬送ユニット２０の作動速度を調整するなどして、合着ユニット１０により真空チャンバー１１内で電気光学パネル１と基板２の重ね合わせが完了した時点から、無気泡整列ユニット３０による電気光学パネル１と基板２の位置合わせが開始される時点までの時間を任意に設定可能にしている。
　詳しくは、電気光学パネル１と基板２の重ね合わせが完了した時点から始まる液状接着剤３の自然伸展に対応して、無気泡整列ユニット３０による位置合わせが開始される時間を任意に設定可能にしている。
　つまり、電気光学パネル１及び基板２の対向面１ａ，２ａに対して部分的に塗布された液状接着剤３を、電気光学パネル１と基板２の対向面１ａ，２ａに沿って自然伸展させ、対向面１ａ，２ａの略全体に充満させるとともに、液状接着剤３中における局部的な真空などが消失して液状接着剤３は略静止安定した状態になり、液状接着剤３の層厚を対向面１ａ，２ａ全体でＺ方向へ略均一にしてから、無気泡整列ユニット３０による電気光学パネル１と基板２の位置合わせが開始されるようにしている。

　また、本発明の実施形態に係る表示パネルＡを生産するための製造方法は、図４に示すフローチャートのように、電気光学パネル１及び基板２を重ね合わせるための合着工程と、液状接着剤３を自然伸展させるためのレベリング工程と、電気光学パネル１と基板２を位置合わせするための無気泡整列工程と、液状接着剤３を硬化させるための硬化工程とを含んでいる。

　合着工程は、合着ユニット１０により真空チャンバー１１内の真空雰囲気中で、電気光学パネル１及び基板２の対向面１ａ，２ａをそれらの間に液状接着剤３が挟まれるようにＺ方向へ重ね合わせて仮貼り合わせする。

　レベリング工程は、搬送ユニット２０などにより、真空チャンバー１１内から重ね合わせが完了した電気光学パネル１及び基板２を取り出し、無気泡整列ユニット３０にセットするまでの所定時間に、合着工程で重ね合わされた電気光学パネル１と基板２の対向面１ａ，２ａに沿って液状接着剤３を所定時間に亘り自然伸展させて、対向面１ａ，２ａの略全体に充満させるとともに、液状接着剤３の層厚を電気光学パネル１及び基板２の対向面１ａ，２ａ全体でＺ方向へ略均一にするようしている。

　無気泡整列工程は、レベリング工程後に無気泡整列ユニット３０により、電気光学パネル１又は基板２のいずれか一方を他方に対し大気中でＸＹθ方向へ相互に滑り移動させて位置合わせする。

　液状接着剤３の硬化工程は、無気泡整列工程で位置合わせされた電気光学パネル１及び基板２の対向面１ａ，２ａ間に配置される液状接着剤３を、硬化ユニット４０によりその一部又は全部を硬化させる。

　このような本発明の実施形態に係る表示パネルＡの製造システム及び製造方法によると、先ず、合着工程では、合着ユニット１０によって、真空チャンバー１１内で電気光学パネル１と基板２の対向面１ａ，２ａ同士が液状接着剤３を挟んでＺ方向へ重ね合わされる。
　それにより、液状接着剤３が対向面１ａ，２ａに沿って強制的に伸展され、対向面１ａ，２ａの大部分に液状接着剤３が充満する。

　その後のレベリング工程では、搬送ユニット２０によって、真空チャンバー１１内から重ね合わせが完了した電気光学パネル１及び基板２を、大気中の無気泡整列ユニット３０に搬送してセットするまでの所定時間中に、電気光学パネル１と基板２の間で液状接着剤３が自然伸展される。
　それにより、液状接着剤３中における局部的な真空などが消失して、液状接着剤３は略静止安定した状態になり、液状接着剤３の層厚が電気光学パネル１及び基板２の対向面１ａ，２ａ全体で、Ｚ方向へ塗布した液状接着剤３の体積に見合った略均一になる。それによって、電気光学パネル１と基板２の対向面１ａ，２ａが平行になり、これ以上のギャップ調整は必要ない状態となる。

　その後の無気泡整列工程では、無気泡整列ユニット３によって、大気中で電気光学パネル１及び基板２のいずれか一方が他方に対しＸＹθ方向へ相互移動して位置合わせされる。
　それにより、略均一な層厚の液状接着剤３上に乗った電気光学パネル１又は基板２のいずれか一方を、液状接着剤３の界面に沿ってスムーズに滑動させるだけでよく、加圧しないので液状接着剤３は変形流動せず空気を巻き込むことはない。
　特に、基板２が例えばタッチパネルのカバーガラスのように模様や記号などのパターンが接着面に印刷されて、印刷部と非印刷部との間に僅かな凹凸が生じたとしても、僅かな凹凸に液状接着剤３が無気泡状態で食い込んで固体と液体の界面が馴染んでいるから、液状接着剤３自体の流体動作としてスムーズに移動する。
　したがって、電気光学パネル１と基板２を完全な無気泡状態で且つ均一なギャップで接着することができる。
　次に、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

　この実施例は、図２及び図３に示すように、合着ユニット１０と無気泡整列ユニット３０を個別に配設して、複数組の電気光学パネル１及び基板２を真空チャンバー１１内で同時に重ね合わせ、これらを搬送ユニット２０で搬送して、重ね合わされた複数組の電気光学パネル１と基板２を順次位置合わせしたものである。
　すなわち、合着ユニット１０が、真空チャンバー１１内で保持板１２，１３により電気光学パネル１と基板２を複数組それぞれが互いに対向するように保持し、それぞれ接近移動させて同時に重ね合わせ、搬送ユニット２０が、合着ユニット１０で重ね合わされた複数組の電気光学パネル１及び基板２を真空チャンバー１１内から無気泡整列ユニット３０へ搬送し、無気泡整列ユニット３０が、搬送ユニット２０で搬送された複数組の電気光学パネル１と基板２をそれぞれ着脱自在に保持して順次位置合わせしている。

　図２（ａ）（ｂ）に示される例では、合着ユニット１０の真空チャンバー１１が、全体的にＺ方向へ分割可能に構成され、その内部に区画形成される閉空間Ｓが所定の真空度に達してから複数組の電気光学パネル１及び基板２を重ね合わせ、その後に閉空間Ｓが大気開放される大気開放型の真空チャンバーである。
　また、その他の例として図示しないが、真空チャンバー１１が分離不能でその側壁の一部に出入口を開設し、この出入口を覆うように扉が開閉動自在に支持され、この扉を開閉駆動部１１ａの作動により開閉動させ、該扉の開動時に電気光学パネル１及び基板２を搬送ユニット２０によって出し入れさせることも可能である。

　さらに、図示例では、複数の電気光学パネル１として、その製作段階で複数の電気光学パネル１が並設される分離前の一枚ものを下方の保持板１２に保持し、これら複数の電気光学パネル１とそれぞれ対向して、分離された複数枚の基板２を上方の保持板１３に保持している。
　また、その他の例として図示しないが、図示例と逆に複数の基板２としてその製作段階で複数の基板２が並設される分離前の一枚ものを保持し、これら複数の基板２とそれぞれ対向して、分離された複数枚の電気光学パネル１を保持することも可能である。

　図３（ａ）（ｂ）に示される例では、電気光学パネル１が保持される下方の保持チャック３１に対して、基板２が保持される上方の保持チャック３２を、各電気光学パネル１と各基板２がそれぞれ対向するようにＸＹθ方向（図３（ａ）に示される例では上下左右方向及び斜め方向）へ水平駆動部３３でそれぞれ移動自在に支持している。
　また、その他の例として図示しないが、図示例と逆に上方の保持チャック３２に対して下方の保持チャック３１がＸＹθ方向へ水平駆動部３３でそれぞれ移動自在に支持することも可能である。

　このような本発明の実施例に係る表示パネルＡの製造システム及び製造方法によると、合着ユニット１０に対して複数組の電気光学パネル１及び各基板２を１回セットするだけで、それら重ね合わせと位置合わせが行われる。
　それにより、複数組の電気光学パネル１と基板２を効率良く貼り合わせることができるという利点がある。
　その結果、電気光学パネルと基板を一組ずつ重ね合わせて位置合わせする従来の製造システム及び製造方法に比べ、表示パネルＡの生産性を向上できて、コストの低減化が図れる。

　なお、前示実施例では、合着ユニット１０と無気泡整列ユニット３０を個別に配設し、これら両者間に亘り搬送ユニット２０で搬送したが、これに限定されず、合着ユニット１０と無気泡整列ユニット３０を一体的に配設して、その内部で搬送ユニット２０により搬送しても良い。

　１　電気光学パネル　　　　　　　　　　　１ａ，２ａ　対向面
　２　基板　　　　　　　　　　　　　　　　３　液状接着剤
　１１　真空チャンバー　　　　　　　　　　２０　搬送ユニット
　３０　無気泡整列ユニット　　　　　　　　４０　硬化ユニット

Claims

　電気光学パネルと、透光性を有し前記電気光学パネルから射出された光を視認側に射出する基板とを液状接着剤で貼り合わせる表示パネルの製造方法であって、
　真空雰囲気中で前記電気光学パネル及び前記基板の対向面をそれらの間に前記液状接着剤が挟まれるようにＺ方向へ重ね合わせる合着工程と、
　前記合着工程で重ね合わされた前記電気光学パネル及び前記基板の前記対向面に沿って前記液状接着剤を所定時間に亘り自然伸展させて、該液状接着剤の層厚を前記電気光学パネル及び前記基板の対向面全体でＺ方向へ略均一にするレベリング工程と、
　前記レベリング工程後に前記電気光学パネル又は前記基板のいずれか一方を他方に対し大気中でＸＹθ方向へ相互に滑り移動させて位置合わせする無気泡整列工程と、
　前記無気泡整列工程で位置合わせされた前記電気光学パネル及び前記基板の前記対向面間に配置される前記液状接着剤を硬化させる硬化工程とを含むことを特徴とする表示パネルの製造方法。
　前記合着工程が、前記電気光学パネルと前記基板を複数組それぞれ互いに対向するように配置して同時に重ね合わせ、
　前記無気泡整列工程が、前記合着工程で重ね合わされた複数組の前記電気光学パネルと前記基板を順次位置合わせしたことを特徴とする請求項１記載の表示パネルの製造方法。
　電気光学パネルと、透光性を有し前記電気光学パネルから射出された光を視認側に射出する基板とを液状接着剤で貼り合わせる表示パネルの製造システムであって、
　真空チャンバーを有し、該真空チャンバー内で前記電気光学パネルと前記基板を保持して、それらの間に前記液状接着剤が挟まれるようにＺ方向へ重ね合わせる合着ユニットと、
　前記合着ユニットで重ね合わされた前記電気光学パネル及び前記基板を着脱自在に保持して、前記真空チャンバー内から大気中に搬送する搬送ユニットと、
　大気中に設けられ、前記搬送ユニットで搬送された前記電気光学パネル又は前記基板のいずれか一方を他方に対しＸＹθ方向へ相互移動して位置合わせする無気泡整列ユニットと、
　前記無気泡整列ユニットで位置合わせされた前記電気光学パネルと前記基板の対向面間に配置される前記液状接着剤を硬化させる硬化ユニットとを備え、
　前記搬送ユニットは、前記真空チャンバー内から重ね合わされた前記電気光学パネル及び前記基板を大気中の前記無気泡整列ユニットへ搬送してセットするまでの所定時間中に、前記電気光学パネルと前記基板の対向面に沿って前記液状接着剤が自然伸展して、該液状接着剤の層厚が前記対向面全体でＺ方向へ略均一になるようにしたことを特徴とする表示パネルの製造システム。
　前記合着ユニットが、前記真空チャンバー内で前記電気光学パネルと前記基板を複数組それぞれが互いに対向するように保持し、これら複数組の前記電気光学パネルと前記基板をそれぞれ接近移動させて同時に重ね合わせ、
　前記搬送ユニットが、前記合着ユニットで重ね合わされた複数組の前記電気光学パネル及び前記基板を、前記真空チャンバー内から前記無気泡整列ユニットへ搬送し、
　前記無気泡整列ユニットが、前記搬送ユニットで搬送された複数組の前記電気光学パネルと前記基板をそれぞれ着脱自在に保持して順次位置合わせしたことを特徴とする請求項１記載の表示パネルの製造システム。