WO2010060552A3 - Mikromechanischer aktuator mit elektrostatischem kamm-antrieb - Google Patents

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WO2010060552A3 PCT/EP2009/008160 EP2009008160W WO2010060552A3 WO 2010060552 A3 WO2010060552 A3 WO 2010060552A3 EP 2009008160 W EP2009008160 W EP 2009008160W WO 2010060552 A3 WO2010060552 A3 WO 2010060552A3
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen mikromechanischen Aktuator, insbesondere einen Mikrospiegelscanner, mit einer Aktuatoreinheit (1-3) in einem äußeren Rahmen (5), die über zwei Torsionselemente (4) in dem äußeren Rahmen (5) aufgehängt ist, und elektrostatischen Kippantrieben (14, 15) aus ineinander greifenden ersten und zweiten kammförmigen Elektroden (16, 17), die einen gegenseitigen Höhenversatz aufweisen. Die ersten Elektroden (17) sind starr mit dem äußeren Rahmen (5) und die zweiten Elektroden (16) jeweils über ein äußeres Verbindungselement (18) mit dem äußeren Rahmen (5) und über ein inneres Verbindungselement (12, 13) mit der Aktuatoreinheit (1-3) verbunden. Das innere Verbindungselement (12, 13) weist eine Feder auf, die sich parallel zur äußeren Kippachse erstreckt, jeweils in einem Bereich der Aktuatoreinheit mit dieser verbunden ist, der nahe an der äußeren Kippachse liegt, und so ausgebildet und angeordnet ist, dass sie in der vertikalen Richtung starr und quer zur vertikalen Richtung biegsam ist. Der vorgeschlagene mikromechanische Aktuator ermöglicht einen Einsatz in einem Mikrospiegelscanner bei nichtresonantem Antrieb der langsamen Achse mit Auslenkungen von > +/-7°, lateralen Spiegelgrößen mit Dimensionen von 1 mm und darüber und einer Resonanzfrequenz von > 1 kHz und lässt sich auch in flache Mobiltelefone integrieren.
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