WO2009122936A1 - 石英ガラスルツボとその製造方法 - Google Patents
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- the present invention solves the above-mentioned conventional problems, and even with a large crucible, an inner surface layer can be formed uniformly, and therefore a method for producing a quartz glass crucible with a lower bubble content in the inner surface layer. And the quartz glass crucible.
- the above synthetic quartz powder is used in which the average particle size of the synthetic quartz powder forming the surface side portion of the inner surface layer is 10 ⁇ m or less smaller than the average particle size of the synthetic quartz powder forming the inner portion of the crucible inner surface layer.
- the quartz glass crucible of Comparative Example 1 had a low bubble content of 0.05% or less in diameter of 0.05%, but the number of bubbles larger than 0.5 mm in diameter was as large as 30.
- the quartz glass crucible of Comparative Example 2 had as few as four bubbles larger than 0.5 mm in diameter, but had a high bubble content of 0.2% in diameter less than 0.5 mm.
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Abstract
Description
〔1〕シリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボの製造方法において、合成石英粉によって内面層を形成する際に、該内表面層の内側部分を形成する合成石英粉よりも小さい平均粒度の合成石英粉によって該内面層の表面側部分を形成することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
〔2〕ルツボ内面層の内側部分を形成する合成石英粉の平均粒径に対して、該内面層の表面側部分を形成する合成石英粉の平均粒径が10μm以上小さい合成石英粉を用いる上記[1]に記載する石英ガラスルツボの製造方法。
〔3〕ルツボ内面層の表面側部分を形成する合成石英粉として、粒径200μm以下のものを90%以上含む合成石英粉を用いる上記[1]または上記[2]に記載する石英ガラスルツボの製造方法。
〔4〕ルツボ内面層の内側部分を形成する合成石英粉の平均粒径が160μm以上であり、該内面層の表面側部分を形成する合成石英粉の平均粒径が150μm以下である上記[1]~上記[3]の何れかに記載する石英ガラスルツボの製造方法。
〔5〕上記[1]~上記[4]の何れかの方法によって製造された石英ガラスルツボであって、内表面から1mm以内の内面層において、直径0.5mmより大きい気泡が10個以下であり、直径0.5mm以下の気泡の含有率が0.1vol%以下であることを特徴とするシリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボ。
〔6〕 天然石英粉によって形成された石英ガラスからなる外層と、合成石英粉によって形成された石英ガラスからなる内面層とを備え、前記内面層は、第1の合成石英粉によって形成された該内面層の内側部分と、前記第1の合成石英粉よりも小さい平均粒度を有する第2の合成石英粉によって形成された該内面層の表面側部分を含み、内表面から1mm以内の前記内面層において、直径0.5mmより大きい気泡が10個以下であり直径0.5mm以下の気泡の含有率が0.1vol%以下であることを特徴とするシリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボ。
〔参考例1〕
平均粒径175μmの合成石英粉Aと平均粒径200μmの合成石英粉Bをおのおのルツボ内面層に使用して、口径32インチの石英ガラスルツボを上記回転モールド法により製造し、厚さ6mmの内面層に含まれる気泡を調べたところ、直径1mm以上の気泡の個数は、合成石英粉Aでは3.5個、合成石英粉Bでは6個であった。この結果に示すように、石英粉の平均粒径が大きいと、直径1mm以上の気泡数が多くなる傾向がある。
平均粒径128μmの合成石英粉Cと平均粒径200μmの合成石英粉Bをおのおのルツボ内面層に使用して、口径24インチの石英ガラスルツボを上記回転モールド法により製造し、厚さ6mmの内面層に含まれる直径0.5mm以下の気泡含有率を調べた。この結果を図2に示した。図2において、X軸はルツボのボトム中心からリム上端までの壁面に沿った距離(mm)であり、0~250mmの範囲はボトム部(底部)、250~350mmの範囲はコーナ部(湾曲部)、350~600mmの範囲は直胴部をそれぞれ示している。図2から明らかなように、ルツボコーナ部(湾曲部)において、合成石英粉Cの気泡含有率は合成石英粉Bの2倍程度であり、直径0.5mm以下の小さい気泡については、平均粒径の小さい合成石英粉Cの気泡含有率のほうが高い。すなわち、平均粒径が小さな石英粉をルツボの内面層の表面近傍のみならず内面層全体に使用すると、直径0.5mm以下の比較的小さな気泡の気泡含有率がルツボのコーナ部において非常に高くなる傾向がある。
口径32インチの石英ガラスルツボについて、ルツボ内面層の表面側部分(層厚0.5mm)を平均粒径128μmの合成石英粉によって形成し、内面層の内側部分(層厚5.5mm)を平均粒径175μmの合成石英粉によって形成した。内面層の外側は天然石英粉を用いて形成した。製造した石英ガラスルツボについて、内表面から1mmまでの層厚範囲に含まれる直径0.5mm以下の気泡の含有率を測定し、直径0.5mmより大きい気泡の個数を測定した。この結果を表1に示した。
口径32インチの石英ガラスルツボについて、ルツボ内面層の全体を平均粒径175μmの合成石英粉(層厚6.0mm)によって形成した。内面層の外側は天然石英粉を用いて形成した。製造した石英ガラスルツボについて、実施例1と同様の気泡含有率および気泡の個数を測定した。この結果を表1に示した。
口径32インチの石英ガラスルツボについて、ルツボ内面層の全体を平均粒径128μmの合成石英粉(層厚6.0mm)によって形成した。内面層の外側は天然石英粉を用いて形成した。製造した石英ガラスルツボについて、実施例1と同様の気泡含有率および気泡の個数を測定した。この結果を表1に示した。
Claims (6)
- シリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボの製造方法において、合成石英粉によって内面層を形成する際に、該内面層の内側部分を形成する第1の合成石英粉よりも小さい平均粒度を有する第2の合成石英粉によって該内面層の表面側部分を形成することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
- 前記第1の合成石英粉の平均粒径に対して、前記第2の合成石英粉の平均粒径が10μm以上小さい請求項1に記載する石英ガラスルツボの製造方法。
- 前記第2の合成石英粉は、粒径200μm以下のものを90%以上含む請求項1に記載する石英ガラスルツボの製造方法。
- 前記第1の合成石英粉の平均粒径が160μm以上であり、前記第2の合成石英粉の平均粒径が150μm以下である請求項1に記載する石英ガラスルツボの製造方法。
- 請求項1の方法によって製造された石英ガラスルツボであって、内表面から1mm以内の内面層において、直径0.5mmより大きい気泡が10個以下であり、直径0.5mm以下の気泡の含有率が0.1vol%以下であることを特徴とするシリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボ。
- 天然石英粉によって形成された石英ガラスからなる外層と、合成石英粉によって形成された石英ガラスからなる内面層とを備え、前記内面層は、第1の合成石英粉によって形成された該内面層の内側部分と、前記第1の合成石英粉よりも小さい平均粒度を有する第2の合成石英粉によって形成された該内面層の表面側部分を含み、内表面から1mm以内の前記内面層において、直径0.5mmより大きい気泡が10個以下であり、直径0.5mm以下の気泡の含有率が0.1vol%以下であることを特徴とするシリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010143818A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Heraeus Shin-Etsu America Inc | 純粋且つ無気泡のるつぼ内層を有するシリカるつぼ及びその製造方法 |
US20120137733A1 (en) * | 2010-12-02 | 2012-06-07 | Japan Super Quartz Corporation | Method and apparatus for manufacturing vitreous silica crucible |
WO2019009018A1 (ja) * | 2017-07-04 | 2019-01-10 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8713966B2 (en) * | 2011-11-30 | 2014-05-06 | Corning Incorporated | Refractory vessels and methods for forming same |
CN105378157B (zh) * | 2013-06-29 | 2018-02-06 | 胜高股份有限公司 | 氧化硅玻璃坩埚的基座装填方法 |
CN113510824B (zh) * | 2020-04-09 | 2022-07-05 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种复合石英坩埚的制备方法及复合石英坩埚 |
CN114481299A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-05-13 | 内蒙古鑫晶新材料有限公司 | 一种石英坩埚及其制作方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01148783A (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶引き上げ用石英ルツボ |
JPH0255285A (ja) | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Nippon Kojundo Sekiei Kk | 石英ルツボの製造方法 |
JPH07172978A (ja) * | 1993-12-17 | 1995-07-11 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラスルツボの製造方法 |
JPH1017391A (ja) | 1997-03-21 | 1998-01-20 | Mitsubishi Material Quartz Kk | 石英ルツボ製造装置 |
JPH1149597A (ja) * | 1997-08-01 | 1999-02-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼ |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2928089C3 (de) * | 1979-07-12 | 1982-03-04 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Verbundtiegel für halbleitertechnologische Zwecke und Verfahren zur Herstellung |
US4632686A (en) * | 1986-02-24 | 1986-12-30 | Gte Products Corporation | Method of manufacturing quartz glass crucibles with low bubble content |
JP3764776B2 (ja) * | 1996-03-18 | 2006-04-12 | 信越石英株式会社 | 単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼ及びその製造方法 |
JP4398527B2 (ja) * | 1998-05-25 | 2010-01-13 | 信越石英株式会社 | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼ |
DE19962449C2 (de) * | 1999-12-22 | 2003-09-25 | Heraeus Quarzglas | Quarzglastiegel und Verfahren für seine Herstellung |
JP4447738B2 (ja) * | 2000-05-31 | 2010-04-07 | 信越石英株式会社 | 多層構造の石英ガラスルツボの製造方法 |
JP4789437B2 (ja) * | 2004-07-16 | 2011-10-12 | 信越石英株式会社 | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスるつぼおよびその製造方法 |
KR100847500B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2008-07-22 | 코바렌트 마테리얼 가부시키가이샤 | 실리카 유리 도가니 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01148783A (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶引き上げ用石英ルツボ |
JPH0255285A (ja) | 1988-08-19 | 1990-02-23 | Nippon Kojundo Sekiei Kk | 石英ルツボの製造方法 |
JPH07172978A (ja) * | 1993-12-17 | 1995-07-11 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラスルツボの製造方法 |
JPH1017391A (ja) | 1997-03-21 | 1998-01-20 | Mitsubishi Material Quartz Kk | 石英ルツボ製造装置 |
JPH1149597A (ja) * | 1997-08-01 | 1999-02-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼ |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
See also references of EP2264226A4 * |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010143818A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Heraeus Shin-Etsu America Inc | 純粋且つ無気泡のるつぼ内層を有するシリカるつぼ及びその製造方法 |
JP2013212992A (ja) * | 2008-12-19 | 2013-10-17 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 純粋且つ無気泡のるつぼ内層を有するシリカるつぼの製造方法 |
JP2013234119A (ja) * | 2008-12-19 | 2013-11-21 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 純粋且つ無気泡のるつぼ内層を有するシリカるつぼの製造方法 |
JP2013237611A (ja) * | 2008-12-19 | 2013-11-28 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 純粋且つ無気泡のるつぼ内層を有するシリカるつぼ及びその製造方法 |
US20120137733A1 (en) * | 2010-12-02 | 2012-06-07 | Japan Super Quartz Corporation | Method and apparatus for manufacturing vitreous silica crucible |
US8769988B2 (en) * | 2010-12-02 | 2014-07-08 | Japan Super Quartz Corporation | Method and apparatus for manufacturing vitreous silica crucible |
WO2019009018A1 (ja) * | 2017-07-04 | 2019-01-10 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ |
KR20200015613A (ko) | 2017-07-04 | 2020-02-12 | 가부시키가이샤 사무코 | 석영 유리 도가니 |
JPWO2019009018A1 (ja) * | 2017-07-04 | 2020-06-18 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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