WO2009053380A1 - Lageranordnung mit vorgebbarer lagerungsatmosphäre - Google Patents

Lageranordnung mit vorgebbarer lagerungsatmosphäre Download PDF

Info

Publication number
WO2009053380A1
WO2009053380A1 PCT/EP2008/064266 EP2008064266W WO2009053380A1 WO 2009053380 A1 WO2009053380 A1 WO 2009053380A1 EP 2008064266 W EP2008064266 W EP 2008064266W WO 2009053380 A1 WO2009053380 A1 WO 2009053380A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
bearing arrangement
air
storage
arrangement according
load
Prior art date
Application number
PCT/EP2008/064266
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Harald Ellwanger
Original Assignee
Hänel & Co.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hänel & Co. filed Critical Hänel & Co.
Priority to CN200880112685A priority Critical patent/CN101836046A/zh
Priority to ES08840930T priority patent/ES2387178T3/es
Priority to EP08840930A priority patent/EP2201304B1/de
Priority to CA2702526A priority patent/CA2702526C/en
Priority to DK08840930.5T priority patent/DK2201304T3/da
Priority to US12/680,944 priority patent/US9206992B2/en
Priority to PL08840930T priority patent/PL2201304T3/pl
Publication of WO2009053380A1 publication Critical patent/WO2009053380A1/de
Priority to IL203948A priority patent/IL203948A/en

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means

Definitions

  • the present invention relates to a bearing arrangement with a predeterminable storage atmosphere, with a storage space for receiving a plurality of storage goods carriers for stored goods, which can be delivered by means of a transport device of a loading and unloading opening for storage and retrieval of the stored goods, and with a storage space associated Kon- Ditionier sensible, which sucks on the storage room provided suction and blowing air from the storage room, processed and blown back into the storage room.
  • Bearing arrangements of the type mentioned are used for the storage of stored goods, which is particularly sensitive to environmental conditions.
  • Examples of such storage goods are perishable items that must be stored, for example, cool or semiconductor products that are stored in unfinished form dust-proof.
  • DE 10 2004 014 937 A1 shows a bearing arrangement with a predetermined storage atmosphere in which air ducts are arranged on a storage space on two side walls. Between the air ducts and the storage room there is a partition which has openings of different sizes.
  • One of the channels is designed as supply air duct, the other as exhaust duct.
  • the channels are connected to a conditioning device arranged above the ceiling of the storage space such that the air from the exhaust air duct is processed by the conditioning device and then blown back into the storage space through the supply air duct and the openings in the dividing wall to the storage space.
  • JP 10-291607 A also shows a storage room in which, with the aid of conditioning devices, it is intended to ensure continuous ventilation with air having certain properties.
  • the storage room is for this purpose divided into storage areas, which have an open side to the outside of the storage room and supply air ducts and which are open to a center of the storage room. The conditioned air is blown into the storage room from the sides and sucked off again in the floor area in the middle of the storage room.
  • the storage space is traversed in the horizontal direction of air.
  • the present invention is based on the object to provide a Lageranord- tion of the type mentioned, which has an improved clean room suitability with a simple design.
  • the bearing assembly according to the invention has the advantage that due to the vertical air flow in the storage space, particles which have accumulated on horizontal surfaces are not or only to a very small extent due to the air flow Measurements are stirred up. This reduces the particle density of the air in the storage room, which leads to improved clean room properties.
  • the injection opening is arranged on a ceiling section and the suction opening is arranged on a floor section.
  • This has the advantage that particles, even if they are carried by the air flow, successively migrate downwards with gravity and thus collect on the ground or in the extracted air and so can be easily removed from the storage room. This causes a further improved clean room suitability of the bearing assembly.
  • the injection opening and / or the suction opening may be formed as a perforated plate. This is statically cheaper than to provide large openings and affects an air flow only negligible.
  • the suction opening is provided in the lower region of the side walls of the storage space.
  • the load-carriers are permeable to air. This contributes significantly to the fact that the vertical air flow can pass through the storage room unhindered.
  • the bottom of the load-carrier can have openings through which the air can flow.
  • the floors of the load carriers are designed as perforated plate. This ensures a good air permeability and high stability of the load-carriers.
  • the area of the openings forms at least 5% of the area of the floors of the load-carriers. This ensures that the air can flow sufficiently evenly vertically.
  • the conditioning device advantageously has a particle filter which is designed to clean the air. This makes it possible to clean the exhaust air extracted from the storage room of dusts and small particles, and to keep the air clean.
  • clean room conditions can be produced by means of the conditioning device in the storage space.
  • the conditioning device may have a heating element with which the air can be heated. This is necessary for stored goods that must be stored at a certain minimum temperature.
  • the conditioning device can have a cooling element with which the air can be cooled. This has the advantage that also stored goods can be stored, in which the storage temperature must not exceed a maximum value.
  • the humidity of the air can be controlled by means of the conditioning device.
  • the storage room has sensors connected to the conditioning device, with the aid of which the environmental conditions in the storage room can be regulated.
  • Soren can be provided a kind of air conditioning for the stored goods.
  • the conditioning unit may have a ventilation unit. Ventilation units with electrically driven motors are easy to use and efficient for air transport.
  • the bearing assembly may be formed as a circulation rack, wherein the transport device promotes the load-carrier circumferentially.
  • the bearing assembly may be designed as a vertical lift, wherein the transport device delivers or removes the load-carriers in the storage space provided storage bins.
  • FIG. 1 shows a cross section through a bearing assembly according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 shows a load-carrier for use in the bearing arrangement from FIG. 1;
  • Fig. 3 is a plan view of the storage room of Fig. 1;
  • FIG. 4 shows a side view of the bearing arrangement from FIG. 1 with an opening through the outer wall
  • Fig. 5 shows a bearing assembly according to a second embodiment of the present invention.
  • Fig. 6 is a plan view of a load-carrier for the bearing assembly of Fig. 5;
  • the first embodiment of the bearing arrangement 10 shown in FIG. 1 has a storage space 12 with side walls 12a, 12b.
  • a transport device 16 is provided, with the load-carrier 14 are transportable.
  • the storage space 12 is bounded by a ceiling section 12c and a bottom section 12d.
  • suction openings 18 are inserted into the side walls 12a, 12b of the storage room.
  • the ceiling section 12c has injection openings 20.
  • exhaust air ducts 22 are provided along the side walls 12a, 12b through which exhaust air 23 is guided.
  • a conditioning device 24 is placed on the outside of the ceiling portion 12c of the storage room 12.
  • the conditioning device 24 has a particle filter 26 and a ventilation unit 28 connected thereto.
  • air 38 is transported in the vertical direction.
  • the storage room 12 may have no ceiling section 12c and be open at the top.
  • the conditioning device 24 is arranged on the ceiling opening of the storage room 12.
  • the entire bearing arrangement 10 is surrounded by a housing 30, which seals the bearing arrangement 10 essentially airtight from the outside world and, together with the side walls 12a, 12b of the storage space 12, delimits the exhaust air shafts 22.
  • the transport device 16 is formed as a chain on which a plurality of load-carriers 14 are fastened so that they are paternoster-like circumferentially conveyed.
  • the load-carriers 14, as can be seen in FIG. 2, have a floor 34 on which storage goods 32 can be parked.
  • the bottom 34 of the load-carrier 14 openings 36 which are realized by using a perforated plate. Furthermore, the load-carrier 14 has no front or rear wall, which facilitates a flow around the load-carrier 14 by the air 38.
  • the load-carrier 14 has a support bar 48.
  • the support bracket 48 may additionally serve to attach the load-carrier 14 to the transport device 16.
  • the injection openings 20 as shown in Fig. 3 as a perforated plate with openings 20 a realized.
  • the openings 20a are provided only in the area in which air 38 is blown by the ventilation unit 28 in the storage room 12.
  • suction openings 18 are formed as perforated plates with openings 18a, as can be seen in FIG. Again, no openings 18a are formed in a stability-relevant area.
  • a loading and unloading opening 42 is provided, which has a storage table 44 and an operating bar 46. If storage goods 32 are removed from a storage goods carrier 14 or stored in such, the load-carrier 14 is in the loading and unloading opening 42 move and can be used by an operator.
  • the air 38 is transported in a circuit through the housing 30 and the storage room 12.
  • the ventilation unit 28 blows the air 38 through the particulate filter 26, which cleans the air 38 of dust and particles. Then, the air 38 flows through the injection openings 20 in the storage room 12 and flows through it in the vertical direction.
  • the transported air volume can be, for example, in the range around 1500 m 3 / h. Depending on the size of the storage room 12 and the degree of re-pollution of the air 38, the amount of air is adapted to the conditions.
  • the vertical flow is facilitated by the openings 36 in the bottoms of the load-carriers 14.
  • the openings 36 thus make it possible to achieve a uniform vertical flow in a large part of the storage space 12.
  • the air 38 As soon as the air 38 has reached the bottom section 12d, it is sucked out of the storage space 12 through the suction openings 18 by means of the negative pressure forming on the suction side of the ventilation unit 28 and returned to the ventilation unit 28 as exhaust air 23 through the exhaust duct 22.
  • clean room conditions can be established in the storage room 12.
  • an overpressure is set to prevent ingress of dirt particles.
  • the formation of clean room conditions is favored by the fact that the air flow does not agitate dust and particles but rather transports them to the ground in the direction of gravity.
  • all the effects on soluble dust and particles are directed toward the bottom portion 12d, resulting in efficient extraction of the dust and particles with the exhaust air 23 through the suction openings 18.
  • the bearing assembly 10 shown in the first embodiment is designed as a circulation rack. However, the effects presented are also usable in a vertical lift in an identical manner.
  • Fig. 5 shows a second embodiment, which is designed as a vertical lift.
  • a plurality of supports 52 are provided on the side walls 12a, 12b of the storage space 12 for receiving load-carriers 14, which can be moved by means of a transport device 16.
  • Such a load-carrier 14, which is shown in Fig. 6, has in its bottom 34 openings 36, which allow the vertical flow of air 38 in the storage room 12 pass. At the end faces, the bearing goods carriers 14 have guide steps 35 for guiding the load-carriers 14 on the supports 52.
  • the bearing arrangement 10 can be equipped with additional units in addition to a ventilation unit 28 and a particle filter 26.
  • an air conditioning device 50 is provided, by means of which the temperature in the storage space 12 can be controlled or regulated.
  • the air conditioning device 50 is arranged in the region of the exhaust air 22 in order to minimize the effect of dust and particle emissions as possible.
  • Such units can be integrated into the exhaust duct 22 to ensure that all exhaust air 23 is conditioned by the units.
  • conditioning device 24 and the air-conditioning device 50 and other units separately from the bearing arrangement 10 and to connect them to the exhaust ducts 22 and the injection openings 20 using suitable air-guiding devices, for example hoses.
  • the openings 18a, 20a, 36 may have any shape, in particular circular oval or rectangular.
  • the bearing arrangement 10 improves the clean room capability of a storage space 12 compared with the prior art by virtue of its vertical air guidance, which directs dust and particles to a suction opening 18 in a targeted manner.
  • Air conditioning system a Sidewall b Sidewall c Ceiling section d Floor section
  • Injection openings a opening

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Lageranordnung (10) mit einer vorgebbaren Lagerungsatmosphäre, mit einem Lagerraum (12) zur Aufnahme einer Vielzahl von Lagergutträgern (14) für Lagergut (32), die mittels einer Transporteinrichtung (16) einer Beschickungs- und Entnahmeöffnung (42) zur Ein- und Auslagerung des Lagerguts (32) zustellbar sind, und mit einer dem Lagerraum (12) zugeordneten Konditioniereinrichtung (24), die über am Lagerraum (12) vorgesehene Absaug- und Einblasöffnungen (18, 20) Luft aus dem Lagerraum (12) absaugt, aufbereitet und wieder in den Lagerraum (12) einbläst. Die Absaug- und Einblasöffnungen (18, 20) sind so angeordnet, dass die Luft den Lagerraum (12) in Vertikalrichtung durchströmt.

Description

Lageranordnung mit vorgebbarer Lagerungsatmosphäre
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Lageranordnung mit einer vorgebbaren Lagerungsatmosphäre, mit einem Lagerraum zur Aufnahme einer Vielzahl von Lagergutträgern für Lagergut, die mittels einer Transporteinrichtung einer Beschickungs- und Entnahmeöffnung zur Ein- und Auslagerung des Lagerguts zustellbar sind, und mit einer dem Lagerraum zugeordneten Kon- ditioniereinrichtung, die über am Lagerraum vorgesehene Absaug- und Einblasöffnungen Luft aus dem Lagerraum absaugt, aufbereitet und wieder in den Lagerraum einbläst.
Lageranordnungen der eingangs genannten Art werden zur Lagerung von Lagergut verwendet, das auf Umgebungsbedingungen besonders sensibel reagiert. Beispiele für derartiges Lagergut sind verderbliche Gegenstände, die beispielsweise kühl gelagert werden müssen oder Halbleiterprodukte, die in unfertiger Form staubgeschützt zu lagern sind.
Lageranordnungen für diesen Zweck sind aus dem Stand der Technik bekannt.
So zeigt die DE 10 2004 014 937 A1 eine Lageranordnung mit vorgegebener Lagerungsatmosphäre, bei der an einem Lagerraum an zwei Seitenwänden Luftkanäle angeordnet sind. Zwischen den Luftkanälen und dem Lagerraum befindet sich eine Trennwand, die Öffnungen verschiedener Größe aufweist. Einer der Kanäle ist als Zuluftkanal, der andere als Abluftkanal ausgebildet. Die Kanäle sind so mit einer über der Decke des Lagerraums angeordneten Konditioniereinrichtung verbunden, dass die Luft aus dem Abluftkanal von der Konditioniereinrichtung aufbereitet und dann durch den Zuluftkanal und die Öffnungen in der Trennwand zu dem Lagerraum wieder in den Lager- räum eingeblasen wird.
Die JP 10-291607 A zeigt ebenfalls einen Lagerraum, in dem mit Hilfe von Konditioniereinrichtungen eine kontinuierliche Belüftung mit Luft, die bestimmte Eigenschaften aufweist, gewährleisten soll. Der Lagerraum ist dazu in Abstellflächen unterteilt, die eine offene Seite zur Außenseite des Lagerraums und zu Zuluftkanälen aufweisen und die zu einer Mitte des Lagerraums hin offen sind. Die konditionierte Luft wird von den Seiten in den Lagerraum eingeblasen und im Bodenbereich in der Mitte des Lagerraums wieder abgesaugt.
Bei den vorstehend genannten Lageranordnungen wird der Lagerraum in Horizontalrichtung von Luft durchströmt.
Die vorliegende Erfindung geht auf die Aufgabe zurück, eine Lageranord- nung der eingangs genannten Art zu schaffen, die bei einfacher Konstruktion eine verbesserte Reinraumtauglichkeit aufweist.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird bei einer Lageranordnung der eingangs genannten Art vorgeschlagen, dass die Absaug- und Einblasöffnungen so angeordnet sind, dass die Luft den Lagerraum in Vertikalrichtung durchströmt.
Die erfindungsgemäße Lageranordnung weist den Vorteil auf, dass durch die vertikale Luftführung im Lagerraum Partikel, die sich auf horizontalen Flä- chen angelagert haben, durch den Luftstrom nicht oder nur in sehr geringem Maße aufgewirbelt werden. Dadurch verringert sich die Partikeldichte der Luft in dem Lagerraum, was zu verbesserten Reinraumeigenschaften führt.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteran- sprüche.
Vorteilhaft ist die Einblasöffnung an einem Deckenabschnitt angeordnet und die Absaugöffnung an einem Bodenabschnitt angeordnet. Dies hat den Vorteil, dass Partikel, selbst wenn sie von dem Luftstrom mitgetragen werden, sukzessive mit der Schwerkraft nach unten wandern und sich somit am Boden beziehungsweise in der abgesaugten Luft sammeln und so leichter aus dem Lagerraum entfernt werden können. Dies bewirkt eine weiter verbesserte Reinraumtauglichkeit der Lageranordnung.
Die Einblasöffnung und/oder die Absaugöffnung können als Lochblech ausgebildet sein. Dies ist statisch günstiger als große Öffnungen vorzusehen und beeinträchtigt einen Luftstrom nur unerheblich.
Vorteilhaft ist die Absaugöffnung im unteren Bereich der Seitenwände des Lagerraums vorgesehen. Dadurch können Unterbauten, die ein unter dem Lagerraum angeordneter Absaugkanal mit sich bringen würde, vermieden werden und so der Lagerraum einfacher an einem vorhandenen Untergrund abgestützt werden.
Vorteilhaft sind die Lagergutträger luftdurchlässig ausgebildet. Dies trägt wesentlich dazu bei, dass der vertikale Luftstrom den Lagerraum ungehindert passieren kann.
Der Boden der Lagergutträger kann dazu Öffnungen aufweisen, durch die die Luft strömen kann. Vorteilhaft sind die Böden der Lagergutträger als Lochblech ausgeführt. Dies gewährleistet eine gute Luftdurchlässigkeit bei gleichzeitig hoher Stabilität der Lagergutträger.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung bildet die Fläche der Öffnungen wenigstens 5 % der Fläche der Böden der Lagergutträger. Die stellt sicher, dass die Luft ausreichend gleichmäßig vertikal strömen kann.
Die Konditioniereinrichtung weist vorteilhaft einen Partikelfilter auf, der zur Reinigung der Luft ausgebildet ist. Dadurch ist es möglich, die aus dem Lagerraum abgesaugte Abluft von Stäuben und kleinen Partikeln zu reinigen, und die Luft sauber zu halten.
In vorteilhafter Ausführung sind mittels der Konditioniereinrichtung in dem Lagerraum Reinraumbedingungen herstellbar.
Die Konditioniereinrichtung kann ein Heizelement aufweisen, mit dem die Luft erwärmbar ist. Dies ist notwendig für Lagergut, das bei einer bestimmten Mindesttemperatur zu lagern ist.
Weiter kann die Konditioniereinrichtung ein Kühlelement aufweisen, mit dem die Luft kühlbar ist. Dies hat den Vorteil, dass auch Lagergut eingelagert werden kann, bei dem die Lagertemperatur einen Höchstwert nicht überschreiten darf.
Die Feuchte der Luft kann mittels der Konditioniereinrichtung steuerbar sein.
In vorteilhafter Ausgestaltung weist der Lagerraum mit der Konditioniereinrichtung verbundene Sensoren auf, mit deren Hilfe die Umweltbedingungen in dem Lagerraum regelbar sind. Durch die Ausstattung mit derartigen Sen- soren kann eine Art Klimaanlage für das eingelagerte Lagergut bereitgestellt werden.
Zur Umwälzung der Luft kann die Konditionierungseinheit eine Ventilations- einheit aufweisen. Ventilationseinheiten mit elektrisch angetriebenen Motoren sind einfach zu verwenden und zum Lufttransport effizient einsetzbar.
Die Lageranordnung kann als Umlaufregal ausgebildet sein, wobei die Transporteinrichtung die Lagergutträger umlaufend fördert.
Weiterhin kann die Lageranordnung als Vertikallift ausgebildet sein, wobei die Transporteinrichtung die Lagergutträger in dem Lagerraum vorgesehenen Lagerplätzen zustellt oder entnimmt.
Im Weiteren wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher beschrieben, die schematisch in den beigefügten Zeichnungen dargestellt sind. Es zeigen:
Fig. 1 einen Querschnitt durch eine Lageranordnung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 einen Lagergutträger zur Verwendung in der Lageranordnung aus Fig. 1 ;
Fig. 3 eine Draufsicht auf den Lagerraum aus Fig. 1 ;
Fig. 4 eine Seitenansicht auf die Lageranordnung aus Fig. 1 mit ei- nem Durchbruch durch die Außenwand;
Fig. 5 eine Lageranordnung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Fig. 6 eine Draufsicht auf einen Lagergutträger für die Lageranordnung aus Fig. 5; Die in Fig. 1 gezeigte erste Ausführungsform der Lageranordnung 10 weist einen Lagerraum 12 mit Seitenwänden 12a, 12b auf. In dem Lagerraum ist eine Transporteinrichtung 16 vorgesehen, mit der Lagergutträger 14 transportierbar sind. Der Lagerraum 12 wird durch einen Deckenabschnitt 12c und einen Bodenabschnitt 12d begrenzt.
In der Nähe des Bodenabschnitts 12d sind in die Seitenwände 12a, 12b des Lagerraums 12 Absaugöffnungen 18 eingebracht. Der Deckenabschnitt 12c weist Einblasöffnungen 20 auf.
Außerhalb des Lagerraums 12 sind entlang der Seitenwände 12a, 12b Abluftschächte 22 vorgesehen, durch die Abluft 23 geführt wird.
Auf die Einblasöffnungen 20 ist an der Außenseite des Deckenabschnitts 12c des Lagerraums 12 eine Konditioniereinrichtung 24 aufgesetzt. Die Konditio- niereinrichtung 24 weist einen Partikelfilter 26 und eine daran angeschlossene Ventilationseinheit 28 auf. Bei eingeschalteter Ventilationseinheit 28 wird Luft 38 in vertikaler Richtung transportiert.
Alternativ kann der Lagerraum 12 keinen Deckenabschnitt 12c aufweisen und nach oben offen sein. In diesem Fall ist die Konditionierungseinrichtung 24 an der Deckenöffnung des Lagerraums 12 angeordnet.
Die gesamte Lageranordnung 10 ist von einem Gehäuse 30 umgeben, wel- ches die Lageranordnung 10 im Wesentlichen luftdicht von der Außenwelt abschließt und zusammen mit den Seitenwänden 12a, 12b des Lagerraums 12 die Abluftschächte 22 begrenzt.
Die Transporteinrichtung 16 ist als Kette ausgebildet, an der eine Vielzahl von Lagergutträgern 14 so befestigt ist, dass sie paternosterartig umlaufend förderbar sind. Die Lagergutträger 14 weisen, wie in Fig. 2 zu sehen ist, einen Boden 34 auf, auf dem Lagergut 32 abstellbar ist.
Um eine bessere Durchströmung der Lagergutträger 12 mit Luft 38 zu erlauben, weist der Boden 34 der Lagergutträger 14 Öffnungen 36 auf, die durch Verwendung eines Lochblechs realisiert werden. Des Weiteren weist der Lagergutträger 14 keine Vorder- oder Rückwand auf, was ein Umströmen des Lagergutträgers 14 durch die Luft 38 erleichtert.
Damit die Öffnungen 36 die Stabilität des Lagergutträgers 14 nicht beeinträchtigen sind bei dem Lagergutträger 14 Verstärkungselemente 40 vorgesehen, die ein Durchbiegen des Bodens 34 des Lagergutträgers 14 verhindern. Zur weiteren Stabilisierung weist der Lagergutträger 14 einen Stützbü- gel 48 auf. Der Stützbügel 48 kann zusätzlich der Anbringung des Lagergutträgers 14 an der Transporteinrichtung 16 dienen.
Um die Stabilität der Lageranordnung möglichst wenig zu beeinträchtigen sind die Einblasöffnungen 20 wie in Fig. 3 gezeigt als Lochblech mit Öffnun- gen 20a realisiert. Die Öffnungen 20a sind dabei nur in dem Bereich vorgesehen, in dem Luft 38 von der Ventilationseinheit 28 in den Lagerraum 12 eingeblasen wird.
Aus demselben Grund sind die Absaugöffnungen 18 als Lochbleche mit Öff- nungen 18a ausgebildet, wie in Fig. 4 zu sehen ist. Auch hier sind in einem stabilitätsrelevanten Bereich keine Öffnungen 18a ausgebildet.
Zur Entnahme und Einlagerung von Lagergut 32 ist eine Beschickungs- und Entnahmeöffnung 42 vorgesehen, die einen Ablagetisch 44 und eine Bedien- leiste 46 aufweist. Soll Lagergut 32 aus einem Lagergutträger 14 entnommen oder in einen solchen eingelagert werden, so wird der Lagergutträger 14 in die Beschickungs- und Entnahmeöffnung 42 verfahren und kann von einem Bediener benutzt werden.
Um den Lagerraum 12 zu belüften und darin eine staub- und partikelarme Atmosphäre zu schaffen, wird die Luft 38 in einem Kreislauf durch das Gehäuse 30 und den Lagerraum 12 transportiert.
Die Ventilationseinheit 28 bläst die Luft 38 durch den Partikelfilter 26, der die Luft 38 von Staub und Partikeln reinigt. Sodann strömt die Luft 38 durch die Einblasöffnungen 20 in den Lagerraum 12 und durchströmt diesen in vertikaler Richtung. Die transportierte Luftmenge kann dabei beispielsweise im Bereich um 1500 m3/h liegen. Je nach Größe des Lagerraums 12 und dem Neuverschmutzungsgrad der Luft 38 ist die Luftmenge den Verhältnissen anzupassen.
Die vertikale Strömung wird von den Öffnungen 36 in den Böden der Lagergutträger 14 erleichtert. Die Öffnungen 36 ermöglichen es somit, in einem Großteil des Lagerraums 12 eine gleichmäßige vertikale Strömung zu erreichen.
Sobald die Luft 38 an dem Bodenabschnitt 12d angelangt ist, wird sie durch die Absaugöffnungen 18 mittels des sich auf der Ansaugseite der Ventilationseinheit 28 ausbildenden Unterdrucks aus dem Lagerraum 12 herausgesaugt und als Abluft 23 durch den Abluftschacht 22 wieder der Ventilations- einheit 28 zugeführt.
Durch diesen Luftkreislauf, in dem die Luft 38 bei jedem Durchlauf von Partikeln gereinigt wird, können in dem Lagerraum 12 Reinraumbedingungen hergestellt werden. In dem Lagerraum 12 wird ein Überdruck eingestellt, um ein Eindringen von Schmutzpartikeln zu verhindern. Insbesondere wird die Ausbildung von Reinraumbedingungen dadurch begünstigt, dass die Luftströmung Staub und Partikel nicht aufwirbelt, sondern in Richtung der Schwerkraft auf den Boden zu transportiert. Somit sind sämtliche Einwirkungen auf lösbaren Staub und Partikel auf den Bodenab- schnitt 12d zu gerichtet, was zu einem effizienten Absaugen des Staubs und der Partikel mit der Abluft 23 durch die Absaugöffnungen 18 führt.
Die in dem ersten Ausführungsbeispiel gezeigte Lageranordnung 10 ist als Umlaufregal ausgebildet. Die dargelegten Effekte sind jedoch ebenfalls in einem Vertikallift auf identische Art und Weise nutzbar.
Fig. 5 zeigt eine zweite Ausführungsform, die als Vertikallift ausgebildet ist. Hierbei sind an den Seitenwänden 12a, 12b des Lagerraums 12 eine Vielzahl von Stützen 52 zur Aufnahme von Lagergutträgern 14 vorgesehen, die mit- tels einer Transporteinrichtung 16 verfahrbar sind.
Auch ein solcher Lagergutträger 14, der in Fig. 6 dargestellt ist, weist in seinem Boden 34 Öffnungen 36 auf, die die vertikale Strömung der Luft 38 in dem Lagerraum 12 passieren lassen. An den Stirnflächen haben die Lager- gutträger 14 Führungsstufen 35 zur Führung der Lagergutträger 14 an den Stützen 52.
Die Lageranordnung 10 kann außer mit einer Ventilationseinheit 28 und einem Partikelfilter 26 zusätzlich mit weiteren Aggregaten ausgestattet sein.
Bei der in Fig. 5 gezeigten zweiten Ausführungsform der Lageranordnung 10 ist eine Klimatisierungseinrichtung 50 vorgesehen, mittels derer die Temperatur in dem Lagerraum 12 Steuer- beziehungsweise regelbar ist. Die Klimatisierungseinrichtung 50 ist im Bereich der Abluft 22 angeordnet, um den Effekt von Staub- und Partikeleinstreuungen so gering wie möglich zu halten.
Weitere Aggregate, wie beispielsweise Luftbefeuchter, Lufttrockner oder Einrichtungen zur Ausbildung einer Schutzatmosphäre sind selbstverständlich ebenfalls in der Lageranordnung 10 verwendbar.
Solche Aggregate können in den Abluftschacht 22 integriert werden um si- cherzustellen, dass sämtliche Abluft 23 von den Aggregaten konditioniert wird.
Ebenso ist es möglich, die Konditioniereinrichtung 24 und die Klimatisierungseinrichtung 50 sowie weitere Aggregate separat von der Lageranord- nung 10 aufzubauen und mit geeigneten Luftführungseinrichtungen, beispielsweise Schläuchen, mit den Abluftschächten 22 und den Einblasöffnungen 20 zu verbinden.
Sowohl bei dem Umlaufregal als auch bei dem Vertikallift sind die Aggregate, Konditionierungs- und Klimatisierungseinrichtungen frei kombinierbar.
Die Öffnungen 18a, 20a, 36 können jede beliebige Form aufweisen, insbesondere kreis- oval- oder rechteckförmig ausgebildet sein.
Die erfindungsgemäße Lageranordnung 10 verbessert die Reinraumfähigkeit eines Lagerraums 12 gegenüber dem Stand der Technik durch ihre vertikale Luftführung, die Staub und Partikel gezielt zu einer Absaugöffnung 18 lenkt. Bezugszeichenliste
Lageranordnung 48 Stützbügel
Lagerraum 50 Klimatisierungseinrichtunga Seitenwand b Seitenwand c Deckenabschnitt d Bodenabschnitt
Lagergutträger
Stütze
Absaugöffnung a Öffnung
Einblasöffnungen a Öffnung
Abluftschacht
Abluft
Konditioniereinrichtung
Partikelfilter
Ventilationseinheit
Gehäuse
Lagergut
Boden
Führungsstufe
Öffnung
Luft
Verstärkungselement
Beschickungs- und Entnahmeöffnung
Ablagetisch
Bedienleiste

Claims

Patentansprüche
1. Lageranordnung (10) mit einer vorgebbaren Lagerungsatmosphäre, mit einem Lagerraum (12) zur Aufnahme einer Vielzahl von Lagergutträgern (14) für Lagergut (32), die mittels einer Transporteinrichtung (16) einer Beschickungs- und Entnahmeöffnung (42) zur Ein- und Auslagerung des Lagerguts (32) zustellbar sind, und mit einer dem
Lagerraum (12) zugeordneten Konditioniereinrichtung (24), die über am Lagerraum (12) vorgesehene Absaug- und Einblasöffnungen (18, 20) Luft aus dem Lagerraum (12) absaugt, aufbereitet und wieder in den Lagerraum (12) einbläst, dadurch gekennzeichnet, dass die Ab- saug-und Einblasöffnungen (18, 20) so angeordnet sind, dass die Luft den Lagerraum (12) in Vertikalrichtung durchströmt.
2. Lageranordnung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Einblasöffnung (20) in oder an einem Deckenabschnitt (12c) an- geordnet ist und die Absaugöffnung (18) in oder an einem Bodenabschnitt (12d) angeordnet ist.
3. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einblasöffnung (20) und/oder die Absaugöffnung (18) als Lochblech ausgebildet sind.
4. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Absaugöffnung (18) im unteren Bereich von Seitenwänden (12a, 12b) des Lagerraums (12) vorgesehen ist.
5. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Lagergutträger (14) luftdurchlässig ausgebildet sind.
6. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Boden (34) der Lagergutträger (14) Öffnungen (36) aufweist, durch die die Luft strömen kann.
7. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, da- durch gekennzeichnet, dass der Boden (34) der Lagergutträger (14) als Lochblech ausgeführt ist.
8. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Fläche der Öffnungen (36) wenigs- tens 5% der Fläche des Bodens (36) der Lagergutträger (14) bildet.
9. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Konditioniereinrichtung (24) einen Partikelfilter (26) zur Reinigung der Luft aufweist.
10. Lageranordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass mittels der Konditioniereinrichtung (24) in dem Lagerraum (12) Reinraumbedingungen herstellbar sind.
11. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Konditioniereinrichtung (24) ein Heizelement aufweist, mit dem die Luft erwärmbar ist.
12. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, da- durch gekennzeichnet, dass die Konditioniereinrichtung (24) ein Kühlelement aufweist, mit dem die Luft kühlbar ist.
13. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Feuchte der Luft mittels der Konditi- onierungseinrichtung (24) steuerbar ist.
14. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Lagerraum (12) mit der Konditionie- rungseinrichtung (24) verbundene Sensoren aufweist, mit deren Hilfe die Umweltbedingungen in dem Lagerraum (12) regelbar sind.
15. Lageranordnung nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Konditionierungseinheit (24) eine Ventilationseinheit (28) zur Umwälzung der Luft aufweist.
16. Lageranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Lageranordnung (10) als Umlaufregal ausgebildet ist, wobei die Transporteinrichtung (16) die Lagergutträger (14) umlaufend fördert.
17. Lageranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Lageranordnung (10) als Vertilkallift ausgebildet ist, wobei die Transporteinrichtung (16) die Lagergutträger (14) in dem Lagerraum (12) vorgesehen Lagerplätzen zustellt oder entnimmt.
PCT/EP2008/064266 2007-10-25 2008-10-22 Lageranordnung mit vorgebbarer lagerungsatmosphäre WO2009053380A1 (de)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200880112685A CN101836046A (zh) 2007-10-25 2008-10-22 具有预定贮藏气氛的贮藏设备
ES08840930T ES2387178T3 (es) 2007-10-25 2008-10-22 Disposición de almacenamiento con una atmósfera de almacenamiento prefijable
EP08840930A EP2201304B1 (de) 2007-10-25 2008-10-22 Lageranordnung mit vorgebbarer lagerungsatmosphäre
CA2702526A CA2702526C (en) 2007-10-25 2008-10-22 Storage configuration with predeterminable storage atmosphere
DK08840930.5T DK2201304T3 (da) 2007-10-25 2008-10-22 Lageranordning med opbevaringsatmosfære, der kan bestemmes på forhånd
US12/680,944 US9206992B2 (en) 2007-10-25 2008-10-22 Storage configuration with predeterminable storage atmosphere
PL08840930T PL2201304T3 (pl) 2007-10-25 2008-10-22 Układ magazynowy z utrzymaniem atmosfery składowania
IL203948A IL203948A (en) 2007-10-25 2010-02-14 Storage form with a preset storage atmosphere

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007051726A DE102007051726A1 (de) 2007-10-25 2007-10-25 Lageranordnung mit vorgebbarer Lagerungsatmosphäre
DE102007051726.4 2007-10-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2009053380A1 true WO2009053380A1 (de) 2009-04-30

Family

ID=40319648

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2008/064266 WO2009053380A1 (de) 2007-10-25 2008-10-22 Lageranordnung mit vorgebbarer lagerungsatmosphäre

Country Status (10)

Country Link
US (1) US9206992B2 (de)
EP (1) EP2201304B1 (de)
CN (1) CN101836046A (de)
CA (1) CA2702526C (de)
DE (1) DE102007051726A1 (de)
DK (1) DK2201304T3 (de)
ES (1) ES2387178T3 (de)
IL (1) IL203948A (de)
PL (1) PL2201304T3 (de)
WO (1) WO2009053380A1 (de)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013071816A (ja) * 2011-09-28 2013-04-22 Lapis Semiconductor Co Ltd 棚、棚板および塵埃の捕捉方法
KR102127716B1 (ko) * 2018-05-25 2020-06-29 에스케이실트론 주식회사 웨이퍼 카세트 스토커 및 그를 이용한 웨이퍼 카세트의 건조 방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994017336A1 (en) * 1993-01-28 1994-08-04 Intelligent Enclosures Corporation Environmental control system
US5997398A (en) * 1995-12-01 1999-12-07 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor wafer storage apparatus and semiconductor device fabricating apparatus using said apparatus
JP2000264405A (ja) * 1999-03-19 2000-09-26 Fujitsu Ltd 搬送装置
US20030050005A1 (en) * 2001-09-10 2003-03-13 Daifuku Co., Ltd. Article storage system for a clean room
DE102005050010A1 (de) * 2005-10-11 2007-04-12 M + W Zander Facility Engineering Gmbh Lager für in einem Reinraum zu behandelnde Produkte, vorzugsweise Glasscheiben für Flüssigkristallbildschirme , sowie Verfahren zur Reinhaltung von Produkten in einem solchen Lager

Family Cites Families (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3134243A (en) * 1960-09-06 1964-05-26 Dual Jet Refrigeration Company Refrigerated display case
US3087648A (en) * 1962-01-08 1963-04-30 Ray M Cope Carton vending machines and the like
US3546893A (en) * 1968-10-23 1970-12-15 Frigidome Corp Control system for storage apparatus
US3648662A (en) * 1969-10-16 1972-03-14 K & K Mfg Inc Ventilating system for livestock feeders
DE2124867B2 (de) * 1971-05-19 1976-07-29 Mittelhäuser + Walter, 2000 Hamburg Vorrichtung zum raeuchern, trocknen und klimatisieren von nahrungsmitteln
US3835760A (en) * 1973-04-09 1974-09-17 Savory Equipment Inc Apparatus for toasting bread-like articles
US4003728A (en) * 1974-10-09 1977-01-18 Eric Rath Method and apparatus for controlling the storage condition of perishable commodities in long-distance transport vehicles
US4117698A (en) * 1977-06-29 1978-10-03 Kysor Industrial Corporation Refrigerated display
JPS6052779B2 (ja) * 1978-11-27 1985-11-21 三菱瓦斯化学株式会社 穀類の貯蔵装置
USRE32113E (en) * 1979-07-17 1986-04-15 Thoren Caging Systems, Inc. Air conditioned laboratory rack for animal cages
US4369632A (en) * 1979-12-07 1983-01-25 Tyler Refrigeration Corporation Refrigerated merchandiser display case
DE3019938C2 (de) * 1980-05-24 1984-08-09 Gebrueder Ruch Gmbh & Co Kg, 7602 Oberkirch Behälter für Lebensmittel
JPS62104049A (ja) * 1985-10-30 1987-05-14 Mitsubishi Electric Corp ベ−キング炉装置
US4701096A (en) * 1986-03-05 1987-10-20 Btu Engineering Corporation Wafer handling station
US4666477A (en) * 1986-04-22 1987-05-19 Weber Technical Products, Division Of Craig Systems Corporation Adjustable damper for clean room systems
GB2199022B (en) * 1986-11-20 1991-01-02 Shimizu Construction Co Ltd Dust tight storage cabinet apparatus for use in clean rooms
US4880581A (en) * 1986-12-24 1989-11-14 Alcon Laboratories, Inc. Means and method for aseptic particle-free production of articles
JPS63248449A (ja) * 1987-04-03 1988-10-14 Tadahiro Omi ドラフトチヤンバ
US4927438A (en) * 1987-12-01 1990-05-22 Varian Associates, Inc. Horizontal laminar air flow work station
US5064337A (en) * 1988-07-19 1991-11-12 Tokyo Electron Limited Handling apparatus for transferring carriers and a method of transferring carriers
US5009080A (en) * 1989-02-16 1991-04-23 Sanyo Electric Co., Ltd. Low-temperature show case
EP0552756A1 (de) * 1992-01-21 1993-07-28 Shinko Electric Co. Ltd. Artikel-Lager in Reinraum
KR970006728B1 (ko) * 1992-08-31 1997-04-29 마쯔시다 덴기 산교 가부시끼가이샤 환경제어장치
US5291746A (en) * 1993-03-10 1994-03-08 Abbott Derwood C Container for storage, collection and transportation of medical waste
US5527390A (en) * 1993-03-19 1996-06-18 Tokyo Electron Kabushiki Treatment system including a plurality of treatment apparatus
KR100221983B1 (ko) * 1993-04-13 1999-09-15 히가시 데쓰로 처리장치
JP3163884B2 (ja) * 1994-02-18 2001-05-08 株式会社ダイフク 荷保管設備
DE19544328B4 (de) * 1994-11-29 2014-03-20 Ebara Corp. Poliervorrichtung
KR0162411B1 (ko) * 1995-10-13 1999-02-18 구자홍 냉장고
KR0159699B1 (ko) * 1996-06-12 1999-01-15 김광호 냉장고
US5827118A (en) * 1996-08-28 1998-10-27 Seh America, Inc. Clean storage unit air flow system
TW353777B (en) * 1996-11-08 1999-03-01 Tokyo Electron Ltd Treatment device
US6059196A (en) * 1996-11-11 2000-05-09 Kongo Co., Ltd. Storage system with ambience conditioning facilities
US6540466B2 (en) * 1996-12-11 2003-04-01 Applied Materials, Inc. Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers
JPH10291607A (ja) 1997-04-21 1998-11-04 Toyota Autom Loom Works Ltd 荷保管装置
US5944602A (en) * 1997-09-09 1999-08-31 Tumi Manufacturing, Inc. Portable cleanroom cabinet assembly
JP4543440B2 (ja) * 1997-12-22 2010-09-15 株式会社エクォス・リサーチ 水直噴型燃料電池システム
FI108609B (fi) * 1998-04-23 2002-02-28 Halton Oy Kylmätiskiin liittyvä ilmankiertojärjestelmä ja menetelmä ilmanvaihdossa kylmätiskillä/kylmätiskeillä varustetussa huone- tai hallitilassa tai hallitilan kylmäosastossa
US6634370B2 (en) * 2000-05-08 2003-10-21 Tokyo Electron Limited Liquid treatment system and liquid treatment method
KR100745867B1 (ko) * 2000-08-23 2007-08-02 동경 엘렉트론 주식회사 수직열처리장치 및 피처리체를 운송하는 방법
JP4483072B2 (ja) * 2000-11-20 2010-06-16 株式会社竹中工務店 データセンタ
JP3939101B2 (ja) * 2000-12-04 2007-07-04 株式会社荏原製作所 基板搬送方法および基板搬送容器
US6405644B1 (en) * 2001-10-10 2002-06-18 Robert J. Windecker Environmentally controlled storage and ripening apparatus
JP3992480B2 (ja) * 2001-11-12 2007-10-17 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および基板処理方法ならびに基板処理システム
US6431060B1 (en) * 2002-02-01 2002-08-13 Carrier Corporation Container for cooling perishable goods
WO2004079281A2 (en) * 2003-01-14 2004-09-16 Hcr Incorporated Conditioned vestibule for a cold storage doorway
JPWO2005001350A1 (ja) * 2003-06-27 2006-08-10 Gac株式会社 収納装置
DE20311833U1 (de) * 2003-08-05 2003-10-16 Aldi Gmbh & Co Kg Warentransportbehälter
DE102004014937A1 (de) 2004-03-26 2005-10-20 Asys Prozess Und Reinraumtechn Lageranordnung mit vorgegebener Lagerungs-Atmosphäre
DE102004042061B4 (de) * 2004-08-26 2008-08-14 Hänel GmbH & Co KG Lagerregal
DE102004043225A1 (de) * 2004-09-04 2006-03-09 Grünewald, Falco Umlaufregal (Paternosterregal) mit eingehängten Materialbehältern für Schüttgüter oder flüssige Stoffe mit inliegendem Rührwerk und Dosierschieber zum lagern, dosieren und verwiegen
KR100661366B1 (ko) * 2004-11-05 2006-12-27 삼성전자주식회사 냉장고
WO2006121255A2 (en) * 2005-05-09 2006-11-16 Sung Taee Lee Method and system for preventing dew condensation in storage room
JP4807579B2 (ja) * 2006-09-13 2011-11-02 株式会社ダイフク 基板収納設備及び基板処理設備
JP4756372B2 (ja) * 2006-09-13 2011-08-24 株式会社ダイフク 基板処理方法
KR101362377B1 (ko) * 2007-02-26 2014-02-12 삼성전자주식회사 가변식 선반조립체 및 이를 갖춘 냉장고
JP2012049342A (ja) * 2010-08-27 2012-03-08 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および基板処理方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994017336A1 (en) * 1993-01-28 1994-08-04 Intelligent Enclosures Corporation Environmental control system
US5997398A (en) * 1995-12-01 1999-12-07 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor wafer storage apparatus and semiconductor device fabricating apparatus using said apparatus
JP2000264405A (ja) * 1999-03-19 2000-09-26 Fujitsu Ltd 搬送装置
US20030050005A1 (en) * 2001-09-10 2003-03-13 Daifuku Co., Ltd. Article storage system for a clean room
DE102005050010A1 (de) * 2005-10-11 2007-04-12 M + W Zander Facility Engineering Gmbh Lager für in einem Reinraum zu behandelnde Produkte, vorzugsweise Glasscheiben für Flüssigkristallbildschirme , sowie Verfahren zur Reinhaltung von Produkten in einem solchen Lager

Also Published As

Publication number Publication date
IL203948A (en) 2013-05-30
CA2702526C (en) 2015-02-17
EP2201304A1 (de) 2010-06-30
CA2702526A1 (en) 2009-04-30
CN101836046A (zh) 2010-09-15
US20100221993A1 (en) 2010-09-02
EP2201304B1 (de) 2012-05-30
ES2387178T3 (es) 2012-09-17
DE102007051726A1 (de) 2009-04-30
PL2201304T3 (pl) 2012-10-31
DK2201304T3 (da) 2012-08-20
US9206992B2 (en) 2015-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60131539T2 (de) Anordnung zum lagern und entladen von objekten
DE19937901C2 (de) Trockner für eine Lackieranlage
EP2244840B2 (de) Vorrichtung und verfahren zum zuführen von luft zu einem applikationsbereich einer lackieranlage
EP2244839B1 (de) Lackieranlage
EP2201304B1 (de) Lageranordnung mit vorgebbarer lagerungsatmosphäre
WO2004010066A1 (de) Vorrichtung zum temperieren von gegenständen
EP0464036A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung von monofilen.
DE102010043522A1 (de) Vorrichtung und Anlage zum Temperieren von Gegenständen
EP3221647B1 (de) Anordnung umfassend einen innenraum und eine lüftungsanlage und verfahren zum klimatisieren eines innenraums mit einer solchen lüftungsanlage
DE102020105767A1 (de) Behandlungsanlage und Behandlungsverfahren zum Behandeln von Werkstücken
DE202012101333U1 (de) Mobiles mehrteiliges Klimasystem
DE19719183C1 (de) Vorrichtung zum Trocknen und Verfahren zum Trocknen von Keramikformlingen
DE102010060825B4 (de) Vorrichtung zur Handhabung von Objektträgern
DE202008013740U1 (de) Backofen
DE19913886A1 (de) Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten
DE19536279B4 (de) Wärmeschrank
EP3719430A1 (de) Durchlauftrockenanlage und verfahren zum trocknen von werkstücken
DE102018008332A1 (de) Produktionsanlage
EP0248168B1 (de) Kammertrockner für keramische Formlinge
DE102022118418A1 (de) Montiervorrichtung
EP0877220A2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen von Keramikformlingen
DE60209203T2 (de) Automatische, mechanische Anlage zur Entwässerung von Käse während der Fabrikation
DE10157704C1 (de) Vorrichtung zum gleichzeitigen Fördern und Temperieren von Formteilen
DE102020134204A1 (de) Zwangsbelüftungseinheit zur Belüftung eines abgeschlossenen Luftraums
EP3361454A1 (de) Outdoor-rücknahmesystem zur rücknahme von pfandgut

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200880112685.1

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08840930

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2008840930

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 203948

Country of ref document: IL

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1478/DELNP/2010

Country of ref document: IN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 12680944

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2702526

Country of ref document: CA

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE