DE102005050010A1

DE102005050010A1 - Lager für in einem Reinraum zu behandelnde Produkte, vorzugsweise Glasscheiben für Flüssigkristallbildschirme , sowie Verfahren zur Reinhaltung von Produkten in einem solchen Lager

Info

Publication number: DE102005050010A1
Application number: DE102005050010A
Authority: DE
Inventors: Manfred Dr.-Ing. Renz; Sebastian Kaden
Original assignee: M+W Zander Facility Engineering GmbH and Co KG; M+W Zander Facility Engineering GmbH
Current assignee: M+W Zander Facility Engineering GmbH and Co KG; M+W Zander Facility Engineering GmbH
Priority date: 2005-10-11
Filing date: 2005-10-11
Publication date: 2007-04-12
Also published as: TW200730266A; CN101004281B; CN101004281A

Abstract

Bei der Produktion von Flüssigkristallbildschirmen werden Lager in Form von Lagergestellen verwendet, in denen Träger für Glasscheiben gelagert werden. Sie werden bei Reinluftbedingungen so lange gelagert, bis sie Prozeßgeräten in einem Reinraum zugeführt werden. DOLLAR A Damit die im Reinraum und in den für die Rückführung notwendigen Schächten und Kanälen zirkulierenden Luftmengen vermieden oder zumindest deutlich verringert und dadurch eine erhebliche Verminderung der dafür notwendigen Flächen ermöglicht wird, ist der die Reinluft ansaugende Ventilator im Bereich unterhalb der Decke des Lagers angeordnet. Die den Produkten zuzuführende Reinluft wird direkt aus einem nach unten strömenden Reinluftstrom angesaugt. DOLLAR A Das Lager und das Verfahren werden zur Herstellung von Flüssigkristallbildschirmen eingesetzt.

Description

Die Erfindung betrifft ein Lager für in einem Reinraum zu behandelnde Produkte, vorzugsweise Glasscheiben für Flüssigkristallbildschirme, nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie ein Verfahren zur Reinhaltung von Produkten in einem solchen Lager nach dem Oberbegriff des Anspruches 25.

Insbesondere in der Produktion von Flüssigkristallbildschirmen werden Lager in Form von Lagergestellen verwendet, die auch als Stocker bezeichnet werden und in denen Träger gelagert werden. Sie enthalten Glasscheiben, die zur Herstellung der Flüssigkristallbildschirme verwendet werden und im Lager bei Reinluftbedingungen so lange gelagert werden müssen, bis sie Prozeßgeräten in einem Reinraum zugeführt werden. Die Träger mit den Glasscheiben werden durch eine Transporteinrichtung zum Beispiel zwischen verschiedenen Prozeßgeräten verschoben, so daß ein gesicherter Prozeßablauf zwischen verschiedenen Prozeßschritten und während ablaufbedingter Lagerphasen sichergestellt ist. Die Scheibengrößen wachsen mit jeder neuen Prozeßgeneration. Die Größe aktueller Glasscheiben liegt beispielsweise bei ca. 1,5 m auf 1,85 m. Jeder Träger kann 28 solcher Glasscheiben aufnehmen. Im Lager werden die Träger an beiden Längsseiten des Lagers in Lagereinrichtungen in jeweils mehreren Reihen übereinander gelagert. Die Lager können erhebliche Ausmaße erreichen, beispielsweise etwa 80 m lang, etwa 7 m breit und etwa 7 m hoch sein. In die Lager wird Reinluft mittels Filter-Ventilator-Einheiten eingebracht, die oberhalb der Decke des Lagers angeordnet sind. Unterhalb der Decke und oberhalb der Lagereinrichtungen befindet sich ein Druckraum, in den die Reinluft von den Filter-Ventilator-Einheiten eingebracht wird. Im Druckraum wird die Reinluft so verteilt, daß ein Teil vertikal über Lochbleche nach unten zwischen den Lagereinrichtungen zuströmt und ein anderer Teil an beiden einander abgewandten Außenseiten der Lagervorrichtungen durch Kanäle nach unten strömt, die durch Doppelwände gebildet sind. Im Bereich zwischen den Lagereinrichtungen befindet sich die Transporteinrichtung, die von der Reinluft somit ebenfalls beaufschlagt wird. In den vertikalen Kanälen wird die Reinluft so umgelenkt, daß sie horizontal durch die Träger strömt, in denen die Glasscheiben ebenfalls horizontal gelagert sind. Die gesamte, von den Filter-Ventilator-Einheiten zugeführte Reinluft strömt somit zum zentralen Tunnelbereich, von dem aus sie über Leckageflächen oder über Öffnungen in den umgebenden Reinraum zu dort befindlichen Prozeßgeräten gelangt. Ein weiterer Anteil der Reinluft strömt über einen unterhalb des Lagers angeordneten Doppelboden in eine darunter liegende Gebäudeebene, die entweder ein dem Prozeßbereich zugeordneter Reinraumbereich ist, der zur Aufstellung von Hilfseinrichtungen für den Prozeß dient, oder aber ein durch Träger gebildeter Hohlraum sein kann, der von einem darunter liegenden weiteren Reinraumbereich abgeschottet ist.

Bei einer anderen bekannten Ausführung wird die Luftversorgung unabhängig von der Reinraumdecke so gestaltet, daß der Tunnelbereich zwischen den Lagereinrichtungen von an der Decke des Lagers angeordneten Filter-Ventilator-Einheiten versorgt wird und die horizontale Luftströmung durch die Träger durch direkt auf der Außenseite der Längswände des Lagers angeordnete Filter-Ventilator-Einheiten erfolgt.

Es ist schließlich auch bekannt, für die vertikale Luftversorgung in der Reinraumdecke angeordnete Filter-Ventilator-Einheiten zu verwenden und für die horizontale Luftversorgung weitere, an den Längsseitenwänden des Lagers angeordnete Filter-Ventilator-Einheiten einzusetzen.

Die Lager beanspruchen einen erheblichen Teil der gesamten Fläche. Der Luftmengenbedarf für die Reinluftversorgung ist entsprechend hoch. Die Luftversorgung kann deshalb zu erheblichen Beeinträchtigungen der Strömungsqualitäten in der Umgebung des Lagers führen. Ein großer Teil der zur Versorgung des Lagers notwendigen Luftmenge muß über den Doppelboden abgeführt werden, im Extremfall sogar 100% der Luftmenge. Sie muß zusammen mit der aus den weiteren Reinraumflächen abgeführten Luftmengen über seitlich des Reinraumes oder in der Reinraumfläche angeordnete Rückluftschächte oder Kanäle wieder dem oberhalb des Reinraumes angeordneten Plenum zugeführt werden. Wegen des erheblichen Luftanteiles der Lager wird die notwendige Rückströmfläche dieser Schächte entsprechend durch diese bestimmt. Die Rückströmflächen reduzieren die für die Produktion zur Verfügung stehende Netto-Reinraumfläche und verursachen somit Kosten. So muß das Gebäude beispielsweise für die notwendige Reinraumfläche wegen der Rückströmflächen entsprechend groß gestaltet werden.

Oftmals können die großen Umluftmengen wegen der begrenzten Querschnitte in der Rückluftebene nicht komplett von der Reinraummitte bis zu den seitlichen Rückluftschächten geführt werden, sondern es müssen Teilströme schon vorher aus der Rückströmebene unterhalb des Doppelbodens über innerhalb der Reinraumfläche angeordnete zusätzliche Rückluftschächte abgeführt werden. Solche Anordnungen behindern die prozeßgerechte Anordnung der Prozeßgeräte und verursachen zusätzliche Kosten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das gattungsgemäße Lager und das gattungsgemäße Verfahren so auszubilden, daß die im Reinraum und in den für die Rückführung notwendigen Schächten und Kanälen zirkulierenden Luftmengen vermieden oder zumindest deutlich verringert werden und damit eine erhebliche Verminderung der dafür notwendigen Flächen möglich ist.

Diese Aufgabe wird beim gattungsgemäßen Lager erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 und beim gattungsgemäßen Verfahren erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 25 gelöst.

Beim erfindungsgemäßen Lager befindet sich der Ventilator zum Ansaugen der über die Produkte strömenden Reinluft im Bereich unterhalb der Decke des Lagers. Die den Produkten zuzuführende Reinluft wird direkt aus dem nach unten strömenden Reinluftstrom angesaugt. Der abgesaugte Reinluftanteil, der den Produkten zugeführt wird, belastet das Umluftsystem der Reinraumanlage und die Strömungsverhältnisse um das Lager im Reinraum nicht.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.

Die Erfindung wird anhand einiger in den Zeichnungen dargestellter Ausführungsformen näher erläutert. Es zeigen
1 in schematischer Darstellung und in Seitenansicht einen Teil einen ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Lagers,
2 bis 11 jeweils in Darstellungen entsprechend 1 weitere Ausführungsformen von erfindungsgemäßen Lagern.
Das Lager gemäß 1, von dem nur ein Teil dargestellt ist, weist eine Reinraumdecke 1 auf, die in bekannter Weise ausgebildet ist. Sie ist als Rasterdecke ausgebildet und hat einander kreuzende Tragschienen, auf denen Filter-Ventilator-Einheiten 2 sitzen. Unterhalb der Reinraumdecke 1 befinden sich Lagereinrichtungen 3, 4, sogenannte Stocker, in denen Träger 5, 6 angeordnet sind. In der Lagereinrichtung 3 sind drei Träger 5 übereinander angeordnet, während die gegenüberliegende Lagereinrichtung 4 nur einen Träger 6 aufnimmt. In jedem Träger 5, 6 sind Glasscheiben 7 mit geringem Ab stand übereinander gelagert, aus denen Flüssigkristallbildschirme (FPD) hergestellt werden. Die Glasscheiben 7 liegen in den Trägern 5, 6 horizontal. Die Lagereinrichtungen 3, 4 erstrecken sich quer zur Zeichenebene und weisen dementsprechend eine Vielzahl hintereinander angeordneter Träger 5, 6 auf. Die Lagereinrichtungen 3, 4 können beispielsweise eine Länge von etwa 80 m haben. Beispielhaft sind die Lagereinrichtungen 3, 4 etwa 7 m breit und etwa 7 m hoch. Die Anzahl und Position der Trägerebenen kann basierend auf verfügbarer Gebäudehöhe sowie Speicherbedarf variiert werden.
Zwischen den beiden Lagereinrichtungen 3, 4 befindet sich eine Transporteinrichtung 8, mit der die Träger 5, 6 durch einen Ausschleusbereich 9 (nicht dargestellten) Prozeßgeräten zugeführt werden, die sich auf der von der Lagereinrichtung 3 abgewandten Seite der Lagereinrichtung 4 befinden. Die Transporteinrichtung 8 ist längs der Lagereinrichtungen 3, 4 quer zur Zeichenebene verfahrbar und weist ein in Höhenrichtung und Querrichtung der Lagereinrichtungen 3, 4 verfahrbares Transportelement 10 auf, mit dem die Träger 5, 6 der Lagereinrichtung 3, 4 entnommen werden können.
Der Ausschleusbereich 9 kann nur an einer Stelle der Lagereinrichtung 4 vorgesehen sein, so daß die Lagereinrichtung 4 vor und hinter dem Ausschleusbereich 9 ebenfalls bis zum Boden 11 des Lagers reicht. Es ist auch möglich, über die Länge der Lagereinrichtung 4 verteilt mehrere Ausschleusbereiche 9 vorzusehen. Im Bereich zwischen aufeinander folgenden Ausschleusbereichen 9 sind die Träger 6 entsprechend den Trägern 5 der Lagereinrichtung 3 übereinander angeordnet. Der Anschleusbereich 9 kann auch bei der Lagereinrichtung 3 in der beschriebenen Weise vorgesehen sein. Es ist ferner möglich, beide Lagereinrichtungen 3, 4 mit Anschleusbereichen 9 zu versehen.
Die Filter-Ventilator-Einheiten 2 befinden sich oberhalb eines Mittelbereiches 12, der seitlich von den Lagereinrichtungen 3, 4 begrenzt ist. Entspre chend der Länge des Mittelbereiches 12 sind auf der Reinraumdecke 1 mehrere Filter-Ventilator-Einheiten 2 verteilt angeordnet. Ihre Ventilatoren 13 saugen Reinluft aus dem Bereich oberhalb der Reinraumdecke 1 an. Sie gelangt dann durch Filter 14 nach unten in den Mittelbereich 12 (vergleiche Strömungspfeile). Im Mittelbereich 12 strömt die gefilterte Reinluft laminar nach unten zum Boden 11, der als Doppelboden ausgebildet ist. Der größte Teil dieser nach unten strömenden Reinluft wird unterhalb des Lagers in bekannter Weise seitlich abgesaugt und über (nicht dargestellte) Rückführkanäle in den Bereich oberhalb der Reinraumdecke 1 zu den Ventilatoren 2 zurückgeführt.
Im Bereich unterhalb der Lagereinrichtung 3 befinden sich Ventilatoren 15, die einen Teil der im Mittelbereich 12 nach unten strömenden Reinluft in Pfeilrichtung 16 ansaugen. Quer zur Zeichenebene sind mehrere solcher Ventilatoren 15 sowie nachgeschalteter Filter 17 mit Abstand hintereinander angeordnet, so daß dieser Teil der Reinluft über die Länge der Lagereinrichtung 3 gleichmäßig angesaugt wird. Die Gebläse 15 und die Filter 17 befinden sich in einem horizontalen Kanal 18, der an seinem vom Mittelbereich 12 abgewandten Ende in einen senkrechten Kanal 19 anschließt, der auf der von der Lagereinrichtung 4 abgewandten Seite der Träger 5 vorgesehen ist und durch eine Doppelwand 20, 21 begrenzt wird. Im Bereich der Träger 5 ist die Wand 21 offen und bildet übereinander liegende Öffnungen 22, durch die die im Kanal 19 nach oben strömende Reinluft horizontal zu den Trägern 5 strömen kann. Die Träger 5 sind zum Kanal 19 hin offen, so daß die Reinluft zwischen den horizontal mit Abstand übereinander liegenden Glasscheiben 7 strömen kann. Auf diese Weise liegen die Glasscheiben 7 während ihrer Lagerung in einem kontinuierlich strömenden Reinluftstrom, so daß eine Verschmutzung der Glasscheiben 7 während der Lagerzeit ausgeschlossen ist. Nach Durchströmen der Träger 5 gelangt die Reinluft wieder in den Mittelbereich 12 und vermischt sich dort mit der von oben nach unten strömenden Reinluft.
Die Wand 21 kann auch entfallen. Dann strömt die Reinluft unmittelbar zwischen die Glasscheiben 7.
Auch die Lagereinrichtung 4 ist mit Ventilatoren 23 und nachgeschalteten Filtern 24 versehen, die aus dem Mittelbereich 12 einen Teil der nach unten strömenden Reinluft ansaugen. Die Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24 befinden sich in einem horizontalen Kanal 25, der an dem von der Lagereinrichtung 3 abgewandten Ende in einen vertikalen, nach oben verlaufenden Kanal 26 übergeht. Er wird durch zwei vertikale, mit Abstand hintereinander liegende Wände 27, 28 begrenzt. Der Kanal 26 ist in Richtung auf die Träger 6 offen. Dadurch strömt die im Kanal 26 nach oben strömende Reinluft zum Träger 6. Er ist zum Kanal 26 hin offen, so daß die Reinluft zwischen die im Träger 6 gelagerten, übereinander angeordneten Glasscheiben 7 strömen kann. Sie werden somit ebenfalls während der Lagerzeit von Reinluft umströmt, so daß eine Verschmutzung der Glasscheiben verhindert wird. Nach dem Durchtritt durch die Träger 6 gelangt die Reinluft in den Mittelbereich 12, in dem sie sich mit der von den Ventilatoren 2 kommenden, nach unten strömenden Reinluft vermischt.
In den Bereichen, in denen sich die Lagereinrichtung 6 bis zum Boden 11 erstreckt, ist die Filter-Ventilator-Einheit 23, 24 in gleicher Weise wie die Filter-Ventilator-Einheit 15, 17 der Lagereinrichtung 3 im Bodenbereich vorgesehen.
Die Kanäle 18, 25; 19, 26 erstrecken sich vorteilhaft über die ganze Länge der Lagereinrichtungen 3, 4. In den horizontalen Kanälen 18, 25 sind die Filter-Ventilator-Einheiten 15, 17; 23, 24 vorteilhaft in gleichmäßigen Abständen nebeneinander angeordnet, so daß die Reinluft über die gesamte Länge der Lagereinrichtungen 3, 4 gleichmäßig angesaugt werden kann. Dadurch ist auch sichergestellt, daß sämtliche Glasscheiben 7 der Träger 5, 6 gleichmäßig von Reinluft umströmt werden.
In der beschriebenen Weise werden die Träger 5, 6 horizontal mit Reinluft durchströmt, die aus dem Abströmbereich des Mittelbereiches 12 durch die Filterventilatoreinheiten 15, 17; 23, 24 angesaugt wird. Dieser Anteil an Reinluft wird somit in einem internen Kreislauf geführt und belastet die Mengenbilanz der Reinraumumgebung nicht. Die Rückströmkanäle 18, 19; 25, 26 nehmen nur wenig Raum in Anspruch. Die den Trägern 5, 6 zugeführte Luftmenge ist gering.
Durch den Ausschleusbereich 9 gelangt ein Teil der im Mittelbereich 12 nach unten strömenden Reinluft in den Bereich der (nicht dargestellten) Prozeßgeräte.
Im Ausschleusbereich 9 sind in der unteren und der mittleren Lagerebene der Lagereinrichtung 4 keine Träger 6 gelagert. Die Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24 sind in diesem Falle direkt unterhalb der oberen Lagerebene der Lagereinrichtung 4 angeordnet.
Die Ausführungsform gemäß 2 unterscheidet sich vom vorigen Ausführungsbeispiel dadurch, daß in der Reinraumdecke 1 Schwebstoff-Filter 14 angeordnet sind, die über Hauben 29 und Kanäle 30 an ein (nicht dargestelltes) Luftverteilsystem angeschlossen sind. Die Schwebstoff-Filter 14 erstrecken sich vorteilhaft über die Breite des Mittelbereiches 12. Über die Länge des Mittelbereiches 12 ist eine entsprechende Zahl von Schwebstoff-Filtern 14 hintereinander angeordnet. Die Hauben 29 überdecken die Schwebstoff-Filter 14. Dadurch wird zwischen den Schwebstoff-Filtern 14 und einer Decke 31 der Hauben 29 ein Zuströmraum 32 für die Reinluft gebildet. Von der Decke 31 stehen nach oben die Kanäle 30 ab, über die die Reinluft vom Luftverteilsystem aus zugeführt wird. Im übrigen ist die Ausführungsform gleich ausgebildet wie das vorige Ausführungsbeispiel.
3 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem die Reinluft vom Bodenbereich aus angesaugt wird. Im Bereich der Reinraumdecke 1 befinden sich somit keine Filter-Ventilator-Einheiten. Die Luftversorgung des Mittelbereiches 12 erfolgt durch die aus den Lagereinrichtungen 3, 4 abströmende Luftmenge. Dadurch bildet sich eine von oben nach unten gerichtete Luftströmung. Im Bereich unterhalb der Lagereinrichtung 3 befinden sich Filter-Ventilator-Einheiten 33, die im horizontalen Kanal 18 angeordnet sind. Im Unterschied zu den vorigen Ausführungsbeispielen ist der Kanal 18 gegenüber dem Mittelbereich 12 geschlossen. Die Filter-Ventilator-Einheiten 33 sind so angeordnet, daß sie die Reinluft von unten ansaugen. Dementsprechend ist der horizontale Kanal 18 nach unten offen. Die angesaugte Reinluft strömt im vertikalen Kanal 19 nach oben und tritt durch die Öffnungen 22 in der Kanalwand horizontal nach außen. Die in den Trägern 5 gelagerten Glasscheiben 7 werden von der Reinluft horizontal umspült, die anschließend in den Mittelbereich 12 des Lagers gelangt.
Der horizontale Kanal 25 der Lagereinrichtung 4 ist ebenfalls gegen den Mittelbereich 12 geschlossen und nach unten offen. Die im Kanal 25 befindlichen Filter-Ventilator-Einheiten 34 saugen die Reinluft von unten in den Kanal 25 an, die im vertikalen Kanal 26 nach oben strömt und von dort zwischen den Glasscheiben 7 der Träger 6 in den Mittelbereich 12 strömt. Da der Kanal 25 nach unten offen ist, wird ein Teil der durch den Ausschleusbereich 9 strömenden Reinluft in den Kanal 25 angesaugt.
Wie bei den vorhergehenden Ausführungsformen wird auch bei diesem Ausführungsbeispiel die die Glasscheiben 7 durchströmende Reinluft im Kreislauf geführt. Dieser abgesaugte, im Kreislauf geführte Reinluftanteil belastet nicht das Umluftsystem der gesamten Reinraumanlage und die Strömungsverhältnisse um die Lagereinrichtungen 3, 4 im Reinraum.
4 zeigt das Ausführungsbeispiel gemäß 3 mit einer zusätzlichen Handhabungseinrichtung 35, die zwischen der Lagereinrichtung 4 und einem Prozeßgerät 36 angeordnet ist. Auf der Handhabungseinrichtung 35 ist mindestens eine Filter-Ventilator-Einheit 37 angeordnet, mit der ein Reinluft strom vertikal nach unten und turbulenzarm als Verdrängungsströmung erzeugt wird. Diese Reinluft durchströmt die Handhabungseinrichtung 35 und gelangt über den Ausschleusbereich 9 der Lagereinrichtung 4 wieder in den Mittelbereich 12 zurück. Eine sonst vorhandene, nach außen gerichtete Abströmung in den Reinraum wird damit verhindert. Im übrigen ist dieses Ausführungsbeispiel gleich ausgebildet wie die Ausführungsform nach 3.
Das Lager gemäß 5 hat die beiden Lagereinrichtungen 3, 4. Unterhalb der Lagereinrichtung 3 befindet sich der horizontale Kanal 18, der in Richtung auf den Mittelbereich 12 offen ist. Im Kanal 18 sind die Filter-Ventilator-Einheiten 33 untergebracht, die Reinluft aus dem Mittelbereich 12 ansaugen, die anschließend im vertikalen Kanal 19 in der beschriebenen Weise nach oben strömt. Durch die Öffnungen 22 in der Kanalwand 21 gelangt diese Reinluft zwischen die Glasscheiben 7 der Träger 5. Nach Überströmen der Glasscheiben 7 gelangt diese Reinluft wieder in den Mittelbereich 12.
Die Lagereinrichtung 4 hat den horizontalen Kanal 25, in dem sich die Filter-Ventilator-Einheiten 34 befinden. Der Kanal 25 ist gegen den Mittelbereich 12 geschlossen und gegen den Reinraum 38 offen, in dem sich die Prozeßgeräte 36 (4) befinden. Dementsprechend wird die Reinluft aus dem Reinraum 28 in den Kanal 25 angesaugt, die in den vertikalen Kanal 26 gelangt und von hier über die Glasscheiben 7 der Träger 6 strömt. Wie bei den vorigen Ausführungsbeispielen befindet sich der horizontale Kanal 25 im Bereich oberhalb des Ausschleusbereiches 9, über den die Träger 5, 6 mittels der Transporteinrichtung 8 in den Reinraum 38 transportiert werden.
Die Reinluftversorgung des Mittelbereiches 12 erfolgt durch die aus den Trägern 5, 6 abströmende Luftmenge. Wie bei den Ausführungsformen nach den 1 bis 3 strömt ein Teil der Reinluft aus dem Mittelbereich 12 durch den Ausschleusbereich 9 nach außen in den Reinraum 38.
Bei der Ausführungsform nach 6 wird die Reinluft im Bereich unterhalb der Lagereinrichtungen 3, 4 von den Filter-Ventilator-Einheiten 33 angesaugt, die sich in den horizontalen Kanälen 18, 39 befinden. Im Unterschied zu den vorigen Ausführungsbeispielen findet keine Abströmung in den Rückluftbereich unterhalb des Bodens 11 statt. Die Luftversorgung des Lagers ist gegenüber dem Reinraum 38 und dem Rückluftbereich voltständig abgeschlossen. Lediglich über den Ausschleusbereich 9 strömt die Reinluft aus dem Mittelbereich 12 in den umgebenden Reinraum 38.
Die von den Filter-Ventilator-Einheiten 33 angesaugte Reinluft strömt aus dem horizontalen Kanal 18 in den anschließenden vertikalen Kanal 19, in dem sie nach oben strömt und über die Öffnungen 22 der Kanalwand 21 in die Träger 5 strömt. Sie strömt an den horizontalen Glasscheiben 7 der Träger 5 entlang und gelangt wieder in den Mittelbereich 12.
Die Filter-Ventilator-Einheiten 34 der Lagereinrichtung 4 saugen die Reinluft entsprechend der Ausführungsform gemäß 5 aus dem Reinraum 38 an. Die Reinluft gelangt in den horizontalen Kanal 25, von dem aus die Reinluft in den vertikalen Kanal 26 strömt. Sie strömt zwischen den Glasscheiben 7 der Träger 6 und gelangt in den Mittelbereich 12.
7 zeigt eine Ausführungsform, bei der die lüftungstechnischen Komponenten in einem in der Rückluftebene angeordneten, zu diesem abgeschotteten Bereich angeordnet sind. So sind unterhalb der Lagereinrichtung 3 die Ventilatoren 15 angeordnet, die die Reinluft ansaugen und mit denen größere Luftmengen gefördert werden können als mit einzelnen Filter-Ventilator-Einheiten. Die Ventilatoren 15 saugen die im Mittelbereich 12 nach unten strömende Reinluft an. Getrennt von den Ventilatoren 15 sind unterhalb des Doppelbodens 11 horizontal die Schwebstoff-Filter 17 angeordnet, durch welche die von den Ventilatoren 15 angesaugte Reinluft hindurchtritt. Sie gelangt in den horizontalen Kanal 18 und von dort in den vertikalen Kanal 19. Die Ventilatoren 15 und die Schwebstoff-Filter 17 befinden sich unter halb des Doppelbodens 11 in einem Bereich 40, der gegen die Rückluftebene 41 geschlossen ist.
Im Bereich unterhalb der Lagereinrichtung 4 und des Doppelbodens 11 befinden sich horizontal angeordnete Filter-Ventilator-Einheiten 42, die die Reinluft aus der Rückluftebene 41 ansaugen und nach oben fördern. Unterhalb der Träger 6 der Lagereinrichtung 4 befinden sich die horizontal angeordneten Filter-Ventilator-Einheiten 34, die die Reinluft aus dem Reinraum 38 ansaugen, in dem sich die Prozeßgeräte 36 (4) befinden. Die von den Filter-Ventilator-Einheiten angesaugte Reinluft gelangt zunächst in den horizontalen Kanal 25 und von dort in den vertikalen Kanal 26. Die Reinluft strömt dann über die horizontal in den Trägern 6 angeordneten Glasscheiben und gelangt in den Mittelbereich 12, in dem die Reinluft nach unten strömt.
Beim Ausführungsbeispiel nach 8 befindet sich unterhalb der Lagereinrichtung 3 oberhalb des Doppelbodens 11 ein Plenum 43, das gegen den Mittelbereich 12 geschlossen ist. In das Plenum 43 mündet mindestens ein vertikaler Kanal 44, über den Reinluft in das Plenum 43 gefördert wird. Das horizontal verlaufende Plenum 43 schließt an den vertikalen Kanal 19 an, in dem die Reinluft nach oben strömt und über die Öffnungen 22 in der Wand 21 in der beschriebenen Weise in die Träger 5 der Lagereinrichtung 3 strömt. Die in den Trägern 5 horizontal gelagerten Glasscheiben 7 werden vom Reinluftstrom umspült, der nach dem Durchtritt durch die Träger 5 in den Mittelbereich 12 gelangt. Hier vermischt sich der Reinluftstrom mit dem im Mittelbereich 12 nach unten strömenden restlichen Teil der Reinluft.
Der Kanal 44 ist an einen horizontalen Kanal 45 angeschlossen, der in Strömungsrichtung hinter einem zentralen Lüftungsgerät 46 liegt. Es hat einen Ventilator 47 und einen nachgeschalteten Schwebstoff-Filter 48. Die vom Lüftungsgerät 46 angesaugte Reinluft gelangt in den horizontalen Kanal 45. Ein Teil dieser Reinluft strömt in den Kanal 44 und von dort in das Ple num 43. Ein anderer Teil der Reinluft strömt in einen weiteren vertikalen Kanal 49, der sich bis zu einem Plenum 50 im Bereich unterhalb der Lagerebene der Träger 6 der Lagereinrichtung 4 befindet. An das Plenum 50 schließt der vertikale Kanal 26 an, in dem die zugeführte Reinluft nach oben strömt und zwischen den horizontal angeordneten Glasscheiben 7 durch die Träger 6 in den Mittelbereich 12 strömt.
Ein Teil der im Mittelbereich 12 nach unten strömenden Reinluft tritt wie bei den vorigen Ausführungsbeispielen über den Ausschleusbereich 9 in den Reinraum 38 aus.
Im Unterschied zu den vorigen Ausführungsbeispielen befinden sich unterhalb der Lagereinrichtungen 3, 4 keine Filter-Ventilator-Einheiten oder Ventilatoren, sondern das jeweilige Plenum 43, 50. Die Reinluft kann aus dem Lager frei in die Rückluftebene abströmen. Mit dem Lüftungsgerät 46 wird die Reinluft aus der Rückluftebene angesaugt und in der beschriebenen Weise dem jeweiligen Plenum 43, 50 zugeführt.
Beim Ausführungsbeispiel nach 9 sind unterhalb jeder Lagerebene der Lagereinrichtung 3 Filter-Ventilator-Einheiten 51 angeordnet, die die jeweils darüber angeordneten Träger 5 mit Reinluft versorgen. Die Filter-Ventilator-Einheiten sitzen jeweils in dem horizontalen Kanal 18, an den die vertikalen Kanäle 19 anschließen. In ihnen strömt die von den Filter-Ventilator-Einheiten 51 aus dem Mittelbereich 12 angesaugte Reinluft nach oben und strömt zwischen den Glasplatten 7 der Träger 5 zurück in den Mittelbereich 12.
Auf der Decke 1 sitzen die Filter-Ventilator-Einheiten 2, über die die Reinluft in den Mittelbereich 12 gelangt, in dem sie nach unten strömt.
Im Bereich unterhalb der Träger 6 der Lagereinrichtung 4 befinden sich die Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24 im horizontalen Kanal 25. Die vom Ventila tor 23 aus dem Mittelbereich 12 angesaugte Reinluft strömt über den Kanal 25 in den vertikalen Kanal 26. Von hier aus strömt die Reinluft zwischen den horizontalen Glasscheiben 7 in den Trägern 6 zurück in den Mittelbereich 12. Ein Teil der im Mittelbereich 12 nach unten strömenden Reinluft gelangt über den Ausschleusbereich 9 in den Reinraum 38.
Auch die Lagereinrichtung 6 kann in den Bereichen, in denen mehrere Lagerebenen übereinander vorgesehen sind, unterhalb jeder Lagerebene die Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24 entsprechend der Lagereinrichtung 3 aufweisen. Die horizontalen Kanäle 18 der Lagereinrichtung 3 sind gegenüber der jeweils unteren Lagerebene geschlossen.
Die von den Ventilatoren 2 in den Mittelbereich 12 geförderte Reinluft tritt durch den Doppelboden 11 nach unten aus und wird über das Rückluftsystem zurück zu den Filter-Ventilator-Einheiten 2 gefördert.
Die Ausführungsform gemäß 10 unterscheidet sich vom vorigen Ausführungsbeispiel lediglich dadurch, daß unterhalb des horizontalen Kanals 25 der Lagereinrichtung 4 Filter-Ventilator-Einheiten 52 angeordnet sind, die Reinluft aus dem Reinraum 38 ansaugen. Diese angesaugte Reinluft wird dem Reinluftstrom im Mittelbereich 12 zugeführt. Auf diese Weise wird der Mittelbereich 12 auf Überdruck gehalten. Das Lüftungsgerät 52 befindet sich oberhalb des Ausschleusbereiches 9 zu den im Reinraum 38 angeordneten Prozeßgeräten 36 (4).
11 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem unterhalb der Träger 5 der Lagereinrichtung 3 entsprechend dem Ausführungsbeispiel nach den 9 und 10 jeweils Filter-Ventilator-Einheiten 51 angeordnet sind.
Unterhalb der Träger 6 der Lagereinrichtung 3 befinden sich im horizontalen Kanal 25 die Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24, mit denen ein Teil der Reinluft aus dem Reinluftstrom im Mittelbereich 12 abgesaugt und in den vertika len Kanal 26 gefördert wird. Unterhalb des horizontalen Kanals 25 und oberhalb des Ausschleusbereiches 9 befinden sich entsprechend der Ausführungsform nach 10 die Filter-Ventilator-Einheiten 52, die Reinluft aus dem Reinraum 38 ansaugen und dem Mittelbereich 12 zuführen. Zusätzlich befinden sich oberhalb der Träger 6 und unterhalb der Decke 1 weitere Filter-Ventilator-Einheiten 53, die wie die Filter-Ventilator-Einheiten 52 Reinluft aus dem Reinraum 38 ansaugen und dem Mittelbereich 12 zuführen. Die Reinluft wird in einen Bereich zwischen der Decke 1 und einem Lochblech 54 eingebracht, das im Mittelbereich 12 angeordnet und parallel zur Decke 1 im Mittelbereich 12 verläuft. Das Lochblech 54 ist über die Länge des Mittelbereiches 12 vorgesehen und besteht vorteilhaft aus einzelnen, aneinander gesetzten Lochblechelementen. Das Lochblech 54 stellt sicher, daß die Reinluft über die Länge und Breite des Mittelbereiches 12 gleichmäßig zwischen die Lagereinrichtungen 3, 4 strömt. Durch die zusätzlich angesaugte Reinluft wird wie beim Ausführungsbeispiel nach 10 die Reinluft im Mittelbereich 12 auf Überdruck gehalten. Ein Teil der nach unten strömenden Reinluft gelangt aus dem Mittelbereich 12 über den Ausschleusbereich 9 in den Reinraum 38. Die im Mittelbereich 12 nach unten strömende und nicht von den Filter-Ventilator-Einheiten 23, 24, 51, 52 angesaugte Teil der Reinluft gelangt nach unten in die Rückluftebene 41.
Bei sämtlichen Ausführungsformen wird die Reinluft aus dem Abströmbereich des Lagers direkt zu den Lagereinrichtungen 3, 4 abgesaugt. Die jeweiligen Ventilatoren sind unterhalb der Oberkante des Lagers so angeordnet, daß sie die Luft aus dem Abströmbereich 12 des Lagers ansaugen. Die abgesaugte Reinluftanteil belastet das Umluftsystem der Gesamtanlage und die Strömungsverhältnisse um das Lager im Reinraum nicht. Die über die Glasscheiben 7 in den Trägern 5, 6 geführte Reinluft wird von unten nach oben geführt.
Um einen Überdruck im Lager zu erreichen, ist vorteilhaft wenigstens ein (nicht dargestellter) Ventilator vorgesehen, mit dem eine entsprechende Menge an Reinluft in das Lager gefördert wird.

Claims

Lager für in einem Reinraum zu behandelnde Produkte, vorzugsweise Glasscheiben für Flüssigkristallbildschirme, mit mindestens einer Lagereinrichtung für die Produkte, die von einem Reinluftstrom überströmt werden, der von wenigstens einem Ventilator angesaugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilator (15, 23; 33, 34; 42; 47; 51) im Bereich unterhalb der Decke (1) des Lagers angeordnet ist.
Lager nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilator (15, 23; 33, 34; 42; 47; 51) Teil einer Filter-Ventilator-Einheit ist.
Lager nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilator (15, 23; 33, 34) unter der Lagereinrichtung (3, 4) angeordnet ist.
Lager nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilator (15, 23; 33, 34; 51) in einem horizontalen Kanal (18, 25) angeordnet ist, an den mindestens ein aufwärts gerichteter Kanal (19, 26) anschließt, der die Reinluft den Produkten (7) zuführt.
Lager nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der aufwärts gerichtete Kanal (19, 26) Durchtrittsöffnungen (22) für die Reinluft aufweist.
Lager nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchtrittsöffnungen (26) in einer Wand (21) des Kanals (19, 26) vorgesehen sind.
Lager nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchtrittsöffnungen (22) durch die Abstände zwischen den Produkten (7) gebildet sind.
Lager nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich der aufwärts gerichtete Kanal (19, 26) über die ganze Höhe der Lagereinrichtung (3, 4) erstreckt.
Lager nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Produkte (7) in mindestens einem Träger (5, 6) untergebracht sind.
Lager nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagereinrichtung (3, 4) wenigstens zwei übereinander angeordnete Lagerebenen für Träger (5, 6) aufweist.
Lager nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb jeder Lagerebene jeweils wenigstens ein Ventilator (51) angeordnet ist.
Lager nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Ventilator (51) in einem horizontalen Kanal (18) angeordnet ist, der gegen die jeweils unter ihm befindliche Lagerebene geschlossen ist.
Lager nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwei einander gegenüberliegende Lagereinrichtungen (3, 4) vorgesehen sind, die durch einen Mittelbereich (12) voneinander getrennt sind, in dem die Reinluft nach unten strömt.
Lager nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich oberhalb des Mittelbereiches (12) Filter-Ventilator-Einheiten (2) angeordnet sind.
Lager nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich oberhalb des Mittelbereiches (12) Schwebstoff-Filter (14) angeordnet sind, denen Reinluft über ein Luftverteilsystem zugeführt wird.
Lager nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß der aufwärts gerichtete Kanal (19, 26) auf der vom Mittelbereich (12) abgewandten Seite der Lagereinrichtung (3, 4) liegt.
Lager nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich unterhalb des Mittelbereiches (12) ein Rückluftbereich (41) vorgesehen ist.
Lager nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Mittelbereich (12) gegen den Rückluftbereich (41) offen ist.
Lager nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der Mittelbereich (12) gegen den Rückluftbereich (41) geschlossen ist.
Lager nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilator (15, 42) unterhalb eines Doppelbodens (11) des Lagers angeordnet ist.
Lager nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilator (15, 42) im Rückluftbereich (41) liegt.
Lager nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb der Lagereinrichtung (3, 4) ein Plenum (43, 50) vorgesehen ist, an das ein Lüftungsgerät (46) und der aufwärts gerichtete Kanal (19, 26) angeschlossen sind.
Lager nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Filter-Ventilator-Einheit (52, 53) vorgesehen ist, die Reinluft aus dem Reinraum (38) ansaugt und dem Reinluftstrom im Lager zuführt.
Lager nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Umluftgerät, bestehend aus wenigstens einem Ventilator und wenigstens einem Filter, vorgesehen ist, das Reinluft aus dem Reinraum (38) ansaugt und dem Reinluftstrom im Lager zuführt.
Verfahren zur Reinhaltung von Produkten in einem Lager nach einem der Ansprüche 1 bis 24, bei dem Reinluft nach unten strömt und zumindest ein Teil der Reinluft den Produkten zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die den Produkten (7) zuzuführende Reinluft direkt aus dem nach unten strömenden Reinluftstrom angesaugt wird.
Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß der angesaugte Reinluftstrom von unten nach oben gefördert wird.
Verfahren nach Anspruch 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, daß der angesaugte Reinluftstrom nach Überströmen der Produkte (7) dem nach unten strömenden Reinluftstrom zugeführt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 25 bis 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinluft aus dem Rückluftbereich (41) angesaugt wird.