WO2007058309A2 - 光記録媒体の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

　良好な凹凸形状を有する欠陥の少ない中間層を備える光記録媒体を安価に製造するため、基板上に直接又は他の層を介して記録層を形成し、記録層上に直接又は他の層を介して樹脂原料層を形成し、記樹脂原料層上に凹凸形状に対応した転写用凹凸形状を有するスタンパを載置し、樹脂原料層を硬化させて接着体を得て、接着体を加熱した状態において樹脂原料層からスタンパを剥離し、樹脂原料層に転写用凹凸形状を転写して中間層を形成する。

Description

明 細 書

光記録媒体の製造方法及び製造装置

技術分野

[0001] 本発明は、光記録媒体の製造方法等に関し、より詳しくは、記録特性の良好な光 記録媒体を安価に製造することが可能な技術に関する。

背景技術

[0002] 近年、長時間かつ高画質の動画等の大容量データを記録'再生するために、従来 と比較してさらなる情報の高密度化が可能となる光記録媒体の開発が望まれている。 このような情報の高密度化が可能な光記録媒体としては、例えば、 1枚の媒体に記録 層を 2層（デュアルレイヤ）設けた積層構造を有する DVD— ROM等の積層型多層 光記録媒体が挙げられる。このような多層化の技術を用いれば、 1層あたりの記録密 度は変化させることなく容量を増大させることが可能である。

[0003] 積層型多層光記録媒体は、通常、フォトポリメリゼーシヨン法（Photo Polymeriza tion :以下、「2P法」と記すことがある。）と呼ばれる製造方法により製造される。 2P法 によれば、例えば、記録トラック用の凹凸形状が形成された透明な第 1基板上に第 1 記録層、第 1反射層、記録トラック用の凹凸形状が形成された中間層、第 2記録層、 第 2反射層をこの順に形成し、最後に第 2基板を接着することにより 2層構造の光記 録媒体が製造される。

[0004] 2P法の場合は、中間層は、通常、以下のようにして製造される。すなわち、まず、第

1反射層上に、光（光としては、例えば紫外線等の放射線を挙げることができる。）に より硬化する光硬化性樹脂原料等を塗布して樹脂原料層を形成した後、この上に転 写用の凹凸形状（以下適宜、「転写用凹凸形状」という）を有するスタンパを載置する 。次いで、上記光硬化性樹脂原料等を硬化させた後に、スタンパを剥離する。このよ うにして、光硬化性樹脂の表面にスタンパの転写用凹凸形状を転写させて、凹凸形 状を有する中間層を硬化性樹脂の硬化物によって形成することができるようになって いる。

[0005] したがって、 2P法においては、光硬化性樹脂を硬化させた後のスタンパをスムーズ に剥離することが望まれる。 2P法により記録用トラック用の凹凸形状を有する中間層 を形成する際には、光硬化性樹脂とスタンパとが剥離し難い、又は、剥離しても中間 層の表面の均一性が低下する、等の製造上の課題が生じると、中間層にキズゃはぎ 取り等の欠陥が生じ、光記録媒体に安定して光による情報の記録'再生を適切に行 なうことができなくなる可能性があるからである。

[0006] ところが、ポリカーボネート系樹脂やアクリル樹脂で形成したスタンパを用いた場合 には、紫外線硬化性樹脂等で形成された中間層とスタンパとの剥離が困難となって いた（特許文献 1， 2)。そこで、スタンパをスムーズに剥離させるベぐ特許文献 2, 3 に記載の技術が提案されてレ、た。

[0007] 特許文献 2には、アクリル樹脂製のスタンパに対して、無機系材料による表面コー ティングを行なうことが提案されている。そして、それにより、上記剥離を良好に行なう ことができるとされている。さらに、同文献においては、スタンパの溝/ピット（転写用 凹凸形状に対応）の表面に Si〇誘電体膜が成膜されたアクリルスタンパを用いてい

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る。

[0008] 一方、特許文献 3には、スタンパの全体を環状ポリオレフインまたはポリスチレン系 樹脂から構成するか、スタンパの少なくとも母型パターン (転写用凹凸形状に相当） が形成されている表面を環状ポリオレフインまたはポリスチレン系樹脂から構成するこ とが提案されている。そして、それにより、放射線硬化型樹脂の硬化物からなる中間 層に対するスタンパの離型性を良好にすることができると記載されている。また、特許 文献 3においては、環状ポリオレフインカ、放射線硬化型樹脂の硬化物からなる中間 層に対するスタンパの離型性を特に良好にするとしている。

[0009] 特許文献 1 :国際公開第 2005Z048253号パンフレット（段落 [0100] )

特許文献 2：特開 2002— 279707号公報 (段落 [0021]、 [0028] )

特許文献 3 :特開 2003— 85839号公報（段落 [0006]、 [0016]、 [0046ト [0055 ]等）

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0010] ところで、特許文献 2に記載された方法のように、 2P法において使用するスタンパ に予め透明性の無機系材料を表面コーティングするためには、以下の工程が必要と なる。つまり、スタンパの表面に形成された溝/情報ピット等の上に、真空スパッタ装 置等によって、 SiO等の無機系材料からなる誘電体膜を、所定の厚さに形成する必

2

要がある。しかし、これでは光記録媒体の製造工程が煩雑となり、製造コストが増大 する一因となる。

[0011] また、特許文献 3で用いられている環状ポリオレフインは、良好な剥離性を有し工業 的に優れた材料である。し力しながら、環状ポリオレフインは特殊な材料であるために 高価であり、スタンパのコストを増大させる。樹脂製のスタンパは、通常使い捨てとさ れるために、光記録媒体全体に占めるスタンパのコスト負担が大きいのが実情である

[0012] また、現在、積層型多層光記録媒体に対しては、さらなる高性能化と共に、さらなる 低コストィ匕が求められている。

以上のような背景から、ポリカーボネート系樹脂やアクリル樹脂のような安価な樹脂 をスタンパとして用いつつも、スタンパの剥離を良好にすることができる、光記録媒体 の製造方法の開発が望まれている。

本発明は上記の課題に鑑みて創案されたもので、良好な凹凸形状を有する、欠陥 の少ない中間層を備える光記録媒体を安価に製造することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0013] 本発明の発明者らは上記課題を解決するべく鋭意検討した結果、 2P法による光記 録媒体の製造方法において、加熱した状態でスタンパを樹脂原料層から剥離すると レ、う手法を見出した。そして、この手法を導入することにより、従来スタンパとして用い ることができなかったポリカーボネート系樹脂でスタンパを形成した場合にも、良好な 凹凸形状を有する中間層を得ることができるとの知見を得た。さらに、この手法によれ ば、従来より良好な剥離性を有するとされてきた環状ポリオレフインのスタンパにおい ても、剥離を容易に行なうことができることを見出した。

[0014] 即ち、本発明の要旨は、少なくとも、基板、記録層、及び、凹凸形状を有する中間 層を備えた光記録媒体の製造方法であって、前記基板上に、直接又は他の層を介 して、前記記録層を形成する工程と、前記記録層上に、直接又は他の層を介して、 樹脂原料層を形成する工程と、前記樹脂原料層上に、前記凹凸形状に対応した転 写用凹凸形状を有するスタンパを載置した状態で、前記樹脂原料層を硬化させて、 前記基板、前記記録層、前記樹脂原料層及び前記スタンパを備えた接着体を得る 工程と、前記接着体から前記スタンパを剥離し、前記樹脂原料層に前記転写用凹凸 形状を転写して前記中間層を形成する工程とを有し、かつ、前記スタンパを剥離する 工程を、前記接着体が加熱された状態で行なうことを特徴とする、光記録媒体の製 造方法に存する（請求項 1)。

[0015] このとき、前記スタンパを剥離する際の前記接着体の温度は、 50°C以上であること が好ましい (請求項 2)。

[0016] また、前記スタンパを剥離する際の前記接着体の温度は、前記スタンパのガラス転 移温度以下であることが好ましレ、（請求項 3)。

[0017] さらに、前記樹脂原料層が複数の樹脂層から構成され、前記複数の樹脂層のうち 前記スタンパと接する樹脂層を最外樹脂層とした場合には、前記スタンパを剥離する 際の前記接着体の温度は、前記スタンパのガラス転移温度及び前記最外樹脂層の 硬化後のガラス転移温度以下であることが好ましレ、（請求項 4)。

[0018] また、前記スタンパは、ポリカーボネート系樹脂製であることが好ましい（請求項 5)。

[0019] さらに、前記樹脂原料層は、放射線硬化性樹脂からなることが好ましい (請求項 6)

[0020] また、前記の光記録媒体は、記録層を 2層以上有する多層光記録媒体であることが 好ましい (請求項 7)。

[0021] 本発明の別の要旨は、少なくとも、基板、記録層、及び、凹凸形状を有する中間層 を備えた光記録媒体の製造装置であって、前記基板上に、直接又は他の層を介して 、前記記録層を形成する手段と、前記記録層上に、直接又は他の層を介して、樹脂 原料層を形成する手段と、前記樹脂原料層上に、前記凹凸形状に対応した転写用 凹凸形状を有するスタンパを載置した状態で、前記樹脂原料層を硬化させて、前記 基板、前記記録層、前記樹脂原料層及び前記スタンパを備えた接着体を得る手段と 、前記接着体から前記スタンパを剥離し、前記樹脂原料層に前記転写用凹凸形状を 転写して前記中間層を形成する手段とを備え、かつ、前記スタンパを剥離する手段 力 前記接着体が加熱された状態で剥離を行なうことを特徴とする、光記録媒体の製 造装置に存する（請求項 8)。

[0022] 本発明においては、加熱した状態においてスタンパの良好な剥離を行なうことがで き、これにより、中間層に良好な凹凸形状を形成することが可能である。この理由は 明らかではないが、以下の（i)〜（iv)のように推察される。

(i)第一に、加熱により接着体の温度が高温になることによって、スタンパが載置され た樹脂原料層表面付近の材料の弾性率が下がったため、この表面近傍の材料がや わら力べなって、スタンパが剥離しやすくなつたものと考えられる。

[0023] (ii)第二に、加熱により接着体の温度が高温になることによって、スタンパが載置され た樹脂原料層表面の化学的活性が下がるために、スタンパが剥離しやすくなると考 えられる。即ち、樹脂原料層とスタンパとの間では、両者の材料界面において分子間 結合が形成されているものと考えられるが、この分子間結合は接着体が高温になつ たことにより弱くなるため、スタンパが剥離しやすくなつたものと考えられる。

[0024] (iii)第三に、加熱により接着体の温度が高温になることによって、樹脂原料層表面及 びスタンパ表面における分子の運動が活発となり、両者の表面自由エネルギーが小 さくなつて（即ち、表面張力が小さくなつて）、スタンパが剥離しやすくなつたものと考 えられる。

[0025] (iv)加熱を樹脂原料層の硬化後に行なう場合など、樹脂硬化層の硬化後に接着体 の温度変化を伴う場合には、以下の点も上記剥離が容易になった一因となるものと 推察される。即ち、スタンパを構成する材料の収縮率や膨張率の温度依存性と、スタ ンパが載置された樹脂原料層の表面付近の材料の収縮率や膨張率の温度依存性と が異なるようにしているので、加熱により接着体の温度が変化することによって、それ ぞれの材料が収縮や膨張を起こす。これにより、スタンパと樹脂原料層とを剥離しや すくするような応力が接着体中に生じ、スタンパが剥離しやすくなつたものと考えられ る。

発明の効果

[0026] 本発明の光記録媒体の製造方法及び製造装置によれば、良好な凹凸形状を有す る、欠陥の少ない中間層を備える光記録媒体を、安価に製造することが可能である。 図面の簡単な説明

[0027] [図 1]図 1 (a)〜図 1 (g)は、いずれも、本発明の第一実施形態が適用される光記録媒 体の製造方法の好ましい一例を説明するための模式図である。

[図 2]図 2 (a) ,図 2 (b)は、いずれも、本発明の第二実施形態が適用される光記録媒 体の製造方法の樹脂原料層形成工程について説明するための模式図である。

[図 3]図 3は、本発明の第二実施形態が適用される光記録媒体の製造方法の樹脂原 料層硬化工程について説明するための模式図である。

[図 4]図 4は、本発明の第一及び第二実施形態としての光記録媒体の製造装置を模 式的に示すブロック図である。

符号の説明

[0028] 1 製造装置

2 第 1記録層形成装置

3 第 1反射層形成装置

4 樹脂原料層形成装置

5 樹脂原料層硬化装置

6 スタンパ剥離装置

7 第 2記録層形成装置

8 第 2反射層形成装置

9 第 2基板形成装置

10 搬送手段

100 光記録媒体

101 第 1基板

102 第 1記録層

103 第 1反射層

104 中間層

104a 樹脂原料層（紫外線硬化性樹脂原料層）

104a 第 1樹脂層

1

104a 第 2樹脂層（最外樹脂層） 105 第 2記録層

106 第 2反射層

107 接着層

108 第 2基板

109 レーザ光

110 スタンノ

111 データ基板

112, 112' 接着体

113 光記録媒体用積層体

発明を実施するための最良の形態

[0029] 以下、本発明の実施形態について詳述する。し力しながら、本発明は、以下の実施 形態に限定されるものではなぐその要旨の範囲内で種々変形して実施することがで きることはいうまでもない。

[0030] [I.第一実施形態]

図 1 (a)〜図 1 (g)は、本発明の第一実施形態が適用される光記録媒体の製造方 法の好ましい一例を説明するための模式図である。なお、図 1 (a)〜図 1 (g)には、積 層型多層光記録媒体の製造方法の例として、有機色素を含む 2つの記録層を有す るデュアルレイヤタイプの片面入射型の光記録媒体 (片面 2層 DVD— R又は片面 2 層 DVDレコーダブル'ディスク）の製造方法が示されている。

[0031] まず、本実施形態において製造しょうとする光記録媒体の構成について簡単に説 明する。図 1 (g)に示すように、片面 2層 DVD— Rに代表される片面 2層の光記録媒 体 100は、ディスク状の光透過性の第 1基板 101を備えていて、この第 1基板 101上 に、色素を含む第 1記録層 102と、半透明の第 1反射層 103と、紫外線硬化性樹脂 力もなる光透過性の中間層 104と、色素を含む第 2記録層 105と、第 2反射層 106と 、接着層 107と、最外層を形成する第 2基板 108とが、順番に積層された構造を有し ている。

[0032] また、第 1基板 101及び中間層 104上にはそれぞれ凹凸が形成され、これらの凹 凸がそれぞれ記録トラックを構成している。即ち、第 1基板 101及び中間層 104がそ れぞれ表面に有する凹凸形状 (即ち、上記の凹凸の形状）が、記録トラックの形状と なっている。

さらに、光記録媒体 100の光情報の記録 ·再生は、第 1基板 101側から第 1記録層 102及び第 2記録層 105に照射されたレーザ光 109により行なわれるようになつてい る。即ち、第 1記録層 102及び第 2記録層 105は、照射されるレーザ光 109により情 報が記録及び再生されるようになってレヽる。

[0033] なお、本実施の形態が適用される光記録媒体の製造方法において、「光透過性（ 又は透明）」とは、光情報を記録 '再生するために照射される光の波長に対する光透 過性を意味するものである。具体的には、光透過性とは、記録'再生のための光の波 長について、通常 30%以上、好ましくは 50%以上、より好ましくは 60%以上の透過 性があることを言う。一方、記録 ·再生のための光の波長に対する透過性は、理想的 には 100%である力 通常は、 99. 9%以下の値となる。

[0034] 続いて、本実施形態の光記録媒体の製造方法を説明する。

本実施形態の光記録媒体の製造方法は、第 1記録層形成工程と、第 1反射層形成 工程と、樹脂原料層形成工程と、樹脂原料層硬化工程と、スタンパ剥離工程と、第 2 記録層形成工程と、第 2反射層形成工程と、第 2基板形成工程とを有する。

[0035] [1.基板の用意]

まず、第 1基板 101を用意する。第 1基板 101としては、図 1 (a)に示すように、表面 に凹凸で、溝、ランド、及びプリピットが形成されたものを用意する。第 1基板 101は、 例えばニッケル製スタンパ等を用いて射出成形等により作製することができる。

[0036] [2.第 1記録層形成工程]

次に、第 1記録層形成工程において、第 1基板 101上に第 1記録層 102を形成する 。第 1記録層 102の形成方法に制限はないが、例えば以下の方法で形成することが できる。即ち、有機色素を含有する塗布液を第 1基板 101の凹凸を有する側の表面 にスピンコート等により塗布する。その後、塗布液に使用した溶媒を除去するために 加熱等を行ない、第 1記録層 102を成膜する。なお、本実施形態では、上記のように 第 1基板 101上に直接第 1記録層 102を形成した例を示して説明するが、第 1記録 層 102は、光記録媒体 100の種類や構成などに応じて、第 1基板 101上に他の層を 介して形成するようにしてもょレ、。

[0037] [3.第 1反射層形成工程]

第 1記録層 102を成膜した後、第 1反射形成工程において、第 1記録層 102上に第 1反射層 103を形成する。第 1反射層 103の形成方法に制限はないが、例えば、第 1 記録層 102上に Ag合金等をスパッタまたは蒸着することにより、第 1記録層 102上に 第 1反射層 103を成膜することができる。

このように、第 1基板 101上に、第 1記録層 102及び第 1反射層 103を順に積層す ることによって、データ基板 111を得る。なお、本実施の形態においては、データ基 板 111を透明にしているものとする。

[0038] [4.樹脂原料層形成工程]

続いて、樹脂原料層形成工程において、図 1 (b)に示すように、第 1反射層 103の 表面 (即ち、データ基板 111の表面)全体に、樹脂原料層を形成する。即ち、第 1記 録層 102上に、第 1反射層 103を介して樹脂原料層 104aを形成する。

ここで形成する樹脂原料層 104aは、光記録媒体 100の完成時に中間層 104を構 成することになる層で、何らかの処理を施すことにより硬化しうる硬化性樹脂又はその 前駆体により形成された層である。

[0039] 樹脂原料層 104aの形成方法に制限はなく任意である力 通常は、以下のようにし て形成される。

上記硬化性樹脂としては光記録媒体に使用しうる硬化性樹脂を任意に用いること ができる。硬化性樹脂の例としては、放射線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂などが挙げ られる。熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等を用いて樹脂原料層 104aを形成する場合 、通常は、適当な溶剤に熱可塑性樹脂等を溶解して塗布液を調製し、この塗布液を 塗布すればよい。そして、この樹脂原料層 104aを乾燥 (加熱)することによって、中 間層 104を形成することができる。一方、放射線硬化性樹脂を用いて樹脂原料層 10 4aを形成する場合は、通常、そのまま若しくは適当な溶剤に溶解して塗布液を調製 し、この塗布液を塗布すればよい。そして、この樹脂原料層 104aを適当な放射線を 照射して硬化させることによって、中間層 104を形成することができる。中でも、放射 線硬化性樹脂の一種である紫外線硬化性樹脂が好ましい。なお、本明細書におい ては、「放射線」を、電子線、紫外線、可視光、及び赤外線を含む意味で用いる。ま た、硬化性樹脂は 1種を単独で用いてもよぐ 2種以上を任意の組み合わせ及び比 率で併用してもよい。

ただし、樹脂原料層 104aはこの後でスタンパ 110 (後述）により表面に凹凸が成形 されることになるため、樹脂原料層硬化工程において成形される前には、不定形な 状態（通常は、所定の粘度を有する液体状態）となっている。

[0040] また、樹脂原料層 104aの形成方法に制限はなぐ例えばスピンコート法やキャスト 法等の塗布法等の方法が用いられる。この中でも、スピンコート法が好ましい。特に、 高粘度の樹脂を用いた場合は、スクリーン印刷等によっても塗布形成できる。また、 スピンコート法を採用する場合、例えば、樹脂原料層 104aは、硬化性樹脂の前駆体 をスピンコート等により塗布することで形成することができる。

本実施形態においては、放射線硬化性樹脂の一つである紫外線硬化性樹脂の前 駆体をスピンコートにより塗布し、樹脂原料層（以下、説明の便宜から「紫外線硬化性 樹脂原料層」と呼ぶ場合がある。 ) 104aを形成したものとする。

[0041] ところで、本実施形態においては、上記のように第 1記録層 102上に第 1反射層 10 3を介して紫外線硬化性樹脂原料層 104aを形成した例を示して説明するが、紫外 線硬化性樹脂原料層 104aは、光記録媒体 100の種類や構成などに応じて、第 1記 録層 102上に直接形成するようにしてもよぐまた、第 1反射層 103以外のその他の 層を介して形成するようにしてもょレ、。

[0042] [5.樹脂原料層硬化工程]

次に、樹脂原料層硬化工程において、図 1 (c)に示すように、紫外線硬化性樹脂原 料層 104a上にスタンパ 110を載置し、紫外線硬化性樹脂原料層 104aを硬化させる 。つまり、第 1記録層 102とは反対側の紫外線硬化性樹脂原料層 104aの表面にスタ ンパ 110が載置された状態となる。

スタンパ 110は、中間層 104に形成されることになる凹凸の形状（凹凸形状）に対応 した形状 (転写用凹凸形状）の凹凸（転写用凹凸）を表面に有する型である。そして、 スタンパ 110が有する転写用凹凸の転写用凹凸形状が紫外線硬化性樹脂原料層 1 04aに転写されることにより、中間層 104に、所望の凹凸形状の凹凸が形成されるよ う、転写用凹凸形状は設定されている。

[0043] また、スタンパ 110の材料としては、光記録媒体 100の製造コストを考慮して、通常 は樹脂を用いる。後述する通り、紫外線硬化性樹脂原料層 104aを硬化させるための 紫外線は、スタンパ 110を介して照射することが好ましい。したがって、スタンパ 110 の材料として金属等の不透明材料を用いると、紫外線をスタンパ 110を介して照射す ることが不可能となる。そのような場合には紫外線による樹脂原料層の硬化が十分得 られない為、各層の劣化など悪影響を及ぼす可能性がある。

[0044] ところで、本発明においては、後述するように、スタンパ 110の剥離を加熱環境下で 行なうため、スタンパ 110に用いる材料の自由度が大きく広がるという利点が発揮さ れる。つまり、従来は、スタンパ 110を形成したときの表面エネルギーを小さくする観 点から、スタンパ 110を形成する樹脂として、ポリオレフイン系樹脂、ポリスチレン系樹 脂などが好ましいとされてきた。そして、実際に実用化されているのは、非晶質環状 ポリオレフイン樹脂（例えば、ゼォネックスおよびゼォノア（いずれも日本ゼオン株式 会社製)）である。しかし、本発明においては、上記のような高機能性の樹脂に限られ ず、ポリカーボネート系樹脂、アクリル系樹脂等の汎用で低コストの樹脂を用いること 力 Sできる。上記利点を顕著に発揮させる観点から、スタンパ 110の材料としては、ポリ カーボネート系樹脂、アクリル系樹脂を用いることが好ましい。より好ましくは、ポリ力 ーボネート系樹脂である。なお、スタンパ 110の材料は、 1種を単独で用いてもよぐ 2 種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。

[0045] さらに、スタンパ 110は、通常、中央部に表裏を貫通する中心孔を形成された円板 形状に形成される。本実施形態においても、スタンパ 110は、表面に転写用凹凸形 状を有し、中央部にセンターホール（図示省略）を形成された円板形状のものを用い ているものとする。

[0046] なお、スタンパ 110を作製する場合、その作製方法は任意であるが、例えば、スタン ノ 110を樹脂製スタンパとする場合には、スタンパ 110が有する転写用凹凸形状の 逆 (ネガ）の凹凸パターンを有する金属製スタンパ（例えば、ニッケル製スタンパ）を用 いて、射出成形等により作製することができる。

[0047] また、本実施の形態において使用されるスタンパ 110の厚さは、形状安定性及びハ ンドリングの容易さの点で、通常 0. 3mm以上とするのが望ましい。但し、厚さは、通 常、 5mm以下である。スタンパ 110の厚さがこの範囲であれば、十分な光透過性を 有するため、後述するようにスタンパ 110を介して紫外線を照射しても、紫外線硬化 樹脂等を効率よく硬化させることが可能であり、生産性を向上させることが出来る。

[0048] さらに、スタンパ 110の外径は、第 1基板 101の外径（通常は、光記録媒体 100の 外径に等しい）より大きくすることが好ましい。スタンパ 110の外径を第 1基板 101の 外径よりも予め大きく設計しておくと、射出成形でスタンパ 110を製造する際に、第 1 基板 101の外径よりも外側の外周部にも余裕を持って転写用凹凸形状を形成するこ とが可能となり、スタンパ 110の全面にわたって良好な転写用凹凸形状を形成するこ とが出来る。

[0049] また、第 1基板 101の外径よりもスタンパ 1 10の外径を大きくすることにより、中間層 104 (及び、紫外線硬化性樹脂原料層 104a)の外径よりもスタンパ 110の外径が大 きくなる。このようにすると、中間層 104の端面の形状を良好にしゃすくなる。つまり、 仮にスタンパ 110の外径を第 1基板 101の外径以下にした場合には、スタンパ 110を 紫外線硬化性樹脂原料層 104a上に載置した際に、スタンパ 110の外周端部に紫外 線硬化性樹脂原料層 104aの樹脂が付着することがある。この樹脂は、スタンパ 110 を剥離する際にバリとなる場合がある。したがって、中間層 104 (紫外線硬化性樹脂 原料層 104a)の外径よりもスタンパ 110の外径が大きいと、バリとなりやすい紫外線 硬化性樹脂原料層 104aの端部に存在する樹脂が、中間層 104の外径よりも外側に 存在することとなる。その結果、ノ リが発生したとしても、ノ リ発生の部分を取り除くこ とによって、中間層 104の端面の形状を良好とすることができる。

[0050] 具体的には、スタンパ 110の外径は、第 1基板 101の外径より、直径で通常 lmm 以上、好ましくは 2mm以上大きくすることが好ましい。但し、スタンパ 110の外径を第 1基板 101の外径より大きくする程度は、直径で通常 15mm以下、好ましくは 10mm 以下であることが好ましい。

[0051] ところで、スタンパ 110を載置する際、スタンパ 110の凹凸が形成された面を紫外線 硬化性樹脂原料層 104aに押し付けるようにして載置する。このとき、スタンパ 1 10を 紫外線硬化性樹脂原料層 104aに押し付ける程度は、紫外線硬化性樹脂原料層 10 4aの膜厚が所定範囲になるように調節して行なう。

[0052] そして、スタンパ 110を紫外線硬化性樹脂原料層 104aに載置した状態で、紫外線 硬化性樹脂原料層 104aを硬化させる。紫外線硬化性樹脂原料層 104aを硬化させ るには、紫外線硬化性樹脂原料層 104aに紫外線を照射すればよい。紫外線の照射 方法は限定されず、スタンパ 110を介して照射しても良いし、紫外線硬化性樹脂原 料層 104aの側面から照射しても良ぐさらに、第 1基板 101側から照射するようにして もよレ、。紫外線をスタンパ 110側から照射する場合には、スタンパ 110として紫外線を 透過しうるもの（光透過性のもの）を用いることが、工業的に好ましい。紫外線を第 1基 板 101側から照射する場合には、紫外線の照射により第 1記録層 102がダメージを 受けないようにすることが好ましい。紫外線の照射効率および紫外線による各層材料 への悪影響軽減の観点から、紫外線はスタンパ 110を介して照射することが好ましい

[0053] 本実施形態では、スタンパ 110を介して、スタンパ 110側から紫外線硬化性樹脂原 料層 104aに紫外線を照射して、紫外線硬化性樹脂の前駆体を重合させることにより 、紫外線硬化性樹脂原料層 104aを硬化させたものとして説明を行なう。

このようにして、前記樹脂原料層 104aを硬化させて、データ基板 111 (即ち、第 1 基板 101、第 1記録層 102及び第 1反射層 103)、紫外線硬化性樹脂原料層 104a、 並びに、スタンパ 1 10を備えた接着体 112が得られる。

[0054] [6.スタンパ剥離工程]

そして、スタンパ剥離工程では、図 1 (d)に示すように、紫外線硬化性樹脂原料層 1 04a (図 1 (c)参照）から（即ち、接着体 112から)スタンパ 110を剥離させる。これによ り、紫外線硬化性樹脂原料層 104aにスタンパ 110の転写用凹凸形状が転写されて 、中間層 104が形成される。なお、本明細書では、紫外線硬化性樹脂原料層 104aと は、塗布後、硬化され、スタンパが剥離するよりも以前のものを指す。また、中間層 10 4とは、スタンパ 110が剥離した後のものを指す。したがって、紫外線硬化性樹脂原 料層 104a及び中間層 104は同様の位置に形成された層を指すものである力 その 状態が異なるものである。

[0055] スタンパ 110を剥離させる具体的方法に制限はなレ、が、通常は、光記録媒体が円 盤形状の場合には、内周を真空吸着して、光記録媒体の内周にナイフエッジを入れ 、そこにエアーを吹き込みながらディスク（後述する光記録媒体用積層体 113)とスタ ンパ 110を引き離すという方法で剥離を行なう。

[0056] ただし、本発明の第一実施形態としての光記録媒体の製造方法においては、上記 のスタンパ 110の剥離を、接着体 112が加熱された状態において行なうようにする。 加熱した状態においてスタンパ 110の剥離を行なうようにすることで、良好な剥離を 行なうことが可能となり、良好な凹凸形状を有する中間層 104を得ることができるよう になる。

[0057] 加熱した状態においてスタンパ 110の剥離を行なうことにより、良好な剥離が可能と なり、中間層 104に良好な凹凸形状を形成できる理由は、明らかではない。しかし、 上記説明したように、（i)加熱環境下における紫外線硬化性樹脂原料層 104aの表 面の弾性率低下、（ii)加熱環境下における紫外線硬化性樹脂原料層 104a及びスタ ンパ 110の表面の化学活性の低下、（iii)加熱環境下における表面自由エネルギー の低下、（iv)紫外線硬化性樹脂層 104a及びスタンパ 110を構成する材料の収縮率 及び膨張率の温度依存性の相違、などにより上記の利点が得られるようになつている と推察される。

[0058] ここで、スタンパ 110の剥離を行なう際に接着体 112の温度が所定の加熱温度にな つていれば、加熱操作を行なう時期は任意である。すなわち、本発明において「加熱 された状態」とは、昇温操作そのものを意味するものではなぐ所定の箇所を後述す る室温よりも高い温度の状態にすることを意味するものである。したがって、例えば、 製造ラインの系自体を高温に保つこと等により、本発明の光記録媒体の製造方法の 全工程を加熱環境下で行なうようにしてもよい。また、例えば、スタンパ剥離工程より も以前のいずれかの工程において加熱操作を行なうようにしてもよい。さらに、紫外 線硬化性樹脂原料層 104aの硬化後のスタンパ剥離工程において加熱操作を行なう ようにしてもよレ、。ただし、中でもスタンパ剥離工程において加熱操作を行なうように することが好ましい。上記のように、紫外線硬化性樹脂層 104a及びスタンパ 1 10を構 成する材料の収縮率及び膨張率の温度依存性の相違を利用してスタンパ 1 10の剥 離を行なうことが可能となるからである。 [0059] また、加熱操作の回数は 1回に限らず、 2回以上であってもよい。

さらに、加熱操作を行なっている期間中には、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内 で温度変化があってもよい。

[0060] ここで、スタンパ 110を剥離する時の接着体 112の温度 (加熱温度）としては、スタ ンパの剥離が良好である限り任意である。加熱温度は、通常は室温（日本では、通常 25°C± 5°C)よりも高温であればよレ、。具体的には、接着体 112の温度を、通常 50°C 以上、好ましくは 70°C以上の温度に保持した状態で剥離を行なうようにする。

[0061] ただし、加熱温度の上限は、中間層 104、即ち樹脂原料層（本実施形態では、紫 外線硬化性樹脂原料層） 104aの硬化後のガラス転移温度以下とすることが好ましレ、 。また、スタンパ 110に樹脂製のものを用いる場合には、加熱温度の上限は、スタン ノ 110のガラス転移温度以下とすることが好ましい。即ち、加熱温度の上限は、樹脂 原料層 104aの硬化後のガラス転移温度及びスタンパ 110のガラス転移温度以下と することが好ましい。これは、スタンパ 110や樹脂原料層 104aの収縮や膨張を考慮 しつつ、中間層 104の表面に形成される凹凸形状をより良好にするためである。

[0062] また、スタンパ 110のガラス転移温度と樹脂原料層 104aの硬化後のガラス転移温 度とが異なるときは、接着体 112の加熱温度は、上記の両ガラス転移温度のうち、低 い方の温度以下に設定することが好ましい。さらに、上記の加熱温度は、スタンパ 11 0のガラス転移温度及び樹脂原料層の硬化後のガラス転移温度のうち、低レ、方のガ ラス転移温度を基準として、当該ガラス転移温度よりも 20°C以上低くすることが好まし レ、。より好ましくは、当該ガラス転移温度よりも 30°C以上低くすることである。加熱温 度をこのような温度設定とすることで、中間層 104の表面に形成される凹凸形状をよ り良好にしゃすくなる。

[0063] 加熱方法や加熱装置は限定されないが、接着体 112の全面に亘つて均一に加熱 することが望ましい。その点では、オーブン式の加熱装置、赤外線ランプを使用した 加熱方法、または、赤外線を用いた加熱方法などが適している。赤外線を用いた加 熱の場合は瞬時に加熱することができるため、数秒程度の加熱でスタンパ 110の剥 離に十分な温度を得ることができるので好ましい。なお、加熱時間は、接着体 112が 前記の加熱状態となる限り限定されない。 [0064] なお、接着体 112の温度は、非接触型の温度計 (例えば、株式会社 KEYENCE の非接触型温度計 IT2— 60)により測定することができる。接着体 112が厚み方向に 温度分布をもつ場合は、本発明における接着体 112の温度は樹脂原料層 104aの 温度を意味するものとする。また、スタンパ 110が載置された状態で樹脂原料層 104 aの温度が直接測定出来ない場合は、樹脂原料層 104aと接する層であるスタンパ 1 10の温度を意味するものとする。

[0065] 以上の操作を経て、紫外線硬化性樹脂原料層 104aの表面に、スタンパ 110の転 写用凹凸の形状 (即ち、転写用凹凸形状）が転写された中間層 104を形成し、第 1基 板 101、第 1記録層 102、第 1反射層 103及び中間層 104を備えた光記録媒体用積 層体 113を得ることができる（図 1 (d)参照）。

[0066] 本実施形態の光記録媒体の製造方法においては、スタンパ 110の剥離を加熱状 態の下で行なうことにより、中間層 104とスタンパ 110とを、無理な負荷をかけることな く容易に剥離することができる。その結果、中間層 104に良好な凹凸形状を形成する こと力 Sできる。また、第 1記録層 102及び第 1反射層 103が変形するおそれが減少す る。さらに、中間層 104の表面の均一性が保たれることにより光情報の記録 '再生の ための信号波形を安定させることができる。したがって、良好な凹凸形状を有する欠 陥の少ない中間層 104を形成することが可能になっている。

[0067] また、本実施形態の光記録媒体の製造方法においては、中間層 104とスタンパ 11 0とを、無理な負荷をかけることなく容易に剥離することができるので、スタンパ 110側 に、紫外線硬化性樹脂の残渣が付着しにくい。これにより、スタンパ 110を再利用し やすくなる。

さらに、本実施形態の光記録媒体の製造方法においては、中間層 104とスタンパ 1 10との剥離が容易になるため、スタンパ 110に用いる材料の自由度が大きく広がると レ、う利点も得ることができる。

[0068] [7.第 2記録層形成工程]

続いて、第 2記録層形成工程では、図 1 (e)に示すように、中間層 104上に第 2記録 層 105を形成する。第 2記録層 105の形成方法に制限はないが、例えば以下の方法 で形成することができる。即ち、有機色素を含む塗布液を、スピンコート等により中間 層 104表面に塗布する。そして、塗布液に使用した溶媒を除去するために加熱等を 行ない、第 2記録層 105を成膜する。 [4.樹脂原料層形成工程]から [7.第 2記録層 形成工程]を繰り返すことによって、積層型多層光記録媒体を効率よく製造すること ができる。

[0069] なお、本実施形態は、第 2記録層 105を中間層 104上に直接形成した例を示して 説明するが、光記録媒体 100の種類や構成などに応じて、他の層（例えば保護層や バッファ一層)を介して第 2記録層 105を形成してもよレ、ことはレ、うまでもなレ、。

[0070] [8.第 2反射層形成工程]

次に、第 2反射層形成工程では、図 1 (f)に示すように、第 2記録層 105上に第 2反 射層 106を形成する。第 2反射層 106の形成方法に制限はないが、例えば、 Ag合金 等をスパッタ蒸着することにより第 2記録層 105上に第 2反射層 106を成膜することが できる。

[0071] [9.第 2基板形成工程]

その後、第 2基板形成工程において、図 1 (g)に示すように、第 2反射層 106上に第 2基板 108を形成する。第 2基板 108の形成方法に制限はないが、例えば、第 2基板 108を、接着層 107を介して第 2反射層 106に貼り合わせて形成することができる。 なお、第 2基板 108に制限はなレ、が、ここでは、ポリカーボネートを射出成形して得ら れた鏡面基板を第 2基板 108として用いているものとする。

[0072] ここで、接着層 107の構成は任意である。例えば、接着層 107は、透明であっても 不透明であってもよい。また、表面が多少粗くてもよい。さらに、遅延硬化型の接着剤 であっても問題なく使用できる。また、例えば、第 2反射層 106上にスクリーン印刷等 の方法で接着剤を塗布し、紫外線を照射してから第 2基板 108を載置し、押圧するこ とにより接着層 107を形成するようにしてもよい。また、第 2反射層 106と第 2基板 108 との間に感圧式両面テープを挟んで押圧することにより接着層 107を形成することも 可能である。

[0073] 以上のようにして、光記録媒体 100の製造が完了する。本実施形態の光記録媒体 の製造方法によれば、図 1 (g)に示すような層構成の光記録媒体 100を得ることがで きる。 なお、図 1 (g)に示した層構成はあくまで一例であり、例えば、本実施形態の光記録 媒体の製造方法により、図 1 (g)に図示しない他の層（例えば、第 1基板 101と第 1記 録層 102との間に下地層を揷入する。）を有する光記録媒体を製造するようにしても よい。また、上述した各工程の前、途中、後に、上述した工程以外の他の工程を行な うようにしてもよい。

[0074] このような本実施形態の光記録媒体の製造方法は、例えば、図 4に示すような光記 録媒体の製造装置 1により行なうことができる。即ち、この製造装置 1は、第 1記録層 形成工程の操作を行なう第 1記録層形成装置 2と、第 1反射層形成工程の操作を行 なう第 1反射層形成装置 3と、樹脂原料層形成工程の操作を行なう樹脂原料層形成 装置 4と、樹脂原料層硬化工程の操作を行なう樹脂原料層硬化装置 5と、スタンパ剥 離工程の操作を行なうスタンパ剥離装置 6と、第 2記録層形成工程の操作を行なう第 2記録層形成装置 7と、第 2反射層形成工程の操作を行なう第 2反射層形成装置 8と 、第 2基板形成工程の操作を行なう第 2基板形成装置 9と、光記録媒体 100及びその 製造途中の中間品をこれらの各装置 2〜9の間で前記の順に搬送する搬送装置 10 とを備えて構成される。

[0075] よって、この製造装置 1は、第 1基板 101上に、直接又は他の層を介して、第 1記録 層 102を形成する手段（第 1記録層形成装置 2)と、第 1記録層 102上に、直接又は 他の層を介して、樹脂原料層 104aを形成する手段 (樹脂原料層形成装置 4)と、樹 脂原料層 104a上に、前記凹凸形状に対応した転写用凹凸形状を有するスタンパ 1 10を載置した状態で、樹脂原料層 104aを硬化させて、第 1基板 101、第 1記録層 1 02、樹脂原料層 104a及びスタンパ 110を備えた接着体 107を得る手段 (樹脂原料 層硬化装置 5)と、接着体 107からスタンパ 110を剥離し、樹脂原料層 104aに転写 用凹凸形状を転写して中間層 104を形成する手段 (スタンパ剥離装置 6)とを備え、 かつ、スタンパ 110を剥離する手段 (スタンパ剥離装置 6)力 接着体 107が加熱され た状態で剥離を行なうように構成される。したがって、この製造装置 1により上述した 光記録媒体の製造方法を実施し、良好な凹凸形状を有する欠陥の少ない中間層を 備えた光記録媒体を安価に製造することができるのに加え、上述した作用'効果を得 ること力 Sできる。 [0076] ただし、ここで例示した製造装置 1は上述した光記録媒体の製造方法を実施するた めの製造装置の一例であり、本発明の光記録媒体の製造装置はこれに限定されるも のではなぐ本発明の要旨を逸脱しない範囲で任意に変更して実施することができる 。例えば、装置 2〜： 10は任意に組み合わせて構成できる。また、製造装置 1は、ここ で挙げていない別の装置と組み合わせて構成することもできる。さらに、装置 2〜： 10 は本例のように一つの製造装置 1中に組み込まれていてもよぐそれぞれ別々に構 成された装置 2〜： 10が全体として製造装置 1を構成するようにしてもよい。

[0077] さらには、 1つの装置が、製造装置 1中の異なる装置の機能を兼ね備えていてもよ い。このような例としては、第 1記録層形成装置 2と第 2記録層形成装置 7、或いは、 第 1反射層形成装置 3と第 2反射層形成装置 8などが挙げられる。

[0078] [II.第二実施形態]

本発明の光記録媒体の製造方法においては、光記録媒体の反りや、中間層上に 形成される記録層の記録特性等を考慮し、樹脂原料層を複数の樹脂層から形成し てもよい。この場合、樹脂原料層を構成する複数の樹脂層のうち、スタンパに接して 凹凸形状を形成される樹脂層が最外樹脂層となる。

[0079] このように樹脂原料層を複数の樹脂層から構成する場合、樹脂原料層を構成する 樹脂層の数は、特に制限されない。具体的には、上記樹脂層の数は、通常 10層以 下、好ましくは 5層以下、より好ましくは 4層以下とする。一方、上記樹脂層の数は、 2 層以上とする。但し、生産効率の観点からは、樹脂原料層を構成する樹脂層の数は 、 2層以上、 5層以下とすることが好ましい。生産効率の観点から特に好ましいのは、 樹脂原料層を構成する樹脂層の数を、 2層又は 3層構造とすることである。

[0080] 以下、樹脂原料層を 2層の樹脂層力も構成とする場合について、第二実施形態を 示して説明する。なお、以下の第二実施形態では、第一実施形態に対して、樹脂原 料層の形成方法、及び、スタンパの載置方法を変更したものである。また、樹脂原料 層 104を形成する樹脂としては、第一実施形態と同様に、紫外線硬化性樹脂を用い ているものとして説明を行なう。

[0081] 本実施形態では、基板の用意、第 1記録層形成工程、及び、第 1反射層形成工程 は、それぞれ第一実施形態と同様にして行なう。 そして、その後、樹脂原料層形成工程を行なう。

図 2 (a) ,図 2 (b)は、本発明の第二実施形態が適用される光記録媒体の製造方法 の樹脂原料層形成工程について説明するための模式図である。なお、図 2 (a) ,図 2 (b)において、図 1 (a)〜図 1 (g)と同様の部位については、図 1 (a)〜図 1 (g)と同様 の符号を付して説明する。

[0082] 本実施形態の製造方法では、樹脂原料層形成工程において、図 2 (a) ,図 2 (b)に 示すように、表面に第 1樹脂層 104aを形成したデータ基板 111上に、最外樹脂層

1

である第 2樹脂層 104aを形成したスタンパ 110を載置し、第 1樹脂層 104aと第 2榭

2 1 脂層 104aとから紫外線硬化性樹脂原料層 104a (図 3参照）を形成する。つまり、第

2

1樹脂層 104a上に、最外樹脂層である第 2樹脂層 104aを形成したスタンパ 110を

1 2

載置することによって、紫外線硬化性樹脂原料層 104a上にスタンパ 110が載置され た状態となる。以下、この点に関して詳しく説明する。

[0083] 即ち、紫外線硬化性樹脂原料層 104aを形成するためには、図 2 (a)に示すように、 第 1基板 101、第 1記録層 102及び第 1反射層 103から構成されるデータ基板 111 上に、第 1樹脂層 104aを形成する。なお、データ基板 111の製造方法は、第一実

1

施形態と同様である。また、第 1樹脂層 104aの形成方法に制限はなぐ例えば、第

1

一実施形態で紫外線硬化性樹脂原料層 104aを形成したのと同様にして形成するこ とがでさる。

[0084] —方、スタンパ 110上には、図 2 (b)に示すように、転写用凹凸形状を有している側 の表面上に、第 2樹脂層 104aを形成する。なお、スタンパ 110は、第一実施形態と

2

同様のものを用いることができる。また、本実施形態においては、この第 2樹脂層 104 a力 Sスタンパ 110に接して、凹凸形状が形成されることになるため、第 2樹脂層 104a

2 2 は最外樹脂層として機能することになる。

また、第 2樹脂層 104aの形成方法に制限はなレ、が、例えば、スタンパ 110の表面

2

全体に、紫外線硬化性樹脂の前駆体をスピンコート等により塗布して成膜することが できる。

[0085] そして、第 1樹脂層 104aと第 2樹脂層 104aとを向かい合うようにして、第 2樹脂層

1 2

104aが形成されたスタンパ 110を、第 1樹脂層 104aが形成されたデータ基板 111 上に載置する。これにより、データ基板 111の表面（即ち、第 1反射層 103の表面)全 体に、第 1樹脂層 104aと第 2樹脂層 104aとからなる紫外線硬化性樹脂原料層 104

1 2

aが形成される。即ち、第 1記録層 102上に、第 1反射層 103を介して紫外線硬化性 樹脂原料層 104aが形成される。そして、上記操作によって、紫外線硬化性樹脂原料 層 104a上に、転写用凹凸形状を有するスタンパ 110を載置した状態を得ることがで きる。換言すれば、第 1記録層 102とは反対側の紫外線硬化性樹脂原料層 104aの 表面にスタンパ 110が載置された状態となる。

ここで、スタンパ 110を載置する際には、スタンパ 110をデータ基板 1 11に押し付け る力を、紫外線硬化性樹脂原料層 104aの膜厚が所定範囲になるように調節しなが ら、載置を行なうようにする。

[0086] そして、樹脂原料層硬化工程として、第一実施形態と同様に、図 3に示すように、こ の状態でスタンパ 110を介して、スタンパ 110側から紫外線を照射して紫外線硬化性 樹脂層 104aを硬化させる。このようにして、データ基板 111、紫外線硬化性樹脂原 料層 104a及びスタンパ 110を備えた接着体 112 'が得られる。なお、図 3は、本発明 の第二実施形態が適用される光記録媒体の製造方法の樹脂原料層硬化工程につ いて説明するための模式図である。なお、図 3において、図 1 (a)〜図 1 (g)及び図 2 ( a) ,図 2 (b)と同様の部位については、図 1 (a)〜図 1 (g)及び図 2 (a) ,図 2 (b)と同 様の符号を付して説明する。

[0087] その後、第一実施形態のスタンパ剥離工程と同様にして、接着体 112 'を加熱した 状態で紫外線樹脂原料層 104aからスタンパ 110を剥離することにより、良好な中間 層 104を形成することができる。

ただし、この第二実施形態においては、スタンパ 110の剥離を行なう際の接着体 1 1 2 'の温度 (加熱温度）の上限の設定は、スタンパ 110のガラス転移温度、及び、最外 樹脂層である第 2樹脂層 104aの硬化後のガラス転移温度以下とすることが好ましい

2

。即ち、スタンパ 110のガラス転移温度以下、且つ、第 2樹脂層 104a (最外樹脂層）

2

の硬化後のガラス転移温度以下の温度範囲とすることが好ましい。これは、中間層 1 04の表面の凹凸形状は、第 2樹脂層 104a (最外樹脂層）によって形成されるため、

2

第 2樹脂層 104a (最外樹脂層）の硬化後のガラス転移温度を考慮して加熱の際の 温度を設定すれば、中間層 104の凹凸形状を良好にしゃすいからである。

[0088] また、スタンパ 110のガラス転移温度と第 2樹脂原料層 104aの硬化後のガラス転

2

移温度とが異なるときは、接着体 112 'の加熱温度は、上記の両ガラス転移温度のう ち、低い方の温度以下に設定することが好ましい。さらに、上記の加熱温度は、スタ ンパ 110のガラス転移温度及び第 2樹脂原料層 104a (最外樹脂層）の硬化後のガ

2

ラス転移温度のうち、低い方の温度を基準として、当該ガラス転移温度よりも 20°C以 上低くすることが好ましい。より好ましくは、当該ガラス転移温度よりも 30°C以上低くす ることである。加熱温度をこのような温度設定とすることで、中間層 104の表面に形成 される凹凸形状をより良好にしゃすくなる。

[0089] その後の第 2記録層形成工程、第 2反射層形成工程、及び、第 2基板形成工程は 、それぞれ第一実施形態と同様にして行なうようにすればよい。

以上のようにすれば、第一実施形態と同様に、良好な凹凸形状を有する、欠陥の 少ない中間層 104を備えた光記録媒体 100 (図 1 (g)参照）を製造することができる。 また、本実施形態の光記録媒体の製造方法によれば、第一実施形態と同様の利点 を得ることができる。

さらに、本実施形態によれば、中間層 104の形成のために、紫外線硬化性樹脂原 料層 104aを複数の樹脂層（第 1樹脂層 104a，第 2樹脂層 104a )により構成するよ

1 2

うにした。このため、第 2記録層 105の記録特性を良好にしゃすい材料を最外樹脂層 として用いることができる、第 1反射層 103との密着性がよい材料をデータ基板 111 に接する樹脂層に用いることができる、光記録媒体の反りの改善する材料をデータ 基板 111に接する樹脂層に用いることができる、という利点を得ることも可能である。 よって、本実施形態によれば、第 1樹脂層 104aとして、第 2樹脂層 104aよりも硬

1 2 化後のガラス転移温度が低い樹脂を用いることが出来る。具体的には、第 1樹脂層 1 04aとして、第 2樹脂層 104aの硬化後のガラス転移温度よりも 20°C以上低レ、、更に

1 2

は 40°C以上低い、特には 80°C以上低い樹脂を用いることが可能である。

[0090] このような本実施形態の光記録媒体の製造方法も、第 1実施形態と同様に、例えば 、図 4に示すような、第 1記録層形成工程の操作を行なう第 1記録層形成装置 2と、第 1反射層形成工程の操作を行なう第 1反射層形成装置 3と、樹脂原料層形成工程の 操作を行なう樹脂原料層形成装置 4と、樹脂原料層硬化工程の操作を行なう樹脂原 料層硬化装置 5と、スタンパ剥離工程の操作を行なうスタンパ剥離装置 6と、第 2記録 層形成工程の操作を行なう第 2記録層形成装置 7と、第 2反射層形成工程の操作を 行なう第 2反射層形成装置 8と、第 2基板形成工程の操作を行なう第 2基板形成装置 9と、光記録媒体 100及びその製造途中の中間品をこれらの各装置 2〜 9の間で前 記の順に搬送する搬送装置 10とを備えて構成された製造装置 1により行なうことがで きる。

ただし、本実施形態においても、第 1実施形態と同様に、任意に変更して実施する こと力 Sできる。

[0091] [III.本発明の光記録媒体の製造方法及び製造装置を適用しうる光記録媒体の説明

]

上記の第一及び第二実施形態では、製造対象となる光記録媒体の例として、有機 色素を含む 2つの記録層を有するデュアルレイヤタイプの片面 2層 DVD— Rを例に 挙げて説明したが、本発明の光記録媒体の製造方法及び製造装置を適用しうる光 記録媒体はこれに限られるものではない。即ち、少なくとも、基板と、記録層と、凹凸 形状を有する中間層とを有し、記録層上に、直接又は他の層を介して、樹脂原料層 を形成し、樹脂原料層上に転写用凹凸形状を有するスタンパを載置し、樹脂原料層 を硬化させた後、樹脂原料層からスタンパを剥離し、樹脂原料層にスタンパの転写 用凹凸形状を転写して中間層を形成する工程を含む製造方法によって製造される 光記録媒体又は光記録媒体用積層体であれば本発明を適用することができ、これに より、本発明の効果が良好に発揮される。したがって、例えば、他の構成の光記録媒 体に対しても、本発明の光記録媒体の製造方法及び製造装置を適用することができ る。

[0092] また、例えば、本発明の光記録媒体の製造方法及び製造装置は、記録層を 1層の み有する光記録媒体に適用することもできる。

さらに、例えば、本発明の光記録媒体の製造方法及び製造装置は、記録層を 3層 以上有し、中間層を 2層以上有する光記録媒体に適用することもできる。この場合、 2 層以上の中間層のそれぞれを形成するために、上記実施形態で説明した中間層の 形成方法を適用することができる。

さらに、上述した実施形態では、いわゆる基板面入射型の光記録媒体の製造方法 及び製造装置について説明したが、本発明の光記録媒体の製造方法及び製造装 置は、いわゆる膜面入射型の光記録媒体の製造方法及び製造装置にも当然に適用 すること力 Sできる。

[0093] また、本発明の光記録媒体の製造方法及び製造装置を適用しうる光記録媒体とし ては、一度の記録のみ可能な追記型媒体（CD— Rや DVD— Rなどの Write Once 媒体）や、記録消去を繰り返し行なえる書き換え型媒体（CD— RWや DVD— RWな どの Rewritable媒体）が好適である力 再生専用媒体（CD— ROMや DVD— RO Mなどの ROM媒体)を排除するものではない。特に、本発明の光記録媒体の製造 方法及び製造装置は、追記型媒体に適用した場合に、安定した記録'再生特性を発 現することが出来るため好ましい。

[0094] 次に、図 1 (g)に示された片面 2層 DVD— Rに代表される、片面 2層の光記録媒体 100を構成する各層について説明する。

〔第 1基板〕

第 1基板 101は、光透過性を有し、複屈折率が小さい等、光学特性に優れることが 望ましい。また、第 1基板 101は、射出成形が容易である等成形性に優れることが望 ましい。さらに、第 1基板 101は、吸湿性が小さいことが望ましい。更に、第 1基板 101 は、光記録媒体がある程度の剛性を有するよう、形状安定性を備えることが望ましレ、

[0095] また、第 1基板 101を構成する材料としては、特に限定されないが、例えば、アタリ ル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリオレフイン系樹脂（特に非 晶質ポリオレフイン）、ポリエステル系樹脂、ポリスチレン樹脂、エポキシ樹脂、ガラス 等が挙げられる。なお、第 1基板 101を構成する材料は、 1種を単独で用いてもよぐ 2種以上を任意の組み合わせ及び比率で用いてもよい。

[0096] さらに、第 1基板 101の厚さは、通常、 2mm以下、好ましくは 1. 1mm以下である。

対物レンズと記録層との距離が小さぐまた、基板が薄いほどコマ収差が小さい傾向 があり、記録密度を上げやすいためである。但し、光学特性、吸湿性、成形性、形状 安定性を十分得るために、通常 10 x m以上、好ましくは 30 z m以上である。

[0097] 〔第 1記録層〕

第 1記録層 102は、通常、 CD— Rや片面型 DVD— R等に用いられる光記録媒体 に用いる記録層に比較して、より高感度であることが望ましい。例えば、上記の実施 形態に適用する場合、光記録媒体 100においては、通常、第 1反射層 103を半透明 反射膜とする。このため、入射したレーザ光 109の半分は第 1反射層 103を透過する 。この結果、第 1記録層 102に入射するレーザ光 109のパワーは半減することになる 。したがって、入射したレーザ光の約半分のパワーで第 1記録層 102に対する記録 が行なわれることになるために、第 1記録層 102は、特に感度が高いことが望ましい。

[0098] また、第 1記録層 102に使用される色素は、 350〜900nm程度の可視光〜近赤外 域に最大吸収波長 λ maxを有し、青色〜近マイクロ波レーザでの記録に適する色素 化合物が好ましい。通常、 CD— Rに用いられるような波長 770〜830nm程度の近 赤外レーザでの記録に適する色素、 DVD— Rに用レ、られるような波長 620〜690n m程度の赤色レーザでの記録に適する色素、あるいは、波長 410nmや 515nm等の レ、わゆるブルーレーザでの記録に適する色素等力 色素化合物としてより好ましレ、。

[0099] 第 1記録層 102に使用される具体的な色素としては、特に限定されないが、通常、 有機色素材料が使用される。有機色素材料としては、例えば、大環状ァザァヌレン系 色素（フタロシアニン色素、ナフタロシアニン色素、ポルフィリン色素等）、ピロメテン系 色素、ポリメチン系色素（シァニン色素、メロシアニン色素、スクヮリリウム色素等）、ァ ントラキノン系色素、ァズレニウム系色素、含金属ァゾ系色素、含金属インドア二リン 系色素等が挙げられる。なお、これらの色素は 1種を単独で用いてもよぐ 2種以上を 任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。

[0100] さらに、第 1記録層 102の膜厚は、記録方法等により適した膜厚が異なるため、特 に限定されない。ただし、十分な変調度を得るために、通常 5nm以上、好ましくは 10 nm以上であり、特に好ましくは 20nm以上である。また、光を透過させるためには、 通常 3 μ m以下、好ましくは 1 μ m以下、より好ましくは 200nm以下である。

[0101] また、第 1記録層 102の形成方法としては、特に限定されないが、通常、真空蒸着 法、スパッタリング法、ドクターブレード法、キャスト法、スピンコート法、浸漬法等一般 に行なわれている薄膜形成法が挙げられる。成膜形成法は、量産性、コスト面からは スピンコート法等の湿式成膜法が好ましい。また、均一な記録層が得られるという点 から、真空蒸着法が好ましい。

[0102] 〔第 1反射層〕

第 1反射層 103は、記録再生光の吸収が小さぐ光透過率が通常 40%以上あり、 かつ、適度な光反射率を有することが望ましい。第 1反射層 103の具体的な構成の 例としては、反射率の高い金属を薄く設けることにより適度な透過率を持たせた層が 挙げられる。さらに、第 1反射層 103は、ある程度の耐食性があることが望ましい。ま た、第 1反射層 103の上層（上記の実施形態では中間層 104)からの他の成分の浸 み出しにより第 1記録層 102が影響されないような遮断性を持つことが望ましい。

[0103] また、第 1反射層 103を構成する材料としては、特に限定されないが、再生光の波 長における反射率が適度に高レ、ものが好ましレ、。第 1反射層 103を構成する材料の f列を挙げると、 Au、 Al、 Ag、 Cu、 Ti、 Cr、 Ni、 Pt、 Ta、 Pd、 Mg、 Se、 Hf、 V、 Nb、 Ru、 W、 Mn、 Re、 Fe、 Co、 Rh、 Ir、 Zn、 Cd、 Ga、 In、 Siゝ Ge、 Te、 Pb、 Po、 Sn、 B i、希土類金属等の金属及び半金属を、単独あるいは合金にして用いることが可能で ある。なお、第 1反射層 103を形成する材料は、 1種を単独で用いてもよぐ 2種以上 を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよレ、。

[0104] さらに、第 1反射層 103の厚さは、通常 50nm以下、好ましくは 30nm以下、更に好 ましくは 20nm以下である。上記範囲とすることにより、光透過率を 40%以上としゃす くなる。但し、第 1反射層 103の厚さは、第 1記録層 102が第 1反射層 103上に存在 する層により影響されないために、通常 3nm以上、好ましくは 5nm以上である。

[0105] また、第 1反射層 103を形成する方法は任意であるが、例えば、スパッタ法、イオン プレーティング法、化学蒸着法、真空蒸着法等が挙げられる。

[0106] 〔中間層〕

中間層 104は、透明、且つ、溝やピットの凹凸形状が形成可能であり、また、他の 層との接着力が高い樹脂力 構成される。さらに、硬化時の収縮率が小さい樹脂を 用いると、媒体の形状安定性が高く好ましい。

また、中間層 104は、第一実施形態のような単層としてもよぐ第二実施形態のよう な多層にしてもよい。

[0107] さらに、中間層 104は、通常、第 2記録層 105と相溶しやすい場合が多い。このた め、中間層 104と第 2記録層 105との相溶を防レヽで第 2記録層 105に与えるダメージ を抑えるために、両層の間に適当なバッファ一層を設けることが望ましい。また、中間 層 104は、第 1反射層 103との間にバッファ一層を設けることもできる。

[0108] また、中間層 104は、第 2記録層 105にダメージを与えない材料からなることが望ま しい。中間層 104を構成する材料としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、 放射線硬化性樹脂等の硬化性樹脂を挙げることができる。なお、中間層 104の材料 は、 1種を単独で用いてもよぐ 2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても よい。

中間層 104の材料の中でも、放射線硬化性樹脂が好ましぐその中でも、紫外線硬 化性樹脂が好ましい。これらの樹脂の採用により、スタンパの凹凸形状の転写が行な いやすくなる。

[0109] 紫外線硬化性樹脂としては、ラジカル系（ラジカル重合型の)紫外線硬化性樹脂と カチオン系（カチオン重合型の）紫外線硬化性樹脂が挙げられ、いずれも使用するこ とがでさる。

ラジカル系紫外線硬化性樹脂は、紫外線硬化性化合物 (ラジカル系紫外線硬化性 化合物）と光重合開始剤を必須成分として含む組成物が用いられる。ラジカル系紫 外線硬化性化合物としては、例えば、単官能 (メタ）アタリレート及び多官能 (メタ）ァク リレートを重合性モノマー成分として用いることができる。これらは、各々、 1種を単独 で用いてもよぐ 2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。なお、ここ で、アタリレートとメタアタリレートとを併せて (メタ）アタリレートと称する。

また、光重合開始剤に制限はないが、例えば、分子開裂型または水素引き抜き型 のものが好ましい。本発明においては、ラジカル重合型のアクリル酸エステルを主体 とする未硬化の紫外線硬化樹脂前駆体を用いて、これを硬化させて中間層を得るこ とが好ましい。

[0110] 一方、カチオン系紫外線硬化性樹脂としては、例えば、カチオン重合型の光開始 剤を含むエポキシ樹脂が挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフエノール A—ェピクロールヒドリン型、脂環式エポキシ、長鎖脂肪族型、臭素化エポキシ樹脂、 グリシジルエステル型、グリシジルエーテル型、複素環式系等が挙げられる。ェポキ シ樹脂としては、遊離した塩素および塩素イオン含有率が少ないものを用いるのが 好ましい。塩素の量は、 1重量％以下が好ましぐより好ましくは 0. 5重量％以下であ る。

また、カチオン重合型の光開始剤としては、スルホニゥム塩、ョードニゥム塩、ジァゾ 二ゥム塩等が挙げられる。

[0111] また、中間層 104の材料として放射線硬化性樹脂を使用する場合、 20〜40°Cに おいて液状であるものを用いることが好ましい。樹脂原料層 104aの形成時に、上記 放射線硬化性樹脂を用いることにより溶媒を用いることなく塗布できるので、生産性 が向上するためである。また、粘度は 20〜4000mPa' sとなるように調製するのが好 ましい。

[0112] さらに、中間層 104には、凹凸形状が螺旋状又は同心円状に設けられる。そしてこ の凹凸形状が、溝及びランドを形成する。通常、このような溝及び/又はランドを記 録トラックとして、第 2記録層 105に情報が記録'再生される。本発明の光記録媒体の 製造方法及び製造装置においては、通常記録トラックとして使用される上記凹凸形 状を良好に形成することができるという利点を有しているため、欠陥の少ない中間層 104を有する光記録媒体 100を得ることが可能である。

[0113] なお、上記の溝幅は、通常、 100〜500nm程度であり、溝深さは 10〜250nm程 度である。また、記録トラックが螺旋状である場合、トラックピッチは 0.：!〜 2. O z m程 度であることが好ましい。

さらに、中間層 104の膜厚は、正確に制御されることが好ましぐ通常 以上、 好ましくは 10 z m以上である。但し、通常、 100 z m以下、好ましくは 70 z m以下で ある。

[0114] 〔第 2記録層〕

第 2記録層 105は、前述した第 1記録層 102の場合と同様に、通常 CD— Rや片面 型 DVD— R等の光記録媒体に用いる記録層より高感度であることが望ましい。また、 第 2記録層 105は、良好な記録再生特性を実現するためには低発熱で高屈折率な 色素であることが望ましい。更に、第 2記録層 105と第 2反射層 106との組合せにお レ、て、光の反射及び吸収を適切な範囲とすることが望ましレ、。

[0115] 第 2記録層 105を構成する材料、成膜方法等については、第 1記録層 102と同様と すればよい。但し、第 2記録層 105の成膜方法は、湿式成膜法が好ましい。

なお、第 1記録層 102と第 2記録層 105とに用いる材料は、同じでも良いし、異なつ ていてもよい。

[0116] 第 2記録層 105に使用される具体的な化合物は限定されず、第 1記録層 103と同 様の化合物が好適に使用される。一般に、記録層として有機色素材料を用いる場合 は、後述する相変化型の光記録媒体における記録層に較べて、中間層 104に形成 された案内溝が深い。このため、特に第 2記録層 105を有機色素材料を含有する層 とする場合、中間層 104に形成された深い溝形状を維持したまま第 2記録層 105を 形成することは困難になる。し力 ながら、本発明においては、第 2記録層として有機 色素材料を含有する場合であっても、中間層 104上に形成された凹凸形状を記録層 の凹凸として良好に反映することが出来る。

[0117] また、第 2記録層 105の膜厚は、記録方法等により適した膜厚が異なるため、特に 限定されないが、通常 10nm以上、好ましくは 30nm以上、特に好ましくは 50nm以 上である。但し、適度な反射率を得るために、第 2記録層 105の膜厚は、通常 3 x m 以下、好ましくは l x m以下、より好ましくは 200nm以下である。

[0118] 〔第 2反射層〕

第 2反射層 106は、高反射率、かつ高耐久性であることが望ましい。

[0119] 第 2反射層 106を構成する材料としては、再生光の波長において反射率の十分高 レ、ものが好ましい。第 2反射層 106を構成する材料としては、例えば、 Au、 Al、 Ag、 Cu、 Ti、 Cr、 Ni、 Pt、 Ta及び Pd等の金属を単独または合金にして用いることが可能 である。これらの中でも、 Au、 Al、 Agは反射率が高ぐ第 2反射層 106の材料として 適している。また、これらの金属を主成分とする以外に他の成分を含んでいても良い 。他の成分の例としては、 Mg、 Se、 Hf、 V、 Nb、 Ru、 W、 Mn、 Re、 Fe、 Co、 Rh、 Ir 、 Cu、 Zn、 Cd、 Ga、 In、 Si、 Ge、 Te、 Pb、 Po、 Sn、 Bi及び希土類金属などの金属 及び半金属を挙げることができる。なお、第 2反射層 106を形成する材料は、 1種を 単独で用いてもよぐ 2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。

[0120] また、高反射率を確保するために、第 2反射層 106の厚さは、通常 20nm以上、好 ましくは 30nm以上、更に好ましくは 50nm以上である。但し、記録感度を上げるため には、通常 400nm以下、好ましくは 300nm以下である。

[0121] さらに、第 2反射層 106を形成する方法に制限はないが、例えば、スパッタ法、ィォ ンプレーティング法、化学蒸着法、真空蒸着法等が挙げられる。

また、第 2反射層 106の上下に反射率の向上、記録特性の改善、密着性の向上等 のために、公知の無機系または有機系の中間層、接着層を設けることもできる。

[0122] 〔接着層〕

接着層 107は、接着力が高ぐ硬化接着時の収縮率が小さいと、光記録媒体 100 の形状安定性が高くなり、好ましい。また、接着層 107は、第 2反射層 106にダメージ を与えない材料からなることが望ましい。但し、ダメージを抑えるために第 2反射層 10 6，接着層 107の間に公知の無機系または有機系の保護層を設けることもできる。

[0123] 接着層 107の材料は、中間層 104の材料と同様のものを用いることができる。

また、接着層 107の膜厚は、通常、 2 x m以上、好ましくは 5 μ ΐη以上である。但し、 光記録媒体 100をできるだけ薄くするために、また、硬化に時間を要して生産性が低 下する等のことを抑制するために、接着層 107の膜厚は、通常、 lOO x m以下が好ま しい。

なお、接着層 107としては、感圧式両面テープ等も使用可能である。感圧式両面テ 一プを第 2反射層 106と第 2基板 108との間に挟んで押圧することにより、接着層 10 7を形成できる。

[0124] 〔第 2基板〕

第 2基板 108は、機械的安定性が高ぐ剛性が大きいことが好ましい。また接着層 1 07との接着性が高レ、ことが望ましレ、。

このような第 2基板 108の材料としては、第 1基板 101に用レ、うる材料と同様のもの を用いることができる。また、上記材料としては、例えば、 A1を主成分とした Al_Mg 合金等の A1合金基板や、 Mgを主成分とした Mg— Zn合金等の Mg合金基板、シリコ ン、チタン、セラミックスのいずれ力からなる基板やそれらを組み合わせた基板等を用 レ、ることもできる。また、第 2基板 108の材料は、 1種を単独で用いてもよぐ 2種以上 を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよレ、。

[0125] なお、第 2基板 108の材料は、成形性等の高生産性、コスト、低吸湿性、形状安定 性等の点から、ポリカーボネートが好ましい。また、第 2基板 108の材料は、耐薬品性 、低吸湿性等の点からは、非晶質ポリオレフインが好ましい。また、第 2基板 108の材 料は、高速応答性等の点からは、ガラス基板が好ましい。ただし、 Blu_rayディスク のように入射光が第 2基板 108側から入射するような光記録媒体（いわゆる膜面入射 型)の場合、第 2基板 108の材料としては硬化性樹脂を任意に用いることができる。 硬化性樹脂の例としては放射線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂などが挙げられ、中でも 、放射線硬化性樹脂の一種である紫外線硬化樹脂が好ましい。また、ポリカーボネ ート樹脂、アクリル系樹脂等、汎用で低コストの樹脂をフィルム状にして用いることも できる。

さらに、光記録媒体 100に十分な剛性を持たせるために、第 2基板 108はある程度 厚いことが好ましぐ第 2基板 108の厚さは、 0. 3mm以上が好ましい。但し、 3mm以 下、好ましくは 1. 5mm以下である。

[0126] 〔その他の層〕

光記録媒体 100は、上記の積層構造において、必要に応じて任意の他の層を挟ん でも良い。或いは、光記録媒体 100の最外面に任意の他の層を設けても良レ、。更に 、光記録媒体 100には、必要に応じて、記録光又は再生光の入射面ではない面に、 インクジェット、感熱転写等の各種プリンタ、或いは各種筆記具にて記入（印刷）が可 能な印刷受容層を設けてもよい。さらに、光記録媒体 100を 2枚、第 1基板 101を外 側にして貼合わせてもよい。光記録媒体 100を 2枚貼り合わせることにより、記録層を 4層有する大容量の媒体を得ることができる。また、このように光記録媒体 100を 2枚 張り合わせる場合には、接着層 107や第 2基板 108は、必ずしも 2層ずつ必要ではな レ、。即ち、接着層 107や第 2基板 108のうち少なくとも何れかの層が 1層であってもよ ぐ更には用いなくてもよい。

[0127] また、本発明の光記録媒体の製造方法及び製造装置を、相変化型の書き換え型コ ンパクトディスク（CD— RW、 CD— Rewritable)又は、相変化型の書き換え型 DVD に適用することもできる。相変化型の光記録媒体に適用する場合における記録層等 の層構成については、公知のものを適宜使用することができる。相変化型の CD— R W又は書き換え型 DVDは、相変化型記録材料から構成された記録層における非晶 質状態と結晶状態との屈折率差によって生じる反射率差および位相差変化を利用し て記録情報信号の検出が行なわれる。相変化型記録材料の具体例としては、例えば 、 SbTe系、 GeTe系、 GeSbTe系、 InSbTe系、 AgSbTe系、 AglnSbTe系、 GeSb 系、 GeSbSn系、 InGeSbTe系、 InGeSbSnTe系等の材料が挙げられる。これらの 中でも、結晶化速度を高めるために、記録層に Sbを主成分とする組成を用いること が好ましい。なお、これらの材料は、 1種を単独で用いてもよぐ 2種以上を任意の組 み合わせ及び比率で併用しても良い。相変化型の光記録媒体の場合は、前述した 通り記録層に色素を用いる代わりに、上記で例示したような記録材料を用いればょレ、 実施例

[0128] 以下、実施例に基づき本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明は、その要 旨を逸脱しない限り、以下の実施例に限定されるものではない。また、実施例の説明 におレ、て「Tg」は硬化後のガラス転移温度を表わす。

[0129] [実施例:!〜 4，比較例 1， 2]

(1)光記録媒体の作製

(1 _ 1)スタンパの用意

ポリカーボネートを材料として、射出成形法により、内径 15mmの中心孔を有する、 外径 120mm、厚さ 0. 6mmの円盤状のスタンパ（以下、 PCスタンパという場合があ る。）を形成した。射出成形は、トラックピッチ 0. 74 /i m、幅 0. 32 x m、深さ 175nm の案内溝を有するニッケル製原盤を使用した。なお、原子間力顕微鏡 (AFM : Ato mic Force Microscope)により、 PCスタンパには、ニッケル製原盤の案内溝（凹 凸）が正確に転写されたことが確認された。

[0130] (1 2)データ基板の製造

ニッケルスタンパを用いてポリカーボネートを射出成形し、ピッチ 0. 74 x m、幅 0. 33 x m、深さ 160nmの溝が形成された、直径 120mm、厚さ 0. 57mmの基板（第 1 基板)を得た。

次に、含金属ァゾ色素のテトラフルォロロペンタノール溶液 (濃度 2重量％)を調製 し、これを基板上に滴下してスピナ一法により塗布した。塗布後、 70°Cで 30分間乾 燥し第 1の記録層を形成した。さらに、第 1の記録層上に、 Ag _Bi (Bi : l . 0原子％) 力もなる Ag合金を用いて、厚さ 17nmの半透明の第 1の反射層をスパッタリング法に より成膜した。

[0131] (1一 3)中間層の形成

次に、第 1の反射層上に、第 1樹脂層を形成するための所定の紫外線硬化性樹脂 〔1〕を円形に滴下し、スピナ一法により厚さ約 25 / mの膜 (第 1樹脂層）を形成した。 一方、 PCスタンパの案内溝が形成された面に、第 2樹脂層（最外樹脂層）を形成す るための所定の紫外線硬化性樹脂〔2〕を円形に滴下し、スピナ一法により厚さ約 25 μ mの膜 (第 2樹脂層）を形成した。

[0132] 次に、この第 1樹脂層と第 2樹脂層とが対向するように、第 1の基板と PCスタンパと を貼り合わせた。続いて、 PCスタンパ側から紫外線を照射して、第 1樹脂層及び第 2 樹脂層を硬化接着させて、接着体を形成した。

なお、紫外線硬化性樹脂〔1〕， 〔2〕としてそれぞれラジカル系紫外線硬化性樹脂を 用いた。詳細は以下のとおりである。また、 PCスタンパに用いたポリカーボネートと、 最外樹脂層を形成する紫外線硬化性樹脂〔2〕の硬化後のガラス転移温度を表一 1 に示す。

[0133] 紫外線硬化性樹脂〔1〕：大日本インキ株式会社製 SD6036 (Tg = 60°C)

紫外線硬化性樹脂〔2〕：日本化薬株式会社製 MPZ388 (Tg = 161°C) [表 1]

表 1 ]

[0134] その後、接着体を 100°Cに加熱した恒温槽 (オーブン）に所定時間保持した (実施 例、比較例で保持時間を変化させた)。

その後、接着体を恒温槽から取り出して接着体の表面温度を株式会社 KEYENC E製の非接触型温度計 IT2 _ 60で測定した後、 PCスタンパを剥離した。ここで、恒 温槽に保持した時間及び PCスタンパ剥離直前に測定した接着体の表面温度を表一 2に示す。

[表 2]

- 2 ]

[0136] なお、 PCスタンパと第 2樹脂層（最外樹脂層）との剥離は以下のようにして行なった 。つまり、接着体の外周部にナイフエッジを差し込んだ後、力をカ卩えて PCスタンパを 第 2樹脂層（最外樹脂層）から剥離させた。

そして、剥離後の PCスタンパの表面について、蛍光灯下の目視検查又は光学顕 微鏡観察を行ない、以下の基準により、剥離性を評価した。

〇：容易に剥離でき、 PCスタンパ表面に紫外線硬化性樹脂の残渣が無い。

X：剥離が困難、又は、剥離後の PCスタンパ表面に紫外線硬化性樹脂の残渣 (キ ズ）が目視検査で認識される。

実施例：!〜 4，比較例 1 , 2のそれぞれについて、上記基準で評価した剥離性の結 果を表 3に示す。以上を経て、第 1樹脂層と第 2樹脂層とが積層された厚さ約 50 μ mの中間層を形成した。

[0137] ( 1 4)第 2記録層等の形成

中間層の上に、含金属ァゾ色素のテトラフルォロロペンタノール溶液 (濃度 2重量％ )を滴下してスピナ一法により塗布した。塗布後、 70°Cで 30分間乾燥し第 2の記録層 を形成した。

続レ、て、 Ag _ Bi (Bi： 1 . 0原子％)力 なる Ag合金を用いて、厚さ 120nmの第 2の 反射層をスパッタリング法により成膜した。 さらに、第 2の反射層上に、紫外線硬化性樹脂をスピンコートして接着層を設けた。 そして、この接着層上に直径 120mm、厚さ 0. 6mmのポリカーボネート基板を載置 して第 2基板とし、紫外線を照射し硬化接着させた。

このようにして、 2つの記録層を有する多層型の光記録媒体を製造した。

[0138] (2)光記録媒体の記録再生特性評価

(2- 1)光記録媒体の Push— Pull信号の測定

予め調製した 2個の記録層を有する光記録媒体 (上記の「（1)光記録媒体の作製」 で作製した光記録媒体）の第 2の記録層から得られる Push— Pull信号を測定した。 数値が大きいほど、記録特性が良好である。なお、 Push— Pull信号は下記式で定 義される。

[0139] 画

(Push - Pull) = -, ( 一 π-

|( + + ( + , /2

[0140] 式中、 （I -I ) は、 (I -I )信号の頂点間振幅である。 (I +1 ) は、 (I +1 )信号

1 pp 1 1 2 max 1 2 の最大値である。 （I +1 ) は（I +1 )信号の最小値である。また、 (I )は、光記録媒

1 min 1 1

体からの再生信号を 4分割フォトディテクタにより、 4分割されたディテクタ（PD1 PD 2 PD3 PD4)として受光したとき、案内溝の仮想中心に対して左側に位置する PD 1及び PD2の出力の和である（I =PD1 +PD2)。 （I )は、案内溝の仮想中心に対し

1 2

て右側に位置する PD3及び PD4の出力の和である（I PD3 + PD4)。

2

[0141] なお、フォーカスサーボは第 2の記録層にかけ、トラッキングサーボはオープンルー プの状態にして、光記録媒体を 3. 8m/sで回転させた。通常、光ディスクには数十 ミクロンの偏心が存在するので、再生ビームは案内溝とランドとを、 1回転で数十回横 断することになる。 （I I )信号及び (I +1 )信号は正弦波状の出力を示すことにな

1 2 1 2

る。

Push—Pull信号は、光記録媒体上の 3箇所（半径位置： 25mm 40mm, 55mm) で測定した。各実施例及び各比較例の光記録媒体の Push— Pull信号の測定結果 を表一 3に示す。

[0142] (2— 2)光記録媒体の PIエラーの測定 測定は、 Expert社 DVDT— SD1を用いて行なった。 DVD + R 8, 5 Gbytes Basic Format Specifications verson 1. 0に貝 ljり、 PI Errorの値は 280個以 下を合格とし、値が小さいほど良いとする。

PIエラーは、光記録媒体上の 3箇所（半径位置： 25mm、 40mm, 55mm)で測定 した。各実施例及び各比較例の光記録媒体の PIエラーの測定結果を表一 3に示す

[表 3]

[ z . "~ ό

[0144] 表— 3に示した結果から、以下のことがわかる。つまり、 PCスタンパを剥離する工程 において、剥離前に加熱して剥離した場合（実施例 1〜実施例 4)は、 PCスタンパの 剥離性も良好であることが分かる。加えて、光記録媒体の記録特性 (PI Error, Pus h— Pull信号）のバランスが良好である。

これは、接着体を加熱することで、 PCスタンパと第 2樹脂層（最外樹脂層）との熱膨 張の違いが発生すること、 PCスタンパと第 2樹脂層 (最外樹脂層）との界面 (接着面） の分子間結合が弱められること、などによって剥離しやくなるためと考えられる。

[0145] 一方、 PCスタンパを剥離する工程おいて、加熱しないで剥離した場合 (比較例 1)と 、加熱後自然冷却して室温まで冷却してから剥離した場合 (比較例 2)は、光記録媒 体の記録特性（PI Error, Push— Pull信号）のバランスはとれているものの、 PCス タンパと第 2樹脂層（最外樹脂層）との剥離力 Sスムーズにできないことがわかる。

[0146] つまり、比較例 1、 2においては剥離性が不良であったため、剥離後の PCスタンパ に、 目視で確認できるほどのキズ (残渣）が観察された。これは、中間層の表面に微 小なキズゃはぎ取り等の欠陥が存在する可能性を示唆する。 [0147] 比較例 1、 2の光記録媒体は、半径位置 25mm、 40mm, 55mmにおける Push— Pull信号や PIエラーは良好であったが、光記録媒体全面に記録を行なう場合には、 上記欠陥によって記録が途中で中断されてしまう可能性がある。

比較例 1、 2において剥離性が不良である理由は、ポリカーボネートの極性基が第 2 樹脂層（最外樹脂層）の界面で分子間結合を形成し、その分子間結合のエネルギー 力 SPCと第 2樹脂層（最外樹脂層）の界面を剥離するときに生じるエネルギーよりも大 きぐ第 2樹脂層（最外樹脂層）の紫外線硬化樹脂の結合を破壊した為と考えられる 従って、工業生産における品質の安定性やコスト等を考慮すると、スタンパ剥離時 の加熱が非常に有効であるといえる。

[0148] なお、第 2樹脂層として、紫外線硬化性樹脂〔2〕を用いる代わりに、以下の紫外線 硬化性樹脂〔3〕〜〔5〕をそれぞれ用いる以外は実施例 3と同様の方法にて光記録媒 体を製造し、それぞれ、実施例 3と同様の方法にて Push— Pull信号、 PIエラー、及 び剥離性の測定を行なった結果、何れの場合も実施例 3と同様に良好な結果が得ら れ /こ

紫外線硬化性樹脂〔3〕：日本化薬株式会社製 MPZ383A(Tg = 150°C) 紫外線硬化性樹脂〔4〕：日本化薬株式会社製 MPZ368 (Tg = 193°C) 紫外線硬化性樹脂〔5〕：日本化薬株式会社製 MPZ383B (Tg= 165°C) [0149] (3)中間層表面の状態を観察するための基礎実験

実施例 1で用いた第 1基板上に、上記紫外線硬化性樹脂〔1〕を円形に滴下し、スピ ナ一法により厚さ約 25 x mの膜 (第 1樹脂層）を形成した。一方、 PCスタンパの案内 溝が形成された面に、上記紫外線硬化性樹脂〔2〕を円形に滴下し、スピナ一法によ り厚さ約 25 μ mの膜 (第 2樹脂層）を形成した。

[0150] 次に、この第 1樹脂層と第 2樹脂層とが対向するように、第 1の基板と PCスタンパと を貼り合わせた。続いて、 PCスタンパ側から紫外線を照射して、第 1樹脂層及び第 2 樹脂層を硬化接着させて、基礎実験用の接着体を形成した。

その後、室温（25°C)において PCスタンパを剥離した。なお、 PCスタンパと第 2樹 脂層（最外樹脂層）との剥離は以下のようにして行なった。つまり、上記基礎実験用 の接着体の外周部にナイフエッジを差し込んだ後、力をカ卩えて PCスタンパを第 2樹 脂層（最外樹脂層）から剥離させた。

[0151] 剥離性は、比較例 1と同じレベル (評価基準： X )であった。また、剥離後の PCスタ ンパの表面と中間層の表面とを目視、顕微鏡観察した。その結果、スタンパの表面に キズゃ中間層の残渣が存在することが確認された上、中間層の表面にもキズが存在 することが確認できた。

産業上の利用可能性

[0152] 本発明は、光記録媒体に力かる任意の分野で広く用いることができ、特に、凹凸形 状を有する中間層を有する光記録媒体の製造に用いて好適である。具体例としては 、 CD、 DVD,青色レーザ対応光記録媒体等などに用いて特に好適である。

[0153] 以上、本発明を特定の態様を用いて詳細に説明したが、本発明の意図と範囲を離 れることなく様々な変更が可能であることは当業者に明らかである。

なお本出願は、 2005年 11月 18日付で出願された日本特許出願（特願 2005— 3 34434号)及び、 2006年 11月 17日付で出願された日本特許出願（特願 2006 - 3 10969号）に基づいており、その全体が引用により援用される。

Claims

請求の範囲

[1] 少なくとも、基板、記録層、及び、凹凸形状を有する中間層を備えた光記録媒体の 製造方法であって、

前記基板上に、直接又は他の層を介して、前記記録層を形成する工程と、 前記記録層上に、直接又は他の層を介して、樹脂原料層を形成する工程と、 前記樹脂原料層上に、前記凹凸形状に対応した転写用凹凸形状を有するスタン パを載置した状態で、前記樹脂原料層を硬化させて、前記基板、前記記録層、前記 樹脂原料層及び前記スタンパを備えた接着体を得る工程と、

前記接着体から前記スタンパを剥離し、前記樹脂原料層に前記転写用凹凸形状を 転写して前記中間層を形成する工程とを有し、かつ、

前記スタンパを剥離する工程を、前記接着体が加熱された状態で行なう ことを特徴とする、光記録媒体の製造方法。

[2] 前記スタンパを剥離する際の前記接着体の温度が、 50°C以上である

ことを特徴とする、請求項 1記載の光記録媒体の製造方法。

[3] 前記スタンパを剥離する際の前記接着体の温度が、前記スタンパのガラス転移温 度以下である

ことを特徴とする、請求項 1又は請求項 2に記載の光記録媒体の製造方法。

[4] 前記樹脂原料層が複数の樹脂層から構成され、前記複数の樹脂層のうち前記スタ ンパと接する樹脂層を最外樹脂層とした場合に、

前記スタンパを剥離する際の前記接着体の温度が、前記スタンパのガラス転移温 度及び前記最外樹脂層の硬化後のガラス転移温度以下である

ことを特徴とする、請求項 1又は請求項 2に記載の光記録媒体の製造方法。

[5] 前記スタンパが、ポリカーボネート系樹脂製である

ことを特徴とする請求項 1〜4のいずれ力 1項に記載の光記録媒体の製造方法。

[6] 前記樹脂原料層が、放射線硬化性樹脂からなる

ことを特徴とする請求項 1〜5のいずれ力 1項に記載の光記録媒体の製造方法。

[7] 前記光記録媒体が、記録層を 2層以上有する多層光記録媒体である

ことを特徴とする請求項 1〜6のいずれ力 1項に記載の光記録媒体の製造方法。 少なくとも、基板、記録層、及び、凹凸形状を有する中間層を備えた光記録媒体の 製造装置であって、

前記基板上に、直接又は他の層を介して、前記記録層を形成する手段と、 前記記録層上に、直接又は他の層を介して、樹脂原料層を形成する手段と、 前記樹脂原料層上に、前記凹凸形状に対応した転写用凹凸形状を有するスタン パを載置した状態で、前記樹脂原料層を硬化させて、前記基板、前記記録層、前記 樹脂原料層及び前記スタンパを備えた接着体を得る手段と、

前記接着体から前記スタンパを剥離し、前記樹脂原料層に前記転写用凹凸形状を 転写して前記中間層を形成する手段とを備え、かつ、

前記スタンパを剥離する手段が、前記接着体が加熱された状態で剥離を行なう ことを特徴とする、光記録媒体の製造装置。