WO2007043382A1

WO2007043382A1 - 顕微鏡装置及び画像生成方法

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Publication number: WO2007043382A1
Application number: PCT/JP2006/319717
Authority: WO
Inventors: Yumiko Ouchi; Hisao Osawa
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 2005-10-07
Filing date: 2006-10-02
Publication date: 2007-04-19
Also published as: EP1933186A1; JPWO2007043382A1

Abstract

　本発明は、ディストーション収差の残存する光学系を利用しても良好な超解像画像を得ることのできる構造化照明による顕微鏡装置を提供することを目的とする。そのために本発明の顕微鏡装置は、光源（１）からの光で標本（１０）を照明する照明光学系（ＬＳ１）と、前記照明光学系（ＬＳ１）に配置され、前記光源（１）からの光を空間変調する変調手段（３）と、前記空間変調された光で照明された前記標本からの変調像を結像する結像光学系（ＬＳ２）と、前記変調像を撮像する撮像手段（１２）と、前記照明光学系（ＬＳ１）及び前記結像光学系（ＬＳ２）の少なくとも一方による前記変調像の歪みを補正する補正手段（１３）と、前記補正手段で補正された変調像から前記標本の画像を生成する画像生成装置（１３）とを有する。

Description

明細書

顕微鏡装置及び画像生成方法

技術分野

[0001] 本発明は、顕微鏡装置及び画像生成方法に関する。

背景技術

[0002] 近年、顕微鏡光学系の分解能よりも高!、分解能で標本を観察する超解像技術が提案された (特許文献 1など)。特許文献 1には、標本を構造化照明して変調像を生成し、その構造ィ匕照明の位相を変化させながら複数の変調画像を取得し、これら複数の変調画像を線形演算で復調し、超解像画像を得る方法が開示されている。一般に、線形演算は非線形演算と比較すると高速ィ匕可能なので、リアルタイム観察、又はそれに近、観察が可能である。

特許文献 1 :特開平 11 242189号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0003] ところが、この演算は構造ィ匕照明の空間周波数や位相変化量が均一であることを前提としている。それに対し、現実の顕微鏡光学系は収差を持つので、構造化照明の空間周波数や位相変化量を均一にすることは困難である。このため、従来の方法では復調誤差が生じ、超解像画像上にノイズの発生する可能性があった。

そこで本発明は、ディストーション収差の残存する光学系を利用しても良好な超解像画像を得ることのできる構造化照明による顕微鏡装置及び画像生成方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0004] 本発明の顕微鏡装置は、光源力の光で標本を照明する照明光学系と、前記照明光学系に配置され、前記光源からの光を空間変調する変調手段と、前記空間変調された光で照明された前記標本からの変調像を結像する結像光学系と、前記変調像を撮像する撮像手段と、前記照明光学系及び前記結像光学系の少なくとも一方による前記変調像の歪みを補正する補正手段と、前記補正手段で補正された変調像から前記標本の画像を生成する画像生成装置とを有することを特徴とする。

[0005] なお、前記変調手段は、回折格子と、前記回折格子を移動させて変調する回折格子変調手段とからなることが望まし、。

また、前記補正手段は、前記照明光学系及び前記結像光学系の少なくとも一方のディストーション収差のデータに基づき前記補正を行うことが望ましい。

また、前記補正手段は、前記ディストーション収差の実測データ及び設計データの少なくとも一方に基づき前記補正を行うことが望ましい。

[0006] また、本発明の何れかの顕微鏡装置は、前記標本の画像の歪みを補正する再補正手段を更に備えることが望ましい。

また、前記再補正手段は、前記結像光学系のディストーション収差のデータに基づき前記補正を行うことが望まヽ。

また、前記再補正手段は、前記ディストーション収差の実測データ及び設計データの少なくとも一方に基づき前記補正を行うことが望ましい。

[0007] また、本発明の画像生成方法は、空間変調された照明光により標本を照明し、前記照明光により照明された前記標本からの光を結像させ、取得した画像から画像演算処理により標本像を生成する画像生成方法にお!、て、前記取得した画像の照明光学系及び結像光学系による歪みを補正する補正手順と、前記補正された画像から前記標本の画像を生成する画像生成手順とを有することを特徴とする。発明の効果

[0008] 本発明によれば、ディストーション収差の残存する光学系を利用しても良好な超解像画像を得ることのできる顕微鏡装置及び画像生成方法が実現する。

図面の簡単な説明

[0009] [図 1]実施形態の顕微鏡装置の構成図である。

[図 2]制御 ·演算装置 13の動作フローチャートである。

[図 3]制御 ·演算装置 13の各処理を説明する図である。

発明を実施するための最良の形態

[0010] 以下、本発明の実施形態を説明する。本実施形態は、構造化照明の手法が適用された顕微鏡装置の実施形態である。先ず、顕微鏡装置の構成を述べる。

図 1は、顕微鏡装置の構成図である。図 1に示すとおり、顕微鏡装置には、光フアイバ 1、コレクタレンズ 2、回折格子 (格子ピッチが均一な回折格子） 3、レンズ 4、光路折り曲げミラー 5、レンズ 6、レンズ 7、ハーフミラー 8、対物レンズ 9、標本 10、第 2対物レンズ 11、撮像装置 (CCDカメラなど） 12、制御 ·演算装置（回路やコンピュータなど） 1 3、画像表示装置 14が配置される。このうち、コレクタレンズ 2、回折格子 3、レンズ 4、光路折り曲げミラー 5、レンズ 6、レンズ 7、ハーフミラー 8、対物レンズ 9は、標本 10を構造ィ匕照明する照明光学系 LS Iを構成しており、対物レンズ 9、ハーフミラー 8、第 2 対物レンズ 11は、標本 10を結像する結像光学系 LS2を構成して、る。

[0011] 不図示の光源からの光は、光ファイバ 1に導光され、そのファイバ端に二次光源を生成する。その二次光源から射出した照明光は、照明光学系 LS I内のコレクタレンズ 2によって平行光に変換された後、回折格子 3へ入射して各次数の回折成分を生起させる。この回折格子 3は、位相型又は振幅型の 1次元の透過型回折格子などである。因みに位相型の方が ± 1次回折成分の回折効率が高くなるので好ましい。

[0012] 回折格子 3にて発生した各次数の回折成分は、レンズ 4により対物レンズ 9の瞳と共役な面にスポットを生成する。この面において ± 1次回折成分以外の不要な回折成分を取り除いたのち、 ± 1次回折成分のみが、光路折り曲げミラー 5で 90° 偏向され、レンズ 6により視野絞り面 F.S.上に標本共役面を形成したのち、レンズ 7、ハーフミラ一 8を介して対物レンズ 9の瞳上にスポットを形成する。特に、 ± 1次回折成分は、瞳上の概ね最外周部の互いに対向する位置にスポットを形成する。これらのスポットから射出した士 1次回折成分は、対物レンズ 9から射出する際にそれぞれ平行光束となり、対物レンズ 9の最大 NA近傍の角度を成す。 ± 1次回折成分は、略均一な空間周波数の干渉縞力もなる照明パターンで標本 10上を照明 (構造ィ匕照明）する。

[0013] この標本 10においてさらに回折した光の各次数の回折成分は、対物レンズ 9を通つて平行光に変換された後、ハーフミラー 8を介して第 2対物レンズ 11によって標本 1 0の像を形成する。撮像装置 12は、この像を撮像して画像データを生成し、制御'演算装置 13へ送出する。なお、標本 10は構造ィ匕照明によって変調されているので、その標本 10の像は「変調像」となっている。この変調像は、標本 10から射出した光の 0 次回折成分が形成するパターン上に、 ± 1次回折成分が形成するパターンを、実際よりも構造ィ匕照明の空間周波数だけ低い空間周波数のパターンとして重畳させたものである。

[0014] ここで、本顕微鏡装置には、構造ィ匕照明の位相（つまり標本 10上の照明パターンの位相）を変化させながら複数の画像データを取得する機能が搭載される。そのために、例えば、回折格子 3を格子線と直交する方向へ移動させるァクチユエータ 3Aが備えられる。

制御'演算装置 13は、このァクチユエータ 3Aと撮像装置 12とを同期制御することにより、照明パターンの位相を変化させながら複数の画像データを取得することができる。ここでは、回折格子 3を等量ずつ合計格子 1ピッチ分変化させながら N個の画像データ I ' (jは位相番号であり、 j = l, 2, 3, 〜N)を取得することとする。

rj

[0015] 制御 ·演算装置 13は、取得した N個の画像データ I 'に対し演算を施し、標本 10の復調像の画像データを取得する（その演算の詳細は後述)。この復調像の画像データカ標本 10の超解像画像を表す。この画像データは、画像表示装置 14へ送出され、表示される。なお、制御 ·演算装置 13には、予め、制御や演算に関するプロダラムカインストールされている。このプログラムの一部又は全部は、例えば、記憶媒体やインターネット経由で演算装置 13にインストールされる。

[0016] 次に、制御 ·演算装置 13による演算の詳細を述べる。

図 2は、制御.演算装置 13の動作フローチャートである。

(ステップ S1)

先ず、制御 ·演算装置 13は、 N個の画像データ I， (j = l, 2, 3, · · ·, N)をそれぞれ歪み補正し、 N個の画像データ I (j = l, 2, 3, · · ·, N)を得る。このステップ S1の処

rj

理の概念を、図 3 (S1)に示した。この歪み補正は、画像データ I， (j = l, 2, 3, · · ·, rj

N)に投影されている照明パターンの歪みが無くなるような補正であり、 N個の画像データ I， (j = l, 2, 3, · · ·, N)の間で共通の補正である。

rj

[0017] ここで、照明パターンの歪みは、照明光学系 LS Iが回折格子 3を標本 10上へ投影するときの収差 (主にディストーション収差）と、結像光学系 LS2が標本 10を撮像装置 12上 (撮像面上）に投影するときの収差 (主にディストーション収差）との双方によつて生じる。

いま、照明光学系 LSIが回折格子 3を標本 10上へ投影する投影倍率を Mとおき、

1 結像光学系 LS2が標本 10を撮像装置 12上へ投影する投影倍率を Mとおく。また、

2

回折格子 3上の座標 Xが標本 10上の座標 Xへ投影され、標本 10上の座標 Xが撮像装置 12上の座標 Xへ投影されたとする。

[0018] このとき、回折格子 3上の座標 Xと撮像装置 12上の座標 Xとの関係は、理想的に g

は、以下の式で表される。

X=MX=MMX

2 s 1 2 g

しかし、実際の照明光学系 LSI,結像光学系 LS2にはそれぞれディストーション収差があるために、座標 X , X , Xの関係は、以下の通りとなっている。

[0019] X=M (l + aX² + aX⁴ + aX⁶+---)X,

s 1 1 g 2 g 3 g g

X=M (l + cX² + cX⁴ + cX⁶+---)X

2 I s 2 s 3 s s

したがって、回折格子 3上の座標 Xと撮像装置 12上の座標 Xとの関係は、下式（1 g

)で表される。

X=MM {l+(a +a)X²+(a +c +ac)X⁴+(a +c +a c +a c )Χ⁶+···} 1 2 1 2 g 2 2 1 1 g 3 3 1 2 2 1 g

X

g

=MM (l + dXg² + dX⁴+dX⁶+---)X

1 2 1 2 g 3 g g …ひ）

そこで、本ステップ SIの歪み補正では、制御'演算装置 13は、画像データ I， (j = l rj

, 2, 3, ···, N)の各々を、式（1)を用いて座標変換すればよい。

[0020] なお、式（1)の係数 M , M , d, d, d ,…は、照明光学系 LSI及び結像光学系 L

1 2 1 2 3

S2の設計データ及び実測データの少なくとも一方力予め求められる。因みに、係数 d , d , d ,…の個数が多いほど、補正の精度を高めることができる。また、係数 d ,

1 2 3 1 dの 2つのみに限定しても、或る程度の効果は得られる。これらの係数は、制御'演算

2

装置 13が予め記憶している。

[0021] また、座標変換の際には、変換誤差がなるべく小さくなるよう、必要に応じて画素補間処理を行うことが望ましい。例えば、補正後の画像データ I (j = l, 2, 3, ···, N)上に、実際の変調像には生じていな力つた段差 (輝度の段差)が生じてしまうと、後述する復調像の画像データにノイズパターンが現れてしまうからである。以上の本ステップ SIによると、図 3 (SI)に示すとおり、画像データ I (j = l, 2, 3, rj

· ··, N)上に投影された照明パターンの空間周波数は、それぞれ画像上で均一になる。よって、その照明パターンの位相変化量も画像上で均一とみなせる。

[0022] (ステップ S 2)

制御 ·演算装置 13は、画像データ I (j = l, 2, 3, · ··, N)をそれぞれ 2次元フーリエ rj

変換し、波数空間で表現された画像データ I

kj 0 = 1, 2, 3, · ··, N)を得る。なお、実空間で表現されたデータには、実空間上の座標 rを示す添え字「r」を付し、波数空間で表現されたデータには、波数空間上の座標 kを示す添え字「k」を付すこととする。

[0023] なお、 2次元フーリエ変換には、 2次元 FFT法を用いるのが望ましい。 2次元 FFT 法であれば、 1000 X 1000ピクセルといったデータ量の多い画像データであっても現実的な時間内に変換が終わるからである。

本ステップ S2の処理の概念を、図 3 (S 2)に示した。画像データ I (j = l, 2, 3, · ··, kj

N)の各々は、変調像のフーリエ変換を表すので、それら画像データ I (j = l, 2, 3, kj

· ··, N)上では、標本 10から射出した光の 0次回折成分のスペクトルに、 ± 1次回折成分のスペクトルが、実際よりも低周波側（中心側）にずれて重畳している。因みに、図 3 (S2)には表さなかったが、画像データ I (j = l, 2, 3, · ··, N)の間では、照明パ kj

ターンの位相が異なるので、各次数の回折成分のスペクトルの現れ方が異なる。

[0024] (ステップ S3)

制御'演算装置 13は、画像データ I (j = l, 2, 3, · ··, N)を所定の演算式に当ては kj

めて、画像データ I 0 = 1, 2, 3, · ··, N)に共通して含まれる 0次回折成分 I 、 + 1次 kj k0 回折成分 I 、一 1次回折成分 I を分離して抽出する。このステップ S3の処理の概 k+1 k-1

念を、図 3 (S3)に示した。

[0025] ここで、「照明パターンの空間周波数が画像上で均一である」と仮定すると、以下のことが成り立つ。

照明パターンの空間周波数は、 K (定数)で表される。このとき、標本 10が有する実際のパターン O (r)の波数表現を O (k)とおき、結像光学系 LS2の伝達関数 (OTF;

r k

Optical Transfer Function)を P (k)とおくと、 L次回折成分 I は、以下のとおり表され k kL

る。 [0026] O (k+LK)Pk(k)

k

また、位相番号 jに対応する照明パターンの位相 (位相変化量）は、画像上の座標に依らず以下のとおり表わされる。

2π]/Ν

したがって、位相番号 jに対応する画像データ Iは、以下の式（2)で表される。

kj

[0027] I (k) =∑ m Θχρ(2πϋ/Ν)0 (k+LK)Pk(k) ·'·(2)

kj L L k

但し、 mは、 L次回折成 ί分み I の回折強度 mである。

し kしし

〜 .

このとき、画像データ Iの個数 Nを 3とすれば、 3つの方程式が得られるので、 3つの kj

回折成分 O (k)P (k)， O (k+K)P (k)， O (k-K)P (k)がそれぞれ求まる。

k k k k k k

[0028] さらに、 N> 3とした上で最小自乗法を適用すれば、それらの回折成分が求まるだけでなぐ画像データ I (j = l, 2, 3, ···, N)の「 ί各々に含まれるノイズの影響を小さく kj

- .

抑えることもできる。最小二乗法では、式（2)に代えて式（3)を用いればよい。

[0029] [数 1]

,Α ( ) O_k{k-K)P_k{k)

∑ 。 ( O_k{k)P_k{k) (3)

O_k(k + K)P_k(k)

[0030] 但し、式（3)では、 b =m exp(L()j)とおいた。

Lj L

本ステップ S3の制御.演算装置 13は、このシンプルな式（2)又は式（3)に対し画像データ I (j = l, 2, 3, ···, N)を当てはめることにより、回折成分 0(k)P (k), O (k kj k k k

+K)P (k), O (k-K)P (k)を分離して抽出する。

k k k

(ステップ S4)

制御 ·演算装置 13は、抽出した回折成分 0(k)P (k), O (k+K)P (k), O (k— k k k k k

K)P (k)を、照明パターンの空間周波数 Kだけ波数空間上でずらして並べなおし、 k

標本 10の復調像の画像データ I (k)を得る。このステップ S4の処理の概念を、図 3( k

S4)に示した。

[0031] (ステップ S 5)

制御 ·演算装置 13は、画像データ I (k)に対し逆フーリエ変換を施し、画像データ I (r)を得る。このステップ S5の処理の概念を、図 3 (S5)に示した。この画像データ (r )は、標本 10の復調像を実空間で表現するものである。

但し、この画像データ I (r)上には、標本 10の超解像画像が歪んで投影されている。理由は以下のとおりである。

[0032] 上述したステップ S1の歪み補正は、画像上の照明パターンの歪みを無くすための歪み補正、つまり、照明光学系 LSIのディストーション補正と結像光学系 LS2のディストーシヨン補正との合成であった。それに対し、画像上の標本 10の歪みは、照明光学系 LSIのディストーション収差には関係せず、結像光学系 LS2のディストーション収差のみによって生じるものである。このため、上述したステップ S1の歪み補正は、標本 10の歪みに対しては、照明光学系 LSIのディストーション補正の分だけ「過補正」となっている。

[0033] (ステップ S6)

そこで、制御 ·演算装置 13は、下式 (4)を用いて画像データ I (r)を座標変換し、過補正となった分を逆補正する。この式 (4)は、回折格子 3上の座標 Xと標本 10上の g

座標 Xとの関係を示す式である。この式を Xについて解くことで Xを Xの関数として s g g s 求めておき、等間隔の Xに対して Xを計算して逆補正を行う。

s g

[0034] X =M (l + a X ² + a X ⁴ + a X ⁶+ - --)X · ,· (4)

s 1 1 g 2 g 3 g g

このステップ S6の処理の概念を、図 3 (S6)に示した。逆補正後の画像データ (r) 上には、標本 10の超解像画像が歪まずに投影されている。

なお、式 (4)の係数 M , a , a , a ,…は、照明光学系 LSIの設計データ及び実測

1 1 2 3

データの少なくとも一方力予め求められる。因みに、係数 a , a , a ,…の個数が多

1 2 3

いほど、補正の精度を高めることができる。また、係数 a , aの 2つのみに限定しても、

1 2

或る程度の効果は得られる。これらの係数は、制御 ·演算装置 13が予め記憶している。

[0035] また、座標変換の際には、変換誤差がなるべく小さくなるよう、必要に応じて画素補間処理を行うことが望ま Uヽ（以上、ステップ S6)。

次に、本顕微鏡装置の効果を述べる。

以上説明したとおり、本顕微鏡装置では、位相の異なる複数の画像データ I ' 0 = 1 , 2, 3, · ··, N)に対し歪み補正（図 2ステップ SI)を施す。補正後の画像データ I (j

rj

= 1, 2, 3, · ··, N)上では、照明パターンの空間周波数を均一とみなせる（したがつて位相変化量も均一とみなせる)。

[0036] したがって、本顕微鏡装置では、その歪み補正さえ高精度に行われれば、復調演算（図 2ステップ S2〜S5)にシンプルな演算式（式（2)又は式（3) )しか使用して!/、ないにも拘わらず、復調誤差は殆ど発生せず、ノイズの抑えられた良好な超解像画像を得ることができる。

(その他）

なお、本実施形態で取得される復調像の画像データには、標本 10のパターン Oの情報だけでなく結像光学系 LS2の伝達関数の情報 (結像光学系 LS2の点像分布関数の情報)も含まれているので、制御'演算装置 13は、必要に応じて復調像の画像データに対しデコンボリューシヨンを施し、伝達関数の情報を排除してもよい。

[0037] 但し、復調像の画像データの情報からは、結像光学系 LS2のディストーション収差の情報が既に排除されているので、そのデコンボリューシヨンでは、伝達関数の代わりに、伝達関数力結像光学系 LS2のディストーション収差成分を排除してできる関数を用いるとよい。因みに、デコンボリューシヨン後の画像データ上には、標本 10の超解像画像がシャープに現れる。

[0038] また、上述した説明では、標本 10の種類に言及しな力つたが、蛍光物質で標識された標本としてもよい。その場合、ハーフミラー 8をダイクロイツクミラーに代え、ダイク口イツクミラーの光源側に励起フィルタを挿入し、ハーフミラー 8よりも撮像装置 12側にバリアフィルタを挿入するとよ!/、。

また、上述した説明では、超解像の方向について言及しな力た力回折格子 3の格子方向を固定したまま上述した情報を取得すれば、その格子に垂直な方向に亘り解像度の高められた超解像画像を取得することができる。また、回折格子 3の格子方向を複数に変化させて同様の情報を取得すれば、複数方向に亘り解像度の高められた超解像画像を取得することができる。また、複数方向に亘り解像度の高められた超解像画像を取得する場合には、 1次元の回折格子 3を 2次元回折格子 (グリッド状に格子を設けた回折格子）に代えてもよい。 2次元回折格子によれば、 2方向に関する情報を同時に取得することができる。

[0039] また、図 2のステップ S2〜S5における復調演算の代わりに、同じ仮定で成り立つ他の復調演算が適用されてもよい。例えば、特開平 11 242189号公報の復調演算が適用されてもよい。特開平 11— 242189号公報の復調演算は、図 2のステップ S2 〜S5の復調演算を、実空間上で行うものであり、位相の異なる 3個の画像データを線形の演算式に当てはめるものである。その演算式は、上述した式（2)を実空間で表現したものに相当する。

[0040] 因みに、特開平 11— 242189号公報の方法では、復調演算に際して歪み補正が何ら行われないので、特開平 11 242189号公報中の O(x) *P(x), O(x) *P (x )には、以下のとおり歪みが生じている。

[0041] [数 2] +/₂ +/₃) + ( Δ/₃ + 4½— Δ/₂/₃)

+ ((^2 - > + Δ / ₂ - Α ₂Ι,)

O(x) * P— (x) = (2/, (1 + jS)I₂ (1— ) exp(2^/₀ )

- ((卜 ) — (1 + -^) Δ^)/, + (1 + ) Δ + (1-^= Α ₂Ι₃

[0042] 但し、 f =f 、 φを基準として、 Δί =f —f , Δί =f -f , Δ = - , Δ

1 0 1 2 2 0 3 3 0 2 2 1 3

: φ — φ と表し、 2π Δί χ, 2π Δί χ《1, Δ φ , Δ 《1として近似した。

3 1 2 3 2 3

したがって、特開平 11— 242189号公報の方法では、画像中央部では主に照明ノターンの位相変化量の不均一性による復調誤差が生じ、画像周辺部では主に照明パターンの空間周波数の不均一性による復調誤差が生じてしまう。しかし、復調演算に際して歪み補正を行う本実施形態では、これらの復調誤差は生じない。

Claims

請求の範囲

[1] 光源からの光で標本を照明する照明光学系と、

前記照明光学系に配置され、前記光源からの光を空間変調する変調手段と、前記空間変調された光で照明された前記標本からの変調像を結像する結像光学系と、

前記変調像を撮像する撮像手段と、

前記照明光学系及び前記結像光学系の少なくとも一方による前記変調像の歪みを補正する補正手段と、

前記補正手段で補正された変調像から前記標本の画像を生成する画像生成装置と

を有することを特徴とする顕微鏡装置。

[2] 請求項 1に記載の顕微鏡装置において、

前記変調手段は、

回折格子と、

前記回折格子を移動させて変調する回折格子変調手段と

を有することを特徴とする顕微鏡装置。

[3] 請求項 1又は請求項 2に記載の顕微鏡装置において、

前記補正手段は、

前記照明光学系及び前記結像光学系の少なくとも一方のディストーション収差のデータに基づき前記補正を行う

ことを特徴とする顕微鏡装置。

[4] 請求項 3に記載の顕微鏡装置において、

前記補正手段は、

前記ディストーション収差の実測データ及び設計データの少なくとも一方に基づき前記補正を行う

ことを特徴とする顕微鏡装置。

[5] 請求項 1〜請求項 4の何れか一項に記載の顕微鏡装置において、

前記標本の画像の歪みを補正する再補正手段を更に備えたことを特徴とする顕微鏡装置。

[6] 請求項 5に記載の顕微鏡装置において、

前記再補正手段は、

前記結像光学系のディストーション収差のデータに基づき前記補正を行うことを特徴とする顕微鏡装置。

[7] 請求項 6に記載の顕微鏡装置において、

前記再補正手段は、

ことを特徴とする顕微鏡装置。

[8] 空間変調された照明光により標本を照明し、

前記照明光により照明された前記標本からの光を結像させ、取得した画像から画像演算処理により標本像を生成する画像生成方法において、

前記取得した画像の照明光学系及び結像光学系による歪みを補正する補正手順と、

前記補正された画像力前記標本の画像を生成する画像生成手順とを有することを特徴とする画像生成方法。